JP2579111B2 - 静電力駆動小型光スキャナ - Google Patents
静電力駆動小型光スキャナInfo
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- JP2579111B2 JP2579111B2 JP4334064A JP33406492A JP2579111B2 JP 2579111 B2 JP2579111 B2 JP 2579111B2 JP 4334064 A JP4334064 A JP 4334064A JP 33406492 A JP33406492 A JP 33406492A JP 2579111 B2 JP2579111 B2 JP 2579111B2
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、物体の探査、把握を行
うためのレ−ザレ−ダ用のスキャナとして、またファク
シミリやプリンタ−の書き込み用として、また将来の光
コンピュ−ティングに代表される光情報処理分野に利用
する１軸方向，２軸方向走査光スキャナに関するもので
ある。
うためのレ−ザレ−ダ用のスキャナとして、またファク
シミリやプリンタ−の書き込み用として、また将来の光
コンピュ−ティングに代表される光情報処理分野に利用
する１軸方向，２軸方向走査光スキャナに関するもので
ある。
【０００２】
【従来の技術】以下、従来の２軸方向走査光スキャナに
ついて図８，９，１０をもちいて説明する。図８，９，
１０において、５１はレ−ザ光源、５２はＸ軸方向ミラ
−、５３はＹ軸方向ミラ−、５４はポリゴンミラ−、５
５はディスク型ホログラムスキャナである。以上のよう
に構成された２軸方向走査光スキャナについて、その動
作について説明する。図８は、レ−ザ光源５１からでた
レ−ザ光がＸ軸方向のミラ−５２とＹ軸方向のミラ−５
３を回転変位させることにより２軸方向走査する、ガル
バノメ−タスキャナを二つ組み合わせた構成や、図９に
示すようにポリゴンミラ−５４とガルバノメ−タスキャ
ナにより回転変位するＹ軸方向ミラ−５３を組み合わせ
た構成や、図１０に示すようにディスク型ホログラムス
キャナ５５とガルバノメ−タスキャナにより回転変位す
るＹ軸方向ミラ−５３を組み合わせた構成が知られてい
る。
ついて図８，９，１０をもちいて説明する。図８，９，
１０において、５１はレ−ザ光源、５２はＸ軸方向ミラ
−、５３はＹ軸方向ミラ−、５４はポリゴンミラ−、５
５はディスク型ホログラムスキャナである。以上のよう
に構成された２軸方向走査光スキャナについて、その動
作について説明する。図８は、レ−ザ光源５１からでた
レ−ザ光がＸ軸方向のミラ−５２とＹ軸方向のミラ−５
３を回転変位させることにより２軸方向走査する、ガル
バノメ−タスキャナを二つ組み合わせた構成や、図９に
示すようにポリゴンミラ−５４とガルバノメ−タスキャ
ナにより回転変位するＹ軸方向ミラ−５３を組み合わせ
た構成や、図１０に示すようにディスク型ホログラムス
キャナ５５とガルバノメ−タスキャナにより回転変位す
るＹ軸方向ミラ−５３を組み合わせた構成が知られてい
る。
【０００３】つぎに、近年の１軸方向走査の光スキャナ
については、マイクロマシンの研究が盛んに行われるよ
うになり、シリコンマイクロマシニングを用いた小型光
スキャナが作られている。例えば、静電型シリコンねじ
り振動子（富士電気，中川ほか）、日本機械学会第６８
期全国大会講演会講演論文集Ｖｏｉ．Ｄ、（１９９０）
などである。
については、マイクロマシンの研究が盛んに行われるよ
うになり、シリコンマイクロマシニングを用いた小型光
スキャナが作られている。例えば、静電型シリコンねじ
り振動子（富士電気，中川ほか）、日本機械学会第６８
期全国大会講演会講演論文集Ｖｏｉ．Ｄ、（１９９０）
などである。
【０００４】以下、従来の１軸走査の小型光スキャナに
ついて、図１１，１２を用いて説明する。図１１は、静
電型シリコンねじり振動子の外観図である。振動子４１
は、可動板４２とスパンバウンド４３と枠４４からな
り、厚さ０．３ｍｍのシリコンからエッチングにより一
体形成している。可動板４２とスパンバウンド４３の厚
さは２０μｍである。シリコン振動子４１は、電極を形
成したガラス基板４５にスペ−サ４６を挟んで接着して
いる。
ついて、図１１，１２を用いて説明する。図１１は、静
電型シリコンねじり振動子の外観図である。振動子４１
は、可動板４２とスパンバウンド４３と枠４４からな
り、厚さ０．３ｍｍのシリコンからエッチングにより一
体形成している。可動板４２とスパンバウンド４３の厚
さは２０μｍである。シリコン振動子４１は、電極を形
成したガラス基板４５にスペ−サ４６を挟んで接着して
いる。
【０００５】図１２は、静電型シリコンねじり振動子の
運動状態を示した断面図である。Ｓ字型のスパンバウン
ド４３で支持された可動板４２と電極間に電圧を印加す
ると、両者の間に静電力が働き、可動板４２はスパンバ
ウンド４３を軸として電極に静電吸引され振動する。
運動状態を示した断面図である。Ｓ字型のスパンバウン
ド４３で支持された可動板４２と電極間に電圧を印加す
ると、両者の間に静電力が働き、可動板４２はスパンバ
ウンド４３を軸として電極に静電吸引され振動する。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、２軸方
向走査光スキャナについては、上記の構成では、数多く
の部品からなり構造が複雑であり、又ミラ−部の駆動の
ためのアクチェ−タが大きく、全体を小型化することが
困難である。
向走査光スキャナについては、上記の構成では、数多く
の部品からなり構造が複雑であり、又ミラ−部の駆動の
ためのアクチェ−タが大きく、全体を小型化することが
困難である。
【０００７】静電型シリコンねじり振動子の場合は、小
型であるが、２軸方向走査は出来ない。また１軸方向走
査光スキャナとして考えると、走査角度を増加させるに
したがい、駆動電圧が高くなる。逆に、駆動電圧を制限
して走査角度増加させると、スパンバウンドの機械的強
度が低下するなどの問題がある。
型であるが、２軸方向走査は出来ない。また１軸方向走
査光スキャナとして考えると、走査角度を増加させるに
したがい、駆動電圧が高くなる。逆に、駆動電圧を制限
して走査角度増加させると、スパンバウンドの機械的強
度が低下するなどの問題がある。
【０００８】本発明は、上記従来例の課題を解決するも
ので、半導体プロセス加工を用いて、ミラ−やアクチェ
−タを形成し、超小型，低電圧駆動（広走査角度）の１
軸方向走査，２軸方向走査光スキャナを提供することを
目的とする。
ので、半導体プロセス加工を用いて、ミラ−やアクチェ
−タを形成し、超小型，低電圧駆動（広走査角度）の１
軸方向走査，２軸方向走査光スキャナを提供することを
目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】この目的を達成するため
に本発明は、入射光を反射し、Ｘ軸および前記Ｘ軸に直
交するＹ軸の方向に走査可能なミラー部材と、前記ミラ
ー部材を前記ミラー部材の略中心部でピボット状に支持
する第１のピボット状支持部材と、前記ミラ−部材の略
中心部を通る前記Ｙ軸の方向に前記ミラー部材の一対の
端部から延在して、前記ミラー部材を支持するＸ軸走査
用梁部材と、前記Ｘ軸走査用梁部材の前記ミラー部材と
反対側の端部が連絡し、前記ミラー部材を取り囲むよう
に形成された静電吸引部材と、前記静電吸引部材の一対
の端部に連絡し前記ミラ−部材の中心部を通り前記Ｘ軸
の方向に前記ミラー部材の一対の端部から延在して、前
記ミラー部材を支持するＹ軸走査用梁部材と、前記Ｙ軸
走査用梁部材をピボット状に支持する第２のピボット状
支持部材と、前記Ｙ軸走査用梁部材の前記静電吸引部材
と反対側の端部が連絡した第１の基板部材と、前記ミラ
ー部材と対向して設けられ、前記ミラー部材を駆動する
静電力を印加可能なＸ軸方向駆動電極と、前記静電吸引
部材に対向して設けられ、前記静電吸引部材を駆動する
静電力を印加可能なＹ軸方向駆動電極と、前記ミラー部
材とＸ軸方向駆動電極とを絶縁し、前記静電吸引部材と
Ｙ軸方向駆動電極とを絶縁する絶縁部材と、前記Ｘ軸方
向駆動電極、Ｙ軸方向駆動電極および前記絶縁部材が設
けられた第２の基板部材と、前記Ｘ軸方向駆動電極およ
びＹ軸方向駆動電極に連絡され前記第２の基板部材内に
配された配線部材とを有し、前記ミラー部材、前記Ｘ軸
走査用梁部材、前記静電吸引部材、前記Ｙ軸走査用梁部
材および前記第１の基板部材は同一のシリコン部材から
一体物として形成され、前記ミラー部材と前記静電吸引
部材とは独立に変位可能な２軸方向走査可能な静電力駆
動小型光スキャナである。または、入射光を反射し、第
１の軸の方向に走査可能なミラー部材と、前記ミラー部
材を前記ミラー部材の略中心部でピボット状に支持する
ピボット状支持部材と、前記ミラ−部材の略中心部を通
り前記第１の軸と直交する第２の軸の方向に前記ミラー
部材の一対の端部から延在して、前記ミラー部材を支持
する走査用梁部材と、前記走査用梁部材をピボット状に
支持する第２のピボット状支持部材と、前記走査用梁部
材の前記ミラー部材と反対側の端部が連絡した第１の基
板部 材と、前記走査用梁部材に連絡され、前記ミラー部
材を取り囲むように形成された静電吸引部材と、前記ミ
ラー部材と対向して設けられ、前記ミラー部材を駆動す
る静電力を印加可能なミラー部材用駆動電極と、前記静
電吸引部材に対向して設けられ、前記静電吸引部材を駆
動する静電力を印加可能な静電吸引部材用駆動電極と、
前記ミラー部材とミラー部材用駆動電極とを絶縁し、前
記静電吸引部材と静電吸引部材用駆動電極とを絶縁する
絶縁部材と、前記ミラー部材用駆動電極および静電吸引
部材用駆動電極並びに前記絶縁部材が設けられた第２の
基板部材とを有し、前記ミラー部材、前記走査用梁部
材、前記静電吸引部材および前記第１の基板部材は、同
一のシリコン部材から一体物として形成され、前記ミラ
ー部材と前記静電吸引部材とは独立に変位可能な１軸方
向走査可能な静電力駆動小型光スキャナである。これら
の場合、さらに、第１の基板部材に反射防止膜を有する
ガラス基板が設けられ、前記ガラス基板で封止される前
記ミラー部の周辺の空間が真空であることが好適であ
る。また、ミラー部材は、複数個設けられ、前記ミラー
部材は、同一平面上で、直線的、または平面的に配列さ
れている構成であってもよい。
に本発明は、入射光を反射し、Ｘ軸および前記Ｘ軸に直
交するＹ軸の方向に走査可能なミラー部材と、前記ミラ
ー部材を前記ミラー部材の略中心部でピボット状に支持
する第１のピボット状支持部材と、前記ミラ−部材の略
中心部を通る前記Ｙ軸の方向に前記ミラー部材の一対の
端部から延在して、前記ミラー部材を支持するＸ軸走査
用梁部材と、前記Ｘ軸走査用梁部材の前記ミラー部材と
反対側の端部が連絡し、前記ミラー部材を取り囲むよう
に形成された静電吸引部材と、前記静電吸引部材の一対
の端部に連絡し前記ミラ−部材の中心部を通り前記Ｘ軸
の方向に前記ミラー部材の一対の端部から延在して、前
記ミラー部材を支持するＹ軸走査用梁部材と、前記Ｙ軸
走査用梁部材をピボット状に支持する第２のピボット状
支持部材と、前記Ｙ軸走査用梁部材の前記静電吸引部材
と反対側の端部が連絡した第１の基板部材と、前記ミラ
ー部材と対向して設けられ、前記ミラー部材を駆動する
静電力を印加可能なＸ軸方向駆動電極と、前記静電吸引
部材に対向して設けられ、前記静電吸引部材を駆動する
静電力を印加可能なＹ軸方向駆動電極と、前記ミラー部
材とＸ軸方向駆動電極とを絶縁し、前記静電吸引部材と
Ｙ軸方向駆動電極とを絶縁する絶縁部材と、前記Ｘ軸方
向駆動電極、Ｙ軸方向駆動電極および前記絶縁部材が設
けられた第２の基板部材と、前記Ｘ軸方向駆動電極およ
びＹ軸方向駆動電極に連絡され前記第２の基板部材内に
配された配線部材とを有し、前記ミラー部材、前記Ｘ軸
走査用梁部材、前記静電吸引部材、前記Ｙ軸走査用梁部
材および前記第１の基板部材は同一のシリコン部材から
一体物として形成され、前記ミラー部材と前記静電吸引
部材とは独立に変位可能な２軸方向走査可能な静電力駆
動小型光スキャナである。または、入射光を反射し、第
１の軸の方向に走査可能なミラー部材と、前記ミラー部
材を前記ミラー部材の略中心部でピボット状に支持する
ピボット状支持部材と、前記ミラ−部材の略中心部を通
り前記第１の軸と直交する第２の軸の方向に前記ミラー
部材の一対の端部から延在して、前記ミラー部材を支持
する走査用梁部材と、前記走査用梁部材をピボット状に
支持する第２のピボット状支持部材と、前記走査用梁部
材の前記ミラー部材と反対側の端部が連絡した第１の基
板部 材と、前記走査用梁部材に連絡され、前記ミラー部
材を取り囲むように形成された静電吸引部材と、前記ミ
ラー部材と対向して設けられ、前記ミラー部材を駆動す
る静電力を印加可能なミラー部材用駆動電極と、前記静
電吸引部材に対向して設けられ、前記静電吸引部材を駆
動する静電力を印加可能な静電吸引部材用駆動電極と、
前記ミラー部材とミラー部材用駆動電極とを絶縁し、前
記静電吸引部材と静電吸引部材用駆動電極とを絶縁する
絶縁部材と、前記ミラー部材用駆動電極および静電吸引
部材用駆動電極並びに前記絶縁部材が設けられた第２の
基板部材とを有し、前記ミラー部材、前記走査用梁部
材、前記静電吸引部材および前記第１の基板部材は、同
一のシリコン部材から一体物として形成され、前記ミラ
ー部材と前記静電吸引部材とは独立に変位可能な１軸方
向走査可能な静電力駆動小型光スキャナである。これら
の場合、さらに、第１の基板部材に反射防止膜を有する
ガラス基板が設けられ、前記ガラス基板で封止される前
記ミラー部の周辺の空間が真空であることが好適であ
る。また、ミラー部材は、複数個設けられ、前記ミラー
部材は、同一平面上で、直線的、または平面的に配列さ
れている構成であってもよい。
【００１０】
【作用】本発明は、上記構成によって、シリコン基板上
に形成されたミラ−が、駆動電極に電圧を印加すること
で、Ｘ軸，Ｙ軸の２軸方向走査可能となり、半導体レ−
ザ光は二次元走査される。全体が超小型な２軸方向走査
光スキャナを提供することができる。また複数本の静電
吸引部を持つことにより、従来よりも低電圧で、広走査
角度の１軸方向走査光スキャナを提供することができ
る。さらに、これら光スキャナのミラ−部を真空中で動
作させることにより、高速応答が可能になる。そして、
これらミラ−を、単一ではなく直線的にまた平面的に配
列することで、プリンタ−の書き込み用や光情報分野用
として、従来にない小型でまったく新しい光スキャナデ
バイスを提供することができる。
に形成されたミラ−が、駆動電極に電圧を印加すること
で、Ｘ軸，Ｙ軸の２軸方向走査可能となり、半導体レ−
ザ光は二次元走査される。全体が超小型な２軸方向走査
光スキャナを提供することができる。また複数本の静電
吸引部を持つことにより、従来よりも低電圧で、広走査
角度の１軸方向走査光スキャナを提供することができ
る。さらに、これら光スキャナのミラ−部を真空中で動
作させることにより、高速応答が可能になる。そして、
これらミラ−を、単一ではなく直線的にまた平面的に配
列することで、プリンタ−の書き込み用や光情報分野用
として、従来にない小型でまったく新しい光スキャナデ
バイスを提供することができる。
【００１１】
（実施例１）以下、本発明の第１の実施例について図面
を参照しながら説明する。図１は、本発明の第１の実施
例における小型の２軸方向走査可能な静電力駆動光スキ
ャナの（ａ）平面図と（ｂ）断面図である。
を参照しながら説明する。図１は、本発明の第１の実施
例における小型の２軸方向走査可能な静電力駆動光スキ
ャナの（ａ）平面図と（ｂ）断面図である。
【００１２】図１において、１はミラ−部、２はシリコ
ン基板、３はＸ軸走査用の梁、４はＸ軸方向駆動電極、
５は電極基板、６は絶縁膜、７は支持スペ−サ部、８は
駆動電極配線部、９はＹ軸走査用の梁、６０はＹ軸方向
静電吸引部、６１はＹ軸方向駆動電極である。 ミラ−
部１は、Ｘ軸走査用の梁３と一体で構成され、さらにＸ
軸走査用の梁３の他の端は、Ｙ軸方向静電吸引部６０と
一体で構成され、Ｙ軸方向静電吸引部６０は、Ｙ軸走査
用の梁９と一体で構成され、さらにＹ軸走査用の梁９の
他の端は、シリコン基板２と一体で構成されており、こ
れらすべてシリコンで形成されている。ミラ−部１の下
部にはＸ軸方向駆動電極４が、またＹ軸方向静電吸引部
６０の下部にはＹ軸方向駆動電極６１が配置されてお
り、これら駆動電極は、電極基板５に形成されている。
駆動電極配線部８は、ミラ−部１などに対して駆動電極
よりも距離を隔てて形成され、駆動電極配線部８による
静電力がミラ−部１に作用しないよう電極基板５の内部
配線により形成されている。
ン基板、３はＸ軸走査用の梁、４はＸ軸方向駆動電極、
５は電極基板、６は絶縁膜、７は支持スペ−サ部、８は
駆動電極配線部、９はＹ軸走査用の梁、６０はＹ軸方向
静電吸引部、６１はＹ軸方向駆動電極である。 ミラ−
部１は、Ｘ軸走査用の梁３と一体で構成され、さらにＸ
軸走査用の梁３の他の端は、Ｙ軸方向静電吸引部６０と
一体で構成され、Ｙ軸方向静電吸引部６０は、Ｙ軸走査
用の梁９と一体で構成され、さらにＹ軸走査用の梁９の
他の端は、シリコン基板２と一体で構成されており、こ
れらすべてシリコンで形成されている。ミラ−部１の下
部にはＸ軸方向駆動電極４が、またＹ軸方向静電吸引部
６０の下部にはＹ軸方向駆動電極６１が配置されてお
り、これら駆動電極は、電極基板５に形成されている。
駆動電極配線部８は、ミラ−部１などに対して駆動電極
よりも距離を隔てて形成され、駆動電極配線部８による
静電力がミラ−部１に作用しないよう電極基板５の内部
配線により形成されている。
【００１３】電極基板５上のＸ軸方向駆動電極４とＹ軸
方向駆動電極６１と、ミラ−部１とＹ軸方向静電吸引部
６０との間には、駆動電極の絶縁用の絶縁膜６とミラ−
部１を支え、ミラ−部１と駆動電極間のギャップをきめ
る支持スペ−サ部７が形成されており、支持スペ−サ部
７は、電極基板５上に形成されており、シリコン基板２
は、支持スペ−サ部７と接着されている。
方向駆動電極６１と、ミラ−部１とＹ軸方向静電吸引部
６０との間には、駆動電極の絶縁用の絶縁膜６とミラ−
部１を支え、ミラ−部１と駆動電極間のギャップをきめ
る支持スペ−サ部７が形成されており、支持スペ−サ部
７は、電極基板５上に形成されており、シリコン基板２
は、支持スペ−サ部７と接着されている。
【００１４】以上のように構成された２軸方向走査可能
な静電力駆動小型光スキャナについて、次にその動作に
ついて説明する。
な静電力駆動小型光スキャナについて、次にその動作に
ついて説明する。
【００１５】ミラ−部１は、Ｘ軸方向駆動電極４に電圧
を印加することにより、その静電力を受け、Ｘ軸走査用
の梁３と支持スペ−サ部７を支点として、光をＸ軸方向
に走査する動作をする。次にＹ軸方向駆動電極６１に電
圧を印加すると、Ｙ軸方向静電吸引部６０が、その静電
力を受けて、Ｙ軸走査用の梁９と支持スペ−サ部７を支
点として、光をＹ軸方向に走査する動作をする。ミラ−
部１はＹ軸方向静電吸引部６０と一体となり光をＹ軸方
向に走査する動作をする。以上の電圧印加を同時に行う
ことにより、ミラ−部１で反射光を２軸方向走査するこ
とができる。
を印加することにより、その静電力を受け、Ｘ軸走査用
の梁３と支持スペ−サ部７を支点として、光をＸ軸方向
に走査する動作をする。次にＹ軸方向駆動電極６１に電
圧を印加すると、Ｙ軸方向静電吸引部６０が、その静電
力を受けて、Ｙ軸走査用の梁９と支持スペ−サ部７を支
点として、光をＹ軸方向に走査する動作をする。ミラ−
部１はＹ軸方向静電吸引部６０と一体となり光をＹ軸方
向に走査する動作をする。以上の電圧印加を同時に行う
ことにより、ミラ−部１で反射光を２軸方向走査するこ
とができる。
【００１６】以上のように、本実施例によれば、シリコ
ン基板２上に形成したミラ−部１を、Ｘ軸，Ｙ軸方向の
駆動電極に電圧を印加することで、静電力により吸引さ
せ、レ−ザ光を２軸方向走査可能な静電力駆動小型光ス
キャナを提供することができる。
ン基板２上に形成したミラ−部１を、Ｘ軸，Ｙ軸方向の
駆動電極に電圧を印加することで、静電力により吸引さ
せ、レ−ザ光を２軸方向走査可能な静電力駆動小型光ス
キャナを提供することができる。
【００１７】（実施例２）以下、本発明の第２の実施例
について図面を参照して説明する。図２は、本発明の第
２の実施例における小型の１軸方向走査可能な静電力駆
動光スキャナの（ａ）平面図と（ｂ）断面図である。
について図面を参照して説明する。図２は、本発明の第
２の実施例における小型の１軸方向走査可能な静電力駆
動光スキャナの（ａ）平面図と（ｂ）断面図である。
【００１８】図２において、１はミラ−部、２はシリコ
ン基板、１０は第１の梁、１１は第１の静電吸引部、１
２は第２の梁、１３は第２の静電吸引部、１４はミラ−
部の梁、１５は支持スペ−サ部、１６は電極基板、１７
は絶縁膜、１８はミラ−駆動電極、１９は第２の静電吸
引部駆動電極、２０は第１の静電吸引部駆動電極であ
る。シリコン基板２上に、ミラ−部１と一体でミラ−部
の梁１４が形成され、ミラ−部の梁１４と一体で、前記
ミラ−部１を囲むように第２の静電吸引部１３と第２の
梁１２が形成され、さらに第２の梁１２と一体で前記の
第２の静電吸引部１３を囲むように第１の静電吸引部１
１と第１の梁１０が形成されている。
ン基板、１０は第１の梁、１１は第１の静電吸引部、１
２は第２の梁、１３は第２の静電吸引部、１４はミラ−
部の梁、１５は支持スペ−サ部、１６は電極基板、１７
は絶縁膜、１８はミラ−駆動電極、１９は第２の静電吸
引部駆動電極、２０は第１の静電吸引部駆動電極であ
る。シリコン基板２上に、ミラ−部１と一体でミラ−部
の梁１４が形成され、ミラ−部の梁１４と一体で、前記
ミラ−部１を囲むように第２の静電吸引部１３と第２の
梁１２が形成され、さらに第２の梁１２と一体で前記の
第２の静電吸引部１３を囲むように第１の静電吸引部１
１と第１の梁１０が形成されている。
【００１９】図２の（ｂ）に示すように、ミラ−部１の
下部には、ミラ−駆動電極１８が配置され、同様に第２
の静電吸引部１３の下部には、第２の静電吸引部駆動電
極１９が、第１の静電吸引部１１の下部には、第１の静
電吸引部駆動電極２０が配置されている。これら駆動電
極は電極基板１６に形成されている。シリコン基板２と
電極基板１６との間には、駆動電極の絶縁用の絶縁膜１
７と、ミラ−部１を支え、ミラ−部１と駆動電極間のギ
ャップを決める支持スペ−サ部１５が形成されている。
電極基板１６の上に支持スペ−サ部１５が形成され、シ
リコン基板２は、支持スペ−サ部１５と接着されてい
る。
下部には、ミラ−駆動電極１８が配置され、同様に第２
の静電吸引部１３の下部には、第２の静電吸引部駆動電
極１９が、第１の静電吸引部１１の下部には、第１の静
電吸引部駆動電極２０が配置されている。これら駆動電
極は電極基板１６に形成されている。シリコン基板２と
電極基板１６との間には、駆動電極の絶縁用の絶縁膜１
７と、ミラ−部１を支え、ミラ−部１と駆動電極間のギ
ャップを決める支持スペ−サ部１５が形成されている。
電極基板１６の上に支持スペ−サ部１５が形成され、シ
リコン基板２は、支持スペ−サ部１５と接着されてい
る。
【００２０】以上のように構成された１軸走査可能な静
電力駆動小型光スキャナについて、次に、その動作につ
いて、図３を用いて説明する。図３は、１軸走査可能な
静電力駆動小型光スキャナの動作を説明するための説明
図である。
電力駆動小型光スキャナについて、次に、その動作につ
いて、図３を用いて説明する。図３は、１軸走査可能な
静電力駆動小型光スキャナの動作を説明するための説明
図である。
【００２１】図３において、第１の静電吸引部駆動電極
２０に電圧を印加すると、第１の静電吸引部１１が吸引
され、第１の静電吸引部駆動電極２０に密着する。この
とき、第２の静電吸引部１３およびミラ−部１は、第１
の静電吸引部１１と同じだけ変位している。次に第２の
静電吸引部駆動電極１９に電圧を印加すると、第２の静
電吸引部１３が吸引され、第２の静電吸引部駆動電極１
９に密着する。このときミラ−部１は、第２の静電吸引
部１３と同じだけ変位している。さらにミラ−駆動電極
１８に電圧を印加すると、ミラ−部１が吸引されて、ミ
ラ−駆動電極１８に密着する。以上のように動作させる
ことにより、ミラ−部１だけを単体で変位させるよりも
低電圧で駆動することができる。また同電圧であれば、
各梁の部分ですこしづつねじれが生じることで、広い走
査角度を得ることができる。
２０に電圧を印加すると、第１の静電吸引部１１が吸引
され、第１の静電吸引部駆動電極２０に密着する。この
とき、第２の静電吸引部１３およびミラ−部１は、第１
の静電吸引部１１と同じだけ変位している。次に第２の
静電吸引部駆動電極１９に電圧を印加すると、第２の静
電吸引部１３が吸引され、第２の静電吸引部駆動電極１
９に密着する。このときミラ−部１は、第２の静電吸引
部１３と同じだけ変位している。さらにミラ−駆動電極
１８に電圧を印加すると、ミラ−部１が吸引されて、ミ
ラ−駆動電極１８に密着する。以上のように動作させる
ことにより、ミラ−部１だけを単体で変位させるよりも
低電圧で駆動することができる。また同電圧であれば、
各梁の部分ですこしづつねじれが生じることで、広い走
査角度を得ることができる。
【００２２】図４は、本発明の第２の実施例における小
型の１軸方向走査可能な静電力駆動光スキャナの他のミ
ラ−部形状を示す平面図である。図４において、１はミ
ラ−部、２１は第１の静電吸引部、２２は第２の静電吸
引部、２３は第３の静電吸引部、２４は第４の静電吸引
部、２５は支持スペ−サ部である。
型の１軸方向走査可能な静電力駆動光スキャナの他のミ
ラ−部形状を示す平面図である。図４において、１はミ
ラ−部、２１は第１の静電吸引部、２２は第２の静電吸
引部、２３は第３の静電吸引部、２４は第４の静電吸引
部、２５は支持スペ−サ部である。
【００２３】この形状においても、第１の静電吸引部か
ら第４の静電吸引部まで順次電圧を印加することによ
り、ミラ−部１は、低電圧駆動で、広い走査角度を得る
ことができる。また今回の例では、駆動電極は、静電吸
引部に対応して分割して構成したが、全体をまとめて一
つの電極としてもよい。ただし、分割することにより、
より複雑で、高度な駆動制御を行うことができる。
ら第４の静電吸引部まで順次電圧を印加することによ
り、ミラ−部１は、低電圧駆動で、広い走査角度を得る
ことができる。また今回の例では、駆動電極は、静電吸
引部に対応して分割して構成したが、全体をまとめて一
つの電極としてもよい。ただし、分割することにより、
より複雑で、高度な駆動制御を行うことができる。
【００２４】以上のように、本実施例によれば、シリコ
ン基板に形成したミラ−部１とその周囲に形成した複数
の静電吸引部を、前記ミラ−部１および複数の静電吸引
部に対応した駆動電極により、順次電圧を印加すること
により、従来のミラ−部１を単体で駆動するよりも、低
電圧駆動ができ、また広い走査角度を得ることができる
小型の１軸方向走査可能な静電力駆動光スキャナを提供
することができる。 （実施例３）以下、本発明の第３の実施例について図面
を参照しながら説明する。図５は、本発明の第３の実施
例における小型の１軸または２軸方向走査可能な光スキ
ャナの断面図である。図５において、１はミラ−部、２
はシリコン基板、４はＸ軸方向駆動電極、５は電極基
板、７は支持スペ−サ、８は駆動電極配線部、３０は真
空部、３１はガラス基板である。
ン基板に形成したミラ−部１とその周囲に形成した複数
の静電吸引部を、前記ミラ−部１および複数の静電吸引
部に対応した駆動電極により、順次電圧を印加すること
により、従来のミラ−部１を単体で駆動するよりも、低
電圧駆動ができ、また広い走査角度を得ることができる
小型の１軸方向走査可能な静電力駆動光スキャナを提供
することができる。 （実施例３）以下、本発明の第３の実施例について図面
を参照しながら説明する。図５は、本発明の第３の実施
例における小型の１軸または２軸方向走査可能な光スキ
ャナの断面図である。図５において、１はミラ−部、２
はシリコン基板、４はＸ軸方向駆動電極、５は電極基
板、７は支持スペ−サ、８は駆動電極配線部、３０は真
空部、３１はガラス基板である。
【００２５】電極基板５にＸ方向駆動電極４とその駆動
電極配線部８が形成されており、さらにその上に支持ス
ペ−サ部７が成形され、前記支持スペ−サ部７とミラ−
部１を有するシリコン基板２が接着されており、さらに
シリコン基板２の支持スペ−サ部７と接着されている面
と反対側の面に、反射防止膜をつけたガラス基板３１が
接合されており、接合の方法としては、真空チャンバ内
において、ガラス基板３１とシリコン基板２の陽極接合
を行う。したがって、ミラ−部１の周囲の空間は真空部
３０となる。
電極配線部８が形成されており、さらにその上に支持ス
ペ−サ部７が成形され、前記支持スペ−サ部７とミラ−
部１を有するシリコン基板２が接着されており、さらに
シリコン基板２の支持スペ−サ部７と接着されている面
と反対側の面に、反射防止膜をつけたガラス基板３１が
接合されており、接合の方法としては、真空チャンバ内
において、ガラス基板３１とシリコン基板２の陽極接合
を行う。したがって、ミラ−部１の周囲の空間は真空部
３０となる。
【００２６】前記の構造において、駆動電極に電圧を印
加し、ミラ−部１を動作させると、真空中のため、応答
性が向上する。またミラ−部１の酸化もなく鏡面が保た
れる。またミラ−部１の上面にガラス基板３１があるこ
とにより、ゴミなどに対しても強くなる。
加し、ミラ−部１を動作させると、真空中のため、応答
性が向上する。またミラ−部１の酸化もなく鏡面が保た
れる。またミラ−部１の上面にガラス基板３１があるこ
とにより、ゴミなどに対しても強くなる。
【００２７】以上のように、本実施例によれば、ガラス
基板と電極基板にはさまれたミラ−部の存在する空間
が、真空であることにより、ミラ−部の動作の応答性が
向上し、またミラ−面の酸化やゴミによる汚れにも強い
小型の１軸または２軸方向走査可能な光スキャナを提供
することができる。
基板と電極基板にはさまれたミラ−部の存在する空間
が、真空であることにより、ミラ−部の動作の応答性が
向上し、またミラ−面の酸化やゴミによる汚れにも強い
小型の１軸または２軸方向走査可能な光スキャナを提供
することができる。
【００２８】（実施例４）以下、本発明の第４の実施例
について図面を参照しながら説明する。図６は、本発明
の第４の実施例における小型の１軸方向走査可能な光ス
キャナを複数個、直線的に配列したところを示す平面図
である。
について図面を参照しながら説明する。図６は、本発明
の第４の実施例における小型の１軸方向走査可能な光ス
キャナを複数個、直線的に配列したところを示す平面図
である。
【００２９】図６において、１はミラ−部、３２は１軸
方向走査光スキャナ、３３は第１列のミラ−アレイ、３
４は第２列のミラ−アレイ、３７はＹ軸走査用の梁であ
る。図６のように、Ｙ軸走査用の梁３７で支持されたミ
ラ−部１を持つ１軸方向走査光スキャナ３２を、第１列
のミラ−アレイ３３のように配列し、さらに第２列のミ
ラ−アレイ３４を第１列のミラ−アレイ３３に対して、
ミラ−部１間ピッチの１／２だけずらして配列すること
により、より高密度にミラ−部１を配列したのと同等の
動作をさせることができる。このように配列したもの
は、プリンタ−などの書き込み用ヘッドとして、利用す
ることができる。
方向走査光スキャナ、３３は第１列のミラ−アレイ、３
４は第２列のミラ−アレイ、３７はＹ軸走査用の梁であ
る。図６のように、Ｙ軸走査用の梁３７で支持されたミ
ラ−部１を持つ１軸方向走査光スキャナ３２を、第１列
のミラ−アレイ３３のように配列し、さらに第２列のミ
ラ−アレイ３４を第１列のミラ−アレイ３３に対して、
ミラ−部１間ピッチの１／２だけずらして配列すること
により、より高密度にミラ−部１を配列したのと同等の
動作をさせることができる。このように配列したもの
は、プリンタ−などの書き込み用ヘッドとして、利用す
ることができる。
【００３０】図７は、本発明の第４の実施例における小
型の２軸方向走査可能な光スキャナを複数個、平面的に
配列したところを示す平面図である。図７において、１
はミラ−部、３５は２軸方向走査光スキャナ、３６は面
状配列光スキャナである。中央のミラ−部１を有する２
軸方向走査光スキャナ３５を平面的に配置し、面状配列
光スキャナ３６を構成した。この面状配列光スキャナ３
６は、非常に薄いディスプレイとして、また将来の光コ
ンピュ−ティング用の光情報処理素子として使用するこ
とが考えられる。
型の２軸方向走査可能な光スキャナを複数個、平面的に
配列したところを示す平面図である。図７において、１
はミラ−部、３５は２軸方向走査光スキャナ、３６は面
状配列光スキャナである。中央のミラ−部１を有する２
軸方向走査光スキャナ３５を平面的に配置し、面状配列
光スキャナ３６を構成した。この面状配列光スキャナ３
６は、非常に薄いディスプレイとして、また将来の光コ
ンピュ−ティング用の光情報処理素子として使用するこ
とが考えられる。
【００３１】以上のように、本実施例によれば、１軸ま
たは２軸方向走査可能な光スキャナを複数個、直線的ま
たは平面的に配列したことにより、単一の光スキャナで
はできない小型で新しい光スキャナデバイスを提供する
ことができる。
たは２軸方向走査可能な光スキャナを複数個、直線的ま
たは平面的に配列したことにより、単一の光スキャナで
はできない小型で新しい光スキャナデバイスを提供する
ことができる。
【００３２】
【発明の効果】以上のように本発明は、ミラー部材、梁
部材や静電吸引部材が同一のシリコン基板から形成され
た一体構造を有することにより、量的生産性に優れた半
導体プロセス加工により製造することができ、かつミラ
ー部材、梁部材や静電吸引部材といった主要構成要素の
相対位置関係を、きわめて精度よく規定することができ
る。よって、きわめて量産適合性の高い高精度の１軸や
２軸の静電力駆動小型光スキャナを提供することができ
る。また、ミラー部材のみに静電力を印加するのではな
く、ミラー部材を取り囲むように独立に変位可能な静電
吸引部材を設けることにより、１軸のみならず２軸の走
査を可能としたり、１軸であってもより大きな走査範囲
を有する静電力駆動小型光スキャナを提供することがで
きる。そして、ミラー部材や梁部材を支持する支持部材
をピボット状にすることにより、よりスムーズな走査を
可能とする静電力駆動小型光スキャナを提供することが
できる。さらに、駆動電極の配線をミラー部材や静電吸
引部材よりも遠い側の基板中に配することにより、配線
自体が走査に影響を与えることのない静電力駆動小型光
スキャナを提供することができる。
部材や静電吸引部材が同一のシリコン基板から形成され
た一体構造を有することにより、量的生産性に優れた半
導体プロセス加工により製造することができ、かつミラ
ー部材、梁部材や静電吸引部材といった主要構成要素の
相対位置関係を、きわめて精度よく規定することができ
る。よって、きわめて量産適合性の高い高精度の１軸や
２軸の静電力駆動小型光スキャナを提供することができ
る。また、ミラー部材のみに静電力を印加するのではな
く、ミラー部材を取り囲むように独立に変位可能な静電
吸引部材を設けることにより、１軸のみならず２軸の走
査を可能としたり、１軸であってもより大きな走査範囲
を有する静電力駆動小型光スキャナを提供することがで
きる。そして、ミラー部材や梁部材を支持する支持部材
をピボット状にすることにより、よりスムーズな走査を
可能とする静電力駆動小型光スキャナを提供することが
できる。さらに、駆動電極の配線をミラー部材や静電吸
引部材よりも遠い側の基板中に配することにより、配線
自体が走査に影響を与えることのない静電力駆動小型光
スキャナを提供することができる。
【００３３】また、これら光スキャナのミラー部を、真
空中で動作させることにより、高速応答が可能になる。
さらに、これらミラー部材を複数設け、直線的にまたは
平面的に配列することで、プリンタ−の書き込み用ヘッ
ドや光情報分野用デバイスとして、従来にない小型で全
く新しい光スキャナデバイスを提供することができる。
空中で動作させることにより、高速応答が可能になる。
さらに、これらミラー部材を複数設け、直線的にまたは
平面的に配列することで、プリンタ−の書き込み用ヘッ
ドや光情報分野用デバイスとして、従来にない小型で全
く新しい光スキャナデバイスを提供することができる。
【図１】（ａ）本発明の第１の実施例における小型の２
軸方向走査可能な静電力駆動光スキャナの平面図 （ｂ）同実施例における小型の２軸方向走査可能な静電
力駆動光スキャナの断面図
軸方向走査可能な静電力駆動光スキャナの平面図 （ｂ）同実施例における小型の２軸方向走査可能な静電
力駆動光スキャナの断面図
【図２】（ａ）本発明の第２の実施例における小型の１
軸方向走査可能な静電力駆動光スキャナの平面図 （ｂ）同実施例における小型の１軸方向走査可能な静電
力駆動光スキャナの断面図
軸方向走査可能な静電力駆動光スキャナの平面図 （ｂ）同実施例における小型の１軸方向走査可能な静電
力駆動光スキャナの断面図
【図３】同実施例における小型の１軸方向走査可能な静
電力駆動光スキャナの動作を説明するための説明図
電力駆動光スキャナの動作を説明するための説明図
【図４】同実施例における小型の１軸方向走査可能な静
電力駆動光スキャナの他のミラ−形状を示す平面図
電力駆動光スキャナの他のミラ−形状を示す平面図
【図５】本発明の第３の実施例における小型の１軸また
は２軸方向走査可能な光スキャナの断面図
は２軸方向走査可能な光スキャナの断面図
【図６】本発明の第４の実施例における小型の１軸方向
走査可能な光スキャナを複数個、直線的に配列したとこ
ろを示す平面図
走査可能な光スキャナを複数個、直線的に配列したとこ
ろを示す平面図
【図７】同実施例における小型の２軸方向走査可能な光
スキャナを複数個、平面的に配列したところを示す平面
図
スキャナを複数個、平面的に配列したところを示す平面
図
【図８】従来のガルバノメ−タスキャナ式の２軸方向走
査光スキャナの概念斜視図
査光スキャナの概念斜視図
【図９】従来のポリゴンミラ−とガルバノメ−タスキャ
ナによる２軸方向走査光スキャナの概念斜視図
ナによる２軸方向走査光スキャナの概念斜視図
【図１０】従来のホログラムスキャナとガルバノメ−タ
スキャナによる２軸方向走査光スキャナの概念斜視図
スキャナによる２軸方向走査光スキャナの概念斜視図
【図１１】従来の静電型シリコンねじり振動子の外観図
【図１２】従来の静電型シリコンねじり振動子の運動状
態を示した断面図
態を示した断面図
１ ミラ−部 ２ シリコン基板 ３ Ｘ軸走査用の梁 ４ Ｘ軸方向駆動電極 ５ 電極基板 ６ 絶縁膜 ７ 支持スペ−サ部 ８ 駆動電極配線部 ９ Ｙ軸走査用の梁 １０ 第１の梁 １１ 第１の静電吸引部 １２ 第２の梁 １３ 第２の静電吸引部 １４ ミラ−部の梁 １５ 支持スペ−サ部 １６ 電極基板 １７ 絶縁膜 １８ ミラ−駆動電極 １９ 第２の静電吸引部駆動電極 ２０ 第１の静電吸引部駆動電極 ２１ 第１の静電吸引部 ２２ 第２の静電吸引部 ２３ 第３の静電吸引部 ２４ 第４の静電吸引部 ２５ 支持スペ−サ部 ３０ 真空部 ３１ ガラス基板 ３２ １軸方向走査光スキャナ ３３ 第１列のミラ−アレイ ３４ 第２列のミラ−アレイ ３５ ２軸方向走査光スキャナ ３６ 面状配列光スキャナ ３７ Ｙ軸走査用の梁 ４１ 振動子 ４２ 可動板 ４３ スパンバウンド ４４ 枠 ４５ ガラス基板 ４６ スペ−サ ５１ レ−ザ光源 ５２ Ｘ軸方向ミラ− ５３ Ｙ軸方向ミラ− ５４ ポリゴンミラ− ５５ ディスク型ホログラムスキャナ ６０ Ｙ軸方向静電吸引部 ６１ Ｙ軸方向駆動電極
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平４−211217（ＪＰ，Ａ) 特開 平４−211218（ＪＰ，Ａ) 特開 平３−174112（ＪＰ，Ａ)
Claims (4)
- 【請求項１】 入射光を反射し、Ｘ軸および前記Ｘ軸に
直交するＹ軸の方向に走査可能なミラー部材と、前記ミ
ラー部材を前記ミラー部材の略中心部でピボット状に支
持する第１のピボット状支持部材と、前記ミラ−部材の
略中心部を通る前記Ｙ軸の方向に前記ミラー部材の一対
の端部から延在して、前記ミラー部材を支持するＸ軸走
査用梁部材と、前記Ｘ軸走査用梁部材の前記ミラー部材
と反対側の端部が連絡し、前記ミラー部材を取り囲むよ
うに形成された静電吸引部材と、前記静電吸引部材の一
対の端部に連絡し前記ミラ−部材の中心部を通り前記Ｘ
軸の方向に前記ミラー部材の一対の端部から延在して、
前記ミラー部材を支持するＹ軸走査用梁部材と、前記Ｙ
軸走査用梁部材をピボット状に支持する第２のピボット
状支持部材と、前記Ｙ軸走査用梁部材の前記静電吸引部
材と反対側の端部が連絡した第１の基板部材と、前記ミ
ラー部材と対向して設けられ、前記ミラー部材を駆動す
る静電力を印加可能なＸ軸方向駆動電極と、前記静電吸
引部材に対向して設けられ、前記静電吸引部材を駆動す
る静電力を印加可能なＹ軸方向駆動電極と、前記ミラー
部材とＸ軸方向駆動電極とを絶縁し、前記静電吸引部材
とＹ軸方向駆動電極とを絶縁する絶縁部材と、前記Ｘ軸
方向駆動電極、Ｙ軸方向駆動電極および前記絶縁部材が
設けられた第２の基板部材と、前記Ｘ軸方向駆動電極お
よびＹ軸方向駆動電極に連絡され前記第２の基板部材内
に配された配線部材とを有し、前記ミラー部材、前記Ｘ
軸走査用梁部材、前記静電吸引部材、前記Ｙ軸走査用梁
部材および前記第１の基板部材は同一のシリコン部材か
ら一体物として形成され、前記ミラー部材と前記静電吸
引部材とは独立に変位可能で２軸方向走査可能な静電力
駆動小型光スキャナ。 - 【請求項２】 入射光を反射し、第１の軸の方向に走査
可能なミラー部材と、前記ミラー部材を前記ミラー部材
の略中心部でピボット状に支持するピボット状支持部材
と、前記ミラ−部材の略中心部を通り前記第１の軸と直
交する第２の軸の方向に前記ミラー部材の一対の端部か
ら延在して、前記ミラー部材を支持する走査用梁部材
と、前記走査用梁部材をピボット状に支持する第２のピ
ボット状支持部材と、前記走査用梁部材の前記ミラー部
材と反対側の端部が連絡した第１の基板部材と、前記走
査用梁部材に連絡され、前記ミラー部材を取り囲むよう
に形 成された静電吸引部材と、前記ミラー部材と対向し
て設けられ、前記ミラー部材を駆動する静電力を印加可
能なミラー部材用駆動電極と、前記静電吸引部材に対向
して設けられ、前記静電吸引部材を駆動する静電力を印
加可能な静電吸引部材用駆動電極と、前記ミラー部材と
ミラー部材用駆動電極とを絶縁し、前記静電吸引部材と
静電吸引部材用駆動電極とを絶縁する絶縁部材と、前記
ミラー部材用駆動電極および静電吸引部材用駆動電極並
びに前記絶縁部材が設けられた第２の基板部材とを有
し、前記ミラー部材、前記走査用梁部材、前記静電吸引
部材および前記第１の基板部材は、同一のシリコン部材
から一体物として形成され、前記ミラー部材と前記静電
吸引部材とは独立に変位可能で１軸方向走査可能な静電
力駆動小型光スキャナ。 - 【請求項３】 さらに、第１の基板部材に反射防止膜を
有するガラス基板が設けられ、前記ガラス基板で封止さ
れる前記ミラー部の周辺の空間が真空である請求項１ま
たは２記載の静電力小型駆動小型光スキャナ。 - 【請求項４】 ミラー部材は、複数個設けられ、前記ミ
ラー部材は、同一平面上で、直線的、または平面的に配
列されている請求項１から３のいずれかに記載の静電力
駆動小型光スキャナ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4334064A JP2579111B2 (ja) | 1992-12-15 | 1992-12-15 | 静電力駆動小型光スキャナ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4334064A JP2579111B2 (ja) | 1992-12-15 | 1992-12-15 | 静電力駆動小型光スキャナ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06180428A JPH06180428A (ja) | 1994-06-28 |
| JP2579111B2 true JP2579111B2 (ja) | 1997-02-05 |
Family
ID=18273107
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4334064A Expired - Fee Related JP2579111B2 (ja) | 1992-12-15 | 1992-12-15 | 静電力駆動小型光スキャナ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2579111B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US8553306B2 (en) | 2007-03-15 | 2013-10-08 | Ricoh Company, Ltd. | Optical deflector and optical device |
Families Citing this family (24)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4776779B2 (ja) * | 1998-09-02 | 2011-09-21 | カイロス・インク | 捩り撓みヒンジで連結されて相対的に回転する微細加工部材 |
| US6753638B2 (en) | 2000-02-03 | 2004-06-22 | Calient Networks, Inc. | Electrostatic actuator for micromechanical systems |
| US6456751B1 (en) | 2000-04-13 | 2002-09-24 | Calient Networks, Inc. | Feedback stabilization of a loss optimized switch |
| US6628041B2 (en) | 2000-05-16 | 2003-09-30 | Calient Networks, Inc. | Micro-electro-mechanical-system (MEMS) mirror device having large angle out of plane motion using shaped combed finger actuators and method for fabricating the same |
| US6449098B1 (en) | 2000-05-16 | 2002-09-10 | Calient Networks, Inc. | High uniformity lens arrays having lens correction and methods for fabricating the same |
| US6585383B2 (en) | 2000-05-18 | 2003-07-01 | Calient Networks, Inc. | Micromachined apparatus for improved reflection of light |
| US6668108B1 (en) | 2000-06-02 | 2003-12-23 | Calient Networks, Inc. | Optical cross-connect switch with integrated optical signal tap |
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