[go: up one dir, main page]

JP4122541B2 - シ−ルド材 - Google Patents

シ−ルド材 Download PDF

Info

Publication number
JP4122541B2
JP4122541B2 JP19672097A JP19672097A JP4122541B2 JP 4122541 B2 JP4122541 B2 JP 4122541B2 JP 19672097 A JP19672097 A JP 19672097A JP 19672097 A JP19672097 A JP 19672097A JP 4122541 B2 JP4122541 B2 JP 4122541B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
metal film
film layer
layer
metal
shield
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Lifetime
Application number
JP19672097A
Other languages
English (en)
Other versions
JPH1140980A (ja
Inventor
和男 岩岡
新一 加藤
文雄 森中
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Panasonic Corp
Panasonic Holdings Corp
Original Assignee
Panasonic Corp
Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Panasonic Corp, Matsushita Electric Industrial Co Ltd filed Critical Panasonic Corp
Priority to JP19672097A priority Critical patent/JP4122541B2/ja
Publication of JPH1140980A publication Critical patent/JPH1140980A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP4122541B2 publication Critical patent/JP4122541B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K9/00Screening of apparatus or components against electric or magnetic fields
    • H05K9/0073Shielding materials
    • H05K9/0081Electromagnetic shielding materials, e.g. EMI, RFI shielding
    • H05K9/0088Electromagnetic shielding materials, e.g. EMI, RFI shielding comprising a plurality of shielding layers; combining different shielding material structure

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Electromagnetism (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Shielding Devices Or Components To Electric Or Magnetic Fields (AREA)

Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は電磁波ノイズ、静電ノイズを低減させるためのシ−ルド材に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
電気、電子回路から発生する不要な電磁波の放射防止、逆に電気、電子回路に侵入する不要な電磁波ノイズの低減や静電気による電子部品の破壊防止を目的とした対策のために従来より多くの電子部品やシ−ルド材が提案されてきた。
【0003】
近年、電気、電子回路に使用される制御周波数が高周波に移行していることや制御方式がアナログ方式からデジタル方式になるに従って、電気、電子回路から放射される電磁波ノイズや、逆に外部から侵入する電磁波ノイズが問題になってきた。また、回路形成に使用される半導体部品では静電気による悪影響が問題となって来た。従来よりこれら電磁波ノイズや、静電気ノイズ防止対策として回路内部に抵抗器、コンデンサ、コイル等で構成されるノイズフィルタ−部品の使用や、ノイズを発生する電気、電子回路の部分を金属板で覆うことや、機器の筐体を金属製にしたり、筐体内部表面に金属層を形成したり、金属箔を必要部分に貼付して使用していた。又、金属箔のシ−ルド材としては圧延法や、電界法で製作された金属箔が多く使用されてきた。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
これら電磁波ノイズや、静電気ノイズに影響されやすい精密な電気制御機器、携帯用機器、情報端末機が増加するに従ってこれらの機器より放射される電磁波や、これらの機器に侵入して機器の誤動作を誘発する電磁波や静電気ノイズが課題になってきた。特に携帯電話や携帯情報端末機は人体付近の使用が多く、使用周波数が高いことなどで漏洩電磁波が人体に与える影響が懸念されているとともに外部からのノイズの侵入による機器の誤動作を防止することが必要である。又、これらの携帯用機器はノイズの受発振防止とともに携帯機器の性格上小型、軽量化が望まれている。
【0005】
本発明はこれらの点に鑑み、電磁波ノイズや、静電気ノイズの低減効果が優れ、かつ軽量なシ−ルド材を堤供するものである。
【0006】
【課題を解決するための手段】
本発明は、電磁波ノイズの放射低減や、侵入低減、また静電気ノイズにより電子部品の破壊を防止するために使用されるシールド材で、真空蒸着法を用いて高分子フィルム上に電気伝導度の優れた銅(Cu)の金属膜層と、該銅(Cu)の金属膜層の変色や酸化を防止するために、該銅(Cu)の金属膜層の表面に耐侯性の良好なアルミニウム(Al)の金属膜層との2層の金属膜層を形成して全厚が薄く、軽く、しかもシールド効果の優れたシールド材とし、該シールド材を金属膜層の厚み対ノイズ低減効果をより効率的にするために2枚以上ラミネートした後にスルーホールを設け、該スルーホール内に導電性インクを充填し、シールド材の各々の金属膜層間を電気的に接続したシールド材としたもので、広範囲のシールドに対応できるようにしたものである。
【0007】
【発明の実施の形態】
本発明は、電磁波、及び静電気をシ−ルドするシ−ルド材において、基板に高分子形成物よリ成る長尺のフィルムを用い、該フィルム表面上に真空中で金属膜の層を形成する方法を用いて製作することで不要な電磁波、及び静電気をシ−ルドする。
【0008】
また、真空中で金属膜層を形成する方法が真空蒸着法であって1層目の金属膜層が銅(Cu),アルミニウム(Al),のいずれかであり2層目の金属膜層がスズ(Sn),ニッケル(Ni),クロム(Cr),チタン(Ti),アルミニウム(Al)のいずれかである、1層の金属膜層もしくわ2層の金属膜層で有ることを特徴とすることで、これらの第1層目の金属が電磁波、及び静電気のシ−ルドに有効であり、2層目の金属は1層目の金属の防錆に有効である。
【0009】
さらに、高分子形成物よリ成る長尺のフィルム表面上に金属膜層を形成したシ−ルド材を接着剤を介して2枚以上ラミネ−トすることで、低減させようとする電磁波ノイズの周波数範囲が広くする。
【0010】
さらに、ラミネ−トされた2枚以上のシ−ルド材の各々の金属膜層間を電気的に接続することで、中間層にラミネ−トされた金属膜層を表面層の金属膜層と導通させることやア−スに落とすこととなる。
【0011】
【実施例】
本発明の詳細な内容を実施例を掲げて説明する。
【0012】
図1に本発明シ−ルド材の製造方法例を示す。本発明シ−ルド材は真空蒸着法により高分子フィルム上に金属膜層を形成して成るもので、真空槽1を仕切板2にてフィルムの巻出し、巻き取り室3と蒸着室4に分離されている。巻出し、巻き取り室3と蒸着室4は各々真空排気管5及び、6にて必要な真空度に排気されるようにしてある。巻出し軸7から出た厚さ9μmのポリエチレンテレフタレ−トフィルム8(以降PETフィルム)は、フリ−ロ−ル9を経て蒸着用ドラム10の外周面上を蒸着用ドラム10と同期して一定の速度で走行させる。本実施例では20m/minの速度で走行させた。蒸着用ドラム10の下部に対向させて蒸発金属15を配置した。蒸発金属15は耐熱性の高い材料から成るルツボ14の内部に入れた後加熱源16にて昇温、溶解、蒸発させる。蒸発原子17はルツボ14より蒸発してPETフィルム8の表面に付着、堆積することで金属膜層が形成される。本実施例では図示されていないが蒸発金属を昇温、溶解、蒸発過程では蒸着用ドラム10と蒸発金属15の間に遮蔽板を配置し、蒸発金属15が充分に蒸発した後、遮蔽板を除くことで速度中のPETフィルム8の表面に金属膜層を形成した。金属膜層が形成され金属化された金属化フィルム11はフリ−ロ−ル12を経て巻き取り軸13に巻き取られる。本実施例では上述した方法により1層目の金属膜層に銅(Cu)を厚さ1μmに形成した後、2層目の金属層としてニッケル(Ni)を厚さ0.1μm形成した。尚、1層目の金属膜層及び、2層目の金属膜層の厚みはシ−ルド効果や真空蒸着法による金属膜層を形成する場合の効果を検討した結果、各々0.2〜2μm,0.05〜0.2μmの範囲が本発明を構成するのに最適であった。
【0013】
図2に本発明シ−ルド材実施例1の断面構造図を示す。PETフィルム8の表面上に真空蒸着法で銅(Cu)18を厚さ1μmに形成した。銅(Cu)18層表面上の防錆剤19は必要に応じて塗布塗布すればよい。本実施例は金属膜層が銅(Cu)1層タイプのシ−ルド材を示す。
【0014】
図3に本発明シ−ルド材実施例2の断面構造図を示す。PETフィルム8の表面上に同じく真空蒸着法で銅(Cu)18を厚さ1μmに形成した後、銅(Cu)18の表面上に真空蒸着法でニッケル(Ni)20を厚さ0.1μmに形成した金属膜層が銅(Cu)18、ニッケル(Ni)20の2層タイプシ−ルド材の断面図を示す。1層目に銅(Cu)18を使用することは良好な電気伝導度を求めたものであり、銅以外に銀(Ag)が有効であった。また2層目の金属膜であるニッケル(Ni)20は銅(Cu)18層の防錆用としの金属膜層でありニッケル以外にスズ(Sn),クロム(Cr),チタン(Ti),アルミニウム(Al)の金属膜層が有効であった。
【0015】
図4本発明の実施例3を示す。図3に示したPETフィルム8の表面上に銅(Cu)18、ニッケル(Ni)20の金属膜層を形成した2層タイプシ−ルド材を接着剤24にてラミネ−トした後スル−ホ−ル22を設け、該スル−ホ−ル内に導電性インク23を充填して金属膜層18、18’及び、20、20’を電気的に接続したシ−ルド材を示す。このようなラミネ−トタイプのシ−ルド材はシ−ルド目的に合わせて必要枚数をラミネ−トしてシ−ルド材とすることで多くのシ−ルドに対応できる。
【0016】
尚、本発明実施例では詳細を説明するために、具体的な材料や、寸法、形状、方法を記述したが本発明はこれらに限定されるものではない。
【0017】
この様にして得られた本発明シ−ルド材のシ−ルド効果をタケダ理研法で測定した結果を表−1に示す。
【0018】
【表1】
Figure 0004122541
【0019】
表−1に示された如く、10、100、300MHzにおける電界シ−ルド効果は、従来より使用されている比較例に掲げたPETと銅箔をラミネ−トしたシ−ルド材と同等のシ−ルド効果を示した。又、磁界−ルドにおいては10MHzでは導電体層の厚み効果により本発明は比較例に比べて効果は低いが周波数が300MHzでは比較例に比べて本実施例は金属層の厚みが約22%であるにもかかわらずシ−ルド効果は8.3%程度低いに過ぎなかった。さらに、実施例と比較例でのシ−ルド材での静電シ−ルド効果を測定したところ本実施例すべてのシ−ルド材で比較例と同様の効果があった。尚、1層目金属の防錆用として塗布した防錆剤や、2層目にニッケル(Ni)、錫(Sn),クロム(Cr),チタン(Ti),アルミニウム(Al)を形成したシ−ルド剤について、85℃、60%の恒温恒湿槽で12時間放置試験を実施した。この結果1層のみの金属膜層で構成されたシ−ルド材に比較して防錆剤や防錆用に2層目を形成したシ−ルド材の1層目の変色や、腐食は大幅に少なかった。
【0020】
【発明の効果】
この様に本発明により、下記の点において、効果をもたらした。
【0021】
1、高分子フィルム・金属膜層の構成で全厚が薄く、しかも軽いシ−ルド材であリ、優れたシ−ルド効果が得られる。
【0022】
2、製造工程が少なく、金属膜成膜が早い、等により低コストのシ−ルド材が提供できる。
【0023】
3、フレキシビリティに富みシ−ルド材の加工性が高く多方面に使用できため、工業的価値が大である。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明における真空蒸着法による金属膜層の形成方法を示す図
【図2】本発明の実施例1の断面構成例を示す図
【図3】本発明の実施例2の断面構成例を示す図
【図4】本発明の実施例3の断面構成例を示す図
【符号の説明】
8:高分子フィルム
11:金属化フィルム
18:銅(Cu)金属膜層
20:ニッケル(Ni)金属膜層

Claims (2)

  1. 電磁波、及び静電気をシールドするシールド材において、基板に高分子形成物よりなる長尺のフィルムを用い、該フィルム表面上に真空中で金属膜の層を形成する方法を用いて金属膜層を形成したシールド材を、接着剤を介して2枚以上ラミネートした後にスルーホールを設け、前記スルーホール内に導電性インクを充填して、前記シールド材の各々の前記金属膜層間を電気的に接続してなるシールド材であって、前記金属膜の層が2層で、1層目の金属膜層が銅(Cu)であり、1層目の表面に形成する2層目の金属膜層がアルミニウム(Al)であることを特徴とするシールド材。
  2. 1層目の銅(Cu)の金属膜層の厚みが0.2〜2(μm)の範囲であり、2層目のアルミニウム(Al)金属膜層の厚みが0.05〜0.2(μm)の範囲であることを特徴とする請求項1記載のシールド材。
JP19672097A 1997-07-23 1997-07-23 シ−ルド材 Expired - Lifetime JP4122541B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP19672097A JP4122541B2 (ja) 1997-07-23 1997-07-23 シ−ルド材

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP19672097A JP4122541B2 (ja) 1997-07-23 1997-07-23 シ−ルド材

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH1140980A JPH1140980A (ja) 1999-02-12
JP4122541B2 true JP4122541B2 (ja) 2008-07-23

Family

ID=16362483

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP19672097A Expired - Lifetime JP4122541B2 (ja) 1997-07-23 1997-07-23 シ−ルド材

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP4122541B2 (ja)

Families Citing this family (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001308574A (ja) * 2000-04-25 2001-11-02 Tokin Corp Esd抑制シート
KR20030037965A (ko) * 2001-11-07 2003-05-16 이영하 전자파의 중화장치 및 그 방법
JP4976316B2 (ja) * 2008-01-22 2012-07-18 清二 加川 電磁波吸収フィルム
JP5202377B2 (ja) * 2008-04-21 2013-06-05 信越ポリマー株式会社 カバーレイフィルムおよびフレキシブルプリント配線板
JP5038497B2 (ja) 2008-06-26 2012-10-03 清二 加川 電磁波吸収フィルム及びそれを用いた電磁波吸収体
CN102046370B (zh) 2009-02-13 2014-05-14 加川清二 带线状痕迹的金属薄膜-塑料复合膜及其制造装置
KR101363183B1 (ko) * 2010-03-30 2014-02-13 제이엑스 닛코 닛세키 킨조쿠 가부시키가이샤 전자파 실드용 복합체
JP5325175B2 (ja) 2010-07-15 2013-10-23 Jx日鉱日石金属株式会社 銅箔複合体、及び成形体の製造方法
CN103501997B (zh) 2011-05-13 2015-11-25 Jx日矿日石金属株式会社 铜箔复合体和用于其的铜箔、以及成型体及其制造方法
US20140154469A1 (en) 2011-07-26 2014-06-05 Seiji Kagawa Electromagnetic-wave-absorbing film having high thermal dissipation
CN103140124A (zh) * 2011-12-03 2013-06-05 深圳富泰宏精密工业有限公司 电磁屏蔽方法及制品
HUE030342T2 (en) 2012-01-13 2017-05-29 Jx Nippon Mining & Metals Corp Copper-foil composite, extruded body, and method for producing it
BR112014017075A2 (pt) 2012-01-13 2017-06-13 Jx Nippon Mining & Metals Corp composto de folha de cobre, produto formado e método de produção dos mesmos

Also Published As

Publication number Publication date
JPH1140980A (ja) 1999-02-12

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP4122541B2 (ja) シ−ルド材
EP0971381B1 (en) Electronic component
JP2020524414A (ja) 電磁シールド膜、回路基板及び電磁シールド膜の製造方法
US11195652B2 (en) Coil component
US11664153B2 (en) Coil component
CN110189899B (zh) 线圈组件
TWI426830B (zh) 雜訊抑制配線構件及其製造方法
US20190304671A1 (en) Coil component and method of manufacturing the same
WO2010044391A1 (ja) 電気抵抗膜付き金属箔及びその製造方法
US11587722B2 (en) Coil component
JP6764587B2 (ja) 金属化フィルムの製造方法
JP2010153534A (ja) カバーレイフィルム、その製造方法およびフレキシブルプリント配線板
JP6671051B2 (ja) 金属化フィルムおよび金属化フィルムの製造方法
JP4366292B2 (ja) 電磁波シールドフィルム
JP2000216591A (ja) シ―ルド材
CN105590751B (zh) 屏蔽型有机薄膜电容器制作工艺及屏蔽型有机薄膜电容器
JPH0644667B2 (ja) シ−ルド付可撓性プリント回路基板
JP2000212315A (ja) 両面蒸着フィルム
WO2018142876A1 (ja) グラファイト複合フィルム及びその製造方法
CN220202017U (zh) 氧化铝复合金属化薄膜和电容器
JP3410768B2 (ja) ノイズフィルタケーブル
CN110880638A (zh) 一种纳米天线装置的制造方法
WO2021206039A1 (ja) 金属化フィルムおよびその製造方法
JPH01287999A (ja) プリント配線板
JPH06177571A (ja) 電子機器用きょう体およびその製造方法

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20040702

RD01 Notification of change of attorney

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7421

Effective date: 20040805

RD01 Notification of change of attorney

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7421

Effective date: 20050624

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20070403

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20070612

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20070726

A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 20080108

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20080306

A911 Transfer of reconsideration by examiner before appeal (zenchi)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911

Effective date: 20080311

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20080408

A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20080421

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110516

Year of fee payment: 3

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110516

Year of fee payment: 3

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120516

Year of fee payment: 4

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120516

Year of fee payment: 4

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130516

Year of fee payment: 5

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130516

Year of fee payment: 5

EXPY Cancellation because of completion of term