JP4326641B2 - 装着装置，装着精度検出治具セットおよび装着精度検出方法 - Google Patents
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、装着装置による装着部材の被装着基材への装着精度を撮像装置を使用して検出するための装着精度検出治具セット、その治具セットを含む装着装置およびその治具セットを使用する装着精度検出方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
近年、電気部品のリード線間隔の短縮や、装着密度の向上などの要求を満たすために、電気部品の装着精度の向上が強く求められている。装着精度を向上させるためには、まず装着位置誤差を検出することが必要であり、装着位置誤差検出装置（以下、誤差検出装置と略称する）が既に知られている。その一例が、特開平４−３４４４１１号公報に記載されている。この誤差検出装置は、 (a)検査用チップと、 (b)その検査用チップが装着される被装着基材としての検査用基材と、 (c)その検査用基材に装着装置により装着された検査用チップを撮像する撮像装置と、 (d)その撮像装置により撮像された検査用チップの像のデータを基準データと比較して装着誤差を演算する演算手段とを含むように構成されている。この誤差検出装置は、単独で誤差検出専用の装置として構成することも、装着装置の一部として構成することも可能とされている。
【０００３】
この誤差検出装置においては、検査用基材に装着された複数の検査用チップが順次撮像され、その画像データと予め設定された基準データとが比較されて誤差が検出される。撮像装置に対して検査用基材をそれの表面に平行な方向に送ることと、その撮像位置にある検査用チップを撮像することとを繰り返して、画像データが取得されるのである。しかし、このようにして検出された誤差には、装着誤差のほかに検査用チップを撮像するために検査用基材を送る際に生じる送り誤差が含まれているので、予め別に取得された送り誤差が検出された誤差から除かれて、最終的な装着誤差が取得される。具体的には、送り誤差を検出するために、基準マークの設けられた送り誤差検出用基材が用意され、誤差検出装置において、それを検査用チップが撮像される場合と同様に送りながら、基準マークが撮像されて送り誤差が測定され、それに基づいて前述の誤差が補正され、最終的な装着誤差が取得されるのである。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題，課題解決手段および発明の効果】
上述のように、従来の誤差検出装置においては、装着位置誤差検出時の送り誤差が含まれた状態で、装着位置誤差が検出されることが不可避であるため、送り誤差が予め測定され、それに基づいて装着位置誤差が補正されていた。そのため、装着位置誤差を取得するのに時間がかかるとともに、装着位置誤差の検出精度の向上が困難であるという問題があった。さらに、装着位置誤差と送り誤差とが別に測定されるので、それぞれの測定において、検査用基材と基準板とを測定装置に固定する際の固定位置ずれの差である固定誤差を排除することができないという問題もあった。
【０００５】
本発明は、以上の事情を背景とし、装着位置誤差の検出時に、上述の送り誤差および固定誤差の影響を回避することを課題として為されたものであり、本発明によって、装着部材を被装着基材に装着する装着装置の装着精度を撮像装置を使用して検出するために使用される装着精度検出治具とその装着精度検出治具に装着される検査用チップとを含む装着精度検出治具セットであって、前記検査用チップが、(a)不透明な材料により形成された不透明部と、(b)その不透明部に、その不透明部により囲まれた状態で形成され、当該検査用チップが前記装着精度検出治具に装着された状態で、前記不透明部の一方の側から他方の側の前記装着精度検出治具を透視可能な透視可能部とを含むことを特徴とする装着精度検出治具セットが得られる。
本発明に係る装着精度検出治具セットにおいて、透視可能部を請求項２ないし１７に記載の種々の態様で利用することにより、装着精度検出治具セットの製造を容易にしたり、装着装置の装着精度検出を容易にし、あるいは検出の精度を向上させたりする種々の効果が得られる。
また、下記各態様の装着精度検出治具，装着精度検出方法および装着装置が得られる。各態様は請求項と同様に、項に区分し、各項に番号を付し、必要に応じて他の項の番号を引用する形式で記載する。これは、あくまでも本発明の理解を容易にするためであり、本明細書に記載の技術的特徴やそれらの組合せが以下の態様に限定されると解釈されるべきではない。また、１つの項に複数の事項が記載されている場合、常にそれら事項をすべて一緒に採用しなければならないわけではなく、一部の事項のみを取り出して採用することも可能である。
なお、下記の項の中には、補正により特許請求の範囲に記載の発明でも、その発明の下位概念の発明でもなくなったものも存在するが、特許請求の範囲に記載の発明を理解する上で有用な記載を含んでいるため、そのまま残すこととする。
（１）装着部材を被装着基材に装着する装着装置の装着精度を検出するために使用される装着精度検出治具であって、
前記装着装置に取り付けられ、その装着装置により前記装着部材またはそれに代わる検査用チップが装着されるとともに、前記装着精度を検出するための基準である少なくとも２つの基準マークが、１つの撮像装置により、前記装着された装着部材または検査用チップの少なくとも一部と同時に撮像可能な位置に形成された装着精度検出治具。
装着部材または検査用チップを本項に記載の装着精度検出治具に装着し、その装着部材と少なくとも２つの基準マークとを１つの撮像装置により同時に撮像することによって、装着精度検出治具と装着部材との相対位置を取得し、その情報に基づいて装着位置誤差を検出することができる。このようにして検出された装着位置誤差には、前述の装着位置誤差検出のための送り誤差（撮像装置と装着精度検出治具との相対送り誤差）が含まれないので、装着精度検出の信頼性（精度）が向上する。また、予め送り誤差を求めることと、送り誤差の分を取り除くこととが不要となるので、その分装着精度の検出能率が向上する。
なお、装着部材または検査用チップが装着された装着精度検出治具を、専用の装着精度検出装置に取り付け、装着精度を検出することも可能であるが、撮像装置と、その撮像装置と装着精度検出治具とを相対移動させる相対移動装置とを装着装置に設ければ、装着装置自体に自身の装着精度を検出させることが可能となり、装着精度検出専用の装置を設けることが不要となって、コストを低減させることができる。その上、装着部材を装着精度検出治具に装着する装着作業に続いて撮像を行えば、装着精度検出治具と撮像装置とを装着精度検出のために相対移動させることが不要となり、検出に要する時間を短縮することができる。装着部材を装着するために保持する保持具と、装着精度検出治具とを相対移動させる第一相対移動装置と、撮像装置と装着精度検出治具とを相対移動させる第二相対移動装置とを別個に設けることも可能であるが、両者を兼用とすれば、装置コストの低減を図ることができる。
（２）前記装着部材または検査用チップの少なくとも一部と共に撮像可能な少なくとも２つの基準マークが、互いに異なる位置に複数組形成された (1)項に記載の装着精度検出治具。
本項に記載の装着精度検出治具においては、それの複数組の基準マークに対してそれぞれ装着部材または検査用チップを装着し、それら装着部材の装着精度をそれぞれ検出すれば、装着装置の複数の場所における装着精度を検出することが可能となる。
（３）前記装着部材または検査用チップの少なくとも一部と共に撮像可能な少なくとも２つの基準マークが、互いに異なる位置に複数組形成され、それら複数組の基準マークの各組が、前記装着装置の装着可能範囲の少なくとも４隅に配置された (1)項または (2)項に記載の装着精度検出治具。
本項に記載の装着精度検出治具においては、それに装着部材を装着して、装着精度を４隅についてそれぞれ検出すれば、それら４隅の装着精度に基づいて装着可能範囲全体の装着精度の傾向を推定することが可能となる。
（４）前記複数組の基準マークの各組が、前記装着装置の装着可能範囲の略全体にわたって等間隔で配置された (3)項に記載の装着精度検出治具。
本項に記載の装着精度検出治具においては、それに装着部材を装着して、装着精度をそれぞれ検出すれば、装着可能範囲全体の装着精度の傾向をさらに詳しく把握することが可能となる。
（５）前記装着装置が、前記装着部材としての電気部品を前記被装着基材としてのプリント基板に装着する電気部品装着装置である装着精度検出治具。
（６）線膨張係数が２０×１０-6以下の材料から成る (1)項ないし (5)項に記載の装着精度検出治具。
線膨張係数が２０×１０-6以下の金属から成るものとすることも可能であるが、１０×１０-6以下のガラス，セラミックス等から成るものとすることが望ましく、５×１０-6以下、さらに２×１０-6以下のガラス，セラミックス等から成るものとすることが望ましい。
（７） (1)項に記載の検査用チップであって、
前記装着精度検出治具に装着される際の位置決めの基準となる位置決め基準部と、
装着後に、前記少なくとも２つの基準マークである第一基準マークと同時に撮像可能な位置に形成された少なくとも１つの第二基準マークと
を備えた検査用チップ。
本項に記載の検査用チップを、前記 (1)項ないし (6)項に記載の装着精度検出治具に装着して、第一基準マークと第二基準マークとを同時に撮像すれば、その画像データに基づいて、装着部材を装着する場合と同様に、装着位置誤差検出のための送り誤差の影響を受けずに装着精度を検出することができる。電気部品等、装着部材は一般に寸法公差が大きく、実際の電気部品を装着精度検出治具に装着して装着精度の検出を行えば、電気部品の寸法誤差が装着精度に含まれてしまうので、寸法誤差を無視できるように形成された検査用チップを用いることが望ましい。
なお、位置決め基準部と第２基準マークとは、別個に設けられてもよいし、兼用とされてもよい。
（８）当該検査用チップが、前記装着位置検出治具に装着された状態で、当該検査用チップの下になる前記第一基準マークを透視可能な透視可能部を備えた (7)項に記載の検査用チップ。
本項に記載の検査用チップは、透視可能部を設けることにより、第一基準マークが検査用チップの下になる場合であっても、第一基準マークと第二基準マークとを同時に撮像することができる。この透視可能部は、例えば、装着された際に第一基準マークに対向する部分のみに形成されてもよいし、検査用チップのうち、位置決め部および第二基準マーク以外の全ての部分に形成されてもよい。
（９）前記透視可能部が透明材料から成る (8)項に記載の検査用チップ。
透視可能部を、検査用チップを厚さ方向に貫通する貫通部とすることも可能であるが、透明材料から成るものとすることも可能である。後者の場合、例えば、検査用チップ全体を透明材料から成るものとし、その表面に、撮像により装着部材と同じ像が得られる形象を印刷すれば、検査用チップを容易に精度良く量産することができる。
（１０）前記位置決め基準部が、前記撮像装置により撮像された際に、実際に装着されるべき装着部材の位置決め基準部と同じ像が取得される輪郭を有する (7)項ないし (9)項のいずれかに記載の検査用チップ。
本項に記載の検査用チップを装着精度検出治具に装着すれば、装着部材を被装着基材に装着する装着作業を忠実に実行した上で、その装着作業の装着精度を検出することができる。位置決め基準部は、装着部材の輪郭のうち少なくとも位置決めに必要な部分が形成されればよい。
（１１）前記位置決め基準部が、実際に装着されるべき装着部材としての電気部品の側面より側方へ突出した複数のリードと同じ像が取得される形象である(10)項に記載の検査用チップ。
（１２）前記第二基準マークが、前記透視可能部の範囲内であって、前記第一基準マークと重ならない部分に設けられた (7)項ないし(11)項のいずれかに記載の検査用チップ。
本項に記載の検査用チップを、前述の装着精度検出治具に装着すれば、第一基準マークと第二基準マークとがともに透視可能部の範囲内において撮像される。（１３）前記透視可能部が、前記位置決め基準部の内側に設けらた(12)項に記載の検査用チップ。
位置決め基準部が、十分に大きい場合は、透視可能部を位置決め基準部の内側に設けることができる。
（１４）前記透視可能部が、前記位置決め基準部の外側に設けられた(12)項に記載の検査用チップ。
（１５）前記第二基準マークが、前記位置決め基準部の範囲内であって、前記第一基準マークと同時に撮像される位置に設けられた (7)項ないし(11)項のいずれかに記載の検査用チップ。
本項に記載の検査用チップにおいては、第二基準マークは背景である位置決め基準部と異なる明度，色彩等光学的特性を有する状態で形成されればよく、例えば、位置決め基準部が黒色である場合には、白，黄色または透明とされることが望ましい。これに対して、位置決め基準部が透視可能部として透明材料により形成され、その位置決め基準部の周囲と第二基準マークとが不透明、例えば黒色にされてもよい。
（１６）前記第二基準マークが長方形である (7)項ないし(15)項のいずれかに記載の検査用チップ。
第二基準マークが１個のみ設けられる場合に、それが長方形など長手形状とされれば、第一基準マークと共同して装着部材と被装着基材との垂直軸線まわりの回転位置ずれを検出することができる。第二基準マークは、例えば、装着部材と同じ像が撮像される形象に形成されてもよい。
（１７）前記第二基準マークが円形である (7)項ないし(15)項のいずれかに記載の検査用チップ。
（１８）前記円形の第二基準マークが複数形成された(17)項に記載の検査用チップ。
第二基準マークが円形であっても、複数形成されれば、装着精度検出治具に対するＸ軸方向とＹ軸方向とのずれに加えて、垂直軸線まわりの回転位置ずれを測定することができる。本項に記載の検査用チップにおいて、それら複数の第二基準マークと前述の少なくとも２つの第一基準マークとが同時に１つの撮像装置により撮像されるようにしてもよいし、第二基準マークの一部のもの（例えば１個）が、少なくとも１つの第一基準マークとともに撮像されるようにしてもよい。後者の場合は、少なくとも二組の第一基準マークと第二基準マークとが撮像されることが望ましい。
（１９）線膨張係数が２０×１０-6以下の材料から成る (7)項ないし(18)項に記載の検査用チップ。
線膨張係数が２０×１０-6以下の金属から成るものとすることも可能であるが、１０×１０-6以下のガラス，セラミックス等から成るものとすることが望ましく、５×１０-6以下、さらに２×１０-6以下のガラス，セラミックス等から成るものとすることが望ましい。
（２０）装着部材を被装着基材に装着する装着装置の装着精度を検出するために使用される装着精度検出治具と検査用チップとを含む装着精度検出治具セットであって、
前記装着精度検出治具が、前記装着装置に取り付けられ、その装着装置により前記検査用チップが装着されるとともに、前記装着精度を検出するための基準である少なくとも２つの基準マークが、装着された検査用チップの少なくとも一部と共に撮像可能な位置に形成されたものであることを特徴とする装着精度検出治具セット。
本項に記載の装着精度検出治具セットにおいては、例えば、検査用チップを黒色、装着精度検出治具を白，黄色または透明として、検査用チップを撮像する際のコントラストを良くする事が望ましい。
(2)項ないし (6)項に記載の装着精度検出治具と (7)項ないし(19)項に記載の検査用チップとは、適宜の組み合わせで本項の装着精度検出治具セットの構成要素として採用可能である。
（２１）装着部材を被装着基材に装着する装着装置の装着精度を検出する方法であって、
前記装着装置により、前記装着部材を (1)項ないし (6)項のいずれかに記載の装着精度検出治具に取り付ける装着工程と、
その装着工程において取り付けられた装着部材と、装着精度検出治具の前記少なくとも２つの基準マークとを、撮像装置により、同時に撮像する撮像工程と、
その撮像工程において取得された画像のデータを、画像処理装置により処理することによって、前記装着部材の前記少なくとも２つの基準マークに対する相対位置に基づいて、装着部材の装着位置誤差を取得する画像処理工程と
を含むことを特徴とする装着装置の装着精度検出方法。
本項に記載の装着精度検出方法においては、装着精度検出治具を用いることにより、装着装置の装着精度を容易にかつ正確に検出することができる。特に、撮像工程を、装着装置に設けられた撮像装置を用いて行う場合には、装着装置に装着精度を検出するための構成要素を追加することなく、制御ソフトを変更することにより、装着精度を検出することが可能となる。
（２２）装着部材を被装着基材に装着する装着装置の装着精度を検出する方法であって、
前記装着装置により、 (7)項ないし(19)項のいずれかに記載の検査用チップを(1) 項ないし (6)項のいずれかに記載の装着精度検出治具に取り付ける装着工程と、
撮像装置により、装着精度検出治具の前記少なくとも２つの基準マークである第一基準マークと、前記装着工程において取り付けられた検査用チップの前記第二基準マークとを同時に撮像する撮像工程と、
その撮像工程において取得された画像のデータを、画像処理装置により処理することによって、前記第二基準マークの前記第一基準マークに対する相対位置に基づいて、装着部材の装着位置誤差を取得する画像処理工程と
を含むことを特徴とする装着装置の装着精度検出方法。
（２３）装着部材を被装着基材に装着する装着装置の装着精度をコンピュータにより検出するためのプログラムであって、
前記装着装置により、前記装着部材またはそれに代わる検査用チップを (1)項ないし (6)項のいずれかに記載の装着精度検出治具に取り付ける装着ステップと、
その装着ステップにおいて取り付けられた装着部材または検査用チップの少なくとも一部と、装着精度検出治具の前記少なくとも２つの基準マークとを、１つの撮像装置により、同時に撮像する撮像ステップと、
その撮像ステップにおいて取得された画像のデータを、画像処理装置により処理することによって、前記装着部材の前記少なくとも２つの基準マークに対する相対位置に基づいて、前記装着装置の装着位置誤差を取得する画像処理ステップとを含む装着精度検出用プログラムがコンピュータにより読み取り可能な状態で格納された記録媒体。
例えば、本項に記載の装着精度検出用プログラムの全部を装着装置に実行させれば、装着装置に自身の装着精度を検出させることができる。本プログラムを、既存の装着装置に実行させれば、それら既存の装着装置に自身の装着精度を検出させることが可能となるのである。検出された装着精度は、装着装置の精度評価に用いられてもよいし、装着装置の調整に用いられてもよい。
（２４）前記検査用チップが、 (7)項ないし(19)項のいずれかに記載の検査用チップであり、前記撮像ステップが、前記撮像装置により、前記装着精度検出治具の前記少なくとも２つの基準マークである第一基準マークと、前記装着ステップにおいて取り付けられた前記検査用チップの前記第二基準マークとを同時に撮像するステップであり、前記画像処理ステップが、前記画像における前記第二基準マークの前記第一基準マークに対する相対位置に基づいて、前記装着装置の装着位置誤差を取得するステップである(23)項に記載の記録媒体。
（２５）装着部材を保持する保持具と、
被装着基材を支持する基材支持装置と、
それら保持具と基材支持装置とを相対移動させる第一相対移動装置と、
予め定められた制御データによって前記第一相対移動装置を制御することにより、保持具に保持された装着部材を基材支持装置に支持された被装着基材に装着させる制御装置とを含む装着装置において、
前記基材支持装置に支持された被装着基材を局部的に撮像可能な視野を有する撮像装置と、
その撮像装置と前記基材支持装置とを相対移動させる第二相対移動装置と、
前記基材支持装置に取り付けられ、前記保持具に保持された前記装着部材またはそれに代わる検査用チップが装着されるとともに、装着された装着部材または検査用チップの少なくとも一部と同時に前記撮像装置により撮像可能な位置に少なくとも２つの基準マークが形成された装着精度検出治具と、
前記撮像装置により撮像された装着部材または検査用チップの少なくとも一部と少なくとも２つの基準マークとの画像のデータを処理することによって、当該装着装置の装着位置誤差を取得する画像処理装置と、
その画像処理装置により取得された装着位置誤差、またはその装着位置誤差を補正するための補正量のデータを記憶する記憶手段と、
その記憶手段に記憶された装着位置誤差または補正量のデータに基づいて前記制御データを補正する補正手段と
を設けたことを特徴とする装着装置。
本項に記載の装着装置は、検出した装着位置誤差に基づいて制御データを補正して装着作業を行うため、高い装着精度が得られる。装着位置誤差は、主として制御データに対する第一相対移動装置による実際の相対移動量の誤差に起因して発生するが、補正手段により制御データが補正されることにより、第一相対移動装置による相対移動量が本来あるべき大きさに制御されるのである。また、装着装置が、保持具による装着部材の保持位置誤差を、撮像装置による撮像等によって検出し、その保持位置誤差を制御データの補正によって除去する機能を有する場合に、その機能の一般的特性に起因して発生する装着位置誤差も、制御データの補正によって軽減することができる。
なお、この装着装置において、装着位置誤差または補正量は、予め複数種類の被装着基材に対応する装着位置誤差検出治具に、装着部材または検査用チップを装着するテストが行われ、そのテストにおいて求められた値が用いられるようにすることができる。または、ある種類の被装着基材に装着する作業を開始する直前に装着位置誤差検出治具を用いたテストが実行されて求められるようにしてもよいし、一定の被装着基材への装着が行われる毎にテストが行われて求められるようにしてもよい。また、装着位置誤差検出治具とを用いた装着位置誤差の検出は、被装着基材の各種類に対してそれぞれ行われるようにしてもよいし、装着装置の一般的な傾向を把握するように行われて、その傾向に基づいて各種類の被装着基材に対する制御データの補正が行われるようにしてもよい。
【０００６】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて詳細に説明する。
図２は本発明を実施可能な電気部品装着システムの一例を示す正面図である。この電気部品装着システムは、特願平１１−９５２５６号に記載されているものと同じである。この電気部品装着システムは、ベース１０を備え、そのベース１０上には複数本のコラム１２が立設されている。コラム１２上に固定の固定台１４に操作盤１６等が設けられている。ベース１０上にはまた、図１に示すように、プリント配線板２０をＸ軸方向（図１および図２において左右方向）に搬送する配線板搬送装置である配線板コンベア２２が設けられている。プリント配線板２０は配線板コンベア２２により搬送され、配線板支持装置２４により予め定められた位置に水平な姿勢で位置決めされ、支持される。
【０００７】
ベース１０の水平面内においてＸ軸方向と直交するＹ軸方向の両側にはそれぞれ、電気部品供給装置の一種であるフィーダ型電気部品供給装置２６，２８（以下、電気部品供給装置２６，２８と略称する）が設けられている。
【０００８】
電気部品供給装置２６，２８においては、多数の電気部品供給フィーダ３０（以下、フィーダ３０と略称する）が、各々の部品供給部が一線、本実施形態においてはＸ軸方向に平行な一直線に沿って並ぶ状態で設置される。各フィーダ３０には部品保持テープがセットされる。部品保持テープは、キャリヤテープに等間隔に形成された部品収容凹部の各々に電気部品が収容され、それら部品収容凹部の開口がキャリヤテープに貼り付けられたカバーテープによって塞がれることにより、キャリヤテープ送り時における電気部品の部品収容凹部からの飛びだしが防止されたものである。各フィーダ３０はそれぞれ部品保持テープ送り装置およびカバーテープ巻取装置を有する。これら部品保持テープ送り装置およびカバーテープ巻取装置の駆動源はフィーダ３０に設けられており、部品保持テープは、部品保持テープ送り装置によってＹ軸方向に所定ピッチずつ送られ、カバーテープはカバーテープ巻取装置によってキャリヤテープが剥がされるとともに巻取装置に巻き取られ、電気部品が部品供給位置へ送られる。
【０００９】
電気部品供給装置２６，２８により供給される電気部品３２（図３参照）は、ベース１０上に設けられた電気部品装着システム３４によってプリント配線板２０に装着され、プリント回路板が製造される。
【００１０】
ベース１０上の配線板コンベア２２のＹ軸方向における両側にはそれぞれ、図３に示すようにＸ軸方向に延びるガイドレール４０が設けられ、Ｘ軸スライド４２がガイドブロック４４において移動可能に嵌合されている。Ｘ軸スライド４２は、図１に示すように、一方の電気部品供給装置２６から配線板コンベア２２を越えて他方の電気部品供給装置２８にわたる長さを有し、２個のナット４６（図３には１個のみ示されている）がそれぞれボールねじ４８に螺合され、それらボールねじ４８がそれぞれＸ軸サーボモータ５０によって同期して回転させられることにより、水平なＸ軸方向に移動させられる。ナット４６，ボールねじ４８およびＸ軸サーボモータ５０がＸ軸駆動装置５２を構成し、ガイドレール４０，ガイドブロック４４がＸ軸スライド４２の移動を案内する案内装置５４を構成している。
【００１１】
Ｘ軸スライド４２上には、Ｙ軸スライド５６が、水平面内においてＸ軸方向と直交し、水平面に平行なＹ軸方向に移動可能に設けられている。Ｘ軸スライド４２の垂直な側面５８には、図３に示すように、Ｙ軸方向に延びるボールねじ６０が取り付けられるとともに、Ｙ軸スライド５６がナット６２において螺合されており、ボールねじ６０が図１に示すＹ軸サーボモータ６４によりギヤ６６，６８を介して回転させられることにより、Ｙ軸スライド５６は一対ずつのガイドブロック７０，ガイドレール７２に案内されてＹ軸方向に移動させられる。ボールねじ６０，ナット６２およびＹ軸サーボモータ６４がＹ軸駆動装置７４を構成し、ガイドブロック７０，ガイドレール７２がＹ軸スライド５６の移動を案内する案内装置７６を構成している。
【００１２】
Ｙ軸スライド５６は、製造の都合上、複数の部材に分割されているが、それら複数の部材が互いに組み付けられた状態では一体のＹ軸スライド５６として機能する。本実施形態においては、Ｙ軸スライド５６が移動部材として機能し、Ｘ軸駆動装置５２およびＹ軸駆動装置７４，Ｘ軸スライド４２，Ｙ軸スライド５６の各移動を案内する案内装置５４，７６が主移動装置７８を構成している。本実施形態においては、水平面がプリント配線板２０に平行な移動平面であり、Ｙ軸スライド５６は主移動装置７８により、Ｘ軸スライド４２上において水平面に平行でＸ軸と直交するＹ軸方向に移動させられるとともに、配線板支持装置２４によって水平に支持されたプリント配線板２０に対して、水平面内の任意の位置へ移動させられる。
【００１３】
Ｙ軸スライド５６には、装着ヘッド８０，プリント配線板２０を撮像する撮像装置としてのＣＣＤカメラ８２（図１参照），電気部品を撮像する撮像装置としてのＣＣＤカメラ８４が設けられている。ＣＣＤカメラ８４は、図３に示すように、Ｙ軸スライド５６のＸ軸方向へ突出した突出端部であって、Ｙ軸方向における位置が装着ヘッド８０と一致する位置に下向きに設けられている。
【００１４】
装着ヘッド８０は、回転体９０を備えている。回転体９０は、水平な移動平面に直角な回転軸線である垂直軸線まわりに回転可能に取り付けられている。回転体９０は水平に支持されたプリント配線板２０に直角な回転軸線まわりに回転可能に設けられているのであり、Ｙ軸スライド５６が主移動装置７８によって移動させられることにより、回転体９０は水平面内の任意の位置へ移動させられる。本実施形態の電気部品装着システムは、回転体移動式電気部品装着システムである。
【００１５】
回転体９０は断面形状が円形を成し、軸線方向の一端である上端に被駆動歯車９２が同心に固定されるとともに、回転体回転モータ９４により回転させられる駆動歯車９６に噛み合わされている。回転体回転モータ９４は、Ｙ軸スライド５６に下向きに設けられており、駆動歯車９６は、回転体回転モータ９４の出力軸に連結されている。回転体回転モータ９４の回転は、駆動歯車９６および被駆動歯車９２により回転体９０に伝達され、回転体９０が垂直軸線である自身の軸線まわりに正逆両方向へ任意の角度回転させられる。本実施形態においては、被駆動歯車９２，駆動歯車９６および回転体回転モータ９４が回転体９０を回転させる回転体回転装置９８を構成している。なお、被駆動歯車９２は、回転体９０と別体ではなく、一体に設けてもよい。
【００１６】
回転体９０には、その回転軸線から偏心した位置、本実施形態においては回転軸線を中心とする一円周上の位置に複数、例えば１６個の吸着ノズル１００が回転体９０に対して軸方向、すなわち回転体９０の回転軸線に平行な方向に相対移動可能かつ相対回転不能に保持されている（図３においては、２個のみ示されている）。これら吸着ノズル１００は、回転体９０の回転により回転体９０の回転軸線まわりに旋回させられ、任意の旋回位置へ移動させられる。また、吸着ノズル１００は回転体９０に相対回転不能に保持されており、相異なる旋回位置においては回転位相（各吸着ノズル１００の軸線を中心とする回転位相）を異にする。これら１６個の吸着ノズル１００は回転体９０に、間隔を隔てて、例えば等角度間隔で保持されている。本実施形態においては、１６個の吸着ノズル１００の種類は同じである。
【００１７】
なお、複数個の吸着ノズル１００のうち少なくとも２個を種類の異なるものとし、形状，寸法等が異なる電気部品３２を吸着するようにしてもよい。さらに、吸着ノズル１００は、回転体９０に対して相対移動可能かつ相対回転可能に設けられてもよい。
【００１８】
吸着ノズル１００は、負圧の供給により電気部品３２を吸着し、負圧の供給が絶たれるとともに、正圧が供給されて電気部品３２を解放する。そのため、吸着ノズル１００には、図示しない空気通路形成部材を通って負圧および正圧が供給され、切換バルブ装置１０１（図４参照）により吸着ノズル１００への負圧および正圧の各供給，遮断が行われる。
【００１９】
空気通路形成部材の外側には、回転軸１０８が同心に、かつ空気通路形成部材との間に隙間を隔てて嵌合されている。回転軸１０８は、Ｙ軸スライド５６により、回転体９０の回転軸線と同心の軸線まわりに回転可能かつ軸方向に移動不能に保持されたスリーブ１０９に相対回転不能かつ軸方向に相対移動可能に嵌合されている。回転軸１０８の下端部は、スリーブ１０９から下方へ突出されられ、回転体９０の上方に位置するとともに、係合部材としての当接体１１０が固定されている。当接体１１０は回転軸１０８により、回転体９０に対して回転体９０の回転軸線まわりに相対回転可能かつ回転軸線に平行な方向に相対移動可能に設けられているのである。なお、当接体１１０は、回転軸１０８とは別体でなく、一体に設けてもよい。
【００２０】
スリーブ１０９には、被駆動歯車１１２が同心かつ一体的に設けられており、当接体回転モータ１１３（図４参照）により回転させられる図示しない駆動歯車に噛み合わされている。当接体回転モータ１１３はＹ軸スライド５６に設けられており、当接体回転モータ１１３の回転は、駆動歯車，被駆動歯車１１２によりスリーブ１０９に伝達され、回転軸１０８および当接体１１０が回転体９０に対して、回転体９０の回転軸線まわりに正逆両方向に任意の角度回転させられ、任意の回転位相へ回転させられる。本実施形態においては、当接体回転モータ１１３，被駆動歯車１１２，駆動歯車，回転軸１０８が係合部材回転装置たる当接体回転装置１１４を構成している。
【００２１】
回転軸１０８のスリーブ１０９から突出した上端部には、係合部材たる係合アームが相対回転可能かつ軸方向に相対移動不能に嵌合されている。Ｙ軸スライド５６には、図示しないねじ軸が回転体９０の回転軸線と平行な軸線である垂直軸線まわりに回転可能かつ軸方向に移動不能に設けられるとともに、ナットが螺合されている。係合アームの回転軸１０８からの突出端部はナットに固定されており、回転軸１０８が係合アーム，ナット，ねじ軸を介して、Ｙ軸スライド５６により回転体９０の回転軸線に平行な方向に相対移動可能かつ回転体９０の回転軸線まわりに相対回転可能に保持されている。ねじ軸は、それぞれタイミングプーリである被駆動プーリ，駆動プーリ，タイミングベルトにより伝達される当接体移動モータ１１５の回転により回転させられ、係合アームが移動させられるとともに、回転軸１０８および当接体１１０が回転体９０に対して回転体９０の回転軸線と平行な方向、すなわち上下方向に移動させられる。本実施形態においては、回転軸１０８，ねじ軸，ナット，被駆動プーリ，駆動プーリ，タイミングベルト，当接体移動モータ１１５が当接体移動装置１１６を構成している。
【００２２】
当接体１１０は、１６個の吸着ノズル１００に共通の部材であり、回転軸１０８から、回転軸１０８の半径方向において、吸着ノズル１００に対応する位置へ延び出させられた突部１１７を有しており、突部１１７が吸着ノズルに当接可能とされている。
【００２３】
当接体１１０が当接体回転装置１１４によって回転体９０の回転軸線まわりの任意の回転位相へ回転させられることにより、突部１１７は、回転体９０の任意の回転位相において１６個の吸着ノズル１００の一つに当節により係合可能な任意の旋回位置へ旋回させられる。また、当接体１１０は当接体移動装置１１６によって下降させられることにより、突部１１７が１６個の吸着ノズル１００の一つに当接により係合し、その吸着ノズル１００を下降させ、配線板支持装置２４に接近させる。当接体１１０が上昇させられれば、吸着ノズル１００は配線板支持装置２４から離間させられる。当接体１１０は、電気部品３２の吸着時にも同様に昇降させられ、吸着ノズル１００を電気部品３２に接近させ、フィーダ３０からの離間を許容する。本実施形態においては、電気部品３２の吸着時，装着時のいずれにおいても当接体１１０の昇降距離は同じにされている。これら当接体１１０と、当接体回転装置１１４と、当接体移動装置１１６とにより各吸着ノズル１００を昇降させてフィーダ３０および配線板支持装置２４へ接近・離間させる接近離間装置１１８を構成している。
【００２４】
前記Ｘ軸スライド４２には、図１および図３に示すように２個の反射装置としてのプリズム１２０が固定されている（図３には、プリズム１２０は１個のみ図示されている）。これらプリズム１２０は、Ｘ軸スライド４２の下部のＹ軸方向においてちょうどＸ軸スライド４２を移動させるボールねじ４８に対応する位置であって、電気部品供給装置２６と配線板支持装置２４との間および電気部品供給装置２８と配線板支持装置２４との間の位置に設けられている。
【００２５】
これらプリズム１２０の構成は同じである。プリズム１２０のケーシング１２２は、図３に示すようにＸ軸スライド４２に固定されており、プリズム１２０は、装着ヘッド８０のＹ軸方向の移動経路の真下において、回転体９０の中心線を含む垂直面に対して約４５度傾斜させられ、そのＸ軸スライド４２から遠い側の端部が下方に位置する反射面１２４と、ＣＣＤカメラ８４のＹ軸方向の移動経路の真下の位置に、反射面１２４と垂直面に対して対象に位置する反射面１２６とを有する。プリズム１２０はＣＣＤカメラ８４および回転体９０の移動軌跡に対向する状態で設けられているのである。反射面１２４，１２６の外面にはハーフミラー処理が施され、下方から照射された光を透過させる一方、装着ヘッド８０に照射された光の反射光の大半を反射するようになっている。
【００２６】
Ｘ軸スライド４２にはまた、図３に示すように、プリズム１２０の反射面１２４の下側にフロントライト１２８が図示しない取付部材によって取り付けられ、照明装置を構成している。フロントライト１２８は、プリント配線板１３０に多数の発光ダイオード１３２が固定されて成り、水平に配設されている。フロントライト１２８が照射する光は反射面１２４を透過して電気部品３２を下方から照らし、電気部品３２の表面像（正面像）が取得される。
【００２７】
また、ケーシング１２２のＸ軸スライド４２側とは反対の外側面にはシャッタ１３４が固定されている。シャッタ１３４はＹ軸方向の寸法が反射面１２４，１２６と同じであり、ケーシング１２２から上方へ突出させられるとともに、突出端部はＸ軸スライド４２側に水平に曲げられ、反射面１２６とＣＣＤカメラ８４との間に突出する遮蔽部１３６とされている。また、遮蔽部１３６のＹ軸方向の中央部には切欠１３８が設けられている。したがって、Ｙ軸スライド５６が移動するとき、ＣＣＤカメラ８４は遮蔽部１３６上を移動し、切欠１３８を通過するときに反射面１２６からの反射光が得られるのであり、切欠１３８のＸ軸方向の寸法は、反射面１２６から反射される像形成光を通過させるのに十分な大きさとされ、切欠１３８のＹ軸方向の寸法は、ＣＣＤカメラ８４のＹ軸方向の移動速度ｖに露光時間ｔを掛けた長さｖｔとされている。
【００２８】
本電気部品装着システムは、図４に示す制御手段としての制御装置１５０によって制御される。制御装置１５０は、ＣＰＵ１５２，ＲＯＭ１５４，ＲＡＭ１５６およびそれらを接続するバス１５８を有するコンピュータ１６０を主体とするものである。バス１５８には画像入力インタフェース１６２が接続され、前記ＣＣＤカメラ８２，８４が接続されている。バス１５８にはまた、サーボインタフェース１６４が接続され、Ｘ軸サーボモータ５０を初めとする各種アクチュエータが接続されており、制御装置１５０は、主移動装置７８，回転体回転装置９８および接近離間装置１１８を制御する。バス１５８にはまた、デジタルインタフェース１６６が接続され、操作盤１６が接続されている。バス１５８にはさらに、デジタル出力インタフェース１６８が接続され、配線板コンベア２２，切換バルブ装置１０１が接続されている。なお、Ｘ軸サーボモータ５０，Ｙ軸サーボモータ６４の他、回転体回転モータ９４，当接体回転モータ１１３，当接体移動モータ１１５は、駆動源の一種である電動回転モータであって、回転速度および回転角度の精度のよい制御が可能なモータである。サーボモータに代えてステップモータを用いてもよい。
【００２９】
本電気部品装着システムにより、電気部品３２の代わりに検査用チップ１６９が、プリント配線板２０の代わりに、図５に示す装着精度検出治具としてのガラス基板１７０に装着されて装着精度が検出される。
【００３０】
ガラス基板１７０は、無色透明のガラスからなり、本電気部品装着システムにより電気部品を装着し得る最大のプリント配線板２０以上の寸法（例えば、同一の寸法）とされている。このガラス基板１７０の表面に、装着前後に撮像されてガラス基板１７０の位置を検出するための基準となるフィデューシャルマーク（以下、Ｆマークと略称する）であって、装着前に撮像される位置決め基準点たる２点の装着用Ｆマーク１７２と、装着後に検査用チップ１６９とともに撮像されて装着精度が検出される複数の検出用Ｆマーク１７４とが印刷により形成されている。本実施形態においては、２つの装着用Ｆマーク１７２が、ガラス基板１７０の４隅のうち互いに対向する一対の隅にそれぞれ形成され、複数の検出用Ｆマーク１７４が、検査用チップ１６９（つまり電気部品３２）を装着することができる装着可能範囲に規則的に配列（図示の例ではＸ，Ｙ両方向に千鳥状に配列）されている。検出用Ｆマーク１７４は、検査用チップ１６９が装着される装着位置を中心として、図５に円で示す撮像範囲１７６において、直径方向に隔たった２箇所に位置するように形成されている。なお、検出用Ｆマーク１７４は、それらのうち２点が検査用チップ１６９とともに撮像範囲１７６内に同時に存在するように形成されればよい。なお、装着用Ｆマーク１７２の代わりに、検出用Ｆマーク１７４の一部のもの（例えば、互いに最も離れた２個）を利用することも可能である。
【００３１】
次に作動を説明する。
作業者により、装着精度を検出することが指示されると、配線板支持装置２４にガラス基板１７０がセットされ、検査用チップ１６９が装着される。
ガラス基板１７０に検査用チップ１６９を装着する場合は、プリント配線板２０に電気部品３２を装着する場合と同様に、１６個の吸着ノズル１００は、Ｙ軸スライド５６が主移動装置７８によって移動させられることにより、一方の電気部品供給装置２６へ移動させられ、回転体９０の回転により順次部品吸着位置へ移動させられて検査用チップ１６９を吸着する。電気部品供給装置２６には、検査用チップ１６９を電気部品３２と同様にして供給可能なフィーダ３０が設置されており、そのフィーダ３０から検査用チップ１６９を吸着するのである。吸着ノズル１００の旋回位置のうち、Ｙ軸方向においてフィーダ３０に最も近い位置が部品吸着位置である。検査用チップ１６９の吸着前には、１６個の吸着ノズル１００はいずれも上昇位置に位置する。このとき各吸着ノズル１００には、負圧が供給されている。
【００３２】
検査用チップ１６９の吸着時には、当接体１１０は、突部１１７が部品吸着位置へ移動させられた吸着ノズル１００に対応する旋回位置であって、第１相対旋回位置に位置する回転位相へ回転させられ、突部１１７は、吸着ノズル１００の僅かに上方に位置させられる。
【００３３】
吸着ノズル１００が部品吸着位置へ移動させられるとともに、検査用チップ１６９を供給するフィーダ３０の部品供給位置上へ移動させられた後、当接体１１０が当接体移動装置１１６により下降させられる。それにより吸着ノズル１００が検査用チップ１６９に接近する向きに移動させられる。吸着ノズル１００は、それの先端部が検査用チップ１６９に当接した状態から更に小距離下降させられ、吸着ノズル１００が確実に検査用チップ１６９に当接させられる。吸着ノズル１００は上昇位置に位置する状態においても下降位置に位置する状態においても負圧が供給され、検査用チップ１６９を保持し続ける。
【００３４】
１６個の吸着ノズル１００は順次部品吸着位置へ移動させられ、検査用チップ１６９を吸着する。当接体１１０は、部品吸着位置へ移動させられた吸着ノズル１００に対して、突部１１７が第１相対旋回位置に位置する回転位相に位置させられたままである。全部の吸着ノズル１００が検査用チップ１６９を吸着したならば、それらの吸着ノズル１００は主移動装置７８によってガラス基板１７０へ移動させられ、ガラス基板１７０上の予め定められた部分である部品装着位置に検査用チップ１６９を装着する。１６個の吸着ノズル１００は、Ｘ軸スライド４２およびＹ軸スライド５６の移動により、ガラス基板１７０の部品装着位置上へ移動させられるのであるが、この際、Ｘ軸スライド４２の、フィーダ３０の部品供給位置とプリント配線板２０の部品装着位置との間の位置に固定されているプリズム１２０上を通過する。
【００３５】
フロントライト１２８から照射されて検査用チップ１６９の表面像（正面像）を形成する光は、反射面１２４により反射された後、反射面１２６により上方へ反射される。回転体９０および１６個の吸着ノズル１００を含む装着ヘッド８０がプリズム１２０上を通過するとき、各々検査用チップ１６９を保持した１６個の吸着ノズル１００は反射面１２４上を通り、ＣＣＤカメラ８４は反射面１２６上を通過する。反射面１２６は、１６個の検査用チップ１６９の全部からの反射光をシャッタ１３４の遮蔽部１３６に形成された切欠１３８を通って撮像面に入光させ、その像形成光により、１６個の吸着ノズル１００によりそれぞれ保持された１６個の検査用チップ１６９の全部がＣＣＤカメラ８４により一挙に撮像される。撮像は、回転体９０の移動中に、ＣＣＤカメラ８４を回転体９０と共に移動させつつ行われるのである。
【００３６】
撮像された像のデータに基づいて、コンピュータ１６０において保持位置誤差、即ち検査用チップ１６９の中心位置誤差ΔＸ，ΔＹおよび保持方位誤差Δθが算出される。また、ガラス基板１７０の水平位置誤差ΔＸ’，ΔＹ’はガラス基板１７０に設けられた装着用Ｆマーク１７２を予めＣＣＤカメラ８２によって撮像することにより算出されている。
【００３７】
検査用チップ１６９の中心位置誤差ΔＸ，ΔＹおよびガラス基板１７０の水平位置誤差ΔＸ’，ΔＹ’は、移動部材たるＹ軸スライド５６の移動距離を修正することにより修正され、保持方位誤差Δθは回転体９０を回転させることにより修正される。
【００３８】
回転体９０が回転させられ、吸着ノズル１００が旋回させられるのと並行して当接体１１０が当接体回転装置１１４により回転させられ、突部１１７が旋回させられて、次に装着されるべき検査用チップ１６９を保持している吸着ノズル１００に対応する旋回位置であって、その吸着ノズル１００に対する第２相対旋回位置へ移動させられる。当接体１１０は、突部１１７が吸着ノズル１００に対して第２旋回位置に位置する回転位相へ回転させられるのであり、それにより、ノズル当接部が吸着ノズル１００に対応させられる。
【００３９】
検査用チップ１６９がプリント配線板２０の部品装着位置上へ移動させられ、当接体１１０が、それの突部１１７が上記第２相対旋回位置に位置する回転位相へ回転させられた後、当接体１１０が下降させられる。この際、まず、突部１１７が吸着ノズル１００に当接し、吸着ノズル１００を下降させて配線板支持装置２４に接近させ、検査用チップ１６９をガラス基板１７０上に載置する。当接体１１０は、検査用チップ１６９がガラス基板１７０に当接した状態からさらに小距離下降させられ、検査用チップ１６９がガラス基板１７０に確実に載置される。
【００４０】
吸着ノズル１００が下降させられる間は、吸着ノズル１００に負圧が供給され、検査用チップ１６９がガラス基板１７０に当接する直前に負圧の供給が遮断されるとともに、正圧が供給されて検査用チップ１６９を積極的に解放する。
【００４１】
次にガラス基板１７０に装着される検査用チップ１６９は、同様に、回転体９０の回転とＹ軸スライド５６の移動との組合せにより、保持位置誤差が修正されるとともに、所定の方位でガラス基板１７０の部品装着位置上に位置決めされる。また、当接体１１０は当接体回転装置１１４により回転させられ、突部１１７が旋回させられて、次に検査用チップ１６９を装着する吸着ノズル１００に対して第２相対旋回位置へ移動させられる。当接体１１０の下降により吸着ノズル１００を下降させ検査用チップ１６９をガラス基板１７０に載置するとともに、電磁方向切換弁１０１が切り換えられて、負圧の供給が遮断されるとともに、正圧が供給される。
【００４２】
全部の吸着ノズル１００が検査用チップ１６９をガラス基板１７０に装着したならば、装着ヘッド８０は電気部品供給装置２６へ移動させられ、フィーダ３０から検査用チップ１６９を取り出す。
【００４３】
上記の装着作業が繰り返されて、ガラス基板１７０の、検査用チップ１６９を装着すべき全ての装着位置に検査用チップ１６９が装着されれば、装着された検査用チップ１６９がＣＣＤカメラ８２により撮像されて、実際に装着された実装着位置が取得され、それに基づいて装着精度が検出される。この電気部品装着システムにおいては、装着用Ｆマーク１７２と、装着後の検査用チップ１６９および検出用Ｆマークとが、ともにＣＣＤカメラ８２によって撮像される。本実施形態においては、Ｎ個の検査用チップ１６９がガラス基板１７０の、検査用チップ１６９を装着することができる装着可能範囲全体に規則的に装着されて、その装着精度が検出される（ただし、図５には検査用チップ１６９が３個のみ示されている）。なお、装着精度を検出する際に、検査用チップ１６９は、ガラス基板１７０に１個だけ装着されてもよいし、ガラス基板１７０の４隅に１個ずつ装着されてもよい。
【００４４】
次に装着精度検出について説明する。
図６に、装着精度を検出するための装着精度検出プログラムが、フローチャートで示されている。この装着精度検出プログラムは、作業者により装着精度検出が指示されてから装着精度検出が終了するまで繰り返し実行される。
【００４５】
まず概略的に説明する。
このプログラムは、検査用チップ１６９の装着が終了するまでは、実質的に待機させられ、装着終了が検出されると、検査用チップ１６９の装着精度の検出を開始する。検査用チップ１６９の装着終了は、制御装置１５０により装着終了を示す装着終了信号が出力されることによって確認される。電気部品装着システムにより全ての検査用チップ１６９を装着し終えた後で、それら装着された検査用チップ１６９のうちの１つとその検査用チップ１６９に対応する検出用Ｆマーク１７４とがＣＣＤカメラ８２により同時に撮像される。Ｎ個の検査用チップ１６９全てが順次撮像され、それら撮像により得られた複数の画像データに基づいて、ガラス基板１７０上の各装着位置における装着精度が算出されるとともに、記憶手段に記憶される。本実施形態においては、装着精度が検査用チップ１６９の各装着位置と関連付けてコンピュータに記憶される。以上で、装着精度の検出が終了する。
【００４６】
次に、装着精度検出プログラムをフローチャートに基づいて詳細に説明する。装着精度検出が指示されると、まずステップＳ１（以下、単にＳ１と称する。他のステップについても同じ）において、フラグＦが０であるか否かが判定される。フラグＦは、０のとき装着終了が確認されていないことを示し、１のとき装着終了が既に確認されていることを示す。今回の実行においては、フラグＦは初期値０のままであるのでＳ１の判定はＹＥＳとなり、Ｓ２において、装着終了信号が出力されたか否かが判定される。装着終了信号が出力されていなければ、Ｓ２の判定はＮＯとなり、本プログラムの１回の実行が終了する。これに対して、装着終了信号が出力されていれば、Ｓ２の判定がＹＥＳとなりＳ３においてフラグＦが１とされる。
【００４７】
次に、ガラス基板１７０に装着された検査用チップ１６９と検出用Ｆマーク１７４とが撮像される。
Ｓ４において、次に実行される検査用チップ１６９の撮像の撮像番号ｎが、最後の撮像番号の値であるＮ以下であるか否かが判定されて、検査用チップ１６９の撮像が終了したか否かが判断される。現在の撮像番号ｎがＮ以下である場合は、検査用チップ１６９の撮像が終了していないことを示し、撮像番号ｎがＮより大きい場合は、全ての検査用チップ１６９について撮像が終了したことを示す。なお、撮像番号ｎは、ガラス基板１７０に装着された検査用チップ１６９を撮像する順番を示し、１からＮ、即ち、検査用チップ１６９の数と同数、まで予め定められているものとする。今回の実行においては、まだ検査用チップ１６９の撮像が行われていないので、ｎは初期値ｎ＝１とされており、Ｓ４の判定はＹＥＳとなりＳ５に進む。Ｓ５において、今回撮像すべき撮像番号ｎ（＝１）の検査用チップ１６９がＣＣＤカメラ８２により撮像され、Ｓ６において撮像により取得された画像データに基づいて各装着位置における装着精度が検出される。次にＳ７において、検出された装着精度が、その装着精度が検出された検出位置とともにコンピュータ１６０に記憶され、Ｓ８において、撮像番号ｎに１が加算されて、改めて撮像番号ｎが設定され、本プログラムの１回の実行が終了する。次に本プログラムが実行されると、フラグＦが１とされているのでＳ１の判定がＹＥＳとなり、Ｓ４にスキップしてＳ５ないしＳ８が実行される。
【００４８】
Ｎ個の検査用チップ１６９の撮像および装着精度の検出，記憶が終了した後で、Ｓ４が実行されると、撮像番号ｎがＮ＋１であるのでＳ４の判定がＮＯとなり、Ｓ９において、フラグＦが０とされるとともに撮像番号ｎが１とされて、本プログラムの１回の実行が終了する。
【００４９】
なお、本実施形態においては、装着精度検出が作業者の操作に基づいて行われていたが、一定期間ごとに自動的に行われることとしてもよい。さらに、ガラス基板１７０が配置されたことを関知して、それに基づいて装着精度検出が行われてもよい。
【００５０】
本実施形態の電気部品装着システムにおいては、検査用チップ１６９を全て装着し終えた後で、装着精度を検出する、すなわちガラス基板１７０に装着された検査用チップ１６９を撮像するので、実際に電気部品３２をプリント配線板２０に装着する装着作業を忠実に再現して、装着精度を測定することができる。
【００５１】
これに対して、１個の検査用チップ１６９をガラス基板１７０に装着する毎に、その検査用チップ１６９の装着位置を撮像して、装着精度を検出することもできる。この場合は、装着後すぐに撮像するので、装着不良等により装着後に検査用チップ１６９の位置がずれる可能性があっても、検査用チップ１６９の位置がずれる前に撮像することが可能となり良好なデータを得ることができる。
【００５２】
さらに、本実施形態の電気部品装着システムにおいては、上述の装着精度の検出が予め実行され、その検出された装着精度に基づいて、プリント配線板２０に電気部品３２を装着する際の基礎データが予め補正され、装着が行われる。
【００５３】
一般に、プリント配線板２０に電気部品３２が装着される際には、位置ずれのないプリント配線板２０に電気部品３２を装着する装着位置を示す基礎データが予め定められている。その基礎データが、各電気部品３２およびプリント配線板２０の装着用Ｆマーク１７２を撮像して取得された保持位置誤差ΔＸ，ΔＹ，Δθと、水平位置誤差ΔＸ’，ΔＹ’とに基づいて修正され、電気部品が装着される。本実施形態の電気部品装着システムにおいては、以下に詳細に説明するように、その基礎データが予め装着精度に基づいて補正されて補正データが取得され、その補正データが修正されて、プリント配線板２０に電気部品３２が装着される。
【００５４】
前述のように、装着精度は、その装着精度が検出された検出位置に関連付けて記憶されている。今回装着すべき電気部品の基礎データに含まれるプリント配線板２０上の装着位置に対して、その装着位置に近い検出位置の装着精度に基づいて、装着位置における位置ずれが推定されて基礎データが補正され、補正データが作成される。
【００５５】
具体的には、装着すべき電気部品３２の装着位置に最も近い少なくとも１つの検出位置が選択され、選択された検出位置における装着精度に基づいて、装着位置の基礎データが補正される。なお、その際には、装着位置と検出位置との距離等をも考慮して基礎データが補正されることが望ましい。
【００５６】
さらに、互に隣接する３点の検出位置により三角形が描かれ、それら三角形のうち、三角形の範囲内に今回装着すべき装着位置が含まれるものを選択し、その三角形の各頂点における位置ずれに基づいて、装着位置の位置ずれを推定し、基礎データを補正することもできる。この方法によれば、装着位置に最も近い３つの検出位置における装着精度に基づいて、補正データを作成することができる。
【００５７】
この方法によれば、基礎データを予め補正し、作成された補正データを、従来の装着時における修正と同様に、プリント配線板２０の水平位置誤差ΔＸ’，ΔＹ’と、電気部品３２の中心位置誤差ΔＸ，ΔＹおよび保持方位誤差Δθに基づいて修正することにより、装着精度を向上させることができる。予め補正された補正データを用いることにより、各プリント配線板２０に電気部品３２を装着する際には、従来の装着作業と同様の修正を行えばよいので、制御装置１５０の演算負荷をそれほど増大させることなく装着精度を向上させることができる。
【００５８】
なお、装着精度に基づいた補正は、基礎データがプリント配線板２０の位置と電気部品３２の保持位置および姿勢に基づいて修正された後で行われることとしてもよいし、または、基礎データをプリント配線板２０の水平位置誤差ΔＸ’，ΔＹ’に基づいて修正する際、または、電気部品３２の中心位置誤差ΔＸ，ΔＹおよび保持方位誤差Δθに基づいて修正する際に、同時に補正することとしてもよい。さらに、基礎データに対して装着精度に基づいた補正と、水平位置誤差ΔＸ’，ΔＹ’および中心位置誤差ΔＸ，ΔＹ，保持方位誤差Δθに基づいた補正とが同時に行われてもよい。
【００５９】
本実施形態の電気部品装着システムにおいて、装着精度の検出は、装置の組み立て完了直後に行われてもよいし、さらに、一定期間ごとに検出されてもよい。後者の場合は、部品の経年変化等に起因する装着精度の変化に対応することができる。さらに、連続運転中に複数回にわたって装着精度の検出が行われれば、部品の熱膨張等に起因する装着精度の変化にも対応することが可能となる。
【００６０】
以上の説明から明らかなように、本実施形態においては、検出用Ｆマーク１７４が「第一基準マーク」を構成し、ガラス基板１７０が「装着精度検出治具」を構成し、主移動装置７８が「第一相対移動装置」および「第二相対移動装置」を構成している。なお、上記実施形態においては、検査専用の検査用チップ１６９がガラス基板１７０に装着されたが、電気部品３２自体を検査用チップとして利用することも可能である。
【００６１】
次に、本発明の第２実施形態の電気部品装着システムについて説明する。
本実施形態においては、電気部品装着システムの主な構成要素と、装着精度検出基材たるガラス基板１７０とが先の実施形態と共通し、電気部品装着システムの構成要素の一部と、ガラス基板１７０に装着される検査用チップとが異なるので、異なる部分についてのみ詳細な説明を行い、共通する部分については同じ符号を用いて説明を省略する。
【００６２】
第１の実施形態においては、電気部品装着システムが、プリント配線板２０を固定的に支持するとともに、電気部品３２を保持してプリント配線板２０に装着する装着ヘッド８０をプリント配線板２０の表面に平行な方向に移動させることにより、電気部品３２の装着を行う、所謂回転体移動式電気部品装着システムとされていた。これに対して、本実施形態においては、電気部品装着システム２００は、図７に示すように、ベース１０を有し、そのベース１０に図示しないコラムと固定台とが固定されている。その固定台に、装着ヘッド２０２が設けられている。装着ヘッド２０２は、断面が円形である回転体９０を備え、回転体９０は固定台１４に回転可能にかつ水平方向に移動不能に設けられている。回転体９０に等角度間隔に、かつ、回転体９０の回転軸線に平行に複数の吸着ノズル１００（本実施形態においては１２個）が設けられている。吸着ノズル１００は、回転体９０に設けられた保持穴に相対回転可能、かつ回転体９０の回転軸線に平行な方向に相対移動可能に嵌合されている。回転体９０の回転により、各吸着ノズル１００が部品吸着位置，部品姿勢撮像位置，部品装着位置等に位置させられる。吸着ノズル１００には、空気通路形成部材を通って負圧および正圧が供給され、切換バルブ装置１０１により吸着ノズル１００への負圧および正圧の各供給，遮断が行われる。さらに、図示しないＣＣＤカメラ８２が装着装置に固定的に設けられ、ＣＣＤカメラ９４が前述の部品姿勢撮像位置の吸着ノズル１００に対応する位置に上向きに設けられている。
【００６３】
吸着ノズル１００の部品吸着位置に対応する位置に、電気部品供給装置２０６が配設されている。電気部品供給装置２０６は、前述の電気部品供給装置２６，２８と同様に複数のフィーダ３０を備えるが、本実施形態においては、これらフィーダ３０がＸ軸方向に平行なＤ軸方向に移動可能なＤ軸テーブル２０８に支持されている。Ｄ軸テーブル２０８に、前記Ｘ軸スライド４２と同様に図示しないナットとガイドブロックとが固定的に設けられており、Ｄ軸テーブル２０８は、それらナットとガイドブロックとにおいてボールねじ２１０および２本のガイドレール２１２にそれぞれ嵌合されている。ボールねじ２１０は、それの一方の端部においてＤ軸サーボモータ２１４に連結され、それにより正逆両方向に回転可能とされている。ボールねじ２１０の回転によりＤ軸テーブル２０８がＤ軸方向の任意の位置へ移動させられる。ボールねじ２１０と、ガイドレール２１２と、Ｄ軸サーボモータ２１４とがフィーダ３０を駆動するフィーダ駆動装置２１６を構成している。
電気部品供給装置２０６は、今回電気部品に装着すべき電気部品３２を保持するフィーダ３０が、部品吸着位置の真下に位置するようにフィーダ駆動装置２１６により移動させられる。
【００６４】
プリント配線板２０を支持する配線板支持装置２０４が、水平方向に移動可能に配設されている。本実施形態においては、プリント配線板２０が主移動装置７８により、吸着ヘッド１００に対して水平方向に移動させられて装着が行われる。具体的には、ベース１０にＸ軸駆動装置５２により駆動されるＸ軸テーブル２１８が設けられ、そのＸ軸テーブル２１８上にＹ軸駆動装置７４と、それにより駆動されるＹ軸テーブル２２０とが設けられる。このＹ軸テーブル２２０により、プリント配線板２０が支持されて、水平方向に移動させられる。
【００６５】
先の実施形態においては、ガラス基板１７０に検査用チップ１６９が装着されて装着精度が検出されていたが、本実施形態においては、ガラス基板１７０に検査用チップ２２２が装着されて装着精度が検出される。
【００６６】
図８に検査用チップ２２２がガラス基板１７０に装着された状態で示されている（ただし、ガラス基板１７０は部分的にのみ示されている）。検査用チップ２２２は、線膨張係数が約０．５×１０-6であって無色透明のガラスからなる。本実施形態においては、検査用チップ２２２は石英ガラスからなる。その検査用チップ２２２の表面に、ＣＣＤカメラ８４により撮像された際に、実際に装着されるべき電気部品であって、先の実施形態における電気部品３２より大きいものと同じ像が取得される位置決め基準部としての形象２２４が印刷されている。本実施形態においては、その形象２２４の大きさが、図に円で示すＣＣＤカメラ８２により一度に撮像することができる撮像範囲１７６より大きいものとされている。形象２２４は、装着されるべき電気部品と同じ像が取得されるように、その電気部品の本体と同じ像が得られるように印刷された一定の幅を有する四角形の枠である本体部２２６と、その本体の側面から側方へ突出した複数のリードと同じ像が取得されるリード部２２８とにより形成されている。形象２２４は、本体部２２６の内側の印刷されない無色透明の部分を囲むように形成されている。その無色透明の部分が、ガラス基板１７０に装着された際に、その下に位置するガラス基板１７０を透視することができる透視可能部２３２とされている。
【００６７】
検査用チップ２２２は、さらに、透視可能部２３２の中央において、装着精度を検出する際に基準とされる第二基準マークとしての第二基準像２３４が印刷されている。前述の形象２２４と第二基準像２３４とは、ともに黒色で印刷されている。第二基準像２３４は、長方形に形成され、装着後にＣＣＤカメラ８２により撮像される際に、先の実施形態における検査用チップ１６９と同じ像が取得される形状とされている。なお、第二基準像２３４は、長手形状であればよいが、円形等に形成することもできる。後者の場合は、１点では保持方位誤差Δθが検出できない形状であるので、２個以上の像が同時に撮像されるように形成されることが望ましい。
【００６８】
次に作動について説明する。電気部品装着システム２００により検査用チップ２２２をガラス基板１７０に装着する作動は、第１の実施形態とほぼ共通しているので、簡単に説明する。
【００６９】
部品吸着位置に位置する吸着ノズル１００により、検査用チップ２２２が保持されると、回転体９０が回転させられて、検査用チップ２２２を保持している吸着ノズル１００が、部品姿勢撮像位置へ移動させられる。部品撮像位置において、ＣＣＤカメラ８４により形象２２４の一部が撮像されて、それの中心位置誤差ΔＸ，ΔＹと保持方位誤差Δθとが検出される。ガラス基板１７０の装着用Ｆマーク１７２がＣＣＤカメラ８２により予め撮像されて水平位置誤差ΔＸ’，ΔＹ’が検出されている。吸着ノズル１００が部品装着位置へ移動させられるとともに、保持方位誤差Δθを解消するように吸着ノズル１００が回転させられ、その間に、ガラス基板１７０の装着位置が中心位置誤差ΔＸ，ΔＹと、水平位置誤差ΔＸ’，ΔＹ’とに基づいて修正され、修正された装着位置が部品装着位置にある吸着ノズル１００の下に位置するように、ガラス基板１７０が移動させられて、検査用チップ２２２がガラス基板１７０に装着される。
【００７０】
検査用チップ２２２の装着が終了すれば、ＣＣＤカメラ８２により、検査用チップ２２２の第二基準像２３４と検出用Ｆマーク１７４とが同時に撮像されて装着精度が検出される。検査用チップ２２２が大きいために、ガラス基板１７０の検出用Ｆマーク１７４が検査用チップ２２２の下に位置することとなるが、検査用チップ２２２の、検出用Ｆマーク１７４と対応する部分が透視可能部２３２とされているので、検査用チップ２２２の下の検出用Ｆマーク１７４を撮像することができる。したがって、本実施形態においても、検査用チップ２２２の第二基準像２３４と、ガラス基板１７０の検出用Ｆマーク１７４とをＣＣＤカメラ８２により同時に撮像することができるので、先の実施形態と同様に信頼性の高い装着精度を検出することができる。
【００７１】
本実施形態の検査用チップ２２２によれば、第二基準像２３４を長方形とすることにより、装着位置の水平方向位置ずれだけでなく、回転位置ずれをも検出することができる。
なお、検査用チップ２２２と前記検査用チップ１６９との両方を使用して装着精度の検出が行われるようにしてもよく、その場合には、想定されている電気部品は異なるにもかかわらず、検出用Ｆマーク１７４との相対位置が検出される部分（第二基準像２３４と検査用チップ１６９）の形状，寸法が同じであるため、装着精度の検出のために同一のプログラムを使用することができて好都合である。
【００７２】
なお、検査用チップ２２２は、ガラス基板１７０に対して１個のみ装着されて、その装着位置における装着精度が検出されてもよいし、複数個装着されてガラス基板１７０の装着可能範囲における装着精度の傾向が検出されてもよい。複数個の検査用チップ２２２が装着される場合は、先の実施形態におけると同様に、すべての検査用チップ２２２が装着された後で、撮像されることとしてもよいし、検査用チップ２２２が装着されるごとに検出用Ｆマーク１７４と第２基準像２３４とが撮像されてもよい。
【００７３】
なお、検査用チップ２２２の代わりに、別の検査用チップ２４０を用いることも可能である。その検査用チップ２４０が、ガラス基板１７０に装着された状態で図９に示されている（ただし、ガラス基板１７０は一部分のみ示されている）。その検査用チップ２４０は、上述の検査用チップ２２２と同様に線膨張係数が約０．５×１０-6であって無色透明の石英ガラスからなり、電気部品と同じ像が得られるように形象２４２が印刷されている。この形象２４２は、電気部品の本体と同じ像が取得されるように内側が塗りつぶされた四辺形（正方形）の本体部２４４と、本体の側面から側方へ突出する複数のリードと同じ像が取得されるリード部２４６とから形成されている。この形象２４２は、それの内側が塗りつぶされており、したがって、検査用チップ２４０は、形象２４２の外側部分のみが無色透明の透視可能部２４８とされている。形象２４２の本体部２４４の範囲内において、形象２４２の色、例えば黒色と対照的な色で、装着精度を検出する際に基準とされる第二基準マーク２５０が形成される。本実施形態においては、第二基準マーク２５０は無色透明であり、本体部２４４の４隅のうち一本の対角線上にある２つの隅にそれぞれ一点ずつ形成されている。
【００７４】
この検査用チップ２４０を装着するガラス基板１７０は、それの検査用チップ２４０を装着すべき装着位置付近であって、検査用チップ２４０が装着された際に形象２４２より外側に位置する部分に、検出用Ｆマーク１７４が形成されている。図９に示すガラス基板１７０においては、検出用Ｆマーク１７４が、形象２４２の外側であって、２つの第二基準マーク２５０の位置する２つの隅付近にそれぞれ１つずつ形成されている。
【００７５】
この検査用チップ２４０をガラス基板１７０に装着する装着作業は、検査用チップ２２２をガラス基板１７０に装着する場合と共通しているので説明を省略する。
【００７６】
さらに、検査用チップ２４０を用いて装着精度を検出する作動は、検査用チップに形成された前述の第二基準マーク２５０を撮像する撮像工程のみ異なり、他の工程については検査用チップ２２２を用いる場合と共通しているので、共通する工程の説明を省略し、異なる工程についてのみ説明する。
【００７７】
この検査用チップ２４０は、図に円で示すＣＣＤカメラ８２の撮像範囲１７６の大きさに対して、２つの第二基準マーク２５０の間隔が離れているので、２つの第二基準マーク２５０と２つの検出用Ｆマーク１７４とをＣＣＤカメラ８２において同時に撮像することが不可能である。そこで本実施形態においては、まず、一方の隅における検出用Ｆマーク１７４と第二基準マーク２５０とを同時に撮像し、次に他方の隅における検出用Ｆマーク１７４と第二基準マーク２５０とを同時に撮像する。１つの検査用チップ２４０につき、２つの画像が取得され、それら２つの画像の検出用Ｆマーク１７４に基づいて、１つの画像が再構築され、検査用チップ２４０の装着誤差が検出される。
【００７８】
このように、検査用チップ２４０を用いて二か所に分けて検出用Ｆマーク１７４と第二基準マーク２５０とを撮像すれば、ＣＣＤカメラ８２の視野に入りきらない大きさの電気部品を装着することを想定した場合の装着精度を検出することができる。第二基準マーク２５０は、形象２４２の縁辺部であって、ＣＣＤカメラ８２の撮像範囲１７６に、その第二基準マーク２５０を含む状態で透視可能部２４８を撮像することができる位置であればどこでも作成することが可能である。しかし、縁辺部のうち辺の中央に設けると仮定すると本体部２４４の隅におけるよりリード部２４６が多く撮像されるので、それらリード部２４６の像と検出用Ｆマーク１７４とを識別することが困難となり、検出用Ｆマーク１７４を誤認識する可能性が高くなる。これに対して、本体部２４４の隅に第二基準Ｆマーク２５０を設けて検出用Ｆマーク１７４とともに撮像すれば、その画像にはリード部２４６の像が少ないので、検出用Ｆマーク１７４を容易に認識することが可能となる。
【００７９】
この検査用チップ２４０によれば、前述の検査用チップ２２２より大きな形象を有する場合に、二か所に分けて撮像することにより、それの装着精度を検出することができる。
【００８０】
さらに別の検査用チップ３００を用いることも可能である。その検査用チップ３００が、ガラス基板１７０に装着された状態を図１０に示す（ただし、ガラス基板１７０は一部分のみ図示）。検査用チップ３００は、上述の検査用チップ２４０と同様に線膨張係数が約０．５×１０-6であって無色透明の石英ガラスからなり、電気部品と同じ像が得られるように形象３０２が印刷されている。この形象３０２は、電気部品の本体と同じ像が取得されるように内側が黒色で塗りつぶされた四辺形（正方形）の本体部３０４と、本体の側面から側方へ突出する複数のリードと同じ像が取得されるリード部３０６とから形成されている。本体部３０４の４隅のうち一本の対角線上にある２つの隅に無色透明の透視可能部３０８がそれぞれ形成されている。透視可能部３０８は円形であって、大きさが、ガラス基板１７０に形成された検出用Ｆマーク１７４の大きさより十分に大きくされており、透視可能部３０８の下に位置する検出用Ｆマーク１７４を透視して検出することができる。これら透視可能部３０８と検出用Ｆマーク１７４とが同時に撮像されることにより、検査用チップ３００のガラス基板１７０に対する位置が検出される。具体的には、透視可能部３０８の外形に基づいて検査用チップ３００の位置が検出され、検出用Ｆマークに基づいてガラス基板の位置が検出される。本実施形態においては、透視可能部３０８が「第二基準マーク」を兼ねているのである。
【００８１】
この検査用チップ３００を用いて装着精度が検出される場合は、１個の検査用チップ３００に形成された２個の透視可能部３０８が同時に１つのカメラにより撮像されるようにしてもよいし、透視可能部３０８が１つずつ撮像されて２つの画像が取得され、それら２つの画像における２組の検出用Ｆマーク１７４および透視可能部３０８の相対位置に基づいて検査用チップ３００の装着誤差が検出されるようにしてもよい。
【００８２】
この態様によれば、形象３０２のうちのリード部３０６を撮像しないか、または撮像しても無視すればよく、検査用チップ２４０に比較して単純な形状を処理して透視可能部３０８と検出用Ｆマーク１７４とを検出すればよいので計算負荷が小さくて済む。
また、本態様によれば、第二基準マークとしての透視可能部３０８が前述の第二基準マーク２５０より大きいので、それの境界線に基づいてより多くの画像データを取得することが可能となり、透視可能部３０８の汚れ等に起因する検査精度の低下を良好に回避することができる。
さらに、本態様によれば、検査用チップ２２２と検査用チップ２４０との間の大きさの電気部品を想定して装着精度を検査することができる。
【００８３】
本実施形態においては、形象２２４，２４２，３０２がそれぞれ「位置決め基準部」を構成している。
【００８４】
以上、本発明のいくつかの実施形態を詳細に説明したが、これはあくまでも例示であり、本発明は、前記〔発明が解決しようとする課題，課題解決手段および発明の効果〕の項に記載された態様を始めとして、当業者の知識に基づいて種々の変更，改良を施した形態で実施することができる。
【００８５】
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明を実施可能な電気部品装着システムを示す平面図である。
【図２】上記電気部品装着システムを示す正面図である。
【図３】上記電気部品装着システムの吸着ノズルおよび回転体を当接体回転装置とともに示す正面図（一部断面）である。
【図４】上記電気部品装着システムを制御する制御装置のうち、本発明に関連の深い部分を概念的に示すブロック図である。
【図５】本実施形態におけるガラス基板を示す平面図である。
【図６】本実施形態における装着精度検出プログラムを示すフローチャートである。
【図７】本発明を実施可能な別の電気部品装着システムを示す平面図である。
【図８】上記実施形態における検査用チップを示す平面図である。
【図９】上記実施形態における別の検査用チップを示す平面図である。
【図１０】上記実施形態における更に別の検査用チップを示す平面図である。
【符号の簡単な説明】
２０：プリント配線板 ２４：配線板支持装置 ３２：電気部品 ４２：Ｘ軸スライド ５２：Ｘ軸駆動装置 ５６：Ｙ軸スライド ７４：Ｙ軸駆動装置 ８０：装着ヘッド ８２，８４：ＣＣＤカメラ １６９：検査用チップ １７０：ガラス基板 １７２：装着用Ｆマーク １７４：検出用Ｆマーク １７６：撮像範囲 ２２２，２４０，３００：検査用チップ ２２４，２４２，３０２：形象 ２３２，２４８，３０８：透視可能部 ２３４：第二基準像 ２５０：第二基準マーク
【発明の属する技術分野】
本発明は、装着装置による装着部材の被装着基材への装着精度を撮像装置を使用して検出するための装着精度検出治具セット、その治具セットを含む装着装置およびその治具セットを使用する装着精度検出方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
近年、電気部品のリード線間隔の短縮や、装着密度の向上などの要求を満たすために、電気部品の装着精度の向上が強く求められている。装着精度を向上させるためには、まず装着位置誤差を検出することが必要であり、装着位置誤差検出装置（以下、誤差検出装置と略称する）が既に知られている。その一例が、特開平４−３４４４１１号公報に記載されている。この誤差検出装置は、 (a)検査用チップと、 (b)その検査用チップが装着される被装着基材としての検査用基材と、 (c)その検査用基材に装着装置により装着された検査用チップを撮像する撮像装置と、 (d)その撮像装置により撮像された検査用チップの像のデータを基準データと比較して装着誤差を演算する演算手段とを含むように構成されている。この誤差検出装置は、単独で誤差検出専用の装置として構成することも、装着装置の一部として構成することも可能とされている。
【０００３】
この誤差検出装置においては、検査用基材に装着された複数の検査用チップが順次撮像され、その画像データと予め設定された基準データとが比較されて誤差が検出される。撮像装置に対して検査用基材をそれの表面に平行な方向に送ることと、その撮像位置にある検査用チップを撮像することとを繰り返して、画像データが取得されるのである。しかし、このようにして検出された誤差には、装着誤差のほかに検査用チップを撮像するために検査用基材を送る際に生じる送り誤差が含まれているので、予め別に取得された送り誤差が検出された誤差から除かれて、最終的な装着誤差が取得される。具体的には、送り誤差を検出するために、基準マークの設けられた送り誤差検出用基材が用意され、誤差検出装置において、それを検査用チップが撮像される場合と同様に送りながら、基準マークが撮像されて送り誤差が測定され、それに基づいて前述の誤差が補正され、最終的な装着誤差が取得されるのである。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題，課題解決手段および発明の効果】
上述のように、従来の誤差検出装置においては、装着位置誤差検出時の送り誤差が含まれた状態で、装着位置誤差が検出されることが不可避であるため、送り誤差が予め測定され、それに基づいて装着位置誤差が補正されていた。そのため、装着位置誤差を取得するのに時間がかかるとともに、装着位置誤差の検出精度の向上が困難であるという問題があった。さらに、装着位置誤差と送り誤差とが別に測定されるので、それぞれの測定において、検査用基材と基準板とを測定装置に固定する際の固定位置ずれの差である固定誤差を排除することができないという問題もあった。
【０００５】
本発明は、以上の事情を背景とし、装着位置誤差の検出時に、上述の送り誤差および固定誤差の影響を回避することを課題として為されたものであり、本発明によって、装着部材を被装着基材に装着する装着装置の装着精度を撮像装置を使用して検出するために使用される装着精度検出治具とその装着精度検出治具に装着される検査用チップとを含む装着精度検出治具セットであって、前記検査用チップが、(a)不透明な材料により形成された不透明部と、(b)その不透明部に、その不透明部により囲まれた状態で形成され、当該検査用チップが前記装着精度検出治具に装着された状態で、前記不透明部の一方の側から他方の側の前記装着精度検出治具を透視可能な透視可能部とを含むことを特徴とする装着精度検出治具セットが得られる。
本発明に係る装着精度検出治具セットにおいて、透視可能部を請求項２ないし１７に記載の種々の態様で利用することにより、装着精度検出治具セットの製造を容易にしたり、装着装置の装着精度検出を容易にし、あるいは検出の精度を向上させたりする種々の効果が得られる。
また、下記各態様の装着精度検出治具，装着精度検出方法および装着装置が得られる。各態様は請求項と同様に、項に区分し、各項に番号を付し、必要に応じて他の項の番号を引用する形式で記載する。これは、あくまでも本発明の理解を容易にするためであり、本明細書に記載の技術的特徴やそれらの組合せが以下の態様に限定されると解釈されるべきではない。また、１つの項に複数の事項が記載されている場合、常にそれら事項をすべて一緒に採用しなければならないわけではなく、一部の事項のみを取り出して採用することも可能である。
なお、下記の項の中には、補正により特許請求の範囲に記載の発明でも、その発明の下位概念の発明でもなくなったものも存在するが、特許請求の範囲に記載の発明を理解する上で有用な記載を含んでいるため、そのまま残すこととする。
（１）装着部材を被装着基材に装着する装着装置の装着精度を検出するために使用される装着精度検出治具であって、
前記装着装置に取り付けられ、その装着装置により前記装着部材またはそれに代わる検査用チップが装着されるとともに、前記装着精度を検出するための基準である少なくとも２つの基準マークが、１つの撮像装置により、前記装着された装着部材または検査用チップの少なくとも一部と同時に撮像可能な位置に形成された装着精度検出治具。
装着部材または検査用チップを本項に記載の装着精度検出治具に装着し、その装着部材と少なくとも２つの基準マークとを１つの撮像装置により同時に撮像することによって、装着精度検出治具と装着部材との相対位置を取得し、その情報に基づいて装着位置誤差を検出することができる。このようにして検出された装着位置誤差には、前述の装着位置誤差検出のための送り誤差（撮像装置と装着精度検出治具との相対送り誤差）が含まれないので、装着精度検出の信頼性（精度）が向上する。また、予め送り誤差を求めることと、送り誤差の分を取り除くこととが不要となるので、その分装着精度の検出能率が向上する。
なお、装着部材または検査用チップが装着された装着精度検出治具を、専用の装着精度検出装置に取り付け、装着精度を検出することも可能であるが、撮像装置と、その撮像装置と装着精度検出治具とを相対移動させる相対移動装置とを装着装置に設ければ、装着装置自体に自身の装着精度を検出させることが可能となり、装着精度検出専用の装置を設けることが不要となって、コストを低減させることができる。その上、装着部材を装着精度検出治具に装着する装着作業に続いて撮像を行えば、装着精度検出治具と撮像装置とを装着精度検出のために相対移動させることが不要となり、検出に要する時間を短縮することができる。装着部材を装着するために保持する保持具と、装着精度検出治具とを相対移動させる第一相対移動装置と、撮像装置と装着精度検出治具とを相対移動させる第二相対移動装置とを別個に設けることも可能であるが、両者を兼用とすれば、装置コストの低減を図ることができる。
（２）前記装着部材または検査用チップの少なくとも一部と共に撮像可能な少なくとも２つの基準マークが、互いに異なる位置に複数組形成された (1)項に記載の装着精度検出治具。
本項に記載の装着精度検出治具においては、それの複数組の基準マークに対してそれぞれ装着部材または検査用チップを装着し、それら装着部材の装着精度をそれぞれ検出すれば、装着装置の複数の場所における装着精度を検出することが可能となる。
（３）前記装着部材または検査用チップの少なくとも一部と共に撮像可能な少なくとも２つの基準マークが、互いに異なる位置に複数組形成され、それら複数組の基準マークの各組が、前記装着装置の装着可能範囲の少なくとも４隅に配置された (1)項または (2)項に記載の装着精度検出治具。
本項に記載の装着精度検出治具においては、それに装着部材を装着して、装着精度を４隅についてそれぞれ検出すれば、それら４隅の装着精度に基づいて装着可能範囲全体の装着精度の傾向を推定することが可能となる。
（４）前記複数組の基準マークの各組が、前記装着装置の装着可能範囲の略全体にわたって等間隔で配置された (3)項に記載の装着精度検出治具。
本項に記載の装着精度検出治具においては、それに装着部材を装着して、装着精度をそれぞれ検出すれば、装着可能範囲全体の装着精度の傾向をさらに詳しく把握することが可能となる。
（５）前記装着装置が、前記装着部材としての電気部品を前記被装着基材としてのプリント基板に装着する電気部品装着装置である装着精度検出治具。
（６）線膨張係数が２０×１０-6以下の材料から成る (1)項ないし (5)項に記載の装着精度検出治具。
線膨張係数が２０×１０-6以下の金属から成るものとすることも可能であるが、１０×１０-6以下のガラス，セラミックス等から成るものとすることが望ましく、５×１０-6以下、さらに２×１０-6以下のガラス，セラミックス等から成るものとすることが望ましい。
（７） (1)項に記載の検査用チップであって、
前記装着精度検出治具に装着される際の位置決めの基準となる位置決め基準部と、
装着後に、前記少なくとも２つの基準マークである第一基準マークと同時に撮像可能な位置に形成された少なくとも１つの第二基準マークと
を備えた検査用チップ。
本項に記載の検査用チップを、前記 (1)項ないし (6)項に記載の装着精度検出治具に装着して、第一基準マークと第二基準マークとを同時に撮像すれば、その画像データに基づいて、装着部材を装着する場合と同様に、装着位置誤差検出のための送り誤差の影響を受けずに装着精度を検出することができる。電気部品等、装着部材は一般に寸法公差が大きく、実際の電気部品を装着精度検出治具に装着して装着精度の検出を行えば、電気部品の寸法誤差が装着精度に含まれてしまうので、寸法誤差を無視できるように形成された検査用チップを用いることが望ましい。
なお、位置決め基準部と第２基準マークとは、別個に設けられてもよいし、兼用とされてもよい。
（８）当該検査用チップが、前記装着位置検出治具に装着された状態で、当該検査用チップの下になる前記第一基準マークを透視可能な透視可能部を備えた (7)項に記載の検査用チップ。
本項に記載の検査用チップは、透視可能部を設けることにより、第一基準マークが検査用チップの下になる場合であっても、第一基準マークと第二基準マークとを同時に撮像することができる。この透視可能部は、例えば、装着された際に第一基準マークに対向する部分のみに形成されてもよいし、検査用チップのうち、位置決め部および第二基準マーク以外の全ての部分に形成されてもよい。
（９）前記透視可能部が透明材料から成る (8)項に記載の検査用チップ。
透視可能部を、検査用チップを厚さ方向に貫通する貫通部とすることも可能であるが、透明材料から成るものとすることも可能である。後者の場合、例えば、検査用チップ全体を透明材料から成るものとし、その表面に、撮像により装着部材と同じ像が得られる形象を印刷すれば、検査用チップを容易に精度良く量産することができる。
（１０）前記位置決め基準部が、前記撮像装置により撮像された際に、実際に装着されるべき装着部材の位置決め基準部と同じ像が取得される輪郭を有する (7)項ないし (9)項のいずれかに記載の検査用チップ。
本項に記載の検査用チップを装着精度検出治具に装着すれば、装着部材を被装着基材に装着する装着作業を忠実に実行した上で、その装着作業の装着精度を検出することができる。位置決め基準部は、装着部材の輪郭のうち少なくとも位置決めに必要な部分が形成されればよい。
（１１）前記位置決め基準部が、実際に装着されるべき装着部材としての電気部品の側面より側方へ突出した複数のリードと同じ像が取得される形象である(10)項に記載の検査用チップ。
（１２）前記第二基準マークが、前記透視可能部の範囲内であって、前記第一基準マークと重ならない部分に設けられた (7)項ないし(11)項のいずれかに記載の検査用チップ。
本項に記載の検査用チップを、前述の装着精度検出治具に装着すれば、第一基準マークと第二基準マークとがともに透視可能部の範囲内において撮像される。（１３）前記透視可能部が、前記位置決め基準部の内側に設けらた(12)項に記載の検査用チップ。
位置決め基準部が、十分に大きい場合は、透視可能部を位置決め基準部の内側に設けることができる。
（１４）前記透視可能部が、前記位置決め基準部の外側に設けられた(12)項に記載の検査用チップ。
（１５）前記第二基準マークが、前記位置決め基準部の範囲内であって、前記第一基準マークと同時に撮像される位置に設けられた (7)項ないし(11)項のいずれかに記載の検査用チップ。
本項に記載の検査用チップにおいては、第二基準マークは背景である位置決め基準部と異なる明度，色彩等光学的特性を有する状態で形成されればよく、例えば、位置決め基準部が黒色である場合には、白，黄色または透明とされることが望ましい。これに対して、位置決め基準部が透視可能部として透明材料により形成され、その位置決め基準部の周囲と第二基準マークとが不透明、例えば黒色にされてもよい。
（１６）前記第二基準マークが長方形である (7)項ないし(15)項のいずれかに記載の検査用チップ。
第二基準マークが１個のみ設けられる場合に、それが長方形など長手形状とされれば、第一基準マークと共同して装着部材と被装着基材との垂直軸線まわりの回転位置ずれを検出することができる。第二基準マークは、例えば、装着部材と同じ像が撮像される形象に形成されてもよい。
（１７）前記第二基準マークが円形である (7)項ないし(15)項のいずれかに記載の検査用チップ。
（１８）前記円形の第二基準マークが複数形成された(17)項に記載の検査用チップ。
第二基準マークが円形であっても、複数形成されれば、装着精度検出治具に対するＸ軸方向とＹ軸方向とのずれに加えて、垂直軸線まわりの回転位置ずれを測定することができる。本項に記載の検査用チップにおいて、それら複数の第二基準マークと前述の少なくとも２つの第一基準マークとが同時に１つの撮像装置により撮像されるようにしてもよいし、第二基準マークの一部のもの（例えば１個）が、少なくとも１つの第一基準マークとともに撮像されるようにしてもよい。後者の場合は、少なくとも二組の第一基準マークと第二基準マークとが撮像されることが望ましい。
（１９）線膨張係数が２０×１０-6以下の材料から成る (7)項ないし(18)項に記載の検査用チップ。
線膨張係数が２０×１０-6以下の金属から成るものとすることも可能であるが、１０×１０-6以下のガラス，セラミックス等から成るものとすることが望ましく、５×１０-6以下、さらに２×１０-6以下のガラス，セラミックス等から成るものとすることが望ましい。
（２０）装着部材を被装着基材に装着する装着装置の装着精度を検出するために使用される装着精度検出治具と検査用チップとを含む装着精度検出治具セットであって、
前記装着精度検出治具が、前記装着装置に取り付けられ、その装着装置により前記検査用チップが装着されるとともに、前記装着精度を検出するための基準である少なくとも２つの基準マークが、装着された検査用チップの少なくとも一部と共に撮像可能な位置に形成されたものであることを特徴とする装着精度検出治具セット。
本項に記載の装着精度検出治具セットにおいては、例えば、検査用チップを黒色、装着精度検出治具を白，黄色または透明として、検査用チップを撮像する際のコントラストを良くする事が望ましい。
(2)項ないし (6)項に記載の装着精度検出治具と (7)項ないし(19)項に記載の検査用チップとは、適宜の組み合わせで本項の装着精度検出治具セットの構成要素として採用可能である。
（２１）装着部材を被装着基材に装着する装着装置の装着精度を検出する方法であって、
前記装着装置により、前記装着部材を (1)項ないし (6)項のいずれかに記載の装着精度検出治具に取り付ける装着工程と、
その装着工程において取り付けられた装着部材と、装着精度検出治具の前記少なくとも２つの基準マークとを、撮像装置により、同時に撮像する撮像工程と、
その撮像工程において取得された画像のデータを、画像処理装置により処理することによって、前記装着部材の前記少なくとも２つの基準マークに対する相対位置に基づいて、装着部材の装着位置誤差を取得する画像処理工程と
を含むことを特徴とする装着装置の装着精度検出方法。
本項に記載の装着精度検出方法においては、装着精度検出治具を用いることにより、装着装置の装着精度を容易にかつ正確に検出することができる。特に、撮像工程を、装着装置に設けられた撮像装置を用いて行う場合には、装着装置に装着精度を検出するための構成要素を追加することなく、制御ソフトを変更することにより、装着精度を検出することが可能となる。
（２２）装着部材を被装着基材に装着する装着装置の装着精度を検出する方法であって、
前記装着装置により、 (7)項ないし(19)項のいずれかに記載の検査用チップを(1) 項ないし (6)項のいずれかに記載の装着精度検出治具に取り付ける装着工程と、
撮像装置により、装着精度検出治具の前記少なくとも２つの基準マークである第一基準マークと、前記装着工程において取り付けられた検査用チップの前記第二基準マークとを同時に撮像する撮像工程と、
その撮像工程において取得された画像のデータを、画像処理装置により処理することによって、前記第二基準マークの前記第一基準マークに対する相対位置に基づいて、装着部材の装着位置誤差を取得する画像処理工程と
を含むことを特徴とする装着装置の装着精度検出方法。
（２３）装着部材を被装着基材に装着する装着装置の装着精度をコンピュータにより検出するためのプログラムであって、
前記装着装置により、前記装着部材またはそれに代わる検査用チップを (1)項ないし (6)項のいずれかに記載の装着精度検出治具に取り付ける装着ステップと、
その装着ステップにおいて取り付けられた装着部材または検査用チップの少なくとも一部と、装着精度検出治具の前記少なくとも２つの基準マークとを、１つの撮像装置により、同時に撮像する撮像ステップと、
その撮像ステップにおいて取得された画像のデータを、画像処理装置により処理することによって、前記装着部材の前記少なくとも２つの基準マークに対する相対位置に基づいて、前記装着装置の装着位置誤差を取得する画像処理ステップとを含む装着精度検出用プログラムがコンピュータにより読み取り可能な状態で格納された記録媒体。
例えば、本項に記載の装着精度検出用プログラムの全部を装着装置に実行させれば、装着装置に自身の装着精度を検出させることができる。本プログラムを、既存の装着装置に実行させれば、それら既存の装着装置に自身の装着精度を検出させることが可能となるのである。検出された装着精度は、装着装置の精度評価に用いられてもよいし、装着装置の調整に用いられてもよい。
（２４）前記検査用チップが、 (7)項ないし(19)項のいずれかに記載の検査用チップであり、前記撮像ステップが、前記撮像装置により、前記装着精度検出治具の前記少なくとも２つの基準マークである第一基準マークと、前記装着ステップにおいて取り付けられた前記検査用チップの前記第二基準マークとを同時に撮像するステップであり、前記画像処理ステップが、前記画像における前記第二基準マークの前記第一基準マークに対する相対位置に基づいて、前記装着装置の装着位置誤差を取得するステップである(23)項に記載の記録媒体。
（２５）装着部材を保持する保持具と、
被装着基材を支持する基材支持装置と、
それら保持具と基材支持装置とを相対移動させる第一相対移動装置と、
予め定められた制御データによって前記第一相対移動装置を制御することにより、保持具に保持された装着部材を基材支持装置に支持された被装着基材に装着させる制御装置とを含む装着装置において、
前記基材支持装置に支持された被装着基材を局部的に撮像可能な視野を有する撮像装置と、
その撮像装置と前記基材支持装置とを相対移動させる第二相対移動装置と、
前記基材支持装置に取り付けられ、前記保持具に保持された前記装着部材またはそれに代わる検査用チップが装着されるとともに、装着された装着部材または検査用チップの少なくとも一部と同時に前記撮像装置により撮像可能な位置に少なくとも２つの基準マークが形成された装着精度検出治具と、
前記撮像装置により撮像された装着部材または検査用チップの少なくとも一部と少なくとも２つの基準マークとの画像のデータを処理することによって、当該装着装置の装着位置誤差を取得する画像処理装置と、
その画像処理装置により取得された装着位置誤差、またはその装着位置誤差を補正するための補正量のデータを記憶する記憶手段と、
その記憶手段に記憶された装着位置誤差または補正量のデータに基づいて前記制御データを補正する補正手段と
を設けたことを特徴とする装着装置。
本項に記載の装着装置は、検出した装着位置誤差に基づいて制御データを補正して装着作業を行うため、高い装着精度が得られる。装着位置誤差は、主として制御データに対する第一相対移動装置による実際の相対移動量の誤差に起因して発生するが、補正手段により制御データが補正されることにより、第一相対移動装置による相対移動量が本来あるべき大きさに制御されるのである。また、装着装置が、保持具による装着部材の保持位置誤差を、撮像装置による撮像等によって検出し、その保持位置誤差を制御データの補正によって除去する機能を有する場合に、その機能の一般的特性に起因して発生する装着位置誤差も、制御データの補正によって軽減することができる。
なお、この装着装置において、装着位置誤差または補正量は、予め複数種類の被装着基材に対応する装着位置誤差検出治具に、装着部材または検査用チップを装着するテストが行われ、そのテストにおいて求められた値が用いられるようにすることができる。または、ある種類の被装着基材に装着する作業を開始する直前に装着位置誤差検出治具を用いたテストが実行されて求められるようにしてもよいし、一定の被装着基材への装着が行われる毎にテストが行われて求められるようにしてもよい。また、装着位置誤差検出治具とを用いた装着位置誤差の検出は、被装着基材の各種類に対してそれぞれ行われるようにしてもよいし、装着装置の一般的な傾向を把握するように行われて、その傾向に基づいて各種類の被装着基材に対する制御データの補正が行われるようにしてもよい。
【０００６】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて詳細に説明する。
図２は本発明を実施可能な電気部品装着システムの一例を示す正面図である。この電気部品装着システムは、特願平１１−９５２５６号に記載されているものと同じである。この電気部品装着システムは、ベース１０を備え、そのベース１０上には複数本のコラム１２が立設されている。コラム１２上に固定の固定台１４に操作盤１６等が設けられている。ベース１０上にはまた、図１に示すように、プリント配線板２０をＸ軸方向（図１および図２において左右方向）に搬送する配線板搬送装置である配線板コンベア２２が設けられている。プリント配線板２０は配線板コンベア２２により搬送され、配線板支持装置２４により予め定められた位置に水平な姿勢で位置決めされ、支持される。
【０００７】
ベース１０の水平面内においてＸ軸方向と直交するＹ軸方向の両側にはそれぞれ、電気部品供給装置の一種であるフィーダ型電気部品供給装置２６，２８（以下、電気部品供給装置２６，２８と略称する）が設けられている。
【０００８】
電気部品供給装置２６，２８においては、多数の電気部品供給フィーダ３０（以下、フィーダ３０と略称する）が、各々の部品供給部が一線、本実施形態においてはＸ軸方向に平行な一直線に沿って並ぶ状態で設置される。各フィーダ３０には部品保持テープがセットされる。部品保持テープは、キャリヤテープに等間隔に形成された部品収容凹部の各々に電気部品が収容され、それら部品収容凹部の開口がキャリヤテープに貼り付けられたカバーテープによって塞がれることにより、キャリヤテープ送り時における電気部品の部品収容凹部からの飛びだしが防止されたものである。各フィーダ３０はそれぞれ部品保持テープ送り装置およびカバーテープ巻取装置を有する。これら部品保持テープ送り装置およびカバーテープ巻取装置の駆動源はフィーダ３０に設けられており、部品保持テープは、部品保持テープ送り装置によってＹ軸方向に所定ピッチずつ送られ、カバーテープはカバーテープ巻取装置によってキャリヤテープが剥がされるとともに巻取装置に巻き取られ、電気部品が部品供給位置へ送られる。
【０００９】
電気部品供給装置２６，２８により供給される電気部品３２（図３参照）は、ベース１０上に設けられた電気部品装着システム３４によってプリント配線板２０に装着され、プリント回路板が製造される。
【００１０】
ベース１０上の配線板コンベア２２のＹ軸方向における両側にはそれぞれ、図３に示すようにＸ軸方向に延びるガイドレール４０が設けられ、Ｘ軸スライド４２がガイドブロック４４において移動可能に嵌合されている。Ｘ軸スライド４２は、図１に示すように、一方の電気部品供給装置２６から配線板コンベア２２を越えて他方の電気部品供給装置２８にわたる長さを有し、２個のナット４６（図３には１個のみ示されている）がそれぞれボールねじ４８に螺合され、それらボールねじ４８がそれぞれＸ軸サーボモータ５０によって同期して回転させられることにより、水平なＸ軸方向に移動させられる。ナット４６，ボールねじ４８およびＸ軸サーボモータ５０がＸ軸駆動装置５２を構成し、ガイドレール４０，ガイドブロック４４がＸ軸スライド４２の移動を案内する案内装置５４を構成している。
【００１１】
Ｘ軸スライド４２上には、Ｙ軸スライド５６が、水平面内においてＸ軸方向と直交し、水平面に平行なＹ軸方向に移動可能に設けられている。Ｘ軸スライド４２の垂直な側面５８には、図３に示すように、Ｙ軸方向に延びるボールねじ６０が取り付けられるとともに、Ｙ軸スライド５６がナット６２において螺合されており、ボールねじ６０が図１に示すＹ軸サーボモータ６４によりギヤ６６，６８を介して回転させられることにより、Ｙ軸スライド５６は一対ずつのガイドブロック７０，ガイドレール７２に案内されてＹ軸方向に移動させられる。ボールねじ６０，ナット６２およびＹ軸サーボモータ６４がＹ軸駆動装置７４を構成し、ガイドブロック７０，ガイドレール７２がＹ軸スライド５６の移動を案内する案内装置７６を構成している。
【００１２】
Ｙ軸スライド５６は、製造の都合上、複数の部材に分割されているが、それら複数の部材が互いに組み付けられた状態では一体のＹ軸スライド５６として機能する。本実施形態においては、Ｙ軸スライド５６が移動部材として機能し、Ｘ軸駆動装置５２およびＹ軸駆動装置７４，Ｘ軸スライド４２，Ｙ軸スライド５６の各移動を案内する案内装置５４，７６が主移動装置７８を構成している。本実施形態においては、水平面がプリント配線板２０に平行な移動平面であり、Ｙ軸スライド５６は主移動装置７８により、Ｘ軸スライド４２上において水平面に平行でＸ軸と直交するＹ軸方向に移動させられるとともに、配線板支持装置２４によって水平に支持されたプリント配線板２０に対して、水平面内の任意の位置へ移動させられる。
【００１３】
Ｙ軸スライド５６には、装着ヘッド８０，プリント配線板２０を撮像する撮像装置としてのＣＣＤカメラ８２（図１参照），電気部品を撮像する撮像装置としてのＣＣＤカメラ８４が設けられている。ＣＣＤカメラ８４は、図３に示すように、Ｙ軸スライド５６のＸ軸方向へ突出した突出端部であって、Ｙ軸方向における位置が装着ヘッド８０と一致する位置に下向きに設けられている。
【００１４】
装着ヘッド８０は、回転体９０を備えている。回転体９０は、水平な移動平面に直角な回転軸線である垂直軸線まわりに回転可能に取り付けられている。回転体９０は水平に支持されたプリント配線板２０に直角な回転軸線まわりに回転可能に設けられているのであり、Ｙ軸スライド５６が主移動装置７８によって移動させられることにより、回転体９０は水平面内の任意の位置へ移動させられる。本実施形態の電気部品装着システムは、回転体移動式電気部品装着システムである。
【００１５】
回転体９０は断面形状が円形を成し、軸線方向の一端である上端に被駆動歯車９２が同心に固定されるとともに、回転体回転モータ９４により回転させられる駆動歯車９６に噛み合わされている。回転体回転モータ９４は、Ｙ軸スライド５６に下向きに設けられており、駆動歯車９６は、回転体回転モータ９４の出力軸に連結されている。回転体回転モータ９４の回転は、駆動歯車９６および被駆動歯車９２により回転体９０に伝達され、回転体９０が垂直軸線である自身の軸線まわりに正逆両方向へ任意の角度回転させられる。本実施形態においては、被駆動歯車９２，駆動歯車９６および回転体回転モータ９４が回転体９０を回転させる回転体回転装置９８を構成している。なお、被駆動歯車９２は、回転体９０と別体ではなく、一体に設けてもよい。
【００１６】
回転体９０には、その回転軸線から偏心した位置、本実施形態においては回転軸線を中心とする一円周上の位置に複数、例えば１６個の吸着ノズル１００が回転体９０に対して軸方向、すなわち回転体９０の回転軸線に平行な方向に相対移動可能かつ相対回転不能に保持されている（図３においては、２個のみ示されている）。これら吸着ノズル１００は、回転体９０の回転により回転体９０の回転軸線まわりに旋回させられ、任意の旋回位置へ移動させられる。また、吸着ノズル１００は回転体９０に相対回転不能に保持されており、相異なる旋回位置においては回転位相（各吸着ノズル１００の軸線を中心とする回転位相）を異にする。これら１６個の吸着ノズル１００は回転体９０に、間隔を隔てて、例えば等角度間隔で保持されている。本実施形態においては、１６個の吸着ノズル１００の種類は同じである。
【００１７】
なお、複数個の吸着ノズル１００のうち少なくとも２個を種類の異なるものとし、形状，寸法等が異なる電気部品３２を吸着するようにしてもよい。さらに、吸着ノズル１００は、回転体９０に対して相対移動可能かつ相対回転可能に設けられてもよい。
【００１８】
吸着ノズル１００は、負圧の供給により電気部品３２を吸着し、負圧の供給が絶たれるとともに、正圧が供給されて電気部品３２を解放する。そのため、吸着ノズル１００には、図示しない空気通路形成部材を通って負圧および正圧が供給され、切換バルブ装置１０１（図４参照）により吸着ノズル１００への負圧および正圧の各供給，遮断が行われる。
【００１９】
空気通路形成部材の外側には、回転軸１０８が同心に、かつ空気通路形成部材との間に隙間を隔てて嵌合されている。回転軸１０８は、Ｙ軸スライド５６により、回転体９０の回転軸線と同心の軸線まわりに回転可能かつ軸方向に移動不能に保持されたスリーブ１０９に相対回転不能かつ軸方向に相対移動可能に嵌合されている。回転軸１０８の下端部は、スリーブ１０９から下方へ突出されられ、回転体９０の上方に位置するとともに、係合部材としての当接体１１０が固定されている。当接体１１０は回転軸１０８により、回転体９０に対して回転体９０の回転軸線まわりに相対回転可能かつ回転軸線に平行な方向に相対移動可能に設けられているのである。なお、当接体１１０は、回転軸１０８とは別体でなく、一体に設けてもよい。
【００２０】
スリーブ１０９には、被駆動歯車１１２が同心かつ一体的に設けられており、当接体回転モータ１１３（図４参照）により回転させられる図示しない駆動歯車に噛み合わされている。当接体回転モータ１１３はＹ軸スライド５６に設けられており、当接体回転モータ１１３の回転は、駆動歯車，被駆動歯車１１２によりスリーブ１０９に伝達され、回転軸１０８および当接体１１０が回転体９０に対して、回転体９０の回転軸線まわりに正逆両方向に任意の角度回転させられ、任意の回転位相へ回転させられる。本実施形態においては、当接体回転モータ１１３，被駆動歯車１１２，駆動歯車，回転軸１０８が係合部材回転装置たる当接体回転装置１１４を構成している。
【００２１】
回転軸１０８のスリーブ１０９から突出した上端部には、係合部材たる係合アームが相対回転可能かつ軸方向に相対移動不能に嵌合されている。Ｙ軸スライド５６には、図示しないねじ軸が回転体９０の回転軸線と平行な軸線である垂直軸線まわりに回転可能かつ軸方向に移動不能に設けられるとともに、ナットが螺合されている。係合アームの回転軸１０８からの突出端部はナットに固定されており、回転軸１０８が係合アーム，ナット，ねじ軸を介して、Ｙ軸スライド５６により回転体９０の回転軸線に平行な方向に相対移動可能かつ回転体９０の回転軸線まわりに相対回転可能に保持されている。ねじ軸は、それぞれタイミングプーリである被駆動プーリ，駆動プーリ，タイミングベルトにより伝達される当接体移動モータ１１５の回転により回転させられ、係合アームが移動させられるとともに、回転軸１０８および当接体１１０が回転体９０に対して回転体９０の回転軸線と平行な方向、すなわち上下方向に移動させられる。本実施形態においては、回転軸１０８，ねじ軸，ナット，被駆動プーリ，駆動プーリ，タイミングベルト，当接体移動モータ１１５が当接体移動装置１１６を構成している。
【００２２】
当接体１１０は、１６個の吸着ノズル１００に共通の部材であり、回転軸１０８から、回転軸１０８の半径方向において、吸着ノズル１００に対応する位置へ延び出させられた突部１１７を有しており、突部１１７が吸着ノズルに当接可能とされている。
【００２３】
当接体１１０が当接体回転装置１１４によって回転体９０の回転軸線まわりの任意の回転位相へ回転させられることにより、突部１１７は、回転体９０の任意の回転位相において１６個の吸着ノズル１００の一つに当節により係合可能な任意の旋回位置へ旋回させられる。また、当接体１１０は当接体移動装置１１６によって下降させられることにより、突部１１７が１６個の吸着ノズル１００の一つに当接により係合し、その吸着ノズル１００を下降させ、配線板支持装置２４に接近させる。当接体１１０が上昇させられれば、吸着ノズル１００は配線板支持装置２４から離間させられる。当接体１１０は、電気部品３２の吸着時にも同様に昇降させられ、吸着ノズル１００を電気部品３２に接近させ、フィーダ３０からの離間を許容する。本実施形態においては、電気部品３２の吸着時，装着時のいずれにおいても当接体１１０の昇降距離は同じにされている。これら当接体１１０と、当接体回転装置１１４と、当接体移動装置１１６とにより各吸着ノズル１００を昇降させてフィーダ３０および配線板支持装置２４へ接近・離間させる接近離間装置１１８を構成している。
【００２４】
前記Ｘ軸スライド４２には、図１および図３に示すように２個の反射装置としてのプリズム１２０が固定されている（図３には、プリズム１２０は１個のみ図示されている）。これらプリズム１２０は、Ｘ軸スライド４２の下部のＹ軸方向においてちょうどＸ軸スライド４２を移動させるボールねじ４８に対応する位置であって、電気部品供給装置２６と配線板支持装置２４との間および電気部品供給装置２８と配線板支持装置２４との間の位置に設けられている。
【００２５】
これらプリズム１２０の構成は同じである。プリズム１２０のケーシング１２２は、図３に示すようにＸ軸スライド４２に固定されており、プリズム１２０は、装着ヘッド８０のＹ軸方向の移動経路の真下において、回転体９０の中心線を含む垂直面に対して約４５度傾斜させられ、そのＸ軸スライド４２から遠い側の端部が下方に位置する反射面１２４と、ＣＣＤカメラ８４のＹ軸方向の移動経路の真下の位置に、反射面１２４と垂直面に対して対象に位置する反射面１２６とを有する。プリズム１２０はＣＣＤカメラ８４および回転体９０の移動軌跡に対向する状態で設けられているのである。反射面１２４，１２６の外面にはハーフミラー処理が施され、下方から照射された光を透過させる一方、装着ヘッド８０に照射された光の反射光の大半を反射するようになっている。
【００２６】
Ｘ軸スライド４２にはまた、図３に示すように、プリズム１２０の反射面１２４の下側にフロントライト１２８が図示しない取付部材によって取り付けられ、照明装置を構成している。フロントライト１２８は、プリント配線板１３０に多数の発光ダイオード１３２が固定されて成り、水平に配設されている。フロントライト１２８が照射する光は反射面１２４を透過して電気部品３２を下方から照らし、電気部品３２の表面像（正面像）が取得される。
【００２７】
また、ケーシング１２２のＸ軸スライド４２側とは反対の外側面にはシャッタ１３４が固定されている。シャッタ１３４はＹ軸方向の寸法が反射面１２４，１２６と同じであり、ケーシング１２２から上方へ突出させられるとともに、突出端部はＸ軸スライド４２側に水平に曲げられ、反射面１２６とＣＣＤカメラ８４との間に突出する遮蔽部１３６とされている。また、遮蔽部１３６のＹ軸方向の中央部には切欠１３８が設けられている。したがって、Ｙ軸スライド５６が移動するとき、ＣＣＤカメラ８４は遮蔽部１３６上を移動し、切欠１３８を通過するときに反射面１２６からの反射光が得られるのであり、切欠１３８のＸ軸方向の寸法は、反射面１２６から反射される像形成光を通過させるのに十分な大きさとされ、切欠１３８のＹ軸方向の寸法は、ＣＣＤカメラ８４のＹ軸方向の移動速度ｖに露光時間ｔを掛けた長さｖｔとされている。
【００２８】
本電気部品装着システムは、図４に示す制御手段としての制御装置１５０によって制御される。制御装置１５０は、ＣＰＵ１５２，ＲＯＭ１５４，ＲＡＭ１５６およびそれらを接続するバス１５８を有するコンピュータ１６０を主体とするものである。バス１５８には画像入力インタフェース１６２が接続され、前記ＣＣＤカメラ８２，８４が接続されている。バス１５８にはまた、サーボインタフェース１６４が接続され、Ｘ軸サーボモータ５０を初めとする各種アクチュエータが接続されており、制御装置１５０は、主移動装置７８，回転体回転装置９８および接近離間装置１１８を制御する。バス１５８にはまた、デジタルインタフェース１６６が接続され、操作盤１６が接続されている。バス１５８にはさらに、デジタル出力インタフェース１６８が接続され、配線板コンベア２２，切換バルブ装置１０１が接続されている。なお、Ｘ軸サーボモータ５０，Ｙ軸サーボモータ６４の他、回転体回転モータ９４，当接体回転モータ１１３，当接体移動モータ１１５は、駆動源の一種である電動回転モータであって、回転速度および回転角度の精度のよい制御が可能なモータである。サーボモータに代えてステップモータを用いてもよい。
【００２９】
本電気部品装着システムにより、電気部品３２の代わりに検査用チップ１６９が、プリント配線板２０の代わりに、図５に示す装着精度検出治具としてのガラス基板１７０に装着されて装着精度が検出される。
【００３０】
ガラス基板１７０は、無色透明のガラスからなり、本電気部品装着システムにより電気部品を装着し得る最大のプリント配線板２０以上の寸法（例えば、同一の寸法）とされている。このガラス基板１７０の表面に、装着前後に撮像されてガラス基板１７０の位置を検出するための基準となるフィデューシャルマーク（以下、Ｆマークと略称する）であって、装着前に撮像される位置決め基準点たる２点の装着用Ｆマーク１７２と、装着後に検査用チップ１６９とともに撮像されて装着精度が検出される複数の検出用Ｆマーク１７４とが印刷により形成されている。本実施形態においては、２つの装着用Ｆマーク１７２が、ガラス基板１７０の４隅のうち互いに対向する一対の隅にそれぞれ形成され、複数の検出用Ｆマーク１７４が、検査用チップ１６９（つまり電気部品３２）を装着することができる装着可能範囲に規則的に配列（図示の例ではＸ，Ｙ両方向に千鳥状に配列）されている。検出用Ｆマーク１７４は、検査用チップ１６９が装着される装着位置を中心として、図５に円で示す撮像範囲１７６において、直径方向に隔たった２箇所に位置するように形成されている。なお、検出用Ｆマーク１７４は、それらのうち２点が検査用チップ１６９とともに撮像範囲１７６内に同時に存在するように形成されればよい。なお、装着用Ｆマーク１７２の代わりに、検出用Ｆマーク１７４の一部のもの（例えば、互いに最も離れた２個）を利用することも可能である。
【００３１】
次に作動を説明する。
作業者により、装着精度を検出することが指示されると、配線板支持装置２４にガラス基板１７０がセットされ、検査用チップ１６９が装着される。
ガラス基板１７０に検査用チップ１６９を装着する場合は、プリント配線板２０に電気部品３２を装着する場合と同様に、１６個の吸着ノズル１００は、Ｙ軸スライド５６が主移動装置７８によって移動させられることにより、一方の電気部品供給装置２６へ移動させられ、回転体９０の回転により順次部品吸着位置へ移動させられて検査用チップ１６９を吸着する。電気部品供給装置２６には、検査用チップ１６９を電気部品３２と同様にして供給可能なフィーダ３０が設置されており、そのフィーダ３０から検査用チップ１６９を吸着するのである。吸着ノズル１００の旋回位置のうち、Ｙ軸方向においてフィーダ３０に最も近い位置が部品吸着位置である。検査用チップ１６９の吸着前には、１６個の吸着ノズル１００はいずれも上昇位置に位置する。このとき各吸着ノズル１００には、負圧が供給されている。
【００３２】
検査用チップ１６９の吸着時には、当接体１１０は、突部１１７が部品吸着位置へ移動させられた吸着ノズル１００に対応する旋回位置であって、第１相対旋回位置に位置する回転位相へ回転させられ、突部１１７は、吸着ノズル１００の僅かに上方に位置させられる。
【００３３】
吸着ノズル１００が部品吸着位置へ移動させられるとともに、検査用チップ１６９を供給するフィーダ３０の部品供給位置上へ移動させられた後、当接体１１０が当接体移動装置１１６により下降させられる。それにより吸着ノズル１００が検査用チップ１６９に接近する向きに移動させられる。吸着ノズル１００は、それの先端部が検査用チップ１６９に当接した状態から更に小距離下降させられ、吸着ノズル１００が確実に検査用チップ１６９に当接させられる。吸着ノズル１００は上昇位置に位置する状態においても下降位置に位置する状態においても負圧が供給され、検査用チップ１６９を保持し続ける。
【００３４】
１６個の吸着ノズル１００は順次部品吸着位置へ移動させられ、検査用チップ１６９を吸着する。当接体１１０は、部品吸着位置へ移動させられた吸着ノズル１００に対して、突部１１７が第１相対旋回位置に位置する回転位相に位置させられたままである。全部の吸着ノズル１００が検査用チップ１６９を吸着したならば、それらの吸着ノズル１００は主移動装置７８によってガラス基板１７０へ移動させられ、ガラス基板１７０上の予め定められた部分である部品装着位置に検査用チップ１６９を装着する。１６個の吸着ノズル１００は、Ｘ軸スライド４２およびＹ軸スライド５６の移動により、ガラス基板１７０の部品装着位置上へ移動させられるのであるが、この際、Ｘ軸スライド４２の、フィーダ３０の部品供給位置とプリント配線板２０の部品装着位置との間の位置に固定されているプリズム１２０上を通過する。
【００３５】
フロントライト１２８から照射されて検査用チップ１６９の表面像（正面像）を形成する光は、反射面１２４により反射された後、反射面１２６により上方へ反射される。回転体９０および１６個の吸着ノズル１００を含む装着ヘッド８０がプリズム１２０上を通過するとき、各々検査用チップ１６９を保持した１６個の吸着ノズル１００は反射面１２４上を通り、ＣＣＤカメラ８４は反射面１２６上を通過する。反射面１２６は、１６個の検査用チップ１６９の全部からの反射光をシャッタ１３４の遮蔽部１３６に形成された切欠１３８を通って撮像面に入光させ、その像形成光により、１６個の吸着ノズル１００によりそれぞれ保持された１６個の検査用チップ１６９の全部がＣＣＤカメラ８４により一挙に撮像される。撮像は、回転体９０の移動中に、ＣＣＤカメラ８４を回転体９０と共に移動させつつ行われるのである。
【００３６】
撮像された像のデータに基づいて、コンピュータ１６０において保持位置誤差、即ち検査用チップ１６９の中心位置誤差ΔＸ，ΔＹおよび保持方位誤差Δθが算出される。また、ガラス基板１７０の水平位置誤差ΔＸ’，ΔＹ’はガラス基板１７０に設けられた装着用Ｆマーク１７２を予めＣＣＤカメラ８２によって撮像することにより算出されている。
【００３７】
検査用チップ１６９の中心位置誤差ΔＸ，ΔＹおよびガラス基板１７０の水平位置誤差ΔＸ’，ΔＹ’は、移動部材たるＹ軸スライド５６の移動距離を修正することにより修正され、保持方位誤差Δθは回転体９０を回転させることにより修正される。
【００３８】
回転体９０が回転させられ、吸着ノズル１００が旋回させられるのと並行して当接体１１０が当接体回転装置１１４により回転させられ、突部１１７が旋回させられて、次に装着されるべき検査用チップ１６９を保持している吸着ノズル１００に対応する旋回位置であって、その吸着ノズル１００に対する第２相対旋回位置へ移動させられる。当接体１１０は、突部１１７が吸着ノズル１００に対して第２旋回位置に位置する回転位相へ回転させられるのであり、それにより、ノズル当接部が吸着ノズル１００に対応させられる。
【００３９】
検査用チップ１６９がプリント配線板２０の部品装着位置上へ移動させられ、当接体１１０が、それの突部１１７が上記第２相対旋回位置に位置する回転位相へ回転させられた後、当接体１１０が下降させられる。この際、まず、突部１１７が吸着ノズル１００に当接し、吸着ノズル１００を下降させて配線板支持装置２４に接近させ、検査用チップ１６９をガラス基板１７０上に載置する。当接体１１０は、検査用チップ１６９がガラス基板１７０に当接した状態からさらに小距離下降させられ、検査用チップ１６９がガラス基板１７０に確実に載置される。
【００４０】
吸着ノズル１００が下降させられる間は、吸着ノズル１００に負圧が供給され、検査用チップ１６９がガラス基板１７０に当接する直前に負圧の供給が遮断されるとともに、正圧が供給されて検査用チップ１６９を積極的に解放する。
【００４１】
次にガラス基板１７０に装着される検査用チップ１６９は、同様に、回転体９０の回転とＹ軸スライド５６の移動との組合せにより、保持位置誤差が修正されるとともに、所定の方位でガラス基板１７０の部品装着位置上に位置決めされる。また、当接体１１０は当接体回転装置１１４により回転させられ、突部１１７が旋回させられて、次に検査用チップ１６９を装着する吸着ノズル１００に対して第２相対旋回位置へ移動させられる。当接体１１０の下降により吸着ノズル１００を下降させ検査用チップ１６９をガラス基板１７０に載置するとともに、電磁方向切換弁１０１が切り換えられて、負圧の供給が遮断されるとともに、正圧が供給される。
【００４２】
全部の吸着ノズル１００が検査用チップ１６９をガラス基板１７０に装着したならば、装着ヘッド８０は電気部品供給装置２６へ移動させられ、フィーダ３０から検査用チップ１６９を取り出す。
【００４３】
上記の装着作業が繰り返されて、ガラス基板１７０の、検査用チップ１６９を装着すべき全ての装着位置に検査用チップ１６９が装着されれば、装着された検査用チップ１６９がＣＣＤカメラ８２により撮像されて、実際に装着された実装着位置が取得され、それに基づいて装着精度が検出される。この電気部品装着システムにおいては、装着用Ｆマーク１７２と、装着後の検査用チップ１６９および検出用Ｆマークとが、ともにＣＣＤカメラ８２によって撮像される。本実施形態においては、Ｎ個の検査用チップ１６９がガラス基板１７０の、検査用チップ１６９を装着することができる装着可能範囲全体に規則的に装着されて、その装着精度が検出される（ただし、図５には検査用チップ１６９が３個のみ示されている）。なお、装着精度を検出する際に、検査用チップ１６９は、ガラス基板１７０に１個だけ装着されてもよいし、ガラス基板１７０の４隅に１個ずつ装着されてもよい。
【００４４】
次に装着精度検出について説明する。
図６に、装着精度を検出するための装着精度検出プログラムが、フローチャートで示されている。この装着精度検出プログラムは、作業者により装着精度検出が指示されてから装着精度検出が終了するまで繰り返し実行される。
【００４５】
まず概略的に説明する。
このプログラムは、検査用チップ１６９の装着が終了するまでは、実質的に待機させられ、装着終了が検出されると、検査用チップ１６９の装着精度の検出を開始する。検査用チップ１６９の装着終了は、制御装置１５０により装着終了を示す装着終了信号が出力されることによって確認される。電気部品装着システムにより全ての検査用チップ１６９を装着し終えた後で、それら装着された検査用チップ１６９のうちの１つとその検査用チップ１６９に対応する検出用Ｆマーク１７４とがＣＣＤカメラ８２により同時に撮像される。Ｎ個の検査用チップ１６９全てが順次撮像され、それら撮像により得られた複数の画像データに基づいて、ガラス基板１７０上の各装着位置における装着精度が算出されるとともに、記憶手段に記憶される。本実施形態においては、装着精度が検査用チップ１６９の各装着位置と関連付けてコンピュータに記憶される。以上で、装着精度の検出が終了する。
【００４６】
次に、装着精度検出プログラムをフローチャートに基づいて詳細に説明する。装着精度検出が指示されると、まずステップＳ１（以下、単にＳ１と称する。他のステップについても同じ）において、フラグＦが０であるか否かが判定される。フラグＦは、０のとき装着終了が確認されていないことを示し、１のとき装着終了が既に確認されていることを示す。今回の実行においては、フラグＦは初期値０のままであるのでＳ１の判定はＹＥＳとなり、Ｓ２において、装着終了信号が出力されたか否かが判定される。装着終了信号が出力されていなければ、Ｓ２の判定はＮＯとなり、本プログラムの１回の実行が終了する。これに対して、装着終了信号が出力されていれば、Ｓ２の判定がＹＥＳとなりＳ３においてフラグＦが１とされる。
【００４７】
次に、ガラス基板１７０に装着された検査用チップ１６９と検出用Ｆマーク１７４とが撮像される。
Ｓ４において、次に実行される検査用チップ１６９の撮像の撮像番号ｎが、最後の撮像番号の値であるＮ以下であるか否かが判定されて、検査用チップ１６９の撮像が終了したか否かが判断される。現在の撮像番号ｎがＮ以下である場合は、検査用チップ１６９の撮像が終了していないことを示し、撮像番号ｎがＮより大きい場合は、全ての検査用チップ１６９について撮像が終了したことを示す。なお、撮像番号ｎは、ガラス基板１７０に装着された検査用チップ１６９を撮像する順番を示し、１からＮ、即ち、検査用チップ１６９の数と同数、まで予め定められているものとする。今回の実行においては、まだ検査用チップ１６９の撮像が行われていないので、ｎは初期値ｎ＝１とされており、Ｓ４の判定はＹＥＳとなりＳ５に進む。Ｓ５において、今回撮像すべき撮像番号ｎ（＝１）の検査用チップ１６９がＣＣＤカメラ８２により撮像され、Ｓ６において撮像により取得された画像データに基づいて各装着位置における装着精度が検出される。次にＳ７において、検出された装着精度が、その装着精度が検出された検出位置とともにコンピュータ１６０に記憶され、Ｓ８において、撮像番号ｎに１が加算されて、改めて撮像番号ｎが設定され、本プログラムの１回の実行が終了する。次に本プログラムが実行されると、フラグＦが１とされているのでＳ１の判定がＹＥＳとなり、Ｓ４にスキップしてＳ５ないしＳ８が実行される。
【００４８】
Ｎ個の検査用チップ１６９の撮像および装着精度の検出，記憶が終了した後で、Ｓ４が実行されると、撮像番号ｎがＮ＋１であるのでＳ４の判定がＮＯとなり、Ｓ９において、フラグＦが０とされるとともに撮像番号ｎが１とされて、本プログラムの１回の実行が終了する。
【００４９】
なお、本実施形態においては、装着精度検出が作業者の操作に基づいて行われていたが、一定期間ごとに自動的に行われることとしてもよい。さらに、ガラス基板１７０が配置されたことを関知して、それに基づいて装着精度検出が行われてもよい。
【００５０】
本実施形態の電気部品装着システムにおいては、検査用チップ１６９を全て装着し終えた後で、装着精度を検出する、すなわちガラス基板１７０に装着された検査用チップ１６９を撮像するので、実際に電気部品３２をプリント配線板２０に装着する装着作業を忠実に再現して、装着精度を測定することができる。
【００５１】
これに対して、１個の検査用チップ１６９をガラス基板１７０に装着する毎に、その検査用チップ１６９の装着位置を撮像して、装着精度を検出することもできる。この場合は、装着後すぐに撮像するので、装着不良等により装着後に検査用チップ１６９の位置がずれる可能性があっても、検査用チップ１６９の位置がずれる前に撮像することが可能となり良好なデータを得ることができる。
【００５２】
さらに、本実施形態の電気部品装着システムにおいては、上述の装着精度の検出が予め実行され、その検出された装着精度に基づいて、プリント配線板２０に電気部品３２を装着する際の基礎データが予め補正され、装着が行われる。
【００５３】
一般に、プリント配線板２０に電気部品３２が装着される際には、位置ずれのないプリント配線板２０に電気部品３２を装着する装着位置を示す基礎データが予め定められている。その基礎データが、各電気部品３２およびプリント配線板２０の装着用Ｆマーク１７２を撮像して取得された保持位置誤差ΔＸ，ΔＹ，Δθと、水平位置誤差ΔＸ’，ΔＹ’とに基づいて修正され、電気部品が装着される。本実施形態の電気部品装着システムにおいては、以下に詳細に説明するように、その基礎データが予め装着精度に基づいて補正されて補正データが取得され、その補正データが修正されて、プリント配線板２０に電気部品３２が装着される。
【００５４】
前述のように、装着精度は、その装着精度が検出された検出位置に関連付けて記憶されている。今回装着すべき電気部品の基礎データに含まれるプリント配線板２０上の装着位置に対して、その装着位置に近い検出位置の装着精度に基づいて、装着位置における位置ずれが推定されて基礎データが補正され、補正データが作成される。
【００５５】
具体的には、装着すべき電気部品３２の装着位置に最も近い少なくとも１つの検出位置が選択され、選択された検出位置における装着精度に基づいて、装着位置の基礎データが補正される。なお、その際には、装着位置と検出位置との距離等をも考慮して基礎データが補正されることが望ましい。
【００５６】
さらに、互に隣接する３点の検出位置により三角形が描かれ、それら三角形のうち、三角形の範囲内に今回装着すべき装着位置が含まれるものを選択し、その三角形の各頂点における位置ずれに基づいて、装着位置の位置ずれを推定し、基礎データを補正することもできる。この方法によれば、装着位置に最も近い３つの検出位置における装着精度に基づいて、補正データを作成することができる。
【００５７】
この方法によれば、基礎データを予め補正し、作成された補正データを、従来の装着時における修正と同様に、プリント配線板２０の水平位置誤差ΔＸ’，ΔＹ’と、電気部品３２の中心位置誤差ΔＸ，ΔＹおよび保持方位誤差Δθに基づいて修正することにより、装着精度を向上させることができる。予め補正された補正データを用いることにより、各プリント配線板２０に電気部品３２を装着する際には、従来の装着作業と同様の修正を行えばよいので、制御装置１５０の演算負荷をそれほど増大させることなく装着精度を向上させることができる。
【００５８】
なお、装着精度に基づいた補正は、基礎データがプリント配線板２０の位置と電気部品３２の保持位置および姿勢に基づいて修正された後で行われることとしてもよいし、または、基礎データをプリント配線板２０の水平位置誤差ΔＸ’，ΔＹ’に基づいて修正する際、または、電気部品３２の中心位置誤差ΔＸ，ΔＹおよび保持方位誤差Δθに基づいて修正する際に、同時に補正することとしてもよい。さらに、基礎データに対して装着精度に基づいた補正と、水平位置誤差ΔＸ’，ΔＹ’および中心位置誤差ΔＸ，ΔＹ，保持方位誤差Δθに基づいた補正とが同時に行われてもよい。
【００５９】
本実施形態の電気部品装着システムにおいて、装着精度の検出は、装置の組み立て完了直後に行われてもよいし、さらに、一定期間ごとに検出されてもよい。後者の場合は、部品の経年変化等に起因する装着精度の変化に対応することができる。さらに、連続運転中に複数回にわたって装着精度の検出が行われれば、部品の熱膨張等に起因する装着精度の変化にも対応することが可能となる。
【００６０】
以上の説明から明らかなように、本実施形態においては、検出用Ｆマーク１７４が「第一基準マーク」を構成し、ガラス基板１７０が「装着精度検出治具」を構成し、主移動装置７８が「第一相対移動装置」および「第二相対移動装置」を構成している。なお、上記実施形態においては、検査専用の検査用チップ１６９がガラス基板１７０に装着されたが、電気部品３２自体を検査用チップとして利用することも可能である。
【００６１】
次に、本発明の第２実施形態の電気部品装着システムについて説明する。
本実施形態においては、電気部品装着システムの主な構成要素と、装着精度検出基材たるガラス基板１７０とが先の実施形態と共通し、電気部品装着システムの構成要素の一部と、ガラス基板１７０に装着される検査用チップとが異なるので、異なる部分についてのみ詳細な説明を行い、共通する部分については同じ符号を用いて説明を省略する。
【００６２】
第１の実施形態においては、電気部品装着システムが、プリント配線板２０を固定的に支持するとともに、電気部品３２を保持してプリント配線板２０に装着する装着ヘッド８０をプリント配線板２０の表面に平行な方向に移動させることにより、電気部品３２の装着を行う、所謂回転体移動式電気部品装着システムとされていた。これに対して、本実施形態においては、電気部品装着システム２００は、図７に示すように、ベース１０を有し、そのベース１０に図示しないコラムと固定台とが固定されている。その固定台に、装着ヘッド２０２が設けられている。装着ヘッド２０２は、断面が円形である回転体９０を備え、回転体９０は固定台１４に回転可能にかつ水平方向に移動不能に設けられている。回転体９０に等角度間隔に、かつ、回転体９０の回転軸線に平行に複数の吸着ノズル１００（本実施形態においては１２個）が設けられている。吸着ノズル１００は、回転体９０に設けられた保持穴に相対回転可能、かつ回転体９０の回転軸線に平行な方向に相対移動可能に嵌合されている。回転体９０の回転により、各吸着ノズル１００が部品吸着位置，部品姿勢撮像位置，部品装着位置等に位置させられる。吸着ノズル１００には、空気通路形成部材を通って負圧および正圧が供給され、切換バルブ装置１０１により吸着ノズル１００への負圧および正圧の各供給，遮断が行われる。さらに、図示しないＣＣＤカメラ８２が装着装置に固定的に設けられ、ＣＣＤカメラ９４が前述の部品姿勢撮像位置の吸着ノズル１００に対応する位置に上向きに設けられている。
【００６３】
吸着ノズル１００の部品吸着位置に対応する位置に、電気部品供給装置２０６が配設されている。電気部品供給装置２０６は、前述の電気部品供給装置２６，２８と同様に複数のフィーダ３０を備えるが、本実施形態においては、これらフィーダ３０がＸ軸方向に平行なＤ軸方向に移動可能なＤ軸テーブル２０８に支持されている。Ｄ軸テーブル２０８に、前記Ｘ軸スライド４２と同様に図示しないナットとガイドブロックとが固定的に設けられており、Ｄ軸テーブル２０８は、それらナットとガイドブロックとにおいてボールねじ２１０および２本のガイドレール２１２にそれぞれ嵌合されている。ボールねじ２１０は、それの一方の端部においてＤ軸サーボモータ２１４に連結され、それにより正逆両方向に回転可能とされている。ボールねじ２１０の回転によりＤ軸テーブル２０８がＤ軸方向の任意の位置へ移動させられる。ボールねじ２１０と、ガイドレール２１２と、Ｄ軸サーボモータ２１４とがフィーダ３０を駆動するフィーダ駆動装置２１６を構成している。
電気部品供給装置２０６は、今回電気部品に装着すべき電気部品３２を保持するフィーダ３０が、部品吸着位置の真下に位置するようにフィーダ駆動装置２１６により移動させられる。
【００６４】
プリント配線板２０を支持する配線板支持装置２０４が、水平方向に移動可能に配設されている。本実施形態においては、プリント配線板２０が主移動装置７８により、吸着ヘッド１００に対して水平方向に移動させられて装着が行われる。具体的には、ベース１０にＸ軸駆動装置５２により駆動されるＸ軸テーブル２１８が設けられ、そのＸ軸テーブル２１８上にＹ軸駆動装置７４と、それにより駆動されるＹ軸テーブル２２０とが設けられる。このＹ軸テーブル２２０により、プリント配線板２０が支持されて、水平方向に移動させられる。
【００６５】
先の実施形態においては、ガラス基板１７０に検査用チップ１６９が装着されて装着精度が検出されていたが、本実施形態においては、ガラス基板１７０に検査用チップ２２２が装着されて装着精度が検出される。
【００６６】
図８に検査用チップ２２２がガラス基板１７０に装着された状態で示されている（ただし、ガラス基板１７０は部分的にのみ示されている）。検査用チップ２２２は、線膨張係数が約０．５×１０-6であって無色透明のガラスからなる。本実施形態においては、検査用チップ２２２は石英ガラスからなる。その検査用チップ２２２の表面に、ＣＣＤカメラ８４により撮像された際に、実際に装着されるべき電気部品であって、先の実施形態における電気部品３２より大きいものと同じ像が取得される位置決め基準部としての形象２２４が印刷されている。本実施形態においては、その形象２２４の大きさが、図に円で示すＣＣＤカメラ８２により一度に撮像することができる撮像範囲１７６より大きいものとされている。形象２２４は、装着されるべき電気部品と同じ像が取得されるように、その電気部品の本体と同じ像が得られるように印刷された一定の幅を有する四角形の枠である本体部２２６と、その本体の側面から側方へ突出した複数のリードと同じ像が取得されるリード部２２８とにより形成されている。形象２２４は、本体部２２６の内側の印刷されない無色透明の部分を囲むように形成されている。その無色透明の部分が、ガラス基板１７０に装着された際に、その下に位置するガラス基板１７０を透視することができる透視可能部２３２とされている。
【００６７】
検査用チップ２２２は、さらに、透視可能部２３２の中央において、装着精度を検出する際に基準とされる第二基準マークとしての第二基準像２３４が印刷されている。前述の形象２２４と第二基準像２３４とは、ともに黒色で印刷されている。第二基準像２３４は、長方形に形成され、装着後にＣＣＤカメラ８２により撮像される際に、先の実施形態における検査用チップ１６９と同じ像が取得される形状とされている。なお、第二基準像２３４は、長手形状であればよいが、円形等に形成することもできる。後者の場合は、１点では保持方位誤差Δθが検出できない形状であるので、２個以上の像が同時に撮像されるように形成されることが望ましい。
【００６８】
次に作動について説明する。電気部品装着システム２００により検査用チップ２２２をガラス基板１７０に装着する作動は、第１の実施形態とほぼ共通しているので、簡単に説明する。
【００６９】
部品吸着位置に位置する吸着ノズル１００により、検査用チップ２２２が保持されると、回転体９０が回転させられて、検査用チップ２２２を保持している吸着ノズル１００が、部品姿勢撮像位置へ移動させられる。部品撮像位置において、ＣＣＤカメラ８４により形象２２４の一部が撮像されて、それの中心位置誤差ΔＸ，ΔＹと保持方位誤差Δθとが検出される。ガラス基板１７０の装着用Ｆマーク１７２がＣＣＤカメラ８２により予め撮像されて水平位置誤差ΔＸ’，ΔＹ’が検出されている。吸着ノズル１００が部品装着位置へ移動させられるとともに、保持方位誤差Δθを解消するように吸着ノズル１００が回転させられ、その間に、ガラス基板１７０の装着位置が中心位置誤差ΔＸ，ΔＹと、水平位置誤差ΔＸ’，ΔＹ’とに基づいて修正され、修正された装着位置が部品装着位置にある吸着ノズル１００の下に位置するように、ガラス基板１７０が移動させられて、検査用チップ２２２がガラス基板１７０に装着される。
【００７０】
検査用チップ２２２の装着が終了すれば、ＣＣＤカメラ８２により、検査用チップ２２２の第二基準像２３４と検出用Ｆマーク１７４とが同時に撮像されて装着精度が検出される。検査用チップ２２２が大きいために、ガラス基板１７０の検出用Ｆマーク１７４が検査用チップ２２２の下に位置することとなるが、検査用チップ２２２の、検出用Ｆマーク１７４と対応する部分が透視可能部２３２とされているので、検査用チップ２２２の下の検出用Ｆマーク１７４を撮像することができる。したがって、本実施形態においても、検査用チップ２２２の第二基準像２３４と、ガラス基板１７０の検出用Ｆマーク１７４とをＣＣＤカメラ８２により同時に撮像することができるので、先の実施形態と同様に信頼性の高い装着精度を検出することができる。
【００７１】
本実施形態の検査用チップ２２２によれば、第二基準像２３４を長方形とすることにより、装着位置の水平方向位置ずれだけでなく、回転位置ずれをも検出することができる。
なお、検査用チップ２２２と前記検査用チップ１６９との両方を使用して装着精度の検出が行われるようにしてもよく、その場合には、想定されている電気部品は異なるにもかかわらず、検出用Ｆマーク１７４との相対位置が検出される部分（第二基準像２３４と検査用チップ１６９）の形状，寸法が同じであるため、装着精度の検出のために同一のプログラムを使用することができて好都合である。
【００７２】
なお、検査用チップ２２２は、ガラス基板１７０に対して１個のみ装着されて、その装着位置における装着精度が検出されてもよいし、複数個装着されてガラス基板１７０の装着可能範囲における装着精度の傾向が検出されてもよい。複数個の検査用チップ２２２が装着される場合は、先の実施形態におけると同様に、すべての検査用チップ２２２が装着された後で、撮像されることとしてもよいし、検査用チップ２２２が装着されるごとに検出用Ｆマーク１７４と第２基準像２３４とが撮像されてもよい。
【００７３】
なお、検査用チップ２２２の代わりに、別の検査用チップ２４０を用いることも可能である。その検査用チップ２４０が、ガラス基板１７０に装着された状態で図９に示されている（ただし、ガラス基板１７０は一部分のみ示されている）。その検査用チップ２４０は、上述の検査用チップ２２２と同様に線膨張係数が約０．５×１０-6であって無色透明の石英ガラスからなり、電気部品と同じ像が得られるように形象２４２が印刷されている。この形象２４２は、電気部品の本体と同じ像が取得されるように内側が塗りつぶされた四辺形（正方形）の本体部２４４と、本体の側面から側方へ突出する複数のリードと同じ像が取得されるリード部２４６とから形成されている。この形象２４２は、それの内側が塗りつぶされており、したがって、検査用チップ２４０は、形象２４２の外側部分のみが無色透明の透視可能部２４８とされている。形象２４２の本体部２４４の範囲内において、形象２４２の色、例えば黒色と対照的な色で、装着精度を検出する際に基準とされる第二基準マーク２５０が形成される。本実施形態においては、第二基準マーク２５０は無色透明であり、本体部２４４の４隅のうち一本の対角線上にある２つの隅にそれぞれ一点ずつ形成されている。
【００７４】
この検査用チップ２４０を装着するガラス基板１７０は、それの検査用チップ２４０を装着すべき装着位置付近であって、検査用チップ２４０が装着された際に形象２４２より外側に位置する部分に、検出用Ｆマーク１７４が形成されている。図９に示すガラス基板１７０においては、検出用Ｆマーク１７４が、形象２４２の外側であって、２つの第二基準マーク２５０の位置する２つの隅付近にそれぞれ１つずつ形成されている。
【００７５】
この検査用チップ２４０をガラス基板１７０に装着する装着作業は、検査用チップ２２２をガラス基板１７０に装着する場合と共通しているので説明を省略する。
【００７６】
さらに、検査用チップ２４０を用いて装着精度を検出する作動は、検査用チップに形成された前述の第二基準マーク２５０を撮像する撮像工程のみ異なり、他の工程については検査用チップ２２２を用いる場合と共通しているので、共通する工程の説明を省略し、異なる工程についてのみ説明する。
【００７７】
この検査用チップ２４０は、図に円で示すＣＣＤカメラ８２の撮像範囲１７６の大きさに対して、２つの第二基準マーク２５０の間隔が離れているので、２つの第二基準マーク２５０と２つの検出用Ｆマーク１７４とをＣＣＤカメラ８２において同時に撮像することが不可能である。そこで本実施形態においては、まず、一方の隅における検出用Ｆマーク１７４と第二基準マーク２５０とを同時に撮像し、次に他方の隅における検出用Ｆマーク１７４と第二基準マーク２５０とを同時に撮像する。１つの検査用チップ２４０につき、２つの画像が取得され、それら２つの画像の検出用Ｆマーク１７４に基づいて、１つの画像が再構築され、検査用チップ２４０の装着誤差が検出される。
【００７８】
このように、検査用チップ２４０を用いて二か所に分けて検出用Ｆマーク１７４と第二基準マーク２５０とを撮像すれば、ＣＣＤカメラ８２の視野に入りきらない大きさの電気部品を装着することを想定した場合の装着精度を検出することができる。第二基準マーク２５０は、形象２４２の縁辺部であって、ＣＣＤカメラ８２の撮像範囲１７６に、その第二基準マーク２５０を含む状態で透視可能部２４８を撮像することができる位置であればどこでも作成することが可能である。しかし、縁辺部のうち辺の中央に設けると仮定すると本体部２４４の隅におけるよりリード部２４６が多く撮像されるので、それらリード部２４６の像と検出用Ｆマーク１７４とを識別することが困難となり、検出用Ｆマーク１７４を誤認識する可能性が高くなる。これに対して、本体部２４４の隅に第二基準Ｆマーク２５０を設けて検出用Ｆマーク１７４とともに撮像すれば、その画像にはリード部２４６の像が少ないので、検出用Ｆマーク１７４を容易に認識することが可能となる。
【００７９】
この検査用チップ２４０によれば、前述の検査用チップ２２２より大きな形象を有する場合に、二か所に分けて撮像することにより、それの装着精度を検出することができる。
【００８０】
さらに別の検査用チップ３００を用いることも可能である。その検査用チップ３００が、ガラス基板１７０に装着された状態を図１０に示す（ただし、ガラス基板１７０は一部分のみ図示）。検査用チップ３００は、上述の検査用チップ２４０と同様に線膨張係数が約０．５×１０-6であって無色透明の石英ガラスからなり、電気部品と同じ像が得られるように形象３０２が印刷されている。この形象３０２は、電気部品の本体と同じ像が取得されるように内側が黒色で塗りつぶされた四辺形（正方形）の本体部３０４と、本体の側面から側方へ突出する複数のリードと同じ像が取得されるリード部３０６とから形成されている。本体部３０４の４隅のうち一本の対角線上にある２つの隅に無色透明の透視可能部３０８がそれぞれ形成されている。透視可能部３０８は円形であって、大きさが、ガラス基板１７０に形成された検出用Ｆマーク１７４の大きさより十分に大きくされており、透視可能部３０８の下に位置する検出用Ｆマーク１７４を透視して検出することができる。これら透視可能部３０８と検出用Ｆマーク１７４とが同時に撮像されることにより、検査用チップ３００のガラス基板１７０に対する位置が検出される。具体的には、透視可能部３０８の外形に基づいて検査用チップ３００の位置が検出され、検出用Ｆマークに基づいてガラス基板の位置が検出される。本実施形態においては、透視可能部３０８が「第二基準マーク」を兼ねているのである。
【００８１】
この検査用チップ３００を用いて装着精度が検出される場合は、１個の検査用チップ３００に形成された２個の透視可能部３０８が同時に１つのカメラにより撮像されるようにしてもよいし、透視可能部３０８が１つずつ撮像されて２つの画像が取得され、それら２つの画像における２組の検出用Ｆマーク１７４および透視可能部３０８の相対位置に基づいて検査用チップ３００の装着誤差が検出されるようにしてもよい。
【００８２】
この態様によれば、形象３０２のうちのリード部３０６を撮像しないか、または撮像しても無視すればよく、検査用チップ２４０に比較して単純な形状を処理して透視可能部３０８と検出用Ｆマーク１７４とを検出すればよいので計算負荷が小さくて済む。
また、本態様によれば、第二基準マークとしての透視可能部３０８が前述の第二基準マーク２５０より大きいので、それの境界線に基づいてより多くの画像データを取得することが可能となり、透視可能部３０８の汚れ等に起因する検査精度の低下を良好に回避することができる。
さらに、本態様によれば、検査用チップ２２２と検査用チップ２４０との間の大きさの電気部品を想定して装着精度を検査することができる。
【００８３】
本実施形態においては、形象２２４，２４２，３０２がそれぞれ「位置決め基準部」を構成している。
【００８４】
以上、本発明のいくつかの実施形態を詳細に説明したが、これはあくまでも例示であり、本発明は、前記〔発明が解決しようとする課題，課題解決手段および発明の効果〕の項に記載された態様を始めとして、当業者の知識に基づいて種々の変更，改良を施した形態で実施することができる。
【００８５】
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明を実施可能な電気部品装着システムを示す平面図である。
【図２】上記電気部品装着システムを示す正面図である。
【図３】上記電気部品装着システムの吸着ノズルおよび回転体を当接体回転装置とともに示す正面図（一部断面）である。
【図４】上記電気部品装着システムを制御する制御装置のうち、本発明に関連の深い部分を概念的に示すブロック図である。
【図５】本実施形態におけるガラス基板を示す平面図である。
【図６】本実施形態における装着精度検出プログラムを示すフローチャートである。
【図７】本発明を実施可能な別の電気部品装着システムを示す平面図である。
【図８】上記実施形態における検査用チップを示す平面図である。
【図９】上記実施形態における別の検査用チップを示す平面図である。
【図１０】上記実施形態における更に別の検査用チップを示す平面図である。
【符号の簡単な説明】
２０：プリント配線板 ２４：配線板支持装置 ３２：電気部品 ４２：Ｘ軸スライド ５２：Ｘ軸駆動装置 ５６：Ｙ軸スライド ７４：Ｙ軸駆動装置 ８０：装着ヘッド ８２，８４：ＣＣＤカメラ １６９：検査用チップ １７０：ガラス基板 １７２：装着用Ｆマーク １７４：検出用Ｆマーク １７６：撮像範囲 ２２２，２４０，３００：検査用チップ ２２４，２４２，３０２：形象 ２３２，２４８，３０８：透視可能部 ２３４：第二基準像 ２５０：第二基準マーク
Claims (17)
- 装着部材を被装着基材に装着する装着装置の装着精度を撮像装置を使用して検出するために使用される装着精度検出治具とその装着精度検出治具に装着される検査用チップとを含む装着精度検出治具セットであって、前記検査用チップが、
不透明な材料により形成された不透明部と、
その不透明部に、その不透明部に囲まれた状態で形成され、当該検査用チップが前記装着精度検出治具に装着された状態で、前記不透明部の一方の側から他方の側の前記装着精度検出治具を透視可能な透視可能部と
を含むことを特徴とする装着精度検出治具セット。 - 前記透視可能部が、前記検査用チップの位置を検出するためのチップ側基準マークを形成している請求項１に記載の装着精度検出治具セット。
- 前記装着精度検出治具の、その装着精度検出治具に前記検査用チップが装着された状態で前記透視可能部から透視可能な領域内に、前記装着精度を検出するための基準である治具側基準マークが設けられた請求項２に記載の装着精度検出治具セット。
- 前記透視可能部が円形であり、前記検査用チップが前記装着精度検出治具の予定通りの位置に装着された場合には、前記治具側基準マークが前記円形の透視可能部の中心に位置する請求項３に記載の装着精度検出治具セット。
- 前記治具側基準マークが円形であり、前記検査用チップが前記装着精度検出治具の予定通りの位置に装着された場合には、前記円形の透視可能部の外周縁と前記治具側基準マークの外周縁とが同心円となる請求項４に記載の装着精度検出治具セット。
- 前記円形の透視可能部が、互いに隔たった位置に複数形成され、それら複数の円形透視可能部の各々に対応して、前記治具側基準マークが１つずつ設けられた請求項４または５に記載の装着精度検出治具セット。
- 前記透視可能部の内側に、前記検査用チップの位置を検出するためのチップ側基準マークが形成された請求項１に記載の装着精度検出治具セット。
- 前記透視可能部が四角形であり、その四角形の透視可能部の中央に、長方形の前記チップ側基準マークが形成された請求項７に記載の装着精度検出治具セット。
- 前記装着精度検出治具の、前記検査用チップがその装着精度検出治具の予定通りの位置に装着された場合に、前記四角形の透視可能部の領域内であって前記長法形のチップ側基準マークにより覆われない位置に、前記装着精度を検出するための基準である治具側基準マークが設けられた請求項８に記載の装着精度検出治具セット。
- 前記治具側基準マークが、前記検査用チップが前記装着精度検出治具の予定通りの位置に装着された場合に、前記長方形のチップ側基準マークに対して２つ、そのチップ側基準マークと同時に撮像可能な状態で形成された請求項９に記載の装着精度検出治具セット。
- 前記検査用チップ自体が前記不透明部を形成しており、前記透視可能部がその不透明部としての検査用チップを厚さ方向に貫通して形成された貫通部である請求項１ないし１０のいずれかに記載の装着精度検出治具セット。
- 前記検査用チップが透明なガラス板の表面に前記不透明部が形成されたものであり、前記透視可能部が、その不透明部が形成されていない部分によって構成された請求項１ないし１０のいずれかに記載の装着精度検出治具セット。
- 前記不透明部が前記装着部材の外形を表す形象を成している請求項１ないし１２のいずれかに記載の装着精度検出治具セット。
- 装着部材を保持する保持具と、
被装着基材を支持する基材支持装置と、
それら保持具と基材支持装置とを相対移動させる第一相対移動装置と、
予め定められた制御データによって前記第一相対移動装置を制御することにより、前記保持具に保持された装着部材を前記基材支持装置に支持された被装着基材に装着させる制御装置と、
前記基材支持装置に支持された被装着基材を局部的に撮像可能な視野を有する基材撮像装置と、
その基材撮像装置と前記基材支持装置とを相対移動させる第二相対移動装置と
を含む装着装置において、
請求項３ないし６，９，１０のいずれかに記載の装着精度検出治具セットと、
前記被装着基材の代わりに前記基材支持装置に支持された前記装着精度検出治具に、前記制御装置により制御された前記第一相対移動装置および前記保持具により装着された前記検査用チップの少なくとも一部と、前記装着精度検出治具に設けられた治具側基準マークとが、前記基材撮像装置により撮像されることにより取得された画像のデータを処理することによって、当該装着装置の装着位置誤差を取得する画像処理装置と、
その画像処理装置により取得された装着位置誤差またはその装着位置誤差を補正するための補正量のデータを記憶する記憶手段と、
その記憶手段に記憶された装着位置誤差または補正量のデータに基づいて前記制御データを補正する補正手段と
を設けたことを特徴とする装着装置。 - さらに、
前記保持具に保持された前記装着部材をその装着部材の前記被装着基材に装着される面の側から撮像する装着部材撮像装置と、
前記保持具に保持された前記検査用チップの前記不透明部の少なくとも一部が前記装着部材撮像装置により撮像された画像のデータの処理によって取得された前記検査用チップの保持位置誤差を補正して、その検査用チップを前記装着精度検出治具に装着させる手段と
を含む請求項１４に記載の装着装置。 - 装着部材を被装着基材に装着する装着装置の装着精度を検出する方法であって、
前記装着装置により、請求項３ないし６，９，１０のいずれかに記載の装着精度検出治具セットの前記検査用チップを前記装着精度検出治具に取り付ける装着工程と、
その装着工程において取り付けた前記検査用チップの少なくとも一部と前記治具側基準マークとを同時に撮像する撮像工程と、
その撮像工程において取得した画像のデータを画像処理することによって、前記検査用チップの前記装着精度検出治具に対する装着位置誤差を取得する画像処理工程と
を含むことを特徴とする装着装置の装着精度検出方法。 - 前記装着装置が、前記装着材を保持する保持具と、前記被装着基材を支持する基材支持装置と、それら保持具と基材支持装置とを相対移動させる相対移動装置とを含むものであり、当該装着精度検出方法が、さらに、前記保持具に保持させた検査用チップの前記不透明部の少なくとも一部を、その検査用チップの前記被装着基材に装着される面の側から撮像装置に撮像させることによって、その保持具によるその検査用チップの保持位置誤差を検出する工程を含み、かつ、前記装着工程が前記検査用チップの保持位置誤差を補正してその検査用チップを前記装着精度検出治具に装着する工程である請求項１６に記載の装着精度検出方法。
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Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2013162082A (ja) * | 2012-02-08 | 2013-08-19 | Fuji Mach Mfg Co Ltd | 部品積層精度測定治具セット及びその使用方法並びに部品実装機の部品積層精度測定装置及び３次元実装基板の生産方法 |
Families Citing this family (40)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4514322B2 (ja) * | 2000-12-08 | 2010-07-28 | パナソニック株式会社 | 部品実装方法、及び部品実装装置 |
| JP4516220B2 (ja) * | 2001-01-15 | 2010-08-04 | 富士機械製造株式会社 | 部品装着精度関連部分の相対位置関係取得方法および電気部品装着システム |
| JP4620262B2 (ja) * | 2001-01-16 | 2011-01-26 | 富士機械製造株式会社 | 電子部品装着装置 |
| KR100387525B1 (ko) * | 2001-02-05 | 2003-06-18 | 삼성전자주식회사 | 반도체 웨이퍼 위치 상태 감지시스템 및 그 방법 |
| JP4798888B2 (ja) * | 2001-08-06 | 2011-10-19 | パナソニック株式会社 | オフセット測定方法 |
| JP4637417B2 (ja) * | 2001-09-14 | 2011-02-23 | 富士機械製造株式会社 | 基準マーク部検索用標準線設定方法および基準マーク部検索方法 |
| US20040096095A1 (en) * | 2002-07-18 | 2004-05-20 | August Technology Corp. | Inspection tool with partial framing/windowing camera |
| US20040109600A1 (en) * | 2002-07-18 | 2004-06-10 | Cory Watkins | Inspection tool with partial framing camrea |
| JP4224268B2 (ja) * | 2002-08-29 | 2009-02-12 | 富士機械製造株式会社 | 電子回路部品装着機、ならびにそれの装着位置精度検査方法および装置 |
| JP2005229111A (ja) * | 2004-02-13 | 2005-08-25 | Assembleon Nv | 基体上の少なくとも１つの部品配置位置を推定する方法及びかかる方法を実施する装置 |
| JP3882840B2 (ja) * | 2004-03-01 | 2007-02-21 | オムロン株式会社 | はんだ印刷検査方法、およびこの方法を用いたはんだ印刷検査機ならびにはんだ印刷検査システム |
| CN100527934C (zh) * | 2004-03-15 | 2009-08-12 | 松下电器产业株式会社 | 部件安装精度的检查方法及检查装置 |
| JP4515814B2 (ja) * | 2004-04-28 | 2010-08-04 | パナソニック株式会社 | 装着精度測定方法 |
| KR101113838B1 (ko) * | 2004-11-30 | 2012-02-29 | 삼성테크윈 주식회사 | 전자부품 실장 방법 및 이를 채택한 부품 실장기 |
| NL1032761C2 (nl) * | 2006-10-27 | 2008-04-29 | Assembleon Bv | Inrichting geschikt voor het plaatsen van een component op een substraat. |
| JP4851361B2 (ja) * | 2007-02-19 | 2012-01-11 | 富士機械製造株式会社 | 電子回路部品装着装置 |
| WO2012001539A1 (en) * | 2010-06-30 | 2012-01-05 | Kla-Tencor Corporation | Method and arrangement for positioning electronic devices into compartments of an input medium and output medium |
| JP2013251475A (ja) * | 2012-06-04 | 2013-12-12 | Panasonic Corp | 電子部品実装ラインにおける校正値取得方法及び電子部品実装ラインによる電子部品実装方法 |
| WO2014009542A2 (de) * | 2012-07-12 | 2014-01-16 | Konrad Gmbh | Vorrichtung zum herstellen und/oder bearbeiten eines werkstücks |
| JP6055301B2 (ja) * | 2012-12-19 | 2016-12-27 | ヤマハ発動機株式会社 | 表面実装機 |
| US9435946B2 (en) | 2013-07-23 | 2016-09-06 | National Institute Of Advanced Industrial Science And Technology | Interlayer light wave coupling device |
| WO2015011806A1 (ja) * | 2013-07-24 | 2015-01-29 | 富士機械製造株式会社 | 組立機、保持部材、および検査治具 |
| AT516417B1 (de) * | 2014-10-29 | 2018-10-15 | Zkw Group Gmbh | Begrenzung für das Ablegen von elektronischen Bauteilen auf eine Unterlage |
| EP3340759B1 (en) * | 2015-08-19 | 2021-12-29 | FUJI Corporation | Measurement device |
| JP6524418B2 (ja) * | 2016-02-04 | 2019-06-05 | パナソニックＩｐマネジメント株式会社 | 部品実装システムおよび部品実装方法 |
| JP6752272B2 (ja) | 2016-04-26 | 2020-09-09 | 株式会社Ｆｕｊｉ | 対基板作業機 |
| JP6589138B2 (ja) * | 2016-09-30 | 2019-10-16 | パナソニックＩｐマネジメント株式会社 | 検査装置 |
| US10806037B2 (en) * | 2017-01-05 | 2020-10-13 | Panasonic Intellectual Property Management Co., Ltd. | Component mounting system |
| US10694651B2 (en) * | 2017-06-20 | 2020-06-23 | Saul Tech Technology Co., Ltd. | Chip-placing method performing an image alignment for chip placement and chip-placing apparatus thereof |
| JP6913851B2 (ja) | 2017-08-24 | 2021-08-04 | パナソニックＩｐマネジメント株式会社 | 実装基板製造システムおよび実装基板製造方法 |
| US10984524B2 (en) * | 2017-12-21 | 2021-04-20 | Advanced Ion Beam Technology, Inc. | Calibration system with at least one camera and method thereof |
| US11510353B2 (en) | 2018-02-12 | 2022-11-22 | Fuji Corporation | Mounting accuracy measurement chip and mounting accuracy measurement kit |
| EP3768057B1 (en) | 2018-03-13 | 2023-06-14 | Fuji Corporation | Mounting device and mounting method |
| EP3813502A4 (en) * | 2018-06-20 | 2021-06-09 | Fuji Corporation | CONTROL PROCEDURE, ASSEMBLY DEVICE FOR ELECTRONIC COMPONENTS AND CORRECTION SUBSTRATE |
| TW202115413A (zh) * | 2019-09-30 | 2021-04-16 | 日商愛德萬測試股份有限公司 | 維護裝置、維護方法及記錄有維護程式之記錄媒體 |
| JP7201838B2 (ja) * | 2019-11-06 | 2023-01-10 | 株式会社Fuji | 部品実装装置および補正値管理方法 |
| CN110987969A (zh) * | 2019-12-28 | 2020-04-10 | 珠海广浩捷科技股份有限公司 | 一种avs精度验证机 |
| CN111854608A (zh) * | 2020-08-21 | 2020-10-30 | 深圳市哈德胜精密科技股份有限公司 | 一种倒装芯片取料吸头自动校对装置 |
| CN112308919B (zh) * | 2020-10-28 | 2024-04-09 | 北京半导体专用设备研究所（中国电子科技集团公司第四十五研究所） | 芯片在夹具中的装夹位置的校正方法和装置 |
| CN114612474B (zh) * | 2022-05-11 | 2023-12-19 | 杭州众硅电子科技有限公司 | 一种晶圆清洁干燥模组状态检测方法、装置及平坦化设备 |
Family Cites Families (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4222036A (en) * | 1979-01-17 | 1980-09-09 | Siemens Aktiengesellschaft | Process for assembly of components on printed cards with the use of a position-locating aid |
| GB8801897D0 (en) | 1988-01-28 | 1988-02-24 | Dynapert Precima Ltd | Method of setting-up apparatus for handling electrical/electronic components |
| JP3015144B2 (ja) | 1991-05-22 | 2000-03-06 | 富士機械製造株式会社 | 電子部品実装装置の装着誤差検出装置，装着精度検査方法 |
| JP3114034B2 (ja) | 1992-06-05 | 2000-12-04 | ヤマハ発動機株式会社 | 部品実装方法及び部品実装装置 |
| SG72711A1 (en) * | 1995-11-15 | 2000-05-23 | Sanko Seiki Seisakusho Kk | Component mounting apparatus |
| US5768759A (en) * | 1996-11-19 | 1998-06-23 | Zevatech, Inc. | Method and apparatus for reflective in-flight component registration |
| CN1138463C (zh) | 1996-12-13 | 2004-02-11 | 松下电器产业株式会社 | 电子部件及其安装方法和装置 |
| JP3596243B2 (ja) * | 1997-08-07 | 2004-12-02 | 松下電器産業株式会社 | 電子部品実装方法 |
| JPH11154799A (ja) * | 1997-11-21 | 1999-06-08 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 電子部品の実装装置および実装方法 |
| JP3562325B2 (ja) * | 1998-07-16 | 2004-09-08 | 松下電器産業株式会社 | 電子部品の実装方法 |
-
1999
- 1999-11-05 JP JP31528999A patent/JP4326641B2/ja not_active Expired - Lifetime
-
2000
- 2000-10-23 US US09/693,956 patent/US6457232B1/en not_active Expired - Lifetime
- 2000-11-03 EP EP00309758A patent/EP1098167A3/en not_active Withdrawn
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2013162082A (ja) * | 2012-02-08 | 2013-08-19 | Fuji Mach Mfg Co Ltd | 部品積層精度測定治具セット及びその使用方法並びに部品実装機の部品積層精度測定装置及び３次元実装基板の生産方法 |
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