[go: up one dir, main page]

JP4070417B2 - 窒化珪素質部材及びその製造方法並びに切削工具 - Google Patents

窒化珪素質部材及びその製造方法並びに切削工具 Download PDF

Info

Publication number
JP4070417B2
JP4070417B2 JP2001063490A JP2001063490A JP4070417B2 JP 4070417 B2 JP4070417 B2 JP 4070417B2 JP 2001063490 A JP2001063490 A JP 2001063490A JP 2001063490 A JP2001063490 A JP 2001063490A JP 4070417 B2 JP4070417 B2 JP 4070417B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
silicon nitride
base material
sintering
hard film
grain boundary
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
JP2001063490A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2002284589A (ja
Inventor
宏平 虻川
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Niterra Co Ltd
Original Assignee
NGK Spark Plug Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by NGK Spark Plug Co Ltd filed Critical NGK Spark Plug Co Ltd
Priority to JP2001063490A priority Critical patent/JP4070417B2/ja
Priority to EP01303041.6A priority patent/EP1138656B1/en
Priority to US09/821,020 priority patent/US6863963B2/en
Priority to KR1020010016953A priority patent/KR20010095175A/ko
Publication of JP2002284589A publication Critical patent/JP2002284589A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP4070417B2 publication Critical patent/JP4070417B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B41/00—After-treatment of mortars, concrete, artificial stone or ceramics; Treatment of natural stone
    • C04B41/009—After-treatment of mortars, concrete, artificial stone or ceramics; Treatment of natural stone characterised by the material treated
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B35/00—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
    • C04B35/515—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics
    • C04B35/58—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics based on borides, nitrides, i.e. nitrides, oxynitrides, carbonitrides or oxycarbonitrides or silicides
    • C04B35/584—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics based on borides, nitrides, i.e. nitrides, oxynitrides, carbonitrides or oxycarbonitrides or silicides based on silicon nitride
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B35/00—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
    • C04B35/515—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics
    • C04B35/58—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics based on borides, nitrides, i.e. nitrides, oxynitrides, carbonitrides or oxycarbonitrides or silicides
    • C04B35/584—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics based on borides, nitrides, i.e. nitrides, oxynitrides, carbonitrides or oxycarbonitrides or silicides based on silicon nitride
    • C04B35/593—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics based on borides, nitrides, i.e. nitrides, oxynitrides, carbonitrides or oxycarbonitrides or silicides based on silicon nitride obtained by pressure sintering
    • C04B35/5935—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics based on borides, nitrides, i.e. nitrides, oxynitrides, carbonitrides or oxycarbonitrides or silicides based on silicon nitride obtained by pressure sintering obtained by gas pressure sintering
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B41/00—After-treatment of mortars, concrete, artificial stone or ceramics; Treatment of natural stone
    • C04B41/45—Coating or impregnating, e.g. injection in masonry, partial coating of green or fired ceramics, organic coating compositions for adhering together two concrete elements
    • C04B41/52—Multiple coating or impregnating multiple coating or impregnating with the same composition or with compositions only differing in the concentration of the constituents, is classified as single coating or impregnation
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B41/00—After-treatment of mortars, concrete, artificial stone or ceramics; Treatment of natural stone
    • C04B41/80—After-treatment of mortars, concrete, artificial stone or ceramics; Treatment of natural stone of only ceramics
    • C04B41/81—Coating or impregnation
    • C04B41/89—Coating or impregnation for obtaining at least two superposed coatings having different compositions
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B2235/00—Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
    • C04B2235/02—Composition of constituents of the starting material or of secondary phases of the final product
    • C04B2235/30—Constituents and secondary phases not being of a fibrous nature
    • C04B2235/32—Metal oxides, mixed metal oxides, or oxide-forming salts thereof, e.g. carbonates, nitrates, (oxy)hydroxides, chlorides
    • C04B2235/3205—Alkaline earth oxides or oxide forming salts thereof, e.g. beryllium oxide
    • C04B2235/3206—Magnesium oxides or oxide-forming salts thereof
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B2235/00—Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
    • C04B2235/02—Composition of constituents of the starting material or of secondary phases of the final product
    • C04B2235/30—Constituents and secondary phases not being of a fibrous nature
    • C04B2235/32—Metal oxides, mixed metal oxides, or oxide-forming salts thereof, e.g. carbonates, nitrates, (oxy)hydroxides, chlorides
    • C04B2235/3217—Aluminum oxide or oxide forming salts thereof, e.g. bauxite, alpha-alumina
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B2235/00—Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
    • C04B2235/02—Composition of constituents of the starting material or of secondary phases of the final product
    • C04B2235/30—Constituents and secondary phases not being of a fibrous nature
    • C04B2235/32—Metal oxides, mixed metal oxides, or oxide-forming salts thereof, e.g. carbonates, nitrates, (oxy)hydroxides, chlorides
    • C04B2235/3224—Rare earth oxide or oxide forming salts thereof, e.g. scandium oxide
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B2235/00—Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
    • C04B2235/02—Composition of constituents of the starting material or of secondary phases of the final product
    • C04B2235/30—Constituents and secondary phases not being of a fibrous nature
    • C04B2235/38—Non-oxide ceramic constituents or additives
    • C04B2235/3852—Nitrides, e.g. oxynitrides, carbonitrides, oxycarbonitrides, lithium nitride, magnesium nitride
    • C04B2235/3873—Silicon nitrides, e.g. silicon carbonitride, silicon oxynitride
    • C04B2235/3878—Alpha silicon nitrides
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B2235/00—Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
    • C04B2235/02—Composition of constituents of the starting material or of secondary phases of the final product
    • C04B2235/50—Constituents or additives of the starting mixture chosen for their shape or used because of their shape or their physical appearance
    • C04B2235/54—Particle size related information
    • C04B2235/5418—Particle size related information expressed by the size of the particles or aggregates thereof
    • C04B2235/5445—Particle size related information expressed by the size of the particles or aggregates thereof submicron sized, i.e. from 0,1 to 1 micron
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B2235/00—Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
    • C04B2235/65—Aspects relating to heat treatments of ceramic bodies such as green ceramics or pre-sintered ceramics, e.g. burning, sintering or melting processes
    • C04B2235/656—Aspects relating to heat treatments of ceramic bodies such as green ceramics or pre-sintered ceramics, e.g. burning, sintering or melting processes characterised by specific heating conditions during heat treatment
    • C04B2235/6567—Treatment time
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B2235/00—Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
    • C04B2235/65—Aspects relating to heat treatments of ceramic bodies such as green ceramics or pre-sintered ceramics, e.g. burning, sintering or melting processes
    • C04B2235/658—Atmosphere during thermal treatment
    • C04B2235/6581—Total pressure below 1 atmosphere, e.g. vacuum
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B2235/00—Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
    • C04B2235/65—Aspects relating to heat treatments of ceramic bodies such as green ceramics or pre-sintered ceramics, e.g. burning, sintering or melting processes
    • C04B2235/66—Specific sintering techniques, e.g. centrifugal sintering
    • C04B2235/661—Multi-step sintering
    • C04B2235/662—Annealing after sintering
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B2235/00—Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
    • C04B2235/70—Aspects relating to sintered or melt-casted ceramic products
    • C04B2235/74—Physical characteristics
    • C04B2235/75—Products with a concentration gradient
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B2235/00—Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
    • C04B2235/70—Aspects relating to sintered or melt-casted ceramic products
    • C04B2235/80—Phases present in the sintered or melt-cast ceramic products other than the main phase
    • C04B2235/85—Intergranular or grain boundary phases
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B2235/00—Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
    • C04B2235/70—Aspects relating to sintered or melt-casted ceramic products
    • C04B2235/96—Properties of ceramic products, e.g. mechanical properties such as strength, toughness, wear resistance
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T428/00—Stock material or miscellaneous articles
    • Y10T428/24—Structurally defined web or sheet [e.g., overall dimension, etc.]
    • Y10T428/24942—Structurally defined web or sheet [e.g., overall dimension, etc.] including components having same physical characteristic in differing degree
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T428/00—Stock material or miscellaneous articles
    • Y10T428/31—Surface property or characteristic of web, sheet or block

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Ceramic Engineering (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Structural Engineering (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Ceramic Products (AREA)
  • Cutting Tools, Boring Holders, And Turrets (AREA)

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、窒化珪素質材料が焼結された基材の表面に硬質膜が被覆された窒化珪素質部材及びその製造方法並びに切削工具に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来より、セラミックスを始めとする焼結部材においては、その耐磨耗性を向上させる技術として、例えば窒化珪素質の焼結部材の基材の表面に、ＴｉＣＮ等の硬質成分からなる硬質膜を被覆する方法が知られている。
【０００３】
この被覆方法としては、例えば硬質成分を基材表面に蒸着することによって、基材表面に硬質膜を被覆するＣＶＤ法やＰＶＤ法が知られている。
そして、実際に、硬質膜を被覆した焼結部材を、例えば切削工具として用いた場合には、その切削工具（被覆工具）には耐磨耗性の著しい向上が見られた。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、近年の被覆工具の使用用途は、より切削負荷の大きい重切削へと移行しつつあり、被覆工具においても、本来要求されてきた高い耐磨耗性以外にも、一定レベル以上の耐欠損性が要求されるようになっている。
【０００５】
ところが、上述したＣＶＤ法やＰＶＤ法の場合には、両方とも高温において硬質成分を蒸着させる方法であるので、硬質膜と基材の熱膨張率に起因する基材表面への応力の残留や、高温時における基材表面の改質が問題となり、基材そのものにおける強度と比較して、硬質膜を被覆した基材の強度が低下してしまうという問題があった。
【０００６】
本発明は、上記の問題点を鑑みてなされたものであり、基材に硬質膜を被覆した場合でも強度低下が少なく、耐欠損性及び耐摩耗性に優れた窒化珪素質部材及びその製造方法並びに切削工具を提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
本発明者らは、窒化珪素質部材に関して、基材に硬質膜（コーティング膜）を被覆した状態においても、基材そのものの強度と比較して、強度低下を最小限とするための研究を行い、以下の知見を得た。
【０００８】
焼結によって得られる窒化珪素質部材（焼結部材）において、強度低下が生じる主たる要因は、基材表面への引張応力の残留である。これは、高温にて硬質膜を被覆した後、冷却する際に生じる硬質膜（熱膨張率大）と基材（熱膨張率小）の熱膨張率の相違によるものである。
【０００９】
また、窒化珪素質部材において、焼結技術の進歩や耐磨耗性改善を目的に、焼結助剤を減ずるのが近年の傾向となっており、特に基材表面の熱膨張率は低い値となっている。そのため、硬質膜として、一般的なＡｌ2Ｏ3やＴｉＣＮ等を被覆した場合には、基材と硬質膜の熱膨張率の相違は一層顕著となる。
【００１０】
つまり、基材と硬質膜の熱膨張率の相違が大きくなればなるほど、基材表面に残留する引張応力が大きくなって、強度が低下するので、基材と硬質膜の熱膨張差をできるだけ小さくすることが重要となる。
従って、基材と硬質膜の熱膨張差を可能な限り小さくするためには、窒化珪素質部材においては、焼結助剤を大量に添加した組成にするか、又は、前述の低焼結助剤系組成にて、その焼結条件を最適化することにより、図１に模式的に示す基材表面の粒界相（窒化珪素粒子の表面に形成された焼結助剤のガラス質相）を、極力揮発させないようにする対策が考えられる。
【００１１】
しかしながら、焼結助剤の大量の添加や粒界相の揮発抑制により、粒界相量を増加させると、熱膨張率差は低減するが、基材そのものの耐磨耗性が低下し、しいては、硬質膜を被覆しても良好な耐磨耗性が得られず、被覆本来の効果が得られない。
【００１２】
従って、硬質膜を被覆した窒化珪素質部材において、良好な耐磨耗性を維持しつつ、一定レベル以上の耐欠損性を維持するためには、基材を焼結する際に生じる基材表面の粒界相の揮発をコントロールし、適正な粒界相量とすることが重要であることが分かり、この知見に基づいて本発明を完成した。
【００１３】
以下、各請求項毎に説明する。
（１）請求項１の発明は、窒化珪素質材料が焼結された基材の表面に、硬質膜が被覆された窒化珪素質部材において、前記硬質膜を被覆する前の強度を１００％とした場合に、前記硬質膜を被覆した後の強度が７０〜９５％であり、更に、前記基材の中心部の粒界相量を１００体積％とした場合に、前記基材の表面から深さ３００μｍの位置近傍の粒界相量が５０〜７０体積％であることを特徴とする窒化珪素質部材を要旨とする。
【００１４】
本発明では、硬質膜を被覆する前の（基材の）強度を１００％とした場合に、硬質膜を被覆した後の（窒化珪素質部材の）強度が７０〜９５％である。つまり、硬質膜を被覆した後も、後の実験例で示す様に、曲げ強度は例えば８００ＭＰａ以上の高い値を有している。
【００１５】
つまり、本発明の窒化珪素質部材は、従来品と比べて高い強度を有しているので、耐欠損性に優れており、しかも、硬質膜を被覆しているので、耐磨耗性にも優れている。即ち、本発明では、耐磨耗性及び耐欠損性共に優れているので、例えば切削工具の材料として好適である。
また、本発明では、基材の中心部の粒界相量を１００体積％とした場合に、基材の表面（いわゆる焼結肌）から３００μｍの深さの位置近傍（即ち基材の表面部）における領域の粒界相量が、５０〜７０体積％である。尚、この粒界相量は深さ５００μｍ程度まで連続的に変化する傾向がある。
この構成を有する窒化珪素質部材は、従来品と比べて高い強度（従って高い耐欠損性）及び高い耐磨耗性を有しているので、例えば切削工具に用いると好適である。
尚、粒界相量は、例えば走査型電子顕微鏡写真（ＳＥＭ写真）に対する画像分析により、例えば画像全体に対する粒界相の割合などから求めることができる。
また、前記基材の中心部としては、例えば基材の重心から半径５００μｍの範囲（重心近傍）を採用できるが、基材の重心が望ましい。更に、基材の表面から深さ３００μｍの位置近傍としては、基材表面から深さ３００μｍの位置を中心に、±５０μｍの厚みの範囲を採用できるが、深さ３００μｍの位置が望ましい。
【００１８】
（２）請求項２の発明は、窒化珪素質材料が焼結された基材の表面に、硬質膜が被覆された窒化珪素質部材において、前記基材の中心部の粒界相量を１００体積％とした場合に、前記基材の表面から深さ３００μｍの位置近傍の粒界相量が５０〜７０体積％であることを特徴とする窒化珪素質部材を要旨とする。
【００１９】
本発明では、基材の中心部の粒界相量を１００体積％とした場合に、基材の表面（いわゆる焼結肌）から深さ３００μｍの位置近傍（即ち基材の表面部）における領域の粒界相量が、５０〜７０体積％である。尚、この粒界相量は深さ５００μｍ程度まで連続的に変化する傾向がある。
【００２０】
この構成を有する窒化珪素質部材は、前記請求項１に示す様に、従来品と比べて高い強度（従って高い耐欠損性）及び高い耐磨耗性を有しているので、例えば切削工具に用いると好適である。
尚、粒界相量は、例えば走査型電子顕微鏡写真（ＳＥＭ写真）に対する画像分析により、例えば画像全体に対する粒界相の割合などから求めることができる。
【００２１】
また、前記基材の中心部としては、例えば基材の重心から半径５００μｍの範囲（重心近傍）を採用できるが、基材の重心が望ましい。更に、基材の表面から深さ３００μｍの位置近傍としては、基材表面から深さ３００μｍの位置を中心に、±５０μｍの厚みの範囲を採用できるが、深さ３００μｍの位置が望ましい。
【００２２】
（３）請求項３の発明は、前記基材の焼結前後の重量変化が、１.５〜３.５重量％であることを特徴とする前記請求項１又は２に記載の窒化珪素質部材を要旨とする。
基材の焼結前後の重量変化が１ . ５重量％未満の領域では、強度低下はそれほど大きくは無いが、例えば実用的に望ましい耐磨耗性が得られないので、好ましくない。また、重量変化が３ . ５重量％を超える領域では、被覆後の強度低下が大きいので、好ましくない。
つまり、本発明では、基材の焼結前後の重量変化が１ . ５〜３ . ５重量％であるので、高い強度（従って高い耐欠損性）及び高い耐磨耗性を有しており、例えば切削工具として望ましいものである。
尚、前記基材の焼結前後の重量変化とは、いわゆる揮発率であり、ここでは、重量変化（揮発率）は、焼結前の脱脂体重量と１次焼結体重量の差を、１次焼結体重量で除したもので示される。
【００２３】
（４）請求項４の発明は、前記請求項３に記載の窒化珪素質部材の製造方法であって、前記基材を焼結する際の条件を調節して、前記基材の焼結前後の重量変化を１.５〜３.５重量％としたことを特徴とする窒化珪素質部材の製造方法を要旨とする。
【００２４】
本発明では、窒化珪素質材料からなる基材を焼結する際に、その焼結条件を調節して、焼結前後の重量変化を１.５〜３.５重量％としているので、その後、基材表面に硬質膜を被覆して窒化珪素質部材とした場合には、基材と硬質膜との熱膨張率の差が少ない。
【００２５】
よって、その窒化珪素質部材は、高い強度（従って高い耐欠損性）及び高い耐磨耗性を有しており、例えば切削工具として望ましいものである。
尚、焼結時の条件としては、焼結時の最高温度や、焼結時のガス圧（窒素ガスの圧力）が挙げられる。例えば焼結時の最高温度を高くすることにより、重量変化を大きくすることができ、また、ガス圧を大きくすることにより、重量変化を小さくすることができる。
【００２６】
（５）請求項５の発明は、前記基材を焼結する際の条件は、２〜６気圧の加圧窒素雰囲気下にて、１８００〜１９００℃の温度範囲で、６０〜１８０分間加熱した後に、１５５０〜１６５０℃の温度範囲まで降温し、１３ＫＰａ以下の減圧雰囲気下で、６０〜１８０分間保持することを特徴とする前記請求項４に記載の窒化珪素質部材の製造方法を要旨とする。
【００２７】
基材の焼結前後の重量変化（例えば揮発率で示される揮発の状態）を制御することは容易ではないが、例えば本発明の方法にて揮発を制御することにより、目的とする窒化珪素質部材を得ることができる。
つまり、本発明の様に、基材を焼結する際には、加圧窒素雰囲気下で緻密化させた後に、窒化珪素が分解しない温度まで降温し、減圧雰囲気下で熱処理することにより、窒化珪素を分解させずに、粒界相を適度に揮発させることができる。
【００２８】
本発明において、１５５０〜１６５０℃の温度範囲まで降温するのは、１５５０℃未満であると十分な揮発が得られず、１６５０℃を超えると窒化珪素が分解するからである。また、１３ＫＰａ以下としたのは、１３ＫＰａを超えると、（温度によらず）十分な揮発が得られないからである。
【００２９】
尚、前記窒化珪素質部材の製造工程としては、脱脂−１次焼結−ＨＩＰという工程が挙げられるが、本発明において各温度にて加熱する工程は、この１次焼結に該当するものである。
（６）請求項６の発明は、前記請求項１〜３のいずれかに記載の窒化珪素質部材から構成されたことを特徴とする切削工具を要旨とする。
【００３０】
上述した性質を有する窒化珪素質部材を用いて切削工具を製造したものは、耐磨耗性及び耐欠損性に優れているので、通常の切削だけでなく、より切削負荷の大きい重切削も好適に行うことができる。
・尚、上述した耐磨耗性及び耐欠損性に優れた窒化珪素質部材は、切削工具以外に、例えば自動車エンジン部品等の耐磨耗性部材や、ドリル、エンドミル等の機械工具として用いることができる。
【００３１】
・また、前記窒化珪素質材料としては、例えばα−Ｓｉ3Ｎ4などの窒化珪素に、例えばＭｇＯ、Ａｌ2Ｏ3、Ｙｂ2Ｏ3、Ｙ2Ｏ3、ＺｒＯ2、Ｈｆ2Ｏ3、Ｅｒ2Ｏ3などの焼結助剤等を添加したものを利用でき、また、サイアロンを利用できる。・更に、硬質膜の材料である硬質成分としては、Ａｌ2Ｏ3、ＴｉＣＮ、ＴｉＮ、ＴｉＣ等利用できる。
【００３２】
・この硬質膜としては、１種類の硬質成分からなる単独の１層、又は（異なる硬質成分又は同一の硬質成分からなる）複数層から形成することができる。
【００３３】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の窒化珪素質部材及びその製造方法並びに切削工具の実施の形態の例（実施例）を説明する。
（実施例）
ａ）まず、本実施例の窒化珪素質部材である切削工具について説明する。
【００３４】
図２に示す様に、本実施例の切削工具１は、ＩＳＯ規格でＳＮＧＮ１２０４１２の形状、すなわち略正方形の板状のセラミックチップである。
また、この切削工具１は、図３に示す様に、窒化珪素質材料を焼結して形成した基材３の表面に、複数の硬質成分の層からなる厚さ２．０μｍの硬質膜（コーティング膜）５が被覆されたものである。
【００３５】
特に、本実施例の切削工具１は、基材３の中心部として例えば重心における粒界相量を１００体積％とした場合に、基材３の表面（焼結肌）から深さ５００μｍまでの位置における粒界相量（体積％）が徐々に増加しているという特長がある。具体的には、基材３の表面から深さ１００μｍの位置における粒界相量は３０体積％未満であり、深さ２００μｍの位置における粒界相量は３０〜５０体積％であり、深さ３００μｍの位置における粒界相量は５０〜７０体積％であり、深さ４００μｍの位置における粒界相量は７０〜８５体積％であり、深さ５００μｍの位置における粒界相量は８５〜１００体積％の範囲にある。
【００３６】
また、硬質膜５を被覆する前の基材３の強度を１００％とした場合に、硬質膜を被覆した後の切削工具１の強度が７０〜９５％であり、更に、基材３の焼結前後の重量変化が、１.５〜３.５重量％であるという特長がある。
この特長により、本実施例の切削工具１は、高い耐磨耗性と高い強度（従って耐欠損性）を有する。
【００３７】
ｂ）次に、本実施例の切削工具１の製造方法について説明する。
まず、平均粒径１．０μｍ以下の主成分のα−Ｓｉ3Ｎ4を９７重量％、平均粒径１．０μｍ以下の焼結助剤のＭｇＯを０．５重量％、Ａｌ2Ｏ3を１．０重量％、Ｙｂ2Ｏ3を１．５重量％の割合で秤量する。
【００３８】
次に、この秤量した原料を、Ｓｉ3Ｎ4製内壁ポット、Ｓｉ3Ｎ4製ボールを用いて、エタノール溶媒にて９６時間混合してスラリーとする。
次に、このスラリーを３２５メッシュの篩に通し、エタノールを溶解したマイクロワックス系の有機バインダを５．０重量％添加しスプレードライする。
【００３９】
そして、得られた造粒粉末を、ＩＳＯ規格でＳＮＧＮ１２０４１２の形状にプレス成形した後に、加熱装置内において１気圧の窒素雰囲気中で６００℃にて６０分、脱脂を行う。
次に、この脱脂体の一次焼結を、下記の焼結条件にて実施する。
【００４０】
具体的には、まず、２〜６気圧の加圧窒素雰囲気下にて、１８００〜１９００℃の温度範囲で、６０〜１８０分間加熱し、その後、１５５０〜１６５０℃の温度範囲まで降温し、１３ＫＰａ以下の減圧雰囲気下で、６０〜１８０分間保持する。
【００４１】
つまり、本実施例では、上述した焼結を行う場合に、脱脂体重量と１次焼結後の重量（一次焼結体重量）の差を１次焼結体重量で除した揮発率（即ち１次焼結前後の重量変化）が、１.５〜３.５重量％の範囲に収まる様に、焼結条件を調節した。
【００４２】
尚、この際に、脱脂体重量及び１次焼結体重量を測定し、１次焼結前後の重量変化を算出した。
次に、ＨＩＰにより２次焼結を行う。２次焼結は、１次焼結体を、１０００気圧の窒素雰囲気下において、１６００〜１８００℃で１２０分加熱する。こうして、窒化珪素焼結体を得る。
【００４３】
次に、こうして得られた窒化珪素焼結体を、ＳＮＧＮ１２０４１２の切削工具の形状（詳しくは切削工具１の基材３の形状）に加工する。
次に、この基材３の表面に、ＣＶＤ法によって、硬質成分からなる硬質膜（コーティング膜）５を被覆する。
【００４４】
具体的には、基材３より、ＴｉＣＮ：０．２μｍ、Ａｌ2Ｏ3：０．５μｍ、ＴｉＣＮ：０．２μｍ、
Ａｌ2Ｏ3：０．５μｍ、ＴｉＣ：０．２μｍ、ＴｉＣＮ：０．２μｍ、ＴｉＮ：０．２μｍの各硬質成分からなる膜を順次形成し、厚さの合計が２．０μｍの硬質膜５を基材３の表面に被覆した。
【００４５】
これにより、基材３の表面に硬質膜５を有する窒化珪素質部材、即ち本実施例の切削工具１を完成した。
（実験例）
次に、本発明の効果を確認するために行った実験例について説明する。
【００４６】
まず、前記実施例に記載した製造方法により、本発明の範囲の実施例のNo.３、４、６、９、１２〜１４の試料を作成した。
具体的には、ＪＩＳ Ｒ１６０１の３点曲げ試験に用いる曲げ試験形状の試料として、硬質膜を被覆しない試料と硬質膜を被覆した試料を、下記表１に示す熱処理条件（１次焼結の焼結条件）にて、それぞれ１０個作成した。更に、耐磨耗性の実験に用いるために、前記実施例１と同様な切削工具の試料も、同様にそれぞれ１０個作成した。
【００４７】
一方、本発明の範囲外の比較例として、No.１、２、５、７、８、１０、１１、１５〜１７の試料を作成した。
具体的には、前記曲げ試験形状の試料として、硬質膜を被覆しない試料と硬質膜を被覆した試料を、下記表１に示す熱処理条件（１次焼結の焼結条件）にて、それぞれ１０個作成した。更に、耐磨耗性の実験に用いるために、前記と同様にして切削工具の試料も、それぞれ１０個作成した。
【００４８】
(1)そして、前記実施例及び比較例の各試料を製造する際に、１次焼結前後の重量変化（揮発率）を測定し、その平均値を求めた。その結果を下記表２に記す。
(2)また、前記実施例及び比較例の各１０個の試料に対して、ＪＩＳ Ｒ１６０１に基づき３点曲げ試験を行った。そして、各１０個の試料に対しする測定の平均値として、硬質膜の被覆前の試料の曲げ強度σfと、硬質膜の被覆後の試料の曲げ強度σfを算出した。その結果を同じく下記表２に示す。
【００４９】
(3)更に、硬質膜の被覆後強度を被覆前強度で除して百分率とすることで、強度比を求めた。その結果を同じく下記表２に示す。
(4)その上、実施例と比較例の切削工具を用い、刃先に０．２ｍｍ×２５°の面取り刃先加工を行った後に、下記条件にて切削加工を行った。
【００５０】
＜加工条件＞
被削材 ：ＪＩＳ ＦＣ２００（普通鋳鉄）
切削速度 ：１００ｍ／ｍｉｎ
送り速度 ：０．１ｍｍ／ｒｅｖ
切り込み深さ：１．０ｍｍ
切削時間 ：６０ｍｉｎ
そして、切削による逃げ面磨耗量と境界磨耗量を測定した。その結果を同じく下記表２に示す。
【００５１】
(5)また、硬質膜を被覆する前の切削工具の試料において、その基材の表面及び中央切断面を、鏡面研磨加工し、走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）を用いて、それぞれの位置に関して組織観察を行った。
具体的には、走査型電子顕微鏡にて得られた、基材の表面（無研磨の焼結体を研磨により深さ３００μｍを研磨加工除去して表面となった面）における６００００倍の組織写真（ＳＥＭ写真）（図４（ａ）参照）と、基材の中央切断面（詳しくは重心を通る切断面）における６００００倍の組織写真（図４（ｂ））参照を用い、その画像分析から粒界相量の測定を行った。
【００５２】
尚、前記基材の表面とは、焼結体を研磨加工してできたチップの表面をいう。通常、２００〜３００μｍを研磨除去した面をいう。
つまり、基材の表面部の粒界相量としては、基材の表面から深さ３００μｍの位置を中心とした半径１．５μｍの範囲内における粒界相の割合を、前記基材の表面のＳＥＭ写真の画像から求め、且つ、基材の中心部の粒界相量としては、基材の重心から半径１．５μｍの範囲における粒界相の割合を、前記基材の中心切断面のＳＥＭ写真の画像から求めた。そして、基材の表面部の粒界相量を基材の中心部の粒界相量で除して百分率とすることで、表面粒界相量（深さ３００μｍの粒界相量）を算出した。その結果を同じく下記表２に記す。
【００５３】
【表１】
Figure 0004070417
【００５４】
【表２】
Figure 0004070417
【００５５】
ｃ）前記表１及び表２から明らかな様に、本発明の範囲の実施例のNo.３、４、６、９、１２〜１４の試料は、揮発率が１.５〜３.５重量％の範囲であり、しかも、表面粒界相量が５０〜７０体積％の範囲である。
それにより、強度比は７０以上であり、硬質膜の被覆後の強度低下が少なく、また、逃げ面磨耗量が０.２ｍｍ以下で且つ境界磨耗量が０.２２ｍｍ以下と少ないことが分かる。従って、本実施例の切削工具は、耐欠損性及び耐磨耗性に優れており、通常の切削だけでなく例えば重切削にも好適である。
【００５６】
それに対して、比較例のNo.１、２、５、８、１１、１５の試料は、それぞれ、揮発率が１、１．１、１．３、１．３、１．３、１．３重量％で、表面粒界相量が９０、８９、８０、８０、８１、８６体積％である。
それにより、強度比は９４．６、９２．２、９２．７、９５、９３．３、９１．１と高いが、逃げ面磨耗量が０.３５、０．３５、０．３４、０．３３、０．３２、０．３３ｍｍで且つ境界磨耗量が０.３１、０．３９、０．３５、０．３５、０．３３、０．４ｍｍと大きいことが分かる。従って、この比較例の切削工具は、耐磨耗性が低く十分ではない。
【００５７】
また、比較例のNo.７、１０、１６の試料は、それぞれ、揮発率が３．７、４、４重量％で、表面粒界相量が４８、４０、４２体積％である。
それにより、逃げ面磨耗量が０．１２、０．１３、０.１３ｍｍで且つ境界磨耗量が０．１１、０．１３、０.１８ｍｍと小さいが、強度比は５５．５、５４．９、５１．３と低いことが分かる。従って、この比較例の切削工具は、曲げ強度が低いため、耐欠損性が低下する。
【００５８】
更に、比較例のNo.１７の試料は、加熱温度が高く、窒化珪素が分解してしまい、評価は不可能であった。
尚、本発明は前記実施例になんら限定されるものではなく、本発明の範囲を逸脱しない範囲において種々の態様で実施しうることはいうまでもない。
【００５９】
例えば本発明は、前記四角形の板状の切削工具だけでなく、例えば三角形の板状の切削工具などにも適用することができる。
【００６０】
【発明の効果】
以上詳述した様に、本発明の窒化珪素質部材は、硬質膜を被覆しても強度低下がわずかであり、よって高い耐磨耗性及び高い耐欠損性を備えている。
また、本発明の窒化珪素質部材の製造方法により、高い耐磨耗性及び高い耐欠損性を備えた窒化珪素質部材を容易に製造することができる。
【００６１】
従って、この様な窒化珪素質部材からなる切削工具は、高負荷な使用条件において、高寿命を実現できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】 窒化珪素質部材の内部の構造を模式的に示す説明図である。
【図２】 実施例の切削工具を示す斜視図である。
【図３】 実施例の切削工具の断面を拡大して示す説明図である。
【図４】 実施例の切削工具を示し、（ａ）はその基材の表面の走査電子顕微鏡写真、（ｂ）はその基材の中心の走査電子顕微鏡写真である。
【符号の説明】
１…切削工具
３…基材
５…硬質膜

Claims (6)

  1. 窒化珪素質材料が焼結された基材の表面に、硬質膜が被覆された窒化珪素質部材において、
    前記硬質膜を被覆する前の強度を１００％とした場合に、前記硬質膜を被覆した後の強度が７０〜９５％であり、
    更に、前記基材の中心部の粒界相量を１００体積％とした場合に、前記基材の表面から深さ３００μｍの位置近傍の粒界相量が５０〜７０体積％であることを特徴とする窒化珪素質部材。
  2. 窒化珪素質材料が焼結された基材の表面に、硬質膜が被覆された窒化珪素質部材において、
    前記基材の中心部の粒界相量を１００体積％とした場合に、前記基材の表面から深さ３００μｍの位置近傍の粒界相量が５０〜７０体積％であることを特徴とする窒化珪素質部材。
  3. 前記基材の焼結前後の重量変化が、１.５〜３.５重量％であることを特徴とする前記請求項１又は２に記載の窒化珪素質部材。
  4. 前記請求項３に記載の窒化珪素質部材の製造方法であって、
    前記基材を焼結する際の条件を調節して、前記基材の焼結前後の重量変化を１.５〜３.５重量％としたことを特徴とする窒化珪素質部材の製造方法。
  5. 前記基材を焼結する際の条件は、２〜６気圧の加圧窒素雰囲気下にて、１８００〜１９００℃の温度範囲で、６０〜１８０分間加熱した後に、１５５０〜１６５０℃の温度範囲まで降温し、１３ＫＰａ以下の減圧雰囲気下で、６０〜１８０分間保持することを特徴とする前記請求項４に記載の窒化珪素質部材の製造方法。
  6. 前記請求項１〜３のいずれかに記載の窒化珪素質部材から構成されたことを特徴とする切削工具。
JP2001063490A 2000-03-31 2001-03-07 窒化珪素質部材及びその製造方法並びに切削工具 Expired - Fee Related JP4070417B2 (ja)

Priority Applications (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2001063490A JP4070417B2 (ja) 2000-03-31 2001-03-07 窒化珪素質部材及びその製造方法並びに切削工具
EP01303041.6A EP1138656B1 (en) 2000-03-31 2001-03-30 Silicon nitride member, method for manufacturing the same, and cutting tool
US09/821,020 US6863963B2 (en) 2000-03-31 2001-03-30 Silicon nitride member, method for manufacturing the same, and cutting tool
KR1020010016953A KR20010095175A (ko) 2000-03-31 2001-03-30 질화규소질 부재 및 그 제조방법 및 절삭공구

Applications Claiming Priority (5)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2000097741 2000-03-31
JP2000-97741 2000-03-31
JP2001013260 2001-01-22
JP2001-13260 2001-01-22
JP2001063490A JP4070417B2 (ja) 2000-03-31 2001-03-07 窒化珪素質部材及びその製造方法並びに切削工具

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2002284589A JP2002284589A (ja) 2002-10-03
JP4070417B2 true JP4070417B2 (ja) 2008-04-02

Family

ID=27342923

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2001063490A Expired - Fee Related JP4070417B2 (ja) 2000-03-31 2001-03-07 窒化珪素質部材及びその製造方法並びに切削工具

Country Status (4)

Country Link
US (1) US6863963B2 (ja)
EP (1) EP1138656B1 (ja)
JP (1) JP4070417B2 (ja)
KR (1) KR20010095175A (ja)

Families Citing this family (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP2402098B2 (en) 2004-12-22 2021-03-03 Ngk Spark Plug Co., Ltd. Sialon insert and cutting tool equipped therewith
DE102005051685B4 (de) * 2005-10-25 2009-07-30 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. Werkstück aus einem Siliciumnitridsubstrat sowie Verfahren zu seiner Herstellung
US20080196319A1 (en) * 2007-02-20 2008-08-21 Advanced Ceramic Manufacturing, Llc Ceramic round tools for the machining of composite materials
US8044561B2 (en) * 2008-08-28 2011-10-25 Federal-Mogul Ignition Company Ceramic electrode, ignition device therewith and methods of construction thereof
US9231381B2 (en) 2008-08-28 2016-01-05 Federal-Mogul Ignition Company Ceramic electrode including a perovskite or spinel structure for an ignition device and method of manufacturing
CN103501940B (zh) * 2011-04-28 2015-10-14 京瓷株式会社 切削工具

Family Cites Families (31)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS61101482A (ja) * 1984-10-23 1986-05-20 住友電気工業株式会社 窒化珪素切削工具
US4870036A (en) * 1988-03-08 1989-09-26 Allied-Signal Inc. High strength silicon nitride
US5316856A (en) * 1988-12-03 1994-05-31 Ngk Spark Plug Co., Ltd. Silicon nitride base sintered body
DE68926040T2 (de) * 1989-05-22 1996-10-02 Sumitomo Electric Industries Siliciumnitridsinterkörper hoher Festigkeit und Verfahren zu seiner Herstellung
DE69013852T2 (de) * 1989-06-15 1995-06-08 Idemitsu Petrochemical Co., Ltd., Tokio/Tokyo Mit diamant beschichtetes element.
US5114889A (en) * 1989-11-27 1992-05-19 Kyocera Corporation Silicon nitride sintered body and process for preparation thereof
US5334453A (en) * 1989-12-28 1994-08-02 Ngk Spark Plug Company Limited Diamond-coated bodies and process for preparation thereof
US5137398A (en) * 1990-04-27 1992-08-11 Sumitomo Electric Industries, Ltd. Drill bit having a diamond-coated sintered body
JPH08733B2 (ja) * 1990-05-17 1996-01-10 日本碍子株式会社 耐熱衝撃性窒化珪素焼結体及びその製造方法
JPH04136174A (ja) * 1990-09-27 1992-05-11 Mitsubishi Materials Corp 硬質被覆層の密着性にすぐれた表面被覆セラミックス製切削工具の製造法
JPH04202075A (ja) 1990-11-30 1992-07-22 Sumitomo Electric Ind Ltd ダイヤモンド被覆硬質材料の製造方法
DE69207613T2 (de) * 1991-02-15 1996-09-19 Sumitomo Electric Industries Werkzeug aus gesintertem Siliciumnitrid
CA2061944C (en) * 1991-03-08 1999-01-26 Naoya Omori A diamond and/or diamond-like carbon-coated hard material
JP2855243B2 (ja) * 1991-12-05 1999-02-10 日本特殊陶業株式会社 耐摩耗性の優れた窒化珪素質焼結体
JP2924989B2 (ja) * 1992-01-28 1999-07-26 日本特殊陶業株式会社 ダイヤモンド膜被覆窒化珪素基部材及びその製造方法
JPH0663804A (ja) * 1992-08-21 1994-03-08 Mitsubishi Materials Corp コーテッド窒化けい素系セラミックス製切削用スローアウェイチップ
GB9220695D0 (en) * 1992-10-01 1992-11-11 Cookson Group Plc Heat treatment of nitrogen ceramics
ES2116395T3 (es) * 1992-12-23 1998-07-16 Hoechst Ag Material ceramico de nitruro de silicio resistente a altas temperaturas y procedimiento para su fabricacion.
JPH06246511A (ja) * 1993-02-26 1994-09-06 Mitsubishi Materials Corp 硬質被覆層がすぐれた密着性を有する表面被覆窒化けい素基セラミックス製切削工具
US5384292A (en) * 1993-04-14 1995-01-24 Sumitomo Electric Industries, Ltd. Silicon nitride composite sintered body and process for producing the same
US5622905A (en) * 1993-06-30 1997-04-22 Sumitomo Electric Industries, Ltd. Silicon nitride based sintered body
JPH07299708A (ja) * 1994-04-26 1995-11-14 Sumitomo Electric Ind Ltd 窒化ケイ素系セラミックス部品の製造方法
JPH0812471A (ja) * 1994-06-28 1996-01-16 Sumitomo Electric Ind Ltd セラミックス製摺動部材及びその製造方法
JP3624225B2 (ja) * 1994-10-04 2005-03-02 独立行政法人産業技術総合研究所 窒化ケイ素系又はサイアロン系のセラミックス及びその成形法
JPH092878A (ja) * 1995-02-08 1997-01-07 Sumitomo Electric Ind Ltd 窒化ケイ素系焼結体及びその製造方法
JPH0987037A (ja) * 1995-07-18 1997-03-31 Ngk Spark Plug Co Ltd 窒化ケイ素質焼結体とその製造方法
DE19546238A1 (de) * 1995-12-12 1997-06-19 Sueddeutsche Kalkstickstoff Verfahren zur Herstellung von gesinterten Siliciumnitrid
DE69708353T2 (de) * 1996-02-28 2002-05-16 Honda Giken Kogyo K.K., Tokio/Tokyo Sinterkörper aus Siliziumnitrid
JPH10212183A (ja) 1997-01-24 1998-08-11 Ngk Spark Plug Co Ltd 表面被覆窒化珪素工具
KR100235203B1 (ko) * 1997-03-15 1999-12-15 배문한 표면이 개질된 사이알론 복합체 및 그것의 제조 방법
US6934760B1 (en) * 2001-02-04 2005-08-23 Cisco Technology, Inc. Method and apparatus for resequencing of packets into an original ordering using multiple resequencing components

Also Published As

Publication number Publication date
EP1138656A1 (en) 2001-10-04
US20010041274A1 (en) 2001-11-15
EP1138656B1 (en) 2016-08-31
JP2002284589A (ja) 2002-10-03
KR20010095175A (ko) 2001-11-03
US6863963B2 (en) 2005-03-08

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5487099B2 (ja) 耐摩耗性部材、耐摩耗性機器および耐摩耗性部材の製造方法
JP2009234826A (ja) 窒化珪素質焼結体
JP5527949B2 (ja) 窒化珪素質焼結体
JP5677638B1 (ja) 切削工具
JP5340028B2 (ja) 切削工具
JP4070417B2 (ja) 窒化珪素質部材及びその製造方法並びに切削工具
JP6075803B2 (ja) 窒化珪素質焼結体および切削工具
KR100481075B1 (ko) 탄질화티탄 복합 질화규소 공구
JP4335406B2 (ja) 切削工具及びその製造方法
JP2015009327A (ja) 切削インサート
JP2002192404A (ja) 切削工具
US6740611B2 (en) Alumina-based composite sintered material, wear resistant member and a method of manufacturing alumina based composite sintered material
JP3009310B2 (ja) サイアロン基焼結体およびその被覆焼結体
JPH09268071A (ja) 炭窒化チタン複合窒化珪素工具
JP4798821B2 (ja) 切削工具およびその製造方法
JP2005298239A (ja) 被覆Ｓｉ３Ｎ４基焼結体工具
JP2007326745A (ja) 耐磨耗性部材、耐磨耗性機器および耐磨耗性部材の製造方法
JPH06298568A (ja) ウイスカー強化サイアロン基焼結体およびその被覆焼結体
JP2022148120A (ja) 窒化珪素質焼結体及び切削インサート
JP2006187831A (ja) 切削インサート、及び切削工具
CN114929649A (zh) 切削工具
JP2004167660A (ja) セラミック工具及び切削工具
JPH11235605A (ja) 高速切削用工具
JPH05208301A (ja) 酸化アルミニウム層被覆窒化ケイ素系セラミックス製切削工具
JP2006077265A (ja) 超硬合金および被覆超硬合金

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20041007

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20070423

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20070508

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20070706

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20071002

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20071116

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20071225

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20080115

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

Ref document number: 4070417

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110125

Year of fee payment: 3

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110125

Year of fee payment: 3

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110125

Year of fee payment: 3

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120125

Year of fee payment: 4

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120125

Year of fee payment: 4

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130125

Year of fee payment: 5

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130125

Year of fee payment: 5

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees