JP4240124B2 - インクジェット記録装置 - Google Patents

Description

本発明は、インク滴を吐出して印刷を行うインクジェット記録装置に関する。

印刷用紙等の被記録媒体にインク滴を吐出するインクジェットヘッドとしては、インク滴を吐出するノズル及びノズルに連通した圧力室を含む多数の個別インク流路を備えた流路ユニットと、各圧力室内のインクに吐出エネルギーを付与するアクチュエータとを有するものがある。このアクチュエータは、圧力室の容積を変化させることにより圧力室に圧力を付加するものであり、多数の圧力室に跨る圧電シートと、圧電シートの表面において各圧力室と対向するように配置された多数の個別電極と、圧電シートを介して多数の個別電極と対向するように配置された共通電極とを有するものが知られている（例えば、特許文献１参照）。このアクチュエータの表面には、個別電極や共通電極の接続ランドが配置されており、これら接続ランドがフラットケーブル（平型柔軟基板）の一方端部近傍に配置された多数の端子に接合されている。フラットケーブルは内部配線に接続された端子を介してアクチュエータに駆動信号を供給するものである。アクチュエータは、フラットケーブルを介して各個別電極にパルス状の駆動信号が供給されることによって、当該個別電極と共通電極との間に挟まれた圧電シートの部分に対してその厚み方向に電界が作用し、この部分の圧電シートを厚み方向に伸長させる。このとき、圧力室の容積が変化して圧力室内のインクに圧力が付与される。

特開２００２−３６５６８号公報（図１）

フラットケーブルは、その一端近傍においてアクチュエータの表面に接合されており、他端において上位の制御基板などに接続される。このとき、フラットケーブルの取り回しによってフラットケーブルにおけるアクチュエータとの接合部分にストレスが発生し、アクチュエータの接続ランドからフラットケーブルの端子が剥離することがある。特に、アクチュエータユニットの接合面に沿って引き出されたフラットケーブルが直角に折り曲げられた状態においては、折り曲げ部に最も近い位置にある端子が、アクチュエータの接続ランドから剥離しやすい。フラットケーブルの端子とアクチュエータの接続ランドとの接続状態については目視検査が難しい。実際にインクジェットヘッドを駆動し、全てのノズルからインク滴を吐出させることによって、端子と接続ランドとの接続に異常があるか否かを検査することもできるが、このような検査方法は作業が煩雑である。また、インクジェットヘッドにインクを供給することになるため、異常が発見されたインクジェットヘッドの修理が困難となる。

本発明の目的は、平型柔軟基板がアクチュエータから剥離したことを容易に判断することができるインクジェット記録装置を提供することにある。

本発明のインクジェット記録装置は、圧力室を介してノズルに至る複数の個別インク流路が形成された流路ユニットと、前記流路ユニットに固定されていると共に、複数の前記圧力室に関連付けられた複数の個別電極、共通電極、前記複数の個別電極と前記共通電極との間に配置された圧電層、及び、前記流路ユニットとの固定面とは反対側の接合面に配置されつつ前記複数の個別電極と電気的に接続された複数の個別ランドを有するアクチュエータと、前記複数の個別ランドに接合された複数の出力端子、及び、前記アクチュエータの前記接合面に接合された検査端子を有する平型柔軟基板と、前記アクチュータを駆動するための駆動信号を、前記出力端子を介して前記個別電極に出力する駆動信号出力部材とを備えている。さらに、前記検査端子の電気特性を計測する計測手段と、前記計測手段の計測結果に基づいて、前記検査端子が前記アクチュエータの前記接合面から剥離しているか否かを判断する判断手段とを備えている。

本発明によると、検査端子の電気特性を計測するという簡単な方法で、平型柔軟基板がアクチュエータから剥離しているか否かを判断することができる。このため、インクジェットヘッドの製造工程において、平型柔軟基板がアクチュエータから剥離しているか否かの検査を容易に行うことができる。また、インクジェットヘッドの出荷後において、経時的な温度変化により、平型柔軟基板がアクチュエータから剥離した場合に、平型柔軟基板がアクチュエータから剥離したことを容易に発見することができる。

また、本発明においては、前記計測手段が、前記共通電極と前記検査端子との間の静電容量を計測することが好ましい。これによると、計測手段を簡単な構成で実現することができる。

または、前記検査端子と前記複数の個別電極の１つである検査個別電極とが電気的に接続されており、前記計測手段が、前記共通電極と前記検査端子との間、及び、前記共通電極と前記検査個別電極との間の各静電容量の合計値を計測することが好ましい。これによると、検査個別電極に駆動信号を供給する回路を、計測手段に利用することができるため、計測手段の回路規模が小さくすることができる。

このとき、前記駆動信号出力部材が、各個別電極に対応する前記アクチュエータの駆動特性が同じになるように、前記検査個別電極に出力する駆動信号の電流値を、前記検査個別電極を除く他の前記個別電極に出力する駆動信号の電流値よりも大きくすることがより好ましい。これによると、アクチュエータの駆動特性のばらつきを抑制することができる。

また、本発明においては、前記アクチュエータが、前記接合面に配置されつつ前記共通電極と電気的に接続された検査ランドをさらに有しており、前記検査端子が、前記検査ランドを介して前記アクチュエータの前記接合面に接合されており、前記計測手段が、前記共通電極と前記検査端子との間の抵抗値を計測することが好ましい。または、前記流路ユニットが金属部材を含んでおり、前記アクチュエータが、前記接合面に配置されつつ前記金属部材と電気的に接続された検査ランドをさらに有しており、前記検査端子が、前記検査ランドを介して前記アクチュエータの前記接合面に接合されており、前記計測手段が、前記金属部材と前記検査端子との間の抵抗値を計測してもよい。これらによると、計測手段を簡単な構成で実現することができる。

さらに、本発明においては、前記平型柔軟基板が一方向に延在しているとともに、前記平型柔軟基板の幅方向に関する中央に前記駆動信号出力部材が取り付けられており、前記駆動信号に関する基準電位が付与された駆動信号用基準電位パターンが、前記平型柔軟基板の前記幅方向に関する両端近傍に沿って延在するように形成されており、前記駆動信号出力部材を制御するための制御信号に関する基準電位が付与された制御信号用基準電位パターンが、前記平型柔軟基板における前記駆動信号出力部材と前記駆動信号用基準電位パターンとの間に形成されており、前記検査端子が、制御信号用基準電位パターンに電気的に接続されていてもよい。これによると、平型柔軟基板の表面積を小さくすることができる。

加えて、本発明においては、前記計測手段が、前記検査端子に検査信号を出力したときの消費電流に基づいて前記検査端子の電気特性を計測してもよい。これによると、計測手段をさらに簡単な構成で実現することができる。

また、本発明においては、前記平型柔軟基板が、前記アクチュエータから一方に向かって延在しており、前記検査端子が、前記複数の個別電極よりも前記アクチュエータにおける前記一方側の端部に近い位置に配置されていていることが好ましい。これによると、平型柔軟基板がアクチュエータから剥離するのを効率よく抑制することができる。また、検査端子が剥離開始位置に配置されているため、平型柔軟基板がアクチュエータから剥離したことを素早く判断することができる。

以下、本発明の好適な実施の形態について、図面を参照しつつ説明する。

＜第１実施形態＞
図１は、本発明に係る第１実施形態であるインクジェットプリンタの全体的な構成を示す概略側面図である。図１に示すように、インクジェットプリンタ１０１は、４つのインクジェットヘッド１を有するカラーインクジェットプリンタである。このインクジェットプリンタ１０１には、図中左方に給紙部１１が、図中右方に排紙部１２がそれぞれ構成されている。

インクジェットプリンタ１０１の内部には、給紙部１１から排紙部１２に向かって用紙（被記録媒体）Ｐが搬送される用紙搬送経路が形成されている。給紙部１１のすぐ下流側には、用紙を狭持搬送する一対の送りローラ５ａ、５ｂが配置されている。一対の送りローラ５ａ、５ｂは、用紙Ｐを給紙部１１から図中右方に送り出すためのものである。用紙搬送経路の中間部には、２つのベルトローラ６、７と、両ローラ６、７の間に架け渡されるように巻き回されたエンドレスの搬送ベルト８と、搬送ベルト８によって囲まれた領域内においてインクジェットヘッド１と対向する位置に配置されたプラテン１５とを含むベルト搬送機構１３が設けられている。プラテン１５は、インクジェットヘッド１と対向する領域において搬送ベルト８が下方に撓まないように搬送ベルト８を支持するものである。ベルトローラ７と対向する位置には、ニップローラ４が配置されている。ニップローラ４は、給紙部１１から送りローラ５ａ、５ｂによって送り出された用紙Ｐを搬送ベルト８の外周面８ａに押さえ付けるものである。

図示しない搬送モータがベルトローラ６を回転させることによって、搬送ベルト８が駆動される。これにより、搬送ベルト８が、ニップローラ４によって外周面８ａに押さえ付けられた用紙Ｐを粘着保持しつつ排紙部１２に向けて搬送する。

用紙搬送経路に沿う搬送ベルト８のすぐ下流側には、剥離機構１４が設けられている。剥離機構１４は、搬送ベルト８の外周面８ａに粘着されている用紙Ｐを外周面８ａから剥離して、図中左方の右方の排紙部１２に向けて送るように構成されている。

４つのインクジェットヘッド１は、４色のインク（マゼンタ、イエロー、シアン、ブラック）に対応して、搬送方向に沿って４つ並べて固定されている。つまり、このインクジェットプリンタ１０１は、ライン式プリンタである。４つのインクジェットヘッド１は、その下端にヘッド本体２をそれぞれ有している。ヘッド本体２は、搬送方向に直交した方向に長尺な細長い直方体形状となっている。また、ヘッド本体２の底面が外周面８ａに対向するインク吐出面２ａとなっている。搬送ベルト８によって搬送される用紙Ｐが４つのヘッド本体２のすぐ下方側を順に通過する際に、この用紙Ｐの上面すなわち印刷面に向けてインク吐出面２ａから各色のインクが吐出されることで、用紙Ｐの印刷面に所望のカラー画像を形成できるようになっている。

次に、図２を参照しつつインクジェットヘッド１について詳細に説明する。図２は、インクジェットヘッド１の短手方向に沿った断面図である。図２に示すように、インクジェットヘッド１は、流路ユニット９とアクチュエータユニット２１とを含むヘッド本体２、ヘッド本体２の上面に配置されていると共にヘッド本体２にインクを供給するリザーバユニット７１、一端がアクチュエータユニット２１に接続され、ドライバＩＣ５２が実装されたＣＯＦ（Chip On Film：平型柔軟基板）５０、ＣＯＦ５０と電気的に接続された制御基板５４、並びに、アクチュエータユニット２１、リザーバユニット７１、ＣＯＦ５０及び制御基板５４を覆い、外部からインクやインクミストが浸入するのを防ぐためのサイドカバー５３及びヘッドカバー５５を有している。

リザーバユニット７１は、プレート９１〜９４の４枚のプレートが互いに位置合わせされて積層されたものであり、その内部に、図示しないインク流入流路、インクリザーバ６１、及び、１０個のインク流出流路６２が互いに連通するように形成されている。なお、図２においては、１つのインク流出流路６２のみが表れている。インク流入流路は図示しないインクタンクからのインクが流入するものである。インクリザーバ６１はインク流入流路及びインク流出流路６２と連通しており、インクを一時的に貯溜する。インク流出流路６２は、流路ユニット９の上面に形成されたインク供給口１０５ｂ（図３参照）を介して流路ユニット９と連通している。インクタンクからのインクがインク流入流路を介してインクリザーバ６１に流れ込む。インクリザーバ６１に流れ込んだインクはインク流出流路６２を通過し、インク供給口１０５ｂを介して流路ユニット９に供給される。

また、プレート９４には、凹部９４ａが形成されている。プレート９４の凹部９４ａが形成された部分では、流路ユニット９との間に空隙を形成しており、この空隙内に、アクチュエータユニット２１が配置されている。

ＣＯＦ５０は、その一方端部近傍がアクチュエータユニット２１の上面である接合面に接着されている。さらに、ＣＯＦ５０は、アクチュエータユニット２１の接合面から水平方向に延在した後、上方に向かって直角に湾曲するように折り曲げられ、さらに、サイドカバー５３とリザーバユニット７１との間を通過するように上方に引き出されている。そして、ＣＯＦ５０の他方端部がコネクタ５４ａを介して制御基板５４のコネクタ５４ａに接続されている。このため、アクチュエータユニット２１の接合面における、ＣＯＦ５０の折り曲げ部に最も近い位置にある領域に、アクチュエータユニット２１からＣＯＦ５０を剥離する方向にストレスが集中する。

また、ＣＯＦ５０のドライバＩＣ５２が、リザーバユニット７１の側面に貼り付けられたスポンジ８２によってサイドカバー５３に付勢されている。ドライバＩＣ５２は、放熱シート８１を介してサイドカバー５３の内側面と密着することによってサイドカバー５３と熱的に結合されている。これにより、ドライバＩＣ５２からの熱がサイドカバー５３を介して外部に放熱される。

制御基板５４は、ＣＯＦ５０のドライバＩＣ５２を介してアクチュエータユニット２１の駆動を制御するものである。ドライバＩＣ５２は、アクチュエータユニット２１を駆動する駆動信号を生成する。

サイドカバー５３は、流路ユニット９の上面における短手方向両端部近傍から上方に延在するように取り付けられた金属製の板部材である。ヘッドカバー５５は、流路ユニット９より上方の空間を封止するようにサイドカバー５３の上方に取り付けられている。このように、２つのサイドカバー５３とヘッドカバー５５とにより囲まれる空間内に、リザーバユニット７１、ＣＯＦ５０及び制御基板５４が配置されている。

次に、図３〜図６を参照しつつ、ヘッド本体２について説明する。図３は、ヘッド本体２の平面図である。図４は、図３の一点鎖線で囲まれた領域の拡大図である。なお、図４では説明の都合上、アクチュエータユニット２１の下方にあって破線で描くべき圧力室１１０、アパーチャ１１２及びノズル１０８を実線で描いている。図５は、図４に示すV−V線に沿った部分断面図である。図６（ａ）はアクチュエータユニット２１の拡大断面図であり、図６（ｂ）は、図６（ａ）においてアクチュエータユニット２１の表面に配置された個別電極を示す平面図である。

ヘッド本体２は、図３に示すように、流路ユニット９、及び、流路ユニット９の上面９ａに固定された４つのアクチュエータユニット２１を含んでいる。図４に示すように、流路ユニット９は、圧力室１１０等を含むインク流路が内部に形成されている。アクチュエータユニット２１は、各圧力室１１０に対応した複数のアクチュエータを含んでおり、圧力室１１０内のインクに選択的に吐出エネルギーを付与する機能を有する。

流路ユニット９は、リザーバユニット７１のプレート９４とほぼ同じ平面形状を有する直方体形状となっている。流路ユニット９の上面９ａには、リザーバユニット７１のインク流出流路６２（図２参照）に対応して、計１０個のインク供給口１０５ｂが開口している。流路ユニット９の内部には、図３及び図４に示すように、インク供給口１０５ｂに連通するマニホールド流路１０５及びマニホールド流路１０５から分岐した副マニホールド流路１０５ａが形成されている。流路ユニット９の下面には、図４及び図５に示すように、多数のノズル１０８がマトリクス状に配置されたインク吐出面２ａが形成されている。圧力室１１０も流路ユニット９におけるアクチュエータユニット２１の固定面においてノズル１０８と同様マトリクス状に多数配列されている。

本実施形態では、等間隔に流路ユニット９の長手方向に並ぶ圧力室１１０の列が、短手方向に互いに平行に１６列配列されている。各圧力室列に含まれる圧力室１１０の数は、後述のアクチュエータユニット２１の外形形状（台形形状）に対応して、その長辺側（下底側）から短辺側（上底側）に向かって次第に少なくなるように配置されている。ノズル１０８も、これと同様の配置がされている。

流路ユニット９は、図５に示すように、上から順に、キャビティプレート１２２、ベースプレート１２３、アパーチャプレート１２４、サプライプレート１２５、マニホールドプレート１２６、１２７、１２８、カバープレート１２９、及び、ノズルプレート１３０、という９枚のステンレス鋼等の金属プレートから構成されている。これらプレート１２２〜１３０は、主走査方向に長尺な矩形状の平面を有する。これらプレート１２２〜１３０を互いに位置合わせしつつ積層することによって、流路ユニット９内に、マニホールド流路１０５から副マニホールド流路１０５ａ、そして副マニホールド流路１０５ａの出口から圧力室１１０を経てノズル１０８に至る多数の個別インク流路１３２が形成される。

流路ユニット９におけるインクの流れについて説明する。図３〜図５に示すように、リザーバユニット７１からインク供給口１０５ｂを介して流路ユニット９内に供給されたインクは、マニホールド流路１０５から副マニホールド流路１０５ａに分岐される。副マニホールド流路１０５ａ内のインクは、各個別インク流路１３２に流れ込み、絞りとして機能するアパーチャ１１２及び圧力室１１０を介してノズル１０８に至る。

次に、アクチュエータユニット２１について説明する。図３に示すように、４つのアクチュエータユニット２１は、それぞれ台形の平面形状を有しており、インク供給口１０５ｂを避けるよう千鳥状に配置されている。さらに、各アクチュエータユニット２１の平行対向辺は流路ユニット９の長手方向に沿っており、隣接するアクチュエータユニット２１の斜辺同士は流路ユニット９の幅方向（副走査方向）に関して互いにオーバーラップしている。

図６（ａ）に示すように、アクチュエータユニット２１は、強誘電性を有するチタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）系のセラミックス材料からなる３枚の圧電シート１４１〜１４３から構成されている。最上層の圧電シート１４１の表面（アクチュエータユニット２１の接合面）における圧力室１１０に対向する位置には、個別電極１３５が形成されている。最上層の圧電シート１４１とその下側の圧電シート１４２との間にはシート全面に形成された共通電極１３４が介在している。個別電極１３５は、図６（ｂ）に示すように、圧力室１１０と相似な略菱形の平面形状を有する。平面視で、個別電極１３５の大部分は、圧力室１１０の領域内にある。略菱形の個別電極１３５における鋭角部の一方は圧力室１１０の外に延出され、その先端には個別電極１３５と電気的に接続された円形の個別ランド１３６が設けられている。また、圧電シート１４１の表面には、共通電極１３４と電気的に接続された図示しないＣＯＭランドと検査ランド１３７（図７及び図９参照）とが形成されている。なお、検査ランド１３７は、圧電シート１４１の長辺（台形の下底）の両端近傍、且つ、多数の個別電極１３５よりも長辺側の端部に近い位置に配置されている。また、圧電シート１４１の表面が、後述のようにＣＯＦ５０が接合される接合面である。

共通電極１３４は、すべての圧力室１１０に対応する領域において等しくグランド電位が付与されている。一方、個別電極１３５は、ＣＯＦ５０を介してドライバＩＣ５２の各出力端子と電気的に接続されており、ドライバＩＣ５２からの駆動信号が選択的に供給されるようになっている。

ここで、アクチュエータユニット２１の駆動方法について述べる。圧電シート１４１はその厚み方向に分極されており、個別電極１３５を共通電極１３４と異なる電位にして圧電シート１４１に対してその分極方向に電界を印加すると、圧電シート１４１における電界印加部分が圧電効果により歪む活性部として働く。つまり、アクチュエータユニット２１において、個別電極１３５と圧力室１１０とで挟まれた部分が、個別のアクチュエータとして働き、圧力室１１０の数に対応した複数のアクチュエータが作り込まれている。例えば、分極方向と電界の印加方向とが同じであれば、活性部は分極方向に直交する方向（平面方向）に縮む。つまり、アクチュエータユニット２１は、圧力室１１０から離れた上側１枚の圧電シート１４１を活性部を含む層とし、且つ圧力室１１０に近い下側２枚の圧電シート１４２、１４３を非活性層とした、いわゆるユニモルフタイプのアクチュエータである。図６（ａ）に示すように、圧電シート１４１〜１４３は圧力室１１０を区画するキャビティプレート１２２の上面に固定されているため、圧電シート１４１における電界印加部分とその下方の圧電シート１４２、１４３との間で平面方向への歪みに差が生じると、圧電シート１４１〜１４３全体が圧力室１１０側へ凸になるように変形（ユニモルフ変形）する。これにより圧力室１１０内のインクに圧力（吐出エネルギー）が付与され、ノズル１０８からインク滴が吐出される。

なお、本実施形態においては、予め個別電極１３５に所定の電位を付与しておき、吐出要求があるごとに一旦個別電極１３５をグランド電位にした後、所定のタイミングで再び個別電極１３５に所定の電位を付与するような駆動信号をドライバＩＣ５２から出力させる。この場合、個別電極１３５がグランド電位となるタイミングで圧電シート１４１〜１４３が元の状態に戻り、圧力室１１０の容積は初期状態（予め電圧が印加された状態）と比較して増加し、副マニホールド流路１０５ａから個別インク流路１３２へとインクが吸い込まれる。その後、再び個別電極１３５に所定の電位が付与されたタイミングで圧電シート１４１〜１４３において活性領域と対向する部分が圧力室１１０側に凸となるように変形し、圧力室１１０の容積低下によりインクの圧力が上昇し、ノズル１０８からインクが吐出される。

次に、図７を参照しつつ、ＣＯＦ５０について詳細に説明する。図７は、ＣＯＦ５０の平面図である。なお、図７においては、説明の都合上、ＣＯＦ５０の長手方向の長さを短くしている。図７に示すように、ＣＯＦ５０は、アクチュエータユニット２１と実質的に同じ台形の平面外形を有する端子配置領域５０ａと、端子配置領域５０ａの長辺から外側に向かって延在している配線領域５０ｂと、制御基板５４のコネクタ５４ａに接続される配線領域５０ｂの端部に配置されたターミナル５０ｃとを含んでいる。

端子配置領域５０ａは、アクチュエータユニット２１の接合面に接合される領域である。端子配置領域５０ａには、個別電極１３５の個別ランド１３６に接合される多数の出力端子５８と、共通電極１３４と電気的に接続されたＣＯＭランド（図示せず）に接合されるグランド端子６０と、検査ランド１３７（図９参照）に接合される２つの検査端子５９とが配置されている。２つの検査端子５９は、端子配置領域５０ａの長辺の両端近傍において、多数の出力端子５８よりも長辺側に近い位置に配置されている。このため、ＣＯＦ５０がアクチュエータユニット２１の接合面に接合された状態においては、２つの検査端子５９が、アクチュエータユニット２１の長辺（台形形状の下底）の両端近傍、且つ、多数の個別電極１３５よりも当該接合面におけるＣＯＦ５０の引き出し方向側の端部に近い位置に配置される。

配線領域５０ｂの中央（幅方向に関する中央）には、ドライバＩＣ５２が実装されている。また、配線領域５０ｂには、ドライバＩＣ５２の図示しない出力端子と出力端子５８とを接続する出力配線５７ａと、ドライバＩＣ５２の図示しない制御端子とターミナル５０ｃとを接続する制御配線５７ｂと、検査端子５９に接続された検査配線７３と、ドライバＩＣ５２を制御するための制御信号に関する基準電位が付与されたグランド配線（制御信号用基準電位パターン）７４とが形成されている。そして、ＣＯＦ５０の短手方向の両端近傍には、端子配置領域５０ａ及び配線領域５０ｂの外縁に沿って延在するＣＯＭパターン（駆動信号用基準電位パターン）７２が形成されている。そして、端子配置領域５０ａにおけるＣＯＭパターン７２内にグランド端子６０が配置されている。また、グランド配線７４が、ドライバＩＣ５２とＣＯＭパターン７２との間に形成されており、検査配線７３が、ドライバＩＣ５２近傍においてグランド配線７４に接続されている。

ターミナル５０ｃは、制御基板５４のコネクタ５４ａに接続されるものであり、制御配線５７ｂ、グランド配線７４及びＣＯＭパターン７２と接続された多数の端子（図示せず）を有している。なお、グランド配線７４とＣＯＭパターン７２とは制御基板５４において短絡されている。

次に、図８及び図９を参照しつつ、ドライバＩＣ５２について詳細に説明する。図８は、ドライバＩＣ５２の機能ブロック図である。図９は、検査端子５９と共通電極１３４との位置関係を説明するための図である。なお、図９（ａ）は、ＣＯＦ５０及びアクチュエータユニット２１の部分拡大平面図であり、図９（ｂ）は、ＣＯＦ５０がアクチュエータユニット２１から剥離していないときのＣＯＦ５０及びアクチュエータユニット２１の部分断面図であり、図９（ｃ）は、ＣＯＦ５０がアクチュエータユニット２１から剥離したときのＣＯＦ５０及びアクチュエータユニット２１の部分断面図である。

図８に示すように、ドライバＩＣ５２は、駆動信号出力部（駆動信号出力部材）８１と、電気特性計測部（計測手段）８２と、剥離判断部（判断手段）８３と、通信部８４とを有している。駆動信号出力部８１は、図示しない上位の装置（例えば、ホストコンピュータ）からの指令に基づいてアクチュエータユニット２１を駆動させる駆動信号を出力するものである。駆動信号出力部８１が出力した駆動信号は、ドライバＩＣ５２の出力端子から出力配線５７ａ及び出力端子５８を介して、対応する個別電極１３５に供給される。

図９（ａ）及び図９（ｂ）に示すように、圧電シート１４１には、圧電シート１４１を厚み方向に貫通しつつ共通電極１３４と検査ランド１３７とを接続する内部配線１３４ａが形成されている。このため、ＣＯＦ５０がアクチュエータユニット２１から剥離していないときは、検査端子５９と共通電極１３４とが、検査ランド１３７及び内部配線１３４ａを介して電気的に接続され、検査端子５９と共通電極１３４との間の抵抗値が０．１Ω程度になる。上述したように、２つの検査端子５９が、個別電極１３５よりも当該接合面におけるＣＯＦ５０の引き出し方向側の端部に近い位置に配置されている。このため、図９（ｃ）に示すように、ＣＯＦ５０がアクチュエータユニット２１から剥離するときは、出力端子５８が個別ランド１３６から剥離されるより先に、検査端子５９が検査ランド１３７から剥離される。検査端子５９が検査ランド１３７から剥離されると、検査端子５９と共通電極１３４との間の抵抗値が∞Ωになる。

電気特性計測部８２は、各検査端子５９の電気特性を計測するものであり、抵抗測定回路８２ａを有している。抵抗測定回路８２ａは、検査端子５９の電気特性として、検査端子５９と共通電極１３４との間の抵抗を測定する。

図１０をさらに参照しつつ、抵抗測定回路８２ａについて説明する。図１０は、抵抗測定回路８２ａの内部構成を示す概略回路図である。抵抗測定回路８２ａは、一対のインバータ９６、９７と、コンパレータ９８とを有している。インバータ９６は、連続パルス信号が入力されることによって、ドライブ抵抗Ｒ１を介して検査端子５９に検査信号を出力するものである。インバータ９７は、インバータ９６からの検査信号をコンパレータ９８に出力するものである。コンパレータ９８は、インバータ９７からの出力電位と、ハイレベルの参照電圧とを比較するものである。上述したように、ＣＯＦ５０がアクチュエータユニット２１から剥離していない場合は、検査端子５９と共通電極１３４との間の抵抗値が０．１Ω程度となるため、インバータ９６の出力電位が常にローとなり、インバータ９７の出力電位が常にハイとなる。一方、ＣＯＦ５０がアクチュエータユニット２１から剥離している場合は、検査端子５９と共通電極１３４との間の抵抗値が∞Ωとなるため、インバータ９６の出力電位が入力された連続パルス信号に合わせてハイレベル及びローレベルの間で変化し、インバータ９７の出力電位もハイレベル及びローレベルの間で変化する。

したがって、コンパレータ９８は、インバータ９７の出力電位と参照電圧とが一致（共にハイレベル）しているときは、検査端子５９と共通電極１３４との間の抵抗値が０．１Ω程度とする計測結果を剥離判断部８３に出力し、インバータ９７の出力が参照電圧と一致しなくなったとき、つまり、インバータ９７の出力が一度でもローレベルとなったときは、検査端子５９と共通電極１３４との間の抵抗値が∞Ωとする計測結果を剥離判断部８３に出力する。

図８及び図９に戻って、剥離判断部８３は、抵抗測定回路８２ａからの計測結果に基づいて、ＣＯＦ５０がアクチュエータユニット２１から剥離したか否かを判断するものである。剥離判断部８３は、抵抗測定回路８２ａからの計測結果である抵抗値が０．１Ω程度であれば、ＣＯＦ５０がアクチュエータユニット２１から剥離していないと判断し、抵抗値が∞Ωであれば、ＣＯＦ５０がアクチュエータユニット２１から剥離したと判断する。通信部８４は、剥離判断部８３の判断結果を制御基板５４に送信するものである。なお、通信部８４の通信先は、インクジェットヘッド１の製造工程においてインクジェットヘッド１の検査を行う検査装置であってもよい。

以上、剥離状態として抵抗値が∞Ωの場合を説明したが、ＣＯＦ５０の接合部に外力が働いたとき、接合部が損傷して部分的な剥離状態となることがある。この場合、抵抗値は、損傷状態に対応した高抵抗状態となる。

剥離判断部８３は、接合部がこのような高抵抗状態にあるときにもＣＯＦ５０が剥離したと判断する。一例として、ドライブ抵抗Ｒ１が１００Ωで、インバータ９６は、２４Ｖで１０ｍＡの電流を流すことができるとして説明する。この場合、インバータ９７の閾値を２．５Ｖとして、剥離の有無が決められる。接合部が良好な接続状態（抵抗値：０．１Ω程度）にある場合、インバータ９７の出力電圧は１．００１Ｖとなる。インバータ９７の閾値は２．５Ｖであるので、インバータ９７の出力はハイレベルとなり、剥離判断部８３は接合部が剥離していないと判断する。一方、接合部が損傷して１ｋΩの抵抗値を持つ場合、インバータ９７の出力電圧は１０Ｖとなり、閾値の２．５Ｖより高くなる。このとき、インバータ９７の出力はローレベルとなり、剥離判断部８３は接合部が剥離したと判断する。この例の場合、接合部の抵抗が１５０Ω以上となると、剥離判断部８３によって、接合部が剥離したと判断される。

このように、インバータ９６の駆動能力とドライブ抵抗とは、アクチュエータユニット２１の駆動特性によって決定される。使用電圧範囲と剥離状態に対応する抵抗値を設定し、上記のように閾値を決めることで、完全な剥離状態に加えて、その状態に至る途中状態であっても、接合の異常を検知することができる。

以上、説明した本実施形態によると、検査端子５９と共通電極１３４との間の抵抗値を計測するという簡単な方法で、ＣＯＦ５０がアクチュエータユニット２１から剥離しているか否かを判断することができる。このため、インクジェットヘッド１の製造工程において、ＣＯＦ５０がアクチュエータユニット２１から剥離しているか否かの検査を容易に行うことができる。また、インクジェットヘッド１またはインクジェットプリンタ１０１の出荷後において、経時的な温度変化により、ＣＯＦ５０がアクチュエータユニット２１から剥離した場合に、ＣＯＦ５０がアクチュエータユニット２１から剥離したことを容易に発見することができる。さらに、電気特性計測部８２を簡単な回路構成で実現することができる。

また、グランド配線７４が、ドライバＩＣ５２とＣＯＭパターン７２との間に形成されており、検査配線７３が、ドライバＩＣ５２近傍においてグランド配線７４に接続されているため、検査配線７３を、ターミナル５０ｃまで引き回す必要がなくなる。これにより、ＣＯＦ５０の表面積を小さくすることができる。

さらに、２つの検査端子５９が、アクチュエータユニット２１の長辺の両端近傍、且つ、多数の個別電極１３５よりも当該接合面におけるＣＯＦ５０の引き出し方向側の端部に近い位置に配置されているため、ＣＯＦ５０がアクチュエータユニット２１から剥離するのを効率よく抑制することができる。また、検査端子５９が剥離開始位置に配置されているため、ＣＯＦ５０がアクチュエータユニット２１から剥離したことを素早く判断することができる。

なお、本実施形態においては、検査ランド１３７が共通電極１３４と電気的に接続される構成となっているが、検査ランド１３７が金属部材である流路ユニット９と電気的に接続される構成であってもよい。この場合、流路ユニット９が図示しないフレームなどを介してグランド電位が付与されていることが好ましい。

＜第２実施形態＞
次に、図１１及び図１２を参照しつつ、本発明に係る第２実施形態のインクジェットプリンタについて説明する。なお、第１実施形態と実質的に同一の部材及び機能部については、第１実施形態と同一の符号を付して説明を省略する。図１１は、第２実施形態のインクジェットプリンタが有するドライバＩＣ１５２の機能ブロック図である。図１２は、検査端子５９と共通電極１３４との位置関係を説明するための図である。図１２（ａ）は、ＣＯＦ５０及びアクチュエータユニット２１の部分拡大平面図である。図１２（ｂ）は、ＣＯＦ５０がアクチュエータユニット２１から剥離していないときのＣＯＦ５０及びアクチュエータユニット２１の部分断面図である。図１２（ｃ）は、ＣＯＦ５０がアクチュエータユニット２１から剥離したときのＣＯＦ５０及びアクチュエータユニット２１の部分断面図である。図１１に示すように、ドライバＩＣ１５２は、駆動信号出力部８１と、電気特性計測部（計測手段）１８２と、剥離判断部（判断手段）１８３と、通信部８４とを有している。

図１２（ａ）及び図１２（ｂ）に示すように、ＣＯＦ５０がアクチュエータユニット２１から剥離していないときは、検査端子５９と共通電極１３４とが圧電シート１４１を介して近接しているため、検査端子５９と共通電極１３４との間の静電容量が１０ｐＦ程度になる。なお、本実施形態においては、検査ランド１３７は接合面上に配設されているだけで、検査ランド１３７と共通電極１３４とは直接接続されていない。また、図１２（ｃ）に示すように、検査端子５９が検査ランド１３７から剥離されると、検査端子５９と共通電極１３４とが対向しなくなるため、検査端子５９と共通電極１３４との間の静電容量が０ｐＦになる。

電気特性計測部１８２は、各検査端子５９の電気特性を計測するものであり、静電容量測定回路１８２ａを有している。静電容量測定回路１８２ａは、検査端子５９の電気特性として、検査端子５９と共通電極１３４との間の静電容量を測定する。図１３をさらに参照しつつ、静電容量測定回路１８２ａについて説明する。図１３は、静電容量測定回路１８２ａの内部構成を示す概略回路図である。図１３に示すように、静電容量測定回路１８２ａは、一対のインバータ９６、９７と、Ａ／Ｄコンバータ１９８とを有している。インバータ９６は、パルス信号が入力されることによって、ドライブ抵抗Ｒ１を介して検査端子５９に検査パルス信号を出力するものである。インバータ９７は、インバータ９６からの検査パルス信号をＡ／Ｄコンバータ１９８に出力するものである。Ａ／Ｄコンバータ１９８は、インバータ９７からの出力電位をデジタル信号で出力するものである。上述したように、ＣＯＦ５０がアクチュエータユニット２１から剥離していない場合は、検査端子５９と共通電極１３４との間の静電容量が１０ｐＦ程度となるため、インバータ９６からの検査パルス信号の立ち上がり時間及び立ち下がり時間が、入力されたパルス信号よりも長くなる。一方、ＣＯＦ５０がアクチュエータユニット２１から剥離している場合は、検査端子５９と共通電極１３４との間の静電容量が０ｐＦとなるため、インバータ９６からの検査パルス信号の立ち上がり時間及び立ち下がり時間が、入力されたパルス信号とほぼ一致する。

Ａ／Ｄコンバータ１９８は、インバータ９６に入力されるパルス信号が立ち上がって所定時間経過したタイミングで、インバータ９７からの出力電位をサンプリングする。このとき、検査端子５９と共通電極１３４との間の静電容量が大きくなるほど、パルスの立ち上がり時間が遅くなり、サンプリングした出力電位が低くなる。逆に、検査端子５９と共通電極１３４との間の静電容量が小さくなるほど、パルスの立ち上がり時間が早くなり、サンプリングした出力電位が高くなる。静電容量測定回路１８２ａは、サンプリングした出力電位を示すデジタル信号を静電容量に対応する計測結果として剥離判断部１８３に出力する。

図１１及び図１２に戻って、剥離判断部１８３は、静電容量測定回路１８２ａからの計測結果に基づいて、ＣＯＦ５０がアクチュエータユニット２１から剥離したか否かを判断するものである。剥離判断部１８３は、静電容量測定回路１８２ａからの計測結果である電圧値（静電容量）が所定値より小さければ、ＣＯＦ５０がアクチュエータユニット２１から剥離していないと判断し、電圧値（静電容量）が所定値より大きければ、ＣＯＦ５０がアクチュエータユニット２１から剥離したと判断する。

また、本実施形態でも、上述の第１実施形態と同様に、Ａ／Ｄコンバータ１９８がサンプリングする出力電圧に対して閾値を設定することで、完全な剥離状態に加えて、その状態に至る途中状態であっても、接合の異常を検知することができる。

以上、説明した本実施形態によると、検査端子５９と共通電極１３４との間の静電容量を計測するという簡単な方法でＣＯＦ５０がアクチュエータユニット２１から剥離しているか否かを判断することができる。

＜変形例＞
図１４を参照しつつ本実施形態に係る変形例について説明する。図１４は、本変形例におけるＣＯＦ１５０の部分拡大平面図である。図１４に示すように、ＣＯＦ１５０において、検査端子５９に接続された検査配線１７３が、検査端子５９に隣接する個別電極１３５である検査個別電極１３５ａに接続された出力配線５７ａに接続されている。これにより、検査端子５９と検査個別電極１３５ａとが電気的に接続されている。そして、静電容量測定回路１８２ａは、共通電極１３４と検査端子５９との間、及び、共通電極１３４と検査個別電極１３５ａとの間の各静電容量の合計値を計測する。なお、静電容量測定回路１８２ａのインバータ９６は、検査個別電極１３５ａに駆動信号を出力するための駆動回路の一部が用いられている。

本変形例によると、検査個別電極１３５ａに駆動信号を出力するための駆動回路の一部が用いられているため、ドライバＩＣ５２の回路規模が大きくなるのを抑制することができる。

なお、本変形例においては、検査個別電極１３５ａに駆動信号を出力するため駆動回路が、検査個別電極１３５ａを含む各個別電極１３５に対応するアクチュエータユニット２１の駆動特性が同じになるように、検査個別電極１３５ａに出力する駆動信号の電流値を、検査個別電極１３５ａを除く他の個別電極１３５に出力する駆動信号の電流値よりも大きくなるように構成されていることが好ましい。具体的には、検査個別電極１３５ａに駆動信号を出力するため駆動回路のトランジスタのＯＮ抵抗を、他の駆動回路よりも小さくする。これによると、アクチュエータユニット２１の駆動特性のばらつきを抑制することができる。

＜第３実施形態＞
次に、図１５を参照しつつ、本発明に係る第３実施形態のインクジェットプリンタについて説明する。なお、第２実施形態と実質的に同一の部材及び機能部については、第２実施形態と同一の符号を付して説明を省略する。図１５は、第３実施形態のインクジェットプリンタが有するドライバＩＣ２５２及び制御基板２５４の機能ブロック図である。図１５に示すように、ドライバＩＣ２５２は、駆動信号出力部８１と、検査信号出力部２８５とを有している。また、制御基板２５４は、電気特性計測部（電気特性計測手段）２８２と、剥離判断部（判断手段）２８３とを有している。

図１６を参照しつつ検査信号出力部２８５及び電気特性計測部２８２について説明する。図１６は、検査信号出力部２８５及び電気特性計測部２８２の内部構成を示す概略回路図である。図１６に示すように、検査信号出力部２８５は、パルス信号が入力されることによって、ドライブ抵抗Ｒ１を介して検査端子５９に検査パルス信号を出力するインバータ２９６を有している。電気特性計測部２８２は、各検査端子５９の電気特性を計測するものであり、検査端子５９に検査パルス信号を出力したときのインバータ２９６の消費電力を計測する。また、電気特性計測部２８２は、計測結果を剥離判断部２８３に出力する。

ＣＯＦ５０がアクチュエータユニット２１から剥離していない場合は、検査端子５９と共通電極１３４との間の静電容量が１０ｐＦ程度となるため（図１２参照）、インバータ２９６から検出信号を出力することによって、検査端子５９及びアクチュエータユニット２１を介してグランドに電流が流れ、インバータ２９６の消費電力が大きくなる。一方、ＣＯＦ５０がアクチュエータユニット２１から剥離している場合は、検査端子５９と共通電極１３４との間の静電容量が０ｐＦとなるため、検査端子５９及びアクチュエータユニット２１を介してグランドに電流が流れることがなく、インバータ２９６の消費電力が小さくなる。

図１５に戻って、剥離判断部２８３は、電気特性計測部２８２からの計測結果に基づいて、ＣＯＦ５０がアクチュエータユニット２１から剥離したか否かを判断するものである。剥離判断部２８３は、インバータ２９６の消費電力が所定値より小さければ、ＣＯＦ５０がアクチュエータユニット２１から剥離していないと判断し、消費電力が所定値より大きければ、ＣＯＦ５０がアクチュエータユニット２１から剥離したと判断する。なお、剥離判断部２８３は、電気特性計測部２８２からの計測結果に基づいて、ＣＯＦ５０がアクチュエータユニット２１から剥離した程度も判断することができる。つまり、インバータ２９６が、検査端子５９に対して、周波数Ｆ、電圧Ｖの検査パルス信号を出力したとき、インバータ２９６の消費電力ｉは、ｉ＝ＦＣＶ^２となる。これにより、消費電力ｉから検査端子５９と共通電極１３４との間の静電容量Ｃを算出することができる。静電容量Ｃは、検査端子５９が共通電極１３４からの離隔距離（剥離）により変化するため、算出した静電容量Ｃに基づいて、ＣＯＦ５０がアクチュエータユニット２１から剥離した程度を判断することができる。

また、本実施形態でも、上述の第１実施形態と同様に、電気特性計測部２８２が計測するインバータ２９６の消費電力に対して閾値を設定することで、完全な剥離状態に加えて、その状態に至る途中状態であっても、接合の異常を検知することができる。

以上、説明した本実施形態によると、インバータ２９６の消費電力を計測するという簡単な方法でＣＯＦ５０がアクチュエータユニット２１から剥離しているか否かを判断することができる。

以上、本発明の好適な実施形態について説明したが、本発明は上述の実施形態に限られるものではなく、特許請求の範囲に記載した限りにおいて様々な変更が可能なものである。例えば、上述した第１〜第３実施形態においては、ＣＯＦ５０、１５０に２つの検査端子５９が配置される構成であるが、１つの検査端子が配置されてもよいし、３つ以上の検査端子が配置されてもよい。

また、上述した第１〜第３実施形態においては、２つの検査端子５９が、アクチュエータユニット２１の長辺の両端近傍、且つ、多数の個別電極１３５よりも当該接合面におけるＣＯＦ５０の引き出し方向側の端部に近い位置に配置される構成であるが、検査端子は任意の位置に配置されていてもよい。

さらに、上述した第１実施形態においては、ＣＯＦ５０、１５０において、グランド配線７４が、ＣＯＭパターン７２との間に形成されており、検査配線７３が、ドライバＩＣ５２近傍においてグランド配線７４に接続される構成であるが、ＣＯＭパターンは、ＣＯＦの任意の位置に形成されていてもよいし、検査配線７３が、グランド配線７４に接続されていなくてもよい。

加えて、上述した第１及び第２実施形態においては、アクチュエータユニット２１の圧電シート１４１の表面に検査ランド１３７が形成されており、ＣＯＦ５０の検査端子５９が検査ランド１３７に接合される構成となっているが、検査端子５９が接着剤などにより圧電シート１４１の表面に直接接合されてもよい。

また、上述の第１実施形態では、２つのインバータ９６、９７の組み合わせによって、検査端子５９と共通電極１３４との間の抵抗値から接合部の状態を判断していたが、第３実施形態のように、インバータの消費電力から接合部の状態を判断してもよい。例えば、図１７に示すように、インバータ２９６は、内部配線１３４ａを介して共通電極１３４に接続された検査端子５９に対してハイレベルを出力するように駆動されている。接合部が良好な接合状態であれば、このハイレベル出力に対応した直流電流が電気特性計測部２８２にも流れる。接合部が剥離状態であれば、電気特性計測部２８２に電流は流れない。また、接合部が損傷していると、そのときの検査端子５９における抵抗値に対応した電流が流れる。この場合でも、上述の実施形態と同様に、電気特性計測部２８２が計測するインバータ２９６の消費電力に対して閾値を設定することで、完全な剥離状態に加えて、その状態に至る途中状態であっても、接合の異常を検知することができる。

なお、上述した第１〜第３実施形態においては、インクジェットプリンタ１０１としてインクジェット記録装置が構成されたものであるが、インクジェット記録装置がインクジェットヘッド１単体として構成されたものであってもよい。

本発明の第１実施形態に係るインクジェットヘッドの外観側面図である。 図１に示すインクジェットヘッドの短手方向に沿った断面図である。 図２に示すヘッド本体の平面図である。 図３に示す一点鎖線で囲まれた領域の拡大図である。 図４に示すV−V線断面図である。 図４に示すアクチュエータユニットを説明するための図である。 図２に示すＣＯＦの平面図である。 図２に示すドライバＩＣの機能ブロック図である。 図２に示す検査端子と共通電極との位置関係を説明するための図である。 図８に示す抵抗測定回路の内部構成を示す概略回路図である。 本発明の第２実施形態に係るドライバＩＣの機能ブロック図である。 図１１に示す検査端子と共通電極との位置関係を説明するための図である。 図１１に示す静電容量測定回路の内部構成を示す概略回路図である。 変形例であるＣＯＦの部分拡大平面図である。 本発明の第３実施形態に係るドライバＩＣの機能ブロック図である。 図１５に示す検査信号出力部及び電気特性計測部の内部構成を示す概略回路図である。 本発明の第１実施形態の変形例である電気特性計測部の内部構成を示す概略回路図である。

符号の説明

１ インクジェットヘッド
９ 流路ユニット
２１ アクチュエータユニット
５０ ＣＯＦ
５０ａ 端子配置領域
５０ｂ 配線領域
５０ｃ ターミナル
５４、２５４ 制御基板
５４ａ コネクタ
５７ａ 出力配線
５７ｂ 制御配線
５８ 出力端子
５９ 検査端子
６０ グランド端子
７２ ＣＯＭパターン
７３、１７３ 検査配線
７４ グランド配線
８１ 駆動信号出力部
８２、１８２、２８２ 電気特性計測部
８２ａ 抵抗測定回路
８３、１８３、２８３ 剥離判断部
８４ 通信部
９６、９７ インバータ
９８ コンパレータ
１０１ インクジェットプリンタ
１３４ 共通電極
１３４ａ 内部配線
１３５ 個別電極
１３５ａ 検査個別電極
１３６ 個別ランド
１３７ 検査ランド
１４１〜１４３ 圧電シート
１８２ａ 静電容量測定回路
１９８ Ａ／Ｄコンバータ
２８５ 検査信号出力部
２９６ インバータ
５２、１５２、２５２ ドライバＩＣ
Ｒ１ ドライブ抵抗

Claims (9)

1. 圧力室を介してノズルに至る複数の個別インク流路が形成された流路ユニットと、
   前記流路ユニットに固定されていると共に、複数の前記圧力室に関連付けられた複数の個別電極、共通電極、前記複数の個別電極と前記共通電極との間に配置された圧電層、及び、前記流路ユニットとの固定面とは反対側の接合面に配置されつつ前記複数の個別電極と電気的に接続された複数の個別ランドを有するアクチュエータと、
   前記複数の個別ランドに接合された複数の出力端子、及び、前記アクチュエータの前記接合面に接合された検査端子を有する平型柔軟基板と、
   前記アクチュータを駆動するための駆動信号を、前記出力端子を介して前記個別電極に出力する駆動信号出力部材と、
   前記検査端子の電気特性を計測する計測手段と、
   前記計測手段の計測結果に基づいて、前記検査端子が前記アクチュエータの前記接合面から剥離しているか否かを判断する判断手段とを備えていることを特徴とするインクジェット記録装置。
2. 前記計測手段が、前記共通電極と前記検査端子との間の静電容量を計測することを特徴とする請求項１に記載のインクジェット記録装置。
3. 前記検査端子と前記複数の個別電極の１つである検査個別電極とが電気的に接続されており、
   前記計測手段が、前記共通電極と前記検査端子との間、及び、前記共通電極と前記検査個別電極との間の各静電容量の合計値を計測することを特徴とする請求項１に記載のインクジェット記録装置。
4. 前記駆動信号出力部材が、各個別電極に対応する前記アクチュエータの駆動特性が同じになるように、前記検査個別電極に出力する駆動信号の電流値を、前記検査個別電極を除く他の前記個別電極に出力する駆動信号の電流値よりも大きくすることを特徴とする請求項３に記載のインクジェット記録装置。
5. 前記アクチュエータが、前記接合面に配置されつつ前記共通電極と電気的に接続された検査ランドをさらに有しており、
   前記検査端子が、前記検査ランドを介して前記アクチュエータの前記接合面に接合されており、
   前記計測手段が、前記共通電極と前記検査端子との間の抵抗値を計測することを特徴とする請求項１に記載のインクジェット記録装置。
6. 前記流路ユニットが金属部材を含んでおり、
   前記アクチュエータが、前記接合面に配置されつつ前記金属部材と電気的に接続された検査ランドをさらに有しており、
   前記検査端子が、前記検査ランドを介して前記アクチュエータの前記接合面に接合されており、
   前記計測手段が、前記金属部材と前記検査端子との間の抵抗値を計測することを特徴とする請求項１に記載のインクジェット記録装置。
7. 前記平型柔軟基板が一方向に延在しているとともに、前記平型柔軟基板の幅方向に関する中央に前記駆動信号出力部材が取り付けられており、
   前記駆動信号に関する基準電位が付与された駆動信号用基準電位パターンが、前記平型柔軟基板の前記幅方向に関する両端近傍に沿って延在するように形成されており、
   前記駆動信号出力部材を制御するための制御信号に関する基準電位が付与された制御信号用基準電位パターンが、前記平型柔軟基板における前記駆動信号出力部材と前記駆動信号用基準電位パターンとの間に形成されており、
   前記検査端子が、制御信号用基準電位パターンに電気的に接続されていることを特徴とする請求項１〜６のいずれかに記載のインクジェット記録装置。
8. 前記計測手段が、前記検査端子に検査信号を出力したときの消費電流に基づいて前記検査端子の電気特性を計測することを特徴とする請求項１〜７のいずれかに記載のインクジェット記録装置。
9. 前記平型柔軟基板が、前記アクチュエータから一方に向かって延在しており、
   前記検査端子が、前記複数の個別電極よりも前記アクチュエータにおける前記一方側の端部に近い位置に配置されていることを特徴とする請求項１〜８のいずれかに記載のインクジェット記録装置。

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