JP2682830B2 - 固体撮像装置 - Google Patents
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Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、固体撮像装置に関し、特に、実装等の位置
決めを行う位置決め部材を有する固体撮像装置に適用し
て有効な技術に関するものである。 〔従来の技術〕 ビデオカメラには、固体撮像装置が実装されている。
固体撮像装置はパッケージのキャビティ内に設けられた
固体撮像素子チップを透明封止キャップで封止してい
る。 前記パッケージはセラミック材で形成された所謂サー
ディップ型が主流である。固体撮像素子チップは、フォ
トセンサを二次元的に配置した光信号を入力する受光部
とこの受光部の周辺に配置された水平，垂直シフトレジ
スタとを有している。固体撮像素子チップは単結晶珪素
基板で構成されている。透明封止キャップは、光学的研
磨が施された透明ガラス板で形成されている。 この固体撮像装置には位置決め部材（位置決め金具）
が設けられている。位置決め部材は、ビデオカメラの回
路基板に固定撮像装置を実装する際、パッケージのキャ
ビティ内に固体撮像素子チップを搭載する際、パッケー
ジに透明封止キャップを固着する際等、両者の位置決め
を行うために設けられている。位置決め部材は、板状に
構成され、位置を決めための基準穴が設けられている。 特開昭59−161187号公報には、位置決め部材とダイア
タッチ部とを一体に成型したリードフレームを用い、固
体撮像装置を形成する技術が記載されている。この技術
における位置決め部は、ダイアタッチ部の対向する辺の
夫々に設けられ、ダイアタッチ部をリードフレームに支
持するように構成されている。つまり、この技術は、位
置決め部をタブ吊りリードとしても使用し、通常のタブ
吊りリードに相当する部分を廃止できるので、リードフ
レームの構造を簡単にすることができる特徴がある。前
記ダイアタッチ部及びインナーリード部はパッケージ内
部に封止されるように構成されている。アウターリード
部及び位置決め部はパッケージの外部に露出するように
構成されている。 前記位置決め部を含むリードフレームは、金属材料
（例えばFe−Ni合金）で形成されている。ダイアタッチ
部には銀ペーストを介在させて固体撮像素子チップが搭
載される。固体撮像素子チップの外部端子（ボンディン
グパッド）はボンディングワイヤを介在させてインナー
リード部に接続される。 このように構成される固体撮像装置は、前記位置決め
部の基準穴にビデオカメラの取付治具の位置決めピンを
挿入し、この取付治具及び回路基板に実装される。取付
治具にはレンズマウント部材が取り付けられる。 〔発明が解決しようとする問題点〕 本発明者は、固体撮像装置の開発中に、次のような問
題点が生じることを見出した。 前記固体撮像装置の固体撮像素子チップは、電源用外
部端子から５〜７［Ｖ］の基板電位（単結晶珪素基板の
電位）を印加している。固体撮像素子チップは導電性の
ある銀ペーストを介在させてダイアタッチ部に搭載され
ているので、ダイアタッチ部及び位置決め部には基板電
位が印加される。一方、ビデオカメラの取付治具や位置
決めピンは、アルミニウム合金のダイキャストで形成さ
れ、回路基板の接地電位と同電位である０［Ｖ］が印加
されている。このため、固体撮像装置からビデオカメラ
の取付治具やレンズマウント部材に大電流が流れ、固体
撮像素子チップの破壊や回路基板の焼損を生じた。 本発明者は、このような問題点を解決するために、ビ
デオカメラの取付治具の位置決めピンをプラスチック材
で構成し、又ダイアタッチ部には絶縁性接着剤を介在さ
せて固体撮像素子チップを搭載する試みを行った。しか
しながら、前者は、取付治具と位置決めピンとの材質が
異なるので、製作が非常に面倒であるばかりか、プラス
チック材の機械的強度が弱いので、位置決めピンの損傷
が多発した。また、後者は、絶縁性接着剤としてフィラ
ーを添加したエポキシ系樹脂接着剤を使用したが、ダイ
アタッチ部の表面に対して固体撮像素子チップが傾き易
いので、搭載時の精度が低下するばかりか、ダイアタッ
チ部と固体撮像素子チップとの短絡が多発した。 本発明の目的は、位置決め部が一体に成型されたダイ
アタッチ部に固体撮像素子チップを搭載する固体撮像装
置において、固体撮像素子チップとダイアタッチ部とを
確実に電気的に分解することが可能な技術を提供するこ
とにある。 本発明の他の目的は、前記目的を達成し、固体撮像素
子チップの破壊や回路基板の焼損を防止することが可能
な技術を提供することにある。 本発明の他の目的は、前記目的を達成し、ビデオカメ
ラの製作を簡単にし、又取付治具の位置めピンの機械的
強度を高めることが可能な技術を提供することにある。 本発明の他の目的は、前記特性不良を低減するための
製造工程を低減することが可能な技術を提供することに
ある。 本発明の前記ならびにその他の目的と新規な特徴は、
本明細書の記述及び添付図面によって明らかになるであ
ろう。 〔問題点を解決するための手段〕 本願において開示される発明のうち、代表的なものの
概略を簡単に説明すれば、下記のとおりである。 すなわち、パッケージ内にダイアタッチ部に搭載され
た固体撮像素子チップを組み込んでなり、該固体撮像素
子チップの各電極がワイヤおよびリード部を介して該パ
ッケージ外に電気的に引き出されている固体撮像装置
で、かつ、該パッケージから露出されて該固体撮像装置
を他の部材に植設されたピンを挿入できる孔を有する位
置決め部を備えることによって該他の部材に位置決め配
置ができる固体撮像装置であって、前記リード部、ダイ
アタッチ部、および位置決め部が同一の導電性板材によ
るプレス加工によって形成されているとともに、このう
ち前記位置決め部とダイアタッチ部とは一体化されて形
成されている固体撮像装置において、 少なくとも前記リード部にメッキが施されているとと
もに、前記ダイアタッチ部の前記固体撮像素子チップを
搭載する領域に該領域を覆ってその面積よりも大きな面
積を有する絶縁コート材が厚膜形成技術により形成さ
れ、かつ、前記位置決め部に前記絶縁コート材と同一の
材料からなる耐メッキ用コート材が該絶縁コート材の形
成と同時に形成され、この耐メッキ用コート材は少なく
とも前記リード部にメッキを施す際のマスクとしての機
能を有することを特徴するものである。 〔作 用〕 上述した手段によれば、絶縁コート材によってダイア
タッチ部と固体撮像素子チップとを確実に電気的に分離
することができるので、固体撮像素子チップの破壊や回
路基板の焼損を防止することができる。 以下、本発明の構成について、ビデオカメラに実装さ
れる固体撮像装置に本発明を適用した一実施例とともに
説明する。 なお、実施例を説明するための全図において、同一機
能を有するものは同一符号を付け、その繰り返しの説明
は省略する。 〔実施例〕 本発明の一実施例である固体撮像装置を第１図（平面
図）及び第２図（第１図のII−II切断線で切った断面
図）で示す。 第１図及び第２図に示すように、固体撮像装置１は、
パッケージ２のキャビティ（空胴部）2Cの内部に設けら
れた固体撮像素子チップ３を透明封止キャップ４で封止
している。 前記パッケージ２はベース基板2A及び枠体2Bで構成さ
れている。ベース基板2Aは、長方形の板形状で構成され
ており、長方形の短辺の夫々に凹部2Aa、2Abが設けられ
ている。この凹部2Aa、2Abの夫々は後述する位置決め部
5B、5Cの夫々をパッケージ２の外部に露出するように構
成されている。枠体2Bは、外形がベース基板2Aと同様の
長方形で構成され、中央部分に方形状のキャビティ2Cが
設けられている。ベース基板2Aと同様に、枠体2Bの対向
する短辺の夫々には凹部2Ba、2Bbが設けられている。 ベース基板2A、枠体2Bの夫々は、セラミック材で形成
され、所謂サーディップ型のパッケージを構成する。ベ
ース基板2Aと枠体2Bとは接着剤８によって固着されてい
る。接着剤８は例えばフリットガラスを使用する。枠体
2Bの一角部分には、インデックスとして使用される円形
状凹部2Bcが設けられている。 前記ベース基板2Aと枠体2Bとの間には、接着剤８に固
着された、ダイアタッチ部5A、インナーリード部5D、位
置決め部5B及び5Cが設けられている。これらを含む切断
及び成型前のリードフレーム５は第３図（一部省略平面
図）に示すように構成されている。 第３図に示すように、リードフレーム５の方形リング
状の枠部5Fの中央部分に前記ダイアタッチ部5Aが設けら
れている。ダイアタッチ部5Aは固定撮像素子チップ３を
搭載するように構成されている。 ダイアタッチ部5Aの対向する辺（第３図の左側の辺及
び右側の辺）の夫々には、位置決め部5B、5Cの夫々が一
体に成型されている。位置決め部5B、5Cの夫々は、ビデ
オカメラの回路基板に固体撮像装置１を実装する際、パ
ッケージ２のキャビティ2C内に固体撮像素子チップ３を
搭載する際、パッケージ２に透明封止キャップ４を固着
する際等、両者の位置決めを行うために設けられてい
る。一方の位置決め部5Bには、Ｘ方向及びＹ方向（平面
方向）の位置決めを行う時に使用する位置決めの基準と
なる丸穴5Baが中央部分に設けられている。他方の位置
決め部5Cには、ビデオカメラ（13）側の位置決めピン
（14A,14B）間の距離に若干の誤差がある場合において
もその寸法誤差分を緩和することができる長穴5Caが中
央部分に設けられている。 位置決め部5B、5Cの夫々は、前記ダイアタッチ部5Aを
リードフレーム５の枠部5Fに支持する所謂タブ吊りリー
ドとしても使用されている。つまり、位置決め部5B、5C
の夫々は、実質的にタブ吊りリードをなくすことができ
るので、タブ吊りリードに相当する分、リードフレーム
５の形状を簡単化することができる。 位置決め部5Bの端部には２個所の開口された穴部5Bb
が設けられている。同様に、位置決め部5Cの端部には２
個所の開口された穴部5Cbが設けられている。穴部5Bb、
5Cbの夫々は、位置決め部5B及び5Cの上側に塗布される
接着剤８と下側に塗布される接着剤８とを接着できるよ
うに構成されている。つまり、穴部5Bb、5Cbの夫々は、
接着剤８を介在させる、パッケージ２のベース基板2Aと
枠体2Bとの接着強度を高めるように構成されている。 前記ダイアタッチ部5Aの他の対向する辺（第３図の上
側の辺及び下側の辺）の夫々には、インナーリード部5D
の一端側が近接しそれが複数本配置されている。ダイア
タッチ部5Aの下側の辺の近傍に配置された所定のインナ
ーリード部5Dの一端側は、ダイアタッチ部5Aと一体に構
成されている（電気的に接続されている）。このダイア
タッチ部5Aと一体に構成されたインナーリード部5Dには
接地電位GNDが印加されるように構成されている。この
接地電位GNDは、固体撮像素子チップ３に印加される基
板電位（５〜７［Ｖ］）と異なり、ビデオカメラの取付
治具（14）、レンズマウント部材（15）、回路基板等の
接地電位と同電位の０［Ｖ］である。 インナーリード部5Dの他端側は、アウターリード部5E
の一端側に一体に構成されている。アウターリード部5E
の他端側はリードフレーム５の枠部5Fに支持されてい
る。 枠部5Fの左側には基準位置決め用丸穴5Fa、その右側
には位置決め用凹部5Fbが設けられている。丸穴5Fa及び
凹部5Fbは、サーデイップ型パッケージの組立作業時、
例えば第２図で示すベース基板2Aと枠体2Bをリードフレ
ーム５を介在させて接着剤８で固着する作業時の位置決
めを行うために構成されている。 前記リードフレーム５は、例えば鉄−ニッケル合金
（42アロイ）で構成されている。リードフレーム５は例
えば0.20〜0.30［mm］程度の板厚で構成されている。前
記リードフレーム５のうち、ダイアタッチ部5Aの表面及
びインナーリード部5Dの表面にはクラッド層６（斜線で
示す）が設けられている。クラッド層６はアルミニウム
層で形成する。このアルミニウム層は、前記固体撮像素
子チップ３の外部端子（ボンディングパッド:BP）とイ
ンナーリード部5Dとをアルミニウムワイヤ（10）で接続
するので、ボンダビリティを向上することができる。ク
ラッド層６は、例えば圧延法で形成し、0.20〜0.30［μ
ｍ］程度の膜厚で構成する。クラッド層６は、第３図に
一点鎖線で規定された領域内に形成される。 前記ダイアタッチ部5Aの表面（固体撮像素子チップ３
の搭載面側）にはクラッド層６を介在させて絶縁コート
材7Aがコーティングされている。絶縁コート材7Aは、パ
ッケージ２のベース基板2Aと枠体2Bとを接着剤Ｂで接着
する熱処理工程（約450［℃］、10〜20［分］）におい
て耐え得る材料で形成される。絶縁コート材7Aは例えば
シルクスクリーン印刷技術でコーティングしたポリイミ
ド系樹脂材料で形成されている。絶縁コート材7Aはリー
ドフレーム５の状態つまりクラッド層６を形成した後固
体撮像素子チップ３を搭載する前にコーティングされ
る。絶縁コート材7ABは例えば0.5〜10［μｍ］程度の膜
厚で構成する。絶縁コート材7Aは、固体撮像素子チップ
３が傾いてもダイアタッチ部5Aと短絡しないように、固
体撮像素子チップ３のサイズに比べて大きいサイズで構
成する。また、絶縁コート材7Aは、接着剤８を介在させ
てパッケージ２の枠体2Bであるセラミック材との接着性
が弱いので、キャビティ2Cのサイズに比べて小さいサイ
ズで構成する。絶縁コート材7Aは、主にダイアタッチ部
5Aと固体撮像素子チップ３の裏面とを電気的に分離する
ために設けられている。 前記絶縁コート材7A上には接着剤９を介在させて固体
撮像素子チップ３が搭載される。つまり、ダイアタッチ
部5Aの表面上には、下層側からクラッド層６、絶縁コー
ト材7A及び接着剤９を順次介在させて固体撮像素子チッ
プ３が搭載されている。接着剤９は、例えばアルミナ粒
や酸化珪素粒をフィラーとして含有させた、絶縁性のエ
ポキシ系樹脂接着剤で形成する。また、接着剤９は、導
電性の銀ペーストで形成してもよい。 固体撮像素子チップ３は単結晶珪素基板で構成されて
いる。固体撮像素子チップ３の表面には、詳細を図示し
ていないが、フォトダイオードを二次元的に配置した光
信号を入力する受光部と、この受光部の周辺に配置され
た水平，垂直シフトレジスタとを有している。第１図及
び第２図に示すように、固体撮像素子チップ３の外部端
子BPは、前述のように、ボンディングワイヤ（アルミニ
ウムワイヤ）10を介在させてインナーリード部5Dに接続
されている。ボンディングワイヤ10は例えばウエッジボ
ンディングでボンディングされる。固体撮像素子チップ
３の基板電位（５〜７［Ｖ］）は、インナーリード部5
D、ボンディングワイヤ10及び外部端子BPを通して、表
面側から印加される。 このように、位置決め部5B、5Cの夫々と一体に成型さ
れたダイアタッチ部5Aの表面に固体撮像素子チップ３を
搭載する固体撮像装置１において、前記ダイアタッチ部
5Aの表面に絶縁コート材7Aを介在させて固体撮像素子チ
ップ３を搭載することにより、絶縁コート材７によって
ダイアタッチ部5Aと固体撮像素子チップ３とを確実に電
気的に分離することができる。 また、絶縁コート材7Aは、固体撮像素子チップ３のサ
イズよりも大きいサイズで構成されているので、ダイア
タッチ部5Aの表面に対して固体撮像素子チップ３が傾い
た場合でも、ダイアタッチ部5Aと固体撮像素子チップ３
との短絡を防止することができるので、両者間を確実に
電気的に分離することができる。 パッケージ２から露出する前記アウターリード部5Eの
表面には、第２図に示すように、メッキ層11が設けられ
ている。メッキ層11は、例えば電気メッキで形成した錫
（Sn）メッキ層で形成する。メッキ層11は、アウターリ
ード部5Eを回路基板に半田で接続する際のソルダビリテ
ィを向上するようになっている。 パッケージ２の凹部2Aa、2Baにおいて外部に露出する
位置決め部5Bの表面、凹部2Ab、2Bbにおいて外部に露出
する位置決め部5Cの表面の夫々には、耐メッキ用コート
材7Bがコーティングされている。耐メッキ用コート材7B
は、前記アウターリード部5Eの表面に施すメッキ層11を
形成する前に形成する。耐メッキ用コート材7Bは、前記
絶縁コート材7Aと同一材料でしかも同一製造工程で形成
される。つまり、耐メッキ用コート材7Bはポリイミド系
樹脂材料で形成されている。耐メッキ用コート材7Bは、
枠体2Bと重ねないように、凹部2Ba、2Bbの夫々のサイズ
に比べて、少なくとも合せずれ量を相当する分、小さい
サイズで構成する。つまり、耐メッキ用コート材7Bは、
前述のように、パッケージ２の枠体2Bとの接着性を低下
させないように構成されている。 位置決め部5B、5Cの夫々の表面には前述のようにクラ
ッド層（アルミニウム層）６が設けられており、クラッ
ド層６上にはメッキ層（錫）11の接着性が非常に弱い。
耐メッキ用コート材7Bは、主に、パッケージ２から露出
する位置決め部5B、5Cの夫々の表面に、前記アウターリ
ード部5Eに施すメッキ層11が施されないように構成され
ている。したがって、耐メッキ用コート材7Bは、基本的
にメッキ層11が被着しない有機材料で構成されている。 このように、位置決め部5B、5C及びアウターリード部
5Eを有し、前記位置決め部5B、5Cの表面にクラッド層６
を形成し、前記アウターリード部5Eにソルダビリティを
向上するメッキ層11を形成する固体撮像装置１の製造方
法であって、前記位置決め部5B、5Cの表面に耐メッキ用
コート材7Bを形成し、この後、前記アウターリード部5E
にメッキ層11を形成することにより、前記位置決め部5
B、5Cの表面にメッキ層11が形成されないので、固体撮
像装置１の形成工程中に位置決め部5B、5Cの表面に形成
されたメッキ層11の剥がれで生じる異物が透明封止キャ
ップ３や固体撮像素子チップ３の受光面に付着すること
を低減することができる。したがって、前記異物に起因
する固体撮像装置１の特性不良を防止することができ
る。 また、耐メッキ用コート材7Bを絶縁コート材7Aと同一
製造工程で形成することにより、耐メッキ用コート材7B
を形成する工程を絶縁コート材7Aを形成する工程で兼用
することができるので、耐メッキ用コート材7Bを形成す
る工程に相当する分、固体撮像装置１の製造工程を低減
することができる。 前記透明封止キャップ４は、第１図及び第２図に示す
ように、光学的研磨が施された透明ガラス板で形成され
ている。透明封止キャップ４は、キャビティ2Cを覆うよ
うに、接着層12を介在させて枠体2Bに固着されている。
接着剤12は、例えばエポキシ系樹脂接着剤を使用する。 このように構成される固体撮像装置１は、第４図（ビ
デオカメラの部分概略構成断面図）に示すように、配線
基板（図示しない）に実装した後、ビデオカメラ13に実
装される。具体的には次のとおりである。 固体撮像装置１は、アウターリード部5Eを図示しない
配線基板（プリント配線基板）に挿入した後、半田によ
って配線基板に固着される。 固体撮像装置１が実装された配線基板は、遮蔽カバー
として使用される取付治具14に取り付けられる。この取
り付けは、取付治具14に一体に成型された位置決めピン
14Aを固体撮像装置１の位置決め部5Bの丸穴5Baに挿入
し、位置決めピン14Bを位置決め部5Cの長穴5Caに挿入す
ることにより行われる。また、この取り付けは、取付治
具14に一体に成型された３本の位置決め突起部14Cを固
体撮像装置１のパッケージ２のベース基板2Aの底面に接
触させることにより行われる。前者の取り付けは取付治
具14と固体撮像装置１とのＸ方向及びＹ方向の位置決め
を行うことができる。後者の取り付けは取付治具14と固
体撮像装置１とのＺ方向（高さ方向）の位置決めを行う
ことができる。 取付治具14はアルミニウム材料又はアルミニウム合金
材料をアルミダイキャストで成型して構成されている。
したがって、前記位置決めピン14A、14B及び位置決め突
起部14Cは前記と同一材料で構成されている。 前記固体撮像装置１が実装された取付治具14には、レ
ンズマウント部材15が装着される。レンズマウント部材
15には、光学レンズ15A及び15Bが取り付けられている。
レンズマウント部材15は例えば導電性材料で構成する。
レンズマウント部材15はボルト16を介在させて取付部材
14に装着される。 取付部材14にレンズマウント部材15を装着する際に
は、固体撮像装置１の透明封止キャップ４と光学レンズ
15Bとの間に水晶フィルタ（LPE）17を介在させている。
水晶フィルタ17は、透明封止キャップ４の上部に配置さ
れたゴムパッキン18で支持され、取付治具14に取り付け
られた押え治具19で保持されている。押え治具19は例え
ば樹脂材料で形成する。 前記ビデオカメラ13の取付治具14、レンズマウント部
材15、図示しない回路基板アース部の夫々は、前述のよ
うに接地電位GND（０［Ｖ］）が印加されている。 このように、固体撮像装置１のダイアタッチ部5Aに絶
縁コート材7Aを介在させて固体撮像素子チップ３を搭載
し、この固体撮像装置１を位置決め部5B、5C及び位置決
めピン14A、14Bを介在させてビデオカメラ13の取付治具
14に取り付けることにより、固体撮像素子チップ３と取
付治具14とは絶縁コート材7Aで確実に電気的に分離して
いるので、固体撮像装置１からビデオカメラ13の取治治
具14やレンズマウント部材15に大電流が流れることを確
実に防止することができる。この結果、固体撮像装置１
の固体撮像素子チップ３の破壊や回路基板の焼損を防止
することができる。 また、ビデオカメラ13の取付治具14の位置決めピン14
A、14Bの夫々を取付治具14と一体に機械的強度の大きな
金属材料（アルミニウム系材料）で形成することができ
るので、位置決めピン14A、14Bの夫々の曲がりや損傷を
低減し、又位置決め精度を向上することができる。 また、これらの効果は、固体撮像装置１のダイアタッ
チ部5Aの表面に固体撮像素子チップ３を搭載する際や、
透明封止キャップ４を固着する際についても同様であ
る。 以上、本発明者によってなされた発明を、前記実施例
に基づき具体的に説明したが、本発明は、前記実施例に
限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲に
おいて種々変更可能であることは勿論である。 例えば、本発明は、固体撮像装置のインナーリード部
に銅（Cu）のクラッド層を構成し、ボンディングワイヤ
を銅で構成してもよい。 また、本発明は、絶縁コート材7Aとして接着剤８と同
一物質例えばフリットガラスを用いてもよい。 また、本発明は、一次元ホトセンサを固体撮像素子チ
ップとする固体撮像装置に適用することができる。 〔発明の効果〕 本願において開示される発明のうち代表的なものによ
って得られる効果を簡単に説明すれば、下記のとおりで
ある。 固体撮像装置において、ダイアタッチ部と固体撮像素
子チップとを確実に電気的に分離することができる。
決めを行う位置決め部材を有する固体撮像装置に適用し
て有効な技術に関するものである。 〔従来の技術〕 ビデオカメラには、固体撮像装置が実装されている。
固体撮像装置はパッケージのキャビティ内に設けられた
固体撮像素子チップを透明封止キャップで封止してい
る。 前記パッケージはセラミック材で形成された所謂サー
ディップ型が主流である。固体撮像素子チップは、フォ
トセンサを二次元的に配置した光信号を入力する受光部
とこの受光部の周辺に配置された水平，垂直シフトレジ
スタとを有している。固体撮像素子チップは単結晶珪素
基板で構成されている。透明封止キャップは、光学的研
磨が施された透明ガラス板で形成されている。 この固体撮像装置には位置決め部材（位置決め金具）
が設けられている。位置決め部材は、ビデオカメラの回
路基板に固定撮像装置を実装する際、パッケージのキャ
ビティ内に固体撮像素子チップを搭載する際、パッケー
ジに透明封止キャップを固着する際等、両者の位置決め
を行うために設けられている。位置決め部材は、板状に
構成され、位置を決めための基準穴が設けられている。 特開昭59−161187号公報には、位置決め部材とダイア
タッチ部とを一体に成型したリードフレームを用い、固
体撮像装置を形成する技術が記載されている。この技術
における位置決め部は、ダイアタッチ部の対向する辺の
夫々に設けられ、ダイアタッチ部をリードフレームに支
持するように構成されている。つまり、この技術は、位
置決め部をタブ吊りリードとしても使用し、通常のタブ
吊りリードに相当する部分を廃止できるので、リードフ
レームの構造を簡単にすることができる特徴がある。前
記ダイアタッチ部及びインナーリード部はパッケージ内
部に封止されるように構成されている。アウターリード
部及び位置決め部はパッケージの外部に露出するように
構成されている。 前記位置決め部を含むリードフレームは、金属材料
（例えばFe−Ni合金）で形成されている。ダイアタッチ
部には銀ペーストを介在させて固体撮像素子チップが搭
載される。固体撮像素子チップの外部端子（ボンディン
グパッド）はボンディングワイヤを介在させてインナー
リード部に接続される。 このように構成される固体撮像装置は、前記位置決め
部の基準穴にビデオカメラの取付治具の位置決めピンを
挿入し、この取付治具及び回路基板に実装される。取付
治具にはレンズマウント部材が取り付けられる。 〔発明が解決しようとする問題点〕 本発明者は、固体撮像装置の開発中に、次のような問
題点が生じることを見出した。 前記固体撮像装置の固体撮像素子チップは、電源用外
部端子から５〜７［Ｖ］の基板電位（単結晶珪素基板の
電位）を印加している。固体撮像素子チップは導電性の
ある銀ペーストを介在させてダイアタッチ部に搭載され
ているので、ダイアタッチ部及び位置決め部には基板電
位が印加される。一方、ビデオカメラの取付治具や位置
決めピンは、アルミニウム合金のダイキャストで形成さ
れ、回路基板の接地電位と同電位である０［Ｖ］が印加
されている。このため、固体撮像装置からビデオカメラ
の取付治具やレンズマウント部材に大電流が流れ、固体
撮像素子チップの破壊や回路基板の焼損を生じた。 本発明者は、このような問題点を解決するために、ビ
デオカメラの取付治具の位置決めピンをプラスチック材
で構成し、又ダイアタッチ部には絶縁性接着剤を介在さ
せて固体撮像素子チップを搭載する試みを行った。しか
しながら、前者は、取付治具と位置決めピンとの材質が
異なるので、製作が非常に面倒であるばかりか、プラス
チック材の機械的強度が弱いので、位置決めピンの損傷
が多発した。また、後者は、絶縁性接着剤としてフィラ
ーを添加したエポキシ系樹脂接着剤を使用したが、ダイ
アタッチ部の表面に対して固体撮像素子チップが傾き易
いので、搭載時の精度が低下するばかりか、ダイアタッ
チ部と固体撮像素子チップとの短絡が多発した。 本発明の目的は、位置決め部が一体に成型されたダイ
アタッチ部に固体撮像素子チップを搭載する固体撮像装
置において、固体撮像素子チップとダイアタッチ部とを
確実に電気的に分解することが可能な技術を提供するこ
とにある。 本発明の他の目的は、前記目的を達成し、固体撮像素
子チップの破壊や回路基板の焼損を防止することが可能
な技術を提供することにある。 本発明の他の目的は、前記目的を達成し、ビデオカメ
ラの製作を簡単にし、又取付治具の位置めピンの機械的
強度を高めることが可能な技術を提供することにある。 本発明の他の目的は、前記特性不良を低減するための
製造工程を低減することが可能な技術を提供することに
ある。 本発明の前記ならびにその他の目的と新規な特徴は、
本明細書の記述及び添付図面によって明らかになるであ
ろう。 〔問題点を解決するための手段〕 本願において開示される発明のうち、代表的なものの
概略を簡単に説明すれば、下記のとおりである。 すなわち、パッケージ内にダイアタッチ部に搭載され
た固体撮像素子チップを組み込んでなり、該固体撮像素
子チップの各電極がワイヤおよびリード部を介して該パ
ッケージ外に電気的に引き出されている固体撮像装置
で、かつ、該パッケージから露出されて該固体撮像装置
を他の部材に植設されたピンを挿入できる孔を有する位
置決め部を備えることによって該他の部材に位置決め配
置ができる固体撮像装置であって、前記リード部、ダイ
アタッチ部、および位置決め部が同一の導電性板材によ
るプレス加工によって形成されているとともに、このう
ち前記位置決め部とダイアタッチ部とは一体化されて形
成されている固体撮像装置において、 少なくとも前記リード部にメッキが施されているとと
もに、前記ダイアタッチ部の前記固体撮像素子チップを
搭載する領域に該領域を覆ってその面積よりも大きな面
積を有する絶縁コート材が厚膜形成技術により形成さ
れ、かつ、前記位置決め部に前記絶縁コート材と同一の
材料からなる耐メッキ用コート材が該絶縁コート材の形
成と同時に形成され、この耐メッキ用コート材は少なく
とも前記リード部にメッキを施す際のマスクとしての機
能を有することを特徴するものである。 〔作 用〕 上述した手段によれば、絶縁コート材によってダイア
タッチ部と固体撮像素子チップとを確実に電気的に分離
することができるので、固体撮像素子チップの破壊や回
路基板の焼損を防止することができる。 以下、本発明の構成について、ビデオカメラに実装さ
れる固体撮像装置に本発明を適用した一実施例とともに
説明する。 なお、実施例を説明するための全図において、同一機
能を有するものは同一符号を付け、その繰り返しの説明
は省略する。 〔実施例〕 本発明の一実施例である固体撮像装置を第１図（平面
図）及び第２図（第１図のII−II切断線で切った断面
図）で示す。 第１図及び第２図に示すように、固体撮像装置１は、
パッケージ２のキャビティ（空胴部）2Cの内部に設けら
れた固体撮像素子チップ３を透明封止キャップ４で封止
している。 前記パッケージ２はベース基板2A及び枠体2Bで構成さ
れている。ベース基板2Aは、長方形の板形状で構成され
ており、長方形の短辺の夫々に凹部2Aa、2Abが設けられ
ている。この凹部2Aa、2Abの夫々は後述する位置決め部
5B、5Cの夫々をパッケージ２の外部に露出するように構
成されている。枠体2Bは、外形がベース基板2Aと同様の
長方形で構成され、中央部分に方形状のキャビティ2Cが
設けられている。ベース基板2Aと同様に、枠体2Bの対向
する短辺の夫々には凹部2Ba、2Bbが設けられている。 ベース基板2A、枠体2Bの夫々は、セラミック材で形成
され、所謂サーディップ型のパッケージを構成する。ベ
ース基板2Aと枠体2Bとは接着剤８によって固着されてい
る。接着剤８は例えばフリットガラスを使用する。枠体
2Bの一角部分には、インデックスとして使用される円形
状凹部2Bcが設けられている。 前記ベース基板2Aと枠体2Bとの間には、接着剤８に固
着された、ダイアタッチ部5A、インナーリード部5D、位
置決め部5B及び5Cが設けられている。これらを含む切断
及び成型前のリードフレーム５は第３図（一部省略平面
図）に示すように構成されている。 第３図に示すように、リードフレーム５の方形リング
状の枠部5Fの中央部分に前記ダイアタッチ部5Aが設けら
れている。ダイアタッチ部5Aは固定撮像素子チップ３を
搭載するように構成されている。 ダイアタッチ部5Aの対向する辺（第３図の左側の辺及
び右側の辺）の夫々には、位置決め部5B、5Cの夫々が一
体に成型されている。位置決め部5B、5Cの夫々は、ビデ
オカメラの回路基板に固体撮像装置１を実装する際、パ
ッケージ２のキャビティ2C内に固体撮像素子チップ３を
搭載する際、パッケージ２に透明封止キャップ４を固着
する際等、両者の位置決めを行うために設けられてい
る。一方の位置決め部5Bには、Ｘ方向及びＹ方向（平面
方向）の位置決めを行う時に使用する位置決めの基準と
なる丸穴5Baが中央部分に設けられている。他方の位置
決め部5Cには、ビデオカメラ（13）側の位置決めピン
（14A,14B）間の距離に若干の誤差がある場合において
もその寸法誤差分を緩和することができる長穴5Caが中
央部分に設けられている。 位置決め部5B、5Cの夫々は、前記ダイアタッチ部5Aを
リードフレーム５の枠部5Fに支持する所謂タブ吊りリー
ドとしても使用されている。つまり、位置決め部5B、5C
の夫々は、実質的にタブ吊りリードをなくすことができ
るので、タブ吊りリードに相当する分、リードフレーム
５の形状を簡単化することができる。 位置決め部5Bの端部には２個所の開口された穴部5Bb
が設けられている。同様に、位置決め部5Cの端部には２
個所の開口された穴部5Cbが設けられている。穴部5Bb、
5Cbの夫々は、位置決め部5B及び5Cの上側に塗布される
接着剤８と下側に塗布される接着剤８とを接着できるよ
うに構成されている。つまり、穴部5Bb、5Cbの夫々は、
接着剤８を介在させる、パッケージ２のベース基板2Aと
枠体2Bとの接着強度を高めるように構成されている。 前記ダイアタッチ部5Aの他の対向する辺（第３図の上
側の辺及び下側の辺）の夫々には、インナーリード部5D
の一端側が近接しそれが複数本配置されている。ダイア
タッチ部5Aの下側の辺の近傍に配置された所定のインナ
ーリード部5Dの一端側は、ダイアタッチ部5Aと一体に構
成されている（電気的に接続されている）。このダイア
タッチ部5Aと一体に構成されたインナーリード部5Dには
接地電位GNDが印加されるように構成されている。この
接地電位GNDは、固体撮像素子チップ３に印加される基
板電位（５〜７［Ｖ］）と異なり、ビデオカメラの取付
治具（14）、レンズマウント部材（15）、回路基板等の
接地電位と同電位の０［Ｖ］である。 インナーリード部5Dの他端側は、アウターリード部5E
の一端側に一体に構成されている。アウターリード部5E
の他端側はリードフレーム５の枠部5Fに支持されてい
る。 枠部5Fの左側には基準位置決め用丸穴5Fa、その右側
には位置決め用凹部5Fbが設けられている。丸穴5Fa及び
凹部5Fbは、サーデイップ型パッケージの組立作業時、
例えば第２図で示すベース基板2Aと枠体2Bをリードフレ
ーム５を介在させて接着剤８で固着する作業時の位置決
めを行うために構成されている。 前記リードフレーム５は、例えば鉄−ニッケル合金
（42アロイ）で構成されている。リードフレーム５は例
えば0.20〜0.30［mm］程度の板厚で構成されている。前
記リードフレーム５のうち、ダイアタッチ部5Aの表面及
びインナーリード部5Dの表面にはクラッド層６（斜線で
示す）が設けられている。クラッド層６はアルミニウム
層で形成する。このアルミニウム層は、前記固体撮像素
子チップ３の外部端子（ボンディングパッド:BP）とイ
ンナーリード部5Dとをアルミニウムワイヤ（10）で接続
するので、ボンダビリティを向上することができる。ク
ラッド層６は、例えば圧延法で形成し、0.20〜0.30［μ
ｍ］程度の膜厚で構成する。クラッド層６は、第３図に
一点鎖線で規定された領域内に形成される。 前記ダイアタッチ部5Aの表面（固体撮像素子チップ３
の搭載面側）にはクラッド層６を介在させて絶縁コート
材7Aがコーティングされている。絶縁コート材7Aは、パ
ッケージ２のベース基板2Aと枠体2Bとを接着剤Ｂで接着
する熱処理工程（約450［℃］、10〜20［分］）におい
て耐え得る材料で形成される。絶縁コート材7Aは例えば
シルクスクリーン印刷技術でコーティングしたポリイミ
ド系樹脂材料で形成されている。絶縁コート材7Aはリー
ドフレーム５の状態つまりクラッド層６を形成した後固
体撮像素子チップ３を搭載する前にコーティングされ
る。絶縁コート材7ABは例えば0.5〜10［μｍ］程度の膜
厚で構成する。絶縁コート材7Aは、固体撮像素子チップ
３が傾いてもダイアタッチ部5Aと短絡しないように、固
体撮像素子チップ３のサイズに比べて大きいサイズで構
成する。また、絶縁コート材7Aは、接着剤８を介在させ
てパッケージ２の枠体2Bであるセラミック材との接着性
が弱いので、キャビティ2Cのサイズに比べて小さいサイ
ズで構成する。絶縁コート材7Aは、主にダイアタッチ部
5Aと固体撮像素子チップ３の裏面とを電気的に分離する
ために設けられている。 前記絶縁コート材7A上には接着剤９を介在させて固体
撮像素子チップ３が搭載される。つまり、ダイアタッチ
部5Aの表面上には、下層側からクラッド層６、絶縁コー
ト材7A及び接着剤９を順次介在させて固体撮像素子チッ
プ３が搭載されている。接着剤９は、例えばアルミナ粒
や酸化珪素粒をフィラーとして含有させた、絶縁性のエ
ポキシ系樹脂接着剤で形成する。また、接着剤９は、導
電性の銀ペーストで形成してもよい。 固体撮像素子チップ３は単結晶珪素基板で構成されて
いる。固体撮像素子チップ３の表面には、詳細を図示し
ていないが、フォトダイオードを二次元的に配置した光
信号を入力する受光部と、この受光部の周辺に配置され
た水平，垂直シフトレジスタとを有している。第１図及
び第２図に示すように、固体撮像素子チップ３の外部端
子BPは、前述のように、ボンディングワイヤ（アルミニ
ウムワイヤ）10を介在させてインナーリード部5Dに接続
されている。ボンディングワイヤ10は例えばウエッジボ
ンディングでボンディングされる。固体撮像素子チップ
３の基板電位（５〜７［Ｖ］）は、インナーリード部5
D、ボンディングワイヤ10及び外部端子BPを通して、表
面側から印加される。 このように、位置決め部5B、5Cの夫々と一体に成型さ
れたダイアタッチ部5Aの表面に固体撮像素子チップ３を
搭載する固体撮像装置１において、前記ダイアタッチ部
5Aの表面に絶縁コート材7Aを介在させて固体撮像素子チ
ップ３を搭載することにより、絶縁コート材７によって
ダイアタッチ部5Aと固体撮像素子チップ３とを確実に電
気的に分離することができる。 また、絶縁コート材7Aは、固体撮像素子チップ３のサ
イズよりも大きいサイズで構成されているので、ダイア
タッチ部5Aの表面に対して固体撮像素子チップ３が傾い
た場合でも、ダイアタッチ部5Aと固体撮像素子チップ３
との短絡を防止することができるので、両者間を確実に
電気的に分離することができる。 パッケージ２から露出する前記アウターリード部5Eの
表面には、第２図に示すように、メッキ層11が設けられ
ている。メッキ層11は、例えば電気メッキで形成した錫
（Sn）メッキ層で形成する。メッキ層11は、アウターリ
ード部5Eを回路基板に半田で接続する際のソルダビリテ
ィを向上するようになっている。 パッケージ２の凹部2Aa、2Baにおいて外部に露出する
位置決め部5Bの表面、凹部2Ab、2Bbにおいて外部に露出
する位置決め部5Cの表面の夫々には、耐メッキ用コート
材7Bがコーティングされている。耐メッキ用コート材7B
は、前記アウターリード部5Eの表面に施すメッキ層11を
形成する前に形成する。耐メッキ用コート材7Bは、前記
絶縁コート材7Aと同一材料でしかも同一製造工程で形成
される。つまり、耐メッキ用コート材7Bはポリイミド系
樹脂材料で形成されている。耐メッキ用コート材7Bは、
枠体2Bと重ねないように、凹部2Ba、2Bbの夫々のサイズ
に比べて、少なくとも合せずれ量を相当する分、小さい
サイズで構成する。つまり、耐メッキ用コート材7Bは、
前述のように、パッケージ２の枠体2Bとの接着性を低下
させないように構成されている。 位置決め部5B、5Cの夫々の表面には前述のようにクラ
ッド層（アルミニウム層）６が設けられており、クラッ
ド層６上にはメッキ層（錫）11の接着性が非常に弱い。
耐メッキ用コート材7Bは、主に、パッケージ２から露出
する位置決め部5B、5Cの夫々の表面に、前記アウターリ
ード部5Eに施すメッキ層11が施されないように構成され
ている。したがって、耐メッキ用コート材7Bは、基本的
にメッキ層11が被着しない有機材料で構成されている。 このように、位置決め部5B、5C及びアウターリード部
5Eを有し、前記位置決め部5B、5Cの表面にクラッド層６
を形成し、前記アウターリード部5Eにソルダビリティを
向上するメッキ層11を形成する固体撮像装置１の製造方
法であって、前記位置決め部5B、5Cの表面に耐メッキ用
コート材7Bを形成し、この後、前記アウターリード部5E
にメッキ層11を形成することにより、前記位置決め部5
B、5Cの表面にメッキ層11が形成されないので、固体撮
像装置１の形成工程中に位置決め部5B、5Cの表面に形成
されたメッキ層11の剥がれで生じる異物が透明封止キャ
ップ３や固体撮像素子チップ３の受光面に付着すること
を低減することができる。したがって、前記異物に起因
する固体撮像装置１の特性不良を防止することができ
る。 また、耐メッキ用コート材7Bを絶縁コート材7Aと同一
製造工程で形成することにより、耐メッキ用コート材7B
を形成する工程を絶縁コート材7Aを形成する工程で兼用
することができるので、耐メッキ用コート材7Bを形成す
る工程に相当する分、固体撮像装置１の製造工程を低減
することができる。 前記透明封止キャップ４は、第１図及び第２図に示す
ように、光学的研磨が施された透明ガラス板で形成され
ている。透明封止キャップ４は、キャビティ2Cを覆うよ
うに、接着層12を介在させて枠体2Bに固着されている。
接着剤12は、例えばエポキシ系樹脂接着剤を使用する。 このように構成される固体撮像装置１は、第４図（ビ
デオカメラの部分概略構成断面図）に示すように、配線
基板（図示しない）に実装した後、ビデオカメラ13に実
装される。具体的には次のとおりである。 固体撮像装置１は、アウターリード部5Eを図示しない
配線基板（プリント配線基板）に挿入した後、半田によ
って配線基板に固着される。 固体撮像装置１が実装された配線基板は、遮蔽カバー
として使用される取付治具14に取り付けられる。この取
り付けは、取付治具14に一体に成型された位置決めピン
14Aを固体撮像装置１の位置決め部5Bの丸穴5Baに挿入
し、位置決めピン14Bを位置決め部5Cの長穴5Caに挿入す
ることにより行われる。また、この取り付けは、取付治
具14に一体に成型された３本の位置決め突起部14Cを固
体撮像装置１のパッケージ２のベース基板2Aの底面に接
触させることにより行われる。前者の取り付けは取付治
具14と固体撮像装置１とのＸ方向及びＹ方向の位置決め
を行うことができる。後者の取り付けは取付治具14と固
体撮像装置１とのＺ方向（高さ方向）の位置決めを行う
ことができる。 取付治具14はアルミニウム材料又はアルミニウム合金
材料をアルミダイキャストで成型して構成されている。
したがって、前記位置決めピン14A、14B及び位置決め突
起部14Cは前記と同一材料で構成されている。 前記固体撮像装置１が実装された取付治具14には、レ
ンズマウント部材15が装着される。レンズマウント部材
15には、光学レンズ15A及び15Bが取り付けられている。
レンズマウント部材15は例えば導電性材料で構成する。
レンズマウント部材15はボルト16を介在させて取付部材
14に装着される。 取付部材14にレンズマウント部材15を装着する際に
は、固体撮像装置１の透明封止キャップ４と光学レンズ
15Bとの間に水晶フィルタ（LPE）17を介在させている。
水晶フィルタ17は、透明封止キャップ４の上部に配置さ
れたゴムパッキン18で支持され、取付治具14に取り付け
られた押え治具19で保持されている。押え治具19は例え
ば樹脂材料で形成する。 前記ビデオカメラ13の取付治具14、レンズマウント部
材15、図示しない回路基板アース部の夫々は、前述のよ
うに接地電位GND（０［Ｖ］）が印加されている。 このように、固体撮像装置１のダイアタッチ部5Aに絶
縁コート材7Aを介在させて固体撮像素子チップ３を搭載
し、この固体撮像装置１を位置決め部5B、5C及び位置決
めピン14A、14Bを介在させてビデオカメラ13の取付治具
14に取り付けることにより、固体撮像素子チップ３と取
付治具14とは絶縁コート材7Aで確実に電気的に分離して
いるので、固体撮像装置１からビデオカメラ13の取治治
具14やレンズマウント部材15に大電流が流れることを確
実に防止することができる。この結果、固体撮像装置１
の固体撮像素子チップ３の破壊や回路基板の焼損を防止
することができる。 また、ビデオカメラ13の取付治具14の位置決めピン14
A、14Bの夫々を取付治具14と一体に機械的強度の大きな
金属材料（アルミニウム系材料）で形成することができ
るので、位置決めピン14A、14Bの夫々の曲がりや損傷を
低減し、又位置決め精度を向上することができる。 また、これらの効果は、固体撮像装置１のダイアタッ
チ部5Aの表面に固体撮像素子チップ３を搭載する際や、
透明封止キャップ４を固着する際についても同様であ
る。 以上、本発明者によってなされた発明を、前記実施例
に基づき具体的に説明したが、本発明は、前記実施例に
限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲に
おいて種々変更可能であることは勿論である。 例えば、本発明は、固体撮像装置のインナーリード部
に銅（Cu）のクラッド層を構成し、ボンディングワイヤ
を銅で構成してもよい。 また、本発明は、絶縁コート材7Aとして接着剤８と同
一物質例えばフリットガラスを用いてもよい。 また、本発明は、一次元ホトセンサを固体撮像素子チ
ップとする固体撮像装置に適用することができる。 〔発明の効果〕 本願において開示される発明のうち代表的なものによ
って得られる効果を簡単に説明すれば、下記のとおりで
ある。 固体撮像装置において、ダイアタッチ部と固体撮像素
子チップとを確実に電気的に分離することができる。
【図面の簡単な説明】
第１図は、本発明の一実施例である固体撮像装置の平面
図、 第２図は、前記第１図に示す固体撮像装置をII−II切断
線で切った断面図、 第３図は、前記固体撮像装置のリードフレームの一部省
略平面図、 第４図は、前記固体撮像装置を実装したビデオカメラの
部分概略構成断面図である。 図中、１……固体撮像装置、２……パッケージ、2A……
ベース基板、2B……枠体、2C……キャビティ、３……固
体撮像素子チップ、４……透明封止キャップ、５……リ
ードフレーム、5A……ダイアタッチ部、5B,5C……位置
決め部、5D……インナーリード部、5E……アウターリー
ド部、６……クラッド層、7A……絶縁コート材、8,9,12
……接着剤、11……メッキ層、13……ビデオカメラ、14
……取付治具、14A,14B……位置決めピン、14C……位置
決め突起部、15……レンズマウント部材である。
図、 第２図は、前記第１図に示す固体撮像装置をII−II切断
線で切った断面図、 第３図は、前記固体撮像装置のリードフレームの一部省
略平面図、 第４図は、前記固体撮像装置を実装したビデオカメラの
部分概略構成断面図である。 図中、１……固体撮像装置、２……パッケージ、2A……
ベース基板、2B……枠体、2C……キャビティ、３……固
体撮像素子チップ、４……透明封止キャップ、５……リ
ードフレーム、5A……ダイアタッチ部、5B,5C……位置
決め部、5D……インナーリード部、5E……アウターリー
ド部、６……クラッド層、7A……絶縁コート材、8,9,12
……接着剤、11……メッキ層、13……ビデオカメラ、14
……取付治具、14A,14B……位置決めピン、14C……位置
決め突起部、15……レンズマウント部材である。
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(72)発明者 阿部 広伸
千葉県茂原市早野3300番地 株式会社日
立製作所茂原工場内
(72)発明者 阿部 英明
千葉県茂原市早野3681番地 日立デバイ
スエンジニアリング株式会社内
(56)参考文献 特開 昭59−72763（ＪＰ，Ａ)
特開 昭58−197766（ＪＰ，Ａ)
特開 昭57−21847（ＪＰ，Ａ)
特開 昭61−218139（ＪＰ，Ａ)
特開 昭52−46771（ＪＰ，Ａ)
特開 昭59−158570（ＪＰ，Ａ)
実開 昭50−62467（ＪＰ，Ｕ)
Claims (1)
- (57)【特許請求の範囲】 １．パッケージ内にダイアタッチ部に搭載された固体撮
像素子チップを組み込んでなり、該固体撮像素子チップ
の各電極がワイヤおよびリード部を介して該パッケージ
外に電気的に引き出されている固体撮像装置で、 かつ、該パッケージから露出されて該固体撮像装置を他
の部材に植設されたピンを挿入できる孔を有する位置決
め部を備えることによって該他の部材に位置決め配置が
できる固体撮像装置であって、 前記リード部、ダイアタッチ部、および位置決め部が同
一の導電性板材によるプレス加工によって形成されてい
るとともに、このうち前記位置決め部とダイアタッチ部
とは一体化されて形成されている固体撮像装置におい
て、 少なくとも前記リード部にメッキが施されているととも
に、 前記ダイアタッチ部の前記固体撮像素子チップを搭載す
る領域に該領域を覆ってその面積よりも大きな面積を有
する絶縁コート材が厚膜形成技術により形成され、 かつ、前記位置決め部に前記絶縁コート材と同一の材料
からなる耐メッキ用コート材が該絶縁コート材の形成と
同時に形成され、この耐メッキ用コート材は少なくとも
前記リード部にメッキを施す際のマスクとしての機能を
有することを特徴する固体撮像装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62320976A JP2682830B2 (ja) | 1987-12-18 | 1987-12-18 | 固体撮像装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62320976A JP2682830B2 (ja) | 1987-12-18 | 1987-12-18 | 固体撮像装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01161875A JPH01161875A (ja) | 1989-06-26 |
| JP2682830B2 true JP2682830B2 (ja) | 1997-11-26 |
Family
ID=18127401
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62320976A Expired - Lifetime JP2682830B2 (ja) | 1987-12-18 | 1987-12-18 | 固体撮像装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2682830B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20200069196A (ko) * | 2018-12-05 | 2020-06-16 | 어주어웨이브 테크놀로지스, 인코퍼레이티드 | 이미지 캡처 모듈 및 휴대형 전자 장치 |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4687053B2 (ja) * | 2004-09-29 | 2011-05-25 | 株式会社ニコン | 撮像素子ユニットおよびデジタルカメラ |
| JP4760509B2 (ja) * | 2006-04-21 | 2011-08-31 | サンケン電気株式会社 | リードフレーム組立体 |
Family Cites Families (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5062467U (ja) * | 1973-10-12 | 1975-06-07 | ||
| JPS5721847A (en) * | 1980-07-14 | 1982-02-04 | Nec Corp | Semiconductor device |
| JPS5972763A (ja) * | 1982-10-20 | 1984-04-24 | Toshiba Corp | 固体イメ−ジセンサ |
| JPH06105721B2 (ja) * | 1985-03-25 | 1994-12-21 | 日立超エル・エス・アイエンジニアリング株式会社 | 半導体装置 |
-
1987
- 1987-12-18 JP JP62320976A patent/JP2682830B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20200069196A (ko) * | 2018-12-05 | 2020-06-16 | 어주어웨이브 테크놀로지스, 인코퍼레이티드 | 이미지 캡처 모듈 및 휴대형 전자 장치 |
| KR102192184B1 (ko) | 2018-12-05 | 2020-12-18 | 어주어웨이브 테크놀로지스, 인코퍼레이티드 | 이미지 캡처 모듈 및 휴대형 전자 장치 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH01161875A (ja) | 1989-06-26 |
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