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JP2011072876A - Microfluid device - Google Patents

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JP2011072876A
JP2011072876A JP2009225052A JP2009225052A JP2011072876A JP 2011072876 A JP2011072876 A JP 2011072876A JP 2009225052 A JP2009225052 A JP 2009225052A JP 2009225052 A JP2009225052 A JP 2009225052A JP 2011072876 A JP2011072876 A JP 2011072876A
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Japan
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microchannel
gas
microfluidic device
gas generating
external stimulus
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JP2009225052A
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Japanese (ja)
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Kazuyoshi Yamamoto
一喜 山本
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Sekisui Chemical Co Ltd
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Sekisui Chemical Co Ltd
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Abstract

【課題】ポンプ機構と、バルブ機構とを有するマイクロ流体デバイスの小型化及び製造容易化を図る。
【解決手段】マイクロ流体デバイス1は、基板10の第1の主面10a上に、第1のマイクロ流路11の端部11aを覆うように粘着している第1のガス発生フィルム17eと、第1のマイクロ流路11の端部11bと、第2のマイクロ流路15の端部15aとを覆うように粘着している第2のガス発生フィルムと、第1のガス発生フィルムに外部刺激を付与する第1の外部刺激付与機構20aと、第2のガス発生フィルムに外部刺激を付与する第2の外部刺激付与機構20bとを備えている。
【選択図】図1
A microfluidic device having a pump mechanism and a valve mechanism is miniaturized and manufactured easily.
A microfluidic device (1) includes a first gas generation film (17e) adhered to a first main surface (10a) of a substrate (10) so as to cover an end (11a) of a first microchannel (11). A second gas generating film adhered to cover the end portion 11b of the first microchannel 11 and the end portion 15a of the second microchannel 15, and external stimulation to the first gas generating film The first external stimulus applying mechanism 20a for applying an external stimulus and the second external stimulus applying mechanism 20b for applying an external stimulus to the second gas generating film are provided.
[Selection] Figure 1

Description

本発明は、マイクロ流体デバイスに関する。詳細には、本発明は、ポンプ機構と、バルブ機構とを有するマイクロ流体デバイスに関する。   The present invention relates to a microfluidic device. Specifically, the present invention relates to a microfluidic device having a pump mechanism and a valve mechanism.

近年、例えば、微少なサンプルの分析などを行うデバイスとして、マイクロ流路を有するマイクロ流体デバイスが広く使用されるようになってきている。例えば、下記の特許文献1には、マイクロ流体デバイスの一例として、マイクロポンプシステムを有するマイクロ全分析システムが開示されている。   In recent years, for example, a microfluidic device having a microchannel has been widely used as a device for analyzing a minute sample. For example, Patent Document 1 below discloses a micro total analysis system having a micropump system as an example of a microfluidic device.

特許文献1に記載のマイクロ全分析システムでは、マイクロ流路に接続されたマイクロポンプ室が形成された基板を備えている。マイクロポンプ室には、光が照射されることによりガスを発生させるガス発生材料が充填されている。特許文献1に記載のマイクロ全分析システムでは、マイクロポンプ室に光が照射されることにより、ガス発生材料からガスが発生する。発生したガスは、マイクロ流路に供給される。その結果、マイクロポンプシステムが作動する。   The micro total analysis system described in Patent Document 1 includes a substrate on which a micropump chamber connected to a microchannel is formed. The micropump chamber is filled with a gas generating material that generates gas when irradiated with light. In the micro total analysis system described in Patent Document 1, gas is generated from the gas generating material by irradiating the micro pump chamber with light. The generated gas is supplied to the microchannel. As a result, the micropump system is activated.

特許文献1に記載のマイクロポンプシステムは、基板内に組み込むことが可能である。このため、このマイクロポンプシステムを用いることにより、基板とは別個に設けられたポンプシステムを基板に接続する必要がない。従って、容易にマイクロ全分析システムを構築することができる。また、マイクロ全分析システムを小型化することができる。   The micropump system described in Patent Document 1 can be incorporated in a substrate. For this reason, by using this micro pump system, it is not necessary to connect the pump system provided separately from the substrate to the substrate. Therefore, a micro total analysis system can be easily constructed. In addition, the micro total analysis system can be reduced in size.

特開2005−297102号公報JP 2005-297102 A

しかしながら、マイクロ全分析システムには、マイクロポンプシステムと共に、マイクロ流路の開閉やマイクロ流路の接続切り替えを行うためのバルブ機構も必要である。従来、このバルブ機構は、基板に外付けされていた。このため、たとえ特許文献1に記載のマイクロポンプシステムを用いたとしても、マイクロ全分析システムなどのマイクロ流体デバイスを十分に小型化することは困難であった。また、マイクロ流体デバイスの製造が困難であった。   However, the micro total analysis system also requires a valve mechanism for opening and closing the micro flow channel and switching connection of the micro flow channel together with the micro pump system. Conventionally, this valve mechanism has been externally attached to the substrate. For this reason, even if the micropump system described in Patent Document 1 is used, it has been difficult to sufficiently miniaturize a microfluidic device such as a micro total analysis system. In addition, it is difficult to manufacture a microfluidic device.

本発明は、かかる点に鑑みてなされたものであり、その目的は、ポンプ機構と、バルブ機構とを有するマイクロ流体デバイスの小型化及び製造容易化を図ることにある。   The present invention has been made in view of the above points, and an object thereof is to reduce the size and facilitate the manufacture of a microfluidic device having a pump mechanism and a valve mechanism.

本発明に係るマイクロ流体デバイスは、第1のマイクロ流路に気体を供給するポンプ機構と、第1のマイクロ流路と第2のマイクロ流路との間を開閉するバルブ機構とを有するマイクロ流体デバイスである。本発明に係るマイクロ流体デバイスは、基板と、第1のガス発生フィルムと、第2のガス発生フィルムと、第1の外部刺激付与機構と、第2の外部刺激付与機構とを備えている。基板は、互いに対向し合う第1及び第2の主面を有する。基板には、第1のマイクロ流路と、第2のマイクロ流路とが形成されている。第1のマイクロ流路の両端部のそれぞれは、第1の主面に開口している。第2のマイクロ流路の少なくとも一方の端部は、第1の主面に開口している。第1のガス発生フィルムは、基板の第1の主面上に、第1のマイクロ流路の一方の端部を覆うように粘着している。第1のガス発生フィルムは、外部刺激を受けることによりガスを発生する。第2のガス発生フィルムは、基板の第1の主面上に、第1のマイクロ流路の他方の端部と、第2のマイクロ流路の少なくとも一方の端部とを覆うように粘着している。第2のガス発生フィルムは、外部刺激を受けることによりガスを発生する。第1の外部刺激付与機構は、第1のガス発生フィルムに外部刺激を付与する。第2の外部刺激付与機構は、第2のガス発生フィルムに外部刺激を付与する。第1のガス発生フィルムと、第1の外部刺激付与機構とによりポンプ機構が構成されている。第2のガス発生フィルムと、第2の外部刺激付与機構とによりバルブ機構とが構成されている。   A microfluidic device according to the present invention includes a microfluidic device having a pump mechanism that supplies gas to a first microchannel, and a valve mechanism that opens and closes between the first microchannel and the second microchannel. It is a device. The microfluidic device according to the present invention includes a substrate, a first gas generating film, a second gas generating film, a first external stimulus applying mechanism, and a second external stimulus applying mechanism. The substrate has first and second main surfaces facing each other. A first microchannel and a second microchannel are formed on the substrate. Each of the both ends of the first microchannel is open to the first main surface. At least one end of the second microchannel is open to the first main surface. The first gas generating film is adhered to the first main surface of the substrate so as to cover one end of the first microchannel. The first gas generating film generates gas by receiving an external stimulus. The second gas generation film adheres to the first main surface of the substrate so as to cover the other end of the first microchannel and at least one end of the second microchannel. ing. The second gas generating film generates gas by receiving an external stimulus. The first external stimulus applying mechanism applies an external stimulus to the first gas generating film. The second external stimulus applying mechanism applies an external stimulus to the second gas generating film. The first gas generating film and the first external stimulus applying mechanism constitute a pump mechanism. A valve mechanism is constituted by the second gas generating film and the second external stimulus applying mechanism.

本発明に係るマイクロ流体デバイスのある特定の局面では、第2のガス発生フィルムに外部刺激が加わった際に、第2のガス発生フィルムの一部が基板から剥離することにより、第1のマイクロ流路と第2のマイクロ流路とが接続される。   In a specific aspect of the microfluidic device according to the present invention, when an external stimulus is applied to the second gas generating film, a part of the second gas generating film is peeled off from the substrate, whereby the first micro The flow path and the second micro flow path are connected.

本発明に係るマイクロ流体デバイスの他の特定の局面では、第1及び第2のガス発生フィルムのそれぞれは、フィルム基材と、フィルム基材と基板とを粘着させる粘着層とを有し、粘着層は、粘着性を有する粘着剤と、外部刺激に応答してガスを発生するガス発生剤とを含んでいる。   In another specific aspect of the microfluidic device according to the present invention, each of the first and second gas generating films has a film base and an adhesive layer that adheres the film base and the substrate. The layer includes an adhesive having adhesiveness and a gas generating agent that generates gas in response to an external stimulus.

本発明に係るマイクロ流体デバイスの別の特定の局面では、ゲル分率が75重量%〜80重量%の範囲内にある。この構成によれば、ガス発生フィルムにおいて発生したガスをガス発生フィルムと基板との界面に集中させることができる。従って、バルブ機構及びポンプ機構が効果的に作動する。なお、ゲル分率が小さすぎると発生ガスが粘着剤のマトリクス中で発泡し、ゲル分率が大きすぎると表面へのガス分子の拡散が阻害される場合がある。   In another specific aspect of the microfluidic device according to the present invention, the gel fraction is in the range of 75 wt% to 80 wt%. According to this configuration, the gas generated in the gas generating film can be concentrated on the interface between the gas generating film and the substrate. Therefore, the valve mechanism and the pump mechanism operate effectively. If the gel fraction is too small, the generated gas may foam in the adhesive matrix, and if the gel fraction is too large, diffusion of gas molecules to the surface may be hindered.

本発明に係るマイクロ流体デバイスのさらに他の特定の局面では、外部刺激は光であり、第1及び第2の外部刺激付与機構のそれぞれは、発光機構により構成されている。外部刺激を光とすることにより、光化学反応をガス発生の制御に用いることができるため、例えば、外部刺激を熱や通電、高エネルギー線、超音波とした場合と比較して、ガス発生の制御が容易になる。例えば、発生させたい量のガスを正確に発生させることも可能になる。   In still another specific aspect of the microfluidic device according to the present invention, the external stimulus is light, and each of the first and second external stimulus applying mechanisms is configured by a light emitting mechanism. By using external stimuli as light, photochemical reactions can be used to control gas generation. For example, compared with the case where external stimuli are heat, electricity, high energy rays, or ultrasonic waves, control of gas generation Becomes easier. For example, it is possible to accurately generate the amount of gas desired to be generated.

本発明に係るマイクロ流体デバイスのさらに別の特定の局面では、第1及び第2の外部刺激付与機構のそれぞれは、LEDである。小電力のLEDであれば、発熱量も少なく、制御容易かつ安価である。従って、この構成によれば、制御容易かつ安価なマイクロ流体デバイスを実現し得る。   In still another specific aspect of the microfluidic device according to the present invention, each of the first and second external stimulus applying mechanisms is an LED. A low-power LED has a small amount of heat generation, is easy to control and is inexpensive. Therefore, according to this configuration, an easily controlled and inexpensive microfluidic device can be realized.

本発明に係るマイクロ流体デバイスのまた他の特定の局面では、基板には、第1のマイクロ流路の途中部に接続されている第3のマイクロ流路と、第1または第2の主面に開口している開口部と、開口部と第3のマイクロ流路とを接続しており、第2のマイクロ流路よりも流路断面積が小さい第4のマイクロ流路とがさらに形成されている。この構成によれば、バルブ機構を駆動させることにより、第1のマイクロ流路の液体が第2のマイクロ流路側に流れるか、第3のマイクロ流路側に流れるかを切り換えることができる。   In another specific aspect of the microfluidic device according to the present invention, the substrate includes a third microchannel that is connected to an intermediate portion of the first microchannel, and the first or second main surface. Are further formed, and the fourth microchannel having a smaller channel cross-sectional area than the second microchannel is formed. ing. According to this configuration, it is possible to switch whether the liquid in the first microchannel flows to the second microchannel side or the third microchannel side by driving the valve mechanism.

本発明に係るマイクロ流体デバイスのまた別の特定の局面では、第1のマイクロ流路の第3のマイクロ流路が接続されている部分よりもポンプ機構側の部分には、第1のマイクロ流路に供給された溶液を濃縮する濃縮部が設けられており、第1のマイクロ流路の第3のマイクロ流路が接続されている部分よりもバルブ機構側の部分には、溶液に含まれる物質を検出する検出部が設けられている。   In still another specific aspect of the microfluidic device according to the present invention, the first microfluidic device has a portion on the pump mechanism side of a portion of the first microchannel that is connected to the third microchannel. A concentration unit for concentrating the solution supplied to the channel is provided, and the portion of the first microchannel closer to the valve mechanism than the portion to which the third microchannel is connected is included in the solution. A detection unit for detecting the substance is provided.

本発明に係るマイクロ流体デバイスのさらにまた他の特定の局面では、マイクロ流体デバイスは、第1及び第2のガス発生フィルムの基板とは反対側の表面に形成されており、第1及び第2のガス発生フィルムにおいて発生したガスがガス発生フィルムの基板とは反対側の表面から漏洩することを抑制するバリア層をさらに備えている。この構成によれば、ガス発生フィルムにおいて発生したガスが基板とは反対側に漏洩することを効果的に抑制することができる。従って、ガス発生フィルムにおいて発生したガスを基板側に効率的に導くことができる。従って、ポンプ機構とバルブ機構とを効率的に作動させることができる。   In still another specific aspect of the microfluidic device according to the present invention, the microfluidic device is formed on surfaces of the first and second gas generating films opposite to the substrates, and the first and second The gas generating film further includes a barrier layer that suppresses leakage of the gas generated from the surface opposite to the substrate of the gas generating film. According to this configuration, it is possible to effectively suppress the gas generated in the gas generating film from leaking to the side opposite to the substrate. Therefore, the gas generated in the gas generating film can be efficiently guided to the substrate side. Therefore, the pump mechanism and the valve mechanism can be operated efficiently.

本発明に係るマイクロ流体デバイスのさらにまた別の特定の局面では、バリア層は、ガラス、樹脂または金属からなる膜または基板により構成されている。   In still another specific aspect of the microfluidic device according to the present invention, the barrier layer is formed of a film or substrate made of glass, resin, or metal.

本発明に係るマイクロ流体デバイスのまたさらに他の特定の局面では、第1のガス発生フィルムと第2のガス発生フィルムとは一体に形成されている。この構成によれば、マイクロ流体デバイスの構成をよりシンプルにできる。また、マイクロ流体デバイスの製造がより容易になる。   In still another specific aspect of the microfluidic device according to the present invention, the first gas generating film and the second gas generating film are integrally formed. According to this configuration, the configuration of the microfluidic device can be simplified. Also, the manufacture of the microfluidic device becomes easier.

本発明では、基板に粘着している第1及び第2のガス発生フィルムによりポンプ機構及びバルブ機構の一部が構成されており、これら第1及び第2のガス発生フィルムに選択的に外部刺激を付与することにより、ポンプ機構とバルブ機構とが作動する。このため、本発明のマイクロ流体デバイスは、非常にシンプルな構造を有しており、小型である。また、本発明のマイクロ流体デバイスは、基板に第1及び第2のガス発生フィルムを粘着させ、第1及び第2の外部刺激付与機構を配置することのみにより容易に作製することができる。   In the present invention, the pump mechanism and the valve mechanism are partly constituted by the first and second gas generating films adhered to the substrate, and the first and second gas generating films are selectively externally stimulated. By providing the above, the pump mechanism and the valve mechanism operate. For this reason, the microfluidic device of the present invention has a very simple structure and is small. In addition, the microfluidic device of the present invention can be easily manufactured only by adhering the first and second gas generating films to the substrate and arranging the first and second external stimulus applying mechanisms.

第1の実施形態に係るマイクロ流体デバイスの一部分の略図的断面図である。1 is a schematic cross-sectional view of a portion of a microfluidic device according to a first embodiment. ポンプ機構を作動させた状態のマイクロ流体デバイスの一部分の略図的断面図である。FIG. 6 is a schematic cross-sectional view of a portion of a microfluidic device with a pump mechanism activated. バルブ機構を作動させた状態のマイクロ流体デバイスの一部分の略図的断面図である。FIG. 5 is a schematic cross-sectional view of a portion of a microfluidic device with a valve mechanism activated. 第2の実施形態に係るマイクロ流体デバイスの模式的平面図である。FIG. 6 is a schematic plan view of a microfluidic device according to a second embodiment. 図4における線V−V部分の略図的断面図である。FIG. 5 is a schematic cross-sectional view taken along line VV in FIG. 4. 図4における線VI−VI部分の略図的断面図である。FIG. 6 is a schematic cross-sectional view taken along line VI-VI in FIG. 4. 変形例に係るマイクロ流体デバイスの一部分の略図的断面図である。It is a schematic sectional drawing of a part of microfluidic device concerning a modification.

(第1の実施形態)
本実施形態では、本発明を実施した好ましい形態として、図1に示すマイクロ流体デバイス1を例に挙げて説明する。但し、図1に示すマイクロ流体デバイス1は、単なる例示である。本発明は、このマイクロ流体デバイス1に限定されない。
(First embodiment)
In the present embodiment, the microfluidic device 1 shown in FIG. 1 will be described as an example of a preferred embodiment of the present invention. However, the microfluidic device 1 shown in FIG. 1 is merely an example. The present invention is not limited to this microfluidic device 1.

マイクロ流体デバイス1の用途は特に限定されない。マイクロ流体デバイス1は、例えば、重金属分析や生化学分析、電気化学分析、遺伝子分析、免疫分析、その他のアフィニティ分析を行うためのマイクロ分析デバイスであってもよいし、例えば、有機合成等を行うためのものであってもよい。   The application of the microfluidic device 1 is not particularly limited. The microfluidic device 1 may be, for example, a microanalytical device for performing heavy metal analysis, biochemical analysis, electrochemical analysis, gene analysis, immunological analysis, and other affinity analysis, and performs organic synthesis, for example. May be for.

図1に示すように、マイクロ流体デバイス1は、基板10を備えている。基板10は、互いに対向し合う第1及び第2の主面10a、10bを有する。   As shown in FIG. 1, the microfluidic device 1 includes a substrate 10. The substrate 10 includes first and second main surfaces 10a and 10b that face each other.

基板10の材質は、特に限定されない。基板10は、例えばガラス製または樹脂製であってもよい。具体的には、基板10は、例えば、有機シロキサン化合物からなるものであってもよい。有機シロキサン化合物の具体例としては、例えば、ポリジメチルシロキサン(PDMS:poly(dimethylsiloxane))、ポリメチル水素シロキサンなどが挙げられる。   The material of the substrate 10 is not particularly limited. The substrate 10 may be made of glass or resin, for example. Specifically, the substrate 10 may be made of, for example, an organosiloxane compound. Specific examples of the organic siloxane compound include polydimethylsiloxane (PDMS: poly (dimethylsiloxane)), polymethylhydrogensiloxane, and the like.

基板10には、第1及び第2のマイクロ流路11,15が形成されている。第1のマイクロ流路11と、第2のマイクロ流路15とは、それぞれ独立した流路である。   First and second microchannels 11 and 15 are formed on the substrate 10. The first microchannel 11 and the second microchannel 15 are independent channels.

なお、本明細書において、「マイクロ流路」とは、マイクロ流路を流れる液体が、表面張力と毛細管現象との影響を強く受け、通常の寸法の流路を流れる液体とは異なる挙動を示す形状寸法に形成された流路をいう。すなわち、「マイクロ流路」とは、マイクロ流路を流れる液体に所謂マイクロ効果が発現する形状寸法に形成された流路をいう。   In this specification, the term “microchannel” means that the liquid flowing through the microchannel is strongly affected by surface tension and capillary action, and behaves differently from the liquid flowing through a channel of normal dimensions. It refers to a channel formed in a shape and dimension. That is, the “micro flow channel” refers to a flow channel formed in a shape and dimension in which a so-called micro effect appears in the liquid flowing through the micro flow channel.

但し、どのような形状寸法の流路においてマイクロ効果が発現するかは、流路に導入される液体の物性によって異なる。例えば、マイクロ流路が横断面矩形状である場合には、一般的には、マイクロ流路の横断面における高さ及び幅のうちの小さい方が5mm以下、好ましくは500μm以下、さらに好ましくは200μm以下に設定される。マイクロ流路が横断面円形状である場合は、一般的には、マイクロ流路の直径は、5mm以下、好ましくは500μm以下、さらに好ましくは200μm以下に設定される。   However, the shape and dimension of the channel in which the micro effect appears depends on the physical properties of the liquid introduced into the channel. For example, when the microchannel has a rectangular cross section, generally, the smaller of the height and width in the cross section of the microchannel is 5 mm or less, preferably 500 μm or less, more preferably 200 μm. Set to: When the microchannel has a circular cross section, the diameter of the microchannel is generally set to 5 mm or less, preferably 500 μm or less, more preferably 200 μm or less.

第1のマイクロ流路11の両端部11a、11bのそれぞれは、第1の主面10aに開口している。第2のマイクロ流路15の端部15aも、第1の主面10aに開口している。   Each of the both end portions 11a and 11b of the first microchannel 11 is open to the first main surface 10a. The end 15a of the second microchannel 15 is also open to the first main surface 10a.

基板10には、第1のマイクロ流路11の端部11a側の部分に接続されている液体供給ポート13と、液体排出ポート12とが形成されている。液体供給ポート13は、基板10の第2の主面10bに開口している。液体供給ポート13は、第1のマイクロ流路11に液体16を供給するためのポートである。液体供給ポート13は、第1のマイクロ流路11に液体16を供給するときにのみ開けられ、それ以外は、閉鎖部材14によって閉鎖されている。   The substrate 10 is formed with a liquid supply port 13 and a liquid discharge port 12 connected to a portion of the first microchannel 11 on the end 11a side. The liquid supply port 13 is open on the second main surface 10 b of the substrate 10. The liquid supply port 13 is a port for supplying the liquid 16 to the first microchannel 11. The liquid supply port 13 is opened only when the liquid 16 is supplied to the first microchannel 11, and the rest is closed by the closing member 14.

液体排出ポート12は、基板10の第2の主面10bに開口している。液体排出ポート12は、第1のマイクロ流路11内の液体16を排出するためのポートである。液体排出ポート12の流路断面積は、第2のマイクロ流路15の流路断面積よりも小さく設定されている。   The liquid discharge port 12 opens on the second main surface 10 b of the substrate 10. The liquid discharge port 12 is a port for discharging the liquid 16 in the first microchannel 11. The channel cross-sectional area of the liquid discharge port 12 is set smaller than the channel cross-sectional area of the second micro channel 15.

基板10の第1の主面10a上には、ガス発生フィルム17が設けられている。ガス発生フィルム17は、第1のマイクロ流路11の両端部11a、11bと、第2のマイクロ流路15の端部15aとを覆うように設けられている。ガス発生フィルム17は、第1の主面10aに粘着している。   A gas generation film 17 is provided on the first main surface 10 a of the substrate 10. The gas generating film 17 is provided so as to cover both end portions 11 a and 11 b of the first microchannel 11 and the end portion 15 a of the second microchannel 15. The gas generating film 17 is adhered to the first main surface 10a.

ガス発生フィルム17は、外部刺激を受けることによりガスを発生させるフィルムである。外部刺激は、例えば、熱や光、電流、高エネルギー線、超音波、物理的圧力などであってもよい。以下、本実施形態では、外部刺激が光である場合について説明する。   The gas generating film 17 is a film that generates gas by receiving an external stimulus. The external stimulus may be, for example, heat, light, current, high energy ray, ultrasonic wave, physical pressure, or the like. Hereinafter, in the present embodiment, a case where the external stimulus is light will be described.

ガス発生フィルム17の基板10とは反対側には、バリア層18が形成されている。このバリア層18は、ガス発生フィルム17において発生したガスがガス発生フィルム17の基板10とは反対側の表面から漏洩することを抑制するためのものである。このバリア層18を設けることにより、ガス発生フィルム17において発生したガスを基板10側に効率的に導くことができる。従って、後述のバルブ機構1b及びポンプ機構1aを効率的に作動させることができる。   On the opposite side of the gas generating film 17 from the substrate 10, a barrier layer 18 is formed. This barrier layer 18 is for suppressing the gas generated in the gas generating film 17 from leaking from the surface of the gas generating film 17 opposite to the substrate 10. By providing this barrier layer 18, the gas generated in the gas generating film 17 can be efficiently guided to the substrate 10 side. Therefore, the later-described valve mechanism 1b and pump mechanism 1a can be operated efficiently.

バリア層18は、ガスが透過しにくいものであることが好ましい。具体的には、バリア層18は、粘着層17bよりもガスの拡散速度が遅いものであることが好ましく、フィルム基材17aよりもガスの拡散速度が遅いものであることがより好ましく、粘着層17b及びフィルム基材17aよりもガスの拡散速度が一桁以上遅いものであることがさらに好ましい。   The barrier layer 18 is preferably one that does not easily allow gas to pass therethrough. Specifically, the barrier layer 18 preferably has a slower gas diffusion rate than the adhesive layer 17b, more preferably has a lower gas diffusion rate than the film substrate 17a, and the adhesive layer. It is more preferable that the gas diffusion rate is slower by one digit or more than 17b and the film substrate 17a.

また、バリア層18は、光応答性ガス発生剤が光照射によってガスを発生させるものである場合は、光を透過させるものであることが好ましい。   Moreover, when the photoresponsive gas generating agent generates gas by light irradiation, the barrier layer 18 preferably transmits light.

バリア層18は、例えば樹脂製、ガラス製または金属製の膜、フィルム又は基板などにより構成することができる。バリア層18の材質としては、例えば、ポリアクリル、ポリオレフィン、ポリカーボネート、塩化ビニル樹脂、ABS樹脂、ポリエチレンテレフタレート(PET)樹脂、ポリスチレン樹脂、ナイロン樹脂、ウレタン樹脂、ポリイミド樹脂、エポキシ樹脂、ガラス及び金属などが挙げられる。   The barrier layer 18 can be composed of, for example, a resin, glass, or metal film, film, or substrate. Examples of the material of the barrier layer 18 include polyacryl, polyolefin, polycarbonate, vinyl chloride resin, ABS resin, polyethylene terephthalate (PET) resin, polystyrene resin, nylon resin, urethane resin, polyimide resin, epoxy resin, glass, and metal. Is mentioned.

図1に示すように、基板10のガス発生フィルム17側には、第1及び第2の外部刺激付与機構を構成している発光機構として、第1及び第2のLED20a、20bが設けられている。第1の外部刺激付与機構としての第1のLED20aは、ガス発生フィルム17の、第1のマイクロ流路11の第1の端部11aを覆っている第1の部分17cに外部刺激としての光を照射する。一方、第2の外部刺激付与機構としての第2のLED20bは、基板10の第1のマイクロ流路11の第2の端部11bと、第2のマイクロ流路15の端部15aとの間に位置する部分を覆っているガス発生フィルム17の第2の部分17dに外部刺激としての光を照射する。   As shown in FIG. 1, first and second LEDs 20 a and 20 b are provided on the gas generation film 17 side of the substrate 10 as light emitting mechanisms constituting the first and second external stimulus applying mechanisms. Yes. The first LED 20a as the first external stimulus applying mechanism is a light as an external stimulus on the first portion 17c of the gas generating film 17 covering the first end portion 11a of the first microchannel 11. Irradiate. On the other hand, the second LED 20b as the second external stimulus applying mechanism is between the second end portion 11b of the first microchannel 11 of the substrate 10 and the end portion 15a of the second microchannel 15. The second portion 17d of the gas generating film 17 covering the portion located at is irradiated with light as an external stimulus.

本実施形態では、第1のLED20aと、ガス発生フィルム17の第1の部分17cとによりポンプ機構1aが構成されている。このポンプ機構1aにより第1のマイクロ流路11に気体が供給される。また、第2のLED20bと、ガス発生フィルム17の第2の部分17dとによりバルブ機構1bが構成されている。このバルブ機構1bにより第1のマイクロ流路11と第2のマイクロ流路15との間の開閉が行われる。具体的には、バルブ機構1bは、第1のマイクロ流路11と第2のマイクロ流路15とを連通させる機能を有する。   In the present embodiment, the pump mechanism 1 a is configured by the first LED 20 a and the first portion 17 c of the gas generating film 17. Gas is supplied to the first microchannel 11 by the pump mechanism 1a. The second LED 20b and the second portion 17d of the gas generating film 17 constitute a valve mechanism 1b. The valve mechanism 1b opens and closes between the first microchannel 11 and the second microchannel 15. Specifically, the valve mechanism 1 b has a function of communicating the first microchannel 11 and the second microchannel 15.

なお、第1及び第2のLED20a、20bの光の放射強度は、例えば、10mW〜100mW程度とすることができる。第1及び第2のLED20a,20bの光の波長範囲は、例えば310nmから410nm程度の紫外光もしくは可視紫光とすることができる。   In addition, the radiation intensity of the light of the first and second LEDs 20a and 20b can be, for example, about 10 mW to 100 mW. The wavelength range of the light of the first and second LEDs 20a and 20b can be, for example, ultraviolet light or visible violet light of about 310 nm to 410 nm.

また、冷陰極線管、EL素子、プラズマ発光素子、マイクロ低圧水銀灯などの、LED以外の紫外光源を第1及び第2の外部刺激付与機構として使用してもよい。   Moreover, you may use ultraviolet light sources other than LED, such as a cold cathode ray tube, an EL element, a plasma light emitting element, and a micro low pressure mercury lamp, as a 1st and 2nd external stimulus provision mechanism.

また、本実施形態では、第1の部分17cと第2の部分17dとが同一のフィルムにより構成されている場合について説明した。但し、第1の部分17cと第2の部分17dとは、別個のフィルムにより構成されていてもよい。   Moreover, in this embodiment, the case where the 1st part 17c and the 2nd part 17d were comprised by the same film was demonstrated. However, the 1st part 17c and the 2nd part 17d may be comprised by the separate film.

次に、本実施形態のマイクロ流体デバイス1の動作について、図1〜図3を参照して説明する。   Next, the operation of the microfluidic device 1 of the present embodiment will be described with reference to FIGS.

図1に示すように、第2のLED20bから光が照射されていないときは、ガス発生フィルム17の第2の部分17dは、基板10の第1の主面10aに粘着している。このため、第1のマイクロ流路11の第2の端部11bと、第2のマイクロ流路15の端部15aとは隔離されている。この状態で、図2に示すように、ガス発生フィルム17の第1の部分17cに第1のLED20aから光21が照射されると、第1の部分17cからガスが発生する。発生したガスは、第1のマイクロ流路11に供給される。これにより、液体16が移送される。但し、上述の通り、第1のマイクロ流路11の第2の端部11bと、第2のマイクロ流路15の端部15aとは隔離されている。そして、第1のマイクロ流路11の第2の端部11bは、第2の部分17dによって閉鎖されている。このため、液体16は、第1のマイクロ流路11の第2の端部11bには移送されない。液体16は、液体排出ポート12から排出される。   As shown in FIG. 1, when light is not irradiated from the second LED 20 b, the second portion 17 d of the gas generating film 17 is adhered to the first main surface 10 a of the substrate 10. For this reason, the second end 11b of the first microchannel 11 and the end 15a of the second microchannel 15 are isolated. In this state, as shown in FIG. 2, when light 21 is irradiated from the first LED 20a to the first portion 17c of the gas generating film 17, gas is generated from the first portion 17c. The generated gas is supplied to the first microchannel 11. Thereby, the liquid 16 is transferred. However, as described above, the second end portion 11b of the first microchannel 11 and the end portion 15a of the second microchannel 15 are isolated. The second end 11b of the first microchannel 11 is closed by the second portion 17d. For this reason, the liquid 16 is not transferred to the second end portion 11 b of the first microchannel 11. The liquid 16 is discharged from the liquid discharge port 12.

次に、図3に示すように、第1のLED20aを点灯状態としたまま、第2のLED20bを点灯状態とし、ガス発生フィルム17の第2の部分17dに光21を照射する。すると、ガスにより、第2の部分17dが基板10の第1の主面10aから剥がれる。その結果、第1のマイクロ流路11と第2のマイクロ流路15とが連通する。そして、第1のマイクロ流路11内の液体16が第2のマイクロ流路15に移送される。   Next, as shown in FIG. 3, the second LED 20 b is turned on while the first LED 20 a is turned on, and the second portion 17 d of the gas generation film 17 is irradiated with light 21. Then, the second portion 17d is peeled off from the first main surface 10a of the substrate 10 by the gas. As a result, the first microchannel 11 and the second microchannel 15 communicate with each other. Then, the liquid 16 in the first microchannel 11 is transferred to the second microchannel 15.

このため、本実施形態では、第1のLED20aを点灯状態としているときに、第2のLED20bを点灯することにより、液体16の流動方向を容易に変更することができる。   For this reason, in this embodiment, when the first LED 20a is in the lighting state, the flow direction of the liquid 16 can be easily changed by lighting the second LED 20b.

なお、第1のLED20aと第2のLED20bを同時に点灯することは、必須ではなく、第2のLED20bを一定時間点灯状態とした後で第1のLED20aを点灯してもよい。また、第1のLED20aと第2のLED20bを交互にパルス点灯してもよい。第1のLED20aを一定時間点灯しておき、第1の流路内のガス圧を高めておいて第2のLED20bを点灯してもよい。   It is not essential to turn on the first LED 20a and the second LED 20b at the same time, and the first LED 20a may be turned on after the second LED 20b is turned on for a certain period of time. Alternatively, the first LED 20a and the second LED 20b may be pulsed alternately. The first LED 20a may be turned on for a certain period of time, and the second LED 20b may be turned on by increasing the gas pressure in the first flow path.

以上説明したように、本実施形態では、基板10に粘着しているガス発生フィルム17によりポンプ機構1a及びバルブ機構1bの一部が構成されている。そして、このガス発生フィルム17の第1及び第2の部分17c、17dに選択的に外部刺激を付与することにより、ポンプ機構1aとバルブ機構1bとが作動する。このため、マイクロ流体デバイス1は、非常にシンプルな構造を有しており、小型である。また、マイクロ流体デバイス1は、基板10にガス発生フィルム17を粘着させ、第1及び第2のLED20a、20bを配置することのみにより容易に作製することができる。   As described above, in this embodiment, the gas generating film 17 adhered to the substrate 10 constitutes part of the pump mechanism 1a and the valve mechanism 1b. Then, the pump mechanism 1a and the valve mechanism 1b are operated by selectively applying an external stimulus to the first and second portions 17c and 17d of the gas generating film 17. For this reason, the microfluidic device 1 has a very simple structure and is small. In addition, the microfluidic device 1 can be easily manufactured only by adhering the gas generating film 17 to the substrate 10 and arranging the first and second LEDs 20a and 20b.

以下、ガス発生フィルム17の詳細について説明する。   Hereinafter, the details of the gas generating film 17 will be described.

ガス発生フィルム17は、外部刺激を受けることによりガスを発生させるものである限りにおいて特に限定されない。ガス発生フィルム17は、例えば、フィルム基材17aと、フィルム基材17aの上に設けられており、外部刺激を受けることによりガスを発生する粘着層17bとにより構成することができる。   The gas generating film 17 is not particularly limited as long as it generates gas by receiving external stimulation. The gas generating film 17 can be constituted by, for example, a film base material 17a and an adhesive layer 17b that is provided on the film base material 17a and generates gas by receiving an external stimulus.

粘着層17bの厚みは、特に限定されないが、例えば、30μm〜50μm程度とすることができる。粘着層17bの厚みが小さすぎると、ガスの発生量が少なくなり、後述するポンプ機構1aの出力が低下する場合がある。粘着層17bの厚みが大きすぎると、気体分子の拡散に時間がかかり、接着界面に気泡が形成されるまでに要する時間が長くなりすぎる場合がある。   Although the thickness of the adhesion layer 17b is not specifically limited, For example, it can be set as about 30 micrometers-50 micrometers. If the thickness of the adhesive layer 17b is too small, the amount of gas generated decreases, and the output of the pump mechanism 1a to be described later may decrease. If the thickness of the pressure-sensitive adhesive layer 17b is too large, it takes time to diffuse gas molecules, and the time required until bubbles are formed at the adhesive interface may be too long.

フィルム基材17aは、後述するLED20a、20bからの光を透過させるものである限りにおいて特に限定されない。フィルム基材17aは、例えばガラスや樹脂により形成することができる。フィルム基材17aの材料として好適に用いられる樹脂の具体例としては、例えば、ポリエチレンテレフタレート(PET)樹脂、ポリアクリル樹脂、ポリオレフィン樹脂、ポリカーボネート樹脂、塩化ビニル樹脂、ABS樹脂、ナイロン樹脂、ウレタン樹脂、ポリイミド樹脂及びシリコン樹脂等が挙げられる。   The film substrate 17a is not particularly limited as long as it transmits light from the LEDs 20a and 20b described later. The film base material 17a can be formed of glass or resin, for example. Specific examples of the resin suitably used as the material for the film substrate 17a include, for example, polyethylene terephthalate (PET) resin, polyacrylic resin, polyolefin resin, polycarbonate resin, vinyl chloride resin, ABS resin, nylon resin, urethane resin, Examples thereof include polyimide resin and silicon resin.

粘着層17bは、粘着性を有する粘着剤と、粘着剤中に分散しているガス発生剤を含んでいる。そして、粘着層17bのゲル分率は、75重量%〜80重量%の範囲内とされている。このように、粘着層17bのゲル分率を75重量%〜80重量%の範囲内とすることにより、基板10とガス発生フィルム17との界面において選択的にガスを発生させることができる。   The adhesive layer 17b includes an adhesive having adhesiveness and a gas generating agent dispersed in the adhesive. And the gel fraction of the adhesion layer 17b shall be in the range of 75 weight%-80 weight%. Thus, gas can be selectively generated at the interface between the substrate 10 and the gas generating film 17 by setting the gel fraction of the adhesive layer 17b within the range of 75 wt% to 80 wt%.

粘着剤としては、例えば、粘着性ポリマーを用いることができる。粘着性ポリマーは、フィルム基材17aと、基板10とを粘着させることができるものである限りにおいて、特に限定されない。粘着性ポリマーは、ガスを発生させるために加えられる外部刺激によって硬化しないものであることが好ましい。粘着性ポリマーは、例えば、外部刺激によって架橋されないものであることが好ましい。言い換えれば、粘着性ポリマーは、例えば、外部刺激によって架橋する架橋成分を有さないものであることが好ましい。そうすることにより、外部刺激付与後にガス発生フィルム17が基板10から剥がれ落ちることを効果的に抑制することができる。   As an adhesive, for example, an adhesive polymer can be used. The adhesive polymer is not particularly limited as long as it can adhere the film substrate 17a and the substrate 10. The tacky polymer is preferably one that is not cured by an external stimulus applied to generate gas. The adhesive polymer is preferably not cross-linked by an external stimulus, for example. In other words, it is preferable that the adhesive polymer does not have, for example, a crosslinking component that is crosslinked by an external stimulus. By doing so, it can suppress effectively that the gas generating film 17 peels off from the board | substrate 10 after external stimulus provision.

粘着性ポリマーの具体例としては、例えば、ゴム系粘接着剤樹脂、アクリル系粘接着剤樹脂、シリコン系粘接着剤樹脂、ウレタン系粘接着剤樹脂、スチレン−イソプレン−スチレン共重合体系粘接着剤樹脂、スチレン−ブタジエン−スチレン共重合体粘接着剤樹脂、エポキシ系粘接着剤樹脂、イソシアネート系粘接着剤樹脂等が挙げられる。   Specific examples of the adhesive polymer include, for example, rubber-based adhesive resin, acrylic-based adhesive resin, silicon-based adhesive resin, urethane-based adhesive resin, styrene-isoprene-styrene copolymer Examples thereof include system adhesive resin, styrene-butadiene-styrene copolymer adhesive resin, epoxy adhesive resin, and isocyanate adhesive resin.

なかでも、粘着性ポリマーとしては、常温で粘着性を有するアクリル系粘接着剤樹脂が特に好適に用いられる。アクリル系粘接着剤樹脂は、一般の(メタ)アクリル系ポリマーの場合と同様に、例えば、主モノマーとしてのアルキル基の炭素数が通常2〜18の範囲にあるアクリル酸アルキルエステル及びメタクリル酸アルキルエステルのうちの少なくとも一方と、官能基含有モノマーと、更に必要に応じて共重合可能な他の改質用モノマーとを常法により共重合させることにより得られる。官能基含有(メタ)アクリル系ポリマーの好ましい重量平均分子量は、通常20万〜200万程度である。   Especially, as an adhesive polymer, acrylic adhesive resin which has adhesiveness at normal temperature is used especially suitably. As in the case of general (meth) acrylic polymers, the acrylic adhesive resin is, for example, an acrylic acid alkyl ester and methacrylic acid in which the carbon number of the alkyl group as the main monomer is usually in the range of 2-18 It can be obtained by copolymerizing at least one of the alkyl esters, a functional group-containing monomer, and another modifying monomer that can be copolymerized as necessary, by a conventional method. The preferred weight average molecular weight of the functional group-containing (meth) acrylic polymer is usually about 200,000 to 2,000,000.

なお、粘着性ポリマーには、粘着剤としての凝集力の調節を図るなどの目的で、所望によりイソシアネート化合物、メラミン化合物、エポキシ化合物等の一般の粘着剤に配合される各種の多官能性化合物を適宜配合してもよい。また、粘着層17bは、バインダー樹脂などのバインダー、可塑剤、界面活性剤、ワックス、フィラー、微粒子充填剤、光化学反応増感剤、色素などの充填剤などの添加剤をさらに含むものであってもよい。   The adhesive polymer contains various polyfunctional compounds blended in general adhesives such as isocyanate compounds, melamine compounds, and epoxy compounds as desired for the purpose of adjusting the cohesive force as an adhesive. You may mix | blend suitably. The adhesive layer 17b further includes additives such as a binder such as a binder resin, a plasticizer, a surfactant, a wax, a filler, a fine particle filler, a photochemical reaction sensitizer, and a filler such as a dye. Also good.

ガス発生剤は、熱によりガスを発生する熱応答性ガス発生剤であってもよいが、ここでは、光によりガスを発生する光応答性ガス発生剤を用いる場合について説明する。   The gas generating agent may be a heat-responsive gas generating agent that generates gas by heat, but here, a case where a photo-responsive gas generating agent that generates gas by light is used will be described.

なお、外部刺激としての光の波長は、特に限定されない。外部刺激としての光は、例えば、可視光、紫外光、近紫外光、赤外光、近赤外光などであってもよい。なかでも、紫外線や近紫外線などの短波長の光が好ましい。具体的には、310nm〜410nm程度の波長の光が好ましい。   The wavelength of light as an external stimulus is not particularly limited. The light as the external stimulus may be, for example, visible light, ultraviolet light, near ultraviolet light, infrared light, or near infrared light. Of these, light having a short wavelength such as ultraviolet light or near ultraviolet light is preferable. Specifically, light having a wavelength of about 310 nm to 410 nm is preferable.

光応答性ガス発生剤は、外部刺激を受けることによりガスを発生させる材料のみにより構成されていてもよい。また、光応答性ガス発生剤は、外部刺激を受けることにより、別の刺激を発生させる刺激発生剤と、その刺激発生剤により発生した刺激を受けることによってガスを発生させる刺激ガス発生剤とを含んでいてもよい。ここで、別の刺激は、酸やアルカリであってもよい。また、刺激発生剤は、熱を受けることにより光を発生させる材料や、光が照射されることにより熱を発生させる材料であってもよい。   The photoresponsive gas generating agent may be composed only of a material that generates gas by receiving an external stimulus. In addition, the photoresponsive gas generating agent includes a stimulus generating agent that generates another stimulus by receiving an external stimulus, and a stimulating gas generating agent that generates a gas by receiving a stimulus generated by the stimulus generating agent. May be included. Here, another stimulus may be an acid or an alkali. Further, the stimulus generator may be a material that generates light by receiving heat or a material that generates heat when irradiated with light.

外部刺激を受けることにより直接ガスを発生させる光応答性ガス発生剤としては、アゾアミド化合物などのアゾ化合物、アジド化合物が挙げられる。これらのなかでも、アゾ化合物が好ましく用いられる。アゾ化合物は、衝撃によっては気体を発生しないことから取り扱いが極めて容易であるためである。また、バインダーに分散されたアゾ化合物は、連鎖反応を起こして爆発的に気体を発生することもなく、光の照射を中断することで気体の発生も中断できる。   Examples of the photoresponsive gas generating agent that directly generates gas by receiving an external stimulus include azo compounds such as azoamide compounds and azide compounds. Of these, azo compounds are preferably used. This is because the azo compound is extremely easy to handle because it does not generate gas upon impact. Further, the azo compound dispersed in the binder does not cause a chain reaction and explosively generate a gas, and the generation of gas can be interrupted by interrupting light irradiation.

アゾ化合物の具体例としては、例えば、2,2’−アゾビス(N−シクロヘキシル−2−メチルプロピオンアミド)、2,2’−アゾビス[N−(2−メチルプロピル)−2−メチルプロピオンアミド]等が挙げられる。   Specific examples of the azo compound include, for example, 2,2′-azobis (N-cyclohexyl-2-methylpropionamide), 2,2′-azobis [N- (2-methylpropyl) -2-methylpropionamide]. Etc.

アジド化合物の具体例としては、例えば、3−アジドメチル−3−メチルオキセタン、テレフタルアジド、アジド基を有するポリマー等が挙げられる。アジド基を有するポリマーの具体例としては、グリシジルアジドポリマー等が挙げられる。   Specific examples of the azide compound include 3-azidomethyl-3-methyloxetane, terephthalazide, a polymer having an azide group, and the like. Specific examples of the polymer having an azide group include glycidyl azide polymer.

外部刺激を受けることにより、与えられた外部刺激とは異なる刺激を発生させる刺激発生剤と、その刺激発生剤により発生した刺激を受けることによってガスを発生させる刺激ガス発生剤との組み合わせとしては、光酸発生剤及び酸刺激ガス発生剤と、光塩基発生剤及び塩基刺激ガス発生剤とが挙げられる。   As a combination of a stimulus generator that generates a stimulus different from a given external stimulus by receiving an external stimulus and a stimulus gas generator that generates a gas by receiving a stimulus generated by the stimulus generator, Examples include photoacid generators and acid stimulating gas generating agents, and photobase generators and base stimulating gas generating agents.

光酸発生剤は、光が照射されることにより酸を発生させるものである。光酸発生剤の具体例としては、キノンジアジド化合物、オニウム塩、スルホン酸エステル類及び有機ハロゲン化合物等が挙げられる。   A photo-acid generator generates an acid when irradiated with light. Specific examples of the photoacid generator include quinonediazide compounds, onium salts, sulfonic acid esters, and organic halogen compounds.

酸刺激ガス発生剤は、酸と接触することによりガスを発生させるものである。酸刺激ガス発生剤の具体例としては、炭酸塩及び重炭酸塩等が挙げられる。   The acid stimulating gas generating agent generates a gas by contacting with an acid. Specific examples of the acid stimulating gas generating agent include carbonates and bicarbonates.

光塩基発生剤は、光が照射されることにより塩基を発生させるものである。光塩基発生剤の具体例としては、コバルトアミン系錯体、カルバミン酸o−ニトロベンジル、オキシムエステルなどが挙げられる。   The photobase generator generates a base when irradiated with light. Specific examples of the photobase generator include cobalt amine complex, o-nitrobenzyl carbamate, oxime ester and the like.

塩基刺激ガス発生剤は、塩基と接触することによりガスを発生させるものである。塩基刺激ガス発生剤の具体例としては、−O−tBuの構造式で示されるtert−ブチルオキシ基(t−ブトキシ基)、−CO−O−tBuの構造式で示されるtert−ブチルオキシカルボニル基(t−ブトキシカルボニル基)、−O−CO−O−tBu の構造式で示されるtert−ブチルカーボネート基(t−ブトキシカルボニルオキシ基)、ケト酸およびケト酸エステル基などを分解性官能基として含む有機分子、ポリマーが挙げられる。なお、−tBuは−C(CHを示す。これらの化合物は、酸または塩基により分解して、イソブテン、二酸化炭素等からなるガスを発生する。 The base stimulating gas generating agent generates gas by contacting with a base. Specific examples of the base stimulating gas generating agent include a tert-butyloxy group (t-butoxy group) represented by the structural formula of -O-tBu and a tert-butyloxycarbonyl group represented by the structural formula of -CO-O-tBu. (T-butoxycarbonyl group), tert-butyl carbonate group (t-butoxycarbonyloxy group) represented by the structural formula of -O-CO-O-tBu, keto acid and keto acid ester group, etc. as degradable functional groups Examples thereof include organic molecules and polymers. Incidentally, -tBu represents a -C (CH 3) 3. These compounds are decomposed by an acid or a base to generate a gas composed of isobutene, carbon dioxide and the like.

また、光塩基発生剤と、塩基増殖剤とにより光応答性ガス発生剤を構成してもよい。   Moreover, you may comprise a photoresponsive gas generating agent with a photobase generator and a base growth agent.

本発明において酸発生剤又は塩基発生剤は、上記の例に限定されるものではなく、一般的に化学増幅型フォトレジスト、及び光カチオン重合などに利用されている光酸発生剤や光塩基発生剤と呼ばれているものを用いることができる。   In the present invention, the acid generator or the base generator is not limited to the above examples, and is generally used in a chemically amplified photoresist, photocation polymerization, and the like. What is called an agent can be used.

光応答性ガス発生剤は、光増感剤をさらに含むことが好ましい。光応答性ガス発生剤に光増感剤を含ませることにより、光が照射された際に、ガスをより一層速やかに発生させることができる。光増感剤は、光が照射されることによりガスを発生させるガス発生剤にエネルギーを移動させてガス発生剤の分解を促進する化合物である限りにおいて特に限定されない。光増感剤としては、例えば、チオキサントン、ベンゾフェノン等が挙げられる。   The photoresponsive gas generating agent preferably further contains a photosensitizer. By including a photosensitizer in the photoresponsive gas generating agent, gas can be generated more rapidly when irradiated with light. The photosensitizer is not particularly limited as long as it is a compound that promotes the decomposition of the gas generating agent by transferring energy to the gas generating agent that generates gas when irradiated with light. Examples of the photosensitizer include thioxanthone and benzophenone.

(第2の実施形態)
本実施形態では、図4に示す、液体に含まれる物質や検体等の検出が可能なマイクロ流体デバイス3について説明する。なお、本実施形態の説明において、上記第1の実施形態と実質的に共通の機能を有する部材を共通の機能で参照し、説明を省略する。
(Second Embodiment)
In the present embodiment, a microfluidic device 3 capable of detecting a substance or a sample contained in a liquid shown in FIG. 4 will be described. In the description of the present embodiment, members having substantially the same function as those of the first embodiment are referred to by the common function, and description thereof is omitted.

図4に示すように、マイクロ流体デバイス3は、第1のマイクロ流路33を備えている。第1のマイクロ流路33の一方の端部は、第1のポート32に接続されている。図5に示すように、第1のポート32は、基板10の第2の主面10bに開口している。   As shown in FIG. 4, the microfluidic device 3 includes a first microchannel 33. One end of the first microchannel 33 is connected to the first port 32. As shown in FIG. 5, the first port 32 opens in the second main surface 10 b of the substrate 10.

図4に示すように、第1のマイクロ流路33の第1のポート32との接続部には、ポンプ機構31が接続されている。このポンプ機構31は、図5に示すように、上記第1の実施形態におけるポンプ機構1aと実質的に同様の構成を有するものである。   As shown in FIG. 4, a pump mechanism 31 is connected to a connection portion of the first microchannel 33 with the first port 32. As shown in FIG. 5, the pump mechanism 31 has a configuration substantially similar to that of the pump mechanism 1a in the first embodiment.

図4に示すように、第1のマイクロ流路33の途中部には、第3のマイクロ流路35が接続されている。第3のマイクロ流路35は、基板10の第1または第2の主面10a、10bに開口している第2のポート37と、第4のマイクロ流路36により接続されている。この第4のマイクロ流路36は、後述する第2のマイクロ流路41よりも小さな流路断面積を有している。   As shown in FIG. 4, a third microchannel 35 is connected to the middle portion of the first microchannel 33. The third micro flow path 35 is connected to the second port 37 opened to the first or second main surface 10 a, 10 b of the substrate 10 by the fourth micro flow path 36. The fourth microchannel 36 has a smaller channel cross-sectional area than a second microchannel 41 described later.

第1のマイクロ流路33の第1のポート32とは反対側の端部は、バルブ機構40を介して、第2のマイクロ流路41と接続されている。バルブ機構40は、図6に示すように、上記第1の実施形態におけるバルブ機構1bと実質的に同様の構成を有するものである。   The end of the first microchannel 33 opposite to the first port 32 is connected to the second microchannel 41 via the valve mechanism 40. As shown in FIG. 6, the valve mechanism 40 has substantially the same configuration as the valve mechanism 1b in the first embodiment.

図4に示すように、第2のマイクロ流路41のバルブ機構40とは反対側の端部は、第3のポート42に接続されている。図6に示すように、第3のポート42は、基板10の第2の主面10bに開口している。   As shown in FIG. 4, the end of the second microchannel 41 opposite to the valve mechanism 40 is connected to the third port 42. As shown in FIG. 6, the third port 42 opens in the second main surface 10 b of the substrate 10.

図4に示すように、第1のマイクロ流路11の第3のマイクロ流路35との接続部よりもポンプ機構31側の部分には、濃縮部34が設けられている。この濃縮部34は、第1のポート32から、第1のマイクロ流路11に供給された液体を濃縮するための部分である。濃縮部は、例えば、検出対象となる液体が抗原や抗体である場合は、抗体もしくは抗原が固定されているアフィニティ濃縮部や、抗原抗体複合体を濾し捕ることができる濾過濃縮部により構成することができる。   As shown in FIG. 4, a concentrating portion 34 is provided in a portion closer to the pump mechanism 31 than the connection portion between the first microchannel 11 and the third microchannel 35. The concentrating part 34 is a part for concentrating the liquid supplied from the first port 32 to the first microchannel 11. For example, when the liquid to be detected is an antigen or an antibody, the concentrating part should be composed of an affinity concentrating part to which the antibody or antigen is fixed or a filtration concentrating part capable of filtering and capturing the antigen-antibody complex. Can do.

また、第1のマイクロ流路11の第3のマイクロ流路35との接続部よりもバルブ機構40側の部分には、検出部39が設けられている。   In addition, a detection unit 39 is provided in a portion closer to the valve mechanism 40 than the connection portion between the first microchannel 11 and the third microchannel 35.

次に、このマイクロ流体デバイス3を用いた分析方法について説明する。まず、第1のポート32から分析対象となる液体を第1のマイクロ流路33に供給する。次に、第1のLED20aを駆動させて、ポンプ機構31を作動させる。これにより、液体が第1のマイクロ流路33内を移送される。そして、液体が濃縮部34を通過することにより濃縮される。濃縮部34を通過した液体は、第3のマイクロ流路35及び第4のマイクロ流路36を経由して第2のポート37から排出される。   Next, an analysis method using the microfluidic device 3 will be described. First, a liquid to be analyzed is supplied from the first port 32 to the first microchannel 33. Next, the first LED 20a is driven to operate the pump mechanism 31. Thereby, the liquid is transferred in the first microchannel 33. Then, the liquid is concentrated by passing through the concentration unit 34. The liquid that has passed through the concentration unit 34 is discharged from the second port 37 via the third microchannel 35 and the fourth microchannel 36.

次に、第1のポート32から第1のマイクロ流路33内に溶離液を供給する。そして、第1のLED20aを駆動させて、ポンプ機構31を作動させる。この際に、第2のLED20bも点灯状態としておき、バルブ機構40を開状態としておく。これにより、溶離液が第1のマイクロ流路33内を移送される。そして、溶離液が濃縮部34を通過することにより、溶離液に被検出体が溶解する。ここで、バルブ機構40が開状態となっているため、被検出体を含む溶離液は、第2のマイクロ流路41側に移相される。そして、検出部39により被検出体の検出が行われる。その後、溶離液は、第2のマイクロ流路41を経由して排出される。   Next, an eluent is supplied from the first port 32 into the first microchannel 33. Then, the first LED 20a is driven to operate the pump mechanism 31. At this time, the second LED 20b is also turned on, and the valve mechanism 40 is opened. As a result, the eluent is transferred through the first microchannel 33. Then, when the eluent passes through the concentration unit 34, the detection target is dissolved in the eluent. Here, since the valve mechanism 40 is in the open state, the eluent containing the detection target is phase-shifted to the second microchannel 41 side. Then, the detection unit 39 detects the detection object. Thereafter, the eluent is discharged via the second microchannel 41.

このように、マイクロ流体デバイス3を用いることにより、例えば、物質の検出等を容易に行うことができる。   As described above, by using the microfluidic device 3, for example, a substance can be easily detected.

(変形例)
上記第1の実施形態では、ポンプ機構1aの一部分を構成している第1の部分17cと、バルブ機構1bの一部分を構成している第2の部分17dとが一体に形成されている例について説明した。但し、本発明は、この構成に限定されない。ポンプ機構1aの一部分を構成するガス発生フィルムと、バルブ機構1bの一部分を構成しているガス発生フィルムとを別個に設けてもよい。例えば、図7に示す例では、第1のマイクロ流路11の第1の端部11aを覆うように形成されている第1のガス発生フィルム17eと、第1のマイクロ流路11の第2の端部11bと、第2のマイクロ流路15の端部15aとを覆うように形成されている第2のガス発生フィルム17fとが設けられている。この場合であっても、上記第1の実施形態と同様の効果が得られる。但し、製造容易性の観点からは、上記第1の実施形態のように、第1のガス発生フィルムと第2のガス発生フィルムとを一体に形成することが好ましい。
(Modification)
In the first embodiment, an example in which the first portion 17c constituting a part of the pump mechanism 1a and the second portion 17d constituting a part of the valve mechanism 1b are integrally formed. explained. However, the present invention is not limited to this configuration. You may provide separately the gas generating film which comprises a part of pump mechanism 1a, and the gas generating film which comprises a part of valve mechanism 1b. For example, in the example illustrated in FIG. 7, the first gas generation film 17 e formed so as to cover the first end portion 11 a of the first microchannel 11 and the second of the first microchannel 11. The second gas generation film 17f is provided so as to cover the end portion 11b of the second microchannel 15 and the end portion 15a of the second microchannel 15. Even in this case, the same effect as the first embodiment can be obtained. However, from the viewpoint of ease of manufacture, it is preferable to integrally form the first gas generating film and the second gas generating film as in the first embodiment.

1,3…マイクロ流体デバイス
1a…ポンプ機構
1b…バルブ機構
10…基板
10a…第1の主面
10b…第2の主面
11…第1のマイクロ流路
11a…第1の端部
11b…第2の端部
12…液体排出ポート
13…液体供給ポート
14…閉鎖部材
15…第2のマイクロ流路
15a…端部
16…液体
17…ガス発生フィルム
17a…フィルム基材
17b…粘着層
17c…第1の部分
17d…第2の部分
18…バリア層
20a…第1のLED
20b…第2のLED
21…光
31…ポンプ機構
32…第1のポート
33…第1のマイクロ流路
34…濃縮部
35…第3のマイクロ流路
36…第4のマイクロ流路
37…第2のポート
39…検出部
40…バルブ機構
41…第2のマイクロ流路
42…第3のポート
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1,3 ... Microfluidic device 1a ... Pump mechanism 1b ... Valve mechanism 10 ... Board | substrate 10a ... 1st main surface 10b ... 2nd main surface 11 ... 1st microchannel 11a ... 1st edge part 11b ... 1st 2 end portion 12 ... liquid discharge port 13 ... liquid supply port 14 ... closing member 15 ... second microchannel 15a ... end portion 16 ... liquid 17 ... gas generating film 17a ... film base material 17b ... adhesive layer 17c ... first 1 part 17d ... 2nd part 18 ... barrier layer 20a ... 1st LED
20b ... second LED
DESCRIPTION OF SYMBOLS 21 ... Light 31 ... Pump mechanism 32 ... 1st port 33 ... 1st microchannel 34 ... Concentration part 35 ... 3rd microchannel 36 ... 4th microchannel 37 ... 2nd port 39 ... Detection Portion 40 ... Valve mechanism 41 ... Second microchannel 42 ... Third port

Claims (11)

第1のマイクロ流路に気体を供給するポンプ機構と、前記第1のマイクロ流路と第2のマイクロ流路との間を開閉するバルブ機構とを有するマイクロ流体デバイスであって、
互いに対向し合う第1及び第2の主面を有し、両端部のそれぞれが第1の主面に開口している前記第1のマイクロ流路と、少なくとも一方の端部が前記第1の主面に開口している前記第2のマイクロ流路とが形成されている基板と、
前記基板の第1の主面上に、前記第1のマイクロ流路の一方の端部を覆うように粘着しており、外部刺激を受けることによりガスを発生する第1のガス発生フィルムと、
前記基板の第1の主面上に、前記第1のマイクロ流路の他方の端部を覆うように粘着しており、外部刺激を受けることによりガスを発生する第2のガス発生フィルムと、
前記第1のガス発生フィルムに外部刺激を付与する第1の外部刺激付与機構と、
前記第2のガス発生フィルムに外部刺激を付与する第2の外部刺激付与機構とを備え、
前記第1のガス発生フィルムと、前記第1の外部刺激付与機構とにより前記ポンプ機構が構成されており、
前記第2のガス発生フィルムと、前記第2の外部刺激付与機構とにより前記バルブ機構とが構成されている、マイクロ流体デバイス。
A microfluidic device having a pump mechanism for supplying a gas to a first microchannel, and a valve mechanism for opening and closing between the first microchannel and the second microchannel,
The first microchannel having first and second main surfaces facing each other, each of both end portions being open to the first main surface, and at least one end of the first microchannel A substrate on which the second microchannel opening in the main surface is formed;
A first gas generating film that is adhered on the first main surface of the substrate so as to cover one end of the first microchannel, and that generates gas by receiving an external stimulus;
A second gas generating film that adheres to the first main surface of the substrate so as to cover the other end of the first microchannel, and generates gas by receiving an external stimulus;
A first external stimulus applying mechanism for applying an external stimulus to the first gas generating film;
A second external stimulus applying mechanism for applying an external stimulus to the second gas generating film,
The pump mechanism is configured by the first gas generating film and the first external stimulus applying mechanism,
The microfluidic device in which the valve mechanism is configured by the second gas generating film and the second external stimulus applying mechanism.
前記第2のガス発生フィルムに外部刺激が加わった際に、前記第2のガス発生フィルムの一部が前記基板から剥離することにより、前記第1のマイクロ流路と前記第2のマイクロ流路とが接続される、請求項1に記載のマイクロ流体デバイス。   When an external stimulus is applied to the second gas generation film, a part of the second gas generation film is peeled off from the substrate, whereby the first microchannel and the second microchannel. And the microfluidic device according to claim 1. 前記第1及び第2のガス発生フィルムのそれぞれは、フィルム基材と、前記フィルム基材と前記基板とを粘着させる粘着層とを有し、前記粘着層は、粘着性を有する粘着剤と、前記外部刺激に応答してガスを発生するガス発生剤とを含む、請求項1または2に記載のマイクロ流体デバイス。   Each of the first and second gas generating films has a film base and an adhesive layer that adheres the film base and the substrate, and the adhesive layer has an adhesive having adhesiveness, The microfluidic device according to claim 1, further comprising a gas generating agent that generates gas in response to the external stimulus. 前記粘着層のゲル分率が75重量%〜80重量%の範囲内にある、請求項3に記載のマイクロ流体デバイス。   The microfluidic device according to claim 3, wherein the gel fraction of the adhesive layer is in the range of 75 wt% to 80 wt%. 前記外部刺激は光であり、前記第1及び第2の外部刺激付与機構のそれぞれは、発光機構により構成されている、請求項1〜4のいずれか一項に記載のマイクロ流体デバイス。   The microfluidic device according to any one of claims 1 to 4, wherein the external stimulus is light, and each of the first and second external stimulus applying mechanisms is configured by a light emitting mechanism. 前記第1及び第2の外部刺激付与機構のそれぞれは、LEDである、請求項5に記載のマイクロ流体デバイス。   The microfluidic device according to claim 5, wherein each of the first and second external stimulus applying mechanisms is an LED. 前記基板には、前記第1のマイクロ流路の途中部に接続されている第3のマイクロ流路と、前記第1または第2の主面に開口している開口部と、該開口部と前記第3のマイクロ流路とを接続しており、前記第2のマイクロ流路よりも流路面積が小さい第4のマイクロ流路とがさらに形成されている、請求項1〜6のいずれか一項に記載のマイクロ流体デバイス。   The substrate includes a third microchannel that is connected to an intermediate portion of the first microchannel, an opening that opens to the first or second main surface, and the opening. The third microchannel is connected to the third microchannel, and a fourth microchannel having a smaller channel area than the second microchannel is further formed. The microfluidic device according to one item. 前記第1のマイクロ流路の前記第3のマイクロ流路が接続されている部分よりも前記ポンプ機構側の部分には、前記第1のマイクロ流路に供給された溶液を濃縮する濃縮部が設けられており、
前記第1のマイクロ流路の前記第3のマイクロ流路が接続されている部分よりも前記バルブ機構側の部分には、前記溶液に含まれる物質を検出する検出部が設けられている、請求項7に記載のマイクロ流体デバイス。
The portion of the first microchannel that is closer to the pump mechanism than the portion to which the third microchannel is connected has a concentrating unit that concentrates the solution supplied to the first microchannel. Provided,
The detection part which detects the substance contained in the said solution is provided in the part by which the said valve mechanism side is located rather than the part to which the said 3rd micro flow path of the said 1st micro flow path is connected. Item 8. The microfluidic device according to Item 7.
前記ガス発生フィルムの前記基板とは反対側の表面に形成されており、前記第1及び第2のガス発生フィルムにおいて発生したガスが前記第1及び第2のガス発生フィルムの前記基板とは反対側の表面から漏洩することを抑制するバリア層をさらに備える、請求項1〜8のいずれか一項に記載のマイクロ流体デバイス。   The gas generating film is formed on the surface opposite to the substrate, and the gas generated in the first and second gas generating films is opposite to the substrates of the first and second gas generating films. The microfluidic device according to claim 1, further comprising a barrier layer that suppresses leakage from a side surface. 前記バリア層は、ガラス、樹脂または金属からなる膜または基板により構成されている、請求項8に記載のマイクロ流体デバイス。   The microfluidic device according to claim 8, wherein the barrier layer is formed of a film or a substrate made of glass, resin, or metal. 前記第1のガス発生フィルムと前記第2のガス発生フィルムとは一体に形成されている、請求項1〜10のいずれか一項に記載のマイクロ流体デバイス。   The microfluidic device according to any one of claims 1 to 10, wherein the first gas generation film and the second gas generation film are integrally formed.
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