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JP2001267797A - 電子部品実装装置 - Google Patents

電子部品実装装置

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Publication number
JP2001267797A
JP2001267797A JP2000073830A JP2000073830A JP2001267797A JP 2001267797 A JP2001267797 A JP 2001267797A JP 2000073830 A JP2000073830 A JP 2000073830A JP 2000073830 A JP2000073830 A JP 2000073830A JP 2001267797 A JP2001267797 A JP 2001267797A
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JP
Japan
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electronic component
pickup head
suction
arm
transfer means
Prior art date
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Application number
JP2000073830A
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English (en)
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Inventor
Tomoaki Nakanishi
智昭 中西
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Panasonic Holdings Corp
Original Assignee
Matsushita Electric Industrial Co Ltd
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Publication date
Application filed by Matsushita Electric Industrial Co Ltd filed Critical Matsushita Electric Industrial Co Ltd
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Publication of JP2001267797A publication Critical patent/JP2001267797A/ja
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    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/74Apparatus for manufacturing arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and for methods related thereto
    • H01L2224/75Apparatus for connecting with bump connectors or layer connectors
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/74Apparatus for manufacturing arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and for methods related thereto
    • H01L2224/75Apparatus for connecting with bump connectors or layer connectors
    • H01L2224/757Means for aligning
    • H01L2224/75743Suction holding means

Landscapes

  • Supply And Installment Of Electrical Components (AREA)
  • Wire Bonding (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 多品種対応性に優れ電子部品実装作業を精度
よく効率的に行える電子部品実装装置を提供することを
目的とする。 【解決手段】 電子部品の供給部6から電子部品1を複
数のピックアップヘッドおよび移送手段によって順次受
け渡しすることにより、基板61上に実装する電子部品
実装装置において、第2のターンテーブル30のアーム
32に設けられた部品保持部32aに装着される吸着保
持部材36と第3のピックアップヘッド69に装着され
る吸着子72を、第2のターンテーブル30のアーム3
3に保持させる。これらの部品交換時には、アーム3
2,33を第3のピックアップヘッド69の下方に移動
させ、第3のピックアップヘッド69の移載機能を利用
して行う。これにより、多品種の電子部品に対応して精
度よく効率的に電子部品の実装を行うことができる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、電子部品を高速度
・高位置精度で基板に実装する電子部品実装装置に関す
るものである。
【0002】
【従来の技術】電子部品実装装置においては、電子部品
はトレイなどに電子部品を収納した電子部品の供給部か
ら電子部品をピックアップして実装対象の基板上に移送
・搭載することが行われる。この実装動作を効率化する
ため、また電子部品の移送動作に電子部品の認識動作を
組み合わせる必要があることなどから、供給部から実装
位置までの電子部品の移送は単一の移送手段でなく複数
の移送手段によって電子部品を順次受け渡しながら移送
する場合が多い。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】ところで、電子部品の
種類やサイズは近年ますます多様化しており、同一の電
子部品実装装置に求められる多品種対応の範囲は拡大す
る傾向にある。このため、電子部品を安定した姿勢で位
置ずれを生じることなく移送・搭載するためには、電子
部品に直接当接して吸着保持する部品を対象電子部品の
形状やサイズに応じた適切なものを用いる必要がある。
ところが、上記のように複数の移送手段の組み合わせに
よって電子部品が実装される電子部品実装装置では、従
来はそれぞれの移送手段の全てに多品種対応性を備える
ことが困難で、実装可能範囲が限定されるという問題点
があった。
【0004】したがって本発明は、多品種対応性に優れ
電子部品実装作業を精度よく効率的に行える電子部品実
装装置を提供することを目的とする。
【0005】
【課題を解決するための手段】請求項1記載の電子部品
実装装置は、電子部品の供給部と、この電子部品の供給
部に備えられた電子部品の位置を認識する第1の認識ユ
ニットと、この電子部品をピックアップする第1のピッ
クアップヘッドと、この第1のピックアップヘッドを第
1の受渡し位置へ移動させる第1の移送手段と、第1の
受渡し位置において第1のピックアップヘッドから電子
部品を受け取る第2のピックアップヘッドと、基板を所
定の位置に移動させる可動テーブルと、第1の受渡し位
置において前記第2のピックアップヘッドに保持された
電子部品を受け取って吸着保持する部品保持部を備え保
持した電子部品を可動テーブルの上方の第2の受渡し位
置へ移送する第2の移送手段と、第2の受渡し位置にあ
って第2のピックアップヘッドから第2の移送手段上に
受渡されて第2の移送手段により第2の受渡し位置まで
搬送されてきた電子部品を吸着子により真空吸着してピ
ックアップし可動テーブル上の基板に搭載する第3のピ
ックアップヘッドと、第3のピックアップヘッドにピッ
クアップされた電子部品の位置及び前記可動テーブル上
の基板の位置の認識を行う第2の認識ユニットとを備
え、前記部品保持部に装着されそれぞれ異なる種類の電
子部品の吸着保持に使用される複数の吸着保持部材と前
記第3のピックアップヘッドに装着されそれぞれ異なる
種類の電子部品のピックアップに使用される複数の吸着
子とを前記第2の移送手段に保持させた。
【0006】請求項2記載の電子部品実装装置は、請求
項1記載の電子部品実装装置であって、前記吸着保持部
材およびまたは吸着子の着脱を前記第3のピックアップ
ヘッドによって行う。
【0007】上記構成の本発明によれば、電子部品を移
送する第2の移送手段の部品保持部に装着されそれぞれ
異なる種類の電子部品の吸着保持に使用される複数の吸
着保持部材と第3のピックアップに装着されそれぞれ異
なる種類の電子部品のピックアップに使用される複数の
吸着子とを第2の移送手段に保持させることにより、多
品種の電子部品に対応して精度よく効率的に電子部品の
実装を行うことができる。
【0008】
【発明の実施の形態】次に本発明の実施の形態を図面を
参照しながら説明する。図1は、本発明の一実施の形態
の電子部品実装装置の側面図、図2は本発明の一実施の
形態の電子部品実装装置の平面図、図3は本発明の一実
施の形態の電子部品実装装置の部品保持部の斜視図、図
4は本発明の一実施の形態の電子部品実装装置の第3の
ピックアップヘッドの部分断面図、図5は本発明の一実
施の形態の電子部品実装装置における電子部品の移送工
程の説明図である。
【0009】まず、図1および図2を参照して、電子部
品実装装置の全体構造を説明する。電子部品1は、バン
プ2を上向きにしてトレイ3に収納されている。トレイ
3は保持テーブル4上に載せられており、保持テーブル
4は第1の可動テーブル5上に載せられている。以上の
要素は電子部品の供給部6を構成している。第1の可動
テーブル5が駆動することにより、トレイ3内の電子部
品1はピックアップ位置Pへ移動する。トレイ3の上方
には、電子部品1を認識するためのカメラから成る第1
の認識ユニット7が設けられている。
【0010】図2において、10は第1の移送手段とし
ての第1のターンテーブルであり、放射状に延出する3
本のアーム11を有している。各アーム11の内部には
水平な回転軸16(図1)が設けられており、その先端
部には第1のピックアップヘッド12が装着されてい
る。第1のピックアップヘッド12は、電子部品1を真
空吸着するノズル13を有している。
【0011】図1において、各回転軸16の基端部には
各々かさ歯車14が設けられている。15aは垂直な固
定軸15の下端部に回転不能に結合された固定かさ歯車
である。各々のかさ歯車14は固定かさ歯車15aに
1:1のギヤ比で歯合している。アーム11の上部には
アーム11と一体のプーリ17が固定軸15にベアリン
グを介して固定軸15を中心に回転自在に設けられてい
る。18はモータであり、その回転軸にはプーリ19が
装着されている。プーリ17とプーリ19にはタイミン
グベルト20が調帯されている。21は、適所に設けら
れたベアリングである。
【0012】したがってモータ18が駆動すると、アー
ム11は固定軸15を中心に矢印A方向(図2)に水平
回転する。アーム11が回転すると、回転軸16に装着
されているかさ歯車14も固定かさ歯車15aに歯合し
ながら回転し、回転軸16はその軸心を中心に回転する
(矢印B)。したがって、アーム11が固定軸15を中
心に180°回転するとトレイ3の電子部品1を真空吸
着したノズル13は回転軸16を中心に180°回転
し、これにより電子部品1は上下反転されてバンプ2を
下向きにする。
【0013】これと同時に第1のピックアップヘッド1
2は、電子部品1を第1の受け渡し位置へ移送する。す
なわちアーム11、かさ歯車14、固定軸15、固定か
さ歯車15a、回転軸16、プーリ17、モータ18、
プーリ19、タイミングベルト20等より構成される第
1のターンテーブル10は、第1のピックアップヘッド
12を上下反転させてノズル13に真空吸着された電子
部品1を上下反転させる上下反転手段と、第1のピック
アップヘッド12に保持した電子部品1を第1の受け渡
し位置S1へ移送する第1の移送手段とを兼ねている。
【0014】第1のターンテーブル10の側方には、第
2の移送手段である第2のターンテーブル30が設けら
れている。第2のターンテーブル30のセンターの垂直
な回転軸31からは、多数本のアームが放射状に延出し
ている。回転軸31は、モータ34に駆動されて回転
し、これによりこれらのアームは水平回転する。多数本
のアームのうち、1本は電子部品搬送用のアーム32、
他は吸着保持部材36および吸着子搬送用のアーム33
となっている。アーム32の先端部には、電子部品1を
保持するための部品保持部32aが形成されている。
【0015】図3を参照して、部品保持部32aについ
て説明する。図3において、アーム32の先端部には板
状の吸着保持部材36を装着する装着部35が設けられ
ている。装着部35には、部品吸着用の吸引孔35a、
吸着保持部材36を固定するための吸着溝35bおよび
吸着保持部材36を位置決めする位置決めピン35cが
設けられている。吸着保持部材36を装着部35上に載
置し、対角位置に設けられた位置決め部36bを装着部
35の位置決めピン35cに位置合わせした状態で吸着
溝35b内を真空吸引することにより、吸着保持部材3
6は装着部35上に真空吸引により固定される。すなわ
ち、吸着保持部材36は、アーム32の部品保持部32
aに対して着脱自在に装着される。
【0016】吸着保持部材36の上面には、電子部品を
吸着して保持する十字状の吸着溝36aが設けられてお
り、吸着保持部材36を装着部35上に載置した状態で
は、吸引孔35aは吸着溝36aと連通する。電子部品
を吸着保持部材36の上面に載置した状態で吸引孔35
aから真空吸引することにより、電子部品は吸着保持部
材36上に真空吸着により保持される。
【0017】ここで、吸着保持部材36および後述する
吸着子72は、電子部品の種類に応じた大きさ、形状を
有するものとなっており、本実施の形態では他種類の電
子部品への対応を可能とするため、複数種類の吸着保持
部材36および吸着子72を交換用として備えている。
すなわちこれらの交換用の吸着保持部材36および吸着
子72は、第2の移送手段である第2のターンテーブル
30のアーム33の先端部に保持されている。
【0018】図1において、第1のターンテーブル10
と第2のターンテーブル30の境界部の上方には、第2
のピックアップヘッド40が設けられている。第2のピ
ックアップヘッド40はノズル41を有している。第2
のピックアップヘッド40はブロック42の前面に設け
られた垂直なガイドレール43に上下動自在に装着され
ており、モータ44が駆動してブロック42に内蔵され
た上下動機構(図示せず)が作動するとガイドレール4
3に沿って上下動する。
【0019】また第2のピックアップヘッド40には、
ノズル41をその軸心を中心に回転させるモータ45が
備えられており、ノズル41をその軸心を中心に回転さ
せることにより、ノズル41の下端部に真空吸着された
電子部品1を水平回転させ、電子部品1の回転方向の向
きを補正する。ブロック42は移動テーブル46に保持
されており、モータ47が駆動すると、ブロック42や
第2のピックアップヘッド40はY方向に水平移動す
る。
【0020】図1において、第2のターンテーブル30
の回転軸31の下部にはブロック50が装着されてい
る。ブロック50の下面にはガイドレール51が設けら
れている。52はカメラを内蔵した第2の認識ユニット
であり、鏡筒53が前方へ延出している。第2の認識ユ
ニット52はスライダ54を介してガイドレール51に
装着されており、ブロック50に内蔵された駆動部(図
示せず)が駆動すると、第2の認識ユニット52および
鏡筒53はガイドレール51に沿ってY方向へ水平移動
する。
【0021】図1において、第1のターンテーブル10
と反対側の第2のターンテーブル30の下方には、第2
の可動テーブル60が配設されている。第2の可動テー
ブル60は、これに載せられた基板61をX方向やY方
向へ水平移動させ、基板61の位置調整を行う。すなわ
ち第2の可動テーブル60は基板の位置決め部となって
いる。
【0022】図1において、第2の可動テーブル60の
上方には、第3のピックアップヘッド69が設けられて
いる。第3のピックアップヘッド69から下方へ突出す
るノズル部70にはヒータ71が装着されており、また
ノズル部70の下端部には吸着子72が着脱自在に装着
されている。図4において、ノズル部70の内部の中央
には第1の吸引路73が形成されている。この第1の吸
引路73は吸着子72に形成された吸着孔74に連通し
ている。したがってこの吸着孔74の吸引力により、電
子部品1は吸着子72の下面に真空吸着される。
【0023】またノズル部70の内部には第2の吸引路
75が形成されており、第2の吸引路75の吸引力によ
り、吸着子72はノズル部70の下面に着脱自在に真空
吸着される。第1の吸引路73と第2の吸引路75は、
空気圧装置(図外)に接続されている。
【0024】図1において、第3のピックアップヘッド
69の側面にはスライダ75が装着されている。スライ
ダ75はブロック77の前面に設けられた垂直なガイド
レール76に嵌合している。ブロック77に備えられた
上下動手段(図示せず)が駆動すると、第3のピックア
ップヘッド69はガイドレール76に沿って上下動す
る。第3のピックアップヘッド69は、このように上下
動作のみを行い、水平方向の動作は行わない。その理由
は次のとおりである。
【0025】すなわち、第3のピックアップヘッド69
は、下降動作を行って吸着子72の下面に真空吸着され
た電子部品1のバンプ2を基板61の電極に押し付けて
ボンディングするが、この場合、電子部品1のすべての
バンプ2を均等な押圧力で基板61に押し付けねばなら
ないので、吸着子72の下面には完全な水平面性が要求
される。したがって第3のピックアップヘッド69は厳
密な剛性と直立性が要求されるので、第3のピックアッ
プヘッド69の支持手段(本実施の形態ではブロック7
7)は強固なものでなければならない。そこで第3のピ
ックアップヘッド69は、固設された(すなわち可動テ
ーブルではない)強固なブロック77にしっかり固設し
たものである。
【0026】この電子部品実装装置は上記のような構成
より成り、次に全体の動作を説明する。図1において、
第1の認識ユニット7でトレイ3内の所定の電子部品1
の位置認識を行い、この認識結果にしたがって、第1の
可動テーブル5を駆動して所定の電子部品1を第1のピ
ックアップヘッド12によるピックアップ位置Pに移動
させる。なお第1の認識ユニット7は、電子部品1の外
形からそのセンターを検出する。そして第1の可動テー
ブル5は、この電子部品1のセンターMが第1のピック
アップヘッド12のノズル13の直下に位置するように
電子部品1をX方向やY方向へ移動させる(図5
(a))。図5(a)においてΔθは、電子部品1の回
転方向のずれ量である。
【0027】次に第1のターンテーブル10が回転する
ことにより、第1のピックアップヘッド12を電子部品
1の上方へ移動させ、そこでノズル13が上下動作を行
うことにより、ノズル13の下端部に電子部品1を真空
吸着してピックアップする。この場合、上述のように第
1の可動テーブル5を駆動して電子部品1の位置を調整
したので、ノズル13は電子部品1のセンターを正しく
真空吸着する。なおノズル13の上下動手段は第1のピ
ックアップヘッド12に内蔵されている。
【0028】次にモータ18が駆動することにより第1
のターンテーブル10は矢印A方向(図2)へピッチ回
転し、ピックアップした電子部品1を第2のピックアッ
プヘッド40の下方へ搬送するが、このとき回転軸16
はかさ歯車14と固定かさ歯車15aの作用によりその
軸心を中心に矢印B方向へ回転し、ノズル13を上向き
にして電子部品1を上下反転させ、バンプ2を下向きに
する。図5(b)はこのときの電子部品1の平面図であ
るが、Δθはこの時点では残っている。
【0029】次に図1において、第2のピックアップヘ
ッド40のノズル41は上下動作を行い、ノズル13の
上端部の電子部品1をピックアップする。次に、第2の
ピックアップヘッド40が電子部品1をピックアップし
たならば、第1の認識ユニット7の認識結果にしたがっ
て、モータ45を駆動してノズル41を回転させること
により、電子部品1の回転方向のずれ量Δθの位置補正
を行う。また第2のターンテーブル30が回転し、アー
ム32の先端部が第2のピックアップヘッド40の直下
へ移動してくる(図5(c))。
【0030】そこで第2のピックアップヘッド40は上
下動作を行い、電子部品1をアーム32上の部品保持部
32aに受け渡す。受け渡された電子部品1は、装着部
35(図3参照)上に載置され、吸着溝35bによって
真空吸着されて保持される。すなわち第2のピックアッ
プヘッド40のノズル41の配設位置は、電子部品1を
第1のピックアップヘッド12から第2のピックアップ
ヘッド40へ受け渡し、また第2のピックアップヘッド
40からアーム32へ受け渡す第1の受渡し位置S1に
なっている。
【0031】次に第2のターンテーブル30は180°
水平回転し、電子部品1を第3のピックアップヘッド6
9の直下まで搬送する。図1において鎖線で示すアーム
32はこのときの状態を示している(図5(c)も参
照)。次に第3のピックアップヘッド69は上下動作を
行い、この電子部品1を吸着子72の下面に真空吸着し
てピックアップする。すなわち、第3のピックアップヘ
ッド69の直下は、アーム32から吸着子72に電子部
品1を受け渡す第2の受渡し位置S2となっている。
【0032】次にアーム32は第3のピックアップヘッ
ド69の直下から退去し、第2の認識ユニット52は吸
着子72に真空吸着された電子部品1側へ前進して鏡筒
53の先端部を電子部品1の直下へ移動させ、電子部品
1の位置認識を行う。この位置認識は、バンプ2などの
電子部品1の特徴部を観察することにより行う。また第
2の認識ユニット52は、基板61の特徴部を観察する
ことにより、基板61の位置認識も行う。
【0033】次にこの位置認識の結果にしたがって、第
2の可動テーブル60を駆動して基板61をX方向やY
方向へ水平移動させ、電子部品1の搭載位置を吸着子7
2に真空吸着された電子部品1の直下へ移動させる。次
に第3のピックアップヘッド69を下降させて電子部品
1のバンプ2を基板61の電極上に着地させ、その状態
でヒータ71の伝熱によりバンプ2を加熱しながら電極
に押し付けて電極にボンディングする。
【0034】この場合、上述したように第3のピックア
ップヘッド69は強固なブロック77にしっかり装着さ
れているので、吸着子72の下面の水平面性を維持し、
すべてのバンプ2を均等な押圧力で基板61の電極に押
し付けてボンディングできる。次いで第3のピックアッ
プヘッド69は上昇し、一連の動作は終了する。
【0035】なお、アーム32上の電子部品1を第3の
ピックアップヘッド69でピックアップする場合、電子
部品1は吸着子72の直下に正しく位置させる必要があ
る。何故ならば、電子部品1のセンターが吸着子72の
センターから位置ずれして電子部品1が吸着子72にピ
ックアップされると、電子部品1のすべてのバンプ2を
基板61の電極に均等な押圧力で押し付けてボンディン
グできないからである。そこで次に、電子部品1を吸着
子72に位置ずれなく正しくピックアップさせる方法に
ついて説明する。
【0036】吸着子72に真空吸着されて第2の認識ユ
ニット52で認識された電子部品1の位置より電子部品
1の中心Mと吸着子72の中心(予め検出されている)
の位置ずれを求める。この位置ずれには一定の傾向があ
るので現在吸着子72に吸着されている電子部品1の位
置ずれを、次の電子部品1が第2のピックアップヘッド
40でアーム32へ受け渡されるときのフィードバック
データとして使用することができる。
【0037】すなわち上述した位置ずれは、モータ34
とモータ47の制御部(図示せず)にフィードバックさ
れる。そしてX方向の位置ずれは、モータ34の駆動に
よる第2のターンテーブル30の回転角度を調整するこ
とにより補正し、またY方向の位置ずれはモータ47を
駆動して第2のピックアップヘッド40をY方向へ移動
させることにより補正する。
【0038】この補正によってアーム32の部品保持部
32aに対する電子部品1の保持位置を、このアーム3
2が第3のピックアップヘッド69の下方へ移動したと
きにこのアーム32に保持されている電子部品1の中心
が吸着子72の中心に合致するように変更する。勿論、
Y方向の移動テーブル46にX方向の移動テーブルを結
合するなどして、このX方向の移動テーブルでX方向の
位置ずれを補正するようにしてもよい。
【0039】以上のようにして第2の認識ユニット52
に入手されたデータにしたがってモータ34,47を制
御すれば、第3のピックアップヘッド69に受け渡され
る電子部品1の位置補正を行って、電子部品1を吸着孔
72に正しくピックアップさせて、すべてのバンプ2を
均等な押圧力で基板61にボンディングすることができ
る。
【0040】ところで、基板に実装される電子部品の寸
法は大小様々であり、移送時に電子部品1を保持する部
品保持部32aの吸着保持部材36や、搭載時に電子部
品1を吸着する吸着子72は、移送時や搭載時の電子部
品1の姿勢を保ち位置ずれを防ぐために電子部品1の品
種(寸法)によって交換することが望ましい。そこで本
実施の形態では、吸着保持部材36や吸着子72のよう
に直接電子部品に当接して保持する部品を電子部品の品
種に対応させて複数備え、実装対象に応じて適宜交換し
て用いるようにしている。以下、吸着保持部材36およ
び吸着子72の交換方法について説明する。
【0041】図2において、多数個のアーム33の先端
部には複数種類の異なる電子部品に対応した吸着保持部
材36および吸着子72が保持されており、アーム33
が水平回転することにより、所望のアーム33の先端部
を第3のピックアップヘッド69の直下に移動させるこ
とができる。
【0042】まず吸着保持部材36の交換方法について
説明する。空のアーム33を第3のピックアップヘッド
69の直下へ移動させ、そこで第3のピックアップヘッ
ド69に上下動作を行わせることにより、ノズル部70
の下面に真空吸着されていた吸着子72をこのアーム3
3上に載せて回収する。次いで、部品保持部32aが設
けられているアーム32を第3のピックアップヘッド6
9の直下に移動させて同様に第3のピックアップヘッド
に上下動を行わせることにより、既存の吸着保持部材3
6を第3のピックアップヘッド69によって吸着して取
り外す。
【0043】そして、新たに空のアーム33を第3のピ
ックアップヘッド69の下方に移動させて、取り外した
吸着保持部材36をこのアーム33上に回収する。次い
で、新たに装着される所望の吸着保持部材36を載置し
たアーム33を第3のピックアップヘッド69の下方に
移動させる。そして前記と同様の操作により第3のピッ
クアップヘッド69の移載機能を利用して吸着保持部材
36をアーム32の部品保持部32aに移載し、吸着保
持部材36の交換を終了する。
【0044】吸着子72の交換も同様の操作により行わ
れる。すなわち空のアーム33を第3のピックアップヘ
ッド69の直下へ移動させ、そこで第3のピックアップ
ヘッド69に上下動作を行わせることにより、ノズル部
70の下面に真空吸着されていた吸着子72をこのアー
ム33上に載せて回収する。次に所望の吸着子72が載
せられたアーム33を第3のピックアップヘッド69の
直下に移動させ、そこで再度第3のピックアップヘッド
69に上下動作を行わせて、この吸着子72をノズル部
70の下面に真空吸着する。
【0045】以上のように、電子部品1を移送する部品
保持部32aの吸着保持部材36や、搭載時に電子部品
1をピックアップする吸着子72を電子部品の品種に応
じて複数備えることにより、認識結果に基づいて既に姿
勢補正が行われた状態の電子部品を安定した姿勢で位置
ずれなく吸着保持することができる。したがって、移送
時や搭載動作時の電子部品の位置ずれを防止して、実装
精度を確保することができる。
【0046】また、交換用の吸着保持部材36や吸着子
72を第3のピックアップ69の移載機能が利用可能な
第2の移送手段に備えることにより、品種切り換え時に
はこれらの交換部品の交換作業を自動化することがで
き、多品種対応が容易に行える。
【0047】
【発明の効果】本発明によれば、電子部品を移送する第
2の移送手段の部品保持部に装着されそれぞれ異なる種
類の電子部品の吸着保持に使用される複数の吸着保持部
材と第3のピックアップに装着されそれぞれ異なる種類
の電子部品のピックアップに使用される複数の吸着子と
を第2の移送手段に保持させるようにしたので、実装精
度を確保するとともに、多品種の電子部品に対応して効
率よく電子部品の実装を行うことができる。またこれら
の吸着保持部材や吸着子の着脱を第3のピックアップヘ
ッドによって行うようにすれば、品種切り換えを自動化
して段取り替え作業を効率化することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施の形態の電子部品実装装置の側
面図
【図2】本発明の一実施の形態の電子部品実装装置の平
面図
【図3】本発明の一実施の形態の電子部品実装装置の部
品保持部の斜視図
【図4】本発明の一実施の形態の電子部品実装装置の第
3のピックアップヘッドの部分断面図
【図5】本発明の一実施の形態の電子部品実装装置にお
ける電子部品の移送工程の説明図
【符号の説明】
1 電子部品 2 バンプ 5 第1の可動テーブル 6 電子部品の供給部 7 第1の認識ユニット 10 第1のターンテーブル 12 第1のピックアップヘッド 13 ノズル 30 第2のターンテーブル 32,33 アーム 32a 部品保持部 35 装着部 36 吸着保持部材 40 第2のピックアップヘッド 46 移動テーブル 52 第2の認識ユニット 60 第2の可動テーブル 61 基板 69 第3のピックアップヘッド 72 吸着子 S1 第1の受け渡し位置 S2 第2の受け渡し位置

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】電子部品の供給部と、この電子部品の供給
    部に備えられた電子部品の位置を認識する第1の認識ユ
    ニットと、この電子部品をピックアップする第1のピッ
    クアップヘッドと、この第1のピックアップヘッドを第
    1の受渡し位置へ移動させる第1の移送手段と、第1の
    受渡し位置において第1のピックアップヘッドから電子
    部品を受け取る第2のピックアップヘッドと、基板を所
    定の位置に移動させる可動テーブルと、第1の受渡し位
    置において前記第2のピックアップヘッドに保持された
    電子部品を受け取って吸着保持する部品保持部を備え保
    持した電子部品を可動テーブルの上方の第2の受渡し位
    置へ移送する第2の移送手段と、第2の受渡し位置にあ
    って第2のピックアップヘッドから第2の移送手段上に
    受渡されて第2の移送手段により第2の受渡し位置まで
    搬送されてきた電子部品を吸着子により真空吸着してピ
    ックアップし可動テーブル上の基板に搭載する第3のピ
    ックアップヘッドと、第3のピックアップヘッドにピッ
    クアップされた電子部品の位置及び前記可動テーブル上
    の基板の位置の認識を行う第2の認識ユニットとを備
    え、前記部品保持部に装着されそれぞれ異なる種類の電
    子部品の吸着保持に使用される複数の吸着保持部材と前
    記第3のピックアップに装着されそれぞれ異なる種類の
    電子部品のピックアップに使用される複数の吸着子とを
    前記第2の移送手段に保持させたことを特徴とする電子
    部品実装装置。
  2. 【請求項2】前記吸着保持部材およびまたは吸着子の着
    脱を前記第3のピックアップヘッドによって行うことを
    特徴とする請求項1記載の電子部品実装装置。
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