JP2024137795A

JP2024137795A - Cutting blades, mounters and blade units

Info

Publication number: JP2024137795A
Application number: JP2024037993A
Authority: JP
Inventors: 隆博石井; Takahiro Ishii
Original assignee: Disco Abrasive Systems Ltd
Current assignee: Disco Corp
Priority date: 2023-03-24
Filing date: 2024-03-12
Publication date: 2024-10-07

Abstract

To provide a cutting blade that is able to minimize the possibility of damaging a surface of a mount flange that is in contact with the cutting blade.SOLUTION: A cutting blade, which is disposed between a mount flange and a fixing nut by being fixed so as to be sandwiched between the mount flange and the fixing nut, and which is mounted on a tip end part of a spindle together with the mount flange and the fixing nut, comprises: a disc-shaped base; and an annular cutting edge provided on an outer peripheral part of the base. The base has: a mount flange contact surface provided on one surface of the base and configured to come into contact with a first blade contact surface of the mount flange; and a fixing nut contact surface located on a side opposite to the mount flange contact surface and configured to come into contact with a second blade contact surface of the fixing nut. The fixing nut contact surface and the mount flange contact surface are configured such that a coefficient of friction between the fixing nut contact surface and the second blade contact surface is smaller than a coefficient of friction between the mount flange contact surface and the first blade contact surface.SELECTED DRAWING: Figure 3

Description

本発明は、切削ブレード、マウンタ及びブレードユニットに関する。 The present invention relates to a cutting blade, a mounter, and a blade unit.

半導体デバイスを搭載した半導体チップは、例えば、１枚のウェーハの表面に複数個の半導体デバイスを形成し、このウェーハを分割予定ラインに沿って個々の半導体デバイスに分割することで製造される。このようにウェーハを分割する方法の１つとして、ブレードダイシングがある。ブレードダイシングは、スピンドルの先端部に装着された切削ブレードを高速で回転させながらウェーハに押し当てることによりウェーハを切断する方法である。 Semiconductor chips equipped with semiconductor devices are manufactured, for example, by forming multiple semiconductor devices on the surface of a single wafer and then dividing the wafer into individual semiconductor devices along the planned division lines. Blade dicing is one method for dividing a wafer in this way. Blade dicing is a method of cutting a wafer by pressing a cutting blade attached to the tip of a spindle against the wafer while rotating it at high speed.

切削ブレードの例として、厚みの方向に貫通する穴が中央部に設けられた円盤状の基台と、基台の外周部に設けられた環状の切り刃と、を備えるものが知られている（例えば、特許文献１参照）。この種の切削ブレードは、一般的に、マウントフランジの柱状のボス部が基台の穴に挿入された状態で、ボス部に対して固定ナットが締結されることにより、マウントフランジと固定ナットとの間に挟み込まれるように固定され、マウントフランジを介してスピンドルの先端部に取り付けられる。 A known example of a cutting blade is one that has a disk-shaped base with a hole in the center that penetrates in the thickness direction, and an annular cutting blade provided on the outer periphery of the base (see, for example, Patent Document 1). This type of cutting blade is generally fixed so that it is sandwiched between the mount flange and the fixing nut by fastening a fixing nut to the boss with the columnar boss of the mount flange inserted into the hole in the base, and is attached to the tip of the spindle via the mount flange.

特開２００８－１０５１１４号公報JP 2008-105114 A

ところで、マウントフランジのボス部に対して固定ナットを締結する際に固定ナットを回転させると、切削ブレードが固定ナットによってマウントフランジに押し付けられ、切削ブレードからマウントフランジに対して大きな力が掛かる。この時、固定ナットの回転につられて切削ブレードが回転すると、マウントフランジの切削ブレードとの接触面が摩擦により傷つく可能性がある。 However, when the fixing nut is rotated to fasten it to the boss of the mounting flange, the cutting blade is pressed against the mounting flange by the fixing nut, and a large force is applied from the cutting blade to the mounting flange. If the cutting blade rotates in response to the rotation of the fixing nut, the contact surface of the mounting flange with the cutting blade may be damaged due to friction.

マウントフランジの接触面が傷つき、その平坦性が低下すると、マウントフランジを介してスピンドルに装着される切削ブレードが、スピンドルに対して傾いてしまう。その結果、ウェーハ等の被加工物を加工する際にスピンドルを高速に回転させると、切削ブレードの切り刃がスピンドルの軸心に対して平行な方向に揺れ動き、加工の精度が低下するおそれがあった。 When the contact surface of the mounting flange becomes damaged and its flatness decreases, the cutting blade attached to the spindle via the mounting flange becomes tilted relative to the spindle. As a result, when the spindle is rotated at high speed to process a workpiece such as a wafer, the cutting edge of the cutting blade wobbles in a direction parallel to the axis of the spindle, which can reduce the accuracy of processing.

よって、本発明の目的は、マウントフランジの切削ブレードとの接触面が傷つく可能性を低く抑えられる切削ブレード、マウンタ及びブレードユニットを提供することである。 Therefore, the object of the present invention is to provide a cutting blade, mounter, and blade unit that reduces the possibility of damage to the contact surface of the mounting flange with the cutting blade.

本発明の一側面によれば、マウントフランジと固定ナットとで挟み込まれるように固定されることにより該マウントフランジ及び該固定ナットの間に配置され、該マウントフランジ及び該固定ナットとともにスピンドルの先端部に装着される切削ブレードであって、円盤状の基台と、該基台の外周部に設けられた環状の切り刃と、を備え、該基台は、該基台の一方の面に設けられ、該マウントフランジが有する第１ブレード接触面と接触するマウントフランジ接触面と、該マウントフランジ接触面とは反対側に位置し、該固定ナットが有する第２ブレード接触面と接触する固定ナット接触面と、を有し、該固定ナット接触面及び該マウントフランジ接触面は、該固定ナット接触面と該第２ブレード接触面との摩擦係数が該マウントフランジ接触面と該第１ブレード接触面との摩擦係数より小さくなるように構成されている、切削ブレードが提供される。 According to one aspect of the present invention, a cutting blade is provided that is disposed between a mount flange and a fixed nut by being sandwiched between the mount flange and the fixed nut, and is attached to the tip of a spindle together with the mount flange and the fixed nut, the cutting blade comprising a disk-shaped base and an annular cutting blade provided on the outer periphery of the base, the base being provided on one side of the base and having a mount flange contact surface that contacts a first blade contact surface of the mount flange, and a fixed nut contact surface located on the opposite side of the mount flange contact surface that contacts a second blade contact surface of the fixed nut, the fixed nut contact surface and the mount flange contact surface being configured such that the coefficient of friction between the fixed nut contact surface and the second blade contact surface is smaller than the coefficient of friction between the mount flange contact surface and the first blade contact surface.

好ましくは、該固定ナット接触面の表面粗さは、該マウントフランジ接触面の表面粗さよりも小さい。 Preferably, the surface roughness of the fixing nut contact surface is less than the surface roughness of the mounting flange contact surface.

好ましくは、該固定ナット接触面の最大高さＲｙは、１．５μｍ未満である。 Preferably, the maximum height Ry of the fixing nut contact surface is less than 1.5 μm.

また、本発明の別の一側面によれば、円盤状の基台と、該基台の外周部に設けられた環状の切り刃と、を備える切削ブレードを保持するマウンタであって、該基台の一方の面に設けられたマウントフランジ接触面と接触する第１ブレード接触面を有し、スピンドルの先端部に装着されるマウントフランジと、該基台の該マウントフランジ接触面とは反対側に位置する固定ナット接触面と接触する第２ブレード接触面を有し、該マウントフランジに結合される固定ナットと、を備え、該第１ブレード接触面及び該第２ブレード接触面は、該固定ナット接触面と該第２ブレード接触面との摩擦係数が該マウントフランジ接触面と該第１ブレード接触面との摩擦係数よりも小さくなるように構成されている、マウンタが提供される。 According to another aspect of the present invention, there is provided a mounter for holding a cutting blade having a disk-shaped base and an annular cutting blade provided on the outer periphery of the base, the mount flange having a first blade contact surface that contacts a mount flange contact surface provided on one side of the base and attached to the tip of a spindle, and a fixing nut having a second blade contact surface that contacts a fixing nut contact surface located on the opposite side of the base from the mount flange contact surface and connected to the mount flange, the first blade contact surface and the second blade contact surface being configured such that the coefficient of friction between the fixing nut contact surface and the second blade contact surface is smaller than the coefficient of friction between the mount flange contact surface and the first blade contact surface.

好ましくは、該第２ブレード接触面の表面粗さは、該第１ブレード接触面の表面粗さよりも小さい。 Preferably, the surface roughness of the second blade contact surface is less than the surface roughness of the first blade contact surface.

好ましくは、該第２ブレード接触面の最大高さＲｙは、１．５μｍ未満である。 Preferably, the maximum height Ry of the second blade contact surface is less than 1.5 μm.

また、本発明の更に別の一側面によれば、ブレードユニットであって、切削ブレードと、該切削ブレードを保持するマウンタと、を備え、該切削ブレードは、円盤状の基台と、該基台の外周部に設けられた環状の切り刃と、を有し、該マウンタは、第１ブレード接触面を有し、スピンドルの先端部に装着されるマウントフランジと、第２ブレード接触面を有し、該マウントフランジに結合される固定ナットと、を有し、該基台は、該基台の一方の面に設けられ、該マウントフランジの該第１ブレード接触面と接触するマウントフランジ接触面と、該マウントフランジ接触面とは反対側に位置し、該固定ナットの該第２ブレード接触面と接触する固定ナット接触面と、を有し、該固定ナット接触面と該第２ブレード接触面との摩擦係数は、該マウントフランジ接触面と該第１ブレード接触面との摩擦係数よりも小さい、ブレードユニットが提供される。 According to yet another aspect of the present invention, there is provided a blade unit comprising a cutting blade and a mount for holding the cutting blade, the cutting blade having a disk-shaped base and an annular cutting edge provided on the outer periphery of the base, the mount having a mount flange having a first blade contact surface and attached to the tip of a spindle, and a fixing nut having a second blade contact surface and coupled to the mount flange, the base being provided on one side of the base and having a mount flange contact surface that contacts the first blade contact surface of the mount flange and a fixing nut contact surface located on the opposite side of the mount flange contact surface and that contacts the second blade contact surface of the fixing nut, and the coefficient of friction between the fixing nut contact surface and the second blade contact surface is smaller than the coefficient of friction between the mount flange contact surface and the first blade contact surface.

好ましくは、該固定ナット接触面の表面粗さは、該マウントフランジ接触面の表面粗さよりも小さい、又は、該第２ブレード接触面の表面粗さは、該第１ブレード接触面の表面粗さよりも小さい。 Preferably, the surface roughness of the fixing nut contact surface is less than the surface roughness of the mounting flange contact surface, or the surface roughness of the second blade contact surface is less than the surface roughness of the first blade contact surface.

好ましくは、該固定ナット接触面の最大高さＲｙ、又は、該第２ブレード接触面の最大高さＲｙは、１．５μｍ未満である。 Preferably, the maximum height Ry of the fixing nut contact surface or the maximum height Ry of the second blade contact surface is less than 1.5 μm.

本発明の一側面に係る切削ブレードでは、固定ナット接触面及びマウントフランジ接触面は、固定ナット接触面と固定ナットの第２ブレード接触面との摩擦係数がマウントフランジ接触面とマウントフランジの第１ブレード接触面との摩擦係数よりも小さくなるように構成されている。よって、切削ブレードは、マウントフランジに対して滑りにくく、固定ナットに対して滑りやすい。つまり、マウントフランジに対して固定ナットを着脱する際に、切削ブレードは、固定ナットの回転につられ難い。したがって、切削ブレードが固定ナットの回転につられて回転することに起因してマウントフランジの接触面が傷つく可能性が低く抑えられる。 In a cutting blade according to one aspect of the present invention, the fixed nut contact surface and the mount flange contact surface are configured so that the coefficient of friction between the fixed nut contact surface and the second blade contact surface of the fixed nut is smaller than the coefficient of friction between the mount flange contact surface and the first blade contact surface of the mount flange. Thus, the cutting blade is less likely to slip against the mount flange and more likely to slip against the fixed nut. In other words, when attaching or detaching the fixed nut to or from the mount flange, the cutting blade is less likely to be pulled by the rotation of the fixed nut. This reduces the possibility that the contact surface of the mount flange will be damaged due to the cutting blade rotating in response to the rotation of the fixed nut.

また、本発明の別の一側面に係るマウンタでは、マウントフランジの第１ブレード接触面及び固定ナットの第２ブレード接触面は、切削ブレードの固定ナット接触面と第２ブレード接触面との摩擦係数が切削ブレードのマウントフランジ接触面と第１ブレード接触面との摩擦係数よりも小さくなるように構成されている。よって、切削ブレードは、マウントフランジに対して滑りにくく、固定ナットに対して滑りやすい。つまり、マウントフランジに対して固定ナットを着脱する際に、切削ブレードは、固定ナットの回転につられ難い。したがって、切削ブレードが固定ナットの回転につられて回転することに起因してマウントフランジの接触面が傷つく可能性が低く抑えられる。 In addition, in a mounter according to another aspect of the present invention, the first blade contact surface of the mount flange and the second blade contact surface of the fixing nut are configured so that the coefficient of friction between the fixing nut contact surface of the cutting blade and the second blade contact surface is smaller than the coefficient of friction between the mounting flange contact surface of the cutting blade and the first blade contact surface. Therefore, the cutting blade is less likely to slip against the mounting flange and more likely to slip against the fixing nut. In other words, when attaching or detaching the fixing nut to the mounting flange, the cutting blade is less likely to be pulled by the rotation of the fixing nut. Therefore, the possibility of the contact surface of the mounting flange being damaged due to the cutting blade rotating in response to the rotation of the fixing nut is reduced.

また、本発明の更に別の一側面に係るブレードユニットでは、切削ブレードの固定ナット接触面と固定ナットの第２ブレード接触面との摩擦係数は、切削ブレードのマウントフランジ接触面とマウントフランジの第１ブレード接触面との摩擦係数よりも小さい。よって、切削ブレードは、マウントフランジに対して滑りにくく、固定ナットに対して滑りやすい。つまり、マウントフランジに対して固定ナットを着脱する際に、切削ブレードは、固定ナットの回転につられ難い。したがって、切削ブレードが固定ナットの回転につられて回転することに起因してマウントフランジの接触面が傷つく可能性が低く抑えられる。 In addition, in a blade unit according to yet another aspect of the present invention, the coefficient of friction between the fixed nut contact surface of the cutting blade and the second blade contact surface of the fixed nut is smaller than the coefficient of friction between the mount flange contact surface of the cutting blade and the first blade contact surface of the mount flange. Therefore, the cutting blade is less likely to slip against the mount flange and more likely to slip against the fixed nut. In other words, when attaching or detaching the fixed nut to or from the mount flange, the cutting blade is less likely to be pulled by the rotation of the fixed nut. This reduces the possibility that the contact surface of the mount flange will be damaged due to the cutting blade rotating in response to the rotation of the fixed nut.

図１は、切削装置を示す斜視図である。FIG. 1 is a perspective view showing a cutting device. 図２は、被加工物を示す平面図である。FIG. 2 is a plan view showing the workpiece. 図３は、切削ブレードが装着された第１切削ユニットの分解斜視図である。FIG. 3 is an exploded perspective view of the first cutting unit to which the cutting blade is attached. 図４は、切削ブレードを一方側から見た図である。FIG. 4 is a view of the cutting blade from one side. 図５は、切削ブレードを他方側から見た図である。FIG. 5 is a view of the cutting blade seen from the other side. 図６は、第１切削ユニットの一部断面側面図である。FIG. 6 is a partial cross-sectional side view of the first cutting unit.

以下、添付図面を参照しながら、本発明の実施形態について説明する。図１は、本実施形態で使用される切削装置２を示す斜視図である。なお、図１では、一部の構成要素が機能ブロックで表現されている。また、以下の説明で用いられるＸ軸（加工送り軸）、Ｙ軸（割り出し送り軸）、及びＺ軸（鉛直軸）は、互いに垂直である。 Below, an embodiment of the present invention will be described with reference to the attached drawings. Fig. 1 is a perspective view showing a cutting device 2 used in this embodiment. Note that in Fig. 1, some of the components are expressed as functional blocks. Also, the X-axis (machining feed axis), Y-axis (indexing feed axis), and Z-axis (vertical axis) used in the following description are perpendicular to each other.

図１に示されるように、切削装置２は、種々の構成要素を支持する基台４を備える。基台４の上面の角部には、開口部４ａが形成されており、この開口部４ａ内には、昇降機構（不図示）によって昇降するカセットテーブル６が配置されている。カセットテーブル６の上面には、板状の被加工物を収容できるカセット８が載せられる。なお、図１では、説明の便宜上、カセット８の輪郭のみが示されている。 As shown in FIG. 1, the cutting device 2 includes a base 4 that supports various components. An opening 4a is formed in a corner of the top surface of the base 4, and a cassette table 6 that is raised and lowered by a lifting mechanism (not shown) is disposed within this opening 4a. A cassette 8 that can accommodate plate-shaped workpieces is placed on the top surface of the cassette table 6. Note that, for ease of explanation, only the outline of the cassette 8 is shown in FIG. 1.

図２は、板状の被加工物１１を示す平面図である。被加工物１１は、代表的には、シリコン（Ｓｉ）等の半導体で構成される円盤状のウェーハであり、円形状の表面１１ａと、表面１１ａとは反対側の円形状の裏面（不図示）と、を有している。被加工物１１の表面１１ａ側は、互いに交差する直線状の複数の加工予定ライン（ストリート）１３で複数の小領域に区画されており、各小領域には、ＩＣ（Integrated Circuit）等のデバイス１５が形成されている。 Figure 2 is a plan view showing a plate-shaped workpiece 11. The workpiece 11 is typically a disk-shaped wafer made of a semiconductor such as silicon (Si), and has a circular front surface 11a and a circular back surface (not shown) opposite the front surface 11a. The front surface 11a side of the workpiece 11 is partitioned into a number of small regions by a number of mutually intersecting straight lines (streets) 13 to be processed, and a device 15 such as an IC (Integrated Circuit) is formed in each small region.

図２に示されるように、この被加工物１１の裏面側には、被加工物１１よりも直径の大きいテープ（ダイシングテープ）２１が貼付されている。また、テープ２１の外縁部分には、環状のフレーム２３が被加工物１１を囲むように固定されている。このように、被加工物１１は、テープ２１を介してフレーム２３に支持された状態でカセット８に収容される。 As shown in FIG. 2, a tape (dicing tape) 21 with a diameter larger than that of the workpiece 11 is attached to the back side of the workpiece 11. In addition, a ring-shaped frame 23 is fixed to the outer edge of the tape 21 so as to surround the workpiece 11. In this way, the workpiece 11 is stored in the cassette 8 while being supported by the frame 23 via the tape 21.

なお、本実施形態では、シリコン等の半導体で構成される円盤状のウェーハが被加工物１１として採用されているが、被加工物１１の材質、形状、構造、大きさ等は、この限りでない。例えば、他の半導体、セラミックス、樹脂、金属等の材料で構成される基板が被加工物１１として用いられ得る。同様に、デバイス１５の種類、数量、形状、構造、大きさ、配置等も制限されない。被加工物１１には、デバイス１５が形成されていなくてもよい。また、被加工物１１は、必ずしも、テープ２１を介してフレーム２３に支持されなくてよい。 In this embodiment, a disk-shaped wafer made of a semiconductor such as silicon is used as the workpiece 11, but the material, shape, structure, size, etc. of the workpiece 11 are not limited to this. For example, a substrate made of other semiconductors, ceramics, resin, metal, etc. may be used as the workpiece 11. Similarly, the type, number, shape, structure, size, arrangement, etc. of the devices 15 are not limited. The devices 15 do not have to be formed on the workpiece 11. Furthermore, the workpiece 11 does not necessarily have to be supported by the frame 23 via the tape 21.

図１に示されるように、Ｙ軸に沿ってカセットテーブル６に隣接する位置には、Ｘ軸に沿う方向に長い開口部４ｂが形成されている。開口部４ｂ内には、ボールねじ式のチャックテーブル移動機構（加工送り機構）１０が配置されている。チャックテーブル移動機構１０は、ボールねじの端部に接続されるモーター等の回転駆動源（不図示）と、ボールねじに連結されるナット部を有するＸ軸移動テーブル（不図示）と、を含んでおり、Ｘ軸移動テーブルをＸ軸に沿って移動させる。 As shown in FIG. 1, an opening 4b that is long in the direction along the X-axis is formed at a position adjacent to the cassette table 6 along the Y-axis. A ball screw type chuck table moving mechanism (processing feed mechanism) 10 is disposed within the opening 4b. The chuck table moving mechanism 10 includes a rotational drive source (not shown) such as a motor connected to the end of a ball screw, and an X-axis moving table (not shown) having a nut portion connected to the ball screw, and moves the X-axis moving table along the X-axis.

Ｘ軸移動テーブルの上方は、テーブルカバー１０ａによって覆われている。また、テーブルカバー１０ａのＸ軸に沿う方向の両端部には、Ｘ軸移動テーブル及びテーブルカバー１０ａの移動に応じて伸縮する蛇腹状の防塵防滴カバー１０ｂが取り付けられている。Ｘ軸移動テーブルの上部には、被加工物１１を保持するためのチャックテーブル１２が、テーブルカバー１０ａから露出する態様で配置されている。 The top of the X-axis moving table is covered by a table cover 10a. In addition, bellows-shaped dustproof and drip-proof covers 10b that expand and contract in response to the movement of the X-axis moving table and table cover 10a are attached to both ends of the table cover 10a in the direction along the X-axis. A chuck table 12 for holding the workpiece 11 is arranged on the top of the X-axis moving table in a manner that exposes it from the table cover 10a.

チャックテーブル１２は、モーター等の回転駆動源（不図示）に接続されており、Ｚ軸に対して概ね平行な回転軸の周りに回転する。また、チャックテーブル１２は、上述したチャックテーブル移動機構１０によって、Ｘ軸移動テーブルとともにＸ軸に沿って移動する（加工送り）。 The chuck table 12 is connected to a rotary drive source (not shown) such as a motor, and rotates around a rotation axis that is roughly parallel to the Z axis. The chuck table 12 is also moved along the X axis together with the X axis moving table by the chuck table moving mechanism 10 described above (processing feed).

チャックテーブル１２は、例えば、ステンレス鋼に代表される金属で形成された円盤状の枠体１４を含む。枠体１４の上面側には、上端が円形状に開口した凹部が形成されている。凹部には、この凹部の形状に合致する円盤状の保持板１６が嵌め込まれている。枠体１４の周囲には、被加工物１１を支持する環状のフレーム２３を固定するための４個のクランプ１８が配置されている。 The chuck table 12 includes a disk-shaped frame 14 made of a metal such as stainless steel. A recess with a circular opening at the top end is formed on the top surface of the frame 14. A disk-shaped holding plate 16 that matches the shape of the recess is fitted into the recess. Four clamps 18 are arranged around the frame 14 to secure an annular frame 23 that supports the workpiece 11.

保持板１６は、例えば、セラミックス等の材料で多孔質の板状に構成され、その上面（保持面）１６ａで被加工物１１を保持する。なお、保持板１６の上面１６ａは、保持板１６が凹部に嵌め込まれた状態で、Ｘ軸及びＹ軸に対して概ね平行になるように構成されている。つまり、チャックテーブル１２は、保持板１６の上面１６ａに対して概ね垂直な回転軸の周りに回転する。 The holding plate 16 is made of a porous plate-like material such as ceramics, and holds the workpiece 11 on its upper surface (holding surface) 16a. The upper surface 16a of the holding plate 16 is configured to be generally parallel to the X-axis and Y-axis when the holding plate 16 is fitted into the recess. In other words, the chuck table 12 rotates around a rotation axis that is generally perpendicular to the upper surface 16a of the holding plate 16.

枠体１４の凹部の底には、枠体１４の内部に設けられた流路（不図示）や、枠体１４の外部に配置されたバルブ（不図示）等を介して、吸引源（不図示）が接続されている。よって、バルブが開かれると、流路等を通じて保持板１６の上面１６ａに吸引源の負圧が作用する。吸引源としては、例えば、エアーの供給源とエジェクタとを組み合わせた真空ポンプが用いられる。ただし、吸引源として、ロータリーポンプ等が用いられてもよい。 A suction source (not shown) is connected to the bottom of the recess in the frame 14 via a flow path (not shown) provided inside the frame 14 or a valve (not shown) located outside the frame 14. Thus, when the valve is opened, negative pressure from the suction source acts on the upper surface 16a of the holding plate 16 through the flow path. As the suction source, for example, a vacuum pump combining an air supply source and an ejector is used. However, a rotary pump or the like may also be used as the suction source.

開口部４ｂの上方には、上述した被加工物１１（フレーム２３）をチャックテーブル１２等へと搬送できる一又は複数の搬送機構（不図示）が配置されている。搬送機構で搬送された被加工物１１は、例えば、表面１１ａ側が上方に露出するようにチャックテーブル１２の上面１６ａに載せられる。 Above the opening 4b, one or more transport mechanisms (not shown) are arranged that can transport the above-mentioned workpiece 11 (frame 23) to the chuck table 12, etc. The workpiece 11 transported by the transport mechanism is placed on the upper surface 16a of the chuck table 12 so that the surface 11a is exposed upward.

基台４の上面には、Ｙ軸に沿って開口部４ｂを跨ぐ門型の支持構造２０が設けられている。支持構造２０の上部には、一対の切削ユニット移動機構（割り出し送り機構、切り込み送り機構）２２が配置されている。なお、一対の切削ユニット移動機構２２の構造は、Ｘ軸とＺ軸とに平行な面に関して互いに対称（鏡像の関係）になるように構成されている点を除き、実質的に同じである。一対の切削ユニット移動機構２２の同じ構成要素には、同じ符号が付され、重複する説明が省略される。 A gate-shaped support structure 20 that straddles the opening 4b along the Y axis is provided on the upper surface of the base 4. A pair of cutting unit movement mechanisms (indexing feed mechanism, cutting feed mechanism) 22 are arranged on the upper part of the support structure 20. The structure of the pair of cutting unit movement mechanisms 22 is substantially the same except that they are configured to be symmetrical (mirror image) with respect to a plane parallel to the X axis and Z axis. The same components of the pair of cutting unit movement mechanisms 22 are given the same reference numerals, and duplicated explanations will be omitted.

各切削ユニット移動機構２２は、支持構造２０の正面（表面）に固定されＹ軸に対して概ね平行な一対のＹ軸ガイドレール２４を共有している。一対のＹ軸ガイドレール２４には、各切削ユニット移動機構２２を構成するＹ軸移動プレート２６がＹ軸に沿ってスライドできる態様で取り付けられている。各Ｙ軸移動プレート２６の背面側（裏面側）には、ボールねじを構成するナット部（不図示）が設けられており、各ナット部には、Ｙ軸ガイドレール２４に対して概ね平行なねじ軸２８が、回転できる態様で連結されている。 Each cutting unit movement mechanism 22 shares a pair of Y-axis guide rails 24 that are fixed to the front (surface) of the support structure 20 and are generally parallel to the Y-axis. A Y-axis movement plate 26 constituting each cutting unit movement mechanism 22 is attached to the pair of Y-axis guide rails 24 in a manner that allows it to slide along the Y-axis. A nut portion (not shown) constituting a ball screw is provided on the rear side (back side) of each Y-axis movement plate 26, and a screw shaft 28 that is generally parallel to the Y-axis guide rails 24 is rotatably connected to each nut portion.

各ねじ軸２８の一端部には、モーター等の回転駆動源３０が接続されている。各回転駆動源３０によってねじ軸２８を回転させることで、対象のＹ軸移動プレート２６は、Ｙ軸ガイドレール２４に沿って移動する。各Ｙ軸移動プレート２６の正面（表面）には、Ｚ軸に対して概ね平行な一対のＺ軸ガイドレール３２が固定されている。各Ｙ軸移動プレート２６に固定された一対のＺ軸ガイドレール３２には、Ｚ軸移動プレート３４がＺ軸に沿ってスライドできる態様で取り付けられている。 One end of each screw shaft 28 is connected to a rotary drive source 30 such as a motor. By rotating the screw shaft 28 with each rotary drive source 30, the corresponding Y-axis moving plate 26 moves along the Y-axis guide rail 24. A pair of Z-axis guide rails 32 that are roughly parallel to the Z-axis are fixed to the front (surface) of each Y-axis moving plate 26. A Z-axis moving plate 34 is attached to the pair of Z-axis guide rails 32 fixed to each Y-axis moving plate 26 in such a manner that it can slide along the Z-axis.

各Ｚ軸移動プレート３４の背面側（裏面側）には、ボールねじを構成するナット部（不図示）が設けられており、各ナット部には、Ｚ軸ガイドレール３２に対して概ね平行なねじ軸３６が、回転できる態様で連結されている。各ねじ軸３６の一端部には、モーター等の回転駆動源３８が接続されている。各回転駆動源３８によってねじ軸３６を回転させることで、対象のＺ軸移動プレート３４は、Ｚ軸ガイドレール３２に沿って移動する。 A nut portion (not shown) constituting a ball screw is provided on the rear side (back side) of each Z-axis moving plate 34, and a screw shaft 36 that is generally parallel to the Z-axis guide rail 32 is rotatably connected to each nut portion. A rotation drive source 38 such as a motor is connected to one end of each screw shaft 36. By rotating the screw shaft 36 with each rotation drive source 38, the target Z-axis moving plate 34 moves along the Z-axis guide rail 32.

一方の切削ユニット移動機構２２を構成するＺ軸移動プレート３４の下部には、第１切削ユニット（ブレードユニット）４０ａが固定されている。図３は、第１切削ユニット４０ａの構造を模式的に示す分解斜視図である。図３に示されるように、第１切削ユニット４０ａは、筒状のスピンドルハウジング４２を備えている。このスピンドルハウジング４２には、Ｙ軸に対して概ね平行な軸心を持つスピンドル４４が収容されている。 A first cutting unit (blade unit) 40a is fixed to the lower part of the Z-axis moving plate 34 constituting one of the cutting unit moving mechanisms 22. Figure 3 is an exploded perspective view showing a schematic structure of the first cutting unit 40a. As shown in Figure 3, the first cutting unit 40a has a cylindrical spindle housing 42. This spindle housing 42 contains a spindle 44 whose axis is roughly parallel to the Y-axis.

スピンドル４４の先端部（一端側）は、スピンドルハウジング４２の外部に露出している。このスピンドル４４の先端部の先端面には、ねじ穴４４ａが設けられている。また、スピンドル４４の基端部（他端側）には、モーター等の回転駆動源（不図示）が接続されている。 The tip (one end) of the spindle 44 is exposed to the outside of the spindle housing 42. A screw hole 44a is provided in the tip surface of the tip of the spindle 44. A rotation drive source (not shown), such as a motor, is connected to the base end (the other end) of the spindle 44.

スピンドル４４の先端部には、マウントフランジ（マウンタ）４６を介して環状の切削ブレード５２が装着される。マウントフランジ４６は、切削ブレード５２を支持する円盤状のフランジ部４８と、フランジ部４８の円形状の表面（一方の面）４８ａの中央部から突出する円柱状のボス部５０と、を備える。マウントフランジ４６には、フランジ部４８の中央部を表面４８ａ側から裏面（他方の面）４８ｂ側に貫通するとともに、ボス部５０の中央部を先端５０ａ側から基端側（フランジ部４８側）に貫通する貫通孔４６ａが形成されている。 A ring-shaped cutting blade 52 is attached to the tip of the spindle 44 via a mount flange (mounter) 46. The mount flange 46 includes a disk-shaped flange portion 48 that supports the cutting blade 52, and a cylindrical boss portion 50 that protrudes from the center of the circular front surface (one surface) 48a of the flange portion 48. The mount flange 46 has a through hole 46a that penetrates the center of the flange portion 48 from the front surface 48a side to the back surface (the other surface) 48b side, and penetrates the center of the boss portion 50 from the tip 50a side to the base end side (flange portion 48 side).

フランジ部４８の裏面４８ｂ側からスピンドル４４の先端部が貫通孔４６ａに挿入されることで、マウントフランジ４６は、フランジ部４８の裏面４８ｂ側からスピンドル４４に装着される。貫通孔４６ａには、ワッシャー６０を受ける環状の受け部が設けられている。貫通孔４６ａにワッシャー６０を配置し、このワッシャー６０を介してスピンドル４４のねじ穴４４ａにねじ６２を締め込めば、マウントフランジ４６は、スピンドル４４の先端部に固定される。 The tip of the spindle 44 is inserted into the through hole 46a from the back surface 48b of the flange portion 48, and the mount flange 46 is attached to the spindle 44 from the back surface 48b of the flange portion 48. The through hole 46a is provided with an annular receiving portion that receives a washer 60. The washer 60 is placed in the through hole 46a, and a screw 62 is fastened into the screw hole 44a of the spindle 44 through the washer 60, and the mount flange 46 is fixed to the tip of the spindle 44.

フランジ部４８の表面４８ａ側の外周部には、表面４８ａに対して交差する方向（表面４８ａに対して垂直な方向）に僅かに突出する環状の凸部４８ｃが設けられている。凸部４８ｃの先端面（第１ブレード接触面）４８ｄは、概ね平坦に形成されている。ボス部５０の外周面５０ｂの先端５０ａ側の領域には、ねじ山が設けられている。 The outer periphery of the flange portion 48 on the surface 48a side is provided with an annular protrusion 48c that protrudes slightly in a direction intersecting the surface 48a (perpendicular to the surface 48a). The tip surface (first blade contact surface) 48d of the protrusion 48c is formed to be generally flat. The area of the outer periphery 50b of the boss portion 50 on the tip 50a side is provided with a screw thread.

図４は、切削ブレード５２を一方側から見た図であり、図５は、切削ブレード５２を他方側から見た図である。図３、図４及び図５に示されるように、切削ブレード５２は、円盤状の基台５４と、基台５４の外周部に設けられた環状の切り刃５６と、を備えた、いわゆる、ハブタイプの切削ブレードである。 Figure 4 is a view of the cutting blade 52 from one side, and Figure 5 is a view of the cutting blade 52 from the other side. As shown in Figures 3, 4, and 5, the cutting blade 52 is a so-called hub-type cutting blade that has a disk-shaped base 54 and an annular cutting edge 56 provided on the outer periphery of the base 54.

図４及び図５に示されるように、基台５４は、環状の第１面（固定ナット接触面）５４ａと、第１面５４ａとは反対側の環状の第２面（マウントフランジ接触面）５４ｂと、を有する。本実施形態では、第１面５４ａと第２面５４ｂとが、摩擦に関して互いに異なる特徴を持つように構成されている。また、基台５４の中央部には、基台５４を厚さの方向に貫通する円形状の穴（開口部）５４ｃが設けられている。 As shown in Figures 4 and 5, the base 54 has an annular first surface (fixing nut contact surface) 54a and an annular second surface (mount flange contact surface) 54b opposite the first surface 54a. In this embodiment, the first surface 54a and the second surface 54b are configured to have different friction characteristics. In addition, a circular hole (opening) 54c is provided in the center of the base 54, penetrating the base 54 in the thickness direction.

切り刃５６は、例えば、ダイヤモンド等でなる砥粒が、金属、樹脂、セラミックス等の結合材によって分散、固定されたものであり、基台５４の第２面５４ｂの外周側の一部を覆うように設けられている。 The cutting blade 56 is made of abrasive grains, such as diamond, dispersed and fixed with a binder such as metal, resin, or ceramic, and is arranged to cover a portion of the outer periphery of the second surface 54b of the base 54.

このように構成された切削ブレード５２をマウントフランジ４６に対して取り付ける際には、図３に示されるように、切削ブレード５２の第２面５４ｂをフランジ部４８の先端面４８ｄに接触させるように、穴５２ａにボス部５０が挿入される。 When attaching the cutting blade 52 configured in this manner to the mounting flange 46, as shown in FIG. 3, the boss portion 50 is inserted into the hole 52a so that the second surface 54b of the cutting blade 52 contacts the tip surface 48d of the flange portion 48.

マウントフランジ４６に切削ブレード５２が取り付けられた状態で、このマウントフランジ４６には、固定ナット（マウンタ）５８が取り付けられる。固定ナット５８は、環状のナット（丸ナット）であり、その中央部には、マウントフランジ４６のボス部５０が挿入される穴（開口部）５８ａが設けられている。穴５８ａの内周面には、ボス部５０のねじ山に対応するねじ山が形成されている。 With the cutting blade 52 attached to the mount flange 46, a fixing nut (mounter) 58 is attached to the mount flange 46. The fixing nut 58 is an annular nut (round nut) with a hole (opening) 58a in its center into which the boss portion 50 of the mount flange 46 is inserted. The inner circumferential surface of the hole 58a is formed with threads that correspond to the threads of the boss portion 50.

切削ブレード５２の穴５２ａにボス部５０が挿入され、固定ナット５８の穴５８ａにボス部５０が挿入された後には、ボス部５０と固定ナット５８とを相対的に回転させることで、ボス部５０が固定ナット５８に締め込まれる。これにより、切削ブレード５２は、マウントフランジ４６と固定ナット５８とで挟持された状態で固定される。 After the boss portion 50 is inserted into the hole 52a of the cutting blade 52 and the boss portion 50 is inserted into the hole 58a of the fixing nut 58, the boss portion 50 and the fixing nut 58 are rotated relative to each other so that the boss portion 50 is tightened into the fixing nut 58. As a result, the cutting blade 52 is fixed in a state where it is sandwiched between the mount flange 46 and the fixing nut 58.

図６は、第１切削ユニット４０ａの一部断面側面図である。図６に示されるように、切削ブレード５２がマウントフランジ４６と固定ナット５８とで挟持されると、切削ブレード５２の第２面（マウントフランジ接触面）５４ｂがマウントフランジ４６の先端面（第１ブレード接触面）４８ｄに接触する。 Figure 6 is a partial cross-sectional side view of the first cutting unit 40a. As shown in Figure 6, when the cutting blade 52 is clamped between the mount flange 46 and the fixing nut 58, the second surface (mount flange contact surface) 54b of the cutting blade 52 contacts the tip surface (first blade contact surface) 48d of the mount flange 46.

また、固定ナット５８は、マウントフランジ４６に結合された状態でマウントフランジ４６側を向く面（第２ブレード接触面）５８ｂを有する。切削ブレード５２がマウントフランジ４６と固定ナット５８とで挟持されると、この面５８ｂは、切削ブレード５２の第１面（固定ナット接触面）５４ａに接触する。 The fixing nut 58 also has a surface (second blade contact surface) 58b that faces the mounting flange 46 when it is attached to the mounting flange 46. When the cutting blade 52 is clamped between the mounting flange 46 and the fixing nut 58, this surface 58b comes into contact with the first surface (fixing nut contact surface) 54a of the cutting blade 52.

上述のように、本実施形態では、切削ブレード５２の第１面５４ａと第２面５４ｂとが、摩擦に関して互いに異なる特徴を持つように構成されている。具体的には、切削ブレード５２の第１面５４ａと固定ナット５８の面５８ｂとの間の摩擦係数が、切削ブレード５２の第２面５４ｂとマウントフランジ４６の先端面４８ｄとの間の摩擦係数よりも小さくなるように構成されている。言い換えれば、本実施形態の切削ブレード５２は、マウントフランジ４６に対して滑りにくく、固定ナット５８に対して滑りやすいように構成されている。 As described above, in this embodiment, the first surface 54a and the second surface 54b of the cutting blade 52 are configured to have different friction characteristics. Specifically, the coefficient of friction between the first surface 54a of the cutting blade 52 and the surface 58b of the fixing nut 58 is configured to be smaller than the coefficient of friction between the second surface 54b of the cutting blade 52 and the tip surface 48d of the mounting flange 46. In other words, the cutting blade 52 of this embodiment is configured to be less slippery on the mounting flange 46 and more slippery on the fixing nut 58.

図１に示されるように、第１切削ユニット４０ａを構成するスピンドルハウジング４２の開口部４ｂ側の端部には、スピンドル４４に装着された切削ブレード５２を部分的に覆うことができるカバー６６が設けられている。カバー６６の下部には、水に代表される加工用の液体（加工液）を切削ブレード５２へと供給できる一対のノズル６８が、切削ブレード５２を挟むように配置されている。 As shown in FIG. 1, a cover 66 capable of partially covering the cutting blade 52 attached to the spindle 44 is provided at the end of the spindle housing 42 constituting the first cutting unit 40a on the opening 4b side. A pair of nozzles 68 capable of supplying a processing liquid (working fluid) such as water to the cutting blade 52 are arranged at the bottom of the cover 66 so as to sandwich the cutting blade 52.

Ｘ軸に沿って第１切削ユニット４０ａに隣接する位置には、チャックテーブル１２に保持された被加工物１１等を撮像できるカメラ７０が配置されている。カメラ７０は、第１切削ユニット４０ａと同様に、一方の切削ユニット移動機構２２を構成するＺ軸移動プレート３４の下部に固定されている。 A camera 70 capable of capturing images of the workpiece 11 held on the chuck table 12 is disposed adjacent to the first cutting unit 40a along the X-axis. The camera 70 is fixed to the lower part of the Z-axis moving plate 34 that constitutes one of the cutting unit moving mechanisms 22, similar to the first cutting unit 40a.

そのため、一方の切削ユニット移動機構２２で一方のＹ軸移動プレート２６をＹ軸に沿って移動させれば、第１切削ユニット４０ａ及びカメラ７０は、Ｙ軸に沿って移動する（割り出し送り）。また、一方の切削ユニット移動機構２２で一方のＺ軸移動プレート３４をＺ軸に沿って移動させれば、第１切削ユニット４０ａ及びカメラ７０は、Ｚ軸に沿って移動する（切り込み送り）。 Therefore, when one Y-axis moving plate 26 is moved along the Y-axis by one cutting unit moving mechanism 22, the first cutting unit 40a and the camera 70 move along the Y-axis (indexing feed). When one Z-axis moving plate 34 is moved along the Z-axis by one cutting unit moving mechanism 22, the first cutting unit 40a and the camera 70 move along the Z-axis (cutting feed).

他方の切削ユニット移動機構２２を構成するＺ軸移動プレート３４の下部には、第１切削ユニット４０ａと同様の第２切削ユニット（ブレードユニット）４０ｂが固定されている。また、Ｘ軸に沿って第２切削ユニット４０ｂに隣接する位置には、カメラ７０が配置されている。 A second cutting unit (blade unit) 40b similar to the first cutting unit 40a is fixed to the lower part of the Z-axis moving plate 34 constituting the other cutting unit moving mechanism 22. In addition, a camera 70 is disposed at a position adjacent to the second cutting unit 40b along the X-axis.

図１に示されるように、開口部４ｂに対して開口部４ａと反対側の位置には、開口部４ｃが形成されている。開口部４ｃ内には、加工後の被加工物１１等を洗浄するための洗浄ユニット７４が配置されている。更に、上述した切削装置２の種々の構成要素には、コントローラ７６が接続されている。各構成要素の動作は、このコントローラ７６により制御される。 As shown in FIG. 1, an opening 4c is formed at a position opposite opening 4b from opening 4a. A cleaning unit 74 is disposed within opening 4c for cleaning workpiece 11 after processing. Furthermore, a controller 76 is connected to the various components of cutting device 2 described above. The operation of each component is controlled by this controller 76.

コントローラ７６は、例えば、ＣＰＵ（Central Processing Unit）等の処理装置でなる処理部７６ａと、ＤＲＡＭ（Dynamic Random Access Memory）等の主記憶装置、又はハードディスクドライブやフラッシュメモリ等の補助記憶装置でなる記憶部７６ｂと、を含むコンピュータによって構成される。記憶部７６ｂに記憶されているプログラム（ソフトウェア）に従い処理部７６ａが動作することによって、コントローラ７６の機能が実現される。ただし、コントローラ７６は、ハードウェアのみによって実現されてもよい。 The controller 76 is configured by a computer including a processing unit 76a, which is a processing device such as a CPU (Central Processing Unit), and a storage unit 76b, which is a main storage device such as a DRAM (Dynamic Random Access Memory) or an auxiliary storage device such as a hard disk drive or flash memory. The functions of the controller 76 are realized by the processing unit 76a operating in accordance with a program (software) stored in the storage unit 76b. However, the controller 76 may be realized only by hardware.

上述のように、本実施形態に係る切削ブレード５２において、第１面（固定ナット接触面）５４ａ及び第２面（マウントフランジ接触面）５４ｂは、固定ナット接触面５４ａと固定ナット５８の面（第２ブレード接触面）５８ｂとの間の摩擦係数がマウントフランジ接触面５４ｂとマウントフランジ４６の先端面（第１ブレード接触面）４８ｄとの間の摩擦係数よりも小さくなるように構成されている。 As described above, in the cutting blade 52 according to this embodiment, the first surface (fixed nut contact surface) 54a and the second surface (mount flange contact surface) 54b are configured so that the coefficient of friction between the fixed nut contact surface 54a and the surface (second blade contact surface) 58b of the fixed nut 58 is smaller than the coefficient of friction between the mount flange contact surface 54b and the tip surface (first blade contact surface) 48d of the mount flange 46.

よって、切削ブレード５２は、マウントフランジ４６に対して滑りにくく、固定ナット５８に対して滑りやすい。つまり、マウントフランジ４６のボス部５０に対して固定ナット５８を着脱する際に固定ナット５８を回転させても、切削ブレード５２は、固定ナット５８の回転につられ難い。したがって、切削ブレード５２が固定ナット５８の回転につられて回転することに起因してマウントフランジ接触面５４ｂが傷つく可能性が低く抑えられる。 Therefore, the cutting blade 52 is less likely to slip relative to the mount flange 46, but is more likely to slip relative to the fixed nut 58. In other words, even if the fixed nut 58 is rotated when attaching or detaching the fixed nut 58 to the boss portion 50 of the mount flange 46, the cutting blade 52 is less likely to be influenced by the rotation of the fixed nut 58. This reduces the possibility that the mount flange contact surface 54b will be damaged due to the cutting blade 52 rotating in response to the rotation of the fixed nut 58.

上述のような摩擦係数の関係を実現するための方法としては、固定ナット接触面５４ａの表面粗さがマウントフランジ接触面５４ｂの表面粗さよりも小さくなるように、マウントフランジ接触面５４ｂに対して表面処理を施すことが考えられる。例えば、研削、ブラスト処理等の機械的方法や、エッチング等の化学的方法でマウントフランジ接触面５４ｂに凹凸を設けることにより、マウントフランジ接触面５４ｂの表面粗さを固定ナット接触面５４ａの表面粗さより大きくすることが考えられる。 One method for achieving the above-mentioned friction coefficient relationship is to perform a surface treatment on the mount flange contact surface 54b so that the surface roughness of the fixed nut contact surface 54a is smaller than that of the mount flange contact surface 54b. For example, it is possible to make the surface roughness of the mount flange contact surface 54b larger than that of the fixed nut contact surface 54a by providing irregularities on the mount flange contact surface 54b using mechanical methods such as grinding or blasting, or chemical methods such as etching.

また、固定ナット接触面５４ａに対して表面処理が施されても良い。例えば、固定ナット接触面５４ａに樹脂コーティングを施したり、離型紙を設けたり、アルマイト処理を施すことにより固定ナット接触面５４ａの表面粗さをより小さくすることが考えられる。もちろん、固定ナット接触面５４ａが研磨されてもよい。 The fixed nut contact surface 54a may also be subjected to a surface treatment. For example, the surface roughness of the fixed nut contact surface 54a may be reduced by applying a resin coating to the fixed nut contact surface 54a, providing release paper, or anodizing the fixed nut contact surface 54a. Of course, the fixed nut contact surface 54a may also be polished.

具体的には、固定ナット接触面５４ａの最大高さＲｙは、例えば、１．５μｍ未満、好ましくは１．２μｍ未満であり、マウントフランジ接触面５４ｂの最大高さは、例えば、１．５μｍ以上、好ましくは１．８μｍ以上である。なお、最大高さＲｙとは、ＪＩＳ（Japanese Industrial Standards）Ｂ０６０１：１９９４，ＪＩＳＢ００３１：１９９４で規定される表面粗さの指標の１つである。 Specifically, the maximum height Ry of the fixing nut contact surface 54a is, for example, less than 1.5 μm, preferably less than 1.2 μm, and the maximum height of the mounting flange contact surface 54b is, for example, 1.5 μm or more, preferably 1.8 μm or more. The maximum height Ry is one of the surface roughness indexes defined in JIS (Japanese Industrial Standards) B 0601:1994 and JIS B 0031:1994.

固定ナット接触面５４ａの最大高さＲｙは、小さければ小さいほど好ましい。すなわち、固定ナット接触面５４ａの表面は、できる限り滑りやすいことが好ましい。ただし、生産性を考慮して、固定ナット接触面５４ａの最大高さＲｙの下限値は、０．７μｍとすることがより好ましい。 The smaller the maximum height Ry of the fixed nut contact surface 54a, the better. In other words, it is preferable that the surface of the fixed nut contact surface 54a be as slippery as possible. However, in consideration of productivity, it is more preferable that the lower limit of the maximum height Ry of the fixed nut contact surface 54a be 0.7 μm.

なお、上述した実施形態では、マウントフランジ４６の第１ブレード接触面４８ｄ及び固定ナット５８の第２ブレード接触面５８ｂの摩擦に関する特徴が、従来のものから変更されていないが、これらの特徴が変更されても良い。 In the above-described embodiment, the friction characteristics of the first blade contact surface 48d of the mounting flange 46 and the second blade contact surface 58b of the fixing nut 58 are unchanged from the conventional ones, but these characteristics may be changed.

この変形例では、マウントフランジ４６の第１ブレード接触面４８ｄ及び固定ナット５８の第２ブレード接触面５８ｂが、切削ブレード５２の固定ナット接触面５４ａと第２ブレード接触面５８ｂとの間の摩擦係数が切削ブレード５２のマウントフランジ接触面５４ｂと第１ブレード接触面４８ｄとの間の摩擦係数よりも小さくなるように構成される。 In this modification, the first blade contact surface 48d of the mount flange 46 and the second blade contact surface 58b of the fixing nut 58 are configured such that the coefficient of friction between the fixing nut contact surface 54a of the cutting blade 52 and the second blade contact surface 58b is smaller than the coefficient of friction between the mount flange contact surface 54b of the cutting blade 52 and the first blade contact surface 48d.

上述のような摩擦係数の関係を実現するための方法としては、第２ブレード接触面５８ｂの表面粗さが第１ブレード接触面４８ｄの表面粗さよりも小さくなるように、第１ブレード接触面４８ｄに対して表面処理を施すことが考えられる。具体的な表面処理の方法は、上述した実施形態においてマウントフランジ接触面５４ｂに施される処理と同様である。また、第２ブレード接触面５８ｂに対して表面処理が施されても良い。具体的な表面処理の方法は、上述した実施形態において固定ナット接触面５４ａに施される処理と同様である。 One method for achieving the above-mentioned friction coefficient relationship is to perform a surface treatment on the first blade contact surface 48d so that the surface roughness of the second blade contact surface 58b is smaller than the surface roughness of the first blade contact surface 48d. The specific surface treatment method is the same as the treatment performed on the mount flange contact surface 54b in the above-mentioned embodiment. The second blade contact surface 58b may also be surface treated. The specific surface treatment method is the same as the treatment performed on the fixing nut contact surface 54a in the above-mentioned embodiment.

上述した実施形態の固定ナット接触面５４ａと同様に、第２ブレード接触面５８ｂの最大高さＲｙは、例えば、１．５μｍ未満、好ましくは１．２μｍ未満である。また、上述した実施形態のマウントフランジ接触面５４ｂと同様に、第１ブレード接触面７８の最大高さは、例えば、１．５μｍ以上、好ましくは１．８μｍ以上である。 As with the fixed nut contact surface 54a in the embodiment described above, the maximum height Ry of the second blade contact surface 58b is, for example, less than 1.5 μm, preferably less than 1.2 μm. Also, as with the mount flange contact surface 54b in the embodiment described above, the maximum height of the first blade contact surface 78 is, for example, 1.5 μm or more, preferably 1.8 μm or more.

第２ブレード接触面５８ｂの最大高さＲｙは、小さければ小さいほど好ましい。すなわち、第２ブレード接触面５８ｂの表面は、より滑りやすいことが好ましい。ただし、生産性を考慮して、第２ブレード接触面５８ｂの最大高さＲｙの下限値は、０．７μｍとすることがより好ましい。 The smaller the maximum height Ry of the second blade contact surface 58b, the more preferable it is. In other words, it is preferable that the surface of the second blade contact surface 58b is more slippery. However, taking productivity into consideration, it is more preferable that the lower limit of the maximum height Ry of the second blade contact surface 58b is 0.7 μm.

なお、この変形例では、切削ブレード５２の固定ナット接触面５４ａ及びマウントフランジ接触面５４ｂの摩擦に関する特徴は、必ずしも従来のものから変更されなくてよい。もちろん、固定ナット接触面５４ａ及びマウントフランジ接触面５４ｂの摩擦に関する特徴と、マウントフランジ４６の第１ブレード接触面４８ｄ及び固定ナット５８の第２ブレード接触面５８ｂの摩擦に関する特徴と、の双方が、従来のものから変更されてもよい。 In this modified example, the friction characteristics of the fixed nut contact surface 54a and the mount flange contact surface 54b of the cutting blade 52 do not necessarily have to be changed from the conventional ones. Of course, both the friction characteristics of the fixed nut contact surface 54a and the mount flange contact surface 54b and the friction characteristics of the first blade contact surface 48d of the mount flange 46 and the second blade contact surface 58b of the fixed nut 58 may be changed from the conventional ones.

その他、上述の実施形態及び変形例に係る構造、方法等は、本発明の目的の範囲を逸脱しない限りにおいて変更して実施され得る。 In addition, the structures, methods, etc. of the above-mentioned embodiments and variations may be modified and implemented without departing from the scope of the present invention.

２：切削装置
４：基台
４ａ、４ｂ、４ｃ：開口部
６：カセットテーブル
８：カセット
１０：チャックテーブル移動機構（加工送り機構）
１０ａ：テーブルカバー
１０ｂ：防塵防滴カバー
１２：チャックテーブル
１４：枠体
１６：保持板
１６ａ：上面（保持面）
１８：クランプ
２０：支持構造
２２：切削ユニット移動機構（割り出し送り機構、切り込み送り機構）
２４：Ｙ軸ガイドレール
２６：Ｙ軸移動プレート
２８：ねじ軸
３０：回転駆動源
３２：Ｚ軸ガイドレール
３４：Ｚ軸移動プレート
３６：ねじ軸
３８：回転駆動源
４０ａ：第１切削ユニット
４０ｂ：第２切削ユニット
４２：スピンドルハウジング
４４：スピンドル
４４ａ：ねじ穴
４６：マウントフランジ
４６ａ：貫通孔
４８：フランジ部
４８ａ：表面（一方の面）
４８ｂ：裏面（他方の面）
４８ｃ：凸部
４８ｄ：先端面（第１ブレード接触面）
５０：ボス部
５０ａ：先端
５０ｂ：外周面
５２：切削ブレード
５４：基台
５４ａ：第１面（固定ナット接触面）
５４ｂ：第２面（マウントフランジ接触面）
５４ｃ：穴（開口部）
５６：切り刃
５８：固定ナット
５８ａ：穴（開口部）
５８ｂ：面（第２ブレード接触面）
６０：ワッシャー
６２：ねじ
６６：カバー
６８：ノズル
７０：カメラ
７４：洗浄ユニット
７６：コントローラ
７６ａ：処理部
７６ｂ：記憶部
１１：被加工物
１１ａ：表面
１３：加工予定ライン（ストリート）
１５：デバイス
２１：テープ（ダイシングテープ）
２３：フレーム 2: Cutting device 4: Base 4a, 4b, 4c: Opening 6: Cassette table 8: Cassette 10: Chuck table moving mechanism (processing feed mechanism)
10a: Table cover 10b: Dust-proof/water-proof cover 12: Chuck table 14: Frame 16: Holding plate 16a: Upper surface (holding surface)
18: Clamp 20: Support structure 22: Cutting unit moving mechanism (indexing feed mechanism, cutting feed mechanism)
24: Y-axis guide rail 26: Y-axis moving plate 28: Screw shaft 30: Rotation drive source 32: Z-axis guide rail 34: Z-axis moving plate 36: Screw shaft 38: Rotation drive source 40a: First cutting unit 40b: Second cutting unit 42: Spindle housing 44: Spindle 44a: Screw hole 46: Mount flange 46a: Through hole 48: Flange portion 48a: Surface (one side)
48b: Back side (other side)
48c: Convex portion 48d: Tip surface (first blade contact surface)
50: Boss portion 50a: Tip 50b: Outer circumferential surface 52: Cutting blade 54: Base 54a: First surface (fixing nut contact surface)
54b: Second surface (mount flange contact surface)
54c: Hole (opening)
56: Cutting blade 58: Fixing nut 58a: Hole (opening)
58b: surface (second blade contact surface)
60: Washer 62: Screw 66: Cover 68: Nozzle 70: Camera 74: Cleaning unit 76: Controller 76a: Processing unit 76b: Memory unit 11: Workpiece 11a: Surface 13: Planned processing line (street)
15: Device 21: Tape (dicing tape)
23: Frame

Claims

A cutting blade is disposed between a mount flange and a fixing nut by being sandwiched and fixed between the mount flange and the fixing nut, and is attached to a tip end of a spindle together with the mount flange and the fixing nut,
A disk-shaped base and
An annular cutting blade is provided on the outer periphery of the base,
the base includes a mount flange contact surface provided on one surface of the base and adapted to come into contact with a first blade contact surface of the mount flange;
a locking nut contact surface located opposite the mount flange contact surface and in contact with a second blade contact surface of the locking nut;
The fixing nut contact surface and the mounting flange contact surface are configured such that a coefficient of friction between the fixing nut contact surface and the second blade contact surface is less than a coefficient of friction between the mounting flange contact surface and the first blade contact surface.

The cutting blade of claim 1, wherein the surface roughness of the fixing nut contact surface is less than the surface roughness of the mounting flange contact surface.

The cutting blade according to claim 1 or 2, wherein the maximum height Ry of the fixing nut contact surface is less than 1.5 μm.

A mounter for holding a cutting blade having a disk-shaped base and an annular cutting blade provided on an outer periphery of the base,
a mount flange having a first blade contact surface that contacts a mount flange contact surface provided on one surface of the base and is attached to a tip of the spindle;
a locking nut coupled to the mount flange, the locking nut having a second blade contact surface that contacts a locking nut contact surface of the base opposite the mount flange contact surface;
The first blade contact surface and the second blade contact surface are configured such that the coefficient of friction between the fixing nut contact surface and the second blade contact surface is smaller than the coefficient of friction between the mount flange contact surface and the first blade contact surface.

The mounter of claim 4, wherein the surface roughness of the second blade contact surface is less than the surface roughness of the first blade contact surface.

The mounter according to claim 4 or 5, wherein the maximum height Ry of the second blade contact surface is less than 1.5 μm.

A blade unit,
A cutting blade;
a mount for holding the cutting blade;
The cutting blade is
A disk-shaped base and
An annular cutting blade is provided on the outer periphery of the base,
The mounter is
a mount flange having a first blade contact surface and attached to a tip of the spindle;
a locking nut coupled to the mounting flange, the locking nut having a second blade contact surface;
The base is:
a mount flange contact surface provided on one surface of the base and in contact with the first blade contact surface of the mount flange;
a locking nut contact surface opposite the mount flange contact surface and adapted to contact the second blade contact surface of the locking nut;
A blade unit, wherein a coefficient of friction between the fixing nut contact surface and the second blade contact surface is less than a coefficient of friction between the mounting flange contact surface and the first blade contact surface.

The blade unit according to claim 7, wherein the surface roughness of the fixing nut contact surface is less than the surface roughness of the mounting flange contact surface, or the surface roughness of the second blade contact surface is less than the surface roughness of the first blade contact surface.

The blade unit according to claim 7 or 8, wherein the maximum height Ry of the fixing nut contact surface or the maximum height Ry of the second blade contact surface is less than 1.5 μm.