JP2981931B2 - アルミニウム箔のエッチング廃液を処理する方法 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明はアルミニウムを含む廃酸
の処理方法に関する。更に詳しくはアルミニウムのエッ
チング等に於けるＨＣｌを主成分とする無機酸による処
理から発生した廃液中に含まれる有価物を二次公害の恐
れのないように回収再資源化する方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】アルミニウム箔を用いるコンデンサー製
造業に於いてキャパシティー増大のためのアルミニウム
箔エッチング用無機酸として、塩酸を主成分とするＨ_３
ＰＯ_４、Ｈ_２ＳＯ_４、ＨＮＯ_３等の混酸を利用してい
る。このエッチング工程より大量にＡｌを溶解した廃酸
が排出されている。

【０００３】従来のこれら廃酸の処理方法としては、ア
ルミニウム屑を加えて廃酸中の遊離酸を中和するか、濃
縮して揮発性遊離酸の大部分を溜去回収した後に、排水
処理凝集剤ＰＡＣ（ポリ塩化アルミニウム）の代替凝集
剤とするものであった。一方最近になって、ＡｌＣｌ_３
を焙焼熱分解しアルミナと塩化水素を回収することも試
みられている。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】上記ＰＡＣ代替塩化ア
ルミ凝集剤は廃酸に含まれる硝酸イオン、燐酸イオンを
含み、排水処理上澄液である最終放流水にこれらイオン
が微生物に対する富栄養源として混入する欠点があっ
た。一方上記の熱分解法は原料としての塩酸回収及び二
次汚染のないアルミナとして回収される好ましい方法と
考えられるが、エッチング廃液にそのまま適用する時は
次の欠点を有する。

【０００５】即ち、本発明の目的とする廃酸は陰イオン
としてＣｌ⁻のみならず、ＮＯ_３ ⁻、ＳＯ_４ ^２−ＰＯ_４
^３−等から選ばれた少くとも一種を含むものである。こ
の中ＮＯ_３ ⁻のみは濃縮過程でその一部がＨＮＯ_３とし
て溜出回収されるが、全部を溜出回収することは平衡上
困難である。また硫酸、燐酸等は不揮発性であり、遊離
酸としてあるいはアルミニウム塩として濃縮液中に残留
する。濃縮廃酸が硝酸根や硫酸根を含む場合、これらは
焙焼に際して、大気汚染防止上有害なＮＯｘ、ＳＯｘと
なるのでこれらの除去が厄介な問題となる。

【０００６】又濃縮廃酸が燐酸根を含んでいる時は、こ
れが遊離の燐酸であっても、それは焙焼に際して燐酸ア
ルミニウムの形で固定されアルミナ中に混入することに
なる。燐酸アルミニウムは熱的に安定な化合物であり、
かつ水に対する溶解度も極めて小さいのでアルミナと分
離することは困難で、折角焙焼によって回収したアルミ
ナの品質を阻害する。

【０００７】本発明は、上記の様な焙焼に伴う大気汚染
を防止し、かつ燐酸根を含まない高純度のアルミナを回
収するという課題を解決しようとするものである。同時
に高価な燐酸を主目的とし、各酸を回収して循環使用す
る方法を提供するものである。

【０００８】

【課題を解決するための手段】本発明の取扱う廃液処理
上の課題は、先ず廃液中に含まれるＰＯ_４ ^３−イオン、
ＳＯ_４ ^２−イオンあるいはＮＯ_３ ⁻イオンを如何に酸と
してＡｌＣｌ_３と分離するかにある。本発明は、これら
の分離酸を塩酸と共に回収再利用すると同時に、純度の
高いアルミナも回収し、セラミック原料として再資源化
するといった二次汚染のない廃液の処理方法を提供する
ものである。

【０００９】以下図面を用いて本発明を説明する。全工
程を図１にブロックフローで示す。アルミニウム箔エッ
チングより排出された廃酸は通常数ｗｔ％のＡｌイオン
とＨＣｌの外、１％内外のＨＮＯ_３、Ｈ_２ＳＯ_４あるい
はＨ_３ＰＯ_４等の無機酸又は酸根を溶含している。これ
が蒸発濃縮により重量で１／５〜１／６に濃縮減量さ
れ、本濃縮により留出した塩酸、一部の硝酸等を含む揮
発性酸は多量の水蒸気と共に間接冷却され凝縮液として
回収される。濃縮液はＰＡＣ凝集剤代替品として排水処
理に、凝縮液は成分調整の上エッチングに再利用される
のが従来技術の代表例である。

【００１０】

【図１】

【００１１】本発明は、この濃縮液に３５〜１００％の
濃度の塩酸水溶液又はＨＣｌ含有ガス、好ましくは濃度
９０〜１００％のＨＣｌ含有ガスを混合又は吸収させ、
濃縮溶液中の遊離ＨＣｌの濃度を上げて行くことにより
ＡｌＣｌ_３・６Ｈ_２Ｏの結晶を析出させ遊離の無機酸を
塩酸中に回収するものである。

【００１２】廃液の濃縮度は、Ａｌ^３＋イオンとして４
〜６ｗｔ％程度が好ましくＡｌＣｌ_３として略２０〜３
０ｗｔ％である。これ以下ではＨＣｌの使用量やエネル
ギー的に不経済となり、３０ｗｔ％以上では不純な結晶
が析出し易くなり、操業上不都合である。

【００１３】所でＨ_２Ｏ−ＡｌＣｌ_３系のＡｌＣｌ_３の
溶解度は例えば２５℃において溶液全体に対して約３１
ｗｔ％であり、ＨＣｌ以外の無機酸を１０％程度含んで
いても、それらを除いたＨ_２Ｏ−ＡｌＣｌ_３系として計
算すれば、純粋系の溶解度曲線とあまり違わないことが
発明者らの実験で明らかになった。

【００１４】なお廃液はそのままで数ｗｔ％のＡｌＣｌ
_３相当分を含み、晶析時の溶解度は＜１ｗｔ％に出来る
ので特に濃縮を行わなくても本発明の分離回収プロセス
は成立する。エネルギー的には濃縮した方が一般によ
く、濃縮するのであれば前記の濃度が適当である。

【００１５】今、この溶液に、塩酸あるいはＨＣｌを加
えてＨＣｌの濃度を上げて行くと、ＨＣｌ濃度が他の無
機酸を含まない場合約２５ｗｔ％に至るまでその濃度に
対してＡｌＣｌ_３の溶解度は直線的に落ちて行く。本発
明の様に無機酸を１０ｗｔ％前後含む場合は無機酸を除
いて計算したときＨＣｌ濃度２７ｗｔ％程度迄略同じ溶
解度曲線上をたどって直線的に溶解度が減少する。

【００１６】即ち、ＡｌＣｌ_３の飽和溶解度曲線はＨ_２
Ｏ−ＨＣｌ−ＡｌＣｌ_３系の三角図表で表せば、Ｈ_２Ｏ
が約６９〜７０ｗｔ％の位置を、Ｈ_２Ｏ １００％点の
対辺であるＡｌＣｌ_３−ＨＣｌ線に平行して、他の無機
酸を含まない場合はＡｌＣｌ_３が約５％、含む場合は約
３％となるまで略直進することがわかった。このこと
は、溶解度曲線が上記のＡｌＣｌ_３濃度に達するまでは
ＨＣｌ濃度の増加と共にＨ_２Ｏ−ＨＣｌ線のＨＣｌ約３
０ｗｔ％（≒Ｈ_２Ｏ ７０ｗｔ％）の点に向っているこ
とを示す。

【００１７】この溶解度曲線は上記のＡｌＣｌ_３濃度辺
りから、ＨＣｌ １００％の頂点方向へ向って、即ちＨ
Ｃｌの高濃度側へ向って湾曲してくる。これらのこと
は、ＡｌＣｌ_３の晶析の目的で塩酸を溶液に加える場
合、その濃度が約３０ｗｔ％以上でないとＡｌＣｌ_３・
６Ｈ_２Ｏの晶析はあり得ないことを示す。

【００１８】本発明に於いて晶析のために加えるべき塩
酸の濃度として３５ｗｔ％以上としたのは叙上の理由か
ら少くとも３０ｗｔ％以上でないと晶出が原理的に起こ
らないことと、更に３５ｗｔ％以下の濃度では、使用す
べき塩酸の量が多くなり過ぎて実用的でないことによ
る。而してＨＣｌ−Ｈ_２Ｏ系のＨＣｌ濃度は３５ｗｔ％
以上より、高い程よいことはいうまでもない。ＨＣｌ含
有ガスがＨ_２Ｏ以外の不活性ガスを含む時は、不活性ガ
スを除いたＨ_２Ｏ−ＨＣｌ系においてＨ_２Ｏの分圧は晶
析条件の液上のＨ_２Ｏ平衡分圧以下、ＨＣｌの分圧は液
上の平衡分圧以上であることが望ましい。Ｈ_２Ｏの分圧
がそれ以上であるときは吸収されたＨ_２ＯとＨＣｌの比
がＨＣｌ ３５ｗｔ％以上である様な分圧までは実際は
ともかく原理的には差支えない。勿論、１００％ＨＣｌ
が平衡的には最良である。

【００１９】ＨＣｌの吸収は発熱反応であり、晶析に際
しては冷却を要する。ＡｌＣｌ_３の溶解度は温度による
変化が０゜〜１００℃に於いて小さいから吸収温度を高
くする方が冷却水の点で有利である。

【００２０】晶析時の液相に於けるＨＣｌの濃度は高い
方が溶存ＡｌＣｌ_３は少くなるが、母液を循環使用する
場合ＡｌＣｌ_３が多少返送されてもエッチング用に再利
用することは可能である。それ故、液相のＨＣｌ濃度
を、つまり、晶析用ＨＣｌ量と、洗浄用ＨＣｌ量との和
を回収無機酸特にＨ_３ＰＯ_４との比においてエッチング
用原液と等しいかそれ以下程度にしておけば、結晶を分
離した母液＋洗液をそのまま稀釈することにより、後は
簡単な調整で再使用することも可能である。晶析に際し
ての好適なＨＣｌ濃度は実用上約２０〜４０ｗｔ％であ
り、好ましくは２５〜３５ｗｔ％である。

【００２１】上記したＨＣｌ吸収晶析操作により濃縮液
中の大部分のＡｌイオンはＡｌＣｌ_３・６Ｈ_２Ｏ結晶と
して析出させ、これを母液と結晶に遠心分離機等の固液
分離装置により分離させ濃縮液中に含まれるＨ_３Ｐ
Ｏ_４、Ｈ_２ＳＯ_４、ＨＮＯ_３等の無機酸を母液中に、Ａ
ｌイオンをＡｌＣｌ_３結晶として分離回収するものであ
る。

【００２２】分離したＡｌＣｌ_３・６Ｈ_２Ｏの結晶ケー
キは分離装置にもよるが、結晶の粒径によって通常１０
〜４０％の母液を粒間に含んでいる。一般に結晶粒径が
大きい程付着母液は少くなるが、結晶粒子内に包含され
る母液の量（これは洗浄によっては除き難い）は増大す
るとされている。いずれにせよ、粒間に含まれる母液は
出来るだけ除去することが、無機酸の回収率を上げ、か
つ分離結晶の純度を高める所以である。

【００２３】この目的の為には結晶母液を置換するため
に洗浄することが肝要であり、洗浄液としてはＡｌＣｌ
_３・６Ｈ_２Ｏの溶解度の小さい３０〜３６ｗｔ％、好ま
しくは３５ｗｔ％前後の濃度の塩酸を用いればよい。Ａ
ｌＣｌ_３の溶解度は３０ｗｔ％塩酸で約２ｗｔ％以下、
３５ｗｔ％塩酸で約０．５ｗｔ％以下であるから、洗浄
によるＡｌＣｌ_３・６Ｈ_２Ｏの損失は少い。この操作に
より無機酸例えばＨ_３ＰＯ_４の回収率を約７０％から９
９％程度に容易に高め得る。

【００２４】一方、後述の様に分離回収したＡｌＣｌ_３
・６Ｈ_２Ｏ結晶を熱分解して高純度のＡｌ_２Ｏ_３を得る
目的の為には、よく洗浄した結晶を用いる必要があるこ
とは勿論である。更にスリーナイン、ファイブナイン等
の高純度のものが要求される時は結晶の再溶解、再晶析
を繰返すことも必要である。この再晶析によって三価の
鉄分がよく除去されるが、母液から鉄分を除くには陰イ
オン交換樹脂を用いるとよい。

【００２５】ここで得られた純度の高いＡｌＣｌ_３・６
Ｈ_３Ｏは羊毛精製、防腐剤、染色、製紙等に用い得るの
は勿論、高純度アルミナ原料としても有用である。

【００２６】ＡｌＣｌ_３・６Ｈ_２Ｏの分解の目的はＡｌ
_２Ｏ_３の取得とＨＣｌの回収とにあるが、それは流動
層、循環流動層、移動層反応器、スプレーロースター、
ロータリーキルン等の単独若しくは組合せによって行わ
れる。ＡｌＣｌ_３・６Ｈ_２Ｏは２００〜２５０°の低温
でも９０％以上分解可能とされている。従って低温で間
接加熱を行いつつ少量の媒体ガス中で熱分解し高濃度の
ＨＣｌ含有ガスを得、このガスを直接ＡｌＣｌ_３・６Ｈ
_２Ｏの晶析中に用いる様な操作も可能である。

【００２７】 ２ＡｌＣｌ_３・６Ｈ_２Ｏ→Ａｌ_２Ｏ_３＋６ＨＣｌ＋９Ｈ_２Ｏ

【００２８】に従って分解するとすると、完全な間接加
熱によって生成するＨＣｌの濃度は化学量論的にはＨＣ
ｌ ４０ｍｏｌ％ Ｈ_２Ｏ ６０ｍｏｌ％、実際には流
動化の為に多少の不活性ガスが導入されるので間接加熱
分解によって生成するガスの組成は例えばＨＣｌ ３５
ｍｏｌ％、不活性ガス８〜１０ｍｏｌ％残りＨ_２Ｏとい
った程度である。

【００２９】しかし間接加熱が有利なのは低温分解であ
るから、この場合、若干のＣｌ分が生成アルミナ中に残
留する。それ故、更に別の手段で、即ち直接熱ガスと接
触させる高温処理を行う必要が生じることはいうまでも
ない。この後の分解で生じる分解ガスの組成は、ＨＣｌ
が例えば６〜７ｍｏｌ％、不活性ガス５０〜６０ｍｏｌ
％、残りＨ_２Ｏといった様なものである。この間接加
熱、直接加熱の２段分解のメリットは高濃度のＨＣｌガ
スが直接得られる外に高温直接加熱一段分解と比較して
取扱うべきガス量が大幅に減少することである。

【００３０】高温分解の場合、残留塩化物を合理的な滞
留時間内に０．１％以下程度迄に分解するのに必要な温
度は約８５０〜９００℃であり、水蒸気の存在がこの分
解を促進する。しかし多量の水蒸気の存在はＨＣｌの吸
収濃度を下げるので適当に選ぶことが肝要である。

【００３１】本発明に於ける無機酸、特にＨＣｌの流れ
は図１に従えば次の如くである。従来法による廃液の蒸
発濃縮の際に生成する凝縮液は硝酸の様な揮発性酸があ
るときはそれを少量含有する濃度５〜１０ｗｔ％の稀塩
酸である。

【００３２】この凝縮液は一部分はエッチング液の調整
に利用されることもある。残りは熱分解焙焼のＡｌ_２Ｏ
_３を分離後の排気ガスからＨＣｌを吸収する為に使用す
るのが好ましい利用法である。

【００３３】Ａｌ_２Ｏ_３としてＡｌ分を全て回収する場
合には、Ｃｌ分の損失は僅かとなるが、その補給には晶
析工程への１００％ＨＣｌガスあるいは結晶洗浄用の３
５％塩酸として補給するとよい。

【００３４】高温一段分解の場合、焙焼生成物からＡｌ
_２Ｏ_３を除いた残りのガス、焙焼ガス中のＨＣｌは反応
方法にもよるが約１０〜２０ｍｏｌ％濃度であり、不活
性ガス５０ｍｏｌ％前後、残り水分となる。このＨＣｌ
を水又は前述の廃液濃縮時の凝縮液である稀塩酸に吸収
させ、次いでＣａＣｌ_２などの塩を用いる抽出蒸留ある
いは加圧蒸留−常圧蒸留の組合せによる濃縮によって必
要に応じて１００ｗｔ％ＨＣｌ、あるいは３５％塩酸を
製造し晶析工程あるいは洗浄工程に使用する。

【００３５】一方洗浄液を合せた回収無機酸を含む分離
母液は、ＨＣｌ濃度が３０〜３５ｗｔ％と相当に高いの
で常圧蒸留と分縮の組合せによって容易に１００％ＨＣ
ｌと３５％塩酸を得ることが出来る。これらは夫々晶析
工程分離工程における洗浄等に循環使用される。

【００３６】母液蒸留塔の塔底液は少量のＡｌＣｌ_３を
含んでいるが、回収したＨ_３ＰＯ_４等の無機酸を当初の
エッチング用原液の数倍程度の濃度に含有するので、こ
れに先の廃液濃縮時の凝縮稀塩酸その他を加えて成分調
整の上、Ａｌ箔のエッチングに再利用することが出来
る。

【００３７】

【実施例】実施例１ 試薬によりアルミニウム箔エッチング廃液濃縮液の一例
としてＡｌＣｌ_３：２４．７ｗｔ％、ＨＣｌ：１．４ｗ
ｔ％、Ｈ_３ＰＯ_４：３．９ｗｔ％、ＨＮＯ_３：０．８ｗ
ｔ％の擬似液を１２４ｇ調合し、この液に１００％塩化
水素ガスを液温２５℃に調節しながら３７ｇ吸収させ、
ＡｌＣｌ_３・６Ｈ_２Ｏを析出させ、ガラスフィルターに
より母液と結晶ケーキに分離し、ＡｌＣｌ_３：１．６ｗ
ｔ％、ＨＣｌ：２７．９ｗｔ％、Ｈ_３ＰＯ_４：３．９ｗ
ｔ％、ＨＮＯ_３：０．１ｗｔ％の分離母液８３ｇを得
た。この時の母液中に含まれる燐酸の回収率は６８％で
あった。

【００３８】更にガラスフィルター上に残った結晶ケー
キを３５％塩酸水溶液１０６ｇに懸濁し、再び濾過する
ことにより、付着母液を置換洗滌し、洗滌後の結晶ケー
キ８９ｇ、及びＡｌＣｌ_３：０．４ｗｔ％、ＨＣｌ：３
２．８ｗｔ％、Ｈ_３ＰＯ_４：１．２ｗｔ％、ＨＮＯ_３：
分析限界以下の洗滌濾液８９ｇを得た。母液及び洗滌濾
液を合せた燐酸回収率は８９％であった。又擬似液中の
ＡｌＣｌ_３の９３．５％が洗滌後の結晶ケーキとして回
収された。

【００３９】実施例２ ＨＣｌ １１部、Ｈ_２ＳＯ_４ １部、Ｈ_３ＰＯ_４ １．
５部、Ｈ_２Ｏ ８６．５部から成る酸水溶液に１．２３
４部（各重量部）のＡｌ金属片を溶解し、ＡｌＣｌ_３
６．０ｗｔ％、ＨＣｌ ５．９ｗｔ％、Ｈ_２ＳＯ_４
１．０ｗｔ％、Ｈ_３ＰＯ_４ １．５ｗｔ％、Ｈ_２Ｏ８
６．６ｗｔ％相当の水溶液を作り、これを模擬エッチン
グ廃液とした。

【００４０】この液１０１．１ｇを濃縮し、ＡｌＣｌ_３
２６．０ｗｔ％、ＨＣｌ≒０、Ｈ_２ＳＯ_４ ４．２ｗ
ｔ％、Ｈ_３ＰＯ_４ ６．４ｗｔ％残りＨ_２Ｏの濃縮液２
３．５ｇを得た。

【００４１】この濃縮液を冷却しつつボンベからの１０
０％ＨＣｌガスを液温２５℃を保ちつつ５ｇ吸収させた
所ＡｌＣｌ_３・６Ｈ_２Ｏの白色結晶が析出した。

【００４２】この結晶をガラスフィルターで空気加圧下
に濾過し、更に３５％塩酸１７．１ｇを数回に分けて注
ぎ良く洗浄した。母液並びに洗浄液を集めたものは３
２．１ｇであり、その組成はｗｔ％でＡｌＣｌ_３ ０．
２、ＨＣｌ ３１．５、Ｈ_２ＳＯ_４ ３．１、Ｈ_３ＰＯ
_４ ４．７、Ｈ_２Ｏ ６０．５であった。この液に３５
％塩酸２．５ｇとＨ_２Ｏ ６５．４ｇを加えたものの組
成は約０．０５ｗｔ％のＡｌＣｌ_３を含む外は始めの酸
水溶液の組成に略等しいものであった。

【００４３】実施例３ 実廃液濃縮液でＡｌＣｌ_３：２７．２ｗｔ％、ＨＣｌ：
痕跡、Ｈ_３ＰＯ_４：６．３ｗｔ％、Ｈ_２ＳＯ_４：０．１
ｗｔ％、ＨＮＯ_３：１．５ｗｔ％組成のものを２７５ｇ
秤り取り、これに１００％塩化水素ガスを液温６５℃に
調節しながら４５ｇ吸収させ、ＡｌＣｌ_３・６Ｈ_２Ｏを
析出させて、ガラスフィルターを用いて大気の下で母液
と結晶ケーキに分離した。

【００４４】分離母液はＡｌＣｌ_３：１．７ｗｔ％、Ｈ
Ｃｌ：２５．９ｗｔ％、Ｈ_３ＰＯ_４：８．９ｗｔ％、Ｈ
_２ＳＯ_４：０．１ｗｔ％、ＨＮＯ_３：０．１６ｗｔ％の
濃度のもの１４０ｇ、結晶ケーキ１８０ｇを得た。

【００４５】この時の回収母液中に含まれる燐酸の回収
率は７２％、結晶ケーキに含まれるＡｌＣｌ_３の回収率
は９８％であった。この結晶ケーキを３５ｗｔ％塩酸溶
液２４６ｇに再懸濁濾過、洗滌し、洗滌濾液２１２ｇを
得た。その組成はＡｌＣｌ_３：０．４ｗｔ％、ＨＣｌ：
３３．０ｗｔ％、Ｈ_３ＰＯ_４：１．８ｗｔ％、ＨＮ
Ｏ_３：痕跡であった。

【００４６】一回目の洗滌濾液と母液に含まれる燐酸回
収率は、９３％であった。更に３５ｗｔ％塩酸２１１ｇ
で結晶ケーキを洗滌し、この時得られた二回目の洗滌濾
液は２０３ｇ、組成ＡｌＣｌ_３：０．３ｗｔ％、ＨＣ
ｌ：３３．８ｗｔ％、Ｈ_３ＰＯ_４：０．２２ｗｔ％、Ｈ
ＮＯ_３：痕跡であった。

【００４７】母液及び１，２回目の洗滌濾液に回収され
る燐酸の総合的回収率は夫々９６％，９８％であり，２
回目の洗滌結晶ケーキに含まれるＡｌＣｌ_３の回収率は
９６％であった。

【００４８】実施例４ 実施例１、及び３で得られた洗滌後の結晶ケーキを水蒸
気雰囲気下、８５０℃で焙焼して得られたＡｌ_２Ｏ_３の
純度は夫々９６％と９９％であった。

【００４９】

【発明の効果】本発明は電子機器の急速な発達に伴って
需要の急増するコンデンサー用アルミニウム箔のエッチ
ング処理から排出される、従来取扱処分に困難を感じて
いた廃液から、高価なＨ_３ＰＯ_４等が回収されるのみな
らず、殆んどクローズドサイクルで酸類の循環使用が出
来る方法を提供すると共に、アルミニウム分は原料に起
因されるＮＯｘ、ＳＯｘ等の発生の少い状態で熱分解し
高純度のＡｌ_２Ｏ_３として利用する道を拓いたものであ
り、産業上極めて有益である。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施態様の一例を示すブロックフロー
チャートである。

Claims (5)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 ＨＮＯ_３、Ｈ_２ＳＯ_４及びＨ_３ＰＯ_４か
   ら選ばれた少なくとも一種の無機酸とＨＣｌとの混合酸
   水溶液でアルミニウム箔をエッチングする際に排出され
   るＡｌＣｌ_３を主成分の一つとして含むエッチング廃液
   をそのまま、又は濃縮したものに、濃度３５％ｗｔ以上
   の塩酸、もしくはＨＣｌ含有ガスを導入して、系内のＨ
   Ｃｌ濃度を増大させることにより、大部分のＡｌをＡｌ
   Ｃｌ_３・６Ｈ_２Ｏ結晶として晶析分離させると共に、結
   晶を分離した母液を回収してエッチング用に再利用する
   ことを特徴とするアルミニウム箔のエッチング廃液を処
   理する方法。
2. 【請求項２】 分離されたＡｌＣｌ_３・６Ｈ_２Ｏ結晶
   を、濃度３０〜３６％ｗｔ塩酸で洗浄するか、あるいは
   再晶析を行って精製すると共に、結晶を洗浄した洗浄液
   を回収してエッチング用に再利用する請求項１記載のア
   ルミニウム箔のエッチング廃液を処理する方法。
3. 【請求項３】 請求項１記載の母液と請求項２記載の洗
   浄液を合わせて蒸留し、過剰のＨＣｌを晶析用及び／又
   は洗浄用に回収すると同時に、蒸留残液中に不揮発の無
   機酸を回収してエッチング用に循環使用することを特徴
   とするアルミニウム箔のエッチング廃液を処理する方
   法。
4. 【請求項４】 請求項１記載または請求項２記載の晶析
   分離されたＡｌＣｌ_３・６Ｈ_２Ｏ結晶をそのまま又は精
   製したものを、結晶ケーキのまま、スラリーとして、又
   は再溶解した水溶液として供給し、水蒸気を含む加熱雰
   囲気下において熱分解処理し、分解生成物としてＨＣｌ
   とＡｌ_２Ｏ_３ を得ることを特徴とするアルミニウム箔の
   エッチング廃液を処理する方法。
5. 【請求項５】 請求項４記載の分解生成物であるＨＣｌ
   を、晶析精製用及び／又は回収エッチング液の成分調整
   用のＨＣｌガス又は塩酸として回収するか、あるいは分
   解生成物であるＨＣｌを水溶液として回収すると共に、
   晶析の際に生成する母液、洗浄液等の高濃度の塩酸を含
   む溶液と共に蒸留精製し、ＨＣｌ含有ガスと、濃塩酸と
   回収無機酸溶液とを得、ＨＣｌ含有ガスはＡｌＣｌ_３・
   ６Ｈ_２Ｏの晶析用に、濃塩酸は晶析用及び／又は結晶の
   精製用に、また回収無機酸溶液はエッチング用に夫々循
   環使用し、更にもう一方の分解生成物であるＡｌ _２ Ｏ _３
   は高純度セラミック原料として回収することを特徴とす
   るアルミニウム箔のエッチング廃液を処理する方法。