JP2005136172A - Multiple wiring board - Google Patents
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Abstract
【課題】 各配線基板領域の特に角部にカケやクラック等の機械的な破壊を発生させることなく個々の配線基板に分割することができる多数個取り配線基板を提供すること。
【解決手段】 多数個取り配線基板は、主面に四角形状の配線基板領域2が縦横に複数配列形成されたセラミック母基板1と、セラミック母基板1の主面およびそれに対向する主面の少なくとも一方に、配線基板領域2同士の境界に沿って縦横に分割溝3が設けられた多数個取り配線基板4において、配線基板領域2は、各角部に断面が四角形状の貫通孔6がその各角が分割溝3上に位置するようにそれぞれ形成されることによって各角部が平面状に面取りされており、貫通孔6は、各角に分割溝3よりも幅の広い孔部7がそれぞれ形成されている。
【選択図】 図1PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a multi-piece wiring board that can be divided into individual wiring boards without causing mechanical destruction such as cracks and cracks at corners of each wiring board region.
A multi-cavity wiring board includes at least one of a ceramic mother board 1 having a plurality of rectangular wiring board regions 2 arranged vertically and horizontally on a main surface, and a main surface of the ceramic mother board 1 and a main surface opposite thereto. On the other hand, in the multi-piece wiring board 4 in which the dividing grooves 3 are provided vertically and horizontally along the boundary between the wiring board areas 2, the wiring board area 2 has through-holes 6 each having a square cross section at each corner. Each corner is chamfered in a planar shape by being formed so that each corner is positioned on the dividing groove 3, and the through-hole 6 has a hole 7 wider than the dividing groove 3 at each corner. Each is formed.
[Selection] Figure 1
Description
本発明は、半導体素子や弾性表面波素子等の電子部品が搭載される配線基板領域を、広面積のセラミック母基板の主面の中央部に縦横に多数個配列して成る多数個取り配線基板に関するものである。 The present invention relates to a multi-cavity wiring board in which a large number of wiring board regions on which electronic components such as semiconductor elements and surface acoustic wave elements are mounted are arranged vertically and horizontally in the center of the main surface of a large-area ceramic mother board. It is about.
従来、例えば半導体素子や弾性表面波素子等の電子部品を搭載するために用いられる配線基板は、酸化アルミニウム質焼結体(アルミナセラミックス)等のセラミックス材料から成る四角平板状の絶縁基体の上面に電子部品を搭載するための電子部品の搭載部を有し、この搭載部またはその周辺から絶縁基体の下面にかけてタングステン等の金属材料から成る複数の配線導体が配設された構造を有している。 2. Description of the Related Art Conventionally, wiring boards used for mounting electronic components such as semiconductor elements and surface acoustic wave elements have been formed on the upper surface of a square plate-like insulating base made of a ceramic material such as an aluminum oxide sintered body (alumina ceramic). An electronic component mounting portion for mounting an electronic component is provided, and a plurality of wiring conductors made of a metal material such as tungsten are disposed from the mounting portion or its periphery to the lower surface of the insulating base. .
そして、絶縁基体の搭載部に電子部品を搭載し固定するとともに電子部品の電極をボンディングワイヤや半田等の電気的接続手段を介して配線導体に電気的に接続し、必要に応じて電子部品を樹脂や蓋体で気密封止することによって製品としての電子装置となる。 Then, the electronic component is mounted and fixed on the mounting portion of the insulating base, and the electrode of the electronic component is electrically connected to the wiring conductor via an electrical connection means such as a bonding wire or solder, and the electronic component is attached as necessary. It becomes an electronic device as a product by hermetically sealing with a resin or a lid.
このような配線基板は、近時の電子装置の小型化の要求に伴い、その大きさが数mm角程度の極めて小さなものとなってきており、配線基板の取り扱いを容易とするために、また配線基板および電子装置の製作を効率よく行なうために、1枚の広面積の母基板から多数個の配線基板を同時集約的に得るようにした、いわゆる多数個取り配線基板の形態で製作されている。 With the recent demand for downsizing of electronic devices, the size of such wiring boards has become extremely small, about several mm square, and in order to facilitate the handling of wiring boards, In order to efficiently manufacture a wiring board and an electronic device, it is manufactured in the form of a so-called multi-cavity wiring board in which a large number of wiring boards are obtained collectively from a single large-area mother board. Yes.
多数個取り配線基板は、一般に、平板状のセラミック母基板の主面の中央部に配線基板となる四角形状の配線基板領域が縦横に複数配列形成された構造を有している。なお、多数個取り配線基板の取り扱いを容易とすること等のために、セラミック母基板の外周部に、配線基板領域を取り囲むようにしてダミー領域が形成された構造も一般的である。 The multi-cavity wiring board generally has a structure in which a plurality of rectangular wiring board regions serving as a wiring board are formed in the central portion of the main surface of a flat ceramic mother board. In order to facilitate handling of the multi-piece wiring board, a structure in which a dummy area is formed on the outer periphery of the ceramic mother board so as to surround the wiring board area is also common.
このセラミック母基板の配線基板領域が形成された上面および下面の少なくとも一方には、配線基板領域同士の境界に沿って分割溝が縦横に設けられている。そして、分割溝に沿ってセラミック母基板を分割することによって、個々の配線基板を得ることができる。分割溝に沿ったセラミック母基板の分割とは、分割溝に沿ってセラミック母基板に曲げ応力を加え、機械的強度の弱い分割溝に沿った部位でセラミック母基板を破断させることである。 On at least one of the upper surface and the lower surface of the ceramic mother substrate where the wiring substrate regions are formed, dividing grooves are provided vertically and horizontally along the boundary between the wiring substrate regions. Then, by dividing the ceramic mother board along the dividing groove, individual wiring boards can be obtained. The division of the ceramic mother board along the dividing groove means that a bending stress is applied to the ceramic mother board along the dividing groove, and the ceramic mother board is broken at a portion along the dividing groove having a low mechanical strength.
多数個取り配線基板は、まず、酸化アルミニウム等の原料粉末を有機バインダーとともにシート状に成形して複数のセラミックグリーンシート(以下、グリーンシートともいう)を形成し、次に各グリーンシートに導体ペーストを所定の配線導体等のパターンに印刷するとともに上下に積層し、次に、このグリーンシートの積層体の主面に、各配線基板領域を区画するようにして縦横に分割溝を形成し、その後、この積層体を焼成することにより形成される。 A multi-cavity wiring board is formed by first forming a raw material powder such as aluminum oxide into a sheet together with an organic binder to form a plurality of ceramic green sheets (hereinafter also referred to as green sheets), and then a conductive paste on each green sheet. Are printed in a pattern such as a predetermined wiring conductor and stacked vertically, and then, on the main surface of the green sheet laminate, dividing grooves are formed vertically and horizontally so as to partition each wiring board region, and then It is formed by firing this laminate.
しかしながら、このような多数個取り配線基板においては、分割溝に沿ってセラミック母基板を分割する(破断させる)ときの機械的衝撃により、四角形状の配線基板領域の角部にカケやクラック等の機械的な破壊が発生しやすいという問題があった。そのため、多数個取り配線基板の形態で製作される個々の配線基板に、機械的な強度の不足や、カケ,クラック等の機械的な破壊等が発生しやすく、気密封止等の信頼性が低いという問題を生じていた。 However, in such multi-cavity wiring boards, due to mechanical impact when the ceramic mother board is divided (broken) along the dividing grooves, there are cracks, cracks, etc. at the corners of the rectangular wiring board region. There was a problem that mechanical breakdown was likely to occur. For this reason, individual wiring boards manufactured in the form of multi-cavity wiring boards are prone to mechanical strength deficiencies, mechanical breakdowns such as cracks and cracks, and reliability such as hermetic sealing. The problem was low.
このような問題に対しては、各配線基板領域について、各角部に断面が四角形状の貫通孔を、その各角が分割溝上に位置するようにして形成することによって配線基板領域の各角部を平面状に面取りしておくという手段が考えられる。すなわち、配線基板領域の各角部を平面状に面取りすることにより、セラミック母基板を分割する際の機械的衝撃が各角部に作用しても、角部を面取りしてあるので機械的な破壊が生じにくくなり、その結果、分割して得られる個々の配線基板について機械的な強度を確保することができるとともに、カケ,クラック等の機械的な破壊等の発生を効果的に防止することができる。 To solve this problem, for each wiring board region, each corner of the wiring board region is formed by forming a through-hole having a square cross section at each corner so that each corner is positioned on the dividing groove. A means of chamfering the part in a flat shape can be considered. That is, by chamfering each corner of the wiring board region in a planar shape, even if a mechanical shock when dividing the ceramic mother board acts on each corner, the corner is chamfered, so mechanical As a result, it becomes difficult to cause destruction, and as a result, it is possible to secure the mechanical strength of each wiring board obtained by dividing, and effectively prevent the occurrence of mechanical destruction such as cracks and cracks. Can do.
なお、配線基板領域について、各角部に断面が四角形状の貫通孔を、その各角が分割溝上に位置するようにして形成するには、多数個取り配線基板となるグリーンシートの積層体のうち配線基板領域の角部において、縦横の分割溝が交わる交点を中心にして、かつ角部が分割線上に位置するようにして、四角形状の打抜きピンで打抜き加工を施す等の方法を用いることができる。
しかしながら、上述のように、各配線基板領域について、各角部に断面が四角形状の貫通孔をその各角が分割溝上に位置するようにそれぞれ形成することによって配線基板領域の各角部を平面状に面取りしても、分割溝や貫通孔の形成位置がわずかにずれる場合があり、この場合、貫通孔の角が分割溝からずれてしまう。そのため、配線基板領域の角部を平面状に面取りすることができず、かえって配線基板領域の角部を複雑に入り組んだ形状としてしまい、カケやクラック等の機械的な破壊が発生しやすくなるという問題を誘発してしまう。また、配線基板領域の角部を面取りしている面とそれに隣接している面との間が角張っているのでクラック等が発生しやすい。 However, as described above, for each wiring board region, each corner of the wiring board region is planarized by forming a through-hole having a square cross section at each corner so that each corner is positioned on the dividing groove. Even if chamfered in the shape, the formation positions of the dividing grooves and the through holes may be slightly shifted. In this case, the corners of the through holes are displaced from the dividing grooves. For this reason, the corners of the wiring board region cannot be chamfered in a flat shape, and instead the corners of the wiring board region are intricately complicated, and mechanical destruction such as cracks and cracks is likely to occur. It will cause problems. In addition, since the corners of the wiring board region are chamfered and the adjacent surfaces are angular, cracks and the like are likely to occur.
特に、近時、絶縁基体の材料として、銅や銀等の低電気抵抗の金属材料との同時焼成が可能なガラスセラミック焼結体が多用されるようになってきており、このようなガラスセラミック焼結体の機械的強度は、一般に、酸化アルミニウム質焼結体に比べて弱いため、上記のようなカケやクラック等の機械的な破壊の発生が顕著なものとなってきている。 In particular, recently, a glass ceramic sintered body that can be co-fired with a metal material having a low electrical resistance such as copper or silver has been widely used as a material for an insulating substrate. Since the mechanical strength of the sintered body is generally weaker than that of the aluminum oxide sintered body, the occurrence of mechanical destruction such as cracks and cracks as described above has become remarkable.
したがって、本発明は上記従来の問題点を解決するために完成されたものであり、その目的は、セラミック母基板に多数の配線基板領域を配列形成するとともに、各配線基板領域の境界に沿って分割溝を形成した構造を有する多数個取り配線基板において、各配線基板領域の角部にカケやクラック等の機械的な破壊を発生させることなく個々の配線基板に分割することができる多数個取り配線基板を提供することである。 Therefore, the present invention has been completed in order to solve the above-mentioned conventional problems, and its purpose is to form a large number of wiring board regions on the ceramic mother board and to extend along the boundary of each wiring board region. A multi-piece wiring board having a structure in which a dividing groove is formed. A multi-piece wiring board that can be divided into individual wiring boards without causing mechanical destruction such as cracks and cracks at the corners of each wiring board area. It is to provide a wiring board.
本発明の多数個取り配線基板は、主面に四角形状の配線基板領域が縦横に複数配列形成されたセラミック母基板と、該セラミック母基板の前記主面およびそれに対向する主面の少なくとも一方に、前記配線基板領域同士の境界に沿って縦横に分割溝が設けられた多数個取り配線基板において、前記配線基板領域は、各角部に断面が四角形状の貫通孔がその各角が前記分割溝上に位置するようにそれぞれ形成されることによって前記各角部が平面状に面取りされており、前記貫通孔は、前記各角に前記分割溝よりも幅の広い孔部がそれぞれ形成されていることを特徴とするものである。 The multi-cavity wiring board of the present invention is provided on at least one of a ceramic mother board in which a plurality of rectangular wiring board regions are vertically and horizontally arranged on the main surface, and the main surface of the ceramic mother board and the main surface facing the ceramic mother board. In a multi-piece wiring board in which dividing grooves are provided vertically and horizontally along the boundary between the wiring board areas, the wiring board area has a through-hole having a square cross section at each corner, and the corners are divided at the corners. Each corner is chamfered in a planar shape by being formed so as to be positioned on the groove, and the through-hole is formed with a hole having a width wider than that of the divided groove at each corner. It is characterized by this.
本発明の多数個取り配線基板によれば、配線基板領域同士の境界に沿って縦横に分割溝が設けられているとともに、配線基板領域は、各角部に断面が四角形状の貫通孔がその各角が分割溝上に位置するようにそれぞれ形成されることによって各角部が平面状に面取りされていることから、セラミック母基板を分割するときの機械的衝撃が各角部に作用したとしても、角部を平面状に面取りしてあるので機械的な破壊が生じにくくなる。 According to the multi-cavity wiring board of the present invention, the dividing grooves are provided in the vertical and horizontal directions along the boundary between the wiring board areas, and the wiring board area has through-holes having a square cross section at each corner. Since each corner is chamfered in a flat shape by being formed so that each corner is positioned on the dividing groove, even if a mechanical shock when dividing the ceramic mother substrate acts on each corner Since the corners are chamfered in a flat shape, mechanical destruction is less likely to occur.
また、本発明の多数個取り配線基板によれば、貫通孔は、各角に分割溝よりも幅の広い孔部(切欠き部)がそれぞれ形成されていることから、分割溝や貫通孔の形成位置が多少ずれたとしても角部を面取りしている面とそれに隣接する面との間が角張った形状となることはなく、分割溝が孔部を通るため、分割される各配線基板領域の角部は貫通孔から孔部にかけて滑らかに連続してつながる面で面取りすることができる。その結果、分割して得られる個々の配線基板について、分割溝や貫通孔の形成位置のずれの有無にかかわらず、角部が滑らかに連続した面で形成されているので、確実に機械的な強度を確保することができるとともに、カケ,クラック等の機械的な破壊等の発生を効果的に防止することができる。 Further, according to the multi-cavity wiring board of the present invention, since the through holes are formed with holes (notches) wider than the divided grooves at the respective corners, the divided grooves and the through holes are formed. Even if the formation position is slightly deviated, each of the wiring board regions to be divided does not have an angular shape between the chamfered surface and the adjacent surface, and the dividing groove passes through the hole. The corners of can be chamfered with a surface that is smoothly and continuously connected from the through hole to the hole. As a result, for each wiring board obtained by division, the corners are formed with smooth and continuous surfaces regardless of whether or not the formation positions of the dividing grooves and through-holes are shifted. The strength can be ensured and the occurrence of mechanical destruction such as cracks and cracks can be effectively prevented.
本発明の多数個取り配線基板を添付図面に基づき以下に詳細に説明する。図1は、本発明の多数個取り配線基板の実施の形態の一例を示す平面図である。図1において、1はセラミック母基板、2は配線基板領域、3は分割溝である。これらのセラミック母基板1,配線基板領域2および分割溝3により、多数個取り配線基板4が主に構成されている。
The multi-piece wiring board of the present invention will be described in detail below with reference to the accompanying drawings. FIG. 1 is a plan view showing an example of an embodiment of a multi-cavity wiring board according to the present invention. In FIG. 1, 1 is a ceramic mother board, 2 is a wiring board region, and 3 is a dividing groove. A multi-piece wiring board 4 is mainly constituted by the ceramic mother board 1, the
セラミック母基板1は、酸化アルミニウム質焼結体(アルミナセラミックス)やムライト質焼結体,窒化アルミニウム質焼結体,炭化珪素質焼結体等のセラミック材料やガラスセラミックス焼結体等のセラミックスから成る。セラミック母基板1は、主面に四角形状の配線基板領域2が縦横に複数配列形成されている。また、セラミック母基板1の主面およびそれに対向する主面の少なくとも一方には、配線基板領域2同士の境界に沿って縦横に分割溝3が設けられており、この分割溝3に沿ってセラミック母基板1を分割することにより配線基板領域2が個々の配線基板に分割される。
The ceramic mother substrate 1 is made of a ceramic material such as an aluminum oxide sintered body (alumina ceramic), a mullite sintered body, an aluminum nitride sintered body, a silicon carbide sintered body, or a ceramic such as a glass ceramic sintered body. Become. The ceramic mother board 1 has a plurality of rectangular
このセラミック母基板1は、例えば酸化アルミニウム質焼結体から成る場合、酸化アルミニウム,酸化珪素,酸化マグネシウム,酸化カルシウム等の原料粉末に適当な有機バインダや可塑剤,溶剤等を添加混合して泥漿物を作り、その泥漿物をドクターブレード法やカレンダーロール法によって複数のグリーンシート(生シート)と成し、次に、これらのグリーンシートに適当な打ち抜き加工を施すとともに積層し、その後、グリーンシートの積層体の主面を縦横に区画して複数の配線基板領域を配列形成するとともに、その主面およびそれに対向する主面の少なくとも一方に、配線基板領域同士の境界に沿って縦横に切り込みを入れて分割溝を形成し、最後に積層体を約1600℃の温度で焼成することによって作製される。 When the ceramic mother substrate 1 is made of, for example, an aluminum oxide sintered body, an appropriate organic binder, plasticizer, solvent, etc. are added to and mixed with raw material powders such as aluminum oxide, silicon oxide, magnesium oxide, calcium oxide and the like. The slurry is made into a plurality of green sheets (raw sheets) by the doctor blade method or the calender roll method, and then these green sheets are appropriately punched and laminated, and then the green sheets A plurality of wiring board regions are arrayed by dividing the main surface of the laminate in vertical and horizontal directions, and at least one of the main surface and the main surface opposite to the main surface is cut vertically and horizontally along the boundary between the wiring board regions. It is produced by forming a dividing groove and finally firing the laminated body at a temperature of about 1600 ° C.
また、セラミック母基板1の各配線基板領域2は、その表面および内部に配線導体5が形成されている。そして、例えば、各配線基板領域2の表面に電子部品(図示せず)を搭載するとともに、配線導体5の露出部分に電子部品の電極をボンディングワイヤや半田等を介して電気的に接続することにより、多数個の電子装置が配列形成されることになり、セラミック母基板1を分割溝3に沿って分割することにより多数個の電子装置が同時集約的に作製される。
Each
なお、電子部品の搭載は、多数個取り配線基板4を個々の配線基板領域2に分割して多数個の配線基板を形成した後、各配線基板に対して個別に行ってもよい。
The electronic components may be mounted individually on each wiring board after the multi-cavity wiring board 4 is divided into the individual
本発明の多数個取り配線基板4においては、図2に示すように、配線基板領域2は、各角部に断面が四角形状の貫通孔6がその各角が分割溝3上に位置するようにそれぞれ形成されることによって各角部が平面状に面取りされており、貫通孔6は、各角に分割溝3よりも幅の広い孔部7がそれぞれ形成されている。この構成により、セラミック母基板4を分割するときの機械的衝撃が各配線基板領域2の角部に作用したとしても、その角部を平面状に面取りしてあるので機械的な破壊が生じにくくなる。
In the multi-cavity wiring board 4 of the present invention, as shown in FIG. 2, the
また、貫通孔6の各角に分割溝3よりも幅の広い孔部(切欠き部)7がそれぞれ形成されていることから、分割溝3や貫通孔6の形成位置が多少ずれたとしても、角部を面取りしている面とそれに隣接する面との間が角張った形状となることはなく、分割溝3が孔部7を通るため、分割される各配線基板領域2の角部は貫通孔6から孔部7にかけて滑らかに連続してつながる面で面取りすることができる。その結果、本発明の多数個取り配線基板4を分割して得られる個々の配線基板について、分割溝3や貫通孔6の形成位置のずれの有無にかかわらず、確実に機械的な強度を確保することができるとともに、カケ,クラック等の機械的な破壊等の発生を効果的に防止することができる。
Moreover, since the hole (notch part) 7 wider than the division | segmentation groove |
なお、貫通孔6は、横断面形状(開口形状)が正方形であることが好ましい。この場合、配線基板領域2の各辺の長さが同じ四角形となるため、セラミック母基板4を分割するとき、機械的応力が均等に分散され、より一層確実にカケ,クラック等の機械的な破壊等の発生を効果的に防止することができる。
The through hole 6 preferably has a square cross-sectional shape (opening shape). In this case, since the length of each side of the
また、貫通孔6の大きさは、配線基板領域2のうち配線導体5が形成されている部位に入り込まない程度であれば、配線基板領域2の大きさ(辺の長さ)やセラミック母基板1の厚み等に応じて適宜決めるようにすればよい。
If the size of the through hole 6 is such that it does not enter the part of the
貫通孔6の各角に形成される孔部7は、セラミック母基板1を貫通していることが好ましい。孔部7がセラミック母基板1を貫通していると、セラミック母基板4を分割するとき、孔部7の厚み方向で機械的応力が集中するところが無く、より一層確実にカケ,クラック等の機械的な破壊の発生を防止することができる。
It is preferable that the
また、孔部7は、分割溝3に沿って長軸が位置する楕円状(半楕円状)であることが好ましい。孔部7をこのような形状とすることにより、セラミック母基板4を分割するときに、機械的に応力が孔部7の先端部に集中して孔部7の先端部から分割溝3に沿って分割されるため、他の部分から分割が始まることなく、より一層確実にカケ,クラック等の機械的な破壊の発生を防止することができる。
Moreover, it is preferable that the
この貫通孔6の各角に孔部7を形成する方法としては、セラミック母基板1となるグリーンシートやその積層体に打抜き加工を施して貫通孔6を形成した後、その貫通孔6の各角部分から外側に一定の幅で打抜き加工を施すこと等の方法を用いることができる。
As a method of forming the
また、貫通孔6や孔部7は、その内側面にメタライズ層を被着させておいてもよい。この場合、貫通孔6や孔部7の内側面を保護して靭性を向上させ、カケやクラック等が発生することをより効果的に防止することができる。
Further, the metallized layer may be attached to the inner surface of the through hole 6 or the
なお、本発明は上述の実施の形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲内であれば種々の変更は可能である。例えば、配線導体5の露出表面にニッケルや金等のめっき層を被着させて、配線導体5の酸化腐食を有効に防止するとともに、配線導体5に対するボンディングワイヤのボンディング性や半田の濡れ性等を向上させるようにしてもよい。 The present invention is not limited to the above-described embodiment, and various modifications can be made without departing from the scope of the present invention. For example, a plating layer of nickel, gold, or the like is deposited on the exposed surface of the wiring conductor 5 to effectively prevent oxidative corrosion of the wiring conductor 5, and bondability of the bonding wire to the wiring conductor 5, solder wettability, etc. You may make it improve.
1・・・セラミック母基板
2・・・配線基板領域
3・・・分割溝
4・・・多数個取り配線基板
5・・・配線導体
6・・・貫通孔
7・・・孔部
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ...
Claims (1)
Priority Applications (1)
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JP2003370449A JP2005136172A (en) | 2003-10-30 | 2003-10-30 | Multiple wiring board |
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Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011233687A (en) * | 2010-04-27 | 2011-11-17 | Kyocera Corp | Multipiece wiring board |
JP2014060354A (en) * | 2012-09-19 | 2014-04-03 | Kyocera Corp | Multi-piece wiring board and wiring board |
WO2022131337A1 (en) * | 2020-12-17 | 2022-06-23 | デンカ株式会社 | Ceramic plate and method for manufacturing same, composite board and method for manufacturing same, and circuit board and method for manufacturing same |
-
2003
- 2003-10-30 JP JP2003370449A patent/JP2005136172A/en active Pending
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