JP2009014617A5 - - Google Patents
Download PDFInfo
- Publication number
- JP2009014617A5 JP2009014617A5 JP2007178772A JP2007178772A JP2009014617A5 JP 2009014617 A5 JP2009014617 A5 JP 2009014617A5 JP 2007178772 A JP2007178772 A JP 2007178772A JP 2007178772 A JP2007178772 A JP 2007178772A JP 2009014617 A5 JP2009014617 A5 JP 2009014617A5
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- inspection apparatus
- moving mechanism
- board
- unit
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims 46
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 claims 19
- 238000005286 illumination Methods 0.000 claims 12
- 238000007689 inspection Methods 0.000 claims 12
- 230000032258 transport Effects 0.000 claims 11
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims 7
- 238000011179 visual inspection Methods 0.000 claims 5
- 230000007547 defect Effects 0.000 claims 4
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims 2
Claims (15)
- 基板製造ラインの基板搬送路により搬送される基板の表面に照明光を照射する照明部と、
前記照明部により照射された前記基板の表面を撮影する撮影部と、
前記基板搬送路の前記基板の搬送方向に交差する方向に前記照明部および前記撮影部を一体に往復移動させる第１の移動機構と、
前記第１の移動機構または前記基板を前記基板の搬送方向に移動させる第２の移動機構とを備え、
前記照明部及び撮影部と前記基板を相対移動させて、前記撮像部により前記基板全面を撮影することを特徴とする基板外観検査装置。 - 前記照明部は、照明光軸が前記基板面に対して傾くように配置され、前記撮影部は、前記照明部により照射された前記基板の照射範囲に対して光軸を傾けて配置されることを特徴とする請求項１に記載の基板外観検査装置。
- 前記撮影部は、前記照明部により照射される基板の照射範囲の中心を回転支点にして回動する回動機構を備えたことを特徴とする請求項１又は２に記載の基板外観検査装置。
- 前記撮影部は、前記前記照明部により照射される基板の照射範囲の中心を向くように回動することを特徴とする請求項１又は２に記載の基板外観検査装置。
- 前記撮影部は、撮影位置を回転支点にして回動することを特徴とする請求項１又は２に記載の基板外観検査装置。
- 前記撮像部は、撮影位置を回転支点にして回動する回動機構と、前記基板の表面を拡大するズーム機構とを有し、前記回動機構により前記基板上の欠陥が視野内に入るように前記撮影部を回動させることを特徴とする請求項１又は２に記載の基板外観検査装置。
- 前記撮像部は、前記基板の表面を拡大するズーム機構を有し、前記ズーム機構により拡大して撮影した画像を記憶部に記憶することを特徴とする請求項１又は２に記載の基板外観検査装置。
- 前記撮像部により前記基板の照射範囲を撮影した画像の座標位置と、前記ズーム機構により拡大して撮影した画像の座標位置とを前記基板の座標位置に対応付けて記憶部に記憶することを特徴とする請求項７に記載の基板外観検査装置。
- 前記撮像部により前記基板の照射範囲を撮影した画像と、前記基板の照射範囲を撮影した画像の座標位置を前記基板の座標位置に対応付けて記憶部に記憶することを特徴とする請求項１又は２に記載の基板外観検査装置。
- 前記撮像部により撮影された画像を表示するモニタと、前記モニタ上に表示された前記画像中の欠陥位置を指定するポインタとを備え、前記ポインタで指定した欠陥の座標を前記基板の座標に対応付けて記憶部に記憶することを特徴とする請求項１又は２に記載の基板外観検査装置。
- 前記撮像部により撮影された画像を表示するモニタを備え、前記第１の移動機構は、モニタ上に表示される画像が観察者により確認できる流れとなるように前記撮像部を一定の速度で移動させるとともに、前記観察者が欠陥を発見した位置に前記撮像部を停止させることを特徴とする請求項１又は２に記載の基板外観検査装置。
- 前記第１の移動機構と前記第２の移動機構は、互いに直交するように組み合わされたＸＹステージで構成され、前記第２に移動機構は、前記製造ラインの基板搬送路の両側に沿って配置され高さ調整が可能なベース上に取り付けられることを特徴とする請求項１に記載の基板外観検査装置。
- 前記第１の移動機構は、前記製造ラインの搬送方向と交差する方向に前記基板搬送路を跨ぐように架け渡される一対の第１のレールと、前記第１のレールに移動可能に設けられ前記照明部と前記撮影部を搭載する第１のスライダと、前記第１のスライダを前記第１のレールに沿って移動させる第１の駆動装置とを備え、
前記第２に移動機構は、前記基板を搬送方向に搬送する基板搬送路を兼用したことを特徴とする請求項１に記載の基板外観検査装置。 - 前記第１の移動機構は、前記製造ラインの搬送方向と交差する方向に前記基板搬送路を跨ぐように架け渡される一対の第１のレールと、前記第１のレールに移動可能に設けられ前記照明部と前記撮影部を搭載する第１のスライダと、前記第１のスライダを前記第１のレールに沿って移動させる第１の駆動装置とを備え、
前記第２の移動機構は、前記製造ラインの基板搬送路の両側に沿って配置される一対の第２のレールと、前記第２のレールに移動可能に設けられ前記第１の移動機構を搭載する第２のスライダと、前記第１のスライダを前記第２のレールに沿って移動させる第２の駆動装置とを備え、
前記製造ラインの基板搬送路の両側に沿って配置され高さ調整が可能なベース上に前記第２のレールを取り付けたことを特徴とする請求項１に記載の基板外観検査装置。 - 基板製造ラインの基板搬送路は、前記基板を回転させず搬送方向を９０°変えて搬送するコーナ部分を有し、前記９０°に折り曲げられた前記コーナ部分の搬入側の基板搬送路及び搬出側の基板搬送路にそれぞれ前記第１の移動機構を設置し、一方の基板搬送路に設置された第１の移動機構に搭載された前記撮影部と、 他方の基板搬送路に設置された第１の移動機構に搭載された前記撮影部により前記基板に形成された長方形のパターンの配列方向に対して９０°の異なった方向から撮影することを特徴とする請求項１に記載の基板外観検査装置。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2007178772A JP2009014617A (ja) | 2007-07-06 | 2007-07-06 | 基板外観検査装置 |
| TW097122167A TW200909798A (en) | 2007-07-06 | 2008-06-13 | Appearance inspecting device for substrate |
| KR1020080063316A KR20090004636A (ko) | 2007-07-06 | 2008-07-01 | 기판 외관 검사 장치 |
| CNA2008101281276A CN101339143A (zh) | 2007-07-06 | 2008-07-03 | 基板外观检查装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2007178772A JP2009014617A (ja) | 2007-07-06 | 2007-07-06 | 基板外観検査装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2009014617A JP2009014617A (ja) | 2009-01-22 |
| JP2009014617A5 true JP2009014617A5 (ja) | 2010-07-08 |
Family
ID=40213265
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2007178772A Pending JP2009014617A (ja) | 2007-07-06 | 2007-07-06 | 基板外観検査装置 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2009014617A (ja) |
| KR (1) | KR20090004636A (ja) |
| CN (1) | CN101339143A (ja) |
| TW (1) | TW200909798A (ja) |
Families Citing this family (27)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101080216B1 (ko) * | 2009-02-17 | 2011-11-09 | (주)글로벌 텍 | 글라스 에지 검사장치 및 그를 이용한 글라스 에지 검사방법 |
| JP5274389B2 (ja) * | 2009-06-18 | 2013-08-28 | 株式会社アルバック | メンテナンス装置及び吐出装置 |
| TW201118027A (en) * | 2009-11-30 | 2011-06-01 | Schmid Yaya Technology Co Ltd | Chip transporting machine table |
| US8432540B2 (en) * | 2010-03-31 | 2013-04-30 | Cooper S.K. Kuo | Support mechanism for inspection systems |
| CN102680495B (zh) * | 2011-03-15 | 2016-09-07 | 上海赫立电子科技有限公司 | 自动光学检测装置及方法 |
| KR20140022064A (ko) * | 2011-05-10 | 2014-02-21 | 아사히 가라스 가부시키가이샤 | 투광성 판상체의 미소 결점의 검사 방법 및 투광성 판상체의 미소 결점의 검사 장치 |
| CN102621149B (zh) * | 2012-03-21 | 2015-07-22 | 深圳市华星光电技术有限公司 | 基板的检测装置及方法 |
| US20130248692A1 (en) * | 2012-03-21 | 2013-09-26 | Shenzhen China Star Optoelectronics Technology Co Ltd. | Detecting apparatus and method for substrate |
| CN102636498B (zh) * | 2012-03-22 | 2014-04-16 | 深圳市华星光电技术有限公司 | 玻璃基板的检测装置及检测方法 |
| CN102866167A (zh) * | 2012-10-19 | 2013-01-09 | 深圳市劲拓自动化设备股份有限公司 | 一种电路板离线检测系统和方法 |
| CN104568973A (zh) * | 2015-02-09 | 2015-04-29 | 京东方科技集团股份有限公司 | 一种基板检测装置及方法 |
| CN105115979A (zh) * | 2015-09-09 | 2015-12-02 | 苏州威盛视信息科技有限公司 | 基于图像拼接技术的pcb工作片aoi检测方法 |
| JP6587211B2 (ja) * | 2015-12-17 | 2019-10-09 | 日本電気硝子株式会社 | ガラス板の製造方法 |
| KR101751801B1 (ko) * | 2016-05-18 | 2017-06-29 | 한국기계연구원 | 기판 결함 검사 장치 및 이를 이용한 검사 방법 |
| CN107884318B (zh) * | 2016-09-30 | 2020-04-10 | 上海微电子装备（集团）股份有限公司 | 一种平板颗粒度检测方法 |
| CN106862097A (zh) * | 2017-03-27 | 2017-06-20 | 江苏凯伦铝业有限公司 | 光伏组件铝边框全自动检测装置 |
| FR3066821B1 (fr) * | 2017-05-24 | 2019-07-12 | Areva Np | Dispositif de detection d'un defaut sur une surface par eclairage multidirectionnel |
| CN107843991A (zh) * | 2017-09-05 | 2018-03-27 | 努比亚技术有限公司 | 屏幕漏光的检测方法、系统、终端及计算机可读存储介质 |
| JP6795479B2 (ja) * | 2017-09-25 | 2020-12-02 | 株式会社Ｓｃｒｅｅｎホールディングス | 検査装置および検査方法 |
| CN107526196A (zh) * | 2017-09-27 | 2017-12-29 | 武汉华星光电技术有限公司 | 玻璃基板承载装置及检测设备 |
| CN107907549A (zh) * | 2017-11-13 | 2018-04-13 | 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 | 基板检查设备及基板检查方法 |
| JP2019158500A (ja) * | 2018-03-12 | 2019-09-19 | オムロン株式会社 | 外観検査システム、画像処理装置、撮像装置および検査方法 |
| KR102374037B1 (ko) * | 2018-06-29 | 2022-03-11 | 캐논 톡키 가부시키가이샤 | 기판 검사 시스템, 전자 디바이스 제조 시스템, 기판 검사 방법, 및 전자 디바이스 제조 방법 |
| CN110783223B (zh) * | 2018-07-24 | 2024-04-16 | 泰克元有限公司 | 电子部件处理设备用拍摄装置 |
| JP7246938B2 (ja) * | 2019-01-18 | 2023-03-28 | 第一実業ビスウィル株式会社 | 検査装置 |
| CN113945491A (zh) * | 2021-09-01 | 2022-01-18 | 郑州旭飞光电科技有限公司 | 玻璃基板表面颗粒检测系统 |
| CN114994062B (zh) * | 2022-08-05 | 2023-03-14 | 深圳市倍捷锐生物医学科技有限公司 | 材料表面质量检测方法、系统及存储介质 |
Family Cites Families (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH10300446A (ja) * | 1997-04-30 | 1998-11-13 | Nissan Motor Co Ltd | 表面欠陥検査装置 |
| JP2000039564A (ja) * | 1998-07-24 | 2000-02-08 | Sony Corp | 拡大観察装置 |
| JP4744665B2 (ja) * | 2000-03-15 | 2011-08-10 | オリンパス株式会社 | 基板検査装置及び基板検査システム |
| JP2003075294A (ja) * | 2001-09-05 | 2003-03-12 | Toray Ind Inc | 基板の検査方法 |
| KR20040039372A (ko) * | 2001-09-21 | 2004-05-10 | 올림푸스 가부시키가이샤 | 결함 검사 장치 |
| JP2003262593A (ja) * | 2002-03-08 | 2003-09-19 | Mitsubishi Rayon Co Ltd | 欠陥検出装置及び欠陥検出方法 |
| JP4243837B2 (ja) * | 2003-03-14 | 2009-03-25 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 透明基板の表面検査方法及び検査装置 |
-
2007
- 2007-07-06 JP JP2007178772A patent/JP2009014617A/ja active Pending
-
2008
- 2008-06-13 TW TW097122167A patent/TW200909798A/zh unknown
- 2008-07-01 KR KR1020080063316A patent/KR20090004636A/ko not_active Withdrawn
- 2008-07-03 CN CNA2008101281276A patent/CN101339143A/zh active Pending
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP2009014617A5 (ja) | ||
| JP2009014617A (ja) | 基板外観検査装置 | |
| US9441957B2 (en) | Three-dimensional shape measuring apparatus | |
| CN103832873B (zh) | 卷对卷检查设备和使用该卷对卷检查设备的检查方法 | |
| TWI741230B (zh) | 影像取得裝置、影像取得方法以及檢查裝置 | |
| TW200918989A (en) | Substrate appearance inspection apparatus | |
| CN105424721B (zh) | 一种金属应变计缺陷自动检测系统 | |
| JP2014203938A (ja) | 部品実装装置 | |
| JP2008286576A (ja) | 外観検査装置 | |
| JP5267891B2 (ja) | シートに形成されたパターンの位置および形状測定装置および塗工パターン測定装置 | |
| KR20120050857A (ko) | 광학검사장치 | |
| TW201245701A (en) | Method for inspecting minute defect of translucent board-like body, and apparatus for inspecting minute defect of translucent board-like body | |
| TW201443424A (zh) | 透明板狀體表面檢查用攝像系統 | |
| TW201741775A (zh) | 雙面光刻裝置以及雙面光刻裝置中遮罩與工件的對準方法 | |
| JP2009128830A (ja) | 基板処理装置及び基板処理装置の制御方法 | |
| CN106198387B (zh) | 真空吸平装置及含其的料片检测/移载设备 | |
| KR20080023142A (ko) | 외관 검사용 기판 유지 장치 | |
| JP2013072824A (ja) | 画像取得装置および画像取得方法 | |
| JP2006292404A5 (ja) | ||
| JP2017187531A (ja) | 基板の位置決め方法および基板の位置決め装置 | |
| TWI610115B (zh) | 檢測裝置、雷射光照射裝置及光學組件貼合體之製造裝置 | |
| KR20140032659A (ko) | 기판 검사 장치 및 기판 검사 방법 | |
| JP2009271058A (ja) | 撮影検査装置 | |
| JP2011170144A (ja) | フォトマスク、プロキシミティ露光装置、及びプロキシミティ露光装置のアライメントマーク検出方法 | |
| JP2012173337A (ja) | マスク、近接スキャン露光装置及び近接スキャン露光方法 |