[go: up one dir, main page]

JP2008078791A - 表面実装用の水晶発振器 - Google Patents

表面実装用の水晶発振器 Download PDF

Info

Publication number
JP2008078791A
JP2008078791A JP2006253133A JP2006253133A JP2008078791A JP 2008078791 A JP2008078791 A JP 2008078791A JP 2006253133 A JP2006253133 A JP 2006253133A JP 2006253133 A JP2006253133 A JP 2006253133A JP 2008078791 A JP2008078791 A JP 2008078791A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
layer
flat plate
frame wall
probe contact
contact terminal
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2006253133A
Other languages
English (en)
Inventor
Koichi Moriya
貢一 守谷
Shusuke Harima
秀典 播磨
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Nihon Dempa Kogyo Co Ltd
Original Assignee
Nihon Dempa Kogyo Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Nihon Dempa Kogyo Co Ltd filed Critical Nihon Dempa Kogyo Co Ltd
Priority to JP2006253133A priority Critical patent/JP2008078791A/ja
Priority to US11/901,620 priority patent/US20080068102A1/en
Publication of JP2008078791A publication Critical patent/JP2008078791A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H03ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03BGENERATION OF OSCILLATIONS, DIRECTLY OR BY FREQUENCY-CHANGING, BY CIRCUITS EMPLOYING ACTIVE ELEMENTS WHICH OPERATE IN A NON-SWITCHING MANNER; GENERATION OF NOISE BY SUCH CIRCUITS
    • H03B5/00Generation of oscillations using amplifier with regenerative feedback from output to input
    • H03B5/30Generation of oscillations using amplifier with regenerative feedback from output to input with frequency-determining element being electromechanical resonator
    • H03B5/32Generation of oscillations using amplifier with regenerative feedback from output to input with frequency-determining element being electromechanical resonator being a piezoelectric resonator
    • H03B5/36Generation of oscillations using amplifier with regenerative feedback from output to input with frequency-determining element being electromechanical resonator being a piezoelectric resonator active element in amplifier being semiconductor device
    • HELECTRICITY
    • H03ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03HIMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
    • H03H9/00Networks comprising electromechanical or electro-acoustic elements; Electromechanical resonators
    • H03H9/02Details
    • H03H9/05Holders or supports
    • H03H9/0538Constructional combinations of supports or holders with electromechanical or other electronic elements
    • H03H9/0547Constructional combinations of supports or holders with electromechanical or other electronic elements consisting of a vertical arrangement
    • HELECTRICITY
    • H03ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03HIMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
    • H03H9/00Networks comprising electromechanical or electro-acoustic elements; Electromechanical resonators
    • H03H9/02Details
    • H03H9/05Holders or supports
    • H03H9/0538Constructional combinations of supports or holders with electromechanical or other electronic elements
    • H03H9/0547Constructional combinations of supports or holders with electromechanical or other electronic elements consisting of a vertical arrangement
    • H03H9/0552Constructional combinations of supports or holders with electromechanical or other electronic elements consisting of a vertical arrangement the device and the other elements being mounted on opposite sides of a common substrate
    • HELECTRICITY
    • H03ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03HIMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
    • H03H9/00Networks comprising electromechanical or electro-acoustic elements; Electromechanical resonators
    • H03H9/02Details
    • H03H9/05Holders or supports
    • H03H9/10Mounting in enclosures
    • H03H9/1007Mounting in enclosures for bulk acoustic wave [BAW] devices
    • H03H9/1014Mounting in enclosures for bulk acoustic wave [BAW] devices the enclosure being defined by a frame built on a substrate and a cap, the frame having no mechanical contact with the BAW device
    • H03H9/1021Mounting in enclosures for bulk acoustic wave [BAW] devices the enclosure being defined by a frame built on a substrate and a cap, the frame having no mechanical contact with the BAW device the BAW device being of the cantilever type

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Acoustics & Sound (AREA)
  • Oscillators With Electromechanical Resonators (AREA)

Abstract

【課題】容器本体の底面側に設けられたプローブ接触端子(水晶検査端子や書込端子)へのプローブの当接を容易にした表面実装発振器を提供する。
【解決手段】平板層5と枠壁層6とを有して一主面に凹部を有する凹状の容器本体1と、前記容器本体1内に密閉封入されたICチップ2及び水晶片3と、前記容器本体1の外表面に形成されたプローブ接触端子8とを有する表面実装用の水晶発振器において、前記平板層5は外底面に表面実装端子6を有する第1平板層5aと前記ICチップ2の固着される第2平板層5bとを積層してなり、前記第1平板層5aには外周が開放した切欠部12を有し、前記切欠部12によって露出した前記第2平板層5bの露出面には前記プローブ接触端子8が設けられた構成とする。また、これらをH状とした容器本体あるいは水晶振動子の底面に実装基板を設けた接合型に適用する。
【選択図】図1

Description

本発明は表面実装用の水晶発振器(以下、表面実装発振器とする)を技術分野とし、特に水晶検査端子や書込端子等のプローブ接触端子を有する表面実装発振器に関する。
(発明の背景)
表面実装発振器は小型・軽量であることから、特に携帯電話を主とした携帯型の電子機器に周波数や時間の基準源として広く用いられている。このようなものの一つに、水晶振動子の振動特性を検査する水晶検査端子や、温度補償データを書き込む書込端子等のプローブ接触端子を容器本体の底面や側面の外表面に設けたものがある(特許文献1)。
(従来技術の一例)
第7図は一従来例(特許文献1)を説明する図で、同図(a)は表面実装発振器の断面図で、同図(b)は同底面図、同図(c)は水晶片の平面図である。
表面実装発振器は凹状とした容器本体1にICチップ2と水晶片3とを収容し、金属カバー4を接合して密閉封入してなる。容器本体1は平板層(底壁層)1aと枠壁層6とから一主面に凹部を形成する積層セラミックからなる。
平板層5は少なくとも第1平板層5aと第2平板層5bからなり、第1平板層5aの外底面には電源・アース・出力等の表面実装端子6を4角部に有する。表面実装端子は、一般には各4角部の外周から離間して形成され、積層・焼成後におけるシートセラミックからの個々の容器本体1への分割を容器本体にするためである。
第1平板層5aの中央領域には複数の貫通孔7を有し、第2平板層5bの積層面を露出する。第2平板層5bの露出面には例えば4つのプローブ接触端子8を有する。特許文献1ではプローブ接触端子8は温度補償データの書込端子とする。ここでは、プローブ接触端子8のたとえば4個中の2個を水晶検査端子8aとして、残りの2個を書込端子8bとする。
ICチップ2は発振回路及び温度補償機構部を集積化し、容器本体1の内底面に例えば図示しないバンプ用いた超音波熱圧着によるフリップチップボンディングによって、回路機能面(一主面)が固着される。そして、容器本体1の外底面の4角部に設けられた表面実装端子6に積層面及び側面のスルーホール(不図示)を経て電気的に接続する。温度補償機構部はプローブ接触端子8としての書込端子8bに接続する。
水晶片3は両主面に励振電極9を有し、引出電極10の延出した一端部両側が容器本体1の内壁段部に導電性接着剤11によって固着される。そして、図示しない導電路によって、ICチップ2及び水晶検査端子8aに電気的に接続する。
金属カバー4例えば母体をコバールとしてNiメッキとする。そして、容器本体1の開口端面上に設けられた金属リング12にシーム溶接する。シーム溶接は図示しない一対の金属ローラを金属カバー4の対向辺に当接して回転・進行とともに通電する。これにより、ジュール熱によってニッケルメッキを溶融して接合する。
このようなものでは、ICチップ2と水晶片3を容器本体1に収容して金属カバー4を接合した後、水晶検査端子8aによって水晶振動子(水晶片3)の振動特性を検査し、不良品を排除する。なお、水晶片3の固着後及び封止後では環境が変化して振動特性が変化するため、特に発振条件の一つであるクリスタルインピーダンス(CI)が測定される。
次に、予め測定した発振周波数の温度に対する周波数変化に基く温度補償データを書込端子8bから、ICチップ2の温度補償機構部に書き込む。これにより、温度に対する周波数偏差Δf/f(但しfは公称周波数、Δfはfからの変化分)を規格内例えば±1ppm以内にする。
なお、特許文献1には記載はないものの、通常では、弾性機構を有するプローブの設けられた測定治具内に表面実装発振器を収容する。そして、プローブ接触端子8にプローブを当接して、水晶振動子の特性検査や温度補償データの書き込みが行われる。
この場合、例えばスルーホールによって容器本体1の対向する外側面にプローブ接触端子を設けた場合は、第8図に模式的に示したようにプローブ13は三次元的(曲線的)な軌跡を要する弾性機構となる。これに対し、上記例では同一面(底面)にプローブ接触端子8を有するので、プローブは同一方向からの二次元的(直線的)な軌跡とする弾性機構となる。したがって、測定治具内の弾性機構を容易にしてプローブの当接を確実にする。
特許第3426053号公報 特開2002−76775号公報 特願2006−100025号公報 特開2005−159575号公報
(従来技術の問題点)
しかしながら、上記構成の表面実装発振器では、小型化の進行例えば平面外形が3.2×2.5mm以下とともに、プローブ接触端子8の設けられる第1底壁層の貫通孔7は小さくなる。したがって、表面実装発振器の収容される図示しない測定冶具に内に設けられたプローブを貫通孔7内に挿入してプローブ接触端子8に当接することが困難になる問題があった。
(発明の目的)
本発明は表面実装端子を有する底面側に設けられたプローブ接触端子へのプローブの当接を容易にした表面実装発振器を提供することを目的とする。
(発明の関連技術及び適用、経過)
本発明に関連する技術として、本出願人による特許文献2及び3がある。特許文献2(段落0023等)では、発振回路に付随してIC化が困難な大容量のコンデンサ等のチップを素子やサーミスタを配置するため、表面実装端子の形成された底面層に外周を開放して切欠部を設けたものである。
本発明では、特許文献2での切欠部を適用してここにプローブ接触端子を設け、プローブの当接を容易にしたものである。また、本出願人による特許文献3(請求項3及び4等)では、本発明と同様の技術を開示するものの、特許文献3では他の構造の表面実装発振器への適用は言及していないので、本発明に至ったものである。
なお、特許文献2では、コンデンサ等のチップ素子を切欠部を設けるので、切欠部の深さはチップ素子の高さよりも大きくなる。この場合、チップ素子は高さを概ね600μmであり、ICチップの高さ150μmに比較して格段に大きい。したがって、表面実装発振器の高さを大きくして、小型化を阻害する。
(解決手段、単一凹部とした一部屋型)
本発明の特許請求の範囲における請求項1に示したように、平板層と枠壁層とを有して積層セラミックからなる一主面に凹部を有する凹状の容器本体と、前記容器本体内に収容されて密閉封入されたICチップ及び水晶片と、前記容器本体の外表面に形成されて前記ICチップ又は水晶片に電気的に接続したプローブ接触端子と、前記平板層の外底面に設けられた表面実装端子とを有する表面実装用の水晶発振器において、前記平板層には外周が開放して内周が前記平板層の直上となる上位層の面内に位置する切欠部を有し、前記切欠部による前記上位層の露出面には前記プローブ接触端子が設けられた構成とする。
(同、両主面に凹部を有するH構造型)
同請求項5では、平板層と上下枠壁層とを有して積層セラミックからなる両主面に凹部を有するH状の容器本体と、前記容器本体内の一方の凹部に収容されて密閉封入された水晶片及び前記他方の凹部に収容されたICチップと、前記容器本体の外表面に形成されて前記ICチップ又は水晶片に電気的に接続したプローブ接触端子と、前記下枠壁層の外底面に設けられた表面実装端子とを有する表面実装用の水晶発振器において、前記下枠壁層には外周が開放して内周が前記平板層の直上となる前記枠壁層の面内に位置する切欠部を有し、前記切欠部の露出面には前記プローブ接触端子が設けられた構成とする。
(同、水晶振動子に対するICチップ収容凹状実装基板の開口面側接合型)
同請求項9では、容器本体に水晶片が収容されて密閉封入された水晶振動子と、前記水晶振動子の底面に開口端面が接合された平板層と枠壁層からなる凹部を有する凹状の実装基板と、前記実装基板の外表面に形成されて前記ICチップ又は水晶片に電気的に接続したプローブ接触端子と、前記平板層の外底面に設けられた表面実装端子とを有する表面実装用の水晶発振器において、前記平板層には外周が開放して内周が前記平板層の直上となる上位層の面内に位置する切欠部を有し、前記切欠部による前記上位層の露出面には前記プローブ接触端子が設けられた構成とする。
(同、水晶振動子に対するICチップ収容凹状実装基板の閉塞面側接合型)
請求項13では、容器本体に水晶片が収容されて密閉封入された水晶振動子と、前記水晶振動子の底面に閉塞面が接合された平板層と枠壁層からなる凹部を有する凹状の実装基板と、前記実装基板の外表面に形成されて前記ICチップ又は水晶片に電気的に接続したプローブ接触端子と、前記枠壁層の外底面に設けられた表面実装端子とを有する表面実装用の水晶発振器において、前記枠壁層には外周が開放して内周が前記平板層の直上となる前記枠壁層の面内に位置する切欠部を有し、前記切欠部による露出面には前記プローブ接触端子が設けられた構成とする。
(一部屋型)
このような請求項1の構成であれば、プローブ接触端子は底面側となる平板層の外周を開放して設けられた切欠部に形成される。したがって、従来例(特許文献1)のように、内周すべてに壁を有する貫通孔の場合に比較し、平板層の外周を開放して例えばコ字状とするので、切欠部の開放側ではプローブの移動を制限されずに自由になる。これにより、プローブ接触端子に対するプローブの自由度も高まって、プローブの当接を容易にした一部屋型の表面実装発振器を提供できる。
なお、切欠部にはプローブ接触端子を設けるのみなので、特許文献2に比較して高さ寸法を小さく維持できる。この点は、以下の請求項5、9及び13でも同様なので、再述しない。
(H構造型)
また、請求項5の構成であれば、プローブ接触端子は底面側となる下枠壁層の外周を開放して設けられた切欠部に形成される。したがって、この場合においても、切欠部の開放側ではプローブの移動を制限されずに自由になる。これにより、プローブ接触端子に対するプローブの当接を容易にしたH構造型の表面実装発振器を提供できる。
(実装基板の開口面側接合型)
また、請求項9の構成であれば、プローブ接触端子は実装基板における底面側となる平板層の外周を開放して設けられた切欠部に形成される。したがって、請求項1と同様に、切欠部の開放側ではプローブの移動を制限されずに自由になる。これにより、プローブ接触端子に対するプローブの当接を容易にした開口面側接合型の表面実装発振器を提供できる。
(実装基板の閉塞面接合型)
また、請求項13の構成であれば、プローブ接触端子は実装基板における底面側となる枠壁層の外周を開放して設けられた切欠部に形成される。したがって、請求項2と同様に、切欠部の開放側ではプローブの移動を制限されずに自由になる。これにより、プローブ接触端子に対するプローブの当接を容易にした閉塞面側接合型の表面実装発振器を提供できる。
(実施態様項)
なお、請求項1、5、9及び13の実施態様項(従属項)は基本的に同一なので、ここでは請求項1の従属項についてのみ説明する。
本発明の請求項2では、請求項1において、前記上位層は前記枠壁層であって、前記プローブ接触端子は前記枠壁層の露出面に形成される。これにより、切欠部による露出面が明確なるとともに、例えば積層・焼成・分割前のシートセラミック(グリーンシート)に貫通孔を設けて積層・焼成後に分割すればよいので、スルーホール加工によって外側面に電極貫通孔を形成する場合よりも、製造を容易にする。
同請求項3では、請求項1において、前記平板層は外底面に表面実装端子を有する第1平板層と前記ICチップの固着される第2平板層とを積層してなり、前記上位層は前記第2平板層であって、前記切欠部は前記第1平板層に設けられ、前記プローブ接触端子は前記切欠部によって露出した前記第2平板層の露出面に設けられる。
これによれば、平板層を第1及び第2平板層から形成して、第2平板層の露出面にプローブ接触端子を設ける。したがって、請求項2での枠壁層にプローブ接触端子を形成する場合に比較し、底面からの切欠部の深さを小さくできる。これにより、プローブの挿入距離も短くなるので、プローブ接触端子への当接をさらに容易にする。
同請求項4では、請求項2又は3において、前記プローブ接触端子は前記露出面の全面に設けられる。これにより、プローブの当接漏れを防止する。例えば請求項2の場合は、切欠部の露出面よりも大きなプローブ接触端子が枠壁層に形成されて、その外周が平板層によって覆われる。また、請求項3の場合は、切欠部の露出面よりも大きなプローブ接触端子が第2平板層に形成されて、その外周が第1平板層によって覆われる。
同請求項16では、請求項1(乃至15)において、前記プローブ接触端子は前記水晶片の振動特性を検査する特性検査端子とし、同請求項17では、前記プローブ接触端子は前記ICチップに温度補償データを書き込む書込端子とする。これらにより、プローブ接触端子を具体的にする。なお、複数のプローブ接触端子を形成して、2個は水晶検査端子として、残りを書込端子とすることも勿論である。
(第1実施形態、一部屋型、請求項1、2、4、17、18に相当)
第1図は本発明の第1実施形態を説明する表面実装発振器の図で、同図(a)は断面図、同図(b)は底面図、同図(c)は他の適用例の断面図である。なお、前従来例と同一部分には同番号を付与してその説明は簡略又は省略する。
表面実装発振器は、前述したように、平板層(底壁層)5及び枠壁層6を有する積層セラミックからなる凹状とした容器本体1にICチップ2と水晶片3とを収容し、シーム溶接によって金属カバー4を接合して密閉封入する。容器本体の平面外形は3.2×2.5mmとして、枠壁層6の枠幅は0.35mmとする。
この実施形態では、平板層5における外底面の4角部に設けた各表面実装端子6の間となる各辺の中央領域には切欠部12を有する。切欠部12は例えばコ字状として各外周が開放して内周が閉塞する。する。そして、切欠部12のコ字状の連結部が平板層5の直上となる枠壁幅内とし、切欠部12の内周は直上となる上位層ここでは枠壁層5bの面内に位置する。そして、平板層5の各切欠部12に対面した枠壁層6の下面が露出する。
枠壁層6の露出面にはプローブ接触端子8が形成される。露出面は枠壁層6の枠幅方向に300μmとして長さ方向に600μmとする。ここでは、枠壁層6の下面に切欠部12よりも大きい金属膜を形成し、平板層5が外周を覆うことによって、枠壁層6の露出面の全面にプローブ接触端子が形成される。これらは、個々の容器本体1に分割する以前で焼成前のシートセラミックの状態で形成される。
プローブ接触端子8は、例えば対向する一組の対向辺(長辺)をICチップ2の温度補償機構部と接続した温度補償データの書込端子8aとする。また、対向する他組の対向辺(短辺)を水晶片3と接続した水晶検査端子8bとする。
このような構成であれば、平板層5の切欠部12は外周がそれぞれ開放する。したがって、内周がすべて閉塞された従来例の貫通孔7の場合に比較し、切欠部12の開放側ではプローブの移動は制限されずに自由なので、測定用冶具内でのプローブ接触端子8への当接を容易にする。
そして、この例では、切欠部12による枠壁層6の露出面の全面にプローブ接触端子8を設けるので、プローブの当接漏れを防止する。特に、切欠部12の開放側となる外周端にまで設けてあるので、例えばプローブのV字状とした先端が開放端から外側にずれたとしても、V字状の傾斜面が外周端(エッジ)に当接して電気的接続を確保する。
また、プローブは容器本体1の一主面(底面)側からの当接でよいので、プローブ接触端子を対向する外側面に設けた場合に比較しても、測定用治具におけるプローブの軌跡は直線的となるので、弾性機構を容易にする。そして、切欠部12は枠壁層6の枠壁幅内なので、容器本体1の強度を維持する。
さらに、ここでは、ICチップと水晶片とを容器本体1に収容し、切欠部12にはプローブ接触端子8のみを形成して、特許文献2のようにチップ素子は配置しない。したがって、平板層5の厚みをチップ素子の高さ600μm以上にすることなく、例えば通常の300μm程度として、表面実装発振器の高さ寸法を小さく例えば1.0mm以下に維持できる。
ちなみに、近年の小型化に際しては、電子部品も含めて各部材は10μm単位での寸法が検討されており、平板層5の厚みが前述のように600μmと300μmとでは、製造メーカにとっては想定外の技術事項である。これらの作用及び効果は、以降の実施形態でも同様なので、その説明は省略又は簡略する。
なお、この実施形態では平板層5を単層として図示したが、例えば第1図(c)に示したようにしてもよい。すなわち、平板層5は、第1平板層5aと第2平板層とを積層する。第1平板層5aの外底面の4角部に表面実装端子6を4角部に有し、第2平板層5bは容器本体1の内底面となってICチップ2が固着される。
そして、第1平板層5aと第2平板層との積層面にはシールド電極14を形成する。シールド電極14は金属カバー4及びアース用の実装端子8と電気的に接続する。これにより、両主面側からの電界を遮蔽してシールドケースとする。この場合でも、第1平板層5aと第2平板層5bからなる平板層5には、枠壁層6の下面が露出した切欠部12を有する。
(第2実施形態、一部屋型、請求項1、3、4、17、18に相当)
第2図は本発明の第2実施形態を説明する図で、同図(ab)ともに表面実装発振器の断面図である。なお、これ以降の実施形態では前実施形態と同一部分には同番号を付与してその説明は簡略又は省略する。
この実施形態「第2図(a)」では、容器本体1の平板層5は、表面実装端子6を4角部に有する第1平板層5aとICチップ2の固着される第2平板層5bとを積層する。今場合、第2平板層5bは第1平板層5aの直上であって、第1平板層5aに対する上位層となる。
第1平板層5aは第2平板層5bよりも厚みを小さくする。そして、第1平板層5aの4角部に設けた各表面実装端子6の間となる各辺の中央領域には切欠部12を有する。切欠部12は例えばコ字上として各外周が開放し、内周が閉塞する。切欠部12は例えば第2平板層5bの直上となる枠壁層6の面内とする。
そして、第1平板層5aの各切欠部12によって第2平板層5bが露出する。第2平板層5bの露出面の全面には前述同様にしてプローブ接触端子8が形成される。プローブ接触端子8は、ここでも、対向する一組の長辺を温度補償データの書込端子8aとし、他組の短辺を水晶検査端子8bとする。この点は、これ以降の実施形態でも同様であり、その説明は省略する。
このような構成であれば、第1平板層5aの切欠部12は外周がそれぞれ開放する。したがって、切欠部12によって露出した第2平板層5bに設けたプローブ接触端子8へのプローブの当接を容易にする。そして、プローブは容器本体1の一主面(底面)側からの当接となるので、測定用治具におけるプローブの弾性機構を容易にする。
ここでは、平板層5は第1及び第2平板層5(ab)を積層し、第1平板層5aに切欠部12を設ける。この場合、第1実施形態のように、平板層5の厚み全体に切欠部12を設けた場合に比較し、切欠部12の深さを小さくできる。したがって、第1平板層5の厚みを小さくするほど、第2平板層5bの露出面(プローブ接触端子8)は第1平板層の底面に接近する。これにより、プローブ接触端子8の挿入深さも小さくなって、プローブの当接をさらに容易にできる。
さらに、この例では、切欠部12は平板層6の直上となる枠壁幅内とするので、切欠部12を設けたことによる強度低下を防止する。例えば従来例(特許文献1)のように、中央領域に貫通孔7を設けた場合には、例えばシーム溶接時やセット基板との膨張係数差による応力が貫通孔7によって厚みの小さい第2平板層5bに集中してクラックを発生しやすくなる。
なお、この実施形態でも、第2図(b)に示したように、第1平板層5aと第2平板層5bとの積層面に、金属カバー4及びアース用の実装端子6との間にシールド電極を設けて、両主面側からの電界を遮蔽したシールドケースとすることもできる。
(第3実施形態、H構造型、請求項5、6、8、17、18に相当)
第3図は本発明の第3実施形態を説明する表面実装発振器の図で、同図(a)は断面図、同図(b)は底面図である。
第3実施形態では、容器本体1は平板層5と上下枠壁層6(ab)からなり、両主面に凹部を有するH状とする。そして、上枠層6aを有する一方の凹部には水晶片3の一端部両側を固着してシーム溶接によって金属カバー4を接合し、水晶片3を密閉封入する。一方の凹部の開口端面にはシーム溶接用の金属リング12が設けられる。
下枠壁層6bを有する他方の凹部にはフリップチップボンディングによってICチップ2を固着する。そして、ICチップ2を保護する樹脂15を充填する。下枠壁層6bにおける外底面の4角部には、ICチップ2に電気的に接続した電源、アース及び出力等の表面実装端子6を有する。
そして、ここでは、下枠壁層5bにおける各表面実装端子6の間となる各辺の中央領域には切欠部12を有する。切欠部12は例えばコ字上として、各外周が開放して内周が閉塞する。そして、下枠壁層6bの各切欠部12によって平板層5が露出する。第2平板層5bの露出面にはプローブ接触端子8が形成される。
このような構成であれば、平板層5の切欠部12は外周がそれぞれ開放する。したがって、前述同様に、測定用冶具内でのプローブの接触を容易にする。そして、ここでは、各切欠部12は内周が閉塞するので、樹脂15を充填する際、切欠部12内に流入することがない。したがって、プローブ接触端子8の表面を覆うことがないので、プローブの電気的接触を確実にする。
この場合でも、切欠部12にはプローブ接触端子8を設けるのみなので、特許文献2のチップ素子(厚みが約600μm)を配設する場合に比較し、切欠部12の深さはICチップ(同約150μm)と同程度の深さでよいので、高さ寸法を小さく維持できる。
(第4実施形態、H構造型、請求項5、7、8、17、18に相当)
第4図は本発明の第4実施形態を説明する表面実装発振器の断面図である。第4実施形態形態では両主面に凹部を有する第3実施形態での下枠壁層5bを、第1下枠壁層5b1と第2下枠層5b2とから形成する。第1下枠壁層5b1は第2下枠壁層5b2よりも厚みを小さくする。
第1下枠層5b1における外底面の4角部には図示しない表面実装端子を有する。そして、表面実装端子の間となる第1下枠壁層5b1の各辺の中央領域には、外周が開放して内周が閉塞した切欠部12を設ける。この場合でも、平板層5の直上となる上枠壁層5aの枠幅内とする。そして、切欠部12によって露出した第2枠壁層5b1の露出面の全面にはプローブ接触端子8を設ける。
このような構成であれば、切欠部12の外周を開放するので、プローブ接触端子8に対するプローブの当接を容易にする。そして、第1枠壁層1bの厚みを小さくすることによって、さらにプローブの当接を容易にする。
(第5実施形態、実装基板の開口面側接合型、請求項9〜12、17、18)
第5図は本発明の第5実施形態を説明する図で、同図(ab)のいずれも表面実装発振器の断面図である。
第5実施形態では、水晶振動子16と、ICチップ2を収容する凹状の実装基板17とを別個とする。そして、水晶振動子16の底面に設けられたアース端子を含む図示しない4角部の水晶端子に、実装基板17の開口端面に設けられた接合端子を半田等18によって接続する。実装基板の閉塞面となる外底面の4角部には図示しない表面実装端子6を有する。
そして、ここでは、実装基板17の平板層5に、第1実施形態(第1図)で示したと同様に、外周を開放して内周を閉塞したコ字状の切欠部12を、上位層となる枠壁層6の面内に設ける。切欠部12は4角部の各表面実装端子間となる各辺の中央領域とし、枠壁層6の露出面の全面にはプローブ接触端子8を形成する「第5図(a)」。
あるいは、第2実施形態で示したと同様に、平板層5を第1平板層5aと、第1平板層5aに対する上位層となる第2平板層5(ab)から形成する。そして、第2実施形態(第2図)で示したと同様に、外周を開放して内周を閉塞したコ字状の切欠部12を設ける。切欠部12は4角部の各表面実装端子間となる各辺の中央領域とし、第2平板層5bの露出面の全面にはプローブ接触端子8を形成する「第5図(b)」。
このような構成であっても、枠壁層6あるいは第2平板層5の切欠部12は外周がそれぞれ開放するので、プローブ接触端子8に対するプローブの当接を容易にする。そして、第1平板層に5aに切欠部12を設けて第2平板層5bを露出する場合は、第1平板層5aの厚みを小さくすることによって当接をさらに容易にする。
(第6実施形態、実装基板の閉塞面側接合型、請求項13〜18)
第6図は第6実施形態を説明する図で、同図(ab)のいずれも表面実装発振器の断面図である。第4実施形態は、第3実施形態形態でのICチップを収容する凹状とした実装基板17の閉塞面側を水晶振動子16の底面に接合した例である。
すなわち、第4実施形態では、ICチップ2を収容した実装基板17の閉塞面に図示しない接合端子を有し、開口端面の4角部に表面実装端子6を有する。そして、実装基板17における枠壁層6の4角部の各表面実装端子間となる各辺の中央領域には、第3実施形態(第3図)で示したと同様に、各外周が開放して内周が閉塞したコ字状の切欠部12を形成し、平板層5の露出面にプローブ接触端子8を形成する「第6図(a)」。
あるいは、実装基板17の枠壁層6を第1及び第2枠壁層6(ab)から形成し、第4実施形態(第4図)で示したと同様に、第1枠壁層6aの中央領域に外周が開放して内周が閉塞したコ字状の切欠部12を形成し、第2枠壁層6bの露出面にプローブ接触端子8を形成する「第6図(b)」
このような構成であっても、枠壁層6あるいは第1枠壁層6aの切欠部12は外周がそれぞれ開放するので、プローブ接触端子8に対するプローブの当接を容易にする。そして、第1枠壁層に6aに切欠部12を設けて第枠壁層6bを露出する場合は、第1枠壁層6aの厚みを小さくすることによって当接をさらに容易にする。
(他の事項)
上記第1乃至第4実施形態では水晶検査端子8a及び書込端子8bを形成したが、温度補償型でない場合は、書込端子8bは不要なので、水晶検査端子8aのみとしても、逆に、水晶検査端子が不要な場合は書込端子8bのみとしてもよい。また、書込端子はICチップによっては4個の場合もあり、必要に応じて選択できる。
切欠部12に余裕がある場合は、例えば長辺方向の一つの切欠部12に複数のプローブ接触端子8を形成することもできる。これにより、例えば4個の書込端子8bと2個の水晶検査端子8bを配置することもできる。
また、プローブ接触端子8は切欠部12による露出面の全面に形成するとしたが、シートセラミックからの分割を容器本体にするため、実装端子8が外周から離間する程度に離間してあってもよい。但し、切欠部12によって厚みが小さくなっているので、全面に形成したとしても分割に障害はない。
また、コ字状とした切欠部12の露出面は枠壁層の下面あるいは第2平板層6bの下面としたが、これらに対する垂直面に形成することもできる。そして、切欠部12はコ字状としたが、円弧状であってもよいことは勿論である。
本発明の第1実施形態を説明する表面実装発振器の図で、同図(a)は断面図、同図(b)は底面図、同図(c)は他の適用例の断面図である。 本発明の第2実施形態を説明する図で、同図(ab)ともに表面実装発振器の断面図である。 本発明の第3実施形態を説明する表面実装発振器の図で、同図(a)は断面図、同図(b)は底面図である。 本発明の第4実施形態を説明する表面実装発振器の断面図である。 本発明の第5実施形態を説明する図で、同図(ab)ともに表面実装発振器の断面図である。 本発明の第6実施形態を説明する図で、同図(ab)ともに表面実装発振器の断面図である。 従来例を説明する図で、同図(a)は表面実装発振器の断面図で、同図(b)は同底面図、同図(c)は水晶片の平面図である。 従来例を説明するプローブ接触端子へのプローブの移動を示す模式的な側面図である。
符号の説明
1 容器本体、2 ICチップ、3 水晶片、4 金属カバー、5 平板層、6 枠壁層、7 貫通孔、8 プローブ接触端子、9 励振電極、10 引出電極、11 導電性接着剤、12 金属リング、13 プローブ、14 シールド電極、15 樹脂、16
水晶振動子、17 実装基板。

Claims (18)

  1. 平板層と枠壁層とを有して積層セラミックからなる一主面に凹部を有する凹状の容器本体と、前記容器本体内に収容されて密閉封入されたICチップ及び水晶片と、前記容器本体の外表面に形成されて前記ICチップ又は水晶片に電気的に接続したプローブ接触端子と、前記平板層の外底面に設けられた表面実装端子とを有する表面実装用の水晶発振器において、前記平板層には外周が開放して内周が前記平板層の直上となる上位層の面内に位置する切欠部を有し、前記切欠部による前記上位層の露出面には前記プローブ接触端子が設けられた表面実装用の水晶発振器。
  2. 請求項1において、前記上位層は前記枠壁層であって、前記プローブ接触端子は前記枠壁層の露出面に形成された表面実装用の水晶発振器。
  3. 請求項1において、前記平板層は外底面に表面実装端子を有する第1平板層と前記ICチップの固着される第2平板層とを積層してなり、前記上位層は前記第2平板層であって、前記切欠部は前記第1平板層に設けられ、前記プローブ接触端子は前記切欠部によって露出した前記第2平板層の露出面に設けられた表面実装用の水晶発振器。
  4. 請求項2又は3において、前記プローブ接触端子は前記露出面の全面に設けられた表面実装用の水晶発振器。
  5. 平板層と上下枠壁層とを有して積層セラミックからなる両主面に凹部を有するH状の容器本体と、前記容器本体内の一方の凹部に収容されて密閉封入された水晶片及び前記他方の凹部に収容されたICチップと、前記容器本体の外表面に形成されて前記ICチップ又は水晶片に電気的に接続したプローブ接触端子と、前記下枠壁層の外底面に設けられた表面実装端子とを有する表面実装用の水晶発振器において、前記下枠壁層には外周が開放して内周が前記平板層の直上となる前記枠壁層の面内に位置する切欠部を有し、前記切欠部による露出面には前記プローブ接触端子が設けられた表面実装用の水晶発振器。
  6. 請求項5において、前記プローブ接触端子は、前記切欠部によって露出した前記平板層の露出面に形成された表面実装用の水晶発振器。
  7. 請求項5において、前記下枠壁層は外底面に表面実装端子を有する第1下枠壁層と前記ICチップの固着される第2下枠壁層とを積層してなり、前記第1下枠壁層には外周が開放した前記切欠部を有し、前記プローブ接触端子は前記切欠部によって露出した前記第2下枠壁層の露出面には設けられた表面実装用の水晶発振器。
  8. 請求項6又は7において、前記プローブ接触端子は前記露出面の全面に設けられた表面実装用の水晶発振器。
  9. 容器本体に水晶片が収容されて密閉封入された水晶振動子と、前記水晶振動子の底面に開口端面が接合された平板層と枠壁層からなる凹部を有する凹状の実装基板と、前記実装基板の外表面に形成されて前記ICチップ又は水晶片に電気的に接続したプローブ接触端子と、前記平板層の外底面に設けられた表面実装端子とを有する表面実装用の水晶発振器において、前記平板層には外周が開放して内周が前記平板層の直上となる上位層の面内に位置する切欠部を有し、前記切欠部による前記上位層の露出面には前記プローブ接触端子が設けられた表面実装用の水晶発振器。
  10. 請求項9において、前記上位層は前記枠壁層であって、前記プローブ接触端子は前記枠壁層の露出面に形成された表面実装用の水晶発振器。
  11. 請求項9において、前記平板層は外底面に表面実装端子を有する第1平板層と前記ICチップの固着される第2平板層とを積層してなり、前記上位層は前記第2平板層であって、前記切欠部は前記第1平板層に設けられ、前記プローブ接触端子は前記切欠部によって露出した前記第2平板層の露出面に設けられた表面実装用の水晶発振器。
  12. 請求項10又は11において、前記プローブ接触端子は前記露出面の全面に設けられた表面実装用の水晶発振器。
  13. 容器本体に水晶片が収容されて密閉封入された水晶振動子と、前記水晶振動子の底面に閉塞面が接合された平板層と枠壁層からなる凹部を有する凹状の実装基板と、前記実装基板の外表面に形成されて前記ICチップ又は水晶片に電気的に接続したプローブ接触端子と、前記枠壁層の外底面に設けられた表面実装端子とを有する表面実装用の水晶発振器において、前記枠壁層には外周が開放して内周が前記平板層の直上となる前記枠壁層の面内に位置する切欠部を有し、前記切欠部の露出面には前記プローブ接触端子が設けられた表面実装用の水晶発振器。
  14. 請求項13において、前記プローブ接触端子は、前記切欠部によって露出した前記平板層の露出面に形成された表面実装用の水晶発振器。
  15. 請求項13において、前記下枠壁層は外底面に表面実装端子を有する第1下枠壁層と前記ICチップの固着される第下枠壁層とを積層してなり、前記第1下枠壁層には外周が開放した前記切欠部を有し、前記プローブ接触端子は前記切欠部によって露出した前記第2下枠壁層の露出面には設けられた表面実装用の水晶発振器。
  16. 請求項14又は15において、前記プローブ接触端子は前記露出面の全面に設けられた表面実装用の水晶発振器。
  17. 請求項1乃至16において、前記プローブ接触端子は前記水晶片の振動特性を検査する特性検査端子である表面実装用の水晶発振器。
  18. 請求項1乃至16において、前記プローブ接触端子は前記ICチップに温度補償データを書き込む書込端子である表面実装用の水晶発振器。
JP2006253133A 2006-09-19 2006-09-19 表面実装用の水晶発振器 Pending JP2008078791A (ja)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2006253133A JP2008078791A (ja) 2006-09-19 2006-09-19 表面実装用の水晶発振器
US11/901,620 US20080068102A1 (en) 2006-09-19 2007-09-18 Surface mount type crystal oscillator

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2006253133A JP2008078791A (ja) 2006-09-19 2006-09-19 表面実装用の水晶発振器

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2008078791A true JP2008078791A (ja) 2008-04-03

Family

ID=39187954

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2006253133A Pending JP2008078791A (ja) 2006-09-19 2006-09-19 表面実装用の水晶発振器

Country Status (2)

Country Link
US (1) US20080068102A1 (ja)
JP (1) JP2008078791A (ja)

Cited By (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2009278399A (ja) * 2008-05-15 2009-11-26 Epson Toyocom Corp 圧電デバイス
JP2010109535A (ja) * 2008-10-29 2010-05-13 Nippon Dempa Kogyo Co Ltd セット基板に対する表面実装水晶発振器の実装方法
JP2010154177A (ja) * 2008-12-25 2010-07-08 Nippon Dempa Kogyo Co Ltd 表面実装用の水晶発振器
JP2012235211A (ja) * 2011-04-28 2012-11-29 Kyocera Crystal Device Corp 圧電デバイス
JP2014165686A (ja) * 2013-02-26 2014-09-08 Daishinku Corp 表面実装型圧電発振器
JP2014175848A (ja) * 2013-03-08 2014-09-22 Nippon Dempa Kogyo Co Ltd 表面実装型の低背水晶発振器
JP2016111242A (ja) * 2014-12-09 2016-06-20 Ngkエレクトロデバイス株式会社 電子部品収納用パッケージ
WO2024150458A1 (ja) * 2023-01-12 2024-07-18 株式会社大真空 圧電振動デバイス

Families Citing this family (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5059478B2 (ja) * 2007-04-26 2012-10-24 日本電波工業株式会社 表面実装用の圧電発振器及び圧電振動子
JP2010141875A (ja) * 2008-11-13 2010-06-24 Nippon Dempa Kogyo Co Ltd 表面実装用の水晶発振器
JP6098255B2 (ja) * 2013-03-15 2017-03-22 株式会社大真空 表面実装型圧電発振器
JP2014236466A (ja) * 2013-06-05 2014-12-15 日本電波工業株式会社 デュアルモード水晶発振器
US9287882B2 (en) 2013-11-07 2016-03-15 Kyocera Crystal Device Corporation Temperature compensated crystal oscillator
KR102029495B1 (ko) * 2014-10-15 2019-10-07 삼성전기주식회사 칩 전자부품 및 그 실장 기판
JP6798121B2 (ja) * 2016-03-18 2020-12-09 セイコーエプソン株式会社 発振器、電子機器および移動体
JP2017175203A (ja) * 2016-03-18 2017-09-28 セイコーエプソン株式会社 発振器、電子機器および移動体

Citations (18)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0992755A (ja) * 1995-09-26 1997-04-04 Kinseki Ltd セラミック容器
JP2000151283A (ja) * 1998-08-31 2000-05-30 Kyocera Corp 表面実装型水晶発振器
JP2001007647A (ja) * 1999-06-25 2001-01-12 Nippon Dempa Kogyo Co Ltd 表面実装型の温度補償水晶発振器
JP2001127552A (ja) * 1999-10-29 2001-05-11 Nippon Dempa Kogyo Co Ltd 水晶発振器及びその製造方法
JP2001251142A (ja) * 2000-03-02 2001-09-14 Toyo Commun Equip Co Ltd 圧電発振器
JP2002151958A (ja) * 2000-11-15 2002-05-24 Nippon Dempa Kogyo Co Ltd 表面実装用の水晶発振器
JP2002190710A (ja) * 2000-12-20 2002-07-05 Nippon Dempa Kogyo Co Ltd 表面実装用の水晶発振器
JP2002330027A (ja) * 2001-04-27 2002-11-15 Nippon Dempa Kogyo Co Ltd 表面実装用の温度補償水晶発振器
JP2004166230A (ja) * 2002-10-23 2004-06-10 Seiko Epson Corp 圧電発振器及び圧電発振器を利用した携帯電話装置および圧電発振器を利用した電子機器
JP2004312284A (ja) * 2003-04-04 2004-11-04 Toyo Commun Equip Co Ltd 表面実装型圧電発振器
JP2005210673A (ja) * 2003-12-25 2005-08-04 Kyocera Corp 表面実装型水晶発振器
JP2005268257A (ja) * 2004-03-16 2005-09-29 Kyocera Corp 電子部品収納用パッケージおよび電子装置
JP2005347881A (ja) * 2004-05-31 2005-12-15 Kyocera Kinseki Corp 圧電発振器の製造方法
JP2006019940A (ja) * 2004-06-30 2006-01-19 Kyocera Kinseki Corp 圧電発振器の製造方法
JP2006050282A (ja) * 2004-08-05 2006-02-16 Nippon Dempa Kogyo Co Ltd 接合型とした表面実装用の水晶発振器
JP2006101276A (ja) * 2004-09-30 2006-04-13 Epson Toyocom Corp 圧電発振器
JP2006101241A (ja) * 2004-09-29 2006-04-13 Kyocera Kinseki Corp 圧電発振器、及びその製造方法
JP2006165759A (ja) * 2004-12-03 2006-06-22 Nippon Dempa Kogyo Co Ltd 温度補償水晶発振器及びその製造方法

Family Cites Families (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3989663B2 (ja) * 2000-02-17 2007-10-10 セイコーインスツル株式会社 圧電振動子と圧電振動子の製造方法

Patent Citations (18)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0992755A (ja) * 1995-09-26 1997-04-04 Kinseki Ltd セラミック容器
JP2000151283A (ja) * 1998-08-31 2000-05-30 Kyocera Corp 表面実装型水晶発振器
JP2001007647A (ja) * 1999-06-25 2001-01-12 Nippon Dempa Kogyo Co Ltd 表面実装型の温度補償水晶発振器
JP2001127552A (ja) * 1999-10-29 2001-05-11 Nippon Dempa Kogyo Co Ltd 水晶発振器及びその製造方法
JP2001251142A (ja) * 2000-03-02 2001-09-14 Toyo Commun Equip Co Ltd 圧電発振器
JP2002151958A (ja) * 2000-11-15 2002-05-24 Nippon Dempa Kogyo Co Ltd 表面実装用の水晶発振器
JP2002190710A (ja) * 2000-12-20 2002-07-05 Nippon Dempa Kogyo Co Ltd 表面実装用の水晶発振器
JP2002330027A (ja) * 2001-04-27 2002-11-15 Nippon Dempa Kogyo Co Ltd 表面実装用の温度補償水晶発振器
JP2004166230A (ja) * 2002-10-23 2004-06-10 Seiko Epson Corp 圧電発振器及び圧電発振器を利用した携帯電話装置および圧電発振器を利用した電子機器
JP2004312284A (ja) * 2003-04-04 2004-11-04 Toyo Commun Equip Co Ltd 表面実装型圧電発振器
JP2005210673A (ja) * 2003-12-25 2005-08-04 Kyocera Corp 表面実装型水晶発振器
JP2005268257A (ja) * 2004-03-16 2005-09-29 Kyocera Corp 電子部品収納用パッケージおよび電子装置
JP2005347881A (ja) * 2004-05-31 2005-12-15 Kyocera Kinseki Corp 圧電発振器の製造方法
JP2006019940A (ja) * 2004-06-30 2006-01-19 Kyocera Kinseki Corp 圧電発振器の製造方法
JP2006050282A (ja) * 2004-08-05 2006-02-16 Nippon Dempa Kogyo Co Ltd 接合型とした表面実装用の水晶発振器
JP2006101241A (ja) * 2004-09-29 2006-04-13 Kyocera Kinseki Corp 圧電発振器、及びその製造方法
JP2006101276A (ja) * 2004-09-30 2006-04-13 Epson Toyocom Corp 圧電発振器
JP2006165759A (ja) * 2004-12-03 2006-06-22 Nippon Dempa Kogyo Co Ltd 温度補償水晶発振器及びその製造方法

Cited By (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2009278399A (ja) * 2008-05-15 2009-11-26 Epson Toyocom Corp 圧電デバイス
JP2010109535A (ja) * 2008-10-29 2010-05-13 Nippon Dempa Kogyo Co Ltd セット基板に対する表面実装水晶発振器の実装方法
JP2010154177A (ja) * 2008-12-25 2010-07-08 Nippon Dempa Kogyo Co Ltd 表面実装用の水晶発振器
JP2012235211A (ja) * 2011-04-28 2012-11-29 Kyocera Crystal Device Corp 圧電デバイス
JP2014165686A (ja) * 2013-02-26 2014-09-08 Daishinku Corp 表面実装型圧電発振器
JP2014175848A (ja) * 2013-03-08 2014-09-22 Nippon Dempa Kogyo Co Ltd 表面実装型の低背水晶発振器
JP2016111242A (ja) * 2014-12-09 2016-06-20 Ngkエレクトロデバイス株式会社 電子部品収納用パッケージ
WO2024150458A1 (ja) * 2023-01-12 2024-07-18 株式会社大真空 圧電振動デバイス

Also Published As

Publication number Publication date
US20080068102A1 (en) 2008-03-20

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2008078791A (ja) 表面実装用の水晶発振器
US7489208B2 (en) Surface mount crystal oscillator
JP2003318690A (ja) 表面実装用の水晶振動子
JP2011166310A (ja) 圧電振動子及びこれを用いた発振器
JP3895206B2 (ja) 発振器用シート基板及びこれを用いた表面実装用水晶発振器の製造方法
JP4501870B2 (ja) 圧電振動デバイス
JP2007235289A (ja) 圧電発振器
JP2010103749A (ja) 表面実装用の水晶発振器
JP2007173975A (ja) 水晶デバイス
JP5144452B2 (ja) 圧電発振器
JP5240931B2 (ja) 圧電振動子及び圧電発振器
JP4167557B2 (ja) 圧電発振器の製造方法
JP5276773B2 (ja) 表面実装用の水晶発振器
JP5369889B2 (ja) 振動デバイス
JP2007142869A (ja) 表面実装用の温度補償水晶発振器
JP4724518B2 (ja) 圧電発振器
JP4373309B2 (ja) 電子部品用パッケージ
JP2006303761A (ja) 表面実装型圧電発振器
JP2007104005A (ja) 表面実装用の水晶発振器
JP2010103754A (ja) 表面実装用の水晶発振器
JP2008187751A (ja) 表面実装型圧電発振器
JP2004297209A (ja) 表面実装型圧電発振器
JP2004297211A (ja) 表面実装型圧電発振器
JP5613370B2 (ja) セット基板に対する表面実装水晶発振器の実装方法
JP2004320700A (ja) 温度補償型水晶発振器の製造方法

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20090916

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20091127

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20111130

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20111213

RD02 Notification of acceptance of power of attorney

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422

Effective date: 20111220

A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 20120522