JP3239087U - 搬送器具指向システムを有するウェットプロセス装置 - Google Patents

Abstract

【課題】基板の歩留まりを向上させることが可能な、搬送器具指向システムを有するウェットプロセス装置を提供する。【解決手段】本体１０、搬送器具２０及びガイド部材３０を含み、本体１０は搬送器具移動通路１２を有し、搬送器具２０は外フレームと内環状フレームを含み、外フレームには複数のローラーが間隔で設けられており、内環状フレームは各ローラーの間に回転可能に設置され、内環状フレームは環形状体及び環形状体に固定されたガイド受部材を含み、環形状体は基板クランプエリアを有し、ガイド部材３０は、搬送器具移動通路１２に設置され、且つ内環状フレームの一方の側の面に形成されており、そのうち、搬送器具２０が搬送器具移動通路１２に沿って平行移動する過程中、ガイド受部材がガイド部材３０に接触してガイドされ、内環状フレームに外フレームに対する指向性回転が生じる。【選択図】図１

Description

本考案は、基板のウェットプロセス装置の技術に関し、特に搬送器具指向システムを有するウェットプロセス装置に関する。

プリント配線基板の加工工程中、例えばエッチング、洗浄などのウェットプロセスでは、通常、まず配線基板がクランプ治具によって位置決めされ、それから加工工程が行われる。加工工程では、プリント配線基板が直立にする方法で搬送ユニットに取り付けられ、搬送ユニットによってプリント配線基板を所定のルートに従い移動するよう動かすことにより、プリント配線基板へのエッチングや洗浄などの加工を行えるようにするのが一般的である。

上述のプリント配線基板に対する加工を様々な方向や角度で行えるよう、それに対応するプリント配線基板を載せて位置決めするための搬送器具の研究が行われ、複数の水流駆動器を用いて回転式搬送器具をそれぞれ駆動して回転させる、回転式の搬送器具が開発された。水流駆動器は、噴射される水柱の衝撃を受けることにより駆動され回転するものである。

しかし、搬送器具の薬液によるエッチングや水による洗浄の際に、それらの薬液や水の残留物がクランプ治具に付着することは避けられず、それらの残留物が重力の作用を受けてプリント配線基板の方へ垂れ流れてしまい、プリント配線基板に上述の残留物が付着することで、製品の効果や歩留まりを低下させてしまっていた。

そこで、本考案者は改良を目標として、上述の従来技術の欠点について研究に専念し、且つ学理を応用して組み合わせ、上述の問題点を解決するために尽力した。

本考案は、薬液や水などの残留物が垂れ流れによる影響を効果的に回避することで基板の歩留まりを向上させることが可能な、搬送器具指向システムを有するウェットプロセス装置を提供することを目的としている。

上述の目的を達成するために、本考案が提供する搬送器具指向システムを有するウェットプロセス装置は、本体と、搬送器具と、ガイド部材と、を含み、本体は搬送器具移動通路を有し、搬送器具は外フレームと内環状フレームを含み、外フレームには複数のローラーが間隔で設けられており、内環状フレームは各ローラーの間に回転可能に設置され、内環状フレームは環形状体及び環形状体に固定された少なくとも１つのガイド受部材を含み、環形状体は基板クランプエリアを有し、ガイド部材は、搬送器具移動通路に設置され、且つ内環状フレームの一方の側の面に形成されており、そのうち、搬送器具が搬送器具移動通路に沿って平行移動する過程中、ガイド受部材がガイド部材に接触してガイドされることにより、内環状フレームに外フレームに対する指向性回転を生じさせる。

本考案は以下の効果をさらに有する。ガイド部材とガイド受部材の組み合わせにより、各クランプ部材を水平状に設置することができ、これによって基板の取り外し作業の自動化が達成される。傾斜バーのストッパと下向き傾斜バーを設けることにより、ガイド受部材がガイド部材のガイド作用から離れてしまうのを防止できるだけでなく、搬送器具を逆方向に移動させるときに、内環状フレームに対する角度調整を行うこともできる。

本考案のウェットプロセス装置の組立概念図である。 本考案の搬送器具とガイド部材の配置概念図である。 本考案の搬送器具とガイド部材の別方向の概念図である。 本考案の搬送器具とガイド部材の側面図である。 本考案の搬送器具が搬送機構に結合された組立概念図である。 本考案の使用状態の概念図（１）である。 本考案の使用状態の概念図（２）である。 本考案の使用状態の概念図（３）である。 本考案の別の使用状態の概念図である。 本考案のもうひとつの使用状態の概念図である。

以下、本考案の詳細な説明及び技術内容について図に基づき説明するが、添付図面はもっぱら参考及び説明のために提供するものであり、本考案を制限するためのものではない。

図１～図５を参照されたい。本考案は搬送器具指向システムを有するウェットプロセス装置を提供するが、それは主に本体１０、搬送器具２０及びガイド部材３０を含む。

本体１０は略短冊形状の箱体であり、本体１０の上部に搬送ベルト１１が配置されており、搬送ベルト１１の下方には搬送器具移動通路１２が形成されており、また本体１０の下部には噴射装置１３が配置されており、噴射装置１３は間隔で配列された複数のノズル１３１を含む。

搬送器具２０は主に外フレーム２１と内環状フレーム２２を含み、外フレーム２１は主に２本の横方向バー２１０と２本の縦方向バー２１１を組み立てて接続してなるものである。本実施例の外フレーム２１は略四辺形であり、外フレーム２１の各横方向バー２１０と各縦方向バー２１１には複数のローラー２１２が間隔で設置されており、そのうち、ローラー２１２は３つの従動ローラー２１３と２つの駆動ローラー２１４を含み、各従動ローラー２１３はそれぞれ上側の横方向バー２１０と左右両側の縦方向バー２１１に設置されており、各駆動ローラー２１４は下側の横方向バー２１０に間隔で設置されている。

内環状フレーム２２は、各従動ローラー２１３及び各駆動ローラー２１４の間に回転可能に設置されており、内環状フレーム２２は環形状体２２１及び環形状体２２１に固定された少なくとも１つのガイド受部材２２２を含み、環形状体２２１の中間部分には、複数のクランプ部材２３によって内環状フレーム２２に固定され、且つ基板７に対しクランプ固定を行うための基板クランプエリア２２３が設けられており、ここでの基板７はフレキシブル配線基板でよい。

１つの実施例において、内環状フレーム２２は円形の内環状フレームであり、ガイド受部材２２２の数は２つであり、各ガイド受部材２２２の結ぶ線は円形の内環状フレームの円心を通り、これによってガイド受部材２２２とガイド部材３０の接触頻度を増加させる。また、各ガイド受部材２２２は回転ホイールでよく、これによってガイド部材３０と接触したときの摩擦抵抗を低減させる。

ガイド部材３０は、搬送器具移動通路１２に設置され、且つ内環状フレーム２２の一方の側の面に形成されており、本実施例のガイド部材３０は主に傾斜バー３１を含み、傾斜バー３１の両端はそれぞれ導入部３１１と導出部３１２を有し、導入部３１１にはストッパ３２が下向きに延在しており、導出部３１２には下向き傾斜バー３３が下向きに延在している。そのうち、ストッパ３２は、ガイド受部材２２２がガイド部材３０のガイド作用から離れてしまうのを防止することができ、下向き傾斜バー３３は、搬送器具２０を逆方向に移動させるときに、内環状フレーム２２に対する角度調整を行うこともでき、製造工程におけるニーズに応えることができる。

１つの実施例において、搬送器具２０はハンガー２４をさらに含み、ハンガー２４の下側は外フレーム２１に接続されており、ハンガー２４の上側は上述の搬送ベルト１１に接続されており、これにより、搬送ベルト１１による搬送器具２０の平行搬送を行う。

１つの実施例において、搬送器具２０は２つの保護輪２５をさらに含み、各保護輪２５はねじなどの締結部材によって上述の各横方向バー２１０と各縦方向バー２１１に固定され、各保護輪２５によって内環状フレーム２２が外フレーム２１と保護輪２５の間に拘束されるようにする。

１つの実施例において、搬送器具２０は伝動機構２６をさらに含み、それは外フレーム２１と内環状フレーム２２の間に設置され、伝動機構２６は主にインペラ２６１と歯車群２６２を含み、歯車群２６２は第１はすば歯車２６２１と第２はすば歯車２６２２を含み、第１はすば歯車２６２１はインペラ２６１と接続され、第２はすば歯車２６２２は上述の駆動ローラー２１４と接続され、且つ第１はすば歯車２６２１と互いに噛み合い伝動する。

次に図６～図８を参照して、作動時には搬送器具２０が搬送ベルト１１に駆動され、搬送器具移動通路１２に沿って平行移動し、内環状フレーム２２が左に傾斜した状況下において、ガイド受部材２２２がガイド部材３０の導入部３１１に到達したとき、搬送器具２０が継続して平行移動するにつれて、ガイド受部材２２２が傾斜バー３１に押し上げられ、内環状フレーム２２に外フレーム２１に対して反時計回り方向の回転を生じさせ、ガイド受部材２２２がガイド部材３０の導出部３１２に到達したとき、各クランプ部材２３がちょうど上・下両側の位置になり、このようにすることで基板７に対する取り外し作業の自動化を行うのが有利となる。

さらに説明すると、ここで、ガイド部材３０の傾斜バー３１の角度は実際の使用ニーズに応じて設置又は調整することができ、そのようにして搬送器具２０の内環状フレーム２２の回転角度を所定の角度にさせることが達成でき、図８の２つのガイド受部材２２２が水平状態を呈する形態に限定されない。

次に図９を参照して、内環状フレーム２２が右に傾斜した状況下において、ガイド受部材２２２がガイド部材３０の導入部３１１に到達したとき、搬送器具２０が継続して平行移動するにつれて、ガイド受部材２２２が傾斜バー３１に押し上げられ、内環状フレーム２２に外フレーム２１に対して時計回り方向の回転を生じさせ、ガイド受部材２２２がガイド部材３０の導出部３１２に到達したとき、各クランプ部材２３がちょうど上・下両側の位置になる。

次に図１０を参照して、ベルト式生産の作業過程中、各搬送器具２０は順に搬送器具移動通路１２に進入し、且つ各ガイド受部材２２２がそれぞれガイド部材３０と接触することにより、各搬送器具２０を一つ一つ特定の方位に指向させる。

要約すると、本考案の搬送器具指向システムを有するウェットプロセス装置は、想定した使用目的を達成し、従来における欠点を解決することができる。

１０ 本体
１１ 搬送ベルト
１２ 搬送器具移動通路
１３ 噴射装置
１３１ ノズル
２０ 搬送器具
２１ 外フレーム
２１０ 横方向バー
２１１ 縦方向バー
２１２ ローラー
２１３ 従動ローラー
２１４ 駆動ローラー
２２ 内環状フレーム
２２１ 環形状体
２２２ ガイド受部材
２２３ 基板クランプエリア
２３ クランプ部材
２４ ハンガー
２５ 保護輪
２６ 伝動機構
２６１ インペラ
２６２ 歯車群
２６２１ 第１はすば歯車
２６２２ 第２はすば歯車
３０ ガイド部材
３１ 傾斜バー
３１１ 導入部
３１２ 導出部
３２ ストッパ
３３ 下向き傾斜バー
７ 基板

Claims (10)

1. 搬送器具移動通路を有する、本体と、
   外フレーム及び内環状フレームを含み、前記外フレームには複数のローラーが間隔で設けられており、前記内環状フレームは前記ローラーの間に回転可能に設置され、前記内環状フレームは環形状体及び前記環形状体に固定された少なくとも１つのガイド受部材を含み、前記環形状体は基板クランプエリアを有する、搬送器具と、
   前記搬送器具移動通路に設置され、且つ前記内環状フレームの一方の側の面に形成された、ガイド部材と、を含み、
   前記搬送器具が前記搬送器具移動通路に沿って平行移動する過程中、前記ガイド受部材が前記ガイド部材に接触してガイドされることにより、前記内環状フレームに前記外フレームに対する指向性回転を生じさせる、搬送器具指向システムを有するウェットプロセス装置。
2. 前記ガイド部材は傾斜バーを含み、前記傾斜バーの両端にそれぞれ導入部と導出部を有する、請求項１に記載の搬送器具指向システムを有するウェットプロセス装置。
3. 前記導入部にはストッパが下向きに延在しており、前記導出部には下向き傾斜バーが下向きに延在している、請求項２に記載の搬送器具指向システムを有するウェットプロセス装置。
4. ２つのガイド受部材を有し、前記内環状フレームは円形内環状フレームであり、各前記ガイド受部材の結ぶ線は前記円形内環状フレームの円心を通る、請求項１に記載の搬送器具指向システムを有するウェットプロセス装置。
5. 前記外フレームは、２本の横方向バーと、各前記横方向バーに接続された２本の縦方向バーを含み、３つの従動ローラーと２つの駆動ローラーを有し、各前記従動ローラーはそれぞれ１つの前記横方向バー及び各前記縦方向バーに設置され、各前記駆動ローラーはもう１つの前記横方向バーに間隔で設置される、請求項１に記載の搬送器具指向システムを有するウェットプロセス装置。
6. 前記搬送器具はハンガーをさらに含み、前記ハンガーは前記外フレームに接続される、請求項１に記載の搬送器具指向システムを有するウェットプロセス装置。
7. 前記搬送器具は複数の保護輪をさらに含み、各前記保護輪は前記外フレームに固定され、各前記保護輪によって前記内環状フレームが前記外フレームと各前記保護輪の間に拘束される、請求項１に記載の搬送器具指向システムを有するウェットプロセス装置。
8. 前記搬送器具は伝動機構をさらに含み、前記伝動機構は前記外フレームと前記内環状フレームの間に設置される、請求項１に記載の搬送器具指向システムを有するウェットプロセス装置。
9. 前記伝動機構はインペラと歯車群を含み、前記歯車群は第１はすば歯車と第２はすば歯車を含み、前記第１はすば歯車はインペラと接続され、前記第２はすば歯車は一部の各前記ローラーと接続され、且つ前記第１はすば歯車と互いに噛み合い伝動する、請求項８に記載の搬送器具指向システムを有するウェットプロセス装置。
10. 前記本体には噴射装置が配置されており、前記噴射装置は間隔で配列された複数のノズルを含む、請求項１に記載の搬送器具指向システムを有するウェットプロセス装置。

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