JP2004277749A - 加熱剥離型粘着シート - Google Patents

Abstract

【課題】 被着体の接着対象面積が小さくなる場合であっても、有効な接触面積を確保でき、チップ飛びなどの接着不具合の発生を防止できる加熱剥離型粘着シートを提供する。
【解決手段】 加熱剥離型粘着シートは、基材の少なくとも片側に熱膨張性微小球を含有する熱膨張性粘着層が設けられた加熱剥離型粘着シートであって、加熱前の熱膨張性粘着層表面の中心線平均粗さが０．４μｍ以下であることを特徴とする。加熱前の熱膨張性粘着層表面の最大粗さは５μｍ以下であってもよい。基材と熱膨張性粘着層との間にゴム状有機弾性層を有していてもよい。
【選択図】 図１

Description

本発明は任意なときに短時間の加熱処理により被着体から簡単に剥離できる加熱剥離型粘着シートに関する。

従来、基材上に熱膨張性微小球などの発泡剤又は膨張剤を含む感圧粘着剤層を設けた加熱剥離型粘着シートが知られている（特公昭５０−１３８７８号公報、特公昭５１−２４５３４号公報、特開昭５６−６１４６８号公報、特開昭５６−６１４６９号公報、特開昭６０−２５２６８１号公報など）。この加熱剥離型粘着シートは、接着性と使用後の剥離性とを両立させた粘着シートであり、加熱により発泡剤等を発泡又は膨張させることで接着力が低下し、被着体より容易に剥離できるという特徴を有する。そのため、電子部品の製造工程時における仮固定手段やリサイクル用ラベルなどとして用いられている。

近年、電子機器の軽薄短小化、小型軽量化が進み、これに伴い、搭載されるコンデンサやＬＥＤなどの電子部品も小型化、チップ化が進んでいる。上記の加熱剥離型粘着シートは、これらの電子部品の切断加工時の仮固定用途にも使用されているが、上記小型化に伴い、チップ１個当たりの接着対象面積が減少するため、粘着シートとの有効接触面積を確保することが、チップ飛びやチッピングなどの不具合対策として重要となってくる。しかしながら、従来の加熱剥離型粘着シートでは、粘着層表面に添加している熱膨張性微小球のうち相対的に粒径の大きい粒子に起因する凹凸が少なからずあるため、粘着シートとチップ間の有効接着面積が確保できず、チップ飛びやチッピングが発生してしまう場合があった。

特公昭５０−１３８７８号公報 特公昭５１−２４５３４号公報 特開昭５６−６１４６８号公報 特開昭５６−６１４６９号公報 特開昭６０−２５２６８１号公報

したがって、本発明の目的は、被着体の接着対象面積が小さくなる場合であっても、有効な接触面積を確保でき、チップ飛びなどの接着不具合の発生を防止できる加熱剥離型粘着シートを提供することにある。

本発明者らは、前記目的を達成するため鋭意検討した結果、加熱前の熱膨張性粘着層表面の中心線平均粗さを特定の範囲に設定すると、小型チップ化に伴うチップ飛びなどの接着不良を抑制できることを見出し、本発明を完成した。

すなわち、本発明は、基材の少なくとも片側に熱膨張性微小球を含有する熱膨張性粘着層が設けられた加熱剥離型粘着シートであって、加熱前の熱膨張性粘着層表面の中心線平均粗さが０．４μｍ以下であることを特徴とする加熱剥離型粘着シートを提供する。

本発明の加熱剥離型粘着シートによれば、チップなどの被着体の接着対象面積が小さくなる場合であっても、有効な接触面積を確保でき、チップ飛びなどの接着不具合の発生を防止することができる。

以下に、本発明の実施の形態を、必要に応じて図面を参照しつつ、詳細に説明する。図１は本発明の加熱剥離型粘着シートの一例を示す概略断面図であり、図２は本発明の加熱剥離型粘着シートの他の例を示す概略断面図である。

図１の例では、基材１の一方の面に熱膨張性粘着層３が設けられ、その上にセパレータ４が積層されている。図２の例では、基材１の一方の面に、ゴム状有機弾性層２を介して、熱膨張性粘着層３が設けられ、さらにその上にセパレータ４が積層されている。

基材１は、熱膨張性粘着層３等の支持母体となるもので、一般にはプラスチックのフィルムやシートが用いられるが、紙、布、不織布、金属箔など、又はこれらとプラスチックとの積層体、プラスチックフィルム（又はシート）同士の積層体などの適宜な薄葉体を用いうる。基材１の厚さは、一般には５００μｍ以下、好ましくは１〜３００μｍ、さらに好ましくは５〜２５０μｍ程度であるが、これらに限定されない。基材１の表面は、熱膨張性粘着層３等との密着性を高めるため、慣用の表面処理、例えば、クロム酸処理、オゾン暴露、火炎暴露、高圧電撃暴露、イオン化放射線処理等の化学的又は物理的方法による酸化処理等が施されていてもよく、また、熱膨張性粘着層３等との剥離性を付与するため、例えば、シリコーン系樹脂やフッ素系樹脂等の剥離剤などによるコーティング処理が施されていてもよい。

基材１には、低接着性基材及び強接着性基材が含まれる。低接着性基材としては、ポリエチレン、ポリプロピレンなどのオレフィン系樹脂等の無極性ポリマーからなる基材、表面が前記剥離剤でコーティング処理された基材などが例示できる。また、強接着性基材としては、ポリエステルなどの極性の高いポリマー等からなる基材、表面が前記化学的又は物理的方法により酸化処理等が施された基材などが挙げられる。

前記低接着性基材は、基材と基材上の層とが容易に剥離できる基材剥離型粘着シート用基材として用いられる。基材剥離型粘着シートは、例えば、１つの被着体ａに貼り付けた後、基材を剥離して熱膨張性粘着層を被着体ａに残し、この熱膨張性粘着層に他の被着体ｂを貼り合わせるといった仮止め接着剤として使用できる。この場合、接着状態を解除したいときには、加熱処理することにより容易に被着体ａ及びｂを分離できる。一方、前記強接着性基材は、基材と基材上の層とが強接着した基材固着型粘着シート用基材として使用される。このような基材固着型粘着シートでは、接着時には被着体に予め設定した接着力で接着できると共に、接着状態を解除したいときには、加熱処理により容易に剥離又は分離できる。

ゴム状有機弾性層２は、加熱剥離型粘着シートを被着体に接着する際に、前記粘着シートの表面を被着体の表面形状に良好に追従させて、接着面積を大きくするという機能と、前記粘着シートを被着体から加熱剥離する際に、熱膨張性層の加熱膨張を高度に（精度よく）コントロールし、熱膨張性層を厚さ方向へ優先的に且つ均一に膨張させるという機能とを有する。

ゴム状有機弾性層２は、上記機能を具備させるため、例えば、ＡＳＴＭ Ｄ−２２４０に基づくＤ型シュアーＤ型硬度が、５０以下、特に４０以下の天然ゴム、合成ゴム又はゴム弾性を有する合成樹脂により形成することが好ましい。

前記合成ゴム又はゴム弾性を有する合成樹脂としては、例えば、ニトリル系、ジエン系、アクリル系などの合成ゴム；ポリオレフィン系、ポリエステル系などの熱可塑性エラストマー；エチレン−酢酸ビニル共重合体、ポリウレタン、ポリブタジエン、軟質ポリ塩化ビニルなどのゴム弾性を有する合成樹脂などが挙げられる。なお、ポリ塩化ビニルなどのように本質的には硬質系ポリマーであっても、可塑剤や柔軟剤等の配合剤との組み合わせによりゴム弾性が発現しうる。このような組成物も、前記ゴム状有機弾性層の構成材料として使用できる。また、後述の熱膨張性粘着層３を構成する粘着剤等の粘着性物質などもゴム状有機弾性層２の構成材料として好ましく用いうる。

ゴム状有機弾性層２の厚さは、一般的には５００μｍ以下（例えば、１〜５００μｍ）、好ましくは３〜３００μｍ、さらに好ましくは５〜１５０μｍ程度である。

ゴム状有機弾性層２の形成は、例えば、前記天然ゴム、合成ゴム又はゴム弾性を有する合成樹脂などの弾性層形成材を含むコーティング液を基材１上に塗布する方式（コーティング法）、前記弾性層形成材からなるフィルム、又は予め１層以上の熱膨張性粘着層３上に前記弾性層形成材からなる層を形成した積層フィルムを基材１と接着する方式（ドライラミネート法）、基材１の構成材料を含む樹脂組成物と前記弾性層形成材を含む樹脂組成物とを共押出しする方式（共押出し法）などの適宜な方式で行うことができる。

なお、ゴム状有機弾性層２は、天然ゴムや合成ゴム又はゴム弾性を有する合成樹脂を主成分とする粘着性物質で形成されていてもよく、また、かかる成分を主体とする発泡フィルム等で形成されていてもよい。発泡は、慣用の方法、例えば、機械的な攪拌による方法、反応生成ガスを利用する方法、発泡剤を使用する方法、可溶性物質を除去する方法、スプレーによる方法、シンタクチックフォームを形成する方法、焼結法などにより行うことができる。ゴム状有機弾性層２は単層であってもよく、２以上の層で構成してもよい。

熱膨張性粘着層３は、粘着性を付与するための粘着剤、及び熱膨張性を付与するための熱膨張性微小球（マイクロカプセル）を含んでいる。そのため、粘着シートを被着体に貼着した後、任意なときに熱膨張性粘着層３を加熱して、熱膨張性微小球を発泡及び／又は膨張処理することにより、熱膨張性粘着層３と被着体との接着面積を減少させて、粘着シートを容易に剥離することができる。マイクロカプセル化していない発泡剤では、良好な剥離性を安定して発現させることができない。

前記粘着剤としては、加熱時に熱膨張性微小球の発泡及び／又は膨張を可及的に拘束しないようなものが好ましい。該粘着剤として、例えば、ゴム系粘着剤、アクリル系粘着剤、ビニルアルキルエーテル系粘着剤、シリコーン系粘着剤、ポリエステル系粘着剤、ポリアミド系粘着剤、ウレタン系粘着剤、スチレン−ジエンブロック共重合体系粘着剤、これらの粘着剤に融点が約２００℃以下の熱溶融性樹脂を配合したクリ−プ特性改良型粘着剤などの公知の粘着剤を１種又は２種以上組み合わせて用いることができる（例えば、特開昭５６−６１４６８号公報、特開昭６１−１７４８５７号公報、特開昭６３−１７９８１号公報、特開昭５６−１３０４０号公報等参照）。粘着剤は、粘着性成分（ベースポリマー）のほかに、架橋剤（例えば、ポリイソシアネート、アルキルエーテル化メラミン化合物など）、粘着付与剤（例えば、ロジン誘導体樹脂、ポリテルペン樹脂、石油樹脂、油溶性フェノール樹脂など）、可塑剤、充填剤、老化防止剤などの適宜な添加剤を含んでいてもよい。

一般には、前記粘着剤として、天然ゴムや各種の合成ゴムをベースポリマーとしたゴム系粘着剤；（メタ）アクリル酸アルキルエステル（例えば、メチルエステル、エチルエステル、プロピルエステル、イソプロピルエステル、ブチルエステル、イソブチルエステル、ｓ−ブチルエステル、ｔ−ブチルエステル、ペンチルエステル、ヘキシルエステル、ヘプチルエステル、オクチルエステル、２−エチルヘキシルエステル、イソオクチルエステル、イソデシルエステル、ドデシルエステル、トリデシルエステル、ペンタデシルエステル、ヘキサデシルエステル、ヘプタデシルエステル、オクタデシルエステル、ノナデシルエステル、エイコシルエステルなどのＣ_1-20アルキルエステルなど）の１種又は２種以上を単量体成分として用いたアクリル系重合体（単独重合体又は共重合体）をベースポリマーとするアクリル系粘着剤などが用いられる。

なお、前記アクリル系重合体は、凝集力、耐熱性、架橋性などの改質を目的として、必要に応じて、前記（メタ）アクリル酸アルキルエステルと共重合可能な他の単量体成分に対応する単位を含んでいてもよい。このような単量体成分として、例えば、アクリル酸、メタクリル酸、カルボキシエチルアクリレート、カルボキシペンチルアクリレート、イタコン酸、マレイン酸、フマル酸、クロトン酸などのカルボキシル基含有モノマー；無水マレイン酸、無水イコタン酸などの酸無水物モノマー；（メタ）アクリル酸ヒドロキシエチル、（メタ）アクリル酸ヒドロキシプロピル、（メタ）アクリル酸ヒドロキシブチル、（メタ）アクリル酸ヒドロキシヘキシル、（メタ）アクリル酸ヒドロキシオクチル、（メタ）アクリル酸ヒドロキシデシル、（メタ）アクリル酸ヒドロキシラウリル、（４−ヒドロキシメチルシクロヘキシル）メチルメタクリレートなどのヒドロキシル基含有モノマー；スチレンスルホン酸、アリルスルホン酸、２−（メタ）アクリルアミド−２−メチルプロパンスルホン酸、（メタ）アクリルアミドプロパンスルホン酸、スルホプロピル（メタ）アクリレート、（メタ）アクリロイルオキシナフタレンスルホン酸などのスルホン酸基含有モノマー；（メタ）アクリルアミド、Ｎ，Ｎ−ジメチル（メタ）アクリルアミド、Ｎ−ブチル（メタ）アクリルアミド、Ｎ−メチロール（メタ）アクリルアミド、Ｎ−メチロールプロパン（メタ）アクリルアミドなどの（Ｎ−置換）アミド系モノマー；（メタ）アクリル酸アミノエチル、（メタ）アクリル酸Ｎ，Ｎ−ジメチルアミノエチル、（メタ）アクリル酸ｔ−ブチルアミノエチルなどの（メタ）アクリル酸アミノアルキル系モノマー；（メタ）アクリル酸メトキシエチル、（メタ）アクリル酸エトキシエチルなどの（メタ）アクリル酸アルコキシアルキル系モノマー；Ｎ−シクロヘキシルマレイミド、Ｎ−イソプロピルマレイミド、Ｎ−ラウリルマレイミド、Ｎ−フェニルマレイミドなどのマレイミド系モノマー；Ｎ−メチルイタコンイミド、Ｎ−エチルイタコンイミド、Ｎ−ブチルイタコンイミド、Ｎ−オクチルイタコンイミド、Ｎ−２−エチルヘキシルイタコンイミド、Ｎ−シクロヘキシルイタコンイミド、Ｎ−ラウリルイタコンイミドなどのイタコンイミド系モノマー；Ｎ−（メタ）アクリロイルオキシメチレンスクシンイミド、Ｎ−（メタ）アクルロイル−６−オキシヘキサメチレンスクシンイミド、Ｎ−（メタ）アクリロイル−８−オキシオクタメチレンスクシンイミドなどのスクシンイミド系モノマー；酢酸ビニル、プロピオン酸ビニル、Ｎ−ビニルピロリドン、メチルビニルピロリドン、ビニルピリジン、ビニルピペリドン、ビニルピリミジン、ビニルピペラジン、ビニルピラジン、ビニルピロール、ビニルイミダゾール、ビニルオキサゾール、ビニルモルホリン、Ｎ−ビニルカルボン酸アミド類、スチレン、α−メチルスチレン、Ｎ−ビニルカプロラクタムなどのビニル系モノマー；アクリロニトリル、メタクリロニトリルなどのシアノアクリレートモノマー；（メタ）アクリル酸グリシジルなどのエポキシ基含有アクリル系モノマー；（メタ）アクリル酸ポリエチレングリコール、（メタ）アクリル酸ポリプロピレングリコール、（メタ）アクリル酸メトキシエチレングリコール、（メタ）アクリル酸メトキシポリプロピレングリコールなどのグリコール系アクリルエステルモノマー；（メタ）アクリル酸テトラヒドロフルフリル、フッ素（メタ）アクリレート、シリコーン（メタ）アクリレートなどの複素環、ハロゲン原子、ケイ素原子などを有するアクリル酸エステル系モノマー；ヘキサンジオールジ（メタ）アクリレート、（ポリ）エチレングリコールジ（メタ）アクリレート、（ポリ）プロピレングリコールジ（メタ）アクリレート、ネオペンチルグリコールジ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールジ（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールトリ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレート、エポキシアクリレート、ポリエステルアクリレート、ウレタンアクリレートなどの多官能モノマー；イソプレン、ブタジエン、イソブチレンなどのオレフィン系モノマー；ビニルエーテルなどのビニルエーテル系モノマー等が挙げられる。これらの単量体成分は１種又は２種以上使用できる。

なお、加熱処理前の適度な接着力と加熱処理後の接着力の低下性のバランスの点から、より好ましい粘着剤は、動的弾性率が常温から１５０℃において５万〜１０００万ｄｙｎ／ｃｍ²の範囲にあるポリマーをベースとした感圧接着剤である。

熱膨張性微小球としては、例えば、イソブタン、プロパン、ペンタンなどの加熱により容易にガス化して膨張する物質を、弾性を有する殻内に内包させた微小球であればよい。前記殻は、熱溶融性物質や熱膨張により破壊する物質で形成される場合が多い。前記殻を形成する物質として、例えば、塩化ビニリデン−アクリロニトリル共重合体、ポリビニルアルコール、ポリビニルブチラール、ポリメチルメタクリレート、ポリアクリロニトリル、ポリ塩化ビニリデン、ポリスルホンなどが挙げられる。熱膨張性微小球は、慣用の方法、例えば、コアセルベーション法、界面重合法などにより製造できる。なお、熱膨張性微小球には、例えば、マイクロスフェア［商品名、松本油脂製薬（株）製］などの市販品もある。

加熱処理により粘着層の接着力を効率よく低下させるため、体積膨張率が５倍以上、なかでも７倍以上、特に１０倍以上となるまで破裂しない適度な強度を有する熱膨張性微小球が好ましい。

熱膨張性微小球の配合量は、粘着層の膨張倍率や接着力の低下性などに応じて適宜設定しうるが、一般には熱膨張性粘着層３を形成するベースポリマー１００重量部に対して、例えば１〜１５０重量部、好ましくは１０〜１３０重量部、さらに好ましくは２５〜１００重量部である。

熱膨張性粘着層３は、例えば、必要に応じて溶媒を用いて粘着剤、熱膨張性微小球を含むコーティング液を調製し、これを基材１又はゴム状有機弾性層２上に塗布する方式、適当なセパレータ（剥離紙など）上に前記コーティング液を塗布して熱膨張性粘着層を形成し、これを基材１又はゴム状有機弾性層２上に転写（移着）する方法など、慣用の方法により形成できる。熱膨張性粘着層３は単層、複層の何れであってもよい。

本発明の重要な特徴は、加熱前の熱膨張性粘着層表面の中心線平均粗さが０．４μｍ以下（例えば０．０２〜０．４μｍ程度）である点にある。前記中心線平均粗さは、好ましくは０．３μｍ以下（例えば０．０２〜０．３μｍ程度）、さらに好ましくは０．２μｍ以下（例えば０．０２〜０．２μｍ程度）である。また、加熱前の熱膨張性粘着層表面の最大粗さは５μｍ以下（例えば、０．１〜５μｍ程度）であるのが好ましく、さらに好ましくは３μｍ以下（例えば、０．５〜３μｍ程度）である。

前記加熱前の熱膨張性粘着層表面の中心線平均粗さ及び最大粗さは、熱膨張性粘着層３の厚さと該粘着層に添加する熱膨張性微小球の粒径を適宜選択することにより調整することができる。

熱膨張性微小球の粒径は、加熱前の熱膨張性粘着層表面の中心線平均粗さ０．４μｍ以下、さらには加熱前の熱膨張性粘着層表面の最大粗さ５μｍ以下を確保するため、「熱膨張性粘着層３の厚さ≧熱膨張性微小球の粒径」の関係であることが望ましい。熱膨張性微小球の粒径が熱膨張性粘着層３の厚さよりも大きいと、熱膨張性粘着層３の表面粗さが大きくなり、被着体との有効接着面積が小さくなる。なお、基材１と熱膨張性粘着剤層３との間にゴム状有機弾性層２を設ける場合には、熱膨張性粘着層３の厚さより熱膨張性微小球の粒径が若干大きくても、ゴム状有機弾性層２への吸収効果が期待できるため、この限りではない。熱膨張性微小球の粒径調整は、熱膨張性微小球の生成過程で行ってもよく、又、生成後の分級などの手段で行ってもよい。

熱膨張性粘着層３の厚さは、３００μｍ以下、特に１００μｍ以下であることが好ましい。厚さが過大であると、加熱処理後の剥離時に凝集破壊が生じて粘着剤が被着体に残存し、被着体が汚染されやすくなる。一方、粘着剤の厚さが過小では、加熱処理による熱膨張性粘着層３の変形度が小さく、接着力が円滑に低下しにくくなったり、添加する熱膨張性微小球の粒径を過度に小さくする必要が生じる。かかる点より、熱膨張性粘着層３の厚さは５μｍ以上、なかでも１０μｍ以上、特に１５μｍ以上であるのが好ましい。

セパレータ４としては、慣用の剥離紙などを使用できる。セパレータ４は熱膨張性粘着層３の保護材として用いられ、粘着シートを被着体に貼着する際に剥がされる。セパレータ４は必ずしも設けなくてもよい。

なお、熱膨張性粘着層３は基材１の片面のみならず、両面に形成することもできる。また、必要に応じて、ゴム状有機弾性層２も基材１の片面又は両面に介在させることができる。さらに、基材１の一方の面に熱膨張性粘着層３を設け、他方の面に熱膨張性微小球を含まない通常の接着層を設けることもできる。なお、基材１とゴム状有機弾性層２との間、ゴム状有機弾性層２と熱膨張性粘着層３との間などに下塗り層、接着剤層などの中間層を設けてもよい。

本発明の加熱剥離型粘着シートでは、加熱前の熱膨張性粘着層表面の中心平均粗さが小さいので、例えば、電子部品切断時の仮固定用テープとして用い、より小型チップ化するときなど接着対象面積が小さくなる場合においても、ワークとの有効接触面積を十分に確保できるため、チップ飛びやズレ等の接着力不足に起因する不具合の発生を抑制できる。そのため、生産性や歩留まり等の低下を防止することができる。

また、基材と熱膨張性粘着層との間にゴム状有機弾性層が設けられた加熱剥離型粘着シートでは、粘着シートを被着体に接着する際には、ゴム状有機弾性層の弾性により、粘着シートの表面が被着体の表面形状に良好に追従して大きな接着面積が得られ、接着強度を高めることができると共に、加熱剥離させる際には、熱膨張性層の膨張（体積変化）を精度よくコントロールでき、厚さ方向に優先して且つ均一に膨張させることができ、剥離が一層容易となる。また、熱膨張性粘着層に含まれる熱膨張性微小球の粒径が多少大きくても、それに起因する凹凸がゴム状有機弾性層により吸収されるので、熱膨張性粘着層の表面粗さを小さく抑制できる。

本発明の加熱剥離型粘着シートは、適宜な物品からなる被着体を永久的に接着しておく用途に用いることもできるが、被着体を所定期間接着すると共に、接着目的を達成した後には、その接着状態を解除することが要求される又は望まれる用途に好適に使用される。特に、従来の加熱剥離型粘着シートでは接着困難となりやすい、より小型のチップ部品の製造、例えば、半導体ウエハやチップ、セラミックコンデンサや発振子などの電子部品のより小型チップ化工程に最適である。

本発明の粘着シートを被着体より容易に剥離できるようにするための加熱処理条件は、被着体の表面状態や熱膨張性微小球の種類等による接着面積の減少性、基材や被着体の耐熱性や加熱方法等の条件により適宜設定できる。一般的な加熱処理条件は、温度１００〜２５０℃で、１〜９０秒間（ホットプレートなど）または５〜１５分間（熱風乾燥器など）である。かかる加熱条件で、通例、粘着層の熱膨張性微小球が膨張及び／又は発泡して粘着層が膨張変形し、接着力が低下ないし喪失する。なお、加熱処理は使用目的に応じて適宜な段階で行うことができる。また、加熱源としては、赤外線ランプや加熱水を用いることができる場合もある。

以下に、実施例に基づいて本発明をより詳細に説明するが、本発明はこれらの実施例により何ら限定されるものではない。なお、粒径測定は、レーザー散乱・回折式粒度分布測定装置ＳＡＬＤ−２０００Ｊ型（（株）島津製作所製）を用いた。

実施例１
熱膨張性微小球Ａ（マツモトマイクロスフェアＦ−５０Ｄ：松本油脂製薬（株）製：平均粒子径１３．４μｍ、最大粒径６３μｍ）を遠心力型風力分級機を用いて分級し、分級済み熱膨張性微小球Ｂ（平均粒子径１２．３μｍ、最大粒径４２μｍ）を得た。
一方、アクリル酸２−エチルヘキシル−アクリル酸エチル−メチルメタクリレート（３０重量部−７０重量部−５重量部）共重合体系感圧接着剤１００重量部（ポリウレタン系架橋剤２重量部配合）に、前記分級済み熱膨張性微小球Ｂ３０重量部を配合してなるトルエン溶液を調製し、これを、厚さ１００μｍのポリエステルフィルム上に乾燥後の厚みが４５μｍとなるように塗布、乾燥して、加熱剥離型粘着シートを得た。
次に、上記の加熱剥離型粘着シートの粘着面に１２０ｍｍ×１００ｍｍ×厚さ０．５ｍｍのセラミックシート（焼成前）を仮固定し、それをダイシングリングに装着固定して回転刃を介し、０．６ｍｍ×０．３ｍｍのチップにフルカットした。前記カット後、ダイシングリングに装着固定したままの状態で１３０℃×６０秒の加熱処理をホットプレート上で行い、冷却後、反転振動させてチップを回収した。

実施例２
厚さ１００μｍのポリエステルフィルム上に、アクリル酸２−エチルヘキシル−アクリル酸エチル−メチルメタクリレート共重合体系感圧接着剤（ポリウレタン系架橋剤１重量部配合）を含むトルエン溶液を、乾燥後の厚さが１０μｍとなるように塗布、乾燥してゴム状有機弾性層を形成した。
実施例１と同様にして、アクリル酸２−エチルヘキシル−アクリル酸エチル−メチルメタクリレート共重合体系感圧接着剤１００重量部（ポリウレタン系架橋剤２重量部配合）に、分級済み熱膨張性微小球Ｂ３０重量部を配合してなるトルエン溶液を調製し、これを、セパレータ上に乾燥後の厚みが３５μｍとなるように塗布、乾燥して粘着層を形成した後、上記ゴム状有機弾性層を形成したポリエステルフィルムのゴム状有機弾性層側に貼り合わせ、加熱剥離性粘着シートを得た。
次に、上記の加熱剥離型粘着シートの粘着面に１２０ｍｍ×１００ｍｍ×厚さ０．５ｍｍのセラミックシート（焼成前）を仮固定し、それをダイシングリングに装着固定して回転刃を介し、０．６ｍｍ×０．３ｍｍのチップにフルカットした。前記カット後、ダイシングリングに装着固定したままの状態で１３０℃×６０秒の加熱処理をホットプレート上で行い、冷却後、反転振動させてチップを回収した。

実施例３
分級済み熱膨張性微小球Ｂの代わりに熱膨張性微小球Ｃ（マツモトマイクロスフェアＦ−３０１Ｄ：松本油脂製薬（株）製：平均粒子径１１．６μｍ、最大粒径４２μｍ）を粘着層に添加するとともに、チップ切断後の加熱処理条件を１００℃×６０秒とした以外は、実施例１と同様の操作を行った。

比較例１
分級済み熱膨張性微小球Ｂの代わりに熱膨張性微小球Ａ（マツモトマイクロスフェアＦ−５０Ｄ：松本油脂製薬（株）製：平均粒子径１３．４μｍ、最大粒径６３μｍ）を粘着層に添加した以外は、実施例１と同様の操作を行った。

比較例２
分級済み熱膨張性微小球Ｂの代わりに熱膨張性微小球Ａ（マツモトマイクロスフェアＦ−５０Ｄ：マツモト油脂製薬（株）製：平均粒子径１３．４μｍ、最大粒径６３μｍ）を粘着層に添加した以外は、実施例２と同様の操作を行った。

評価試験
実施例及び比較例で得られた粘着シートの加熱前の粘着層表面の中心線平均粗さ及び最大粗さ、並びにチップ切断時のチップ保持率を表１に示した。粘着層表面の中心線平均粗さと最大粗さは、ＺＹＧＯ社製、非接触三次元表面粗さ計により測定した。なお、実施例、比較例の何れの場合にも、加熱剥離回収後のチップ剥離面に糊残りは認められなかった。

本発明の加熱剥離型粘着シートの一例を示す概略断面図である。 本発明の加熱剥離型粘着シートの他の例を示す概略断面図である。

符号の説明

１ 基材
２ ゴム状有機弾性層
３ 熱膨張性粘着層
４ セパレータ

Claims (4)

1. 基材の少なくとも片側に熱膨張性微小球を含有する熱膨張性粘着層が設けられた加熱剥離型粘着シートであって、加熱前の熱膨張性粘着層表面の中心線平均粗さが０．４μｍ以下であることを特徴とする加熱剥離型粘着シート。
2. 加熱前の熱膨張性粘着層表面の最大粗さが５μｍ以下である請求項１記載の加熱剥離型粘着シート。
3. 基材と熱膨張性粘着層との間にゴム状有機弾性層を有する請求項１又は２記載の加熱剥離型粘着シート。
4. ゴム状有機弾性層が粘着性物質で構成されている請求項３記載の加熱剥離型粘着シート。

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