JP2004258394A - Optical functional film, anti-reflection film, polarizing plate, and display device - Google Patents
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Landscapes
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Abstract
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、光学機能性膜、反射防止フィルム、偏光板、及び、表示装置に関し、さらに詳しくは、ワープロ、コンピュータ、テレビ等の各種ディスプレイ、液晶表示装置に用いる偏光板の表面、透明プラスチック類サングラスレンズ、度付メガネレンズ、カメラ用ファインダーレンズなどの光学レンズ、各種計器のカバー、自動車、電車等の窓ガラス等の表面に使用され、更に、フレキシブルな各種ディスプレイに使用しても、柔軟に追従することができる可撓性、光学機能性に優れる光学機能性膜、反射防止フィルムに関するものである。
【0002】
【従来技術】
従来より、カーブミラー、バックミラー、ゴーグル、窓ガラス、テレビ、パソコン・ワープロ等のディスプレイ、その他種々の商業ディスプレイ等には、ガラスやプラスチック等の透明基板が使用されている。
そして、それらの透明な基材には、基材を通して、文字や図形その他の情報を読み取るため、基材の表面で光が反射するのを防止するため、反射防止機能を付与することが行われる。
透明な基材に反射防止機能を付与するために、例えば、透明基材に、酸化ケイ素(以下、「シリカ」とする場合がある。)、酸化ジルコニウム等の無機化合物からなる光学機能性膜を形成することが知られている。
例えば、プラスチック製光学部品の反射防止膜を提供する技術として、表面側から空気側へ順に、第1層、第2層、第3層の3層構造の蒸着膜を形成して反射防止膜を構成する構造であって、前記第1層は一酸化ケイ素と酸化ジルコニウムの混合物からなり、前記第2層は酸化ジルコニウム、前記第3層は二酸化ケイ素からなることを特徴とするプラスチック製光学部品の反射防止膜が提案されている(例えば、特許文献1参照。)。
また、有機ケイ素化合物からなるシリカ層、及び当該シリカ層を用いた反射防止フィルムを提供する技術として、1.40〜1.46(λ=550nm)であり、層の組成がSiOxCy:H(x=1.6〜1.9、y=0.2〜1.0)である有機ケイ素化合物からなるシリカ層および、当該シリカ層を反射防止積層体の最外層とする反射防止フィルムが提案されている(例えば、特許文献2参照。)。
【0003】
【特許文献1】
特公平6−87081号公報
【特許文献2】
特開2002−103507公報
【0004】
一方、薄型、安価で、携帯可能なIT機器に対する需要が高まり、例えば、折り曲げ可能なフレキシブルディスプレイ等の新しいディスプレイが提案されてきている。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、従来の反射防止膜では、フレキシブルディスプレイの可撓性基材の上に形成して使用しても、可撓性基材に追従することができず、その結果、膜割れ、膜剥がれの発生により、反射防止等の光学機能性を著しく低下させるという欠点がある。
【0006】
【課題を解決するための手段】
そこで本発明者らは、上記の課題を解決するために、鋭意研究の結果、本発明は、可撓性基材の上に光透過性膜を直接、又は、他の層を介して少なくとも一層形成し、JIS K 5600−5−1に基いて、円筒形マンドレル法の曲げ試験を行った場合、前記の光透過性膜に膜割れ、又は、剥離も認められず、かつ、光学機能性を維持し、かつ、光透過性膜の最大高低差の変化率が30%以下である可撓性を有することを特徴とする光学機能性膜を製造し、更に、これを可撓性基材の上に形成し、反射防止フィルム等の光学機能性フィルムを製造したところ、強く折り曲げても光学機能性を維持できるため、通常使用されている液晶表示装置、有機エレクトロルミネッセンス(以下「EL」ともいう。)表示装置、無機EL表示装置、PDP(プラズマディスプレイ)等の各種表示装置、偏光板の表面だけでなく、フレキシブルな各種表示装置の表面に使用しても、柔軟に追従することができると共に、反射防止等の光学機能性を維持できるものである。
また、本発明によれば、前記の曲げ試験前後の光透過性膜において、L* a* b* 表色系における色差(△E*)が、0.5以下となることを特徴とする光学機能性膜を提供することができる。
また、前記の光学機能性膜が、屈性率、1.5以上2.4以下(波長λ=550nm)、膜厚、30nm以上200nm以下、SiNxCyOz(xは0.2≦x≦2.0、yは0.5≦y≦1.5、zは0.05≦z≦1.5)の組成式で表されるシリカ膜であることを特徴とする光学機能性膜を提供することができる。
また、前記の光学機能性膜が、Si−R結合(Rはアルキル基、アリル基、ビニル基、フェニル基、ケトン基、シアノ基又は、これらの基を含有する有機基を示す。)で表される結合を含む有機ケイ素化合物を出発原料とすることを特徴とする光学機能性膜を提供することができる。
また、前記の光学機能性膜が、Si−O結合(Siはケイ素原子、Oは酸素原子を示す。)、又は、Si−N結合(Siはケイ素原子、Nは窒素原子を示す。)で表される結合を含む有機ケイ素化合物を出発原料とすることを特徴とする光学機能性膜を提供することができる。
また、上記の光学機能性膜を直接、又は、他の層を介して可撓性基材の上に形成することを特徴とする反射防止フィルムを提供することができる。
また、前記の可撓性基材フィルムの上に、直接、又は、他の層を介して、光透過性を有し、かつ互いに屈折率が異なる中屈折率層、高屈折率層、及び、低屈折率層とを順に積層する反射防止フィルムであって、中屈折率層が、屈折率、1.5以上1.8以下(波長λ=550nm)、膜厚、30nm以上200nm以下であり、高屈折率層が、屈折率、1.8以上2.4以下(波長λ=550nm)、膜厚、30nm以上200nm以下であり、低屈折率層が屈折率、1.3以上1.5以下(波長λ=550nm)、膜厚、30nm以上200nm以下であり、かつ、中屈折率層、又は、高屈折率層が、前記の光学機能性膜であることを特徴とする反射防止フィルムを提供することができる。
また、前記の可撓性基材フィルムの上に、直接、又は、他の層を介して、光透過性を有し、かつ互いに屈折率が異なる層を、高屈折率層および低屈折率層の順に積層し、または、高屈折率層、低屈折率層、高屈折率層および低屈折率層の順に積層し、前記の高屈折率層が、前記の光学機能性膜のうち、屈折率、1.8以上2.4以下(波長λ=550nm)であり、前記の低屈折率層が屈折率、1.3以上1.5以下(波長λ=550nm)、膜厚、30nm以上200nm以下の酸化珪素膜であることを特徴とする反射防止フィルムを提供することができる。
また、上記の他の層が、ハードコート層であることを特徴とする反射防止フィルムを提供することができる。
また、最上層に防汚層が積層されていることを特徴とする反射防止フィルムを提供することができる。
また、前記の反射防止フィルムが、偏光素子に積層されていることを特徴とする偏光板を提供することができる。
また、前記の反射防止フィルム、又は、前記の偏光板が、表示部の観察側に積層、又は、配置されていることを特徴とする液晶表示装置、エレクトロルミネッセンス表示装置、または、これらのフレキシブルな表示装置を提供することができる。
【0007】
【発明の実施の形態】
上記の本発明について以下に更に詳しく説明する。
まず、本発明にかかる光学機能性膜を可撓性基材の上に形成する反射防止フィルム、及び、それを使用した偏光板、表示装置の構成についてその二三を例示して図面を用いて説明すると、図1は、本発明に係る光学機能性膜を可撓性基材の上に形成する光学機能性フィルムの一態様である層構成を示す概略断面図であり、図2、図3は、本発明に係る光学機能性膜を含んだ多層型反射防止膜を形成する反射防止フィルムの一態様である層構成を示す概略断面図であり、図4は、表示面側の可撓性基板の外面に貼り付けた偏光板の断面を模式的に示したものであり、図5は、本発明に係る光学機能性膜を含んだ多層型反射防止膜により表示面を被覆した液晶表示装置の一例を示す概略断面図であり、図6、図7は、プラズマCVD法による本発明に係る可撓性基材上に光学機能性膜を形成する反射防止フィルムの製造方法を説明するための概略図である。
【0008】
本発明に係る光学機能性膜12は、図1〜図3に示すように、可撓性基材30の上に単層又は複数層形成されるものである。
本発明に係る光学機能性膜12は、可撓性基材30の上に形成した後、これを測定試料として、JIS K 5600−5−1に基いて、当該膜面が外側に折り曲げられるようにして試験板に挟み、2秒間かけて同速度で均一に角度180度折り曲げて、円筒形マンドレル法の曲げ試験を行った後、当該膜面を目視で観察した結果、膜割れ、又は、基材からの剥離も認められないものであることが必要である。
また、前記の曲げ試験前後の光透過性膜において、L* a* b* 表色系における色差(△E*)が、0.5以下となることが必要である。
L*a*b*表色系の色座標、明度はJIS Z8701に規定するXYZ表色系またはX10Y10Z10表色系における三刺激値X、Y、Z、又はX10、Y10、Z10を用いて、JIS Z8729に準じて、L*、a*、b*を求めることできる。なお、色の測定方法はJIS Z8722に基づき、分光光度計により測定する。
本発明に係る前記の曲げ試験前後の光学機能性膜の色差(ΔE*)は、分光光度計により、定量的に表示することができ、サンプルのL*、a*、b*から以下の式によりΔE*を計算する。
△E*ab =[(ΔL*)2 +(Δa*)2+(Δb*)2]1/2ただし
(ΔL*)i,j=(L*)i−(L*)j
(Δa*)i,j=(a*)i−(a*)j
(Δb*)i,j=(b*)i−(b*)j
i=曲げ試験後
j=曲げ試験前
また、本発明に係る光学機能性膜は、分光光度計(島津製作所製 型番UV−3100PC)で分光反射測定を行った。
このΔE*が0.5以下であるとは、分光特性の変化が小さいことであり、光学機能性膜を形成する可撓性基材に応力をかけても、折り曲げても、光学機能性膜の光学特性に変化がないということであり、これをフレキシブルな偏光板や、液晶表示装置、エレクトロルミネッセンス表示装置に使用しても反射防止等の光学機能性が安定しているため小さい方が好ましいものである。
一方、色差ΔE*値が0.5を超えることは、可撓性基材に応力をかけると分光特性の変化が大きいということであり、色ムラが発生したり、反射率等の光学機能性が変化してしまうため、好ましくないものである。
更に、光学機能性膜を形成する可撓性基材に応力をかけた部位において、応力をかける前後の光透過性膜の最大高低差の変化率が30%以下であることができる。
光透過性膜の最大高低差の変化率とは、走査型プローブ顕微鏡を用いて、膜面の表面における最大高さの凸部と最低高さの凹部との2点間において、応力を印加した部分の異なった場所で10箇所測定し、その高低差の平均値を算出した値を用いて、前記の曲げ試験前後における膜面の最大高低差変化率を下式から求めたものである。
E={(Δa−Δb)/Δb}×100 E :最大高低差変化率(%)
Δa:曲げ試験後の膜面の2点間の高低差(nm)
Δb:曲げ試験前の膜面の2点間の高低差(nm)
本発明においては、上記のような可撓性を有する光学機能性膜を可撓性基材の上に形成することにより、光学機能性膜を形成する可撓性基材を強く折り曲げても反射防止等の光学機能性を維持できるという利点を有するものである。
一方、最大高低差の変化率が30%を超える場合、表面の凹凸により、可視光の反射特性にゆがみが生じるため好ましくない。
【0009】
このような光学機能性膜としては、例えば、その組成がSiNxCyOz(xは0.2≦x≦2.0、yは0.5≦y≦1.5、zは0.05≦z≦1.5)で表されるシリカ膜が使用できる。
本発明に係るシリカ膜としては、単なる酸化ケイ素(SiOx)により構成された層ではなく、有機物(炭素(C)、窒素(N)及び水素(H))を含有するケイ素化合物(有機ケイ素化合物)により構成されている。
このように、ケイ素化合物(有機ケイ素化合物)とすることにより、フレキシブルな各種ディスプレイの表面の材料として使用しても、膜割れや、剥離を生じず、光学特性(反射防止機能)を維持でき、反射防止フィルムの取り扱い上、好ましい可撓性を有し、また下層との接着性の優れたものとすることができ、また、当該シリカ膜を所望の屈折率とすることができるため、好ましいものである。
一方、本発明に係るシリカ膜が、単なる酸化ケイ素(SiOx)の組成であると、可撓性に劣り、可撓性基材に追従することができず、膜割れや、剥離を生じ、反射防止機能の低下を招くため、好ましくないものである。
ここで、本発明のシリカ膜を構成するケイ素原子(Si)と結合している窒素原子(N)の数xは0.2〜2.0が好ましく、0.2〜1.5がより好ましい。
これは、結合している窒素原子の数xが0.2より少ないと、湿熱環境や太陽光によって経時変化を起こし、安定性に欠けるため、好ましくない。
一方、ケイ素原子に結合している窒素原子の数xを2.0より多くすると、シリカ膜全体が堅くなり、柔軟性に欠ける膜となるため好ましくない。
また、本発明のシリカ膜を構成するケイ素原子(Si)と結合している炭素原子(C)の数yは0.5〜1.0である。
これは、結合している炭素原子の数が0.5より少ないと、単なるシリカ層(SiOx)と同様の屈折率(1.46〜1.55)となってしまい、中屈折率層または高屈折率層として好適に用いることができないため好ましくない。
一方、ケイ素原子に結合している炭素原子の数yを1.0より多くすると、シリカ膜が黄色に着色したり、シリカ膜の透明度が低下してしまい、反射防止フィルムの反射防止機能多層膜として好適に用いることができなくなり、また、シリカ膜の内部応力が増加して多層膜全体が脆くなり、層への膜割れや、膜剥がれなどが発生しやすくなるため好ましくない。
また、本発明に係るシリカ膜を構成するケイ素原子(Si)と結合している酸素原子(O)の数zは、0.05〜1.5である。
これは、結合している酸素原子の数が0.05未満だと、湿熱環境や太陽光によって経時変化を起こし、安定性に欠けるため、好ましくないからある。
一方、ケイ素原子に結合している酸素原子の数zが1.5を超えることは、単なるシリカ層(SiOx)と同様の屈折率(1.46〜1.55)になってしまい、反射防止フィルムを構成する中屈折率または高屈折率層として好適に用いることができないため好ましくない。
【0010】
また、本発明に係る光学機能性膜に求められる光学特性(反射防止機能)としては、屈性率、1.5以上2.4以下(波長λ=550nm)である。
波長、550nmにおける屈折率を示しているのは、人間の感度が最も高い波長だからである。
本発明のシリカ膜は、反射防止フィルムを構成する反射防止多層膜中の一層として、より具体的には中屈折率層または高屈折率層として利用することを主たる目的としているため、その屈折率は上記の範囲であることが好ましい。
これは、当該屈折率が1.5に満たないと、中屈折率層(屈折率が1.5〜1.8)または高屈折率層(屈折率が1.8〜2.4)として好適に用いることができないため好ましくない。
また、通常シリカ膜の屈折率が2.4を超える(波長λ=550nm)と、反射防止効果が低下するため、本発明におけるシリカ膜の屈折率の上限は2.4とした。
シリカ層の厚さについては、本発明の反射防止フィルムは特に限定することはなく反射防止の効果を奏する程度の厚さであれば特に限定されるものではないが、30nm〜200nmが好ましく、50nm〜150nmの範囲内がより好ましい。
30nmより層厚が薄い場合には、可撓性基材に膜形成しても、反射防止効果を奏しない場合があるため好ましくなく、また、200nmを超える場合には、可視光線透過率が低下してしまうため好ましくない。
【0011】
また、本発明に係る反射防止フィルムを構成する多層膜の中屈折率層としては、その屈折率が1.5以上1.8未満(λ=550nm)であって、その組成をSiNxCyOz(xは0.2≦x≦2.0、yは0.5≦y≦1.5、zは0.05≦z≦1.5)とすることが好ましい。
【0012】
更に、本発明に係る反射防止フィルムを構成する多層膜の高屈折率層としては、その屈折率が1.8以上2.4以下(λ=550nm)が好ましく、屈折率が1.9以上2.3以下がより好ましく、層の組成をSiNxCyOz(xは0.2≦x≦2.0、yは0.5≦y≦1.5、zは0.05≦z≦1.5)とすることが好ましい。
【0013】
ここで、中屈折率層および高屈折率層とは、反射防止多層膜をそれぞれの屈折率により相対的に比較した場合において、それぞれの薄層を区別するための名称であり、比較的屈折率の高い層を高屈折率層、比較的屈折率の低い層を低屈折率層とし、前記高屈折率層と低屈折率層の中間の屈折率を有する層を中屈折率層としている。一般的には、屈折率が1.80以上を高屈折率層、1.55以上1.80未満を中屈折率層、1.55未満を低屈折率層とする場合が多い。
【0014】
ここで、本発明に係る反射防止膜としては、最外層が酸化シリコンからなり、その内側に有機ケイ素化合物が少なくとも一層形成されていればよく、当該構成を有するものであれば、例えば、SiN、SiO結合を含有する有機ケイ素化合物とすることもできる。
【0015】
次に、本発明に係る反射防止フィルムの基材30としては、前記のシリカ膜の反対面に位置するものであり、当該反射防止フィルムの土台となる部分である。
可撓性基材は、可視光域で透明な高分子フィルムであれば特に限定されるものではなく、具体的に、例えば、トリアセチルセルロースフィルム、ジアセチルセルロースフィルム、アセテートブチレートセルロースフィルム、ポリエーテルサルホンフィルム、ポリスチレン系樹脂フィルム、ポリアクリル系樹脂フィルム、ポリウレタン系樹脂フィルム、ポリエステル系フィルム、ポリカーボネイト系樹脂フィルム、ポリスルホンフィルム、環状オレフィン系樹脂フィルム、ポリエーテルフィルム、トリメチルペンテンフィルム、ポリエーテルケトンフィルム、ポリエーテルスルフォン系フィルム、アクリロニトリルフィルム、アクリロニトリル−スチレン共重合体樹脂(AS樹脂)フィルム、アクリロニトリル−ブタジエン−スチレン共重合体樹脂(ABS樹脂)フィルム、ポリアミド系樹脂フィルム、フッ素系樹脂フィルム、アセタール系樹脂フィルム、セルロース系樹脂フィルム等が使用できる。
中でも、無色透明の延伸フィルムが好ましく、一軸または二軸延伸ポリエステルフィルムが透明性、耐熱性に優れていることからより好ましい。
また、光学異方性のない点でトリアセチルセルロースも好ましい。
可撓性基材の厚みとしては、通常は6μm〜188μm程度のものが好ましい。
なお、本発明の可撓性基材は、本質的に透明である限り着色されていてもよく、印刷などで模様や文字などが付与されていてもよい。
【0016】
図2は、本発明に係る光学機能性膜を含んだ多層型反射防止膜を形成する反射防止フィルム36の一態様である層構成を示す概略断面図である。
本発明の反射防止フィルム36としては、最外層(基材と接する層の反対側の層)を低屈折率層34とし、この低屈折率層34から基材30の方向へ向かって、低屈折率層34、高屈折率層33、中屈折率層32、ハードコート層31、および基材30を順次積層した構造となっている。
【0017】
而して、図2に示す多層型反射防止膜中の高屈折率層は、屈折率が1.6以上2.4以下(λ=550nm)であり、屈折率、1.8以上2.4以下であることが好ましい。
高屈折率層層の組成としては、SiNxCyOz(xは0.2≦x≦2.0、yは0.5≦y≦1.5、zは0.05≦z≦1.5)で表されるシリカ層、酸化チタン層、又は、酸化シリコン層、ITO(インジウム/スズ酸化物)層、IZO層、IXO層、Nb2O5層、Ta2O5、ZnS層等を用いることができる。
【0018】
上記のシリカ層を高屈折率層として用いることにより、反射防止多層膜中において、当該高屈折率層の上側(基材側と反対の方向)に設けられた低屈折率層と組み合わせにより、夫々の屈折率の違いにより光の反射を効率よく防止することができる。
ここで、高屈折率層として本発明のシリカ層を用いる場合には、反射防止フィルムを形成する際において、当該高屈折率層の屈折率は積層されている他の層との関係で相対的に決定することが好ましく、反射防止多層膜全体としてのバランスにより反射防止効果を奏するものであるが、一般的に、高屈折率層の屈折率はその屈折率が1.8〜2.4(λ=550nm)であることがより好ましい。
【0019】
また、本発明のシリカ層により形成される高屈折率層の厚さは、特に限定されるものではなく、反射防止効果を奏することができればいかなる厚さでもよいが、30nm〜200nmが特に好ましく、50nm〜150nmがより好ましい。層の厚さが30nmより薄いと、反射防止効果をほとんど期待できないため好ましくなく、一方、層の厚さが200nmより厚いと、可視光線透過率が低くなるため好ましくない。
【0020】
また、図2に示す反射防止多層膜中の中屈折率層には、屈折率が1.5以上2.4未満(λ=550nm)であり、屈折率、1.5以上1.8未満が好ましい。
また、中屈折率層の組成がSiNxCyOz(xは0.2≦x≦2.0、yは0.5≦y≦1.5、zは0.05≦z≦1.5)で表されるシリカ層が用いられている。
【0021】
上記のシリカ層を中屈折率層として用いることにより、反射防止多層膜中において、他の薄層(例えば、前記の低屈折率層等)との相乗的な効果をもって反射防止機能を高めることができる。
【0022】
ここで、当該中屈折率層を設ける位置については、本発明は特に限定するものではなく反射防止全体として反射防止機能が向上するような位置であればいかなる位置に設けることも可能であるが、図2に示すように高屈折率層と低屈折率層とは接触している方が効率よく光の反射を防止することができるため、当該中屈折率層は高屈折率層の下に設置することが好ましい。
【0023】
また、本発明のシリカ膜により形成される中屈折率層の厚さは、特に限定されるものではなく、反射防止効果を奏することができればいかなる厚さでもよいが、上記の高屈折率層と同様に、30nm〜200nmが特に好ましく、50nm〜150nmがより好ましい。層の厚さが30nmより薄いと、反射防止効果をほとんど期待できないため好ましくなく、一方、層の厚さが200nmより厚いと、可視光線透過率が低くなるため好ましくない。
【0024】
次に、図2に示す反射防止多層膜の最外層(基材と反対側の表面)に設けられる低屈折率層としては、反射防止フィルムの光学特性(反射防止機能)を向上せしめるために設けられるものであり、当該低屈折率層を最外層に設けることにより効率よく光を透過することができる。
【0025】
本発明において、低屈折率層としては、屈折率が1.3以上1.5未満(λ=550nm)が好ましい。
また、本発明の反射防止フィルムにおいては、上述してきたように、中屈折率層や高屈折率層として、それぞれ屈折率の異なるシリカ層を用いているため、低屈折率層にシリカ層を用いることにより、反射防止多層膜を構成しており、光学特性を奏する薄層をシリカ層のみで形成することが可能となる。
また、シリカ層の代わりに、フッ化マグネシウムや、酸フッ化ケイ素を用いてもよい。
このように反射防止多層膜を形成する薄膜をシリカ層のみで形成することにより、歩留まりを向上することができ、またコスト的にも好ましいだけでなく、それぞれの薄層の密着性も向上することができるため好ましい。
【0026】
また、本発明の低屈折率層の厚さは、特に限定されるものではなく、反射防止効果を奏することができればいかなる厚さでもよいが、上記の高屈折率層や、中屈折率層と同様に、30nm〜200nmが特に好ましく、50nm〜150nmがより好ましい。層の厚さが30nmより薄いと、反射防止効果をほとんど期待できないため好ましくなく、一方、層の厚さが200nmより厚いと、可視光線透過率が低下するため好ましくない。
【0027】
また、図2に示す反射防止フィルムとしては、ハードコート層31も設けることができる。
本発明に用いられるハードコート層31は、本発明の反射防止フィルムに強度を持たせることを目的として形成される層である。従って、反射防止フィルムの用途によっては必須の層ではない。
【0028】
ハードコート層31を形成するための材料としては、同様に可視光域で透明な材料であり反射防止フィルムに強度をもたせることができるものであれば特に限定されるものではなく、その強度としては、JIS K5600−5−4で示す鉛筆硬度試験で「H」以上の硬度を示すことが好ましい。
具体的には、熱硬化型樹脂、及び/又は、電離放射線硬化型樹脂を用いることが好ましく、さらに具体的には、アクリレート系の官能基をもつもの、例えば、比較的低分子量のポリエステル、ポリエーテル、アクリル系樹脂、エポキシ樹脂、ポリウレタン、アルキッド樹脂、スピロアセタール樹脂、ポリブタジエン、ポリチオールポリエン系樹脂、多価アルコール等の多官能化合物の(メタ)アクリレート(以下、アクリレートとメタアクリレートとを(メタ)アクリレートと記載する。)等のオリゴマー又はプレポリマー及び反応性の希釈剤であるエチル(メタ)アクリレート、エチルヘキシル(メタ)アクリレート、スチレン、ビニルトルエン、N−ビニルピロリドン等の単官能モノマー、並びに多官能モノマー、例えばトリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、へキサンジオール(メタ)アクリレート、トリプロピレングリコールジ(メタ)アクリレート、ジエチレングリコールジ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレート、1,6−ヘキサンジオールジ(メタ)アクリレート、ネオペンチルグリコールジ(メタ)アクリレート等を含むものが好適に用いられる。
前記のハードコート層の膜厚としては、通常1〜30μmの範囲のものが好適に用いられる。
その形成方法は、通常のコーティング方法を用いることが可能であり、特に限定されるものではない。
【0029】
また、ハードコート層31を設ける位置であるが、ハードコートを設ける目的は反射防止フィルムに強度を持たせることであり、反射防止機能を向上せしめるためのものではないため、最上層のシリカ層から離れた位置であって、基材のすぐ上に設置することが好ましい。
また、ハードコート層と基材層との層間は、接着剤層を介して積層することが好ましい。
【0030】
本発明の反射防止フィルムとしては、最上層のシリカ層の更に上に防汚層35を設けてもよい。
防汚層は、ディスプレイパネルの前面に配置した反射防止フィルムにごみや汚れが付着するのを防止し、あるいは付着しても除去しやすくするために形成される。具体的には、反射防止機能を低下させない範囲でフッ素系界面活性剤等の界面活性剤、フッ素系樹脂を含む塗料、シリコーンオイル等の剥離剤、もしくはワックス等をごく薄く塗布し、余剰分を拭い除去しておく。防汚層は、恒久的な層として形成してもよいが、必要の都度、塗布して形成してもよい。防汚層35の厚みとしては、1〜30nmが好ましい。
30nmを超えると、光学的な影響が生じ、反射防止フィルムとしての光学特性を低下せしめるため、好ましくない。
【0031】
図3は、本発明に係る光学機能性膜を含んだ多層型反射防止膜を形成する反射防止フィルムの別態様である層構成を示す概略断面図である。
本発明の反射防止フィルム36としては、最外層(基材と接する層の反対側の層)を低屈折率層34とし、この低屈折率層34から基材30の方向へ向かって、低屈折率層34、高屈折率層33、低屈折率層34、高屈折率層33、ハードコート層31、及び、基材30とを順次積層した構造となっている。
【0032】
図3に示す多層型反射防止膜中の高屈折率層は、屈折率、1.8以上2.4以下(λ=550nm)が好ましく、屈折率、1.9以上2.3以下(λ=550nm)がより好ましい。
前記の高屈折率層の組成がSiNxCyOz(xは0.2≦x≦2.0、yは0.5≦y≦1.5、zは0.05≦z≦1.5)で表されるシリカ層を用いることができる。
また、低屈折率層としては、屈折率が1.3以上1.5未満(λ=550nm)であって、層の組成がSiOxで表されるシリカ層を用いることができる。
また、本発明のシリカ膜により形成される各層の厚さは、特に限定されるものではなく、反射防止効果を奏することができればいかなる厚さでもよいが、上記の高屈折率層や、中屈折率層と同様に、30nm〜200nmが特に好ましく、50nm〜150nmがより好ましい。層の厚さが30nmより薄いと、反射防止効果をほとんど期待できないため好ましくなく、一方、層の厚さが200nmより厚いと、可視光線透過率が低下するため好ましくない。
【0033】
本発明に係る単層の光学機能性膜、又は、光学機能性多層膜を構成する高屈折率層、中屈折率層、及び、低屈折率層を可撓性基材の上に形成する方法としては、例えば、前記の材料をプラズマ化学蒸着(CVD)法、熱CVD法、真空蒸着法、スパッタリング法、ゾルゲル法等のウェットコーティング法、イオンプレーティング法等の薄膜形成法で形成あるいは積層することができる。
中でも、プラズマCVD法を用いることにより、シリカ層を形成する際の膜厚、屈折率等の条件を比較的容易に管理することができ、また、本発明のシリカ層は有機ケイ素化合物により層を構成することを特徴としており、このように有機物を含有する原料を形成する際には、原料をガス状にして用いるプラズマCVD法、スパッタ法が安定した薄膜を形成することができ、また、複数の薄層を同時に形成することができるため、生産性の向上を図ることができるという利点を有するため好ましいものである。
【0034】
図6は、プラズマCVD法による本発明に係る可撓性基材上に光学機能性膜を形成する反射防止フィルムの製造方法を説明するための概略図である。
図6に示すように、プラズマCVD装置を用いて可撓性基材上に光学機能性膜を形成したフィルムの製造方法としては、まず、ウエッブ状の高分子フィルム(可撓性基材)1が基材巻き出し部2より巻きだされて、真空容器3中のプラズマCVDの反応室4に導入される。
この反応容器3の全体は、真空ポンプ5により排気される。また、同時に反応室4には、原料ガス導入口6より規定流量の有機チタン化合物ガスと酸素ガスが供給され、反応室4の内部は、常に一定圧力のこれらのガスで満たされている。
【0035】
次に、基材巻き出し部2より巻き出され、反応室4に導入された高分子フィルム1は、反転ロール7を経て、成膜用ドラム8に巻き付き、成膜用ドラム8の回転と同期しながら反転ロール7’の方向に送られていく。
次に、電極9と成膜用ドラム8との間には、電源10によりRF電圧が印加される。
このとき、電源の周波数は、ラジオ波に限らず、直流からマイクロ波まで適当な周波数を使用することも可能である。
そして、電極9と成膜用ドラム8の間にRF電圧を印加することにより、この両電極の周辺にプラズマ11が発生する。
そして、このプラズマ11中で有機ケイ素化合物ガスと窒素ガスが反応し、SiNxCyOzで示される組成式の化合物を生成して成膜用ドラム8に巻き付いた高分子フィルム1上に堆積して、SiNxCyOzで示されるシリカ膜12が形成される。
その後、SiNxCyOzで示されるシリカ膜12が表面に形成された高分子フィルム1は、反転ロール7’を経て、基材巻き取り部2’で巻き取られる。
本発明のプラズマCVD法においては、温度、材料ガス流量・圧力、放電条件、高分子フィルム1の送りスピートのコントロールにより、形成されるSiNxCyOzで示されるシリカ膜12の屈折率、膜厚等を広範囲でコントロールしうるため、材料を変更することなく、所望の光学特性の膜を得ることができる。
【0036】
本発明においてシリカ膜を形成するための出発原料としては、Si−R結合(Rはアルキル基、アリル基、ビニル基、フェニル基、ケトン基、シアノ基、又は、これらの基を含有する有機基を示す。)で表される結合を含む有機ケイ素化合物を使用することができる。
また、上記の結合に加えて、Si−O結合(Siはケイ素原子、Oは酸素原子を示す。)、又は、Si−N結合(Siはケイ素原子、Nは窒素原子を示す。)で表される結合を含む有機ケイ素化合物を出発原料とすることもできる。
本発明においてシリカ膜を形成するための出発原料としては、具体的に、シラン、ジシラン、テトラメチルシラン(TMS)、ヘキサメチルジシロキサン(HMDSO)、テトラメチルジシロキサン(TMDSO)、メチルトリメトキシシラン(MTMOS)、テトラエチルオルトシリケート(TEOS)、ヘキサメチルジシラン(HMDS)、テトラメチルシクロテトラシロキサン(TOMCATS)、メチルシラン、ジメチルシラン、トリメチルシラン、ジエチルシラン、プロピルシラン、フェニルシラン、テトラメトキシシラン、オクタメチルシクロテトラシロキサン(OMCTS)、テトラエトキシシランヘキサメチルジシラザン(HMDSN)、ヘキサメチルジシロキサン(HMDSO)、アリルジメチル(ジイソプロピルアミノ)シラン、アリルアミノトリメチルシラン、ケイ弗化アンモニウム、アニリノトリメチルシラン、1,3−ビス(クロロメチル)テトラメチルジシラザン、ビス(ジメチルアミノ)ジメチルシラン、ビス(ジエチルアミノ)ジエチルシラン、ビス(ジメチルアミノ)ジメチルシラン、ビス(ジメチルアミノジメチルシリル)エタン、ビス(ジメチルアミノ)ジフェニルシラン、ビス(ジメチルアミノ)メチルシラン、ビス(ジメチルアミノ)ビニルエチルシラン、ビス(ジメチルアミノ)ビニルメチルシラン、ビス(エチルアミノ)ジメチルシラン、ビス(エチルメチルケトキシム)メチルイソプロポキシシラン、ビス(メチルジエトキシシリルプロピル)アミン、N,O−ビス(トリメチルシリル)アセトアミド、N−6,9−ビス(トリメチルシリル)アデニン、N,N’−ビス(トリメチルシリル)−1,4−ブタンジアミン、ビス(トリメチルシリル)カルボジイミド、ビス(トリメチルシリル)シトシン、N,O−ビス(トリメチルシリル)ヒドロキシルアミン、3−シアノプロピル(ジイソプロピル)ジメチルアミノシラン、ジ−n−ブチルテトラメチルジシラザン、(ジエチルアミノ)トリメチルシラン、(ジイソプロピルアミノ)トリメチルシラン、(N,N’‐ジメチル)トリメチルシラン、1,3‐ジビニルテトラメチルジシラザン、ヘプタメチルジシラザン、1,1,3,3,5,5‐ヘキサメチルシクロトリシラザン、1,2,3,4,5,6‐ヘキサメチルシクロトリシラザン、ヘキサメチルジシラザン、ノナメチルトリシラザン、オクタメチルシクロテトラシラザン、n−オクチルジイソプロピル(ジメチルアミノ)シラン、フェネチルジメチル(ジメチルアミノ)シラン、フェニルビス(ジメチルアミノ)シラン、フェニルメチルビス(ジメチルアミノ)シラン、1,3,5,7−テトラエチル−2,4,6,8−テトラメチルシクロテトラシラザン、テトラキス(ジエチルアミノ)シラン、テトラキス(ジメチルアミノ)シラン、1,1,3,3−テトラメチルジシラザン、2,2,5,5−テトラメチル−2,5−ジラ−1−アザシクロペンタン、1,1,3,3−テトラフェニルジメチルジシラザン、1,3,5,7−テトラビニル−1,3,5,7−テトラメチルシクロテトラシラザン、1,2,3−トリエチル−2,4,6−トリメチルシクロトリシラザン、トリ−n−ヘキシルシリルアミン、N−(トリメチルシリル)アセトアミド、トリメチルシリルアジド、N−(トリメチルシリル)イミダゾール、トリフェニルアミノシラン、1−トリメチルシリル−1,2,4−トリアゾール等のSi系化合物を用いることができる。
また、本発明に係るシリカ膜を形成するに際し、組成比を容易に制御するために、窒素ガス、酸素ガス、N2Oガス、NO2ガス、N2O4ガス、NOガスなどを加えても良い。
また、プラズマ放電を安定化させたり、膜密度を制御するために不活性ガス((例えばアルゴンガス、ヘリウムガスなど)を加えてもよい。
更にSi−C結合切断のために還元性ガス(例えば水素ガス)を導入してもよい。
【0037】
図7は、プラズマCVD法による本発明に係る可撓性基材上に光学機能性膜を形成する反射防止フィルムの製造方法を説明するための別態様の概略図である。
光学機能性膜の作製には、図7に示すようなプラズマCVD装置を用いることも可能である。
当該プラズマCVD装置は容量結合型のプラズマCVD装置であり、その基本的構造及び原理は図6の装置と同様である。
従って、当該装置においてもウエッブ状の高分子フィルム21は基材巻き出し部22より巻きだされて、真空容器23中の反応室(a,b,c)に導入される。そして、当該反応室内の成膜用ドラム24上で所定の膜が形成され、基材巻き取り部26により巻き取られる。
【0038】
図7に示す装置と図6に示す装置との差は、図6に示す装置においては、フィルム上に光学機能性膜を形成するための反応室は一つしか設置されていないが、図7に示すプラズマCVD装置は、複数(3つ)の反応室を有している点にある。夫々の反応室(a,b,c)は隔離壁25で隔離されることで形成されている。ここで、以下の説明の便宜上、当該3つの反応室を右側から反応室a、反応室b、反応室cとする。そして、各反応室には、夫々電極版a1、b1、c1及び原料ガス導入口a2、b2、c2が設置されている。
【0039】
各反応室(a,b,c)は、成膜用ドラム24の外周に沿って設置されている。これは、積層膜が形成されるプラスティックフィルムは、図6に示す例で説明したように成膜用ドラム24と同期しながら反応室内に挿入され、かつ成膜用ドラム上において多層膜を形成するものであることから、このように配置することにより連続して各膜を積層することができるからである。
なお、図7に示す装置では反応室の数を3室としたが、本発明の反射防止フィルムの製造方法に用いるプラズマCVD装置としてはこれに限定されるものではなく、必要に応じて変更することができる。
【0040】
上述したようなプラズマCVD装置によれば、各反応室へ導入する原料ガスを変化させることにより、夫々の反応室内で独立して膜を形成することが可能であることから、例えば、酸化チタン膜とシリカ膜との多層膜をプラスティックフィルム上に形成する場合は、反応室aに有機チタン化合物を含むガスを導入し、反応室bと反応室cにはケイ素を含むガスを導入することにより、プラスティックフィルム21が成膜用ドラム25を経て基材巻き取り部26へ巻き取られるまでに当該プラスティックフィルム21上に酸化チタン膜とシリカ膜とが形成された反射防止フィルムを形成することができる。
【0041】
さらに、上記の場合において反応室bと反応室cとに導入されたガスは、ケイ素を含むガスであるが、各々の反応室内の条件、例えばガスの流量や圧力、放電条件等を変化させることにより、反応室bと反応室cとで形成されるシリカ膜の特性を変化させることも可能である。当該装置により酸化チタン膜、シリカ膜、またこれらの膜の厚さや屈折率等を自在に組み合わせることが可能となる。
【0042】
また、必ずしも夫々の反応室に異なる原料ガスを導入する必要もなく、例えば図7に示す反応室a,b,c全てに有機チタン化合物を含むガスを導入することで酸化チタン膜を形成し、その後に一旦反応室a,b,cに導入されたガスを全て抜き、改めてケイ素を含むガスを反応室a,b,cに導入して上記酸化チタン膜の上にシリカ膜を形成することも可能である。
【0043】
本発明においては、上述した図6に示すような装置で複数回プラスティックフィルムを処理することにより、プラスティックフィルム上に酸化チタン膜とシリカ膜とが形成された積層フィルムを形成するようにしてもよいし、上述したように図7に示す装置を用いて一回でプラスティックフィルムを処理することにより、プラスティックフィルム上に酸化チタン膜とシリカ膜とが形成された反射防止フィルムを形成するようにしてもよい。また、図7に示す装置を用いて複数回プラスティックフィルムを処理することにより、酸化チタン膜とシリカ膜とが交互に複数層積層された積層フィルムを得ることも可能である。
【0044】
図4は、表示面側の可撓性基板の外面に貼り付けた偏光板の断面を模式的に示したものである。
本発明に係る偏光板40は、図4に示すように、最外層(基材と接する層の反対側の層)を図2、図3の反射防止フィルム層とし、この反射防止フィルム層から基材の方向へ向かって、反射防止フィルム層、例えば、図2の層構成の場合、防汚層35/低屈折率層34/高屈折率層33/中屈折率層32/ハードコート層31/基材層30からなる層構成の反射防止フィルム層36と、偏光素子38と、基材層としてトリアセチルセルロースフィルム37(以下「TACフィルム」という。)とを接着剤を介して順次ラミネートして積層し、層構成、反射防止フィルム層36/偏光素子38/TACフィルム層37となっている。
また、本発明の反射防止フィルムが使用された偏光板の別の例には、偏光素子の両面に本発明の反射防止フィルムがラミネートされたものでもよい。
本発明の反射防止フィルムの下面には、粘着剤が塗布されていてもよく、この場合、反射防止フィルムは反射防止すべき対象物、例えば、偏光素子に貼着して用いることができる。
【0045】
本発明に係る偏光板40としては、偏光素子38に本発明の反射防止フィルム36をラミネートすることによって、反射防止性の改善された偏光板とすることができる。
偏光素子38としては、よう素または染料により染色し、延伸してなるポリビニルアルコールフィルム、ポリビニルホルマーフィルム、ポリビニルアセタールフィルム、エチレン−酢酸ビニル共重合体系ケン化フィルム等を用いることができる。
このラミネート処理にあたって接着性を増すため及び静電防止のために、前記の反射防止フィルムの透明基材フィルムが、例えば、TACフィルムである場合には、TACフィルムにケン化処理を行なう。このケン化処理は、TACフィルムにハードコート層を施す前後のどちらでもよい。
【0046】
図5は、本発明に係る光学機能性膜を含んだ多層型反射防止膜により表示面を被覆した液晶表示装置の一例を示す概略断面図である。
本発明に係る液晶表示装置としては、図5に示すように、液晶表示素子上に、図4に示した偏光板、即ち、反射防止フィルム層36/偏光素子38/TACフィルム層37からなる層構成の偏光板がラミネートされており、また液晶表示素子の他方の面には、TACフィルム37/偏光素子38/TACフィルム37からなる層構成の偏光板がラミネートされている。又、バックライトは、図5の下側から照射される。
本発明の反射防止フィルムは通常バックライトの出射側に配置されるが、最下面のTACフィルムの代わりに本発明の反射防止フィルムを更に用いてもよい。
尚、STN型の液晶表示装置には、液晶表示素子と偏光板との間に、位相差板が挿入される。また、この液晶表示装置の各層間には必要に応じて接着剤層が設けられる。
【0047】
而して、本発明に係る反射防止フィルムや、偏光板を使用して上記の液晶表示装置以外に、図示しないが、有機EL(エレクトロルミネッセンス)表示装置、無機EL表示装置、プラズマディスプレイ等に使用することができ、また、フレキシブルな各種ディスプレイの表面の材料として使用しても、膜割れや、剥離を生じず、光学特性(反射防止機能)を維持でき、好ましいフレキシビリティを有し、生産性にも優れているものである。
【0048】
【実施例】
次に、実施例を挙げて本発明を具体的に説明する。
(実施例1)
図6の装置を使用して、可撓性基材のプラスティックフィルムである厚さ75μmのポリエチレンテレフタレート(PET)フィルム上にSiNxCyOz(xは0.2≦x≦2.0、yは0.5≦y≦1.5、zは0.05≦z≦1.5)で表されるシリカ膜を形成した。
有機シリカ化合物ガスとしては、液体気化器を用いて150℃で気化させたテトラメチルシランSi(CH3)4を用い、アルゴンガス、窒素ガスと混合して原料ガス導入口より反応室内に導入した。
有機シリカ化合物ガス、アルゴンガス、窒素ガスの各々の流量は下記に示す。
今回使用した図6のプラズマCVD装置は容量結合型で、高周波電源として13.56MHzのRF電源を用いた。また、連続成膜時の可撓性基材のプラスティックフィルムの送り速度は、10m/minである。その他の条件は、以下に記す。
【0049】<成膜条件>
印加電力 1kW
窒素ガス流量 200sccm
酸素ガス流量 10sccm
テトラメチルシランガス流量 150sccm
成膜圧力 10Pa
【0050】
上記のガス流量単位sccmは、standard cubic cm per minuteのことである。
【0051】
上記の条件でポリエチレンテレフタレートフィルム上に形成したSiNxCyOz(xは0.2≦x≦2.0、yは0.5≦y≦1.5、zは0.05≦z≦1.5)で表されるシリカ膜の測定結果を以下に示す。
【0052】(本発明に係るシリカ膜の測定結果)
膜厚 100nm
膜組成(Atomic% ) Si:N:C:O=32.9:47.4:16.5:3.2
屈折率(λ=550nm) 1.71
膜厚平均高低差 8nm
【0053】<シリカ膜測定に使用した装置>
膜厚測定 エリプソメーター
型番 UVISELTM メーカー JOBIN YVON
分光反射測定 分光光度計
型番 UV−3100PC メーカー 島津製作所
膜厚測定 走査型プローブ顕微鏡
型番 NPX100 メーカー セイコーインスツルメンツ
組成分析 光電子分光分析装置
型番 ESCALAB220i−XL メーカー VG Scient
曲げ試験 マンドレル法曲げ試験機
型番 REF802 メーカー SEPRO
【0054】
以上に示したSiNxCyOz(xは1.4、yは0.5、zは0.1)で表されるシリカ膜の形成結果のように、屈折率1.71の均質なシリカ膜が、ポリエチレンテレフタレートフィルム上に形成できた。
また、上記で形成されたシリカ膜をJIS K 5600−5−1(タイプ1の試験装置)に基いて、試料を形成されたシリカ膜を外側になるように試料台に挟み、円筒形マンドレル法の曲げ試験を行い(マンドレルの直径、8mm、折り曲げ時間、2秒)、目視で形成膜の表面を観察した結果、シリカ膜に膜割れ、又は、剥離も認められず、均一で良好な膜質で、分光特性に差が認められず、曲げ試験前後におけるL* a* b* 表色系における色差(△E*)が0.08であり、これは色差(△E*)が0.5以下となり、光学特性が維持されている。
また、曲げ試験後の光透過性膜の最大高低差が11nmとなり、曲げ試験前後における光透過性膜の最大高低差の変化率は10%となり、これは30%以下であるので、良好な可撓性を有するものであった。
【0055】(実施例2)
図7の装置を使用して、可撓性基材のプラスティックフィルムである厚さ80μmのトリアセチルセルロース(TAC)フィルム上にハードコート(紫外線硬化型樹脂、大日精化工業株式会社製 品名「PET−D31」)6μm及び中層屈折率層90nmを順次コーティングしたものを用いた。
また、図7に示す反応室aでは中屈折率層を、反応室bでは高屈折率層を、cでは低屈折率層を形成するようにした。
高周波電源として13.56MHzのRF電源を用い、連続成膜時の基材である高分子フィルムの送り速度は、10m/minとした。その他の条件は、以下に示す通りである。
【0056】<中屈折率層成膜条件(反応室a)>
印加電力 1kW
アルゴンガス流量 100sccm
窒素ガス流量 500sccm
酸素ガス流量 10sccm
テトラメチルシランガス流量 150sccm
成膜圧力 10Pa
【0057】<高屈折率層成膜条件(反応室b)>
印加電力 1kW
水素ガス流量 100sccm
酸素ガス流量 100sccm
チタンテトライソプロポキシドガス流量 150sccm
成膜圧力 10Pa
【0058】<低層屈折率層成膜条件(反応室c)>
印加電力 1kW
酸素ガス流量 100sccm
テトラメトキシシランガス流量 100sccm
成膜圧力 10Pa
【0059】
上記のガス流量単位sccmは、standard cubic cm per minuteのことである。
【0060】
上記の条件でTACフィルム上に形成した低屈折率層/高屈折率層/中屈折率の層構成からなる図8の分光反射特性図に示すような反射防止機能を有するシリカ膜の測定結果を以下に示す。
なお、実施例2のシリカ膜の測定に使用した装置も、実施例1と同様であった。
【0061】(本発明に係る多層シリカ膜の測定結果)
中屈折率層の膜組成(Atomic% )Si:N:C:O=32.2:46.8:17.3:3.7
中屈折率層の組成式SiNxCyOz(x=1.45、y=0.5、z=0.1)
高屈折率層の膜組成(Atomic% )Ti:C:O=33.4:40.1:26.5
低屈折率層の膜組成(Atomic% )Si:C:O=38.3:8.9:52.8
膜厚平均高低差 15nm
膜質 図8
【0062】
上記で形成されたシリカ膜をJIS K 5600−5−1に基いて、試料を形成されたシリカ膜を外側になるように試料台に挟み、円筒形マンドレル法の曲げ試験を行った結果(マンドレルの直径、8mm、折り曲げ時間、2秒)、シリカ膜に膜割れ、又は、剥離も認められず、均一で良好な膜質で、曲げ試験前後の分光反射特性図において、分光特性に差が認められず、曲げ試験前後でのL* a* b* 表色系における色差(△E*)が0.1となり、これは色差(△E*)が0.5以下であり、光学特性が維持されており、また曲げ試験後の光透過性膜の最大高低差が17mmとなり、曲げ試験前後における最大高低差の変化率が13%となったが、これは30%以下であるので、良好な可撓性を有し、反射防止フィルムの特性に優れるものであった。また、該反射防止膜は視感反射率は0.5%となった。
また、得られた反射防止フィルムをディスプレイの表面に実際にラミネートした結果、写り込みのないもので、反射防止性に優れるものであった。
【0063】(比較例1)
シリカ膜の膜厚を100nm形成することと、窒素ガスを流さないこと以外は実施例1と同様の条件で、シリカ膜の形成を行った。また、シリカ膜の測定に使用した装置も、実施例1と同様であった。結果を以下に記す。
【0064】<成膜条件>
印加電力 1kW
窒素ガス流量 800sccm
テトラメチルシランガス流量 150sccm
成膜圧力 10Pa
【0065】(本発明に係るシリカ膜の測定結果)
膜厚 100nm
膜組成(Atomic% ) Si:N:C=22.5:48.7:28.8
屈折率(λ=550nm) 1.67
膜厚平均高低差 12nm
【0066】
以上に示したSiNxCyOz(xは2.2、yは1.28、zは0)で表されるシリカ膜の形成結果のように、屈折率1.67のシリカ膜が、ポリエチレンテレフタレートフィルム上に形成できた。
また、上記で形成されたシリカ膜をJIS K 5600−5−1に基いて、試料を形成されたシリカ膜を外側になるように試料台に挟み、円筒形マンドレル法の曲げ試験を行った結果(マンドレルの直径、8mm、折り曲げ時間、2秒)、目視にて形成膜の表面を観察したところ、シリカ膜に膜割れや、基材からの剥離が発生し、曲げ試験前後のL* a* b* 表色系における色差(△E*)が0.64となり、これは色差(△E*)が0.5を超えたため光学特性が維持されず、曲げ試験後の光透過性膜の最大高低差が35nmとなり、曲げ試験前後における最大高低差の変化率が191%となり、これは30%を超え、可撓性に劣るものであり、反射防止フィルムとしても劣るものであった。
【0067】(比較例2)
中屈折率層の製膜条件以外は実施例2と同様の条件で、図9の分光反射特性図に示すような反射防止機能を有するシリカ膜の形成を行った。また、シリカ膜の測定に使用した装置も、実施例2と同様であった。結果を以下に記す。
【0068】(本発明に係るシリカ膜の測定結果)
中屈折率層の膜組成(Atomic% )Si:N:C=25.1:53.6:21.3
中屈折率層の組成式 SiNxCyOz(xは2.1、yは0.8、zは0)
高屈折率層の膜組成(Atomic% )Ti:C:O=32:42.2:25.8
低屈折率層の膜組成(Atomic% )Si:C:O=40.1:7.5:52
膜厚平均高低差 18nm
膜質 図9
【0069】
上記で形成されたシリカ膜をJIS K 5600−5−1に基いて、試料を形成されたシリカ膜を外側になるように試料台に挟み、円筒形マンドレル法の曲げ試験を行った結果(マンドレルの直径、8mm、折り曲げ時間、2秒)、目視にて形成膜の表面を観察したところ、目視でシリカ膜に膜割れや、基材からの剥離は認められないものの、曲げ試験前後のL* a* b* 表色系における色差(△E*)が0.77となり、これは色差(△E*)が0.5を超え、光学特性が維持されず、また、曲げ試験後の光透過性膜の最大高低差が47nmとなり、曲げ試験前後における最大高低差の変化率が161%となり、これは30%を超え、可撓性に劣るものであり、反射防止フィルムとしても劣るものであった。また、視感反射率は0.4%となった。
【0070】
【発明の効果】
以上の説明で明らかなように、本発明は、可撓性基材の上に光透過性膜を直接、又は、他の層を介して少なくとも一層形成し、JIS K 5600−5−1に基いて、円筒形マンドレル法の曲げ試験を行った場合、前記の光透過性膜に膜割れ、又は、剥離も認められず、かつ、光学機能性を維持し、かつ、光透過性膜の最大高低差の変化率が30%以下である可撓性を有することを特徴とする光学機能性膜、それを使用した反射防止フィルム、偏光板および表示装置を製造したところ、応力がかかる状態でも光学特性(反射防止機能)を維持できるため、通常使用されている液晶表示装置、有機EL表示装置、無機EL表示装置等の各種表示装置、偏光板の表面だけでなく、フレキシブルな各種表示装置についても利用するのに優れるものである。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係る光学機能性膜を可撓性基材の上に形成する光学機能性フィルムの一態様である層構成を示す概略断面図である。
【図2】本発明に係る光学機能性膜を含んだ多層型反射防止膜を形成する反射防止フィルムの一態様である層構成を示す概略断面図である。
【図3】本発明に係る光学機能性膜を含んだ多層型反射防止膜を形成する反射防止フィルムの一態様である層構成を示す概略断面図である。
【図4】表示面側の可撓性基板の外面に貼り付けた偏光板の断面を模式的に示したものである。
【図5】本発明に係る光学機能性膜を含んだ多層型反射防止膜により表示面を被覆した液晶表示装置の一例を示す概略断面図である。
【図6】プラズマCVD法による本発明に係る可撓性基材上に光学機能性膜を形成する反射防止フィルムの製造方法を説明するための概略図である。
【図7】プラズマCVD法による本発明に係る可撓性基材上に光学機能性膜を形成する反射防止フィルムの製造方法を説明するための概略図である。
【図8】実施例2に係る多層シリカ膜の分光反射特性図である。
【図9】比較例2に係る多層シリカ膜の分光反射特性図である。
【符号の説明】
1、21、30 プラスティックフィルム
2、22 基材巻きだし部
2’、26 基材巻き取り部
3、23 真空容器
4、a、b、c 反応室
5、27 真空ポンプ
6、a2、b2、c2 原料ガス導入口
7、7’ 反転ロール
8、24 成膜用ドラム
9、a1、b1、c1 電極
10 電源
11 プラズマ
12 光学機能性膜
25 隔離壁
31 ハードコート層
32 中屈折率層
33 高屈折率層
34 低屈折率層
35 防汚層
36 反射防止フィルム
37 TAC基材フィルム
38 偏光素子
39 液晶表示素子
40 偏光板
41 バックライトユニット[0001]
TECHNICAL FIELD OF THE INVENTION
The present invention relates to an optical functional film, an antireflection film, a polarizing plate, and a display device. More specifically, various displays such as a word processor, a computer, and a television, a surface of a polarizing plate used for a liquid crystal display device, and transparent plastic sunglasses. Used for lenses, prescription eyeglass lenses, optical lenses such as viewfinder lenses for cameras, covers for various instruments, windows for automobiles, trains, etc. The present invention relates to an optically functional film and an antireflection film which are excellent in flexibility and optical functionality.
[0002]
[Prior art]
BACKGROUND ART Conventionally, transparent substrates such as glass and plastic have been used for displays such as curve mirrors, rearview mirrors, goggles, window glasses, televisions, personal computers and word processors, and various other commercial displays.
The transparent base material is provided with an anti-reflection function in order to read characters, figures, and other information through the base material and to prevent light from being reflected on the surface of the base material. .
In order to impart an antireflection function to a transparent substrate, for example, an optical functional film made of an inorganic compound such as silicon oxide (hereinafter sometimes referred to as “silica”) or zirconium oxide is applied to the transparent substrate. It is known to form.
For example, as a technique for providing an anti-reflection film for a plastic optical component, a three-layer deposition film of a first layer, a second layer, and a third layer is formed in order from the surface side to the air side to form the anti-reflection film. The plastic optical component according to
Further, as a technique for providing a silica layer composed of an organosilicon compound and an antireflection film using the silica layer, it is 1.40 to 1.46 (λ = 550 nm), and the composition of the layer is SiOxCy: H (x = 1.6-1.9, y = 0.2-1.0), and an antireflection film in which the silica layer is the outermost layer of the antireflection laminate is proposed. (For example, see Patent Document 2).
[0003]
[Patent Document 1]
Japanese Patent Publication No. 6-87081
[Patent Document 2]
JP-A-2002-103507
[0004]
On the other hand, the demand for thin, inexpensive, and portable IT devices has been increasing, and for example, new displays such as bendable flexible displays have been proposed.
[0005]
[Problems to be solved by the invention]
However, the conventional anti-reflection film cannot follow the flexible base material even when formed and used on the flexible base material of the flexible display, and as a result, the film cracks and peels off. There is a drawback that the occurrence thereof causes a significant decrease in optical functionality such as antireflection.
[0006]
[Means for Solving the Problems]
Therefore, the present inventors have conducted intensive studies in order to solve the above-mentioned problems, and as a result, the present invention has disclosed a light-transmitting film directly on a flexible substrate or at least one layer through another layer. When formed and subjected to a bending test using a cylindrical mandrel method based on JIS K 5600-5-1, no cracking or peeling of the light-transmitting film is observed, and the optical functionality is improved. The optical functional film is characterized in that the optical functional film is maintained and has a flexibility in which the rate of change of the maximum height difference of the light-transmitting film is 30% or less. When an optically functional film such as an anti-reflection film is formed on the substrate, the optically functional film can be maintained even if it is strongly bent. Therefore, a liquid crystal display device, an organic electroluminescence (hereinafter, also referred to as “EL”) which is generally used. )) Display device, inorganic EL display device, PDP Even if it is used not only on the surface of various display devices such as a plasma display) and a polarizing plate, but also on the surface of a flexible various display device, it can flexibly follow and maintain optical functionality such as anti-reflection. It is.
Further, according to the present invention, in the optical transmission film before and after the bending test, the color difference (ΔE *) in the L * a * b * color system is 0.5 or less. A functional membrane can be provided.
The optical functional film has a refractive index of 1.5 to 2.4 (wavelength λ = 550 nm), a film thickness of 30 to 200 nm, and SiNxCyOz (x is 0.2 ≦ x ≦ 2.0). , Y is a silica film represented by a composition formula of 0.5 ≦ y ≦ 1.5 and z is 0.05 ≦ z ≦ 1.5). it can.
Further, the optical functional film is represented by a Si-R bond (R represents an alkyl group, an allyl group, a vinyl group, a phenyl group, a ketone group, a cyano group, or an organic group containing these groups). An optically functional film characterized by using an organosilicon compound containing a bond as a starting material can be provided.
Further, the above-mentioned optical functional film has a Si—O bond (Si represents a silicon atom and O represents an oxygen atom) or a Si—N bond (Si represents a silicon atom and N represents a nitrogen atom). An optical functional film characterized by using an organosilicon compound containing a bond represented as a starting material can be provided.
Further, it is possible to provide an antireflection film characterized in that the optical functional film is formed on a flexible base material directly or via another layer.
In addition, on the flexible base film, directly or through another layer, having a light transmittance, and a middle refractive index layer having a different refractive index from each other, a high refractive index layer, and, An antireflection film in which a low refractive index layer and a low refractive index layer are sequentially laminated, wherein the middle refractive index layer has a refractive index of 1.5 or more and 1.8 or less (wavelength λ = 550 nm), a film thickness of 30 nm or more and 200 nm or less, The high refractive index layer has a refractive index of 1.8 to 2.4 (wavelength λ = 550 nm), a film thickness of 30 to 200 nm, and a low refractive index layer has a refractive index of 1.3 to 1.5. (Wavelength λ = 550 nm), a film thickness of 30 nm or more and 200 nm or less, and wherein the middle refractive index layer or the high refractive index layer is the above-mentioned optical functional film. can do.
Further, on the flexible base film, directly or through another layer, a layer having light transmittance and having different refractive indices, a high refractive index layer and a low refractive index layer Or laminated in the order of a high refractive index layer, a low refractive index layer, a high refractive index layer and a low refractive index layer, the high refractive index layer, the refractive index of the optical functional film 1.8 to 2.4 (wavelength λ = 550 nm), and the low refractive index layer has a refractive index of 1.3 to 1.5 (wavelength λ = 550 nm), a film thickness, and 30 nm to 200 nm. It is possible to provide an antireflection film characterized by being a silicon oxide film.
In addition, it is possible to provide an antireflection film, wherein the other layer is a hard coat layer.
Further, it is possible to provide an antireflection film characterized in that an antifouling layer is laminated on the uppermost layer.
Further, it is possible to provide a polarizing plate, wherein the antireflection film is laminated on a polarizing element.
In addition, the antireflection film, or the polarizing plate is laminated or arranged on the viewing side of the display unit, or a liquid crystal display device, an electroluminescence display device, A display device can be provided.
[0007]
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION
The present invention will be described in more detail below.
First, an antireflection film for forming the optical functional film according to the present invention on a flexible substrate, and a polarizing plate using the same, and a few examples of the configuration of a display device will be described with reference to the drawings. To explain, FIG. 1 is a schematic cross-sectional view showing a layer configuration which is an embodiment of an optical functional film in which an optical functional film according to the present invention is formed on a flexible base material. FIG. 4 is a schematic cross-sectional view showing a layer configuration which is an embodiment of an antireflection film for forming a multilayer antireflection film including the optical functional film according to the present invention, and FIG. FIG. 5 schematically shows a cross section of a polarizing plate attached to an outer surface of a substrate. FIG. 5 shows a liquid crystal display device in which a display surface is covered with a multilayer antireflection film including an optical functional film according to the present invention. FIG. 6 and FIG. 7 are schematic sectional views showing an example of the present invention. Method of manufacturing the anti-reflection film for forming an optical functional film on a flexible substrate according to a schematic view for explaining the.
[0008]
As shown in FIGS. 1 to 3, the optical
After the optical
In the light-transmitting films before and after the bending test, the color difference (ΔE *) in the L * a * b * color system needs to be 0.5 or less.
The color coordinates and brightness of the L * a * b * color system are based on the XYZ color system defined in JIS Z8701 or X. 10 Y 10 Z 10 Tristimulus value X, Y, Z, or X in color system 10 , Y 10 , Z 10 Can be used to determine L *, a *, and b * according to JIS Z8729. The color is measured by a spectrophotometer based on JIS Z8722.
The color difference (ΔE *) of the optical functional film before and after the bending test according to the present invention can be quantitatively displayed by a spectrophotometer, and the following formula is obtained from L *, a *, and b * of the sample. To calculate ΔE *.
ΔE * ab = [(ΔL *) 2 + (Δa *) 2 + (Δb *) 2 ] 1/2 However
(ΔL *) i, j = (L *) i− (L *) j
(Δa *) i, j = (a *) i- (a *) j
(Δb *) i, j = (b *) i− (b *) j
i = after bending test
j = Before bending test
Further, the optical functional film according to the present invention was subjected to spectral reflection measurement using a spectrophotometer (model number UV-3100PC manufactured by Shimadzu Corporation).
That ΔE * is 0.5 or less means that the change in the spectral characteristics is small, and the optically functional film can be formed by applying stress or bending to the flexible base material forming the optically functional film. It means that there is no change in the optical characteristics of the flexible polarizing plate, the liquid crystal display device, even if it is used for an electroluminescent display device, the smaller the better, because the optical functions such as anti-reflection are stable. Things.
On the other hand, when the color difference ΔE * value exceeds 0.5, a change in spectral characteristics is large when a stress is applied to the flexible base material. Is undesirably changed.
Furthermore, in a portion where a stress is applied to the flexible base material on which the optical functional film is formed, the rate of change of the maximum height difference of the light-transmitting film before and after the stress can be 30% or less.
The rate of change of the maximum height difference of the light-transmitting film was measured by applying a stress between two points of a maximum height convex portion and a minimum height concave portion on the surface of the film surface using a scanning probe microscope. The maximum height change rate of the film surface before and after the bending test was determined from the following equation, using the values obtained by measuring 10 points at different portions and calculating the average value of the height differences.
E = {([Delta] a- [Delta] b) / [Delta] b} * 100 E: maximum height difference change rate (%)
Δa: height difference (nm) between two points on the film surface after bending test
Δb: height difference between two points on the film surface before bending test (nm)
In the present invention, by forming the above-mentioned flexible optical functional film on a flexible base material, even if the flexible base material forming the optical functional film is strongly bent, it is reflected. This has the advantage that optical functionality such as prevention can be maintained.
On the other hand, if the rate of change of the maximum height difference exceeds 30%, it is not preferable because the unevenness of the surface causes distortion in the reflection characteristics of visible light.
[0009]
As such an optical functional film, for example, the composition is SiNxCyOz (x is 0.2 ≦ x ≦ 2.0, y is 0.5 ≦ y ≦ 1.5, and z is 0.05 ≦ z ≦ 1). .5) can be used.
The silica film according to the present invention is not a layer simply composed of silicon oxide (SiOx), but a silicon compound (organic silicon compound) containing organic substances (carbon (C), nitrogen (N), and hydrogen (H)). It consists of.
As described above, by using a silicon compound (organosilicon compound), even when used as a material for the surface of various flexible displays, film cracking or peeling does not occur, and optical characteristics (antireflection function) can be maintained. In terms of handling of the antireflection film, it is preferable because it has favorable flexibility and can have excellent adhesiveness with the lower layer, and the silica film can have a desired refractive index. It is.
On the other hand, if the silica film according to the present invention has a simple composition of silicon oxide (SiOx), it is inferior in flexibility, cannot follow a flexible base material, causes film cracking, peeling, and reflection. This is not preferable because the prevention function is reduced.
Here, the number x of nitrogen atoms (N) bonded to silicon atoms (Si) constituting the silica film of the present invention is preferably 0.2 to 2.0, and more preferably 0.2 to 1.5. .
If the number x of the bonded nitrogen atoms is less than 0.2, it is not preferable because the heat and humidity environment or sunlight causes a change with time and the stability is poor.
On the other hand, when the number x of the nitrogen atoms bonded to the silicon atoms is more than 2.0, the whole silica film becomes hard and the film lacks flexibility, which is not preferable.
The number y of carbon atoms (C) bonded to silicon atoms (Si) constituting the silica film of the present invention is 0.5 to 1.0.
If the number of bonded carbon atoms is less than 0.5, the refractive index (1.46 to 1.55) is the same as that of a mere silica layer (SiOx), and the medium refractive index layer or the high refractive index layer has a high refractive index. It is not preferable because it cannot be suitably used as a refractive index layer.
On the other hand, when the number y of carbon atoms bonded to silicon atoms is more than 1.0, the silica film is colored yellow or the transparency of the silica film is reduced, and the antireflection film of the antireflection film has an antireflection function. And the internal stress of the silica film increases, the whole multilayer film becomes brittle, and the film is easily undesirably cracked or peeled off.
The number z of oxygen atoms (O) bonded to silicon atoms (Si) constituting the silica film according to the present invention is 0.05 to 1.5.
This is because if the number of bound oxygen atoms is less than 0.05, it changes with time due to a moist heat environment or sunlight and lacks stability, which is not preferable.
On the other hand, when the number z of oxygen atoms bonded to silicon atoms exceeds 1.5, the refractive index (1.46 to 1.55) is the same as that of a simple silica layer (SiOx), and the antireflection is prevented. It is not preferable because it cannot be suitably used as a medium or high refractive index layer constituting a film.
[0010]
The optical characteristics (anti-reflection function) required for the optical functional film according to the present invention are a refractive index of 1.5 or more and 2.4 or less (wavelength λ = 550 nm).
The reason why the refractive index at the wavelength of 550 nm is shown is that the wavelength has the highest human sensitivity.
Since the silica film of the present invention is mainly used as a single layer in the antireflection multilayer film constituting the antireflection film, more specifically as a medium refractive index layer or a high refractive index layer, its refractive index Is preferably in the above range.
If the refractive index is less than 1.5, it is suitable as a middle refractive index layer (refractive index is 1.5 to 1.8) or a high refractive index layer (refractive index is 1.8 to 2.4). It is not preferred because it cannot be used for
Further, when the refractive index of the silica film exceeds 2.4 (wavelength λ = 550 nm), the antireflection effect decreases. Therefore, the upper limit of the refractive index of the silica film in the present invention is set to 2.4.
With respect to the thickness of the silica layer, the antireflection film of the present invention is not particularly limited and is not particularly limited as long as it has an antireflection effect, but is preferably 30 nm to 200 nm, and 50 nm. More preferably, it is within the range of 150 nm.
When the layer thickness is less than 30 nm, even if a film is formed on a flexible base material, the anti-reflection effect may not be exhibited in some cases, and it is not preferable. Is not preferred.
[0011]
The middle refractive index layer of the multilayer film constituting the antireflection film according to the present invention has a refractive index of 1.5 or more and less than 1.8 (λ = 550 nm) and has a composition of SiNxCyOz (x is It is preferable that 0.2 ≦ x ≦ 2.0, y is 0.5 ≦ y ≦ 1.5, and z is 0.05 ≦ z ≦ 1.5).
[0012]
Further, the high refractive index layer of the multilayer film constituting the antireflection film according to the present invention preferably has a refractive index of 1.8 or more and 2.4 or less (λ = 550 nm), and has a refractive index of 1.9 or more and 2 or less. 0.3 or less, and the composition of the layer is SiNxCyOz (x is 0.2 ≦ x ≦ 2.0, y is 0.5 ≦ y ≦ 1.5, and z is 0.05 ≦ z ≦ 1.5). Is preferred.
[0013]
Here, the medium refractive index layer and the high refractive index layer are names for distinguishing the respective thin layers when the antireflection multilayer films are relatively compared by their respective refractive indices. The layer having a high refractive index is a high refractive index layer, the layer having a relatively low refractive index is a low refractive index layer, and the layer having an intermediate refractive index between the high refractive index layer and the low refractive index layer is a medium refractive index layer. Generally, a refractive index of 1.80 or more is often referred to as a high refractive index layer;
[0014]
Here, as the antireflection film according to the present invention, the outermost layer may be made of silicon oxide, and at least one organosilicon compound may be formed inside the silicon oxide. For example, SiN, An organosilicon compound containing an SiO bond can also be used.
[0015]
Next, the
The flexible substrate is not particularly limited as long as it is a polymer film that is transparent in the visible light region, and specifically, for example, a triacetyl cellulose film, a diacetyl cellulose film, an acetate butyrate cellulose film, a polyether Sulfone film, polystyrene resin film, polyacrylic resin film, polyurethane resin film, polyester film, polycarbonate resin film, polysulfone film, cyclic olefin resin film, polyether film, trimethylpentene film, polyetherketone film , Polyethersulfone-based film, acrylonitrile film, acrylonitrile-styrene copolymer resin (AS resin) film, acrylonitrile-butadiene-styrene copolymer Fat (ABS resin) film, polyamide resin film, fluororesin film, acetal resin film, a cellulose-based resin film or the like can be used.
Above all, a colorless and transparent stretched film is preferable, and a uniaxial or biaxially stretched polyester film is more preferable because of excellent transparency and heat resistance.
Further, triacetyl cellulose is also preferable in that it has no optical anisotropy.
Usually, the thickness of the flexible substrate is preferably about 6 μm to 188 μm.
The flexible substrate of the present invention may be colored as long as it is essentially transparent, and may be provided with a pattern or character by printing or the like.
[0016]
FIG. 2 is a schematic cross-sectional view showing a layer configuration which is one embodiment of the
As the
[0017]
Thus, the high refractive index layer in the multilayer antireflection film shown in FIG. 2 has a refractive index of 1.6 or more and 2.4 or less (λ = 550 nm) and a refractive index of 1.8 or more and 2.4. The following is preferred.
The composition of the high refractive index layer is expressed as SiNxCyOz (x is 0.2 ≦ x ≦ 2.0, y is 0.5 ≦ y ≦ 1.5, and z is 0.05 ≦ z ≦ 1.5). Silica layer, titanium oxide layer or silicon oxide layer, ITO (indium / tin oxide) layer, IZO layer, IXO layer, Nb 2 O 5 Layer, Ta 2 O 5 , A ZnS layer or the like can be used.
[0018]
By using the above silica layer as a high refractive index layer, in the antireflection multilayer film, each is combined with a low refractive index layer provided above the high refractive index layer (in the direction opposite to the base material side). , The reflection of light can be efficiently prevented.
Here, when the silica layer of the present invention is used as the high refractive index layer, when forming the antireflection film, the refractive index of the high refractive index layer is relative to other laminated layers. It is preferable that the refractive index of the high-refractive-index layer is 1.8 to 2.4 (in general, the high-refractive-index layer has a refractive index of 1.8 to 2.4). (λ = 550 nm) is more preferable.
[0019]
The thickness of the high refractive index layer formed by the silica layer of the present invention is not particularly limited, and may be any thickness as long as it can exhibit an anti-reflection effect, and is particularly preferably 30 nm to 200 nm. 50 nm to 150 nm is more preferable. When the thickness of the layer is less than 30 nm, the antireflection effect can hardly be expected, so that it is not preferable. On the other hand, when the thickness of the layer is more than 200 nm, the visible light transmittance is unpreferably reduced.
[0020]
The middle refractive index layer in the antireflection multilayer film shown in FIG. 2 has a refractive index of 1.5 or more and less than 2.4 (λ = 550 nm), and a refractive index of 1.5 or more and less than 1.8. preferable.
The composition of the middle refractive index layer is represented by SiNxCyOz (x is 0.2 ≦ x ≦ 2.0, y is 0.5 ≦ y ≦ 1.5, and z is 0.05 ≦ z ≦ 1.5). Silica layer is used.
[0021]
By using the above silica layer as the middle refractive index layer, the antireflection function can be enhanced in the antireflection multilayer film with a synergistic effect with other thin layers (for example, the low refractive index layer and the like). it can.
[0022]
Here, the position at which the intermediate refractive index layer is provided is not particularly limited in the present invention, and may be provided at any position as long as the antireflection function is improved as the whole antireflection. As shown in FIG. 2, when the high-refractive-index layer and the low-refractive-index layer are in contact, the reflection of light can be more efficiently prevented. Is preferred.
[0023]
The thickness of the middle refractive index layer formed by the silica film of the present invention is not particularly limited, and may be any thickness as long as it can exhibit an antireflection effect. Similarly, 30 nm to 200 nm is particularly preferable, and 50 nm to 150 nm is more preferable. When the thickness of the layer is less than 30 nm, the antireflection effect can hardly be expected, so that it is not preferable. On the other hand, when the thickness of the layer is more than 200 nm, the visible light transmittance is unpreferably reduced.
[0024]
Next, the low refractive index layer provided on the outermost layer (surface opposite to the substrate) of the antireflection multilayer film shown in FIG. 2 is provided to improve the optical characteristics (antireflection function) of the antireflection film. By providing the low refractive index layer as the outermost layer, light can be transmitted efficiently.
[0025]
In the present invention, the low refractive index layer preferably has a refractive index of 1.3 or more and less than 1.5 (λ = 550 nm).
Further, in the antireflection film of the present invention, as described above, since a silica layer having a different refractive index is used as the middle refractive index layer and the high refractive index layer, a silica layer is used as the low refractive index layer. Thus, an antireflection multilayer film is formed, and a thin layer having optical characteristics can be formed only by the silica layer.
Further, instead of the silica layer, magnesium fluoride or silicon oxyfluoride may be used.
By forming the thin film for forming the anti-reflection multilayer film using only the silica layer in this way, the yield can be improved, and not only is the cost favorable, but also the adhesion of each thin layer is improved. Is preferred because
[0026]
The thickness of the low refractive index layer of the present invention is not particularly limited, and may be any thickness as long as it can exhibit an antireflection effect. Similarly, 30 nm to 200 nm is particularly preferable, and 50 nm to 150 nm is more preferable. If the thickness of the layer is less than 30 nm, the antireflection effect can hardly be expected, which is not preferable. On the other hand, if the thickness of the layer is more than 200 nm, the visible light transmittance is undesirably reduced.
[0027]
Further, a
The
[0028]
The material for forming the
Specifically, it is preferable to use a thermosetting resin and / or an ionizing radiation-curable resin, and more specifically, a resin having an acrylate-based functional group, for example, a relatively low molecular weight polyester, poly (Meth) acrylates of polyfunctional compounds such as ethers, acrylic resins, epoxy resins, polyurethanes, alkyd resins, spiroacetal resins, polybutadienes, polythiolpolyene resins, and polyhydric alcohols (hereinafter, acrylate and methacrylate are referred to as (meth) And monofunctional monomers such as ethyl (meth) acrylate, ethylhexyl (meth) acrylate, styrene, vinyltoluene, and N-vinylpyrrolidone, which are reactive diluents; and polyfunctional monomers. Monomers, such as trimethylol Lopantri (meth) acrylate, hexanediol (meth) acrylate, tripropylene glycol di (meth) acrylate, diethylene glycol di (meth) acrylate, pentaerythritol tri (meth) acrylate, dipentaerythritol hexa (meth) acrylate, 1,6 Those containing hexanediol di (meth) acrylate, neopentyl glycol di (meth) acrylate and the like are preferably used.
The thickness of the hard coat layer is usually preferably in the range of 1 to 30 μm.
The forming method can use a usual coating method, and is not particularly limited.
[0029]
In addition, although the position where the
Further, it is preferable that the layers between the hard coat layer and the base material layer are laminated via an adhesive layer.
[0030]
As the antireflection film of the present invention, an
The antifouling layer is formed to prevent dust and dirt from adhering to the antireflection film disposed on the front surface of the display panel, or to make it easy to remove even if it adheres. Specifically, a surfactant such as a fluorine-based surfactant, a paint containing a fluorine-based resin, a release agent such as silicone oil, or a wax or the like is applied very thinly within a range that does not lower the antireflection function, and the surplus is applied. Remove by wiping. The antifouling layer may be formed as a permanent layer, or may be applied and formed as needed. The thickness of the
When the thickness exceeds 30 nm, an optical effect is generated, and the optical characteristics as an antireflection film are deteriorated.
[0031]
FIG. 3 is a schematic cross-sectional view showing a layer configuration as another embodiment of the antireflection film for forming the multilayer antireflection film including the optical functional film according to the present invention.
As the
[0032]
The high refractive index layer in the multilayer antireflection film shown in FIG. 3 preferably has a refractive index of 1.8 to 2.4 (λ = 550 nm), and has a refractive index of 1.9 to 2.3 (λ = 550). 550 nm).
The composition of the high refractive index layer is represented by SiNxCyOz (x is 0.2 ≦ x ≦ 2.0, y is 0.5 ≦ y ≦ 1.5, and z is 0.05 ≦ z ≦ 1.5). Silica layer can be used.
Further, as the low refractive index layer, a silica layer having a refractive index of 1.3 or more and less than 1.5 (λ = 550 nm) and having a layer composition represented by SiOx can be used.
In addition, the thickness of each layer formed by the silica film of the present invention is not particularly limited, and may be any thickness as long as it can exhibit an antireflection effect. Similarly to the rate layer, 30 nm to 200 nm is particularly preferable, and 50 nm to 150 nm is more preferable. If the thickness of the layer is less than 30 nm, the antireflection effect can hardly be expected, which is not preferable. On the other hand, if the thickness of the layer is more than 200 nm, the visible light transmittance is undesirably reduced.
[0033]
A method for forming a high refractive index layer, a medium refractive index layer, and a low refractive index layer constituting a single-layer optical functional film or an optical functional multilayer film according to the present invention on a flexible substrate For example, the above materials are formed or laminated by a plasma chemical vapor deposition (CVD) method, a thermal CVD method, a vacuum deposition method, a sputtering method, a wet coating method such as a sol-gel method, or a thin film forming method such as an ion plating method. be able to.
Above all, by using a plasma CVD method, conditions such as a film thickness and a refractive index when forming a silica layer can be relatively easily controlled, and the silica layer of the present invention is formed by an organosilicon compound. When forming a raw material containing an organic substance as described above, a stable thin film can be formed by a plasma CVD method or a sputtering method using the raw material in a gaseous state. This is preferable because it has the advantage that the productivity can be improved because the thin layers can be formed at the same time.
[0034]
FIG. 6 is a schematic diagram for explaining a method of manufacturing an antireflection film for forming an optical functional film on a flexible substrate according to the present invention by a plasma CVD method.
As shown in FIG. 6, as a method for producing a film in which an optical functional film is formed on a flexible substrate using a plasma CVD apparatus, first, a web-like polymer film (flexible substrate) 1 Is unwound from the base
The
[0035]
Next, the
Next, an RF voltage is applied between the electrode 9 and the
At this time, the frequency of the power supply is not limited to the radio wave, and an appropriate frequency from DC to microwave can be used.
When an RF voltage is applied between the electrode 9 and the
Then, the organosilicon compound gas and the nitrogen gas react in the plasma 11 to generate a compound having a composition formula represented by SiNxCyOz, and the compound is deposited on the
Thereafter, the
In the plasma CVD method of the present invention, the refractive index, the film thickness, etc. of the formed
[0036]
In the present invention, a starting material for forming a silica film includes a Si—R bond (R is an alkyl group, an allyl group, a vinyl group, a phenyl group, a ketone group, a cyano group, or an organic group containing these groups. An organic silicon compound containing a bond represented by the following formula: can be used.
In addition, in addition to the above-mentioned bond, a Si—O bond (Si represents a silicon atom and O represents an oxygen atom) or a Si—N bond (Si represents a silicon atom and N represents a nitrogen atom) is represented by a table. The starting material may be an organosilicon compound containing the bond shown below.
Examples of starting materials for forming a silica film in the present invention include silane, disilane, tetramethylsilane (TMS), hexamethyldisiloxane (HMDSO), tetramethyldisiloxane (TMDSO), and methyltrimethoxysilane. (MTMOS), tetraethylorthosilicate (TEOS), hexamethyldisilane (HMDS), tetramethylcyclotetrasiloxane (TOMCATS), methylsilane, dimethylsilane, trimethylsilane, diethylsilane, propylsilane, phenylsilane, tetramethoxysilane, octamethyl Cyclotetrasiloxane (OMCTS), tetraethoxysilane hexamethyldisilazane (HMDSN), hexamethyldisiloxane (HMDSO), allyldimethyl (diisopropylamino) Silane, allylaminotrimethylsilane, ammonium silicofluoride, anilinotrimethylsilane, 1,3-bis (chloromethyl) tetramethyldisilazane, bis (dimethylamino) dimethylsilane, bis (diethylamino) diethylsilane, bis (dimethylamino) ) Dimethylsilane, bis (dimethylaminodimethylsilyl) ethane, bis (dimethylamino) diphenylsilane, bis (dimethylamino) methylsilane, bis (dimethylamino) vinylethylsilane, bis (dimethylamino) vinylmethylsilane, bis (ethylamino) ) Dimethylsilane, bis (ethylmethylketoxime) methylisopropoxysilane, bis (methyldiethoxysilylpropyl) amine, N, O-bis (trimethylsilyl) acetamide, N-6,9-bis (tri Tylsilyl) adenine, N, N′-bis (trimethylsilyl) -1,4-butanediamine, bis (trimethylsilyl) carbodiimide, bis (trimethylsilyl) cytosine, N, O-bis (trimethylsilyl) hydroxylamine, 3-cyanopropyl (diisopropyl) ) Dimethylaminosilane, di-n-butyltetramethyldisilazane, (diethylamino) trimethylsilane, (diisopropylamino) trimethylsilane, (N, N′-dimethyl) trimethylsilane, 1,3-divinyltetramethyldisilazane, heptamethyl Disilazane, 1,1,3,3,5,5-hexamethylcyclotrisilazane, 1,2,3,4,5,6-hexamethylcyclotrisilazane, hexamethyldisilazane, nonamethyltrisilazane, octa Methylcyclotet Silazane, n-octyldiisopropyl (dimethylamino) silane, phenethyldimethyl (dimethylamino) silane, phenylbis (dimethylamino) silane, phenylmethylbis (dimethylamino) silane, 1,3,5,7-tetraethyl-2,4 , 6,8-Tetramethylcyclotetrasilazane, tetrakis (diethylamino) silane, tetrakis (dimethylamino) silane, 1,1,3,3-tetramethyldisilazane, 2,2,5,5-tetramethyl-2, 5-dila-1-azacyclopentane, 1,1,3,3-tetraphenyldimethyldisilazane, 1,3,5,7-tetravinyl-1,3,5,7-tetramethylcyclotetrasilazane, , 2,3-Triethyl-2,4,6-trimethylcyclotrisilazane, tri-n-hexylshi Triethanolamine, N- (trimethylsilyl) acetamide, trimethylsilyl azide, N- (trimethylsilyl) imidazole, triphenyl aminosilane, can be used Si-based compounds such as 1-trimethylsilyl-1,2,4-triazole.
In forming the silica film according to the present invention, in order to easily control the composition ratio, nitrogen gas, oxygen gas, N 2 O gas, NO 2 Gas, N 2 O 4 Gas, NO gas, or the like may be added.
In addition, an inert gas (for example, an argon gas, a helium gas, or the like) may be added to stabilize a plasma discharge or control a film density.
Further, a reducing gas (for example, hydrogen gas) may be introduced for breaking the Si—C bond.
[0037]
FIG. 7 is a schematic view of another embodiment for explaining a method of manufacturing an antireflection film for forming an optical functional film on a flexible substrate according to the present invention by a plasma CVD method.
For the production of the optical functional film, a plasma CVD apparatus as shown in FIG. 7 can be used.
The plasma CVD apparatus is a capacitively coupled plasma CVD apparatus, and its basic structure and principle are the same as those of the apparatus shown in FIG.
Therefore, also in this apparatus, the web-
[0038]
The difference between the apparatus shown in FIG. 7 and the apparatus shown in FIG. 6 is that in the apparatus shown in FIG. 6, only one reaction chamber for forming an optically functional film on a film is provided. Is characterized in that it has a plurality (three) of reaction chambers. Each of the reaction chambers (a, b, c) is formed by being isolated by an
[0039]
Each reaction chamber (a, b, c) is provided along the outer periphery of the
Although the number of reaction chambers is three in the apparatus shown in FIG. 7, the plasma CVD apparatus used in the method for producing an antireflection film of the present invention is not limited to this, and may be changed as necessary. be able to.
[0040]
According to the plasma CVD apparatus as described above, the film can be formed independently in each reaction chamber by changing the source gas introduced into each reaction chamber. When forming a multilayer film of a silica film and a plastic film on a plastic film, by introducing a gas containing an organic titanium compound into the reaction chamber a, by introducing a gas containing silicon into the reaction chamber b and the reaction chamber c, By the time the
[0041]
Further, in the above case, the gas introduced into the reaction chamber b and the reaction chamber c is a gas containing silicon, but it is necessary to change the conditions in each reaction chamber, for example, the gas flow rate, the pressure, the discharge conditions, and the like. Thereby, the characteristics of the silica film formed in the reaction chamber b and the reaction chamber c can be changed. The titanium oxide film, the silica film, and the thickness and the refractive index of these films can be freely combined by the device.
[0042]
Further, it is not always necessary to introduce different source gases into the respective reaction chambers. For example, a titanium oxide film is formed by introducing a gas containing an organic titanium compound into all of the reaction chambers a, b, and c shown in FIG. Thereafter, all gases once introduced into the reaction chambers a, b, and c are extracted, and a gas containing silicon is introduced again into the reaction chambers a, b, and c to form a silica film on the titanium oxide film. It is possible.
[0043]
In the present invention, a laminated film in which a titanium oxide film and a silica film are formed on a plastic film may be formed by treating the plastic film a plurality of times with the apparatus shown in FIG. 6 described above. However, as described above, the antireflection film in which the titanium oxide film and the silica film are formed on the plastic film by processing the plastic film at one time using the apparatus shown in FIG. Good. Further, by treating the plastic film a plurality of times using the apparatus shown in FIG. 7, it is possible to obtain a laminated film in which a plurality of titanium oxide films and a plurality of silica films are alternately laminated.
[0044]
FIG. 4 schematically illustrates a cross section of a polarizing plate attached to an outer surface of a flexible substrate on a display surface side.
As shown in FIG. 4, the
Another example of the polarizing plate using the antireflection film of the present invention may be a polarizing element in which the antireflection film of the present invention is laminated on both surfaces of a polarizing element.
The lower surface of the antireflection film of the present invention may be coated with a pressure-sensitive adhesive. In this case, the antireflection film can be used by attaching it to an object to be antireflection, for example, a polarizing element.
[0045]
As the
As the
When the transparent substrate film of the antireflection film is, for example, a TAC film, the TAC film is subjected to a saponification treatment in order to increase adhesiveness and prevent static electricity in the lamination process. This saponification treatment may be performed before or after applying the hard coat layer to the TAC film.
[0046]
FIG. 5 is a schematic cross-sectional view showing an example of a liquid crystal display device having a display surface covered with a multilayer antireflection film including an optical functional film according to the present invention.
As shown in FIG. 5, in the liquid crystal display device according to the present invention, a polarizing plate shown in FIG. 4, that is, a layer composed of an
The anti-reflection film of the present invention is usually arranged on the emission side of the backlight, but the anti-reflection film of the present invention may be further used instead of the TAC film on the lowermost surface.
In the STN type liquid crystal display device, a retardation plate is inserted between the liquid crystal display element and the polarizing plate. An adhesive layer is provided between each layer of the liquid crystal display device as needed.
[0047]
In addition to the above-mentioned liquid crystal display device using the antireflection film or the polarizing plate according to the present invention, it is used for an organic EL (electroluminescence) display device, an inorganic EL display device, a plasma display, etc. Even when used as a material for the surface of various flexible displays, it does not cause film cracking or peeling, can maintain optical characteristics (anti-reflection function), has favorable flexibility, and has high productivity. Is also excellent.
[0048]
【Example】
Next, the present invention will be specifically described with reference to examples.
(Example 1)
Using the apparatus of FIG. 6, SiNxCyOz (x is 0.2 ≦ x ≦ 2.0, y is 0.5) is placed on a 75 μm-thick polyethylene terephthalate (PET) film, which is a flexible base plastic film. ≦ y ≦ 1.5 and z is 0.05 ≦ z ≦ 1.5) to form a silica film.
As the organic silica compound gas, tetramethylsilane Si (CH) vaporized at 150 ° C. using a liquid vaporizer is used. 3 ) 4 And mixed with argon gas and nitrogen gas, and introduced into the reaction chamber from the raw material gas inlet.
The flow rates of the organic silica compound gas, argon gas, and nitrogen gas are shown below.
The plasma CVD apparatus of FIG. 6 used this time is a capacitive coupling type, and a 13.56 MHz RF power supply is used as a high frequency power supply. The feed speed of the plastic film of the flexible base material during continuous film formation is 10 m / min. Other conditions are described below.
<Deposition conditions>
Applied power 1kW
Nitrogen gas flow rate 200sccm
Oxygen gas flow rate 10sccm
Tetramethylsilane gas flow rate 150sccm
Film formation pressure 10Pa
[0050]
The gas flow unit sccm described above is a standard cubic cm per minute.
[0051]
SiNxCyOz (x is 0.2 ≦ x ≦ 2.0, y is 0.5 ≦ y ≦ 1.5, and z is 0.05 ≦ z ≦ 1.5) formed on a polyethylene terephthalate film under the above conditions. The measurement results of the expressed silica film are shown below.
(Results of Measurement of Silica Film According to the Present Invention)
Thickness 100nm
Film composition (Atomic%) Si: N: C: O = 32.9: 47.4: 16.5: 3.2
Refractive index (λ = 550 nm) 1.71
Thickness average height difference 8nm
<Apparatus Used for Silica Film Measurement>
Ellipsometer for film thickness measurement
Model number UVISELTM Manufacturer JOBIN YVON
Spectral reflection measurement spectrophotometer
Model number UV-3100PC Manufacturer Shimadzu Corporation
Thickness measurement Scanning probe microscope
Model number NPX100 Manufacturer Seiko Instruments
Composition analysis Photoelectron spectrometer
Model number ESCALAB220i-XL Manufacturer VG Scient
Bending test Mandrel bending tester
REF802 maker SEPRO
[0054]
As shown in the result of the formation of the silica film represented by SiNxCyOz (x is 1.4, y is 0.5, and z is 0.1), the homogeneous silica film having a refractive index of 1.71 is made of polyethylene. It could be formed on a terephthalate film.
Further, based on JIS K 5600-5-1 (
The maximum height difference of the light transmitting film after the bending test was 11 nm, and the change rate of the maximum height difference of the light transmitting film before and after the bending test was 10%, which was 30% or less. It had flexibility.
(Example 2)
Using the apparatus shown in FIG. 7, a hard coat (ultraviolet curable resin, manufactured by Dainichi Seika Kogyo Co., Ltd.) on a 80 μm-thick triacetyl cellulose (TAC) film which is a plastic film of a flexible base material -D31 ") that was sequentially coated with 6 μm and a middle refractive index layer of 90 nm was used.
Further, a medium refractive index layer was formed in the reaction chamber a shown in FIG. 7, a high refractive index layer was formed in the reaction chamber b, and a low refractive index layer was formed in the reaction chamber c.
A 13.56 MHz RF power supply was used as a high-frequency power supply, and the feed rate of the polymer film as the base material during continuous film formation was 10 m / min. Other conditions are as shown below.
<Medium Refractive Index Layer Deposition Conditions (Reaction Chamber a)>
Applied power 1kW
Argon gas flow rate 100sccm
Nitrogen gas flow rate 500sccm
Oxygen gas flow rate 10sccm
Tetramethylsilane gas flow rate 150sccm
Film formation pressure 10Pa
<High-refractive-index layer deposition conditions (reaction chamber b)>
Applied power 1kW
Hydrogen gas flow rate 100sccm
Oxygen gas flow rate 100sccm
Titanium tetraisopropoxide gas flow rate 150sccm
Film formation pressure 10Pa
<Low Refractive Index Layer Deposition Conditions (Reaction Chamber c)>
Applied power 1kW
Oxygen gas flow rate 100sccm
Tetramethoxysilane gas flow rate 100sccm
Film formation pressure 10Pa
[0059]
The gas flow unit sccm described above is a standard cubic cm per minute.
[0060]
The measurement results of a silica film having an antireflection function as shown in the spectral reflection characteristic diagram of FIG. 8 composed of a low refractive index layer / high refractive index layer / medium refractive index layer structure formed on a TAC film under the above conditions are shown. It is shown below.
The apparatus used for the measurement of the silica film of Example 2 was the same as that of Example 1.
(Results of Measurement of Multilayer Silica Film According to the Present Invention)
Film composition of the middle refractive index layer (Atomic%) Si: N: C: O = 32.2: 46.8: 17.3: 3.7
Composition formula of middle refractive index layer SiNxCyOz (x = 1.45, y = 0.5, z = 0.1)
Film composition of the high refractive index layer (Atomic%) Ti: C: O = 33.4: 40.1: 26.5
Film composition of the low refractive index layer (Atomic%) Si: C: O = 38.3: 8.9: 52.8
Thickness average height difference 15nm
Fig. 8
[0062]
Based on JIS K 5600-5-1, the silica film formed above was sandwiched between sample stands so that the formed silica film was on the outside, and a bending test was performed by a cylindrical mandrel method (mandrel). (Diameter: 8 mm, bending time: 2 seconds), no cracking or peeling was observed in the silica film, uniform and good film quality, and differences in spectral characteristics before and after the bending test were observed. The color difference (ΔE *) in the L * a * b * color system before and after the bending test was 0.1, which was 0.5 or less, and the optical characteristics were maintained. The maximum height difference of the light-transmitting film after the bending test was 17 mm, and the rate of change of the maximum height difference before and after the bending test was 13%. Has flexibility and excellent anti-reflection film properties It was the. The luminous reflectance of the antireflection film was 0.5%.
Further, as a result of actually laminating the obtained antireflection film on the surface of the display, it was found that there was no reflection and the antireflection property was excellent.
(Comparative Example 1)
A silica film was formed under the same conditions as in Example 1 except that the thickness of the silica film was 100 nm and no nitrogen gas was supplied. The device used for the measurement of the silica film was the same as in Example 1. The results are described below.
<Deposition conditions>
Applied power 1kW
Nitrogen gas flow rate 800sccm
Tetramethylsilane gas flow rate 150sccm
Film formation pressure 10Pa
(Results of Measurement of Silica Film According to the Present Invention)
Thickness 100nm
Film composition (Atomic%) Si: N: C = 22.5: 48.7: 28.8
Refractive index (λ = 550 nm) 1.67
Thickness average height difference 12nm
[0066]
As shown in the results of the formation of the silica film represented by SiNxCyOz (x is 2.2, y is 1.28, z is 0), the silica film having a refractive index of 1.67 is formed on the polyethylene terephthalate film. Could be formed.
Further, based on JIS K 5600-5-1, the silica film formed above was sandwiched between sample stands so that the formed silica film was on the outside, and a bending test was performed by a cylindrical mandrel method. (Mandrel diameter, 8 mm, bending time, 2 seconds), the surface of the formed film was visually observed. As a result, the silica film cracked and peeled off from the substrate, and L * a * before and after the bending test. The color difference (ΔE *) in the b * color system was 0.64, which was the optical difference was not maintained because the color difference (ΔE *) exceeded 0.5. The height difference was 35 nm, and the rate of change of the maximum height difference before and after the bending test was 191%, which exceeded 30%, was inferior in flexibility, and was inferior as an antireflection film.
(Comparative Example 2)
A silica film having an antireflection function as shown in the spectral reflection characteristic diagram of FIG. 9 was formed under the same conditions as in Example 2 except for the conditions for forming the medium refractive index layer. The apparatus used for the measurement of the silica film was the same as in Example 2. The results are described below.
(Measurement Result of Silica Film According to the Present Invention)
Film composition of the middle refractive index layer (Atomic%) Si: N: C = 25.1: 53.6: 21.3
Composition formula of middle refractive index layer SiNxCyOz (x is 2.1, y is 0.8, z is 0)
Film composition (Atomic%) of high refractive index layer Ti: C: O = 32: 42.2: 25.8
Film composition (Atomic%) of low refractive index layer Si: C: O = 40.1: 7.5: 52
18nm average height difference
Fig. 9
[0069]
Based on JIS K 5600-5-1, the silica film formed above was sandwiched between sample stands so that the formed silica film was on the outside, and a bending test was performed by a cylindrical mandrel method (mandrel). (Diameter of 8 mm, bending time: 2 seconds), and visually observing the surface of the formed film, no cracking of the silica film and no peeling from the substrate were visually observed, but L * before and after the bending test. The color difference (ΔE *) in the a * b * color system is 0.77, which means that the color difference (ΔE *) exceeds 0.5, the optical characteristics are not maintained, and the light transmission after the bending test is performed. The maximum height difference of the conductive film was 47 nm, and the rate of change of the maximum height difference before and after the bending test was 161%, which exceeded 30%, which was inferior in flexibility and inferior as an antireflection film. Was. Further, the luminous reflectance was 0.4%.
[0070]
【The invention's effect】
As is apparent from the above description, the present invention provides a light-transmitting film formed on a flexible base material directly or at least one layer via another layer, based on JIS K 5600-5-1. Therefore, when the bending test of the cylindrical mandrel method was performed, the light-transmitting film was not cracked or peeled off, and the optical functionality was maintained, and the maximum height of the light-transmitting film was maintained. When an optically functional film characterized by having a flexibility in which the rate of change of the difference is 30% or less, an antireflection film, a polarizing plate, and a display device using the same are produced, the optical characteristics are obtained even when stress is applied. (Anti-reflection function) can be maintained, so it can be used not only for various display devices such as liquid crystal display devices, organic EL display devices, and inorganic EL display devices, but also for flexible display devices as well as the surface of polarizing plates. It ’s good to do That.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a schematic cross-sectional view showing a layer configuration which is one embodiment of an optical functional film in which an optical functional film according to the present invention is formed on a flexible substrate.
FIG. 2 is a schematic cross-sectional view showing a layer configuration which is an embodiment of an antireflection film for forming a multilayer antireflection film including an optical functional film according to the present invention.
FIG. 3 is a schematic cross-sectional view showing a layer configuration which is one embodiment of an antireflection film for forming a multilayer antireflection film including an optical functional film according to the present invention.
FIG. 4 schematically illustrates a cross section of a polarizing plate attached to an outer surface of a flexible substrate on a display surface side.
FIG. 5 is a schematic cross-sectional view showing an example of a liquid crystal display device having a display surface covered with a multilayer antireflection film including an optical functional film according to the present invention.
FIG. 6 is a schematic diagram for explaining a method for producing an antireflection film for forming an optically functional film on a flexible substrate according to the present invention by a plasma CVD method.
FIG. 7 is a schematic diagram for explaining a method for producing an antireflection film for forming an optically functional film on a flexible substrate according to the present invention by a plasma CVD method.
FIG. 8 is a spectral reflection characteristic diagram of a multilayer silica film according to Example 2.
FIG. 9 is a spectral reflection characteristic diagram of a multilayer silica film according to Comparative Example 2.
[Explanation of symbols]
1,21,30 Plastic film
2,22 Unwinding part of substrate
2 ', 26 Substrate winding section
3,23 Vacuum container
4, a, b, c reaction chamber
5, 27 vacuum pump
6, a2, b2, c2 Source gas inlet
7, 7 'reversing roll
8, 24 Drum for film formation
9, a1, b1, c1 electrodes
10 Power supply
11 Plasma
12 Optical functional film
25 Isolation Wall
31 Hard coat layer
32 Medium refractive index layer
33 High refractive index layer
34 Low refractive index layer
35 Antifouling layer
36 Anti-reflection film
37 TAC base film
38 Polarizing element
39 LCD device
40 Polarizing plate
41 Backlight unit
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