JP3097511B2 - チップの搭載装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、ウェハやトレイなどの
チップ供給部に備えられた多品種のチップを基板に搭載
するチップの搭載装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】ウェハやトレイなどのチップ供給部に備
えられたチップを基板に搭載するチップの搭載装置とし
て、特開平２−５６９４５号公報に記載されたものが知
られている。このものは、アームの先端部に設けられた
吸着部にウェハのフリップチップを真空吸着してピック
アップし、アームを１８０°上下方向に回転させること
によりフリップチップを上下反転させ、このフリップチ
ップを移送ヘッドに受け渡して基板に搭載するようにな
っている。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら上記従来
のチップの搭載装置は、アームが上下方向に１８０°繰
り返し回転することにより、ウェハのチップのピックア
ップと、チップを移送ヘッドに受け渡す動作を行ってい
たため、高速度でチップを基板に搭載することは困難で
あった。また基板の品種によっては、多品種のチップを
搭載しなければならないが、上記従来のチップの搭載装
置は、多品種のチップを同時に基板に搭載できないとい
う問題点があった。

【０００４】したがって本発明は、チップ搭載の高速化
を図れ、また多品種のチップを基板に搭載できるチップ
の搭載装置を提供することを目的とする。

【０００５】

【課題を解決するための手段】このために本発明は、チ
ップ供給部と、基板の位置決め部と、このチップ供給部
のチップをピックアップするノズルを複数個備えたヘッ
ド部と、前記ノズルからチップを受け取って前記位置決
め部に位置決めされた基板に搭載する移載ヘッドとから
チップの搭載装置を構成した。そして前記チップ供給部
がウェハとトレイを一体的に保持する保持部と、ウェハ
やトレイに備えられた所定のチップを前記ノズルによる
ピックアップ位置へ移動させるためのＸテーブルおよび
Ｙテーブルと、チップのピックアップステーションに位
置する前記保持部の一方の側部に設けられてウェハを段
積して収納する第１のマガジンと、この第１のマガジン
を昇降させるエレベータと、前記保持部とこの第１のマ
ガジンの間でウェハを受け渡しする受け渡し手段と、前
記保持部の他方の側部に設けられてトレイを段積して収
納する第２のマガジンと、この第２のマガジンを昇降さ
せるエレベータと、前記保持部とこの第２のマガジンの
間でトレイを受け渡しする受け渡し手段とを備えた。

【０００６】また前記保持部が、ウェハホルダに保持さ
れたウェハを露呈させる開口部が開口された上板と、こ
の上板の下面に設けられたガイドを備え、前記ウェハホ
ルダをこのガイドに沿って出し入れするようにした。

【０００７】また前記ヘッド部が前記ノズルに水平回転
と上下回転を行わせる機構を備え、前記移載ヘッドが前
記上下回転によって上下反転された前記ノズルの上端部
のチップを受け取るようにした。

【０００８】また望ましくは、前記ウェハとトレイが寸
法の異なる複数品種のチップを備え、また前記ヘッド部
がチップサイズに応じて使い分けられる複数種の前記ノ
ズルを備え、前記位置決め部に位置決めされた基板に多
品種のチップを搭載できるようにした。

【０００９】また望ましくは、複数品種のノズルを装備
するノズルストッカを備え、前記移載ヘッドがこのノズ
ルストッカに備えられたノズルとノズル交換を行うよう
にした。

【００１０】

【作用】上記構成によれば、第１のマガジンや第２のマ
ガジンに品種の異るチップを備えたウェハやトレイを収
納し、多品種のチップを基板に作業性よく搭載すること
ができる。またチップを上下反転させて基板に高速度で
搭載できる。またヘッド部が複数種のノズルを備え、ま
た移載ヘッドがノズルストッカのノズルとノズル交換を
行うことにより、チップの品種に応じた最適ノズルを使
用して基板へのチップの搭載を行うことができる。

【００１１】

【実施例】次に、本発明の実施例を図面を参照して説明
する。図１は本発明の一実施例のチップの搭載装置の前
面側斜視図、図２は同背面側斜視図、図３は同側面図、
図４は同ヘッド部分の断面図、図５、図６、図７は同平
面図、図８は同チップ供給部の要部斜視図、図９は同チ
ップ供給部に備えられたウェハホルダの位置決め機構の
断面図、図１０は同チップ供給部に備えられたトレイと
トレイホルダの斜視図、図１１は同チップ供給部のウェ
ハシートのテンション付与機構の断面図である。

【００１２】まず、図１，図５〜図１０を参照して、チ
ップ供給部について詳細に説明する。図１において、基
台１上には以下に述べる要素が配設されている。２はウ
ェハであり、供給テーブル３に保持されている。供給テ
ーブル３は、基台１の前側上面に設置された可動テーブ
ルであるＸテーブル４とＹテーブル５上に載置されてお
り、Ｘモータ（図３）ＭＸ１とＹモータＭＹ１が駆動し
てＸテーブル４とＹテーブル５が作動すると、Ｘ方向や
Ｙ方向へ水平移動する。

【００１３】図１に示すウェハ２は、ノズル（後述）に
よりチップをピックアップするピックアップステーショ
ンにあり、その一方の側部には第１のマガジン６が、ま
た他方の側部には２個の第２のマガジン７が設置されて
いる。第１のマガジン６にはウェハ２を保持するウェハ
シート２ｂが張られたウェハホルダ２ａが段積して収納
されている。また２個の第２のマガジン７にはそれぞれ
トレイ８が段積して収納されている。トレイ８にはチッ
プＰ２（図９）が収納されている。ウェハ２のチップＰ
１（図９）および２つのトレイ８のチップＰ２は異品種
である。第１のマガジン６と第２のマガジン７の側部に
は、それぞれエレベータ９、１０が設けられており、エ
レベータ９、１０が作動することにより、第１のマガジ
ン６と第２のマガジン７は昇降する。

【００１４】第１のマガジン６の背後にはプッシャ１１
が設けられている。また基台１の前縁上にはＸ方向に長
尺の搬送部１２が設けられている。搬送部１２には先端
部にチャック爪１３を有するアーム１４が連結されてい
る（図３も参照）。アーム１４は搬送部１２に内蔵され
た回動ベルト１２ａ（図５）に結合されており、搬送部
１２に沿ってＸ方向へ移動する。図５において、第２の
マガジン７の背後にもプッシャ１５が設けられている。
また第２のマガジン７の前方には、前方へ突出するカギ
型の回収用アーム１６（図１）が設けられている。

【００１５】次に図８を用いて保持部である供給テーブ
ル３の詳細な構造について説明する。供給テーブル３は
主に上板９１と下板９２とトレイホルダ８６から成って
いる。上板９１と下板９２の４隅には垂直な送りねじ９
３が挿着されている。上板９１の下面には、ウェハホル
ダ２ａが出し入れ自在に挿着されるガイド９７が装着さ
れている。９４，９５はウェハホルダ２ａをガイド９７
に沿って出し入れする際に、アーム１４のチャック爪１
３が通る切欠部である。また上板９１と下板９２の中央
には、ウェハ２を露呈させるための円形の開口部９６が
大きく開口されている。

【００１６】図１０において、８６は下板９２の第２の
マガジン７側の上面に装着された２組のトレイホルダで
ある。トレイホルダ８６の平面形状はコの字形であり、
その先端部には切欠部８７が形成されている。またその
両側部の内面にはボールプランジャ８８が装着されてい
る。第２のマガジン７内のトレイ８は、プッシャ１５に
押されてトレイホルダ８６に挿着され、ボールプランジ
ャ８８により半固定される。また切欠部８７から回収用
アーム１６の先端起立部１６ａが進入し、回収用アーム
１６が第２のマガジン７側へ後退することにより、トレ
イ８は第２のマガジン７内に回収される。

【００１７】次に、ウェハシート２ｂにテンションを付
与するための機構について説明する。図８において、Ｙ
テーブル５上には台板１００が載置されており、台板１
００上には移動台１０１が設置されている。この移動台
１０１は、ＹモータＭＹ１が駆動するＹテーブル５上を
Ｙ方向へ移動する。移動台１０１の外面にはモータ１０
２が装着されている。図９において、送りねじ９３の下
部に装着されたプーリ１０３にはベルト１０４が調帯さ
れている。ベルト１０４はモータ１０２に駆動されて回
動する。上板９１にはナット９８が装着されており、ナ
ット９８に送りねじ９３は螺合している。移動台１０１
の上面には下板９２が固定されている。図９において送
りねじ９３は、この下板９２上にベアリング１０６によ
って回転自在に装着されている。上板９１の開口部９６
の直下の下板９２の中央部には円筒体１０５が設けられ
ている。円筒体１０５はベアリング１０６を介して送り
ねじ９３に保持されている。下板９２の端部にはトレイ
ホルダ８６が保持されている。すなわちチップ供給テー
ブル３はウェハホルダ２ａとトレイ８を一体的に保持
し、Ｘテーブル４とＹテーブル５が駆動することによ
り、ウェハ２やトレイ８の所定のチップＰ１，Ｐ２をノ
ズル７３によるピックアップ位置へ移動させる。

【００１８】図９において、ウェハホルダ２ａはアーム
１４のチャック爪１３にチャックされてガイド９７に挿
入される。そこでモータ１０２が駆動すると、ベルト１
０４はプーリ１０３に沿って回動して送りねじ９３が回
転する。すると図９において上板９１は下降し、図１１
に示すように円筒体１０５はウェハシート２ｂを下方か
ら受け、ウェハシート２ｂはテンションが付与されて水
平な姿勢となる。このようにウェハシート２ｂを水平に
した状態で、ノズル７３はウェハシート２ｂ上のチップ
Ｐ１をピックアップする。またモータ１０２を逆方向に
駆動すると、送りねじ９３は逆回転して上板９１は上昇
し、ウェハホルダ２ａは元の高さに復帰する。

【００１９】図５〜図７は、ウェハホルダ２ａとトレイ
８の交換動作を示している。図５は、ウェハ２が基台１
の中央部のピックアップステーションＡの手前に位置し
ている状態を示している。この状態からウェハ２をピッ
クアップステーションＡに設けられたダイエジェクタの
ペパーポット８１の真上に移動して位置決めし、この状
態で、ウェハ２に備えられたチップはヘッド７０のノズ
ル（後述）７３にピックアップされた後、搭載ステーシ
ョンＢに位置決めされた基板２０に搭載される。ウェハ
２のチップが品切れになったり、ウェハ２の品種交換を
行う場合には、ウェハホルダ２ａを第１のマガジン６に
出し入れする。すなわちこの場合、図６に示すようにＸ
テーブル４を駆動してＹテーブル５上のチップ供給テー
ブル３を第１のマガジン６に接近させ、このチップ供給
テーブル３に保持されているウェハホルダ２ａを第１の
マガジン６内に収納する。次にエレベータ９を駆動して
第１のマガジン６内の所望のウェハホルダ２ａをプッシ
ャ１１やチャック爪１３と同一レベルとする。そこでプ
ッシャ１１により第１のマガジン６内のウェハホルダ２
ａをチャック爪１３側へ押し出してチャック爪１３でチ
ャックし、次いでチャック爪１３を右方へ移動させるこ
とより、ウェハホルダ２ａをチップ供給テーブル３にセ
ットする。次にチャック爪１３によるチャック状態を解
除するとともに、Ｘテーブル４を駆動して、新たなウェ
ハホルダ２ａを図５に示すピックアップステーションＡ
へ移動させる。

【００２０】トレイ８の交換を行うときは、図７に示す
ようにチップ供給テーブル３上のトレイ８を第２のマガ
ジン７に接近させる。そこで回収用アーム１６に上下動
作やＸ方向への移動動作を行わせてトレイ８を第２のマ
ガジン７の内部に回収するとともに、第２のマガジン７
内の新たなトレイ８をプッシャ１５によりＹテーブル５
上へ押し出す。この場合も、エレベータ１０を駆動し
て、第２のマガジン７を昇降させる。このように、ピッ
クアップステーションＡの左右に、第１のマガジン６お
よび第２のマガジン７を配置し、またウェハ２やトレイ
８の交換手段である搬送部１２、プッシャ１１、１５、
アーム１４、回収用アーム１６などを配設することによ
り、ウェハホルダ２ａやトレイ８の交換を迅速に行え
る。

【００２１】図２において、基台１の背後側の上面に
は、基板２０の位置決め部としてのガイドレール２１が
２本配設されている。基板２０はガイドレール２１に沿
ってＸ方向に搬送され、またガイドレール２１にクラン
プされてチップの搭載ステーションＢに位置決めされ
る。基台１上の両側部に設けられた１対のＹ軸フレーム
１ａ上には第１フレーム２２と第２フレーム２３が架設
されている。第１フレーム２２と第２フレーム２３の間
にはＹネジ２４が設けられている。ＭＹ２はＹネジ２４
を回転させるモータである。Ｙネジ２４にはナット２５
が螺合している。またナット２５の下面にはＸ方向に長
尺のフレーム２６が結合されている。フレーム２６の内
部にはＸネジ２７が収納されており、ＸモータＭＸ２に
駆動されて回転する。フレーム２６の両側部のスライダ
２６ａはＹ軸フレーム１ａに固定されたＹ方向のガイド
レール２８にスライド自在に装着されている。Ｘネジ２
７にはナット２９（図５）が螺合しており、ナット２９
には移載ヘッド３１が結合されている。移載ヘッド３１
はチップを真空吸着するノズル３２を有している。した
がってＸモータＭＸ２とＹモータＭＹ２が駆動すると、
移載ヘッド３１はＸ方向やＹ方向に移動する。

【００２２】図２および図５において、移載ヘッド３１
の移動路の下方には、チップ認識用のカメラ３３と、ノ
ズルストッカ３４と、フラックス塗布部３５が配設され
ている。移載ヘッド３１はカメラ３３の上方へ移動し、
カメラ３３によりノズル３２の下端部に真空吸着された
チップを観察してチップの位置認識などを行う。またチ
ップの品種変更のためにノズル交換を行うときは、移載
ヘッド３１はノズルストッカ３４の上方へ移動し、ノズ
ル交換を行う。ノズル交換の方法としては、例えば特開
平２−３６６００号公報に記載された方法が適用でき
る。またチップが半田バンプを備えたフリップチップの
場合には、移載ヘッド３１はフラックス塗布部３５の上
方へ移動し、フリップチップの下面に突出する半田バン
プにフラックスを付着させる。また移載ヘッド３１の側
面には基板認識用のカメラ３６が一体的に設けられてい
る（図３）。このカメラ３６は基板２０の上方へ移動し
て、基板認識マークや基板２０の特徴部を観察し、基板
２０の位置を検出する。３７はガイドレール２１に内蔵
された基板搬送コンベアを駆動するためのモータ、３８
はガイドレール２１の幅寄せ用モータ、３９は幅寄せ用
ボールねじであり、基板２０の品種変更に応じて、ガイ
ドレール２１間の間隔調整が行われる（図３も参照）。

【００２３】図３において、４９は、第２フレーム２３
の下方に設けられた水平フレームでありその両端部はＹ
軸フレーム１ａに結合されている。水平フレーム４９に
は、ヘッド部５０が装着されている。次に、図４を参照
してヘッド部５０の詳細な構造を説明する。５１は上端
部が水平フレーム４９に固定されたセンターロッドであ
り、その内部には吸引孔５２がヘッド７０と同じ数だけ
形成されている（図４では１つの吸引孔５２のみ図
示）。センターロッド５１の上部には、ベアリング部５
３を介して回転筒５４が装着されている。回転筒５４に
はプーリ５５が装着されており、プーリ５５にはタイミ
ングベルト５６が調帯されている。図３に示すように、
タイミングベルト５６はモータ５７の回転軸に調帯され
ている（図７も参照）。したがってモータ５７が駆動す
ると、回転筒５４はその軸心を中心に水平回転する。

【００２４】図４において、センターロッド５１の下部
には第１のかさ歯車６１が装着されている。第１のかさ
歯車６１には第２のかさ歯車６２が１：１のギヤ比で係
合している。第２のかさ歯車６２の外側には、回転ブロ
ック６３が連結されている。上述した回転筒５４と回転
ブロック６３は、ベアリング部６４を介して水平軸ＮＡ
を中心に回転自在に結合されている。モータ５７が駆動
して回転筒５４が水平回転すると、ベアリング部６４を
介して回転筒５４に結合された回転ブロック６３もセン
ターロッド５１の軸心線を中心に水平回転する。このと
き、第２のかさ歯車６２は第１のかさ歯車６１（第１の
かさ歯車６１はセンターロッド５１に固着されているの
で回転しない）の周囲を水平回転し、これにより第２の
かさ歯車６２は水平軸ＮＡを中心に上下方向に１８０°
回転する。すなわち回転ブロック６３は、モータ５７が
駆動すると、水平回転と上下回転を並行して行う。

【００２５】回転ブロック６３の外側にはコの字形のブ
ラケット６９が装着されている。ブラケット６９にはヘ
ッド７０が装着されている。ヘッド７０は垂直なノズル
シャフト７１を有している。ウェハシート２ｂ上にはフ
リップチップＰがバンプＢを上面側にして貼着されてい
る。ノズルシャフト７１はコイルばね７２により上方へ
弾発されている。ブラケット６９にはＬ字形のレバー７
５がピン７６により上下方向へ回転自在に軸着されてい
る。レバー７５の両端部にはローラ７７、７８が装着さ
れている。下方のローラ７８はノズルシャフト７１に結
合された座板７９に当接している。また上方のローラ７
７の側部には、押圧子６５（図１も参照）が設けられて
いる。この押圧子６５は、水平フレーム４９に固定され
た図示しないモータやカムなどの駆動部に駆動されて、
横方向Ｎへ移動する。

【００２６】図４において、押圧子６５が右方へ移動す
ると、ローラ７７は押圧子６５に押され、レバー７５は
時計方向に回転する。するとローラ７８はコイルばね７
２を圧縮しながら座板７９を押し下げ、ノズルシャフト
７１は下降する。また押圧子６５が左方へ移動してロー
ラ７７の押圧状態を解除すると、レバー７５は反時計方
向へ回転し、ノズルシャフト７１はコイルばね７２のバ
ネ力により上昇する。このようにしてノズルシャフト７
１およびノズル７３が上下動作を行うことにより、ノズ
ル７３はウェハ２のフリップチップＰを真空吸着してピ
ックアップする。図４において、５２はセンターロッド
５１に穿孔された吸引孔である。図４では１個の吸引孔
５２しか図示していないが実際にはヘッド７０と同じ数
だけ形成されている。５１ａは、センターロッド５１の
下部に回転自在に装着された外筒でありその内周面には
複数の円筒溝５１ｂが形成されている。複数の円筒溝５
１ｂは、それぞれに対応する吸引孔５２に連通しており
さらにこの円筒溝５１ｂは、外筒５１ａの外周面に取り
付けられたチューブ６６に連通している。チューブ６６
は回転筒５４の下部に接続している。回転筒５４のベア
リング部６４の間には、リング状のリング部材５４ａが
装着されており、このリング部材５４ａの外周面と内周
面には、円筒溝５４ｂ，５４ｃが形成されている。この
円筒溝５４ｂと５４ｃはリング部材５４ａに穿孔された
穴によって連通している。また円筒溝５４ｂはチューブ
６６に連通し円筒溝５４ｃは回転ブロック６３内に形成
された吸引孔６７に連通している。また吸引孔６７には
ノズル７３に連通するチューブ６３ａが接続されてい
る。従ってノズル７３はチューブ６３ａ、吸引孔６７、
リング部材５４ａ、チューブ６６、外筒５１ａ、吸引孔
５２を介して吸引装置（図外）に接続されている。

【００２７】図５に示すように、ヘッド部５０は、３個
のヘッド７０を有している。３個のヘッド７０は平面視
して１２０°の等間隔で設けられている。またピックア
ップステーションＡの上方には、チップ認識用のカメラ
６８が設けられている（図３参照）。このカメラ６８
は、ノズル７３がウェハ２のフリップチップＰをピック
アップするのに先立って、このフリップチップＰを観察
し、欠けなどのない良品のフリップチップＰであるか否
かあるいはバッドマークがないかを検査したりフリップ
チップＰの位置を検出するために使用される。

【００２８】図３において、ピックアップステーション
Ａの下方にはダイエジェクタ８０が設置されている。ダ
イエジェクタ８０のペパーポット８１はウェハ２の直下
にあり、ノズル７３がフリップチップＰをピックアップ
するときには、ペパーポット８１の上面からピン８２が
突出し、ウェハシート２ｂを突き破ってフリップチップ
Ｐを下方から突き上げる（図４も参照）。また図４にお
いて、８５はセンターロッド５１の下端部に装着された
カバー板であり、ごみがウェハ２やトレイ８に落下して
フリップチップＰを汚すのを防止する。

【００２９】このチップの搭載装置は上記のような構成
より成り、次に全体の動作を説明する。まずピックアッ
プしようとするフリップチップＰをピックアップステー
ションＡへ移動させる（動作１）。次にペパーポット８
１を上昇させてウェハシート２ｂの下面に当接させる
（動作２）。なおトレイ８からフリップチップＰをピッ
クアップする場合はこの動作は行わない。次にカメラ６
８でピックアップステーションＡのフリップチップＰを
撮像してこのフリップチップＰの位置を認識する。また
フリップチップＰに欠けやバットマークが付与されてい
ないかを検査する（以上、動作３）。検査の結果ＮＧの
場合は他のフリップチップＰをピックアップステーショ
ンＡへ移動させ動作３を再び行なう。上記認識で求めた
フリップチップＰの位置に基づいてチップ供給テーブル
３の位置を補正し、フリップチップＰをピックアップス
テーションＡに正確に位置決めする（動作４）。

【００３０】次にモータ５７を駆動してこのフリップチ
ップＰをピックアップするヘッド７０をピックアップス
テーションＡへ移動させる（動作５）。次に押圧子６５
を矢印Ｎ方向（図４）へ移動させてノズル７３を下降上
昇させてフリップチップＰを吸着してピックアップす
る。このときウェハシート２ｂからフリップチップＰを
ピックアップする場合はペパーポット８１からピン８２
を突き出す（動作６）。次にモータ５７を駆動してヘッ
ド７０をピックアップステーションＡから１８０°水平
回転させる。このとき上下反転も行われる（動作７）。
またこのとき次にピックアップされるフリップチップＰ
がピックアップステーションＡへ移動される（動作
８）。

【００３１】次に移載ヘッド３１のノズル３２でフリッ
プチップＰをピックアップする（動作９）。このときピ
ックアップステーションＡのフリップチップＰに対して
動作３が行われる。次に移載ヘッド３１はカメラ３３の
上方へ移動するそしてカメラ３３によってフリップチッ
プＰの位置認識がおこなわれる（動作１０）。このとき
動作４、５が行われる。移載ヘッド３１はフラックス塗
布部３５へ移動してバンプにフラックスを付着させ、予
め行われた基板認識によってその位置が求められた基板
２０の電極にフリップチップＰのバンプを搭載する（動
作１１）。なお基板認識は動作１〜７の工程を行なう間
にカメラ３６によって予め行われる。また動作１０の工
程中に次のフリップチップＰに対して動作６〜７の動作
が行われる。移載ヘッド３１は動作９〜１１の動作をく
り返すことにより次々とフリップチップＰを基板２０に
搭載していく。

【００３２】図５は、フリップチップＰをピックアップ
したヘッド７０が、基板２０側へ移動して移載ヘッド３
１にフリップチップＰを受け渡す状態を示している。こ
の状態で、３つのヘッド７０はいずれもカメラ６８の直
下から退避している。そこでこのときＸテーブル４とＹ
テーブル５を駆動して、次にピックアップされるウェハ
２のフリップチップＰをカメラ６８の直下に移動させ、
カメラ６８で観察して不良品でないかどうかを検定す
る。もし不良品であれば、ウェハ２の他のフリップチッ
プＰをカメラ６８の直下に移動させて同様の検査を行
う。

【００３３】ところで搭載されるフリップチップＰの品
種又はサイズが変更される場合にはピックアップステー
ションＡにこのフリップチップＰに適したノズル７３を
備えたヘッド７０を停止させる。このヘッド７０の選択
はモータ５７の駆動を制御することで行われる。また移
載ヘッド３１のノズル３２は交換される。

【００３４】このノズルの搭載装置は様々な運転方法が
可能である。すなわち例えば図１において、ピックアッ
プステーションＡにはウェハ２またはトレイ８のみを配
設し、このウェハ２またはトレイ８に備えられた単一品
種のチップのみを基板２０に搭載してもよい。またピッ
クアップステーションＡに、それぞれ異品種のチップを
備えたウェハ２と２個のトレイ８を配置してもよい。こ
のようにヘッド部５０の複数個のヘッド７０にチップサ
イズもしくは種類によって使い分けられる複数種類のノ
ズル７３を設け、またチップ供給部に複数種のチップを
備えることにより、多品種の基板２０に所望のチップ搭
載を作業性よく搭載することができる。

【００３５】

【発明の効果】本発明によれば、第１のマガジンや第２
のマガジンに品種の異るチップを備えたウェハやトレイ
を収納し、多品種のチップを基板に作業性よく搭載する
ことができる。またチップを上下反転させて基板に高速
度で搭載できる。またヘッド部が複数種のノズルを備
え、また移載ヘッドがノズルストッカのノズルとノズル
交換を行うことにより、チップの品種に応じた最適ノズ
ルを使用して基板へのチップの搭載を行うことができ、
殊にフリップチップを基板に搭載する手段としてその長
所を発揮する。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例のチップの搭載装置の前面側
斜視図

【図２】本発明の一実施例のチップの搭載装置の背面側
斜視図

【図３】本発明の一実施例のチップの搭載装置の側面図

【図４】本発明の一実施例のチップの搭載装置のヘッド
部分の断面図

【図５】本発明の一実施例のチップの搭載装置の平面図

【図６】本発明の一実施例のチップの搭載装置の平面図

【図７】本発明の一実施例のチップの搭載装置の平面図

【図８】本発明の一実施例のチップの搭載装置のチップ
供給部の要部斜視図

【図９】本発明の一実施例のチップの搭載装置のチップ
供給部に備えられたウェハホルダの位置決め機構の断面
図

【図１０】本発明の一実施例のチップの搭載装置のチッ
プ供給部に備えられたトレイとトレイホルダの斜視図

【図１１】本発明の一実施例のチップの搭載装置のチッ
プ供給部のウェハシートのテンション付与機構の断面図

【符号の説明】

２ ウェハ ２ａ ウェハホルダ ４ Ｘテーブル ５ Ｙテーブル ６ 第１のマガジン ７ 第２のマガジン ８ トレイ ９，１０ エレベータ １１，１５ プッシャ １２ 搬送部 １３ チャック爪 １４ アーム １６ 回収用アーム ２０ 基板 ２１ ガイドレール ３１ 移載ヘッド ３２ ノズル ３４ ノズルストッカ ５０ ヘッド部 ５１ センターロッド ５７ モータ ６１ 第１のかさ歯車 ６２ 第２のかさ歯車 ６８ カメラ ７０ ヘッド ７３ ノズル ８６ トレイホルダ ９１ 上板 ９５ 開口部 ９７ ガイド

Claims (5)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】チップ供給部と、基板の位置決め部と、こ
   のチップ供給部のチップをピックアップするノズルを複
   数個備えたヘッド部と、前記ノズルからチップを受け取
   って前記位置決め部に位置決めされた基板に搭載する移
   載ヘッドとを備えたチップの搭載装置であって、前記チ
   ップ供給部がウェハとトレイを一体的に保持する保持部
   と、ウェハやトレイに備えられた所定のチップを前記ノ
   ズルによるピックアップ位置へ移動させるためのＸテー
   ブルおよびＹテーブルと、チップのピックアップステー
   ションに位置する前記保持部の一方の側部に設けられて
   ウェハを段積して収納する第１のマガジンと、この第１
   のマガジンを昇降させるエレベータと、前記保持部とこ
   の第１のマガジンの間でウェハを受け渡しする受け渡し
   手段と、前記保持部の他方の側部に設けられてトレイを
   段積して収納する第２のマガジンと、この第２のマガジ
   ンを昇降させるエレベータと、前記保持部とこの第２の
   マガジンの間でトレイを受け渡しする受け渡し手段とを
   備えたことを特徴とするチップの搭載装置。
2. 【請求項２】前記保持部が、ウェハホルダに保持された
   ウェハを露呈させる開口部が開口された上板と、この上
   板の下面に設けられたガイドを備え、前記ウェハホルダ
   をこのガイドに沿って出し入れすることを特徴とする請
   求項１記載のチップの搭載装置。
3. 【請求項３】前記ヘッド部が前記ノズルに水平回転と上
   下回転を行わせる機構を備え、前記移載ヘッドが前記上
   下回転によって上下反転された前記ノズルの上端部のチ
   ップを受け取ることを特徴とする請求項１記載のチップ
   の搭載装置。
4. 【請求項４】前記ウェハとトレイが寸法の異る複数品種
   のチップを備え、また前記ヘッド部がチップサイズに応
   じて使い分けられる複数種の前記ノズルを備え、前記位
   置決め部に位置決めされた基板に多品種のチップを搭載
   できるようにしたことを特徴とする請求項１記載のチッ
   プの搭載装置。
5. 【請求項５】複数品種のノズルを装備するノズルストッ
   カを備え、前記移載ヘッドがこのノズルストッカに備え
   られたノズルとノズル交換を行うことを特徴とする請求
   項１記載のチップの搭載装置。