JP2013091142A - 移動体の案内装置 - Google Patents

Abstract

【課題】移動体の摺動面の潤滑油の入替りを促進し、潤滑油の温度上昇を防止できるようにすること。
【解決手段】支持体の案内面１２に摺動部材１４の摺動面１０を接触させながら案内する移動体の案内装置において、摺動面１０に開口する潤滑油帰還路２８と、潤滑油帰還通路２８にそれぞれ連通すると、潤滑油供給通路２４と潤滑油排出通路２６とを移動体に設け、移動体の移動に伴い摺動面１０と潤滑油帰還通路２８との間で潤滑油を帰還させながら、潤滑油供給通路２４を介して潤滑油源から摺動面１０へ潤滑油を供給し、潤滑油排出通路２６を介して摺動面１０から外部へ潤滑油を排出するようにした。
【選択図】図４

Description

本発明は、工作機械の送り軸等に用いられる移動体の案内装置に関する。

工作機械の送り軸等に用いられる案内装置は、支持体の案内面に移動体の摺動面を案内させて、軸送り装置により移動体を移動させるものである。一般に、案内装置には、動圧すべり案内方式、静圧案内方式、一部荷重補償すべり案内方式等がある。本発明は、動圧すべり案内方式による移動体の案内装置に関するものである。

特許文献１には、支持体の案内面に案内される移動体の摺動面に周囲をランド部で包囲した潤滑油ポケットを複数個設け、移動体が移動する際に、移動体の移動方向の後部に溜った潤滑油が移動方向の前部へ流れるように潤滑油ポケットの中の前部と後部を潤滑油帰還管路によって連通させた移動体の案内装置が開示されている。

また、特許文献２には、コラムの正面に形成されたガイドの案内面に接触しながら移動するサドルの摺動面の発熱部位を予めシミュレーションによって特定し、発熱量の少ない部位の方から発熱量の多い方向に向けて冷却液が流通するようにサドル内に流体管路を配設して、該流体管路内に冷却液を循環させて摺動面の発熱部位を効果的に冷却するようにした工作機械の移動体の冷却装置が開示されている。

特開２００７−１７５８４０号公報 特開２００９−６１５６４号公報

特許文献１に開示されている案内装置によれば、移動体の移動に伴って、潤滑油ポケット内の後方に溜った潤滑油が潤滑油帰還管路を通って潤滑油ポケット内の前方に流れるので、潤滑油ポケット内において局所的な圧力上昇が防止され、潤滑油が摺動面から外部に流出する量が少なくなるとの効果を奏する。然しながら、特許文献１の案内装置では、潤滑油の積極的な回収や供給する潤滑油の冷却を行なっていないために、潤滑油が高温となって性能が落ちる問題がある。更に、潤滑油は潤滑油ポケットに封じられてしまうために、潤滑油の熱が摺動面や案内面に伝播して機械の精度に悪影響を及ぼす問題がある。

特許文献２に開示されている工作機械の移動体の冷却装置では、サドルは冷却されるが、案内面や摺動面、潤滑油は冷却されず、潤滑油が高温となって性能が落ちる問題がある。また、特許文献２の移動体の冷却装置は、摺動面の潤滑系統とは独立系統である冷却油循環管路が必要となる。

本発明は、従来技術の問題点を解決することを技術課題としており、摺動面の潤滑油ポケット内の潤滑油の温度上昇を防止し、また、潤滑油配管系統とは別の冷却液配管系統を設けなくても摺動面や案内面の冷却が行える移動体の案内装置を提供することを目的としている。

前述の目的を達成するために、本発明によれば、支持体の案内面と、移動体の摺動面との間に潤滑油を供給して移動体を案内する移動体の案内装置において、前記移動体の摺動面に設けられた潤滑油ポケットと、前記潤滑油ポケットの中に開口され、前記移動体の移動方向の前部と後部を連通した潤滑油帰還通路と、前記潤滑油帰還通路に連通し、潤滑油源から供給される潤滑油を前記潤滑油帰還通路を通して前記潤滑油ポケットに供給する潤滑油供給通路と、前記潤滑油帰還通路に連通し、前記潤滑油ポケットから潤滑油を前記潤滑油帰還通路を通して外部へ排出する潤滑油排出通路とを具備する移動体の案内装置が提供される。

また本発明によれば、支持体の案内面と、移動体の摺動面との間に潤滑油を供給して移動体を案内する移動体の案内装置において、前記移動体の摺動面に周囲をランド部で囲った潤滑油ポケットが設けられ、その潤滑油ポケットの中の摺動面に多数の凹部が形成されてなる潤滑油ポケットと、前記潤滑油ポケットの中に開口され、前記移動体の移動に伴って、移動方向の後部に溜った潤滑油が移動方向の前部に流れるように前記潤滑油ポケットの中の前部と後部を連通した潤滑油帰還通路と、前記潤滑油帰還通路に連通し、潤滑油タンクから供給される潤滑油を前記潤滑油帰還通路を通して前記潤滑油ポケットに供給する潤滑油供給通路と、前記潤滑油帰還通路に連通し、前記潤滑油ポケットから潤滑油を前記潤滑油帰還通路を通して排出し、前記潤滑油タンクに回収する潤滑油排出通路と、前記潤滑油ポケットに供給される潤滑油を冷却する潤滑油温度制御装置とを具備する移動体の案内装置が提供される。

本発明によれば、移動体が移動する度に、潤滑油ポケット内の潤滑油は潤滑油帰還通路及び潤滑油排出通路を通して外部に排出され、潤滑油源から潤滑油供給通路及び潤滑油帰還通路を通して潤滑油ポケットに潤滑油が供給されることにより、潤滑油ポケット内の潤滑油が入替り、潤滑油ポケット内の潤滑油の温度上昇が抑制される。また、潤滑油排出通路を通って排出された潤滑油を潤滑油源の潤滑油タンクに回収し、冷却して潤滑油ポケットに供給する循環サイクルを形成することにより、潤滑油ポケットには冷却された潤滑油が流通することになり、冷却液配管系統を別に設けなくても摺動面や案内面を冷却することができる。よって移動体の移動に関する精度が向上する。

本発明による移動体の案内装置を備えた工作機械の側面図である。 図１の矢視Ａによる工作機械の部分正面図である。 本発明の好ましい実施の形態による案内装置を備えた移動体として図１の工作機械のＢ軸ベースの摺動面を示す部分平面図である。 本発明の好ましい実施の形態による案内装置を備えた移動体として図１の工作機械のＢ軸ベースの一部を示す部分断面図である。 本発明による他の実施の形態による案内装置を備えた移動体として図１の工作機械のＢ軸ベースの一部を示す部分断面図である。 摺動面に機械加工によって形成した多数の凹部の１つを拡大して示す摺動面の平面図である。 摺動面に機械加工によって形成した多数の凹部の１つを拡大して示す長軸に沿う摺動面の断面図である。 摺動面に機械加工によって形成した多数の凹部の１つを拡大して示す短軸に沿う摺動面の断面図である。 摺動面に多数の凹部を規則正しく配列した一例を示す摺動面の部分平面図である。 本発明の好ましい実施の形態による案内装置の作用を説明するためのＢ軸ベースの一部の断面図である。 本発明の好ましい実施の形態による案内装置の作用を説明するためのＢ軸ベースの一部の断面図である。

図１、２を参照すると、本発明による移動体の案内装置を備えた機械の一例として工作機械、特に横形マシニングセンタ１００が図示されている。工作機械１００は、工場の床面に固定される支持体としてのベッド１０２を具備しており、該ベッド１０２の前方部分の上面には、移動体としてのＢ軸ベース１１０がＺ軸送り機構を介して前後方向（Ｚ軸方向）に移動可能に取付けられている。また、ベッド１０２の後方部分の上面には、Ｘ軸送り機構を介して左右方向（Ｘ軸方向）に移動可能にコラム１０４が取付けられている。コラム１０４の前面にＹ軸送り機構を介して上下方向（Ｙ軸方向）に移動可能に主軸頭１０６が取付けられ、該主軸頭１０６には、先端部に工具Ｔを取付ける主軸１０８が水平の回転軸線Ｏsを中心に回転可能に支持されている。

Ｂ軸ベース１１０には、Ｂ軸テーブル（図示せず）が鉛直軸線（Ｂ軸）を中心として回転可能に支持されている。Ｂ軸ベース１１０内にはＢ軸送り機構としてのサーボモーター（図示せず）が組込まれている。Ｂ軸テーブルの上面にはイケール等のワーク取付部材１１２が取付けられており、該ワーク取付部材１１２のワーク取付面１１２ａにはワークＷが取付けられる。

Ｘ軸送り機構は、ベッド１０２の上面において左右方向に水平に延設された一対のＸ軸ガイドレール１０２ａ及び該Ｘ軸ガイドレール１０２ａ沿いに摺動可能にコラム１０４の下面に取付けられた摺動部材（図示せず）から成るＸ軸案内装置と、ベッド１０２内においてＸ軸方向に延設されたＸ軸ボールねじ（図示せず）、コラム１０４の下端部分に取付けられ前記Ｘ軸ボールねじに係合するナット（図示せず）及び前記Ｘ軸ボールねじの一端に連結され該Ｘ軸ボールねじを回転駆動するサーボモータ（図示せず）から成るＸ軸送り装置とを具備する。

同様に、Ｙ軸送り機構は、コラム１０４内に鉛直に延設された一対のＹ軸ガイドレール（図示せず）及び該Ｙ軸ガイドレール沿いに摺動可能に主軸頭１０６に取付けられた摺動部材（図示せず）から成るＹ軸案内装置と、コラム１０４内においてＹ軸方向に延設されたＹ軸ボールねじ（図示せず）、主軸頭１０６内に取付けられ前記Ｙ軸ボールねじに係合するナット（図示せず）及び前記Ｙ軸ボールねじの一端に連結され該Ｙ軸ボールねじを回転駆動するサーボモータ（図示せず）から成るＹ軸送り装置とを具備する。

同様に、Ｚ軸送り機構は、本発明による案内装置を備えたＺ軸案内装置と、ベッド１０２内においてＺ軸方向に延設されたＺ軸ボールねじ１１４（図２）、Ｂ軸ベース１１０の下面に取付けられＺ軸ボールねじ１１４に係合するナット１１６（図２）及び前記Ｚ軸ボールねじの一端に連結され該Ｚ軸ボールねじを回転駆動するサーボモータ（図示せず）を備えたＺ軸送り装置とを具備する。本実施の形態において、前記案内装置は、ベッド１０２の上面において前後方向に水平かつＸ軸ガイドレール１０２ａに対して垂直に延設され、一対のＺ軸ガイドレール１０２ｂによって形成される案内面１２と、Ｂ軸ベース１１０に形成され案内面１２に接触、案内される摺動面１０とを含む。実際の工作機械では、Ｂ軸ベース１１０にかかる上下左右の力を受けるために、Ｚ軸ガイドレール１０２ｂは、下案内面１２ａ及び側部案内面１２ｂを更に有しており、Ｂ軸ベース１１０もそれらに対応する摺動面１１０ａ、１１０ｂを有している。本実施の形態では、案内面１２を支持体の案内面として説明する。

Ｂ軸ベース１１０には、摺動面１０の潤滑油ポケット２０の進行方向両端部に開口している潤滑油帰還路２８と、潤滑油源３０から潤滑油帰還路２８に連通し、潤滑油ポケット２０へ向けて潤滑油を供給するための潤滑油供給通路２４と、潤滑油帰還路２８に連通し、潤滑油帰還路２８を通して潤滑油ポケット２０内の潤滑油を排出する潤滑油排出路２６とが形成されている。

潤滑油源３０は、潤滑油排出通路２６に連通する潤滑油排出管路３４を介して摺動面１０から回収した潤滑油を貯留する潤滑油タンク３６、潤滑油を冷却して温度を一定に制御するための潤滑油温度制御装置３８、潤滑油タンク３６から潤滑油を吸引し潤滑油供給管路３２を介して潤滑油供給通路２４へ潤滑油を圧送するポンプ４０、ポンプ４０の吐出側に設けられポンプ４０により潤滑油中に発生する脈動を除去するアキュムレータ４２を具備する。脈動の少ないポンプを用いたり、脈動の影響が問題とならない場合は、アキュムレータを省略してもよい。

なお、潤滑油源３０から移動するＢ軸ベース１１０へ潤滑油供給管路３２及び潤滑油排出管路３４を接続するために、ベッド１０２及びＢ軸ベース１１０の側面に継手１１８、１２０を配設して、該継手１１８、１２０の間をケーブルガイド等により保護するようにできる。また、潤滑油タンク３６は、仕切り壁３６ｃによって内部空間を受入側タンク３６ａと供給側タンク３６ｂとに分割し、新しい潤滑油及び潤滑油排出管路３４からの潤滑油を受入側タンク３６ａに貯留し、該受入側タンク３６ａに貯留されている潤滑油を潤滑油温度制御装置３８によって温度調整して供給側タンク３６ｂに貯留し、該供給側タンク３６ｂから潤滑油をポンプ４０によって案内装置へ供給するようにできる。

図３、４を参照すると、Ｂ軸ベース１１０の摺動面１０は、支持体としてのベッド１０２の２本の案内面１２に対応させて、Ｂ軸ベース１１０の両側部に配設されている。図３は、Ｂ軸ベース１１０の一方の側部に設けられた摺動面１０を示しており、摺動面１０には、ランド部１８によって囲繞される潤滑油ポケット２０が形成されており、該潤滑油ポケット２０には、潤滑油の油溜りとなる凹部２２がキサゲ加工等により形成されている。潤滑油ポケット２０を囲繞するランド部１８は、潤滑油ポケット２０の中の摺動面１０と略同一の高さに形成され、その表面は、摺動面１０と略同一の平面度を有している。所望の平面度を得るために、潤滑油が摺動面１０から流出しない程度の細かさのキサゲ加工をランド部１８に施してもよい。

また、本実施の形態では、２つのランド部１８及び潤滑油ポケット２０が、各摺動面１０においてＢ軸ベース１１０の長手方向に互いに離間させて配置されており、両者間の中央部は逃げ部３７となっている。逃げ部３７は摺動面１０全体の平面度が出し易く、しかも、偏摩擦しないように適宜設けるものであり、大型の移動体では、ランド部１８及び潤滑油ポケット２０を各摺動面１０に３箇所設け、逃げ部３７を２箇所設ける構造にしてもよい。

更に、本実施の形態では、ランド部１８及び潤滑油ポケット２０は、Ｂ軸ベース１１０に貼付された摺動部材１４に形成されている。潤滑油帰還通路２８は夫々摺動部材１４に形成された第１ポート４４及び第２ポート４６によって潤滑油ポケット２０に開口している。本実施の形態では、潤滑油帰還路２８は、１つの潤滑油ポケット２０に対して２つずつ設けられ、２つの第１ポート４４を連通する油溝４４ａと、２つの第２ポートを連通する油溝４６ａが形成されている。摺動部材１４は、耐摩耗性が高くかつ摩擦係数の低い材料、例えばフッ素樹脂から薄板状に形成され、例えばターカイトやベアリーの商品名で市販されているベアリング材料を用いることができる。

図４の実施の形態では、潤滑油帰還通路２８の第１ポート４４を延長させた通路形態で潤滑油供給通路を形成し、第２ポート４６を延長させた通路形態で潤滑油排出通路を形成したが、図５の実施の形態では、潤滑油帰還通路２８の第１ポート４４と第２ポート４６をつなげる横方向に形成された通路部分を延長した通路形態で潤滑油供給通路２４及び潤滑油排出通路２６を形成している。このように各潤滑油通路を形成しても本発明の作用、効果を奏する。Ｂ軸ベース１１０内に潤滑油帰還通路２８、潤滑油供給通路２４及び潤滑油排出通路２６をどのような形態に形成するかは、その他種々考えられる。

図６は、摺動面１０と凹部２２との稜線１５を表す閉曲線である。閉曲線は楕円弧状、長円弧状等の細長形状に形成される。図７は、凹部２２の長軸Ａ_Lに沿う断面であり、凹部２２は半径Ｒ_Lを有する。図８は、凹部２２の短軸Ａ_Sに沿う断面であり、凹部２２は半径Ｒ_Sを有する。本実施の形態では、半径Ｒ_Lは50mmで、半径Ｒ_Sは10mmで、凹部２２の深さは0.12mmである。凹部２２の加工は、切刃先半径10mmで回転半径50mmの工具をＮＣ工作機械に装着して行うことができる。また、工具を回転させずにヘール加工によって凹部を加工してもよい。

図９は、摺動面に多数の凹部を規則正しく配列した一例を示す部分平面図である。凹部２２の長軸Ａ_Lが４５度の傾きをもって交互にクロスして配列されている。凹部２２はＸ、Ｚ軸方向にピッチＰ_x、Ｐ_zを有して形成される。凹部２２の長軸方向端部の円弧部は部分的に互いに重なるように形成されている。凹部２２が重なり合っている部分２２ａは凹部２２に溜った潤滑油が隣の凹部２２に流れるための通路となる。摺動面１０に凹部２２を加工した残りの部分２３が案内面１２との接触部分となる。凹部２２の長軸Ａ_Lの傾き角度を変えたり、凹部刻設のピッチＰ_x、Ｐ_zを変えて形成してもよい。凹部２２の長軸Ａ_Lが傾き角度をもって形成されているので、摺動面１０に供給された潤滑油はその傾き角度に沿って流れ、摺動面１０の全面に行き亘るように供給される。

以下、図１０、１１を参照して、本実施の形態の作用を説明する。
Ｂ軸ベース１１０が、図１０において矢印Ｚ₁で示すように、ベッド１０２に対して相対的に潤滑油帰還通路２８の第１ポート４４側に移動するとき、潤滑油ポケット２０内の潤滑油は、矢印Ｌ₁で示すように、Ｂ軸ベース１１０に対して相対的に潤滑油帰還通路２８の第２ポート４６側に移動する。これによって、潤滑油ポケット２０内では、第２ポート４６側が相対的に高圧になり第１ポート４４側が低圧となる。従って、潤滑油源３０から潤滑油供給管路３２を介して潤滑油供給通路２４へ供給された低温の潤滑油は、その一部が第１ポート４４から潤滑油ポケット２０内に流入し、残りの部分は潤滑油排出通路２６へ向けて潤滑油帰還通路２８内を流通する。潤滑油ポケット２０内に流入した潤滑油は、第２ポート４６側へ向けて潤滑油ポケット２０内を流通して、第２ポート４６から潤滑油排出通路２６及び潤滑油排出管路３４を介して潤滑油源３０へ帰還する。潤滑油が潤滑油ポケット２０内を流通する際、従前に潤滑油ポケット２０内に存在していた摺動によって温度の上昇した潤滑油は、第１ポート４４から新たに供給される低温の潤滑油によって第２ポート４６を通じて潤滑油ポケット２０から排出される。この潤滑油の入替り作用によって、摺動面１０及び案内面１２は冷却される。

Ｂ軸ベース１１０が、図１１において矢印Ｚ₂で示すように、ベッド１０２に対して相対的に潤滑油帰還通路２８の第２ポート４６側に移動するとき、潤滑油ポケット２０内の潤滑油は、矢印Ｌ₂で示すように、Ｂ軸ベース１１０に対して相対的に潤滑油帰還通路２８の第１ポート４４側に移動する。これによって、潤滑油ポケット２０内では、第１ポート４４側が相対的に高圧になり第２ポート４６側が低圧となる。従って、潤滑油ポケット２０内の摺動によって温度の上昇した潤滑油が第１ポート４４から潤滑油供給通路２４へ向って流出し、潤滑油供給通路２４からの低温の潤滑油と合流して幾分温度が低下し、潤滑油帰還通路２８内に流入する。潤滑油帰還通路２８内を流通する潤滑油の一部が、第２ポート４６を介して潤滑油ポケット２０内に流入し、残りの部分は潤滑油排出通路２６及び潤滑油排出管路３４を介して潤滑油源３０へ帰還する。潤滑油が潤滑油ポケット２０内を流通する際、従前に潤滑油ポケット２０内に存在していた温度の上昇した潤滑油は、第２ポート４６から新たに供給される幾分温度が低下した潤滑油によって第１ポート４４を通じて潤滑油ポケット２０から排出される。この潤滑油の入替り作用によって、摺動面１０及び案内面１２は冷却される。

Ｂ軸ベース１１０が第１ポート４４側に移動するときには、反対方向の第２ポート４６側に移動するときよりも多くの潤滑油源３０からの潤滑油が摺動面に供給されることとなるが、Ｂ軸ベース１１０はＺ軸方向に往復移動するので、Ｂ軸ベース１１０の移動方向に関する潤滑油供給量の不均一性は問題とならず、所定の加工プロセスを繰り返す間に摺動面１０と案内面１２の間の潤滑油の温度は略一定に制御可能である。

潤滑油ポケット２０に形成した油溝４４ａ、４６ａは、第１、第２ポート４４、４６の開口面積を実質拡大する作用があり、潤滑油ポケット２０の幅全域にわたって潤滑油を供給したり排出したりして、潤滑油ポケット２０全体に早く潤滑油を行き渡らせることができる。

本実施の形態によれば、摺動面１０と案内面１２との間の潤滑油を直接冷却可能となり、摺動面１０及び案内面１２の発熱領域を直接冷却可能となる。また、摺動面１０に形成されたランド部１８に包囲された潤滑油ポケット２０に潤滑油が供給されるので、摺動面１０と案内面１２との間から漏洩する潤滑油量が低減され、循環させる潤滑油量も少量、例えば1000cm³/minとすることができる。

既述の実施の形態では、潤滑油ポケット２０及びランド部１８は、案内面１２と接触して案内される摺動面１０に貼付された摺動部材１４に形成されているが、Ｂ軸ベース１１０が鋳物等で造られている場合には、摺動部材１４をＢ軸ベース１１０に貼付することなく、潤滑油ポケット２０及びランド部１８を摺動面１０に直接形成するようにできる。また、摺動面１１０ａ、１１０ｂに摺動部材１４を貼付して摺動面１０と同様の構成とすることもできる。更に、Ｘ軸案内装置及びＹ軸案内装置も同様の構成とすることができる。

本実施の形態では、潤滑油排出通路２６を通った潤滑油を潤滑油源３０に回収したが、回収せずに外部に排出してもよい。その場合、潤滑油源３０から新しい潤滑油が次々に潤滑油ポケット２０に供給され、潤滑油温度制御装置３８を設けなくても従前の潤滑油が潤滑油ポケット２０から排出されるので、潤滑油ポケット２０内の潤滑油温度は上昇しない。また、潤滑油排出通路２６を通った潤滑油を潤滑油源３０に回収し、再度潤滑油ポケット２０に循環させる場合、潤滑油温度制御装置３８を設けなくても、潤滑油は潤滑油排出管路３４、潤滑油タンク３６、潤滑油供給管路３２を流通する間に放熱されて潤滑油ポケット２０に供給されるので、潤滑油ポケット２０内の潤滑油温度はほとんど上昇しない。

１０ 摺動面
１２ 案内面
１４ 摺動部材
１８ ランド部
２０ 潤滑油ポケット
２２ 凹部
２４ 潤滑油供給通路
２６ 潤滑油排出通路
２８ 潤滑油帰還通路
３０ 潤滑油源
３２ 潤滑油供給管路
３４ 潤滑油排出管路
３６ 潤滑油タンク
３８ 潤滑油温度制御装置
４０ ポンプ
４２ アキュムレータ
４４ 第１ポート
４６ 第２ポート
１００ 工作機械
１０２ ベッド
１０４ コラム
１０６ 主軸頭
１０８ 主軸
１１０ Ｂ軸ベース

Claims (5)

1. 支持体の案内面と、移動体の摺動面との間に潤滑油を供給して移動体を案内する移動体の案内装置において、
   前記移動体の摺動面に設けられた潤滑油ポケットと、
   前記潤滑油ポケットの中に開口され、前記移動体の移動方向の前部と後部を連通した潤滑油帰還通路と、
   前記潤滑油帰還通路に連通し、潤滑油源から供給される潤滑油を前記潤滑油帰還通路を通して前記潤滑油ポケットに供給する潤滑油供給通路と、
   前記潤滑油帰還通路に連通し、前記潤滑油ポケットから潤滑油を前記潤滑油帰還通路を通して外部へ排出する潤滑油排出通路と、
   を具備することを特徴とした移動体の案内装置。
2. 前記潤滑油排出通路は、前記潤滑油源に接続され、排出された潤滑油を前記潤滑油源に回収する請求項１に記載の移動体の案内装置。
3. 前記潤滑油源は、前記潤滑油排出通路から潤滑油を受入れる潤滑油タンクと、前記潤滑油タンクに貯留されている潤滑油を冷却する潤滑油温度制御装置と、前記潤滑油タンクから前記潤滑油供給通路へ潤滑油を吐出するポンプと、を具備する請求項１〜５の何れか1項に記載の移動体の案内装置。
4. 前記潤滑油源は、前記ポンプによって前記潤滑油供給通路に吐出される潤滑油に生じる脈動を低減するアキュムレータを更に具備する請求項３に記載の移動体の案内装置。
5. 支持体の案内面と、移動体の摺動面との間に潤滑油を供給して移動体を案内する移動体の案内装置において、
   前記移動体の摺動面に周囲をランド部で囲った潤滑油ポケットが設けられ、その潤滑油ポケットの中の摺動面に多数の凹部が形成されてなる潤滑油ポケットと、
   前記潤滑油ポケットの中に開口され、前記移動体の移動に伴って、移動方向の後部に溜った潤滑油が移動方向の前部に流れるように前記潤滑油ポケットの中の前部と後部を連通した潤滑油帰還通路と、
   前記潤滑油帰還通路に連通し、潤滑油タンクから供給される潤滑油を前記潤滑油帰還通路を通して前記潤滑油ポケットに供給する潤滑油供給通路と、
   前記潤滑油帰還通路に連通し、前記潤滑油ポケットから潤滑油を前記潤滑油帰還通路を通して排出し、前記潤滑油タンクに回収する潤滑油排出通路と、
   前記潤滑油ポケットに供給される潤滑油を冷却する潤滑油温度制御装置と、
   を具備することを特徴とした移動体の案内装置。

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