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JP2004248251A - 弾性表面波装置、通信装置 - Google Patents

弾性表面波装置、通信装置 Download PDF

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Abstract

【課題】 通過帯域提起側のごく近傍においても減衰量の大きい弾性表面波装置およびそれを有する通信装置を提供する。
【解決手段】 圧電基板上に弾性表面波の伝搬方向に沿って形成された少なくとも２つのＩＤＴ２０３〜２０５と、このＩＤＴＩＤＴ２０３〜２０５を挟み込むようにリフレクタ２０６、２０７を有する弾性表面波フィルタ２００において、リフレクタ２０６、２０７の電極指の一部に交叉幅重み付けを施し、かつ、リフレクタ２０６、２０７で交叉幅重み付けの方法を異ならせている。
【選択図】 図１

Description

本発明は、伝送特性を向上でき、かつ大型化を回避できる弾性表面波装置、およびそれを有する通信装置に関するものである。
近年、自動車電話機や携帯電話機といった移動体通信機器の小型化、軽量化、高周波化に伴い、これらの移動体通信機器に搭載されるフィルタとして、小型で軽量な弾性表面波フィルタ（弾性表面波装置）が多用されている。特に携帯電話システムでは、送信周波数と受信周波数とが近接しているシステムが増えてきている。これに伴い、送信用フィルタとして用いられる場合には受信周波数帯、受信用フィルタとして用いられる場合には送信周波数帯の減衰量を大きくする必要があり、弾性表面波装置においても通過帯域近傍で、減衰量を大きくする要求が強くなっている。
この要求に対して、弾性表面波装置において通過帯域近傍の減衰量を大きくすることを開示する特許も多く出願されている（特許文献１、２参照）。例えば、特許文献１では、図３９に示すように、くし型電極部（ＩＤＴ）１０２〜１０４を挟み込むようにリフレクタ１０５、１０６を配置した弾性表面波装置１０１が開示されている。この弾性表面波装置１０１では、リフレクタ１０５、１０６の一部において、電極指の交叉幅重み付けを施すことにより、通過帯域低域側に発生するスプリアスを抑制し、減衰量を大きくしている。
特間２０００−１９６３９９号公報（公開日２０００年７月１４日） 特開平１０−２６１９３５号公報（公開日１９９８年９月２９日）
しかしながら、上記の方法では、通過帯域低域側のごく近傍に発生するスプリアスを抑制するためには交叉幅重み付けするリフレクタの本数を多くする必要があり、弾性表面波装置が大きくなってしまうという問題があった。その理由は、図４０におけるＡで示した反射率がゼロとなる周波数は、他のＢ〜Ｄで示した反射率がゼロとなる周波数と比較して、リフレクタにおける電極指の本数が変わることによる変化が小さいためである。そのため、Ａの点で示した反射率の谷は、リフレクタの重み付けを行っても十分に消すことができない。
本発明は、上記の問題点に鑑みなされたものであり、その目的は、通過帯域提起側のごく近傍においても減衰量の大きく、かつ小型化できる弾性表面波装置および通信装置を提供することにある。
本発明の弾性表面波装置は、上記の課題を解決するために、圧電基板上に、弾性表面波の伝搬方向に沿って配置されている少なくとも２つのくし型電極部と、該くし型電極部を上記伝搬方向に沿って挟み込む第１、第２のリフレクタとを有する弾性表面波装置において、前記第１、第２のリフレクタの電極指の一部が交叉幅重み付けされており、第１のリフレクタと第２のリフレクタとで、交叉幅重み付けされている電極指の本数が異なっていることを特徴としている。
上記の構成は、第１のリフレクタと第２のリフレクタとで、交叉幅重み付けされている電極指の本数が異なっているので、電極指の本数が異なるリフレクタを備える弾性表面波装置を複数並列に接続している構成と等価となる。
弾性表面波装置におけるリフレクタ全体の反射特性は、くし型電極部を挟み込む左右のリフレクタにおける反射特性の合成となるため、電極指の本数が異なるリフレクタを備える各弾性表面波装置では、通過帯域外で左右のリフレクタにおける反射特性の山谷をなくす（打ち消す）ことができる。したがって、電極指の本数が異なるリフレクタを備える弾性表面波装置において、通過帯域低域側ごく近傍に発生するスプリアスの発生を低減することができる。
つまり、上記の構成では、通過帯域低域側ごく近傍に発生するスプリアスが低減された弾性表面波装置を並列に接続した構成と等価であり、通過帯域外において、特に通過帯域近傍における不要スプリアスの発生を低減することができる。これにより、減衰量を大きくすることができるため、必要な減衰量を得ることができる。
また、本発明においては、リフレクタの本数を多くする必要がないので、従来の弾性表面波装置と同じサイズを実現することができる。
また、本発明の弾性表面波装置は、上記の課題を解決するために、圧電基板上に、弾性表面波の伝搬方向に沿って配置されている少なくとも２つのくし型電極部と、該くし型電極部を上記伝搬方向に沿って挟み込む第１、第２のリフレクタとを有する弾性表面波装置において、前記第１、第２のリフレクタの少なくとも一方における一部の電極指が交叉幅重み付けされており、かつ、第１のリフレクタと第２のリフレクタとで、電極指の本数が異なっていることを特徴としている。
また、本発明の弾性表面波装置は、上記の課題を解決するために、圧電基板上に、弾性表面波の伝搬方向に沿って配置されている少なくとも２つのくし型電極部と、該くし型電極部を上記伝搬方向に沿って挟み込む第１、第２のリフレクタとを有する弾性表面波装置において、前記第１、第２のリフレクタの少なくとも一方における一部の電極指が交叉幅重み付けされており、かつ、第１のリフレクタと第２のリフレクタとで、電極指のｄｕｔｙが異なっていることを特徴としている。
また、本発明の弾性表面波装置は、上記の課題を解決するために、圧電基板上に、弾性表面波の伝搬方向に沿って配置されている少なくとも２つのくし型電極部と、該くし型電極部を上記伝搬方向に沿って挟み込む第１、第２のリフレクタとを有する弾性表面波装置において、前記第１、第２のリフレクタの少なくとも一方における一部の電極指が交叉幅重み付けされており、かつ、第１のリフレクタと第２のリフレクタとで、電極指ピッチが異なっていることを特徴としている。
また、本発明の弾性表面波装置は、上記の課題を解決するために、圧電基板上に、弾性表面波の伝搬方向に沿って配置されている少なくとも２つのくし型電極部と、該くし型電極部を上記伝搬方向に沿って挟み込む第１、第２のリフレクタとを有する弾性表面波装置において、前記第１、第２のリフレクタの少なくとも一方における一部の電極指が交叉幅重み付けされており、かつ、第１のリフレクタに隣り合うくし型電極部との最外電極指中心間距離と、第２のリフレクタに隣り合うくし型電極部との最外電極指中心間距離とが異なっていることを特徴としている。
また、本発明の弾性表面波装置は、上記の課題を解決するために、圧電基板上に、弾性表面波の伝搬方向に沿って配置されている少なくとも２つのくし型電極部と、該くし型電極部を上記伝搬方向に沿って挟み込む第１、第２のリフレクタとを有する弾性表面波装置において、前記第１、第２のリフレクタの少なくとも一方における一部の電極指が交叉幅重み付けされており、かつ、第１、第２のリフレクタにおける１箇所以上で、周囲の電極指に対する電極指幅または周囲の電極指間隔に対する電極指間隔が異なっていることを特徴としている。
また、本発明の弾性表面波装置は、上記の課題を解決するために、圧電基板上に、弾性表面波の伝搬方向に沿って配置されている少なくとも２つのくし型電極部と、該くし型電極部を上記伝搬方向に沿って挟み込む第１、第２のリフレクタとを有する弾性表面波装置において、前記第１、第２のリフレクタの少なくとも一方における一部の電極指が交叉幅重み付けされており、かつ、第１、第２のリフレクタにおける１箇所以上で、周囲の電極指に対するｄｕｔｙが異なっていることを特徴としている。
上記の各構成によれば、通過帯域外で左右のリフレクタにおける反射特性の山谷を打ち消すことができる。したがって、上記弾性表面波装置において、通過帯域低域側ごく近傍に発生するスプリアスの発生を低減することができる。
また、本発明においては、リフレクタの本数を多くする必要がないので、従来の弾性表面波装置と同じサイズを実現することができる。
また、本発明の弾性表面波装置は、上記の課題を解決するために、圧電基板上に、弾性表面波の伝搬方向に沿って形成された少なくとも２つのくし型電極部と、該くし型電極部を上記伝搬方向に沿って挟み込むリフレクタとを有する第１、第２の弾性表面波素子を、カスケード接続してなる弾性表面波装置において、前記第１、第２の弾性表面波素子におけるリフレクタの一部の電極指が交叉幅重み付けされており、かつ、第１の弾性表面波素子におけるリフレクタと第２の弾性表面波素子におけるリフレクタとで、交叉幅重み付けされている電極指の本数が異なっていることを特徴としている。
また、本発明の弾性表面波装置は、上記の課題を解決するために、圧電基板上に、弾性表面波の伝搬方向に沿って形成された少なくとも２つのくし型電極部と、該くし型電極部を上記伝搬方向に沿って挟み込むリフレクタとを有する第１、第２の弾性表面波素子を、カスケード接続してなる弾性表面波装置において、第１、第２の弾性表面波素子のリフレクタの少なくとも一方における一部の電極指が交叉幅重み付けされており、かつ、第１の弾性表面波素子におけるリフレクタと第２の弾性表面波素子におけるリフレクタとで、電極指の本数が異なっていることを特徴としている。
また、本発明の弾性表面波装置は、上記の課題を解決するために、圧電基板上に、弾性表面波の伝搬方向に沿って形成された少なくとも２つのくし型電極部と、該くし型電極部を上記伝搬方向に沿って挟み込むリフレクタとを有する第１、第２の弾性表面波素子を、カスケード接続してなる弾性表面波装置において、第１、第２の弾性表面波素子のリフレクタの、少なくとも一方における一部の電極指が交叉幅重み付けされており、かつ、第１の弾性表面波素子におけるリフレクタと第２の弾性表面波素子におけるリフレクタとで、電極指のｄｕｔｙが異なっていることを特徴としている。
また、本発明の弾性表面波装置は、上記の課題を解決するために、圧電基板上に、弾性表面波の伝搬方向に沿って形成された少なくとも２つのくし型電極部と、該くし型電極部を上記伝搬方向に沿って挟み込むリフレクタとを有する第１、第２の弾性表面波素子を、カスケード接続してなる弾性表面波装置において、第１、第２の弾性表面波素子のリフレクタの、少なくとも一方における一部の電極指が交叉幅重み付けされており、かつ、第１の弾性表面波素子におけるリフレクタと第２の弾性表面波素子におけるリフレクタとで、電極指のピッチが異なっていることを特徴としている。
また、本発明の弾性表面波装置は、上記の課題を解決するために、圧電基板上に、弾性表面波の伝搬方向に沿って形成された少なくとも２つのくし型電極部と、該くし型電極部を上記伝搬方向に沿って挟み込むリフレクタとを有する第１、第２の弾性表面波素子を、カスケード接続してなる弾性表面波装置において、第１、第２の弾性表面波素子のリフレクタの、少なくとも一方における一部の電極指が交叉幅重み付けされており、かつ、第１の弾性表面波素子と第２の弾性表面波素子とで、リフレクタとリフレクタに隣り合うくし型電極部との最外電極指中心間距離が異なっていることを特徴としている。
また、本発明の弾性表面波装置は、上記の課題を解決するために、圧電基板上に、弾性表面波の伝搬方向に沿って形成された少なくとも２つのくし型電極部と、該くし型電極部を上記伝搬方向に沿って挟み込むリフレクタとを有する第１、第２の弾性表面波素子を、カスケード接続してなる弾性表面波装置において、第１、第２の弾性表面波素子のリフレクタの、少なくとも一方における一部の電極指が交叉幅重み付けされており、かつ、第１、第２の弾性表面波素子のリフレクタにおける１箇所以上で、周囲の電極指に対する電極指幅または周囲の電極指間隔に対する電極指間隔が異なっていることを特徴としている。
また、本発明の弾性表面波装置は、上記の課題を解決するために、圧電基板上に、弾性表面波の伝搬方向に沿って形成された少なくとも２つのくし型電極部と、該くし型電極部を上記伝搬方向に沿って挟み込むリフレクタとを有する第１、第２の弾性表面波素子を、カスケード接続してなる弾性表面波装置において、第１、第２の弾性表面波素子のリフレクタの、少なくとも一方における一部の電極指が交叉幅重み付けされており、かつ、第１、第２の弾性表面波素子のリフレクタにおける１箇所以上で、周囲の電極指に対するｄｕｔｙが異なっていることを特徴としている。
上記の各構成によれば、第１、第２の弾性表面波素子を、カスケード接続してなる弾性表面波装置において、通過帯域外で各弾性表面波素子のリフレクタにおける反射特性の山谷をなくす（打ち消す）ことができる。したがって、上記弾性表面波装置において、通過帯域低域側ごく近傍に発生するスプリアスの発生を低減することができる。
また、本発明においては、リフレクタの本数を多くする必要がないので、従来の弾性表面波装置と同じサイズを実現することができる。
また、本発明の弾性表面波装置は、上記の課題を解決するために、圧電基板上に、弾性表面波の伝搬方向に沿って形成された少なくとも２つのくし型電極部と、該くし型電極部を上記伝搬方向に沿って挟み込むリフレクタとを有する第１、第２の弾性表面波素子を備え、第１の弾性表面波素子および第２の弾性表面波素子の入力端子同士、出力端子同士の少なくとも一方が接続されている弾性表面波装置において、第１、第２の弾性表面波素子のリフレクタの、少なくとも一方における一部の電極指が交叉幅重み付けされており、かつ、第１、第２の弾性表面波素子のリフレクタにおける少なくとも１箇所以上で、周囲の電極指に対するｄｕｔｙが異なっていることを特徴としている。
また、本発明の弾性表面波装置は、上記の構成に加えて、第１の弾性表面波素子のリフレクタと第２の弾性表面波素子のリフレクタとで、交叉幅重み付けされている電極指の本数が異なっていることが好ましい。
また、本発明の弾性表面波装置は、上記の課題を解決するために、圧電基板上に、弾性表面波の伝搬方向に沿って形成された少なくとも２つのくし型電極部と、該くし型電極部を上記伝搬方向に沿って挟み込むリフレクタとを有する第１、第２の弾性表面波素子を備え、第１の弾性表面波素子および第２の弾性表面波素子の入力端子同士、出力端子同士が接続されている弾性表面波装置において、第１、第２の弾性表面波素子のリフレクタの、少なくとも一方における一部の電極指が交叉幅重み付けされており、かつ、第１の弾性表面波素子のリフレクタと第２の弾性表面波素子のリフレクタとで、電極指の本数が異なっていることを特徴としている。
また、本発明の弾性表面波装置は、上記の課題を解決するために、圧電基板上に、弾性表面波の伝搬方向に沿って形成された少なくとも２つのくし型電極部と、該くし型電極部を上記伝搬方向に沿って挟み込むリフレクタとを有する第１、第２の弾性表面波素子を備え、第１の弾性表面波素子および第２の弾性表面波素子の入力端子同士、出力端子同士が接続されている弾性表面波装置において、第１、第２の弾性表面波素子のリフレクタの、少なくとも一方における一部の電極指が交叉幅重み付けされており、かつ、第１の弾性表面波素子のリフレクタと第２の弾性表面波素子のリフレクタとで、電極指のｄｕｔｙが異なっていることを特徴としている。
また、本発明の弾性表面波装置は、上記の課題を解決するために、圧電基板上に、弾性表面波の伝搬方向に沿って形成された少なくとも２つのくし型電極部と、該くし型電極部を上記伝搬方向に沿って挟み込むリフレクタとを有する第１、第２の弾性表面波素子を備え、第１の弾性表面波素子および第２の弾性表面波素子の入力端子同士、出力端子同士が接続されている弾性表面波装置において、第１、第２の弾性表面波素子のリフレクタの、少なくとも一方における一部の電極指が交叉幅重み付けされており、かつ、第１の弾性表面波素子と第２の弾性表面波素子とで、リフレクタとリフレクタに隣り合うくし型電極部との最外電極指中心間距離が異なっていることを特徴としている。
また、本発明の弾性表面波装置は、上記の課題を解決するために、圧電基板上に、弾性表面波の伝搬方向に沿って形成された少なくとも２つのくし型電極部と、該くし型電極部を上記伝搬方向に沿って挟み込むリフレクタとを有する第１、第２の弾性表面波素子を備え、第１の弾性表面波素子および第２の弾性表面波素子の入力端子同士、出力端子同士が接続されている弾性表面波装置において、第１、第２の弾性表面波素子のリフレクタの、少なくとも一方における一部の電極指が交叉幅重み付けされており、かつ、第１、第２の弾性表面波素子のリフレクタにおける１箇所以上で、周囲の電極指に対する電極指幅または周囲の電極指間隔に対する電極指間隔が異なっていることを特徴としている。
また、本発明の弾性表面波装置は、上記の課題を解決するために、圧電基板上に、弾性表面波の伝搬方向に沿って形成された少なくとも２つのくし型電極部と、該くし型電極部を上記伝搬方向に沿って挟み込むリフレクタとを有する第１、第２の弾性表面波素子を備え、第１の弾性表面波素子および第２の弾性表面波素子の入力端子同士、出力端子同士が接続されている弾性表面波装置において、第１、第２の弾性表面波素子のリフレクタの、少なくとも一方における一部の電極指が交叉幅重み付けされており、かつ、第１、第２の弾性表面波素子のリフレクタにおける１箇所以上で、周囲の電極指に対するｄｕｔｙが異なっていることを特徴としている。
上記の各構成によれば、第１の弾性表面波素子および第２の弾性表面波素子の入力端子同士、出力端子同士が接続されている弾性表面波装置において、通過帯域外で各弾性表面波素子のリフレクタにおける反射特性の山谷をなくす（打ち消す）ことができる。したがって、上記弾性表面波装置において、通過帯域低域側ごく近傍に発生するスプリアスの発生を低減することができる。
また、本発明においては、リフレクタの本数を多くする必要がないので、従来の弾性表面波装置と同じサイズを実現することができる。
また、上記弾性表面波装置は、前記圧電基板が、フェイスダウン工法でパッケージ内に収納されていてもよい。
本発明の通信装置は、上記課題を解決するために、上記弾性表面波装置のいずれかを有することを特徴としている。上記の構成によれば、通過帯域低域側ごく近傍のスプリアスを抑制した弾性表面波装置を有することで、通過帯域低域側の減衰量が大きく、伝送特性の向上した通信装置を提供することができる。
以上説明したように、本発明の弾性表面波フィルタは、圧電基板上に弾性表面波の伝搬方向に沿って形成された少なくとも２つのＩＤＴと、このＩＤＴを挟み込むように第１、第２のリフレクタを有する弾性表面波フィルタにおいて、前記第１、第２のリフレクタの電極指の一部が交叉幅重み付けされており、かつ、第１、第２のリフレクタで交叉幅重み付けの方法を異ならせている。
これにより、本発明では、従来のリフレクタの電極指における交叉幅重み付けよりも、通過帯域低域側ごく近傍のスプリアスを抑制することができ、減衰量の大きい弾性表面波フィルタが得られる。
また、本発明においては、リフレクタの本数を多くする必要がないので、従来の弾性表面波装置と同じサイズを実現することができる。
〔実施の形態１〕
本発明の実施の一形態について図１ないし図９、並びに図３７および図３８に基づいて説明すれば、以下の通りである。本実施の形態では、ＤＣＳ（digital communication system）受信用の弾性表面波フィルタを例にとって説明する。
図１に、本実施の形態にかかる弾性表面波装置（弾性表面波フィルタ）２００の要部の構成を示す。上記弾性表面波装置２００は、縦結合共振子型弾性表面波フィルタ（弾性表面波素子）２０１、および縦結合共振子型弾性表面波フィルタ２０１に直列に接続された弾性表面波共振子２０２を、圧電基板（図示せず）上に、備えている構成である。上記縦結合共振子型弾性表面波フィルタ２０１および弾性表面波共振子２０２は、Ａｌ電極により形成されている。本実施の形態では、圧電基板として、４０±５°ＹｃｕｔＸ伝搬ＬｉＴａＯ3基板を用いている。
縦結合共振子型弾性表面波フィルタ２０１の構成は、複数の電極指を有するくし型電極部（Inter-Digital Transducer、以下、ＩＤＴという）２０４を挟みこむようにＩＤＴ２０３、２０５が形成され、その両側（左右）にリフレクタ（第１のリフレクタ）２０６およびリフレクタ（第２のリフレクタ）２０７が形成されている。図１に示すように、互いに隣り合うＩＤＴ２０３とＩＤＴ２０４との間、およびＩＤＴ２０４とＩＤＴ２０５との間の数本の電極指は、ＩＤＴの他の部分よりもピッチが小さくなっている（狭ピッチ電極指部２１３、２１４）。また、上記リフレクタ２０６、２０７は、電極指の一部が交叉幅重み付けされている。図１においては、簡潔に示すために、実際の電極指本数よりも少なく図示している。ＩＤＴ２０４は入力信号端子２１１に接続され、ＩＤＴ２０３、２０５は、弾性表面波共振子２０２を介して出力端子２１２に接続されている。
上記弾性表面波共振子２０２の構成は、ＩＤＴ２０８を挟み込むように、リフレクタ２０９、２１０が形成されている。
次に、本実施の形態におけるパッケージに収納されている弾性表面波装置の断面図を図２に示す。上記弾性表面波装置は、パッケージと弾性表面波フィルタが形成されている圧電基板３０５との導通を、バンプボンディング３０６によって取るフェイスダウン工法により作られた構造である。
上記パッケージは２層構造となっており、底板部３０１、側壁部３０２、ダイアタッチ面３０３およびキャップ３０４を備えている。この底板部３０１は例えば長方形状であり、この底板部３０１の四周辺部からそれぞれ側壁部３０２が立設されている。キャップ部３０３は、この各側壁部３０２により形成される開口を覆って塞いでいる。この底板部３０１の上面（内表面）には、圧電基板３０５との導通を取るダイアタッチ部３０４が形成されている。圧電基板３０５とダイアタッチ部３０４は、バンプ３０６によって結合されている。
また、本実施の形態にかかる実施例１の縦結合共振子型弾性表面波フィルタ２００の詳細な設計の一例については、以下の通りである。
電極指のピッチを狭くしていない電極指のピッチで決まる波長をλＩとすると、
交叉幅：４１．７λＩ
ＩＤＴ本数：（ＩＤＴ２０３、ＩＤＴ２０４、ＩＤＴ２０５の順）：２０（３）／（３）３３（３）／（３）２０本（カッコ内はピッチを狭くした電極指の本数）
リフレクタ本数：（リフレクタ２０６、２０７）８５本（うち，交叉幅重み付けを施している本数は、リフレクタ２０６で６０本、リフレクタ２０７で３５本）
ｄｕｔｙ：０．７２（ＩＤＴ、リフレクタとも）
電極膜厚：０．０９２λＩ
このように、実施例１の縦結合共振子型フィルタ２００では、リフレクタ２０６と２０７とで交叉幅重み付けしている電極指本数が異なっている。
また、上記弾性表面波共振子２０２の詳細な設計の一例については、以下の通りである。
交叉幅：２３．８λＩ
ＩＤＴ本数：１６０本
リフレクタ本数：１５本
ｄｕｔｙ：０．６０
電極膜厚：０．０９３λＩ
また、本実施の形態にかかる実施例１の弾性表面波装置２００に対する比較として、図３に、比較例１の弾性表面波装置２５０を示す。この弾性表面波装置２５０は、上記弾性表面波装置２００において、リフレクタ２０６、２０７における電極指のうち、交叉幅重み付けを施している電極指の本数を両方のリフレクタ２０６、２０７ともに３５本にした構成である。その他の設計パラメータは、上記弾性表面波装置２００と同様である。
図４に、本実施の形態にかかる実施例１の弾性表面波装置２００および比較例１にかかる弾性表面波装置２５０における、周波数−伝送特性（周波数−挿入損失特性）を示す。
図４を見ると、実施例１の弾性表面波装置２００では、比較例１の弾性表面波装置２５０に対して、Ａで示したスプリアスが約２ｄＢ抑制され、通過帯域低域側ごく近傍の減衰量が改善されていることがわかる。
以下、本発明の原理について説明する。実施例１の弾性表面波装置２００では、比較例１の構成に対してリフレクタ２０６とリフレクタ２０７とで電極指の重み付けする本数を異ならせている。これにより、実施例１の弾性表面波装置２００では、図５に示すように、リフレクタにおける電極指の本数が異なる弾性表面波フィルタを複数並列接続することと等価になる。つまり、１つ１つの弾性表面波フィルタにおいて、ＩＤＴを挟む左右でリフレクタにおける電極指の本数が異なることと等価になる。
１つの弾性表面波フィルタにおいて、ＩＤＴを挟む左右でリフレクタにおける電極指の本数が異なると、リフレクタの反射特性は左右のリフレクタにおける反射特性の合成となるため、さらに通過帯域外のリフレクタにおける反射特性の山谷を抑制する効果が大きくなる。したがって、比較例１の弾性表面波装置２５０に比べて実施例１の弾性表面波装置２００の方が、通過帯域低域側ごく近傍のスプリアスのレベルを抑制することができる。
その際、実施例１の弾性表面波装置２００では、リフレクタの本数は比較例１と同じであるので、弾性表面波装置２００を大きくすることなく、上記スプリアスのレベルを抑制することができる。
以上のように、実施例１の弾性表面波装置２００では。リフレクタ２０６とリフレクタ２０７とでリフレクタの交叉幅重み付けをする電極指の本数を異ならせることで、従来よりも通過帯域低域側ごく近傍のスプリアスのレベルを抑制し、減衰量の大きい弾性表面波フィルタが得られる。
実施例１では、リフレクタ２０６とリフレクタ２０７とで交叉幅重み付けをする電極指の本数を異ならせているが、例えば、図６、図７に示すように、リフレクタ２０６とリフレクタ２０７とで、交叉幅重み付けをする電極指の本数は同じで、交叉幅重み付けする方法が変わっていても、本発明の効果を得ることができる。
また、実施例１では、縦結合共振子型弾性表面波フィルタの例を示したが、本発明の原理からわかるように、ＩＤＴを挟み込むリフレクタを備える構造の弾性表面波素子の用いる設計、例えば、横結合共振子型弾性表面波フィルタ、トランスバーサル型フィルタ、ラダー型フィルタ等の弾性表面波装置においても、同様の効果を得ることができる。
さらに、本発明は、図３７や図３８に示すように、平衡−不平衡変換機能を有する構成の弾性表面波装置においても、同様の効果を得ることができる。図３７の弾性表面波装置は、図１に示すＩＤＴ２０４に代えて、ＩＤＴ２０４の一方の電極指群を弾性表面波の伝搬方向に沿って二分割し、それぞれの電極指小群から各平衡信号を入出力できるＩＤＴ２０４ａを備えたものである。図３８の弾性表面波装置は、図１に示すＩＤＴ２０４に代えて、ＩＤＴ２０４の互いに交叉する双方の電極指群のそれぞれから各平衡信号を入出力できるＩＤＴ２０４ｂを有するものである。
また、実施例１では図２のように、バンプボンド法を用いるフェイスダウン工法にて、パッケージ３００と圧電基板３０５上の各電極パッドとの導通を取る方法で弾性表面波装置を作製したが、これはワイヤボンド工法であっても問題はない。
また、フェイスダウン工法で作製する構成としては図２の構成に限らず、例えば図８のように集合基板５０１上に圧電基板５０２をフリップチップ工法で接合し、その上に樹脂５０３覆って封止して、ダイシングにより１パッケージ単位に切断する構成、図９のように同じく集合基板５５１上に圧電基板５５２をフリップチップ工法で接合し、その上にシート状の樹脂材５５３を覆って封止して、ダイシングにより１パッケージ単位に切断する構成で、弾性表面波装置が作製されていてもよい。
さらに、実施例１では、４０±５°ＹｃｕｔＸ伝搬ＬｉＴａＯ3からなる圧電基板を用いたが、効果が得られる原理からもわかるとおり、本発明はこの圧電基板に限らず、例えば６４°〜７２°ＹｃｕｔＸ伝搬ＬｉＮｂＯ3、４１°ＹｃｕｔＸ伝搬ＬｉＮｂＯ3などの圧電基板でも同様な効果が得られる。
〔実施の形態２〕
本発明の他の実施の形態について図１０ないし図１６に基づいて説明すれば、以下の通りである。なお、説明の便宜上、前記実施の形態１にて示した各部材と同一の機能を有する部材には、同一の符号を付記し、その説明を省略する。
本実施の形態における弾性表面波フィルタの構成を、図１０に示す。本実施の形態では、実施の形態１における構成において、リフレクタ２０６とリフレクタ２０７とで、交叉幅重み付けする電極指の本数を同じ本数とし、電極指の総本数を異ならせている。
本実施の形態にかかる実施例２の弾性表面波装置（弾性表面波フィルタ）２２０の詳細な設計の一例については、リフレクタ２０６、２０７のそれぞれにおける交叉幅重み付けする電極指の本数を４０本とし、さらにリフレクタ２０６における電極指の総本数を１００本、リフレクタ２０７における電極指の総本数を７０本としている。なお、リフレクタ２０６、２０７以外のＩＤＴ２０３、２０４、２０５、および弾性表面波共振子２０２の設計は、実施例１とすべて同じである。
図１１に、本実施の形態にかかる実施例１の弾性表面波装置２００および比較例１にかかる弾性表面波装置２５０における、周波数−伝送特性（周波数−挿入損失特性）を示す。
図１１を見ると、実施例２の弾性表面波装置２２０では、比較例１の弾性表面波装置２５０に対して、Ｂで示したスプリアスが約２ｄＢ抑制され、通過帯域低域側ごく近傍の減衰量が改善されていることがわかる。
実施例２の弾性表面波装置２００では、比較例１の構成に対してリフレクタ２０６とリフレクタ２０７とで同じ本数の電極指に交叉幅重み付けを施すとともに、それぞれの電極指の総本数を異ならせている。これにより、実施例１の弾性表面波装置２００と同様に、通過帯域外のリフレクタ反射特性の山谷を抑制する効果が大きくなる。したがって、本実施の形態にように、リフレクタにおける電極指の交叉幅重み付けの他に、さらに、通過帯域外のリフレクタの山谷を低減する手法を組み合わせることにより、実施の形態１と同様に効果的に通過帯域低域側ごく近傍のスプリアスのレベルを抑制することができる。
弾性表面波装置において通過帯域外のリフレクタの山谷を低減する手法としては、実施例２の構成のようにリフレクタにおける電極指の本数をＩＤＴを挟み込むリフレクタのそれぞれで異ならせることの他に、例えば図１２〜図１６に示す手法が挙げられる。
図１２では、リフレクタ２０６とリフレクタ２０７とでｄｕｔｙを異ならせている。図１３では、リフレクタ２０６とリフレクタ２０７とで電極指ピッチを異ならせている。図１４では、リフレクタ２０６とリフレクタ２０６に隣り合うＩＤＴ２０３との最外電極指中心間距離と、リフレクタ２０７とリフレクタ２０７に隣り合うＩＤＴ２０５との最外電極指中心間距離とを異ならせている。図１５では、リフレクタ２０６、２０７の一部（１箇所以上）において周囲の電極指に対して電極指幅（または周囲の電極指間隔に対する電極指間隔）が異なる箇所を設けている。図１６では、リフレクタ２０６、２０７の一部（１箇所以上）において周囲の電極指に対してｄｕｔｙが異なる箇所を設けている。
図１２〜図１６で示した各手法を用いることにより、弾性表面波装置において通過帯域外のリフレクタの山谷を低減することができ、これにより、通過帯域低域側ごく近傍のスプリアスのレベルを抑制することができる。
〔実施の形態３〕
本発明の他の実施の形態について図１７ないし図２４に基づいて説明すれば、以下の通りである。
本実施の形態における弾性表面波フィルタの構成を、図１７に示す。本実施の形態にかかる弾性表面波装置（弾性表面波フィルタ）７００は、カスケード接続された２つの縦結合共振子型弾性表面波フィルタ（第１の弾性表面波素子）７０１および縦結合共振子型弾性表面波フィルタ（第２の弾性表面波素子）７０２を、圧電基板（図示せず）上に、備えている構成である。上記縦結合共振子型弾性表面波フィルタ７０１、７０２は、Ａｌ電極により形成されている。本実施の形態では、圧電基板として、４０±５°ＹｃｕｔＸ伝搬ＬｉＴａＯ3基板を用いている。
縦結合共振子型弾性表面波フィルタ７０１の構成は、ＩＤＴ７０４を挟みこむようにＩＤＴ７０３、７０５が形成され、その両側にリフレクタ７０６、７０７が形成されている。上記リフレクタ７０６、７０７は、それぞれ電極指の一部に交叉幅重み付けが施されている。
縦結合共振子型弾性表面波フィルタ７０２の構成は、ＩＤＴ７０９を挟みこむようにＩＤＴ７０８、７１０が形成され、その両側にリフレクタ７１１、７１２が形成されている。上記リフレクタ７１１、７１２は、それぞれ電極指の一部に交叉幅重み付けが施されている。
また、リフレクタ７０６、７０７と、リフレクタ７１１、７１２とでは、電極指の総本数を同じ本数にし、交叉幅重み付けが施されている電極指の本数を異ならせている。
つまり、上記縦結合共振子型弾性表面波フィルタ７０１と、縦結合共振子型弾性表面波フィルタ７０２とでは、リフレクタの設計以外は、同じである。
上記の構成では、縦結合共振子型弾性表面波フィルタ７０１、７０２におけるリフレクタ７０６、７０７、７１１、７１２の電極指を交叉幅重み付けし、かつ、縦結合共振子型弾性表面波フィルタ７０１におけるリフレクタ７０６、７０７に対して、縦結合共振子型弾性表面波フィルタ７０２におけるリフレクタ７１１、７１２における交叉幅重み付けする電極指の本数を異ならせている。
これにより、本実施の形態においては、実施の形態１、２と同様に、従来よりも通過帯域低域側ごく近傍のスプリアスのレベルを抑制し、減衰量の大きい弾性表面波フィルタが得られる。
なお、本実施の形態では、上記縦結合共振子型弾性表面波フィルタ７０１と、縦結合共振子型弾性表面波フィルタ７０２とにおける設計は、交叉幅重み付けするリフレクタの電極指の本数を異ならせている点以外は同じ設計としたが、この設計は必要に応じて異ならせてもよい。
また、本実施の形態では、リフレクタ７０６、７０７と、リフレクタ７１１、７１２とで、交叉幅重み付けするリフレクタの電極指の本数を異ならせているが、例えば、図１８に示すように、縦結合共振子型弾性表面波フィルタ７０１、７０２のそれぞれのリフレクタ７０６、７０７と、リフレクタ７１１、７１２とで交叉幅重み付けする電極指の本数を同じ本数とし、交叉幅重み付けする方法が変わっていても同様の効果が得られる。
また、図１９に示すように、縦結合共振子型弾性表面波フィルタ７０１、７０２のそれぞれのリフレクタ７０６、７０７と、リフレクタ７１１、７１２とで交叉幅重み付けするリフレクタの電極指の本数を同じ本数とし、リフレクタ７０６、７０７と、リフレクタ７１１、７１２とで、電極指の総本数を異ならせてもよい。
また、図２０に示すように、縦結合共振子型弾性表面波フィルタ７０１、７０２のそれぞれのリフレクタ７０６、７０７と、リフレクタ７１１、７１２とで交叉幅重み付けするリフレクタの電極指の本数を同じ本数とし、リフレクタ７０６、７０７と、リフレクタ７１１、７１２とでｄｕｔｙを異ならせてもよい。また、図２１に示すように、リフレクタ７０６、７０７と、リフレクタ７１１、７１２とで電極指ピッチを異ならせてもよい。
また、図２２に示すように、リフレクタ７０６、７０７とそれぞれリフレクタ７０６、７０７に隣り合うＩＤＴ７０３、７０５との最外電極指中心間距離と、リフレクタ７１１、７１２とそれぞれリフレクタ７１１、７１２に隣り合うＩＤＴ７０８、７１０との最外電極指中心間距離とを異ならせてもよい。
また、図２３に示すように、リフレクタ７１１、７１２の一部において周囲の電極指に対する電極指幅（周囲の電極指間隔に対する電極指間隔）が異なる箇所を設けてもよい。また、図２４に示すように、リフレクタ７１１、７１２の一部において周囲の電極指に対するｄｕｔｙが異なる箇所を設けてもよい。
〔実施の形態４〕
本発明の他の実施の形態について図２５ないし図３５に基づいて説明すれば、以下の通りである。
本実施の形態における弾性表面波フィルタの構成を、図２５に示す。本実施の形態にかかる弾性表面波装置（弾性表面波フィルタ）８００は、２つの縦結合共振子型弾性表面波フィルタ（第１の弾性表面波素子）８０１および縦結合共振子型弾性表面波フィルタ（第２の弾性表面波素子）８０２、ならびに縦結合共振子型弾性表面波フィルタ８０１、８０２のそれぞれに直列に接続された弾性表面波共振子８０３、８０４を、圧電基板（図示せず）上に、備えている構成である。上記縦結合共振子型弾性表面波フィルタ８０１、８０２のそれぞれの入力端子は、並列に接続して不平衡信号端子８１５に接続されている。また、上記縦結合共振子型弾性表面波フィルタ８０１、８０２のそれぞれの出力端子は、それぞれ弾性表面波共振子８０３、８０４を介して平衡信号端子８１６、８１７に接続されている。上記縦結合共振子型弾性表面波フィルタ８０１、８０２、および弾性表面波共振子８０３、８０４は、Ａｌ電極により形成されている。そして、上記弾性表面波装置８００には、縦結合共振子型弾性表面波フィルタ８０１、８０２と用いて平衡−不平衡変換機能を持たせている。
縦結合共振子型弾性表面波フィルタ８０１の構成は、ＩＤＴ８０６を挟みこむようにＩＤＴ８０５、８０７が形成され、その両側にリフレクタ８０８、８０９が形成されている。上記リフレクタ８０８、７０９は、それぞれ電極指の一部に交叉幅重み付けが施されている。
縦結合共振子型弾性表面波フィルタ８０２の構成は、ＩＤＴ８１１を挟みこむようにＩＤＴ８１０、８１２が形成され、その両側にリフレクタ８１３、８１４が形成されている。上記リフレクタ８１３、８１４は、それぞれ電極指の一部に交叉幅重み付けが施されている。また、縦結合共振子型弾性表面波フィルタ８０２のＩＤＴ８１０およびＩＤＴ８１２の向きは、縦結合共振子型弾性表面波フィルタ８０１のＩＤＴ８０５およびＩＤＴ８０７に対して、交叉幅方向に反転させている。これにより、縦結合共振子型弾性表面波フィルタ８０２における入力信号に対する出力信号の位相は、縦結合共振子型弾性表面波フィルタ８０１に対して約１８０°反転されている。
上記弾性表面波共振子８０３、８０４は、共に同じ構成であり、それぞれＩＤＴを挟み込むように、両側にリフレクタが形成されている構成である。
上記弾性弾性表面波装置８００では、縦結合共振子型弾性表面波フィルタ８０１のリフレクタ８０８、８０９と、縦結合共振子型弾性表面波フィルタ８０２のリフレクタ８１３、８１４とで、交叉幅重み付けする電極指の本数を異ならせている。
つまり、上記縦結合共振子型弾性表面波フィルタ８０１と、縦結合共振子型弾性表面波フィルタ８０２とでは、リフレクタの設計および、ＩＤＴ８０５、８０７とＩＤＴ８１０、８１２の向き以外は、同じである。
上記の構成では、縦結合共振子型弾性表面波フィルタ８０１、８０２におけるリフレクタ８０８、８０９、８１３、８１４の電極指を交叉幅重み付けし、かつ、縦結合共振子型弾性表面波フィルタ８０１におけるリフレクタ８０８、８０９に対して、縦結合共振子型弾性表面波フィルタ８０２におけるリフレクタ８１３、８１４における交叉幅重み付けする電極指の本数を異ならせている。これにより、実施の形態１、２および３と同様に、従来よりも通過帯域低域側ごく近傍のスプリアスのレベルを抑制し、減衰量の大きい弾性表面波フィルタが得られる。
本実施の形態では、上記縦結合共振子型弾性表面波フィルタ８０１と、縦結合共振子型弾性表面波フィルタ８０２とにおける設計は、交叉幅重み付けするリフレクタの電極指の本数を異ならせている点、ＩＤＴの向きを変えた点以外は同じ設計としたが、この設計は必要に応じて異ならせてもよい。
上記の弾性表面波装置８００では、縦結合共振子型弾性表面波フィルタ８０１と、縦結合共振子型弾性表面波フィルタ８０２との入力端子を並列接続し、出力端子を直列接続したが、これはもちろん直列、並列を逆に接続してもよい。
また、図２６に示すように、縦結合共振子型弾性表面波フィルタ８０１と、縦結合共振子型弾性表面波フィルタ８０２とにおける入力端子および出力端子ともに並列に、それぞれ端子９０１、９０２に接続する構成でもよい。
また、図２７に示すように、縦結合共振子型弾性表面波フィルタ８０１と、縦結合共振子型弾性表面波フィルタ８０２とにおける入力端子および出力端子ともに、直列に、それぞれ端子１００１〜１００４に接続する構成でもよい。
上記弾性表面波装置８００では、リフレクタ８０８、８０９と、リフレクタ８１３、８１４とで、交叉幅重み付けする電極指の本数を異ならせたが、例えば、図２８に示すように、縦結合共振子型弾性表面波フィルタ８０１のリフレクタ８０８、８０９と、縦結合共振子型弾性表面波フィルタ８０２のリフレクタ８１３、８１４とで、交叉幅重み付けする電極指の本数は同じ本数で、交叉幅重み付けする方法が変わっていてもよい。
また、図２９に示すように、縦結合共振子型弾性表面波フィルタ８０１のリフレクタ８０８、８０９と、縦結合共振子型弾性表面波フィルタ８０２のリフレクタ８１３、８１４とで、交叉幅重み付けする電極指の本数は同じ本数で、リフレクタ８０８、８０９と、リフレクタ８１３、８１４とで電極指の総本数を異ならせてもよい。
また、図３０に示すように、縦結合共振子型弾性表面波フィルタ８０１、８０２のそれぞれのリフレクタ８０８、８０９と、リフレクタ８１３、８１４とで交叉幅重み付けするリフレクタの電極指の本数を同じ本数とし、リフレクタ８０８、８０９と、リフレクタ８１３、８１４とでｄｕｔｙを異ならせてもよい。
また、図３１に示すように、リフレクタ８０８、８０９と、リフレクタ８１３、８１４とで電極指ピッチを異ならせてもよい。また、図３２に示すように、リフレクタ８０８、８０９とそれぞれリフレクタ８０８、８０９に隣り合うＩＤＴ８０５、８０７との最外電極指中心間距離と、リフレクタ８１３、８１４とそれぞれリフレクタ８１３、８１４に隣り合うＩＤＴ８１０、８１２との最外電極指中心間距離とを異ならせてもよい。
また、図３３に示すように、リフレクタ８１３、８１４の一部において周囲の電極指に対する電極指幅（周囲の電極指間隔に対する電極指間隔）が異なる箇所を設けてもよい。また、図３４に示すように、リフレクタ８１３、８１４の一部において周囲の電極指に対するｄｕｔｙが異なる箇所を設けてもよい。
また、図３５に示すように、縦結合共振子型弾性表面波フィルタ１１０１、１１０２に、それぞれ縦結合共振子型弾性表面波フィルタ１１０３、１１０４をカスケード接続した構成においても、縦結合共振子型弾性表面波フィルタ１１０１、１１０３におけるリフレクタと、縦結合共振子型弾性表面波フィルタ１１０２、１１０４におけるリフレクタとを上記と同様の構成することにより、上記の実施の形態の効果を得ることができる。
次に、上記実施の形態に記載の弾性表面波装置を用いた通信装置について図３６に基づき説明する。上記通信装置６００は、受信を行うレシーバ側（Ｒｘ側）として、アンテナ６０１、アンテナ共用部／ＲＦＴｏｐフィルタ６０２、アンプ６０３、Ｒｘ段間フィルタ６０４、ミキサ６０５、１ｓｔＩＦフィルタ６０６、ミキサ６０７、２ｎｄＩＦフィルタ６０８、１ｓｔ＋２ｎｄローカルシンセサイザ６１１、ＴＣＸＯ（temperature compensated crystal oscillator（温度補償型水晶発振器））６１２、デバイダ６１３、ローカルフィルタ６１４を備えて構成されている。
Ｒｘ段間フィルタ６０４からミキサ６０５へは、図３６に二本線で示したように、バランス性を確保するために各平衡信号にて送信することが好ましい。
また、上記通信装置６００は、送信を行うトランミッタ側（Ｔｘ側）として、上記アンテナ６０１及び上記アンテナ共用部／ＲＦＴｏｐフィルタ６０２を共用するとともに、ＴｘＩＦフィルタ６２１、ミキサ６２２、Ｔｘ段間フィルタ６２３、アンプ６２４、カプラ６２５、アイソレータ６２６、ＡＰＣ（automatic power control （自動出力制御））６２７を備えて構成されている。
そして、上記のＲｘ段間フィルタ６０４、１ｓｔＩＦフィルタ６０６、ＴｘＩＦフィルタ６２１、Ｔｘ段間フィルタ６２３には、上述した本実施の形態に記載の弾性表面波装置が好適に利用できる。
本発明にかかる弾性表面波装置は、通過帯域外の、通過帯域近傍における減衰特性も良好で、特に通過帯域低域側の減衰量が大きいという優れた特性を有するものである。よって、上記弾性表面波装置を有する本発明の通信装置は、伝送特性を向上できるものとなっている。
本発明は上述した各実施形態に限定されるものではなく、請求項に示した範囲で種々の変更が可能であり、異なる実施形態にそれぞれ開示された技術的手段を適宜組み合わせて得られる実施形態についても本発明の技術的範囲に含まれる。
本発明の弾性表面波装置は、通過帯域外の、通過帯域近傍における減衰特性も良好で、特に通過帯域低域側の減衰量が大きいという優れた特性を有するものである。よって、上記弾性表面波装置を有する本発明の通信装置は、伝送特性を向上できて、通信分野に好適に利用できる。
実施の形態１にかかる弾性表面波装置の概略の構成を示す平面図である。 パッケージに収納されている本実施の形態にかかる弾性表面波装置の要部の断面図である。 比較例の弾性表面波装置の概略の構成を示す平面図である。 上記実施の形態にかかる実施例１の弾性表面波装置および比較例１にかかる弾性表面波装置における、周波数−伝送特性（周波数−挿入損失特性）を示すグラフである。 上記実施の形態にかかる弾性表面波装置の構成の等価回路である。 上記実施の形態にかかる弾性表面波装置の一変形例の構成を示す平面図である。 上記実施の形態にかかる弾性表面波装置の他の変形例の構成を示す平面図である。 本実施の形態の弾性表面波装置の一製造プロセスを示す断面図である。 本実施の形態の弾性表面波装置の他の製造プロセスを示す断面図である。 実施の形態２にかかる弾性表面波装置の概略の構成を示す平面図である。 上記実施の形態にかかる実施例２の弾性表面波装置および比較例１にかかる弾性表面波装置における、周波数−伝送特性（周波数−挿入損失特性）を示すグラフである。 上記実施の形態にかかる弾性表面波装置の一変形例の構成を示す平面図である。 上記実施の形態にかかる弾性表面波装置の他の変形例の構成を示す平面図である。 上記実施の形態にかかる弾性表面波装置のさらに他の変形例の構成を示す平面図である。 上記実施の形態にかかる弾性表面波装置のさらに他の変形例の構成を示す平面図である。 上記実施の形態にかかる弾性表面波装置のさらに他の変形例の構成を示す平面図である。 実施の形態３にかかる弾性表面波装置の概略の構成を示す平面図である。 上記実施の形態にかかる弾性表面波装置の一変形例の構成を示す平面図である。 上記実施の形態にかかる弾性表面波装置の他の変形例の構成を示す平面図である。 上記実施の形態にかかる弾性表面波装置のさらに他の変形例の構成を示す平面図である。 上記実施の形態にかかる弾性表面波装置のさらに他の変形例の構成を示す平面図である。 上記実施の形態にかかる弾性表面波装置のさらに他の変形例の構成を示す平面図である。 上記実施の形態にかかる弾性表面波装置のさらに他の変形例の構成を示す平面図である。 上記実施の形態にかかる弾性表面波装置のさらに他の変形例の構成を示す平面図である。 実施の形態４にかかる弾性表面波装置の概略の構成を示す平面図である。 上記実施の形態にかかる弾性表面波装置の一変形例の構成を示す平面図である。 上記実施の形態にかかる弾性表面波装置の他の変形例の構成を示す平面図である。 上記実施の形態にかかる弾性表面波装置のさらに他の変形例の構成を示す平面図である。 上記実施の形態にかかる弾性表面波装置のさらに他の変形例の構成を示す平面図である。 上記実施の形態にかかる弾性表面波装置のさらに他の変形例の構成を示す平面図である。 上記実施の形態にかかる弾性表面波装置のさらに他の変形例の構成を示す平面図である。 上記実施の形態にかかる弾性表面波装置のさらに他の変形例の構成を示す平面図である。 上記実施の形態にかかる弾性表面波装置のさらに他の変形例の構成を示す平面図である。 上記実施の形態にかかる弾性表面波装置のさらに他の変形例の構成を示す平面図である。 上記実施の形態にかかる弾性表面波装置のさらに他の変形例の構成を示す平面図である。 上記実施の形態の弾性表面波装置を用いた通信装置の要部ブロック図である。 上記実施の形態にかかる弾性表面波装置のさらに他の変形例の構成を示す平面図である。 上記実施の形態にかかる弾性表面波装置のさらに他の変形例の構成を示す平面図である。 従来の弾性表面波装置の概略の構成を示す平面図である。 上記従来の弾性表面波装置におけるリフレクタの反射特性を示す図である。
符号の説明
２０１ 縦結合共振子型弾性表面波フィルタ（弾性表面波素子）
２０３、２０４、２０５ ＩＤＴ（くし型電極部）
２０６ リフレクタ（第１のリフレクタ）
２０７ リフレクタ（第２のリフレクタ）
７０１ 縦結合共振子型弾性表面波フィルタ（第１の弾性表面波素子）
７０２ 縦結合共振子型弾性表面波フィルタ（第２の弾性表面波素子）
７０３、７０４、７０５ ＩＤＴ（くし型電極部）
７０８、７０９、７１０ ＩＤＴ（くし型電極部）
７０６、７０７ リフレクタ
７１１、７１２ リフレクタ
８０１ 縦結合共振子型弾性表面波フィルタ（第１の弾性表面波素子）
８０２ 縦結合共振子型弾性表面波フィルタ（第２の弾性表面波素子）
８０５、８０６、８０７ ＩＤＴ（くし型電極部）
８１０、８１１、８１２ ＩＤＴ（くし型電極部）
８０８、８０９ リフレクタ
８１３、８１４ リフレクタ

Claims (23)

  1. 圧電基板上に、弾性表面波の伝搬方向に沿って配置されている少なくとも２つのくし型電極部と、該くし型電極部を上記伝搬方向に沿って挟み込む第１、第２のリフレクタとを有する弾性表面波装置において、
    前記第１、第２のリフレクタの電極指の一部が交叉幅重み付けされており、
    第１のリフレクタと第２のリフレクタとで、交叉幅重み付けされている電極指の本数が異なっていることを特徴とする弾性表面波装置。
  2. 圧電基板上に、弾性表面波の伝搬方向に沿って配置されている少なくとも２つのくし型電極部と、該くし型電極部を上記伝搬方向に沿って挟み込む第１、第２のリフレクタとを有する弾性表面波装置において、
    前記第１、第２のリフレクタの少なくとも一方における一部の電極指が交叉幅重み付けされており、
    かつ、第１のリフレクタと第２のリフレクタとで、電極指の本数が異なっていることを特徴とする弾性表面波装置。
  3. 圧電基板上に、弾性表面波の伝搬方向に沿って配置されている少なくとも２つのくし型電極部と、該くし型電極部を上記伝搬方向に沿って挟み込む第１、第２のリフレクタとを有する弾性表面波装置において、
    前記第１、第２のリフレクタの少なくとも一方における一部の電極指が交叉幅重み付けされており、
    かつ、第１のリフレクタと第２のリフレクタとで、電極指のｄｕｔｙが異なっていることを特徴とする弾性表面波装置。
  4. 圧電基板上に、弾性表面波の伝搬方向に沿って配置されている少なくとも２つのくし型電極部と、該くし型電極部を上記伝搬方向に沿って挟み込む第１、第２のリフレクタとを有する弾性表面波装置において、
    前記第１、第２のリフレクタの少なくとも一方における一部の電極指が交叉幅重み付けされており、
    かつ、第１のリフレクタと第２のリフレクタとで、電極指ピッチが異なっていることを特徴とする弾性表面波装置。
  5. 圧電基板上に、弾性表面波の伝搬方向に沿って配置されている少なくとも２つのくし型電極部と、該くし型電極部を上記伝搬方向に沿って挟み込む第１、第２のリフレクタとを有する弾性表面波装置において、
    前記第１、第２のリフレクタの少なくとも一方における一部の電極指が交叉幅重み付けされており、
    かつ、第１のリフレクタに隣り合うくし型電極部との最外電極指中心間距離と、第２のリフレクタに隣り合うくし型電極部との最外電極指中心間距離とが異なっていることを特徴とする弾性表面波装置。
  6. 圧電基板上に、弾性表面波の伝搬方向に沿って配置されている少なくとも２つのくし型電極部と、該くし型電極部を上記伝搬方向に沿って挟み込む第１、第２のリフレクタとを有する弾性表面波装置において、
    前記第１、第２のリフレクタの少なくとも一方における一部の電極指が交叉幅重み付けされており、
    かつ、第１、第２のリフレクタにおける１箇所以上で、周囲の電極指に対する電極指幅または周囲の電極指間隔に対する電極指間隔が異なっていることを特徴とする弾性表面波装置。
  7. 圧電基板上に、弾性表面波の伝搬方向に沿って配置されている少なくとも２つのくし型電極部と、該くし型電極部を上記伝搬方向に沿って挟み込む第１、第２のリフレクタとを有する弾性表面波装置において、
    前記第１、第２のリフレクタの少なくとも一方における一部の電極指が交叉幅重み付けされており、
    かつ、第１、第２のリフレクタにおける１箇所以上で、周囲の電極指に対するｄｕｔｙが異なっていることを特徴とする弾性表面波装置。
  8. 圧電基板上に、弾性表面波の伝搬方向に沿って形成された少なくとも２つのくし型電極部と、該くし型電極部を上記伝搬方向に沿って挟み込むリフレクタとを有する第１、第２の弾性表面波素子を、カスケード接続してなる弾性表面波装置において、
    前記第１、第２の弾性表面波素子におけるリフレクタの一部の電極指が交叉幅重み付けされており、
    かつ、第１の弾性表面波素子におけるリフレクタと第２の弾性表面波素子におけるリフレクタとで、交叉幅重み付けされている電極指の本数が異なっていることを特徴とする弾性表面波装置。
  9. 圧電基板上に、弾性表面波の伝搬方向に沿って形成された少なくとも２つのくし型電極部と、該くし型電極部を上記伝搬方向に沿って挟み込むリフレクタとを有する第１、第２の弾性表面波素子を、カスケード接続してなる弾性表面波装置において、
    第１、第２の弾性表面波素子のリフレクタの、少なくとも一方における一部の電極指が交叉幅重み付けされており、
    かつ、第１の弾性表面波素子におけるリフレクタと第２の弾性表面波素子におけるリフレクタとで、電極指の本数が異なっていることを特徴とする弾性表面波装置。
  10. 圧電基板上に、弾性表面波の伝搬方向に沿って形成された少なくとも２つのくし型電極部と、該くし型電極部を上記伝搬方向に沿って挟み込むリフレクタとを有する第１、第２の弾性表面波素子を、カスケード接続してなる弾性表面波装置において、
    第１、第２の弾性表面波素子のリフレクタの、少なくとも一方における一部の電極指が交叉幅重み付けされており、
    かつ、第１の弾性表面波素子におけるリフレクタと第２の弾性表面波素子におけるリフレクタとで、電極指のｄｕｔｙが異なっていることを特徴とする弾性表面波装置。
  11. 圧電基板上に、弾性表面波の伝搬方向に沿って形成された少なくとも２つのくし型電極部と、該くし型電極部を上記伝搬方向に沿って挟み込むリフレクタとを有する第１、第２の弾性表面波素子を、カスケード接続してなる弾性表面波装置において、
    第１、第２の弾性表面波素子のリフレクタの、少なくとも一方における一部の電極指が交叉幅重み付けされており、
    かつ、第１の弾性表面波素子におけるリフレクタと第２の弾性表面波素子におけるリフレクタとで、電極指のピッチが異なっていることを特徴とする弾性表面波装置。
  12. 圧電基板上に、弾性表面波の伝搬方向に沿って形成された少なくとも２つのくし型電極部と、該くし型電極部を上記伝搬方向に沿って挟み込むリフレクタとを有する第１、第２の弾性表面波素子を、カスケード接続してなる弾性表面波装置において、
    第１、第２の弾性表面波素子のリフレクタの、少なくとも一方における一部の電極指が交叉幅重み付けされており、
    かつ、第１の弾性表面波素子と第２の弾性表面波素子とで、リフレクタとリフレクタに隣り合うくし型電極部との最外電極指中心間距離が異なっていることを特徴とする弾性表面波装置。
  13. 圧電基板上に、弾性表面波の伝搬方向に沿って形成された少なくとも２つのくし型電極部と、該くし型電極部を上記伝搬方向に沿って挟み込むリフレクタとを有する第１、第２の弾性表面波素子を、カスケード接続してなる弾性表面波装置において、
    第１、第２の弾性表面波素子のリフレクタの、少なくとも一方における一部の電極指が交叉幅重み付けされており、
    かつ、第１、第２の弾性表面波素子のリフレクタにおける１箇所以上で、周囲の電極指に対する電極指幅または周囲の電極指間隔に対する電極指間隔が異なっていることを特徴とする弾性表面波装置。
  14. 圧電基板上に、弾性表面波の伝搬方向に沿って形成された少なくとも２つのくし型電極部と、該くし型電極部を上記伝搬方向に沿って挟み込むリフレクタとを有する第１、第２の弾性表面波素子を、カスケード接続してなる弾性表面波装置において、
    第１、第２の弾性表面波素子のリフレクタの、少なくとも一方における一部の電極指が交叉幅重み付けされており、
    かつ、第１、第２の弾性表面波素子のリフレクタにおける１箇所以上で、周囲の電極指に対するｄｕｔｙが異なっていることを特徴とする弾性表面波装置。
  15. 圧電基板上に、弾性表面波の伝搬方向に沿って形成された少なくとも２つのくし型電極部と、該くし型電極部を上記伝搬方向に沿って挟み込むリフレクタとを有する第１、第２の弾性表面波素子を備え、
    第１の弾性表面波素子および第２の弾性表面波素子の入力端子同士、出力端子同士の少なくとも一方が接続されている弾性表面波装置において、
    第１、第２の弾性表面波素子のリフレクタの、少なくとも一方における一部の電極指が交叉幅重み付けされており、
    かつ、第１、第２の弾性表面波素子のリフレクタにおける少なくとも１箇所以上で、周囲の電極指に対するｄｕｔｙが異なっていることを特徴とする弾性表面波装置。
  16. 第１の弾性表面波素子のリフレクタと第２の弾性表面波素子のリフレクタとで、交叉幅重み付けされている電極指の本数が異なっていることを特徴とする請求項１５に記載の弾性表面波装置。
  17. 圧電基板上に、弾性表面波の伝搬方向に沿って形成された少なくとも２つのくし型電極部と、該くし型電極部を上記伝搬方向に沿って挟み込むリフレクタとを有する第１、第２の弾性表面波素子を備え、
    第１の弾性表面波素子および第２の弾性表面波素子の入力端子同士、出力端子同士が接続されている弾性表面波装置において、
    第１、第２の弾性表面波素子のリフレクタの、少なくとも一方における一部の電極指が交叉幅重み付けされており、
    かつ、第１の弾性表面波素子のリフレクタと第２の弾性表面波素子のリフレクタとで、電極指の本数が異なっていることを特徴とする弾性表面波装置。
  18. 圧電基板上に、弾性表面波の伝搬方向に沿って形成された少なくとも２つのくし型電極部と、該くし型電極部を上記伝搬方向に沿って挟み込むリフレクタとを有する第１、第２の弾性表面波素子を備え、
    第１の弾性表面波素子および第２の弾性表面波素子の入力端子同士、出力端子同士が接続されている弾性表面波装置において、
    第１、第２の弾性表面波素子のリフレクタの、少なくとも一方における一部の電極指が交叉幅重み付けされており、
    かつ、第１の弾性表面波素子のリフレクタと第２の弾性表面波素子のリフレクタとで、電極指のｄｕｔｙが異なっていることを特徴とする弾性表面波装置。
  19. 圧電基板上に、弾性表面波の伝搬方向に沿って形成された少なくとも２つのくし型電極部と、該くし型電極部を上記伝搬方向に沿って挟み込むリフレクタとを有する第１、第２の弾性表面波素子を備え、
    第１の弾性表面波素子および第２の弾性表面波素子の入力端子同士、出力端子同士が接続されている弾性表面波装置において、
    第１、第２の弾性表面波素子のリフレクタの、少なくとも一方における一部の電極指が交叉幅重み付けされており、
    かつ、第１の弾性表面波素子と第２の弾性表面波素子とで、リフレクタとリフレクタに隣り合うくし型電極部との最外電極指中心間距離が異なっていることを特徴とする弾性表面波装置。
  20. 圧電基板上に、弾性表面波の伝搬方向に沿って形成された少なくとも２つのくし型電極部と、該くし型電極部を上記伝搬方向に沿って挟み込むリフレクタとを有する第１、第２の弾性表面波素子を備え、
    第１の弾性表面波素子および第２の弾性表面波素子の入力端子同士、出力端子同士が接続されている弾性表面波装置において、
    第１、第２の弾性表面波素子のリフレクタの、少なくとも一方における一部の電極指が交叉幅重み付けされており、
    かつ、第１、第２の弾性表面波素子のリフレクタにおける１箇所以上で、周囲の電極指に対する電極指幅または周囲の電極指間隔に対する電極指間隔が異なっていることを特徴とする弾性表面波装置。
  21. 圧電基板上に、弾性表面波の伝搬方向に沿って形成された少なくとも２つのくし型電極部と、該くし型電極部を上記伝搬方向に沿って挟み込むリフレクタとを有する第１、第２の弾性表面波素子を備え、
    第１の弾性表面波素子および第２の弾性表面波素子の入力端子同士、出力端子同士が接続されている弾性表面波装置において、
    第１、第２の弾性表面波素子のリフレクタの、少なくとも一方における一部の電極指が交叉幅重み付けされており、
    かつ、第１、第２の弾性表面波素子のリフレクタにおける１箇所以上で、周囲の電極指に対するｄｕｔｙが異なっていることを特徴とする弾性表面波装置。
  22. 前記圧電基板が、フェイスダウン工法でパッケージ内に収納されていることを特徴とする請求項１ないし２１のいずれか１項に記載の弾性表面波装置。
  23. 請求項１ないし２２のいずれか１項に記載の弾性表面波装置を有することを特徴とする通信装置。

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