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JP2504229B2 - Method for manufacturing laminated electronic component - Google Patents

Method for manufacturing laminated electronic component

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Publication number
JP2504229B2
JP2504229B2 JP1290659A JP29065989A JP2504229B2 JP 2504229 B2 JP2504229 B2 JP 2504229B2 JP 1290659 A JP1290659 A JP 1290659A JP 29065989 A JP29065989 A JP 29065989A JP 2504229 B2 JP2504229 B2 JP 2504229B2
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JP
Japan
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ceramic green
green sheet
alignment
alignment mark
internal electrodes
Prior art date
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JP1290659A
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Japanese (ja)
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JPH03151615A (en
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章一 川端
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Murata Manufacturing Co Ltd
Original Assignee
Murata Manufacturing Co Ltd
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Publication date
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  • Fixed Capacitors And Capacitor Manufacturing Machines (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野] この発明は、積層電子部品の製造方法に関するもの
で、特に、セラミックグリーンシートの積重ねによって
形成されるものであって、セラミックグリーンシート間
に内部電極が形成された、積層電子部品の製造方法に関
するものである。
Description: TECHNICAL FIELD The present invention relates to a method for manufacturing a laminated electronic component, and in particular, it is formed by stacking ceramic green sheets, and is formed between ceramic green sheets. The present invention relates to a method for manufacturing a laminated electronic component in which electrodes are formed.

[従来の技術] 積層電子部品の典型例として、積層セラミックコンデ
ンサがある。積層セラミックコンデンサは、一般に、次
のように製造される。すなわち、 (1)セラミックグリーンシート上に、内部電極を、た
とえばスクリーン印刷法により印刷する。
[Prior Art] A typical example of a multilayer electronic component is a multilayer ceramic capacitor. A monolithic ceramic capacitor is generally manufactured as follows. That is, (1) the internal electrodes are printed on the ceramic green sheet by, for example, a screen printing method.

(2)上記(1)で得られた、内部電極が印刷された所
定の大きさのセラミックグリーンシートを、必要に応じ
て内部電極が印刷されていない所定の大きさのセラミッ
クグリーンシートとともに、積重ね、それによって得ら
れた積層体をプレスして圧着する。
(2) Stacking the ceramic green sheets having a predetermined size and having the internal electrodes printed, obtained in (1) above, together with the ceramic green sheets having a predetermined size and not having the internal electrodes printed, as necessary. Then, the laminate obtained thereby is pressed and pressure-bonded.

(3)次いで、積層体を、個々の積層セラミックコンデ
ンサとなるべき大きさに切断し、その後、焼成および外
部電極形成の各工程を実施し、所望の積層コンデンサを
得る。
(3) Next, the laminated body is cut into a size to be an individual laminated ceramic capacitor, and thereafter, steps of firing and forming external electrodes are carried out to obtain a desired laminated capacitor.

[発明が解決しようとする課題] 上述した積層セラミックコンデンサの製造方法におい
て、セラミックグリーンシートを介して対向する内部電
極相互の位置合わせは正確に行なわれなければならな
い。しかしながら、積層セラミックコンデンサの従来か
ら行なわれている製造方法には、このような正確な位置
合わせを阻害する要因がいくつか含まれている。
[Problems to be Solved by the Invention] In the above-described method for manufacturing a monolithic ceramic capacitor, the internal electrodes facing each other via the ceramic green sheet must be accurately aligned with each other. However, the conventional manufacturing method of the monolithic ceramic capacitor includes some factors that hinder such accurate alignment.

たとえば、内部電極をスクリーン印刷する場合、スク
リーンの伸びが原因となって、印刷された内部電極が所
定の位置からずれることがある。
For example, when screen-printing the internal electrodes, the printed internal electrodes may be displaced from a predetermined position due to the elongation of the screen.

また、セラミックグリーンシートの積重ね工程におい
て、セラミックグリーンシート相互間の位置合わせは、
各セラミックグリーンシートの端面を位置決めの基準と
している。したがって、剛性のないセラミックグリーン
シートにあっては、その位置決めの信頼性には限界があ
る。特に、大きな静電容量を得るため、セラミックグリ
ーンシートの各々が薄くされたときには、その剛性が一
層低下し、セラミックグリーンシートの端面による正確
な位置合わせがますます困難になる。
Also, in the process of stacking the ceramic green sheets, the alignment between the ceramic green sheets is
The end surface of each ceramic green sheet is used as a positioning reference. Therefore, the reliability of the positioning of the ceramic green sheet having no rigidity is limited. In particular, when each of the ceramic green sheets is thinned in order to obtain a large electrostatic capacity, the rigidity thereof further decreases, and it becomes more and more difficult to perform accurate alignment by the end faces of the ceramic green sheets.

また、圧着を行なうとき、セラミックグリーンシート
の積層体の全面にわたって均一な伸びを期待することは
困難であり、特に、端部において他の部分に比べてより
大きな伸びを生じる。
In addition, it is difficult to expect uniform elongation over the entire surface of the laminated body of the ceramic green sheets when pressure bonding is performed, and in particular, a larger elongation is generated at the end portion as compared with other portions.

したがって、個々の積層セラミックコンデンサとなる
べきチップを、積層体から切り出す際、積層体の端面が
位置決めの基準とされるが、このようにして切断工程を
実施すると、上述したような内部電極の位置ずれがその
まま反映される。それゆえに、その後前述した工程を経
て得られた積層セラミックコンデンサには、内部電極の
位置ずれに起因する不良が時として発生することがあっ
た。また、このような不良の発生率は、得ようとする積
層セラミックコンデンサがより小型化されるほど、高く
なる。
Therefore, when the chips to be the individual monolithic ceramic capacitors are cut out from the laminated body, the end face of the laminated body is used as a positioning reference. The deviation is reflected as it is. Therefore, in the monolithic ceramic capacitor obtained through the above-mentioned steps, defects sometimes occur due to the positional displacement of the internal electrodes. Further, the rate of occurrence of such defects increases as the monolithic ceramic capacitor to be obtained is made smaller.

このような不良の発生は、完全には防止することが極
めて困難であり、ある程度は覚悟しなければならない性
質のものであるが、少なくとも、不良が発生したものに
ついては、その不良を製造工程のできるだけ早い時点で
発見し、不良が発生したものについては、以後の工程を
実施しないようにすることが、経済性の点で好ましく、
ひいては、製品のコストの低減にも寄与することにな
る。また、そうすることによって、製品の歩留りが向上
する。
The occurrence of such a defect is extremely difficult to completely prevent, and it is a property that must be prepared to some extent. From the point of view of economy, it is preferable to detect the defects as early as possible and not to carry out the subsequent steps for the defective products.
As a result, it also contributes to the reduction of the cost of the product. Also, by doing so, the product yield is improved.

それゆえに、この発明の目的は、内部電極の位置合わ
せの不良をできるだけ早く発見し、以後の無駄な工程の
実施を未然に防ぐことができる、積層電子部品の製造方
法を提供しようとすることである。
Therefore, it is an object of the present invention to provide a method for manufacturing a laminated electronic component, which can detect misalignment of internal electrodes as soon as possible and prevent the execution of unnecessary steps thereafter. is there.

[課題を解決するための手段] この発明にかかる積層電子部品の製造方法では、ま
ず、セラミックグリーンシートが準備される。次いで、
このセラミックグリーンシート上の四角形の領域内に内
部電極を印刷するとともに、この四角形の領域を取囲む
周囲領域であって四角形の少なくとも隣り合う2辺に接
するとともに後に切断される切断線上の領域に内部電極
に対して所定の位置関係をもって位置合わせ用マークを
印刷するステップが実施される。次いで、内部電極およ
び位置合わせ用マークが印刷された複数のセラミックグ
リーンシートを積重ねた積層体を得るステップと、セラ
ミックグリーンシートを、位置合わせ用マーク上を通る
切断線によって切断して、位置合わせ用マークをセラミ
ックグリーンシートの端面に露出させるステップとが実
施される。これら積層体を得るステップと位置合わせ用
マークをセラミックグリーンシートの端面に露出させる
ステップとは、いずれの順序で実施されてもよい。すな
わち、積層体を得てから、複数のセラミックグリーンシ
ートを一挙に切断して、位置合わせ用マークをセラミッ
クグリーンシートの端面に露出させても、複数のセラミ
ックグリーンシートを、別々に切断して、位置合わせ用
マークをセラミックグリーンシートの端面に露出させて
から、これら複数のセラミックグリーンシートを積重ね
てもよい。次いで、積層体の状態で、セラミックグリー
ンシートの端面に露出された位置合わせ用マークの整列
状態をチェックし、整列状態が適当であると判断した積
層体のみ個々のチップに切断するステップが実施され
る。
[Means for Solving the Problems] In the method for manufacturing a laminated electronic component according to the present invention, first, a ceramic green sheet is prepared. Then
An internal electrode is printed in a rectangular area on the ceramic green sheet, and an internal electrode is formed in a peripheral area surrounding the rectangular area, which is in contact with at least two adjacent sides of the rectangular area and which is cut later. The step of printing the alignment mark with a predetermined positional relationship with respect to the electrodes is performed. Next, a step of obtaining a laminated body in which a plurality of ceramic green sheets on which the internal electrodes and the alignment marks are printed are stacked, and the ceramic green sheets are cut along a cutting line that passes over the alignment marks to perform alignment. Exposing the mark to the end face of the ceramic green sheet. The steps of obtaining these laminates and exposing the alignment marks to the end faces of the ceramic green sheet may be performed in any order. That is, after obtaining the laminated body, even if the plurality of ceramic green sheets are cut at once and the alignment mark is exposed on the end surface of the ceramic green sheet, the plurality of ceramic green sheets are cut separately, The plurality of ceramic green sheets may be stacked after exposing the alignment mark on the end surface of the ceramic green sheet. Then, in the state of the laminated body, a step of checking the alignment state of the alignment marks exposed on the end face of the ceramic green sheet and cutting only the laminated body determined to be in proper alignment state into individual chips is performed. It

[発明の作用および効果] この発明によれば、セラミックグリーンシートに、内
部電極に対して所定の位置関係をもって位置合わせ用マ
ークが印刷される。したがって、位置合わせ用マーク
は、内部電極の位置をチャックする際の基準となり得
る。セラミックグリーンシートは、位置合わせ用マーク
上を通る切断線によって切断されることにより、位置合
わせ用マークを、その端面に露出させた状態となる。し
たがって、積層体の状態で、セラミックグリーンシート
の端面に露出された位置合わせ用マークの整列状態をチ
ェックすれば、その整列状態の適否によって、積層体内
に位置する内部電極の位置合わせの適否を判断すること
ができる。
[Operation and Effect of the Invention] According to the present invention, the alignment mark is printed on the ceramic green sheet in a predetermined positional relationship with the internal electrodes. Therefore, the alignment mark can serve as a reference when chucking the position of the internal electrode. The ceramic green sheet is in a state in which the alignment mark is exposed on its end surface by being cut by a cutting line passing over the alignment mark. Therefore, by checking the alignment state of the alignment marks exposed on the end surface of the ceramic green sheet in the state of the laminated body, it is determined whether the alignment of the internal electrodes located in the laminated body is proper or not depending on the alignment state. can do.

それゆえに、位置合わせ用マークの整列状態が不適当
と判断されたときには、そのような積層体は、製造ライ
ンから除去され、このような積層体に対しては、以後の
工程が実施されないようにすることができる。このこと
は、たとえば焼成や外部電極の形成のように、無駄とな
ってしまう工程の実施を未然に回避することを可能にす
る。この点において、経済性が高められ、ひいては、積
層電子部品の製造コストの低減に寄与し得る。また、結
果的に、従来技術において遭遇した欠点が反映していな
い製品のみを得ることができるので、製品の歩留りを向
上させることができる。
Therefore, when it is determined that the alignment mark is not properly aligned, such a laminated body is removed from the manufacturing line, and the subsequent steps are not performed on such a laminated body. can do. This makes it possible to obviate the execution of wasteful steps such as firing and formation of external electrodes. In this respect, the economical efficiency can be improved, which in turn can contribute to the reduction of the manufacturing cost of the laminated electronic component. In addition, as a result, only products that do not reflect the drawbacks encountered in the prior art can be obtained, so that the product yield can be improved.

また、たとえば積層セラミックコンデンサを得る場合
のように、個々の積層電子部品となるべきチップを積層
体から切り出す場合、そのような切断は、位置合わせ用
マークを見ながら、それを基準として行なうことができ
る。それゆえに、このような切断の精度も、また、向上
する。
Further, when cutting chips that are to be individual laminated electronic components from the laminated body, for example, in the case of obtaining a laminated ceramic capacitor, such cutting may be performed with reference to the alignment mark while referring to it. it can. Therefore, the accuracy of such cutting is also improved.

[実施例] 第1図は、この発明の一実施例を実施する際に用いら
れるセラミックグリーンシート1を示す平面図である。
このセラミックグリーンシート1は、積層電子部品の一
例としての積層セラミックコンデンサの製造に用いられ
る。
[Embodiment] FIG. 1 is a plan view showing a ceramic green sheet 1 used for carrying out an embodiment of the present invention.
This ceramic green sheet 1 is used for manufacturing a laminated ceramic capacitor as an example of a laminated electronic component.

セラミックグリーンシート1は、後の積重ねステップ
を実施した後、切断されることにより、多数の積層セラ
ミックコンデンサを得ることが意図されており、そのた
め、多数の内部電極2が縦および横方向に配列されて形
成されている。内部電極2は、セラミックグリーンシー
ト1上における四角形の領域3内に位置される。
The ceramic green sheet 1 is intended to obtain a large number of monolithic ceramic capacitors by cutting after performing the subsequent stacking steps, so that a large number of internal electrodes 2 are arranged in the vertical and horizontal directions. Is formed. The internal electrode 2 is located in a rectangular area 3 on the ceramic green sheet 1.

また、セラミックグリーンシート1上における四角形
の領域3を取囲む周囲領域4には、内部電極2に対して
所定の位置関係をもって、複数の位置合わせ用マーク5
が形成される。位置合わせ用マーク5は、たとえば
“−”の形状とされているが、その他、任意の形状をと
ることができる。なお、図示の実施例では、位置合わせ
用マーク5のそれぞれの位置は、後の積重ねステップに
よって得られた積層体から個々の積層セラミックコンデ
ンサとなるべきチップを切り出す際の切断線の位置と一
致しているが、このことは、必須ではない。また、位置
合わせ用マーク5は、図示のように、周囲領域4であっ
て、四角形の領域3を規定する四角形のすべての辺に接
する領域に形成されたが、このような四角形の少なくと
も隣り合う2辺に接する領域に形成されていれば足り
る。
In addition, in the peripheral area 4 surrounding the rectangular area 3 on the ceramic green sheet 1, a plurality of alignment marks 5 having a predetermined positional relationship with the internal electrode 2 are provided.
Is formed. The alignment mark 5 has, for example, a "-" shape, but may have any other shape. In the illustrated embodiment, the respective positions of the alignment marks 5 coincide with the positions of the cutting lines when cutting out the chips to be the individual laminated ceramic capacitors from the laminated body obtained by the subsequent stacking step. However, this is not mandatory. Further, the alignment mark 5 is formed in the peripheral region 4 which is in contact with all sides of the quadrangle defining the quadrangle region 3, as shown in the drawing, but at least adjacent to the quadrangle. It suffices if it is formed in a region in contact with two sides.

上述したような位置合わせ用マーク5は、内部電極2
と同時に印刷により形成される。したがって、内部電極
2と位置合わせ用マーク5との間では、互いの位置関係
がずれることは防止される。これら内部電極2および位
置合わせ用マーク5の印刷には、スクリーン印刷法、グ
ラビア印刷法、など、任意の印刷法を採用することがで
きる。
The alignment mark 5 as described above is provided on the internal electrode 2
At the same time, it is formed by printing. Therefore, the positional relationship between the internal electrode 2 and the alignment mark 5 is prevented from deviating from each other. For printing the internal electrodes 2 and the alignment marks 5, any printing method such as a screen printing method or a gravure printing method can be adopted.

次に、第1図に示した、複数のセラミックグリーンシ
ート1が、所定の様式に従って、積重ねられる。これに
よって、第2図に正面図で示した積層体6が得られる。
積層体6は、従来と同様、圧着される。
Next, the plurality of ceramic green sheets 1 shown in FIG. 1 are stacked in a predetermined manner. As a result, the laminate 6 shown in the front view in FIG. 2 is obtained.
The laminated body 6 is pressure-bonded as in the conventional case.

次に、積層体6の周囲が、切り落される。この切断
は、第2図に示した切断線7に沿って行なわれる。切断
線7は、第1図にその位置を示すように、位置合わせ用
マーク5上を通るように選ばれている。
Next, the periphery of the laminated body 6 is cut off. This cutting is performed along the cutting line 7 shown in FIG. The cutting line 7 is chosen to pass over the alignment mark 5, as shown in FIG.

上述のように、切断線7によって切断された積層体6
が、第3図に正面図で示されている。第3図に示すよう
に、積層体6の端面、すなわちそこに含まれるセラミッ
クグリーンシート1(第1図)の端面には、上述した切
断によって、位置合わせ用マーク5が露出した状態とな
っている。
The laminate 6 cut along the cutting line 7 as described above
Is shown in front view in FIG. As shown in FIG. 3, the alignment mark 5 is exposed on the end face of the laminated body 6, that is, the end face of the ceramic green sheet 1 (FIG. 1) included therein by the above-mentioned cutting. There is.

このような積層体6の状態で、位置合わせ用マーク5
の整列状態がチェックされる。このとき、第3図に示す
ように、位置合わせ用マーク5の整列状態が適当である
場合には、次に述べるように、積層セラミックコンデン
サを得るための以後の工程が実施される。他方、位置合
わせ用マーク5の整列状態が不適当であると判断された
場合には、そのような積層体6は、製造ラインから除去
される。
In such a state of the laminated body 6, the alignment mark 5
The alignment of is checked. At this time, if the alignment mark 5 is properly aligned as shown in FIG. 3, the subsequent steps for obtaining the monolithic ceramic capacitor are carried out as described below. On the other hand, when it is judged that the alignment mark 5 is not properly aligned, such a laminated body 6 is removed from the manufacturing line.

上述のように、位置合わせ用マーク5の整列状態が適
当な積層体6についてのみ、個々の積層セラミックコン
デンサとなるべきチップを切り出すため切断される。こ
の切断に際して、積層体6の端面から露出した位置合わ
せ用マーク5を切断位置の基準としてもよい。次いで、
焼成および外部電極の形成が行なわれる。このようにし
て、所望の積層セラミックコンデンサが得られる。
As described above, only the laminated body 6 in which the alignment marks 5 are properly aligned is cut to cut out the chips to be the individual laminated ceramic capacitors. At the time of this cutting, the positioning mark 5 exposed from the end surface of the laminated body 6 may be used as a reference for the cutting position. Then
Firing and formation of external electrodes are performed. In this way, the desired monolithic ceramic capacitor is obtained.

積層セラミックコンデンサのような積層電子部品の製
造に用いられるセラミックグリーンシートとしては、第
1図に示すような予め所定の寸法に打抜かれたセラミッ
クグリーンシート1に代えて、第4図に示すように、連
続したセラミックグリーンシート1aを用いてもよい。第
4図において、第1図に示す部分に相当の部分には、同
様の参照番号を付している。
As a ceramic green sheet used for manufacturing a laminated electronic component such as a laminated ceramic capacitor, as shown in FIG. 4, instead of the ceramic green sheet 1 punched into a predetermined size as shown in FIG. Alternatively, a continuous ceramic green sheet 1a may be used. In FIG. 4, parts corresponding to the parts shown in FIG. 1 are given the same reference numerals.

第4図に示したセラミックグリーンシート1aには、内
部電極2が形成される四角形の領域3が、その長手方向
に分布している。このようなセラミックグリーンシート
1aから、積層体とすべく積重ねに供される所定の大きさ
のセラミックグリーンシートを得るため、セラミックグ
リーンシート1aは、内部電極2を形成している四角形の
領域3を含むように順次打抜かれる。このような打抜き
によって、第1図に示したセラミックグリーンシート1
のように、位置合わせ用マーク5を取込んだ状態の所定
の寸法のセラミックグリーンシートをまず得るようにし
てもよいが、一挙に、位置合わせ用マーク5上を通る切
断線7に沿って打抜いてもよい。切断線7に沿ってセラ
ミックグリーンシート1aが打抜かれた場合には、それが
積重ねられると、直ちに、第3図に示すような積層体6
の形態をとるようになる。
In the ceramic green sheet 1a shown in FIG. 4, rectangular regions 3 in which the internal electrodes 2 are formed are distributed in the longitudinal direction. Such a ceramic green sheet
In order to obtain a ceramic green sheet of a predetermined size to be stacked to form a laminated body from 1a, the ceramic green sheet 1a is sequentially punched so as to include a rectangular region 3 forming the internal electrode 2. It By such punching, the ceramic green sheet 1 shown in FIG.
As described above, the ceramic green sheet having a predetermined size in which the alignment mark 5 is taken in may be first obtained, but at a stroke, the ceramic green sheet is struck along the cutting line 7 passing over the alignment mark 5. You may remove it. When the ceramic green sheets 1a are punched along the cutting lines 7, as soon as they are stacked, the laminated body 6 as shown in FIG.
Will take the form of.

以上、この発明を、積層セラミックコンデンサの製造
方法に関して説明したが、この発明は、積層セラミック
コンデンサ以外の積層電子部品の製造方法にも適用する
ことができる。たとえば、多層回路基板、積層型のLCフ
ィルタ、Lチップ、Cネットワーク等の積層電子部品に
も、この発明にかかる製造方法を適用することができ
る。
Although the present invention has been described above with respect to the method for manufacturing a monolithic ceramic capacitor, the present invention can be applied to a method for manufacturing a monolithic electronic component other than the monolithic ceramic capacitor. For example, the manufacturing method according to the present invention can be applied to multilayer electronic components such as multilayer circuit boards, laminated LC filters, L chips, and C networks.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

第1図は、この発明の一実施例を実施する際に用いられ
るセラミックグリーンシート1を示す平面図である。第
2図は、第1図に示したセラミックグリーンシート1を
積層して得られた積層体6を示す正面図である。第3図
は、第2図に示した積層体6の周囲を切断した状態を示
す正面図である。 第4図は、この発明の他の実施例を実施する際に用いら
れるセラミックグリーンシート1aを示す平面図である。 図において、1,1aはセラミックグリーンシート、2は内
部電極、3は四角形の領域、4は周囲領域、5は位置合
わせ用マーク、6は積層体、7は切断線である。
FIG. 1 is a plan view showing a ceramic green sheet 1 used when carrying out an embodiment of the present invention. FIG. 2 is a front view showing a laminated body 6 obtained by laminating the ceramic green sheets 1 shown in FIG. FIG. 3 is a front view showing a state in which the periphery of the laminated body 6 shown in FIG. 2 is cut. FIG. 4 is a plan view showing a ceramic green sheet 1a used when implementing another embodiment of the present invention. In the figure, 1 and 1a are ceramic green sheets, 2 are internal electrodes, 3 is a quadrilateral region, 4 is a peripheral region, 5 is an alignment mark, 6 is a laminated body, and 7 is a cutting line.

Claims (2)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】セラミックグリーンシートを準備するステ
ップと、 前記セラミックグリーンシート上の四角形の領域内に内
部電極を印刷するとともに、前記四角形の領域を取囲む
周囲領域であって前記四角形の少なくとも隣り合う2辺
に接するとともに後に切断される切断線上の領域に、前
記内部電極に対して所定の位置関係をもって位置合わせ
用マークを印刷するステップと、 前記内部電極および前記位置合わせ用マークが印刷され
た複数の前記セラミックグリーンシートを積重ねた積層
体を得るステップと、 前記セラミックグリーンシートを、前記位置合わせ用マ
ーク上を通る切断線によって切断して、前記位置合わせ
用マークを前記セラミックグリーンシートの端面に露出
させるステップと、 前記積層体の状態で、前記セラミックグリーンシートの
端面に露出された前記位置合わせ用マークの整列状態を
チェックし、整列状態が適当であると判断した積層体の
み個々のチップに切断するステップと、 を備える、積層電子部品の製造方法。
1. A step of preparing a ceramic green sheet, wherein internal electrodes are printed in a rectangular area on the ceramic green sheet, and a peripheral area surrounding the rectangular area is adjacent to at least the rectangular area. Printing an alignment mark with a predetermined positional relationship with respect to the internal electrode in a region on a cutting line that is in contact with two sides and is cut later; and a plurality of the internal electrodes and the alignment mark printed. A step of obtaining a laminated body in which the ceramic green sheets are stacked, and the ceramic green sheets are cut by a cutting line that passes over the alignment marks, and the alignment marks are exposed on the end faces of the ceramic green sheets. The step of A method for manufacturing a laminated electronic component, comprising: checking the alignment state of the alignment marks exposed on the end surface of the sheet, and cutting only the laminate body determined to have an appropriate alignment state into individual chips.
【請求項2】セラミックグリーンシートを準備するステ
ップと、 前記セラミックグリーンシート上の四角形の領域内に内
部電極を印刷するとともに、前記四角形の領域を取囲む
周囲領域であって前記四角形の少なくとも隣り合う2辺
に接するとともに後に切断される切断線上の領域に、前
記内部電極に対して所定の位置関係をもって位置合わせ
用マークを印刷するステップと、 前記セラミックグリーンシートを、前記位置合わせ用マ
ーク上を通る切断線によって切断して、前記位置合わせ
用マークを前記セラミックグリーンシートの端面に露出
させるステップと、 前記内部電極および前記位置合わせ用マークが印刷され
た複数の切断された前記セラミックグリーンシートを積
重ねた積層体を得るステップと、 前記積層体の状態で、前記セラミックグリーンシートの
端面に露出された前記位置合わせ用マークの整列状態を
チェックし、整列状態が適当であると判断した積層体の
み個々のチップに切断するステップと、 を備える、積層電子部品の製造方法。
2. A step of preparing a ceramic green sheet, wherein internal electrodes are printed in a rectangular area on the ceramic green sheet, and a peripheral area surrounding the rectangular area is adjacent to at least the rectangular area. Printing an alignment mark with a predetermined positional relationship with respect to the internal electrodes in a region on a cutting line that is in contact with the two sides and is cut later; passing the ceramic green sheet over the alignment mark Cutting by a cutting line to expose the alignment mark on the end surface of the ceramic green sheet, and stacking the plurality of cut ceramic green sheets on which the internal electrodes and the alignment mark are printed A step of obtaining a laminated body, and in the state of the laminated body, the ceramic A step of checking the alignment state of the alignment marks exposed on the end face of the Mick green sheet, and cutting only the stack body determined to have an appropriate alignment state into individual chips. Method.
JP1290659A 1989-11-08 1989-11-08 Method for manufacturing laminated electronic component Expired - Lifetime JP2504229B2 (en)

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JP1290659A JP2504229B2 (en) 1989-11-08 1989-11-08 Method for manufacturing laminated electronic component

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Application Number Priority Date Filing Date Title
JP1290659A JP2504229B2 (en) 1989-11-08 1989-11-08 Method for manufacturing laminated electronic component

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Publication Number Publication Date
JPH03151615A JPH03151615A (en) 1991-06-27
JP2504229B2 true JP2504229B2 (en) 1996-06-05

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ID=17758834

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