JP2585470B2 - ハニカム構造体押出用口金の製造方法 - Google Patents
ハニカム構造体押出用口金の製造方法Info
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B28—WORKING CEMENT, CLAY, OR STONE
- B28B—SHAPING CLAY OR OTHER CERAMIC COMPOSITIONS; SHAPING SLAG; SHAPING MIXTURES CONTAINING CEMENTITIOUS MATERIAL, e.g. PLASTER
- B28B3/00—Producing shaped articles from the material by using presses; Presses specially adapted therefor
- B28B3/20—Producing shaped articles from the material by using presses; Presses specially adapted therefor wherein the material is extruded
- B28B3/26—Extrusion dies
- B28B3/269—For multi-channeled structures, e.g. honeycomb structures
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
- C23C16/02—Pretreatment of the material to be coated
- C23C16/0227—Pretreatment of the material to be coated by cleaning or etching
- C23C16/0236—Pretreatment of the material to be coated by cleaning or etching by etching with a reactive gas
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Description
構成された口金母材の表面をCVD法、特に中温度にお
けるCVD法を利用してコーティングすることにより耐
摩耗性に優れたハニカム構造体押出用口金を製造する方
法に関するものである。
D法により処理して耐摩耗性を向上させることは、例え
ば特開昭60−145805号公報(押出ダイおよびその製造方
法、コーニンググラスワ−クス) によって従来から知ら
れている。またステンレス鋼から成るハニカム押出用の
口金母材の表面にCVD法を適用することも、例えば特
開昭61−69968 号公報(鋼マトリックス及びその製造方
法、ベルナAGオルテン)に開示されている。
う場合、コーティングする前に被コーティング材を十分
に洗浄し、汚れ、加工層、酸化膜等を除去しておくこと
が不可欠である。この工程が不十分であるとコーティン
グが形成されなかったり、冷却工程で剥離したり、コー
ティング膜が形成されても実用寿命が短い膜しか得られ
ないという欠点がある。特にステンレス鋼から構成され
たハニカム押出用の口金母材の場合、表面に非常に酸化
膜を形成しやすく、その除去には特に気をつかう必要が
ある。通常このような酸化膜等の除去には酸溶液が用い
られる。しかしながら酸溶液で洗浄した後、表面に残っ
ている酸溶液を落とすために水ですすぎ更にオ−ブン等
で乾燥するため、この過程で再び酸化膜が発生し、CV
D法による良好なコーティング膜が得られないという欠
点があった。
後の冷却時間をある程度長く取れば、剥離の問題を解決
することができる。しかし冷却時間を長くすることはC
VDコーティングのト−タル時間を更に長くすることに
なり、口金製作コストのアップにつながる欠点がある。
さらに、焼き入れの必要な材質にCVDコーティングし
た場合、コーティング後は急冷することが必要であるた
め、冷却時間を長くすることは実質上不可能であった。
な従来の問題点を解決して、口金母材の表面に密着力が
良好で耐摩耗性に優れたCVDコーティング膜が形成さ
れたハニカム構造体押出用口金の製造方法を提供するた
めになされたものである。
めになされた本発明は、ハニカム構造体押出用の口金母
材をCVDコーティング装置内にセットしてその表面を
ガスエッチングしたうえ、同一装置の炉内で直ちにCV
Dコーティングすることを特徴とすることを特徴とする
ものである。このように本発明は上記の目的を達成する
ために、CVDコーティングの前に例えば四塩化チタン
と水素とを反応させて発生させた塩酸ガスによりCVD
コーティング装置内においてガスエッチングを行う工程
を導入し、これにより口金母材の表面の酸化膜を除去し
て良好なCVDコーティング膜を形成しようとするもの
である。しかしガスエッチングの方法はこれに限定され
るものではなく、例えばリン酸や弗酸のガスを用いて行
うこともできる。
0 ℃が望ましい。これは口金母材の変形を防ぎ、かつ十
分なガスエッチングを行わせるうえで重要である。ガス
エッチングの時間は、0.5 〜3.5 時間が望ましい。エッ
チング時間が0.5時間より短いとエッチングの効果が得
られず、コーティング膜の不均一が発生したり、冷却工
程でコーティング膜が剥離し易くなる。また3.5 時間よ
り長く処理すると口金母材が侵されて表面に脆化層を形
成し、耐摩耗性のあるコーティング膜が得られない。
られるステンレス鋼は、酸素と水とに対して非常に敏感
なため、ガスエッチングは還元雰囲気中で行うことが望
ましい。もし雰囲気中に酸素や水が含まれていると、エ
ッチングの効果が十分得られず、コーティング膜が不均
一になったり、冷却工程で剥離したりするおそれがあ
る。
ーティングをスタートする直前、さらに好ましくはCV
Dコーティングスケジュールの一貫として行うことが望
ましい。すなわち、CVDコーティング装置内に口金母
材をセッティングした後、還元性ガスを流して所定温度
まで上昇し、その後ガスエッチングを行い、同一装置の
炉内でひき続いてCVDコーティングを行う。このよう
に同一装置の炉内で連続的にクロ−ズ状態でガスエッチ
ング→CVDコーティングを行うことにより、口金母材
表面への汚れの再付着、酸化膜の再形成を完全に防止す
ることができ、密着力の優れた均一なコーティング層が
得られることとなる。次に本発明の実施例を示す。
化ステンレス鋼)に径1.5mm の孔をドリル加工、電解加
工等の方法で加工し、この孔加工した面と反対側の面に
は、幅約200 μmの成形溝を放電加工により加工し、外
径215mm ×130mm 、厚み21mmの楕円形状の口金母材を製
作した。これをアルカリ脱脂、水洗し、酸溶液を用いて
超音波洗浄を行い、次いで水洗して洗浄した。
5mm ×750mm のベルネックス社標準タイプのCVDコー
ティング装置1の炉内に、上記の口金母材2を4台セッ
トし、チャンバーを覆せた後、炉内を真空状態に排気し
た。そして中央のガス供給ノズル3から水素ガスを流し
ながら、減圧下で770 ℃まで昇温した。その後、ガス供
給ノズル3から四塩化チタンガスを流し込み、水素ガス
との反応により塩酸ガスを発生させながら、図2に示す
ように3.0 時間ガスエッチングを行った。次いで、同装
置の炉内にガス供給ノズル3から水素、四塩化チタンに
加えアセトニトリルガスを流し込み、温度770 ℃、10時
間の条件下でTi(C,N)(炭窒化チタン)のCVD
コーティングを行った。この際、口金母材2は原料ガス
供給管側へ成形溝を向けて配置した。この時のガス流量
は27.0リットル/分、圧力は60mbarであった。この結
果、図3に示すように均一で剥離のない、厚さ15μmの
Ti(C,N)のコーティング膜4が口金母材2の表面
にコーティングされたハニカム構造体押出用口金が得ら
れた。
に洗浄してCVDコーティング装置1の炉内にセットし
た。その他の条件は実施例1とすべて同一とし、ガスエ
ッチングの時間のみを0.5 時間とした。その結果、口金
母材2の表面に厚み15μmのTi(C,N)のコーティ
ング膜4が得られたが、図4に示すように部分的にコー
ティング膜4の剥離が発生し、コーティング膜4の密着
性は実施例1よりもやや劣るものであった。
してCVDコーティング装置1内にセットした。今回は
ガスエッチングを行わず、昇温後すぐにコーティングを
開始した。その他の条件は実施例1と同様とした。その
結果、口金母材2の表面に厚み15μmのTi(C,N)
のコーティング膜4が得られたが、図5に示すように全
体的にコーティング膜4の剥離が発生し、良質のコーテ
ィング膜は得られなかった。
ハニカム押出用の口金母材にCVDコーティング装置内
でCVDコーティングを行うに先立って、このCVDコ
ーティング装置の炉内においてガスエッチングを行うこ
とによって、密着性に優れ、剥離のないコーティング膜
を表面に持ったハニカム構造体押出用口金を得ることが
できる。またこのようにガスエッチングすることにより
コーティング膜の剥離のおそれがなくなるので急冷が可
能となり、コーティング時間を短くすることができるか
ら、口金の製作コストを低減することもできる。よって
本発明は従来の問題点を解消したハニカム構造体押出用
口金の製造方法として、産業の発展に寄与するところは
極めて大きいものである。
装置の断面図である。
押出用口金の拡大図である。
押出用口金の拡大図である。
押出用口金の拡大図である。
Claims (6)
- 【請求項1】 ハニカム構造体押出用の口金母材をCV
Dコーティング装置内にセットしてその表面をガスエッ
チングしたうえ、同一装置の炉内で直ちにCVDコーテ
ィングすることを特徴とするハニカム構造体押出用口金
の製造方法。 - 【請求項2】 ガスエッチングを0.5 〜3.5 時間行うこ
とを特徴とする請求項1記載のハニカム構造体押出用口
金の製造方法。 - 【請求項3】 ガスエッチングを700 〜900 ℃で行うこ
とを特徴とする請求項1記載のハニカム構造体押出用口
金の製造方法。 - 【請求項4】 ハニカム構造体押出用の口金母材がステ
ンレス鋼から構成されたものであることを特徴とする請
求項1記載のハニカム構造体押出用口金の製造方法。 - 【請求項5】 四塩化チタンと水素とを反応させて発生
させた塩酸ガスによりガスエッチングを行うことを特徴
とする請求項1記載のハニカム構造体押出用口金の製造
方法。 - 【請求項6】 ガスエッチングを還元雰囲気中で行うこ
とを特徴とする請求項1記載のハニカム構造体押出用口
金の製造方法。
Priority Applications (4)
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JP3014832A JP2585470B2 (ja) | 1991-01-14 | 1991-01-14 | ハニカム構造体押出用口金の製造方法 |
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US4324594A (en) * | 1978-02-02 | 1982-04-13 | University Of Dayton | Method for cleaning metal parts |
JPS5854731B2 (ja) * | 1978-08-22 | 1983-12-06 | 松下電器産業株式会社 | コイル巻線装置 |
JPS5631318A (en) * | 1979-08-22 | 1981-03-30 | Matsushita Electric Works Ltd | Leakage breaker |
JPS5631319A (en) * | 1979-08-24 | 1981-03-30 | Mitsubishi Electric Corp | Dc leakage breaker |
JPS5913586A (ja) * | 1982-07-14 | 1984-01-24 | Fuji Valve Kk | 内燃機関用バルブ部材に対するチップ部材の自動溶接装置 |
JPS59178122A (ja) * | 1983-03-29 | 1984-10-09 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 押出し加工用耐摩部品 |
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DE3431892C2 (de) * | 1984-08-30 | 1996-08-08 | Corning Glass Works | Matrize aus einem kohlenstoffarmen Stahl, Verfahren zu deren Herstellung und deren Verwendung |
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-
1992
- 1992-01-09 US US07/818,538 patent/US5205903A/en not_active Expired - Lifetime
- 1992-01-13 EP EP92300278A patent/EP0496516B1/en not_active Expired - Lifetime
- 1992-01-13 DE DE69206636T patent/DE69206636T2/de not_active Expired - Lifetime
Also Published As
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