JP2008167402A - 圧電振動片、圧電デバイスおよび圧電振動片の製造方法 - Google Patents

Abstract

【課題】励振電極との導通を確保するとともに、パッケージ側とのショートを防止した圧電振動片、これを用いた圧電デバイスおよび圧電振動片の製造方法を提供する。
【解決手段】圧電振動片は、圧電素板と、圧電素板の縁部に設けられ、側面を凸にした切り欠き部２０と、圧電素板の一方の主面に設けた励振電極２２と、励振電極２２に接続し、圧電素板の一方の主面を引き回されて切り欠き部２０に隣接して設けた導通電極２６と、を有し、切り欠き部２０における凸にした部分を、導通電極２６と導通をとる箇所とした構成である。
【選択図】図４

Description

本発明は、圧電振動片、圧電デバイスおよび圧電振動片の製造方法に関するものである。

圧電振動片は圧電素板を有している。この圧電素板の両主面には、その中央部に振動を励起する励振電極がそれぞれ設けてあり、励振電極同士が圧電素板を挟んで対向している。また圧電素板の角部付近に支持電極が設けてあり、圧電素板上を引き回された導通電極を介して励振電極と１対１に導通している。そして一方の主面に設けた励振電極と他方の主面に設けた支持電極とを電気的に接続する導通電極は、圧電素板の主面および側面を引き回されている。なお支持電極は、圧電振動片がパッケージ搭載されたときに、このパッケージに設けたマウント電極と接合する箇所になる。そして、この接合には、導電性接着剤を用いている。

ところで圧電素板には、ＡＴカット水晶素板を用いる場合がある。水晶は、結晶構造の異方性により、結晶軸毎にエッチングされる速さが異なっている。このため水晶素板、特にＡＴカット水晶素板を用いる場合には、側面と主面のなす角が鋭角になる部分が生じる。そして前述した導通電極は、この鋭角になった部分にも引き回されている。

なおＡＴカット水晶素板を用いた圧電振動片について開示したものには、特許文献１，２がある。この特許文献１に開示された圧電振動片は、水晶素板における短辺の両端部に支持電極を設けている。また特許文献２に開示された圧電振動片は、２つの支持電極が幅方向に一部がオーバーラップするように設けてある。そして各支持電極において前記オーバーラップした部分に導電性接着剤が設けてあり、各導電性接着剤と励振電極の中心部とが、水晶の結晶構造のＸ軸線に沿ってずれがない状態で直線状に配置してある。
特開２００５−１９２１３０号公報 特開２００２−２４６８６９号公報

前述したように、圧電素板の主面と側面のなす角が鋭角になっている箇所は、導通電極を形成し難いので断線するおそれがある。また特許文献１に記載されるような圧電振動片、すなわち圧電素板における短辺の両端部に支持電極を設けた圧電振動片では、導電性接着剤によってパッケージに支持されている部分から応力が加わってしまう。そして圧電振動片とパッケージを接合する導電性接着剤が圧電素板の上面に被さるように塗布してある場合には、圧電振動片に加わった前記応力により前記圧電素板の鋭角な箇所が導電性接着剤を押して断線するおそれがある。

また圧電素板の側面に導通電極を引き回していると、導通電極とパッケージの内壁とが接触する可能性がある。そしてパッケージには、セラミックの平板上にシールリングを配設して、圧電振動片を収容するキャビティを形成し、シールリング上にリッドを配設するものがある。このようなパッケージを用いた場合、シールリングは導電性を有するので、導通電極とパッケージの内壁（シールリング）が接触すると、圧電振動子が正常に動作しなくなってしまう。

本発明は、励振電極との導通を確保するとともに、パッケージ側とのショートを防止した圧電振動片、これを用いた圧電デバイスおよび圧電振動片の製造方法を提供することを目的とする。

本発明に係る圧電振動片は、圧電素板と、圧電素板の縁部に設けられ、側面を凸にした切り欠き部と、圧電素板の一方の主面に設けた励振電極と、励振電極に接続し、圧電素板の一方の主面を引き回されて切り欠き部に隣接して設けた導通電極と、を有し、切り欠き部における凸にした部分を、導通電極と導通をとる箇所としたことを特徴としている。切り欠き部の側面を凸にすることにより、圧電素板の主面と側面のなす角度を大きくできる。そして凸になった部分を導通箇所とすることにより、この凸の部分に形成される導通電極が肉薄になるのを防止でき、凸の部分に塗布される導電性接着剤が肉薄になるのを防止できる。これにより励振電極との導通を確保できる。また切り欠き部は、圧電素板の内側に入り込んでいるので、導通電極と導通する箇所を圧電素板の内側に入れることができる。よってこの箇所が圧電振動片を保持するパッケージの側壁と接触するのを防止できる。

また本発明に係る圧電振動片は、圧電素板の他方の主面に支持電極を設け、切り欠き部の側面を凸にした部分に導通電極を引き回して、圧電素板の一方の主面を引き回した導通電極と支持電極とを接続したことを特徴としている。切り欠き部に設けた導通電極を介して、支持電極と励振電極とを導通できる。よって励振電極の導通を確保できる。また切り欠き部に設けた導通電極は、圧電素板の内側に入り込んでいるので、圧電振動片を保持するパッケージの側壁と接触することがない。よって圧電振動片とパッケージの短絡事故を防止できる。

また本発明に係る圧電振動片は、圧電素板の他方の主面に支持電極を設け、切り欠き部を支持電極に隣接して設けたことを特徴としている。支持電極は、導電性接着剤を用いることにより、パッケージに設けたマウント電極と接合する箇所である。このためマウント電極に塗布された導電性接着剤の上に圧電振動片を載せると導電性接着剤が切り欠き部に入り込み、さらに一方の主面に設けた導通電極に被さる。これにより切り欠き部に入り込んだ導電性接着剤と励振電極が導通するので、この励振電極の導通を確保できる。また導電性接着剤が切り欠き部に入り込むので、導電性接着剤がマウント電極の周囲に流れ出すのを防止できる。よって各マウント電極に設けた導電性接着剤同士が短絡するのを防止できる。また導電性接着剤が切り欠き部に入り込むことにより、圧電振動片を保持するパッケージの側壁と導電性接着剤が接触することがない。よって圧電振動片とパッケージの短絡事故を防止できる。

また本発明に係る圧電振動片は、圧電素板の他方の主面にも励振電極およびこの励振電極に導通した支持電極を有し、圧電素板の一方の主面に設けた励振電極と、一方の主面に設けた励振電極に導通した支持電極と、圧電素板の他方の主面に設けた励振電極と、他方の主面に設けた励振電極に導通した支持電極とを一直線に配設したことを特徴としている。これにより支持電極を設けた部分に応力が加わったとしても支持電極間に応力をとどめることができ、励振電極を設けた部分に応力が伝わるのを防止できる。

そして前述した圧電素板は、水晶の結晶軸のうちＸ軸とＺ’軸とで形成される平面からなるＡＴカット水晶素板であり、切り欠き部の側面が凸になっている部分を水晶素板の−Ｘ方向に向いた面および＋Ｘ方向に向いた面の少なくともいずれか一方に設けたことを特徴としている。これによりＡＴカット水晶素板に設ける切り欠き部をウエットエッチングにより形成することにより、−Ｘを向いた箇所や＋Ｘ方向に向いた面に凸形状を得ることができる。

また本発明に係る圧電デバイスは、前述した圧電振動片をパッケージに搭載したことを特徴としている。前述した特徴を有する圧電振動片を搭載することで、圧電振動片の励振電極とパッケージ側との導通を確保することができる。また切り欠き部に設けた導通電極または導電性接着剤と圧電振動片を保持するパッケージの側壁とが接触するのを防止できるので、圧電振動片とパッケージの短絡事故を防止できる。

また本発明に係る圧電振動片の製造方法は、圧電素板を備えた圧電振動片の製造方法であって、圧電素板は、ＡＴカット水晶素板であり、ウエットエッチングにより、水晶素板の外形と、水晶素板の縁部に切り欠き部とを形成する工程と、水晶素板の一方の主面および他方の主面に励振電極を形成し、且つ、水晶素板の一方の主面に形成する励振電極に接続するとともに、水晶素板の一方の主面を引き回しつつ切り欠き部に隣接する導通電極を形成する工程と、を行うことを特徴としている。水晶の結晶軸毎に異なっているエッチングレートを利用することにより、切り欠き部の側面を凸にすることができる。そして凸になった部分を導通箇所とすることにより、この凸の部分に形成される導通電極が肉薄になるのを防止でき、また凸の部分に塗布される導電性接着剤が肉薄になるのを防止できる。これにより励振電極との導通を確保できる。また切り欠き部は、圧電素板の内側に入り込んでいるので、導通電極と導通する箇所を圧電素板の内側に入れることができる。よってこの箇所が圧電振動片を保持するパッケージの側壁と接触するのを防止できる。

そして前述した励振電極および導通電極を形成する工程は、切り欠き部の側面が山切り形状の凸になっている部分にも導通電極を形成する工程を含むことを特徴としている。これにより切り欠き部に設けた導通電極を介して、支持電極と励振電極とを導通できる。よって励振電極の導通を確保できる。また切り欠き部に設けた導通電極は、圧電素板の内側に入り込んでいるので、圧電振動片を保持するパッケージの側壁と接触することがない。よって圧電振動片とパッケージの短絡事故を防止できる。

以下に、本発明に係る圧電振動片、圧電デバイスおよび圧電振動片の製造方法の実施形態について説明する。まず圧電振動片について説明する。図１は圧電振動片の説明図である。ここで図１（Ａ）は圧電振動片の平面図、図１（Ｂ）は圧電振動片の側面図である。図２は圧電振動片の断面図である。ここで図２（Ａ）は図１（Ａ）のＡ−Ａ線における断面図、図２（Ｂ）は図１（Ａ）のＢ−Ｂ線における断面図、図２（Ｃ）は図１（Ａ）のＣ−Ｃ線における断面図を示している。

圧電振動片１０は圧電素板１２を有しており、励振電極２２、支持電極２４および導通電極２６を圧電素板１２に設けたものである。具体的には、圧電素板１２は、厚さが薄くなっている部分（薄肉部１４）と、この薄肉部１４の周囲に形成した薄肉部１４よりも厚い部分（厚肉部１６）とを備えている。すなわち圧電素板１２は、その中央部付近における他方の主面１２ｂ（図１（Ｂ）に示す場合では下側の面）に凹部１８を備えている。そして凹部１８が形成されている部分が薄肉部１４になり、凹部１８の周囲が厚肉部１６になっている。この凹部１８は、エッチングにより形成すればよい。

また圧電素板１２は、その縁部に切り欠き部２０を設けている。この切り欠き部２０は、圧電素板１２の一方の主面１２ａに形成される導通電極２６に隣接して設けてある。なお切り欠き部２０は、縁部に少なくとも１つ設けてあればよい。そして図１（Ａ）に示す場合では、切り欠き部２０は、圧電素板１２の角部のうちの１つ（図１（Ａ）では左上の角部）と、Ｚ’軸に直交するとともに−Ｚ’方向にある圧電素板１２の側面における幅方向の中央とに設けている。この切り欠き部２０の側面は、少なくとも一部が凸形状になっている（図２（Ｃ）参照）。すなわち切り欠き部２０の側面は、圧電素板１２の厚さ方向における中央部が、両端部に比べて外側に出っ張った箇所を有している。この凸になった部分が、後述するように、支持電極２４と導通電極２６の導通をとる箇所またはパッケージ側と導通電極２６の導通をとる箇所となる。

そして本実施形態では、圧電素板１２にＡＴカット水晶素板２８を用いている。図３はＡＴカット水晶素板の説明図である。水晶の結晶軸は、Ｘ軸（電気軸）、Ｙ軸（機械軸）およびＺ軸（光軸）によって定義される。ＡＴカット水晶素板２８は、Ｙ軸に垂直に切り出される水晶Ｙ板をＸ軸回りにθ＝約３５°回転して得られるものである。なおＺ’軸およびＹ’軸は、Ｚ軸およびＹ軸をθ回転させたことにより新たに設定した軸である。このため図１（Ａ）に示す場合では、図面の左右方向がＺ’軸になり、上下方向がＸ軸になり、垂直方向がＹ’軸になっている。また図１（Ｂ）に示す場合では、図面の左右方向がＺ’軸になり、上下方向がＹ’軸になり、垂直方向がＸ軸になっている。

また圧電素板１２に設けられる励振電極２２は、図１に示すように、圧電素板１２の薄肉部１４に設けてある。そして圧電素板１２の一方の主面１２ａに設けた励振電極２２は平面視して矩形になっており、他方の主面１２ｂに設けた励振電極２２は平面視して円形になっており、各励振電極２２が圧電素板１２を挟んで対向している。また支持電極２４は、励振電極２２の数と同じ数が圧電素板１２の他方の主面１２ｂに設けてある。そして一方の支持電極２４と他方の支持電極２４は、Ｚ’軸に沿った一直線上に配置されている。（図２（Ａ）参照）。この直線は、圧電素板１２の主面の外形を形成する辺のうちＸ軸に沿った辺の中央を通るようになっている。

また導通電極２６は、各励振電極２２に接続している。すなわち圧電素板１２の他方の主面１２ｂに設けた励振電極２２と他方の支持電極２４は、他方の主面１２ｂを引き回された導通電極２６を介して１対１に導通している（図１（Ａ）参照）。また圧電素板１２の一方の主面１２ａに設けた励振電極２２には、一方の主面１２ａを引き回された導通電極２６が接続している。この一方の主面１２ａに設けた導通電極２６は、２つの切り欠き部２０に隣接して引き回してある。そして本実施形態では、一方の主面１２ａに設けた導通電極２６は、圧電素板１２の角部に設けた切り欠き部２０の側面にも引き回されて、一方の支持電極２４に導通している。なお切り欠き部２０の側面に引き回された導通電極２６は、切り欠き部２０の側面が凸になった部分、すなわち圧電素板１２の側面における厚さ方向の中央部が外側に出っ張った箇所に設けてある。

次に、このような圧電振動片１０の製造方法について説明する。まず圧電素板１２は、ウエットエッチングによって外形および切り欠き部２０を形成する。そして切り欠き部２０は、圧電ウエハの表裏両面からウエットエッチングを行うことにより形成する。このとき圧電素板１２を形成している圧電性を有する結晶がエッチングレートの異方性を有していれば、圧電素板１２の縁部（側面）や切り欠き部２０の側面を凸形状にすることができる。

また圧電素板１２は、前記圧電ウエハから折り取るようにして個片化している。
このため圧電素板１２は、図２（Ｃ）に示す右端部に、この圧電素板１２の主面に対して略垂直になった箇所を有している。そして、この略垂直になった箇所に隣接しているテーパ状の箇所は、圧電素板１２を個片化するための分割用溝を形成したために存在している。この分割用溝は、前記圧電ウエハの片方の主面（図２（Ｃ）では他方の主面１２ｂ側）からのみハーフエッチングを行なって形成されている。なお圧電素板１２を前記圧電ウエハから折り取る箇所は、図２（Ｃ）に示す右端部に限定されることはなく、実施形態に応じて適宜折り取り箇所を設定することができる。

そして圧電素板１２がＡＴカット水晶素板２８であれば、水晶の結晶の異方性に起因して結晶軸毎にエッチングレートが異なっているので、ウエットエッチングすると水晶素板２８の縁部のうちＺ’軸に沿い（Ｘ軸に直交する側面）、且つ、−Ｘ側にある縁部は、水晶素板２８の厚さ方向における中央部が両端部に比べて凸になる（図１には図示せず）。なお水晶素板２８の縁部のうちＸ軸に沿い（Ｚ’軸に直交する側面）、且つ、−Ｚ’側にある縁部は、水晶素板２８の一方の主面１２ａが他方の主面１２ｂよりも外側に出っ張り、一方の主面１２ａと側面のなす角が鋭角になる（図１（Ｂ）参照）。したがってウエットエッチングによってＡＴカット水晶素板２８に切り欠き部２０を形成すると、この切り欠き部２０の側面のうち−Ｘ方向に向いている箇所は凸形状になる。

図４はＡＴカット水晶素板に形成した切り欠き部の説明図である。ここで図４（Ａ）は切り欠き部の平面図であり、図４（Ｂ），（Ｃ）は切り欠き部の側面図である。図４（Ａ）に示す切り欠き部２０のうち側面が−Ｘ方向に向いている箇所ａは、図４（Ｂ）に示すように切り欠き部２０の側面における厚さ方向の中央部が両端部に比べて外側に出っ張った凸形状をしている。これに対し、図４（Ａ）に示す切り欠き部２０のうち側面が−Ｚ’方向に向いている箇所ｂは、図４（Ｃ）に示すように水晶素板２８の一方の主面１２ａが他方の主面１２ｂよりも外側に出っ張り、一方の主面１２ａと切り欠き部２０の側面のなす角α２が鋭角になる。

このとき図４（Ｂ）に示す切り欠き部２０の側面が凸になった部分の角度α１は、図４（Ｃ）に示す一方の主面１２ａと切り欠き部２０の側面とのなす角α２に比べて大きくなっている。そして切り欠き部２０の側面のうち前述した箇所ａ，ｂ以外、すなわち−Ｘ方向に向く箇所ａから−Ｚ’方向に向く箇所ｂまでの側面形状は、図４（Ｂ）に示す形状が図４（Ｃ）に示す形状に徐々に変化していく形状となる。このため図１（Ａ）に示す圧電振動片１０においても、切り欠き部２０は図４を用いて説明したものと同じ形状になる。すなわち切り欠き部２０の側面が−Ｚ’方向に向く箇所やこの箇所に近い部分は、図２（Ａ），（Ｂ）に示すように、一方の主面１２ａと切り欠き部２０の側面とのなす角が鋭角になる。また切り欠き部２０のうち側面が−Ｘ方向に向く箇所に近い部分は、図２（Ｃ）に示すように、水晶素板２８の厚さ方向における中央部が両端部に比べて凸になる。

なお図１（Ａ）に示すように、Ｚ’軸に直交するとともに、−Ｚ’方向にある圧電素板１２の側面において、幅方向（Ｘ軸に沿う方向）の中央部に設けた切り欠き部２０は半円形状なので、前述した側面の形状ばかりでなく、＋Ｘ方向から−Ｘ方向まで向いた側面を有している。このため、これらの間の側面も、＋Ｘ方向に向いた側面の形状から−Ｚ’方向に向いた側面の形状に徐々に変化し、そして−Ｚ’方向に向いた側面の形状から−Ｘ方向に向いた側面の形状に徐々に変化していく。
このように圧電素板１２の外形と切り欠き部２０を形成するとともに、圧電素板１２の他方の主面１２ｂに凹部１８を形成して逆メサ型にする。

この後、励振電極２２、支持電極２４および導通電極２６（以下「電極パターン」という。）を圧電素板１２に形成する。この電極パターンは、圧電素板１２にマスクを被せ、このマスクが開口して圧電素板１２が露出した部分に蒸着やスパッタ等の成膜法を用いて電極パターンの材料を成膜することにより形成すればよい。そしてこの場合、切り欠き部２０の側面における前述した山切り形状になった凸の部分にも電極パターン材料を成膜して、導通電極２６を形成することができる。これにより一方の支持電極２４と一方の主面１２ａに設けた励振電極２２が導通する。なお切り欠き部２０に形成する導通電極２６は、図１に示す場合では圧電素板１２の角部に設けた切り欠き部２０に形成すればよく、支持電極２４に隣接して形成した切り欠き部２０には導通電極２６を形成しなくてもよい。
すなわち切り欠き部２０を導電性接着剤で充たす場合には、その側面に導通電極２６を形成しなくてもよい。そして成膜後にマスクを取り除けば、圧電振動片１０が形成される。

このような圧電振動片１０およびこれの製造方法によれば、圧電素板１２に設ける切り欠き部２０の側面を凸形状にしている。そして圧電素板１２としてＡＴカット水晶素板２８を用いた場合は、水晶の結晶軸毎に異なるエッチングレートを利用することで、切り欠き部２０の側面の少なくとも一部を山切り形状になった凸型にすることができる。この切り欠き部２０の側面が凸になった部分の角度（図４（Ｂ）ではα１）は、−Ｚ’方向を向く側面において圧電素板１２の一方の主面１２ａと側面とのなす角（図４（Ｃ）ではα２）よりも大きくなっている。

このため導通電極２６は、容易に形成することができ、また厚さを確保できるので断線を防止できる。また、この凸になった部分に導電接着剤を塗布すれば、導電性接着剤が肉薄になることがなく、断線を防止できる。

また圧電振動片１０は、この中心線を通る一直線上に各支持電極２４を配設しているので、支持電極２４を設けた部分に応力が加わったとしても支持電極２４間に応力をとどめることができ、励振電極２２を設けた部分（振動部）に応力が伝わるのを防止できる。よって圧電振動片１０は、この応力によって歪みを生じることがなく、エージング特性等が劣化するのを防止できる。

また圧電振動片１０は逆メサ型になっているので、振動部の圧電素板１２の厚さを薄くすることができる。そして圧電素板１２にＡＴカット水晶素板２８を用いた場合には、振動部の厚さを薄くすることにより、発振周波数を高くすることができる。

そして前述した圧電振動片１０では、切り欠き部２０の平面形状が円弧状になっているが、本発明はこれに限定されることはない。すなわち切り欠き部２０の平面形状は、四角形や三角形等の任意の形状であればよい。

また圧電振動片１０は、圧電素板１２の縁部に切り欠き部２０を設け、この切り欠き部２０の側面を凸にしてあればよい。このため前述した実施形態において、圧電素板１２にＡＴカット水晶素板２８を用いた場合では、圧電素板１２の角部と、Ｘ軸に沿うとともに−Ｚ’方向に位置する圧電素板１２の側面に切り欠き部２０を設けているが、本発明はこれに限定されることはない。すなわち切り欠き部２０は、圧電素板１２にＡＴカット水晶素板２８を用いた場合でも、水晶素板２８のいずれかの縁部に設けることができる。

そしてウエットエッチングによって切り欠き部２０を形成する場合には、水晶素板２８の−Ｘ方向に向いた縁部に切り欠き部２０を設けることができる。すなわち図１に示す場合では、Ｚ’軸に沿うとともに−Ｘ方向にある水晶素板２８の縁部に切り欠き部２０を設けることで側面を凸形状にすることができる。またＸ軸に沿う水晶素板２８の縁部に切り欠き部２０を設ければ、−Ｘ方向に向く側面が得られるので、切り欠き部２０の側面の一部を凸形状にすることができる。これにより切り欠き部２０の側面を凸にした部分を、−Ｘ方向に向いた面に設けることができる。またサンドブラスト等の機械的な加工法を用いて切り欠き部２０を形成する場合には、圧電素板１２のいずれかの縁部に設けることができる。

また前述した圧電振動片１０は、逆メサ形状の圧電素板１２を用いているが、本発明はこの形態に限定されることはない。すなわち圧電振動片１０は、フラット板、メサ形状、ベベル形状、プラノベベル形状、コンベックス形状およびプラノコンベックス形状のうちいずれかの形状の圧電素板１２を用いることができる。

また本発明に用いる圧電素板１２は、水晶素板２８以外でもよい。そしてウエットエッチングを用いて圧電素板１２に切り欠き部２０を形成し、その側面を凸にするのであれば、圧電素板１２は、結晶構造の異方性を有するものであればよい。

次に、前述した圧電振動片１０を用いた圧電デバイスについて説明する。図５は圧電デバイスの説明図である。ここで図５（Ａ）は圧電デバイスの平面図、図５（Ｂ）は断面図である。なお図５（Ａ）では、圧電振動片１０を気密封止するためのリッドの記載を省略している。

図５に示す圧電デバイス３０は、パッケージ３２に圧電振動片１０を収容している。パッケージ３２は、平板の基板３４の上に枠型の側壁３６を設けて、上方に向けて開口した凹陥部３８を形成し、前記側壁３６の上にリッド４０を接合して凹陥部３８を気密封止したものである。なお平板の基板３４は、セラミック製の絶縁基板等であればよい。また枠型の側壁３６は、Ｆｅ−Ｎｉ−Ｃｏ−合金やＦｅ−Ｎｉ合金の表面にＮｉ、Ａｕを順次メッキしたシールリングであってもよく、セラミック製の枠型絶縁基板等であってもよい。

そして前述した圧電振動片１０を凹陥部３８内に搭載するために、平板の上にマウント電極４２を設けるとともに、平板の下面に外部端子４４を設け、マウント電極４２と外部端子４４を１対１に導通する。マウント電極４２は、圧電振動片１０と電気的および機械的に接続するために、導電性接着剤４６が塗布されている。この導電性接着剤４６の上に圧電振動片１０の支持電極２４を載せ、この導電性接着剤４６を介して圧電振動片１０の支持電極２４とマウント電極４２が１対１に導通している。

ここで導電性接着剤４６の上の圧電振動片１０を載せると、図５の左側に示すマウント電極４２に塗布した導電性接着剤４６が、支持電極２４に隣接している切り欠き部２０に入り込む。この切り欠き部２０に入り込んだ導電性接着剤４６は、切り欠き部２０の側面を凸にした部分と圧電振動片１０の一方の主面１２ａに被さる。そして圧電素板１２の一方の主面１２ａに引き回された導通電極２６と接触している。これによりパッケージ３２に設けたマウント電極４２は、導電性接着剤４６と一方の主面１２ａを引き回した導通電極２６を介して一方の主面１２ａに設けた励振電極２２と導通するとともに、他方の主面１２ｂ、切り欠き部２０および一方の主面１２ａを引き回した導通電極２６と導電性接着剤４６を介して一方の主面１２ａに設けた励振電極２２と導通する。またパッケージ３２に設けた他のマウント電極４２は、他方の主面１２ｂに設けた支持電極２４、導通電極２６および励振電極２２と導電性接着剤４６を介して導通する。また切り欠き部２０に導電性接着剤４６が入り込むことにより、導電性接着剤４６がマウント電極４２の周囲に流れ出すのを防止できる。よって各マウント電極４２に設けた導電性接着剤４６同士が短絡するのを防止できる。

なお図５（Ｂ）では、圧電デバイス３０の断面図を示しているが、圧電振動片１０は側面を示しているので、切り欠き部２０の側面を図示していない。そして各導電性接着剤４６と、励振電極２２の中心部は、図５において左右方向の一直線上に位置している。

このような圧電デバイス３０によれば、圧電素板１２の縁部に設けた切り欠き部２０において、少なくとも側面を凸にした部分に導電性接着剤４６を設けているので、導電性接着剤４６が断線を防止できる。すなわち圧電振動片１０に応力が加わって、切り欠き部２０の側面を凸にした部分にこの応力が加わっても、この凸の部分の角度が大きいので導電性接着剤４６が肉薄になるのを防止できる。これにより導電性接着剤４６と圧電振動片１０の導通を確保できる。

また各導電性接着剤４６と励振電極２２の中心部とが一直線上に配置されている、すなわち圧電振動片１０の振動部の中央部と圧電振動片１０の幅方向の中央部とを結ぶ線上で圧電振動片１０が保持されているので、この圧電振動片１０が支持されている部分からの応力が緩和される。すなわちパッケージ３２が撓んで圧電振動片１０に応力が加わっても、圧電振動片１０に支持部で応力が緩和される。よってリフローやエージング等の特性が向上する。

また切り欠き部２０によって、圧電素板１２の一方の主面１２ａに設けた励振電極２２と他方の主面１２ｂに設けた支持電極２４とを導通する導通電極２６が圧電素板１２の内側に形成することができ、また導電性接着剤４６を圧電素板１２の内側に入れることができるので、導通電極２６や導電性接着剤４６とパッケージ３２の側壁３６とが接触するのを防止できる。そして側壁３６がシールリングであれば、導通電極２６や導電性接着剤４６と側壁３６とが接触して短絡するという事故を防ぐことができる。

なお図５に示す圧電振動片１０は、その角部と、主面を構成している１つの辺の中央部とに切り欠き部２０を設けているが、切り欠き部２０はいずれか一方のみであってもよい。なお圧電素板１２の角部に設けた切り欠き部２０は、導電性接着剤４６で充たされていない。そして図５に示す圧電振動片１０は、切り欠き部２０を２つ有しているが、いずれか一方のみ設けてあればよい。

なお圧電デバイス３０は、図５に示す構成に加えて、圧電振動片１０を発振させる回路（以下「発振回路」という。）をパッケージ３２に搭載してもよい。そして、圧電振動片１０は、発振回路を介して外部端子４４と導通していればよい。これにより圧電デバイス３０は、圧電発振器になる。また圧電デバイス３０は、前述した発振回路に加えて、印加された制御電圧に応じて発振周波数を可変する電圧制御回路を搭載して、電圧制御型圧電発振器になっていてもよい。また圧電デバイス３０は、周囲温度にかかわらず発振周波数を一定に保つための温度補償回路を搭載して、温度補償型圧電発振器や電圧制御−温度補償型圧電発振器になっていてもよい。

圧電振動片の説明図である。 圧電振動片の断面図である。 ＡＴカット水晶素板の説明図である。 切り欠き部の説明図である。 圧電デバイスの説明図である。

符号の説明

１０………圧電振動片、１２………圧電素板、２０………切り欠き部、２２………励振電極、２４………支持電極、２６………導通電極、２８………ＡＴカット水晶素板、３０………圧電デバイス、３２………パッケージ、３６………側壁、４６………導電性接着剤。

Claims (8)

1. 圧電素板と、
   前記圧電素板の縁部に設けられ、側面を凸にした切り欠き部と、
   前記圧電素板の一方の主面に設けた励振電極と、
   前記励振電極に接続し、前記圧電素板の一方の主面を引き回されて前記切り欠き部に隣接して設けた導通電極と、を有し、
   前記切り欠き部における凸にした部分を、前記導通電極と導通をとる箇所とした、
   ことを特徴とする圧電振動片。
2. 前記圧電素板の他方の主面に支持電極を設け、
   前記切り欠き部の側面を凸にした部分に導通電極を引き回して、前記圧電素板の一方の主面を引き回した前記導通電極と前記支持電極とを接続したことを特徴とする請求項１に記載の圧電振動片。
3. 前記圧電素板の他方の主面に支持電極を設け、前記切り欠き部を前記支持電極に隣接して設けたことを特徴とする請求項１に記載の圧電振動片。
4. 前記圧電素板の他方の主面にも励振電極およびこの励振電極に導通した支持電極を有し、
   前記圧電素板の一方の主面に設けた前記励振電極と、前記一方の主面に設けた前記励振電極に導通した前記支持電極と、前記圧電素板の他方の主面に設けた前記励振電極と、前記他方の主面に設けた前記励振電極に導通した前記支持電極とを一直線に配設した、
   ことを特徴とする請求項１ないし３のいずれかに記載の圧電振動片。
5. 前記圧電素板は、水晶の結晶軸のうちＸ軸とＺ’軸とで形成される平面からなるＡＴカット水晶素板であり、
   前記切り欠き部の側面が凸になっている部分を前記水晶素板の−Ｘ方向に向いた面および＋Ｘ方向に向いた面の少なくともいずれか一方に設けた、
   ことを特徴とする請求項１ないし４のいずれかに記載の圧電振動片。
6. 請求項１ないし５のいずれかに記載の圧電振動片をパッケージに搭載したことを特徴とする圧電デバイス。
7. 圧電素板を備えた圧電振動片の製造方法であって、
   前記圧電素板は、ＡＴカット水晶素板であり、
   ウエットエッチングにより、前記水晶素板の外形と、前記水晶素板の縁部に切り欠き部とを形成する工程と、
   前記水晶素板の一方の主面および他方の主面に励振電極を形成し、且つ、前記水晶素板の前記一方の主面に形成する前記励振電極に接続するとともに、前記水晶素板の前記一方の主面を引き回しつつ切り欠き部に隣接する導通電極を形成する工程と、
   を行うことを特徴とする圧電振動片の製造方法。
8. 前記励振電極および前記導通電極を形成する工程は、前記切り欠き部の側面が山切り形状の凸になっている部分にも導通電極を形成する工程を含むことを特徴とする請求項７に記載の圧電振動片の製造方法。

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