JP4395733B2 - Thermoelectric conversion element module manufacturing method and electrode structure used in thermoelectric conversion element module manufacturing method - Google Patents
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Description
本発明は、冷却装置や加熱装置あるいは発電装置等に用いられるスケルトンタイプの熱電変換素子モジュールに関するものである。 The present invention relates to a skeleton type thermoelectric conversion element module used in a cooling device, a heating device, a power generation device, or the like.
従来、スケルトンタイプの熱電変換素子モジュールとしては、複数のp型およびn型の熱電変換素子が交互に配置されるとともに、その上下両側を複数の第1電極と第2電極とに挟み込まれ、隣り合う熱電変換素子の上面が同一の第1電極に接合され、このうちの一方の熱電変換素子の下面とまた隣の熱電変換素子の下面とが同一の第2電極に接合されて、p型およびn型の熱電変換素子が第1電極および第2電極を介して交互に電気的に直列接続された構造のものが知られている。 Conventionally, as a skeleton-type thermoelectric conversion element module, a plurality of p-type and n-type thermoelectric conversion elements are alternately arranged, and both upper and lower sides thereof are sandwiched between a plurality of first electrodes and second electrodes. The upper surfaces of the matching thermoelectric conversion elements are bonded to the same first electrode, and the lower surface of one of the thermoelectric conversion elements and the lower surface of the adjacent thermoelectric conversion element are bonded to the same second electrode, and p-type and There is known a structure in which n-type thermoelectric conversion elements are alternately electrically connected in series via first and second electrodes.
また、第1電極または第2電極のどちらか一方が絶縁基板等に接合された構造のものも知られている。 Also known is a structure in which either the first electrode or the second electrode is bonded to an insulating substrate or the like.
このスケルトンタイプの熱電変換素子モジュールの製造方法としては、上記電極を一枚ずつ熱電変換素子に接合すると製造効率が低くなるので、図13に示すように、複数の電極12が所定の配列で並べられ、これらの電極12の隣り合うもの同士が相互に継手部13で連結された一体型電極11を用いて、この一体型電極11と熱電変換素子とを接合し、その後に継手部13を切断して各電極12を独立状態とする方法等が行われている(例えば特許文献1参照)。
しかしながら、上記一体型電極11では、隣り合う電極12同士が相互に継手部13で連結されているので、継手部13を切断するには、例えばレーザー光を縦横に複数回照射する必要があり、切断工程が煩雑となる。
However, in the integrated
また、継手部13は電極12間に位置しているので、この継手部13を安価な工法で切断することは難しく、レーザー光を用いた切断等高いコストの工法で切断することになる。
Further, since the
本発明は、このような事情に鑑み、複数の電極を一体として扱うことができるとともに、各電極を容易かつ安価に独立状態にすることができる熱電変換素子モジュールの製造方法および熱電変換素子モジュールの製造方法に使用する電極構成体を提供することを目的とする。 In view of such circumstances, the present invention can handle a plurality of electrodes as a single body, and can provide a method for manufacturing a thermoelectric conversion element module and a thermoelectric conversion element module that can easily and inexpensively make each electrode independent . It aims at providing the electrode structure used for a manufacturing method .
上述の目的を達成するために、本発明の第1の手段では、複数のp型およびn型の熱電変換素子を、複数の第1電極および第2電極を介して交互に電気的に直列接続したスケルトンタイプの熱電変換素子モジュールの製造方法において、所定の配列で並べられた第1電極の外側にリードフレームが位置されて、このリードフレームと各第1電極とが1つの継手部で一体的に連結されてなる第1電極構成体を成形加工する工程と、熱電変換素子の一方の面を第1電極構成体の各第1電極に対応する位置に接合し、その後に継手部を切断して各第1電極とリードフレームとを分離する工程と、熱電変換素子の他方の面を第2電極に接合する工程とを含んでいる。 In order to achieve the above-mentioned object, according to the first means of the present invention, a plurality of p-type and n-type thermoelectric conversion elements are alternately electrically connected in series via a plurality of first electrodes and second electrodes. In the manufacturing method of the skeleton type thermoelectric conversion element module, the lead frame is positioned outside the first electrodes arranged in a predetermined arrangement, and the lead frame and each first electrode are integrated with one joint portion. A step of molding the first electrode structure that is connected to each other, and joining one surface of the thermoelectric conversion element to a position corresponding to each first electrode of the first electrode structure, and then cutting the joint portion Separating the first electrode and the lead frame, and joining the other surface of the thermoelectric conversion element to the second electrode.
また、本発明の第1の手段に係る熱電変換素子モジュールの製造方法において、熱電変換素子の他方の面を第2電極に接合する工程には、所定の配列で並べられた第2電極の外側にリードフレームが位置されて、このリードフレームと各第2電極とが1つの継手部で一体的に連結されてなる第2電極構成体を成形加工する工程と、熱電変換素子の他方の面を第2電極構成体の各第2電極に対応する位置に接合し、その後に継手部を切断して各第2電極とリードフレームとを分離する工程とを含んでいる。 In the method of manufacturing the thermoelectric conversion element module according to the first means of the present invention, the step of joining the other surface of the thermoelectric conversion element to the second electrode includes the outside of the second electrode arranged in a predetermined arrangement. A step of forming a second electrode structure in which the lead frame is positioned and the lead frame and each second electrode are integrally connected by one joint, and the other surface of the thermoelectric conversion element is Joining the position corresponding to each 2nd electrode of a 2nd electrode structure, and cut | disconnecting a joint part after that, and separating each 2nd electrode and a lead frame is included.
さらに、本発明の第1の手段に係る熱電変換素子モジュールの製造方法において、上記電極構成体を成形加工する工程は、1モジュール分の電極が所定の配列で並べられたものが複数配列されて、その各1モジュール分の電極の外側にリードフレームが位置されて、このリードフレームと各電極とが1つの継手部で一体的に連結されてなる電極構成体を成形加工する工程である。 Furthermore, in the manufacturing method of the thermoelectric conversion element module according to the first means of the present invention, the step of forming the electrode structure includes a plurality of one-module electrodes arranged in a predetermined arrangement. In this process, a lead frame is positioned outside the electrode for each module, and an electrode structure is formed by integrally connecting the lead frame and each electrode through one joint.
本発明の第2の手段では、複数のp型およびn型の熱電変換素子を、複数の第1電極および第2電極を介して交互に電気的に直列接続したスケルトンタイプの熱電変換素子モジュールの製造方法において、所定の配列で並べられた第1電極の外側にリードフレームが位置されて、このリードフレームと各第1電極とが1つの継手部で一体的に連結されてなる第1電極構成体を成形加工する工程と、第1電極構成体を粘着シートに貼り付ける工程と、第1電極構成体の継手部を切断して各第1電極が粘着シートで連結された状態とする工程と、熱電変換素子の一方の面を第1電極構成体の各第1電極に対応する位置に接合する工程と、熱電変換素子の他方の面を第2電極に接合する工程と、粘着シートを第1電極から剥離して各第1電極を独立状態とする工程とを含んでいる。 According to a second means of the present invention, there is provided a skeleton type thermoelectric conversion element module in which a plurality of p-type and n-type thermoelectric conversion elements are alternately electrically connected in series via a plurality of first electrodes and second electrodes. In the manufacturing method, a first electrode configuration in which a lead frame is positioned outside a first electrode arranged in a predetermined arrangement, and the lead frame and each first electrode are integrally connected by one joint portion. Forming the body, attaching the first electrode structure to the adhesive sheet, cutting the joint portion of the first electrode structure, and connecting the first electrodes with the adhesive sheet; Bonding the one surface of the thermoelectric conversion element to a position corresponding to each first electrode of the first electrode structure, bonding the other surface of the thermoelectric conversion element to the second electrode, Separate from each electrode and separate each first electrode And a step of the state.
また、本発明の第2の手段に係る熱電変換素子モジュールの製造方法において、熱電変換素子の他方の面を第2電極に接合する工程には、所定の配列で並べられた第2電極の外側にリードフレームが位置されて、このリードフレームと各第2電極とが1つの継手部で一体的に連結されてなる第2電極構成体を成形加工する工程と、第2電極構成体を粘着シートに貼り付ける工程と、第2電極構成体の継手部を切断して各第2電極が粘着シートで連結された状態とする工程と、熱電変換素子の他方の面を第2電極構成体の各第2電極に対応する位置に接合する工程とを含み、さらに粘着シートを第2電極から剥離して各第2電極を独立状態とする工程を備えている。 In the method of manufacturing the thermoelectric conversion element module according to the second means of the present invention, the step of joining the other surface of the thermoelectric conversion element to the second electrode includes the outside of the second electrode arranged in a predetermined arrangement. Forming a second electrode structure in which the lead frame is positioned, and the lead frame and each of the second electrodes are integrally connected by one joint, and the second electrode structure is formed as an adhesive sheet. A step of attaching the second electrode structure to the state in which each second electrode is connected by an adhesive sheet, and the other surface of the thermoelectric conversion element is attached to each of the second electrode structures. And a step of bonding the adhesive sheet to a position corresponding to the second electrode, and further separating the adhesive sheet from the second electrode to make each second electrode an independent state.
さらに、本発明の第2の手段に係る熱電変換素子モジュールの製造方法において、上記電極構成体を成形加工する工程は、1モジュール分の電極が所定の配列で並べられたものが複数配列されて、その各1モジュール分の電極の外側にリードフレームが位置されて、このリードフレームと各電極とが1つの継手部で一体的に連結されてなる電極構成体を成形加工する工程である。 Furthermore, in the method for manufacturing a thermoelectric conversion element module according to the second means of the present invention, the step of forming the electrode structure includes a plurality of one-module electrodes arranged in a predetermined arrangement. In this process, a lead frame is positioned outside the electrode for each module, and an electrode structure is formed by integrally connecting the lead frame and each electrode through one joint.
本発明の第3の手段では、複数のp型およびn型の熱電変換素子を、複数の第1電極および第2電極を介して交互に電気的に直列接続したスケルトンタイプの熱電変換素子モジュールの製造方法に使用する第1電極構成体において、所定の配列で並べられた第1電極の外側にリードフレームが位置されて、このリードフレームと各第1電極とが1つの継手部で一体的に連結されてなる第1電極構成体を設け、この第1電極構成体の各第1電極に対応する位置に、熱電変換素子の一方の面を接合し、その後に継手部を切断するものである。 According to a third means of the present invention, there is provided a skeleton type thermoelectric conversion element module in which a plurality of p-type and n-type thermoelectric conversion elements are alternately electrically connected in series via a plurality of first electrodes and second electrodes . In the first electrode structure used in the manufacturing method, a lead frame is positioned outside the first electrodes arranged in a predetermined arrangement, and the lead frame and each first electrode are integrally formed by one joint portion. A connected first electrode structure is provided, one surface of the thermoelectric conversion element is joined to a position corresponding to each first electrode of the first electrode structure, and then the joint portion is cut. .
また、本発明の第3の手段に係る熱電変換素子モジュールの製造方法に使用する第1電極構成体において、所定の配列で並べられた第2電極の外側にリードフレームが位置されて、このリードフレームと各第2電極とが1つの継手部で一体的に連結されてなる第2電極構成体を設け、この第2電極構成体の各第2電極に対応する位置に、熱電変換素子の他方の面を接合し、その後に継手部を切断するものである。 In the first electrode structure used in the method for manufacturing a thermoelectric conversion element module according to the third means of the present invention, a lead frame is positioned outside the second electrodes arranged in a predetermined arrangement. A second electrode structure is provided in which the frame and each second electrode are integrally connected by one joint portion, and the other of the thermoelectric conversion elements is provided at a position corresponding to each second electrode of the second electrode structure. These surfaces are joined, and then the joint is cut.
さらに、本発明の第3の手段に係る熱電変換素子モジュールの製造方法に使用する第1電極構成体または第2電極構成体において、上記電極構成体は、1モジュール分の電極が所定の配列で並べられたものが複数配列されて、その各1モジュール分の電極の外側にリードフレームが位置されて、このリードフレームと各電極とが1つの継手部で一体的に連結されてなるものである。 Furthermore, in the 1st electrode structure or 2nd electrode structure used for the manufacturing method of the thermoelectric conversion element module which concerns on the 3rd means of this invention, the electrode for the said electrode structure is a predetermined arrangement | sequence. A plurality of the arranged elements are arranged, a lead frame is positioned outside the electrode for each module, and the lead frame and each electrode are integrally connected by one joint portion. .
このような構成の熱電変換素子モジュールの製造方法によれば、所定の配列で並べられた第1電極の外側にリードフレームが位置されて、このリードフレームと各第1電極とが1つの継手部で一体的に連結されてなる第1電極構成体を成形加工したから、複数の第1電極を一体として扱うことができるとともに、リードフレームに沿う方向で継手部を切断するという簡単な切断作業で各第1電極を独立状態とすることができる。また、継手部は各第1電極と所定の配列で並べられた第1電極の外側に設けられたリードフレームとの間に位置しているので、この継手部を一般的な切断機を用いて切断することができる。よって、各第1電極を容易かつ安価に独立状態にすることができる。 According to the method of manufacturing a thermoelectric conversion element module having such a configuration, the lead frame is positioned outside the first electrodes arranged in a predetermined arrangement, and the lead frame and each first electrode are connected to one joint portion. Since the first electrode structure integrally connected in the molding process is processed, a plurality of first electrodes can be handled as a single body, and a simple cutting operation of cutting the joint portion in the direction along the lead frame. Each first electrode can be in an independent state. Moreover, since the joint part is located between each 1st electrode and the lead frame provided in the outer side of the 1st electrode arranged in the predetermined arrangement, this joint part is used using a general cutting machine. Can be cut. Therefore, each 1st electrode can be made into an independent state easily and cheaply.
そして、上述の構成の熱電変換素子モジュールの製造方法に使用する第1電極構成体によれば、上記第1電極構成体を設けたから、上記のようにその後の工程で継手部が切断し易いことに加え、各第1電極間の間隔がリードフレームおよび継手部によって維持されるので、熱電変換素子モジュールの剛性が高くなり、搬送時での損傷を抑制することができる。 And according to the 1st electrode structural body used for the manufacturing method of the thermoelectric conversion element module of the above-mentioned structure, since the said 1st electrode structural body was provided, a joint part is easy to cut | disconnect by the subsequent process as mentioned above. In addition, since the interval between the first electrodes is maintained by the lead frame and the joint part, the rigidity of the thermoelectric conversion element module is increased, and damage during transportation can be suppressed.
以下、本発明を実施するための最良の形態について、図面を参照しながら詳細に説明する。 Hereinafter, the best mode for carrying out the present invention will be described in detail with reference to the drawings.
図1に示すように、スケルトンタイプの熱電変換素子モジュール1Aは、複数のp型およびn型の熱電変換素子5p,5nと、これらの熱電変換素子5p,5nを挟んで上下に配置される複数の第1電極2および第2電極3とを備えている。
As shown in FIG. 1, a skeleton-type thermoelectric
上記熱電変換素子5p,5nは、熱電特性をもつもの(ペルチェ効果およびベーゼック効果を得るもの)であり、例えばBi−Te−Sb−Seの合金等からなっている。このp型およびn型の熱電変換素子5p,5nは交互に一列に配列され、上下両面がそれぞれ第1電極2と第2電極3とに直列に接合されるようになっている。
The
上記第1電極2および第2電極3は、銅等の熱伝導率の高い材料からなり、隣り合う熱電変換素子5p,5nを跨る長さを有し、100μm程度の厚さで短冊状に構成されている。また、第1電極2と第2電極3とは、隣り合う熱電変換素子5p,5nを交互に跨るように配列されている。
The
そして、隣り合う熱電変換素子5p,5nの上面が同一の第1電極2に接合材4を介して接合され、このうちの一方の熱電変換素子5p(または5n)の下面とまた隣の熱電変換素子5n(または5p)の下面とが同一の第2電極3に接合材4を介して接合されて、p型およびn型の熱電変換素子5p,5nが第1電極2および第2電極3を介して交互に電気的に直列接続されている。
Then, the upper surfaces of the adjacent
上記接合材4は、半田や導電性の接着剤等である。ただし、接合材4として半田を用いる場合には、熱電変換素子5p,5nの第1電極2および第2電極3と接合される上下両面にNiメッキを施し、さらにAuメッキを施す等のメッキ処理を施すことが好ましい。
The bonding
このように構成された熱電変換素子モジュール1Aでは、例えば第2電極3の左端部に位置するものと右端部に位置するものとの間に、第1電極2でn型の熱電変換素子5nからp型の熱電変換素子5pへ電流が流れるように電圧をかけると、熱電変換素子5p,5nの上面で吸熱作用が発生し、下面で放熱作用が発生する。このとき冷却物を第1電極2の上に載せた場合は、冷却物の熱は第1電極2を介して熱電変換素子5p,5nに吸熱され、第2電極3を介して下方に放熱されるので、冷却物を冷却することができる。
In the thermoelectric
上記電流を流す向きを逆にすると、冷却および放熱の作用は上下逆になる。 If the direction in which the current flows is reversed, the action of cooling and heat dissipation is reversed upside down.
次に、熱電変換素子モジュール1Aを製造する方法を説明する。
Next, a method for manufacturing the thermoelectric
第1工程では、図2(a)に示すように、長手方向に一列に並べられた第2電極3と、第2電極3の幅方向外側で長手方向に延在する直線状のリードフレーム31とを備え、このリードフレーム31と各第2電極3とが1つの継手部32で一体的に連結されてなる第2電極構成体3Aを成形加工する。
In the first step, as shown in FIG. 2A, the
この第2電極構成体3Aは、例えば100μm程度の厚みの銅板等をプレス加工することにより簡単に形成することができる。また、リードフレーム31には、位置決め用の穴を形成しておくことが好ましい。
The
リードフレーム31の形状は、上記のように直線状であってもよく、または上記配列で並べられた第2電極3を外側から囲む枠状(図8参照)であってもよい。
The shape of the
継手部32には、各第2電極3を分離独立状態とするために切断する切断部(図4(b)に示す切断面33の周囲部分)に、後工程で切断し易いように、例えば切欠きを入れたりエッチングにより厚さを薄くしたりする等の加工を施しておくことが好ましい。また、この切断部は、第2電極3の外周縁上に位置することが好ましい。
In the
リードフレーム31および継手部32は、第2電極構成体3Aを取り扱う際に揺れ等が起こっても第2電極3を所定の位置で維持できるように、ある程度の剛性を持つ幅で構成されていることが好ましい。
The
第2工程では、図2(b)に示すように、第2電極構成体3Aの各第2電極3の熱電変換素子5p,5nが接合される部分に半田からなる接合材4を塗布し、図2(c)に示すように、その上に熱電変換素子5p,5nを重ねる。
In the second step, as shown in FIG. 2 (b), the
この工程では、リードフレーム31に形成した位置決め用の穴を利用して、接合材4の塗布等を行えば、接合材4の位置が正確になる。
In this step, if the
なお、第2電極3に接合材4を塗布せずに、熱電変換素子5p,5nの下面に接合材4を塗布してもよい。
Incidentally, without applying a
第3工程では、第1工程と同様に、図2(d)に示すように、長手方向に一列に並べられた第1電極2と、第1電極2の幅方向外側で長手方向に延在する直線状のリードフレーム21とを備え、このリードフレーム21と各第1電極2とが1つの継手部22で一体的に連結されてなる第1電極構成体2Aを成形加工する。
In the third step, as in the first step, as shown in FIG. 2 (d), the
この第1電極構成体2Aにおいても、リードフレーム21に位置決め用の穴を形成し、切断部(図4(b)に示す切断面23の周囲部分)に、後工程で切断し易いような加工を施しておくことが好ましい。
Also in the
第4工程では、図2(e)に示すように、第1電極構成体2Aの各第1電極2の熱電変換素子5p,5nが接合される部分に半田からなる接合材4を塗布し、この第1電極構成体2Aを、図2(f)に示すように、第1電極2が上側を向く姿勢で接合材4が熱電変換素子5p,5nの上に位置するように重ねる。
In the fourth step, as shown in FIG. 2 (e), the
第5工程では、図3に示すように、熱電変換素子5p,5nが接合材4を介して第1電極2および第2電極3に挟み込まれた状態で、さらにその外側を上下からヒーター6で挟み込んで各電極2,3を加熱して半田を溶かし、その後に冷却して半田を固めて熱電変換素子5p,5nと第1電極2および第2電極3とを接合する。
In the fifth step, as shown in FIG. 3, the
上記加熱を行うに際しては、窒素雰囲気等の非酸化雰囲気で行うことにより、各電極2,3および熱電変換素子5p,5nの酸化を防止し、熱電性能の低下を抑制することができる。スケルトンタイプの熱電変換素子モジュール1Aでは、第1電極2および第2電極3が剥き出しになっている部分が多く、酸化雰囲気で上記加熱を行うと、第1電極2および第2電極3の表面が酸化することにより熱伝導が悪くなり熱電性能が低下するためである。
When performing the heating, by performing in a non-oxidizing atmosphere such as a nitrogen atmosphere, the
また、熱電変換素子5p,5nと各電極2,3とを接合する接合材4としては、必ずしも半田を用いる必要はなく、導電性接着剤等を用いてもよい。
Further, as the
上記第5工程までを行った状態では、図4(a)に示すように、各第1電極2とリードフレーム21とが1つの継手部22を介して連結され、各第2電極3とリードフレーム31とが1つの継手部32を介して連結された熱電変換素子モジュール10Aとなっている。
In the state up to the fifth step, as shown in FIG. 4A, each
この状態であれば、各第1電極2間の間隔がリードフレーム21および継手部22によって維持され、各第2電極3間の間隔がリードフレーム31および継手部32によって維持されるので、熱電変換素子モジュール10Aの剛性が高くなり、搬送時での損傷を抑制することができる。
If it is in this state, since the space | interval between each
そして、最終的には図4(b)に示すように、継手部22および継手部32を、各切断部で切断すれば、各第1電極2および各第2電極3を独立状態として熱電変換素子モジュール1Aを製造することができる。
And finally, as shown in FIG.4 (b), if the
継手部22,32は各電極2,3とリードフレーム21,31との間に位置しているので、リードフレーム21,31に沿う方向で切断作業を行えば、一度に複数の継手部22,32を切断することができる。
Since the
このように、本製造方法では、リードフレーム21と各第1電極2とが1つの継手部22で一体的に連結されてなる第1電極構成体2Aを成形加工し、リードフレーム31と各第2電極3とが1つの継手部32で一体的に連結されてなる第2電極構成体3Aを成形加工することにより、複数の第1電極2および第2電極3をそれぞれ一体物として扱うことができるとともに、リードフレーム21,31に沿う方向で継手部22,32を切断するという簡単な切断作業で各第1電極2および各第2電極3を独立状態とすることができる。また、継手部22は各第1電極2と所定の配列で並べられた第1電極2の幅方向外側に設けられたリードフレーム21との間に、継手部32は各第2電極3と所定の配列で並べられた第2電極3の幅方向外側に設けられたリードフレーム31との間に位置しているので、この継手部22,32を一般的な切断機を用いて切断することができる。よって、各第1電極2および各第2電極3を容易かつ安価に独立状態にすることができる。
Thus, in this manufacturing method, the
一方、スケルトンタイプの熱電変換素子モジュールとしては、第1電極2または第2電極3のどちらか一方が絶縁基板等に接合されたものもある。本実施形態では、図5(a)に、第1電極2が絶縁基板8に接合された熱電変換素子モジュール1Bを示す。
On the other hand, as a skeleton type thermoelectric conversion element module, there is a module in which either the
この熱電変換素子モジュール1Bを製造するには、上記第3工程に替えて、下記の工程を採用すればよい。
In order to manufacture this thermoelectric
代替第3工程では、図5(b)に示すように、アルミナ基板や樹脂基板等の絶縁基板8に第1電極2を接合する。この第1電極2の絶縁基板8への接合は、導体のプリント印刷や銅板の接着等によって行うことができる。なお、銅板の接着の後、エッチング処理施し銅板のサイズ調整を行うようにしてもよい。
In the alternative third step, as shown in FIG. 5B, the
このように工程を入れ替え、第1電極2が絶縁基板8に接合された熱電変換素子モジュール1Bを製造する際に、第2電極構成体3Aを用いることにより、各第2電極3を容易かつ安価に独立状態にすることができる。
In this way, when the thermoelectric
また、上記第1電極構成体2Aおよび第2電極構成体3Aを用いて、次のような製造方法で熱電変換素子モジュール1Aを製造することもできる。
Moreover, thermoelectric
まず、上記第1工程と同様に、第2電極構成体3Aを成形加工する。
First, similarly to the first step, the
ついで、図6(a)に示すように、第2電極構成体3Aを、粘着シート7に貼り付ける。この粘着シート7は、第2電極構成体3Aよりも大きなものである必要はなく、少なくとも各第2電極3が貼り付け可能な大きさであればよい。
Next, as shown in FIG. 6A, the
その後、図6(b)に示すように、継手部32を切断面33で切断して、各第2電極3が粘着シート7で連結された状態とする。この切断に際しては、粘着シート7までを切断してもよいし、粘着シート7を切断しないように継手部32だけを切断してもかまわない。
After that, as shown in FIG. 6B, the
そして、図6(c)に示すように、各第2電極3の熱電変換素子5p,5nが接合される部分に半田からなる接合材4を塗布し、その上に熱電変換素子5p,5nを重ねる。
And as shown in FIG.6 (c), the joining
同様にして、第1電極構成体2Aを成形加工し、粘着シート7に貼り付け、継手部22を切断する。
Similarly, the
ついで、各第1電極2の熱電変換素子5p,5nが接合される部分に半田からなる接合材4を塗布し、この第1電極構成体2Aを、図6(d)に示すように、第1電極2が上側を向く姿勢で接合材4が熱電変換素子5p,5nの上に位置するように重ねる。
Next, a
そして、上記第5工程と同様に、図7(a)に示すように、熱電変換素子5p,5nが接合材4を介して第1電極2および第2電極3に挟み込まれた状態で、さらにその外側を上下からヒーター6で挟み込んで各電極2,3を加熱して半田を溶かし、その後に冷却して半田を固めて熱電変換素子5p,5nと第1電極2および第2電極3とを接合する。
Then, as in the fifth step, as shown in FIG. 7A, in a state where the
また、熱電変換素子5p,5nと各電極2,3とを接合する接合材4としては、必ずしも半田を用いる必要はなく、導電性接着剤等を用いてもよい。
Further, as the
最後に、図7(b)に示すように、粘着シート7を第1電極2および第2電極3から剥離して各第1電極2および各第2電極3を独立状態とすれば、熱電変換素子モジュール1Aを製造することができる。
Finally, as shown in FIG. 7 (b), if the
この製造方法において、粘着シート7として、一定温度まで加熱されると粘着性がなくなる熱剥離性のあるものを採用すれば、ヒーター6で各電極2,3を加熱する際に粘着シート7の粘着性をなくすことができ、その後の粘着シート7の剥離を容易に行うことができる。
In this manufacturing method, if a pressure-
また、粘着シート7として、耐熱性のある例えばデュポン社製のカプトン(登録商標)を採用すれば、接合材4として高融点の半田を使用することができるし、剛性のあるアルミテープ等を採用すれば、アルミテープに貼り付いた各電極2,3の取り扱いがし易くなる。
If heat-resistant, for example, DuPont Kapton (registered trademark) is used as the
このように、第1電極構成体2Aおよび第2電極構成体3Aを成形加工し、この第1電極構成体2Aおよび第2電極構成体3Aを粘着シート7に貼り付けたから、粘着シート7へ各電極2,3を一枚ずつ貼り付ける場合には一枚毎に位置合わせをする必要があるが、本製造方法ではそのような作業をせずに貼り付け作業を行うことができる。
Thus, since the
また、一旦粘着シート7に貼り付けたから、継手部22,32を切断しても各電極2,3が位置合わせされた状態を維持できるとともに、各電極2,3をまとめて熱電変換素子5p,5nに接合することができ、製造コストを抑えることができる。
Moreover, since it once affixed to the
一方、第1電極2が絶縁基板8に接合された熱電変換素子モジュール1Bを製造する際にも、この製造方法を適用することができる。
On the other hand, this manufacturing method can also be applied when manufacturing the thermoelectric
上述した各製造方法においては、さらに下記のようにすることもできる。 In each manufacturing method mentioned above, it can also be performed as follows.
第1電極構成体2Aに替えて、図8に示すように、1モジュール分の第1電極2が所定の配列で並べられたものが複数配列されて、その各1モジュール分の第1電極2の外側をリードフレーム21が囲い、このリードフレーム21と各第1電極2とが1つの継手部22で一体的に連結されてなる第1電極構成体2Bを成形加工する。
In place of the
また、第2電極構成体3Aに替えて、図9に示すように、1モジュール分の第2電極3が所定の配列で並べられたものが複数配列されて、その各1モジュール分の第2電極3の外側をリードフレーム31が囲い、このリードフレーム31と各第1電極3とが1つの継手部32で一体的に連結されてなる第1電極構成体3Bを成形加工する。
Further, in place of the
これらの電極構成体2B,3Bにおいては、リードフレーム21,31は、必ずしも1モジュール分の電極2,3の外側を周囲から囲う必要はなく、一辺が開口するように囲っていてもかまわない。
In these
また、これらの電極構成体2B,3Bの各電極2,3は、第1電極構成体2Bと第2電極構成体3Bとを重ね合わせると、複数の熱電変換素子モジュール1Aを構成するような位置に配列されている。
Further, the
具体的には、1モジュール分の第1電極2が所定の配列で並べられたものの基準点(例えば中心点)と、1モジュール分の第2電極3が所定の配列で並べられたものの基準点(例えば中心点)とが、第1電極構成体2Bと第2電極構成体3Bとを重ね合わせたときに全ての基準点で一致するようになっている。
Specifically, the reference point (for example, the center point) of the
これらの電極構成体2B,3Bを用いて、上述した第1工程から第5工程と同様にして熱電変換素子モジュール1Aを製造することにより、図10に示すように、複数の熱電変換素子モジュール1Aが継手部22,32を介してリードフレーム21,31で連結されて一体となった熱電変換素子モジュール10Bを製造することができる。
By using these
このような電極構成体2B,3Bを用いることにより、複数の熱電変換素子モジュール1Aをまとめて製造することができ、製造効率を向上させることができる。
By using
また、複数モジュールが一体となった熱電変換素子モジュール10Bを取り扱うことにより、一度に複数の熱電変換素子モジュール1Aを取り扱うことができるため、搬送等の作業を効率的に行うことができる。
Moreover, since the plurality of thermoelectric
この効果は、必ずしも第1電極構成体2Bおよび第2電極構成体3Bの両方を用いる必要はなく、どちらか一方を用いても得ることができる。例えば、第1電極2が絶縁基板8に接合された熱電変換素子モジュール1Bを製造する際に、第2電極構成体3Bを用いても、複数の熱電変換素子モジュール1Bをまとめて製造することができる。
This effect is not necessarily required to use both the
上記実施形態では、熱電変換素子5p,5nが一列に配列されている熱電変換素子モジュール1A,1Bの製造方法について説明したが、上述した各製造方法は、熱電変換素子5p,5nが2列に配列されたものにも適用することができるし、さらには3列以上に配列されたものにも適用することが可能である。
In the said embodiment, although the manufacturing method of thermoelectric
熱電変換素子5p,5nが2列に配列された熱電変換素子モジュールを製造するには、図11(a)に示すように、第1電極2も2列に配列するとともに、その外側の周囲に枠状のリードフレーム21を位置させて、各第1電極2とリードフレーム21とを1つの継手部22で一体的に連結してなる第1電極構成体2Cを成形加工すればよい。
In order to manufacture a thermoelectric conversion element module in which the
この場合は、リードフレーム21を枠状とせずに、2本の直線状のリードフレーム21を、配列された第1電極2を挟むように第1電極2の外側に位置させてもよい。
In this case, the two
第2電極構成体も同様にして成形加工する。 The second electrode structure is molded in the same manner.
熱電変換素子5p,5nが3列以上に配列された熱電変換素子モジュールを製造するには、図11(b)に示すように、熱電変換素子5p,5nの配列に対応して配列された第1電極2の外側をリードフレーム21で囲い、外周に配列された第1電極2とリードフレーム21とを1つの継手部22で連結するとともに、中央に配列された第1電極2とリードフレーム21とを連結するための継手部22aを、外周に配列された第1電極2の間を通して延ばすようにした第1電極構成体2Dを成形加工すればよい。
In order to manufacture a thermoelectric conversion element module in which the
この場合には、継手部22aの切断部23aを、外周に配列された第1電極2とリードフレーム21とを連結する継手部22の切断部と同一線上として、継手部21aの大部分を残すようにしても問題はない。
In this case, the
また、上記のように2列にまたは3列以上に配列された1モジュール分の第1電極2を、図12に示すように、複数配列した第1電極構成体2Eを成形加工することも可能である。
Moreover, as shown in FIG. 12, it is also possible to mold the
なお、上記実施形態では、上側の電極が第1電極2、下側の電極が第2電極3となっている形態を示したが、上側の電極が第2電極3、下側の電極が第1電極2であってもかまわない。
In the above embodiment, the upper electrode is the
1A,1B 熱電変換素子モジュール
2 第1電極
21,31 リードフレーム
22,32 継手部
23,33 切断面
2A,2B,2C,2D,2E 第1電極構成体
3 第2電極
3A,3B 第2電極構成体
4 接合材
5p,5n 熱電変換素子
6 ヒーター
7 粘着シート
8 絶縁基板
10A,10B 熱電変換素子モジュール(リードフレーム付)
1A, 1B Thermoelectric
Claims (9)
所定の配列で並べられた第1電極の外側にリードフレームが位置されて、このリードフレームと各第1電極とが1つの継手部で一体的に連結されてなる第1電極構成体を成形加工する工程と、
熱電変換素子の一方の面を第1電極構成体の各第1電極に対応する位置に接合し、その後に継手部を切断して各第1電極とリードフレームとを分離する工程と、
熱電変換素子の他方の面を第2電極に接合する工程とを含むことを特徴とする熱電変換素子モジュールの製造方法。 In the method of manufacturing a skeleton type thermoelectric conversion element module in which a plurality of p-type and n-type thermoelectric conversion elements are alternately electrically connected in series via a plurality of first electrodes and second electrodes.
A lead frame is positioned outside the first electrodes arranged in a predetermined arrangement, and a first electrode structure is formed by integrally connecting the lead frame and each first electrode with one joint portion. And a process of
Joining one surface of the thermoelectric conversion element to a position corresponding to each first electrode of the first electrode assembly, and then cutting the joint portion to separate each first electrode and the lead frame;
And a step of joining the other surface of the thermoelectric conversion element to the second electrode.
所定の配列で並べられた第2電極の外側にリードフレームが位置されて、このリードフレームと各第2電極とが1つの継手部で一体的に連結されてなる第2電極構成体を成形加工する工程と、
熱電変換素子の他方の面を第2電極構成体の各第2電極に対応する位置に接合し、その後に継手部を切断して各第2電極とリードフレームとを分離する工程とを含むことを特徴とする請求項1に記載の熱電変換素子モジュールの製造方法。 In the step of joining the other surface of the thermoelectric conversion element to the second electrode,
Forming a second electrode structure in which a lead frame is positioned outside the second electrodes arranged in a predetermined arrangement, and the lead frame and each second electrode are integrally connected by one joint portion. And a process of
Joining the other surface of the thermoelectric conversion element to a position corresponding to each second electrode of the second electrode structure, and then cutting the joint portion to separate each second electrode from the lead frame. The manufacturing method of the thermoelectric conversion element module of Claim 1 characterized by these.
所定の配列で並べられた第1電極の外側にリードフレームが位置されて、このリードフレームと各第1電極とが1つの継手部で一体的に連結されてなる第1電極構成体を成形加工する工程と、
第1電極構成体を粘着シートに貼り付ける工程と、
第1電極構成体の継手部を切断して各第1電極が粘着シートで連結された状態とする工程と、
熱電変換素子の一方の面を第1電極構成体の各第1電極に対応する位置に接合する工程と、
熱電変換素子の他方の面を第2電極に接合する工程と、
粘着シートを第1電極から剥離して各第1電極を独立状態とする工程とを含むことを特徴とする熱電変換素子モジュールの製造方法。 In the method of manufacturing a skeleton type thermoelectric conversion element module in which a plurality of p-type and n-type thermoelectric conversion elements are alternately electrically connected in series via a plurality of first electrodes and second electrodes.
A lead frame is positioned outside the first electrodes arranged in a predetermined arrangement, and a first electrode structure is formed by integrally connecting the lead frame and each first electrode with one joint portion. And a process of
Attaching the first electrode structure to the adhesive sheet;
Cutting the joint portion of the first electrode structure and connecting each first electrode with an adhesive sheet; and
Bonding one surface of the thermoelectric conversion element to a position corresponding to each first electrode of the first electrode structure;
Bonding the other surface of the thermoelectric conversion element to the second electrode;
A method for producing a thermoelectric conversion element module, comprising: peeling the adhesive sheet from the first electrode to make each first electrode an independent state.
所定の配列で並べられた第2電極の外側にリードフレームが位置されて、このリードフレームと各第2電極とが1つの継手部で一体的に連結されてなる第2電極構成体を成形加工する工程と、
第2電極構成体を粘着シートに貼り付ける工程と、
第2電極構成体の継手部を切断して各第2電極が粘着シートで連結された状態とする工程と、
熱電変換素子の他方の面を第2電極構成体の各第2電極に対応する位置に接合する工程とを含み、
さらに粘着シートを第2電極から剥離して各第2電極を独立状態とする工程を備えることを特徴とする請求項4に記載の熱電変換素子モジュールの製造方法。 In the step of joining the other surface of the thermoelectric conversion element to the second electrode,
Forming a second electrode structure in which a lead frame is positioned outside the second electrodes arranged in a predetermined arrangement, and the lead frame and each second electrode are integrally connected by one joint portion. And a process of
Attaching the second electrode structure to the adhesive sheet;
Cutting the joint portion of the second electrode structure and connecting each second electrode with an adhesive sheet; and
Bonding the other surface of the thermoelectric conversion element to a position corresponding to each second electrode of the second electrode structure,
Furthermore, the manufacturing method of the thermoelectric conversion element module of Claim 4 provided with the process of peeling an adhesive sheet from a 2nd electrode and making each 2nd electrode an independent state.
所定の配列で並べられた第1電極の外側にリードフレームが位置されて、このリードフレームと各第1電極とが1つの継手部で一体的に連結されてなる第1電極構成体を設け、
この第1電極構成体の各第1電極に対応する位置に、熱電変換素子の一方の面を接合し、その後に継手部を切断するものであることを特徴とする熱電変換素子モジュールの製造方法に使用する第1電極構成体。 First electrode configuration used in a method for manufacturing a skeleton type thermoelectric conversion element module in which a plurality of p-type and n-type thermoelectric conversion elements are alternately and electrically connected in series via a plurality of first electrodes and second electrodes In the body ,
Provided is a first electrode structure in which a lead frame is positioned outside the first electrodes arranged in a predetermined arrangement, and the lead frame and each first electrode are integrally connected by one joint portion;
A method of manufacturing a thermoelectric conversion element module , comprising joining one surface of a thermoelectric conversion element to a position corresponding to each first electrode of the first electrode structure and then cutting a joint portion. The 1st electrode structure used for this .
この第2電極構成体の各第2電極に対応する位置に、熱電変換素子の他方の面を接合し、その後に継手部を切断するものであることを特徴とする請求項7に記載の熱電変換素子モジュールの製造方法に使用する第2電極構成体。 Provided is a second electrode structure in which a lead frame is positioned outside the second electrodes arranged in a predetermined arrangement, and the lead frame and each second electrode are integrally connected by one joint portion;
The thermoelectric conversion device according to claim 7, wherein the other surface of the thermoelectric conversion element is joined to a position corresponding to each second electrode of the second electrode constituting body, and then the joint portion is cut. The 2nd electrode structure used for the manufacturing method of a conversion element module.
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