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JP3234702B2 - 感光層積層装置 - Google Patents

感光層積層装置

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Publication number
JP3234702B2
JP3234702B2 JP00176794A JP176794A JP3234702B2 JP 3234702 B2 JP3234702 B2 JP 3234702B2 JP 00176794 A JP00176794 A JP 00176794A JP 176794 A JP176794 A JP 176794A JP 3234702 B2 JP3234702 B2 JP 3234702B2
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JP
Japan
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photosensitive layer
film
protective film
adhesive tape
roll
Prior art date
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JP00176794A
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JPH07209878A (ja
Inventor
弘 長手
賢一 宮田
昌彦 津田
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Fujifilm Holdings Corp
Original Assignee
Fuji Photo Film Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Fuji Photo Film Co Ltd filed Critical Fuji Photo Film Co Ltd
Priority to JP00176794A priority Critical patent/JP3234702B2/ja
Priority to US08/372,026 priority patent/US5441846A/en
Publication of JPH07209878A publication Critical patent/JPH07209878A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP3234702B2 publication Critical patent/JP3234702B2/ja
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    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
    • B29C—SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
    • B29C63/00—Lining or sheathing, i.e. applying preformed layers or sheathings of plastics; Apparatus therefor
    • B29C63/0004—Component parts, details or accessories; Auxiliary operations
    • B29C63/0013—Removing old coatings
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B32—LAYERED PRODUCTS
    • B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
    • B32B38/00—Ancillary operations in connection with laminating processes
    • B32B38/18—Handling of layers or the laminate
    • G—PHYSICS
    • G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/16—Coating processes; Apparatus therefor
    • G03F7/161—Coating processes; Apparatus therefor using a previously coated surface, e.g. by stamping or by transfer lamination
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B32—LAYERED PRODUCTS
    • B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
    • B32B2457/00—Electrical equipment
    • B32B2457/08—PCBs, i.e. printed circuit boards
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T156/00—Adhesive bonding and miscellaneous chemical manufacture
    • Y10T156/12—Surface bonding means and/or assembly means with cutting, punching, piercing, severing or tearing
    • Y10T156/1317—Means feeding plural workpieces to be joined
    • Y10T156/1322—Severing before bonding or assembling of parts

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  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Photosensitive Polymer And Photoresist Processing (AREA)
  • Laminated Bodies (AREA)
  • Adhesive Tapes (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、感光層付きフィルムと
基板を熱圧着して、感光層を基板上に積層する装置に関
する。
【０００２】
【従来の技術】従来のこの種の感光層積層装置は、特願
平５−２０５３９４号公報の実施例２に記載しているよ
うに、粘着テープを掛けた押し付けローラーが、バキュ
ームプレートに保持した保護フィルムの付いた感光層付
きフィルムの先端まで粘着テープを粘着テープロールか
ら巻き出しながら前進し、粘着テープを保護フィルムに
密着させる。
【０００３】次に、押し付けローラーが元の位置に戻り
ながら、保護フィルムの回収ロールが粘着テープを巻き
上げ、感光層付きフィルムの先端から保護フィルムを剥
離する。感光層付きフィルムの先端が基板に仮付けされ
た後、基板と感光層付きフィルムが熱圧着ローラーで挟
持前進する速度に合わせて保護フィルムの回収ロールが
回転し保護フィルムを回収していく。
【０００４】一方、感光層積層領域の後端になる感光層
付きフィルム上の位置に、フィルムの流れ方向に対し直
角に向けたカッター刃を、一定刃圧で保護フィルムを押
さえてカット方向に移動し保護フィルムと感光層を切断
する。カッター刃で切断した位置までの保護フィルム
は、粘着テープと共に回収ロールに巻き取られる。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述の
感光層積層装置では、第１に、押し出しローラーが粘着
テープを粘着テープロールから巻き出しながら前進する
ので、元の位置に戻る時に巻き出された長さ分の粘着テ
ープを回収ロールが巻き上げる必要がある。この為、粘
着テープは、巻き出された長さ分だけ感光層付きフィル
ムより余分に巻き出され、保護フィルムを粘着させるこ
となく回収される。その分粘着テープの無駄が多くなる
という問題があった。
【０００６】第２に、保護フィルムと感光層の切断に一
定刃圧で押さえるカッター刃を使用していると、刃の先
端の磨耗が早く切れ味が変化し、保護フィルムや感光層
が切断出来なかったり、切り屑が発生して感光層や基板
表面に付着し欠陥となるという問題点があった。
【０００７】第３に、粘着テープを巻き取りながら保護
フィルムを剥離する押し出しローラーでは、支持体フィ
ルムごとバキュームプレートから引き離してしまい、保
護フィルムを剥離出来ないという問題があった。
【０００８】本発明は、これらの問題点を解決し、粘着
テープの使用量を節約し、保護フィルムと感光層を安定
的で且つクリーンに切断し、感光層付きフィルムから保
護フィルムを安定的に剥離する感光層積層装置を提供す
ることを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】本発明は、このような目
的を達成するために、第１に保護フィルム剥離機構が、
巻き取り駆動出来る粘着テープロールと、粘着テープを
保護フィルム先端に押し付けて後退する押し付けバー
と、粘着テープのパス長さを調節できるダンサーローラ
ーと、感光層付きフィルムのロールと表面摩擦駆動で巻
き上げる保護フィルム回収ロールを具備することにより
達成した。
【００１０】第２に、保護フィルムと感光層を切断する
機構が、回転フリーな丸刃カッターを保護フィルム上か
ら押しつけてカット方向に移動することにより達成し
た。第３に、粘着テープを保護フィルムの先端に押し付
けて後退する押し付けバーの先端が、鋭角になっている
ことにより達成した。
【００１１】
【作用】第１に本発明の保護フィルム剥離機構の作用と
しては、感光層付きフィルムのロールの表面摩擦駆動で
回収ロールが粘着テープを巻き上げることにより、感光
層付きフィルムを巻き出した分と同量の粘着テープを自
動的に回収する。その為、押し出しバーが保護フィルム
先端まで粘着テープを押し出す時に、ダンサーローラー
で確保されていた先の基板の貼付け時に行き過ぎた粘着
テープ分が、ダンサーローラーが引っ込むことにより逆
搬送され粘着テープの無駄をなくすことが可能である。
【００１２】第２に、保護フィルムと感光層の切断機構
では、丸刃カッターが保護フィルムを押し付けながら転
がる様に回転し移動するので、フィルムには刃で押さえ
る力だけが働き、比較的柔軟な保護フィルムと感光層は
押さえる力だけで切断されるが、硬くて厚い支持体フィ
ルムは切断されない。それにより、保護フィルムと感光
層のみを切断することが可能である。その上、転がる様
に回転して切断するため、保護フィルムと感光層との摩
擦が少なく、刃の磨耗や切り屑発塵も少なくなる。
【００１３】第３に、粘着テープを保護フィルムの先端
に押し付けて密着し、先端が鋭角になっている押し出し
バーに沿って粘着テープを引っ張ると、保護フィルムの
剥離が始まるまでは支持体自体に引っ張る力がかかる
が、支持体は剛性力とバキューム保持力のため押し出し
バー先端の鋭角に沿うことができず、密着力の低い保護
フィルムのみを剥離することが可能である。
【００１４】
【実施例】本発明の一実施例について説明する。図１
は、本発明を用いた装置の概略を示す斜視図である。感
光層付きフィルムのロール１３より巻き出された保護フ
ィルム付きの感光層付きフィルム１は、パスローラーを
経てフィルム固定板１０と丸刃カッター１１の間を通
る。丸刃カッター１１は、回転フリーなベアリング等で
中心を保持されており、保護フィルム２２の上からスプ
リング等の適当な力で押し当て、保護フィルム付きの感
光層付きフィルム１を横断するように移動する。これに
より、丸刃カッター１１が保護フィルム２２を押し付け
ながら転がる様に回転し移動するので、保護フィルム付
きの感光層付きフィルム１には刃で押さえる力だけが働
き、比較的柔軟な保護フィルム２２や感光層は押す力だ
けで切断されるが、硬くて厚い支持体フィルムは切断さ
れない。それにより、保護フィルムと感光層のみを切断
することが可能である。
【００１５】フィルム固定板１０は、バキューム穴がつ
いた平板で、丸刃カッター１１が動作する時に保護フィ
ルム付きの感光層付きフィルム１を支持体フィルム側か
ら真空吸着で板に固定するものである。フィルム固定板
１０には、丸刃カッター１１の走行位置に合わせて溝が
切ってあり、丸刃カッター１１が直接フィルム固定板面
に接触して刃が欠けたり磨耗したりしないようになって
いる。また、感光層付きフィルム１の幅に合わせて、そ
の両端より外側だけ丸刃カッター１１の刃が逃げるよう
な溝をつくり、感光層付きフィルム１の裏側は溝のない
平板にすれば、刃の押し圧が有効に保護フィルム２２と
感光層にかかり切れ味もよくなる。
【００１６】次に感光層付きフィルム１は、バキューム
プレート２４と保護フィルム剥離ユニットの間を通る。
保護フィルム剥離ユニットは、保護フィルム回収ロール
１４ａ、粘着テープロール１４ｂ、押し付けバー１４
ｃ、押し出しシリンダー１４ｄ、トルクモーター１４
ｅ、ダンサーローラー１４ｆからなる。
【００１７】粘着テープロール１４ｂから巻き出された
粘着テープ１２が、押し付けバー１４ｃに粘着層を外側
に向け巻き、パスローラーとダンサーローラー１４ｆを
経て保護フィルム回収ロール１４ａで巻き取る構造にな
っている。
【００１８】粘着テープ１２は、２本の幅２０mm程度の
テープを感光層付きフィルムの両端より１０mm程度内側
に位置するようにセットする。また、粘着テープは、２
本でなくとも感光層付きフィルムの中央部にもう１本追
加して３本でもよいし、それ以上でもよい。また、幅の
広い粘着テープ１本を中央部に使用してもよい。
【００１９】また、粘着テープ１２の材質としては、支
持体フィルムにポリエチレン、ポリプロピレン、セロハ
ン等で０．０３mm〜０．１mm厚さ、粘着材にゴム系、ア
クリル系等の合成樹脂で、比較的初期粘着力に優れロー
ルからの展開力が低いものがよい。
【００２０】図２は、保護フィルム剥離ユニットの粘着
テープロール１４ｂと押し付けバー１４ｃの詳細を示す
断面である。粘着テープロール１４ｂには、逆巻き駆動
のトルクモーター１４ｅを使用しており、粘着テープ１
２に一定のバックテンションを持たせている。これによ
り、粘着テープ１２や感光層付きフィルム１の伸縮等で
粘着テープ１２に弛みが発生しても、粘着テープロール
１４ｂで巻き取り弛みを解消することが可能である。
【００２１】押し付けバー１４ｃは、押し出しエアシリ
ンダー１４ｄで保護フィルム２２に適度な圧力で粘着テ
ープを貼り付けながら前進し、保護フィルム先端まで粘
着テープを貼り付ける。押し出しエアーシリンダー１４
ｄは、軸により上下に傾くようになっており、バキーム
プレート２４に押し付けバーが沿うようにして押し出す
ことができる。また、バキュームプレート２４への押し
付け力を制御するために、上下駆動のエアーシリンダー
又はスプリングを使用してもよい。
【００２２】押し付けバー１４ｃの先端は、粘着テープ
１２が鋭角に折り返すように尖っているが、粘着テープ
１２の走行適正上アールを付けてある。このアールが大
きくなると保護フィルム剥離時に支持体フィルムまで剥
ぎ取ってしまう、また小さすぎると粘着テープ１２の走
行抵抗が大きくなり切れてしまう。最適アールとして
は、Ｒ０．５〜２．０mmが好ましい。また、押し付けバ
ー１４ｃの先端は、粘着テープの走行をよくするため
に、表面にテフロン処理を施してもよい、またＲ０．５
〜２．０mmのローラーを取り付けてよい。
【００２３】図１に戻り、ダンサーローラー１４ｆは、
図中の矢印の方向に可動するようになっている。定常位
置はダンサーローラー１４ｆの自重により粘着テープ１
２を張った状態で、押し付けバー１４ｃが押し出すと粘
着テープ１２の張力によって上方に押し上げられる。ま
た、ダンサーローラー１４ｆの動きは、その自重による
ものでなくとも押し出しバー１４ｃが粘着テープ１２を
押し出す速度と量に同期してエアーシリンダー又はサー
ボーモーターの様なもので駆動してもよい。
【００２４】保護フィルムの回収ロール１４ａは、感光
層付きフィルムのロール１３上に自重でセットされてお
り、感光層付きフィルムのロール１３の巻き出し回転に
伴い表面摩擦駆動により回収ロール１４ａが回転し粘着
テープ１２と保護フィルム２２を回収する。また、粘着
テープ１２と保護フィルム２２を一緒に回収せずに、保
護フィルムを粘着テープより引き離して別々に回収して
もよい。また、保護フィルムを引き離して回収する場合
は、粘着テープを何回も使用する事ができ、粘着テープ
を巻き取らずに閉ループにセットして循環使用するよう
にしても構わない。
【００２５】バキュームプレート２４は、感光層付きフ
ィルム１を真空吸着し、エアーシリンダーで上下に移動
可能でとなっている。先端には仮付けヒーター２５が付
いている。
【００２６】次に感光層付きフィルム１は、固定刃１８
とロータリー刃１７の間を走行する。ロータリーカッタ
ーは、ロータリー刃１７をねじって取り付けた軸が回転
することによりロータリー刃１７と固定刃１８が噛み合
い、その間に位置する感光層付きフィルム１を切断す
る。固定刃１８は、前後に移動可能で、バキュームプレ
ート２４が下降するときは、後ろ側に移動して干渉しな
い様になっている。
【００２７】一方、シート基板２は、搬送ローラー３を
主とした搬送機構によって右から左へ流れるようになっ
ている。
【００２８】熱圧着ローラー７は、上下に２個ありエア
ーシリンダー２８が動作することによりてこの原理で開
閉する。熱圧着時の圧力は、エアーシリンダー２８のエ
アー圧力を調整する。また、熱圧着ローラー７機構は前
後に移動可能で、シート基板２を熱圧着ローラー７で熱
圧着する時は前の熱圧着動作位置３０に移動してシート
基板２を挟み、それ以外は後ろ熱圧着ローラー退避位置
３１に位置する。
【００２９】図３に沿って装置の動作について説明す
る。図３は、本発明の装置動作の一実施例を示す説明図
である。先ず準備として、上部の感光層付きフィルムの
ロール１３から巻き出した保護フィルム付きの感光層付
きフィルム１をバキュームプレート２４に吸着保持す
る。ロータリーカッター１７及び１８で、保護フィルム
付きの感光層付きフィルム１の供給方向の先端側を切り
揃える。
【００３０】次に図３（１）に示すように、押し出しバ
ー１４ｃが粘着テープ１２を押し出すと同時にダンサー
ローラー１４ｆが上方に移動して粘着テープ１２はダン
サーローラー１４ｆのパスから押し出しバー１４ｃ方向
へ搬送される。押し出しバー１４ｃ先端は、保護フィル
ム２２に粘着テープ１２を押して貼り付けながら、支持
体フィルムをバキュームプレート先端まで押さえ付けて
真空吸着保持させる。
【００３１】次に図３（２）に示すように、押し付けバ
ー１４ｃはゆっくりと後退し、同時にダンサーローラー
１４ｆが自重で元の位置に戻るのに伴い、粘着テープ１
２は押し出しバー１４ｃからダンサーローラー１４ｆ方
向に搬送される。粘着テープ１２の搬送により、密着し
た保護フィルム２２は、感光層付きフィルム１から剥離
される。
【００３２】次に、搬送ローラー３により、シート基板
２の感光層積層領域の先端位置が熱圧着動作位置３０に
接近してくる検出信号に基づいて、シート基板２を熱圧
着動作位置３０に停止させる。
【００３３】次に図３（３）に示すように、固定刃１８
を左の後退位置に移動し、バキュームプレート２４が下
降して、先端部に吸着保持した感光層付きフィルム１の
先端を、シート基板２の感光層積層領域の前端位置に適
度な圧力がかかるように一定時間押し当てて仮付けす
る。
【００３４】粘着テープ１２に密着した保護フィルム２
２は、バキュームプレート２４の下降にともなう感光層
付きフィルムロール１３の巻き出し回転により、表面摩
擦駆動した回収ロール１４ａに巻き取られていく。
【００３５】一方、仮付け動作中に、搬送停止した感光
層付きフィルム１をフィルム固定板１０に吸着固定し、
感光層積層領域の後端位置を丸刃カッター１１で保護フ
ィルム２２と感光層を切断する。
【００３６】次に、バキュームプレート２４は、感光層
付きフィルム１の吸着保持を解除して上昇し、熱圧着ロ
ーラー７は、熱圧着動作位置３０に前進し仮付けしたシ
ート基板２の感光層積層領域の先端位置に適度な押圧力
で当接する。シート基板２は熱圧着ローラー７の回転力
と搬送ローラー３の回転再開によりを搬送され、感光層
付きフィルム１は熱圧着ローラー７の回転により自動的
に感光層付きフィルムのロール１３から巻き出される。
熱圧着ローラー７は、シート基板２の感光層積層領域の
先端位置から後端位置に向かって、所定の長さだけ感光
層付きフィルム１を熱圧着する。
【００３７】巻き出される感光層付きフィルムのロール
１３の回転によって、保護フィルム２２の剥離も自動的
に進行し回収ロール１４ａに回収される。保護フィルム
２２は、感光層積層領域の後端位置まで剥離されると、
保護フィルム２２の切断線により剥離回収は完了する。
感光層積層領域の後端位置以降の感光層付きフィルム１
は、保護フィルム２２の付いた状態で搬送されていく。
【００３８】図３（４）に示すように、シート基板２の
感光層積層領域の後端位置が熱圧着動作位置３０までき
たとき、ロータリーカッターが作動して感光層付きフィ
ルム１を切り離す。これにより、シート基板２の感光層
積層領域に感光層が積層され、感光層積層領域の後端以
降は、保護フィルムの付いた感光層付きフィルムが基板
後端よりはみ出して熱圧着される。
【００３９】次に、熱圧着ローラー７は開き、熱圧着ロ
ーラー後退位置３１に戻ると共に、熱圧着さたシート基
板２は搬送機構によって次工程に搬送される。以上で、
１枚目のシート基板２への感光層付きフィルム１の積層
は終了し、再び図３（１）の状態に戻り、次のシート基
板が搬送されてくるまで待機となる。
【００４０】図４（１）は、本発明装置により感光層付
きフィルムを積層したシート基板の断面図である。感光
層付きフィルム１の先端が、シート基板２の感光層積層
領域の先端位置３２に位置している。また、保護フィル
ム２２及び感光層２１を切断した位置は、シート基板２
の感光層積層領域の後端位置３３に位置している。シー
ト基板２の感光層積層領域の先端位置３２から後端位置
３３までの領域は、感光層２１がシート基板２に積層密
着している。
【００４１】また、保護フィルム付きの感光層付きフィ
ルム１の切断後端は、シート基板２の後端より外側に位
置している。即ち、少なくとも感光層積層領域の後端位
置３３からシート基板２の後端の領域は、保護フィルム
２２が付いているためシート基板２とは密着していな
い。
【００４２】図４（２）は、本発明装置によりシート基
板に積層した感光層付きフィルムの支持体フィルムを感
光層から剥離する説明図である。はみ出した保護フィル
ム２２のついた感光層付きフィルム１を持って、感光層
積層領域方向へ引っ張ることにより、シート基板２の後
端から感光層積層領域の後端位置３３の領域は、保護フ
ィルム２２がシート基板２と密着していないので、容易
にその界面で剥離される。感光層２１が切断されている
感光層積層領域の後端位置３３からは、シート基板２と
感光層２１の密着力より、支持体２０と感光層２１の密
着力の方が小さいので、感光層２１と支持体２０の界面
で容易に剥離される。
【００４３】図５は、本発明の実施例で使用される感光
層付きフィルム１の一例の断面図である。支持体フィル
ム２０の上に感光層２１が設けられ、さらに感光層２１
の上に感光層２１を保護するための保護フィルム２２で
構成されている。支持体フィルム２０としては、一般に
ポリエステル、ポリプロピレンその他のポリマーから作
られたフィルム（一般に１０〜２００μｍの厚さを有す
る）が使用できる。感光層２１は、光重合性レジストで
形成されたものであり、一般に１〜３μｍの層厚を有す
るものである。この光重合性レジストとしては特に限定
されず、どのような材料であってもよい。また、熱圧着
性を向上させるために、支持体フィルム２０と感光層２
１の間に中間層をいれる場合がある。この中間層として
は、例えば、アクリル樹脂などの層であり、一般に１０
〜５０μｍの層厚を有する。
【００４４】
【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
によれば、粘着テープの使用量を最小限に節約し、保護
フィルム・感光層を安定的に且つクリーンに切断し、感
光層付きフィルム先端から保護フィルムのみを安定的に
剥離することにより、欠陥の少ない感光層積層基板を低
コストで生産することが出来るという効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図１】図１は、本発明を用いた装置の概略を示す斜視
図である。
【図２】図２は、保護フィルム剥離ユニットの詳細を示
す断面図である。
【図３】図３は、装置の動作を示す説明図である。
【図４】図４は、本発明装置により感光層付きフィルム
を積層したシート基板の断面図である。
【図５】図５は、本発明の実施例で使用される感光層付
きフィルムの一例の断面図である。
【符号の説明】
１ 感光層付きフィルム ２ シート基板 ３ 搬送ローラー ７ 熱圧着ローラー １０ フィルム固定板 １１ 丸刃カッター １２ 粘着テープ １３ 感光層付きフィルムのロール １４ａ 保護フィルム回収ロール １４ｂ 粘着テープロール １４ｃ 押し付けバー １４ｄ 押し出しシリンダー １４ｅ トルクモーター １４ｆ ダンサーローラー １７ ロータリー刃 １８ 固定刃 ２０ 支持体フィルム ２１ 感光層 ２２ 保護フィルム ２４ バキュームプレート ２５ 仮付けヒーター ２８ エアーシリンダー ３０ 熱圧着動作位置 ３２ シート基板の感光層積層領域の先端位置 ３３ シート基板の感光層積層領域の後端位置
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭60−184844（ＪＰ，Ａ) 特開 昭60−184843（ＪＰ，Ａ) 特開 平３−189150（ＪＰ，Ａ) 特開 平６−218815（ＪＰ，Ａ) 特開 昭56−129389（ＪＰ，Ａ) 特開 平１−147547（ＪＰ，Ａ) 特開 平４−223164（ＪＰ，Ａ) 特開 昭51−79341（ＪＰ，Ａ) 特開 昭62−295847（ＪＰ，Ａ) 特開 平３−216458（ＪＰ，Ａ) 実開 昭60−159617（ＪＰ，Ｕ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G03F 7/38 G03F 7/16 G03F 7/004 G03F 7/26 B32B 35/00

Claims (3)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 感光層上に保護フィルムの付いた感光層
    付きフィルムの先端から保護フィルムを粘着テープによ
    り剥離する機構と、感光層付きフィルムと基板を挟持圧
    着しながら前進させる一対の対向する熱圧着ローラー
    と、保護フィルムと感光層付きフィルム上の感光層を切
    断する機構を備えた感光層積層装置において、保護フィ
    ルムを剥離する機構が、巻き取り駆動出来る粘着テープ
    ロールと、粘着テープを保護フィルムの先端に押し付け
    て後退する押し付けバーと、粘着テープのパス長さを調
    節するダンサーローラーと、感光層付きフィルムの送り
    出しロールによる表面摩擦駆動で保護フィルムを巻き上
    げる保護フィルム回収ロールを具備することを特徴とす
    る感光層積層装置。
  2. 【請求項２】 請求項１において、保護フィルムと感光
    層付きフィルム上の感光層を切断する機構が、回転フリ
    ーな丸刃カッターを保護フィルム上から押し当ててカッ
    ト方向に移動することを特徴とする感光層積層装置。
  3. 【請求項３】 請求項１において、粘着テープを保護フ
    ィルムの先端に押し付けて後退する押し付けバーの先端
    が、鋭角になっていることを特徴とする感光層積層装
    置。
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