JP3316093B2 - 感光性積層材料およびその製造方法 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、基板の上に感光層が積
層されてなる感光性積層材料およびその製造方法に関す
る。

【０００２】

【従来の技術】ガラス基板や硬質樹脂基板などの基板の
上に感光性樹脂層などの感光層を積層した感光性積層材
料は、プリント配線基板やカラーフィルタの製造に用い
る感光材料として利用されている。このような感光性積
層材料の製造方法として、長尺状の可撓性のプラスチッ
クシート（支持体）の上に感光材料層と感光材料層保護
用のプラスチックフィルムとを積層した長尺状積層シー
トを用意し、この長尺状積層シートの感光材料層表面
に、その長さ方向に沿って、矩形の基板を順次接合した
のち、各基板の間で長尺状積層シートを切断して、プラ
スチックシートと感光層が積層された各基板を切り離す
方法が提案されている。このようにして製造される感光
性積層材料の使用に際しては、まず最上層のプラスチッ
クシートを剥ぎ取り、次ぎに感光層をパターン露光させ
たのち、感光層を現像し、基板上に硬化樹脂パターンを
形成させる方法が利用される。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】一般の感光性積層材料
において、感光層（感光材料層）は柔らかで自己支持性
を持たない感光性樹脂などで形成されていることが多
い。このため、上記の方法による使用の場合、最上層の
プラスチックシート（長尺状積層シートの状態では支持
体の役目を果し、感光性積層材料中では保護カバーの役
目を果すもの）を感光層を損ずることなく剥ぎ取る操作
に熟練を要するとの問題がある。

【０００４】

【課題を解決するための手段】本発明は、矩形の基板、
感光材料層、そして可撓性プラスチックシートがこの順
に積層された感光性積層材料であって、感光材料層と可
撓性プラスチックシートの一部が、基板の両側の端部よ
り突き出され、かつ感光材料層が、その基板端部の内側
の位置にて切断、分離されており、そしてその切断位置
の外側の感光材料層の下面と基板端部表面との間に、プ
ラスチックフィルムが配設されていることを特徴とする
感光性積層材料（以下、感光性積層材料Ａという）にあ
る。上記の感光積層材料Ａは、可撓性プラスチックシー
ト、感光材料層、そしてプラスチックフィルムがこの順
に積層されてなる長尺状積層シートを走行させながら、
その感光材料層とプラスチックフィルムとの積層体部分
を、基板接合予定領域の両側端部上の位置にて、長さ方
向に連続的に切断したのち、その基板接合予定領域のプ
ラスチックフィルムを連続的に除去し、次いで、プラス
チックフィルムを除去した領域の感光材料層の表面を、
別に用意した矩形の基板を接合し、次に該積層シートを
基板の末端部にて幅方向に切断することからなる方法に
より容易に製造することができる。

【０００５】本発明はまた、矩形の基板、感光材料層、
そして可撓性プラスチックシートがこの順に積層された
感光性積層材料であって、感光材料層と可撓性プラスチ
ックシートの一部が、基板の一方の側の端部より突き出
され、かつ感光材料層が、その基板端部の内側の位置に
て切断、分離されており、そしてその切断位置の外側の
感光材料層の下面と基板端部表面との間に、プラスチッ
クフィルムが配設されていることを特徴とする感光性積
層材料（以下、感光性積層材料Ｂという）にもある。上
記の感光性積層材料Ｂは、可撓性プラスチックシート、
感光材料層、そしてプラスチックフィルムがこの順に積
層されてなる長尺状積層シートを走行させながら、その
感光材料層とプラスチックフィルムとの積層体部分を、
基板接合予定領域の一方の側の端部上の位置にて、長さ
方向に連続的に切断したのち、その基板接合予定領域の
プラスチックフィルムを連続的に除去し、次いで、プラ
スチックフィルムを除去した領域の感光材料層の表面
を、別に用意した矩形の基板を接合し、次に該積層シー
トを基板の末端部にて幅方向に切断することからなる方
法を利用して容易に製造することができる。

【０００６】感光性積層材料Ａの基本構成を図１に示
す。感光性積層材料Ａは、矩形（長方形と正方形を含
む）の基板１１、感光材料層１２、そして可撓性プラス
チックシート１３がこの順に積層された基本構成からな
り、感光材料層１２と可撓性プラスチックシート１３の
それぞれの一部（１２ａ、１２ｂ、１３ａ、１３ｂ）
が、基板の両側の端部より突き出され、かつ感光材料層
１２が、その基板端部の内側の位置１４ａ、１４ｂにて
切断、分離されており、そしてその切断位置の外側部分
の感光材料層の下面と基板端部表面との間に、プラスチ
ックフィルム１５ａ、１５ｂが配設されていることを特
徴としている。

【０００７】感光性積層材料Ｂの基本構成を図２に示
す。感光性積層材料Ｂは、矩形（同様に、長方形と正方
形を含む）の基板２１、感光材料層２２、そして可撓性
プラスチックシート２３がこの順に積層された基本構成
からなり、感光材料層２２と可撓性プラスチックシート
２３のそれぞれの一部（２２ａ、２３ａ）が、基板の一
方の側の端部より突き出され、かつ感光材料層２２が、
その基板端部の内側の位置２４ａにて切断、分離されて
おり、そしてその切断位置の外側の感光材料層の下面と
基板端部表面との間に、プラスチックフィルム２５ａが
配設されていることを特徴としている。

【０００８】次に、感光性積層材料Ａの製造方法の例
を、図面を参照しながら説明する。図３は、感光性積層
材料Ａの製造のために利用できる装置（感光層積層装
置）の一例の概要図である。感光層積層装置は、シート
基板裏返し部、シート基板加熱部、保護フィルム・感光
層切断部、保護フィルム除去部、感光層熱圧着部、帯状
支持体切断部、シート基板表返し部から構成されてい
る。

【０００９】シート基板裏返し部では、図３で左から右
方向へ搬送ローラ３３で送られて来たシート基板３２
を、裏返しアーム３５で下側より保持し、持ち上げ、ア
ームを回転し裏返して搬送ローラ３３に載せることによ
り、シート基板３２の熱圧着面を下に向ける。裏返しア
ーム３５の基板保持は、真空吸着、メカハンド等を利用
して行なうが、必ずシート基板の裏側または端面を保持
し表面は非接触とする。搬送ローラ３３の代りに、コロ
搬送、ベルト搬送、キャリア搬送、ロボット搬送等を利
用してもよい。シート基板３２の裏返しまでは裏面接触
搬送でよいが、裏返し後は下側の表面に搬送ローラ３３
が接触しないように、シート基板３２のエッジ接触で搬
送する。

【００１０】シート基板加熱部では、ヒータ３４でシー
ト基板３２を約５０〜１１０℃の温度に加熱する。ヒー
タ３４としては、遠赤外線ヒータ、ニクロム線ヒータ、
熱風ヒータ等を利用できる。ヒータ３４はシート基板３
２の上方又は下方或いは両方の何れに設けられていても
よい。シート基板３２の例としては、プリント基板用の
銅張ガラスエポキシ樹脂基板やガラス基板等を挙げるこ
とができる。

【００１１】また、別に設けたロール４３から、保護フ
ィルムを付けた状態の感光層（感光材料層）付き帯状支
持体（長尺状積層シート）３１を巻き出し、これを走行
させながら、保護フィルム・感光層切断部において、積
層領域（基板に接合させる領域）と非積層領域（基板に
接合させない領域）の境界にて、保護フィルムと感光層
とを一緒を切断し（支持体は切断しない）、次いで保護
フィルム除去部で積層領域（基板に接合させる予定の領
域）の保護フィルムを除去する。

【００１２】保護フィルム・感材層切断部は、感光層付
き帯状支持体３１を固定保持しながら感光層付き帯状支
持体搬送方向へ移動可能な固定台３９と、その感光層付
き帯状支持体３１の搬送方向とは直角の方向（即ち保護
フィルム切断方向）に移動することができ、カッター刃
４１が固定されたスライド台４０とからなる。

【００１３】感光層付き帯状支持体を固定する固定台３
９は、保護フィルムと感光層の切断時には感光層付き帯
状支持体を固定保持しながら感光層付き帯状支持体３１
の走行速度と同じ速度で移動し、保護フィルム・感光層
切断が終了すると、感光層付き帯状支持体３１を放し、
その後スタート位置に戻る。

【００１４】スライド台４０には、感光層付き帯状支持
体３１の移動方向に対して直角に向けたカッター刃４１
を、保護フィルムを残す領域の幅に合わせて二枚配置
し、例えばシリンダーやバネ等を利用して、調整可能な
一定の刃圧で感光層付き帯状支持体３１の上の保護フィ
ルム表面に接触する様に固定する。

【００１５】保護フィルム・感光層の切断は次のように
行なわれる。まず、固定台３９が感光層付き帯状支持体
３１を保持し、該帯状支持体３１の走行速度と同じ速度
で移動しながら、スライド台４０のカッター刃４１が固
定台３９上の帯状支持体３１の保護フィルム表面に押し
当てられ、切断方向に移動する。カッター刃４１は感光
層付き帯状支持体３１上の保護フィルムと感光層とをの
み切断するように作用する。そして、スライド台４０は
カッター刃４１が感光層付き帯状支持体３１の少なくと
も端まで移動したら、カッター刃４１は後退する。

【００１６】上記の保護フィルム・感光層切断工程にお
いて、固定台３９が感光層付き帯状支持体３１の移動に
同期して移動しているため、保護フィルムと感光層との
切断は、感光層付き帯状支持体が走行して移動状態にあ
っても、感光層付き帯状支持体３１の幅方向に直角に行
なわれる。

【００１７】保護フィルム・感光層の切断時には、バキ
ュームで発塵ゴミを吸い取ったり、ダウンフローのクリ
ーンエアで発塵ゴミを汚染の問題のない下流に押し流す
等のクリーン対策を施すことが好ましい。また、カッタ
ー刃４１の切れ味を良くし、感光層の切り屑の発生を少
なくするために、カッター刃４１及び固定台３９、及び
／又は感光層付き帯状支持体３１を５０〜１００℃程度
に加熱してもよい。

【００１８】次に、保護フィルム除去部は、感光層付き
帯状支持体の搬送系において、保護フィルム・感光層切
断部の後に位置し、粘着テープの巻き出しローラ４４ｂ
と回収ローラ４４ａ、及び保護フィルムへの押し付けロ
ーラ４４ｃからなる保護フィルム除去ユニットが、感光
層付き帯状支持体の平面に対して略垂直方向に移動する
機構となっている。

【００１９】保護フィルム除去部に、感光層付き帯状支
持体３１の保護フィルムの先頭部の切断線（基板への積
層領域の先端部）が搬送されてくると、保護フィルム除
去ユニットの粘着テープ押し付けローラ４４ｃが保護フ
ィルムに押し付けられ、保護フィルムと粘着テープが密
着する。粘着テープの巻き出しローラ４４ｂ、回収ロー
ラ４４ａ、押し付けローラ４４ｃが、感光層付き帯状支
持体３１と同じ速度で回転し、保護フィルムを感光層か
ら剥ぎ取りながら、回収ローラ４４ａに巻き込むように
除去していく。そして、次の非積層領域との境界である
切断部手前まで来ると、保護フィルム除去ユニットは感
光層付き帯状支持体３１の表面より離れる。従って、積
層領域（接合予定領域）の保護フィルムのみが除去さ
れ、非積層領域の保護フィルムは粘着ロールに巻き取ら
れることなく、感光層上に残る。

【００２０】帯状支持体３１の感光層から保護フィルム
を除去する方法としては、他に、静電式、真空式、溶着
式等などが利用でき、その除去機構としては、ローラの
他にバー、ピックアップ、エア等を吹き付ける非接触式
等が利用できる。保護フィルムを真空を利用して除去す
る方法としては、高真空室と低真空室とを有する真空ド
ラムを利用する方法を挙げることができる。すなわち、
走行下にある保護フィルムの除去すべき部位（即ち、積
層領域）のみを、回転する真空ドラムの高真空室に接続
する表面に接触させ、これを引き付けて感光層から引き
剥がす方法である。引き続いて現われる非積層領域の保
護フィルムは、真空ドラムの低真空室に接続する表面に
接触した状態で走行するため、感光層上に保持されたま
ま、基板シートへの積層装置に移動する。

【００２１】次に熱圧着ローラ部では、一対の熱圧着ロ
ーラが、それぞれシート基板の上方に上の熱圧着ローラ
３８及び下方に下の熱圧着ローラ３７が対向する位置に
設けられ、上の熱圧着ローラ３８の両端にはシリンダー
等で下方に圧力がかけられる構造となっている。上下の
熱圧着ローラ３７、３８は協同して、シート基板３２の
上に感光層付き帯状支持体３１の感光層を熱圧着する役
割と、シート基板３２を支持し搬送することの役割を持
つ。上下の熱圧着ローラ３７、３８は、シート基板３２
を挟んでいない時にはシート基板の厚さより小さい隙間
で非接触状態にて対向している。熱圧着ローラ３７、３
８は、ローラ面がシリコーンゴム等の弾性材料で被覆さ
れたステンレス製等のローラであることが好ましく、内
部に設置された誘導発熱体やシーズヒータ等で約１００
〜約１５０℃に加熱される。

【００２２】感光層付き帯状支持体３１は、まず、下の
熱圧着ローラ３７に巻き付けられ、その先端は、熱圧着
ローラ３７、３８の出口側にあるサクション付きベルト
４５に保持される。サクション付きベルト４５は、感光
層付き帯状支持体３１と同じ移動速度で動き、穴のあい
た搬送ベルトの下側に設置された真空室４６の作用で感
光層付き帯状支持体３１の先端付近がを吸引保持されて
いる。シート基板３２が連続して来ない時は、熱圧着ロ
ーラ３７、３８とサクション付きベルト４５とは、感光
層付き帯状支持体３１を保持しながら、その移動速度に
同期して回転している。

【００２３】次にシート基板への感光層の接合（熱圧
着）工程を説明する。予備加熱され、裏返しにされたシ
ート基板３２は左方向から送られて来ると、シート基板
押し出し機構部で一旦停止し待機する。このシート基板
押し出し機構部は、感光層付き帯状支持体３１の保護フ
ィルム除去部分（保護フィルムが存在していない領域）
の端を、反射率または透過率の変化を利用してセンサに
より感知して、シート基板３２の所定の位置に保護フィ
ルム除去部分の先端部が来るように、一定速度で搬送さ
れる感光層付き帯状支持体２１と同期させて、押し出し
機構３６によってシート基板３２をタイミング良く熱圧
着ローラ３７、３８の間に押し出す。シート基板３２が
その隙間に侵入すると同時に、熱圧着ローラ３８により
上方から圧力がかかり、感光層付き帯状支持体３１とシ
ート基板３２とが熱圧着される。そして、シート基板３
２の後端位置まで感光層付き帯状支持体３１が熱圧着さ
れると、上の熱圧着ローラ３８の圧力は解除され、シー
ト基板３２の表面から僅かに離れる。

【００２４】一方、その間に次のシート基板が予備加熱
されたのち裏返しにされ、シート基板押し出し機構部で
待機している。上記の工程が完了し、シート基板押し出
し機構部が感光層付き帯状支持体３１の次の保護フィル
ム除去部分の先端を感知すると、同様にして、シート基
板の所定の位置に保護フィルム除去部分の先端が来るよ
うに、一定速度で走行する感光層付き帯状支持体３１に
同期させ、タイミングよくシート基板を熱圧着ローラ３
７、３８の隙間に押し出す。上記のように、感光層付き
帯状支持体３１の走行を停止することなく連続的に順次
帯状感光層付き帯状支持体３１とシート基板とを熱圧着
していく。

【００２５】サクション付きベルト４５による感光層付
き帯状支持体３１の先端の保持は、シート基板３２が連
続して熱圧着ローラ３７、３８に投入されていない時の
仮の保持であって、シート基板３２が投入されてラミネ
ートが連続的に行われている時は、サクション付きベル
ト４５の真空室は不作動状態となる。そして、感光層付
き帯状支持体３１にシート基板３２が貼り付いた状態で
図３の右側に搬送される。

【００２６】帯状支持体切断部には、下側に固定刃４
８、そして上側にロータリー刃４７が設置され、シート
基板３２が接合している感光層付き帯状支持体３１が移
動してくると、シート基板と次のシート基板の間の領域
の保護フィルムと感光層とが共に残留している部分を切
断し、順次シート基板を切り離す。

【００２７】感光層付き帯状支持体３１が熱圧着され、
切り離させれたシート基板３２は、帯状支持体が、その
基板の両端部より突き出た状態で、シート基板表返し部
まで搬送され、上方より熱圧着体を基板表返しアーム４
９で裏面を保持しながら持ち上げ、次いで基板表返しア
ーム４９を回転し、熱圧着体を表返したのち搬送ローラ
に載せることにより、シート基板３２の熱圧着面を上側
に向けた状態とされ、次工程（図示なし）に搬送される
か、あるいはシート基板カセット（図示なし）に回収さ
れる。

【００２８】図４は、上記の感光層付き帯状支持体３１
の一例の断面図である。すなわち、帯状支持体５０の一
方の表面に感光層（感光材料層）５１が設けられ、さら
に感光層５１の表面上に感光層５１を保護するための保
護フィルム５２が付設されている。帯状支持体５０とし
ては、一般にポリエチレンテレフタレート、ポリプロピ
レンその他のポリマーから作られたフィルム（一般に１
０〜２００μｍの厚さを有する）が使用できる。感光層
５１は、通常は、光重合性レジストで形成されたもので
あり、一般に１〜３μｍの層厚を有するものである。こ
の光重合性レジストとしては特に限定されず、どのよう
な材料であってもよい。また、熱圧着性を向上させるた
めに、帯状支持体５０と感光層５１の間に中間層をいれ
ることもできる。この中間層は、例えば、ポリビニルア
ルコールなどの樹脂で形成することができ、一般に１０
〜５０μｍの層厚を有する。

【００２９】図５は、図３に図示した積層操作における
積層構造体の変化、そして本発明の感光性積層材料を使
用するパターニングを模式的に示す図である。（イ）
は、積層領域（接合領域）の保護フィルムを取り除いた
状態の、支持体５０、感光層５１、そして保護フィルム
５２からなる感光層付き帯状支持体の断面を示す。この
（イ）の感光層付き帯状支持体の感光層表面とシート基
板５３とを熱圧着し、基板シートの両端部で、感光層付
き帯状支持体を切断した状態が、（ロ）に示されてい
る。この（ロ）の感光性積層体が、本発明の感光性積層
材料Ａに相当する。この（ロ）の感光性積層材料を用い
てパターニング（像様露光した後、現像処理に付して、
感光性樹脂層を硬化させたレプリカを得る工程）をする
場合には、その端部の一方（あるいは両方）をつかみ、
（ハ）に示されるように、上方に引き上げると、感光層
が接合した基板シートから、支持体が容易に剥がれる。
従って、この操作において、感光層の損傷が発生する事
故が顕著に低減する。次に、（ニ）に示されているよう
に、パターンマスク５４を介して感光層５１を紫外線で
露光し、感光層５１にパターンを焼き付ける。次いで、
公知の方法で現像処理することにより、感光層５１の未
露光部が現像液に溶解し、露光部のみが基板シート上に
残り、（ホ）に示されているように、シート基板上にパ
ターニングされた感光層が形成される。なお、感光層の
材料によっては、露光部を現像溶解させ、未露光部を残
す場合もある。更に、パターニングされた感光層を利用
して機能性画像を形成したり、感光層の残留部分をレジ
ストとして利用し、基板をエッチングすることもでき
る。

【００３０】次に、本発明の感光性積層材料Ｂの製造に
使用する装置の一例、すなわち、感光層付き帯状支持体
をシート状に切断しながらシート基板上に熱圧着するオ
ート・カット・ラミネータを図６を参照しながら説明す
る。

【００３１】まず、オート・カット・ラミネータの構造
について説明する。図６（Ａ）に示すように、この装置
では、シート基板６２は、搬送ローラ６３を主とした搬
送機構によって左から右の方向に搬送される。搬送ロー
ラ６３の上下には、シート基板加熱用の加熱ヒータ６４
が設置されている。

【００３２】保護フィルム８２の付いた感光層付き帯状
支持体６１は、ロール７３より巻き出され、保護フィル
ム・感光層カッター７１及び保護フィルム剥離ユニット
７４及びロータリー刃７７と、バキュームプレート８４
及び支持体保持部材８６及び固定刃７８の間を走行す
る。

【００３３】保護フィルム・感光層カッター７１は、図
３の装置の場合と同様に、感光層付き帯状支持体６１を
横断するように移動可能で、適当な圧力で保護フィルム
８２の表面に押し当てられ、帯状支持体８０を切断分離
することなく、保護フィルム８２と感光層８１とを一緒
に切断する。

【００３４】保護フィルム剥離ユニット７４は、粘着テ
ープロール７４ｂと粘着テープ押し付けローラ７４ｃと
保護フィルム回収ロール７４ａとからなる。粘着テープ
ロール７４ｂから巻き出された粘着テープ７２は、粘着
テープ押し付けローラ７４ｃに、粘着層を外側に向けて
巻き付けられ、保護フィルム回収ロール７４ａで巻き取
られる。粘着テープ押し付けローラ７４ｃは、エアシリ
ンダ等の作用により保護フィルム８２の表面に適度な圧
力で押し付けられる。そして、保護フィルム回収ロール
７４ａは、感光層付き帯状支持体６１の走行速度に合わ
せて保護フィルム８２を巻き取るように回転する。

【００３５】ロータリーカッターは、ロータリー刃７７
をねじり状態で取り付けた軸を回転させることにより、
ロータリー刃７７と固定刃７８が噛み合い、その間に位
置する保護フィルム付きの感光層付き帯状支持体６１を
横断するように切断する。

【００３６】バキュームプレート８４は、帯状支持体８
０を真空吸着する機能を有し、エアーシリンダで上下に
移動可能となっており、その先端には仮付けヒータ８５
が付設されている。

【００３７】支持体保持部材８６は、ロータリー刃の動
作時に帯状支持体８０を真空吸着保持し、固定刃７８と
共に左右に移動可能となっている。

【００３８】熱圧着ローラは上の熱圧着ローラ６８と下
の熱圧着ローラ６７とから構成されており、エアシリン
ダ８８が動作することにより、てこの原理で開閉する。
熱圧着時の圧力は、エアシリンダ８８のエア圧力を調整
する。また、熱圧着ローラ機構は搬送方向に左右に移動
可能で、シート基板６２を熱圧着ローラ６７及び６８で
熱圧着する時は、左の熱圧着動作位置９０に移動してシ
ート基板６２を挟み、それ以外は右の熱圧着ローラ退避
位置９１に位置する。

【００３９】次に、オート・カット・ラミネータの動作
について説明する。まず、図６（Ａ）に示すように、感
光層付き帯状支持体６１のシート基板６２への積層準備
として、上部のロール７３から巻き出した保護フィルム
８２付きの感光層付き帯状支持体６１を、バキュームプ
レート８４と支持体保持部材８６とで吸着保持する。そ
して、ロータリー刃７７と固定刃７８で、保護フィルム
付きの感光層付き帯状支持体６１の移動方向の先端部を
切り揃え、感光層付き帯状支持体６１の先端から保護フ
ィルム８２を剥ぎ取る。その際、その保護フィルムの先
端を保護フィルム剥離ユニット７４の粘着テープ押し付
けローラ７４ｃ及び保護フィルム回収ロール７４ａに巻
きついている粘着テープ７２にしわが発生しないように
密着させる。これで積層（接合）操作の準備が完了し、
搬送ローラ６３によりシート基板６２が搬送されてくる
のを待機する。

【００４０】図６（Ｂ）に示すように、一連の積層動作
の最初に、搬送ローラ６３により、加熱ヒーターで所定
の温度まで予備加熱したシート基板６２が搬送される。
そして、その感光層積層領域の先端位置９２が、熱圧着
動作位置９０に接近してくる検出信号に基づいて、感光
層積層領域の先端位置９２が熱圧着動作位置９０で停止
させられる。

【００４１】次に、支持体保持部材８６及び固定刃７８
を右側の退避位置に移動させて、感光層付き帯状支持体
６１の先端を支持体保持部材８６から離れさせ、今度
は、バキュームプレート８４の先端部（仮付けヒーター
部）８５に感光層付き帯状支持体６１を吸着保持させ、
次いで感光層付き帯状支持体６１の先端を仮付けヒータ
ー８５で加熱する。

【００４２】次に図６（Ｃ）に示すように、仮付けヒー
タ８５で、シート基板６２の感光層積層領域の先端位置
９２に感光層付き帯状支持体の先端を適度な圧力下に押
し当てて、シート基板の感光性積層領域の先端部と感光
層付き帯状支持体の先端部とを仮付けする。なお、この
時の押し当て圧力でシート基板６２がたわまないよう
に、バキュームプレート８４と同じ形状の補助台８７が
上昇してシート基板６２を下から支える。

【００４３】一方、前記の仮付け時に、感光層付き帯状
支持体６１の感光層積層領域の後端位置９４に位置した
カッター７１を動作させ、保護フィルム８２及び感光層
８１を切断する。

【００４４】次に図６（Ｄ）に示すように、感光層付き
帯状支持体６１の吸着保持を解除してバキュームプレー
ト８４及びその先端部を感光層仮付け位置から離脱させ
る。バキュームプレート８４の離脱動作が終了した時点
で、固定刃７８と支持体保持部材８６は帯状支持体８０
に接近させる。

【００４５】熱圧着ローラ退避位置から熱圧着動作位置
へと熱圧着ローラ６７および６８が移動し、シート基板
６２の感光層積層領域の先端位置に適度な押し圧力で当
接する。熱圧着ローラ６７及び６８の回転力と搬送ロー
ラ６３の回転再開によりシート基板６２を搬送し、熱圧
着ローラ６７及び６８の回転により自動的に感光層付き
帯状支持体６１を供給しながらシート基板６２の感光層
積層領域の先端位置から後端位置に向かってシート基板
６２の感光層接合面に、所定の距離だけ感光層付き帯状
支持体６１を熱圧着する。

【００４６】熱圧着ローラ６７、６８によって、シート
基板６２及び感光層付き帯状支持体６１を搬送している
間に保護フィルム８２の剥離も進行し、保護フィルム８
２及び感光層８１を切断した感光層付き帯状支持体６１
の感光層積層領域の後端位置９４で、保護フィルム８２
の回収は完了する。

【００４７】感光層付き帯状支持体６１の搬送により、
感光層付き帯状支持体の保護フィルム８２を残す領域の
後端位置９５がカッター７１の位置に到達した時に、カ
ッター７１を動作し保護フィルム８２及び感光層８１を
切断する。

【００４８】感光層付き帯状支持体６１の保護フィルム
８２を残す領域の後端位置は、シート基板６２の非積層
領域に感光層８１が接することなく、そして次に積層す
るシート基板の感光層積層領域の先端位置に保護フィル
ム８２が残ることがないように、シート基板６２の後端
とロータリーカッターで切断する位置の間で適宜設定す
る。

【００４９】次に図６（Ｅ）に示すように、保護フィル
ム８２を残す領域の後端位置９５の切断線が粘着テープ
押し付けローラ７４ｃの位置に来たとき再び粘着テープ
押し付けローラ７４ｃが押し付けられて保護フィルム８
２を剥ぎ取り始める。

【００５０】そして最後に、図６（Ｆ）に示すように、
シート基板６２の感光層積層領域の後端位置９３が熱圧
着動作位置まできたとき、感光層付き帯状支持体６１を
ロータリーカッタ刃７７と固定刃７８で感光層付き帯状
支持体６１を切断する。

【００５１】次に、熱圧着ローラ６７及び６８は開き、
それぞれが熱圧着ローラ退避位置に戻ると共に、熱圧着
されたシート基板６２は搬送機構によって右に搬送さ
れ、装置より次工程に出され、図６（Ａ）の状態で、再
び次のシート基板が搬送されてくるまで待機する。

【００５２】図７（Ａ）は、図６のオート・カット・ラ
ミネーターで得られた感光層付き帯状支持体を積層した
シート基板６２の説明図である。感光層付き帯状支持体
６１の先端部は、シート基板６２の感光層積層領域の先
端位置９２に位置している。また、保護フィルム８２及
び感光層８１を切断した感光層付き帯状支持体６１の感
光層積層領域の後端位置は、シート基板６２の感光層積
層領域の後端位置９３に位置している。シート基板６２
の感光層積層領域の先端位置９２から後端位置９３まで
の領域は、感光層８１がシート基板６２に積層密着して
いる。

【００５３】また、支持体切断後端部は、シート基板６
２の後端より外側に位置している。即ち、少なくともシ
ート基板６２の後端から感光層積層領域の後端位置９３
の領域は、保護フィルム８２があるためシート基板６２
とは密着していない。また、感光層積層領域の後端位置
９３の感光層８１は切断されている。この図７（イ）の
感光性積層体が、本発明の感光性積層材料Ｂに相当す
る。

【００５４】次に、図７（イ）の構成の感光性積層材料
の感光層から支持体を剥離する方法について、図７
（ロ）を参照しながら説明する。図７（イ）の構成の感
光性積層材料の感光層付き支持体６１のはみ出した部分
を持って、上右方向へ引っ張ることにより、シート基板
６２の後端から感光層積層領域の後端位置の領域は、保
護フィルム８２がシート基板６２と密着していないの
で、容易にその界面で剥離される。感光層８１が切断さ
れている感光層積層領域の後端位置からは、シート基板
６２と感光層８１の密着力より、支持体８０と感光層８
１の密着力の方が小さいので、感光層８１と支持体８０
の界面で容易に剥離される。

【００５５】図８と図９を参照して、本発明の感光性積
層材料Ｂを製造するために利用することができるオート
・カット・ラミネーターの保護フィルム剥離の別の実施
方法について説明する。ロータリーカッター（ロータリ
ー刃１１７と固定刃１１８）では、保護フィルム１２２
が付いた状態で感光層つき帯状支持体１０１を切断す
る。次に仮付け準備のため感光層付き帯状支持体１０１
の先端部をバキュームプレート１２４の先端に巻き付け
た時に、粘着テープ１１２を巻いた粘着テープ押し付け
ローラ１１４ｃが粘着テープ１１２を巻き出しながらバ
キュームプレート１２４の先端まで移動し、感光層付き
帯状支持体１０１の先端に粘着テープ１１２を押し付け
る。粘着テープ１１２が保護フィルム１２２に密着し、
粘着テープ押し付けローラ１１４ｃが定位置に移動しな
がら、保護フィルム回収ロール１１４ａが粘着テープ１
１２と密着した保護フィルム１２２を巻き上げ、保護フ
ィルム・感光層カッターで切断した感光層積層領域の後
端位置までの保護フィルムを感光層付き帯状支持体より
剥離回収する。

【００５６】即ち、ロータリーカッター（ロータリー刃
１１７と固定刃１１８）は、感光層付き帯状支持体１０
１の保護フィルム１２２を残す領域の後端部と次のシー
ト基板に積層する感光層付き帯状支持体１０１の先端部
とを同時に切断することになる。また、保護フィルム・
感光層カッターは、感光層付き帯状支持体１０１の感光
層積層領域の後端位置を切断するだけとなる。

【００５７】前記の方法では、ロータリーカッター（ロ
ータリー刃１１７と固定刃１１８）で切断する時に、感
光層つき帯状支持体１０１は保護フィルム１２２が付い
た状態なので、切り屑等の感光層１２１への付着を防止
し欠陥を低減できるメリットがある。

【発明の効果】本発明の感光性積層材料を用いることに
より、パターニング等のための露光操作を行なう際に、
表面カバーシートを、感光層を損傷することなく容易に
剥ぎ取ることが可能となるため、パターニング操作が容
易となり、また工程の信頼性が向上する。また、感光性
積層材料Ａを製造する工程においては、感光材料層をそ
の表面が露出した状態で切断する作業を必要としないた
め、感光性レジストなどのような柔らかい感光性材料が
切断作業時に飛び散り、画像形成、パターニングなどに
使用する感光層の表面に付着して製品の品質の劣化をも
たらすことがなくなる。なお、感光性積層材料Ｂを製造
する工程においても、感光材料層をその表面が露出した
状態で切断する作業が少なくなるため、感光性レジスト
などのような柔らかい感光性材料が切断作業時に飛び散
り、画像形成、パターニングなどに使用する感光層の表
面に付着して製品の品質の劣化をもたらす場合が低減す
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の感光性積層材料の構成の例を示す模式
図である。

【図２】本発明の感光性積層材料の構成の他の例を示す
模式図である。

【図３】本発明の感光性積層材料を製造するために使用
する感光層積層装置の例の概要図である。

【図４】本発明で使用される感光層付き帯状支持体（長
尺状積層シート）の一例の断面図である。

【図５】本発明の感光性積層材料を用いた基板パターニ
ング工程の一例を示す説明図である。

【図６】本発明に感光性積層材料を製造するために使用
する装置の一例であるオート・カット・ラミネーターの
説明図である。

【図７】図６のオート・カット・ラミネーターで得られ
た感光性積層材料の構成およびその使用法を示す説明図
である。

【図８】本発明に感光性積層材料を製造するために使用
する装置の一例であるオート・カット・ラミネーターの
他の例の説明図である。

【図９】図８のオート・カット・ラミネーターの動作を
説明する説明図である。

【符号の説明】

１１ 基板 １２ 感光材料層 １３ 可撓性プラスチックシート １４ａ 切断分離位置 １４ｂ 切断分離位置 １５ａ プラスチックフィルム １５ｂ プラスチックフィルム ２１ 基板 ２２ 感光材料層 ２３ 可撓性プラスチックシート ２４ａ 切断分離位置 ２５ａ プラスチックフィルム ３１ 感光層付き帯状支持体 ３２ シート基板 ３３ 搬送ローラ ３４ 加熱ヒータ ３５ 基板裏返しアーム ３６ 基板押し出し機構 ３７ 下の熱圧着ローラ ３８ 上の熱圧着ローラ ３９ 感光層付き帯状支持体の固定台 ４０ スライド台 ４１ カッター刃 ４２ 粘着テープ ４３ 感光層付き帯状支持体のロール ４４ａ 保護フィルム回収ローラ ４４ｂ 粘着テープ巻き出しローラ ４４ｃ 粘着テープ押し付けローラ ４５ サクション付きベルト ４６ 真空室 ４７ ロータリー刃 ４８ 固定刃 ４９ 基板表返しアーム ５０ 帯状支持体 ５１ 感光層 ５２ 保護フィルム ５３ シート基板 ５４ パターンマスク ６１ 感光層付き帯状支持体 ６２ シート基板 ６３ 搬送ローラ ６４ 加熱ヒータ ６７ 下の熱圧着ローラ ６８ 上の熱圧着ローラ ７１ 保護フィルム・感光層カッター ７２ 粘着テープ ７３ 感光層付き帯状支持体のロール ７４ 保護フィルム剥離ユニット ７７ ロータリー刃 ７８ 固定刃 ８０ 帯状支持体 ８４ バキュームプレート ８５ 仮付けヒータ ８６ 支持体保持部材 １０１ 感光層付き帯状支持体 １１２ 粘着テープ １１７ ロータリー刃 １１８ 固定刃 １２２ 保護フィルム

フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭61−279847（ＪＰ，Ａ) 特開 平４−344237（ＪＰ，Ａ) 特開 平４−223164（ＪＰ，Ａ) 特開 昭60−184843（ＪＰ，Ａ) 特開 平４−323031（ＪＰ，Ａ) 特開 昭60−184844（ＪＰ，Ａ) 特開 平５−338041（ＪＰ，Ａ) 特開 平２−15263（ＪＰ，Ａ) 特開 昭54−27423（ＪＰ，Ａ) 実開 昭56−66948（ＪＰ，Ｕ) 実開 昭57−19951（ＪＰ，Ｕ) 実開 昭57−11950（ＪＰ，Ｕ) (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) G03F 7/004 512 G03F 7/11 501

Claims (4)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 矩形の基板、感光材料層、そして可撓性
   プラスチックシートがこの順に積層された感光性積層材
   料であって、感光材料層と可撓性プラスチックシートの
   一部が、基板の両側の端部より突き出され、かつ感光材
   料層が、その基板端部の内側の位置にて切断、分離され
   ており、そしてその切断位置の外側の感光材料層の下面
   と基板端部表面との間に、プラスチックフィルムが配設
   されていることを特徴とする感光性積層材料。
2. 【請求項２】 可撓性プラスチックシート、感光材料
   層、そしてプラスチックフィルムがこの順に積層されて
   なる長尺状積層シートを走行させながら、その感光材料
   層とプラスチックフィルムとの積層体部分を、基板接合
   予定領域の両側端部上の位置にて、長さ方向に連続的に
   切断したのち、その基板接合予定領域のプラスチックフ
   ィルムを連続的に除去し、次いで、プラスチックフィル
   ムを除去した領域の感光材料層の表面を、別に用意した
   矩形の基板を接合し、次に該積層シートを基板の末端部
   にて幅方向に切断することからなる請求項１に記載の感
   光性積層材料の製造法。
3. 【請求項３】 矩形の基板、感光材料層、そして可撓性
   プラスチックシートがこの順に積層された感光性積層材
   料であって、感光材料層と可撓性プラスチックシートの
   一部が、基板の一方の側の端部より突き出され、かつ感
   光材料層が、その基板端部の内側の位置にて切断、分離
   されており、そしてその切断位置の外側の感光材料層の
   下面と基板端部表面との間に、プラスチックフィルムが
   配設されていることを特徴とする感光性積層材料。
4. 【請求項４】 可撓性プラスチックシート、感光材料
   層、そしてプラスチックフィルムがこの順に積層されて
   なる長尺状積層シートを走行させながら、その感光材料
   層とプラスチックフィルムとの積層体部分を、基板接合
   予定領域の一方の側の端部上の位置にて、長さ方向に連
   続的に切断したのち、その基板接合予定領域のプラスチ
   ックフィルムを連続的に除去し、次いで、プラスチック
   フィルムを除去した領域の感光材料層の表面を、別に用
   意した矩形の基板を接合し、次に該積層シートを基板の
   末端部にて幅方向に切断することからなる請求項３に記
   載の感光性積層材料の製造法。