JP2004200914A - 圧電デバイス、及び圧電デバイスを利用した携帯電話装置、電子機器 - Google Patents
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Abstract
【課題】小型に形成しても、圧電振動片の振動漏れを防止することにより、製品のばらつきを抑え、優れた振動特性を備えた圧電デバイス、及び圧電デバイスを利用した携帯電話装置、電子機器を提供すること。
【解決手段】基部５１から平行に延びる一対の振動腕３４，３５を有し、この一対の振動腕のそれぞれに長手方向に沿って延びる長溝９０，９０が形成されている圧電振動片３２と、基部５１の一部を接着剤４３を介して支持固定するようにして、圧電振動片３２を内部に収容するパッケージ３６とを備える圧電デバイスであって、基部５１は、厚みが均一であって、接着剤４３により固定された箇所と振動腕３４，３５との間の領域に孔６０が設けられていることを特徴とする。
【選択図】 図１
【解決手段】基部５１から平行に延びる一対の振動腕３４，３５を有し、この一対の振動腕のそれぞれに長手方向に沿って延びる長溝９０，９０が形成されている圧電振動片３２と、基部５１の一部を接着剤４３を介して支持固定するようにして、圧電振動片３２を内部に収容するパッケージ３６とを備える圧電デバイスであって、基部５１は、厚みが均一であって、接着剤４３により固定された箇所と振動腕３４，３５との間の領域に孔６０が設けられていることを特徴とする。
【選択図】 図１
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、圧電デバイス、及び圧電デバイスを利用した携帯電話装置、電子機器に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
図２１は、従来の圧電デバイスである例えば圧電振動子１００の平面図であり、図２２は、図２１のＡ−Ａ線切断断面図、図２３は、図２１のＢ−Ｂ線切断端面図である。
これらの図において、圧電デバイスである例えば圧電振動子１００は、パッケージ１１０に圧電振動片１２０が収容されている。
【０００３】
パッケージ１１０は、上部の開放端面に蓋体１１８が載置されて、所定の内部空間Ｓを有し、この内部空間Ｓに面する底面には、圧電振動片１２０に駆動電圧を印加するための電極１１２，１１２が設けられている。そして、この電極１１２，１１２の上には、例えば導電性接着剤１１４，１１４が塗布され、この導電性接着剤１１４，１１４の上に、圧電振動片１２０の基部１２０ａが載置されている。このようにして、圧電振動子１００は、圧電振動片１２０の基部１２０ａの一部を、導電性接着剤１１４，１１４を介して、パッケージ１１０に支持固定している。
【０００４】
圧電振動片１２０は、例えば水晶基板により形成され、この場合、基部１２０ａから平行に延びる一対の振動腕１２２，１２４を有し、振動腕１２２，１２４には、それぞれ長手方向に沿って延びる長溝１３０，１３０が形成されている所謂音叉型圧電振動片となっている。
この圧電振動片１２０の基部１２０ａであり、導電性接着剤１１４，１１４と触れる部分には、駆動電圧を伝えるための引出電極１１６，１１６が形成され、この引出電極１１６，１１６は、振動腕１２２，１２４のそれぞれに設けられた励振電極（図示せず）と電気的に接続されている。
【０００５】
このようにして、圧電振動子１００は、電極１１２，１１２、導電性接着剤１１４，１１４、引出電極１１６，１１６、及び励振電極（図示せず）を介して、振動腕１２２，１２４のそれぞれに所定の駆動電圧を交互に印加し、振動腕１２２，１２４が、水平方向（図２１に示すｘ，ｙ方向）に振動するようになっている。そして、圧電振動片１２０から所定の振動周波数の信号を取り出すようになっている。
【０００６】
【特許文献１】特開２００１−３３２９５２
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、振動腕１２２，１２４に印加される電圧は、それぞれ図２４（ａ）と図２４（ｂ）に示されているように、逆位相となっている。従って、理想的な形状を有していれば、少なくとも、振動腕１２２，１２４からそれぞれ等距離にある基部１２０ａの短手方向の中心ＣＬにおいては、振動腕１２２の振動と、振動腕１２４の振動とが打ち消し合い、振動漏れは生じない。
【０００８】
ところが、上述した圧電振動片１２０は、例えばエッチングすることにより製造され、各振動腕１２２，１２４は極めて小さく細いため、図２３に示すように、振動腕１２２と振動腕１２４の形状、さらに振動腕１２２，１２４に設ける長溝１３０，１３０を精度よく形成することは極めて困難である。このため、振動腕１２２，１２４は、水平方向に理想的な振動をさせることが難しく、垂直方向（図２１に示すｚ方向）の振動が加って、振動腕１２２，１２４は複雑な振動をしてしまう。
【０００９】
したがって、振動腕１２２，１２４の振動は、基部１２０ａの導電性接着剤１１４，１１４により固定された箇所に伝達され、所謂振動漏れが発生してしまう。そして、この振動漏れは、圧電振動片１２０の振動特性に大きな影響を与える。すなわち、振動漏れがあると、基部１２０ａの導電性接着剤１１４，１１４により固定された箇所にも振動が発生するため、クリスタルインピーダンス値（以下、「ＣＩ値」と云う。）が高くなるという問題がおきる。
【００１０】
また、基部１２０ａを長くすれば、このような弊害を防止できるが、基部１２０ａを長くすると、圧電振動片１２０を小型化することができなくなる。
また、圧電振動片１２０の小型化に伴い、振動腕１２２，１２４の形状を、各製品毎に同一に形成することは極めて困難であり、このため、上述のような振動漏れの状況も製品毎に異なり、ＣＩ値が、製造した各圧電振動片１２０毎にばらついてしまうことにもなる。
【００１１】
本発明の目的は、上述の課題を解決するためのものであり、小型に形成しても、圧電振動片の振動漏れを防止することにより、製品のＣＩ値品質などのばらつきを抑え、優れた振動特性を備えた圧電デバイス、及び圧電デバイスを利用した携帯電話装置、電子機器を提供することを目的とする。
【００１２】
【課題を解決するための手段】
上記目的は、第１の発明によれば、基部から平行に延びる一対の振動腕を有し、この一対の振動腕のそれぞれに長手方向に沿って延びる長溝が形成されている圧電振動片と、前記基部の一部を接着剤を介して支持固定するようにして、前記圧電振動片を内部に収容するパッケージとを備える圧電デバイスであって、前記基部は、厚みが均一であって、前記接着剤により固定された箇所と前記振動腕との間の領域に孔が設けられていることを特徴とする圧電デバイスにより達成される。
【００１３】
第１の発明の構成によれば、圧電デバイスは、基部から平行に延びる一対の振動腕を有し、この一対の振動腕のそれぞれに長手方向に沿って延びる長溝が形成されている圧電振動片と、基部の一部を接着剤を介して支持固定するようにして、圧電振動片を内部に収容するパッケージとを備えている。このため、パッケージに固定されていない一対の振動腕は、所定の電圧を印加されることで振動し、この振動は基部に伝達される。
ところが、基部は、厚みが均一であって、接着剤により固定された箇所と振動腕との間の領域に孔が設けられている。そうすると、孔の周辺は構造的に弱い部分となり、振動腕から伝達された振動により生じる基部の応力は、孔の周辺に集中し、基部の接着剤により固定された箇所については、応力が小さくなる。このため、振動が基部の接着剤により固定された箇所に漏れ込むことを有効に防止できる。
したがって、小型に形成しても、圧電振動片の振動漏れを防止することにより、製品のＣＩ値品質などのばらつきを抑え、優れた振動特性を備えた圧電デバイス、及び圧電デバイスを利用した携帯電話装置、電子機器を提供できる。
【００１４】
第２の発明は、第１の発明の構成において、前記孔は、前記複数の振動腕のそれぞれの根元付近に形成されていることを特徴とする。
第２の発明の構成によれば、孔は、複数の振動腕のそれぞれの根元付近に形成されている。このため、振動腕の振動は、複数の振動腕の各々の根元を通って基部に伝達されるので、振動腕の振動により生じた応力を、より孔の周辺に集中させ易く、基部の孔以外の部位に振動が逃げてしまうことを有効に防止できる。
【００１５】
第３の発明は、第１の発明の構成において、前記孔は、前記圧電振動片の短手方向の両側壁側に細枠を残すようにして、前記短手方向に沿って設けた長孔により形成されていることを特徴とする。
このため、第１の発明と同様に、基部のうち細枠の部分が構造的に弱い部分となり、この細枠の周辺に、より応力が集中することになる。したがって、第１の発明に比べて、より振動が基部の接着剤により固定された箇所に漏れることを防止できる。
【００１６】
第４の発明は、第３の発明の構成において、前記長孔は、複数形成されていることを特徴とする。
そうすると、振動腕の振動により生ずる基部の応力は、第３の発明に比べて、複数の長孔の周辺により集中する。このため、基部全体における応力は一定であるため、接着剤により固定された箇所における応力は相対的に小さくなる。したがって、第３の発明に比べて、基部から接着剤により固定された箇所に振動が漏れることをより有効に防止できる。
【００１７】
第５の発明は、第１ないし第４の発明のいずれかの構成において、前記孔は、前記基部の厚み方向に貫通していることを特徴とする。
このため、第１ないし第４の発明の構成に比べて、孔の周辺は、より構造的に弱い部分となり、振動腕の振動により生じた応力は、より孔の周辺に集中する。したがって、基部の接着剤により固定された箇所に、振動が漏れることをより有効に防止できる。
【００１８】
第６の発明は、第１ないし第４の発明のいずれかの構成において、前記孔が有底の孔であることを特徴とする。
このため、第５の発明に比べて、基部の剛性を上げることができる。したがって、例えば圧電デバイスの落下によって圧電振動片の基部が振れてしまうことを有効に防止し、振動腕の振動特性に対する影響を小さくできる。
【００１９】
第７の発明は、第６の発明の構成において、前記有底の孔は、前記基部の表面および裏面に設けられていることを特徴とする。
このため、振動腕の振動により生じた応力は、基部の表面および裏面に設けられた有底の孔の周辺に集中し、第６の発明に比べて、基部の接着剤により固定された箇所に振動が伝達され難くなる。
【００２０】
また、上記目的は、第９の発明によれば、基部から平行に延びる一対の振動腕を有し、この一対の振動腕のそれぞれに長手方向に沿って延びる長溝が形成されている圧電振動片と、前記基部の一部を接着剤を介して支持固定するようにして、前記圧電振動片を内部に収容するパッケージとを備える圧電デバイスにより、制御用のクロック信号を得るようにした携帯電話装置であって、前記圧電デバイスの前記基部は、厚みが均一であって、前記接着剤により固定された箇所と前記振動腕との間の領域に孔が設けられている携帯電話装置により達成される。
【００２１】
また、上記目的は、第１０の発明によれば、基部から平行に延びる一対の振動腕を有し、この一対の振動腕のそれぞれに長手方向に沿って延びる長溝が形成されている圧電振動片と、前記基部の一部を接着剤を介して支持固定するようにして、前記圧電振動片を内部に収容するパッケージとを備える圧電デバイスにより制御用のクロック信号を得るようにした電子機器であって、前記圧電デバイスの前記基部は、厚みが均一であって、前記接着剤により固定された箇所と前記振動腕との間の領域に孔が設けられている電子機器により達成される。
【００２２】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の好適な実施の形態を添付図面に基づいて詳細に説明する。
なお、以下に述べる実施の形態は、本発明の好適な具体例であるから、技術的に好ましい種々の限定が付されているが、本発明の範囲は、以下の説明において特に本発明を限定する旨の記載がない限り、これらの形態に限られるものではない。
【００２３】
図１は、本発明の第１の実施形態にかかる圧電デバイスである例えば圧電振動子３０の概略斜視図であり、図２は、この圧電振動子３０のＣ−Ｃ線切断断面図である。また、図３は圧電振動片３２の平面図、図４は図３のＤ−Ｄ線切断端面図、図５は図３のＦ−Ｆ線切断端面図である。
これらの図において、圧電振動子３０は、パッケージ３６内に圧電振動片３２を収容している。
【００２４】
パッケージ３６は、例えば、絶縁材料として、酸化アルミニウム質のセラミックグリーンシートを成型して形成される複数の基板を積層した後に、焼結して形成されている。すなわち、図２に示されるように、この実施形態では、パッケージ３６は、下から第１の積層基板３６ａ、第２の積層基板３６ｂを重ねて形成されている。そして、第２の積層基板３６ｂの内側に所定の孔を形成することで、第２の積層基板３６ｂを第１の積層基板３６ａに積層した場合に、圧電振動片３２を収容する所定の内部空間Ｓ１を形成するようにされている。
また、パッケージ３６の開放された上端にある開放端面３６ｃに、例えば、低融点ガラス等のロウ材３８を介して、蓋体３９が接合されることにより、封止されている。
【００２５】
パッケージ３６の内部空間Ｓ１内の図２における左端部付近において、内部空間Ｓ１に露出して底部を構成するベースとなる第１の積層基板３６ａには、ＡｕまたはＮｉメッキが施された電極部３１，３１が形成されている。この電極部３１，３１は、外部と接続されて、駆動電圧を供給するものであり、図１に示すように、内部空間Ｓ１内の長手方向の側面に接して、所定の間隔を隔てて形成されている。
【００２６】
この所定の間隔を隔てた電極部３１，３１の上には、接着剤である例えば導電性接着剤４３，４３が塗布されている。導電性接着剤４３，４３としては、接合力を発揮する接着剤成分としての合成樹脂剤に、銀製の細粒等の導電性の粒子を含有させたエポキシ系またはポリイミド系、またはシリコーン系導電性接着剤等を利用することができる。
【００２７】
そして、この導電性接着剤４３，４３の上に、基部５１の振動腕３４，３５と反対側の端部（図２において左端部）５１ｂであって、基部５１の幅方向両端付近が対向するようにして、圧電振動片３２が載置されている。
このようにして、圧電振動片３２の基部５１の一部は、導電性接着剤４３，４３を介してパッケージ３６に支持固定され、また、パッケージ３６に設けた電極部３１，３１が、圧電振動片３２に駆動電圧を供給するようになっている。
【００２８】
圧電振動片３２は、例えば水晶で形成されており、水晶以外にもタンタル酸リチウム、ニオブ酸リチウム等の圧電材料を利用することができる。本実施形態の場合、圧電振動片３２は、小型に形成して、必要な性能を得るために、特に図示する形状とされている。
すなわち、圧電振動片３２は、導電性接着剤４３，４３によりパッケージ３６と固定される基部５１から、図３において右方に向けて、二股に別れて平行に延びる一対の振動腕３４，３５を備えており、全体が音叉のような形状とされた、所謂、音叉型圧電振動片が利用されている。
【００２９】
振動腕３４，３５は、図１ないし図３に示すように、それぞれに圧電振動片３２の長手方向に沿って延びる長溝９０，９０が設けられている。この長溝９０，９０は、図４に示すように、振動腕３４，３５の上面および下面に設けられており、長溝９０，９０を設けた振動腕３４，３５の断面形状を略Ｈ型としている。このような長溝９０，９０を設けることで、図４に示すように、振動腕３４，３５に厚みが薄い箇所が形成され、振動腕３４，３５内の電界が厚み方向Ｅに沿って、効率よく発生するため、圧電振動片３２の電界効率を高めることができる。このため、長溝９０，９０を設けることで、圧電振動片３２のクリスタルインピーダンス値（以下、「ＣＩ値」と云う。）を低く抑えることができる。したがって、このような圧電振動片３２のＣＩ値を、従来の圧電振動片と同様のＣＩ値となるように形成して、振動腕３４，３５の長さを短くして、圧電振動片３２を小型化できる。
【００３０】
基部５１は、図１および図２に示すように、表面と裏面（図２において、導電性接着剤４３，４３と主に接触している面）とが平行に形成されて、厚みが均一になっている。また、基部５１は、図３に示すように、圧電振動片３２の短手方向の端面５１ａ，５１ａが対称となっており、この端面５１ａ，５１ａと、圧電振動片３２の長手方向であって振動腕３４，３５と反対側の端面５１ｂとが交わる部分は垂直となっている。また、端面５１ａ，５１ａと振動腕３４，３５とが交わる付近５１ｃは、基部５１の幅が振動腕３４，３５に向かうにつれて狭まっている。
このような基部５１において、圧電振動片３２に導電性接着剤４３，４３により固定された箇所５２，５２（図２において斜線で示された箇所）には、駆動電圧を伝えるための引出電極２６，２６が設けられている。
【００３１】
ここで、基部５１は、導電性接着剤４３，４３により固定された箇所５２，５２、すなわち引出電極２６，２６と振動腕３４，３５との間の領域に、図１ないし図３に示すように、複数の孔６０，６０が形成されている。
この孔６０，６０は、振動腕３４，３５の振動が、基部５１の導電性接着剤４３，４３により固定された箇所５２，５２に伝達することを有効に防止するための孔である。
【００３２】
具体的には、孔６０，６０は、図３に示すように、均一な厚みを有する基部５１のうち、一対の振動腕３４，３５のそれぞれの根元付近に形成されている。この孔６０，６０は、丸孔であり、図５に示すように、基部５１の厚み方向に貫通した貫通孔で形成されている。
すなわち、基部５１に設けられた孔６０，６０の周辺は、基部５１が構造的に弱い部分となる。このため、振動腕３４，３５から伝達された振動により生じる基部の応力は、孔６０，６０の周辺に集中し、基部５１の導電性接着剤４３，４３により固定された箇所５２，５２については、応力が小さくなる。
【００３３】
また、この孔６０，６０は、振動腕３４，３５の根元に形成されているため、孔６０，６０と、基部５１の振動腕３４，３５とは反対側の端部５１ｂの付近にある導電性接着剤４３，４３により固定された箇所５２，５２との距離Ｗ１は離れている。そうすると、応力が集中した箇所から遠くなるにつれて、応力は小さくなるので、基部５１の導電性接着剤４３，４３により固定された箇所５２，５２の応力を小さくできる。
【００３４】
しかも、振動腕３４，３５の振動は、それぞれの根元を通って基部５１に伝達されるため、孔６０，６０が、振動腕３４，３５の根元付近に形成されていることで、振動をより孔６０，６０の周辺に集中させ易く、基部５１の孔６０，６０以外の部位に振動が逃げてしまうことを有効に防止できる。
【００３５】
図６は、従来の圧電振動子について、製造した複数の圧電振動子のＣＩ値を測定した図であり、図７は、複数の圧電振動子３０について、上述のように振動腕３４，３５のそれぞれの根元付近に、貫通した丸孔６０，６０を形成して、ＣＩ値を測定した図である。
図６で示されるように、従来における複数の圧電振動子のＣＩ値を測定したところ、７０ｋΩを中心にした各製品毎にばらついたＣＩ値が測定され、標準偏差は１８．０ｋΩであった。このようにＣＩ値がばらつく要因は、圧電振動子の小型化に伴い、各製品を同一に形成することは困難であり、さらに、基部の導電性接着剤により固定された箇所の大きさにもばらつきが生ずるため、振動漏れの状態が製品毎に異なってしまうからである。
【００３６】
ところが、図７で示されるように、本実施形態のように振動腕３４，３５のそれぞれの根元付近に、貫通した丸孔６０，６０を形成した複数の圧電振動子３０のＣＩ値を測定したところ、４０ｋΩを中心にした比較的ばらつきの少ないＣＩ値が測定され、標準偏差は１．６ｋΩであることが確認された。すなわち、たとえ各製品毎の形状が異なり、基部５１の導電性接着剤４３，４３により固定された箇所５２，５２の大きさにばらつきが有ったとしても、振動腕３４，３５からの振動が、基部５１の導電性接着剤４３，４３により固定された箇所５２，５２に漏れないため、ＣＩ値のばらつきを抑制できた。
【００３７】
本発明の第１の実施形態は以上のように構成されている。このため、たとえ圧電振動子３０を小型に形成し、振動腕３４，３５の形状が製品毎にばらついていても、振動腕３４，３５からの振動が、基部５１の導電性接着剤４３，４３により固定された箇所５２，５２に漏れることを有効に防止して、製品毎にＣＩ値のばらつきの少ない、優れた振動特性を備えた圧電デバイス３０を実現できる。
なお、孔６０，６０は、振動腕３４，３５の根元に丸孔で形成されているが、基部５１の導電性接着剤４３，４３により固定された箇所５２，５２と振動腕３４，３５との間の領域に、応力を集中できる孔であれば、これに限らず、例えば、図８に示すように多角形の貫通孔であってもよい。
【００３８】
図９および図１０は、本発明の第１の実施形態にかかる第１の変形例であって、図９は、圧電デバイスの特徴的部分である圧電振動片７０の平面図であり、図１０は、図９のＧ−Ｇ線切断端面図である。
これらの図において、図１ないし図８の圧電振動子３０と同一の構成には、共通する符号を付して重複する説明は省略し、相違点を中心に説明する。
【００３９】
この圧電振動片７０において、第１の実施形態と異なるのは、基部５１に設けた孔の形状等を変えた点のみである。
すなわち、基部５１に設けた孔は、圧電振動片７０の短手方向の両側壁５１ａ，５１ａ側に細枠５４，５４を残すようにして、短手方向に沿って設けた長孔６２により形成されている。また、この長孔６２は、図１０に示されるように貫通孔となっている。
【００４０】
本第１の実施形態にかかる第１の変形例は、以上のように構成され、このため、第１の実施形態と同様の作用効果を発揮する。さらに、第１の実施形態比べて、細枠５４，５４は、より基部５１の構造的に弱い部分となるため、細枠５４，５４の周辺に、より応力が集中することになる。したがって、第１の発明に比べて、より振動が基部５１の導電性接着剤４３，４３により固定された箇所５２，５２に漏れることを防止できる。
【００４１】
図１１および図１２は、本発明の第２の実施形態であって、図１１は、圧電デバイスの特徴的な部分である圧電振動片７２の平面図であり、図１２は、図１１のＨ−Ｈ線切断端面図である。
これらの図において、図１ないし図１０の圧電振動子３０と同一の構成には、共通する符号を付して重複する説明は省略し、相違点を中心に説明する。
この圧電振動片７２において、第１の実施形態と異なるのは、基部５１に設けた孔の形状等を変えた点のみである。
【００４２】
すなわち、図１１で示すように、圧電振動片７２の基部５１であって、振動腕３４，３５の根元付近には、複数の孔６４，６４が形成されている。この孔６４，６４は、図１２においては、貫通しておらず、有底となっている。なお、この有底の孔６４，６４は、図１１および図１２においては、表面側（導電性接着剤４３，４３が付着しない面）に設けられているが、裏面側に設けられていても勿論よい。
【００４３】
本第２の実施形態は以上のように構成され、このため、第１の実施形態と同様の作用効果を発揮し、さらに、基部５１の剛性を上げることができる。これにより、圧電デバイス３０の落下によって圧電振動片７２の基部５１が振れてしまうことを有効に防止できる。したがって、基部５１が不必要に振動してしまうことによる振動腕３４，３５の振動特性への影響を小さくできる。
【００４４】
なお、第１の実施形態の第１の変形例で示した、基部５１の両側壁５１ａ、５１ａ側に細枠５４，５４を残すようにして、短手方向に沿って設けた長孔６２（図９参照）についても、基部５１を長孔６２の部分で幅方向に切断した図１３に示すように、有底に形成してもよい。
【００４５】
図１４および図１５は、本発明の第２の実施形態の第１の変形例であって、図１４は、圧電デバイスの特徴的な部分である圧電振動片７４の平面図であり、図１５は、図１４のＪ−Ｊ線切断端面図である。
これらの図において、図１１および図１２の圧電振動片７２と同一の構成には、共通する符号を付して重複する説明は省略し、相違点を中心に説明する。
この圧電振動片７４において、第２の実施形態と異なるのは、基部５１に設けた孔の形状等を変えた点のみである。
【００４６】
すなわち、図１４および図１５で示すように、圧電振動片７４の基部５１であって、振動腕３４，３５の根元付近には、表面に複数の有底の孔６６ａ，６６ａが、裏面（導電性接着剤４３，４３が主に付着している面）に複数の有底の孔６６ｂ，６６ｂが、それぞれ対向するように形成されている。この各有底の孔６６ａ，６６ａ，６６ｂ，６６ｂは、第２の実施形態における孔６４と同様の深さ及び開口面積を有し、表面側の有底の孔６６ａ，６６ａの底面と、裏面側の有底の孔６６ｂ，６６ｂの底面との間５３，５３は、基部５１に一定の強度が保持できるように、一定の間隔が形成されている。
【００４７】
本発明の第２の実施形態の第１の変形例は以上のように構成されており、このため、表面側の有底の孔６６ａ，６６ａの底面と、裏面側の有底の孔６６ｂ，６６ｂの底面との間５３，５３に構造的に弱い部分をつくることができる。したがって、第１の実施形態と比べると、基部５１の剛性を高めることができ、第２の実施形態と比べると、より振動が基部５１の導電性接着剤４３，４３により固定された箇所５２，５２に漏れることを防止できる。
【００４８】
なお、第１の実施形態の第１の変形例で示した、基部５１の両側壁５１ａ、５１ａ側に細枠５４，５４を残すようにして、短手方向に沿って設けた長孔６２（図９参照）についても、基部５１を長孔６２の部分で幅方向に切断した図１６に示すように、表面および裏面に有底の孔６２を設けるように形成してもよい。
【００４９】
図１７および図１８は、本発明の第３の実施形態であって、図１７は、圧電デバイスの特徴的な部分である圧電振動片７６の平面図であり、図１８は、図１７のＫ−Ｋ線切断端面図である。
これらの図において、図１ないし図１６の圧電振動子３０と同一の構成には、共通する符号を付して重複する説明は省略し、相違点を中心に説明する。
この圧電振動片７６において、他の実施形態と異なるのは、基部５１に設けた孔の形状等を変えた点のみである。
【００５０】
すなわち、図１７で示すように、基部５１には、圧電振動片７６の短手方向の両側壁５１ａ，５１ａ側に細枠５４，５４を残すようにして、短手方向に沿って設けた複数の長孔６８，６８が形成されている。この複数の長孔６８，６８は、図１７においては、長孔６８と長孔６８との間隔Ｗ２が、細枠５４，５４の幅Ｗ３と同等若しくはそれ以下になるように形成されている。また、長孔６８，６８は、図１８に示されるように、貫通しておらず、有底に形成されている。
【００５１】
本第３の実施形態は以上のように構成され、これにより、振動腕３４，３５の振動により生ずる基部の応力は、基部５１の構造的に弱い部分である細枠５４，５４に集中すると共に、この細枠５４，５４と同等以下の構造的に弱い部分である長孔６８，６８間に集中する。したがって、例えば、図１３に示す有底の長孔６２が一箇所に設けられた圧電振動子に比べて、基部５１の導電性接着剤４３，４３により固定された箇所５２，５２に振動が漏れることをより有効に防止できる。
なお、図１９に示すように、有底の長孔６８，６８は、基部５１の表面および裏面（導電性接着剤４３，４３が主に付着している面）に設けられていても勿論よい。
【００５２】
図２０は、本発明の上述した実施形態に係る圧電デバイスを利用した電子機器の一例としてのデジタル式携帯電話装置３００の概略構成を示す図である。
図において、送信者の音声を受信するマイクロフォン３０８及び受信内容を音声出力とするためのスピーカ３０９を備えており、さらに、送受信信号の変調及び復調部に接続された制御部としての集積回路等であるコントローラ３０１を備えている。
コントローラ３０１は、送受信信号の変調及び復調の他に画像表示部としてのＬＣＤや情報入力のための操作キー等でなる情報の入出力部３０２や、ＲＡＭ、ＲＯＭ等でなる情報記憶手段３０３の制御を行なうようになっている。このため、コントローラ３０１には、例えば、圧電デバイス３０が取り付けられて、この出力周波数をコントローラ３０１に内蔵された所定の分周回路（図示せず）等により、制御内容に適合したクロック信号として利用するようにされている。このコントローラ３０１に取り付けられる圧電デバイス３０は、圧電デバイス３０単体でなくても、圧電デバイス３０と、所定の分周回路等を組み合わせた発振器であってもよい。
コントローラ３０１は、さらに、温度補償水晶発振器（ＴＣＸＯ）３０５と接続され、温度補償水晶発振器３０５は、送信部３０７と受信部３０６に接続されている。これにより、コントローラ３０１からの基本クロックが、環境温度が変化した場合に変動しても、温度補償水晶発振器３０５により修正されて、送信部３０７及び受信部３０６に与えられるようになっている。
【００５３】
このように、デジタル式携帯電話装置３００のような電子機器に、上述した実施形態に係る圧電振動子３０を利用することにより、圧電振動片の振動漏れを防止して、優れた振動特性を備えた圧電デバイスを小型にしても得ることができ、デジタル式携帯電話装置３００全体の小型化に寄与できる。
【００５４】
本発明は上述の実施形態に限定されない。各実施形態の各構成はこれらを適宜相互に組み合わせたり、省略し、図示しない他の構成と組み合わせることができる。
この発明の圧電デバイスは、パッケージ内に圧電振動子と、これに接続される電子部品を含むものであれば、圧電発信器、圧電振動子、フィルタ等その名称を問わずに適用できるものである。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１の実施形態にかかる圧電デバイスである例えば圧電振動子の概略斜視図。
【図２】図１のＣ−Ｃ線切断断面図。
【図３】本発明の第１の実施形態にかかる圧電振動片の平面図。
【図４】図３のＤ−Ｄ線切断端面図。
【図５】図３のＦ−Ｆ線切断端面図。
【図６】従来の圧電振動子について、製造した複数の圧電振動子のＣＩ値を測定した図。
【図７】複数の圧電振動子について、各振動腕のそれぞれの根元付近に、貫通した丸孔を形成して、ＣＩ値を測定した図。
【図８】圧電振動片に設けた貫通孔を多角形にした図。
【図９】本発明の第１の実施形態にかかる第１の変形例であって、圧電デバイスの特徴的部分である圧電振動片の平面図。
【図１０】図９のＧ−Ｇ線切断端面図。
【図１１】本発明の第２の実施形態であって、圧電デバイスの特徴的な部分である圧電振動片の平面図。
【図１２】図１１のＨ−Ｈ線切断端面図。
【図１３】基部の両側壁側に細枠を残すようにして、短手方向に沿って設けた長孔について、基部を長孔の部分で幅方向に切断した図。
【図１４】本発明の第２の実施形態の第１の変形例であって、圧電デバイスの特徴的な部分である圧電振動片の平面図。
【図１５】図１４のＪ−Ｊ線切断端面図。
【図１６】基部の両側壁側に細枠を残すようにして、短手方向に沿って設けた長孔について、基部を長孔の部分で幅方向に切断した図。
【図１７】本発明の第３の実施形態であって、圧電デバイスの特徴的な部分である圧電振動片の平面図。
【図１８】図１７のＫ−Ｋ線切断端面図。
【図１９】図１８の孔を表面および裏面に設けた図。
【図２０】本発明の各実施形態に係る圧電デバイスを利用した電子機器の一例としてのデジタル式携帯電話装置の概略構成を示す図。
【図２１】従来の圧電デバイスである例えば圧電振動子の平面図。
【図２２】図２１のＡ−Ａ線切断断面図。
【図２３】各振動腕に印加される電圧を示すグラフ。
【図２４】図２１のＢ−Ｂ線切断端面図。
【符号の説明】
３０・・・圧電振動子、３６・・・パッケージ、３１・・・電極部、４３・・・導電性接着剤、３２，７０，７２，７４，７６・・・・・圧電振動片、３４，３５・・・振動腕、５１・・・基部、６０，６２，６４，６６ａ，６６ｂ，６８・・・孔、２６・・・引出電極。
【発明の属する技術分野】
本発明は、圧電デバイス、及び圧電デバイスを利用した携帯電話装置、電子機器に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
図２１は、従来の圧電デバイスである例えば圧電振動子１００の平面図であり、図２２は、図２１のＡ−Ａ線切断断面図、図２３は、図２１のＢ−Ｂ線切断端面図である。
これらの図において、圧電デバイスである例えば圧電振動子１００は、パッケージ１１０に圧電振動片１２０が収容されている。
【０００３】
パッケージ１１０は、上部の開放端面に蓋体１１８が載置されて、所定の内部空間Ｓを有し、この内部空間Ｓに面する底面には、圧電振動片１２０に駆動電圧を印加するための電極１１２，１１２が設けられている。そして、この電極１１２，１１２の上には、例えば導電性接着剤１１４，１１４が塗布され、この導電性接着剤１１４，１１４の上に、圧電振動片１２０の基部１２０ａが載置されている。このようにして、圧電振動子１００は、圧電振動片１２０の基部１２０ａの一部を、導電性接着剤１１４，１１４を介して、パッケージ１１０に支持固定している。
【０００４】
圧電振動片１２０は、例えば水晶基板により形成され、この場合、基部１２０ａから平行に延びる一対の振動腕１２２，１２４を有し、振動腕１２２，１２４には、それぞれ長手方向に沿って延びる長溝１３０，１３０が形成されている所謂音叉型圧電振動片となっている。
この圧電振動片１２０の基部１２０ａであり、導電性接着剤１１４，１１４と触れる部分には、駆動電圧を伝えるための引出電極１１６，１１６が形成され、この引出電極１１６，１１６は、振動腕１２２，１２４のそれぞれに設けられた励振電極（図示せず）と電気的に接続されている。
【０００５】
このようにして、圧電振動子１００は、電極１１２，１１２、導電性接着剤１１４，１１４、引出電極１１６，１１６、及び励振電極（図示せず）を介して、振動腕１２２，１２４のそれぞれに所定の駆動電圧を交互に印加し、振動腕１２２，１２４が、水平方向（図２１に示すｘ，ｙ方向）に振動するようになっている。そして、圧電振動片１２０から所定の振動周波数の信号を取り出すようになっている。
【０００６】
【特許文献１】特開２００１−３３２９５２
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、振動腕１２２，１２４に印加される電圧は、それぞれ図２４（ａ）と図２４（ｂ）に示されているように、逆位相となっている。従って、理想的な形状を有していれば、少なくとも、振動腕１２２，１２４からそれぞれ等距離にある基部１２０ａの短手方向の中心ＣＬにおいては、振動腕１２２の振動と、振動腕１２４の振動とが打ち消し合い、振動漏れは生じない。
【０００８】
ところが、上述した圧電振動片１２０は、例えばエッチングすることにより製造され、各振動腕１２２，１２４は極めて小さく細いため、図２３に示すように、振動腕１２２と振動腕１２４の形状、さらに振動腕１２２，１２４に設ける長溝１３０，１３０を精度よく形成することは極めて困難である。このため、振動腕１２２，１２４は、水平方向に理想的な振動をさせることが難しく、垂直方向（図２１に示すｚ方向）の振動が加って、振動腕１２２，１２４は複雑な振動をしてしまう。
【０００９】
したがって、振動腕１２２，１２４の振動は、基部１２０ａの導電性接着剤１１４，１１４により固定された箇所に伝達され、所謂振動漏れが発生してしまう。そして、この振動漏れは、圧電振動片１２０の振動特性に大きな影響を与える。すなわち、振動漏れがあると、基部１２０ａの導電性接着剤１１４，１１４により固定された箇所にも振動が発生するため、クリスタルインピーダンス値（以下、「ＣＩ値」と云う。）が高くなるという問題がおきる。
【００１０】
また、基部１２０ａを長くすれば、このような弊害を防止できるが、基部１２０ａを長くすると、圧電振動片１２０を小型化することができなくなる。
また、圧電振動片１２０の小型化に伴い、振動腕１２２，１２４の形状を、各製品毎に同一に形成することは極めて困難であり、このため、上述のような振動漏れの状況も製品毎に異なり、ＣＩ値が、製造した各圧電振動片１２０毎にばらついてしまうことにもなる。
【００１１】
本発明の目的は、上述の課題を解決するためのものであり、小型に形成しても、圧電振動片の振動漏れを防止することにより、製品のＣＩ値品質などのばらつきを抑え、優れた振動特性を備えた圧電デバイス、及び圧電デバイスを利用した携帯電話装置、電子機器を提供することを目的とする。
【００１２】
【課題を解決するための手段】
上記目的は、第１の発明によれば、基部から平行に延びる一対の振動腕を有し、この一対の振動腕のそれぞれに長手方向に沿って延びる長溝が形成されている圧電振動片と、前記基部の一部を接着剤を介して支持固定するようにして、前記圧電振動片を内部に収容するパッケージとを備える圧電デバイスであって、前記基部は、厚みが均一であって、前記接着剤により固定された箇所と前記振動腕との間の領域に孔が設けられていることを特徴とする圧電デバイスにより達成される。
【００１３】
第１の発明の構成によれば、圧電デバイスは、基部から平行に延びる一対の振動腕を有し、この一対の振動腕のそれぞれに長手方向に沿って延びる長溝が形成されている圧電振動片と、基部の一部を接着剤を介して支持固定するようにして、圧電振動片を内部に収容するパッケージとを備えている。このため、パッケージに固定されていない一対の振動腕は、所定の電圧を印加されることで振動し、この振動は基部に伝達される。
ところが、基部は、厚みが均一であって、接着剤により固定された箇所と振動腕との間の領域に孔が設けられている。そうすると、孔の周辺は構造的に弱い部分となり、振動腕から伝達された振動により生じる基部の応力は、孔の周辺に集中し、基部の接着剤により固定された箇所については、応力が小さくなる。このため、振動が基部の接着剤により固定された箇所に漏れ込むことを有効に防止できる。
したがって、小型に形成しても、圧電振動片の振動漏れを防止することにより、製品のＣＩ値品質などのばらつきを抑え、優れた振動特性を備えた圧電デバイス、及び圧電デバイスを利用した携帯電話装置、電子機器を提供できる。
【００１４】
第２の発明は、第１の発明の構成において、前記孔は、前記複数の振動腕のそれぞれの根元付近に形成されていることを特徴とする。
第２の発明の構成によれば、孔は、複数の振動腕のそれぞれの根元付近に形成されている。このため、振動腕の振動は、複数の振動腕の各々の根元を通って基部に伝達されるので、振動腕の振動により生じた応力を、より孔の周辺に集中させ易く、基部の孔以外の部位に振動が逃げてしまうことを有効に防止できる。
【００１５】
第３の発明は、第１の発明の構成において、前記孔は、前記圧電振動片の短手方向の両側壁側に細枠を残すようにして、前記短手方向に沿って設けた長孔により形成されていることを特徴とする。
このため、第１の発明と同様に、基部のうち細枠の部分が構造的に弱い部分となり、この細枠の周辺に、より応力が集中することになる。したがって、第１の発明に比べて、より振動が基部の接着剤により固定された箇所に漏れることを防止できる。
【００１６】
第４の発明は、第３の発明の構成において、前記長孔は、複数形成されていることを特徴とする。
そうすると、振動腕の振動により生ずる基部の応力は、第３の発明に比べて、複数の長孔の周辺により集中する。このため、基部全体における応力は一定であるため、接着剤により固定された箇所における応力は相対的に小さくなる。したがって、第３の発明に比べて、基部から接着剤により固定された箇所に振動が漏れることをより有効に防止できる。
【００１７】
第５の発明は、第１ないし第４の発明のいずれかの構成において、前記孔は、前記基部の厚み方向に貫通していることを特徴とする。
このため、第１ないし第４の発明の構成に比べて、孔の周辺は、より構造的に弱い部分となり、振動腕の振動により生じた応力は、より孔の周辺に集中する。したがって、基部の接着剤により固定された箇所に、振動が漏れることをより有効に防止できる。
【００１８】
第６の発明は、第１ないし第４の発明のいずれかの構成において、前記孔が有底の孔であることを特徴とする。
このため、第５の発明に比べて、基部の剛性を上げることができる。したがって、例えば圧電デバイスの落下によって圧電振動片の基部が振れてしまうことを有効に防止し、振動腕の振動特性に対する影響を小さくできる。
【００１９】
第７の発明は、第６の発明の構成において、前記有底の孔は、前記基部の表面および裏面に設けられていることを特徴とする。
このため、振動腕の振動により生じた応力は、基部の表面および裏面に設けられた有底の孔の周辺に集中し、第６の発明に比べて、基部の接着剤により固定された箇所に振動が伝達され難くなる。
【００２０】
また、上記目的は、第９の発明によれば、基部から平行に延びる一対の振動腕を有し、この一対の振動腕のそれぞれに長手方向に沿って延びる長溝が形成されている圧電振動片と、前記基部の一部を接着剤を介して支持固定するようにして、前記圧電振動片を内部に収容するパッケージとを備える圧電デバイスにより、制御用のクロック信号を得るようにした携帯電話装置であって、前記圧電デバイスの前記基部は、厚みが均一であって、前記接着剤により固定された箇所と前記振動腕との間の領域に孔が設けられている携帯電話装置により達成される。
【００２１】
また、上記目的は、第１０の発明によれば、基部から平行に延びる一対の振動腕を有し、この一対の振動腕のそれぞれに長手方向に沿って延びる長溝が形成されている圧電振動片と、前記基部の一部を接着剤を介して支持固定するようにして、前記圧電振動片を内部に収容するパッケージとを備える圧電デバイスにより制御用のクロック信号を得るようにした電子機器であって、前記圧電デバイスの前記基部は、厚みが均一であって、前記接着剤により固定された箇所と前記振動腕との間の領域に孔が設けられている電子機器により達成される。
【００２２】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の好適な実施の形態を添付図面に基づいて詳細に説明する。
なお、以下に述べる実施の形態は、本発明の好適な具体例であるから、技術的に好ましい種々の限定が付されているが、本発明の範囲は、以下の説明において特に本発明を限定する旨の記載がない限り、これらの形態に限られるものではない。
【００２３】
図１は、本発明の第１の実施形態にかかる圧電デバイスである例えば圧電振動子３０の概略斜視図であり、図２は、この圧電振動子３０のＣ−Ｃ線切断断面図である。また、図３は圧電振動片３２の平面図、図４は図３のＤ−Ｄ線切断端面図、図５は図３のＦ−Ｆ線切断端面図である。
これらの図において、圧電振動子３０は、パッケージ３６内に圧電振動片３２を収容している。
【００２４】
パッケージ３６は、例えば、絶縁材料として、酸化アルミニウム質のセラミックグリーンシートを成型して形成される複数の基板を積層した後に、焼結して形成されている。すなわち、図２に示されるように、この実施形態では、パッケージ３６は、下から第１の積層基板３６ａ、第２の積層基板３６ｂを重ねて形成されている。そして、第２の積層基板３６ｂの内側に所定の孔を形成することで、第２の積層基板３６ｂを第１の積層基板３６ａに積層した場合に、圧電振動片３２を収容する所定の内部空間Ｓ１を形成するようにされている。
また、パッケージ３６の開放された上端にある開放端面３６ｃに、例えば、低融点ガラス等のロウ材３８を介して、蓋体３９が接合されることにより、封止されている。
【００２５】
パッケージ３６の内部空間Ｓ１内の図２における左端部付近において、内部空間Ｓ１に露出して底部を構成するベースとなる第１の積層基板３６ａには、ＡｕまたはＮｉメッキが施された電極部３１，３１が形成されている。この電極部３１，３１は、外部と接続されて、駆動電圧を供給するものであり、図１に示すように、内部空間Ｓ１内の長手方向の側面に接して、所定の間隔を隔てて形成されている。
【００２６】
この所定の間隔を隔てた電極部３１，３１の上には、接着剤である例えば導電性接着剤４３，４３が塗布されている。導電性接着剤４３，４３としては、接合力を発揮する接着剤成分としての合成樹脂剤に、銀製の細粒等の導電性の粒子を含有させたエポキシ系またはポリイミド系、またはシリコーン系導電性接着剤等を利用することができる。
【００２７】
そして、この導電性接着剤４３，４３の上に、基部５１の振動腕３４，３５と反対側の端部（図２において左端部）５１ｂであって、基部５１の幅方向両端付近が対向するようにして、圧電振動片３２が載置されている。
このようにして、圧電振動片３２の基部５１の一部は、導電性接着剤４３，４３を介してパッケージ３６に支持固定され、また、パッケージ３６に設けた電極部３１，３１が、圧電振動片３２に駆動電圧を供給するようになっている。
【００２８】
圧電振動片３２は、例えば水晶で形成されており、水晶以外にもタンタル酸リチウム、ニオブ酸リチウム等の圧電材料を利用することができる。本実施形態の場合、圧電振動片３２は、小型に形成して、必要な性能を得るために、特に図示する形状とされている。
すなわち、圧電振動片３２は、導電性接着剤４３，４３によりパッケージ３６と固定される基部５１から、図３において右方に向けて、二股に別れて平行に延びる一対の振動腕３４，３５を備えており、全体が音叉のような形状とされた、所謂、音叉型圧電振動片が利用されている。
【００２９】
振動腕３４，３５は、図１ないし図３に示すように、それぞれに圧電振動片３２の長手方向に沿って延びる長溝９０，９０が設けられている。この長溝９０，９０は、図４に示すように、振動腕３４，３５の上面および下面に設けられており、長溝９０，９０を設けた振動腕３４，３５の断面形状を略Ｈ型としている。このような長溝９０，９０を設けることで、図４に示すように、振動腕３４，３５に厚みが薄い箇所が形成され、振動腕３４，３５内の電界が厚み方向Ｅに沿って、効率よく発生するため、圧電振動片３２の電界効率を高めることができる。このため、長溝９０，９０を設けることで、圧電振動片３２のクリスタルインピーダンス値（以下、「ＣＩ値」と云う。）を低く抑えることができる。したがって、このような圧電振動片３２のＣＩ値を、従来の圧電振動片と同様のＣＩ値となるように形成して、振動腕３４，３５の長さを短くして、圧電振動片３２を小型化できる。
【００３０】
基部５１は、図１および図２に示すように、表面と裏面（図２において、導電性接着剤４３，４３と主に接触している面）とが平行に形成されて、厚みが均一になっている。また、基部５１は、図３に示すように、圧電振動片３２の短手方向の端面５１ａ，５１ａが対称となっており、この端面５１ａ，５１ａと、圧電振動片３２の長手方向であって振動腕３４，３５と反対側の端面５１ｂとが交わる部分は垂直となっている。また、端面５１ａ，５１ａと振動腕３４，３５とが交わる付近５１ｃは、基部５１の幅が振動腕３４，３５に向かうにつれて狭まっている。
このような基部５１において、圧電振動片３２に導電性接着剤４３，４３により固定された箇所５２，５２（図２において斜線で示された箇所）には、駆動電圧を伝えるための引出電極２６，２６が設けられている。
【００３１】
ここで、基部５１は、導電性接着剤４３，４３により固定された箇所５２，５２、すなわち引出電極２６，２６と振動腕３４，３５との間の領域に、図１ないし図３に示すように、複数の孔６０，６０が形成されている。
この孔６０，６０は、振動腕３４，３５の振動が、基部５１の導電性接着剤４３，４３により固定された箇所５２，５２に伝達することを有効に防止するための孔である。
【００３２】
具体的には、孔６０，６０は、図３に示すように、均一な厚みを有する基部５１のうち、一対の振動腕３４，３５のそれぞれの根元付近に形成されている。この孔６０，６０は、丸孔であり、図５に示すように、基部５１の厚み方向に貫通した貫通孔で形成されている。
すなわち、基部５１に設けられた孔６０，６０の周辺は、基部５１が構造的に弱い部分となる。このため、振動腕３４，３５から伝達された振動により生じる基部の応力は、孔６０，６０の周辺に集中し、基部５１の導電性接着剤４３，４３により固定された箇所５２，５２については、応力が小さくなる。
【００３３】
また、この孔６０，６０は、振動腕３４，３５の根元に形成されているため、孔６０，６０と、基部５１の振動腕３４，３５とは反対側の端部５１ｂの付近にある導電性接着剤４３，４３により固定された箇所５２，５２との距離Ｗ１は離れている。そうすると、応力が集中した箇所から遠くなるにつれて、応力は小さくなるので、基部５１の導電性接着剤４３，４３により固定された箇所５２，５２の応力を小さくできる。
【００３４】
しかも、振動腕３４，３５の振動は、それぞれの根元を通って基部５１に伝達されるため、孔６０，６０が、振動腕３４，３５の根元付近に形成されていることで、振動をより孔６０，６０の周辺に集中させ易く、基部５１の孔６０，６０以外の部位に振動が逃げてしまうことを有効に防止できる。
【００３５】
図６は、従来の圧電振動子について、製造した複数の圧電振動子のＣＩ値を測定した図であり、図７は、複数の圧電振動子３０について、上述のように振動腕３４，３５のそれぞれの根元付近に、貫通した丸孔６０，６０を形成して、ＣＩ値を測定した図である。
図６で示されるように、従来における複数の圧電振動子のＣＩ値を測定したところ、７０ｋΩを中心にした各製品毎にばらついたＣＩ値が測定され、標準偏差は１８．０ｋΩであった。このようにＣＩ値がばらつく要因は、圧電振動子の小型化に伴い、各製品を同一に形成することは困難であり、さらに、基部の導電性接着剤により固定された箇所の大きさにもばらつきが生ずるため、振動漏れの状態が製品毎に異なってしまうからである。
【００３６】
ところが、図７で示されるように、本実施形態のように振動腕３４，３５のそれぞれの根元付近に、貫通した丸孔６０，６０を形成した複数の圧電振動子３０のＣＩ値を測定したところ、４０ｋΩを中心にした比較的ばらつきの少ないＣＩ値が測定され、標準偏差は１．６ｋΩであることが確認された。すなわち、たとえ各製品毎の形状が異なり、基部５１の導電性接着剤４３，４３により固定された箇所５２，５２の大きさにばらつきが有ったとしても、振動腕３４，３５からの振動が、基部５１の導電性接着剤４３，４３により固定された箇所５２，５２に漏れないため、ＣＩ値のばらつきを抑制できた。
【００３７】
本発明の第１の実施形態は以上のように構成されている。このため、たとえ圧電振動子３０を小型に形成し、振動腕３４，３５の形状が製品毎にばらついていても、振動腕３４，３５からの振動が、基部５１の導電性接着剤４３，４３により固定された箇所５２，５２に漏れることを有効に防止して、製品毎にＣＩ値のばらつきの少ない、優れた振動特性を備えた圧電デバイス３０を実現できる。
なお、孔６０，６０は、振動腕３４，３５の根元に丸孔で形成されているが、基部５１の導電性接着剤４３，４３により固定された箇所５２，５２と振動腕３４，３５との間の領域に、応力を集中できる孔であれば、これに限らず、例えば、図８に示すように多角形の貫通孔であってもよい。
【００３８】
図９および図１０は、本発明の第１の実施形態にかかる第１の変形例であって、図９は、圧電デバイスの特徴的部分である圧電振動片７０の平面図であり、図１０は、図９のＧ−Ｇ線切断端面図である。
これらの図において、図１ないし図８の圧電振動子３０と同一の構成には、共通する符号を付して重複する説明は省略し、相違点を中心に説明する。
【００３９】
この圧電振動片７０において、第１の実施形態と異なるのは、基部５１に設けた孔の形状等を変えた点のみである。
すなわち、基部５１に設けた孔は、圧電振動片７０の短手方向の両側壁５１ａ，５１ａ側に細枠５４，５４を残すようにして、短手方向に沿って設けた長孔６２により形成されている。また、この長孔６２は、図１０に示されるように貫通孔となっている。
【００４０】
本第１の実施形態にかかる第１の変形例は、以上のように構成され、このため、第１の実施形態と同様の作用効果を発揮する。さらに、第１の実施形態比べて、細枠５４，５４は、より基部５１の構造的に弱い部分となるため、細枠５４，５４の周辺に、より応力が集中することになる。したがって、第１の発明に比べて、より振動が基部５１の導電性接着剤４３，４３により固定された箇所５２，５２に漏れることを防止できる。
【００４１】
図１１および図１２は、本発明の第２の実施形態であって、図１１は、圧電デバイスの特徴的な部分である圧電振動片７２の平面図であり、図１２は、図１１のＨ−Ｈ線切断端面図である。
これらの図において、図１ないし図１０の圧電振動子３０と同一の構成には、共通する符号を付して重複する説明は省略し、相違点を中心に説明する。
この圧電振動片７２において、第１の実施形態と異なるのは、基部５１に設けた孔の形状等を変えた点のみである。
【００４２】
すなわち、図１１で示すように、圧電振動片７２の基部５１であって、振動腕３４，３５の根元付近には、複数の孔６４，６４が形成されている。この孔６４，６４は、図１２においては、貫通しておらず、有底となっている。なお、この有底の孔６４，６４は、図１１および図１２においては、表面側（導電性接着剤４３，４３が付着しない面）に設けられているが、裏面側に設けられていても勿論よい。
【００４３】
本第２の実施形態は以上のように構成され、このため、第１の実施形態と同様の作用効果を発揮し、さらに、基部５１の剛性を上げることができる。これにより、圧電デバイス３０の落下によって圧電振動片７２の基部５１が振れてしまうことを有効に防止できる。したがって、基部５１が不必要に振動してしまうことによる振動腕３４，３５の振動特性への影響を小さくできる。
【００４４】
なお、第１の実施形態の第１の変形例で示した、基部５１の両側壁５１ａ、５１ａ側に細枠５４，５４を残すようにして、短手方向に沿って設けた長孔６２（図９参照）についても、基部５１を長孔６２の部分で幅方向に切断した図１３に示すように、有底に形成してもよい。
【００４５】
図１４および図１５は、本発明の第２の実施形態の第１の変形例であって、図１４は、圧電デバイスの特徴的な部分である圧電振動片７４の平面図であり、図１５は、図１４のＪ−Ｊ線切断端面図である。
これらの図において、図１１および図１２の圧電振動片７２と同一の構成には、共通する符号を付して重複する説明は省略し、相違点を中心に説明する。
この圧電振動片７４において、第２の実施形態と異なるのは、基部５１に設けた孔の形状等を変えた点のみである。
【００４６】
すなわち、図１４および図１５で示すように、圧電振動片７４の基部５１であって、振動腕３４，３５の根元付近には、表面に複数の有底の孔６６ａ，６６ａが、裏面（導電性接着剤４３，４３が主に付着している面）に複数の有底の孔６６ｂ，６６ｂが、それぞれ対向するように形成されている。この各有底の孔６６ａ，６６ａ，６６ｂ，６６ｂは、第２の実施形態における孔６４と同様の深さ及び開口面積を有し、表面側の有底の孔６６ａ，６６ａの底面と、裏面側の有底の孔６６ｂ，６６ｂの底面との間５３，５３は、基部５１に一定の強度が保持できるように、一定の間隔が形成されている。
【００４７】
本発明の第２の実施形態の第１の変形例は以上のように構成されており、このため、表面側の有底の孔６６ａ，６６ａの底面と、裏面側の有底の孔６６ｂ，６６ｂの底面との間５３，５３に構造的に弱い部分をつくることができる。したがって、第１の実施形態と比べると、基部５１の剛性を高めることができ、第２の実施形態と比べると、より振動が基部５１の導電性接着剤４３，４３により固定された箇所５２，５２に漏れることを防止できる。
【００４８】
なお、第１の実施形態の第１の変形例で示した、基部５１の両側壁５１ａ、５１ａ側に細枠５４，５４を残すようにして、短手方向に沿って設けた長孔６２（図９参照）についても、基部５１を長孔６２の部分で幅方向に切断した図１６に示すように、表面および裏面に有底の孔６２を設けるように形成してもよい。
【００４９】
図１７および図１８は、本発明の第３の実施形態であって、図１７は、圧電デバイスの特徴的な部分である圧電振動片７６の平面図であり、図１８は、図１７のＫ−Ｋ線切断端面図である。
これらの図において、図１ないし図１６の圧電振動子３０と同一の構成には、共通する符号を付して重複する説明は省略し、相違点を中心に説明する。
この圧電振動片７６において、他の実施形態と異なるのは、基部５１に設けた孔の形状等を変えた点のみである。
【００５０】
すなわち、図１７で示すように、基部５１には、圧電振動片７６の短手方向の両側壁５１ａ，５１ａ側に細枠５４，５４を残すようにして、短手方向に沿って設けた複数の長孔６８，６８が形成されている。この複数の長孔６８，６８は、図１７においては、長孔６８と長孔６８との間隔Ｗ２が、細枠５４，５４の幅Ｗ３と同等若しくはそれ以下になるように形成されている。また、長孔６８，６８は、図１８に示されるように、貫通しておらず、有底に形成されている。
【００５１】
本第３の実施形態は以上のように構成され、これにより、振動腕３４，３５の振動により生ずる基部の応力は、基部５１の構造的に弱い部分である細枠５４，５４に集中すると共に、この細枠５４，５４と同等以下の構造的に弱い部分である長孔６８，６８間に集中する。したがって、例えば、図１３に示す有底の長孔６２が一箇所に設けられた圧電振動子に比べて、基部５１の導電性接着剤４３，４３により固定された箇所５２，５２に振動が漏れることをより有効に防止できる。
なお、図１９に示すように、有底の長孔６８，６８は、基部５１の表面および裏面（導電性接着剤４３，４３が主に付着している面）に設けられていても勿論よい。
【００５２】
図２０は、本発明の上述した実施形態に係る圧電デバイスを利用した電子機器の一例としてのデジタル式携帯電話装置３００の概略構成を示す図である。
図において、送信者の音声を受信するマイクロフォン３０８及び受信内容を音声出力とするためのスピーカ３０９を備えており、さらに、送受信信号の変調及び復調部に接続された制御部としての集積回路等であるコントローラ３０１を備えている。
コントローラ３０１は、送受信信号の変調及び復調の他に画像表示部としてのＬＣＤや情報入力のための操作キー等でなる情報の入出力部３０２や、ＲＡＭ、ＲＯＭ等でなる情報記憶手段３０３の制御を行なうようになっている。このため、コントローラ３０１には、例えば、圧電デバイス３０が取り付けられて、この出力周波数をコントローラ３０１に内蔵された所定の分周回路（図示せず）等により、制御内容に適合したクロック信号として利用するようにされている。このコントローラ３０１に取り付けられる圧電デバイス３０は、圧電デバイス３０単体でなくても、圧電デバイス３０と、所定の分周回路等を組み合わせた発振器であってもよい。
コントローラ３０１は、さらに、温度補償水晶発振器（ＴＣＸＯ）３０５と接続され、温度補償水晶発振器３０５は、送信部３０７と受信部３０６に接続されている。これにより、コントローラ３０１からの基本クロックが、環境温度が変化した場合に変動しても、温度補償水晶発振器３０５により修正されて、送信部３０７及び受信部３０６に与えられるようになっている。
【００５３】
このように、デジタル式携帯電話装置３００のような電子機器に、上述した実施形態に係る圧電振動子３０を利用することにより、圧電振動片の振動漏れを防止して、優れた振動特性を備えた圧電デバイスを小型にしても得ることができ、デジタル式携帯電話装置３００全体の小型化に寄与できる。
【００５４】
本発明は上述の実施形態に限定されない。各実施形態の各構成はこれらを適宜相互に組み合わせたり、省略し、図示しない他の構成と組み合わせることができる。
この発明の圧電デバイスは、パッケージ内に圧電振動子と、これに接続される電子部品を含むものであれば、圧電発信器、圧電振動子、フィルタ等その名称を問わずに適用できるものである。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１の実施形態にかかる圧電デバイスである例えば圧電振動子の概略斜視図。
【図２】図１のＣ−Ｃ線切断断面図。
【図３】本発明の第１の実施形態にかかる圧電振動片の平面図。
【図４】図３のＤ−Ｄ線切断端面図。
【図５】図３のＦ−Ｆ線切断端面図。
【図６】従来の圧電振動子について、製造した複数の圧電振動子のＣＩ値を測定した図。
【図７】複数の圧電振動子について、各振動腕のそれぞれの根元付近に、貫通した丸孔を形成して、ＣＩ値を測定した図。
【図８】圧電振動片に設けた貫通孔を多角形にした図。
【図９】本発明の第１の実施形態にかかる第１の変形例であって、圧電デバイスの特徴的部分である圧電振動片の平面図。
【図１０】図９のＧ−Ｇ線切断端面図。
【図１１】本発明の第２の実施形態であって、圧電デバイスの特徴的な部分である圧電振動片の平面図。
【図１２】図１１のＨ−Ｈ線切断端面図。
【図１３】基部の両側壁側に細枠を残すようにして、短手方向に沿って設けた長孔について、基部を長孔の部分で幅方向に切断した図。
【図１４】本発明の第２の実施形態の第１の変形例であって、圧電デバイスの特徴的な部分である圧電振動片の平面図。
【図１５】図１４のＪ−Ｊ線切断端面図。
【図１６】基部の両側壁側に細枠を残すようにして、短手方向に沿って設けた長孔について、基部を長孔の部分で幅方向に切断した図。
【図１７】本発明の第３の実施形態であって、圧電デバイスの特徴的な部分である圧電振動片の平面図。
【図１８】図１７のＫ−Ｋ線切断端面図。
【図１９】図１８の孔を表面および裏面に設けた図。
【図２０】本発明の各実施形態に係る圧電デバイスを利用した電子機器の一例としてのデジタル式携帯電話装置の概略構成を示す図。
【図２１】従来の圧電デバイスである例えば圧電振動子の平面図。
【図２２】図２１のＡ−Ａ線切断断面図。
【図２３】各振動腕に印加される電圧を示すグラフ。
【図２４】図２１のＢ−Ｂ線切断端面図。
【符号の説明】
３０・・・圧電振動子、３６・・・パッケージ、３１・・・電極部、４３・・・導電性接着剤、３２，７０，７２，７４，７６・・・・・圧電振動片、３４，３５・・・振動腕、５１・・・基部、６０，６２，６４，６６ａ，６６ｂ，６８・・・孔、２６・・・引出電極。
Claims (9)
- 基部から平行に延びる一対の振動腕を有し、この一対の振動腕のそれぞれに長手方向に沿って延びる長溝が形成されている圧電振動片と、前記基部の一部を接着剤を介して支持固定するようにして、前記圧電振動片を内部に収容するパッケージとを備える圧電デバイスであって、
前記基部は、厚みが均一であって、前記接着剤により固定された箇所と前記振動腕との間の領域に孔が設けられている
ことを特徴とする圧電デバイス。 - 前記孔は、前記複数の振動腕のそれぞれの根元付近に形成されていることを特徴とする、請求項１に記載の圧電デバイス。
- 前記孔は、前記圧電振動片の短手方向の両側壁側に細枠を残すようにして、前記短手方向に沿って設けた長孔により形成されていることを特徴とする、請求項１に記載の圧電デバイス。
- 前記長孔は、複数形成されていることを特徴とする、請求項３に記載の圧電デバイス。
- 前記孔は、前記基部の厚み方向に貫通していることを特徴とする、請求項１ないし請求項４のいずれかに記載の圧電デバイス。
- 前記孔が有底の孔であることを特徴とする、請求項１ないし請求項４に記載の圧電デバイス。
- 前記有底の孔は、前記基部の表面および裏面に設けられていることを特徴とする、請求項６に記載の圧電デバイス。
- 基部から平行に延びる一対の振動腕を有し、この一対の振動腕のそれぞれに長手方向に沿って延びる長溝が形成されている圧電振動片と、前記基部の一部を接着剤を介して支持固定するようにして、前記圧電振動片を内部に収容するパッケージとを備える圧電デバイスにより、制御用のクロック信号を得るようにした携帯電話装置であって、
前記圧電デバイスの前記基部は、
厚みが均一であって、前記接着剤により固定された箇所と前記振動腕との間の領域に孔が設けられている
ことを特徴とする携帯電話装置。 - 基部から平行に延びる一対の振動腕を有し、この一対の振動腕のそれぞれに長手方向に沿って延びる長溝が形成されている圧電振動片と、前記基部の一部を接着剤を介して支持固定するようにして、前記圧電振動片を内部に収容するパッケージとを備える圧電デバイスにより制御用のクロック信号を得るようにした電子機器であって、
前記圧電デバイスの前記基部は、
厚みが均一であって、前記接着剤により固定された箇所と前記振動腕との間の領域に孔が設けられている
ことを特徴とする電子機器。
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Cited By (13)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006074793A (ja) * | 2004-09-03 | 2006-03-16 | Eta Sa Manufacture Horlogere Suisse | 小型の水晶共振器 |
| WO2007017992A1 (ja) * | 2005-08-10 | 2007-02-15 | Daishinku Corporation | 圧電振動デバイスおよびその製造方法 |
| JP2007049434A (ja) * | 2005-08-10 | 2007-02-22 | Daishinku Corp | 圧電振動片および圧電振動デバイス |
| JP2007081698A (ja) * | 2005-09-13 | 2007-03-29 | Daishinku Corp | 音叉型圧電振動片および圧電振動デバイス |
| JP2008249489A (ja) * | 2007-03-30 | 2008-10-16 | Tdk Corp | 角速度センサ素子および角速度センサ装置 |
| JP2009207022A (ja) * | 2008-02-29 | 2009-09-10 | Nippon Dempa Kogyo Co Ltd | 圧電振動片、圧電デバイス及び音叉型圧電振動子の周波数調整方法 |
| US7675224B2 (en) | 2005-04-27 | 2010-03-09 | Seiko Epson Corporation | Piezoelectric vibrating reed and piezoelectric device |
| JP2010157933A (ja) * | 2008-12-27 | 2010-07-15 | Epson Toyocom Corp | 屈曲振動片及び電子部品 |
| JP2010183540A (ja) * | 2009-02-09 | 2010-08-19 | Seiko Instruments Inc | 圧電振動片、圧電振動子、発振器、電子機器及び電波時計 |
| JP2010259023A (ja) * | 2009-04-28 | 2010-11-11 | Kyocera Kinseki Corp | 水晶振動素子 |
| WO2012108335A1 (ja) * | 2011-02-07 | 2012-08-16 | 株式会社大真空 | 音叉型圧電振動片、および音叉型圧電振動子 |
| CN113556099A (zh) * | 2021-06-11 | 2021-10-26 | 成都泰美克晶体技术有限公司 | 压电石英晶体振荡片、谐振器和振荡器 |
| US11290082B2 (en) | 2017-03-30 | 2022-03-29 | Daishtnku Corporation | Tuning fork-type piezoelectric vibration piece and tuning fork-type piezoelectric vibrator using the vibration piece |
-
2002
- 2002-12-17 JP JP2002365528A patent/JP2004200914A/ja not_active Withdrawn
Cited By (22)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7253554B2 (en) | 2004-09-03 | 2007-08-07 | Eta Sa Manufacture Horlogere Suisse | Quartz resonator of small dimensions |
| EP1633042B1 (fr) * | 2004-09-03 | 2010-05-05 | ETA SA Manufacture Horlogère Suisse | Résonateur à quartz de très petites dimensions |
| JP2006074793A (ja) * | 2004-09-03 | 2006-03-16 | Eta Sa Manufacture Horlogere Suisse | 小型の水晶共振器 |
| JP4646744B2 (ja) * | 2004-09-03 | 2011-03-09 | イーティーエー エスエー マニュファクチュア ホルロゲア スイス | 小型の水晶共振器 |
| US7675224B2 (en) | 2005-04-27 | 2010-03-09 | Seiko Epson Corporation | Piezoelectric vibrating reed and piezoelectric device |
| US7902731B2 (en) | 2005-08-10 | 2011-03-08 | Daishinku Corporation | Piezoelectric resonator device and method for manufacturing the same |
| WO2007017992A1 (ja) * | 2005-08-10 | 2007-02-15 | Daishinku Corporation | 圧電振動デバイスおよびその製造方法 |
| JP2007049434A (ja) * | 2005-08-10 | 2007-02-22 | Daishinku Corp | 圧電振動片および圧電振動デバイス |
| JPWO2007017992A1 (ja) * | 2005-08-10 | 2009-02-19 | 株式会社大真空 | 圧電振動デバイスおよびその製造方法 |
| JP2007081698A (ja) * | 2005-09-13 | 2007-03-29 | Daishinku Corp | 音叉型圧電振動片および圧電振動デバイス |
| JP2008249489A (ja) * | 2007-03-30 | 2008-10-16 | Tdk Corp | 角速度センサ素子および角速度センサ装置 |
| JP2009207022A (ja) * | 2008-02-29 | 2009-09-10 | Nippon Dempa Kogyo Co Ltd | 圧電振動片、圧電デバイス及び音叉型圧電振動子の周波数調整方法 |
| JP2010157933A (ja) * | 2008-12-27 | 2010-07-15 | Epson Toyocom Corp | 屈曲振動片及び電子部品 |
| JP2010183540A (ja) * | 2009-02-09 | 2010-08-19 | Seiko Instruments Inc | 圧電振動片、圧電振動子、発振器、電子機器及び電波時計 |
| JP2010259023A (ja) * | 2009-04-28 | 2010-11-11 | Kyocera Kinseki Corp | 水晶振動素子 |
| WO2012108335A1 (ja) * | 2011-02-07 | 2012-08-16 | 株式会社大真空 | 音叉型圧電振動片、および音叉型圧電振動子 |
| CN103250349A (zh) * | 2011-02-07 | 2013-08-14 | 株式会社大真空 | 音叉型压电振动片及音叉型压电振子 |
| JP5333668B2 (ja) * | 2011-02-07 | 2013-11-06 | 株式会社大真空 | 音叉型圧電振動片、および音叉型圧電振動子 |
| US8928208B2 (en) | 2011-02-07 | 2015-01-06 | Daishinku Corporation | Tuning fork-type piezoelectric resonator plate and tuning fork-type piezoelectric resonator |
| CN103250349B (zh) * | 2011-02-07 | 2015-09-02 | 株式会社大真空 | 音叉型压电振动片及音叉型压电振子 |
| US11290082B2 (en) | 2017-03-30 | 2022-03-29 | Daishtnku Corporation | Tuning fork-type piezoelectric vibration piece and tuning fork-type piezoelectric vibrator using the vibration piece |
| CN113556099A (zh) * | 2021-06-11 | 2021-10-26 | 成都泰美克晶体技术有限公司 | 压电石英晶体振荡片、谐振器和振荡器 |
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