JP2009264882A - 外観検査装置 - Google Patents

Abstract

【課題】検査者による欠陥の見逃しや欠陥評価のバラツキを抑えて正確にかつ効率良く被検物の表面の外観検査を行うことが可能な外観検査装置を提供する。
【解決手段】外観検査装置１は、被検物の表面を撮影するための撮影手段５ｃと、撮影手段を制御して画像データを生成し出力する制御手段１１と、画像データを解析して被検物の表面の欠陥を検出し欠陥データを取得する解析手段１２と、画像データと対応する被検物の表面の観察像及び欠陥データと対応する被検物の表面の欠陥情報からなる画像を生成する画像生成手段１５と、画像を表示する表示手段６と、画像データ及び欠陥データを格納する格納手段１４と、画像上で任意に欠陥を選択可能な選択手段７とを備え、画像生成手段１５は、選択手段７によって画像上の欠陥が選択されると当該欠陥と他の欠陥とを区別した画像を格納手段１４に格納された画像データ及び欠陥データから再生成し表示手段６に表示させる。
【選択図】図２

Description

本発明は、被検物の表面の欠陥を検査するための外観検査装置に関する。

レンズの製造工程においては、その表面に、線状や点状のキズや、付着したゴミなどによる欠陥が発生してしまう場合があり、このような欠陥は製品不良の原因となりうる。このため、レンズの製造工程では目視による外観検査が行われており、性能上、外観上問題となる欠陥の有無の確認を行っていた。このようなレンズ表面の外観検査に用いられる外観検査装置は、具体的には、被検物となるレンズの表面を照明する照明光学系と、照明光学系によって照明される照明光を利用して被検物の表面の観察を行う観察光学系とを備える（例えば、特許文献１参照）。照明光学系は、照明光を発する光源と、光源からの照明光を集光させる集光レンズとを備え、集光された照明光をビームスプリッタに反射させて被検物となるレンズの表面に照射させている。また、観察光学系は、照明光がレンズの表面で反射しビームスプリッタを透過する反射光を結像させる対物レンズ及び結像レンズと、結像される位置に設けられて像を取り込む撮像素子と、撮像素子で取り込んだ像を表示するモニタとを備えている。ここで、対物レンズの焦点位置は、被検物であるレンズの球心位置と略一致するように設定されている。このため、球面を有するレンズの表面を、照明光学系の照明によりモニタに拡大表示することができる。そして、検査者は、モニタの表示を確認しながらレンズの欠陥を見つけ出し、見つけ出した各欠陥がレンズの性能上、外観上問題となるかを判断していた。
特開平１０−１２２８３３号公報

しかしながら、特許文献１の外観検査装置では、被検物となるレンズの表面を拡大表示することができるものの、欠陥の検出並びに検出した欠陥の評価は検査者の判断に委ねられる。このため、欠陥の見逃しや、検査者同士の間で欠陥の評価にバラツキが生じてしまうおそれがあった。特に、レンズを被検物とする場合においては、近年搭載するカメラなどの高精細化から高精度な製品が要求されており、これにより外観検査の基準も厳格にする必要があるところ、検査者はより細かな欠陥まで検査する必要があり、検査者の判断のみで全ての欠陥を検出することは困難を極める。このため、本来不合格となるべき被検物が、欠陥の見逃しにより合格と判断されてしまうおそれがあった。また、欠陥を検出したとしても、欠陥の評価のバラツキにより、本来不合格とすべき欠陥を有していても、同様に合格と判断されてしまうおそれがあった。あるいは、本来問題とならない欠陥でも不合格と判断してしまい、コストの増大に繋がってしまうおそれがあった。

この発明は、上述した事情に鑑みてなされたものであって、検査者による欠陥の見逃しや、欠陥評価のバラツキを抑えて、正確にかつ効率良く被検物の表面の外観検査を行うことが可能な外観検査装置を提供するものである。

上記課題を解決するために、この発明は以下の手段を提案している。
本発明は、被検物の表面を撮影するための撮影手段と、該撮影手段を制御し、該撮影手段の撮影により画像データを生成し出力する制御手段と、該制御手段によって生成された前記画像データを解析して前記被検物の表面の欠陥を検出し、該欠陥の特性を示す欠陥データを取得する解析手段と、前記制御手段から出力された前記画像データと対応する前記被検物の表面の観察像、及び、前記解析手段によって取得された前記欠陥データと対応する前記被検物の表面の欠陥情報からなる画像を生成する画像生成手段と、該画像生成手段によって生成された前記画像を表示する表示手段と、前記制御手段から出力された前記画像データ、及び、前記解析手段で取得された前記欠陥データを格納する格納手段と、前記表示手段によって表示された前記画像上で任意に欠陥を選択可能な選択手段とを備え、前記画像生成手段は、該選択手段によって前記画像上の欠陥が選択されると、当該欠陥と他の欠陥とを区別した画像を、前記格納手段に格納された前記画像データ及び前記欠陥データから再生成し、前記表示手段に表示させることを特徴としている。

この発明に係る外観検査装置によれば、制御手段は、撮影手段によって被検物の表面を撮影させることで、当該被検物の表面の画像データを生成し、出力する。そして、解析手段が、この画像データを解析することで、被検物の表面の欠陥を自動的に検出し、また、検出した欠陥の特性を表わす欠陥データを取得することができる。そして、画像生成手段は、画像データと対応する被検物の表面の観察像と、欠陥データと対応する被検物の表面の欠陥情報とからなる画像を生成し、表示手段によって表示させることができる。このため、検査者は、表示手段によって表示される画像によって、被検物の表面の観察像と、該観察像に含まれる欠陥と対応する欠陥情報とを比較しながら、被検物の表面に存在する各欠陥について認識し、また、主観的な判断によってバラツキが発生してしまうことなく、その特性を評価することができる。また、上記解析手段によって取得された画像データ及び欠陥データは、格納手段に格納される。そして、検査者が選択手段により、観察像及び欠陥情報を確認しながら、所望の欠陥を画像上で選択すれば、画像生成手段は、格納手段に格納された画像データ及び欠陥データから選択した欠陥と他の欠陥とを区別した画像を再生成し、表示手段に表示させることとなる。このため、検査者は、検出された各欠陥を選択して、観察像上のいずれの欠陥を確認し、また選択した欠陥といずれの欠陥情報とが対応するのか容易に認識することができ、これにより欠陥の見逃しを防止することができる。

また、上記の外観検査装置において、前記解析手段によって取得された前記欠陥データを予め設定された条件に基づいて分類して、該欠陥データの分類を表わす分類データを取得する分類手段を備え、前記格納手段は、該分類手段によって取得された前記分類データを格納し、前記画像生成手段は、前記欠陥情報として前記分類データと対応する欠陥の分類を有した画像を生成し、前記表示手段によって表示させることがより好ましいとされている。

この発明に係る外観検査装置によれば、分類手段が、解析手段で取得された欠陥データを、予め設定された条件に基づいて分類して分類データを取得する。そして、格納手段が該分類データを格納するとともに、画像生成手段では、該分類データと対応する欠陥の分類を欠陥情報の一つとして画像を生成し、表示手段によって表示させる。このため、検査者は、表示手段によって表示される画像によって、各欠陥を予め設定された条件に基づいて分類して評価することができ、いずれの欠陥が問題となり、いずれの欠陥が問題とならないものなのかを、より容易かつ正確に判断することができる。

また、上記の外観検査装置において、前記解析手段は、前記欠陥データとして、欠陥の前記被検物に対する位置を表わす位置データと、欠陥の大きさを表わす寸法データとを取得し、前記画像生成手段は、前記欠陥情報として、前記位置データと対応する前記被検物に対する欠陥の位置及び前記寸法データと対応する欠陥の大きさを有する画像を生成することがより好ましいとされている。

この発明に係る外観検査装置によれば、解析手段が、欠陥データとして位置データと寸法データとを取得し、画像生成手段が、対応する欠陥の位置及び欠陥の大きさを欠陥情報とする画像を生成し、表示手段よって表示させる。このため、検査者は、欠陥情報に基づいて、各欠陥が観察像上におけるどの位置にあるのかを容易かつ正確に判断し、また、当該欠陥がどの程度の大きさなのかを定量的に評価することができる。

また、上記の外観検査装置において、前記解析手段は、前記欠陥データとして欠陥の種類を表わす種類データをさらに取得し、前記画像生成手段は、前記欠陥情報として前記種類データと対応する欠陥の種類をさらに有する画像を生成することがより好ましいとされている。

この発明に係る外観検査装置によれば、解析手段が、欠陥データとして種類データを取得し、画像生成手段が、対応する欠陥の種類を欠陥情報として有する画像を生成し、表示手段によって表示させる。このため、検査者は、欠陥情報として表示された欠陥の種類に応じて、観察像上の欠陥がどのような種類のものか容易かつ正確に判断することができる。

本発明の外観検査装置によれば、解析手段と、格納手段と、画像生成手段を備えることで、検査者による欠陥の見逃しや、欠陥評価のバラツキを抑えて、正確にかつ効率良く被検物の表面の外観検査を行うことができる。

本発明に係る実施形態について、図１から図６を参照して説明する。図１及び図２に示すように、この実施形態の外観検査装置１は、被検物として被検レンズＲの表面の外観検査を行うものであって、装置本体２と、被検レンズＲが固定される検査台３と、被検レンズＲの表面に観察するための照明光Ｌを照射する照明光学系４と、照明光学系４による照明によって被検レンズＲの表面の撮影を行う撮影光学系５と、装置本体２に接続されて画像として外観検査作業用ＧＵＩ（Ｇｒａｐｈｉｃａｌ Ｕｓｅｒ Ｉｎｔｅｒｆａｃｅ）９０を表示する表示手段であるモニタ６と、外観検査作業用ＧＵＩ９０上でカーソル９１を操作する選択手段であるマウス７とを備える。

照明光学系４は、平行光束の照明光Ｌを発する光源部４ａと、光源部４ａから発せられた照明光Ｌを集光させるための集光レンズ４ｂとを有する。また、検査台３に固定される被検レンズＲと対向する位置にはビームスプリッタ１０が設けられており、集光レンズ４ｂで集光された照明光Ｌは、ビームスプリッタ１０に反射して、被検レンズＲの表面に照射することが可能である。

撮影光学系５は、検査台３に固定された被検レンズＲと対向する位置において、被検レンズＲに近接する側から順に、対物レンズ５ａと、結像レンズ５ｂと、撮影手段であるカメラ５ｃとを有している。カメラ５ｃには、図示しない撮像素子として例えばＣＣＤが内蔵されており、照明光学系４の照明光Ｌにより撮影し、撮像信号を後述する装置本体２の制御部１１に出力する。上記ビームスプリッタ１０は、検査台３に固定された被検レンズＲと対物レンズ５ａとの間に介装されている。また、対物レンズ５ａと結像レンズ５ｂとは結像光学系を構成し、像点Ｓにカメラ５ｃが配置されている。物点Ｔは、照明光学系４の集光レンズ４ｂで屈折して、ビームスプリッタ１０で反射し集光した焦点Ｕと略一致している。さらに、検査台３に設けられた図示しない駆動手段によって、検査台３に固定された被検レンズＲの球心Ｏを物点Ｔに略一致させることが可能である。このため、照明光学系４によってビームスプリッタ１０で反射する照明光Ｌは、被検レンズＲの表面で球心反射し、ビームスプリッタ１０を通過して対物レンズ５ａ及び結像レンズ５ｂによって結像した像をカメラ５ｃによって撮影することが可能となっている。

装置本体２は、カメラ５ｃを制御し、該カメラ５ｃから出力された撮像信号から画像データを生成し出力する制御部１１と、制御部１１から出力された画像データを解析する解析部１２と、解析部１２による解析結果によりデータの分類を行う分類部１３と、解析部１２による解析結果及び分類部１３による分類結果が格納される格納部１４と、モニタ６に表示する画像を生成する画像生成部１５とを有する。なお、装置本体２としては、外観検査装置１の専用の本体構成としても良いし、パーソナルコンピュータによって構成するものとしても良い。

解析部１２は、制御部１１から入力された画像データについて画像処理を行い輝度情報を取得し、輝度分布に基づいて、正常の範囲に対して欠陥Ｄの存在を識別する。具体的には、欠陥Ｄにおいては、正常な範囲に対して輝度が低いことから、統計的手法により欠陥Ｄが存在する箇所、並びに、各欠陥Ｄの範囲を確定させ、各欠陥ＤにＩＤを付与する。また、解析部１２は、確定した各欠陥Ｄについての欠陥データとして、位置データと寸法データとを取得する。

具体的には、図３に示すように、解析部１２は、確定した各欠陥Ｄについて図心Ｄ１を算出し、入力された画像データにおける任意の原点に対するＸ座標、Ｙ座標を算出し、これらによって各欠陥Ｄの位置データを構成する。また、解析部１２は、確定した各欠陥Ｄについて対向する外縁にそれぞれ接線Ｍ１、Ｍ２を形成し、接線Ｍ１、Ｍ２同士の間隔を算出してこれを欠陥の幅Ｂｄとして寸法データを構成する。そして、解析部１２で画像データから取得された欠陥データについて、画像データと関連付けて格納部１４に格納する。

また、解析部１２は、欠陥データにおいて、寸法データを分類部１３に出力する。分類部１３には、寸法データが表わす欠陥の幅Ｂｄについての境界値Ｂ１、Ｂ２、Ｂ３、Ｂ４（Ｂ１＜Ｂ２＜Ｂ３＜Ｂ４）が予め設定されている。境界値Ｂ１、Ｂ２、Ｂ３、Ｂ４は、具体的には、被検レンズＲの表面に存在する欠陥Ｄの幅Ｂｄの程度をレベル分けするためのものである。そして、分類部１３は、当該境界値Ｂ１、Ｂ２、Ｂ３、Ｂ４に基づいて欠陥Ｄを幅寸法で５つのクラスに分類し、対応するクラスＣ１、Ｃ２、Ｃ３、Ｃ４、Ｃ５で構成された分類データを取得し、各欠陥データと対応付けて格納部１４に格納させる。そして、画像生成部１５は、制御部１１から入力された画像データ、解析部１２から入力された欠陥データ、分類部１３によって格納された分類データに基づいて外観検査作業用ＧＵＩ９０を生成する。

図４に示すように、外観検査作業用ＧＵＩ９０は、画像データと対応する観察像Ｑを表示する観察像表示領域９０ａと、欠陥データ及び分類データと対応する欠陥情報Ｐを表示する欠陥情報表示領域９０ｂとを有する。観察像表示領域９０ａには、画像データに基づいて被検レンズＲの観察像Ｑが表示されており、輝度の差によって欠陥Ｄも写し出される。また、欠陥情報表示領域９０ｂには、欠陥のＩＤを表示する第一表示欄Ｐ１と、位置データと対応する被検レンズＲに対する欠陥ＤのＸ座標及びＹ座標を表示する第二表示欄Ｐ２と、寸法データと対応する欠陥の幅Ｂｄを表示する第三表示欄Ｐ３と、分類データと対応する欠陥の幅Ｂｄの分類を表示する第四表示欄Ｐ４とを有する。

ここで、上記の選択手段であるマウス７により、外観検査作業用ＧＵＩ９０上でカーソル９１を操作し該カーソル９１を移動させることによって、外観検査作業用ＧＵＩ９０上の観察像表示領域９０ａにおける任意の欠陥Ｄを選択することが可能であり、また、欠陥情報表示領域９０ｂにおける任意の欠陥Ｄの欠陥情報Ｐを選択することも可能となっている。そして、画像生成部１５は、マウス７によって任意の欠陥Ｄａが選択されると、これに応じて新しい外観検査作業用ＧＵＩ９０を再生成することが可能である。具体的には、画像生成部１５は、格納部１４から画像データ、欠陥データ及び分類データを取り込む。そして、画像生成部１５は、画像データに基づいて、マウス７で選択された観察像表示領域９０ａの欠陥Ｄａの範囲を例えば赤色に着色して他の欠陥Ｄと区別した観察像Ｑを生成するとともに、欠陥データ及び分類データに基づいて、マウス７で選択された欠陥Ｄａと対応する欠陥情報表示領域９０ｂの範囲Ｐａを例えば同様の赤色で着色して他の欠陥の範囲と区別した欠陥情報Ｐを生成し、新たな外観検査作業用ＧＵＩ９０をモニタ６に表示させることが可能である。また、範囲Ｐａをマウス７により選択しても、同様に欠陥Ｄａ及び範囲Ｐａを他の欠陥と区別した新たな外観検査作業用ＧＵＩ９０をモニタ６に表示させることが可能である。なお、選択した欠陥Ｄａの区別方法としては、上記のような着色によるものに限るものではなく、選択したもののみＩＤを表示したり、あるいはマーキングするものとしても良い。また、直前に選択したもののみ着色等するのに限られず、例えば、一度でも選択されたものを緑色に着色し、直近に選択したもののみを赤色に着色するようにしても良い。

次に、この実施形態の外観検査装置１を使用した被検レンズＲの表面の外観検査の詳細について、図５に示すフロー図に基づいて説明する。図５に示すように、まず、第一のステップＳ１として、被検レンズＲを検査台３に載置し、固定する。次に、第二のステップＳ２として、図示しない駆動手段によって検査台３に固定した被検レンズＲの球心Ｏが対物レンズ５ａの物点Ｔと略一致するように調整する。次に、第三のステップＳ３として、制御部１１による制御のもと撮影光学系５のカメラ５ｃによって被検レンズＲの表面を撮影する。そして、第四のステップＳ４として、撮影によって制御部１１で生成された画像データは、上記のとおり、解析部１２に入力されて欠陥Ｄを自動検出し、欠陥データが取得される。

次に、第五のステップＳ５として、分類部１３によって欠陥データから分類データが取得される。具体的には、各欠陥Ｄの寸法データについて、図６に示す判定フローを行い、各欠陥Ｄを幅Ｂｄに基づいてクラスＣ１、Ｃ２、Ｃ３、Ｃ４、Ｃ５のいずれかに分類して分類データとして格納部１４に格納する。そして、第六のステップＳ６として、画像生成部１５では、これら画像データ、欠陥データ及び分類データから外観検査作業用ＧＵＩ９０を生成し、モニタ６に表示させる。

そして、第七のステップＳ７として、モニタ６に表示された観察像Ｑ及び欠陥情報Ｐに基づいて、検査者による被検レンズＲの表面の検査を行う。ここで、モニタ６には、欠陥Ｄを含む観察像Ｑが表示されているとともに、各欠陥Ｄと対応する欠陥情報Ｐとして、ＩＤ、欠陥Ｄの位置（Ｘ座標、Ｙ座標）、欠陥の幅Ｂｄ、及び、当該幅Ｂｄに基づく分類が表示されている。このため、検査者は、被検レンズＲの表面の観察像Ｑと、欠陥情報Ｐとを比較しながら、被検レンズＲの表面に存在する各欠陥Ｄについて認識し、また、主観的な判断によってバラツキが発生してしまうことなく、欠陥Ｄの特性を評価することができる。特に、解析部１２によって欠陥Ｄの特性として位置及び幅Ｂｄを検出し、表示することが可能であることで、欠陥Ｄが観察像Ｑ上のどの位置にあるのかを容易かつ正確に判断することができ、また、欠陥Ｄがどの程度の大きさなのかを定量的に評価することができる。さらに、分類部１３によって欠陥の幅Ｂｄが境界値Ｂ１、Ｂ２、Ｂ３、Ｂ４によって構成されるクラスＣ１、Ｃ２、Ｃ３、Ｃ４、Ｃ５のいずれに含まれるか分類し、表示することが可能であることで、どの欠陥Ｄが幅寸法上問題となるかについて、より容易かつ正確に判断することができる。

そして、第八のステップＳ８として、検査者がマウス７により、観察像Ｑ及び欠陥情報Ｐを確認しながら、所望の欠陥Ｄを外観検査作業用ＧＵＩ９０上で選択すれば、画像生成部１５は、格納部１４に格納された画像データ及び欠陥データから選択した欠陥Ｄａと他の欠陥Ｄとを区別した新たな外観検査作業用ＧＵＩ９０を再生成し、モニタ６に表示させることとなる。このため、検査者は、検出された各欠陥Ｄを選択して、観察像Ｑ上のいずれの欠陥Ｄを確認し、また、選択した欠陥Ｄといずれの欠陥情報Ｐとが対応するのか容易に認識することができ、これにより欠陥Ｄの見逃しを防止することができる。

以上のように、本実施形態の外観検査装置１では、装置本体２において解析部１２と、格納部１４と、画像生成部１５とを備えることで、検査者による欠陥Ｄの見逃しや、欠陥Ｄの評価のバラツキを抑えて、正確にかつ効率良く被検レンズＲの表面の外観検査を行うことができ、特に、分類部１３をさらに備えることで、欠陥Ｄの評価をより容易かつ正確に行うことができる。

なお、本実施形態では、欠陥情報Ｐは、ＩＤ、欠陥の位置Ｘ、Ｙ、欠陥Ｄの幅Ｂｄ、及び、欠陥Ｄの幅の分類によって構成されるものとしたが、これに限るものではない。例えば、解析部１２において寸法データとして欠陥Ｄの長さＬ１を取得し、欠陥情報Ｐとして表示するものとしても良い。具体的には、図７に示すように、解析部１２が、確定した各欠陥Ｄについて外縁を矩形枠Ｎによって囲み、該矩形枠Ｎの長辺の長さＬ１を算出し、これにより寸法データを構成する。そして、画像生成部１５では、当該寸法データによって画像情報として欠陥Ｄの長さＬ１として表示する。また、上記矩形枠Ｎにおいて短辺の長さＬ２を解析部１２で寸法データとして取得しても良いし、さらに、当該矩形枠Ｎにおいて長辺の長さＬ１に対する短辺の長さＬ２の縦横比Ｌ２／Ｌ１を寸法データとして取得しても良い。さらに、欠陥Ｄとして確定した範囲のドット数に基づいて欠陥Ｄの範囲の面積を表示するものとしても良い。

さらには、欠陥Ｄの特性を示す欠陥データとしては、上記のような寸法や面積に限らず、解析部１２によって欠陥Ｄの種類を取得し、表示させることも可能である。具体的には、被検レンズＲにおいては、図８に示すように、代表的な欠陥Ｄとして線状のキズ、点状のキズ、また、被検レンズＲに付着したゴミなどがある。ここで、解析部１２は、欠陥Ｄの範囲における輝度を比較し、例えば、所定の輝度以上ならばゴミとして判断し、また、所定の輝度未満であれば線状あるいは点状のキズと判断することができる。また、上記のように欠陥Ｄを矩形枠Ｎで囲んで縦横比Ｌ２／Ｌ１（図７参照）を算出し、当該縦横比Ｌ２／Ｌ１が所定値以下であるかによって点状のキズであるかを判断することができる。そして、このように欠陥Ｄの種類についても検出し表示することで、同様の幅寸法等を有していても、線状のキズなのか若しくは点状のキズなのか、あるいは、付着したゴミなのかによって判断基準を変えることもでき、検査者による外観検査をより詳細に行うことができるようになる。

以上、本発明の実施形態について図面を参照して詳述したが、具体的な構成はこの実施形態に限られるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲の設計変更等も含まれる。

本発明の実施形態の外観検査装置を概要を示す全体構成図である。 本発明の実施形態の外観検査装置の概要を示すブロック図である。 本発明の実施形態の外観検査装置において、解析部で欠陥データとして欠陥の幅を取得する際の説明図である。 本発明の実施形態の外観検査装置において、モニタに表示される外観検査作業用ＧＵＩの一例を示す模式図である。 本発明の実施形態の外観検査装置を使用した外観検査を行う際のフロー図である。 本発明の実施形態の外観検査装置を使用した外観検査において、欠陥データの分類を行う際の詳細を示すフロー図である。 本発明の実施形態の外観検査装置において、解析部で欠陥データとして欠陥の長さを取得する際の説明図である。 本発明の実施形態の外観検査装置において、モニタに表示される外観検査作業用ＧＵＩの他の例を示す模式図である。

符号の説明

１ 外観検査装置
５ｃ カメラ（撮影手段）
６ モニタ（表示手段）
７ マウス（選択手段）
１１ 制御部（制御手段）
１２ 解析部（解析手段）
１３ 分類部（分類手段）
１４ 格納部（格納手段）
１５ 画像生成部（画像生成手段）
９０ 外観検査用ＧＵＩ（画像）
Ｒ 被検レンズ

Claims (4)

1. 被検物の表面を撮影するための撮影手段と、
   該撮影手段を制御し、該撮影手段の撮影により画像データを生成し出力する制御手段と、
   該制御手段によって生成された前記画像データを解析して前記被検物の表面の欠陥を検出し、該欠陥の特性を示す欠陥データを取得する解析手段と、
   前記制御手段から出力された前記画像データと対応する前記被検物の表面の観察像、及び、前記解析手段によって取得された前記欠陥データと対応する前記被検物の表面の欠陥情報からなる画像を生成する画像生成手段と、
   該画像生成手段によって生成された前記画像を表示する表示手段と、
   前記制御手段から出力された前記画像データ、及び、前記解析手段で取得された前記欠陥データを格納する格納手段と、
   前記表示手段によって表示された前記画像上で任意に欠陥を選択可能な選択手段とを備え、
   前記画像生成手段は、該選択手段によって前記画像上の欠陥が選択されると、当該欠陥と他の欠陥とを区別した画像を、前記格納手段に格納された前記画像データ及び前記欠陥データから再生成し、前記表示手段に表示させることを特徴とする外観検査装置。
2. 請求項１に記載の外観検査装置において、
   前記解析手段によって取得された前記欠陥データを予め設定された条件に基づいて分類して、該欠陥データの分類を表わす分類データを取得する分類手段を備え、
   前記格納手段は、該分類手段によって取得された前記分類データを格納し、
   前記画像生成手段は、前記欠陥情報として前記分類データと対応する欠陥の分類を有した画像を生成し、前記表示手段によって表示させることを特徴とする外観検査装置。
3. 請求項１または請求項２に記載の外観検査装置において、
   前記解析手段は、前記欠陥データとして、欠陥の前記被検物に対する位置を表わす位置データと、欠陥の大きさを表わす寸法データとを取得し、
   前記画像生成手段は、前記欠陥情報として、前記位置データと対応する前記被検物に対する欠陥の位置及び前記寸法データと対応する欠陥の大きさを有する画像を生成することを特徴とする外観検査装置。
4. 請求項３に記載の外観検査装置において、
   前記解析手段は、前記欠陥データとして欠陥の種類を表わす種類データをさらに取得し、
   前記画像生成手段は、前記欠陥情報として前記種類データと対応する欠陥の種類をさらに有する画像を生成することを特徴とする外観検査装置。

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