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JP2007335253A - 有機el表示装置 - Google Patents

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JP2007335253A
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Toshibumi Takehara
俊文 竹原
Satoshi Okuya
聡 奥谷
Kazuyuki Haruhara
一之 春原
Hiroshi Sano
浩 佐野
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Japan Display Central Inc
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Toshiba Matsushita Display Technology Co Ltd
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Abstract

【課題】有機EL表示装置の光取り出し効率を高め且つ製造コストを低減するのに有利な技術を提供する。
【解決手段】本発明の有機EL表示装置は、複数の凹部又は複数の凸部を有している下地表面DSと、前記下地表面DSと向き合うと共に一対の電極PE,CEとそれらの間に介在した発光層EMLとを含んだ有機EL素子OLEDと、前記下地表面DSと前記有機EL素子OLEDとの間に介在すると共に樹脂TMと前記発光層EML及び前記樹脂TMと比較して屈折率がより高い無機粒子PTCとを含有した透明平坦化層HLとを具備したことを特徴とする。
【選択図】 図3

Description

本発明は、有機エレクトロルミネッセンス(EL)表示装置に関する。
有機EL素子の輝度は、これに流す電流の大きさに応じて増加する。しかしながら、電流密度を高めると、消費電力が大きくなるのに加え、有機EL素子の寿命が著しく短くなる。したがって、高輝度、低消費電力、長寿命を同時に実現するには、発光層が放出する光を外部へとより効率的に取り出すこと,すなわち光の取り出し効率を向上させること,が重要である。
この問題に関して、特許文献1には、有機EL素子の一方の電極に回折格子又はゾーンプレートの機能を付与することが記載されている。例えば、まず、ガラス基板の一方の主面に、回折格子として利用する溝を形成する。次に、この主面上に、スパッタリングにより酸化チタン層を形成する。その後、酸化チタン層を、研磨によって平坦化する。さらに、酸化チタン層上に、陽極と発光層を含んだ有機物層と陰極とをこの順に形成する。
この技術によれば、光の取り出し効率を向上させることが可能である。しかしながら、この方法は、スパッタリングよる溝の埋め込みと平坦化のための研磨とが必要であるため、製造コストの観点で不利である。
特開平11−283751号公報
本発明の目的は、有機EL表示装置の光取り出し効率を高め且つ製造コストを低減するのに有利な技術を提供することにある。
本発明の一側面によると、複数の凹部又は複数の凸部を有している下地表面と、前記下地表面と向き合うと共に一対の電極とそれらの間に介在した発光層とを含んだ有機EL素子と、前記下地表面と前記有機EL素子との間に介在すると共に樹脂と前記発光層及び前記樹脂と比較して屈折率がより高い無機粒子とを含有した透明平坦化層とを具備したことを特徴とする有機EL表示装置が提供される。
本発明によると、有機EL表示装置の光取り出し効率を高め且つ製造コストを低減するのに有利な技術が提供される。
以下、本発明の態様について、図面を参照しながら詳細に説明する。なお、各図において、同様又は類似した機能を発揮する構成要素には同一の参照符号を付し、重複する説明は省略する。
図1は、本発明の一態様に係る有機EL表示装置を概略的に示す平面図である。図2は、図1に示す有機EL表示装置の表示パネルを概略的に示す断面図である。図3は、図2に示す構造の一部を拡大して示す断面図である。
図1の表示装置は、アクティブマトリクス駆動方式を採用した上面発光型有機EL表示装置である。この表示装置は、表示パネルDPと映像信号線ドライバXDRと走査信号線ドライバYDRとを含んでいる。
表示パネルDPは、図1及び図2に示すように、アレイ基板ASと封止基板CSとを含んでいる。アレイ基板ASと封止基板CSとは、向き合っており、中空体を形成している。具体的には、封止基板CSの中央部は、アレイ基板ASから離間している。封止基板CSの周縁部は、図2に示す枠形のシール層SSを介して、アレイ基板ASの一方の主面に貼り付けられている。
アレイ基板ASは、図1及び図2に示す絶縁基板SUBを含んでいる。絶縁基板SUBは、例えばガラス基板である。
基板SUB上には、図2に示すアンダーコート層UCが形成されている。アンダーコート層UCは、例えば、基板SUB上に、シリコン窒化物層とシリコン酸化物層とをこの順に積層してなる。
アンダーコート層UC上には、例えば不純物を含有したポリシリコンからなる半導体パターンが形成されている。この半導体パターンの一部は、半導体層SCとして利用している。半導体層SCには、ソース及びドレインとして利用する不純物拡散領域が形成されている。また、この半導体パターンの他の一部は、後述するキャパシタCの下部電極として利用している。下部電極は、後述する画素PXに対応して配列している。
半導体パターンは、ゲート絶縁膜GIで被覆されている。ゲート絶縁膜GIは、例えばTEOS(tetraethyl orthosilicate)を用いて形成することができる。
ゲート絶縁膜GI上には、図1に示す走査信号線SL1及びSL2が形成されている。走査信号線SL1及びSL2は、画素PXの行に沿ったX方向に延びており、画素PXの列に沿ったY方向に交互に配列している。走査信号線SL1及びSL2は、例えばMoWからなる。なお、Z方向は、X方向とY方向とに垂直な方向である。
ゲート絶縁膜GI上には、キャパシタCの上部電極がさらに配置されている。この上部電極は、画素PXに対応して配列しており、キャパシタCの下部電極と向き合っている。上部電極は、例えばMoWからなり、走査信号線SL1及びSL2と同一の工程で形成することができる。
走査信号線SL1及びSL2は、半導体層SCと交差している。走査信号線SL1と半導体層SCとの交差部は、図1及び図2に示すスイッチングトランジスタSWaを構成している。走査信号線SL2と半導体層SCとの交差部は、図1に示すスイッチングトランジスタSWb及びSWcを構成している。また、先に説明した下部電極と上部電極とそれらの間に介在した絶縁膜GIとは、図1に示すキャパシタCを構成している。上部電極は、キャパシタCからZ方向に垂直な方向に突き出た突出部を含んでおり、この突出部と半導体層SCとは交差している。この交差部は、図1に示す駆動トランジスタDRを構成している。
なお、この例では、駆動トランジスタDR及びスイッチングトランジスタSWa乃至SWcは、トップゲート型のpチャネル薄膜トランジスタである。また、図2に参照符号Gで示す部分は、スイッチングトランジスタSWaのゲートである。
ゲート絶縁膜GI、走査信号線SL1及びSL2、並びに上部電極は、層間絶縁膜IIで被覆されている。層間絶縁膜IIは、例えばプラズマCVD法により堆積させたシリコン酸化物からなる。
層間絶縁膜II上には、図1に示す映像信号線DLと電源線PSLとが形成されている。映像信号線DLは、Y方向に延びており、X方向に配列している。電源線PSLは、例えば、Y方向に延びており、X方向に配列している。
層間絶縁膜II上には、図2に示すソース電極SE及びドレイン電極DEがさらに形成されている。ソース電極SE及びドレイン電極DEは、画素PXの各々において素子同士を接続している。
映像信号線DLと電源線PSLとソース電極SEとドレイン電極DEとは、例えば、Mo/Al/Moの三層構造を有している。これらは、同一工程で形成可能である。
映像信号線DLと電源線PSLとソース電極SEとドレイン電極DEとは、パッシベーション膜PSで被覆されている。パッシベーション膜PSには、スイッチングトランジスタSWaのドレインに接続されたドレイン電極DEに対応した位置に貫通孔が形成されている。パッシベーション膜PSは、例えばシリコン窒化物からなる。
パッシベーション膜PS上では、反射層REFが配列している。反射層REFの材料としては、例えばアルミニウムなどの金属又は合金を使用することができる。
反射層REFは、低屈折率層LLで被覆されている。波長530nmにおける低屈折率層LLの屈折率は、例えば1.38乃至1.65の範囲内にあり、典型的には約1.5である。なお、「屈折率」は、波長530nmにおける屈折率を意味する。
低屈折率層LLは、例えば、シリコン酸化物などの透明無機材料、又は、アクリル樹脂、ノボラック樹脂、ポリイミド樹脂など透明樹脂からなる。低屈折率層LLには、パッシベーション膜PSの貫通孔に対応して貫通孔が形成されている。
低屈折率層LLの上面は、例えば回折格子又はゾーンプレートとして機能する回折面DSを構成している。具体的には、低屈折率層LLの上面には、複数の凹部又は複数の凸部が設けられている。凹部又は凸部のピッチPは、典型的には、150)nm乃至800nmの範囲内とする。凹部の深さ又は凸部の高さHは、例えば、20nm乃至300nmの範囲内とする。
このような構造の低屈折率層LLは、例えば、反射層REF上に均一な厚さの透明材料層を連続膜として形成し、次いで、この透明材料層をパターニングすることにより得られる。このパターニングは、例えば、連続膜としての透明材料層上にマスクパターンを形成し、このマスクパターンをエッチングマスクとして利用して透明材料層をエッチングすることにより行う。マスクパターンは、例えば、フォトリソグラフィ又はナノインプリントを利用して形成することができる。
低屈折率層LLは、高屈折率層HLで被覆されている。高屈折率層HLは、低屈折率層LLと比較して屈折率がより大きい。典型的には、高屈折率層HLの屈折率は、後述する発光層EMLの屈折率と等しいか又はそれよりも大きい。高屈折率層HLの屈折率は、例えば約1.7以上であり、典型的には1.9乃至2.0の範囲内にある。
高屈折率層HLは、透明平坦化層であって、後述する有機EL素子OLEDに平坦な下地を提供している。高屈折率層HLには、パッシベーション膜PS及び低屈折率層LLの貫通孔に対応して貫通孔が形成されている。
ここで、「透明」は、澄んでいることを意味する。すなわち、「透明」は、光吸収性でも光反射性でも光散乱性でもないことを意味する。
高屈折率層HLは、図3に示す樹脂TM及び無機粒子PTCを含有している。
樹脂TMは、高屈折率層HLに平坦化層としての機能を与えると共に、無機粒子PTCを低屈折率層LL上に固定する役割を果たす。また、樹脂TMの材料として感光性材料を使用すれば、エッチングマスクを形成することなく、高屈折率層HLに先の貫通孔を形成することができる。樹脂TMとしては、例えば、アクリル樹脂、ノボラック樹脂、ポリイミド樹脂を使用することができる。
無機粒子PTCは、樹脂TM及び後述する発光層EMLと比較して屈折率がより大きい。無機粒子PTCは、高屈折率層HLの屈折率を樹脂TMの屈折率と比較してより大きくする役割を果たす。無機粒子PTCの材料としては、例えば、酸化チタン、酸化ジルコニウム、窒化珪素、ITO(indium tin oxide)、IZO(indium zinc oxide)を使用することができる。
無機粒子PTCとしては、例えば、平均粒径が約10nm乃至約20nmの範囲内にあるものを使用する。ここで、「平均粒径」は、走査型電子顕微鏡(SEM)又は透過型電子顕微鏡(TEM)によって測定した平均粒径を意味する。無機粒子PTCの寸法が大きいと、高屈折率層HLの平坦化層としての機能が不十分となる可能性があるのに加え、光散乱が大きくなる。無機粒子PTCの寸法が小さいと、高屈折率層HL中に無機粒子PTCを均一に分布させることが難しくなる可能性がある。
高屈折率層HLに占める無機粒子PTCの体積比は、例えば、10%乃至50%の範囲内とする。この体積比が小さいと、高屈折率層HLの屈折率を十分に高めることができない。この体積比が大きいと、高屈折率層HLの平坦化層としての機能が不十分となる可能性がある。
高屈折率層HLの厚さTは、例えば、50nm乃至1000nmの範囲内とする。厚さTが小さいと、高屈折率層HLの平坦化層としての機能が不十分となる可能性がある。厚さTが大きいと、高屈折率層HLの光吸収が大きくなるのに加え、その成膜が難しくなる。
高屈折率層HLは、例えば、以下の方法により形成することができる。
まず、樹脂TMの材料と無機粒子PTCと有機溶剤とを含有したコーティング液を準備する。ここでは、一例として、樹脂TMの材料として感光性樹脂を使用することとする。なお、コーティング液には、分散剤などの添加物をさらに含有させてもよい。
次に、低屈折率層LL上に、先のコーティング液を塗布する。コーティング液の塗布には、例えばスピンコートを利用することができる。
その後、塗膜を、プリベーク、パターン露光、現像、ポストベークに供する。これにより、高屈折率層HLを得る。
高屈折率層HL上では、図2及び図3に示す画素電極PEが、画素PXに対応して配列している。これら画素電極PEは、光透過性の背面電極である。本態様では、画素電極PEは陽極である。各画素電極PEは、高屈折率層HLと低屈折率層LLとパッシベーション膜PSとに設けた貫通孔を介してドレイン電極DEに接続されており、このドレイン電極はスイッチングトランジスタSWaのドレインに接続されている。
高屈折率層HL上には、さらに、図2に示す隔壁絶縁層PIが形成されている。隔壁絶縁層PIには、画素電極PEに対応した位置に貫通孔が設けられているか、或いは、画素電極PEが形成する列に対応した位置にスリットが設けられている。ここでは、一例として、隔壁絶縁層PIには、画素電極PEに対応した位置に貫通孔が設けられていることとする。
隔壁絶縁層PIは、例えば、有機絶縁層である。隔壁絶縁層PIは、例えば、フォトリソグラフィ技術を用いて形成することができる。
各画素電極PE上には、有機物層ORGが形成されている。有機物層ORGが含んでいる各層は、画素PXに対応してパターニングされていてもよい。或いは、有機物層ORGが含んでいる各層は、画素PX間で繋がっていてもよい。
有機物層ORGは、図3に示す発光層EMLを含んでいる。本態様では、有機物層ORGは、発光層EMLに加え、正孔輸送層HTLと電子輸送層ETLとをさらに含んでいる。正孔輸送層HTL及び電子輸送層ETLは、省略してもよい。
隔壁絶縁層PI及び有機物層ORGは、対向電極CEで被覆されている。対向電極CEは、画素PX間で共用している共通電極であり、且つ、可視光透過性の前面電極である。また、本態様では、対向電極CEは陰極である。対向電極CEは、例えば、隔壁絶縁層PIと高屈折率層HLと低屈折率層LLとパッシベーション膜PSとに設けられたコンタクトホールを介して、映像信号線DLと同一の層上に形成された電極配線(図示せず)に電気的に接続されている。
各々の有機EL素子OLEDは、画素電極PEと、有機物層ORGと、対向電極CEとを含んでいる。なお、発光層EMLと正孔輸送層HTLとの間には、電子ブロッキング層を挿入してもよい。発光層EMLと電子輸送層ETLとの間には、正孔ブロッキング層を挿入してもよい。また、正孔輸送層HTLと陽極である画素電極PEとの間には、正孔注入層として、例えば銅フタロシアニン(CuPc)層又はアモルファスカーボン(α−C)層を挿入してもよい。電子輸送層ETLと陰極である対向電極CEとの間には、電子注入層として、例えば弗化リチウム(LiF)層又は弗化セシウム(CsF)層と弗化リチウム層との積層体を挿入してもよい。
画素PXの各々は、図1に示すように、駆動トランジスタDRと、スイッチングトランジスタSWa乃至SWcと、有機EL素子OLEDと、キャパシタCとを含んでいる。上記の通り、この例では、駆動トランジスタDR及びスイッチングトランジスタSWa乃至SWcはpチャネル薄膜トランジスタである。
駆動トランジスタDRとスイッチングトランジスタSWaと有機EL素子OLEDとは、第1電源端子ND1と第2電源端子ND2との間で、この順に直列に接続されている。この例では、電源端子ND1は高電位電源端子であり、電源端子ND2は低電位電源端子である。
スイッチングトランジスタSWaのゲートは、走査信号線SL1に接続されている。スイッチングトランジスタSWbは、映像信号線DLと駆動トランジスタDRのドレインとの間に接続されており、そのゲートは走査信号線SL2に接続されている。スイッチングトランジスタSWcは、駆動トランジスタDRのドレインとゲートとの間に接続されており、そのゲートは走査信号線SL2に接続されている。
キャパシタCは、駆動トランジスタDRのゲートと定電位端子ND1’との間に接続されている。この例では、定電位端子ND1’は、電源端子ND1に接続されている。
封止基板CSは、図2に示すように、有機EL素子OLEDを間に挟んで基板SUBと向き合っている。封止基板CSは、例えばガラス基板である。
シール層SSは、上記の通り、枠形状を有しており、アレイ基板ASと封止基板CSの周縁部との間に介在している。シール層SSは、全画素PXによって構成された画素群を取り囲んでいる。シール層SSの材料としては、例えば、フリットガラス及び接着剤を使用することができる。
映像信号線ドライバXDR及び走査信号線ドライバYDRは、図1に示すように、アレイ基板ASに搭載されている。映像信号線ドライバXDRには、映像信号線DLが接続されている。この例では、映像信号線ドライバXDRには、電源線PSLがさらに接続されている。映像信号線ドライバXDRは、映像信号線DLに映像信号を電流信号として出力すると共に、電源線PSLに電源電圧を供給する。走査信号線ドライバYDRには、走査信号線SL1及びSL2が接続されている。走査信号線ドライバYDRは、走査信号線SL1及びSL2にそれぞれ第1及び第2走査信号を電圧信号として出力する。
この有機EL表示装置で画像を表示する場合、例えば、画素PXを行毎に順次選択する。或る画素PXを選択している選択期間では、その画素PXに対して書込動作を行う。或る画素PXを選択していない非選択期間では、その非選択中の画素PXで表示動作を行う。
具体的には、或る行の画素PXを選択する選択期間では、まず、走査信号線ドライバYDRから、先の画素PXが接続された走査信号線SL1に、スイッチングトランジスタSWaを開く(非導通状態とする)走査信号を電圧信号として出力する。続いて、走査信号線ドライバYDRから、先の画素PXが接続された走査信号線SL2に、スイッチングトランジスタSWb及びSWcを閉じる(導通状態とする)走査信号を電圧信号として出力する。この状態で、映像信号線ドライバYDRから、映像信号線DLに、映像信号を電流信号(書込電流)Isigとして出力し、駆動トランジスタDRのゲート−ソース間電圧Vgsを、先の映像信号Isigに対応した大きさに設定する。その後、走査信号線ドライバYDRから、先の画素PXが接続された走査信号線SL2に、スイッチングトランジスタSWb及びSWcを開く走査信号を電圧信号として出力する。続いて、走査信号線ドライバYDRから、先の画素PXが接続された走査信号線SL1に、スイッチングトランジスタSWaを閉じる走査信号を電圧信号として出力する。これにより、選択期間を終了する。
選択期間に続く非選択期間では、走査信号線ドライバYDRから、先の画素PXが接続された走査信号線SL1に、スイッチングトランジスタSWaを閉じる走査信号を電圧信号として出力する。スイッチングトランジスタSWaは閉じたままとし、スイッチングトランジスタSWb及びSWcは開いたままとする。非選択期間では、有機EL素子OLEDには、駆動トランジスタDRのゲート−ソース間電圧Vgsに対応した大きさの駆動電流Idrvが流れる。有機EL素子OLEDは、駆動電流Idrvの大きさに対応した輝度で発光する。
この有機EL表示装置では、通常、発光層EMLの屈折率は、有機物層ORGが含む他の層の屈折率とほぼ等しい。また、通常、画素電極PEの屈折率は、発光層EMLの屈折率と比較してより大きい。したがって、発光層EMTが回折面DSに向けて放出する光が、有機物層ORGと画素電極PEとの界面で全反射されることはない。
また、この有機EL表示装置では、画素電極PEと低屈折率層LLとの間に高屈折率層HLが介在している。この高屈折率層HLは、発光層EMLの屈折率と等しいか又はそれよりも大きく、画素電極PEと接触している。それゆえ、発光層EMTから回折面DSへ向けて進行する光が、画素電極PEと高屈折率層HLとの界面で全反射されることはない。それゆえ、この構造によると、発光層EMTが回折面DSへ向けて放出する光を高い効率で回折面DSに入射させることができる。
回折面DSは入射光を回折させるので、回折面DSを適宜設計すれば、反射層REFから対向電極CEへ向けて進行する光の指向性を高めることができる。したがって、例えば、封止基板CSの外面での全反射を生じ難くすることができ、それゆえ、高い光取り出し効率を実現することができる。
また、高屈折率層HLは、樹脂TMを含有している。樹脂TMは、高屈折率層HLに平坦化層としての機能を与えると共に、エッチングマスクを形成することなしに高屈折率層HLに貫通孔等を形成することを可能とする。したがって、この構造は、製造コストの低減に有利である。
高屈折率層HLと画素電極PEとの間には、発光層EMLの屈折率と等しいか又はそれよりも大きな屈折率を有する層を介在させてもよい。例えば、高屈折率層HLと画素電極PEとの間に、酸化チタン、酸化ジルコニウム、窒化珪素などの透明な無機誘電体からなる層を介在させてもよい。この場合も、上述したのと同様の効果を得ることができる。
或いは、高屈折率層HLと画素電極PEとの間に、薄く且つ発光層EMLよりも屈折率が小さな層(以下、低屈折率薄膜という)を介在させてもよい。この場合、発光層EMLが放出する光のうち、画素電極PEと低屈折率薄膜との界面に臨界角よりも大きな入射角で光が入射すると、低屈折率薄膜中に近接場光であるエバネッセント波が生じる。低屈折率薄膜がエバネッセント波のしみ出し深さの最大値よりも厚ければ、先のエバネッセント波は、上記の界面で伝搬光へと変換される。すなわち、伝搬光からエバネッセント波への変換とその逆変換とが同一界面で生じる。換言すれば、発光層EMLが放出する光のうち、画素電極PEと低屈折率薄膜との界面に臨界角よりも大きな入射角で入射した光は、先の界面で全反射される。そのため、この光は、表示に利用することができない可能性がある。なお、「エバネッセント波のしみ出し深さ」は、上記界面におけるエバネッセント波のエネルギーを1としたときに、エバネッセント波のエネルギーが1/eにまで減少する深さを意味する。
低屈折率薄膜が先のエバネッセント波のしみ出し深さの最大値よりも薄ければ、先のエバネッセント波は、低屈折率薄膜と高屈折率層HLとの界面で伝搬光へと変換される。すなわち、光が低屈折率薄膜をトンネルする「フォトントンネリング」を生じさせることができる。それゆえ、低屈折率薄膜が十分に薄ければ、上述したのとほぼ同様の効果を得ることができる。
本態様では、上面発光型の有機EL表示装置について説明したが、上述した技術は下面発光型の有機EL表示装置にも適用可能である。また、本態様では、有機EL表示装置に映像信号として電流信号を書き込む構成を採用したが、有機EL表示装置に映像信号として電圧信号を書き込む構成を採用してもよい。さらに、本態様では、有機EL表示装置にアクティブマトリクス駆動方式を採用したが、パッシブマトリクス駆動方式やセグメント駆動方式などの他の駆動方式を採用してもよい。
本発明の一態様に係る有機EL表示装置を概略的に示す平面図。 図1に示す有機EL表示装置の表示パネルを概略的に示す断面図。 図2に示す構造の一部を拡大して示す断面図。
符号の説明
AS…アレイ基板、C…キャパシタ、CE…対向電極、CS…封止基板、DE…ドレイン電極、DL…映像信号線、DP…表示パネル、DR…駆動トランジスタ、DS…回折面、EML…発光層、ETL…電子輸送層、G…ゲート、GI…ゲート絶縁膜、HL…高屈折率層、HTL…正孔輸送層、II…層間絶縁膜、LL…低屈折率層、ND1…電源端子、ND1’…定電位端子、ND2…電源端子、OLED…有機EL素子、ORG…有機物層、PE…画素電極、PI…隔壁絶縁層、PS…パッシベーション膜、PSL…電源線、PTC…無機粒子、PX…画素、REF…反射層、SC…半導体層、SE…ソース電極、SL1…走査信号線、SL2…走査信号線、SS…シール層、SUB…絶縁基板、SWa…スイッチングトランジスタ、SWb…スイッチングトランジスタ、SWc…スイッチングトランジスタ、TM…樹脂、UC…アンダーコート層、XDR…映像信号線ドライバ、YDR…走査信号線ドライバ。

Claims (2)

  1. 複数の凹部又は複数の凸部を有している下地表面と、
    前記下地表面と向き合うと共に一対の電極とそれらの間に介在した発光層とを含んだ有機EL素子と、
    前記下地表面と前記有機EL素子との間に介在すると共に樹脂と前記発光層及び前記樹脂と比較して屈折率がより高い無機粒子とを含有した透明平坦化層とを具備したことを特徴とする有機EL表示装置。
  2. 前記下地表面は回折格子を形成していることを特徴とする請求項1に記載の有機EL表示装置。
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