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JP2016206661A - 感光性樹脂組成物、画素層、保護膜、スペーサー、薄膜トランジスタ、カラーフィルター、および液晶表示装置 - Google Patents

感光性樹脂組成物、画素層、保護膜、スペーサー、薄膜トランジスタ、カラーフィルター、および液晶表示装置 Download PDF

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JP2016206661A JP2016079555A JP2016079555A JP2016206661A JP 2016206661 A JP2016206661 A JP 2016206661A JP 2016079555 A JP2016079555 A JP 2016079555A JP 2016079555 A JP2016079555 A JP 2016079555A JP 2016206661 A JP2016206661 A JP 2016206661A
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承昌 許
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Bar-Yuan Hsieh
栢源 謝
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Abstract

【目的】画素層、保護膜、スペーサー、薄膜トランジスタ、カラーフィルター、および液晶表示装置に応用でき、優れた現像特性および高精度パターン直線性を提供することのできる感光性樹脂組成物を提供する。
【解決手段】感光性樹脂組成物は、アルカリ可溶性樹脂（Ａ）、エチレン性不飽和基含有化合物（Ｂ）、光開始剤（Ｃ）、有機溶媒（Ｄ）、および式（１）で表される化合物（Ｅ）を含む。

式（１）

Description

本発明は、感光性樹脂組成物およびその応用に関するものであり、特に、優れた現像特性および高精度パターン直線性を提供することのできる感光性樹脂組成物およびその応用に関するものである。
軽量、小型、低電力消費等の特性により、液晶表示装置は、パソコン、携帯情報端末装置（personal digital assistant, PDA）、デジタルカメラ、デスクトップコンピュータ用モニター等の様々な用途に応用することができる。しかしながら、このような液晶表示装置は、広い色再現範囲を有するカラーフィルターが必要である。
カラーフィルターは、ブラックマトリックス（black matrix, BM）が形成されたガラスまたはプラスチックシート等の支持体の表面に、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）の３色の異なる色調を縞状またはモザイク状に形成することによって得られる。
今日まで、様々なカラーフィルターの製造方法が提案されているが、中でも、ネガ型感光性着色組成物がカラーフィルターの製造方法として最も一般的に使用されている。ネガ型感光性着色組成物は、例えば、顔料、アクリル樹脂、光開始剤、または反応性高分子を含む。ネガ型感光性着色組成物の硬化は、例えば、紫外線照射で光開始剤を分解または活性化して、フリーラジカルを生成することを含む。そして、フリーラジカルがエチレン性不飽和化合物を活性化し、フリーラジカル重合反応においてエチレン性不飽和化合物を反応させる。ネガ型感光性着色組成物を使用してカラーフィルターを形成する時は、通常、基板上にネガ型感光性着色組成物をコーティングしてから、フォトマスクを介して紫外線照射を行った後に現像を行い、パターンを得る。この方法によって形成されたパターンをベーキングし、基板上にパターンを固着させる。このようにして、画素パターンを形成する。必要な色に応じてこのサイクルを繰り返し、着色塗膜のパターンを得る。しかしながら、このサイクルを繰り返すと、ＢＭおよびＲＧＢ画素の端部に大きな段差が生じるため、この段差によって、不均一な色表示が発生する。この段差を抑制するため、透明樹脂層（保護膜）を使用して、カラーフィルターの平坦化処理を行う。
保護膜は、ＲＧＢ着色層を保護する能力、液晶を充填する際の熱耐久性、耐圧力の硬度等の特徴が必要である。期待される硬度を達成するために、架橋密度（cross linking density）の高い感光性硬化性樹脂組成物が開発された（日本特開平５‐７８４８３（特許文献１））。しかしながら、感光性硬化性樹脂組成物は、硬化中に収縮するため、残留応力が生じる。その結果、高精度パターン直線性が悪いという欠陥が生じやすい。
そのため、いかにして現像特性と高精度パターン直線性を同時に改善し、現在の業界の要求を満たすかが、本発明の技術分野における研究目標となっている。
日本特開平５‐７８４８３
以上のように、本発明は、保護膜、スペーサー、画素層、カラーフィルター、薄膜トランジスタ、および液晶表示装置に応用することができ、優れた現像特性および高精度パターン直線性を提供することのできる感光性樹脂組成物を提供する。
本発明は、アルカリ可溶性樹脂（Ａ）、エチレン性不飽和基含有化合物（Ｂ）、光開始剤（Ｃ）、有機溶媒（Ｄ）、および式（１）で表される化合物（Ｅ）を含む感光性樹脂組成物を提供する。
式（１）
式（１）において、Ｒ’は、それぞれ独立して、水素原子、炭素数１〜２０の置換または非置換の炭化水素基またはアシル基を示し、Ｒ”は、それぞれ独立して、水素原子、炭素数１〜１５の置換または非置換の炭化水素基、アシル基、またはニトロ基を示し、ｍは、０、１または２の整数を示し、Ｘは、式（２）で表される構造を有する基である。
式（２）
式（２）において、Ｒは、水素原子、または炭素数１〜４のアルキル基を示す。
本発明の１つの実施形態において、アルカリ可溶性樹脂（Ａ）は、少なくとも２つのエポキシ基を有するエポキシ化合物（ａ１）と少なくとも１つのカルボン酸基および少なくとも１つのエチレン性不飽和基を有する化合物（ａ２）との反応生成物をモノマーとして含む重合体である不飽和基を有する第１アルカリ可溶性樹脂（Ａ−１）を含有する。
本発明の１つの実施形態において、少なくとも２つのエポキシ基を有するエポキシ化合物（ａ１）は、式（３）で表される化合物および式（４）で表される化合物からなる群より選択される。
式（３）
式（３）において、Ｒ1、Ｒ2、Ｒ3、およびＲ4は、それぞれ独立して、水素原子、ハロゲン、または炭素数１〜５のアルキル基を示す。

式（４）
式（４）において、Ｒ5〜Ｒ18は、それぞれ独立して、水素原子、ハロゲン、炭素数１〜８のアルキル基、または炭素数６〜１５のアリール基を示し、ｎは、０〜１０の整数を示す。
本発明の１つの実施形態において、アルカリ可溶性樹脂（Ａ）の合計使用量１００重量部に対し、不飽和基を有する第１アルカリ可溶性樹脂（Ａ−１）の合計使用量は、１０重量部〜８０重量部である。
本発明の１つの実施形態において、エチレン性不飽和基含有化合物（Ｂ）は、式（５）で表される化合物および式（６）で表される化合物からなる群より選択される。
式（５）

式（６）
式（５）および式（６）において、Ｅは、それぞれ独立して、−（（ＣＨ2）zＣＨ2Ｏ）−または−（（ＣＨ2）zＣＨ（ＣＨ3）Ｏ）−を示し、ｚは、それぞれ独立して、１〜１０の整数を示し、Ｙ1およびＹ2は、それぞれ独立して、アクリル基、メタクリル基、水素原子、またはカルボキシル基を示し；式（５）において、Ｙ1で表わされるアクリル基とメタクリル基の合計は、３または４であり、ｐは、それぞれ独立して、０〜１０の整数を示し、各ｐの合計は、１〜４０の整数であり；式（６）において、Ｙ2で表わされるアクリル基とメタクリル基の合計は、５または６であり、ｑは、それぞれ独立して、０〜１０の整数を示し、各ｑの合計は、１〜６０の整数である。
本発明の１つの実施形態において、アルカリ可溶性樹脂（Ａ）の合計使用量１００重量部に対し、式（５）で表される化合物および式（６）で表される化合物からなる群より選択された少なくとも１つの化合物（Ｂ−１）の使用量は、１０重量部〜１００重量部である。
本発明の１つの実施形態において、アルカリ可溶性樹脂（Ａ）の合計使用量１００重量部に対し、エチレン性不飽和基含有化合物（Ｂ）の使用量は、６０重量部〜６００重量部であり；光開始剤（Ｃ）の使用量は、２０重量部〜２００重量部であり；有機溶媒（Ｄ）の使用量は、５００重量部〜５０００重量部であり；式（１）で表される化合物（Ｅ）の使用量は、３重量部〜３０重量部である。
本発明の１つの実施形態において、顔料（Ｆ）をさらに含む。
本発明の１つの実施形態において、アルカリ可溶性樹脂（Ａ）の合計使用量１００重量部に対し、顔料（Ｆ）の使用量は、４０重量部〜４００重量部である。
本発明の１つの実施形態において、染料（Ｇ）をさらに含む。
本発明の１つの実施形態において、アルカリ可溶性樹脂（Ａ）の合計使用量１００重量部に対し、染料（Ｇ）の使用量は、３重量部〜３０重量部である。
本発明は、上述した感光性樹脂組成物により形成された保護膜を提供する。
本発明は、上述した感光性樹脂組成物により形成されたスペーサーを提供する。
本発明は、上述した感光性樹脂組成物により形成された画素層を提供する。
本発明は、上述した保護膜を含有する薄膜トランジスタを提供する。
本発明は、上述した保護膜を含有するカラーフィルターを提供する。
本発明は、上述したスペーサーを含有するカラーフィルターを提供する。
本発明は、上述した画素層を含有するカラーフィルターを提供する。
本発明は、上述した薄膜トランジスタを含有する液晶表示装置を提供する。
本発明は、上述したカラーフィルターを含有する液晶表示装置を提供する。
以上のように、本発明の感光性樹脂組成物は、特定の化合物（Ｅ）を含有するため、優れた現像特性および高精度パターン直線性を提供することができ、保護膜、スペーサー、画素層、カラーフィルター、薄膜トランジスタ、および液晶表示装置に適している。
本発明の上記および他の目的、特徴、および利点をより分かり易くするため、幾つかの実施形態を以下に説明する。
＜感光性樹脂組成物＞
本発明は、アルカリ可溶性樹脂（Ａ）、エチレン性不飽和基含有化合物（Ｂ）、光開始剤（Ｃ）、有機溶媒（Ｄ）、および化合物（Ｅ）を含む感光性樹脂組成物を提供する。さらに、必要であれば、感光性樹脂組成物は、さらに、少なくとも１つの顔料（Ｆ）、染料（Ｇ）、および添加剤（Ｈ）を含んでもよい。以下、本発明の感光性樹脂組成物に使用した各成分について、詳しく説明する。
ここで、説明すべきこととして、以下、（メタ）アクリル酸は、アクリル酸および／またはメタクリル酸を示し、（メタ）アクリレートは、アクリレートおよび／またはメタクリレートを示す。同様にして、（メタ）アクリロイル基は、アクリロイル基および／またはメタクリロイル基を示す。

アルカリ可溶性樹脂（Ａ）
アルカリ可溶性樹脂（Ａ）は、不飽和基を有する第１アルカリ可溶性樹脂（Ａ−１）を含む。また、アルカリ可溶性樹脂（Ａ）は、第２アルカリ可溶性樹脂（Ａ−２）をさらに含んでもよい。

不飽和基を有する第１アルカリ可溶性樹脂（Ａ−１）
不飽和基を有する第１アルカリ可溶性樹脂（Ａ−１）は、少なくとも２つのエポキシ基を有するエポキシ化合物（ａ１）と少なくとも１つのカルボン酸基および少なくとも１つのエチレン性不飽和基を有する化合物（ａ２）との反応生成物をモノマーとして含む重合体である。また、第１アルカリ可溶性樹脂（Ａ−１）のモノマーにおいて、さらに化合物（ａ３）、エポキシ基を含有する化合物（ａ４）、または二者の組み合わせを選択的に含んでもよい。

少なくとも２つのエポキシ基を有するエポキシ化合物（ａ１）
少なくとも２つのエポキシ基を有するエポキシ化合物（ａ１）は、式（３）で表される化合物および式（４）で表される化合物からなる群より選択される。
具体的に説明すると、式（３）で表される化合物は、以下の通りである。
式（３）
式（３）において、Ｒ1、Ｒ2、Ｒ3、およびＲ4は、それぞれ独立して、水素原子、ハロゲン、または炭素数１〜５のアルキル基を示す。
式（３）で表される化合物は、ビスフェノールフルオレン（bisphenol fluorene）系化合物とエピハロヒドリン（epihalohydrin）を反応させることによって得られる。
詳しく説明すると、ビスフェノールフルオレン系化合物の具体例は、９，９‐ビス（４‐ヒドロキシフェニル）フルオレン（9,9-bis(4-hydroxyphenyl)fluorene）、９，９‐ビス（４‐ヒドロキシ‐３‐メチルフェニル）フルオレン（9,9-bis(4-hydroxy-3-methylphenyl)fluorene）、９，９‐ビス（４‐ヒドロキシ‐３‐クロロフェニル）フルオレン（9,9-bis(4-hydroxy-3-chlorophenyl)fluorene）、９，９‐ビス（４‐ヒドロキシ‐３‐ブロモフェニル）フルオレン（9,9-bis(4-hydroxy-3-bromophenyl)fluorene）、９，９‐ビス（４‐ヒドロキシ‐３‐フルオロフェニル）フルオレン（9,9-bis(4-hydroxy-3-fluorophenyl)fluorene）、９，９‐ビス（４‐ヒドロキシ‐３‐メトキシフェニル）フルオレン（9,9-bis(4-hydroxy-3-methoxyphenyl)fluorene）、９，９‐ビス（４‐ヒドロキシ‐３，５‐ジメチルフェニル）フルオレン（9,9-bis(4-hydroxy-3,5-dimethylphenyl)fluorene）、９，９‐ビス（４‐ヒドロキシ‐３，５‐ジクロロフェニル）フルオレン（9,9-bis(4-hydroxy-3,5-dichlorophenyl)fluorene）、９，９‐ビス（４‐ヒドロキシ‐３，５‐ジブロモフェニル）フルオレン（9,9-bis(4-hydroxy-3,5-dibromophenyl)fluorene）、その類似化合物、またはこれらの化合物の組み合わせが挙げられる。
エピハロヒドリンの具体例は、エピクロロヒドリン（epichlorohydrin）、エピブロモヒドリン（epibromohydrin）、またはこれらの化合物の組み合わせが挙げられる。
２つのエポキシ基を有するビスフェノールフルオレン系化合物の具体例は、（１）ＥＳＦ‐３００等の新日鉄化学株式会社製の商品、またはその類似化合物；（２）ＰＧ‐１００およびＥＧ‐２１０等の大阪ガス株式会社製の商品、またはその類似化合物；および（３）ＳＭＳ‐Ｆ９ＰｈＰＧ、ＳＭＳ‐Ｆ９ＣｒＧ、およびＳＭＳ‐Ｆ９１４ＰＧ等のＳ．Ｍ．Ｓ．テクノロジー社製の商品、またはその類似化合物が挙げられる。
さらに具体的に説明すると、式（４）で表される化合物は、以下の通りである

式（４）
式（４）において、Ｒ5〜Ｒ18は、それぞれ独立して、水素原子、ハロゲン、炭素数１〜８のアルキル基、または炭素数６〜１５のアリール基を示し、ｎは、０〜１０の整数を示す。
式（４）で表される化合物は、アルカリ金属水酸化物の存在下で、式（４−１）で表される化合物とエピハロヒドリンを反応させることにより得られる。
式（４−１）
式（４−１）において、各Ｒ5〜Ｒ18およびｎの定義は、式（４）の各Ｒ5〜Ｒ18およびｎの定義と同じであるため、ここでは繰り返し説明しない。
式（４−１）で表される化合物の合成方法は、以下の通りである：まず、酸触媒の存在下で、式（４−２）で表される化合物とフェノール（phenol）を縮合反応させて、式（４−１）で表される化合物を形成する。そして、過量のエピハロヒドリンを添加して、エピハロヒドリンと式（４−１）で表される化合物を脱ハロゲン化水素（dehydrohalogenation）反応させ、式（４）で表される化合物を得る。
式（４−２）
式（４‐２）において、各Ｒ7〜Ｒ10の定義は、式（４）の各Ｒ7〜Ｒ10の定義と同じであるため、ここでは繰り返し説明しない。Ｘ1およびＸ2は、それぞれ独立して、ハロゲン原子、炭素数１〜６のアルキル基、または炭素数１〜６のアルコキシ基を示す。ハロゲン原子は、塩素または臭素であってもよい。アルキル基は、好ましくは、メチル基、エチル基、またはｔ−ブチル基である。アルコキシ基は、好ましくは、メトキシ基またはエトキシ基である。
フェノールの具体例は、フェノール（phenol）、クレゾール（cresol）、エチルフェノール（ethylphenol）、ｎ‐プロピルフェノール（n-propylphenol）、イソブチルフェノール（isobutylphenol）、ｔ‐ブチルフェノール（t-butylphenol）、オクチルフェノール（octylphenol）、ノニルフェノール（nonylphenol）、キシレノール（xylenol）、メチルブチルフェノール（methylbutylphenol）、ジ‐ｔ‐ブチルフェノール（di-t-butylphenol）、ビニルフェノール（vinylphenol）、プロペニルフェノール（propenylphenol）、エチニルフェノール（ethinylphenol）、シクロペンチルフェノール（cyclopentylphenol）、シクロヘキシルフェノール（cyclohexylphenol）、シクロヘキシルクレゾール（cyclohexylcresol）、またはその類似化合物が挙げられる。フェノールは、単独で使用しても、複数を組み合わせて使用してもよい。
式（４‐２）で表される化合物の使用量１モルに対し、フェノールの使用量は、０．５モル〜２０モルであり、好ましくは、２モル〜１５モルである。
酸触媒の具体例は、塩酸（hydrochloric acid）、硫酸（sulfuric acid）、ｐ‐トルエンスルホン酸（p-toluenesulfonic acid）、シュウ酸（oxalic acid）、三フッ化ホウ素（boron trifluoride）、無水塩化アルミニウム（aluminium chloride anhydrous）、塩化亜鉛（zinc chloride）、またはその類似化合物が挙げられる。酸触媒は、好ましくは、ｐ‐トルエンスルホン酸、硫酸、塩酸、またはこれらの化合物の組み合わせである。酸触媒は、単独で使用しても、複数を組み合わせて使用してもよい。
さらに、酸触媒の使用量は、特に限定されないが、式（４‐２）で表される化合物の使用量１００ｗｔ％に対し、酸触媒の使用量は、好ましくは、０．１ｗｔ％〜３０ｗｔ％である。
縮合反応は、無溶媒下で行っても、有機溶媒の存在下で行ってもよい。有機溶媒の具体例は、トルエン（toluene）、キシレン（xylene）、メチルイソブチルケトン（methyl isobutyl ketone）、またはその類似化合物が挙げられる。さらに、有機溶媒は、単独で使用しても、複数を組み合わせて使用してもよい。
式（４‐２）で表される化合物とフェノールの合計重量１００ｗｔ％に対し、有機溶媒の使用量は、５０ｗｔ％〜３００ｗｔ％であり、好ましくは、１００ｗｔ％〜２５０ｗｔ％である。また、縮合反応の操作温度は、４０℃〜１８０℃であり、縮合反応の操作時間は、１時間〜８時間である。
縮合反応が完了した後、中和処理または水洗処理を行うことができる。中和処理において、反応溶液のｐＨは、ｐＨ３〜ｐＨ７に調整され、好ましくは、ｐＨ５〜ｐＨ７に調整される。水洗処理は、中和剤を用いて行うことができる。中和剤は、アルカリ性物質であり、その具体例は、水酸化ナトリウム（sodium hydroxide）および水酸化カリウム（potassium hydroxide）、またはその類似化合物等のアルカリ金属水酸化物；水酸化カルシウム（calcium hydroxide）、水酸化マグネシウム（magnesium hydroxide）、またはその類似化合物等のアルカリ土類金属水酸化物；ジエチレントリアミン（diethylene triamine）、トリエチレンテトラミン（triethylenetetramine）、アニリン（aniline）、フェニレンジアミン（phenylene diamine）、またはその類似化合物等の有機アミン；アンモニア（ammonia）、リン酸二水素ナトリウム（sodium dihydrogen phosphate）、またはこれらの化合物の組み合わせが挙げられる。中和剤は、単独で使用しても、複数を組み合わせて使用してもよい。水洗処理は、周知の方法で行うことができ、例えば、反応溶液に中和剤を含んだ水溶液を添加してから、繰り返し抽出する方法がある。中和処理または水洗処理の後、減圧下で加熱処理を行い、未反応のフェノールと溶媒を蒸留してから、濃縮を行い、式（４‐１）で表される化合物を得る。
エピハロヒドリンの具体例は、エピクロロヒドリン、エピブロモヒドリン、またはこれらの化合物の組み合わせが挙げられる。脱ハロゲン化水素反応を行う前、水酸化ナトリウムや水酸化カリウム等のアルカリ金属水酸化物を反応溶液に予備添加または添加してもよい。脱ハロゲン化水素反応の操作温度は、２０℃〜１２０℃であり、その操作時間は、１時間〜１０時間である。
１つの実施形態において、脱ハロゲン化水素反応において添加するアルカリ金属水酸化物は、その水溶液であってもよい。本実施形態において、アルカリ金属水酸化物の水溶液を脱ハロゲン化水素反応システムに連続的に添加する時、水とエピハロヒドリンを減圧または大気圧下で同時に連続的に蒸留して水を分離および除去し、エピハロヒドリンを反応システムに連続的に回流させることができる。
脱ハロゲン化水素反応を行う前に、テトラメチルアンモニウムクロリド、テトラメチルアンモニウムブロミド、トリメチルベンジルアンモニウムクロリド、またはその類似化合物等の第四級アンモニウム塩を触媒として添加し、混合物を５０℃〜１５０℃で１時間〜５時間反応させた後、アルカリ金属水酸化物またはその水溶液を添加する。そして、混合物を２０℃〜１２０℃の温度で１時間〜１０時間反応させて、脱ハロゲン化水素反応を行う。
式（４‐１）で表される化合物中の水酸基の合計当量１当量に対し、エピハロヒドリンの使用量は、１当量〜２０当量であり、好ましくは、２当量〜１０当量である。式（４‐１）で表される化合物中の水酸基の合計当量１当量に対し、脱ハロゲン化水素反応において添加するアルカリ金属水酸化物の使用量は、０．８当量〜１５当量であり、好ましくは、０．９当量〜１１当量である。
さらに、脱ハロゲン化水素反応を容易に行うため、メタノール、エタノール、またはその類似化合物等のアルコールを添加してもよい。また、ジメチルスルホン（dimethyl sulfone）、ジメチルスルホキシド（dimethyl sulfoxide）、またはその類似化合物等の非プロトン性極性溶媒（aprotic polar solvent）を添加して反応を行ってもよい。アルコールを使用する時、エピハロヒドリンの合計量１００ｗｔ％に対し、アルコールの使用量は、２ｗｔ％〜２０ｗｔ％であり、好ましくは、４ｗｔ％〜１５ｗｔ％である。非プロトン性極性溶媒を使用する時、エピハロヒドリンの合計量１００ｗｔ％に対し、非プロトン性極性溶媒の使用量は、５ｗｔ％〜１００ｗｔ％であり、好ましくは、１０ｗｔ％〜９０ｗｔ％である。
脱ハロゲン化水素反応が完了した後、水洗処理を選択的に行ってもよい。その後、減圧蒸留の方法を使用して、例えば、１１０℃〜２５０℃の温度および１．３ｋＰａ（１０ｍｍＨｇ）以下の圧力で、エピハロヒドリン、フェノール、および非プロトン性極性溶媒等を除去する。
形成されるエポキシ樹脂が加水分解性ハロゲンを含まないよう、脱ハロゲン化水素反応後の溶液をトルエンまたはメチルイソブチルケトン等の溶媒、および水酸化ナトリウムまたは水酸化カリウム等のアルカリ金属水酸化物の水溶液に添加してもよく、その後、再度脱ハロゲン化水素反応を行う。脱ハロゲン化水素反応において、式（４‐１）で表される化合物中の水酸基の合計当量１当量に対し、アルカリ金属水酸化物の使用量は、０．０１モル〜０．３モルであり、好ましくは、０．０５モル〜０．２モルである。さらに、脱ハロゲン化水素反応の操作温度は、５０℃〜１２０℃であり、その操作時間の範囲は、３０分〜２時間である。
脱ハロゲン化水素反応が完了した後、濾過や水洗等の工程により、塩を除去する。また、減圧蒸留の方法を使用して、トルエンおよびメチルイソブチルケトン等の溶媒を除去し、式（４）で表される化合物を得る。式（４）で表される化合物の具体例は、ＮＣ‐３０００、ＮＣ‐３０００Ｈ、ＮＣ‐３０００Ｓ、およびＮＣ‐３０００Ｐ等の日本化薬株式会社製の商品が挙げられる。

少なくとも１つのカルボン酸基および少なくとも１つのエチレン性不飽和基を有する化合物（ａ２）
少なくとも１つのカルボン酸基および少なくとも１つのエチレン性不飽和基を有する化合物（ａ２）は、以下の（１）〜（３）からなる群より選択される：（１）アクリル酸、メタクリル酸、２‐メタクリロイルオキシエチルブタン二酸（2-methacryloyloxyethylbutanedioic acid）、２‐メタクリロイルオキシブチルブタン二酸、２‐メタクリロイルオキシエチルヘキサン二酸、２‐メタクリロイルオキシブチルヘキサン二酸、２‐メタクリロイルオキシエチルヘキサヒドロフタル酸、２‐メタクリロイルオキシエチルマレイン酸、２‐メタクリロイルオキシプロピルマレイン酸、２‐メタクリロイルオキシブチルマレイン酸、２‐メタクリロイルオキシプロピルブタン二酸、２‐メタクリロイルオキシプロピルヘキサン二酸、２‐メタクリロイルオキシプロピルテトラヒドロフタル酸、２‐メタクリロイルオキシプロピルフタル酸、２‐メタクリロイルオキシブチルフタル酸、または２‐メタクリロイルオキシブチルヒドロフタル酸；（２）水酸基含有（メタ）アクリル酸と、アジピン酸、コハク酸、マレイン酸、またはフタル酸を含むジカルボン酸化合物を反応させて得られた化合物；および（３）（２‐ヒドロキシエチル）アクリレート（(2-hydroxyethyl) acrylate）、（２‐ヒドロキシエチル）メタクリレート（(2-hydroxyethyl) methacrylate）、（２‐ヒドロキシプロピル）アクリレート（(2-hydroxypropyl) acrylate）、（２‐ヒドロキシプロピル）メタクリレート（(2-hydroxypropyl) methacrylate）、（４‐ヒドロキシブチル）アクリレート（(4-hydroxybutyl) acrylate）、（４‐ヒドロキシブチル）メタクリレート（(4-hydroxybutyl) methacrylate）、またはペンタエリスリトールトリメタクリレートを含む水酸基含有（メタ）アクリレートと上述したカルボン酸無水物化合物（ａ３）を反応させて得られた半エステル化合物。さらに、ここでのカルボン酸無水物化合物は、上述した第１アルカリ可溶性樹脂（Ａ‐１）の重合反応において含まれるカルボン酸無水物化合物（ａ３）と同じであってもよいため、ここでは繰り返し説明しない。

カルボン酸無水物化合物（ａ３）
カルボン酸無水物化合物（ａ３）は、以下の（１）〜（２）からなる群より選択される：（１）ブタン二酸無水物（butanedioic anhydride）、マイレン酸無水物（maleic anhydride）、イタコン酸無水物（itaconic anhydride）、フタル酸無水物（phthalic anhydride）、テトラヒドロフタル酸無水物（tetrahydrophthalic anhydride）、ヘキサヒドロフタル酸無水物（hexahydrophthalic anhydride）、メチルテトラヒド口フタル酸無水物（methyl tetrahydrophthalic anhydride）、メチルヘキサヒドロフタル酸無水物（methyl hexahydrophthalic anhydride）、メチルエンドメチレンテトラヒドロフタル酸無水物（methyl endo-methylene tetrahydro phthalic anhydride）、クロレンド酸無水物（chlorendic anhydride）、グルタル酸無水物（glutaric anhydride）、または１，２，４−ベンゼントリカルボンサン無水物（1,2,4-benzene tricarboxylic anhydride）等のジカルボン酸無水物化合物；および（２）ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物（benzophenone tetracarboxylic dianhydride, BTDA）、ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、またはビフェニルエーテルテトラカルボン酸二無水物等のテトラカルボン酸無水物化合物。

エポキシ基含有化合物（ａ４）
エポキシ基含有化合物（ａ４）は、グリシジルメタクリレート、３，４‐エポキシシクロヘキシルメタクリレート、不飽和基含有グリシジルエーテル化合物、エポキシ基含有不飽和化合物、またはこれらの化合物の組み合わせより選択される。不飽和基含有グリシジルエーテル化合物は、デナコール（Denacol）ＥＸ‐１１１、デナコールＥＸ‐１２１、デナコールＥＸ‐１４１、デナコールＥＸ‐１４５、デナコールＥＸ‐１４６、デナコールＥＸ‐１７１、またはデナコールＥＸ‐１９２等のナガセ化成工業株式会社製の商品を含む。
第１アルカリ可溶性樹脂（Ａ‐１）は、少なくとも２つのエポキシ基を有するエポキシ化合物（ａ１）と、少なくとも１つのカルボン酸基および少なくとも１つのエチレン性不飽和基を有する化合物（ａ２）を重合反応させることによって形成された水酸基を含有する反応物であってもよい。特に、少なくとも２つのエポキシ基を有するエポキシ化合物（ａ１）は、式（３）で表される化合物である。そして、反応液にカルボン酸無水物化合物（ａ３）を添加して、重合反応を行う。水酸基を含有する反応物の水酸基の合計総当量１当量に対し、カルボン酸無水物化合物（ａ３）中に含まれる酸無水物基の当量は、好ましくは、０．４当量〜１当量であり、より好ましくは、０．７５当量〜１当量である。複数のカルボン酸無水物化合物（ａ３）を使用する時は、それらのカルボン酸無水物化合物を順番に、または同時に、反応に添加することができる。ジカルボン酸無水物化合物およびテトラカルボン酸無水物化合物をカルボン酸無水物化合物（ａ３）として使用する時、ジカルボン酸無水物化合物とテトラカルボン酸無水物化合物のモル比は、好ましくは、１／９９〜９０／１０であり、より好ましくは、５／９５〜８０／２０である。さらに、反応の操作温度は、５０℃〜１３０℃であってもよい。
第１アルカリ可溶性樹脂（Ａ‐１）は、少なくとも２つのエポキシ基を有するエポキシ化合物（ａ１）と、少なくとも１つのカルボン酸基および少なくとも１つのエチレン性不飽和基を有する化合物（ａ２）を反応させることによって形成された水酸基を含有する反応物であってもよい。特に、少なくとも２つのエポキシ基を有するエポキシ化合物（ａ１）は、式（４）で表される化合物である。そして、カルボン酸無水物化合物（ａ３）、エポキシ基含有化合物（ａ４）、またはこれらの組み合わせを反応液に添加して、重合反応を行う。式（４）で表される化合物中のエポキシ基の合計当量１当量に対し、少なくとも１つの水酸基および少なくとも１つのエチレン性不飽和基を有する化合物（ａ２）の酸価当量は、好ましくは、０．８当量〜１．５当量であり、より好ましくは、０．９当量〜１．１当量である。水酸基を含有する反応物の水酸基の合計使用量１００モル％に対し、カルボン酸無水物化合物（ａ３）の使用量は、１０モル％〜１００モル％であり、好ましくは、２０モル％〜１００モル％であり、より好ましくは、３０モル％〜１００モル％である。
第１アルカリ可溶性樹脂（Ａ‐１）を製造する時は、反応時間を短縮するため、通常、反応液に反応触媒としてアルカリ化合物を添加する。反応触媒は、トリフェニルホスフィン（triphenylphosphine）、トリフェニルスチビン（triphenylstibine）、トリエチルアミン（triethylamine）、トリエタノールアミン（triethanolamine）、テトラメチルアンモニウムクロリド（tetramethyl ammonium chloride）、またはベンジルトリエチルアンモニウムクロリド（benzyltriethylammonium chloride）を含む。反応触媒は、単独で使用しても、複数を組み合わせて使用してもよい。
２つのエポキシ基を有するエポキシ化合物（ａ１）と少なくとも１つの水酸基および少なくとも１つのエチレン性不飽和基を有する化合物（ａ２）の合計使用量１００重量部に対し、反応触媒の使用量は、好ましくは、０．０１重量部〜１０重量部であり、より好ましくは、０．３重量部〜５重量部である。
さらに、重合度を制御するため、通常、反応液に重合抑制剤（polymerization inhibitor）を添加してもよい。重合抑制剤は、例えば、メトキシフェノール（methoxyphenol）、メチルヒドロキノン（methylhydroquinone）、ヒドロキノン（hydroquinone）、２，６‐ジ‐ｔ‐ブチル‐ｐ‐クレゾール（2,6-di-t-butyl-p-cresol）、またはフェノチアジン（phenothiazine）を含む。重合抑制剤は、単独で使用しても、複数を組み合わせて使用してもよい。
２つのエポキシ基を有するエポキシ化合物（ａ１）と少なくとも１つの水酸基および少なくとも１つのエチレン性不飽和基を有する化合物（ａ２）の合計使用量１００重量部に対し、重合抑制剤の使用量は、好ましくは、０．０１重量部〜１０重量部であり、より好ましくは、０．１重量部〜５重量部である。
第１アルカリ可溶性樹脂（Ａ‐１）を製造する時は、重合溶媒を選択的に使用することができる。重合溶媒は、エタノール、プロパノール、イソプロパノール、ブタノール、イソブタノール、２‐ブタノール、ヘキサノール、またはエチレングリコール等のアルコール溶媒；メチルエチルケトンまたはシクロヘキサノン等のケトン溶媒；トルエンまたはキシレン等の芳香族炭化水素溶媒；セロソルブ（cellosolve）またはブチルセロソルブ（butyl cellosolve）等のセロソルブ溶媒；カルビトール（carbitol）またはブチルカルビトール（butyl carbitol）等のカルビトール溶媒；プロピレングリコールモノメチルエーテル（propylene glycol monomethyl ether）等のプロピレングリコールアルキルエーテル（propylene glycol alkyl ether）溶媒；ジ（プロピレングリコール）メチルエーテル（di(propylene glycol) methyl ether）等のポリプロピレングリコールアルキルエーテル溶媒；エチルアセテート、ブチルアセテート、エチレングリコールモノエチルエーテルアセテート（ethylene glycol monoethyl ether acetate）、またはプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート（propylene glycol monomethyl ether acetate）等のアセテート溶媒；乳酸エチル（ethyl lactate）または乳酸ブチル（butyl lactate）等の乳酸アルキル溶媒；またはジアルキルグリコールエーテルを含む。重合溶媒は、単独で使用しても、複数を組み合わせて使用してもよい。さらに、第１アルカリ可溶性樹脂（Ａ‐１）の酸価は、好ましくは、５０ｍｇＫＯＨ／ｇ〜２００ｍｇＫＯＨ／ｇであり、より好ましくは、６０ｍｇＫＯＨ／ｇ〜１５０ｍｇＫＯＨ／ｇである。
アルカリ可溶性樹脂（Ａ）の合計使用量１００重量部に対し、第１アルカリ可溶性樹脂（Ａ‐１）の使用量は、１０重量部〜８０重量部であってもよく、好ましくは、１５重量部〜７０重量部であり、より好ましくは、２０重量部〜５０重量部である。アルカリ可溶性樹脂（Ａ）が第１アルカリ可溶性樹脂（Ａ‐１）を含む時、得られる感光性樹脂組成物は、高精度パターン直線性が比較的良好である。
さらに、ゲル浸透クロマトグラフィー（gel permeation chromatography, GPC）により測定した第１アルカリ可溶性樹脂（Ａ‐１）の重量平均分子量（Ｍｎ）は、ポリスチレン分子量換算で、好ましくは、８００〜８，０００の範囲であり、より好ましくは、１，０００〜６，０００の範囲である。

第２アルカリ可溶性樹脂（Ａ‐２）
好ましくは、本発明のアルカリ可溶性樹脂（Ａ）は、さらに、第２アルカリ可溶性樹脂（Ａ−２）を含み、第２アルカリ可溶性樹脂（Ａ−２）は、１つまたはそれ以上のカルボン酸基を含有するエチレン性不飽和モノマーと他の共重合可能なエチレン性不飽和モノマーの共重合から得られる。共重合モノマーの１００重量部に対し、第２アルカリ可溶性樹脂（Ａ−２）は、５重量部〜５０重量部の１つまたはそれ以上のカルボン酸基を含有するエチレン性不飽和モノマーと５０重量部〜９５重量部の他の共重合可能なエチレン性不飽和モノマーの共重合から得られるのが好ましい。
１つまたはそれ以上のカルボン酸基を含有するエチレン性不飽和モノマーは、単独で使用しても、組み合わせて使用してもよく、カルボン酸基を含有するエチレン性不飽和モノマーは、アクリル酸、メタクリル酸（methacrylic acid, MAA）、ブテン酸、α−クロロアクリル酸、エチルアクリル酸、桂皮酸、２−アクリロイルエトキシコハク酸モノエステル、または２−メタクリロイルオキシエチルコハク酸モノエステル（2-methacryloyloxyethyl succinate monoester, HOMS）等の不飽和モノカルボン酸；マレイン酸、マレイン酸無水物、フマル酸、イタコン酸、イタコン酸無水物、シトラコン酸、シトラコン酸無水物等の不飽和ジカルボン酸（酸無水物）；少なくとも３つのカルボン酸基の不飽和ポリカルボン酸（無水物）を含有するが、本発明はこれに限定されない。好ましくは、カルボン酸基を含有するエチレン性不飽和モノマーは、アクリル酸、メタクリル酸、２−アクリロイルエトキシコハク酸モノエステル、または２−メタクリロイルオキシエチルコハク酸モノエステルから選択される。より好ましくは、カルボン酸基を含有するエチレン性不飽和モノマーは、２−アクリロイルエトキシコハク酸モノエステル、または２−メタクリロイルオキシエチルコハク酸モノエステルから選択され、それにより、顔料分散を増やし、現像速度を上げ、残留物の生成を減らすことができる。
他の共重合可能なエチレン性不飽和モノマーは、単独で使用しても、組み合わせて使用してもよく、他の共重合可能なエチレン性不飽和モノマーは、スチレン（styrene、SM）、α−メチルスチレン、ビニルトルエン、クロロスチレン、およびメトキシスチレン等の芳香族ビニル化合物；Ｎ−フェニルマレイミド（N-phenylmaleimide, PMI）、Ｎ−ｏ−ヒドロキシフェニルマレイミド、Ｎ−ｍ−ヒドロキシフェニルマレイミド、Ｎ−ｐ−ヒドロキシフェニルマレイミド、Ｎ−ｏ−メチルフェニルマレイミド、Ｎ−ｍ−メチルフェニルマレイミド、Ｎ−ｐ−メチルフェニルマレイミド、Ｎ−ｏ−メトキシフェニルマレイミド、Ｎ−ｍ−メチルフェニルマレイミド、Ｎ−ｐ−メチルフェニルマレイミド、およびＮ−シクロヘキシルマレイミド等のマレイミド；メチルアクリレート（methyl acrylate, MA）、メチルメタクリレート、エチルアクリレート、エチルメタクリレート、ｎ−プロピルアクリレート、ｎ−プロピルメタクリレート、イソ−プロピルアクリレート、イソ−プロピルメタクリレート、ｎ−ブチルアクリレート、ｎ−ブチルメタクリレート、イソ−ブチルアクリレート、イソ−ブチルメタクリレート、ｓｅｃ−ブチルアクリレート、ｓｅｃ−ブチルメタクリレート、ｔ−ブチルアクリレート、ｔ−ブチルメタクリレート、２−ヒドロキシエチルアクリレート、２−ヒドロキシエチルメタクリレート、２−ヒドロキシプロピルアクリレート、２−ヒドロキシプロピルメタクリレート、３−ヒドロキシプロピルアクリレート、３−ヒドロキシプロピルメタクリレート、２−ヒドロキシブチルアクリレート、２−ヒドロキシブチルメタクリレート、３−ヒドロキシブチルアクリレート、３−ヒドロキシブチルメタクリレート、４−ヒドロキシブチルアクリレート、４−ヒドロキシブチルメタクリレート、アリルアクリレート、アリルメタクリレート、ベンジルアクリレート、ベンジルメタクリレート（benzyl methacrylate, BzMA）、フェニルアクリレート、フェニルメタクリレート、メトキシトリエチレングリコールアクリレート、メトキシトリエチレングリコールメタクリレート、ラウリルメタクリレート、テトラデシルメタクリレート、セチルメタクリレート、オクタデシルメタクリレート、エイコシルメタクリレート、ドコシルメタクリレート、およびジシクロペンテニルオキシエチルアクリレート（dicyclopentenyloxyethyl acrylate, DCPOA）等の不飽和カルボン酸エステル；Ｎ，Ｎ−ジメチルアミノエチルアクリレート、Ｎ，Ｎ−ジメチルアミノエチルメタクリレート、Ｎ，Ｎ−ジメチルアミノプロピルアクリレート、Ｎ，Ｎ−ジメチルアミノプロピルメタクリレート、Ｎ，Ｎ−ジブチルアミノプロピルアクリレート、およびＮ，ｔ−ブチルアミノエチルメタクリレート；エポキシプロピルアクリレートおよびエポキシプロピルメタクリレート等の不飽和カルボン酸エポキシプロピルエステル；ビニルアセテート、ビニルプロピオネート、およびビニルブチレート等のカルボン酸ビニルエステル；メチルビニルエーテル、エチルビニルエーテル、アリルグリシジルエーテル、およびメタアリルグリシジルエーテル等の不飽和エーテル；アクリロニトリル、メタクリロニトリル、α−クロロアクリロニトリル、およびビニリデンシアニド等のビニルシアニド化合物；アクリルアミド、メタクリルアミド、α−クロロアクリルアミド、Ｎ−ヒドロキシエチルアクリルアミド、およびＮ−ヒドロキシエチルメタクリルアミド等の不飽和アミド；１，３−ブタジエン、イソアミレン、および塩素化ブタジエン等の脂肪族共役ジエンを含むが、本発明はこれに限定されない。
好ましくは、他の共重合可能なエチレン性不飽和モノマーは、スチレン、Ｎ−フェニルマレイミド、メチルアクリレート、メチルメタクリレート、２−ヒドロキシエチルアクリレート、２−ヒドロキシエチルメタクリレート、ベンジルアクリレート、ベンジルメタクリレート、ジシクロペンテニルオキシエチルアクリレート、またはその組み合わせから選択される。
第２アルカリ可溶性樹脂（Ａ−２）を作製する時、溶媒を使用してもよい。溶媒は、単独で使用しても、組み合わせて使用してもよく、溶媒は、エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールｎ‐プロピルエーテル、ジエチレングリコールｎ‐ブチルエーテル、トリエチレングリコールモノメチルエーテル、トリエチレングリコールモノエチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノエチルエーテル、ジプロピレングリコールモノメチルエーテル、ジプロピレングリコールモノエチルエーテル、ジプロピレングリコールｎ‐プロピルエーテル、ジプロピレングリコールｎ‐ブチルエーテル、トリプロピレングリコールモノメチルエーテル、またはトリプロピレングリコールモノエチルエーテル等の（ポリ）アルキレングリコールモノアルキルエーテル；エチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、エチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート（propylene glycol monomethyl ether acetate, PGMEA）、またはプロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート等の（ポリ）アルキレングリコールモノアルキルエーテルアセテート；ジエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールメチルエチルエーテル、ジエチレングリコールジエチルエーテル、およびテトラヒドロフラン等の他のエーテル；メチルエチルケトン、シクロヘキサノン、２‐ヘプタノン、または３‐ヘプタノン、等のケトン；メチル２‐ヒドロキシプロピオネートまたはエチル２‐ヒドロキシプロピオネート等の乳酸アルキル；メチル２‐ヒドロキシ‐２‐メチルプロピオネート、エチル２‐ヒドロキシ‐２‐メチルプロピオネート、メチル３‐メトキシプロピオネート、エチル３‐メトキシプロピオネート、メチル３‐エトキシプロピオネート、エチル３‐エトキシプロピオネート（ethyl 3-ethoxypropanoate, EEP）、エチルエトキシアセテート、エチルヒドロキシアセテート、メチル２‐ヒドロキシ‐３‐メチルブチレート、３‐メチル‐３‐メトキシブチルアセテート、３‐メチル‐３‐メトキシブチルプロピオネート、エチルアセテート、ｎ‐プロピルアセテート、イソプロピルアセテート、ｎ‐ブチルアセテート、イソブチルアセテート、ｎ‐アミルアセテート、イソアミルアセテート、ｎ‐ブチルプロピオネート、エチルブチレート、ｎ‐プロピルブチレート、イソプロピルブチレート、ｎ‐ブチルブチレート、メチルピルベート、エチルピルベート、ｎ‐プロピルピルベート、メチルアセトアセテート、エチルアセトアセテート、およびエチル２‐オキシブチレート等の他のエステル；トルエンまたはキシレン等の芳香族炭化水素；またはＮ‐メチルピロリドン、Ｎ，Ｎ‐ジメチルホルムアミド、またはＮ，Ｎ‐ジメチルアセトアミド等のアミドを含有するが、本発明はこれに限定されない。好ましくは、溶媒は、ＰＧＭＥＡ、ＥＥＰ、またはその組み合わせから選択される。（ポリ）アルキレングリコールモノアルキルエーテルは、アルキレングリコールモノアルキルエーテルまたはポリアルキレングリコールモノアルキルエーテルを指す。（ポリ）アルキレングリコールモノアルキルエーテルアセテートは、アルキレングリコールモノアルキルエーテルアセテートまたはポリアルキレングリコールモノアルキルエーテルアセテートを指す。
第２アルカリ可溶性樹脂（Ａ−２）の作製に使用する開始剤は、一般的に、フリーラジカル重合開始剤であり、具体例は、例えば、２，２’−アゾビスイソブチロニトリル、２，２’−アゾビス（２，４−ジメチルバレロニトリル）、２，２’−アゾビス（４−メトキシ−２，４−ジメチルバレロニトリル）、または２，２’−アゾビス−２−メチルブチロニトリル（2,2’-azobis-2-methyl butyronitrile, AMBN）等のアゾ（azo）化合物；および過酸化ベンゾイル等のペロキシ化合物が挙げられる。
アルカリ可溶性樹脂（Ａ）の合計使用量１００重量部に対し、第２アルカリ可溶性樹脂（Ａ‐２）の使用量は、２０重量部〜９０重量部であってもよく、好ましくは、３０重量部〜８５重量部であり、より好ましくは、５０重量部〜８０重量部である。
さらに、ＧＰＣにより測定した第２アルカリ可溶性樹脂（Ａ‐２）の重量平均分子量（Ｍｎ）は、ポリスチレン分子量換算で、好ましくは、３，０００〜３０，０００の範囲であり、より好ましくは、５，０００〜２５，０００の範囲である。

エチレン性不飽和基含有化合物（Ｂ）
エチレン性不飽和基含有化合物（Ｂ）は、式（５）で表される化合物および式（６）で表される化合物からなる群より選択される少なくとも１つの化合物（Ｂ−１）を含む。また、エチレン性不飽和基含有化合物（Ｂ）は、さらに他のエチレン性不飽和基含有化合物（Ｂ−２）を選択的に含んでもよい。

化合物（Ｂ−１）
化合物（Ｂ−１）は、式（５）で表される化合物および式（６）で表される化合物からなる群より選択された少なくとも１つである。具体的に説明すると、式（５）および式（６）で表される化合物は、以下の通りである。
式（５）

式（６）
式（５）および式（６）において、Ｅは、それぞれ独立して、−（（ＣＨ2）yＣＨ2Ｏ）−または−（（ＣＨ2）yＣＨ（ＣＨ3）Ｏ）−を示し、ｚは、それぞれ独立して、１〜１０の整数を示し、Ｙ1およびＹ2は、それぞれ独立して、アクリル基、メタクリル基、水素原子、またはカルボキシル基を示し；式（５）において、Ｙ1で表されるアクリル基とメタクリル基の合計数は、３または４であり、ｐは、それぞれ独立して、０〜１０の整数を示し、各ｐの合計は、１〜４０の整数であり；式（６）において、Ｙ2で表されるアクリル基とメタクリル基の合計数は、５または６であり、ｑは、それぞれ独立して、０〜１０の整数を示し、各ｑの合計は、１〜６０の整数である。
式（５）で表される化合物または式（６）で表される化合物は、例えば、以下の周知のステップにより合成することができる：エチレンオキシド（ethylene oxide）またはプロピレンオキシド（propylene oxide）の開環付加反応により、ペンタエリスリトールまたはジペンタエリスリトールを開環骨格に結合するステップ；および、例えば、（メタ）アクリロイルクロリドと開環骨格の末端水酸基を反応させることによって、（メタ）アクリロイル基を導入するステップ。各ステップは周知であるため、本技術分野において通常の知識を有する者であれば、式（５）で表される化合物または式（６）で表される化合物を容易に合成することができる。
式（５）で表される化合物または式（６）で表される化合物は、好ましくは、ペンタエリスリトール誘導体および／またはジペンタエリスリトール誘導体である。
式（５）で表される化合物の具体例は、式（７）で表される化合物、エトキシ化ペンタエリスリトールテトラアクリレート（ethoxylated pentaerythritol tetraacrylate）、プロポキシ化ペンタエリスリトールテトラアクリレート（propoxylated pentaerythritol tetraacrylate）、またはその組み合わせを含む。
式（７）
式（７）において、各ｐの合計は、４または１２である。
式（６）で表される化合物の具体例は、式（８）〜式（１０）で表される化合物を含み、式（８）の各ｑの合計は、６または１２であり；式（９）の各ｑの合計は、１２であり；式（１０）の各ｑの合計は、６であり；式（８）が好ましい。
式（８）
式（９）

式（１０）

化合物（Ｂ−２）
他のエチレン性不飽和基含有化合物（Ｂ−２）は、カプロラクトン変性ポリアルコールと（メタ）アクリル酸を反応させて得られた（メタ）アクリレート化合物（Ｂ−２−ｉ）、および式（１１）で表される官能基を有する化合物（Ｂ−２−ｉｉ）からなる群より選択された化合物を含む。
式（１１）
式（１１）において、Ｒ19は、水素またはメチル基を示す。
カプロラクトン変性ポリアルコールは、カプロラクトンと少なくとも４つの官能基を有するポリアルコールを反応させることによって得られる。カプロラクトンの具体例は、例えば、γ‐カプロラクトン、δ‐カプロラクトン、またはε‐カプロラクトンが挙げられ；好ましくは、ε‐カプロラクトンであり；４つまたはそれ以上の官能基を有するポリアルコールは、例えば、ペンタエリスリトール、ジ（トリメチロールプロパン）、またはジペンタエリスリトールを含むことができる。
（メタ）アクリレート化合物（Ｂ−２−ｉ）の具体例は、ペンタエリスリトールカプロラクトン変性テトラ（メタ）アクリレート化合物、ジ（トリメチロールプロパン）カプロラクトン変性テトラ（メタ）アクリレート化合物、およびジペンタエリスリトールカプロラクトン変性ポリ（メタ）アクリレート化合物が挙げられる。特に、ジペンタエリスリトールカプロラクトン変性ポリ（メタ）アクリレート化合物の具体例は、ジペンタエリスリトールカプロラクトン変性ジ（メタ）アクリレート化合物、ジペンタエリスリトールカプロラクトン変性トリ（メタ）アクリレート化合物、ジペンタエリスリトールカプロラクトン変性テトラ（メタ）アクリレート化合物、ジペンタエリスリトールカプロラクトン変性ペンタ（メタ）アクリレート化合物、およびジペンタエリスリトールカプロラクトン変性ヘキサ（メタ）アクリレート化合物が挙げられる。
さらに具体的に説明すると、ジペンタエリスリトールカプロラクトン変性ポリ（メタ）アクリレート化合物の構造は、式（１２）で表すことができる。

式（１２）
式（１２）において、Ｒ20およびＲ21は、それぞれ、水素またはメチル基を示し；ｃは、１〜２の整数を示し；ａは、１〜６の整数を示し；ｂは、０〜５の整数を示す。詳しく説明すると、ａ＋ｂ＝２〜６であり；好ましくは、ａ＋ｂ＝３〜６であり；より好ましくは、ａ＋ｂ＝５〜６であり；最も好ましくは、ａ＋ｂ＝６である。
式（１１）で表される官能基を有する化合物（Ｂ−２−ｉｉ）の具体例は、例えば、アクリルアミド、（メタ）アクリロイルモルフォリン、７‐アミノ‐３，７‐ジメチルオクチル（メタ）アクリレート、イソブトキシメチル（メタ）アクリルアミド、イソボルニルオキシエチル（メタ）アクリレート、イソボルニル（メタ）アクリレート、２‐エチルヘキシル（メタ）アクリレート、エチルジエチレングリコール（メタ）アクリレート、ｔ‐オクチル（メタ）アクリルアミド、ジアセトン（メタ）アクリルアミド、ジメチルアミノ（メタ）アクリレート、ドデシル（メタ）アクリレート、ジシクロペンテニルオキシエチル（メタ）アクリレート、ジシクロペンテニル（メタ）アクリレート、Ｎ，Ｎ‐ジメチル（メタ）アクリルアミド、テトラクロロフェニル（メタ）アクリレート、２‐テトラクロロフェノキシエチル（メタ）アクリレート、テトラヒドロフルフリル（メタ）アクリレート、テトラブロモフェニル（メタ）アクリレート、２‐テトラブロモフェノキシエチル（メタ）アクリレート、２‐トリクロロフェノキシエチル（メタ）アクリレート、トリブロモフェニル（メタ）アクリレート、２‐トリブロモフェノキシエチル（メタ）アクリレート、２‐ヒドロキシエチル（メタ）アクリレート、２‐ヒドロキシプロピル（メタ）アクリレート、ビニルカプロラクタム、Ｎ‐ビニルピロリドン、フェノキシエチル（メタ）アクリレート、ペンタクロロフェニル（メタ）アクリレート、ペンタブロモフェニル（メタ）アクリレート、ポリエチレングリコールモノ（メタ）アクリレート、ポリプロピレングリコールモノ（メタ）アクリレート、ボルニル（メタ）アクリレート、エチレングリコールジ（メタ）アクリレート、ジシクロペンタニルジ（メタ）アクリレート、トリエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、テトラエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、トリ（２‐ヒドロキシエチル）イソシアヌレートジ（メタ）アクリレート、トリ（２‐ヒドロキシエチル）イソシアヌレートトリ（メタ）アクリレート、カプロラクトン変性トリ（２‐ヒドロキシエチル）イソシアヌレートトリ（メタ）アクリレート、トリメチロールプロピルトリ（メタ）アクリレート、トリエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、ネオ‐ペンチレングリコールジ（メタ）アクリレート、１，４‐ブタンジオールジ（メタ）アクリレート、１，６‐ヘキサンジオールジ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールトリ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ（メタ）アクリレート、ポリエステルジ（メタ）アクリレート、ポリエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールテトラ（メタ）アクリレート、ジトリメチロールプロピルテトラ（メタ）アクリレート、ＥＯ変性ビスフェノールＡジ（メタ）アクリレート、ＰＯ変性ビスフェノールＡジ（メタ）アクリレート、ＥＯ変性水素化ビスフェノールＡジ（メタ）アクリレート、ＰＯ変性水素化ビスフェノールＡジ（メタ）アクリレート、ＥＯ変性ビスフェノールＦジ（メタ）アクリレート、またはフェノールポリグリシジルエーテル（メタ）アクリレートが挙げられる。
式（１１）で表される官能基を有する化合物（Ｂ−２−ｉｉ）は、トリメチロールプロピルトリアクリレート、ペンタエリスリトールトリアクリレート、ペンタエリスリトールテトラアクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート、ジペンタエリスリトールペンタアクリレート、ジペンタエリスリトールテトラアクリレート、ジトリメチロールプロピルテトラアクリレート、およびその組み合わせからなる群より選択されるのが好ましい。
本発明の感光性樹脂組成物に含まれるエチレン性不飽和基含有化合物（Ｂ）が式（５）で表される化合物および式（６）で表される化合物からなる群より選択された少なくとも１つの化合物（Ｂ−１）を含有する時、現像特性が比較的良好である。
本発明の感光性樹脂組成物において、アルカリ可溶性樹脂（Ａ）１００重量部に対し、式（５）で表される化合物および式（６）で表される化合物からなる群より選択された少なくとも１つの化合物（Ｂ−１）の使用量は、１０重量部〜１００重量部であり、好ましくは、１５重量部〜８０重量部であり、より好ましくは、２０重量部〜６０重量部である。
本発明の感光性樹脂組成物において、アルカリ可溶性樹脂（Ａ）１００重量部に対し、エチレン性不飽和基含有化合物（Ｂ）の使用量は、６０重量部〜６００重量部であり、好ましくは、８０重量部〜５００重量部であり、より好ましくは、１００重量部〜４００重量部である。

光開始剤（Ｃ）
光開始剤（Ｃ）は、アセトフェノン（acetophenone）化合物、ビイミダゾール（biimidazole）化合物、およびアシルオキシム（acyl oxime）化合物からなる群より選択される少なくとも１つの化合物である。
アセトフェノン化合物の具体例は、ｐ‐ジメチルアミノ‐アセトフェノン（p-dimethylamino-acetophenone）、α，α’‐ジメトキシアゾキシ‐アセトフェノン（α,α’-dimethoxyazoxy-acetophenone）、２，２’‐ジメチル‐２‐フェニル‐アセトフェノン（2,2’-dimethyl-2-phenyl-acetophenone）、ｐ‐メトキシ‐アセトフェノン（p-methoxy-acetophenone）、２‐メチル‐１‐（４‐メチルチオフェニル）‐２‐モルホリノ‐１‐プロパノン（2-methyl-1-(4-methylthio phenyl)-2-morpholino-1-propanone）、および２‐ベンジル‐２‐Ｎ，Ｎ‐ジメチルアミノ‐１‐（４‐モルホリノフェニル）‐１‐ブタノン（2-benzyl-2-N,N-dimethylamino-1-(4-morpholinophenyl)-1-butanone）が挙げられる。
ビイミダゾール化合物の具体例は、２，２’‐ビス（ｏ‐クロロフェニル）‐４，４’，５，５’‐テトラフェニル‐ビイミダゾール（2,2’-bis(o-chlorophenyl)-4,4’,5,5’-tetraphenyl -biimidazole）、２，２’‐ビス（ｏ‐フルオロフェニル）‐４，４’，５，５’‐テトラフェニル‐ビイミダゾール（2,2’-bis(o-fluorophenyl)-4,4’,5,5’-tetraphenyl-biimidazole）、２，２’‐ビス（ｏ‐メチルフェニル）‐４，４’，５，５’‐テトラフェニル‐ビイミダゾール（2,2’-bis(o-methyl phenyl)-4,4’,5,5’-tetraphenyl-biimidazole）、２，２’‐ビス（ｏ‐メトキシフェニル）‐４，４’，５，５’‐テトラフェニル‐ビイミダゾール（2,2’-bis(o-methoxyphenyl)-4,4’,5,5-tetraphenyl-biimidazole）、２，２’‐ビス（ｏ‐エチルフェニル）‐４，４’，５，５’‐テトラフェニル‐ビイミダゾール（2,2’-bis(o-ethylphenyl) -4,4’,5,5’-tetraphenyl-biimidazole）、２，２’‐ビス（ｐ‐メトキシフェニル）‐４，４’，５，５’‐テトラフェニル‐ビイミダゾール（2,2’-bis(p-methoxyphenyl)-4,4’,5,5’-tetraphenyl -biimidazole）、２，２’‐ビス（２，２’，４，４’‐テトラメトキシフェニル）‐４，４’，５，５’‐テトラフェニル‐ビイミダゾール（2,2’-bis(2,2’,4,4’-tetramethoxyphenyl) -4,4’,5,5’-tetraphenyl-biimidazole）、２，２’‐ビス（２‐クロロフェニル）‐４，４’，５，５’‐テトラフェニル‐ビイミダゾール（2,2’-bis(2-chlorophenyl)-4,4’,5,5’-tetraphenyl -biimidazole）、および２，２’‐ビス（２，４‐ジクロロフェニル）‐４，４’，５，５’‐テトラフェニル‐ビイミダゾール（2,2’-bis(2,4-dichlorophenyl)-4,4’,5,5’-tetraphenyl -biimidazole）が挙げられる。
アシルオキシム化合物の具体例は、チバ・スペシャルティ・ケミカルズ株式会社製の式（１３）で表される構造を有する商品名：ＣＧＩ‐２４２のエタノン，１‐［９‐エチル‐６‐（２‐メチルベンゾイル）‐９Ｈ‐カルバゾール‐３‐イル］‐，１‐（Ｏ‐アセチルオキシム）（ethanone,1-[9-ethyl-6-(2-methylbenzoyl)-9H-carbazole-3-yl]-,1-(O-acetyl oxime)）、チバ・スペシャルティ・ケミカルズ株式会社製の式（１４）で表される構造を有する商品名：ＣＧＩ‐１２４の１‐（４‐フェニル‐チオ‐フェニル）‐オクタン‐１，２‐ジオン２‐オキシム‐Ｏ‐ベンゾエート（1-(4-phenyl-thio-phenyl)-octane-1,2-dion 2-oxime-O-benzoate）、および旭電化工業株式会社製の式（１５）で表される構造を有するエタノン，１‐［９‐エチル‐６‐（２‐クロロ‐４‐ベンジル‐チオ‐ベンゾイル）‐９Ｈ‐カルバゾール‐３‐イル］‐，１‐（Ｏ‐アセチルオキシム）（ethanone,1 -[9-ethyl-6-(2-chloro-4-benzyl-thio-benzoyl)-9H-carbazole-3-yl]-,1-(O-acetyl oxime)）が挙げられる。
式（１３）

式（１４）

式（１５）
光開始剤（Ｃ）は、好ましくは、２‐メチル‐１‐（４‐メチルチオフェニル）‐２‐モルホリノ‐１‐プロパノン、２‐ベンジル‐２‐Ｎ，Ｎ‐ジメチルアミノ‐１‐（４‐モルホリノフェニル）‐１‐ブタノン、２，２’‐ビス（Ｏ‐クロロフェニル）‐４，４’，５，５’‐テトラフェニルビイミダゾール、エタノン，１‐［９‐エチル‐６‐（２‐メチルベンゾイル）‐９Ｈ‐カルバゾール‐３‐イル］‐，１‐（Ｏ‐アセチルオキシム）、またはこれらの化合物の組み合わせである。
必要であれば、光開始剤（Ｃ）は、さらに、以下の化合物を含むことができる：チオキサントン（thioxanthone）、２，４‐ジエチル‐チオキサントン（2,4-diethyl-thioxanthone）、チオキサントン‐４‐スルホン（thioxanthone-4-sulfone）、ベンゾフェノン（benzophenone）、４，４’‐ビス（ジメチルアミノ）ベンゾフェノン（4,4’-bis(dimethylamino)benzophenone）、または４，４’ビス‐（ジエチルアミノ）ベンゾフェノン（4,4’-bis(diethylamino)benzophenone）等のベンゾフェノン（benzophenone）化合物；ベンジル（benzil）またはアセチル（acetyl）等のα‐ジケトン（α-diketone）；ベンゾイン（benzoin）等のアシロイン（acyloin）；ベンゾインメチルエーテル（benzoin methylether）、ベンゾインエチルエーテル（benzoin ethylether）、またはベンゾインイソプロピルエーテル（benzoin isopropyl ether）等のアシロインエーテル（acyloin ether）；２，４，６‐トリメチル‐ベンゾイル‐ジフェニル‐ホスフィンオキシド（2,4,6-trimethyl-benzoyl-diphenyl-phosphineoxide）またはビス‐（２，６‐ジメトキシ‐ベンゾイル）‐２，４，４‐トリメチル‐ベンジル‐ホスフィンオキシド（bis-(2,6-dimethoxy-benzoyl)-2,4,4-trimethyl-benzyl-phosphineoxide）等のアシルホスフィンオキシド（acylphosphineoxide）；アントラキノン（anthraquinone）または１，４‐ナフトキノン（1,4-naphthoquinone）等のキノン（quinone）；塩化フェナシル（phenacyl chloride）、トリブロモメチルフェニルスルホン（tribromomethyl-phenylsulfone）、またはトリス（トリクロロメチル）‐ｓ‐トリアジン（tris(trichloromethyl)-s-triazine）等のハロゲン化合物；およびジ‐ｔｅｒｔブチルペルオキシド（di-tertbutylperoxide）等の過酸化物；そのうち、ベンゾフェノン化合物が好ましく；４，４’‐ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノンが最も好ましい。
本発明の感光性樹脂組成物において、アルカリ可溶性樹脂（Ａ）１００重量部に対し、光開始剤（Ｃ）の使用量は、２０重量部〜２００重量部であり、好ましくは、４０重量部〜１５０重量部であり、より好ましくは、５０重量部〜１００重量部である。

有機溶媒（Ｄ）
本発明の有機溶媒（Ｄ）は、アルカリ可溶性樹脂（Ａ）、エチレン性不飽和基含有化合物（Ｂ）および光開始剤（Ｃ）を溶解することができ、これらの成分と反応せず、適切な揮発性を有するものでなければならない。
有機溶媒（Ｄ）の具体例は、エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールｎ‐プロピルエーテル、ジエチレングリコールｎ‐ブチルエーテル、トリエチレングリコールモノメチルエーテル、トリエチレングリコールモノエチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノエチルエーテル、ジプロピレングリコールモノメチルエーテル、ジプロピレングリコールモノエチルエーテル、ジプロピレングリコールｎ‐プロピルエーテル、ジプロピレングリコールｎ‐ブチルエーテル、トリプロピレングリコールモノメチルエーテル、またはトリプロピレングリコールモノエチルエーテル等の（ポリ）アルキレングリコールモノアルキルエーテル；エチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、エチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、またはプロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート等の（ポリ）アルキレングリコールモノアルキルエーテルアセテート；ジエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールメチルエチルエーテル、ジエチレングリコールジエチルエーテル、およびテトラヒドロフラン等の他のエーテル；メチルエチルケトン、シクロヘキサノン、２‐ヘプタノン、または３‐ヘプタノン等のケトン；メチル２‐ヒドロキシプロピオネートまたはエチル２‐ヒドロキシプロピオネート等の乳酸アルキル；メチル２‐ヒドロキシ‐２‐メチルプロピオネート、エチル２‐ヒドロキシ‐２‐メチルプロピオネート、メチル３‐メトキシプロピオネート、エチル３‐メトキシプロピオネート、メチル３‐エトキシプロピオネート、エチル３‐エトキシプロピオネート（ethyl 3-ethoxypropanoate, EEP）、エチルエトキシアセテート、エチルヒドロキシアセテート、メチル２‐ヒドロキシ‐３‐メチルブチレート、３‐メチル‐３‐メトキシブチルアセテート、３‐メチル‐３‐メトキシブチルプロピオネート、エチルアセテート、ｎ‐プロピルアセテート、イソプロピルアセテート、ｎ‐ブチルアセテート、イソブチルアセテート、ｎ‐アミルアセテート、イソアミルアセテート、ｎ‐ブチルプロピオネート、エチルブチレート、ｎ‐プロピルブチレート、イソプロピルブチレート、ｎ‐ブチルブチレート、メチルピルベート、エチルピルベート、ｎ‐プロピルピルベート、メチルアセトアセテート、エチルアセトアセテート、およびエチル２‐オキシブチレート等の他のエステル；トルエンまたはキシレン等の芳香族炭化水素；またはＮ‐メチルピロリドン、Ｎ，Ｎ‐ジメチルホルムアミド、またはＮ，Ｎ‐ジメチルアセトアミド等のカルボキシルアミンが挙げられる。好ましくは、溶媒は、ＰＧＭＥＡおよびＥＥＰから選択され、溶媒は、単独で使用しても、複数を組み合わせて使用してもよい。
本発明の感光性樹脂組成物において、アルカリ可溶性樹脂（Ａ）１００重量部に対し、有機溶媒（Ｄ）の使用量は、５００重量部〜５０００重量部であり、好ましくは、６００重量部〜４０００重量部であり、より好ましくは、７００重量部〜３０００重量部である。

化合物（Ｅ）
化合物（Ｅ）は、以下の式（１）で表される。
式（１）
式（１）において、Ｒ’は、それぞれ独立して、水素原子、炭素数１〜２０の置換または非置換の炭化水素基またはアシル基を示し、Ｒ”は、それぞれ独立して、水素原子、炭素数１〜１５の置換または非置換の炭化水素基、アシル基、またはニトロ基を示し、ｍは、０、１または２の整数を示し、Ｘは、式（２）で表される構造を有する基である。
式（２）
式（２）において、Ｒは、水素原子、または炭素数１〜４のアルキル基を示す。
置換基ＸおよびＲ”基は、式（１）における４つのＮの置換位置のうちの１つに位置する。例えば、ｍ＝２の時、２つの置換基Ｘは、それぞれ２つのＮ上に位置するため、２つの置換基Ｘが同じ五員環上の１，３位に位置する場合や、同じ五員環上の１，５位または１，７位上に位置しない場合等がある。置換基Ｘの好ましい位置は、同じ五員環上の１，３位、１，３，５位、１，３，７位、または１，３，５，７位に位置する少なくとも２つの置換基である。
置換基Ｒ’は、それぞれ独立して、水素原子、または炭素数１〜２０の置換または非置換の炭化水素基またはアシル基を示す。炭化水素基またはアシル基の炭素数の上限は、好ましくは、１５であり、より好ましくは、１２であり、さらに好ましくは、１０であり、さらに好ましくは、８であり、さらには、４であってもよい。
置換基Ｒ’として使用する炭化水素基またはアシル基は、直鎖または分岐鎖であってもよく、アルケニル基、シクロアルキル基、シクロアルケニル基、または芳香族基を含有する基を使用してもよい。置換基Ｒ’がシクロアルキル基、シクロアルケニル基、または芳香族基である時、Ｒ’は、好ましくは、フェニル基（phenyl）、ベンジル基（benzyl）、トリル基（tolyl）、またはシリル基（xylyl）等の単環芳香族基、またはシクロペンチル基またはシクロヘキシル基等の単環シクロアルキル基のような単環基である。
置換基Ｒ’として使用する炭化水素基またはアシル基上の一部の水素原子は、塩素または臭素等のハロゲン原子、あるいはアルコキシ基、アシル基、またはアクリロイル基等の置換基のようなヘテロ原子または置換基により置換されてもよい。置換基Ｒ’が環状基である時、環状基の環は、酸素、窒素、または硫黄原子等のヘテロ原子を含有してもよく、環状基の置換基Ｒ’は、好ましくは、１〜３個のヘテロ原子を含有する。
置換基Ｒ’が置換基として分岐炭化水素基を有する時、炭化水素基の炭素原子の上限は、好ましくは、１０であり、より好ましくは、８であり；さらに好ましくは、６であり、さらには、４であってもよい。置換基として使用する分岐炭化水素基は、さらに、１〜３個のヘテロ原子を有するハロゲン、芳香族基、シクロアルキル基、または環状基等の基を含有してもよい。
全ての置換基Ｒ’の炭素原子の合計数の上限は、好ましくは、１２であり、より好ましくは、１０である。１つの置換基Ｒ’の炭素原子数の上限は、好ましくは８であり、より好ましくは、６であり、さらに好ましくは、４である。
置換基Ｒ”は、それぞれ独立して、水素原子、または炭素数１〜１５の置換または非置換の炭化水素基、アシル基、またはニトロ基を示す。置換基Ｒ”が炭化水素基の時、置換基Ｒ”の炭素原子数の上限は、好ましくは１２であり、より好ましくは、１０であり、さらに好ましくは８である。
置換基Ｒ’と同様に、置換基Ｒ”として使用する炭化水素基またはアシル基は、直鎖または分岐鎖であってもよく、アルケニル基、シクロアルキル基、シクロアルケニル基、または芳香族基を含有する基を使用してもよい。置換基Ｒ”がシクロアルキル基、シクロアルケニル基、または芳香族基である時、Ｒ”は、好ましくは、単環基である。置換基Ｒ”の炭化水素基またはアシル基上の一部の水素原子は、ヘテロ原子または置換基により置換されてもよい。置換基Ｒ”が環状基の時、環状基の環は、ヘテロ原子を含有してもよく、好ましくは、１〜３個のヘテロ原子を含有することができる。
置換基Ｒ”上の置換基の具体例は、例えば、ハロゲン、水酸基、アミン基、Ｎ−置換アミン基、チオール基、アルキルチオ基、アルコキシ基、アリールオキシ基、またはアシルオキシ基を含む。置換基Ｒ”は、１つまたはそれ以上の置換基を含有することができ、好ましくは、１〜３個である。より好ましい具体例において、置換基Ｒ”は、アルキル基を含有することができ、その炭素数の制限は、置換基Ｒ’と同じである。
表１は、式（１）に示した化合物（Ｅ）のより好ましい例を記載したものである。Ｒ”およびｍの定義は、式（１）と同じであり、Ｒ’1およびＲ’2は、それぞれ式（１）における２つの置換基Ｒ’を示す。
本発明の感光性樹脂組成物が式（１）で表される化合物（Ｅ）を含有しない時、得られる感光性樹脂組成物は、高精度パターン直線性および現像特性が悪い。
本発明の感光性樹脂組成物において、アルカリ可溶性樹脂（Ａ）１００重量部に対し、化合物（Ｅ）の使用量は、３重量部〜３０重量部であり、好ましくは、５重量部〜２５重量部であり、より好ましくは、８重量部〜２０重量部である。
式（１）で表される化合物（Ｅ）の使用量が上述した範囲内にある時、比較的優れた高精度パターン直線性を有する感光性樹脂組成物を得ることができ、さらに現像特性を改善することができる。

顔料（Ｆ）
本発明の感光性樹脂組成物は、顔料（Ｆ）を含んでもよい。顔料（Ｆ）は、有機顔料および無機顔料からなる群より選ばれた少なくとも１つである。
無機顔料は、金属酸化物または金属錯塩等の金属化合物を含み、例えば、鉄、コバルト、アルミニウム、カドミウム、鉛、銅、チタン、マグネシウム、クロム、亜鉛、またはアンチモン等の金属酸化物、およびこれらの金属の複合酸化物を含む。
有機顔料の例は、例えば、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１、３、１１、１２、１３、１４、１５、１６、１７、２０、２４、３１、５３、５５、６０、６１、６５、７１、７３、７４、８１、８３、９３、９５、９７、９８、９９、１００、１０１、１０４、１０６、１０８、１０９、１１０、１１３、１１４、１１６、１１７、１１９、１２０、１２６、１２７、１２８、１２９、１３８、１３９、１５０、１５１、１５２、１５３、１５４、１５５、１５６、１６６、１６７、１６８、１７５；Ｃ．Ｉ．ピグメントオレンジ１、５、１３、１４、１６、１７、２４、３４、３６、３８、４０、４３、４６、４９、５１、６１、６３、６４、７１、７３；Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１、２、３、４、５、６、７、８、９、１０、１１、１２、１４、１５、１６、１７、１８、１９、２１、２２、２３、３０、３１、３２、３７、３８、４０、４１、４２、４８：１、４８：２、４８：３、４８：４、４９：１、４９：２、５０：１、５２：１、５３：１、５７、５７：１、５７：２、５８：２、５８：４、６０：１、６３：１、６３：２、６４：１、８１：１、８３、８８、９０：１、９７、１０１、１０２、１０４、１０５、１０６、１０８、１１２、１１３、１１４、１２２、１２３、１４４、１４６、１４９、１５０、１５１、１５５、１６６、１６８、１７０、１７１、１７２、１７４、１７５、１７６、１７７、１７８、１７９、１８０、１８５、１８７、１８８、１９０、１９３、１９４、２０２、２０６、２０７、２０８、２０９、２１５、２１６、２２０、２２４、２２６、２４２、２４３、２４５、２５４、２５５、２６４、２６５；Ｃ．Ｉ．ピグメントバイオレット１、１９、２３、２９、３２、３６、３８、３９；Ｃ．Ｉ．ピグメントブルー１、２、１５、１５：３、１５：４、１５：６、１６、２２、６０、６６；Ｃ．Ｉ．ピグメントグリーン７、３６、３７；Ｃ．Ｉ．ピグメントブラウン２３、２５、２８、またはＣ．Ｉ．ピグメントブラック１、７を含むことができる。黒色顔料の具体例は、さらに、ペリレンブラック（perylene black）、シアニンブラック（cyanine black）、またはアニリンブラック（aniline black）等の黒色有機顔料；例えば、赤色、青色、緑色、紫色、黄色、シアニン（cyanine）、または赤紫色（magenta）の顔料から選択された２つまたはそれ以上の顔料を混合することにより得られた有機顔料の黒に近い混合物；カーボンブラック（carbon black）、塩化クロム、酸化第二鉄、チタンブラック（titanium black）、またはグラファイト等の遮光材料を含有することができる。
アルカリ可溶性樹脂（Ａ）１００重量部に対し、顔料（Ｆ）の使用量は、４０重量部〜４００重量部であり、好ましくは、５０重量部〜３５０重量部であり、より好ましくは、６０重量部〜３００重量部である。

染料（Ｇ）
染料（Ｇ）は、式（１６）の構造を有する赤色染料を含有する。
式（１６）
式（１６）において、Ｒ22〜Ｒ25は、それぞれ独立して、水素、−Ｒ27、炭素数６〜１０の芳香族炭化水素基、またはハロゲン原子、−Ｒ27、−ＯＨ、−ＯＲ27、−ＳＯ3-、−ＳＯ3Ｈ、−ＳＯ3Ｍ、−ＣＯＯＨ、−ＣＯＯＲ27、−ＳＯ3Ｒ27、−ＳＯ2ＮＨＲ28、または−ＳＯ2ＮＲ28Ｒ29で置換された炭素数６〜１０の芳香族炭化水素基を示す。Ｒ26は、それぞれ独立して、−ＳＯ3-、−ＳＯ3Ｈ、−ＳＯ3Ｍ、−ＣＯＯＨ、−ＣＯＯＲ27、−ＳＯ3Ｒ27、−ＳＯ2ＮＨＲ28、または−ＳＯ2ＮＲ28Ｒ29を示す。ｄは、０〜５の整数を示す。Ｘは、ハロゲン原子を示す。ｅは、０または１を示す。
Ｒ27は、ハロゲン原子で置換することのできる炭素数１〜１０のアルキル基を示し、アルキル基中の−ＣＨ2−は、−Ｏ−、カルボニル基、または−ＮＲ30−で置き換えることができる。
Ｒ30は、ハロゲン原子で置換することのできる炭素数１〜１０のアルキル基を示す。
Ｒ28およびＲ29は、それぞれ独立して、炭素数１〜１０の直鎖または分岐鎖のアルキル基、炭素数３〜３０のシクロアルキル基、または−Ｑを示し；アルキル基またはシクロアルキル基中のハロゲン原子は、置換基により置換されてもよく、置換基は、水酸基、ハロゲン原子、−Ｑ、
、および
からなる群より選択され；アルキル基またはシクロアルキル基中の−ＣＨ2−は、−Ｏ−、水酸基、または−ＮＲ30−で置き換えてもよく；あるいは、Ｒ28およびＲ29は、結合して炭素数１〜１０の複素脂環基を形成し、複素脂環基中の水素原子は、−Ｒ27、−ＯＨ、または−Ｑで置換されてもよい。
Ｑは、炭素数６〜１０の芳香族炭化水素基、炭素数５〜１０の複素芳香族基、ハロゲン原子、−Ｒ27、−ＯＨ、−ＯＲ27、−ＮＯ2、
、または
で置換された炭素数６〜１０の芳香族炭化水素基、あるいはハロゲン原子、−Ｒ27、−ＯＨ、−ＯＲ27、−ＮＯ2、
、または
で置換された炭素数５〜１０の複素芳香族基を示す。Ｍは、カリウムまたはナトリウムを示す。
Ｒ27は、メチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基、ブチル基、イソブチル基、ペンチル基、イソペンチル基、ネオペンチル（neopentyl）基、シクロペンチル基、ヘキシル基、シクロヘキシル基、へプチル基、シクロへプチル基、オクチル基、シクロオクチル基、２−エチルヘキシル基、ノニル基、デシル基、トリシクロ［５．３．０．０3,10］デカニル（tricyclo[5.3.0.03,10]decanyl）基、メトキシプロピル基、ヘキシルオキシプロピル基、２−エチルヘキシルオキシプロピル基、メトキシヘキシル基、またはエポキシプロピル基を含むことができる。
炭素数６〜１０の芳香族炭化水素基は、好ましくは、例えば、フェニル基またはナフチル基を含むことができる。
−ＳＯ3Ｒ27は、好ましくは、メタンスルホニル（methanesulfonyl）、エタンスルホニル（ethanesulfonyl）、ヘキサンスルホニル（hexanesulfonyl）、またはデカンスルホニル（decanesulfonyl）を含む。
−ＣＯＯＲ27は、好ましくは、メチルオキシカルボニル（methyloxycarbonyl）、エチルオキシカルボニル（ethyloxycarbonyl）、プロポキシカルボニル、イソプロポキシカルボニル、ブトキシカルボニル、イソブトキシカルボニル、ペンチルオキシカルボニル、イソペンチルオキシカルボニル、ネオペンチルオキシカルボニル、シクロペンチルオキシカルボニル、ヘキシルオキシオキシカルボニル、シクロヘキシルオキシカルボニル、ヘプトキシカルボニル、シクロヘプトキシカルボニル、オクチルオキシカルボニル、シクロオクチルオキシカルボニル、２−エチルヘキシルオキシカルボニル、ノニルオキシカルボニル、デシルオキシカルボニル、トリシクロ［５．３．０．０3,10］デシルカルボニル、メトキシプロポキシカルボニル、ヘキシルオキシプロポキシカルボニル、２−エチルヘキシルオキシプロポキシカルボニル、またはメトキシヘキシルオキシカルボニルを含む。
−ＳＯ2ＮＨＲ28は、好ましくは、スルファモイル（sulfamoyl）、メチルスルファモイル、エチルスルファモイル、プロピルスルファモイル、イソプロピルスルファモイル、ブチルスルファモイル、イソブチルスルファモイル、ペンチルスルファモイル、イソペンチルスルファモイル、ネオペンチルスルファモイル、シクロペンチルスルファモイル、ヘキシルスルファモイル、シクロヘキシルスルファモイル、へプチルスルファモイル、シクロへプチルスルファモイル、オクチルスルファモイル、シクロオクチルスルファモイル、２−エチルヘキシルスルファモイル、ノニルスルファモイル、デシルスルファモイル、トリシクロ［５．３．０．０3,10］デシルスルファモイル、メトキシプロピルスルファモイル、ヘキシルオキシプロピルスルファモイル、２−エチルヘキシルオキシプロピルスルファモイル、メトキシヘキシルスルファモイル、エポキシプロピルスルファモイル、１，５−ジメチルヘキシルスルファモイル、プロポキシプロピルスルファモイル、イソプロポキシプロピルスルファモイル、３−フェニル−１−メチルプロピルスルファモイル、
染料（Ｇ）は、好ましくは、式（１６−１）〜式（１６−４）の構造を有する赤色染料からなる群より選択される少なくとも１つの赤色染料を含む。
式（１６−１）
式（１６−２）
式（１６−３）
式（１６−４）
式（１６−１）〜式（１６−４）において、Ｘは、ハロゲン原子を示す。ｅは、０または１を示す。
式（１６−１）において、Ｒ22〜Ｒ25の定義は、式（１６）と同じである。Ｒ30は、水素、−ＳＯ3-、−ＳＯ3Ｈ、−ＳＯ2ＮＨＲ28、または−ＳＯ2ＮＲ28Ｒ29を示す。Ｒ31は、−ＳＯ3-、−ＳＯ3Ｈ、−ＳＯ2ＮＨＲ28、または−ＳＯ2ＮＲ28Ｒ29を示す。
式（１６−２）において、Ｒ32〜Ｒ35は、それぞれ独立して、水素、−Ｒ37、炭素数６〜１０の芳香族炭化水素基、またはハロゲン原子、−Ｒ37、−ＯＨ、−ＯＲ37、−ＳＯ3-、−ＳＯ3Ｈ、−ＳＯ3Ｎａ、−ＣＯＯＨ、−ＣＯＯＲ37、−ＳＯ3Ｒ37、または−ＳＯ2ＮＨＲ38で置換された炭素数６〜１０の芳香族炭化水素基を示す。Ｒ36は、それぞれ独立して、−ＳＯ3-、−ＳＯ3Ｈ、−ＳＯ3Ｎａ、−ＣＯＯＨ、−ＣＯＯＲ37、または−ＳＯ2ＮＨＲ38を示す。ｄは、０〜５の整数を示す。
Ｒ37は、ハロゲン原子または−ＯＲ39で置換することのできる炭素数１〜１０のアルキル基を示す。
Ｒ38は、水素、−Ｒ37、−ＣＯＯＲ37、炭素数６〜１０の芳香族炭化水素基、−Ｒ37または−ＯＲ37で置換された炭素数６〜１０の芳香族炭化水素基を示す。Ｒ39は、炭素数１〜１０のアルキル基を示す。
式（１６−３）において、Ｒ39〜Ｒ40は、それぞれ独立して、フェニル基、またはハロゲン原子、−Ｒ37、−ＯＲ37、−ＣＯＯＲ37、−ＳＯ3Ｒ37、または−ＳＯ2ＮＨＲ38で置換されたフェニル基を示す。Ｒ41は、−ＳＯ3-または−ＳＯ2ＮＨＲ38を示す。Ｒ42は、水素、−ＳＯ3-、または−ＳＯ2ＮＨＲ38を示す。
式（１６−４）において、Ｒ43〜Ｒ44は、それぞれ独立して、フェニル基、または−Ｒ37または−ＳＯ2ＮＨＲ38で置換されたフェニル基を示す。Ｒ41は、−ＳＯ3-または−ＳＯ2ＮＨＲ38を示す。
染料（Ｇ）は、例えば、以下の式（１７）〜式（４３）の具体例を含むことができる。
式（１７）

式（１８）
式（１９）
式（１７）〜式（１９）において、ＲcおよびＲdは、それぞれ独立して、水素、−ＳＯ3-、−ＣＯＯＨ、または−ＳＯ2ＮＨＲ45を示す。Ｒ45は、２−メチルヘキシルを示す。Ｘは、ハロゲン原子を示す。ｅは、０または１を示す。
式（２０）

式（２１）
式（２０）〜式（２１）において、Ｒe、Ｒf、およびＲgは、それぞれ独立して、−ＳＯ3-、−ＳＯ3Ｎａ、または−ＳＯ2ＮＨＲ45を示す。Ｒ45は、２−メチルヘキシルを示す。
式（２２）
式（２３）
式（２２）〜式（２３）において、Ｒh、Ｒi、およびＲjは、それぞれ独立して、水素、−ＳＯ3-、−ＳＯ3Ｎａ、または−ＳＯ2ＮＨＲ45を示す。Ｒ45は、２−メチルヘキシルを示す。
式（２４）
式（２５）
式（２６）

式（２７）

式（２８）

式（２９）


式（３０）
式（３１）
式（３２）
式（３３）
式（３４）

式（３５）

式（３６）
式（３７）
式（３８）

式（３９）
式（４０）
式（４１）

式（４２）
式（４３）
染料（Ｇ）の好ましい具体例は、式（１７）（ＲcおよびＲdは、−ＳＯ3-；ｅは、０）［Ｃ．Ｉ．酸性赤色染料５２］、式（３４）［Ｃ．Ｉ．酸性赤色染料２８９］、式（４０）、式（４３）、またはその組み合わせを含む。
本発明の感光性樹脂組成物において、アルカリ可溶性樹脂（Ａ）１００重量部に対し、染料（Ｇ）の使用量は、３重量部〜３０重量部であり、好ましくは、４重量部〜２５重量部であり、より好ましくは、５重量部〜２０重量部である。

添加剤（Ｈ）
添加剤（Ｈ）は、例えば、界面活性剤、充填剤、高分子化合物（アルカリ可溶性樹脂（Ａ）以外）、密着促進剤、酸化防止剤、紫外線吸収剤、または凝集抑制剤を含む。
界面活性剤は、本発明の感光性樹脂組成物のコーティング特性を向上させることができ、その例は、ポリエチレンオキシドラウリルエーテル、ポリエチレンオキシドステアリルエーテル、またはポリエチレンオキシドオレイルエーテル等のポリエチレンオキシドアルキルエーテル；ポリエチレンオキシドオクチルフェニルエーテルまたはポリエチレンオキシドノニルフェニルエーテル等のポリエチレンオキシドアルキルフェニルエーテル；ポリエチレングリコールジラウレートまたはポリエチレングリコールジステアレート等のポリエチレングリコールジアルキルエーテル；ソルビタン脂肪酸エステル；脂肪酸変性ポリエステル；三級アミン変性ポリウレタン；および信越化学工業株式会社製のＫＰ製品、東レ・ダウコーニング・シリコーン株式会社製のＳＦ‐８４２７、共栄社油脂化学工業株式会社製のポリフロー（Polyflow）、トーケムプロダクツ製のエフトップ（F-Top）、大日本インキ化学工業株式会社製のメガファック（Megafac）、住友スリーエム株式会社製のフロラード（Fluorade)、旭硝子株式会社製のアサヒガード（Asahi Guard）、および旭硝子株式会社製のサーフロン（Surflon）を含むことができる。
充填剤は、例えば、ガラス、アルミニウム等を含むことができる。高分子化合物は、例えば、ポリビニルアルコール、ポリエチレングリコールモノアルキルエーテル、またはポリフルオロアルキルアクリレートを含むことができる。密着促進剤は、例えば、ビニルトリメトキシシラン、ビニルトリエトキシシラン、ビニルトリス（２‐メトキシエトキシ）シラン、Ｎ‐（２‐アミノエチル）‐３‐アミノプロピルメチルジメトキシシラン、Ｎ‐（２‐アミノエチル）‐３‐アミノプロピルトリメトキシシラン、３‐アミノプロピルトリエトキシシラン、３‐グリシジルオキシプロピルトリメトキシシラン、３‐グリシジルオキシプロピルメチルジメトキシシラン、２‐（３，４‐エポキシシクロヘキシル）エチルトリメトキシシラン、３‐クロロプロピルメチルジメトキシシラン、３‐クロロプロピルトリメトキシシラン、３‐メタクリロイルオキシプロピルトリメトキシシラン、または３‐メルカプトプロピルトリメトキシシランを含むことができる。
酸化防止剤は、例えば、２，２’‐チオビス（４‐メチル‐６‐ｔ‐ブチルフェノール）または２，６‐ジ‐ｔ‐ブチルフェノールを含むことができる。紫外線吸収剤は、例えば、２‐（３‐ｔ‐ブチル‐５‐メチル‐２‐ヒドロキシフェニル）‐５‐クロロフェニルアザイドまたはアルコキシフェノンを含むことができる。凝集抑制剤は、例えば、ポリアクリル酸ナトリウムを含むことができる。

感光性樹脂組成物の作製方法
感光性樹脂組成物の作製方法は、例えば、以下のステップを含む：アルカリ可溶性樹脂（Ａ）、エチレン性不飽和基含有化合物（Ｂ）、光開始剤（Ｃ）、有機溶媒（Ｄ）、および式（１）で表される化合物（Ｅ）を攪拌機に入れて攪拌し、これらの成分を均等に混合して、溶液状態にする。必要であれば、添加剤（Ｈ）を添加してもよい。これらの成分を均等に混合した後、溶液状態の透明感光性樹脂組成物を得ることができる。必要であれば、感光性樹脂組成物の作製プロセスにおいて、顔料（Ｆ）および染料（Ｇ）を添加してもよい。これらの成分を均等に混合した後、溶液状態のカラー感光性樹脂組成物を得ることができる。液体のカラー感光性樹脂組成物は、後述する画素層、保護膜、またはスペーサーの形成に使用することができる。
また、感光性樹脂組成物の作製方法は、特に限定されない。感光性樹脂組成物の作製方法は、例えば、まず、一部の有機溶媒（Ｄ）に一部のアルカリ可溶性樹脂（Ａ）およびエチレン性不飽和基含有化合物（Ｂ）を分散させて、分散液を形成することと、その後、残りのアルカリ可溶性樹脂（Ａ）、エチレン性不飽和基含有化合物（Ｂ）、光開始剤（Ｃ）、有機溶媒（Ｄ）、式（１）で表される化合物（Ｅ）、顔料（Ｆ）、および染料（Ｇ）を混合することを含む。
あるいは、感光性樹脂組成物は、まず、一部の有機溶媒（Ｄ）に一部の式（１）で表される化合物（Ｅ）を分散させて分散液を形成してから、残りを混合し、その後、残りのアルカリ可溶性樹脂（Ａ）、エチレン性不飽和基含有化合物（Ｂ）、光開始剤（Ｃ）、有機溶媒（Ｄ）、式（１）で表される化合物（Ｅ）、顔料（Ｆ）、および染料（Ｇ）を混合することによって作製してもよい。

画素層、保護膜、およびスペーサー
本発明は、上述した感光性樹脂組成物により形成された画素層、保護膜、およびスペーサーを提供する。以下、その作製方法について詳しく説明する。

画素層の形成
本発明の画素層の形成方法は、基板の上のカラー感光性樹脂組成物を塗布することと、その後、ベーキング等の加熱処理を行って中の溶媒を除去し、カラー画素層を形成することとを含む。
例えば、スピンコーティング法、流延（cast）コーティング法、またはロールコーティング法等のコーティング方法により、本発明の溶液状態の感光性樹脂組成物を基板の上にコーティングする。基板は、例えば、無アルカリガラス、ソーダライムガラス、ハードガラス（パイレックス（Pyrex）ガラス）、石英ガラス、または透明導電膜を付着したこれらのガラス等の液晶ディスプレイ用ガラス；光電変換装置（例えば、固体撮像デバイス）用の基板（例えば、シリコン基板）；または、赤、緑、青等の画素着色層を遮断することのできる遮光用ブラックマトリックス（black matrix）が予備形成された基板を含むことができる。
コーティング後、まず、減圧乾燥法により感光性樹脂組成物溶液中の有機溶媒の大部分を除去する。次に、プリベーク（pre-bake）法により残りの有機溶媒を完全に除去し、プリベークコーティング膜を形成する。プロセスの間、減圧乾燥プロセスおよびプリベークプロセスの操作条件は、各成分の種類と配合率によって変わる。一般的に、減圧乾燥プロセスは、０ｍｍＨｇ〜２００ｍｍＨｇの圧力で１秒〜６０秒間行われ、プリベーク処理は、７０℃〜１１０℃の温度で１分〜１５分間行われる。
プリベークの後、所定のパターンを有するフォトマスクを使用して、プリベークコーティング膜に対し露光プロセスを行う。露光プロセスに使用する光は、好ましくは、ｇ線、ｈ線、またはｉ線等の紫外（ＵＶ）線であり、紫外線を出射する装置は、例えば、（超）高圧水銀ランプまたはメタルハライドランプである。
露光プロセスの後、プリベークコーティング膜を２３±２℃の温度で現像液中に浸して、約１５秒〜５分間現像し、プリベークコーティング膜の不必要な部分を除去することによって、基板上に所定のパターンを形成する。現像液は、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、炭酸ナトリウム、炭酸水素ナトリウム、炭酸カリウム、炭酸水素カリウム、ケイ酸ナトリウム、ケイ酸ナトリウムメチル、アンモニア水、エチルアミン、ジエチルアミン、ジメチルエタノールアミン、テトラメチルアンモニウムヒドロキシド、テトラエチルアンモニウムヒドロキシド、コリン、ピロール、ピペリジン、または１，８‐ジアザビシクロ［５，４，０］‐７‐ウンデセン等のアルカリ水溶液含有アルカリ化合物であってもよい。その濃度は、０．００１ｗｔ％〜１０ｗｔ％であり、好ましくは、０．００５ｗｔ％〜５ｗｔ％であり、より好ましくは、０．０１ｗｔ％〜１ｗｔ％である。
そして、基板上のパターンを水で洗浄した後、圧縮空気または圧縮窒素でパターンを空気乾燥させる。最後に、ホットプレートやオーブン等の加熱装置を使用して、パターンに対しポストベーク（post-bake）プロセスを行う。加熱温度は、１５０℃〜２５０℃の範囲に設定し、ホットプレートを使用する時の加熱時間は、５分〜６０分であり、オーブンを使用する時の加熱時間は、１５分〜１５０分である。こうすることによって、パターンを固定し、画素層を形成する。これらのステップを繰り返すことにより、例えば、赤、緑、および青色の画素層を基板上に順番に形成することができる。

保護膜およびスペーサーの形成
本発明の保護膜の形成方法は、まず、透明基板に赤、緑、および青の着色層を形成することと、その後、赤、緑、および青の画素着色層が形成された基板上に透明感光性樹脂組成物をコーティングすることを含む。その後、露光、現像、およびポストベーク等のステップを行って中の溶媒を除去し、カラーフィルター層保護膜を形成する。
本発明のスペーサーの形成方法は、まず、保護膜および画素層が形成された透明基板上に透明導電膜を形成することと、その後、透明導電膜の上に透明感光性樹脂組成物をコーティングすることと、その後、露光、現像、およびポストベーク等のステップを行って、中の溶媒を除去し、スペーサーを形成することを含む。
言い換えると、保護膜を形成したい時は、基板上の画素層の上に感光性樹脂組成物をコーティングし、スペーサーを形成したい時は、基板上の透明導電膜の上に感光性樹脂組成物をコーティングする。
コーティング方法は、例えば、スプレーコーティング（spray coating）法、ロールコーティング（roller coating）法、スピンコーティング（spin coating）法、バーコーティング（bar coating）法、またはインクジェット（ink jet）法であってもよい。コーティング法は、スピンコータ（spin coater）、スピンレスコーティング装置（spin-less coating machine）、またはスリットダイコーティング装置（slit-die coating machine）を使用して行うのが好ましい。
プリベーク処理の条件は、各成分の種類と配合率によって変わる。一般的に、プリベーク処理は、７０℃〜９０℃の温度で１分〜１５分間行われる。プリベーク処理を行った後、形成されるプリベークコーティング膜の厚さは、０．１５μｍ〜８．５μｍであり、好ましくは、０．１５μｍ〜６．５μｍであり、より好ましくは、０．１５μｍ〜４．５μｍである。理解すべきこととして、プリベークコーティング膜の厚さは、溶媒が除去された後の厚さを指す。
プリベークコーティング膜を形成した後、ホットプレートやオーブン等の加熱装置を使用して、加熱プロセスを行う。加熱処理の温度は、一般的に、１５０℃〜２５０℃であり、ホットプレートを使用する時の加熱時間は、５分〜３０分であり、オーブンを使用する時の加熱時間は、３０分〜９０分である。
硬化性樹脂組成物が光開始剤を含む時、必要であれば、基板の表面に硬化性樹脂組成物をコーティングし、且つプリベーク法で溶媒を除去してプリベークコーティング膜を形成した後、プリベークコーティング膜に対して露光処理を行う。
露光プロセスに使用する光は、例えば、可視光、紫外線、遠紫外線、電子ビーム（electron beam）、またはＸ線等であってもよい。しかしながら、紫外線を含み、且つ１９０ｎｍ〜４５０ｎｍの波長を有する光が好ましい。
露光処理の露光量は、好ましくは、１００Ｊ／ｍ2〜２０，０００Ｊ／ｍ2であり、より好ましくは、１５０Ｊ／ｍ2〜１０，０００Ｊ／ｍ2である。
露光処理を行った後、ホットプレートやオーブン等の加熱装置を使用して、加熱処理を選択的に行うことができる。加熱処理の温度は、通常、１５０℃〜２５０℃であり、ホットプレートを使用する時の加熱時間は、５分〜３０分であり、オーブンを使用する時の加熱時間は、３０分〜９０分である。
本発明の保護膜およびスペーサーの形成は、画素層または透明導電膜の上のみに限定されず、基板または基板上の各素子に形成されてもよい。

薄膜トランジスタおよびカラーフィルターの製造方法
本発明は、上述した保護膜を含有する薄膜トランジスタを提供する。本発明は、また、上述したスペーサー、画素層、または保護膜を含有するカラーフィルターを提供する。以下、その作製方法について、詳しく説明する。

薄膜トランジスタ
具体的に説明すると、本発明の薄膜トランジスタの製造方法は、例えば、以下のステップを含む：スピンコーティング法、流延コーティング法、またはロールコーティング法等の方法により、アルミニウム、クロム、窒化ケイ素、または非結晶シリコン薄膜等を含有するガラス基板またはプラスチック基板の上に本発明の感光性樹脂組成物をコーティングして、フォトレジスト等を形成する。そして、プリベーク、露光、現像、およびポストベーク処理等のステップを行って、感光性樹脂パターンを形成する。その後、エッチングおよびフォトレジスト剥離のステップを行って、本発明の感光性樹脂組成物を硬化することにより形成された硬化物を含有する薄膜トランジスタ（thin-film transistor, TFT）を得る。

カラーフィルター
具体的に説明すると、本発明のカラーフィルターの製造方法は、例えば、以下のステップを含む：赤、緑、青の画素着色層および保護膜を形成した後、真空環境において、２２０℃〜２５０℃の温度で保護膜層の表面にスパッタリングを行い、ＩＴＯ保護膜を形成する。必要であれば、ＩＴＯ保護膜をエッチングして、配線を行い、その後、ＩＴＯ保護膜の表面に配向膜をコーティングする。このようにして、本発明の感光性樹脂組成物を硬化させることにより形成された硬化物を含有するカラーフィルターを製造する。

液晶表示装置の製造方法
本発明は、上述した薄膜トランジスタまたはカラーフィルターを含有する液晶表示装置を提供する。
まず、カラーフィルターの製造方法により形成されたカラーフィルターと、薄膜トランジスタの形成方法により形成され他薄膜トランジスタを備えた基板を互いに対向配置させ、二者間にギャップ（セルギャップ（cell gap））を置く。そして、接着剤でカラーフィルターと基板の周辺部を接着して、注入孔を残す。その後、注入孔を介して基板の表面と接着剤によって分離されたギャップに液晶を充填してから、注入孔を密封して、液晶層を形成する。その後、液晶層と接触するカラーフィルターの別の側と液晶層と接触する基板の別の側のそれぞれに偏光板を提供して、液晶表示デバイスを製造する。次に、液晶表示デバイスの一側に表面光源を配置し、液晶表示装置を形成する。使用した液晶、すなわち、液晶化合物または液晶組成物は、特に限定されず、任意の液晶化合物または液晶組成物を使用することができる。
さらに、カラーフィルターの製造に使用した液晶配向膜は、液晶分子の配向を制限するために使用されるものであり、特に限定されない。無機物または有機物の両方を使用することができるが、本発明はこれに限定されない。
実施形態を例に挙げて本発明を詳しく説明するが、本発明はこれらの実施形態において開示された内容のみに限定されるものではない。

[実例]
第１アルカリ可溶性樹脂（Ａ−１）の合成例
以下、第1アルカリ可溶性樹脂（Ａ−１）の合成例Ａ−１−１〜合成例Ａ−１−３について説明する。

合成例１：不飽和基を有する第１アルカリ可溶性樹脂（Ａ−１−１）の製造方法
１００重量部のフルオレンエポキシ化合物（新日鐵化学株式会社製のＥＳＦ‐３００；エポキシ当量：２３１）、３０重量部のアクリル酸、０．３重量部のベンジルトリエチルアンモニウムクロリド、０．１重量部の２，６‐ジ‐ｔ‐ブチル‐ｐ‐クレゾール、および１３０重量部のプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートを５００ｍＬの四つ口フラスコに連続的に添加した。供給速度を２５重量部／分に制御した。反応プロセスの温度を１００℃〜１１０℃に維持して、１５時間反応させた。このようにして、固体成分濃度が５０ｗｔ％の淡黄色の透明混合物（Ａ−１−１’）を得た。
そして、１００重量部の淡黄色の透明混合物（Ａ−１−１’）を２５重量部のグリコールエーテルアセテートに溶解し、６重量部のテトラヒドロフタル酸無水物と１３重量部のベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物を同時に添加した。そして、混合物を１００℃〜１１５℃に加熱して、２時間反応させた。このようにして、酸価が９８．０ｍｇＫＯＨ／ｇの不飽和基を有する樹脂（以下、Ａ−１−１とする）を得た。

合成例２：不飽和基を有する第１アルカリ可溶性樹脂（Ａ−１−２）の製造方法
１００重量部の合成例１で得られた淡黄色の透明混合物（Ａ−１−１’）を２５重量部のグリコールエーテルアセテートに溶解し、１３重量部のベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物を添加した。混合物を９０℃〜９５℃で２時間反応させてから、６重量部のテトラヒドロフタル酸無水物を添加し、混合物を９０℃〜９５℃で４時間反応させた。このようにして、酸価が９９．０ｍｇＫＯＨ／ｇの不飽和基を有する樹脂（以下、Ａ−１−２とする）を得た。

合成例３：不飽和基を有する第１アルカリ可溶性樹脂（Ａ−１−３）の製造方法
４００重量部のエポキシ化合物（日本化薬株式会社製のＮＣ‐３０００；エポキシ当量：２８８）、１０２重量部のアクリル酸、０．３重量部のｐ−メトキシフェノール、５重量部のトリフェニルホスフィン、および２６４重量部のプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートを反応フラスコに入れた。反応プロセスの温度を９５℃に維持して、９時間反応させ、酸価が２．２ｍｇＫＯＨ／ｇの中間生成物を得た。そして、１５１重量部のテトラヒドロフタル酸無水物を添加し、９５℃で４時間反応させ、酸価１０２ｍｇＫＯＨ／ｇおよび重量平均分子量３，２００の不飽和基を有する樹脂（以下、Ａ−１−３とする）を得た。

第２アルカリ可溶性樹脂（Ａ−２）の合成例
以下、第２アルカリ可溶性樹脂（Ａ−２）の合成例Ａ−２−１〜合成例Ａ−２−３について説明する。

合成例４：第２アルカリ可溶性樹脂（Ａ−２−１）の製造方法
１重量部の２，２’−アゾビスイソブチロニトリル、２４０重量部のプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、２０重量部のメタクリレート、１５重量部のスチレン、３５重量部のベンジルメタクリレート、１０重量部のグリセロールモノメタクリレート、および２０重量部のＮ−フェニルマレイミドを攪拌機と凝縮機を備えた丸底フラスコに入れて、フラスコを窒素で充填した。そして、ゆっくり攪拌を行い、温度を８０℃まで上げて、各反応物を均一に混合し、重合反応を４時間行った。そして、混合物を１００℃に加熱して、０．５重量部の２，２’−アゾビスイソブチロニトリルを添加し、１時間重合して、別のアルカリ可溶性樹脂（以下、Ａ−２−１とする）を得た。

合成例５：第２アルカリ可溶性樹脂（Ａ−２−２）の製造方法
２重量部の２，２’−アゾビスイソブチロニトリル、３００重量部のジプロピレングリコールメチルエーテル、１５重量部のメタクリレート、１５重量部の２−ヒドロキシエチルアクリレート、および７０重量部のベンジルメタクリレートを攪拌機と凝縮機を備えた丸底フラスコに入れて、フラスコを窒素で充填した。そして、ゆっくり攪拌を行い、温度を８０℃まで上げて、各反応物を均一に混合し、重合反応を３時間行った。そして、混合物を１００℃に加熱して、０．５重量部の２，２’−アゾビスイソブチロニトリルを添加し、１時間重合して、別のアルカリ可溶性樹脂（以下、Ａ−２−２とする）を得た。

合成例６：第２アルカリ可溶性樹脂（Ａ−２−３）の製造方法
２重量部の２，２’−アゾビスイソブチロニトリル、３００重量部のジプロピレングリコールメチルエーテル、２０重量部の２−メタクリロイルオキシエチルコハク酸モノエステル、１５重量部のジシクロペンテニルオキシエチルアクリレート、および６５重量部のベンジルメタクリレートを攪拌機と凝縮機を備えた丸底フラスコに入れて、フラスコを窒素で充填した。そして、ゆっくり攪拌を行い、温度を８０℃まで上げて、各反応物を均一に混合し、重合反応を３時間行った。そして、混合物を１００℃に加熱して、０．５重量部の２，２’−アゾビスイソブチロニトリルを添加し、１時間重合して、別のアルカリ可溶性樹脂（以下、Ａ−２−３とする）を得た。

感光性樹脂組成物の実例
以下、実例１〜実例１０、および比較例１〜比較例５の感光性樹脂組成物について説明する。

実例１
１００重量部の第２アルカリ可溶性樹脂Ａ−２−１（以下、Ａ−２−１とする）、１０重量部の式（７）で表される化合物（以下、Ｂ−１−１とする）、５０重量部のカプロラクトン変性ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート（以下、Ｂ−２−１とする）、２０重量部の２−メチル−１−（４−メチルチオフェニル）−２−モルフォリノ−１−プロパノン（以下、Ｃ−１とする）、および１重量部の式（１）で表される化合物（Ｒ’は、メチル基を示す、ｍ＝０）（以下、Ｅ−１とする）を５００重量部のプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート（以下、Ｄ−１とする）に添加して、混合物を振動式攪拌機で攪拌し、実例１の感光性樹脂組成物を得た。得られた感光性樹脂組成物を以下の各評価方法で評価し、その結果を表２に示した。

実例２〜実例１０
実例２〜実例１０の感光性樹脂組成物を実例１と同じステップで作製したが、相違点は、感光性樹脂組成物の成分の種類と使用量を変えたことである（表２に示す）。得られた感光性樹脂組成物を以下の各評価方法で評価し、その結果を表２に示した。

比較例１〜比較例５
比較例１〜比較例５の感光性樹脂組成物を実例１と同じステップで作製したが、相違点は、感光性樹脂組成物の成分の種類と使用量を変えたことである（表３に示す）。得られた感光性樹脂組成物を以下の各評価方法で評価し、その結果を表３に示した。
表２および表３の略称に対応する化合物は、以下の通りである。
略称 化合物
A-1-1 合成例1の不飽和基を有する第1アルカリ可溶性樹脂(A-1-1)
A-1-2 合成例2の不飽和基を有する第1アルカリ可溶性樹脂(A-1-2)
A-1-3 合成例3の不飽和基を有する第1アルカリ可溶性樹脂(A-1-3)
A-2-1 合成例4の別のアルカリ可溶性樹脂(A-2-1)
A-2-2 合成例5の別のアルカリ可溶性樹脂(A-2-2)
A-2-3 合成例6の別のアルカリ可溶性樹脂(A-2-3)
B-1-1 式(7)に示した化合物 p=12
B-1-2 式(8)に示した化合物 q=6
B-1-3 式(9)に示した化合物
B-1-4 式(10)に示した化合物
B-2-1 カプロラクトン変性ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート
B-2-2 ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート
B-2-3 ペンタエリスリトールテトラアクリレート
C-1 2-メチル-1-(4-メチルチオフェニル)-2-モルフォリノ-1-アセトン
C-2 2,2’-ビス(2,4-ジクロロフェニル)-4,4’,5,5’-テトラフェニルビイミダゾール
C-3 1-[4-(フェニルチオ)フェニル]オクタン-1,2-ジオン 2-(O-ベンゾイル-オキシム)
C-4 4,4’- ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン
D-1 プロピレングリコールメチルエーテルアセテート
D-2 エチル3-エトキシプロピオネート
E-1 式（１）で表される化合物、R’1= CH3、R’2= CH3、m= 0
E-2 式（１）で表される化合物、R’1= H、R’2= H、m= 1、R”= CH3
E-3 式（１）で表される化合物、R’1= CH2 C6H5、R’2= CH2 C6H5、m= 2、R”= CH3
E-4 式（１）で表される化合物、R’1= H、R’2= H、m= 2、R”= n-C4H9
E-5 式（１）で表される化合物、R1’= H、R’2= H、m= 0
e-1 “NIKALAC” MX-270

e-2

F-1 C.I.ピグメントR254/C.I.ピグメントY139 = 80/20
F-2 C.I.ピグメントG36/C.I.ピグメントY150 = 60/40
F-3 C.I.ピグメントB15:6
G-1 式(17)で表される化合物、Rc、Rd= -SO3-、e= 0
G-2 式(34)で表される化合物
G-3 C.I.アシッドレッド37
G-4 ディスパースレッド60
H-1 2,2-チオビス(4-メチル-6-t-ブチルフェノール)
H-2 2-(3-t-ブチル-5-メチル-2-ヒドロキシフェニル)-5-クロロフェニルアジド

評価方法
（ａ）現像性
感光性樹脂組成物をスピンコーティング法で１００ｍｍ×１００ｍｍのガラス基板に塗布し、１００ｍｍＨｇの圧力で３０秒間減圧乾燥してから、８０℃の温度で３分間プリベークし、膜厚が２．５μｍのプリベークコーティング膜を形成する。
そして、プリベークコーティング膜に２ｍｌの２ｗｔ％水酸化カリウム水溶液を滴下して、プリベークコーティング膜の溶解に必要な時間ｔ（すなわち、現像時間）を測定した。評価は、以下の基準に基づいて行った。
◎：ｔ≦１５秒
○：１５秒＜ｔ≦２０秒
△：２０秒＜ｔ≦２５秒
×：２５秒＜ｔ

（ｂ）高精度パターン直線性
現像評価後のプリベークコーティング膜に３００Ｊ／ｃｍ2の紫外光（露光機：キャノンＰＬＡ‐５０１Ｆ）を照射し、幅が２５μｍ（ピッチが５０μｍ）の縞状パターンで露光した。そして、プリベークコーティング膜を２３℃で２分間現像液に浸漬してから、純水で洗浄した。その後、２００℃で８０分間ポストベークを行い、ガラス基板上に膜厚が２．０μｍの感光性樹脂層を形成した。
この方法により形成される縞状パターンを観察し、光学顕微鏡を用いて評価した。評価基準は、以下の通りである：
◎：優れた直線性
○：平均的な直線性
×：悪い直線性
評価結果
表２および表３からわかるように、式（１）で表される化合物（Ｅ）を含む感光性樹脂組成物（実例１〜１０）と比較すると、式（１）で表される化合物（Ｅ）を含まない感光性樹脂組成物（比較例１〜比較例５）は、高精度パターン直線性および現像特性が悪い。したがって、感光性樹脂組成物が式（１）で表される化合物（Ｅ）を含まない時は、感光性樹脂組成物の高精度パターン直線性および現像特性が悪いことがわかる。さらに詳しく説明すると、化合物（Ｅ）の使用量が適切な範囲内にある時、より優れた高精度パターン直線性を有する感光性樹脂組成物を製造することができ、さらに現像特性を向上させることができる。
さらに、アルカリ可溶性樹脂（Ａ）が不飽和基を有する第１アルカリ可溶性樹脂（Ａ−１）を含む時（実例８〜１０）、感光性樹脂組成物は、高精度パターン直線性が比較的良好である。したがって、感光性樹脂組成物において、アルカリ可溶性樹脂（Ａ）が不飽和基を有する第１アルカリ可溶性樹脂（Ａ−１）を含む時は、感光性樹脂組成物の高精度パターン直線性が比較的良好であることがわかる。
さらに、エチレン性不飽和基含有化合物（Ｂ）が式（５）で表される化合物および式（６）で表される化合物からなる群より選択される時（実例１〜５および９）、感光性樹脂組成物は、現像特性が比較的良好である。したがって、エチレン性不飽和基含有化合物（Ｂ）が式（５）で表される化合物および式（６）で表される化合物からなる群より選択される時は、感光性樹脂組成物の現像特性が比較的良好であることがわかる。
以上のように、本発明は、保護膜、スペーサー、画素層、カラーフィルター、薄膜トランジスタ、および液晶表示装置に応用することができ、優れた現像特性および高精度パターン直線性を提供することのできる感光性樹脂組成物を提供する。
以上のごとく、この発明を実施形態により開示したが、もとより、この発明を限定するためのものではなく、当業者であれば容易に理解できるように、この発明の技術思想の範囲内において、適当な変更ならびに修正が当然なされうるものであるから、その特許権保護の範囲は、特許請求の範囲および、それと均等な領域を基準として定めなければならない。

Claims (20)

  1. アルカリ可溶性樹脂（Ａ）と、
    エチレン性不飽和基含有化合物（Ｂ）と、
    光開始剤（Ｃ）と、
    有機溶媒（Ｄ）と、
    式（１）で表される化合物（Ｅ）と、
    を含み、
    式（１）
    式（１）において、Ｒ’が、それぞれ独立して、水素原子、炭素数１〜２０の置換または非置換の炭化水素基またはアシル基を示し、
    Ｒ”が、それぞれ独立して、水素原子、炭素数１〜１５の置換または非置換の炭化水素基、アシル基、またはニトロ基を示し、
    ｍが、０、１または２の整数を示し、
    Ｘが、式（２）で表される構造を有する基であり、
    式（２）
    式（２）において、Ｒが、水素原子、または炭素数１〜４のアルキル基を示す感光性樹脂組成物。
  2. 前記アルカリ可溶性樹脂（Ａ）が、少なくとも２つのエポキシ基を有するエポキシ化合物（ａ１）と少なくとも１つのカルボン酸基および少なくとも１つのエチレン性不飽和基を有する化合物（ａ２）との反応生成物をモノマーとして含む重合体である不飽和基を有する第１アルカリ可溶性樹脂（Ａ−１）を含有する請求項１に記載の感光性樹脂組成物。
  3. 前記少なくとも２つのエポキシ基を有するエポキシ化合物（ａ１）が、式（３）で表される化合物および式（４）で表される化合物からなる群より選択され、
    式（３）
    式（３）において、Ｒ1、Ｒ2、Ｒ3、およびＲ4が、それぞれ独立して、水素原子、ハロゲン、または炭素数１〜５のアルキル基を示し、

    式（４）
    式（４）において、Ｒ5〜Ｒ18が、それぞれ独立して、水素原子、ハロゲン、炭素数１〜８のアルキル基、または炭素数６〜１５のアリール基を示し、
    ｎが、０〜１０の整数を示す請求項２に記載の感光性樹脂組成物。
  4. 前記アルカリ可溶性樹脂（Ａ）の合計使用量１００重量部に対し、前記不飽和基を有する第１アルカリ可溶性樹脂（Ａ−１）の合計使用量が、１０重量部〜８０重量部である請求項２に記載の感光性樹脂組成物。
  5. 前記エチレン性不飽和基含有化合物（Ｂ）が、式（５）で表される化合物および式（６）で表される化合物からなる群より選択され、
    式（５）
    式（６）
    式（５）および式（６）において、Ｅが、それぞれ独立して、−（（ＣＨ2）zＣＨ2Ｏ）−または−（（ＣＨ2）zＣＨ（ＣＨ3）Ｏ）−を示し、ｚが、それぞれ独立して、１〜１０の整数を示し、Ｙ1およびＹ2が、それぞれ独立して、アクリル基、メタクリル基、水素原子、またはカルボキシル基を示し、
    式（５）において、Ｙ1で表わされる前記アクリル基と前記メタクリル基の合計が、３または４であり、ｐが、それぞれ独立して、０〜１０の整数を示し、各ｐの合計が、１〜４０の整数であり、
    式（６）において、Ｙ2で表わされる前記アクリル基と前記メタクリル基の合計が、５または６であり、ｑが、それぞれ独立して、０〜１０の整数を示し、各ｑの合計が、１〜６０の整数である請求項１に記載の感光性樹脂組成物。
  6. 前記アルカリ可溶性樹脂（Ａ）の合計使用量１００重量部に対し、前記式（５）で表される化合物および前記式（６）で表される化合物からなる群より選択された前記少なくとも１つの化合物（Ｂ−１）の使用量が、１０重量部〜１００重量部である請求項５に記載の感光性樹脂組成物。
  7. 前記アルカリ可溶性樹脂（Ａ）の合計使用量１００重量部に対し、前記エチレン性不飽和基含有化合物（Ｂ）の使用量が、６０重量部〜６００重量部であり、前記光開始剤（Ｃ）の使用量が、２０重量部〜２００重量部であり、前記有機溶媒（Ｄ）の使用量が、５００重量部〜５０００重量部であり、前記式（１）で表される化合物（Ｅ）の使用量が、３重量部〜３０重量部である請求項１に記載の感光性樹脂組成物。
  8. 顔料（Ｆ）をさらに含む請求項１に記載の感光性樹脂組成物。
  9. 前記アルカリ可溶性樹脂（Ａ）の合計使用量１００重量部に対し、前記顔料（Ｆ）の使用量が、４０重量部〜４００重量部である請求項８に記載の感光性樹脂組成物。
  10. 染料（Ｇ）をさらに含む請求項８に記載の感光性樹脂組成物。
  11. 前記アルカリ可溶性樹脂（Ａ）の合計使用量１００重量部に対し、前記染料（Ｇ）の使用量が、３重量部〜３０重量部である請求項１０に記載の感光性樹脂組成物。
  12. 請求項１〜７のいずれか１項に記載の前記感光性樹脂組成物により形成された保護膜。
  13. 請求項１〜７のいずれか１項に記載の前記感光性樹脂組成物により形成されたスペーサー。
  14. 請求項１〜１１のいずれか１項に記載の前記感光性樹脂組成物により形成された画素層。
  15. 請求項１２に記載の前記保護膜を含有する薄膜トランジスタ。
  16. 請求項１２に記載の前記保護膜を含有するカラーフィルター。
  17. 請求項１３に記載の前記スペーサーを含有するカラーフィルター。
  18. 請求項１４に記載の前記画素層を含有するカラーフィルター。
  19. 請求項１５に記載の前記薄膜トランジスタを含有する液晶表示装置。
  20. 請求項１６〜１８のいずれか１項に記載の前記カラーフィルターを含有する液晶表示装置。
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