JP2847818B2 - 導電性ジルコニア焼結体およびその製造法 - Google Patents
導電性ジルコニア焼結体およびその製造法Info
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Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は導電性を有するジルコニア焼結体およびその
製造方法に関するものである。更に詳細には、強度、靱
性、硬度等の機械的特性に優れるのみならず、低温領域
においても導電性を有するジルコニア焼結体およびその
製造法に関するものである。
製造方法に関するものである。更に詳細には、強度、靱
性、硬度等の機械的特性に優れるのみならず、低温領域
においても導電性を有するジルコニア焼結体およびその
製造法に関するものである。
従来、ジルコニア焼結体は切削工具や内燃機関用材料
等に適用すべく靱性や高温強度の改良が検討され、近年
Y2O3,MgO,CeO2による部分安定化ジルコニアが開発され
たが、ジルコニア焼結体はその焼結体製造技術の制約か
ら単純な形状のものしか得られてない。そのため最終製
品形状にするには必然的に切削加工に頼らざるを得ない
のであるが、ジルコニア焼結体は絶縁材料であるために
低温では加工効率に優れた放電加工法が採用できないと
の欠点を有していた。
等に適用すべく靱性や高温強度の改良が検討され、近年
Y2O3,MgO,CeO2による部分安定化ジルコニアが開発され
たが、ジルコニア焼結体はその焼結体製造技術の制約か
ら単純な形状のものしか得られてない。そのため最終製
品形状にするには必然的に切削加工に頼らざるを得ない
のであるが、ジルコニア焼結体は絶縁材料であるために
低温では加工効率に優れた放電加工法が採用できないと
の欠点を有していた。
ジルコニアに導電性を付与し、放電加工を可能とする
方法として、ジルコニア粉末にTiO,TiN等の導電性粉末
を混合し、これを焼結する方法が知られている。
方法として、ジルコニア粉末にTiO,TiN等の導電性粉末
を混合し、これを焼結する方法が知られている。
例えば、特公昭61−59266号にはZrO2とTiNからなる焼
結体が開示されている。しかし、該焼結体において許容
できる不純物はSiO2で３％迄、Fe2O3またはTiO2で0.5％
迄、合計で３％迄で、これ以上になると焼結性が妨げら
れ靱性が乏しいものとなると記載されている。
結体が開示されている。しかし、該焼結体において許容
できる不純物はSiO2で３％迄、Fe2O3またはTiO2で0.5％
迄、合計で３％迄で、これ以上になると焼結性が妨げら
れ靱性が乏しいものとなると記載されている。
また、特開昭60−103078号においてはY2O3,MgOを安定
化剤として炭化物を含有する焼結体が開示されており、
さらに特開昭62−138359号にはZrO2に周期律表IV a、V
a、VI a族元素の炭化物、窒化物、炭窒化物の１種を導
電性付与剤として加え、焼結性、熱伝導、導電性の向上
を目的として導電性付与剤と同一元素の酸化物を導電性
付与剤に対して0.1〜10.0重量％添加することが教示さ
れている。
化剤として炭化物を含有する焼結体が開示されており、
さらに特開昭62−138359号にはZrO2に周期律表IV a、V
a、VI a族元素の炭化物、窒化物、炭窒化物の１種を導
電性付与剤として加え、焼結性、熱伝導、導電性の向上
を目的として導電性付与剤と同一元素の酸化物を導電性
付与剤に対して0.1〜10.0重量％添加することが教示さ
れている。
しかしながら、これら焼結体は本来ジルコニア焼結体
の有する靱性、硬度、機械的強度等の物性の低下なくし
て導電性を得ることが難しく、それゆえに常温で放電加
工が可能な良導電性と優れた靱性、硬度、機械的強度等
を有する焼結体の出現が望まれていた。
の有する靱性、硬度、機械的強度等の物性の低下なくし
て導電性を得ることが難しく、それゆえに常温で放電加
工が可能な良導電性と優れた靱性、硬度、機械的強度等
を有する焼結体の出現が望まれていた。
一方、最近ジルコニアの安定化剤としてTiO2の使用が
報告されている。
報告されている。
例えば、K.C.RadfordらはTiO2がY2O3系ジルコニアの
焼結助剤として作用することを報告している〔ジャーナ
ル オブ マテリアル サイエンス第14巻、第59頁〜、
1979（J.Mat.Sci.,Vol14,P59−,1979）〕。
焼結助剤として作用することを報告している〔ジャーナ
ル オブ マテリアル サイエンス第14巻、第59頁〜、
1979（J.Mat.Sci.,Vol14,P59−,1979）〕。
また、津久間はTiO2−Y2O3系透光性ジルコニアにおけ
る安定化剤としてのTiO2の作用を検討している（機能材
料;10,1986,P31−37）。
る安定化剤としてのTiO2の作用を検討している（機能材
料;10,1986,P31−37）。
しかしながら、TiO2は正方晶を安定化させる作用を有
するためTiO2添加量の増加とともに応力誘起変態が起こ
り難くなり、強度や靱性は低下することが示されてい
る。
するためTiO2添加量の増加とともに応力誘起変態が起こ
り難くなり、強度や靱性は低下することが示されてい
る。
他方、特開昭61−122161号や特開昭63−144167号には
TiO2の添加がジルコニア焼結体の高強度化に有効である
と記載されている。
TiO2の添加がジルコニア焼結体の高強度化に有効である
と記載されている。
しかしながら、これらは導電性を有するジルコニア焼
結体に関するものではなく、またTiO2添加による焼結体
の靱性についての言及はなく、勿論導電性付与剤の存在
下でTiO2が如何なる挙動を示すかを開示するものではな
い。
結体に関するものではなく、またTiO2添加による焼結体
の靱性についての言及はなく、勿論導電性付与剤の存在
下でTiO2が如何なる挙動を示すかを開示するものではな
い。
本発明者らはジルコニア焼結体が加工時および使用時
において要求される条件として、常温において少なくと
も50Kg/mm2以上の機械的強度を有し、4MPam1/2以上の破
壊靱性値と1000kg/mm2以上のビッカース硬度および１Ω
cm以下の体積固有抵抗値を有し、かつ常圧焼結や低温焼
結が可能であるとの特性を有する、ジルコニア焼結体な
らびにその製造法の提供を目的とするものである。
において要求される条件として、常温において少なくと
も50Kg/mm2以上の機械的強度を有し、4MPam1/2以上の破
壊靱性値と1000kg/mm2以上のビッカース硬度および１Ω
cm以下の体積固有抵抗値を有し、かつ常圧焼結や低温焼
結が可能であるとの特性を有する、ジルコニア焼結体な
らびにその製造法の提供を目的とするものである。
すなわち、本発明はTiN,50〜10容量％とTiO2＋ZrO2,5
0〜90容量％からなり、TiO2はTiNの10重量％を超え、か
つTiO2のTiが1.5＜Ti≦10重量％の範囲にあり、曲げ強
度が50Kg/mm2以上で、破壊靱性が4MPam1/2以上であるこ
とを特徴とする導電性ジルコニア焼結体。ならびにTiN,
50〜10容量％とTiO2＋ZrO2,50〜90容量％からなり、TiO
2はTiNの10重量％を超え、かつTiO2のTiが1.5＜Ti≦10
重量％の範囲になるようにZrO2粉末とTiN粉末およびTiO
2粉末を混合し、またはTiO2を含有したZrO2粉末とTiN粉
末を混合し、成形した後、不活性雰囲気中で焼結するこ
とを特徴とする導電性ジルコニア焼結体の製造法。およ
びTiN,50〜10容量％とTiO2＋ZrO2,50〜90容量％からな
り、TiO2のTiが0.3＜Ti≦10重量％の範囲にあり、焼結
後の焼結体中のZrO2の結晶相の10〜40％が単斜晶である
ことを特徴とする導電性ジルコニア焼結体。ならびにTi
N,50〜10増量％とTiO2＋ZrO2,50〜90容量％からなり、T
iO2のTiが0.3＜Ti≦10重量％の範囲になるようにZrO2粉
末とTiN粉末およびTiO2粉末を混合し、またはTiO2を含
有したZrO2粉末とTiN粉末を混合し、成形した後、不活
性雰囲気中で焼結し、次いで得られた焼結体を焼結温度
よりも低い温度で熱処理することを特徴とする導電性ジ
ルコニア焼結体の製造法を提供するものである。
0〜90容量％からなり、TiO2はTiNの10重量％を超え、か
つTiO2のTiが1.5＜Ti≦10重量％の範囲にあり、曲げ強
度が50Kg/mm2以上で、破壊靱性が4MPam1/2以上であるこ
とを特徴とする導電性ジルコニア焼結体。ならびにTiN,
50〜10容量％とTiO2＋ZrO2,50〜90容量％からなり、TiO
2はTiNの10重量％を超え、かつTiO2のTiが1.5＜Ti≦10
重量％の範囲になるようにZrO2粉末とTiN粉末およびTiO
2粉末を混合し、またはTiO2を含有したZrO2粉末とTiN粉
末を混合し、成形した後、不活性雰囲気中で焼結するこ
とを特徴とする導電性ジルコニア焼結体の製造法。およ
びTiN,50〜10容量％とTiO2＋ZrO2,50〜90容量％からな
り、TiO2のTiが0.3＜Ti≦10重量％の範囲にあり、焼結
後の焼結体中のZrO2の結晶相の10〜40％が単斜晶である
ことを特徴とする導電性ジルコニア焼結体。ならびにTi
N,50〜10増量％とTiO2＋ZrO2,50〜90容量％からなり、T
iO2のTiが0.3＜Ti≦10重量％の範囲になるようにZrO2粉
末とTiN粉末およびTiO2粉末を混合し、またはTiO2を含
有したZrO2粉末とTiN粉末を混合し、成形した後、不活
性雰囲気中で焼結し、次いで得られた焼結体を焼結温度
よりも低い温度で熱処理することを特徴とする導電性ジ
ルコニア焼結体の製造法を提供するものである。
以下、本発明を更に詳述する。
本発明のジルコニア焼結体は、TiO2＋ZrO2にたいして
TiO2をTiとして0.3＜Ti≦10重量％、好ましくは1.5＜Ti
≦10重量％、さらに好ましくは3.5≦Ti≦5.0重量％含有
するジルコニア枯溶体とTiNより構成される。
TiO2をTiとして0.3＜Ti≦10重量％、好ましくは1.5＜Ti
≦10重量％、さらに好ましくは3.5≦Ti≦5.0重量％含有
するジルコニア枯溶体とTiNより構成される。
焼結体におけるTiNの量は約10〜50容量％、好ましく
は約20〜35容量％である。更にTiO2はTiNの10重量％を
超えることが好ましい。
は約20〜35容量％である。更にTiO2はTiNの10重量％を
超えることが好ましい。
焼結体中のTiNの量が10容量％未満の場合は、放電加
工等に必要な体積固有抵抗が１Ωcm以下の導電性の発現
は難しくなり、他方、50容量％を超える場合には焼結体
の強度低下が著しくなる。
工等に必要な体積固有抵抗が１Ωcm以下の導電性の発現
は難しくなり、他方、50容量％を超える場合には焼結体
の強度低下が著しくなる。
また、ZrO2と固溶体を形成するTiO2の固溶量がTiとし
て10重量％を超える場合、強度や靱性を低下せしめるZr
TiO4が生成する。他方、Tiとして0.3重量％以下の場合
には、強度や靱性等の物性の向上は望めない。さらにTi
O2がTiNの10重量％以下の場合、焼結しただけではクラ
ックを生ずることがある。
て10重量％を超える場合、強度や靱性を低下せしめるZr
TiO4が生成する。他方、Tiとして0.3重量％以下の場合
には、強度や靱性等の物性の向上は望めない。さらにTi
O2がTiNの10重量％以下の場合、焼結しただけではクラ
ックを生ずることがある。
本発明に適する酸化ジルコニウムは、安定化剤の入ら
ない未安定化ジルコニア粉末を用いた場合、焼結後クラ
ックが発生する可能性を有するために、Y2O3,MgO,CeO2
等の通常公知の安定化剤を添加して得た部分安定化ジル
コニア粉末を用いることが望ましい。これらの安定化剤
の添加量は通常公知の部分安定化ジルコニア、あるいは
正方晶ジルコニア多結晶体を得る範囲で適用すれば良
く、例えばY2O3の場合は、ZrO2粉末に対し約２〜５モル
％、MgOの場合は約８〜10モル％、CeO2の場合は約６〜1
2モル％を目途に使用すれば良い。勿論これらの安定化
剤を併用することも可能である。
ない未安定化ジルコニア粉末を用いた場合、焼結後クラ
ックが発生する可能性を有するために、Y2O3,MgO,CeO2
等の通常公知の安定化剤を添加して得た部分安定化ジル
コニア粉末を用いることが望ましい。これらの安定化剤
の添加量は通常公知の部分安定化ジルコニア、あるいは
正方晶ジルコニア多結晶体を得る範囲で適用すれば良
く、例えばY2O3の場合は、ZrO2粉末に対し約２〜５モル
％、MgOの場合は約８〜10モル％、CeO2の場合は約６〜1
2モル％を目途に使用すれば良い。勿論これらの安定化
剤を併用することも可能である。
本発明の焼結体を得る方法は、焼結後ジルコニア焼結
体に固溶するTiO2がTiして10重量％以下、TiNがジルコ
ニア固溶体に対し10〜50容量％となるように、ZrO2粉末
およびTiO2粉末さらにTiN粉末を混合、成形した後、不
活性雰囲気中で焼結する方法、さらに、より高強度、高
靱性の焼結体を得る場合には、上記で得られた焼結体を
不活性雰囲気中で熱処理する方法が用いられる。
体に固溶するTiO2がTiして10重量％以下、TiNがジルコ
ニア固溶体に対し10〜50容量％となるように、ZrO2粉末
およびTiO2粉末さらにTiN粉末を混合、成形した後、不
活性雰囲気中で焼結する方法、さらに、より高強度、高
靱性の焼結体を得る場合には、上記で得られた焼結体を
不活性雰囲気中で熱処理する方法が用いられる。
ZrO2粉末、TiN粉末およびTiO2粉末の混合に際しY2O3
等の安定化剤はZrO2に予め混合しておいてもよいし、勿
論これら原料の混合時に同時に添加し混合することもで
きる。
等の安定化剤はZrO2に予め混合しておいてもよいし、勿
論これら原料の混合時に同時に添加し混合することもで
きる。
これら原料の混合方法は各成分が均一に混合する方法
であれば通常公知の方法が適用でき、特に制限されるも
のではない。
であれば通常公知の方法が適用でき、特に制限されるも
のではない。
また成形方法も金難プレス、ラバープレス、ホットプ
レス、射出成形、熱間静水圧プレス等、公知の方法を採
用することができる。
レス、射出成形、熱間静水圧プレス等、公知の方法を採
用することができる。
焼結条件は用いる原料により一義的ではないが、通常
は窒素やアルゴン等の不活性ガス雰囲気中で約1350〜16
50℃、１時間以上、好ましくは約1400〜1600℃、１〜５
時間焼成すればよい。
は窒素やアルゴン等の不活性ガス雰囲気中で約1350〜16
50℃、１時間以上、好ましくは約1400〜1600℃、１〜５
時間焼成すればよい。
この時点での焼結体は通常、主として正方晶と立方晶
よりなり、約15重量％以下の量の単斜晶の組成を有す
る。
よりなり、約15重量％以下の量の単斜晶の組成を有す
る。
次いで本発明においては、必要に応じて得られた焼結
体を結晶後に熱処理するか、あるいは焼成に引続き熱処
理する。
体を結晶後に熱処理するか、あるいは焼成に引続き熱処
理する。
熱処理条件は被処理物である熱処理前の焼結体の組成
により一義的ではないが、通常は窒素、アルゴン等の不
活性ガス雰囲気中で約1000〜1300℃、１時間以上、好ま
しくは約1100〜1250℃、１〜100時間行えばよい。
により一義的ではないが、通常は窒素、アルゴン等の不
活性ガス雰囲気中で約1000〜1300℃、１時間以上、好ま
しくは約1100〜1250℃、１〜100時間行えばよい。
かかる熱処理を行うことにより、得られる焼結体は正
方晶および／または立方晶の割合が減少し、少なくとも
単斜晶の量が約５重量％以上増加し、普通には結晶相中
に占める単斜晶が約10〜30重量％の組成を有するように
なり、理由は詳らかではないが、熱処理を行わないもの
に比し、導電性の低下なくして、機械的強度や破壊靱性
が著しく向上する。
方晶および／または立方晶の割合が減少し、少なくとも
単斜晶の量が約５重量％以上増加し、普通には結晶相中
に占める単斜晶が約10〜30重量％の組成を有するように
なり、理由は詳らかではないが、熱処理を行わないもの
に比し、導電性の低下なくして、機械的強度や破壊靱性
が著しく向上する。
本発明に際し、本発明の効果を損なわない範囲でZr
O2,TiO2,TiN以外の他の物質を混合することは勿論可能
である。例えばAl2O3,Si3N4,SiC,TiC,TiB等の無機物質
が挙げられる。これらの添加量は添加目的にもよるが、
通常はZrO2に対し約20容量％の範囲内で使用すればよ
い。
O2,TiO2,TiN以外の他の物質を混合することは勿論可能
である。例えばAl2O3,Si3N4,SiC,TiC,TiB等の無機物質
が挙げられる。これらの添加量は添加目的にもよるが、
通常はZrO2に対し約20容量％の範囲内で使用すればよ
い。
本発明により得られる焼結体は、常温において少なく
とも50Kg/mm2以上の機械的強度、4MPam1/2以上の破壊靱
性値、1000Kg/mm2以上のビッカース硬度および１Ωｍ以
下の体積固有抵抗値を有し、またTiO2がTiとして1.5＜T
i≦10Wt％含有する場合、加熱処理を加えたものにあっ
ては導電性の低下なくして、少なくとも60Kg/mm2以上の
機械的強度、6MPam1/2以上の破壊靱性値を有するためマ
イクロモーター用シャフトや工業用カッター等の材料自
体に導電性を要求される用途や、切削工具や内燃機関部
品等の加工性を要求される分野への適合性を高め得ると
ともに、従来のNbCやTiC、さらには特定量のTiO2を存在
させないTiNを原料として用いる方法の如く、加圧、高
温焼結を行わずとも、特定量のジルコニア粉末とチタニ
ウム酸化物および窒化チタニウム粉末を窒素存在化に焼
結せしめることにより得られるもので、極めて経済的で
ありその工業的価値は頗る大なるものである。
とも50Kg/mm2以上の機械的強度、4MPam1/2以上の破壊靱
性値、1000Kg/mm2以上のビッカース硬度および１Ωｍ以
下の体積固有抵抗値を有し、またTiO2がTiとして1.5＜T
i≦10Wt％含有する場合、加熱処理を加えたものにあっ
ては導電性の低下なくして、少なくとも60Kg/mm2以上の
機械的強度、6MPam1/2以上の破壊靱性値を有するためマ
イクロモーター用シャフトや工業用カッター等の材料自
体に導電性を要求される用途や、切削工具や内燃機関部
品等の加工性を要求される分野への適合性を高め得ると
ともに、従来のNbCやTiC、さらには特定量のTiO2を存在
させないTiNを原料として用いる方法の如く、加圧、高
温焼結を行わずとも、特定量のジルコニア粉末とチタニ
ウム酸化物および窒化チタニウム粉末を窒素存在化に焼
結せしめることにより得られるもので、極めて経済的で
ありその工業的価値は頗る大なるものである。
以下、本発明を実施例により具体的に説明する。
尚、本発明において焼結体の各種物性測定は以下の方
法で求めた。
法で求めた。
導電率（体積固有抵抗）：焼結体を切り出して得られた
試験片を、四端子方式の微抵抗計を用いて室温で測定
し、その数値を読み取り試験片寸法より算出した。
試験片を、四端子方式の微抵抗計を用いて室温で測定
し、その数値を読み取り試験片寸法より算出した。
曲げ強度（３点曲げ強度）:JIS−R1601により測定し
た。
た。
強度：ビッカース硬度（荷重20Kg） 破壊靱性値:SEPB法（Single−Edge−Precracked−Beam
法）により測定した。
法）により測定した。
（参照文献） T.Nose and T.Fujii;J.Am.Ceram.Soc.,71（５）328−33
（1988） 結晶相:X線回折法により行った。１μｍダイアモンドペ
ーストで鏡面研磨した試験片をＸ線回折し、次式より各
結晶相の割合を算出した。
（1988） 結晶相:X線回折法により行った。１μｍダイアモンドペ
ーストで鏡面研磨した試験片をＸ線回折し、次式より各
結晶相の割合を算出した。
m/（ｔ＋ｃ）＝［Im（111）＋Im（11）］／ ［It（111）＋Ic（111）］ c/t＝Ic（200）／［It（200）＋It（002）］ 式中、ｍは単斜晶、ｔは正方晶、ｃは立方晶、Imは単
斜晶の積分強度、Itは正方晶の積分強度、Icは立方晶の
積分強度を示す。
斜晶の積分強度、Itは正方晶の積分強度、Icは立方晶の
積分強度を示す。
実施例１〜17 市販の平均粒子径0.5μｍのジルコニア粉末（３モル
％のY2O3を含み、不純物は0.1重量％以下、住友化学工
業（株）製）とチタニア粉末（アナタース型、石原産業
（株）製、Ａ−100）および窒化チタニウム粉末（日本
新金属（株）製、325メッシュアンダー品）を第１表記
載の量比で調合し、湿式ボールミル（エタノール溶媒
中）で混合、粉砕した後、乾燥、解砕し焼結用原料を得
た。このようにして得た焼結用原料を金型プレス成形機
で予備成形した後、1500kg/cm2以上の圧力でラバープレ
ス成形を行い、得られた成形体を電気炉で窒素雰囲気中
で第１表記載の条件下に焼結した。次いで得られた焼結
体の１部を更に電気炉で窒素雰囲気中で第１表記載の条
件で加熱処理を行った。焼結後および加熱処理後の焼結
体の物性測定データを第１表に記載する。
％のY2O3を含み、不純物は0.1重量％以下、住友化学工
業（株）製）とチタニア粉末（アナタース型、石原産業
（株）製、Ａ−100）および窒化チタニウム粉末（日本
新金属（株）製、325メッシュアンダー品）を第１表記
載の量比で調合し、湿式ボールミル（エタノール溶媒
中）で混合、粉砕した後、乾燥、解砕し焼結用原料を得
た。このようにして得た焼結用原料を金型プレス成形機
で予備成形した後、1500kg/cm2以上の圧力でラバープレ
ス成形を行い、得られた成形体を電気炉で窒素雰囲気中
で第１表記載の条件下に焼結した。次いで得られた焼結
体の１部を更に電気炉で窒素雰囲気中で第１表記載の条
件で加熱処理を行った。焼結後および加熱処理後の焼結
体の物性測定データを第１表に記載する。
比較例１〜７ 実施例１で用いたジルコニア粉末、チタニア粉末およ
び窒化チタニウム粉末を、実施例１と同様にして、第２
表記載の量比で調合し焼結体を得た。焼結後および加熱
処理の後の焼結体の物性測定データを第２表に記載す
る。
び窒化チタニウム粉末を、実施例１と同様にして、第２
表記載の量比で調合し焼結体を得た。焼結後および加熱
処理の後の焼結体の物性測定データを第２表に記載す
る。
尚、比較の為、市販のTiO−Y2O3含有ZrO2系導電性ジ
ルコニア焼結体及びNbC−Y2O3含有ZrO2系導電性ジルコ
ニア焼結体（いずれもホットプレス品）の物性特性デー
タを第２表に記載する。
ルコニア焼結体及びNbC−Y2O3含有ZrO2系導電性ジルコ
ニア焼結体（いずれもホットプレス品）の物性特性デー
タを第２表に記載する。
フロントページの続き (56)参考文献 特開 平１−308871（ＪＰ，Ａ) 特開 平１−122963（ＪＰ，Ａ) 特開 昭63−222071（ＪＰ，Ａ) 特開 昭62−202861（ＪＰ，Ａ) 特開 昭58−32067（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) C04B 35/42 - 35/49 C04B 35/58
Claims (4)
- 【請求項１】TiN,50〜10容量％とTiO2＋ZrO2,50〜90容
量％からなり、TiO2はTiNの10重量％を超え、かつTiO2
のTiが1.5＜Ti≦10重量％の範囲にあることを特徴とす
る導電性ジルコニア焼結体。 - 【請求項２】TiN,50〜10容量％とTiO2＋ZrO2,50〜90容
量％からなり、TiO2はTiNの10重量％を超え、かつTiO2
のTiが1.5＜Ti≦10重量％の範囲になるようにZrO2粉末
とTiN粉末およびTiO2粉末を混合し、またはTiO2を含有
したZrO2粉末とTiN粉末を混合し、成形した後、不活性
雰囲気中で焼結することを特徴とする導電性ジルコニア
焼結体の製造法。 - 【請求項３】TiN,50〜10容量％とTiO2＋ZrO2,50〜90容
量％からなり、TiO2のTiが0.3＜Ti≦10重量％の範囲に
あり、焼結後の焼結体中のZrO2の結晶相の10〜40％が単
斜晶であることを特徴とする導電性ジルコニア焼結体。 - 【請求項４】TiN,50〜10容量％とTiO2＋ZrO2,50〜90容
量％からなり、TiO2のTiが0.3＜Ti≦10重量％の範囲に
なるようにZrO2粉末とTiN粉末およびTiO2粉末を混合
し、またはTiO2を含有したZrO2粉末とTiN粉末を混合
し、成形した後、不活性雰囲気中で焼結し、次いで得ら
れた焼結体を焼結温度よりも低い温度で熱処理すること
を特徴とする導電性ジルコニア焼結体の製造法。
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-
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