JP2014170995A - 振動デバイス、電子機器及び移動体 - Google Patents

Abstract

【課題】小型化され優れた性能を発揮する振動デバイスの提供。
【解決手段】水晶振動子１は、第１振動腕１２ａの第１励振電極１３から延びる第１電極パターン１３ａが、基部１１の主面１１ｂの第１電極パッド１８に接続され、第１電極パッド１８から延びる第１引き回しパターン１８ａが、基部１１の第２端部１１ｃの側面１１ｄを介して基部１１の主面１１ｅに引き回され、第２振動腕１２ｂの第２励振電極１４から延びる第２電極パターン１４ａが、基部１１の主面１１ｅの第２電極パッド１９に接続され、第２電極パッド１９から延びる第２引き回しパターン１９ａが、基部１１の第１端部１１ａの側面１１ｆを介して基部１１の主面１１ｂに引き回され、第１電極パッド１８が、導電性接着剤３０を介して内部端子２４ａに固定され、第２電極パッド１９の第１電極パッド１８と平面視で重なる領域と、内部端子２４ｂとが、金属ワイヤー４０で接続されている。
【選択図】図１

Description

本発明は、振動デバイス、この振動デバイスを備えている電子機器及び移動体に関する。

従来、振動デバイスの一例としての圧電振動子においては、一対の振動腕部と、振動腕部の基端側を一体的に固定する基部とを備え、一方のマウント電極が、基部の一方の面上に形成され、他方のマウント電極が、一方のマウント電極に対して非対向状態となるように基部の他方の面上に形成されている圧電振動片を、ケース内に収納している構成が知られている（例えば、特許文献１参照）。

特開２００９−１４７７６５号公報

上記圧電振動子は、実施の形態において、圧電振動片の一方のマウント電極がバンプによってインナーリードに固定され、他方のマウント電極がワイヤーによって円筒状のケースに内接する環状のステムに固定されている。

図１０は、従来の圧電振動片の概略構成を示す模式図であり、図１０（ａ）は、Ｘ逆相モードの屈曲振動を併せて示す模式平面図、図１０（ｂ）は、Ｘ同相モードの屈曲振動を併せて示す模式平面図である。
図１０に示すように、従来の圧電振動片９１は、一対の振動腕部９２と、振動腕部９２の基端側（根元側）を一体的に固定する基部９３とを備え、音叉型形状に構成されている。
圧電振動片９１は、一方の励振電極９４から引き出された一方のマウント電極９５が、基部９３の一方の面９３ａ上に形成され、他方の励振電極９６から引き出された他方のマウント電極９７が、一方のマウント電極９５に対して非対向状態（平面視で重ならない状態）となるように基部９３の他方の面９３ｂ上に形成されている。
そして、図１０（ａ）に示すように、圧電振動片９１は、一方のマウント電極９５が、バンプ９８によってインナーリード９９に圧着固定されている。

近年、振動デバイスの小型化の進展に伴い、圧電振動片９１の更なる小型化が要求されており、上記圧電振動子は、この圧電振動片９１の小型化により一対の振動腕部９２は元より、基部９３のスペースが更に小さくなることになる。
これにより、上記圧電振動子は、圧電振動片９１のバンプ９８によるインナーリード９９への固定によって基部９３の強固に固定される領域と、一対の振動腕部９２とが更に接近することになる。
このことから、上記圧電振動子は、図１０（ａ）に示す一対の振動腕部９２の屈曲振動における本来の振動モード（メインモード）であるＸ逆相モード（一対の振動腕部９２が互いに離れる方向の矢印Ａ方向と、互いに近付く方向の矢印Ｂ方向とに交互に変位する）と、図１０（ｂ）に示す不要振動モードであるＸ同相モード（一対の振動腕部９２が互いに同方向の矢印Ａ１方向と矢印Ｂ１方向とに交互に変位する）との共振周波数が接近する現象が生じる。

この結果、上記圧電振動子は、メインモードのＸ逆相モードとＸ同相モードとが結合して、圧電振動片９１全体が回動（揺動）するような不要な振動が生じることになる。これにより、上記圧電振動子は、基部９３からバンプ９８を介してインナーリード９９などへ振動エネルギーが漏洩する（振動漏れ）ことになる。この振動漏れにより、上記圧電振動子は、Ｑ値が低下し、ＣＩ値が増大してしまい性能が低下することになる。

この振動漏れを低減する方策としては、図１０（ｂ）に示すように、圧電振動片９１のインナーリード９９への固定を、バンプ９８による固定から比較的柔軟性（弾性）のある導電性接着剤３０のような部材による固定に変更することが考えられる。
この際、導電性接着剤３０は、Ｘ逆相モードとＸ同相モードとの共振周波数を接近させないようにするために、一対の振動腕部９２から離れた、基部９３の一対の振動腕部９２側の端部９３ｃとは反対側の端部９３ｄ寄りの領域に塗布することが必要となる。

しかしながら、導電性接着剤３０を上記のように塗布した場合には、その流動性により基部９３の端部９３ｄの側面にまで、導電性接着剤３０が濡れ広がる虞がある。
これにより、上記圧電振動子は、他方のマウント電極９７から引き出され、基部９３の端部９３ｄの側面などを経由して、紙面左側の振動腕部９２の励振電極９６に向かう引き回しパターン９７ａと、一方のマウント電極９５とが、濡れ広がった導電性接着剤３０を介して短絡する虞がある。

本発明は、上記課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態または適用例として実現することが可能である。

［適用例１］本適用例にかかる振動デバイスは、基部、前記基部の第１端部から延びる一対の振動腕、前記一対の振動腕のそれぞれに設けられている一対の励振電極を含む振動片と、前記振動片が固定されているベース基板と、を備え、前記一対の振動腕のうち第１振動腕の、前記一対の励振電極のうち第１励振電極から引き出されている第１電極パターンは、前記基部の一方の主面に設けられている第１電極パッドに接続され、前記第１電極パッドから引き出されている第１引き回しパターンは、平面視で前記基部の前記第１端部とは反対側の第２端部の側面を介して前記基部の他方の主面に引き回され、前記一対の振動腕のうち第２振動腕の、前記一対の励振電極のうち第２励振電極から引き出されている第２電極パターンは、前記基部の前記他方の主面に設けられている第２電極パッドに接続され、前記第２電極パッドから引き出されている第２引き回しパターンは、前記基部の前記第１端部の側面を介して前記基部の前記一方の主面に引き回され、前記第１電極パッドが、導電性接着剤を介して前記ベース基板に固定され、前記第２電極パッドにおける前記第１電極パッドと平面視で重なる領域と、前記ベース基板に設けられている端子とが、導電性の線材で接続されていることを特徴とする。

これによれば、振動デバイスは、基部の一方の主面に設けられている第１電極パッド（一方のマウント電極に相当）が、導電性接着剤を介してベース基板（インナーリードに相当）に固定され、基部の他方の主面に設けられている第２電極パッド（他方のマウント電極に相当）における第１電極パッドと平面視で重なる領域と、ベース基板に設けられている端子（ステムに相当）とが、導電性の線材（ワイヤーに相当）で接続されている。
この際、振動デバイスは、第１電極パッドから引き出されている第１引き回しパターンが、平面視で基部の第１端部とは反対側の第２端部の側面を介して基部の他方の主面に引き回され、第２電極パッドから引き出されている第２引き回しパターンが、基部の第１端部の側面を介して基部の一方の主面に引き回されている。
これにより、振動デバイスは、例えば、導電性接着剤が基部の第２端部寄りの領域に塗布され、基部の第２端部の側面に濡れ広がった場合でも、基部の第２端部の側面には、第１電極パッドから引き出されている第１引き回しパターンが設けられていることから、基部の第２端部の側面を介した第１電極パッドと第２電極パッドとの短絡を回避できる。

また、振動デバイスは、第２電極パッドにおける第１電極パッドと平面視で重なる領域に、導電性の線材が接続されていることから、例えば、線材をワイヤーボンディング法で接続する際に、第２電極パッドに熱、超音波、圧力などが伝わりやすくなり、線材を確実に固定することができる。
これらにより、振動デバイスは、小型化され信頼性が高く優れた性能を発揮する振動デバイスとしての、例えば、振動子を提供することができる。

［適用例２］上記適用例にかかる振動デバイスにおいて、前記基部の前記第１端部における前記一対の振動腕の間から、前記一対の振動腕に沿って延びる突出部を有することが好ましい。

これによれば、振動デバイスは、基部の第１端部における一対の振動腕の間から、一対の振動腕に沿って延びる突出部を有することから、基部の一方の主面における第１電極パッドと、第２電極パッドから基部の第１端部の側面を介して一方の主面に引き回されている第２引き回しパターンとの間隔を、突出部によって部分的に広くすることができる。
この結果、振動デバイスは、例えば、導電性接着剤が意図しない範囲に濡れ広がった場合でも、互いに極性が異なる第１電極パッドと第２引き回しパターンとの、導電性接着剤を介した短絡を回避しやすくなる。

［適用例３］上記適用例にかかる振動デバイスにおいて、前記基部は、前記第１端部と前記第２端部との間を通り、前記一対の振動腕が延びる第１方向に対して直交する第２方向に沿う第２方向仮想線から、前記第１端部までの前記第１方向に沿う距離が、前記一対の振動腕間の中心を通り、前記第１方向に沿う第１方向仮想線から離れるに従い短くなるように設けられている第１縮幅部を含むことが好ましい。

これによれば、振動デバイスは、基部が換言すれば基部における第１端部の両端から中心に近付くに従い第１方向に沿う領域（幅）が広くなる第１縮幅部を含むことから、基部の剛性が向上することになる。
この結果、振動デバイスは、基部における第１方向の振動が抑制され、基部を介した振動漏れを低減することができる。なお、上記構成の第１縮幅部による基部の剛性向上については、発明者らのシミュレーションを用いた解析により得られた知見に基づいている。

［適用例４］上記適用例にかかる振動デバイスにおいて、前記基部は、前記第２方向仮想線から、前記第２端部までの前記第１方向に沿う距離が、前記第１方向仮想線から離れるに従い短くなるように設けられている第２縮幅部を含むことが好ましい。

これによれば、振動デバイスは、基部が換言すれば基部における第２端部の両端から中心に近付くに従い第１方向に沿う領域（幅）が広くなる第２縮幅部を含むことから、基部の剛性が向上することになる。
この結果、振動デバイスは、基部における第１方向の振動が抑制され、基部を介した振動漏れを低減することができる。なお、上記構成の第２縮幅部による基部の剛性向上については、発明者らのシミュレーションを用いた解析により得られた知見に基づいている。

［適用例５］上記適用例にかかる振動デバイスにおいて、前記振動片を発振させる発振回路を更に備えていることが好ましい。

これによれば、振動デバイスは、振動片を発振させる発振回路を更に備えていることから、上記適用例に記載の効果が反映され優れた性能を発揮する振動デバイスとしての発振器を提供することができる。

［適用例６］本適用例にかかる電子機器は、上記適用例のいずれか一例に記載の振動デバイスを備えていることを特徴とする。

これによれば、本構成の電子機器は、上記適用例に記載の振動デバイスを備えていることから、上記適用例に記載の効果が反映され優れた性能を発揮する電子機器を提供することができる。

［適用例７］本適用例にかかる移動体は、上記適用例のいずれか一例に記載の振動デバイスを備えていることを特徴とする。

これによれば、本構成の移動体は、上記適用例に記載の振動デバイスを備えていることから、上記適用例に記載の効果が反映され優れた性能を発揮する移動体を提供することができる。

第１実施形態の水晶振動子の概略構成を示す模式図であり、（ａ）はリッド側から見た模式平面図、（ｂ）は（ａ）のＣ−Ｃ線での模式断面図、（ｃ）は（ａ）のＤ−Ｄ線での模式断面図。 図１中の水晶振動片の模式平面図であり、（ａ）は水晶振動片の一方側の模式平面図、（ｂ）は水晶振動片の一方側から透視した他方側の模式平面図。 第１実施形態の変形例の水晶振動子の概略構成を示す模式図であり、（ａ）はリッド側から見た模式平面図、（ｂ）は（ａ）のＣ−Ｃ線での模式断面図。 第２実施形態の水晶振動子の概略構成を示す模式図であり、（ａ）はリッド側から見た模式平面図、（ｂ）は（ａ）のＣ−Ｃ線での模式断面図。 図４中の水晶振動片の模式平面図であり、（ａ）は水晶振動片の一方側の模式平面図、（ｂ）は水晶振動片の一方側から透視した他方側の模式平面図。 第２実施形態の変形例の水晶振動子の概略構成を示す模式図であり、（ａ）はリッド側から見た模式平面図、（ｂ）は（ａ）のＣ−Ｃ線での模式断面図。 第３実施形態の水晶発振器の概略構成を示す模式図であり、（ａ）はリッド側から見た模式平面図、（ｂ）は（ａ）のＣ−Ｃ線での模式断面図。 第４実施形態の携帯電話を示す模式斜視図。 第５実施形態の自動車を示す模式斜視図。 従来の圧電振動片の概略構成を示す模式図であり、（ａ）はＸ逆相モードの屈曲振動を併せて示す模式平面図、（ｂ）はＸ同相モードの屈曲振動を併せて示す模式平面図。

以下、本発明を具体化した実施形態について図面を参照して説明する。

（第１実施形態）
最初に、振動デバイスの一例としての水晶振動子について説明する。
図１は、第１実施形態の水晶振動子の概略構成を示す模式図である。図１（ａ）は、リッド（蓋体）側から見た模式平面図であり、図１（ｂ）は、図１（ａ）のＣ−Ｃ線での模式断面図であり、図１（ｃ）は、図１（ａ）のＤ−Ｄ線での模式断面図である。なお、平面図において、リッドは省略してある。
図２は、図１中の水晶振動片の模式平面図であり、図２（ａ）は、水晶振動片の一方側（リッド側）の模式平面図であり、図２（ｂ）は、水晶振動片の一方側から透視した他方側（パッケージベース側）の模式平面図である。
なお、以下の各図において、分かり易くするために、各構成要素の寸法比率は実際と異なる。また、各図中のＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸は、互いに直交する座標軸である。

図１、図２に示すように、水晶振動子１は、振動片としての水晶振動片１０と、水晶振動片１０を収容（収納）するパッケージ２０と、を備えている。
水晶振動片１０は、略矩形平板状の基部１１と、基部１１の＋（プラス）Ｙ側であって、Ｘ軸方向に沿って延びる第１端部１１ａから、Ｙ軸方向に沿って並んで延びる一対の振動腕（１２ａ，１２ｂ）と、一対の振動腕（１２ａ，１２ｂ）のそれぞれに設けられている一対の励振電極（１３，１４）と、を備えている。
水晶振動片１０は、基部１１と基部１１から延びる一対の振動腕（１２ａ，１２ｂ）とによって、その外観から音叉型振動片とも呼ばれている。
水晶振動片１０は、水晶の原石（ランバード）などから所定の角度で切り出された（例えば、水晶のＺ軸（光軸）を厚さ方向とするＺカットなど）一枚の水晶ウエハーを、フォトリソグラフィー、エッチングなどの技術を用いて加工することによって形成される。

一対の振動腕（１２ａ，１２ｂ）のそれぞれは、基部１１に接続されている略角柱状の腕部１５と、腕部１５に接続され、Ｘ軸方向に沿う幅が腕部１５よりも広い略矩形平板状の質量部１６と、を備えている。
Ｚ軸方向と直交する腕部１５の両主面１５ａ，１５ｂのそれぞれには、Ｙ軸方向に沿って延びる有底の溝部１７が形成されている。
図１（ｃ）に示すように、腕部１５の溝部１７を含むＸ軸方向に沿う断面形状は、Ｈ字状となっている。

一対の振動腕（１２ａ，１２ｂ）のうち、第１振動腕１２ａの腕部１５の両主面１５ａ，１５ｂには、互いに極性が異なる一対の励振電極（１３，１４）のうち、第１励振電極１３が、溝部１７の底面及び側面を覆うように設けられている。
そして、第１振動腕１２ａの腕部１５の両側面１５ｃ，１５ｄには、一対の励振電極（１３，１４）のうち、第２励振電極１４が設けられている。なお、両側面１５ｃ，１５ｄの第２励振電極１４は、質量部１６を介して繋がっている。

また、一対の振動腕（１２ａ，１２ｂ）のうち、第２振動腕１２ｂの腕部１５の両主面１５ａ，１５ｂには、第２励振電極１４が溝部１７の底面及び側面を覆うように設けられている。
そして、第２振動腕１２ｂの腕部１５の両側面１５ｃ，１５ｄには、第１励振電極１３が設けられている。なお、両側面１５ｃ，１５ｄの第１励振電極１３は、質量部１６を介して繋がっている。

第１振動腕１２ａの主面１５ｂに設けられている第１励振電極１３からＹ軸方向に沿って基部１１に引き出されている第１電極パターン１３ａは、基部１１の一方の主面１１ｂ（主面１５ｂと同一面）の−（マイナス）Ｙ側寄りに設けられているＸ軸方向に長い略矩形状の第１電極パッド１８に接続されている。
第１電極パッド１８から引き出されている第１引き回しパターン１８ａは、平面視で基部１１の第１端部１１ａとは反対側の第２端部１１ｃの側面１１ｄを介して、基部１１の他方の主面１１ｅ（主面１５ａと同一面）に引き回されている。
そして、第１引き回しパターン１８ａは、Ｙ軸方向に沿って延びて第１振動腕１２ａの主面１５ａに設けられている第１励振電極１３に接続されている。なお、第１引き回しパターン１８ａは、第２端部１１ｃの側面１１ｄに、べた状に設けられている必要性はなく、部分的に設けられている構成でもよい。
また、第２振動腕１２ｂの側面１５ｄに設けられている第１励振電極１３と、第１電極パッド１８とは、基部１１の＋Ｘ側であって、Ｙ軸方向に沿って延びる側面１１ｇを介して引き回しパターン１８ｂにより接続されている。

第２振動腕１２ｂの主面１５ａに設けられている第２励振電極１４から引き出されている第２電極パターン１４ａは、基部１１の他方の主面１１ｅの若干＋Ｙ側寄りに設けられている略矩形状の第２電極パッド１９に接続されている。
第２電極パッド１９から引き出されている第２引き回しパターン１９ａは、基部１１の第１端部１１ａの側面１１ｆを介して基部１１の一方の主面１１ｂに引き回されている。
そして、第２引き回しパターン１９ａは、第２振動腕１２ｂの側面１５ｃから一方の主面１１ｂに回りこんでいる第１励振電極１３の端部を迂回して、第２振動腕１２ｂの主面１５ｂに設けられている第２励振電極１４に接続されている。
また、第１振動腕１２ａの側面１５ｄに設けられている第２励振電極１４と、第２電極パッド１９とは、基部１１の第１端部１１ａの側面１１ｆを介して第２引き回しパターン１９ａにより接続されている。

これらの構成により、水晶振動片１０の第１電極パッド１８は、第１振動腕１２ａ及び第２振動腕１２ｂの第１励振電極１３に接続され、第２電極パッド１９は、第１振動腕１２ａ及び第２振動腕１２ｂの第２励振電極１４に接続されていることになる。

水晶振動片１０の第１励振電極１３、第２励振電極１４、第１電極パッド１８、第２電極パッド１９、第１電極パターン１３ａ、第２電極パターン１４ａ、第１引き回しパターン１８ａ、第２引き回しパターン１９ａ、引き回しパターン１８ｂは、例えば、Ｃｒ（クロム）を下地層とし、その上にＡｕ（金）が積層された構成の金属被膜からなる。
なお、各側面１５ｃ，１５ｄ，１１ｄ，１１ｆ，１１ｇに設けられている上記電極及びパターン類の一部は、加工上の都合などにより、各主面１１ｂ，１１ｅ，１５ａ，１５ｂの外縁部分に回り込んでいる。

パッケージ２０は、平面形状が略矩形で凹部２２が設けられた、ベース基板としてのパッケージベース２１と、パッケージベース２１の凹部２２を覆う平板状のリッド（蓋体）２３と、を備え、略直方体形状に形成されている。

パッケージベース２１には、セラミックグリーンシートを成形して積層し焼成した酸化アルミニウム質焼結体、ムライト質焼結体、窒化アルミニウム質焼結体、炭化珪素質焼結体、ガラスセラミックス焼結体などのセラミックス系の絶縁性材料、水晶、ガラス、シリコン（高抵抗シリコン）などが用いられている。
リッド２３には、パッケージベース２１と同材料、または、コバール、４２アロイなどの金属が用いられている。

パッケージベース２１の凹部２２の内底面２２ａ（内側の底面）には、水晶振動片１０の第１電極パッド１８に対向する位置に、矩形状の内部端子２４ａが設けられている。また、内底面２２ａの、平面視で水晶振動片１０の第１振動腕１２ａと第２振動腕１２ｂとの間となる位置には、端子としての矩形状の内部端子２４ｂが設けられている。
パッケージベース２１の凹部２２とは反対側の外底面２５（外側の底面）には、矩形状の電極端子２６ａ，２６ｂが設けられている。
電極端子２６ａ，２６ｂは、図示しない内部配線により内部端子２４ａ，２４ｂと電気的に接続されている。詳述すると、電極端子２６ａは、内部端子２４ａと電気的に接続され、電極端子２６ｂは、内部端子２４ｂと電気的に接続されている。
内部端子２４ａ，２４ｂ、電極端子２６ａ，２６ｂは、例えば、Ｗ（タングステン）、Ｍｏ（モリブデン）などのメタライズ層にＮｉ（ニッケル）、Ａｕ（金）などの各被膜がメッキなどにより積層された構成の金属被膜からなる。

水晶振動子１は、水晶振動片１０の基部１１の一方の主面１１ｂに設けられている第１電極パッド１８が、金属フィラーなどの導電性物質が混合された、エポキシ樹脂系、シリコーン樹脂系、ポリイミド樹脂系、ビスマレイミド樹脂系などの導電性接着剤３０を介して、パッケージベース２１の内部端子２４ａに固定されている。なお、導電性接着剤３０の弾性率は、５０ＭＰａ〜６０００ＭＰａ程度が好ましい。
そして、水晶振動子１は、水晶振動片１０の基部１１の他方の主面１１ｅに設けられている第２電極パッド１９における第１電極パッド１８と平面視で重なる領域と、パッケージベース２１の内底面２２ａに設けられている内部端子２４ｂとが、ワイヤーボンディング法などを用いて、導電性の線材としてのＡｕ（金）、Ａｌ（アルミニウム）などの金属ワイヤー４０で接続されている。
これらにより、水晶振動子１は、水晶振動片１０の第１電極パッド１８が内部端子２４ａと電気的に接続され、第２電極パッド１９が内部端子２４ｂと電気的に接続されていることになる。

水晶振動子１は、水晶振動片１０がパッケージベース２１の内部端子２４ａ，２４ｂに接続された状態で、パッケージベース２１の凹部２２がリッド２３により覆われ、パッケージベース２１とリッド２３とがシームリング、低融点ガラス、接着剤などの接合部材２７で接合されることにより、パッケージベース２１の凹部２２が気密に封止されている。
なお、パッケージベース２１の気密に封止された凹部２２内は、水晶振動片１０の屈曲振動を阻害しないように、減圧された真空状態（真空度の高い状態）となっている。

なお、パッケージ２０は、平板状のパッケージベース２１と凹部を有するリッド２３などから構成されていてもよい。また、パッケージ２０は、パッケージベース２１及びリッド２３の両方に凹部を有していてもよい。

水晶振動子１は、例えば、電子機器などのＩＣチップ内に集積化された発振回路から、電極端子２６ａ，２６ｂ、第１電極パッド１８、第２電極パッド１９などを経由して第１励振電極１３及び第２励振電極１４に印加される駆動信号によって、水晶振動片１０が屈曲振動を励振されて所定の周波数で共振（発振）し、電極端子２６ａ，２６ｂから共振信号（発振信号）を出力する。

上述したように、水晶振動子１は、水晶振動片１０の基部１１の一方の主面１１ｂに設けられている第１電極パッド１８が、導電性接着剤３０を介して、パッケージベース２１の内部端子２４ａに固定され、基部１１の他方の主面１１ｅに設けられている第２電極パッド１９における第１電極パッド１８と平面視で重なる領域と、パッケージベース２１に設けられている内部端子２４ｂとが、金属ワイヤー４０で接続されている。
この際、水晶振動子１は、第１電極パッド１８から引き出されている第１引き回しパターン１８ａが、平面視で基部１１の第１端部１１ａとは反対側の第２端部１１ｃの側面１１ｄを介して基部１１の他方の主面１１ｅに引き回されている、そして、水晶振動子１は、第２電極パッド１９から引き出されている第２引き回しパターン１９ａが、基部１１の第１端部１１ａの側面１１ｆを介して基部１１の一方の主面１１ｂに引き回されている。

これにより、水晶振動子１は、基部１１の第２端部１１ｃの側面１１ｄには、第１電極パッド１８から引き出されている第１引き回しパターン１８ａのみが設けられていることになる。
この結果、水晶振動子１は、例えば、導電性接着剤３０が基部１１の第２端部１１ｃ寄りの領域に塗布され、図１（ｂ）に示すように、基部１１の第２端部１１ｃの側面１１ｄに濡れ広がった場合でも、従来のような、基部１１の第２端部１１ｃの側面１１ｄを介した第１電極パッド１８と第２電極パッド１９との導電性接着剤３０による短絡を回避できる。

また、水晶振動子１は、図２（ｂ）に示すように、第１電極パッド１８と、基部１１の一方の主面１１ｂに引き回されている第２引き回しパターン１９ａとの間隔が、十分に確保可能な構成である。
このことから、水晶振動子１は、互いに極性が異なる第１電極パッド１８と、第２引き回しパターン１９ａ（第２電極パッド１９）との、基部１１の一方の主面１１ｂ側における導電性接着剤３０を介しての短絡を回避できる。

また、水晶振動子１は、第２電極パッド１９における第１電極パッド１８と平面視で重なる領域に、金属ワイヤー４０が接続されていることから、例えば、金属ワイヤー４０をワイヤーボンディング法で接続する際に、第２電極パッド１９に熱、超音波、圧力などが伝わりやすくなり、金属ワイヤー４０を確実に固定することができる。
これらにより、水晶振動子１は、小型化され信頼性が高く優れた性能を発揮する振動子を提供することができる。

また、水晶振動子１は、水晶振動片１０の第１振動腕１２ａ及び第２振動腕１２ｂのそれぞれが、基部１１に接続されている腕部１５と、腕部１５に接続され、Ｘ軸方向に沿った幅が腕部１５よりも広い質量部１６と、を備えていることから、慣性質量の増加によるＱ値の向上効果により、例えば、Ｑ値を維持しながら第１振動腕１２ａ及び第２振動腕１２ｂを短くすることができる。
つまり、水晶振動子１は、質量部１６によってＱ値を維持しつつ、水晶振動片１０の小型化を図ることにより、更なる小型化を実現することができる。

なお、質量部１６は、Ｘ軸方向に沿った幅が先端側と腕部１５側とで異なる（例えば、先端側が広く腕部１５側が狭い）形状としてもよい。具体的には、質量部１６のＹ軸方向に延びる輪郭が、先端側が広く腕部１５側が狭いテーパ状や階段状となっていてもよい。

なお、前述した水晶振動片の屈曲振動におけるメインモードのＸ逆相モードとＸ同相モードとの結合を抑制するためには、Ｘ逆相モードの共振周波数をｆ０、Ｘ同相モードの共振周波数をｆ１としたときに、｜ｆ１−ｆ０｜／ｆ０≧１０％となるように設計することが好ましく、｜ｆ１−ｆ０｜／ｆ０≧２０％となるように設計することがより好ましい。

（変形例）
次に、第１実施形態の変形例について説明する。
図３は、第１実施形態の変形例の水晶振動子の概略構成を示す模式図である。図３（ａ）は、リッド側から見た模式平面図であり、図３（ｂ）は、図３（ａ）のＣ−Ｃ線での模式断面図である。
なお、第１実施形態との共通部分には、同一符号を付して詳細な説明を省略し、第１実施形態と異なる部分を中心に説明する。

図３に示すように、変形例の水晶振動子２は、第１実施形態と比較して、水晶振動片１１０の形状が異なる。
水晶振動片１１０は、第１振動腕１２ａと第２振動腕１２ｂとの間が広くなり、基部１１の第１端部１１ａにおける第１振動腕１２ａ及び第２振動腕１２ｂの間から、第１振動腕１２ａ及び第２振動腕１２ｂに沿って略矩形状に延びる突出部１１１が設けられている。
突出部１１１の他方の主面１１ｅには、第２電極パッド１９が延在され、側面１１ｆには、第２引き回しパターン１９ａが設けられている。また、突出部１１１の一方の主面１１ｂには、加工上の都合などにより第２引き回しパターン１９ａの一部が外縁部分に回り込んでいる以外何も設けられていない。

これによれば、水晶振動子２は、基部１１の第１端部１１ａにおける第１振動腕１２ａと第２振動腕１２ｂとの間から、第１振動腕１２ａ及び第２振動腕１２ｂに沿って延びる突出部１１１を有している。
このことから、水晶振動子２は、基部１１の一方の主面１１ｂにおける第１電極パッド１８と、第２電極パッド１９から基部１１の第１端部１１ａの側面１１ｆを介して一方の主面１１ｂに引き回されている第２引き回しパターン１９ａとの間隔を、突出部１１１によって部分的に広くすることができる。
この結果、水晶振動子２は、導電性接着剤３０が意図しない範囲（例えば、＋Ｙ方向）に濡れ広がった場合でも、互いに極性が異なる第１電極パッド１８と第２引き回しパターン１９ａとの、導電性接着剤３０を介した短絡を更に回避しやすくなる。

なお、第１電極パッド１８のＸ軸方向における中央部分は、突出部１１１との間隔を確保しつつ、図示の形状よりも若干＋Ｙ方向に突出させてもよい。
また、水晶振動子２は、所定の固定力が確保できる場合には、金属ワイヤー４０を第２電極パッド１９における突出部１１１上の領域に接続してもよい。これによれば、水晶振動子２は、金属ワイヤー４０を短くできる。

（第２実施形態）
次に、第２実施形態の水晶振動子について説明する。
図４は、第２実施形態の水晶振動子の概略構成を示す模式図である。図４（ａ）は、リッド側から見た模式平面図であり、図４（ｂ）は、図４（ａ）のＣ−Ｃ線での模式断面図である。図５は、図４中の水晶振動片の模式平面図であり、図５（ａ）は、水晶振動片の一方側の模式平面図であり、図５（ｂ）は、水晶振動片の一方側から透視した他方側の模式平面図である。
なお、第１実施形態との共通部分には、同一符号を付して詳細な説明を省略し、第１実施形態と異なる部分を中心に説明する。

図４、図５に示すように、第２実施形態の水晶振動子３は、第１実施形態と比較して、水晶振動片２１０の形状が異なる。
図５（ａ）に示すように、水晶振動片２１０は、第１振動腕１２ａと第２振動腕１２ｂとの間が広くなり、基部１１が、第１端部１１ａと第２端部１１ｃとの間を通り、第１振動腕１２ａ及び第２振動腕１２ｂが延びる第１方向としてのＹ軸方向に対して直交する第２方向としてのＸ軸方向に沿う第２方向仮想線としてのＸ軸方向基準線Ｘ１から、第１端部１１ａまでのＹ軸方向に沿う距離Ｌ１が、第１振動腕１２ａ及び第２振動腕１２ｂ間の中心を通り、Ｙ軸方向に沿う第１方向仮想線としてのＹ軸方向基準線Ｙ１から、Ｘ軸方向に離れるに従い短くなるように設けられている第１縮幅部２１１を含んで構成されている。
加えて、水晶振動片２１０は、基部１１が、Ｘ軸方向基準線Ｘ１から第２端部１１ｃまでのＹ軸方向基準線Ｙ１に沿う距離Ｌ２が、Ｙ軸方向基準線Ｙ１からＸ軸方向に離れるに従い短くなるように設けられている第２縮幅部２１２を含んで構成されている。

第１縮幅部２１１及び第２縮幅部２１２の外縁（第１端部１１ａ、第２端部１１ｃ）は、曲線状に形成されている。具体的には、第１縮幅部２１１及び第２縮幅部２１２の外縁は、Ｙ軸方向基準線Ｙ１上に中心が設定された曲率が一定の円弧状に形成されている。
なお、水晶のエッチング加工時には、微視的に上記外縁が短い直線の連続した形状に見えるが、このような場合も曲線状に形成されているものとする。
第２電極パッド１９の第２縮幅部２１２側の端部は、この第２縮幅部２１２の外縁形状に合わせて同心の円弧状に形成されている。

ここで、水晶振動片２１０の動作について説明する。
図５に示すように、水晶振動片２１０は、第１電極パッド１８、第２電極パッド１９を介して第１励振電極１３、第２励振電極１４に印加される駆動信号（交番電圧）により電界が生じ、水晶の圧電効果によって、第１振動腕１２ａ及び第２振動腕１２ｂの根元部を支点として図５（ａ）に示す矢印Ａ方向（第１振動腕１２ａ及び第２振動腕１２ｂが互いに離れる方向）と、図５（ｂ）に示す矢印Ｂ方向（第１振動腕１２ａ及び第２振動腕１２ｂが互いに近付く方向）とに交互に撓むように変位する屈曲振動が発生する。

この第１振動腕１２ａ及び第２振動腕１２ｂの屈曲振動により、水晶振動片２１０は、反作用的に基部１１に図５（ａ）に示す矢印Ｅ方向（＋Ｙ方向）及び図５（ｂ）に示す矢印Ｇ方向（−Ｙ方向）の力が交互に働くことになる。

詳述すると、第１振動腕１２ａ及び第２振動腕１２ｂが矢印Ａ方向に撓むと、基部１１のＸ軸方向における中心より＋Ｘ側には、第２振動腕１２ｂの根元部を中心にして、時計回りの方向に力Ｆ１が働く。
一方、基部１１の同中心より−Ｘ側には、第１振動腕１２ａの根元部を中心にして、反時計回りの方向に力Ｆ２が働く。
ここで、力Ｆ１及び力Ｆ２のＸ軸方向の成分は、力の大きさが同じで、且つ力の働く方向が逆であることから、互いに相殺される。
一方、力Ｆ１及び力Ｆ２のＹ軸方向の成分は、力の大きさが同じで、且つ力の働く方向が同じであることから、合成されて矢印Ｅ方向に働く力となり基部１１に作用する。

同様に、第１振動腕１２ａ及び第２振動腕１２ｂが矢印Ｂ方向に撓むと、基部１１の同中心より＋Ｘ側には、第２振動腕１２ｂの根元部を中心にして、反時計回りの方向に力Ｆ３が働く。
一方、基部１１の同中心より−Ｘ側には、第１振動腕１２ａの根元部を中心にして、時計回りの方向に力Ｆ４が働く。
ここで、力Ｆ３及び力Ｆ４のＸ軸方向の成分は、力の大きさが同じで、且つ力の働く方向が逆であることから、互いに相殺される。
一方、力Ｆ３及び力Ｆ４のＹ軸方向の成分は、力の大きさが同じで、且つ力の働く方向が同じであることから、合成されて矢印Ｇ方向に働く力となり基部１１に作用する。

ここで、水晶振動片２１０の基部１１には、第１縮幅部２１１及び第２縮幅部２１２が設けられている。
このことから、水晶振動片２１０は、換言すれば基部１１における第１端部１１ａの両端１１ａ１，１１ａ２から中心（Ｙ軸方向基準線Ｙ１）に近付くに従いＹ軸方向に沿う領域（幅）が広くなる第１縮幅部２１１、及び換言すれば基部１１における第２端部１１ｃの両端１１ｃ１，１１ｃ２からＹ軸方向基準線Ｙ１に近付くに従いＹ軸方向に沿う領域（幅）が広くなる第２縮幅部２１２によって、基部１１の剛性（特に中心部分の剛性）が向上することになる。
この結果、水晶振動片２１０は、基部１１における矢印Ｅ方向及び矢印Ｇ方向の振動が抑制され、基部１１を介した振動漏れを低減することができる。
なお、上記構成の第１縮幅部２１１及び第２縮幅部２１２による基部１１の剛性向上については、発明者らのシミュレーションを用いた解析により得られた知見に基づいている。

上述したように、水晶振動子３は、第１縮幅部２１１及び第２縮幅部２１２によって、水晶振動片２１０の基部１１の剛性が向上することになる。
この結果、水晶振動子３は、水晶振動片２１０の基部１１におけるＹ軸方向（矢印Ｅ方向及び矢印Ｇ方向）の振動が抑制され、基部１１を介したパッケージ２０などへの振動漏れを低減することができる。
なお、水晶振動子３は、水晶振動片２１０の基部１１が、第１縮幅部２１１及び第２縮幅部２１２のいずれか一方のみを含む構成であっても、基部１１の剛性が向上することが、発明者らのシミュレーションを用いた解析により確認されている。
なお、第１縮幅部２１１の外縁は、図中のＹ軸方向基準線Ｙ１との交点と第１端部１１ａの両端１１ａ１，１１ａ２とをそれぞれ直線で結んだ形状としてもよい。
同様に、第２縮幅部２１２の外縁は、図中のＹ軸方向基準線Ｙ１との交点と第２端部１１ｃの両端１１ｃ１，１１ｃ２とをそれぞれ直線で結んだ形状としてもよい。

（変形例）
次に、第２実施形態の変形例について説明する。
図６は、第２実施形態の変形例の水晶振動子の概略構成を示す模式図である。図６（ａ）は、リッド側から見た模式平面図であり、図６（ｂ）は、図６（ａ）のＣ−Ｃ線での模式断面図である。
なお、第１実施形態及び第２実施形態との共通部分には、同一符号を付して詳細な説明を省略し、第２実施形態と異なる部分を中心に説明する。

図６に示すように、変形例の水晶振動子４は、第２実施形態と比較して、水晶振動片３１０の形状が異なる。
水晶振動片３１０は、基部１１の第１端部１１ａにおける第１振動腕１２ａと第２振動腕１２ｂとの間から、第１振動腕１２ａ及び第２振動腕１２ｂに沿って略矩形状に延びる突出部３１１が設けられている。
突出部３１１の他方の主面１１ｅには、第２電極パッド１９が延在され、側面１１ｆには、第２引き回しパターン１９ａが設けられている。また、突出部３１１の一方の主面１１ｂには、加工上の都合などにより第２引き回しパターン１９ａの一部が外縁部分に回り込んでいる以外何も設けられていない。

これによれば、水晶振動子４は、基部１１の第１端部１１ａにおける第１振動腕１２ａと第２振動腕１２ｂとの間から、第１振動腕１２ａ及び第２振動腕１２ｂに沿って延びる突出部３１１を有する。
このことから、水晶振動子４は、基部１１の一方の主面１１ｂにおける第１電極パッド１８と、第２電極パッド１９から基部１１の第１端部１１ａの側面１１ｆを介して一方の主面１１ｂに引き回されている第２引き回しパターン１９ａとの間隔を、突出部３１１によって部分的に広くすることができる。
この結果、水晶振動子４は、導電性接着剤３０が意図しない範囲（例えば、＋Ｙ方向）に濡れ広がった場合でも、互いに極性が異なる第１電極パッド１８と第２引き回しパターン１９ａとの、導電性接着剤３０を介した短絡を更に回避しやすくなる。

なお、第１電極パッド１８のＸ軸方向における中央部分は、突出部３１１との間隔を確保しつつ、図示の形状よりも若干＋Ｙ方向に突出させてもよい。
また、水晶振動子４は、所定の固定力が確保できる場合には、金属ワイヤー４０を第２電極パッド１９における突出部３１１上の領域に接続してもよい。これによれば、水晶振動子４は、金属ワイヤー４０を短くできる。

（第３実施形態）
次に、上述した振動片と、振動片が固定されているベース基板と、振動片を発振させる発振回路と、を備えている振動デバイスの一例としての水晶発振器について説明する。

図７は、第３実施形態の水晶発振器の概略構成を示す模式図である。図７（ａ）は、リッド側から見た模式平面図であり、図７（ｂ）は、図７（ａ）のＣ−Ｃ線での模式断面図である。なお、上記各実施形態との共通部分には、同一符号を付して詳細な説明を省略し、上記各実施形態と異なる部分を中心に説明する。

図７に示すように、水晶発振器５は、上記各実施形態及び各変形例で述べた振動片としての水晶振動片（１０，１１０など）のいずれか（ここでは、水晶振動片１０とする）と、水晶振動片１０を発振させる（駆動する）発振回路としてのＩＣチップ５０と、水晶振動片１０及びＩＣチップ５０を収容するパッケージ２０と、を備えている。換言すれば、水晶発振器５は、上述した水晶振動子１にＩＣチップ５０を更に備えている構成となる。

水晶振動片１０が固定されているベース基板としてのパッケージベース２１の凹部２２の内底面２２ａには、ＩＣチップ５０を収容する凹状に形成された収容部２２ｂが設けられている。発振回路を内蔵するＩＣチップ５０は、パッケージベース２１の収容部２２ｂの底面に、図示しない接着剤などを用いて固定されている。
ＩＣチップ５０は、図示しない接続パッドが、Ａｕ（金）、Ａｌ（アルミニウム）などの金属ワイヤー５１により、収容部２２ｂ内の内部接続端子２２ｃと電気的に接続されている。

内部接続端子２２ｃは、Ｗ（タングステン）、Ｍｏ（モリブデン）などのメタライズ層に、Ｎｉ（ニッケル）、Ａｕ（金）などの各被膜がメッキなどにより積層された金属被膜からなり、図示しない内部配線を経由して、パッケージ２０の外底面２５の四隅に設けられている電極端子２６ａ，２６ｂ，２６ｃ，２６ｄ及び内部端子２４ａ，２４ｂなどと電気的に接続されている。
なお、ＩＣチップ５０の接続パッドと内部接続端子２２ｃとの接続には、金属ワイヤー５１を用いたワイヤーボンディング法による接続方法以外に、ＩＣチップ５０を反転させて、バンプや異方性導電膜などを介してのフリップチップ実装による接続方法などを用いてもよい。
また、水晶発振器５は、パッケージ２０の外底面２５に収容部２２ｂを設け、収容部２２ｂ内にＩＣチップ５０が実装され、モールド材により封止されている構成としてもよい。

水晶発振器５は、ＩＣチップ５０から内部接続端子２２ｃ、内部端子２４ａ，２４ｂ、などを経由して印加される駆動信号によって、水晶振動片１０が屈曲振動を励振されて所定の周波数で共振（発振）する。
そして、水晶発振器５は、この発振に伴って生じる発振信号をＩＣチップ５０、電極端子２６ａ，２６ｂ（２６ｃ，２６ｄ）などを経由して外部に出力する。

上述したように、第３実施形態の水晶発振器５は、水晶振動片１０と、水晶振動片１０を発振させるＩＣチップ５０と、水晶振動片１０及びＩＣチップ５０を収容するパッケージ２０と、を備えていることから、第１実施形態に記載の効果が反映された水晶発振器を提供することができる。具体的には、小型化され信頼性が高く優れた性能を発揮する水晶発振器を提供することができる。
なお、水晶発振器５は、水晶振動片１０に代えて、上述した他の水晶振動片（１１０など）を用いても、上記と同様の効果、及び他の水晶振動片（１１０など）特有の効果が反映された水晶発振器を提供することができる。
なお、水晶発振器５は、ＩＣチップ５０をパッケージ２０に内蔵ではなく、外付けした構成のモジュール構造（例えば、１つの基板上に水晶振動子（１など）及びＩＣチップ５０が個別に搭載されている構造）としてもよい。

（第４実施形態）
次に、上述した振動デバイスを備えている電子機器として、携帯電話を一例に挙げて説明する。
図８は、第４実施形態の携帯電話を示す模式斜視図である。
携帯電話７００は、上記各実施形態及び各変形例で述べた振動デバイスとしての水晶振動子（１〜４）及び水晶発振器５のいずれかを備えている携帯電話である。
図８に示す携帯電話７００は、上述した水晶振動子（１〜４）及び水晶発振器５のいずれかを、例えば、基準クロック発振源などのタイミングデバイスの構成要素として用い、更に液晶表示装置７０１、複数の操作ボタン７０２、受話口７０３、及び送話口７０４を備えて構成されている。
これによれば、携帯電話７００は、上述した水晶振動子（１〜４）及び水晶発振器５のいずれかを備えていることから、上記各実施形態及び各変形例で説明した効果が反映され、優れた性能を発揮することができる。
なお、携帯電話７００の形態は、図示のタイプに限定されるものではなく、いわゆるスマートフォンタイプでもよい。

上述した水晶振動子及び水晶発振器は、上記携帯電話７００のような携帯電話に限らず、電子ブック、パーソナルコンピューター、テレビ、デジタルスチールカメラ、ビデオカメラ、ビデオレコーダー、ナビゲーション装置、ページャー、電子手帳、電卓、ワードプロセッサー、ワークステーション、テレビ電話、ＰＯＳ端末、タッチパネルを備えた機器などのタイミングデバイスの構成要素として好適に用いることができ、いずれの場合にも上記各実施形態及び各変形例で説明した効果が反映された優れた電子機器を提供することができる。

（第５実施形態）
次に、上述した振動デバイスを備えている移動体として、自動車を一例に挙げて説明する。
図９は、第５実施形態の自動車を示す模式斜視図である。
自動車８００は、上記各実施形態及び各変形例で述べた振動デバイスとしての水晶振動子（１〜４）及び水晶発振器５のいずれかを備えている自動車である。
自動車８００は、上述した水晶振動子（１〜４）及び水晶発振器５のいずれかを、例えば、搭載されている各種電子制御式装置（例えば、電子制御式燃料噴射装置、電子制御式ＡＢＳ装置、電子制御式一定速度走行装置など）の基準クロックを発生するタイミングデバイスの構成要素として用いている。
これによれば、自動車８００は、上述した水晶振動子（１〜４）及び水晶発振器５のいずれかを備えていることから、上記各実施形態及び各変形例で説明した効果が反映され、優れた性能を発揮することができる。

上述した水晶振動子及び水晶発振器は、上記自動車８００に限らず、自走式ロボット、自走式搬送機器、列車、船舶、飛行機、人工衛星などを含む移動体のタイミングデバイスの構成要素として好適に用いることができ、いずれの場合にも上記各実施形態及び各変形例で説明した効果が反映された優れた移動体を提供することができる。

以上、本発明の振動デバイス、電子機器及び移動体について、図示の実施形態に基づいて説明したが、本発明は、これに限定されるものではなく、各部の構成は、同様の機能を有する任意の構成のものに置換することができる。また、本発明に他の任意の構成物が付加されていてもよい。

また、上記のように、本実施形態について詳細に説明したが、本発明の新規事項及び効果から実体的に逸脱しない多くの変形が可能であることは、いうまでもない。従って、このような変形例は、すべて本発明の範囲に含まれる。
例えば、上記各実施形態及び各変形例では、振動片の主要材料として水晶を用いて説明したが、水晶以外の材料を用いることができる。
例えば、タンタル酸リチウム（ＬｉＴａＯ₃）、四ホウ酸リチウム（Ｌｉ₂Ｂ₄Ｏ₇）、ニオブ酸リチウム（ＬｉＮｂＯ₃）、チタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）、酸化亜鉛（ＺｎＯ）、窒化アルミニウム（ＡｌＮ）、ランガサイト（Ｌａ₃Ｇａ₅ＳｉＯ₁₄）などの酸化物基板（圧電体材料）や、ガラス基板上に窒化アルミニウム（ＡｌＮ）や五酸化タンタル（Ｔａ₂Ｏ₅）などの圧電体材料を積層させて構成された積層圧電基板、圧電セラミック、またはシリコン（Ｓｉ）などの半導体材料を用いることができる。

また、振動片の駆動方式は、上述した圧電体の圧電効果による圧電駆動方式の他に、クーロン力による静電駆動方式や、磁力を利用したローレンツ駆動方式であってもよい。
更に、本発明にかかる振動デバイスは、例えば、角速度、加速度、圧力などの物理量の作用により周波数を変化させ得る振動片の特性を利用して、ジャイロセンサー、加速度センサー、圧力センサー、傾斜センサーなどの各種センサーに適用することができる。

１，２，３，４…振動デバイスとしての水晶振動子、５…振動デバイスとしての水晶発振器、１０…振動片としての水晶振動片、１１…基部、１１ａ…第１端部、１１ａ１，１１ａ２…第１端部の両端、１１ｂ…一方の主面、１１ｃ…第２端部、１１ｃ１，１１ｃ２…第２端部の両端、１１ｄ…第２端部の側面、１１ｅ…他方の主面、１１ｆ…第１端部の側面、１１ｇ…側面、１２ａ…第１振動腕、１２ｂ…第２振動腕、１３…第１励振電極、１３ａ…第１電極パターン、１４…第２励振電極、１４ａ…第２電極パターン、１５…腕部、１５ａ，１５ｂ…主面、１５ｃ，１５ｄ…側面、１６…質量部、１７…溝部、１８…第１電極パッド、１８ａ…第１引き回しパターン、１８ｂ…引き回しパターン、１９…第２電極パッド、１９ａ…第２引き回しパターン、２０…パッケージ、２１…ベース基板としてのパッケージベース、２２…凹部、２２ａ…内底面、２２ｂ…収容部、２２ｃ…内部接続端子、２３…リッド（蓋体）、２４ａ…内部端子、２４ｂ…端子としての内部端子、２５…外底面、２６ａ，２６ｂ，２６ｃ，２６ｄ…電極端子、２７…接合部材、３０…導電性接着剤、４０…導電性の線材としての金属ワイヤー、５０…発振回路としてのＩＣチップ、５１…金属ワイヤー、９１…圧電振動片、９２…振動腕部、９３…基部、９３ａ…一方の面、９３ｂ…他方の面、９３ｃ，９３ｄ…端部、９４…一方の励振電極、９５…一方のマウント電極、９６…他方の励振電極、９７…他方のマウント電極、９７ａ…引き回しパターン、９８…バンプ、９９…インナーリード、１１０…水晶振動片、１１１…突出部、２１０…水晶振動片、２１１…第１縮幅部、２１２…第２縮幅部、３１０…水晶振動片、３１１…突出部、７００…電子機器としての携帯電話、７０１…液晶表示装置、７０２…操作ボタン、７０３…受話口、７０４…送話口、８００…移動体としての自動車。

Claims (7)

1. 基部、前記基部の第１端部から延びる一対の振動腕、前記一対の振動腕のそれぞれに設けられている一対の励振電極を含む振動片と、
   前記振動片が固定されているベース基板と、を備え、
   前記一対の振動腕のうち第１振動腕の、前記一対の励振電極のうち第１励振電極から引き出されている第１電極パターンは、前記基部の一方の主面に設けられている第１電極パッドに接続され、
   前記第１電極パッドから引き出されている第１引き回しパターンは、平面視で前記基部の前記第１端部とは反対側の第２端部の側面を介して前記基部の他方の主面に引き回され、
   前記一対の振動腕のうち第２振動腕の、前記一対の励振電極のうち第２励振電極から引き出されている第２電極パターンは、前記基部の前記他方の主面に設けられている第２電極パッドに接続され、
   前記第２電極パッドから引き出されている第２引き回しパターンは、前記基部の前記第１端部の側面を介して前記基部の前記一方の主面に引き回され、
   前記第１電極パッドが、導電性接着剤を介して前記ベース基板に固定され、
   前記第２電極パッドにおける前記第１電極パッドと平面視で重なる領域と、前記ベース基板に設けられている端子とが、導電性の線材で接続されていることを特徴とする振動デバイス。
2. 請求項１において、
   前記基部の前記第１端部における前記一対の振動腕の間から、前記一対の振動腕に沿って延びる突出部を有することを特徴とする振動デバイス。
3. 請求項１または請求項２において、
   前記基部は、前記第１端部と前記第２端部との間を通り、前記一対の振動腕が延びる第１方向に対して直交する第２方向に沿う第２方向仮想線から、前記第１端部までの前記第１方向に沿う距離が、前記一対の振動腕間の中心を通り、前記第１方向に沿う第１方向仮想線から離れるに従い短くなるように設けられている第１縮幅部を含むことを特徴とする振動デバイス。
4. 請求項１ないし請求項３のいずれか一項において、
   前記基部は、前記第２方向仮想線から、前記第２端部までの前記第１方向に沿う距離が、前記第１方向仮想線から離れるに従い短くなるように設けられている第２縮幅部を含むことを特徴とする振動デバイス。
5. 請求項１ないし請求項４のいずれか一項において、
   前記振動片を発振させる発振回路を更に備えていることを特徴とする振動デバイス。
6. 請求項１ないし請求項５のいずれか一項に記載の振動デバイスを備えていることを特徴とする電子機器。
7. 請求項１ないし請求項５のいずれか一項に記載の振動デバイスを備えていることを特徴とする移動体。

Images