JP3584193B2 - 液体吐出ヘッド、液体吐出装置及び前記液体吐出ヘッドの製造方法 - Google Patents

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、熱エネルギーを液体に作用させて気泡を発生させることによって液体を吐出する液体吐出ヘッドおよびその製造方法、該液体吐出ヘッドを用いた液体吐出装置に関する。
【０００２】
また、本発明は、紙、糸、繊維、布帛、皮革、金属、プラスチック、ガラス、木材、セラミックス等の被記録媒体に対し記録を行うプリンタ、複写機、通信システムを有するファクシミリ、プリンタ部を有するワードプロセッサ等の装置、さらには各種処理装置と複合的に組み合わせた産業用記録装置に適用できる発明である。
【０００３】
なお、本発明における、「記録」とは、文字や図形等の意味を持つ画像を被記録媒体に対して付与することだけでなく、パターン等の意味を持たない画像を付与することをも意味するものである。
【０００４】
【従来の技術】
従来、プリンター等の記録装置において、流路中の液体インクに熱等のエネルギーを与えて気泡を発生させ、それに伴う急峻な体積変化に基づく作用力によって吐出口からインクを吐出し、これを被記録媒体上に付着させて画像形成を行なうインクジェット記録方法、いわゆるバブルジェット記録方法が知られている。このバブルジェット記録方法を用いる記録装置には、米国特許第４，７２３，１２９号等に開示されているように、インクを吐出するための吐出口と、この吐出口に連通する流路と、流路内に配されたインクを吐出するためのエネルギー発生手段としての電気熱変換体が一般的に配されている。
【０００５】
この様な記録方法によれば、品位の高い画像を高速、低騒音で記録することができると共に、この記録方法を行うヘッドではインクを吐出するための吐出口を高密度に配置することができるため、小型の装置で高解像度の記録画像、さらにカラー画像をも容易に得ることができるという多くの優れた点を有している。このため、このバブルジェット記録方法は近年、プリンター、複写機、ファクシミリ等の多くのオフィス機器に利用されており、さらに、捺染装置等の産業用システムにまで利用されるようになってきている。
【０００６】
このようにバブルジェット技術が多方面の製品に利用されるに従って様々な要求が高まっており、例えば、高画質な画像を得るために、インクの吐出スピードが速く、安定した気泡発生に基づく良好なインク吐出を行える液体吐出方法等を与えるための駆動条件が提案されたり、また、高速記録の観点から、吐出された液体の液流路内への充填（リフィル）速度の速い液体吐出ヘッドを得るために流路形状を改良したものも提案されている。
【０００７】
このうち、ノズル内において気泡を発生させ、この気泡成長に伴い液体を吐出させるヘッドにおいて、吐出口とは反対方向への気泡成長およびこれによる液流が吐出エネルギー効率及びリフィル特性を低下させる要因として知られており、このような吐出エネルギー効率及びリフィル特性を向上させる構造の発明がヨーロッパ特許出願公開公報ＥＰ０４３６０４７Ａ１に提案されている。
【０００８】
この公報に記載の発明は、吐出口近傍域と気泡発生部との間にこれらを遮断する第１弁と、気泡発生部とインク供給部との間にこれらを完全に遮断する第２弁とを交互に開閉させるものである（ＥＰ４３６０４７Ａ１の第４〜９図）。例えば同公報第７図の例では、図１４に示すように、インク流路１１２の内壁を形成する基板１２５上のインク槽１１６とノズル１１５との間のインク流路１１２のほぼ中央に発熱体１１０が設けられている。発熱体１１０は、インク流路１１２内部の、周囲を全て閉じた区画１２０内に在る。インク流路１１２は、基板１２５と、基板１２５上に直接積層した薄膜１２３，１２６と、閉止体としての舌状片１１３、１３０とで構成されている。開放された舌状片は図３１では破線で示されている。基板１２５と平行な平面内に延在してストッパ１２４で終結する別の薄膜１２３はインク流路１１２上を遮蔽する。インク中に気泡が発生すると、ノズル領域内の舌状片１３０の、静止状態でストッパ１２６に密着してあるその自由端は、上に向かって変位し、インク液は区画１２０からインク流路１１２中へ、ついでノズル１１５を通じて射出される。このとき、インク槽１１６の領域内に設けた舌状片１１３は静止状態でストッパ１２４に密着しているため、区画１２０内のインク液はインク層１１６に向かうことはない。インク中の気泡が消泡すると、舌状片１３０は下に向けて変位し、ストッパ１２６に再び密着する。そして、舌状片１１３はインク区画１２０内に倒れ落ち、これによりインク液が区画１２０中に流入する。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、ＥＰ０４３６０４７Ａ１に記載の発明は、吐出口近傍域と気泡発生部とインク供給部の３つの部屋を２つづつに区分してしまうために、吐出時には液滴に追従するインクが大きな尾引きとなり、気泡成長・収縮・消泡を行う通常の吐出方式に比べてサテライトドットがかなり多くなってしまう（消泡によるメニスカス後退の効果を使えないと推定される）。また、気泡の吐出口側の弁は吐出エネルギーの多大な損失を招く。さらに、リフィル時（ノズルへのインク補充時）は、気泡発生部に液体が消泡に伴って供給されるが、吐出口近傍域には次の発泡が生じるまで液体は供給できないので、吐出液滴のばらつきが大きいだけでなく、吐出応答周波数が極めて小さく、実用レベルではない。
【００１０】
本発明は、吐出口とは反対方向への気泡成長成分の抑制効率を向上し、これとは相反するリフィル特性の高効率化を満足するための画期的な方法やヘッド構成を見い出すべく新たな着想に基づいて吐出効率の向上をも満足する発明を提案するものである。
【００１１】
本発明者達は鋭意研究の結果、直線状に形成したノズル内で気泡を発生させ、この気泡成長に伴い液体を吐出させる液体吐出ヘッドのノズル構造において、特別な逆止弁の機能により、吐出口とは反対方向（後方）への気泡成長を抑制し、後方への吐出エネルギーを吐出口側に有効に利用できることを見い出した。その上、特別な逆止弁の機能により後方への気泡成長成分を抑制することで、吐出応答周波数が極めて高くできることを見い出した。
【００１２】
すなわち本発明の目的は、新規な弁機能を用いたノズル構造や吐出方法により、吐出パワーの向上と吐出周波数の向上とを同時に図り、従来達成し得なかったレベルの高速・高画質ヘッドを達成するための新規吐出方式（構造）を確立することにある。
【００１３】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するため本発明の液体吐出ヘッドは、液体を吐出するための吐出口と、
液体供給口から液体が供給され、該液体に気泡を発生させる気泡発生手段を備えるとともに一端部が前記吐出口と連通している液流路と、
前記液流路内に前記液体供給口と間隙を有して前記気泡発生手段に対応して配置された可動部材とを有し、
前記液体供給口への前記可動部材の投影領域は前記液体供給口の開口領域よりも大きく、
前記気泡発生手段は、前記液流路の前記液体供給口が開口した壁面と対向する壁面に前記可動部材を間において設けられ、
前記可動部材は、前記液流路の一端側を支点とし、前記可動部材の自由端が前記液流路の閉塞された側に配され、
前記気泡発生手段は前記可動部材の自由端と同一方向の対向する位置に設けられ、
前記液体供給口は、前記可動部材の支点側で前記液流路に開口しており、且つ、前記吐出口が、前記可動部材の支点側に位置していることを特徴とする。
【００１４】
上記の液体吐出ヘッドによれば、気泡発生手段によって液流路内に気泡が発生すると、その気泡の発生に基づく圧力波によって可動部材の自由端側が変位し、可動部材によって液体供給口が実質的に密閉される。ここで、可動部材は液流路の一端側を支点として支持されており、しかも、吐出口は可動部材の支点部領域で液流路と連通している。従って、可動部材が変位しても液流路内では容積の増加は殆どなく、気泡の発生に基づく圧力波の大部分は吐出口に向かって作用し、結果的に吐出パワーが飛躍的に向上したものとなる。その結果、液体として高粘度のものを用いたり、環境変化によって液体の粘度が増加した場合においても、良好な吐出が可能となる。また、液体供給口が実質的に密閉されることで、液体供給口側への液体の移動が殆どないため、液体の吐出後の吐出口におけるメニスカスの後退量が抑えられる。その結果、吐出後のメニスカスの復帰が急速に行われるので、高精度（定量）の液体を吐出するにあたり、吐出周波数（駆動周波数）を飛躍的に向上させることができる。
【００１５】
また、本発明の液体吐出ヘッドは、液体を吐出するための吐出口と、
液体供給口から液体が供給され、該液体に気泡を発生させる気泡発生手段を備えるとともに前記吐出口と連通している液流路と、
前記液流路内に前記液体供給口と間隙を有して前記気泡発生手段に対応して配置された可動部材とを有し、
前記液体供給口への前記可動部材の投影領域は前記液体供給口の開口領域よりも大きく、
前記液流路は一端部が前記吐出口と連通し、
前記可動部材は、前記気泡発生手段により発生する気泡が大きく成長する側に支点を有するとともに、前記気泡の成長が抑制される側に自由端を有し、
前記液体供給口は、前記可動部材の支点側で前記液流路に開口しており、
前記気泡発生手段による気泡の発生により前記可動部材が前記液体供給口を実質的に密閉し、前記気泡の発生に基づく圧力波の伝搬を、前記可動部材の支点側に配された前記吐出口側に集中させることで前記吐出口から液体を吐出させ、
前記気泡の消泡とともに前記可動部材の自由端が前記気泡発生手段側に変位し、前記可動部材の支点側に配された前記液体供給口が前記液流路と連通することで前記液体供給口から前記液流路に液体が供給されるものである。
【００１６】
上記の液体吐出ヘッドも、気泡発生手段によって発生した気泡に基づく圧力波によって可動部材の自由端側が変位し、可動部材によって液体供給口が実質的に密閉される。ここで、液流路は一端部が吐出口と連通し他端部が閉じられているので、気泡は吐出口側へは大きく成長するが、それと反対側では気泡の成長は抑制される。可動部材は、気泡が大きく成長する側に支点を有し、気泡の成長が抑制される側に自由端を有するので、上記の液体吐出ヘッドと同様に、気泡の発生に基づく圧力波の大部分は吐出口に向かって作用し、結果的に吐出パワーが飛躍的に向上したものとなる。また、液体供給口が実質的に密閉され、且つ、気泡発生手段により気泡が発生する液流路内の領域である気泡発生領域の液流路における閉塞される側の気泡の消泡が、気泡発生領域の吐出口側の気泡の消泡に比べて早く消泡を開始し、それに伴って液体供給口から液流路への液体の流れが生じ、それと同時に可動部材が気泡発生領域側に変位するので、結果的に、液体の吐出後のメニスカスの復帰を急速に行うことができるので、吐出周波数を飛躍的に向上させることができる。
【００１７】
本発明の液体吐出ヘッドにおいては、吐出口が可動部材の支点側に位置し、液体供給口は可動部材の支点側で液流路に開口していることが好ましい。気泡発生領域における発泡初期において、可動部材により液流路内の液体供給口側は、実質的密閉状態を作り出す。このため、発泡時などに起きる残留気泡が液流路の閉塞された空間に溜まると、吐出口側を真空状態とする回復動作等では残留気泡を簡単に取り除くことが難しい。そこで、本発明のように、液流路の閉塞された位置に可動部材の自由端を有し、気泡発生領域の液流路の閉塞された領域から、可動部材の自由端の変位を伴って、液体が液体供給口から液流路へリフィルされるようにすることで、上記のような在留気泡の滞留をなくすることができるので、液体吐出ヘッドの吐出特性や信頼性がより向上する。
【００１８】
本発明の液体吐出装置は、上記本発明の液体吐出ヘッドと、該液体吐出ヘッドから吐出された液体を受け取る被記録媒体を搬送する搬送手段とを備えたものであり、更には、前記液体吐出ヘッドからインクを吐出し、前記被記録媒体に該インクを付着させることで記録を行うものである。
【００１９】
本発明は、液体吐出ヘッドの製造方法をも提供するものであり、本発明の液体吐出ヘッドの製造方法は、液体を吐出するための吐出口と、液体供給口から液体が供給され、該液体に気泡を発生させる気泡発生手段を備えるとともに前記吐出口と連通している液流路と、前記液流路内に前記液体供給口と間隙を有して前記気泡発生領域に対応して配置された可動部材とを有し、前記液体供給口への前記可動部材の投影領域が前記液体供給口の開口領域よりも大きい液体吐出ヘッドの製造方法であって、
第１の基板上に、前記液体供給口と前記可動部材との間隙を形成するための第１の間隙形成部材を形成する工程と、
前記第１の基板及び第１の間隙形成部材を覆って、前記可動部材となる材料膜を形成する工程と、
前記材料膜を、前記液流路の一端側を支点とし他端側を自由端とする片持ち梁形状にパターニングする工程と、
前記材料膜上の前記液流路となる部位に第２の間隙形成部材を形成する工程と、
前記材料膜及び第２の間隙形成部材上に、前記液流路の側壁となる壁材を形成する工程と、
前記第２の間隙形成部材及び壁材を両者が同一平面を形成するように平坦化する工程と、
前記平坦化した第２の間隙形成部材及び壁材上に、前記気泡発生手段を含む第２の基板を形成する工程と、
前記第２の基板の、前記液流路の一端側に相当する部位に前記吐出口を形成する工程と、
前記第１の基板に、前記可動部材の投影領域よりも小さい開口領域で前記液体供給口を開口するとともに、前記第１の間隙形成部材を除去する工程と、
前記液体供給口及び吐出口を介して前記第２の間隙形成部材を除去する工程とを有することを特徴とする。
【００２０】
上記の製造方法により、上述したような、吐出パワー及び吐出周波数が飛躍的に向上した液体吐出ヘッドを製造することができる。
【００２１】
本発明のその他の効果については、各実施形態の記載から理解できよう。
【００２２】
なお、本発明の説明で用いる「上流」「下流」とは、液体の供給源から気泡発生領域（又は可動部材）を経て、吐出口へ向かう液体の流れ方向に関して、又はこの構成上の方向に関しての表現として表されている。
【００２３】
また、気泡自体に関する「下流側」とは、気泡の中心に対して、上記流れ方向や上記構成上の方向に関する下流側、又は、発熱体の面積中心より下流側の領域で発生する気泡を意味する。
【００２４】
【発明の実施の形態】
次に、本発明の実施形態について図面を参照して説明する。
【００２５】
図１は、本発明の一実施形態による液体吐出ヘッドの１つの液流路の長手方向に沿った断面図、図２は、図１のＹ−Ｙ’線断面図である。
【００２６】
本実施形態の液体吐出ヘッドは、流路構造の主要部をなす基板部１と、この基板部１上に設けられて基板部１とともに液流路３を構成する天板部２とを有する。
【００２７】
基板部１は、Ｓｉ基板１２と、Ｓｉ基板１２上に形成された可動部材８と、液流路３の側壁となる流路側壁１０とで構成される。液流路３は、この液体吐出ヘッドに複数個設けられており、可動部材８は各液流路３に一つずつ配置されている。Ｓｉ基板１２には、各液流路３に供給する液体を保持する共通液体供給室６が形成されている。供給液体供給室６には、複数の液体供給口５がそれぞれ各液流路３に対応して開口しており、各液流路３は、それぞれ液体供給口５を介して単一の共通液体供給室６と同時に連通している。
【００２８】
可動部材８は、Ｓｉ基板１２と微少な間隙αを介して液体供給口５を覆う片持ち梁状の部材であり、Ｓｉ基板１２上に形成された薄膜の一部で構成される。可動部材８の自由端８Ｂの延長上には、詳細には後述するが、上記の薄膜から可動部材８の形成過程で形成される舌状部８Ｃが対向している。可動部材８は、自由端８Ｂと舌状部８Ｃとの間、及び、自由端８Ｂに連続する両側端と流路側壁１０との間にも、微少な間隙βを有する。
【００２９】
液体供給口５は可動部材８の支点８Ａ側で液流路３に開口しているが、Ｓｉ基板１２上への可動部材８の投影領域は、図２に示すように、液体供給口５の開口領域よりも大きく、可動部材８がＳｉ基板１２側へ変位し少なくとも自由端８ＢがＳｉ基板１２と接触することで、液体供給口５は液流路３に対して実質的に密閉される。なお、可動部材８を構成する上記の薄膜上に形成された流路側壁１０の、可動部材８上における液流路３との境界が、可動部材８の支点８Ａとなる。
【００３０】
天板部２は、流路側壁１０上に設けられることにより各液流路３の上壁を構成するとともに、液流路３内の液体を加熱することにより気泡を発生させるための気泡発生手段である発熱部４を有する積層構造体であり、下層から順に、耐キャビテーション膜１３、発熱部４を液体から保護するための保護膜１４、発熱抵抗層１５、発熱抵抗層１５に電圧を印加するための電気配線１６ａ，１６ｂ、この液体吐出ヘッドの最表層となるＳｉＮ膜１７とからなる。電気配線１６ａ，１６ｂの間の領域が発熱部４となり、この発熱部４により加熱される液流路３内の領域が気泡発生領域１１となる。発熱部４は、可動部材８の自由端８Ｂと対向する位置に位置している。また、天板部２には、液体を外部に吐出するために液流路３と連通する吐出口７が形成されている。吐出口７は、可動部材８の自由端８Ｂが向いている液流路３の長手方向端部とは反対側の端部側、つまり可動部材８の支点８Ａ側に設けられている。これにより、液体供給口５から供給された液体の大きな流れとしては、可動部材８の下面を自由端８Ｂに向かって流れ、可動部材８の自由端８Ｂから可動部材８の上面に回り込んで、そこから可動部材８の支点８Ａ側へ向かい、吐出口７から吐出されるというような経路をたどる。
共通液体供給室６から吐出口７へ至る液体吐出ヘッド内における液体の流路は、液体の大きな流れで見ると、共通液体供給室６→液体供給口５→可動部材８の
次に、本実施形態の液体吐出ヘッドの吐出動作について詳しく説明する。図３、４は、図１に示した構造の液体吐出ヘッドの吐出動作を説明するために、液体吐出ヘッドを液流路の長手方向に沿った断面で示すとともに、特徴的な現象を図３（ａ）〜（ｃ）、図４（ｄ）〜（ｆ）の６工程に分けて示したものである。また、図３及び図４において、符号Ｍは、吐出液が形成するメニスカスを表している。 図３（ａ）は、発熱部４に電気エネルギー等のエネルギーが印加される前の状態であり、発熱部４が熱を発生する前の状態を示す。この状態では、液体供給口５と液流路３との間に設けられた可動部材８と、液体供給口５との間には、１．０μｍ程度の微少な隙間が存在している。
【００３１】
図３（ｂ）は、液流路３を満たす液体の一部が発熱部４によって加熱され、発熱部４上に膜沸騰が起こり、気泡２１が等方的に成長した状態を示す。ここで、「気泡成長が等方的」とは、気泡表面の所々において気泡表面の法線方向を向いた気泡成長速度がそれぞれほぼ等しい大きさである状態をいう。この気泡発生初期の、気泡２１の等方的な成長過程において、可動部材８の自由端８Ｂ側がＳｉ基板１２へ向かって変位し、Ｓｉ基板１２と密着して液体供給口５を塞ぐ。これにより液流路３内は、吐出口７を除いて実質的に密閉状態となる。このとき、可動部材８の自由端８ＢがＳｉ基板１２側に最大変位する量をｈ１とする。
【００３２】
図３（ｃ）は、気泡２１が成長し続けている状態を示す。この状態では、上述のように、液流路３内が吐出口７を除いて実質的に密閉状態になっているので、液体供給口５側への、気泡２１の発生による圧力波の伝搬が阻害される。そのため、この状態から気泡２１の成長の仕方に違いが見られる。つまり、液流路３の吐出口７が開口した側へは液体が移動しやすいので気泡２１は吐出口７側へ大きく成長するが、液流路３の吐出口７が開口した側と反対側の端部（閉鎖端部）へは液体の移動が生じないので気泡２１はあまり成長しない。そして、気泡発生領域１１の吐出口７側では気泡成長は続くが、逆に、気泡発生領域１１の閉鎖端部側では気泡成長が止まってしまう。しかも、可動部材８は液流路３の吐出口７が開口した側を支点８Ａとして支持されているので、可動部材８が変位しても、液流路３の吐出口７が開口した側では容積の増加は殆どなく、液体はその殆どが吐出口７へ向かって移動する。その結果、気泡２１の圧力波の伝搬が吐出口７側に集中し、吐出口７から液体を吐出するパワーとなる。
【００３３】
ここで、図３（ａ）〜（ｃ）における気泡２１の成長過程を図５に基づいて詳述する。なお、図５では発熱部４を模式的に示している。図５（ａ）に示すように、発熱部４が加熱されると発熱部４上に初期のランダムな核沸騰が生じ、その後、図５（ｂ）に示すように、発熱部４上を膜状の気泡が覆う膜沸騰に変化する。そして膜沸騰状態の気泡は、図５（ｂ）〜（ｃ）に示すように等方的に成長し続ける（このように等方的に気泡成長している状態は半ピュロー状態と呼ばれる。）。ところが、図３（ｂ）に示したように液流路３内が吐出口７を除いて実質的に密閉状態となると、上流側への液移動ができなくなるため、半ピュロー状の気泡において上流側の気泡の一部があまり成長できなくなり、残りの下流側（吐出口７側）の部分が大きく成長する。この状態を表したのが、図３（ｃ）や図５（ｄ），（ｅ）である。ここで、説明の便宜上、発熱部４を加熱しているとき、発熱部４上において気泡が成長しない領域をＢ領域とし、気泡が成長する吐出口７側の領域をＡ領域とする。
【００３４】
次に、図４（ｄ）は、Ａ領域では気泡成長が続いており、Ｂ領域では気泡収縮が始まっている状態を示す。この状態では、気泡２１は吐出口７側（Ａ領域）へ大きく成長し、吐出口７からは吐出液滴２２が吐出しつつある。一方、気泡発生領域１１の可動部材８の自由端８Ｂ側（Ｂ領域）では消泡が始まっており、液体供給口５を介して共通液体供給室６の液体が液流路３内に引っ張られるので、それにより、可動部材８の自由端８Ｂが気泡発生領域１１側へ変位し、共通液体供給室６と液流路３とが連通状態となる。
【００３５】
図４（ｅ）は、気泡２１がＡ領域においてほぼ最大に成長した状態を示す。この状態では、Ｂ領域における気泡２１は殆ど消泡している。また、吐出口７から吐出しつつある吐出液滴２２は、長い尾引きの状態でメニスカスＭと未だ繋がっている。
【００３６】
図４（ｆ）は、気泡２１の成長が止まり消泡工程のみの段階であって、吐出液滴２２とメニスカスＭとが分断された状態を示す。Ａ領域で気泡成長から消泡に変わった直後は、気泡２１の収縮エネルギーは全体バランスとして吐出口７近傍の液体を上流方向へ移動させる力として働く。従って、メニスカスＭはこの時点で吐出口７から液流路３内へ引き込まれ、吐出液滴２２と繋がっている液柱を強い力で素早く切り離すことになる。その一方で、気泡２１の収縮に伴い、共通液体供給室６から液体供給口５を介して液体が急速に大きな流れとなって液流路３内へ流れ込む。これにより、メニスカスＭを液流路３内へと急速に引き込む流れが急に低下するため、メニスカスＭは短時間で発泡前の位置へ戻り始めるので、本発明に係る可動部材８を備えていない液体吐出方式に比べて、メニスカスＭの後退体積を少なくすることができ、ひいては、メニスカスＭの振動を急速に収束させることができる。なお、このとき、可動部材８の自由端８Ｂが気泡発生領域１１側に最大変位する量をｈ２とする。
【００３７】
最後に、気泡２１が完全に消泡すると、可動部材８も図３（ａ）に示した通常状態に復帰する。また、この状態では、メニスカスＭも既に吐出口７の近傍で復帰している。
【００３８】
次に、図３〜図４におけるＡ領域とＢ領域での気泡体積の時間変化と可動部材の挙動との相関関係を図６を参照して説明する。図６はその相関関係を表したグラフであり、曲線ＡはＡ領域における気泡体積の時間変化を示し、曲線ＢはＢ領域における気泡体積の時間変化を示す。
【００３９】
図６に示すように、Ａ領域での気泡の成長体積の時間変化は極大値をもつ放物線を描く。つまり、発泡が開始されてから消泡までにおいて気泡体積は時間経過とともに増大しある時点で最大となり、その後減少する。一方、Ｂ領域については、Ａ領域の場合と比べ、発泡が開始されてから消泡までに要する時間が短く、また気泡の最大成長体積も小さく、最大成長体積に達する時間も短い。つまり、Ａ領域とＢ領域とでは、発泡が開始されてから消泡までに要する時間と気泡の成長体積変化とが大きく異なっていて、Ｂ領域の方が小さい。
【００４０】
特に図６において、気泡の発生初期は同じ時間変化で気泡体積が増大するため、曲線Ａと曲線Ｂが重なってる。つまり、気泡の発生初期は気泡が等方的に成長している（半ピュロー状の）期間が生じている。その後、曲線Ａが極大点まで増大する曲線を描くものの、ある時点で曲線Ｂは曲線Ａから分岐し、気泡体積が減少する曲線を描く。つまり、Ａ領域では気泡の体積が増加するものの、Ｂ領域では気泡体積が減少する期間（部分成長部分収縮期間）が生じる。
【００４１】
そして、上記のような気泡成長の仕方に基づき、図１に示したように発熱部４の一部分を可動部材８の自由端８Ｂが覆った形態では、可動部材８は次のような挙動を生じる。すなわち、図６の▲１▼の期間では可動部材８が液体供給口５に向かって下方変位している。同図▲２▼の期間では可動部材８がＳｉ基板１２に密着し、液流路３内が吐出口７を除いて実質的に密閉状態となる。この密閉状態の開始は気泡が等方的に成長している期間で行われる。次に同図▲３▼の期間では、可動部材８が定常状態位置に向かって上方変位している。この可動部材８による液体供給口５の開放開始は部分成長部分収縮期間開始から一定時間経過後に行われる。次に同図▲４▼の期間では、可動部材８が定常状態からさらに上方変位している。次に同図▲５▼の期間では、可動部材８の上方変位がほぼ停止し、可動部材８が開放位置で平衡状態になっている。最後に同図▲６▼の期間では、可動部材８が定常状態位置に向かって下方変位している。
【００４２】
また、図６から判るように、気泡発生領域１１の吐出口７側で成長する気泡（Ａ領域の気泡）の最大時の体積をＶｆとし、気泡発生領域１１の液体供給口５側で成長する気泡（Ｂ領域の気泡）の最大時の体積をＶｒとすると、Ｖｆ＞Ｖｒの関係が本発明の液体吐出ヘッドでは常に成り立っている。さらに、気泡発生領域１１の吐出口７側で成長する気泡（Ａ領域の気泡）のライフタイム（気泡の発生から消泡までの時間）をＴｆとし、気泡発生領域１１の液体供給口５側で成長する気泡（Ｂ領域の気泡）のライフタイムをＴｒとすると、Ｔｆ＞Ｔｒの関係が本発明の液体吐出ヘッドでは常に成り立つ。そして、上記のような関係となるため、気泡の消泡点は、気泡発生領域１１の中心付近より吐出口７側に位置することとなる。
【００４３】
さらに本実施形態のヘッド構成では、図３（ｂ）及び図４（ｆ）からも判るように、気泡２１の発生初期に可動部材８の自由端８Ｂが液体供給口５側に最大変位する量ｈ１よりも、気泡２１の消泡と共に可動部材８の自由端８Ｂが吐出口７側に最大変位する量ｈ２の方が大きいという関係（ｈ１＜ｈ２）にある。例えばｈ１は１μｍ、ｈ２は１０μｍである。この関係が成り立つことにより、発泡初期での発熱部後方（吐出口７に対して反対方向）への気泡の成長を抑制し、発熱部前方（吐出口７に向かう方向）への気泡の成長をより促進させることができる。このことによって、発熱部４で生じる発泡パワーを、液体が吐出口７から飛翔する液滴の運動エネルギーへ変換させる効率を向上させることができる。
【００４４】
以上のように本実施形態のヘッド構成及び液体吐出動作について説明したが、このような形態によれば、気泡の下流側への成長成分と上流側への成長成分が均等ではなく、上流側への成長成分がほとんどなくなり上流側への液体の移動が抑制される。上流側への液体の流れが抑制されるため、上流側に気泡成長成分が損失することなくそのほとんどが吐出口の方向に向けられ、吐出力が格段に向上する。さらに、吐出後のメニスカスの後退量が減少し、その分リフィル時にメニスカスがオリフィス面よりも突出する量も減少する。そのためメニスカス振動が抑制されることとなり、低周波数から高周波数まであらゆる駆動周波数に於て安定した吐出を行うことができる。言い換えれば、液体の吐出後、メニスカスが初期状態に復帰する時間が非常に早くなり、一定量の液体を吐出するにあたり、吐出周波数（駆動周波数）を飛躍的に向上させることができる。
【００４５】
また、吐出口及び液体供給口が可動部材の支点側に位置し、液流路の閉塞された側に可動部材の自由端が位置する構成をとることで、可動部材の自由端の変位に伴って液体が液体供給口へリフィルされ、液流路の閉塞された側でも液体の流れを生じさせることができるので、残留気泡が液流路内に滞留しにくい液体吐出ヘッドを提供することができる。
【００４６】
また、液体としてインクを用いる場合、記録紙などにインクを高速に定着させたり、黒とカラーとの境界での色の滲みを解消するために、高粘度のインクを用いることがあるが、このような場合でも、吐出パワーの飛躍的向上により良好に吐出することができる。また、記録時の環境変化、特に低温・低湿環境下では吐出口においてインク増粘領域が増え、使用開始時に正常にインクが吐出されない場合があるが、本発明によれば、このような環境下でも一発目からインクを良好に吐出することができる。さらには、吐出パワーが飛躍的に向上することにより、気泡発生手段として用いる発熱部のサイズを縮小したりして、吐出のために投入するエネルギーを減らすこともできる。
【００４７】
次に、本実施形態の液体吐出ヘッドの製造方法の一例について図７〜９を参照して説明する。
【００４８】
まず、図７（ａ）に示すように、Ｓｉ基板１２上に、後工程で形成される可動部材８（図１参照）との微少な間隙を形成するための第１の間隙形成部材となるＰＳＧ膜３１を、ＣＶＤによって約１．０μｍの厚さで形成する。
【００４９】
次いで、図７（ｂ）に示すように、ＰＳＧ膜３１を周知のフォトリソグラフィプロセスを用いてパターニングする。
【００５０】
次いで、図７（ｃ）に示すように、ＰＳＧ膜３１の表面及びＳｉ基板１２上に、プラズマＣＶＤ法を用いて、可動部材８、及びＳｉ基板１２と可動部材８との接合部（支持部）となる、ＳｉＮ膜３２を約３．０μｍの膜厚で形成し、ＰＳＧ膜３１及びＳｉ基板１２を被覆し、図７（ｄ）に示すように、ＳｉＮ膜３２を可動部材８の形状にフォトリソグラフィプロセスを用いてパターニングする。
【００５１】
次いで、図７（ｅ）に示すように、パターニングしたＳｉＮ膜３２上に、液流路３（図１参照）となる第２の間隙形成部材として、Ａｌ／Ｃｕ膜３３をスパッタリング法を用いて約２０μｍの厚さで形成し、このＡｌ／Ｃｕ膜３３を、図７（ｆ）に示すように、酢酸、燐酸、及び硝酸の混合液を用い、加温エッチングにより液流路３の形状にパターニングする。
【００５２】
次いで、図８（ｇ）に示すように、ＳｉＮ膜３２及びＡｌ／Ｃｕ膜３３を覆って、流路側壁１０（図１参照）となるＳｉＮ膜３４をプラズマＣＶＤ法を用いて約２５μｍの厚さで形成する。
【００５３】
次いで、図８（ｈ）に示すように、Ａｌ／Ｃｕ膜３３及びＳｉＮ膜３４を、ＣＭＰ（Ｃｈｅｍｉｃａｌ Ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ Ｐｏｌｉｓｈｉｎｇ）法を用いて、両者の上面が同一平面を形成するまで研磨し、平坦化する。そして、後述のフォトリソグラフィプロセスを行う際の基準となるアライメントパターン（不図示）を形成する。
【００５４】
次いで、図８（ｉ）に示すように、平坦化したＡｌ／Ｃｕ膜３３及びＳｉＮ膜３４上に、耐キャビテーション膜１３（図１参照）となるＴａ膜３５をスパッタリング法により約２５００Åの膜厚で形成し、更にその上に、保護膜１４（図１参照）となるＳｉＮ膜３６をプラズマＣＶＤ法により約５０００Åの膜厚で形成する。そして、周知のフォトリソグラフィプロセスを用いて、ＳｉＮ膜３６及びＴａ膜３５をこの順に、それぞれ保護膜１４及び耐キャビテーション膜１３の形状にパターニングする。
【００５５】
次いで、図８（ｊ）に示すように、ＳｉＮ膜３６（保護膜１４）上に、発熱抵抗層１５（図１参照）となるＴａＳｉＮ膜３７を約５００Åの膜厚で形成する。さらにその上に、図８（ｋ）に示すようにＡｌ膜３８を約５０００Åの膜厚で形成し、このＡｌ膜３８をフォトリソグラフィプロセスを用いてパターニングし、図９（ｌ）に示すように、電気配線１６ａ，１６ｂを得る。その後、ＴａＳｉＮ膜３７を発熱抵抗層１５の形状にパターニングする。
【００５６】
次いで、図９（ｍ）に示すように、プラズマＣＶＤ法を用いて、液体吐出ヘッドの最外層となるＳｉＮ膜１７を約５．０μｍの厚さで形成し、その表面をＣＭＰ法を用いて平坦に研磨する。
【００５７】
さらに、このＳｉＮ膜１７に、フッ素原子を有する撥水性膜（不図示）を高温下でコートする。この材料としては、フッ素原子を有する有機化合物、特にフルオロアルキル基をを有する有機物、ジメチルシリキサン骨格を有する有機ケイ素化合物等が使用できる。
【００５８】
フッ素原子を有する有機化合物としては、フルオロアルキルシラン、フルオロアルキル基を有するアルカン、カンボン酸、アルコール、アミン等が望ましい。具体的には、フルオロアルキルシランとしては、ヘプタデカフルオロ−１，１，２，２−テトラハイドロデシルトリメトキシシラン、ヘプタデカフルオロ−１，１，２，２−テトラハイドロトリクロオシラン；フルオロアルキル基を有するアルカンとしては、オクタフルオロシクロブタン、パーフルオロメチルシクロヘキサン、パーフルオロ−ｎ−ヘキサン、パーフルオロ−ｎ−ヘプタン、テトラデカフルオロ−２−メチルペンタン、パーフルオロドデカン、パーフルオロオイコサン；フルオロアルキル基を有するカルボン酸としては、パーフルオロデカン酸、パーフルオロオクタン酸；フルオロアルキル基を有するアルコールとしては、３，３，４，４，５，５，５−ヘプタフルオロ−２−ペンタノール；フルオロアルキル基を有するアミンとしては、ヘプタデカフルオロ−１，１，２，２−テトラハイドロデシルアミン等が挙げられる。ジメチルシロキサン骨格を有する有機ケイ素化合物としては、α，ｗ−ビス（３−アミノプロピル）ポリジメチルシロキサン、α，ｗ−ビス（ビニル）ポリジメチルシロキサン等が挙げられる。
【００５９】
また、最外表面の撥水処理としては、テフロン（デュポン社登録商標）を約５．０μｍの厚さで塗布した後、約４００℃の高温で焼結させることも可能である。さらには、プラズマＣＶＤ法にて、最外表面層にフッ素プラズマ処理を行うことも可能である。
【００６０】
次いで、誘電結合プラズマを使ったエッチング装置を用いて、図９（ｎ）に示すように、吐出口７を形成する。このとき、第２の間隙形成部材であるＡｌ−Ｃｕ膜３３をエッチングストップ層に利用する。
【００６１】
次に、Ｓｉ基板１２の共通液体供給室６となる部分、及び第１の間隙形成部材であるＰＳＧ膜３１を、ＴＭＡＨ（テトラメチルアンモニウムハイドライド）を用いてエッチングにより除去し、図９（ｏ）に示すように、共通液体供給室６、液体供給口５及びＳｉ基板１２とＳｉＮ膜３２との間の間隙を形成する。
【００６２】
最後に、液体供給口５及び吐出口７を介して、第２の間隙形成部材であるＡｌ／Ｃｕ膜３３を、酢酸、燐酸、及び硝酸の混合液を用いて加温エッチングにより除去する。
【００６３】
以上のようにして、図１に示したように、Ｓｉ基板１２に、可動部材８、液流路３、液体供給口５及び吐出口７を配した液体吐出ヘッドを形成することができる。
【００６４】
（その他の実施形態）
以下に、上述した液体吐出ヘッドが適用可能なその他の実施形態について説明する。
【００６５】
＜可動部材＞
上述の実施形態において、可動部材を構成する材質としては吐出液に対して耐溶剤性があり、可動部材として良好に動作するための弾性を有しているものであればよい。
【００６６】
可動部材の材料としては、耐久性の高い、銀、ニッケル、金、鉄、チタン、アルミニュウム、白金、タンタル、ステンレス、りん青銅等の金属、およびその合金、または、アクリロニトリル、ブタジエン、スチレン等のニトリル基を有する樹脂、ポリアミド等のアミド基を有する樹脂、ポリカーボネイト等のカルボキシル基を有する樹脂、ポリアセタール等のアルデヒド基を持つ樹脂、ポリサルフォン等のスルホン基を持つ樹脂、そのほか液晶ポリマー等の樹脂およびその化合物、耐インク性の高い、金、タングステン、タンタル、ニッケル、ステンレス、チタン等の金属、これらの合金および耐インク性に関してはこれらを表面にコーティングしたもの若しくは、ポリアミド等のアミド基を有する樹脂、ポリアセタール等のアルデヒド基を持つ樹脂、ポリエーテルエーテルケトン等のケトン基を有する樹脂、ポリイミド等のイミド基を有する樹脂、フェノール樹脂等の水酸基を有する樹脂、ポリエチレン等のエチル基を有する樹脂、ポリプロピレン等のアルキル基を持つ樹脂、エポキシ樹脂等のエポキシ基を持つ樹脂、メラミン樹脂等のアミノ基を持つ樹脂、キシレン樹脂等のメチロール基を持つ樹脂およびその化合物、さらに二酸化珪素、チッ化珪素等のセラミックおよびその化合物が望ましい。本発明における可動部材としてはμｍオーダーの厚さを対象にしている。
【００６７】
次に、発熱部と可動部材の配置関係について説明する。発熱部と可動部材の最適な配置によって、発熱部による発泡時の液体の流れを適正し制御して有効に利用することが可能となる。
【００６８】
熱等のエネルギーをインクに与えることで、インクに急峻な体積変化（気泡の発生）を伴う状態変化を生じさせ、この状態変化に基づく作用力によって吐出口からインクを吐出し、これを被記録媒体上に付着させて画像形成を行うインクジェット記録方法、いわゆるバブルジェット記録方法の従来技術においては、図１０の破線に示すように、発熱部表面積とインク吐出量は比例関係にあるが、インク吐出に寄与しない非発泡有効領域Ｓが存在していることがわかる。また、発熱部上のコゲの様子から、この非発泡有効領域Ｓが発熱部の周囲に存在していることがわかる。これらの結果から、発熱部周囲の約４μｍ幅は、発泡に関与されていないとされている。これに対し、本発明の液体吐出ヘッドは、気泡発生手段を含む液流路が吐出口を除いて実質的に遮蔽されていることで最大の吐出量が規制されるため、図１０の実線で示すように、発熱部表面積や発泡パワーのばらつきが大きくても吐出量が変化しない領域があり、この領域を利用することにより大ドットの吐出量安定化が図れる。
【００６９】
〈発熱部〉
上述した実施形態においては、液流路内の液体に気泡を発生させるための気泡発生手段として、電気信号に応じて発熱する発熱抵抗層を含む発熱部を有するものを用いたが、これに限られることなく、吐出液を吐出させるのに十分な気泡を発泡液に生じさせるものであればよい。例えば、レーザ等の光を受けることで発熱するような光熱変換体や高周波を受けることで発熱するような発熱部を有するものであってもよい。
【００７０】
なお、図１に示した天板部２には、発熱部４を構成する発熱抵抗層１５とこの抵抗層１５に電気信号を供給するための電気配線１６ａ，１６ｂの他に、この発熱部４（電気熱変換素子）を選択的に駆動するためのトランジスタ、ダイオード、ラッチ、シフトレジスタ等の機能素子が一体的に半導体製造工程によって作り込まれていてもよい。
【００７１】
また、前述のような発熱部４を駆動し、液体を吐出するためには、前述の発熱抵抗層１５に電気配線１６ａ，１６ｂを介して図１１に示されるような矩形パルスを印加し、電気配線１６ａ，１６ｂ間の発熱抵抗層１５を急峻に発熱させる。前述の実施形態の液体吐出ヘッドにおいては、それぞれ電圧２４Ｖ、パルス幅７μｓｅｃ、電流１５０ｍＡ、電気信号を６ｋＨｚで加えることで発熱部を駆動させ、前述のような動作によって、吐出口から液体であるインクを吐出させた。しかしながら、駆動信号の条件はこれに限られることなく、発泡液を適正に発泡させることができる駆動信号であればよい。
【００７２】
＜吐出液体＞
このような液体のうち、記録を行う上で用いる液体（記録液体）としては従来のバブルジェット装置で用いられていた組成のインクを用いることができる。
【００７３】
また、従来吐出が困難であった発泡性が低い液体、熱によって変質、劣化しやすい液体や高粘度液体などであっても利用できる。
【００７４】
ただし、吐出液の性質として吐出液自身、吐出や発泡または可動部材の動作などを妨げないような液体でないことが望まれる。
【００７５】
記録用の吐出液体としては、高粘度インク等をも利用することができる。
【００７６】
本発明においては、さらに吐出液に用いることができる記録液体として表１に示すような組成の染料インクを用いて記録を行った。またこの染料インクの粘度は、２ｃＰ（２×１０^−３Ｐａ・ｓ）であった。
【００７７】
【表１】

このような組成のインクを用いても、本発明の液体吐出ヘッドにより吐出力が向上し吐出速度が高くなったため、液滴の着弾精度が向上し非常に良好な記録画像を得ることができる。
【００７８】
＜液体吐出装置＞
図１２は、上述の各種の実施形態で説明した構造の液体吐出ヘッドを装着して適用することのできる液体吐出装置の一例であるインクジェット記録装置の概略構成を示している。図１２に示されるインクジェット記録装置６００に搭載されたヘッドカートリッジ６０１は、上述した構造の液体吐出ヘッドと、その液体吐出ヘッドに供給される液体を保持する液体容器とを有するものである。ヘッドカートリッジ６０１は、図１２に示すように、駆動モータ６０２の正逆回転に連動して駆動力伝達ギヤ６０３および６０４を介して回転するリードスクリュー６０５の螺旋溝６０６に対して係合するキャリッジ６０７上に搭載されている。駆動モータ６０２の動力によってヘッドカートリッジ６０１がキャリッジ６０７ともとにガイド６０８に沿って矢印ａおよびｂの方向に往復移動される。インクジェット記録装置６００には、ヘッドカートリッジ６０１から吐出されたインクなどの液体を受ける被記録媒体としてのプリント用紙Ｐを搬送する被記録媒体搬送手段（不図示）が備えられている。その被記録媒体搬送手段によってプラテン６０９上を搬送されるプリント用紙Ｐの紙押さえ板６１０は、キャリッジ６０７の移動方向にわたってプリント用紙Ｐをプラテン６０９に対して押圧する。
【００７９】
リードスクリュー６０５の一端の近傍には、フォトカプラ６１１および６１２が配設されている。フォトカプラ６１１および６１２は、キャリッジ６０７のレバー６０７ａの、フォトカプラ６１１および６１２の領域での存在を確認して駆動モータ６０２の回転方向の切り換えなどを行うためのホームポジション検知手段である。プラテン６０９の一端の近傍には、ヘッドカートリッジ６０１の吐出口のある前面を覆うキャップ部材６１４を支持する支持部材６１３が備えられている。また、ヘッドカートリッジ６０１から空吐出などされてキャップ部材６１４の内部に溜まったインクを吸引するインク吸引手段６１５が備えられている。このインク吸引手段６１５によりキャップ部材６１４の開口部を介してヘッドカートリッジ６０１の吸引回復が行われる。
【００８０】
インクジェット記録装置６００には本体支持体６１９が備えられている。この本体支持体６１９には移動部材６１８が、前後方向、すなわちキャリッジ６０７の移動方向に対して直角な方向に移動可能に支持されている。移動部材６１８には、クリーニングブレード６１７が取り付けられている。クリーニングブレード６１７はこの形態に限らず、他の形態の公知のクリーニングブレードであってもよい。さらに、インク吸引手段６１５による吸引回復操作にあたって吸引を開始するためのレバー６２０が備えられており、レバー６２０は、キャリッジ６０７と係合するカム６２１の移動に伴って移動し、駆動モータ６０２からの駆動力がクラッチ切り換えなどの公知の伝達手段で移動制御される。ヘッドカートリッジ６０１に設けられた発熱体に信号を付与したり、前述した各機構の駆動制御を司ったりするインクジェット記録制御部は記録装置本体側に設けられており、図１４では示されていない。
【００８１】
上述した構成を有するインクジェット記録装置６００では、前記の被記録媒体搬送手段によりプラテン６０９上を搬送されるプリント用紙Ｐに対して、ヘッドカートリッジ６０１がプリント用紙Ｐの全幅にわたって往復移動する。この移動時に不図示の駆動信号供給手段からヘッドカートリッジ６０１に駆動信号が供給されると、この信号に応じて液体吐出ヘッド部から被記録媒体に対してインク（記録液体）が吐出され、記録が行われる。
【００８２】
図１３は、本発明の液体吐出装置によりインクジェット式記録を行なうための記録装置全体のブロック図である。
【００８３】
記録装置は、ホストコンピュータ３００より印字情報を制御信号として受ける。印字情報は印字装置内部の入力インターフェイス３０１に一時保存されると同時に、記録装置内で処理可能なデータに変換され、ヘッド駆動信号供給手段を兼ねるＣＰＵ（中央処理装置）３０２に入力される。ＣＰＵ３０２はＲＯＭ（リード・オンリー・メモリー）３０３に保存されている制御プログラムに基づき、前記ＣＰＵ３０２に入力されたデータをＲＡＭ（ランダム・アクセス・メモリー）３０４等の周辺ユニットを用いて処理し、印字するデータ（画像データ）に変換する。 また、ＣＰＵ３０２は前記画像データを記録用紙上の適当な位置に記録するために、画像データに同期して記録用紙およびヘッドカートリッジ６０１を搭載したキャリッジ６０７を移動する駆動用モータ６０２を駆動するための駆動データを作る。画像データおよびモータ駆動データは、各々ヘッドドライバ３０７と、モータドライバ３０５を介し、ヘッドカートリッジ６０１および駆動用モータ６０２に伝達され、それぞれ制御されたタイミングで駆動され画像を形成する。
【００８４】
このような記録装置に用いられ、インク等の液体の付与が行われる被記録媒体１５０としては、各種の紙やＯＨＰシート、コンパクトディスクや装飾板等に用いられるプラスチック材、布帛、アルミニウムや銅等の金属材、牛皮、豚皮、人工皮革等の皮革材、木、合板等の木材、竹材、タイル等のセラミックス材、スポンジ等の三次元構造体等を対象とすることができる。
【００８５】
また、この記録装置として、各種の紙やＯＨＰシート等に対して記録を行うプリンタ装置、コンパクトディスク等のプラスチック材に記録を行うプラスチック用記録装置、金属板に記録を行う金属用記録装置、皮革に記録を行う皮革用記録装置、木材に記録を行う木材用記録装置、セラミックス材に記録を行うセラミックス用記録装置、スポンジ等の三次元網状構造体に対して記録を行う記録装置、または布帛に記録を行う捺染装置等をも含むものである。
【００８６】
また、これらの液体吐出装置に用いる吐出液としては、それぞれの被記録媒体や記録条件に合わせた液体を用いればよい。
【００８７】
【発明の効果】
以上説明したように本発明の液体吐出ヘッド及び液体吐出装置によれば、気泡発生手段によって発生した機能に基づいて液流路と液体供給口との連通状態を可動部材によって遮断し、気泡成長による圧力波の大部分を吐出口側へ向ける構成とすることで、吐出パワーを飛躍的に向上させることができる。その結果、液体として高粘度のものを用いたり、環境変化によって液体の粘度が増加した場合においても、液体を良好に吐出することができる。また、液体供給口が実質的に密閉されることで、液体の吐出後の吐出口におけるメニスカスの後退量が抑えられ、吐出後のメニスカスの復帰が急速に行われるので、高精度（定量）の液体を吐出するにあたり、吐出周波数（駆動周波数）を飛躍的に向上させることができる。 また、本発明の液体吐出ヘッドの製造方法によれば、吐出パワー及び吐出周波数が飛躍的に向上した本発明の液体吐出ヘッドを製造することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施形態による液体吐出ヘッドの１つの液流路の長手方向に沿った断面図である。
【図２】図１に示した液体吐出ヘッドのＹ−Ｙ’線断面図である。
【図３】図１及び図２に示した構造の液体吐出ヘッドの吐出動作を説明するために、液体吐出ヘッドを液流路方向に沿った切断図で示すとともに、特徴的な現象を分けて示したものである。
【図４】図３の続きの吐出動作を説明するために、液体吐出ヘッドを液流路方向に沿った切断図で示したものである。
【図５】図３（ｂ）の気泡の等方的な成長状態を示す図である。
【図６】図２及び図３におけるＡ領域とＢ領域での気泡成長の時間変化と可動部材の挙動との相関関係を表したグラフである。
【図７】図１及び図２に示した液体吐出ヘッドの製造方法を説明するための図である。
【図８】図１及び図２に示した液体吐出ヘッドの製造方法を説明するための図であり、図７の工程の続きを示す。
【図９】図１及び図２に示した液体吐出ヘッドの製造方法を説明するための図であり、図８の工程の続きを示す。
【図１０】発熱部表面積とインク吐出量との相対関係を示すグラフである。
【図１１】本発明の液体吐出ヘッドに使用する発熱部を駆動する波形の図である。
【図１２】本発明の液体吐出ヘッドを搭載した液体吐出装置の概略構成を示す図である。
【図１３】本発明の液体吐出方法および液体吐出ヘッドにおいて液体吐出記録を行なうための装置全体のブロック図である。
【図１４】従来の液体吐出ヘッドにおける可動部材の様子を示す断面図である。
【符号の説明】
１ 基板部
２ 天板部
３ 液流路
４ 発熱部
５ 液体供給口
６ 共通液体供給室
７ 吐出口
８ 可動部材
８Ａ 支点
８Ｂ 自由端
１０ 流路側壁
１１ 気泡発生領域
１２ Ｓｉ基板
１３ 耐キャビテーション膜
１４ 保護膜
１５ 発熱抵抗層
１６ａ，１６ｂ 電気配線
１７，３２，３４，３６ ＳｉＮ膜
２１ 気泡
３１ ＰＳＧ膜
３３ Ａｌ／Ｃｕ膜
３５ Ｔａ膜
３７ ＴａＳｉＮ膜
３８ Ａｌ膜
３００ ホストコンピュータ
３０１ 入出力インターフェイス
３０２ ＣＰＵ
３０３ ＲＯＭ
３０４ ＲＡＭ
３０５ モータドライバ
３０７ ヘッドドライバ
６００ インクジェット記録装置
６０１ ヘッドカートリッジ
６０２ 駆動モータ
６０３、６０４ 駆動伝達ギア
６０５ リードスクリュー
６０６ 螺旋溝
６０７ キャリッジ
６０７ａ レバー
６０８ ガイド
６０９ プラテン
６１０ 紙押さえ板
６１１、６１２ フォトカプラ
６１３ 支持部材
６１４ キャップ部材
６１５ インク吸引手段
６１７ クリーニングブレード
６１８ 移動部材
６１９ 本体支持体
６２０ レバー
６２１ カム

Claims (6)

1. 液体を吐出するための吐出口と、
   液体供給口から液体が供給され、該液体に気泡を発生させる気泡発生手段を備えるとともに一端部が前記吐出口と連通している液流路と、
   前記液流路内に前記液体供給口と間隙を有して前記気泡発生手段に対応して配置された可動部材とを有し、
   前記液体供給口への前記可動部材の投影領域は前記液体供給口の開口領域よりも大きく、
   前記気泡発生手段は、前記液流路の前記液体供給口が開口した壁面と対向する壁面に前記可動部材を間において設けられ、
   前記可動部材は、前記液流路の一端側を支点とし、前記可動部材の自由端が前記液流路の閉塞された側に配され、
   前記気泡発生手段は前記可動部材の自由端と同一方向の対向する位置に設けられ、
   前記液体供給口は、前記可動部材の支点側で前記液流路に開口しており、且つ、前記吐出口が、前記可動部材の支点側に位置していることを特徴とする液体吐出ヘッド。
2. 液体を吐出するための吐出口と、
   液体供給口から液体が供給され、該液体に気泡を発生させる気泡発生手段を備えるとともに前記吐出口と連通している液流路と、
   前記液流路内に前記液体供給口と間隙を有して前記気泡発生手段に対応して配置された可動部材とを有し、
   前記液体供給口への前記可動部材の投影領域は前記液体供給口の開口領域よりも大きく、
   前記液流路は一端部が前記吐出口と連通し、
   前記可動部材は、前記気泡発生手段により発生する気泡が大きく成長する側に支点を有するとともに、前記気泡の成長が抑制される側に自由端を有し、
   前記液体供給口は、前記可動部材の支点側で前記液流路に開口しており、
   前記気泡発生手段による気泡の発生により前記可動部材が前記液体供給口を実質的に密閉し、前記気泡の発生に基づく圧力波の伝搬を、前記可動部材の支点側に配された前記吐出口側に集中させることで前記吐出口から液体を吐出させ、
   前記気泡の消泡とともに前記可動部材の自由端が前記気泡発生手段側に変位し、前記可動部材の支点側に配された前記液体供給口が前記液流路と連通することで前記液体供給口から前記液流路に液体が供給される液体吐出ヘッド。
3. 請求項１または２に記載の液体吐出ヘッドと、該液体吐出ヘッドから吐出された液体を受け取る被記録媒体を搬送する搬送手段とを備えた液体吐出装置。
4. 前記液体吐出ヘッドからインクを吐出し、前記被記録媒体に該インクを付着させることで記録を行う、請求項３に記載の液体吐出装置。
5. 液体を吐出するための吐出口と、液体供給口から液体が供給され、該液体に気泡を発生させる気泡発生手段を備えるとともに前記吐出口と連通している液流路と、前記液流路内に前記液体供給口と間隙を有して前記気泡発生領域に対応して配置された可動部材とを有し、前記液体供給口への前記可動部材の投影領域が前記液体供給口の開口領域よりも大きい液体吐出ヘッドの製造方法であって、
   第１の基板上に、前記液体供給口と前記可動部材との間隙を形成するための第１の間隙形成部材を形成する工程と、
   前記第１の基板及び第１の間隙形成部材を覆って、前記可動部材となる材料膜を形成する工程と、
   前記材料膜を、前記液流路の一端側を支点とし他端側を自由端とする片持ち梁形状にパターニングする工程と、
   前記材料膜上の前記液流路となる部位に第２の間隙形成部材を形成する工程と、
   前記材料膜及び第２の間隙形成部材上に、前記液流路の側壁となる壁材を形成する工程と、
   前記第２の間隙形成部材及び壁材を両者が同一平面を形成するように平坦化する工程と、
   前記平坦化した第２の間隙形成部材及び壁材上に、前記気泡発生手段を含む第２の基板を形成する工程と、
   前記第２の基板の、前記液流路の一端側に相当する部位に前記吐出口を形成する工程と、
   前記第１の基板に、前記可動部材の投影領域よりも小さい開口領域で前記液体供給口を開口するとともに、前記第１の間隙形成部材を除去する工程と、
   前記液体供給口及び吐出口を介して前記第２の間隙形成部材を除去する工程とを有することを特徴とする液体吐出ヘッドの製造方法。
6. 前記第２の基板を形成する工程は、発熱抵抗層を形成する工程と、該発熱抵抗層に電気エネルギーを供給するための電気配線層を形成する工程とを含む、請求項５に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。

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