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JP2003525432A - 化学物質およびデバイスを格納し、選択的に露出させるための微細加工されたデバイス - Google Patents

化学物質およびデバイスを格納し、選択的に露出させるための微細加工されたデバイス

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Publication number
JP2003525432A
JP2003525432A JP2001563234A JP2001563234A JP2003525432A JP 2003525432 A JP2003525432 A JP 2003525432A JP 2001563234 A JP2001563234 A JP 2001563234A JP 2001563234 A JP2001563234 A JP 2001563234A JP 2003525432 A JP2003525432 A JP 2003525432A
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JP
Japan
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reservoir
barrier layer
microchip
reservoirs
microchip device
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Application number
JP2001563234A
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English (en)
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JP3960802B2 (ja
Inventor
ジョン ティー． ジュニア サンティニ，
ノーマン エフ． ジュニア シェパード，
チュン チャン ヤング，
ロバート エス． ランガー，
Original Assignee
マイクロチップス・インコーポレーテッド
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
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Publication date
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    • B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
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Abstract

(57)【要約】 基板を含むマイクロチップデバイスが提供される。上記基板は、複数のリザーバを有する。上記複数のリザーバは、２次デバイス、反応性成分、またはこれらの組み合わせを含む。少なくとも１つのバリア層が各リザーバを被覆して、上記リザーバの外部にある１つ以上の環境成分から上記リザーバの内容物を保護する。上記バリア層は、選択的に分解させるかまたは浸透性にすることが可能であり、これにより、上記分離された内容物を上記１つ以上の環境成分に露出させる。上記２次デバイスは好適には、センサまたは感知コンポーネント（例えば、バイオセンサまたは光検出もしくは画像生成デバイス（例えば、光ファイバ））を含む。好適な反応性成分としては触媒および試薬があり、上記触媒および上記試薬は、上記リザーバ内部に固定化することが可能である。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】 （関連出願への相互参照） 本発明は、２０００年３月２日に出願された米国仮出願シリアル番号第６０／
１８６，５４５号に対する優先権を主張する。
【０００２】 （発明の背景） 本発明は、微細なデバイスもしくはデバイスコンポーネントおよび／または化
学物質を含むリザーバを有する小型化デバイスの分野に属する。ミクロアレイシ
ステムは、数多くの化合物の分析（例えば、薬剤の活動の分析またはヌクレオチ
ド分子配列のハイブリダイゼーションの分析）を行なうために開発されてきたも
のである。例えば、Ｂｅａｔｔｉｅに付与された米国特許第５，８４３，７６７
号に、結合反応を別個に検出するための「ゲノセンサ」を通過する微細加工され
たフローについての開示がある。この装置には、ナノレベルで多孔質のガラスウ
ェハがあり、このガラスウェハの傾斜付きウェル中において、核酸認識要素を固
定化させる。Ｂａｌｃｈに付与された米国特許第６，０８３，７６３号に、サン
プル基板内の分子構造の分析を、複数の試験部位が設けられたアレイと、その上
に設けられるサンプル基板とを用いて行なう装置についての開示がある。これら
の試験部位は、ミクロプレートアレイ（例えば、ミクロ滴定量プレート）内に設
けられることが多い。しかし、これらの装置の場合、これらのウェルのうち１つ
以上を密封する手段またはこれらのウェルのうち１つ以上を選択的に露出させる
手段（例えば、必要なときにもしくはこれらのウェルが受動的かつ特定の条件ま
で露出されたときにこれらのウェルのうち１つ以上を選択的に露出させる手段）
は全く得られない。
【０００３】 Ｓａｎｔｉｎｉらに付与された米国特許第５，７９７，８９８号および米国特
許第６，１２３，８６１号に、リザーバから薬剤分子を放出させるマイクロチッ
プデバイスについての記載があり、このリザーバには、能動的または受動的に分
解するリザーバキャップがある。このようなデバイスを、感知用途や、特定の時
点におけるミクロ単位の領域または体積中にある化学物質の反応を開始もしくは
測定する用途に適合させると有利である。
【０００４】 Ｋｒｏｙに付与された米国特許第５，２５２，２９４号に、基板の格納および
取り扱い（例えば、基板の検査および試験）の際に用いられる閉鎖型キャビティ
が設けられた微細機械構造についての開示がある。しかし、同特許には、ミクロ
バルブを用いずに個々のキャビティの露出を選択的に制御することについて、あ
るいは個々の感知手段を分離させることについて開示がない。
【０００５】 したがって、本発明の目的は、ミクロ単位の領域または体積において特定の時
点に化学物質の反応、分析または測定を開始および制御する際に用いられる小型
化デバイスを提供することである。
【０００６】 本発明の別の目的は、このような小型化デバイスを作製および使用する方法を
提供することである。
【０００７】 （発明の要旨） マイクロチップデバイスが提供される。上記マイクロチップデバイスは、化学
物質と、上記マイクロチップデバイスよりもより小型の２次デバイスとを格納し
、露出が必要なとき（例えば、化学反応を開始するときおよび／または分析機能
もしくは感知機能を行なうとき）まで、上記化学物質および上記２次デバイスを
環境露出から保護する。一実施形態において、上記マイクロチップデバイスは、
１枚の基板を有する。上記基板は複数のリザーバを有し、上記複数のリザーバは
、上記２次デバイスと、少なくとも１つのバリア層とを含む。上記少なくとも１
つのバリア層は、上記２次デバイスと上記リザーバ外部にある１つ以上の環境成
分とが分離されるように各リザーバを被覆する。上記バリア層は、選択的に分解
または浸透させることが可能であり、これにより、上記２次デバイスを上記１つ
以上の環境成分に露出させることが可能となる。上記２次デバイスは、センサま
たは感知コンポーネント（例えば、バイオセンサまたは光検出デバイスまたは画
像生成デバイス（例えば、光ファイバ）を含むと好ましい。一改変例において、
上記マイクロチップデバイスは、反応性成分（例えば、触媒または試薬）を１つ
以上リザーバ中にさらに含む。あるいは、上記センサまたは感知コンポーネント
を上記リザーバ外部の上記基板に取り付けて、リザーバに反応性成分を含めても
よい。
【０００８】 別の実施形態において、上記マイクロチップデバイスは、基板および少なくと
も１つのバリア層を含む。上記基板は、反応性成分を含む複数のリザーバを有し
、上記少なくとも１つのバリア層は、上記反応性成分と上記リザーバ外部の１つ
以上の環境成分とを分離させるように各リザーバを被覆する。上記バリア層は、
選択的に分解または浸透させることが可能であり、これにより、上記反応性成分
を上記１つ以上の環境成分に露出させる。好適な改変例において、上記反応性成
分は、上記環境成分に露出された後も上記リザーバ中に固定化されたままの状態
である触媒または酵素である。いくつかの実施形態において、上記バリア層を破
断させるくらいの圧力による力を生成する際に用いられる膨張可能材料および浸
透圧生成材料をリザーバ中に取り入れてもよい。
【０００９】 上記マイクロチップデバイスを用いて、露出のタイミングが来るまで、化学物
質およびデバイスが周囲環境に露出されないように保護する。これは、上記リザ
ーバ内の上記化学物質またはデバイスが環境の条件に対して感度が高い場合（例
えば、上記環境に長時間露出されると故障するデバイスまたは汚染する材料の場
合）に特に有用である。一実施形態において、所望の不均一の化学反応を開始す
る際に用いられる触媒が汚染し易い触媒である場合、この触媒をマイクロチップ
デバイスのリザーバ内部に密封して、上記触媒を上記周囲環境から保護する。上
記反応を開始することが望まれる場合、上記リザーバ上のバリア層を除去するか
または浸透性にする。上記周囲環境中での反応を発生させるための試薬は、（例
えば、拡散によって）上記リザーバに流入し、上記触媒と接触し、上記触媒の表
面において反応し、すると、その結果生成された生成物が上記リザーバから流出
する。この不均一反応は、上記試薬が無くなるかまたは上記触媒が汚染するまで
続く。このプロセスは、リザーバをさらに追加して開口させて触媒を新しく追加
して露出させることにより、何回でも繰り返すことができる。
【００１０】 別の実施形態において、上記マイクロチップデバイスは、各リザーバ内部に配
置された１つ以上のセンサを含む。上記センサは、上記バリア層が除去されるか
または浸透性になるまで上記環境から保護される。上記バリア層が除去されるか
または浸透性になると、上記センサは、分子の存在および／もしくは分量または
１つ以上のリザーバ近隣における条件を検出することができる。このようなセン
サは、例えば、分子を他の化学物質放出デバイスから放出する工程または化学物
質を同一のデバイス中のリザーバから放出する工程を制御およびモニタリングす
る際に用いることが可能である。
【００１１】 （発明の詳細な説明） 反応性成分および２次デバイスを格納し、環境への露出が望ましくなるまでの
一定期間の間これらを環境から保護するマイクロチップデバイスが提供される。
これらのマイクロチップデバイスを用いると、これらの内容物の露出を選択的に
行い、制御することが可能となる。これらのマイクロチップデバイスは複数のリ
ザーバを含み、これらのリザーバの内容物は、リザーバ中の反応性成分もしくは
２次デバイスまたはその一部をリザーバ外部の環境に露出させることが所望され
るまで、全体的または部分的に分離される。これらのデバイスは、分子またはエ
ネルギーが通過してリザーバに流出入する工程を制限、向上、または（他の場合
に）制御するように設計されている。これらの機能は、マイクロチップデバイス
の各リザーバの少なくとも１つの開口部を少なくとも１つのバリア層によって被
覆することにより、達成される。
【００１２】 本明細書中にて用いられる「マイクロチップ」という用語は、集積回路および
ＭＥＭＳ（マイクロ電子機械システム）の製造において通常用いられる方法（例
えば、紫外線（ＵＶ）フォトリソグラフィー、反応性イオンエッチング、および
電子ビーム蒸着）を用いて作製された小型化デバイスである。このような集積回
路およびＭＥＭＳの製造において通常用いられる方法については、例えば、Ｗｏ
ｌｆ＆Ｔａｕｂｅｒによる「Ｓｉｌｉｃｏｎ Ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ ｆｏｒ
ｔｈｅ ＶＬＳＩ Ｅｒａ」（第１巻―Ｐｒｏｃｅｓｓ Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ
（Ｌａｔｔｉｃｅ Ｐｒｅｓｓ、Ｓｕｎｓｅｔ Ｂｅａｃｈ、ＣＡ、１９８６）
；およびＪａｅｇｅｒによる「Ｉｎｔｒｏｄｕｃｔｉｏｎ ｔｏ Ｍｉｃｒｏｅ
ｌｅｃｔｒｏｎｉｃ Ｆａｂｒｉｃａｔｉｏｎ（第５巻）」（Ｔｈｅ Ｍｏｄｕ
ｌａｒ Ｓｅｒｉｅｓ ｏｎ Ｓｏｌｉｄ Ｓｔａｔｅ Ｄｅｖｉｃｅｓ（Ａｄ
ｄｉｓｏｎ−Ｗｅｓｌｅｙ、Ｒｅａｄｉｎｇ、ＭＡ、１９８８））；ならびにコ
ンピュータマイクロチップ作製法において標準的ではないＭＥＭＳ方法（例えば
、Ｍａｄｏｕによる「Ｆｕｎｄａｍｅｎｔａｌｓ ｏｆ Ｍｉｃｒｏｆａｂｒｉ
ｃａｔｉｏｎ」（ＣＲＣ Ｐｒｅｓｓ、１９９７）に記載の方法）ならびに当該
分野において公知の微細成形技術および微細機械加工技術に記載がある。このマ
イクロチップ製造手順により、デバイスの製造を１ミリメートル〜数センチメー
トルの範囲の初期寸法（ｐｒｉｍａｒｙ ｄｉｍｅｎｓｉｏｎ）（すなわち、正
方形もしくは矩形である場合は側部の長さ、または円形の場合は直径）で行なう
ことが可能となる。典型的なデバイス厚さは５００μｍである。しかし、デバイ
ス厚さは、デバイスの用途に応じておよそ１０μｍ〜数ミリメートルまで変化し
得る。さらなるシリコンウェハまたは他の基板材料を作製されたマイクロチップ
デバイスに結合または取り付けることにより、デバイス全体の厚さおよびリザー
バ体積を増加させてもよい。一般的には、デバイス厚さを変更すると、各リザー
バの体積に影響が出ることがあり、１つのマイクロチップに組み込むことが可能
なリザーバの最大数にも影響が出ることがある。このデバイスをインビボ用途に
用いる場合、デバイスの初期寸法は、皮下移植に適するよう３ｃｍ以下が必要と
なる場合が多いが、腹膜移植または頭蓋移植の場合、数センチメートル単位であ
ってもよい。インビボ用途のデバイスは、侵襲性を最低限に抑えた手順を用いて
嚥下または移植されるくらいの大きさのものが好ましい。小型のインビボデバイ
ス（例えば、ミリメートルのオーダーのデバイス）の場合、カテーテルまたは他
の注入手段を用いて移植することが可能である。身体の外部に配置され、インビ
ボ用途の際にシステム内において用いられる（例えば、感知の後に生物学的流体
のサンプルを抽出する際に用いられる）マイクロチップデバイスの場合、デバイ
スのサイズに対する要件はずっと緩くなる。インビトロ用途のデバイスの場合も
デバイスのサイズに対する要件はずっと緩くなり、必要ならば、インビボデバイ
スに関する寸法範囲よりもずっと大きくしてもよい。
【００１３】 （Ｉ．デバイスコンポーネントおよび材料） 各マイクロチップデバイスは、反応性成分または２次デバイスを含むリザーバ
を有する基板を含む。このデバイスにおいて、各リザーバの少なくとも１つの開
口部は、周囲環境の１つ以上のコンポーネントからリザーバ中の内容物を保護す
るバリア層によって被覆される。これらの環境成分の例を挙げると、化学物質、
水、生物学的流体、細胞、分子および１つ以上の形態のエネルギー（例えば、光
または熱）がある。
【００１４】 図１Ａ〜図１Ｃは、マイクロチップデバイス１０の様々な実施形態の横断面図
を示す。このマイクロチップデバイス１０は、基板１２と、リザーバ１４と、支
持プレート１６と、バリア層１８とを含む。図１Ｃの実施形態において、この基
板１２は基板部分１２ａおよび１２ｂから構成され、マイクロチップデバイスは
、半浸透性バリア層２０をさらに含む。支持プレートは、基板を貫通する穴から
リザーバを形成するプロセスによって生成されたデバイスの実施形態のみにおい
て用いられることが多い点に注意されたい。この支持プレートは実質的には、任
意の不浸透性プレートであってもよいし、または、硬質材料もしくは密封機能を
提供する可撓性材料の層であってもよい。
【００１５】 マイクロチップデバイスは、受動型デバイスと能動型デバイスとに分類するこ
とができる。能動型デバイスでの場合、バリア層の浸透性は、任意のユーザによ
る介入が無くても変化し、能動型デバイスの場合、バリア層を浸透性にする作用
がデバイス制御器によって開始される。能動型デバイスは、制御回路、メモリお
よび電源を含んでもよいし、無線通信またはリモート通信、制御、およびデータ
および電力伝達を用いて動作させてもよい。
【００１６】 （Ａ．基板） 基板はリザーバを含み、マイクロチップの支持体として機能する。任意の材料
をマイクロチップの支持体として用いることが可能であるが、基板として用いる
ことが可能な材料の条件としては、エッチングもしくは機械加工に適したもの、
または鋳造法もしくは型成型が可能なもの、およびリザーバおよび周囲環境の内
容物（例えば、水、血液、電解液、他の溶液、または空気）に対して不浸透性の
ものである。適切な基板材料の例を挙げると、セラミックス、ガラス、特定の金
属、半導体、ならびに分解性ポリマーおよび非分解性ポリマーがある。生体適合
性の基板材料が好適であるが、これは必須条件ではない。インビボ用途の場合、
生体適合性材料（例えば、ポリ（エチレングリコール）またはポリテトラフルオ
ロエチレン様材料）中に非生体適合性の材料を（両者が使用前の状態のときに）
密封してもよい。強力で非分解性でありかつエッチングが容易な基板でありなお
かつリザーバ中に含まれる分子もしくは２次デバイスおよび周囲流体に対して不
浸透性である材料の例を数例挙げると、シリコン、ガラス、およびチタンがある
。別の実施形態において、基板は、一定期間にわたって生体適合性成分中に分解
または溶解する強力な材料から構成される。この実施形態は、デバイス移植が行
なわれる場合であって当該デバイスを後で物理的に除去することが実行不可能で
あるかまたは困難である場合（例えば、脳移植の場合）のインビボ用途に好適で
ある。あるクラスの強力な生体適合性材料の一例を挙げると、ポリ（無水物−コ
−イミド）がある。このポリ（無水物−コ−イミド）については、Ｕｈｒｉｃｈ
らによる「Ｓｙｎｔｈｅｓｉｓ ａｎｄ ｃｈａｒａｃｔｅｒｉｚａｔｉｏｎ
ｏｆ ｄｅｇｒａｄａｂｌｅ ｐｏｌｙ（ａｎｈｙｄｒｉｄｅ−ｃｏ−ｉｍｉｄ
ｅｓ）」（Ｍａｃｒｏｍｏｌｅｃｕｌｅｓ、２８：２１８４−９３（１９９５）
）に記載がある。
【００１７】 基板は、１種類の材料のみで形成してもよいし、あるいは複合材料もしくは多
層材料であってもよい（例えば、２つ以上の基板部分を相互結合させてもよい）
（後述する図１２Ａ〜１２Ｃを参照）。複数の部分からなる基板を同一または異
なる材料（例えば、シリコン、ガラス、セラミックス、半導体、金属およびポリ
マー）で形成してもよい。２つ以上の完成状態のマイクロチップデバイスを相互
結合させて、複数の部分からなる基板デバイスを形成してもよい（図１２Ｄを参
照）。
【００１８】 （Ｂ．２次デバイスおよび反応性成分） リザーバは、２次デバイス、反応性成分、またはこれらの組み合わせを含む。
２次デバイス、反応性成分、またはこれらの組み合わせは、その露出が所望され
るときまで周囲の環境成分から保護する必要がある。
【００１９】 （２次デバイス） 本明細書中にて用いられる「２次デバイス」という用語は、他に明記無き限り
、マイクロチップデバイス中の１つ以上のリザーバと動作可能な状態で通信する
ように配置または設計することが可能な任意のデバイスおよびそのコンポーネン
トを指す（ただし、これらに限定されない）。好適な実施形態において、２次デ
バイスは、センサまたは感知コンポーネントである。本明細書中用いられる「感
知コンポーネント」という用語は、ある部位における化学物質またはイオン種の
存在、不在または変化、エネルギーまたは１つ以上の物理的特性（例えば、ｐＨ
、圧力）の測定または分析の際に用いられるコンポーネント（ただし、これらに
限定されない）を指す。
【００２０】 ２次デバイスは、各リザーバ内において一体化されてもよいし、あるいはリザ
ーバに近接した様態で配置されもよい。２次デバイスは、完成状態のデバイスも
しくはシステムを含んでもよいし、あるいは、より大型のまたはより複雑なデバ
イスからなる１つのコンポーネントであってもよい。一実施形態において、リザ
ーバ中にあるセンサは、リザーバのバリア層の浸透性が変化するまでは周囲環境
から分離された状態にある。センサ使用が所望されるようになると、バリア層は
除去されるかまたは浸透性となる。周囲環境中に存在する検出対象分子はリザー
バ中に拡散し、センサと相互作用する。別の実施形態において、光学信号の検出
または画像の取得が所望されるまで、光検出デバイスまたは画像生成デバイス（
例えば、光学セル、ＣＣＤチップなど）を密封されたリザーバ中に配置しておく
。バリアを除去または浸透性にして、リザーバ中の光学デバイスに光エネルギー
が通過するようにする。
【００２１】 マイクロチップデバイスは、化学物質およびデバイスの任意の組み合わせを格
納および露出させることもできる。例えば、各リザーバは、異なる化学物質また
は分子を放出対象物として格納することができる。一実施形態において、デバイ
スを複数の化学物質放出リザーバの外側でかつ近接した位置に配置して、特定の
リザーバから化学物質が放出されるタイミングをモニタリングしてもよい。別の
実施形態において、リザーバ中に含まれる化学物質は酵素触媒、グルコース酸化
酵素であり、これは、いくつかのグルコース感知デバイスにおいて用いられる。
機能が全く異なる複数のデバイスを有するマイクロチップデバイスが各リザーバ
の内部または近隣に配置されてもよいことが理解される。例えば、一実施形態に
おいて、３種類の分子の検出および定量化を行なう３つのセンサが１つのリザー
バ内に配置されてもよいし、３種類の異なる分子を検出する全く異なる３つのセ
ンサが近隣のリザーバに配置されてもよい。あるいは、単一のデバイスが３つの
コンポーネントから構成され、これらの３つのコンポーネントがそれぞれ異なる
リザーバに配置されてもよい。この技術により、マイクロチップは、各化学物質
、デバイスまたはデバイスコンポーネントをリザーバ外部の環境に選択的に露出
させる能力と、各リザーバと関連付けられた化学物質およびデバイスの数および
種類を変化させる能力とを有する。
【００２２】 好適な実施形態において、２次デバイスはセンサである。リザーバ内部または
リザーバ近隣に設けることが可能なセンサの種類を挙げると、バイオセンサ、化
学物質センサ、物理的センサまたは光学センサがある。好適なセンサは、特性（
例えば、生物活性、化学活性、ｐＨ、温度、圧力、光学特性、放射能、および導
電率）を測定する。これらのセンサは、センサ（例えば、「既製の」センサ）と
別個であってもよいし、基板と一体化させてもよい。バイオセンサは、認識要素
（例えば、酵素または抗体）を含むことが多い。分析物と認識要素との間の相互
作用を電子信号に変換するために用いられるトランスデューサは、例えば、電気
化学性、光学性、圧電性、または熱性であり得る。微細加工方法を用いて構築さ
れたバイオセンサの代表例については、Ｃｏｚｚｅｔｔｅらに付与された米国特
許第５，２００，０５１号、米国特許第５，４６６，５７５号、米国特許第５，
８３７，４４６号および米国特許第５，４６６，５７５号に記載がある。
【００２３】 マイクロチップデバイス内に配置されたデバイスを用いて得られたデータの受
信法および分析法には複数の異なるオプションがある。第１に、デバイスからの
出力信号を記録して、書き込み可能なコンピュータメモリチップに格納すること
が可能である。第２に、デバイスからの出力信号をマイクロプロセッサに方向付
けて、すぐに分析および処理させることもできる。第３に、マイクロチップから
離れた遠隔位置に信号を送ることも可能である。例えば、マイクロチップを無線
送信器と一体化させて、マイクロチップからの信号（例えば、データ）をコンピ
ュータまたは他の遠隔地にある受信器ソースに送信することが可能である。同じ
伝達機構を用いてマイクロチップを制御してもよい。マイクロチップへの電力供
給は、小型バッテリによってローカルに行ってもよいし、あるいは無線伝達によ
ってリモートに行なってもよい。
【００２４】 （反応性成分） 本明細書中用いられる「反応性成分」という用語は、他に明記なき限り、任意
の化学物質種を含む。このような任意の化学物質種は、反応（試薬を含む。ただ
し、これに限定されない）；触媒（例えば、酵素、金属およびゼオライト）；タ
ンパク質；核酸；ポリサッカリド；ポリマー；細胞、ならびに有機分子または無
機分子（例えば、診断剤）において用いることが可能である。
【００２５】 リザーバ内に含まれる反応性成分は、任意の形態（例えば、固体、液体、ゲル
または蒸気）で存在してもよい。リザーバ内に含まれる反応性成分は、リザーバ
中において純粋な形態で存在してもよいし、あるいは他の材料との混合物として
存在してもよい。例えば、化学物質の形態は、固体混合物（例えば、非結晶質の
混合粉および結晶質の混合粉、多孔性のモノリシック固体混合物または非多孔性
のモノリシック固体混合物、および固体状の相互に浸透する網状組織；液体混合
物または溶液（例えば、乳濁液、コロイド懸濁液およびスラリー）；ならびにゲ
ル混合物（例えば、ヒドロゲル）であってもよい。リザーバからバリア層が除去
された後のリザーバ内部の化学物質は、リザーバ中にとどまらせてもよいし、あ
るいはリザーバから放出してもよい。
【００２６】 リザーバ中に化学物質を留まらせる１つの実施形態において、当該化学物質は
、不均一反応を得るために用いられるゼオライトである。バリア層が除去される
と、リザーバ中に拡散している試薬が、リザーバ中に留まっているゼオライト触
媒の表面において反応する。化学物質をリザーバから放出させる１つの実施形態
において、（例えば、分析化学または医学的診断の分野において）特定の配列中
の少量（ミリグラム〜ナノグラム）の１つ以上の分子の放出を制御することが所
望される場合、リザーバ中に初期から含まれている分子をリザーバからインビト
ロで放出させる。化学物質をこのような様式で放出させると、複雑な反応（例え
ば、ポリメラーゼの鎖反応または他の核酸増幅手順）におけるｐＨ緩衝剤、診断
剤および試薬として効果的であり得る。
【００２７】 （Ｄ．バリア層） マイクロチップデバイスの各リザーバの少なくとも１つの開口部は、バリア層
によって被覆される。このバリア層は、リザーバの内容物を周囲環境または周囲
環境の一部から孤立化（すなわち分離）させる。バリア層は、分子またはエネル
ギー（例えば、光または電界）に対して不浸透性、浸透性、または半浸透性であ
り得る。バリア層の分子またはエネルギーに対する浸透性は、能動型に制御して
もよいし、あるいはバリア層の構造、組成または製造方法に応じて受動的に制御
してもよい。このような能動型制御は、例えば刺激（例えば、電界もしくは電流
、磁界、ｐＨ変化）または熱、光化学物質、化学物質、電気化学物質、または機
械的手段）を与えることによってバリア層の全体または一部を選択的かつリアル
タイムに除去することにより、得られる。例えば、デバイスの各リザーバ中に分
子またはエネルギーが流入するのを、（例えば、固体キャップ材料、ナノレベル
の多孔質材料、または微細多孔性材料を通じた）拡散、浸透圧、イオン勾配、電
界もしくは電流、毛管現象力または表面張力によって制御することが可能である
。
【００２８】 このバリア層は多層であってもよく、膜、リザーバキャップ、プラグ、肉厚ま
たは薄膜を有する固体膜または半固体膜、２相界面（すなわち、固体−液体、液
体−液体、または液体−ガス）、またはリザーバの内容物をリザーバ外部の環境
から分離させる用途に適した他の任意の物理的構造または化学物質構造を含んで
もよい。バリア層の構造は、リザーバ開口部上で自立した構造をとることが多い
。バリア層を選択的に除去または浸透性にすると、リザーバ周囲の環境（または
当該環境の選択されたコンポーネント）にリザーバの内容物が「露出」する。
【００２９】 好適な実施形態において、バリア層を選択的に分解または浸透させることがで
きる。本明細書中用いられる「分解」という用語は、以下に挙げる複数の機構の
うち特定の１つが明記されない限り、分解、溶解、破断、破砕、またはいくつか
の他の形態の機械的故障、ならびに温度変化に応答して発生する化学反応または
相変化による構造的完全性の損失（例えば、融解）を含むものとして制限無く広
義に用いられる。本明細書中用いられる「浸透」という用語は、１つ以上の種の
分子または１つ以上の形態のエネルギーがいずれかの方向に進行してバリア層を
通過することを可能にするレベルにまでバリア層を多孔性または浸透性にさせる
ことのできる任意の手段を制限無く含むものとする。バリア層に針を穿刺してリ
ザーバに到達させることによってバリア層を穿刺するような手法は、バリア層を
浸透または分解させるのに好適な手段ではないことが多い。
【００３０】 受動型デバイスの場合、バリア層は、経時的に劣化、溶解もしくは分解するか
または劣化、溶解もしくは分解しない材料または材料混合物でありかつ分子もし
くはエネルギーに対して浸透性であるかまたは浸透性になる材料または材料混合
物から形成される。受動型マイクロチップ用のバリア層材料としてはポリマー材
料が好適であるが、バリア層を非ポリマー材料（例えば、多孔性形状の金属、半
導体およびセラミックス）で構成してもよい。受動型の半導体バリア層の材料の
代表例を挙げると、ナノレベルのまたはマイクロレベルの多孔性シリコン膜があ
る。バリア層用の材料は、様々な浸透速度または劣化速度、溶解速度または分解
速度が得られるように選択することが可能である。ポリマーを伴う実施形態を用
いた遅延時間（すなわち、バリア層が浸透性になりリザーバ内容物が「露出」す
るまでに必要な時間）を変化させるためには、バリア層を異なるポリマーで形成
してもよいし、同一のポリマーを異なる厚さ、異なる架橋レベルまたは異なる紫
外線（ＵＶ）光による重合が可能なポリマーを組み合わせても良い。後者の場合
、ポリマーのＵＶ光への露出レベルを変化させると架橋レベルも変化し、バリア
層には、異なる拡散特性（すなわち、浸透性）または劣化速度、溶解速度、もし
くは分解速度が与えられる。バリア層を浸透性にするタイミングを制御する別の
方法として、１種類のポリマーを用いてそのポリマーの厚さを変化させることに
よって制御を得る方法がある。特定のポリマー膜を肉厚にすると、バリア層が浸
透性となるタイミングが遅延する。ポリマー、架橋レベルまたはポリマー厚さの
任意の組み合わせを改変して、特定の遅延時間を得ることが可能である。一実施
形態において、対象分子に対してほぼ不浸透性である分解性バリア層によってリ
ザーバを被覆する。リザーバ内容物の露出の開始所要時間は、バリア層材料の分
解所要時間によって限定される。別の実施形態において、バリア層は非分解性で
あり、環境中の特定の分子または特定の種類のエネルギー（例えば、光）に対し
て浸透性である。使用材料の物理的特性、架橋レベル、多孔度および肉厚により
、分子またはエネルギーのバリア層中での拡散所要時間またはバリア層の通過所
要時間が決定する。
【００３１】 能動型デバイスの場合、バリア層は、与えられた刺激（例えば、電界もしくは
電流、磁界、ｐＨ変化、もしくは熱、化学物質、電気化学物質または機械的手段
）に応答して分解または浸透することが可能な任意の材料を含んでもよい。好適
な実施形態において、バリア層は薄膜を有する金属（例えば、金）の膜であり、
周囲環境（例えば、体液または別の塩化物含有溶液）に対して不浸透性である。
金属および周囲環境の種類に基づいて、特定の電位（例えば、＋１．０４ボルト
対飽和カロメル基準電極）を金属バリア層に印加する。この金属バリア層は、電
気化学反応によって酸化および溶解して、その結果、リザーバ内容物が周囲環境
に「露出」する。加えて、電位に応答して不溶性イオンまたは酸化生成物を形成
することの多い材料を用いることも可能であるが、その場合、例えば、これらの
酸化生成物は、アノード近隣の局所的ｐＨ変化によって溶性にならなければなら
ない。適切なバリア層材料を挙げると、金属（例えば、銅、金、銀および亜鉛）
ならびに特定のポリマー（例えば、Ｋｗｏｎらによる文献（Ｎａｔｕｒｅ、３５
４：２９１−９３（１９９１）およびＢａｅらによる「ＡＣＳ Ｓｙｍｐｏｓｉ
ｕｍ Ｓｅｒｉｅｓ」（５４５：９８−１１０（１９９４）に記載のポリマー）
がある。別の実施形態において、バリア層は、融点が室温よりもわずかに高いポ
リマーである。ポリマーバリア層の近隣における局所温度がバリア層近隣に配置
された薄膜抵抗器によってポリマーの融点を超えるレベルまで上昇した場合、そ
のバリア層は融解し、リザーバの内容物は周囲環境に露出する。
【００３２】 受動型バリア層または能動型バリア層の任意の組み合わせを単一のマイクロチ
ップデバイスに設けることが可能である。受動型バリア層および能動型バリア層
を組み合わせて、多層バリア層または複合材料バリア層にしてもよい。１つのこ
のような実施形態において、不浸透性の能動型バリア層を浸透性の受動型バリア
層上に配置してもよい。リザーバ内容物を周囲環境に露出させることが所望され
る場合、刺激（例えば、電流）を与えることにより、不浸透性の能動型バリア層
を除去する。能動型バリア層を除去した後、受動型層はまだリザーバ上に残って
いる。受動型バリア層は、周囲環境中の分子に対して浸透性である。しかし、分
子が受動型バリア層を通過する速度は、受動型バリア層、その厚さならびにその
他の物理的特性および化学物質特性に合わせてデバイス製造工程の間に用いられ
る材料の選択内容によってあらかじめ決まっている。
【００３３】 （Ｅ．デバイスのパッケージング、制御回路および電源） 能動型デバイスは、作動を必要とし、作動は、マイクロプロセッサの制御下に
おいて行なわれることが多い。マイクロプロセッサは、（様々な条件（例えば、
特定の時期、別のデバイスからの（例えばリモート制御法もしくは無線法による
）信号の受信、またはセンサ（例えば、バイオセンサ）を用いた特定の条件の検
出）に応答して）バリア層の分解または浸透を開始させるようにプログラムされ
ている。
【００３４】 微細電子デバイスのパッケージは、絶縁性材料または誘電性材料（例えば、酸
化アルミニウムまたはシリコン窒化物）から構成されることが多い。低コストの
パッケージをプラスチックで構成してもよい。微細電子デバイスのパッケージの
目的は、デバイスの全コンポーネントを近密に配置し、コンポーネントと電源と
の相互接続およびコンポーネント相互間の相互接続を容易化させることである。
インビボ用途のマイクロチップデバイスの場合、全コンポーネント（すなわち、
デバイス、マイクロプロセッサおよび電源）を含むパッケージ全体を、生体適合
性材料（例えば、ポリ（エチレングリコール）またはポリテトラフルオロエチレ
ン様材料）でコーティングするかまたはこのような材料中に収容する。インビト
ロ用途の場合の材料要件は、上記の条件よりも緩い条件であることが多く、特定
の状況によって異なる。
【００３５】 制御回路は、マイクロプロセッサと、タイマと、デマルチプレクサと、入力ソ
ース（例えば、メモリソース、信号受信器またはバイオセンサ）とからなる。所
望のバリア作動モード（例えば、融解可能なバリア層に対する薄膜抵抗器）に応
じて、さらなるコンポーネントをシステムに追加してもよい。タイマおよびデマ
ルチプレクサ回路は、電極製造工程の間にマイクロチップの表面上に直接載置さ
れるように設計され、組み込まれる。マイクロプロセッサの選択基準は、サイズ
が小さく、電力要求が低く、かつ、メモリソース、信号受信器またはバイオセン
サからの出力をあるアドレスに変換する能力のあるものである。このアドレスは
、デマルチプレクサを通じてマイクロチップデバイス上の特定のリザーバに到達
する電力の方向に関するものである（例えば、Ｊｉらによる「ＩＥＥＥ Ｊ．Ｓ
ｏｌｉｄ−Ｓｔａｔｅ Ｃｉｒｃｕｉｔｓ」（２７：４３３−４３（１９９２）
）を参照されたい）。マイクロプロセッサに対するソース（例えば、メモリソー
ス、信号受信器またはバイオセンサ）の選択内容は、マイクロチップデバイスの
特定の用途と、デバイス動作があらかじめプログラムされているか否かと、デバ
イス動作がリモート手段またはデバイスの環境からのフィードバックによって制
御されるか否か（すなわち、バイオフィードバックがあるか否か）とによって異
なる。
【００３６】 電源の選択基準は、サイズが小さく、電力能力が十分であり、制御回路との集
積化が可能であり、再充電可能であり、かつ再充電の前に特定の時間が必要であ
ることである。バッテリは別個に製造してもよい（すなわち、既製のものを用い
てもよい）し、あるいはマイクロチップそのものと集積化してもよい。いくつか
のリチウムベースの微細蓄電池について、Ｊｏｎｅｓ＆Ａｋｒｉｄｇｅによる「
Ｄｅｖｅｌｏｐｍｅｎｔ ａｎｄ ｐｅｒｆｏｒｍａｎｃｅ ｏｆ ａ ｒｅｃ
ｈａｒｇｅａｂｌｅ ｔｈｉｎ−ｆｉｌｍ ｓｏｌｉｄ−ｓｔａｔｅ ｍｉｃｒ
ｏｂａｔｔｅｒｙ」（Ｊ．Ｐｏｗｅｒ Ｓｏｕｒｃｅｓ、５４：６３−６７（１
９９５））と、Ｂａｔｅｓらによる「Ｎｅｗ ａｍｏｒｐｈｏｕｓ ｔｈｉｎ−
ｆｉｌｍ ｌｉｔｈｉｕｍ ｅｌｅｃｔｒｏｌｙｔｅ ａｎｄ ｒｅｃｈａｒｇ
ｅａｂｌｅ ｍｉｃｒｏｂａｔｔｅｒｙ」（ＩＥＥＥ ３５ｔｈ Ｉｎｔｅｒｎ
ａｔｉｏｎａｌ Ｐｏｗｅｒ Ｓｏｕｒｃｅｓ Ｓｙｍｐｏｓｉｕｍ、ｐｐ．３
３７〜３９（１９９２））とに記載がある。これらのバッテリは、厚さがわずか
１０ミクロンしかなく、１ｃｍ２の領域を占有することが多い。これらのバッテ
リのうちの１つ以上をマイクロチップデバイス上に直接設けることが可能である
。Ｂｉｎｙａｍｉｎらによる「Ｊ：Ｅｌｅｃｔｒｏｃｈｅｍ．Ｓｏｃ．」（１４
７：２７８０−８３（２０００））に、生物燃料セルの開発の研究についての記
載がある。同文献による生物燃料セルが開発されれば、本明細書中に記載のマイ
クロチップデバイスならびに他の微細電子デバイスのインビボ用途での動作に適
した低電力電源が得られる。
【００３７】 （ＩＩ．マイクロチップデバイスの作製方法） （Ａ．リザーバを有する基板の製造） デバイスは、当該分野において公知の方法（例えば、Ｗｏｌｆら（１９８６）
、Ｊａｅｇｅｒ（１９８８）およびＭａｄｏｕによる「Ｆｕｎｄａｍｅｎｔａｌ
ｓ ｏｆ Ｍｉｃｒｏｆａｂｒｉｃａｔｉｏｎ」（ＣＲＣ Ｐｒｅｓｓ １９９
７）によって調査された方法）を用いて作成される。マイクロチップデバイスは
、以下に説明する方法を単独で用いてまたはＳａｎｔｉｎｉらに付与された米国
特許第５，７９７，８９８号および米国特許第６，１２３，８６１号に記載の方
法と組み合わせて用いて作製することが可能である。
【００３８】 好適なマイクロチップ製造方法において、製造工程は、基板上の材料（典型的
には絶縁性材料または誘電性材料）を堆積させ、フォトリソグラフィーを用いて
パターニングを施して、リザーバがエッチングされる間のエッチング用マスクと
して機能させる工程から開始する。マスクとして用いられることの多い絶縁性材
料を挙げると、シリコン窒化物、二酸化シリコンおよび特定のポリマー（例えば
、ポリイミド）がある。好適な実施形態において、薄膜（およそ１０００〜３０
００Å）の低応力のシリコンを豊富に含む窒化物を、垂直チューブ反応器（Ｖｅ
ｒｔｉｃａｌ Ｔｕｂｅ Ｒｅａｃｔｏｒ）（ＶＴＲ）中のシリコンウェハの両
側に堆積させる。あるいは、化学量論通りの多結晶質のシリコン窒化物（Ｓｉ３ Ｎ４）を低圧の化学蒸着法（ＬＰＣＶＤ）によって堆積させてもよいし、または
、非結晶質のシリコン窒化物をプラズマ促進化学蒸着法（ＰＥＣＶＤ）によって
堆積させてもよい。リザーバは、ウェハの片面上のシリコン窒化物膜中にパター
ニングされる。このパターニング工程は、紫外線フォトリソグラフィーと、プラ
ズマエッチングまたは（高温のリン酸または緩衝液と混合されたフッ化水素酸か
らなる）化学的エッチングのいずれかとによって行なわれる。パターニングされ
たシリコン窒化物は、（７５〜９０℃の温度においておよそ２０〜４０％重量Ｋ
ＯＨの）濃度の水酸化カリウム溶液により、露出したシリコンに化学的エッチン
グを行なうためのエッチング用マスクとして機能する。あるいは、ドライエッチ
ング技術（例えば、反応性イオンエッチング、デープトレンチエッチングまたは
イオンビームエッチング）を用いて、リザーバを基板中にエッチングしてもよい
。これらの微細加工技術を用いると、何百から何千単位のリザーバを単一のマイ
クロチップ上に設けることが可能となる。各リザーバ間の間隔は、当該リザーバ
の特定の用途と、当該デバイスが受動型デバイスであるのかそれとも能動型デバ
イスであるのかとに依存する。リザーバ形状および使用される密封方法に応じて
、受動型デバイスまたは能動型デバイスのリザーバ間の間隔を数ミクロンにまで
小さくすることが可能である。リザーバはほぼ任意の形状および深さに作製する
ことが可能であり、基板を完全に貫通しなくてもよい。好適な実施形態において
、リザーバ１００を配向のついたシリコン基板中に水酸化カリウムによってエッ
チングして、方形角錐（ｓｑｕａｒｅ ｐｙｒａｍｉｄ）の形状にする。この方
形角錐は、５４．７°の傾斜が付いた側壁を持ち、基板（厚さはおよそ３００〜
６００μｍ）を完全に貫通して基板の反対側にあるシリコン窒化物膜まで到達し
、シリコン窒化物の膜を形成する。（ここで、シリコン窒化物膜は、水酸化カリ
ウムのエッチングを停止させる機能をする）。このような角錐状の形状により、
基板のパターニング側上のリザーバの大きな開口部（厚さ３００μｍのウェハの
場合におよそ５００μｍ×５００μｍ）を通じてリザーバ中に化学物質またはデ
バイスを容易に入れ、リザーバの小さな基板の反対側上の開口部（およそ５０μ
ｍ×５０、μｍ）を通じて露出させ、反応性成分および２次デバイスを格納する
大きなキャビティをデバイス内部に設けることが可能となる。
【００３９】 ２つ以上の個々の基板部分を作製し、その後これらの基板部分を相互結合させ
てリザーバ部分の開口部を整合した様態で設けるだけで、複数の部分からなる基
板デバイスを形成することが可能である。基板部分間に形成することが可能な結
合方法は主に２種類ある。第１の結合方法は、原子スケールまたは分子スケール
での結合を用いたものである。このような種類の結合方法では、基板材料間の界
面にある基板の１つまたは双方の原子または分子の完全浸透、相互混合または相
互拡散が用いられる場合が多い。主にシリコン基板またはガラス基板と共に用い
られるこの種の基板結合の好適な方法では、熱および／または電圧を用いて２つ
の基板間の材料を相互拡散させ、これにより分子スケールの結合を発生させて、
シリコン、ガラス、および他の類似の材料の間の界面に結合を形成させる。この
陽極結合プロセスは当業者にとって周知である。この種の結合法の別の実施形態
では、１枚の基板または双方の基板の最上位層を融解および再固体化させる。融
解した材料は相互に混合し、この材料が固体化すると、２枚の基板の間に強力な
結合が形成される。一実施形態において、この種類の融解および再固体化は、溶
媒（例えば、塩化メチレン）を基板（例えば、ポリ（メチルメタクリル酸塩）ま
たはＰＬＥＸＩＧＬＡＳＴＭ）に短時間塗布することによって行うことができる
。第２の種類の結合方法では、結合部分を形成するのに基板材料以外の材料を用
いる。この種の結合の好適な実施形態では、化学接着剤、エポキシ樹脂およびセ
メントが用いられる。ＵＶ透過性の基板材料に用いることが可能な実施形態では
、ＵＶ硬化性エポキシが用いられる。方法（例えば、スピンコート）を用いてこ
のＵＶ硬化性エポキシを２つの基板部分間に塗布して延ばし、リザーバを整合さ
せ、ＵＶ光源を用いてこのエポキシを架橋または硬化させ、これらの基板を互い
に結合させる。
【００４０】 あるいは、シリコンオンインシュレータ（ＳＯＩ）技術を用いてリザーバを形
成してもよい。ＳＯＩ技術については、例えば、Ｒｅｎａｒｄ，Ｊ．による「Ｍ
ｉｃｒｏｍｅｃｈ．Ｍｉｃｒｏｅｎｇ．」（１０：２４５−４９（２０００））
に記載がある。ＳＯＩ法は、複雑なリザーバ形状（例えば、図１２Ａ〜１２Ｃに
示すようなリザーバ形状）を有するリザーバを形成できるように適合可能である
ため、有用である。ＳＯＩウェハは実質的には、原子スケールまたは分子スケー
ルで結合された２枚の基板として動き、その後、任意のリザーバがいずれかの基
板内にエッチングされる。ＳＯＩ基板を用いると、絶縁体層のいずれかの側の上
にあるリザーバを個別にかつ容易にエッチングすることが可能となるため、絶縁
体層のいずれかの側の上のリザーバに異なる形状を持たせることが可能となる。
その後、絶縁体層のいずれかの側の上のリザーバを接続して単一のリザーバにし
、反応性イオンエッチング、レーザ、超音波またはウェット化学エッチングなど
の方法を用いて２つのリザーバ間にある絶縁体層を除去することにより、この単
一のリザーバに複雑なジオメトリを持たせる。
【００４１】 他の方法において、ポリマー、セラミックまたは金属から基板を形成する。基
板形成は、例えば、圧縮型成型粉もしくはポリマー、セラミック、金属のスラリ
ー、またはこれらの組み合わせを用いて行なう。上記のような材料と用いると有
用な他の形成方法を挙げると、注入成型、熱成形、鋳造法、機械加工および当業
者に公知の他の方法がある。これらの方法を用いて形成された基板を形成（例え
ば、型成型）して、（例えば、エッチングによる）後続工程においてこれらの基
板にリザーバ（単数または複数）を追加することができる。
【００４２】 （Ｂ．受動型バリア層の製造） 受動型マイクロチップデバイスの製造において、マイクロ注射器を用いてバリ
ア層材料を注入して、インクジェットプリンタカートリッジによってプリントを
行なうか、または、リザーバの小開口部上に存在する絶縁性マスク材料製の薄膜
を有するリザーバ中にバリア層材料をスピンコートする。インジェクションプリ
ント法またはインクジェットプリント法を用いた場合、材料をリザーバ中に注入
またはプリントした後はバリア層は完全に形成されるため、それ以上の処理は不
要である。スピンコートを用いた場合、バリア層材料に複数回のスピンコートを
行なってバリア層材料を平面化させる。その後、プラズマ、イオンビームまたは
化学エッチャントにより膜表面にエッチングを行なって所望のバリア層厚さを得
る。バリア層材料を堆積させた後（すなわち、おそらくはリザーバを充填した後
）、絶縁性マスク材料を（典型的にはドライエッチング技術またはウェットエッ
チング技術によって）除去する。好適な実施形態において、使用される絶縁性材
料はシリコン窒化物であり、バリア層材料は、バリア層材料の溶液または懸濁液
が充填されたインクジェットカートリッジを用いてリザーバ中にプリントされる
。
【００４３】 バリア層は、２次デバイスおよび／または反応性成分を周囲の環境成分に露出
するタイミングまたはリザーバから放出するタイミングを制御する。各バリア層
に異なる厚さまたは異なる物理的特性を持たせることで、リザーバ内容物を周囲
流体に露出するタイミングを変更することが可能である。好適なリザーバの充填
方法としては、注入、インクジェットプリントおよびスピンコートがあり、これ
らの方法のうち任意の方法を用いて（当該リザーバの形状またはサイズに関係な
く）リザーバを充填することが可能である。しかし、開口部が大きな（すなわち
、開口部が１００μｍよりも大きい）リザーバ（単数または複数）を深く（すな
わち、１０μｍよりも深い深さまで）充填する場合、充填方法としては注入およ
びインクジェットプリントが好適である。例えば、注入またはインクジェットプ
リントを用いて異なるバリア層厚さを得る場合、異なる量のバリア層材料を各個
々のリザーバに直接注入またはプリントする。リザーバを浅く（すなわち、１０
μｍ未満の浅い深さまで）充填する場合、リザーバが基板を貫通しない場合、ま
たはリザーバの開口部が小さい場合（すなわち、開口部が１００μｍ未満の場合
）、好適な方法はスピンコートである。スピンコートを用いてバリア層厚さまた
は材料を変更するには、段階的なスピンコート処理工程と、選択されたリザーバ
をマスキングする工程と、エッチングを行なう工程とを繰り返すことによって変
更することが可能である。例えば、スピンコートを用いてバリア層厚さを変化さ
せるには、基板全体上にバリア層材料をスピンコートする。必要ならば、材料が
ほぼ平面化するまでスピンコートを繰り返す。フォトレジストなどのマスク材料
をパターニングして、１つのリザーバを除いた全てのリザーバ中のバリア層材料
を被覆する。プラズマ、イオンビームまたは化学エッチャントを用いて、露出し
たリザーバ中のバリア層材料をエッチングして、所望の厚さのバリア層を得る。
その後、フォトレジストを基板から除去する。新規のフォトレジスト層が堆積さ
れ、１つのリザーバを除いた全てのリザーバ中のバリア層材料（これは、露出し
たリザーバは、既に所望の厚さまでエッチングされたリザーバとは異なるためで
ある）を被覆するようにパターニングされるたびに、このプロセスを繰り返す。
このリザーバ中の露出したバリア層材料にエッチングを行なう工程を、所望のバ
リア層厚さが得られるまで行なう。マスク材料（例えば、フォトレジスト、エッ
チング）の堆積およびパターニングならびにマスク除去を行なうこのプロセスは
、各リザーバが固有のバリア層厚さになるまで繰り返すことができる。ＵＶフォ
トリソグラフィーおよびプラズマエッチングまたはイオンビームエッチングなど
の技術は、微細加工の分野の当業者にとって周知である。
【００４４】 インジェクションプリント、インクジェットプリントおよびスピンコートは好
適なバリア層製造方法であるが、毛管作用、真空もしくは他の圧力勾配を用いた
リザーバ中からの材料の引き出しまたリザーバ中への材料の押し込み、融解材料
のリザーバへの流し込み、遠心分離および関連するプロセス、手作業によるリザ
ーバ中への固体の封入、またはこれらのもしくは類似のリザーバ充填技術の任意
の組み合わせにより、各リザーバを個々に封止めしてもよいことが理解される。
【００４５】 （Ｃ．能動型バリア層の製造） 能動型デバイスにおいて、バリア層は、各リザーバの上部、内部または表面上
に配置される。能動型バリア層は、刺激（例えば、電界もしくは電流、磁界、ｐ
Ｈ変化、または熱的手段、光化学的な手段、化学的な手段、電気化学的な手段ま
たは機械的手段）に応答して除去（例えば、分解）が可能であるかまたは浸透性
となることが可能な任意の材料からなる。能動型バリア層の材料の例を挙げると
、金属（例えば、銅、金、銀、および亜鉛）ならびに特定のポリマー（例えば、
ＫｗｏｎらによるＮａｔｕｒｅ、３５４：２９１−９３（１９９１）に記載のも
の；およびＢａｅらによるＡＣＳ Ｓｙｍｐｏｓｉｕｍ Ｓｅｒｉｅｓ、５４５
：９８−１１０（１９９４）に記載のもの）がある。バリア層および任意の関連
回路の堆積、パターニングおよびエッチングを、当業者に周知のマイクロ電子工
学およびＭＥＭＳ加工方法（例えば、Ｗｏｌｆら（１９８６）、Ｊａｅｇｅｒ（
１９８８）およびＭａｄｏｕによる「Ｆｕｎｄａｍｅｎｔａｌｓ ｏｆ Ｍｉｃ
ｒｏｆａｂｒｉｃａｔｉｏｎ」（ＣＲＣ Ｐｒｅｓｓ、１９９７）において調査
された方法）を用いて行なう。さらに、微細接触プリント法およびソフトリソグ
ラフィー法（例えば、、ＹａｎらによるＪ．Ａｍｅｒ．Ｃｈｅｍ．Ｓｏｃ．（１
２０：６１７９〜８０（１９９８））；ＸｉａらによるＡｄｖ．Ｍａｔｅｒ．（
８（１２）：１０１５〜１７（１９９６））；ＧｏｒｍａｎらによるＣｈｅｍ．
Ｍａｔｅｒ（７：５２−５９（１９９５））；ＸｉａらによるＡｎｎｅ．Ｒｅｖ
．Ｍａｔｅｒ．Ｓｃｉ．（２８：１５３〜８４（１９９８））；およびＸｉａら
によるＡｎｇｅｗ．Ｃｈｅｍ．Ｉｎｔ．Ｅｄ．（３７：５５０〜７５（１９９８
））に記載の方法）を用いて、能動型バリア層および関連する回路をマイクロチ
ップデバイス表面上に形成することも可能である。
【００４６】 好適な実施形態において、バリア層の規定をリフトオフ技術を用いて行なう。
リフトオフ技術とは、簡単にいうと、絶縁性材料または誘電性材料の薄膜で被覆
されたリザーバを有する基板表面上に、フォトレジストを複数の電極形状にパタ
ーニングするものである。フォトレジストを現像して、被覆されているリザーバ
開口部の直接上にある領域をフォトレジストによって露出させ、アノード形状に
する。堆積技術（例えば、化学蒸着法、電子ビーム蒸着またはイオンビーム蒸着
、スパッタリング、スピンコートおよび当該分野において公知の他の技術）を用
いて、（電位を受け取ると溶液中に溶解するかまたは溶性イオンもしくは酸化化
合物を形成することが可能な）導電性材料からなる薄膜を基板表面全体上に堆積
させる。このような材料の例を挙げると、金属（例えば、銅、金、銀および亜鉛
）ならびに特定のポリマー（例えば、Ｋｗｏｎら（１９９１）およびＢａｅら（
１９９４）によって開示されているようなポリマー）がある。膜を堆積させた後
、基板からフォトレジストを剥離する。その結果、フォトレジストで被覆されて
いない領域を除いて堆積部分の膜が除去され、よって基板表面上に電極の形態を
した導電性材料が残る。別の方法では、デバイス表面全体上に導電性材料を堆積
させ、導電性膜上面にフォトレジストを（紫外線（ＵＶ）フォトリソグラフィー
または赤外線（ＩＲ）フォトリソグラフィーを用いて）パターニングし、これに
より、リザーバ上にアノード形状のフォトレジストを残し、マスキングされてい
ない導電性材料を（プラズマ技術、イオンビーム技術または化学エッチング技術
を用いて）エッチングする。その後、フォトレジストを剥離して、リザーバを被
覆する導電性膜アノードを残す。導電性材料の典型的な膜厚は、０．０５ミクロ
ン〜数ミクロンであればよい。このアノードは能動型バリア層として機能し、デ
バイス上のカソードの配置は、デバイスの用途および電位制御方法に依存する。
【００４７】 電極を堆積した後、方法（例えば、化学蒸着法（ＣＶＤ）、電子ビーム蒸着も
しくはイオンビーム蒸着、スパッタリング、またはスピンコート）により、絶縁
性材料または誘電性材料（例えば、シリコン酸化物（ＳｉＯｘ）またはシリコン
窒化物（ＳｉＮｘ））をデバイス表面全体上に堆積させる。誘電性材料の上面上
にフォトレジストをパターニングして、カソードおよび各リザーバの直接上にあ
るアノード部分を除いて、誘電性材料をエッチングから保護する。誘電性材料の
エッチングは、プラズマ技術、イオンビーム技術または化学エッチング技術を用
いて行なうことが可能である。この膜の目的は、リザーバ内容物の放出のための
電極膜の除去が不要な全領域中の電極を腐食、分解または溶解から保護すること
である。
【００４８】 電極の配置は、アノードとカソードとの間に適切な電位が印加されると、アノ
ードバリア層のうち保護されていない（すなわち、誘電性材料で被覆されていな
い）部分が酸化して（溶液中に溶解し、リザーバ内容物を周囲環境から分離させ
るバリアを含む）溶性化合物または溶性イオンを形成するように、行なわれる。
【００４９】 （Ｄ．絶縁体膜の除去（リザーバのエッチングの停止）） リザーバを被覆する絶縁性材料または誘電性材料でできた薄膜は、リザーバ製
造の間、マスクとしてそしてエッチングを停止させるものとして用いられる。能
動型マイクロチップデバイスは、このような膜をリザーバの充填前に除去する必
要があり、また、リザーバ充填後は、受動型マイクロチップデバイスから除去す
る必要がある（ただし、リザーバが基板を完全に貫通する場合）。膜の除去方法
は２種類ある。第１の膜の除去方法では、イオンビームまたは反応性イオンプラ
ズマにより膜を除去することができる。好適な実施形態において、酸素含有ガス
およびフッ素含有ガス（例えば、ＣＨＦ３、ＣＦ４またはＳＦ６）から構成され
る反応性イオンプラズマによって、絶縁性材料として用いられるシリコン窒化物
を除去することができる。第２の膜の除去方法では、化学エッチングにより膜を
除去することができる。例えば、緩衝液と混合されたフッ化水素酸（ＢＨＦまた
はＢＯＥ）を用いて二酸化シリコンをエッチングし、高温のリン酸を用いてシリ
コン窒化物をエッチングすることができる。膜マスクまたはエッチング停止物と
して他の材料を用いた場合、エッチング分野の当業者に公知のプラズマ組成また
は化学物質を用いてこれらの物質を除去することができる。
【００５０】 （Ｅ．リザーバの充填および密封） リザーバ内において格納および保護されるべき化学物質およびデバイスを、リ
ザーバの開口部のうちの１つ（例えば、方形角錐形状のリザーバの大きな開口部
）に挿入する。リザーバへの化学物質の挿入は、注入、インクジェットプリント
またはスピンコートによって行なうことが可能である。デバイスまたはデバイス
コンポーネントは、各リザーバの内部またはその近隣に作製してもよいし、ある
いは、マイクロチップから離れた位置に作製して、マイクロチップおよびパッケ
ージを組み立てるときにリザーバに挿入またはその近隣に配置してもよい。各リ
ザーバは、異なる化学物質、デバイス、またはデバイスコンポーネントを含むこ
とができる。
【００５１】 対象となる化学物質またはデバイスが充填されたマイクロチップリザーバ上で
の分布は変化し得る。医学的診断用途の場合、例えば、インクジェットプリント
を用いて、マイクロチップ上のリザーバの各横列を異なる化学物質（溶液中の特
定の分析物を検出するのにそれぞれ用いられる）で充填する。別の実施形態にお
いて、各リザーバに触媒粒子のスラリーをマイクロ注入法により充填する。所望
ならば、各リザーバを化学反応を得るための異なる触媒で満たしてもよい。さら
に別の実施形態において、生物学的触媒の溶液（すなわち、酵素）またはＤＮＡ
マーカ分子をリザーバ中に注入し乾燥させて、リザーバ内面上の酵素またはＤＮ
Ａマーカを固定化させる。リザーバへの化学物質挿入を行なうための好適な方法
は、注入、インクジェットプリントおよびスピンコートであるが、リザーバへの
化学物質挿入は、各リザーバの充填を毛管作用によって個々に行なってもよいし
、真空もしくは他の圧力勾配を用いてリザーバから材料を引き出すかもしくはリ
ザーバに材料を押し入れることによって行ってもよいし、材料をリザーバ中に融
解させることによって行ってもよいし、遠心分離および関連するプロセスによっ
て行ってもよいし、手作業により固体をリザーバ中に封入することによって行っ
てもよいし、またはこれらの技術の任意の組み合わせもしくは類似のリザーバ充
填技術によって行ってもよいことが理解される。
【００５２】 各リザーバは、異なるデバイスまたはデバイスコンポーネントも含み得る。こ
のようなデバイスは、各リザーバ中に直接作製することができる。一実施形態に
おいて、感知用途に用いられる薄い金属電極を角錐形状のリザーバの側壁上にフ
ォトリソグラフィーおよび電子ビーム蒸着を用いて作製することができる。また
、デバイスコンポーネントをマイクロチップと別個に作製した後、組み立てプロ
セスの間にこのデバイスコンポーネントをマイクロチップと集積することも可能
である。一実施形態において、光学ベースのアッセイにおいて用いられるデバイ
ス（例えば、ＬＥＤ）を、組み立てプロセスの間にリザーバ内部またはその近傍
に配置する。別の実施形態において、完全に機能性のセンサ（例えば、ＩＳＦＥ
Ｔすなわちイオン選択性電界効果トランジスタ）を別の基板部分上に作製する。
このセンサが設けられた基板部分をもう一方の基板部分上のリザーバと整合させ
、これらの２つの部分を互いに結合させて、リザーバ内部のセンサを密封する。
【００５３】 能動型放出デバイスおよび受動型放出デバイスの双方の好適な実施形態におい
て、リザーバ充填後、化学物質の充填またはデバイスの挿入に用いられるリザー
バ開口部（すなわち、バリア層端部に対向する開口部）を当該分野において公知
の様々な技術のうち任意のものを用いて密封する。例えば、リザーバ開口部の密
封工程は、開口部上の薄い可撓性膜を硬質の支持プレートで圧縮することによっ
て行なうことが可能である。あるいは、開口部を塞いで硬化させて密封状態を得
るための流体材料（例えば、接着剤、ワックスまたはポリマー）を塗布すること
により、開口部の密封工程を行なってもよい。別の実施形態において、第２の基
板部分（例えば、２次デバイスの第２の基板部分）を、リザーバ開口部上で結合
させることもできる。
【００５４】 （Ｆ．デバイスのパッケージング、制御回路および電源） 受動型デバイスおよび能動型デバイスのリザーバの充填物の通り道となる開口
部の密封を、圧縮、ウェハ結合、耐水性エポキシまたは周囲環境に対して不浸透
性の別の適切な材料によって得る。インビトロ用途のデバイスの場合、リザーバ
およびバリア層が設けられたデバイス面を除く全てのユニットを、システムに適
した材料中に収容する。インビボ用途のデバイスの場合、生体適合性材料（例え
ば、ポリ（エチレングリコール）もしくはポリテトラフルオロエチレン）、また
は生体適合性金属もしくはセラミック製のケース中にユニットを収容すると好ま
しい。
【００５５】 上記のデバイスのリザーバ内容物を露出させるための機構は、嵌合または接着
されているために収縮または撤去を必要とする複数の部分に依存していない。各
リザーバ中の内容物を露出させる工程は、事前プログラムされたマイクロプロセ
ッサ、リモート制御、バイオセンサからの信号、またはこれらの方法の任意の組
み合わせによって制御することが可能である。
【００５６】 メモリソース（例えば、プログラム可能な読出し専用メモリ（ＰＲＯＭ）、タ
イマ、デマルチプレクサおよび電源（例えば、小型バッテリ（例えば、Ｊｏｎｅ
ｓら（１９９５）およびＢａｔｅｓら（１９９２）による文献に記載されている
小型バッテリ）または生物燃料セル（例えば、Ｂｉｎｙａｍｉｎら（２０００）
による文献に記載されている生物燃料セル））と共にマイクロプロセッサを用い
る。プログラムされた一連のイベント（例えば、リザーバが開口するタイミング
およびリザーバのロケーションまたはアドレス）がユーザによってＰＲＯＭに格
納される。露出または放出を行なう時期に来たことが（例えば、タイマによって
）知らされると、マイクロプロセッサは、特定のリザーバのアドレス（ロケーシ
ョン）に対応する信号をデマルチプレクサに送る。デマルチプレクサは、マイク
ロプロセッサによってアドレス指定されたリザーバに入力（例えば、電位または
電流）をルーティングする。小型バッテリにより、マイクロプロセッサ、ＰＲＯ
Ｍおよびタイマを動作させるための電力を得、また、デマルチプレクサが指向す
る特定のリザーバへの電位入力を得る。これらのコンポーネントそれぞれの製造
、サイズおよびロケーションは、特定の用途の要件に依存する。好適な実施形態
において、メモリ、タイマ、マイクロプロセッサおよびデマルチプレクサ回路部
をチップ表面上に直接集積化する。チップのもう一方の面上に小型バッテリを取
り付け、この小型バッテリをバイアスまたは細いワイヤによってデバイス回路に
接続させる。しかし、場合によっては、メモリ、タイミング、処理、およびデマ
ルチプレクスのためのコンポーネントチップを別個に事前作製することも可能で
ある。好適な実施形態において、バッテリ付きのマイクロチップデバイスの背面
にこれらのコンポーネントを取り付ける。別の好適な実施形態において、コンポ
ーネントチップおよびバッテリを、（例えば、複数のチップモジュール（ＭＣＭ
ｓ）およびハイブリッドパッケージの場合のように）マイクロチップデバイスの
前面またはその隣接部に配置する。用いられる事前作製されたチップのサイズお
よび種類は、マイクロチップデバイスの全体寸法およびリザーバ数に依存する。
【００５７】 電位または電流を印加することによって特定のリザーバを活性化させる工程を
、リモート制御によって外部から制御することが可能である。リモート制御に用
いられる回路の大部分は、事前プログラムされた方法において用いられる回路と
同じである。信号（例えば、無線周波数（ＲＦ）エネルギー、マイクロ波、低電
力レーザまたは超音波）を外部ソース（例えば、コンピュータまたは超音波生成
器）によって受信器に送信する。信号はマイクロプロセッサによって受信され、
リザーバアドレスに変換される。その後、電力はデマルチプレクサを通じて適切
なアドレスを有するリザーバへと送られる。
【００５８】 バイオセンサは、マイクロチップデバイスの内部またはその上部に集積化して
、周囲流体中の分子を検出するようにすることができる。分子濃度が特定のレベ
ルに達すると、バイオセンサは、信号をマイクロプロセッサに送って１つ以上の
リザーバを活性化させる。マイクロプロセッサは、デマルチプレクサを通じて特
定のリザーバ（単数または複数）に電力を送る。
【００５９】 （ＩＩＩ．マイクロチップデバイスの用途） 受動型マイクロチップデバイスおよび能動型マイクロチップデバイスには、数
多くのインビトロ用途およびインビボ用途がある。マイクロチップデバイスは、
分子、デバイスまたは小容積（すなわち、リザーバの分子、デバイスまたは小容
積）をその容積外部にある別の環境に選択的に露出することが望まれる様々な用
途に用いることが可能である。受動型マイクロチップデバイスおよび能動型マイ
クロチップデバイスの用途を挙げると、制御付き感知または選択的感知、必要に
応じた感知（例えば、分子種の存在または不在の検出、センサへ露出された分子
の生物活性または分子反応度の検査、またはパラメータ（例えば、ｐＨ、温度、
別の分子との反応度、光学特性（例えば、屈折率、色または蛍光）、放射能、圧
力または導電率の測定）がある。一実施形態において、センサは、リザーバ内部
もしくはその近隣における光学特性の変化、発生し得る変化（例えば、リザーバ
中での反応またはリザーバ近隣の環境中の反応による変化）を感知する際に用い
ることが可能な光ファイバを用いる。関連する実施形態において、リザーバは、
放射性物質の（光学）検出を支援するシンチレーション流体を含む。
【００６０】 好適な実施形態において、マイクロチップデバイスは、グルコースのモニタリ
ングおよびインシュリン制御の際に用いられるセンサを１つ以上含む。例えば、
１つ以上のリザーバに１つのセンサを設ける一方、他のリザーバに放出対象とな
るインシュリンを設けることができる。このようなセンサからの情報を用いて、
インシュリン放出を能動的に制御することができる。
【００６１】 マイクロチップデバイスをインビトロに用いて、２次デバイスもしくはデバイ
スコンポーネント、反応性成分、またはこれらの両方を周囲環境またはそのコン
ポーネントに選択的に露出させる。特定のインビトロ用途の場合、マイクロチッ
プは、制御された少量の化学試薬または他の分子を溶液または反応混合物中に（
制御された正確なタイミングおよび速度で）放出することができる。他の用途の
場合、小型デバイス（例えば、センサ）が必要になるまでこれらの小型デバイス
（例えば、センサ）を周囲環境から保護し得る。化学物質およびデバイスを選択
的に露出させる能力を有するマイクロチップを用いることが可能な分野の例を挙
げると、分析化学分野および医学的診断分野がある。このようなマイクロチップ
はまた、送達デバイスとしてインビボ用途に用いてもよい。マイクロチップは、
外科技術または注射によって患者の体内に移植してもよいし、あるいは患者に嚥
下させてもよい。これらのマイクロチップは、多くの異なる分子およびデバイス
を異なる速度および異なるタイミングで送達または感知することができる。特定
の反応に対してインビボで触媒作用を及ぼす他のマイクロチップを用いてもよい
。例えば、リザーバ中の触媒（すなわち、酵素）を露出させて、対象となる反応
に触媒作用を及ぼすことが望まれるまで、この触媒を周囲環境から保護すること
ができる。
【００６２】 デバイスを用いて、例えば分析化学または医学的診断において反応性成分（例
えば、酵素および他の触媒）を分離させることも可能である。例えば、リザーバ
を充填されたベッド型反応器または固定化された酵素反応器として機能させるこ
とが可能である。一実施形態において、デバイスは、浸透圧材料および／または
膨張可能材料を用いてリザーバを開口させて、リザーバ中から分子が出入りする
ことを可能にする。これらの用途および他の用途については、以下に述べる非限
定的実施形態において詳述する。このような非限定的実施形態においては、各リ
ザーバ内部またはその近隣の各リザーバ、バリア層または他の物体（すなわち、
ヒーター、電極、チャンネルなど）の数、ジオメトリ、および配置は特定の用途
に合わせて改変が可能であることが理解される。簡潔にするため、各図において
はリザーバを１つまたは２つしか図示していない。しかし、マイクロチップコン
ポーネントまたはデバイスでは、少なくとも２つ（好適にはもっと多数）のリザ
ーバが基板上に配列される点が理解される。
【００６３】 （Ａ．選択的な感知デバイス） 図２Ａ〜図２Ｃに示す一実施形態において、特定の分子を検出するセンサ２２
を作製し、マイクロチップデバイス１０の基板１２内のリザーバ１４の底部また
は内側に配置する。このマイクロチップデバイス１０には、支持プレート１６お
よび半浸透性バリア層２０が設けられている。図２Ａにおいて、バリア層２０は
リザーバを被覆し、これにより、リザーバ１４において対象分子「Ａ」を出入り
させ、かつ、検出対象分子の感知状態に影響を与える可能性のある他の分子また
は材料（例えば、細胞成分または細胞状成分）がリザーバ１４を通過するのを制
限することが可能となる。先ずマイクロチップデバイスを動作位置に配置した場
合、半浸透性のバリア層２０は、周囲環境と直接接触させてもよいし、あるいは
、分子「Ａ」に対して不浸透性である別のバリア層１８（例えば、図２Ｂに示す
バリア層１８）によって被覆してもよい。後者の場合、不浸透性のバリア層１８
により、不浸透性のバリア層１８が図２Ｃに示すように部分的または完全に除去
されるまで、材料がリザーバ１４に出入りすることができなくなる。不浸透性の
バリア層１８が図２Ｃに示すように部分的または完全に除去されると、センサ２
２は、検出対象分子「Ａ」の存在または不在を感知することができるようになる
。
【００６４】 刺激（例えば、電位）を印加することによって不浸透性のバリア層を部分的ま
たは完全に除去することが可能である場合、微細加工されたデバイスのオペレー
タまたはユーザは、センサの動作を必要に応じて開始させることができる。この
ようなコンポーネントまたはデバイスは、センサが特定の環境に露出されると当
該センサの動作または性能が減損するような用途において有用であり得る。例え
ば、インビトロ環境または他の動作環境中に見受けられる細胞、タンパク質およ
び他の成分によってコーティングまたは「汚染」されると、性能の減損を生じる
ことが分かっている特定の移植可能なセンサがある。
【００６５】 （Ｂ．光学感知デバイス） 図３Ａ〜図３Ｂに示す別の実施形態において、半浸透性バリア層２０および支
持プレート１６が設けられたマイクロチップデバイス１０の基板部分１２ａおよ
び１２ｂ内に配置されたリザーバ１４の内部またはその近隣に微小光ファイバ２
４を配置する。リザーバ１４は、１つ以上の物質「Ｘ」を含む。これらの物質「
Ｘ」は、マイクロチップデバイスの周囲の環境（すなわち、リザーバの外部の環
境）中に存在する対象成分「Ａ」の１つ以上の分子または細胞状成分と相互作用
する。図３Ｂに示すように、リザーバ１４内部の物質Ｘは、対象成分「Ａ」の分
子または細胞状成分を含む環境に向かって、最初から存在するバリア層１８を部
分的に除去することにより、露出される。その後、リザーバ１４内部の基板の光
学特性が（Ｘ→Ｘ’に）変化し、これは、光ファイバ２４を介して感知される。
例えば、光ファイバ２４を用いて、リザーバ１４の内容物を（おそらくは単波長
の）光源に露出させることができる。光ファイバ２４はまた、蛍光度の変化また
は他の特定の光学的現象の変化を検出および測定することもできる。励起光源ま
たは検出源は、リザーバと一体化（図３Ａ）してもよいし、あるいはリザーバ外
部（図３Ｂ）に配置してもよい。このようなコンポーネントまたはデバイスは、
生物学的（例えば、タンパク質またはＤＮＡフラグメントの）物質および非生物
学的物質の両方を検査するための比色診断デバイスを作製する際に有用であり得
る。
【００６６】 （Ｃ．試薬を用いた選択的センサデバイス） 図４〜図５に示す別の実施形態において、マイクロチップデバイスのリザーバ
は、試薬およびセンサの組み合わせを様々な構成で含む。例えば、１つ以上のセ
ンサを含むリザーバを１つ以上の試薬または特定のアッセイを行なうのに必要な
他の化学物質で充填することができる。
【００６７】 図４Ａは、センサ２２および化学試薬「Ｓ」を含むリザーバ１４を有するマイ
クロチップデバイス１０を示し、リザーバ１４はバリア層１８によって被覆され
ている。このバリア層１８により、センサ２２および化学試薬「Ｓ」をリザーバ
外部の環境から分離させる。リザーバ外部の環境は、検出対象成分「Ｒ」の分子
を含んでいるかまたは含む可能性を持つ。図４Ｂに示すように、センサを作動さ
せることが望まれる場合、バリア層１８は少なくとも部分的に除去され、これに
より、検出対象成分「Ｒ」の分子は化学試薬「Ｓ」と反応して生成物Ｔを生成す
る。この生成物Ｔはセンサ２２によって感知される。アッセイに必要な化学試薬
「Ｓ」は、バリア層が除去された後もリザーバ１４内に残るか、または、検出対
象成分「Ｒ」の分子がリザーバ１４中に入り込む間、リザーバ１４からゆっくり
と出て行くことができる。言い換えれば、センサによる反応生成物の感知が可能
でありさえすれば、アッセイの反応をリザーバ内部で発生させるのかそれともリ
ザーバ外部だけで発生させるのかは重要ではない。
【００６８】 図５Ａに示すこの実施形態の改変例において、マイクロチップデバイス３０は
、第１のリザーバ１４ａ中のセンサ２２と、１つ以上の隣接するリザーバ１４ｂ
中の化学試薬「Ｓ」とを含む。第１のリザーバ１４ａおよびリザーバ１４ｂはそ
れぞれ、バリア層１８ａおよび１８ｂによって被覆される。図５Ｂに示すように
、感知工程は、バリア層１８ａおよび１８ｂを除去してリザーバ１４ａおよび１
４ｂを開口させ、その結果センサ２２および化学試薬「Ｓ」を（検出対象成分「
Ｒ」の分子を含む）リザーバの外部の環境に露出させることにより、開始する。
化学試薬「Ｓ」は、リザーバ１４ｂから流出し、化学試薬「Ｓ」の分子は検出対
象成分「Ｒ」と反応して、生成物Ｔを生成する。その後、この生成物Ｔはリザー
バ１４ａ中のセンサ２２によって感知される。
【００６９】 あるいは、特定の用途において、センサはリザーバ内部に設けなくてもよい。
例えば、図６に示すように、マイクロチップデバイス４０は、基板１２内に配置
されかつ化学試薬「Ｓ」を含むリザーバ１４を含む。センサ２２は、基板１２の
外面上に取り付けられる。ここでも、感知工程は、バリア層１８（ここで、バリ
ア層１８は部分的に除去された状態で図示されている）を除去して、化学試薬「
Ｓ」がリザーバ１４から流出して検出対象成分「Ｒ」の分子と反応し、これによ
り生成物Ｔを生成させることにより、開始される。その後、この生成物Ｔはセン
サ２２によって感知される。バリア層が分解または浸透し、かつ、センサ、試薬
および検出対象分子が互いに分離状態でなくなるまでは、これらの実施例におけ
るアッセイは開始不可能であることは明らかである。
【００７０】 （Ｄ．センサデバイスの制御） 図７に示す一実施形態において、マイクロチップデバイス３２は２つのリザー
バ１４ａおよび１４ｂを含む。これらのリザーバ１４ａおよび１４ｂはそれぞれ
、２つのセンサ（すなわち、参照センサ２６およびセンサ２８）を含む。参照セ
ンサ２６は、各リザーバ中のセンサ２８の動作を確認する際に用いられる。マイ
クロプロセッサ３６は、電源３８によって給電される。このマイクロプロセッサ
３６をプログラムして、比較ユニット３４ａまたは３４ｂ（例えば、電圧計また
は他の計装）を用いて、センサ２８の動作とリザーバ１４ａまたは１４ｂ中の参
照センサ２６とを継続的に比較させることができる。例えばリザーバ１４ａ中の
センサ２８が適切に動作していない場合、マイクロプロセッサ３６に信号を返送
することができる。その場合、マイクロプロセッサ３６はリザーバ１４ｂを作動
させて、新規の一対の電極（すなわち、リザーバ１４ｂ中のセンサ２８および参
照センサ２６）を露出させることができる。さらに、マイクロプロセッサ３６は
、送信器３７に信号を送って、１つの良好な状態のセンサは１つしかないことを
リモートに配置されたコンピュータ３９に通知するか、または、他の動作情報を
信号によって伝達することもできる。この図ではリザーバは開口状態であるが、
１つ以上のリザーバを最初から閉口状態で設けて、それらのリザーバを露出させ
ることが望まれるまでそれらのリザーバをバリア層で被覆することも可能である
ことが理解される。
【００７１】 （Ｅ．充填されたベッド型反応器） 別の実施形態において、マイクロチップデバイスは、充填されたベッド型反応
きとして機能する。その一例を図８Ａおよび図８Ｂに示す。マイクロチップデバ
イス５０は、例えば、基板１２内に配置されかつ触媒５２で充填されたリザーバ
を含む。触媒５２は、任意の触媒材料であってもよいし、あるいは、触媒材料で
コーティングされた不活性で多孔性の支持物であってもよい。図８Ａに示すよう
に、リザーバはバリア層１８によって被覆されているため、触媒または触媒から
離れた場所にある生成物に反応物「Ａ」が到達する事態が回避または限定される
。図８Ｂに示すように、バリア層１８が完全もしくは部分的に除去されるかまた
は浸透状態になると、リザーバ外部の環境に触媒５２が露出し、その結果、反応
物「Ａ」は触媒５２と接触し、反応を生じて生成物Ｂを生成する。
【００７２】 オプションとして、マイクロチップデバイス５０には、リザーバ内部に配置さ
れた反応制御コンポーネント５４が設けられる。これらの反応制御コンポーネン
トの例を挙げると、抵抗ヒーターおよび分極性電極がある。これらの制御コンポ
ーネントは、（例えば、底部もしくは内面上）またはリザーバ近隣に配置して、
これにより反応（Ａ→Ｂ）の速度の制御を支援することができる。図８Ｃおよび
図８Ｄは、リザーバ底面上に配置された抵抗ヒーターおよび分極電極の上面図を
それぞれ示す。
【００７３】 不浸透性のバリア層に加えてまたは不浸透性のバリア層の代わりに浸透性バリ
ア層または半浸透性バリア層を用いて、触媒と接触可能な分子の種類を制限また
は制御することも可能であることが理解される。
【００７４】 これらのマイクロチップデバイス反応器は、触媒を長時間環境に露出させると
、当該触媒の「汚染」もしくは当該触媒の表面上の膜生成または当該触媒の化学
分解が原因となって触媒の性能が低減するような用途に用いると、特に有用であ
り得る。その理由としては、これらのデバイスを用いると、多くの別個の数量の
触媒を１つの小型デバイス中に収容して、各分量の触媒を必要なときに個々に用
いることが可能である点がある。例えば、第１のリザーバの触媒が汚染した場合
、第２のリザーバを開口させて新鮮な触媒を露出させ、任意の数のリザーバに提
供することができる。さらに、単一のデバイスの異なるリザーバ内に異なる触媒
を提供して、これにより、単一のデバイスによって触媒作用を及ぼすことが可能
な反応の範囲を向上させることが可能となる。
【００７５】 （Ｆ．固定化された酵素反応器） さらに別の実施形態において、マイクロチップデバイスのリザーバに固定化さ
れた酵素を設ける。例えば、図９Ａ〜図９Ｂに示すように、マイクロチップデバ
イス６０は、基板１２内に配置されかつバリア層１８によって被覆されたリザー
バ１４を含む。酵素６２は、リザーバ１４内面のうち１つ以上の面の上に固定化
される。バリア層１８はリザーバを被覆して、反応物「Ａ」が含まれる環境から
酵素６２を分離させる。図９Ｂに示すように、バリア層１８を完全にまたは部分
的に除去すると、固定化された酵素６２が反応物「Ａ」に露出し、その結果、両
者は反応を起こして生成物「Ｂ」を形成する。
【００７６】 上記に代えてまたは上記に加えて、１つ以上の微生物（例えば、酵母菌、ピル
ビン酸塩）をリザーバ内部またはその近隣の表面上にコーティングするか、また
は、リザーバ内部またはその近隣の表面上に固定化させる。例えば、この微生物
は、反応を起こすかまたは触媒として反応を発生させることができるが、この反
応には、反応を起こした微生物によって第２の検出可能な分子種が生成されるま
でセンサによる検出が不可能な分子種が含まれる。
【００７７】 不浸透性バリア層に加えてまたは不浸透性バリア層の代わりに浸透性バリア層
または半浸透性バリア層を用いて、固定化された酵素と接触することのできる分
子種を限定または制御することも可能であることが理解される。これらのマイク
ロチップ反応器デバイスは、選択性の高い酵素が必要でありかつその酵素は特定
の環境に長時間露出されると安定性が低下するような用途において有用であり得
る。
【００７８】 （Ｇ．浸透圧材料および／または膨張可能材料の使用） 一実施形態において、リザーバを最初から被覆している１枚以上のバリア層を
破断させることにより、当該リザーバを開口させる。この実施形態の一改変例に
おいて、浸透圧材料、水による膨張が可能な材料またはこれらの組み合わせを用
いることにより、破断工程を開始させる。例えば、マイクロチップデバイス中の
リザーバを、リザーバ外部またはその近隣にある環境からの材料に露出されると
浸透圧が上昇する材料（例えば、塩）で充填またはコーティングする。リザーバ
の設計に応じて、選択される浸透圧生成材料と、浸透圧生成材料（すなわち、浸
透圧が上昇する材料）のリザーバ内部またはその近隣への配置とを用いて、リザ
ーバ内部に材料を押し入れるかまたは材料をリザーバから引き出すことができる
。
【００７９】 図１０に示すマイクロチップコンポーネントまたはデバイスにおける浸透圧の
利用法の１つの実施例では、リザーバ中で生成された浸透圧を用いて、リザーバ
または隣接するリザーバから化学物質を追い出す。図１０において、マイクロチ
ップデバイス７０は、基板７６と、放出対象となる化学物質７４を含む第１のリ
ザーバ７２と、イオン種「Ａ」の濃縮溶液（すなわち、浸透圧生成材料）を含む
第２のリザーバ７１とを含む。このデバイスは、水または「Ａ」に対する他の溶
媒を通過させる半浸透性バリア層７３と、破断可能な不浸透性バリア層７５とを
さらに含む。オプションとして、半浸透性バリア層７３は、選択的に除去して周
囲環境に対するバリア層７３に露出させることが可能な別の不浸透性のバリア層
（図示せず）によって被覆することもできる。図１０は、水が浸透力によってバ
リア層７３中に浸透する様子を示す。より詳細には、リザーバ７１中のイオン種
「Ａ」の濃度は、水性環境中のイオン種「Ａ」の濃度よりも高いため、水はバリ
ア層７３を通過して、種「Ａ」の濃度は等しくなる。このようにリザーバ７１中
の水の分量が増加するとリザーバ７１および７２中の圧力は増加し、不浸透性の
バリア層７５が破断し、化学物質７４が放出されるまでこの圧力増加は続く。可
撓性の水密膜または（１つのリザーバの圧力を変化させて残りのリザーバ中の圧
力に影響を与え、かつ、各リザーバの内容物の分離状態を維持する）他の任意の
手段によってリザーバ７１および７２を分離させてもよい。
【００８０】 この実施形態の別の改変例において、浸透圧生成材料と、リザーバから排出ま
たは解放されるべき化学物質とを同一リザーバ内に配置する。その例を図１１Ａ
〜図１１Ｂに示す。図１１Ａ〜図１１Ｂは、基板８２内に配置されかつ破断可能
な半浸透性バリア層９０によって被覆されたリザーバ８４を含むマイクロチップ
デバイス８０を示す。リザーバ８４は、放出対象の化学物質８６および浸透圧生
成材料８５で充填されている。充填されたリザーバ８４を先ず不浸透性バリア層
８８で被覆して、これにより、リザーバからの放出が所望される前に周囲の溶液
がリザーバに侵入するのを防ぐ。放出が所望されると、不浸透性のバリア層８８
に刺激が与えられる。この刺激付与工程は、図１１Ａに示すように半浸透性バリ
ア層９０が露出し、リザーバ８４の外部の溶液に対して浸透性となるのに十分な
時間にわたって行われる。その後、溶液（Ｈ２Ｏとして示す）は、リザーバ８４
内外の環境の浸透圧差（すなわち、原動力）（例えば、イオン濃度または塩濃度
の差）により、バリア層を通過する。図１１Ｂに示すように、溶液がリザーバ８
４中に流入するため、リザーバ８４中の圧力は上昇し、この圧力上昇によって半
浸透性バリア層９０および残りの不浸透性のバリア層８８が破断して、この圧力
上昇は、リザーバ内容物、化学物質８６および浸透圧生成材料８５が周囲溶液に
放出されるまで続く。
【００８１】 別のしかし類似の実施形態において、リザーバにおいて浸透圧生成材料の代わ
りに膨張可能材料を用いることもできる。膨張可能材料（例えば、膨張可能なポ
リマー）は、特定の溶液に露出されると膨張または拡張する。リザーバの容積、
バリア層の材料および厚さ、ならびに膨張可能材料の種類および体積は、膨張可
能材料の膨張によってバリア層が破断に至る方法が、上記の実施例における浸透
圧によるリザーバ中の溶液の増加によってバリア層が破断に至る方法とほぼ同様
になるようなシステムが得られるように選択すればよい。特定の用途およびマイ
クロチップデバイスの設計に応じて、半浸透性バリア層および不浸透性バリア層
の様々な組み合わせを用いることが可能である。
【００８２】 本明細書中にて引用した公開文献と、同文献に記載されている材料とを、参考
のため明確に援用する。当業者にとって、本明細書中に記載の方法およびデバイ
スの変更例および改変例は、上記の詳細な説明を鑑みれば自明である。そのよう
な変更例および改変例は、本明細書中の特許請求の範囲内におさまるものとして
意図される。
【図面の簡単な説明】
【図１Ａ】 図１Ａは、デバイスの単一のリザーバの様々な実施形態を示す横断面図である
。このデバイスでは、リザーバおよび基板上面上にバリア層がある。
【図１Ｂ】 図１Ｂは、デバイスの単一のリザーバの様々な実施形態を示す横断面図である
。このデバイスでは、リザーバの開口部内にバリア層がある。
【図１Ｃ】 図１Ｃは、デバイスの単一のリザーバの様々な実施形態を示す横断面図である
。相互結合された２つの基板部分を有するデバイス内にこれらの組み合わせが設
けられる。
【図２Ａ】 図２Ａは、リザーバを有するデバイスを示す横断面図である。このリザーバは
、分子Ａのリザーバへの流出入を可能にする半浸透性バリア層によって被覆され
る。
【図２Ｂ】 図２Ａは、リザーバを有するデバイスを示す横断面図である。このリザーバは
最初、バリア層が選択的に除去される（図２Ｃ）まで別の不浸透性のバリア層に
よって被覆される
【図２Ｃ】 図２Ｃは、リザーバを有するデバイスを示す横断面図である。バリア層が選択
的に除去される。
【図３Ａ】 図３Ａは、光学感知デバイスの２つの実施形態の横断面図である。このデバイ
スは、分子Ａのリザーバへの流出入を可能にする半浸透性バリア層によって被覆
された単一のリザーバの内部に光ファイバを含む。
【図３Ｂ】 図３Ｂは、光学感知デバイスの２つの実施形態の横断面図である。このデバイ
スは、分子Ａのリザーバへの流出入を可能にする半浸透性バリア層によって被覆
された単一のリザーバの外部および上部に光ファイバを含む。
【図４Ａ】 図４Ａは、リザーバを有するデバイスを示す横断面図であり、このリザーバは
、センサおよび化学試薬の両方を含み、損傷の無い（ｉｎｔａｃｔ）不浸透性の
バリア層が設けられている。
【図４Ｂ】 図４Ｂは、リザーバを有するデバイスを示す横断面図であり、このリザーバは
、センサおよび化学試薬の両方を含む。部分的に除去された不浸透性のバリア層
が設けられている。
【図５Ａ】 図５Ａは、１つのリザーバを有するデバイスを示す横断面図である。このデバ
イスは、センサおよび別のリザーバを含む。この別のリザーバは、損傷の無い上
記リザーバ上の不浸透性のバリア層と共に化学試薬を含む。
【図５Ｂ】 図５Ｂは、１つのリザーバを有するデバイスを示す横断面図である。このデバ
イスは、センサおよび別のリザーバを含む。この別のリザーバは、部分的に除去
された上記リザーバ上の不浸透性のバリア層と共に化学試薬を含む。
【図６】 図６は、リザーバを有するデバイスを示す横断面図である。このデバイスは、
化学試薬と、上記リザーバ外部の基板上に配置されたセンサとを含む。
【図７】 図７は、マイクロチップデバイスのリザーバ内に配置されたセンサの制御およ
び上記センサとの通信を行なうための１つの実施形態を示すプロセスフロー図で
ある。
【図８Ａ】 図８Ａは、リザーバを有するデバイスを示す横断面図である。このリザーバは
、反応物Ａに対して不浸透性である損傷の無いバリア層と共に触媒材料を含む。
【図８Ｂ】 図８Ｂは、リザーバを有するデバイスを示す横断面図である。このリザーバは
、部分的に除去され、反応物Ａと触媒材料とを接触させて生成物Ｂを発生させる
バリア層を含む。
【図８Ｃ】 図８Ｃは、触媒反応を制御するためにリザーバ内に組み込むことが可能なオプ
ションの要素（例えば、抵抗ヒーター）を示す図である。
【図８Ｄ】 図８Ｄは、触媒反応を制御するためにリザーバ内に組み込むことが可能なオプ
ションの要素（例えば、分極性電極）を示す図である。
【図９Ａ】 図９Ａは、リザーバを有するデバイスを示す横断面図である。このリザーバは
、反応物Ａに対して不浸透性である損傷の無いバリア層と共に固定化された酵素
を含む。
【図９Ｂ】 図９Ｂは、リザーバを有するデバイスを示す横断面図である。このリザーバは
、部分的に除去され、反応物Ａと固定化された酵素とを接触させて生成物Ｂを生
成させるバリア層を含む。
【図１０】 図１０は、近隣の第２のリザーバを被覆するバリア層を破断させる際に第１の
リザーバ内に生成される浸透圧力を用いるデバイスの１つの実施形態の横断面図
である。
【図１１Ａ】 図１１Ａは、バリア層を有するデバイスを示す横断面図である。このバリア層
は、放出対象物として浸透圧生成材料および化学物質の両方を含むリザーバを被
覆する。。
【図１１Ｂ】 図１１Ｂは、バリア層を有するデバイスを示す横断面図である。このバリア層
は、浸透力によって生成された圧力差に起因するバリア層の破断を含むリザーバ
を被覆する。
【図１２Ａ】 図１２Ａは、複雑な形状を有するリザーバを示す横断面図である。このような
複雑な形状を有するリザーバは、例えば、ウェハ結合方法もしくは他の基板結合
方法を用いることによってまたはシリコンオンインシュレータ（ＳＯＩ）製造法
を適用することによって作製することが可能である。
【図１２Ｂ】 図１２Ｂは、複雑な形状を有するリザーバを示す横断面図である。このような
複雑な形状を有するリザーバは、例えば、ウェハ結合方法もしくは他の基板結合
方法を用いることによってまたはシリコンオンインシュレータ（ＳＯＩ）製造法
を適用することによって作製することが可能である。
【図１２Ｃ】 図１２Ｃは、複雑な形状を有するリザーバを示す横断面図である。このような
複雑な形状を有するリザーバは、例えば、ウェハ結合方法もしくは他の基板結合
方法を用いることによってまたはシリコンオンインシュレータ（ＳＯＩ）製造法
を適用することによって作製することが可能である。
【図１２Ｄ】 図１２Ｄは、複雑な形状を有するリザーバを示す横断面図である。このような
複雑な形状を有するリザーバは、例えば、ウェハ結合方法もしくは他の基板結合
方法を用いることによってまたはシリコンオンインシュレータ（ＳＯＩ）製造法
を適用することによって作製することが可能である。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） Ｂ８１Ｂ 1/00 Ｇ０１Ｎ 21/27 Ａ ４Ｃ０８４ Ｇ０１Ｎ 21/27 21/41 Ｚ ４Ｇ０７５ 21/41 21/64 Ｆ 21/64 27/12 Ｎ 27/12 33/66 Ｄ 27/327 27/46 ３３８ 27/416 27/30 ３５３Ｚ 33/66 Ａ６１Ｋ 37/26 (81)指定国 ＥＰ(ＡＴ，ＢＥ，ＣＨ，ＣＹ， ＤＥ，ＤＫ，ＥＳ，ＦＩ，ＦＲ，ＧＢ，ＧＲ，ＩＥ，Ｉ Ｔ，ＬＵ，ＭＣ，ＮＬ，ＰＴ，ＳＥ，ＴＲ)，ＯＡ(ＢＦ ，ＢＪ，ＣＦ，ＣＧ，ＣＩ，ＣＭ，ＧＡ，ＧＮ，ＧＷ， ＭＬ，ＭＲ，ＮＥ，ＳＮ，ＴＤ，ＴＧ)，ＡＰ(ＧＨ，Ｇ Ｍ，ＫＥ，ＬＳ，ＭＷ，ＭＺ，ＳＤ，ＳＬ，ＳＺ，ＴＺ ，ＵＧ，ＺＷ)，ＥＡ(ＡＭ，ＡＺ，ＢＹ，ＫＧ，ＫＺ， ＭＤ，ＲＵ，ＴＪ，ＴＭ)，ＡＥ，ＡＧ，ＡＬ，ＡＭ， ＡＴ，ＡＵ，ＡＺ，ＢＡ，ＢＢ，ＢＧ，ＢＲ，ＢＹ，Ｂ Ｚ，ＣＡ，ＣＨ，ＣＮ，ＣＯ，ＣＲ，ＣＵ，ＣＺ，ＤＥ ，ＤＫ，ＤＭ，ＤＺ，ＥＥ，ＥＳ，ＦＩ，ＧＢ，ＧＤ， ＧＥ，ＧＨ，ＧＭ，ＨＲ，ＨＵ，ＩＤ，ＩＬ，ＩＮ，Ｉ Ｓ，ＪＰ，ＫＥ，ＫＧ，ＫＰ，ＫＲ，ＫＺ，ＬＣ，ＬＫ ，ＬＲ，ＬＳ，ＬＴ，ＬＵ，ＬＶ，ＭＡ，ＭＤ，ＭＧ， ＭＫ，ＭＮ，ＭＷ，ＭＸ，ＭＺ，ＮＯ，ＮＺ，ＰＬ，Ｐ Ｔ，ＲＯ，ＲＵ，ＳＤ，ＳＥ，ＳＧ，ＳＩ，ＳＫ，ＳＬ ，ＴＪ，ＴＭ，ＴＲ，ＴＴ，ＴＺ，ＵＡ，ＵＧ，ＵＺ， ＶＮ，ＹＵ，ＺＡ，ＺＷ (72)発明者 シェパード， ノーマン エフ． ジュニ ア アメリカ合衆国 マサチューセッツ 01730， ベッドフォード， バトル フ ラッグ ロード ６ (72)発明者 ヤング， チュン チャン アメリカ合衆国 マサチューセッツ 02493， ウエストン， バックスキン ドライブ 145 (72)発明者 ランガー， ロバート エス． アメリカ合衆国 マサチューセッツ 02458， ニュートン， ロンバード ス トリート 77 Ｆターム(参考） 2G043 AA03 BA16 CA03 DA02 DA06 EA01 FA01 HA05 LA03 2G045 DA31 FB01 FB05 JA07 2G046 AA34 EB09 2G059 AA02 AA05 BB04 BB12 CC16 DD13 EE07 EE13 FF01 FF12 JJ17 KK04 MM10 4C076 AA51 AA99 BB31 BB32 CC30 FF68 4C084 AA02 BA44 DB34 MA63 MA65 MA70 NA10 NA13 ZC351 4G075 AA02 AA62 BA05 BA10 BB10 CA54 DA02 EC21 EE12 FA05 FB02 FC20

Claims (36)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 ２次デバイスの露出を制御するためのマイクロチップデバイ
    スであって、 複数のリザーバを有する基板と、 該１つ以上のリザーバ中の２次デバイスであって、該２次デバイスは、センサ
    もしくはセンサコンポーネントと、該１つ以上のリザーバ内に触媒が設けられて
    いる場合の抵抗ヒーターと、分極電極とからなる群から選択される、２次デバイ
    スと、 該１つ以上のリザーバを被覆して、該リザーバ外部にある１つ以上の環境成分
    から該２次デバイスを分離させる少なくとも１つのバリア層と、 を備え、 該バリア層は、能動的かつ選択的に分解させるかまたは浸透性にすることが可
    能であり、これにより、選択されたリザーバ内の該２次デバイスを該１つ以上の
    環境成分に露出させる、 マイクロチップデバイス。
  2. 【請求項２】 感知において用いられるマイクロチップデバイスであって、 複数のリザーバを有する基板と、 該１つ以上のリザーバに含まれる反応性成分と、 該１つ以上のリザーバを被覆して、該リザーバ外部にある１つ以上の環境成分
    から該反応性成分を分離させる少なくとも１つのバリア層と、 該リザーバの外部の基板に取り付けられ、該リザーバのうちの少なくとも１つ
    の内部または近隣の特性を検出または測定する、センサまたは感知コンポーネン
    トと、 該バリア層を選択的に分解させるかまたは浸透性にして、該反応性成分を該１
    つ以上の環境成分に露出させる手段と、 を備える、マイクロチップデバイス。
  3. 【請求項３】 前記２次デバイスはセンサまたは感知コンポーネントを備え
    る、請求項１に記載のマイクロチップデバイス。
  4. 【請求項４】 前記各リザーバはセンサおよび参照センサを備える、請求項
    ２または３に記載のマイクロチップデバイス。
  5. 【請求項５】 前記センサはバイオセンサを備える、請求項２または３に記
    載のマイクロチップデバイス。
  6. 【請求項６】 前記センサは１つ以上の電極を備える、請求項２または３に
    記載のマイクロチップデバイス。
  7. 【請求項７】 前記２次デバイスは光検出デバイスまたは画像処理デバイス
    を備える、請求項１に記載のマイクロチップデバイス。
  8. 【請求項８】 前記２次デバイスは光ファイバを備える、請求項１に記載の
    マイクロチップデバイス。
  9. 【請求項９】 前記基板は、反応性成分を含む１つ以上のリザーバをさらに
    備える、請求項１に記載のマイクロチップデバイス。
  10. 【請求項１０】 前記反応性成分は、細胞、タンパク質、酵素、核酸および
    多糖類からなる群から選択される、請求項２または９に記載のマイクロチップデ
    バイス。
  11. 【請求項１１】 前記反応性成分はアッセイ試薬または触媒を含む、請求項
    ２または９に記載のマイクロチップデバイス。
  12. 【請求項１２】 前記反応性成分はグルコース酸化酵素を含む、請求項１１
    に記載のマイクロチップデバイス。
  13. 【請求項１３】 前記バリア層は、受動型バリア層および能動型バリア層の
    組み合わせを含む、請求項１または２に記載のマイクロチップデバイス。
  14. 【請求項１４】 前記バリア層は金属膜を含む、請求項１または２に記載の
    マイクロチップデバイス。
  15. 【請求項１５】 カソードをさらに備え、前記バリア層はアノードを備え、
    これにより、該カソードと該アノードとの間に電位が印加されると、該バリア層
    は分解する、請求項１または２に記載のマイクロチップデバイス。
  16. 【請求項１６】 前記電位の印加を制御するように指示を与えることが可能
    なマイクロプロセッサをさらに備える、請求項１５に記載のマイクロチップデバ
    イス。
  17. 【請求項１７】 前記バリア層を分解させるかまたは浸透性にする手段をさ
    らに備える、請求項１に記載のマイクロチップデバイス。
  18. 【請求項１８】 前記バリア層を分解させるかまたは浸透性にする手段を制
    御する制御回路をさらに備える、請求項２または１７に記載のマイクロチップデ
    バイス。
  19. 【請求項１９】 電源をさらに備える、請求項１８に記載のマイクロチップ
    デバイス。
  20. 【請求項２０】 前記環境成分は、前記センサまたは前記センサコンポーネ
    ントによってモニタリングされるグルコースである、請求項２または３に記載の
    マイクロチップデバイス。
  21. 【請求項２１】 放出対象となる薬剤を収容するリザーバをさらに備える、
    請求項２、３または２０に記載のマイクロチップデバイス。
  22. 【請求項２２】 前記センサまたは前記センサコンポーネントからの情報を
    用いて、前記リザーバからの薬剤の解放を能動的に制御することが可能である、
    請求項２１に記載のマイクロチップデバイス。
  23. 【請求項２３】 前記薬剤はインシュリンを含む、請求項２１または２２に
    記載のマイクロチップデバイス。
  24. 【請求項２４】 前記センサまたは前記感知コンポーネントは、生物活性、
    化学活性、ｐＨ、温度、光学特性、放射能、圧力および導電率からなる群から選
    択された特性を測定するために用いられる、請求項２または３に記載のマイクロ
    チップデバイス。
  25. 【請求項２５】 前記反応性成分は前記リザーバ中に固定化される、請求項
    ２または９に記載のマイクロチップデバイス。
  26. 【請求項２６】 前記反応性成分は酵素または他の触媒を含む、請求項２５
    に記載のマイクロチップデバイス。
  27. 【請求項２７】 前記リザーバの内部に取り付けられた反応制御コンポーネ
    ントをさらに備える、請求項２５に記載のマイクロチップデバイス。
  28. 【請求項２８】 反応性成分の露出を制御するためのマイクロチップデバイ
    スであって、 複数のリザーバを有する基板と、 該１つ以上のリザーバ中の反応性成分と、 該１つ以上のリザーバ中に設けられる膨張可能材料または浸透圧材料と、 該１つ以上のリザーバを被覆して、該リザーバの外部の１つ以上の環境成分か
    ら該反応性成分を保護する少なくとも１つのバリア層と、 を備え、 該バリア層は選択的に分解させるかまたは浸透性にすることが可能であり、こ
    れにより、該反応性成分を該１つ以上の環境成分に露出させる、 マイクロチップデバイス。
  29. 【請求項２９】 前記１つ以上のリザーバは、水による膨張が可能なポリマ
    ーを含む膨張可能材料を含み、前記バリア層は、該ポリマーが膨張すると破断す
    る、請求項２８に記載のマイクロチップデバイス。
  30. 【請求項３０】 前記１つ以上のリザーバは浸透圧材料を含み、前記バリア
    層のうちの少なくとも１つは、水による浸透が可能な半浸透性膜を含む、請求項
    ２８に記載のマイクロチップデバイス。
  31. 【請求項３１】 前記バリア層のうちの少なくとも１つは、前記１つ以上の
    リザーバに進入して前記半浸透性膜を通過する水によって生成された浸透圧によ
    る力によって破断する、請求項３０に記載のマイクロチップデバイス。
  32. 【請求項３２】 マイクロチップデバイスのリザーバ内の２次デバイスを該
    リザーバ外部の１つ以上の環境成分へ露出することを制御する方法であって、 請求項１から２７のいずれかに記載のマイクロチップデバイスを提供する工程
    であって、該マイクロチップデバイスは、１つ以上の環境成分が含まれる部位に
    おいて２次デバイスを含む、工程と、 該バリア層を能動的かつ選択的に分解させるかまたは浸透性にして、選択され
    た１つ以上のリザーバ内の該２次デバイスを該１つ以上の環境成分に露出させる
    工程と、 を包含する、方法。
  33. 【請求項３３】 前記バリア層を分解させるかまたは浸透性にする工程は、
    電解もしくは電流、磁界、熱、化学物質、浸透圧、イオン勾配、毛管現象による
    力、および表面張力からなる群から選択された刺激を与える工程によって開始さ
    れる、請求項３２に記載の方法。
  34. 【請求項３４】 前記バリア層を分解させるかまたは浸透性にして前記２次
    デバイスを露出させる工程は、事前プログラムされたマイクロプロセッサ、リモ
    ート制御、バイオセンサからの信号またはこれらの組み合わせによって制御され
    る、請求項３２に記載の方法。
  35. 【請求項３５】 ある部位における特性を検出または測定する方法であって
    、 請求項２から２７のいずれかに記載のマイクロチップデバイスを提供する工程
    であって、該マイクロチップデバイスは、該部位においてセンサまたはセンサコ
    ンポーネントを備える、工程と、 該センサを感知コンポーネントとして用いて、該部位における特性または該部
    位における特性に対応するリザーバのうちの少なくとも１つの内部におけるかも
    しくはその近隣における特性を検出または測定する工程と、 を包含する、方法。
  36. 【請求項３６】 反応性成分の環境成分への露出を制御する方法であって、 １つ以上の環境成分が含まれているある部位に請求項２８から３１のいずれか
    に記載のマイクロチップデバイスを提供する工程と、 前記バリア層を能動的かつ選択的に分解させるかまたは浸透性にして、該反応
    性成分を該１つ以上の環境成分に露出させる工程と、 を包含する、方法。
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Cited By (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006526155A (ja) * 2003-06-03 2006-11-16 ナノプロプリエタリー，インコーポレイテッド 水素ガスを感知するための方法および装置
JP2008526434A (ja) * 2005-01-12 2008-07-24 メドトロニック ミニメド インコーポレイテッド マルチセンサアレイの製作
JP2009511153A (ja) * 2005-10-11 2009-03-19 コーニンクレッカ フィリップス エレクトロニクス エヌ ヴィ 埋設可能センサのための被個別稼動センサ
JP2010221042A (ja) * 2003-09-11 2010-10-07 Theranos Inc 検体の監視および薬物送達のための医療デバイス
JP2013520422A (ja) * 2010-02-18 2013-06-06 アンパック バイオ−メディカル サイエンス カンパニー リミテッド マイクロデバイスの製造方法
WO2014045762A1 (ja) * 2012-09-21 2014-03-27 テルモ株式会社 蛍光センサ及びセンサシステム
JP2014525589A (ja) * 2011-09-06 2014-09-29 フェーズ２ マイクロテクノロジーズ， エルエルシー センサアレイを有する測定デバイス
JP2016147814A (ja) * 2015-02-10 2016-08-18 国立大学法人 筑波大学 脱ミエリン化剤、電極及び接続構造体
JP2020051933A (ja) * 2018-09-27 2020-04-02 横河電機株式会社 測定装置

Families Citing this family (417)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6783543B2 (en) * 2000-06-05 2004-08-31 Scimed Life Systems, Inc. Intravascular stent with increasing coating retaining capacity
US7070590B1 (en) * 1996-07-02 2006-07-04 Massachusetts Institute Of Technology Microchip drug delivery devices
US7341598B2 (en) 1999-01-13 2008-03-11 Boston Scientific Scimed, Inc. Stent with protruding branch portion for bifurcated vessels
US6001067A (en) 1997-03-04 1999-12-14 Shults; Mark C. Device and method for determining analyte levels
US8527026B2 (en) 1997-03-04 2013-09-03 Dexcom, Inc. Device and method for determining analyte levels
US6241762B1 (en) 1998-03-30 2001-06-05 Conor Medsystems, Inc. Expandable medical device with ductile hinges
US7179289B2 (en) * 1998-03-30 2007-02-20 Conor Medsystems, Inc. Expandable medical device for delivery of beneficial agent
US20040254635A1 (en) * 1998-03-30 2004-12-16 Shanley John F. Expandable medical device for delivery of beneficial agent
US7208010B2 (en) 2000-10-16 2007-04-24 Conor Medsystems, Inc. Expandable medical device for delivery of beneficial agent
US7208011B2 (en) * 2001-08-20 2007-04-24 Conor Medsystems, Inc. Implantable medical device with drug filled holes
EP1154691A4 (en) * 1999-01-05 2004-07-07 Massachusetts Eye & Ear Infirm TARGETED ADMINISTRATION OF REGULATED RELEASE MEDICINE TO RETINA AND CHOROID THROUGH SCLEROTIC
WO2001012157A1 (en) * 1999-08-18 2001-02-22 Microchips, Inc. Thermally-activated microchip chemical delivery devices
CA2393603C (en) * 1999-12-10 2010-09-21 Massachusetts Institute Of Technology Microchip devices for delivery of molecules and methods of fabrication thereof
AU5289001A (en) * 2000-03-02 2001-09-12 Microchips Inc Microfabricated devices for the storage and selective exposure of chemicals and devices
EP1132058A1 (en) * 2000-03-06 2001-09-12 Advanced Laser Applications Holding S.A. Intravascular prothesis
US7485454B1 (en) 2000-03-10 2009-02-03 Bioprocessors Corp. Microreactor
EP1273054A2 (en) * 2000-03-24 2003-01-08 Cymbet Corporation Battery-operated wireless-communication apparatus and method
EP2111829B1 (en) * 2000-06-05 2011-01-19 Boston Scientific Limited Intravascular stent with increasing coating retaining capacity
US7226442B2 (en) * 2000-10-10 2007-06-05 Microchips, Inc. Microchip reservoir devices using wireless transmission of power and data
US6773429B2 (en) 2000-10-11 2004-08-10 Microchips, Inc. Microchip reservoir devices and facilitated corrosion of electrodes
EP1328213B1 (en) * 2000-10-16 2005-07-27 Conor Medsystems, Inc. Expandable medical device for delivery of beneficial agent
ATE441110T1 (de) * 2000-11-09 2009-09-15 Sicel Technologies Inc In-vivo detektion von biomolekülekonzentrationen mittels fluoreszenzmarker
US9107605B2 (en) * 2000-11-17 2015-08-18 Advanced Bio Prosthetic Surfaces, Ltd., A Wholly Owned Subsidiary Of Palmaz Scientific, Inc. Device for in vivo delivery of bioactive agents and method of manufacture thereof
AU2002241834B2 (en) 2001-01-09 2006-11-09 Microchips, Inc. Flexible microchip devices for opthalmic and other applications
US20040220660A1 (en) * 2001-02-05 2004-11-04 Shanley John F. Bioresorbable stent with beneficial agent reservoirs
US20040073294A1 (en) * 2002-09-20 2004-04-15 Conor Medsystems, Inc. Method and apparatus for loading a beneficial agent into an expandable medical device
US6858220B2 (en) 2001-02-28 2005-02-22 Second Sight Medical Products, Inc. Implantable microfluidic delivery system using ultra-nanocrystalline diamond coating
US20040132166A1 (en) * 2001-04-10 2004-07-08 Bioprocessors Corp. Determination and/or control of reactor environmental conditions
US20050032204A1 (en) * 2001-04-10 2005-02-10 Bioprocessors Corp. Microreactor architecture and methods
US20040058407A1 (en) * 2001-04-10 2004-03-25 Miller Scott E. Reactor systems having a light-interacting component
US20040058437A1 (en) * 2001-04-10 2004-03-25 Rodgers Seth T. Materials and reactor systems having humidity and gas control
US7563255B2 (en) 2001-05-03 2009-07-21 Massachusetts Eye And Ear Infirmary Implantable drug delivery device and use thereof
WO2002096389A1 (en) 2001-05-30 2002-12-05 Microchips, Inc. Conformal coated microchip reservoir devices
AU2002326304A1 (en) 2001-05-31 2002-12-16 Massachusetts Institute Of Technology Microchip devices with improved reservoir opening
CA2451953A1 (en) * 2001-06-28 2003-04-24 Microchips, Inc. Methods for hermetically sealing microchip reservoir devices
DE10133870A1 (de) * 2001-07-12 2003-02-06 Chris P Lohmann Ophthalmisches Mittel, Verwendung von EGF zur Behandlung von Dry Eye-Syndrom und Insert zur Verabreichung von EGF am Auge
US20030032874A1 (en) 2001-07-27 2003-02-13 Dexcom, Inc. Sensor head for use with implantable devices
US7056338B2 (en) * 2003-03-28 2006-06-06 Conor Medsystems, Inc. Therapeutic agent delivery device with controlled therapeutic agent release rates
US7842083B2 (en) 2001-08-20 2010-11-30 Innovational Holdings, Llc. Expandable medical device with improved spatial distribution
DE10142019A1 (de) * 2001-08-28 2003-03-20 Philips Corp Intellectual Pty Schaltungsanordnung zur Demodulation von Signalen
US7578841B2 (en) 2001-09-24 2009-08-25 Boston Scientific Scimed, Inc. Stent with protruding branch portion for bifurcated vessels
ES2445329T3 (es) * 2001-10-09 2014-03-03 Ght Global Heating Technologies Ag Calentador catalítico con membrana
US7097775B2 (en) * 2001-10-26 2006-08-29 Second Sight Medical Products, Inc. Coated microfluidic delivery system
AU2002365091A1 (en) * 2001-11-01 2003-06-30 Regents Of The University Of Minnesota Hydrogel compositions, devices, and microscale components
AU2002353013A1 (en) 2001-12-03 2003-06-17 Massachusetts Institute Of Technology Microscale lyophilization and drying methods for the stabilization of molecules
WO2003061475A1 (en) * 2002-01-23 2003-07-31 Danfoss A/S Method and device for monitoring analyte concentration by use of differential osmotic pressure measurement
US7613491B2 (en) 2002-05-22 2009-11-03 Dexcom, Inc. Silicone based membranes for use in implantable glucose sensors
US7828728B2 (en) 2003-07-25 2010-11-09 Dexcom, Inc. Analyte sensor
US8364229B2 (en) 2003-07-25 2013-01-29 Dexcom, Inc. Analyte sensors having a signal-to-noise ratio substantially unaffected by non-constant noise
GB0204381D0 (en) * 2002-02-26 2002-04-10 Mcminn Derek J W Knee prosthesis
WO2003092665A2 (en) * 2002-05-02 2003-11-13 Massachusetts Eye And Ear Infirmary Ocular drug delivery systems and use thereof
US7226978B2 (en) 2002-05-22 2007-06-05 Dexcom, Inc. Techniques to improve polyurethane membranes for implantable glucose sensors
US20050106714A1 (en) * 2002-06-05 2005-05-19 Zarur Andrey J. Rotatable reactor systems and methods
US6953455B2 (en) * 2002-07-30 2005-10-11 Hospira, Inc. Medicine delivery system
JP2004080221A (ja) * 2002-08-13 2004-03-11 Fujitsu Media Device Kk 弾性波デバイス及びその製造方法
JP4436258B2 (ja) * 2002-08-16 2010-03-24 マイクロチップス・インコーポレーテッド 制御された放出デバイスおよび方法
AU2007200736B2 (en) * 2002-08-16 2008-09-18 Microchips, Inc. Controlled release device and method
AU2003278766A1 (en) * 2002-09-04 2004-03-29 Microchips, Inc. Method and device for the controlled delivery of parathyroid hormone
AU2003276920A1 (en) * 2002-09-20 2004-04-08 Innovational Holdings, Llc Expandable medical device with openings for delivery of multiple beneficial agents
AU2012203970B2 (en) * 2002-09-20 2015-08-20 MicroPort Cardiovascular LLC Method and apparatus for loading a beneficial agent into an expandable medical device
US7758636B2 (en) * 2002-09-20 2010-07-20 Innovational Holdings Llc Expandable medical device with openings for delivery of multiple beneficial agents
AU2003278881A1 (en) * 2002-09-23 2004-04-08 Microchips, Inc. Micro-reservoir osmotic release systems and microtube array device
US7599737B2 (en) * 2002-10-04 2009-10-06 Microchips, Inc. Medical device for neural stimulation and controlled drug delivery
AU2003279842A1 (en) * 2002-10-04 2004-05-04 Microchips, Inc. Medical device for controlled drug delivery and cardiac monitoring and/or stimulation
AU2003284055A1 (en) * 2002-10-09 2004-05-04 The Board Of Trustees Of The University Of Illinois Microfluidic systems and components
US20090209030A1 (en) * 2002-10-15 2009-08-20 Benett William J Thermal Cycler
US20040072334A1 (en) * 2002-10-15 2004-04-15 The Regents Of The University Of California Thermal cycler
US9740817B1 (en) 2002-10-18 2017-08-22 Dennis Sunga Fernandez Apparatus for biological sensing and alerting of pharmaco-genomic mutation
EP1419818B1 (de) * 2002-11-14 2013-10-30 Boehringer Ingelheim microParts GmbH Vorrichtung zum schrittweisen Transport von Flüssigkeit unter Ausnutzung von Kapillarkräften
US7603144B2 (en) * 2003-01-02 2009-10-13 Cymbet Corporation Active wireless tagging system on peel and stick substrate
US20040131760A1 (en) * 2003-01-02 2004-07-08 Stuart Shakespeare Apparatus and method for depositing material onto multiple independently moving substrates in a chamber
US7294209B2 (en) * 2003-01-02 2007-11-13 Cymbet Corporation Apparatus and method for depositing material onto a substrate using a roll-to-roll mask
US6906436B2 (en) * 2003-01-02 2005-06-14 Cymbet Corporation Solid state activity-activated battery device and method
WO2004073551A2 (en) * 2003-02-18 2004-09-02 Massachusetts Eye And Ear Infirmary Transscleral drug delivery device and related methods
WO2004084973A2 (en) * 2003-03-24 2004-10-07 Becton, Dickinson And Company Invisible antimicrobial glove and hand antiseptic
US20040202692A1 (en) * 2003-03-28 2004-10-14 Conor Medsystems, Inc. Implantable medical device and method for in situ selective modulation of agent delivery
AU2004226327A1 (en) 2003-03-28 2004-10-14 Innovational Holdings, Llc Implantable medical device with beneficial agent concentration gradient
AU2004233869B2 (en) * 2003-04-25 2010-08-12 Boston Scientific Scimed, Inc. Solid drug formulation and device for storage and controlled delivery thereof
JP3892826B2 (ja) * 2003-05-26 2007-03-14 株式会社東芝 電力増幅器及びこれを用いた無線通信装置
WO2004112946A2 (en) * 2003-06-05 2004-12-29 Bioprocessors Corp. Reactor with memory component
US7169179B2 (en) * 2003-06-05 2007-01-30 Conor Medsystems, Inc. Drug delivery device and method for bi-directional drug delivery
US7226441B2 (en) * 2003-06-23 2007-06-05 Codman & Shurtleff, Inc. Catheter with block-overriding system
WO2005010240A2 (en) * 2003-07-17 2005-02-03 Microchips, Inc. Low temperature methods for hermetically sealing reservoir devices
US9763609B2 (en) 2003-07-25 2017-09-19 Dexcom, Inc. Analyte sensors having a signal-to-noise ratio substantially unaffected by non-constant noise
EP1649260A4 (en) 2003-07-25 2010-07-07 Dexcom Inc ELECTRODE SYSTEMS FOR ELECTROCHEMICAL DETECTORS
US7761130B2 (en) 2003-07-25 2010-07-20 Dexcom, Inc. Dual electrode system for a continuous analyte sensor
JP4708342B2 (ja) 2003-07-25 2011-06-22 デックスコム・インコーポレーテッド 埋設可能な装置に用いる酸素増大膜システム
US20050055014A1 (en) * 2003-08-04 2005-03-10 Coppeta Jonathan R. Methods for accelerated release of material from a reservoir device
US7169405B2 (en) * 2003-08-06 2007-01-30 Warsaw Orthopedic, Inc. Methods and devices for the treatment of intervertebral discs
US8346482B2 (en) 2003-08-22 2013-01-01 Fernandez Dennis S Integrated biosensor and simulation system for diagnosis and therapy
US7920906B2 (en) 2005-03-10 2011-04-05 Dexcom, Inc. System and methods for processing analyte sensor data for sensor calibration
AU2012213965B2 (en) * 2003-09-11 2015-10-22 Labrador Diagnostics Llc Medical device for analyte monitoring and drug delivery
US7785653B2 (en) * 2003-09-22 2010-08-31 Innovational Holdings Llc Method and apparatus for loading a beneficial agent into an expandable medical device
US7723208B2 (en) * 2003-09-24 2010-05-25 Intel Corporation Integrated re-combiner for electroosmotic pumps using porous frits
US7211351B2 (en) 2003-10-16 2007-05-01 Cymbet Corporation Lithium/air batteries with LiPON as separator and protective barrier and method
US8095197B2 (en) * 2003-11-03 2012-01-10 Microchips, Inc. Medical device for sensing glucose
WO2005048834A1 (en) * 2003-11-13 2005-06-02 Medtronic Minimed, Inc. Long term analyte sensor array
US9247900B2 (en) 2004-07-13 2016-02-02 Dexcom, Inc. Analyte sensor
US8423114B2 (en) 2006-10-04 2013-04-16 Dexcom, Inc. Dual electrode system for a continuous analyte sensor
US11633133B2 (en) 2003-12-05 2023-04-25 Dexcom, Inc. Dual electrode system for a continuous analyte sensor
EP1711790B1 (en) 2003-12-05 2010-09-08 DexCom, Inc. Calibration techniques for a continuous analyte sensor
WO2005067645A2 (en) * 2004-01-06 2005-07-28 Cymbet Corporation Layered barrier structure having one or more definable layers and method
AU2005214894B2 (en) * 2004-02-13 2011-05-26 MicroPort Cardiovascular LLC Implantable drug delivery device including wire filaments
US7819822B2 (en) * 2004-03-06 2010-10-26 Roche Diagnostics Operations, Inc. Body fluid sampling device
ES2541680T3 (es) * 2004-03-06 2015-07-23 F. Hoffmann-La Roche Ag Dispositivo de muestreo de líquidos corporales
US7215018B2 (en) 2004-04-13 2007-05-08 Vertical Circuits, Inc. Stacked die BGA or LGA component assembly
US7705432B2 (en) * 2004-04-13 2010-04-27 Vertical Circuits, Inc. Three dimensional six surface conformal die coating
US7245021B2 (en) 2004-04-13 2007-07-17 Vertical Circuits, Inc. Micropede stacked die component assembly
US8277713B2 (en) 2004-05-03 2012-10-02 Dexcom, Inc. Implantable analyte sensor
US7060895B2 (en) * 2004-05-04 2006-06-13 Idc, Llc Modifying the electro-mechanical behavior of devices
US20050261561A1 (en) * 2004-05-24 2005-11-24 Christopher W. Jones Blood testing and therapeutic compound delivery system
WO2006085908A2 (en) * 2004-06-01 2006-08-17 Microchips, Inc. Devices and methods for measuring and enhancing drug or analyte transport to/from medical implant
US20050271560A1 (en) * 2004-06-07 2005-12-08 Bioprocessors Corp. Gas control in a reactor
US20060019333A1 (en) * 2004-06-07 2006-01-26 Rodgers Seth T Control of reactor environmental conditions
JP2008502919A (ja) * 2004-06-07 2008-01-31 バイオプロセッサーズ コーポレイション リアクタ混合
JP2008501365A (ja) * 2004-06-07 2008-01-24 バイオプロセッサーズ コーポレイション 反応器における剪断力の生成
US20050287287A1 (en) * 2004-06-24 2005-12-29 Parker Theodore L Methods and systems for loading an implantable medical device with beneficial agent
US8536661B1 (en) 2004-06-25 2013-09-17 University Of Hawaii Biosensor chip sensor protection methods
USD516723S1 (en) 2004-07-06 2006-03-07 Conor Medsystems, Inc. Stent wall structure
US9044199B2 (en) 2004-07-13 2015-06-02 Dexcom, Inc. Transcutaneous analyte sensor
US20060270922A1 (en) 2004-07-13 2006-11-30 Brauker James H Analyte sensor
US20070036835A1 (en) * 2004-07-19 2007-02-15 Microchips, Inc. Hermetically Sealed Devices for Controlled Release or Exposure of Reservoir Contents
WO2006015299A2 (en) * 2004-07-30 2006-02-09 Microchips, Inc. Multi-reservoir device for transdermal drug delivery and sensing
CN100488635C (zh) * 2004-09-01 2009-05-20 微芯片公司 用于控制释放或者暴露储库内容物的多盖储库装置
US7550912B2 (en) 2004-09-27 2009-06-23 Idc, Llc Method and system for maintaining partial vacuum in display device
AU2005302484A1 (en) * 2004-10-28 2006-05-11 Microchips, Inc. Orthopedic and dental implant devices providing controlled drug delivery
SG157362A1 (en) 2004-11-04 2009-12-29 Microchips Inc Compression and cold weld sealing methods and devices
US7413846B2 (en) * 2004-11-15 2008-08-19 Microchips, Inc. Fabrication methods and structures for micro-reservoir devices
US20080009800A1 (en) * 2004-12-02 2008-01-10 Nickel Janice H Transdermal drug delivery device
DE102004058394A1 (de) * 2004-12-03 2006-06-14 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. Probenaufnahme für eine Kryoprobe und zugehöriges Untersuchungsverfahren
WO2006077528A2 (en) * 2005-01-18 2006-07-27 Koninklijke Philips Electronics, N.V. Electronically controlled capsule
AU2006208131A1 (en) * 2005-01-25 2006-08-03 Microchips, Inc. Control of drug release by transient modification of local microenvironments
US7584907B2 (en) 2005-03-29 2009-09-08 Contadini Carl D Precision release aerosol device
US20100001104A1 (en) * 2005-03-29 2010-01-07 Waterbury Companies, Inc. Precision release vaporization device
US20060226442A1 (en) * 2005-04-07 2006-10-12 An-Ping Zhang GaN-based high electron mobility transistor and method for making the same
US8744546B2 (en) 2005-05-05 2014-06-03 Dexcom, Inc. Cellulosic-based resistance domain for an analyte sensor
US9284375B2 (en) * 2005-04-15 2016-03-15 Macrogenics, Inc. Covalent diabodies and uses thereof
KR101569307B1 (ko) * 2005-05-09 2015-11-13 테라노스, 인코포레이티드 현장진료 유체 시스템 및 그 용도
US7629115B2 (en) * 2005-05-13 2009-12-08 Honeywell International Inc. Cell-based platform for high throughput screening
US8309057B2 (en) * 2005-06-10 2012-11-13 The Invention Science Fund I, Llc Methods for elevating neurotrophic agents
EP2260759B1 (de) * 2005-06-17 2015-05-06 F. Hoffmann-La Roche AG Sensorsystem sowie Anordnung und Verfahren zur Überwachung eines Inhaltsstoffs, insbesondere Glucose in Körpergewebe
WO2007001624A2 (en) * 2005-06-28 2007-01-04 Microchips, Inc. Medical and dental implant devices for controlled drug delivery
WO2007004171A1 (en) * 2005-07-05 2007-01-11 Koninklijke Philips Electronics N.V. Device for the controlled release of a predefined quantity of a substance
US20070012244A1 (en) * 2005-07-15 2007-01-18 Cymbet Corporation Apparatus and method for making thin-film batteries with soft and hard electrolyte layers
KR101387855B1 (ko) 2005-07-15 2014-04-22 사임베트 코퍼레이션 연질 및 경질 전해질층을 가진 박막 배터리 및 그 제조방법
US7776478B2 (en) * 2005-07-15 2010-08-17 Cymbet Corporation Thin-film batteries with polymer and LiPON electrolyte layers and method
US20070088442A1 (en) * 2005-10-14 2007-04-19 Microchips, Inc. Passive wear-indicating sensor for implantable prosthetic device
US8936590B2 (en) 2005-11-09 2015-01-20 The Invention Science Fund I, Llc Acoustically controlled reaction device
US8273075B2 (en) * 2005-12-13 2012-09-25 The Invention Science Fund I, Llc Osmotic pump with remotely controlled osmotic flow rate
US8273071B2 (en) 2006-01-18 2012-09-25 The Invention Science Fund I, Llc Remote controller for substance delivery system
US20070106271A1 (en) * 2005-11-09 2007-05-10 Searete Llc, A Limited Liability Corporation Remote control of substance delivery system
US20070106277A1 (en) * 2005-11-09 2007-05-10 Searete Llc, A Limited Liability Corporation Of The State Of Delaware Remote controller for substance delivery system
US8083710B2 (en) * 2006-03-09 2011-12-27 The Invention Science Fund I, Llc Acoustically controlled substance delivery device
US9067047B2 (en) 2005-11-09 2015-06-30 The Invention Science Fund I, Llc Injectable controlled release fluid delivery system
US9254256B2 (en) * 2005-11-09 2016-02-09 The Invention Science Fund I, Llc Remote controlled in vivo reaction method
US8992511B2 (en) * 2005-11-09 2015-03-31 The Invention Science Fund I, Llc Acoustically controlled substance delivery device
US20070129620A1 (en) * 2005-12-02 2007-06-07 Peter Krulevitch Selectively exposable miniature probes with integrated sensor arrays for continuous in vivo diagnostics
US7540881B2 (en) 2005-12-22 2009-06-02 Boston Scientific Scimed, Inc. Bifurcation stent pattern
US8095198B2 (en) 2006-01-31 2012-01-10 Warsaw Orthopedic. Inc. Methods for detecting osteolytic conditions in the body
US7328131B2 (en) * 2006-02-01 2008-02-05 Medtronic, Inc. Implantable pedometer
US8078282B2 (en) * 2006-02-01 2011-12-13 Warsaw Orthopedic, Inc Implantable tissue growth stimulator
US20070191816A1 (en) * 2006-02-13 2007-08-16 Boston Scientific Scimed, Inc. Radio frequency induced drug elution
US8016859B2 (en) 2006-02-17 2011-09-13 Medtronic, Inc. Dynamic treatment system and method of use
US7993269B2 (en) * 2006-02-17 2011-08-09 Medtronic, Inc. Sensor and method for spinal monitoring
US20080140057A1 (en) * 2006-03-09 2008-06-12 Searete Llc, A Limited Liability Corporation Of State Of The Delaware Injectable controlled release fluid delivery system
JP2009529671A (ja) * 2006-03-10 2009-08-20 コーニング インコーポレイテッド 基準マイクロプレート並びに基準マイクロプレートの製造及び使用方法
US11287421B2 (en) 2006-03-24 2022-03-29 Labrador Diagnostics Llc Systems and methods of sample processing and fluid control in a fluidic system
US8741230B2 (en) 2006-03-24 2014-06-03 Theranos, Inc. Systems and methods of sample processing and fluid control in a fluidic system
US7918796B2 (en) 2006-04-11 2011-04-05 Warsaw Orthopedic, Inc. Volumetric measurement and visual feedback of tissues
US7771414B2 (en) * 2006-04-24 2010-08-10 Warsaw Orthopedic, Inc. Controlled release devices for therapeutic treatments of spinal discs
US7879027B2 (en) * 2006-04-24 2011-02-01 Warsaw Orthopedic, Inc. Controlled release devices for fusion of osteal structures
US8642060B2 (en) * 2006-04-24 2014-02-04 Warsaw Orthopedic, Inc. Controlled release systems and methods for osteal growth
US8642059B2 (en) 2006-04-24 2014-02-04 Warsaw Orthopedic, Inc. Controlled release systems and methods for intervertebral discs
US20070260174A1 (en) * 2006-05-05 2007-11-08 Searete Llc Detecting a failure to maintain a regimen
US8163237B2 (en) * 2006-05-08 2012-04-24 Becton, Dickinson And Company Vascular access device pathogenic status indication
US8007999B2 (en) 2006-05-10 2011-08-30 Theranos, Inc. Real-time detection of influenza virus
WO2008008845A2 (en) * 2006-07-11 2008-01-17 Microchips, Inc. Multi-reservoir pump device for dialysis, biosensing, or delivery of substances
AU2007276719A1 (en) * 2006-07-20 2008-01-24 Trinean Nv Optical characterisation methods and systems
WO2008017042A1 (en) * 2006-08-03 2008-02-07 Microchips, Inc. Cardiac biosensor devices and methods
US20080058772A1 (en) * 2006-08-31 2008-03-06 Robertson Timothy L Personal paramedic
US7951191B2 (en) 2006-10-10 2011-05-31 Boston Scientific Scimed, Inc. Bifurcated stent with entire circumferential petal
US8012744B2 (en) 2006-10-13 2011-09-06 Theranos, Inc. Reducing optical interference in a fluidic device
US8048547B2 (en) 2006-11-01 2011-11-01 The United States Of America, As Represented By The Secretary Of The Navy Biological fuel cells with nanoporous membranes
US20080113391A1 (en) 2006-11-14 2008-05-15 Ian Gibbons Detection and quantification of analytes in bodily fluids
US7842082B2 (en) 2006-11-16 2010-11-30 Boston Scientific Scimed, Inc. Bifurcated stent
US11339430B2 (en) 2007-07-10 2022-05-24 Life Technologies Corporation Methods and apparatus for measuring analytes using large scale FET arrays
US8349167B2 (en) * 2006-12-14 2013-01-08 Life Technologies Corporation Methods and apparatus for detecting molecular interactions using FET arrays
US8262900B2 (en) 2006-12-14 2012-09-11 Life Technologies Corporation Methods and apparatus for measuring analytes using large scale FET arrays
EP2639578B1 (en) 2006-12-14 2016-09-14 Life Technologies Corporation Apparatus for measuring analytes using large scale fet arrays
WO2008085991A2 (en) * 2007-01-08 2008-07-17 U.S. Genomics, Inc. Reaction chamber
US8679291B2 (en) 2007-03-13 2014-03-25 Heartland Technology Partners Llc Compact wastewater concentrator using waste heat
US8568557B2 (en) 2007-03-13 2013-10-29 Heartland Technology Partners Llc Compact wastewater concentrator using waste heat
US10005678B2 (en) 2007-03-13 2018-06-26 Heartland Technology Partners Llc Method of cleaning a compact wastewater concentrator
US8741100B2 (en) 2007-03-13 2014-06-03 Heartland Technology Partners Llc Liquid concentrator
US8790496B2 (en) * 2007-03-13 2014-07-29 Heartland Technology Partners Llc Compact wastewater concentrator and pollutant scrubber
US8716028B2 (en) 2007-04-05 2014-05-06 Nalco Company Control over hydrogen fluoride levels in oxide etchant
US20200037874A1 (en) 2007-05-18 2020-02-06 Dexcom, Inc. Analyte sensors having a signal-to-noise ratio substantially unaffected by non-constant noise
EP2471457A1 (en) 2007-06-07 2012-07-04 Microchips, Inc. Electrochemical biosensors and arrays
US8723332B2 (en) 2007-06-11 2014-05-13 Invensas Corporation Electrically interconnected stacked die assemblies
DE102007031549B4 (de) * 2007-07-06 2021-07-08 Robert Bosch Gmbh Vorrichtung aus einkristallinem Silizium und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung aus einkristallinem Silizium
DE102007032688A1 (de) * 2007-07-13 2009-01-22 Biotronik Vi Patent Ag Implantat und System aus einem Implantat und einer Anregungsvorrichtung
CN101848757B (zh) * 2007-07-13 2013-12-04 里兰斯坦福初级大学理事会 用于改进的生物测定法的使用电场的方法和设备
US8158430B1 (en) 2007-08-06 2012-04-17 Theranos, Inc. Systems and methods of fluidic sample processing
US20090042066A1 (en) * 2007-08-10 2009-02-12 Mphase Technologies, Inc. Adjustable Barrier For Regulating Flow Of A Fluid
US20090042065A1 (en) * 2007-08-10 2009-02-12 Mphase Technologies, Inc. Event Activated Micro Control Devices
US8753304B2 (en) * 2007-08-17 2014-06-17 The Invention Science Fund I, Llc Systems, devices, and methods including catheters having acoustically actuatable waveguide components for delivering a sterilizing stimulus to a region proximate a surface of the catheter
US8702640B2 (en) * 2007-08-17 2014-04-22 The Invention Science Fund I, Llc System, devices, and methods including catheters configured to monitor and inhibit biofilm formation
US20110160644A1 (en) * 2007-08-17 2011-06-30 Searete Llc, A Limited Liability Corporation Of The State Of Delaware Systems, devices, and methods including catheters configured to release ultraviolet energy absorbing agents
US20090048648A1 (en) * 2007-08-17 2009-02-19 Searete Llc, A Limited Liability Corporation Of The State Of Delaware Self-sterilizing device
US8734718B2 (en) * 2007-08-17 2014-05-27 The Invention Science Fund I, Llc Systems, devices, and methods including catheters having an actively controllable therapeutic agent delivery component
US20090163977A1 (en) * 2007-08-17 2009-06-25 Searete Llc, A Limited Liability Corporation Of The State Of Delaware System, devices, and methods including sterilizing excitation delivery implants with cryptographic logic components
US8366652B2 (en) * 2007-08-17 2013-02-05 The Invention Science Fund I, Llc Systems, devices, and methods including infection-fighting and monitoring shunts
US8706211B2 (en) * 2007-08-17 2014-04-22 The Invention Science Fund I, Llc Systems, devices, and methods including catheters having self-cleaning surfaces
WO2009035849A2 (en) 2007-09-10 2009-03-19 Vertical Circuits, Inc. Semiconductor die mount by conformal die coating
US7959669B2 (en) 2007-09-12 2011-06-14 Boston Scientific Scimed, Inc. Bifurcated stent with open ended side branch support
US8778663B2 (en) * 2007-09-18 2014-07-15 Lawrence Livermore National Security, Llc. Thermal cycler
US20090076591A1 (en) * 2007-09-19 2009-03-19 Boston Scientific Scimed, Inc. Stent Design Allowing Extended Release of Drug and/or Enhanced Adhesion of Polymer to OD Surface
EP2200613B1 (en) 2007-09-21 2018-09-05 The Johns Hopkins University Phenazine derivatives and uses thereof
EP3181228B1 (en) 2007-10-02 2020-07-29 Labrador Diagnostics LLC Modular point-of-care devices and uses thereof
US20090095926A1 (en) * 2007-10-12 2009-04-16 Macneish Iii William Jack Physiological parameter detector
JP5311801B2 (ja) 2007-11-09 2013-10-09 キヤノン株式会社 浸透圧ポンプを用いた送液駆動機構および該送液駆動機構を有するマイクロチップ
US7907330B2 (en) * 2007-11-14 2011-03-15 International Business Machines Corporation Display element
US8551556B2 (en) * 2007-11-20 2013-10-08 Palo Alto Research Center Incorporated Method for obtaining controlled sidewall profile in print-patterned structures
US7833266B2 (en) 2007-11-28 2010-11-16 Boston Scientific Scimed, Inc. Bifurcated stent with drug wells for specific ostial, carina, and side branch treatment
US7722661B2 (en) * 2007-12-19 2010-05-25 Boston Scientific Scimed, Inc. Stent
US8268604B2 (en) * 2007-12-20 2012-09-18 Abbott Point Of Care Inc. Compositions for forming immobilized biological layers for sensing
US8241697B2 (en) 2007-12-20 2012-08-14 Abbott Point Of Care Inc. Formation of immobilized biological layers for sensing
US8277501B2 (en) 2007-12-21 2012-10-02 Boston Scientific Scimed, Inc. Bi-stable bifurcated stent petal geometry
JP2011510750A (ja) 2008-01-29 2011-04-07 クライマン、ギルバート・エイチ 薬物送達デバイス、キット及びそれらの方法
EP2249893A2 (en) * 2008-02-01 2010-11-17 Boston Scientific Scimed, Inc. Drug-coated medical devices for differential drug release
JP4577370B2 (ja) * 2008-02-12 2010-11-10 株式会社デンソー センサ装置およびその製造方法
KR101554761B1 (ko) 2008-03-12 2015-09-21 인벤사스 코포레이션 지지부에 실장되는 전기적으로 인터커넥트된 다이 조립체
US8583204B2 (en) 2008-03-28 2013-11-12 Dexcom, Inc. Polymer membranes for continuous analyte sensors
US8682408B2 (en) 2008-03-28 2014-03-25 Dexcom, Inc. Polymer membranes for continuous analyte sensors
US11730407B2 (en) 2008-03-28 2023-08-22 Dexcom, Inc. Polymer membranes for continuous analyte sensors
US20090259217A1 (en) * 2008-04-09 2009-10-15 Searete Llc, A Limited Liability Corporation Of The State Of Delaware Methods and systems associated with delivery of one or more agents to an individual
US20090259112A1 (en) * 2008-04-09 2009-10-15 Searete Llc, A Limited Liability Corporation Of The State Of Delaware Sensors
US9153517B2 (en) 2008-05-20 2015-10-06 Invensas Corporation Electrical connector between die pad and z-interconnect for stacked die assemblies
US7863159B2 (en) 2008-06-19 2011-01-04 Vertical Circuits, Inc. Semiconductor die separation method
US8932340B2 (en) 2008-05-29 2015-01-13 Boston Scientific Scimed, Inc. Bifurcated stent and delivery system
CN102203282B (zh) 2008-06-25 2014-04-30 生命技术公司 使用大规模fet阵列测量分析物的方法和装置
CA2668792C (en) 2008-06-30 2017-08-01 Tyco Healthcare Group Lp Valve assembly including a dissolvable valve member
US7951193B2 (en) * 2008-07-23 2011-05-31 Boston Scientific Scimed, Inc. Drug-eluting stent
DE102008040788A1 (de) * 2008-07-28 2010-02-11 Biotronik Crm Patent Ag Vorrichtung und Verfahren zur Erfassung der Strömungsgeschwindigkeit eines Blutstromes und Herz-/Kreislauf-Unterstützungsvorrichtung
US20100025238A1 (en) * 2008-07-31 2010-02-04 Medtronic Minimed, Inc. Analyte sensor apparatuses having improved electrode configurations and methods for making and using them
US8700114B2 (en) * 2008-07-31 2014-04-15 Medtronic Minmed, Inc. Analyte sensor apparatuses comprising multiple implantable sensor elements and methods for making and using them
WO2010014690A2 (en) * 2008-07-31 2010-02-04 Boston Scientific Scimed, Inc. Medical devices for therapeutic agent delivery
US20100070188A1 (en) * 2008-08-08 2010-03-18 Neal Solomon Intelligent medical device system for on-demand diagnostics
US8560039B2 (en) 2008-09-19 2013-10-15 Dexcom, Inc. Particle-containing membrane and particulate electrode for analyte sensors
TWI361169B (en) * 2008-10-20 2012-04-01 Nat Chip Implementation Ct Nat Applied Res Lab Biosensor package structure with micro-fluidic channel
US20100137143A1 (en) 2008-10-22 2010-06-03 Ion Torrent Systems Incorporated Methods and apparatus for measuring analytes
US20100301398A1 (en) 2009-05-29 2010-12-02 Ion Torrent Systems Incorporated Methods and apparatus for measuring analytes
US20100137246A1 (en) * 2008-12-02 2010-06-03 Searete Llc, A Limited Liability Corporation Of The State Of Delaware Anti-inflammatory compositions and methods
US20100136097A1 (en) * 2008-12-02 2010-06-03 Searete Llc, A Limited Liability Corporation Of The State Of Delaware Systems for modulating inflammation
US20100137787A1 (en) * 2008-12-02 2010-06-03 Searete Llc, A Limited Liability Corporation Of The State Of Delaware Delivery devices for modulating inflammation
US20120041286A1 (en) * 2008-12-04 2012-02-16 Searete Llc, A Limited Liability Corporation Of The State Of Delaware Systems, devices, and methods including implantable devices with anti-microbial properties
EP2384168B1 (en) * 2008-12-04 2014-10-08 Searete LLC Actively-controllable sterilizing excitation delivery implants
US20110152751A1 (en) * 2008-12-04 2011-06-23 Searete Llc, A Limited Liability Corporation Of The State Of Delaware Systems, devices, and methods including catheters having UV-Energy emitting coatings
US20110208026A1 (en) * 2008-12-04 2011-08-25 Goodall Eleanor V Systems, devices, and methods including implantable devices with anti-microbial properties
US20110208021A1 (en) * 2008-12-04 2011-08-25 Goodall Eleanor V Systems, devices, and methods including implantable devices with anti-microbial properties
US20110208023A1 (en) * 2008-12-04 2011-08-25 Goodall Eleanor V Systems, devices, and methods including implantable devices with anti-microbial properties
US8285387B2 (en) 2008-12-12 2012-10-09 Microchips, Inc. Wireless communication with a medical implant
US8236238B2 (en) 2009-01-21 2012-08-07 Palo Alto Research Center Incorporated Drug deactivation system
US7838715B2 (en) * 2009-01-21 2010-11-23 Palo Alto Research Center Incorporated Drug deactivation system and method of deactivating a drug using the same
US9480795B2 (en) 2009-01-21 2016-11-01 Palo Alto Research Center Incorporated Sensor system for drug delivery device, drug delivery device having the same and method of using the same
US8410690B2 (en) * 2009-02-13 2013-04-02 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Display device with desiccant
US8124953B2 (en) * 2009-03-12 2012-02-28 Infineon Technologies Ag Sensor device having a porous structure element
AU2010226326B2 (en) * 2009-03-20 2015-11-26 Incube Labs, Llc Solid drug delivery apparatus, formulations and methods of use
WO2010116624A1 (ja) * 2009-04-07 2010-10-14 パナソニック株式会社 センサチップとこれを用いる測定器及び血液検査装置
US8278758B1 (en) * 2009-04-29 2012-10-02 Massachusetts Institute Of Technology Multilevel reservoirs for integrated circuit interconnects
US8776573B2 (en) 2009-05-29 2014-07-15 Life Technologies Corporation Methods and apparatus for measuring analytes
US8673627B2 (en) 2009-05-29 2014-03-18 Life Technologies Corporation Apparatus and methods for performing electrochemical reactions
US20120261274A1 (en) 2009-05-29 2012-10-18 Life Technologies Corporation Methods and apparatus for measuring analytes
US8574835B2 (en) 2009-05-29 2013-11-05 Life Technologies Corporation Scaffolded nucleic acid polymer particles and methods of making and using
TW201043224A (en) * 2009-06-06 2010-12-16 Univ Nat Taiwan Drug delivery chip and fabricating method thereof
TWI570879B (zh) 2009-06-26 2017-02-11 英維瑟斯公司 半導體總成及晶粒堆疊總成
US8664963B2 (en) * 2009-07-24 2014-03-04 Alliance For Sustainable Energy, Llc Test device for measuring permeability of a barrier material
JP2013501532A (ja) * 2009-08-08 2013-01-17 サノフィ−アベンティス・ドイチュラント・ゲゼルシャフト・ミット・ベシュレンクテル・ハフツング 埋め込み可能なセンサデバイス及びそのようなセンサデバイスに連結可能な医薬送達デバイス
WO2011047271A1 (en) 2009-10-16 2011-04-21 Microchips, Inc. Multi-channel potentiostat for biosensor arrays
EP2491499A4 (en) 2009-10-19 2016-05-18 Theranos Inc INTEGRATED SYSTEM FOR COLLECTION AND ANALYSIS OF HEALTH DATA
MY147335A (en) * 2009-10-27 2012-11-30 Mimos Berhad An integrated packaged environmental sensor and roic and a method of fabricating the same
WO2011056668A2 (en) 2009-10-27 2011-05-12 Vertical Circuits, Inc. Selective die electrical insulation additive process
TWI544604B (zh) 2009-11-04 2016-08-01 英維瑟斯公司 具有降低應力電互連的堆疊晶粒總成
US10408040B2 (en) 2010-02-12 2019-09-10 Fluidion Sas Passive micro-vessel and sensor
US9869613B2 (en) 2010-02-12 2018-01-16 Fluidion Sas Passive micro-vessel and sensor
US9772261B2 (en) 2010-02-12 2017-09-26 Fluidion Sas Passive micro-vessel and sensor
MX2012009133A (es) * 2010-02-12 2012-09-21 Dan Angelescu Micro-recipiente pasivo y sensor.
US9389158B2 (en) 2010-02-12 2016-07-12 Dan Angelescu Passive micro-vessel and sensor
US8810236B2 (en) * 2010-03-09 2014-08-19 Nokia Corporation Apparatus and associated methods
JP5952813B2 (ja) 2010-06-30 2016-07-13 ライフ テクノロジーズ コーポレーション Ｉｓｆｅｔアレイをテストする方法及び装置
TWI463648B (zh) 2010-06-30 2014-12-01 Life Technologies Corp 陣列行積分器
EP2588851B1 (en) 2010-06-30 2016-12-21 Life Technologies Corporation Ion-sensing charge-accumulation circuit and method
US11307166B2 (en) 2010-07-01 2022-04-19 Life Technologies Corporation Column ADC
US8653567B2 (en) 2010-07-03 2014-02-18 Life Technologies Corporation Chemically sensitive sensor with lightly doped drains
GB201012490D0 (en) 2010-07-26 2010-09-08 Randox Lab Ltd Sealed well assembly, cartridge thereof, and apparatus and method for opening a sealed well assembly
US9322103B2 (en) 2010-08-06 2016-04-26 Microchips Biotech, Inc. Biosensor membrane composition, biosensor, and methods for making same
WO2012035429A2 (en) 2010-09-13 2012-03-22 The University Of British Columbia Remotely controlled drug delivery systems
WO2012036679A1 (en) 2010-09-15 2012-03-22 Life Technologies Corporation Methods and apparatus for measuring analytes
CN103299182A (zh) 2010-09-24 2013-09-11 生命科技公司 匹配的晶体管对电路
US9687182B2 (en) * 2010-10-07 2017-06-27 Biotronik Se & Co. Kg Medical sensor system for detecting a feature in a body
EP2438860A1 (de) * 2010-10-07 2012-04-11 BIOTRONIK SE & Co. KG Medizinisches Sensorsystem
GB2489193A (en) * 2010-10-29 2012-09-26 Univ Warwick Ingestible sensor device to detect gases and VOCs in the gastrointestinal tract
TWI748368B (zh) 2011-01-21 2021-12-01 美商拉布拉多診斷有限責任公司 樣本使用最大化之系統及方法
WO2012100074A2 (en) 2011-01-21 2012-07-26 Heartland Technology Partners Llc Condensation plume mitigation system for exhaust stacks
WO2012158202A2 (en) * 2011-05-19 2012-11-22 Abbott Diabetes Care Inc. Analyte sensors and methods of fabricating them
US11527774B2 (en) 2011-06-29 2022-12-13 Space Charge, LLC Electrochemical energy storage devices
US11996517B2 (en) 2011-06-29 2024-05-28 Space Charge, LLC Electrochemical energy storage devices
US10601074B2 (en) 2011-06-29 2020-03-24 Space Charge, LLC Rugged, gel-free, lithium-free, high energy density solid-state electrochemical energy storage devices
US9853325B2 (en) 2011-06-29 2017-12-26 Space Charge, LLC Rugged, gel-free, lithium-free, high energy density solid-state electrochemical energy storage devices
US9448198B2 (en) * 2011-07-05 2016-09-20 Stmicroelectronics Pte Ltd. Microsensor with integrated temperature control
DE102011107547B4 (de) * 2011-07-11 2015-08-06 Krohne Messtechnik Gmbh Druckaufnehmer für ein Vortex-Durchflussmessgerät, Vortex-Durchflussmessgerät und Verfahren zur Herstellung eines solchen Druckaufnehmers
US10427153B2 (en) 2011-08-25 2019-10-01 Microchips Biotech, Inc. Systems and methods for sealing a plurality of reservoirs of a microchip element with a sealing grid
SG11201400907PA (en) 2011-08-25 2014-07-30 Microchips Inc Space-efficient containment devices and method of making same
US9268915B2 (en) 2011-09-25 2016-02-23 Theranos, Inc. Systems and methods for diagnosis or treatment
US9664702B2 (en) 2011-09-25 2017-05-30 Theranos, Inc. Fluid handling apparatus and configurations
US9632102B2 (en) 2011-09-25 2017-04-25 Theranos, Inc. Systems and methods for multi-purpose analysis
US8840838B2 (en) 2011-09-25 2014-09-23 Theranos, Inc. Centrifuge configurations
US8475739B2 (en) 2011-09-25 2013-07-02 Theranos, Inc. Systems and methods for fluid handling
US9619627B2 (en) 2011-09-25 2017-04-11 Theranos, Inc. Systems and methods for collecting and transmitting assay results
US20140170735A1 (en) 2011-09-25 2014-06-19 Elizabeth A. Holmes Systems and methods for multi-analysis
US10012664B2 (en) 2011-09-25 2018-07-03 Theranos Ip Company, Llc Systems and methods for fluid and component handling
US9810704B2 (en) 2013-02-18 2017-11-07 Theranos, Inc. Systems and methods for multi-analysis
US9250229B2 (en) 2011-09-25 2016-02-02 Theranos, Inc. Systems and methods for multi-analysis
US9296624B2 (en) 2011-10-11 2016-03-29 Heartland Technology Partners Llc Portable compact wastewater concentrator
US9970984B2 (en) 2011-12-01 2018-05-15 Life Technologies Corporation Method and apparatus for identifying defects in a chemical sensor array
US8821798B2 (en) 2012-01-19 2014-09-02 Life Technologies Corporation Titanium nitride as sensing layer for microwell structure
US8747748B2 (en) 2012-01-19 2014-06-10 Life Technologies Corporation Chemical sensor with conductive cup-shaped sensor surface
EP2822646B1 (en) 2012-03-09 2023-10-18 Mayo Foundation For Medical Education And Research Modulating afferent signals to treat medical conditions
US8808497B2 (en) 2012-03-23 2014-08-19 Heartland Technology Partners Llc Fluid evaporator for an open fluid reservoir
JP5579218B2 (ja) * 2012-03-28 2014-08-27 株式会社東芝 圧力検知素子の製造方法
US8685708B2 (en) 2012-04-18 2014-04-01 Pathogenetix, Inc. Device for preparing a sample
US8786331B2 (en) 2012-05-29 2014-07-22 Life Technologies Corporation System for reducing noise in a chemical sensor array
US20130330531A1 (en) * 2012-06-06 2013-12-12 Cheil Industries, Inc. Barrier stacks and methods of making the same
US9211185B2 (en) 2012-06-13 2015-12-15 Elwha Llc Breast implant with analyte sensors and internal power source
US8808373B2 (en) 2012-06-13 2014-08-19 Elwha Llc Breast implant with regionalized analyte sensors responsive to external power source
US9144488B2 (en) 2012-06-13 2015-09-29 Elwha Llc Breast implant with analyte sensors responsive to external power source
US8790400B2 (en) 2012-06-13 2014-07-29 Elwha Llc Breast implant with covering and analyte sensors responsive to external power source
US9144489B2 (en) 2012-06-13 2015-09-29 Elwha Llc Breast implant with covering, analyte sensors and internal power source
US8795359B2 (en) 2012-06-13 2014-08-05 Elwha Llc Breast implant with regionalized analyte sensors and internal power source
US9320465B2 (en) 2012-06-25 2016-04-26 International Business Machines Corporation Bio-chips and nano-biochips
US9136160B2 (en) * 2012-06-29 2015-09-15 Institute of Microelectronics, Chinese Academy of Sciences Solid hole array and method for forming the same
US8741101B2 (en) 2012-07-13 2014-06-03 Heartland Technology Partners Llc Liquid concentrator
TWI464388B (zh) * 2012-08-17 2014-12-11 Wistron Corp 光校正裝置、生物檢測校正系統及其操作方法
US9297816B1 (en) * 2012-12-21 2016-03-29 University Of South Florida Devices and methods for measuring blood coagulation
EP2934289B1 (en) 2012-12-21 2018-04-25 Microchips Biotech, Inc. Implantable medical device for minimally-invasive insertion
US9080968B2 (en) 2013-01-04 2015-07-14 Life Technologies Corporation Methods and systems for point of use removal of sacrificial material
US9841398B2 (en) 2013-01-08 2017-12-12 Life Technologies Corporation Methods for manufacturing well structures for low-noise chemical sensors
US8962366B2 (en) 2013-01-28 2015-02-24 Life Technologies Corporation Self-aligned well structures for low-noise chemical sensors
EP2953677B1 (en) * 2013-02-06 2017-12-20 Dan Angelescu Passive micro-vessel and sensor for viscosity determination
US9199861B2 (en) 2013-02-07 2015-12-01 Heartland Technology Partners Llc Wastewater processing systems for power plants and other industrial sources
US8585869B1 (en) 2013-02-07 2013-11-19 Heartland Technology Partners Llc Multi-stage wastewater treatment system
WO2014134323A1 (en) 2013-02-28 2014-09-04 Microchips, Inc Implantable medical device for minimally-invasive insertion
CN105190310B (zh) 2013-03-11 2018-04-10 托莱多大学 用于体内原位和/或实时靶定分析物的生物感应器装置及其制造与使用方法
US8841217B1 (en) 2013-03-13 2014-09-23 Life Technologies Corporation Chemical sensor with protruded sensor surface
US8963216B2 (en) 2013-03-13 2015-02-24 Life Technologies Corporation Chemical sensor with sidewall spacer sensor surface
CN105051525B (zh) 2013-03-15 2019-07-26 生命科技公司 具有薄导电元件的化学设备
US9835585B2 (en) 2013-03-15 2017-12-05 Life Technologies Corporation Chemical sensor with protruded sensor surface
US20140264472A1 (en) 2013-03-15 2014-09-18 Life Technologies Corporation Chemical sensor with consistent sensor surface areas
US20140336063A1 (en) 2013-05-09 2014-11-13 Life Technologies Corporation Windowed Sequencing
KR20140136277A (ko) * 2013-05-20 2014-11-28 삼성전자주식회사 미세유동장치
US10458942B2 (en) 2013-06-10 2019-10-29 Life Technologies Corporation Chemical sensor array having multiple sensors per well
US9724692B2 (en) * 2013-06-27 2017-08-08 Quark Biosciences, Inc. Multiplex slide plate
US10415084B2 (en) 2013-06-27 2019-09-17 Quark Biosciences Taiwan, Inc. Multiplex slide plate device and operation method thereof
US9937124B2 (en) 2014-09-11 2018-04-10 International Business Machines Corporation Microchip substance delivery devices having low-power electromechanical release mechanisms
TW202024628A (zh) 2014-12-18 2020-07-01 美商生命技術公司 用於使用大規模fet陣列量測分析物之方法及設備
US9677998B2 (en) 2014-12-18 2017-06-13 Ecolab Usa Inc. Control over etching molecule levels in etching compositions
US10077472B2 (en) 2014-12-18 2018-09-18 Life Technologies Corporation High data rate integrated circuit with power management
US10605767B2 (en) 2014-12-18 2020-03-31 Life Technologies Corporation High data rate integrated circuit with transmitter configuration
US9759651B2 (en) 2014-12-23 2017-09-12 Magellan Diagnostics, Inc. Combination optical hemoglobin and electrochemical lead assay
US9798886B2 (en) 2015-07-08 2017-10-24 International Business Machines Corporation Bio-medical sensing platform
US9490195B1 (en) 2015-07-17 2016-11-08 Invensas Corporation Wafer-level flipped die stacks with leadframes or metal foil interconnects
US9871019B2 (en) 2015-07-17 2018-01-16 Invensas Corporation Flipped die stack assemblies with leadframe interconnects
US9825002B2 (en) 2015-07-17 2017-11-21 Invensas Corporation Flipped die stack
US10881788B2 (en) 2015-10-30 2021-01-05 International Business Machines Corporation Delivery device including reactive material for programmable discrete delivery of a substance
RU2744557C2 (ru) * 2015-12-11 2021-03-11 Сераип Аг Интерфейсное устройство для текучей среды, предназначенное для доставки текучей среды в организм пациента и/или извлечения текучей среды из организма пациента
US9508691B1 (en) 2015-12-16 2016-11-29 Invensas Corporation Flipped die stacks with multiple rows of leadframe interconnects
US11432750B2 (en) * 2016-03-14 2022-09-06 Abbott Diabetes Care Inc. In vivo enzyme activity sensors and methods
US10566310B2 (en) 2016-04-11 2020-02-18 Invensas Corporation Microelectronic packages having stacked die and wire bond interconnects
US9595511B1 (en) 2016-05-12 2017-03-14 Invensas Corporation Microelectronic packages and assemblies with improved flyby signaling operation
US9728524B1 (en) 2016-06-30 2017-08-08 Invensas Corporation Enhanced density assembly having microelectronic packages mounted at substantial angle to board
CN107782767B (zh) * 2016-08-26 2022-01-07 深迪半导体(绍兴)有限公司 一种气体传感器加热盘及加工方法
US12188893B2 (en) 2016-08-30 2025-01-07 Analog Devices International Unlimited Company Electrochemical sensor, and a method of forming an electrochemical sensor
US11268927B2 (en) 2016-08-30 2022-03-08 Analog Devices International Unlimited Company Electrochemical sensor, and a method of forming an electrochemical sensor
US10620151B2 (en) 2016-08-30 2020-04-14 Analog Devices Global Electrochemical sensor, and a method of forming an electrochemical sensor
US10864359B2 (en) * 2017-05-02 2020-12-15 Bernard Fryshman Induction heating systems
CN108968976B (zh) 2017-05-31 2022-09-13 心脏起搏器股份公司 具有化学传感器的植入式医疗设备
US11304893B2 (en) 2017-07-24 2022-04-19 California Institute Of Technology Low power, chemically amplified, electrically removable barrier
US12004853B2 (en) 2017-07-26 2024-06-11 Cardiac Pacemakers, Inc. Systems and methods for disambiguation of posture
CN109381195B (zh) 2017-08-10 2023-01-10 心脏起搏器股份公司 包括电解质传感器融合的系统和方法
CN109419515B (zh) 2017-08-23 2023-03-24 心脏起搏器股份公司 具有分级激活的可植入化学传感器
EP3672487A4 (en) * 2017-08-24 2021-05-19 The Regents of The University of Michigan Precision bio-chemotronic system
US11583861B2 (en) * 2017-10-30 2023-02-21 Hewlett-Packard Development Company, L.P. Microfluidic devices
CN109864746B (zh) 2017-12-01 2023-09-29 心脏起搏器股份公司 用于医学装置的多模式分析物传感器
CN109864747B (zh) 2017-12-05 2023-08-25 心脏起搏器股份公司 多模式分析物传感器光电子接口
US10520673B2 (en) * 2017-12-28 2019-12-31 Lightwave Logic Inc. Protection layers for polymer modulators/waveguides
WO2019150372A1 (en) * 2018-02-02 2019-08-08 Microbot Medical Ltd. Self-cleaning catheter systems
US11022579B2 (en) 2018-02-05 2021-06-01 Analog Devices International Unlimited Company Retaining cap
WO2019173626A1 (en) 2018-03-07 2019-09-12 Space Charge, LLC Thin-film solid-state energy-storage devices
US11109784B2 (en) 2018-04-09 2021-09-07 California Institute Of Technology Metal-enzyme sandwich layers
GB201807489D0 (en) * 2018-05-08 2018-06-20 Sentinel Subsea Ltd Apparatus and method
KR102631453B1 (ko) 2018-10-02 2024-01-31 삼성디스플레이 주식회사 잉크젯 프린팅 장치
US11473191B2 (en) * 2019-02-27 2022-10-18 Applied Materials, Inc. Method for creating a dielectric filled nanostructured silica substrate for flat optical devices
US20200376406A1 (en) 2019-05-31 2020-12-03 Heartland Technology Partners Llc. Harmful substance removal system and method
US11517831B2 (en) 2019-06-25 2022-12-06 George Andrew Rabroker Abatement system for pyrophoric chemicals and method of use
US12109591B2 (en) 2019-09-09 2024-10-08 GE Precision Healthcare LLC Ultrasound transducer array architecture and method of manufacture
US20230027746A1 (en) * 2019-12-13 2023-01-26 Massachusetts Institute Of Technology Dispensing device with membrane based trigger
US12251991B2 (en) 2020-08-20 2025-03-18 Denso International America, Inc. Humidity control for olfaction sensors
US12269315B2 (en) 2020-08-20 2025-04-08 Denso International America, Inc. Systems and methods for measuring and managing odor brought into rental vehicles
US11881093B2 (en) 2020-08-20 2024-01-23 Denso International America, Inc. Systems and methods for identifying smoking in vehicles
US11760170B2 (en) 2020-08-20 2023-09-19 Denso International America, Inc. Olfaction sensor preservation systems and methods
US11813926B2 (en) 2020-08-20 2023-11-14 Denso International America, Inc. Binding agent and olfaction sensor
US11636870B2 (en) 2020-08-20 2023-04-25 Denso International America, Inc. Smoking cessation systems and methods
US11760169B2 (en) 2020-08-20 2023-09-19 Denso International America, Inc. Particulate control systems and methods for olfaction sensors
US12017506B2 (en) 2020-08-20 2024-06-25 Denso International America, Inc. Passenger cabin air control systems and methods
US11932080B2 (en) 2020-08-20 2024-03-19 Denso International America, Inc. Diagnostic and recirculation control systems and methods
US11828210B2 (en) 2020-08-20 2023-11-28 Denso International America, Inc. Diagnostic systems and methods of vehicles using olfaction
US20230183880A1 (en) * 2021-12-15 2023-06-15 Texas Instruments Incorporated Fluid sensor package

Family Cites Families (242)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US538709A (en) * 1895-05-07 Desk-ruler
US3216411A (en) * 1962-05-16 1965-11-09 Nippon Electric Co Ingestible transmitter for the detection of bleeding in the gastrointestinal canal
US3692027A (en) 1971-04-23 1972-09-19 Everett H Ellinwood Jr Implanted medication dispensing device and method
US3791377A (en) * 1971-06-30 1974-02-12 T Norby Radio capsule battery
US3921636A (en) 1973-01-15 1975-11-25 Alza Corp Novel drug delivery device
US4003379A (en) * 1974-04-23 1977-01-18 Ellinwood Jr Everett H Apparatus and method for implanted self-powered medication dispensing
US4089734A (en) * 1974-09-16 1978-05-16 Raytheon Company Integrated circuit fusing technique
US3952741A (en) * 1975-01-09 1976-04-27 Bend Research Inc. Controlled release delivery system by an osmotic bursting mechanism
US4209894A (en) 1978-04-27 1980-07-01 Texas Instruments Incorporated Fusible-link semiconductor memory
US4345981A (en) * 1978-11-24 1982-08-24 Diamond Shamrock Corporation Anodically polarized surface for biofouling and scale control
US4360019A (en) 1979-02-28 1982-11-23 Andros Incorporated Implantable infusion device
DE2911558A1 (de) 1979-03-23 1980-09-25 Alza Corp Abgabevorrichtung fuer fluessigkeiten
US4731051A (en) * 1979-04-27 1988-03-15 The Johns Hopkins University Programmable control means for providing safe and controlled medication infusion
JPS57163309A (en) 1981-04-01 1982-10-07 Olympus Optical Co Ltd Capsule apparatus for medical use
US4571543A (en) * 1983-03-28 1986-02-18 Southwest Medical Products, Inc. Specific material detection and measuring device
US4856188A (en) * 1984-10-12 1989-08-15 Drug Delivery Systems Inc. Method for making disposable and/or replenishable transdermal drug applicators
GB8422876D0 (en) 1984-09-11 1984-10-17 Secr Defence Silicon implant devices
US4585652A (en) 1984-11-19 1986-04-29 Regents Of The University Of Minnesota Electrochemical controlled release drug delivery system
DE3602796A1 (de) * 1986-01-30 1987-08-06 Messerschmitt Boelkow Blohm Sensorelement mit einem gedaechtnis fuer anormale aenderungen der einfallenden lichtintensitaet
CH670381A5 (ja) * 1986-05-05 1989-06-15 Sulzer Ag
US4865813A (en) * 1986-07-07 1989-09-12 Leon Luis P Disposable analytical device
US5042975A (en) 1986-07-25 1991-08-27 Rutgers, The State University Of New Jersey Iontotherapeutic device and process and iontotherapeutic unit dose
US4731049A (en) 1987-01-30 1988-03-15 Ionics, Incorporated Cell for electrically controlled transdermal drug delivery
US4874500A (en) 1987-07-15 1989-10-17 Sri International Microelectrochemical sensor and sensor array
US5387419A (en) * 1988-03-31 1995-02-07 The University Of Michigan System for controlled release of antiarrhythmic agents
EP0347579B1 (de) 1988-06-01 1994-03-30 Daimler-Benz Aerospace Aktiengesellschaft Vorrichtung mit Träger besonderer Struktur zur Aufnahme, Untersuchung und Behandlung von Proben
US5252294A (en) * 1988-06-01 1993-10-12 Messerschmitt-Bolkow-Blohm Gmbh Micromechanical structure
DD296998A5 (de) 1988-07-05 1991-12-19 Tu Karl-Marx-Stadt,Sektion Informationstechnik Wb Geraetetechnik,De Anordnung zur stroemungswiderstandsveraenderung in von fluessigkeiten oder gasen durchstroemten anordnungen
US5261870A (en) * 1988-10-26 1993-11-16 Biopore, Inc. Separation barrier with plugged pores
US5200051A (en) 1988-11-14 1993-04-06 I-Stat Corporation Wholly microfabricated biosensors and process for the manufacture and use thereof
DE3908822A1 (de) 1989-03-18 1990-09-20 Voss Gunther Meinhardt Neue mikro-wirkstoffkapsel, die zeitlich und volumenmaessig kontrolliert, gezielt arzneistoffe abgeben kann
DE3915920A1 (de) * 1989-05-16 1990-11-22 Messerschmitt Boelkow Blohm Mikromechanische struktur
US5101814A (en) 1989-08-11 1992-04-07 Palti Yoram Prof System for monitoring and controlling blood glucose
US5041107A (en) 1989-10-06 1991-08-20 Cardiac Pacemakers, Inc. Electrically controllable, non-occluding, body implantable drug delivery system
GB9001234D0 (en) * 1990-01-19 1990-03-21 Morris Christopher P Improvements relating to conveying and separation apparatus
US5229131A (en) * 1990-02-05 1993-07-20 University Of Michigan Pulsatile drug delivery system
US5147297A (en) 1990-05-07 1992-09-15 Alza Corporation Iontophoretic delivery device
US5143066A (en) * 1990-05-08 1992-09-01 University Of Pittsburgh Optical fiber sensors for continuous monitoring of biochemicals and related method
US5170801A (en) 1990-10-02 1992-12-15 Glaxo Inc. Medical capsule device actuated by radio-frequency (rf) signal
US5167625A (en) 1990-10-09 1992-12-01 Sarcos Group Multiple vesicle implantable drug delivery system
US5196002A (en) 1990-10-09 1993-03-23 University Of Utah Research Foundation Implantable drug delivery system with piston acutation
US5493177A (en) * 1990-12-03 1996-02-20 The Regents Of The University Of California Sealed micromachined vacuum and gas filled devices
US5102402A (en) * 1991-01-04 1992-04-07 Medtronic, Inc. Releasable coatings on balloon catheters
US5893840A (en) 1991-01-04 1999-04-13 Medtronic, Inc. Releasable microcapsules on balloon catheters
US5254081A (en) 1991-02-01 1993-10-19 Empi, Inc. Multiple site drug iontophoresis electronic device and method
US5391164A (en) 1991-05-03 1995-02-21 Giampapa; Vincent C. Subcutaneous implantable multiple-agent delivery system
US5101874A (en) * 1991-05-17 1992-04-07 David R. Webb Co., Inc. Tangential rotary slicer
US5279607A (en) 1991-05-30 1994-01-18 The State University Of New York Telemetry capsule and process
CA2122150A1 (en) 1991-08-26 1993-03-04 Yie W. Chien Iontotherapeutic device and process
US5605662A (en) * 1993-11-01 1997-02-25 Nanogen, Inc. Active programmable electronic devices for molecular biological analysis and diagnostics
WO1993009842A1 (en) * 1991-11-13 1993-05-27 Elan Corporation, Plc Drug delivery device
US5193539A (en) * 1991-12-18 1993-03-16 Alfred E. Mann Foundation For Scientific Research Implantable microstimulator
US5262127A (en) * 1992-02-12 1993-11-16 The Regents Of The University Of Michigan Solid state chemical micro-reservoirs
US5198002A (en) * 1992-03-12 1993-03-30 The United States Of America As Represented By The United States Department Of Energy Gas stream clean-up filter and method for forming same
US5429822A (en) * 1992-03-13 1995-07-04 Cambridge Scientific, Inc. Biodegradable bursting release system
US5756117A (en) 1992-04-08 1998-05-26 International Medical Asscociates, Inc. Multidose transdermal drug delivery system
US5304293A (en) 1992-05-11 1994-04-19 Teknekron Sensor Development Corporation Microsensors for gaseous and vaporous species
US5318557A (en) 1992-07-13 1994-06-07 Elan Medical Technologies Limited Medication administering device
US5288463A (en) * 1992-10-23 1994-02-22 Eastman Kodak Company Positive flow control in an unvented container
US5449382A (en) 1992-11-04 1995-09-12 Dayton; Michael P. Minimally invasive bioactivated endoprosthesis for vessel repair
US6256522B1 (en) * 1992-11-23 2001-07-03 University Of Pittsburgh Of The Commonwealth System Of Higher Education Sensors for continuous monitoring of biochemicals and related method
US5380272A (en) * 1993-01-28 1995-01-10 Scientific Innovations Ltd. Transcutaneous drug delivery applicator
US5368588A (en) 1993-02-26 1994-11-29 Bettinger; David S. Parenteral fluid medication reservoir pump
US5366454A (en) 1993-03-17 1994-11-22 La Corporation De L'ecole Polytechnique Implantable medication dispensing device
US5336454A (en) * 1993-03-26 1994-08-09 Advanced Ceramics Corporation Ceramic composite and method
US5427585A (en) 1993-03-29 1995-06-27 Bettinger; David S. On-demand iontophoretic system
US5474527A (en) 1993-03-29 1995-12-12 Bettinger; David S. Positive displacement transdermal system
US5327585A (en) * 1993-05-05 1994-07-12 Karlan Edward J Cool cap
US5368704A (en) 1993-08-06 1994-11-29 Teknekron Corporation Micro-electrochemical valves and method
US5900160A (en) 1993-10-04 1999-05-04 President And Fellows Of Harvard College Methods of etching articles via microcontact printing
US5374395A (en) * 1993-10-14 1994-12-20 Amoco Corporation Diagnostics instrument
US5490962A (en) 1993-10-18 1996-02-13 Massachusetts Institute Of Technology Preparation of medical devices by solid free-form fabrication methods
US5518680A (en) * 1993-10-18 1996-05-21 Massachusetts Institute Of Technology Tissue regeneration matrices by solid free form fabrication techniques
DK0725682T3 (da) 1993-10-28 2002-07-15 Houston Advanced Res Ct Mikrofremstillet, porøst gennemløbsapparat til diskret påvisning af bindingsreaktioner
JP3247533B2 (ja) * 1994-02-04 2002-01-15 本田技研工業株式会社 半導体ガスレートセンサの製造方法
US6129685A (en) * 1994-02-09 2000-10-10 The University Of Iowa Research Foundation Stereotactic hypothalamic obesity probe
US5798042A (en) 1994-03-07 1998-08-25 Regents Of The University Of California Microfabricated filter with specially constructed channel walls, and containment well and capsule constructed with such filters
US5651900A (en) 1994-03-07 1997-07-29 The Regents Of The University Of California Microfabricated particle filter
US5893974A (en) 1994-03-07 1999-04-13 Regents Of University Of California Microfabricated capsules for immunological isolation of cell transplants
US5660680A (en) 1994-03-07 1997-08-26 The Regents Of The University Of California Method for fabrication of high vertical aspect ratio thin film structures
US5770076A (en) 1994-03-07 1998-06-23 The Regents Of The University Of California Micromachined capsules having porous membranes and bulk supports
US5985328A (en) 1994-03-07 1999-11-16 Regents Of The University Of California Micromachined porous membranes with bulk support
US5971931A (en) * 1994-03-29 1999-10-26 Raff; Gilbert Lewis Biologic micromonitoring methods and systems
FR2719122B1 (fr) * 1994-04-22 1996-07-12 Scibiex Sarl Dispositif et procédé d'analyse immunologique.
US5947893A (en) 1994-04-27 1999-09-07 Board Of Regents, The University Of Texas System Method of making a porous prothesis with biodegradable coatings
JP3766935B2 (ja) * 1994-04-29 2006-04-19 シメッド ライフ システムズ，インコーポレーテッド コラーゲンを有するステント
US5837276A (en) * 1994-09-02 1998-11-17 Delab Apparatus for the delivery of elongate solid drug compositions
US5891108A (en) * 1994-09-12 1999-04-06 Cordis Corporation Drug delivery stent
US6030917A (en) * 1996-07-23 2000-02-29 Symyx Technologies, Inc. Combinatorial synthesis and analysis of organometallic compounds and catalysts
US5585069A (en) 1994-11-10 1996-12-17 David Sarnoff Research Center, Inc. Partitioned microelectronic and fluidic device array for clinical diagnostics and chemical synthesis
US5603351A (en) 1995-06-07 1997-02-18 David Sarnoff Research Center, Inc. Method and system for inhibiting cross-contamination in fluids of combinatorial chemistry device
US5707385A (en) * 1994-11-16 1998-01-13 Advanced Cardiovascular Systems, Inc. Drug loaded elastic membrane and method for delivery
US5504026A (en) * 1995-04-14 1996-04-02 Analog Devices, Inc. Methods for planarization and encapsulation of micromechanical devices in semiconductor processes
AU716005B2 (en) 1995-06-07 2000-02-17 Cook Medical Technologies Llc Implantable medical device
US5609629A (en) * 1995-06-07 1997-03-11 Med Institute, Inc. Coated implantable medical device
US5992769A (en) 1995-06-09 1999-11-30 The Regents Of The University Of Michigan Microchannel system for fluid delivery
US5713954A (en) * 1995-06-13 1998-02-03 Abiomed R&D, Inc. Extra cardiac ventricular assist device
SE9502258D0 (sv) 1995-06-21 1995-06-21 Pharmacia Biotech Ab Method for the manufacture of a membrane-containing microstructure
US5872010A (en) 1995-07-21 1999-02-16 Northeastern University Microscale fluid handling system
US5662689A (en) * 1995-09-08 1997-09-02 Medtronic, Inc. Method and apparatus for alleviating cardioversion shock pain
US6261584B1 (en) * 1996-02-02 2001-07-17 Alza Corporation Sustained delivery of an active agent using an implantable system
US6066163A (en) * 1996-02-02 2000-05-23 John; Michael Sasha Adaptive brain stimulation method and system
US6051017A (en) * 1996-02-20 2000-04-18 Advanced Bionics Corporation Implantable microstimulator and systems employing the same
US5833603A (en) * 1996-03-13 1998-11-10 Lipomatrix, Inc. Implantable biosensing transponder
DE19610293C1 (de) * 1996-03-15 1997-07-31 Fraunhofer Ges Forschung Vorrichtung zur gekapselten Aufnahme eines Materials
US6783543B2 (en) 2000-06-05 2004-08-31 Scimed Life Systems, Inc. Intravascular stent with increasing coating retaining capacity
US5951881A (en) 1996-07-22 1999-09-14 President And Fellows Of Harvard College Fabrication of small-scale cylindrical articles
US5817343A (en) * 1996-05-14 1998-10-06 Alkermes, Inc. Method for fabricating polymer-based controlled-release devices
US5824204A (en) 1996-06-27 1998-10-20 Ic Sensors, Inc. Micromachined capillary electrophoresis device
US5769884A (en) * 1996-06-27 1998-06-23 Cordis Corporation Controlled porosity endovascular implant
US7070590B1 (en) * 1996-07-02 2006-07-04 Massachusetts Institute Of Technology Microchip drug delivery devices
US5797898A (en) 1996-07-02 1998-08-25 Massachusetts Institute Of Technology Microchip drug delivery devices
US6136212A (en) 1996-08-12 2000-10-24 The Regents Of The University Of Michigan Polymer-based micromachining for microfluidic devices
US5792048A (en) 1996-09-03 1998-08-11 Schaefer; Guenter Indentification pill with integrated microchip: smartpill, smartpill with integrated microchip and microprocessor for medical analyses and a smartpill, smartbox, smartplague, smartbadge or smartplate for luggage control on commercial airliners
US6387121B1 (en) 1996-10-21 2002-05-14 Inflow Dynamics Inc. Vascular and endoluminal stents with improved coatings
US6099561A (en) 1996-10-21 2000-08-08 Inflow Dynamics, Inc. Vascular and endoluminal stents with improved coatings
US6530951B1 (en) * 1996-10-24 2003-03-11 Cook Incorporated Silver implantable medical device
US6197013B1 (en) * 1996-11-06 2001-03-06 Setagon, Inc. Method and apparatus for drug and gene delivery
ZA9710342B (en) 1996-11-25 1998-06-10 Alza Corp Directional drug delivery stent and method of use.
FI965067A0 (fi) 1996-12-17 1996-12-17 Jvs Polymers Oy Implantmaterial som kan plastiseras
IT1289815B1 (it) 1996-12-30 1998-10-16 Sorin Biomedica Cardio Spa Stent per angioplastica e relativo procedimento di produzione
JP4663824B2 (ja) 1996-12-31 2011-04-06 ハイ スループット ジェノミクス インコーポレイテッド 多重化分子分析装置および方法
US6056734A (en) * 1997-02-07 2000-05-02 Sarcos Lc Method for automatic dosing of drugs
US5782799A (en) * 1997-02-07 1998-07-21 Sarcos, Inc. Method for automatic dosing of drugs
US5938923A (en) 1997-04-15 1999-08-17 The Regents Of The University Of California Microfabricated filter and capsule using a substrate sandwich
US5843172A (en) 1997-04-15 1998-12-01 Advanced Cardiovascular Systems, Inc. Porous medicated stent
US6273913B1 (en) 1997-04-18 2001-08-14 Cordis Corporation Modified stent useful for delivery of drugs along stent strut
DE19716683C1 (de) * 1997-04-21 1998-06-04 Fraunhofer Ges Forschung Vorrichtung zur getrennten, gekapselten Aufnahme einer Mehrzahl gleicher oder unterschiedlicher Stoffe
KR100351531B1 (ko) 1997-04-25 2002-09-11 캘리퍼 테크놀로지스 코포레이션 기하형상이 개선된 채널을 채용하는 미소 유체 장치
US5976336A (en) 1997-04-25 1999-11-02 Caliper Technologies Corp. Microfluidic devices incorporating improved channel geometries
US5879697A (en) 1997-04-30 1999-03-09 Schneider Usa Inc Drug-releasing coatings for medical devices
US5869004A (en) 1997-06-09 1999-02-09 Caliper Technologies Corp. Methods and apparatus for in situ concentration and/or dilution of materials in microfluidic systems
IL121286A0 (en) 1997-07-11 1998-01-04 Pets N People Ltd Apparatus and methods for dispensing pet care substances
US5893640A (en) * 1997-07-11 1999-04-13 Hamilton Beach/Proctor-Silex, Inc. Food mixer with removable splash guard
GB9715101D0 (en) 1997-07-18 1997-09-24 Environmental Sensors Ltd The production of microstructures for analysis of fluids
US5949187A (en) * 1997-07-29 1999-09-07 Motorola, Inc. Organic electroluminescent device with plural microcavities
US5980564A (en) 1997-08-01 1999-11-09 Schneider (Usa) Inc. Bioabsorbable implantable endoprosthesis with reservoir
DE19736520A1 (de) 1997-08-22 1999-02-25 Lohmann Therapie Syst Lts Kennzeichnung für klebende flächenförmige dermale und transdermale therapeutische Darreichungsformen unter Verwendung eines klebenden Plfasters als Informationsträger, sowie Verfahren zu seiner Herstellung
US5961492A (en) * 1997-08-27 1999-10-05 Science Incorporated Fluid delivery device with temperature controlled energy source
US5972027A (en) 1997-09-30 1999-10-26 Scimed Life Systems, Inc Porous stent drug delivery system
WO1999016500A2 (en) 1997-10-01 1999-04-08 Medtronic Ave, Inc. Drug delivery and gene therapy delivery system
US5842787A (en) 1997-10-09 1998-12-01 Caliper Technologies Corporation Microfluidic systems incorporating varied channel dimensions
US6081736A (en) * 1997-10-20 2000-06-27 Alfred E. Mann Foundation Implantable enzyme-based monitoring systems adapted for long term use
US6273908B1 (en) 1997-10-24 2001-08-14 Robert Ndondo-Lay Stents
US6117643A (en) * 1997-11-25 2000-09-12 Ut Battelle, Llc Bioluminescent bioreporter integrated circuit
US5948227A (en) 1997-12-17 1999-09-07 Caliper Technologies Corp. Methods and systems for performing electrophoretic molecular separations
US6163720A (en) 1997-12-18 2000-12-19 Alza Corporation Layered rate controlling membranes for use in an electrotransport device
US6001090A (en) 1998-02-09 1999-12-14 Lenhart; Douglas Thermal pharmaceutical delivery system
US6251688B1 (en) * 1998-03-20 2001-06-26 Ia, Inc. Method and apparatus for measurement of binding between a protein and a nucleotide
US20040254635A1 (en) 1998-03-30 2004-12-16 Shanley John F. Expandable medical device for delivery of beneficial agent
US6241762B1 (en) * 1998-03-30 2001-06-05 Conor Medsystems, Inc. Expandable medical device with ductile hinges
US6027695A (en) 1998-04-01 2000-02-22 Dupont Pharmaceuticals Company Apparatus for holding small volumes of liquids
US6757560B1 (en) * 1999-04-09 2004-06-29 Novosis Pharma Ag Transdermal delivery system (TDS) with electrode network
DE19816143A1 (de) 1998-04-09 1999-10-21 Fischer Wilfried Transdermales Applikationssystem (TDS) mit Elektrodenraster
US6364856B1 (en) * 1998-04-14 2002-04-02 Boston Scientific Corporation Medical device with sponge coating for controlled drug release
DE69942348D1 (de) 1998-04-27 2010-06-17 Surmodics Inc Bioaktive Wirkstoffe freisetzende Beschichtungen
US6319241B1 (en) 1998-04-30 2001-11-20 Medtronic, Inc. Techniques for positioning therapy delivery elements within a spinal cord or a brain
US6161047A (en) 1998-04-30 2000-12-12 Medtronic Inc. Apparatus and method for expanding a stimulation lead body in situ
US6503231B1 (en) * 1998-06-10 2003-01-07 Georgia Tech Research Corporation Microneedle device for transport of molecules across tissue
US6941171B2 (en) * 1998-07-06 2005-09-06 Advanced Bionics Corporation Implantable stimulator methods for treatment of incontinence and pain
US6908770B1 (en) * 1998-07-16 2005-06-21 Board Of Regents, The University Of Texas System Fluid based analysis of multiple analytes by a sensor array
US20020038146A1 (en) * 1998-07-29 2002-03-28 Ulf Harry Expandable stent with relief cuts for carrying medicines and other materials
US6201980B1 (en) 1998-10-05 2001-03-13 The Regents Of The University Of California Implantable medical sensor system
US6245104B1 (en) * 1999-02-28 2001-06-12 Inflow Dynamics Inc. Method of fabricating a biocompatible stent
DE19855421C2 (de) * 1998-11-02 2001-09-20 Alcove Surfaces Gmbh Implantat
FR2786564B1 (fr) * 1998-11-27 2001-04-13 Commissariat Energie Atomique Capteur de pression a membrane comportant du carbure de silicium et procede de fabrication
US6232150B1 (en) * 1998-12-03 2001-05-15 The Regents Of The University Of Michigan Process for making microstructures and microstructures made thereby
US6289237B1 (en) * 1998-12-22 2001-09-11 University Of Pittsburgh Of The Commonwealth System Of Higher Education Apparatus for energizing a remote station and related method
US6288888B1 (en) * 1998-12-25 2001-09-11 Nec Corporation Electric double layer capacitor
US6116458A (en) * 1999-02-25 2000-09-12 Dark; Richard C. G. Sport drinking cup with valved straw cap
US6171850B1 (en) 1999-03-08 2001-01-09 Caliper Technologies Corp. Integrated devices and systems for performing temperature controlled reactions and analyses
US6558422B1 (en) * 1999-03-26 2003-05-06 University Of Washington Structures having coated indentations
US6178349B1 (en) * 1999-04-15 2001-01-23 Medtronic, Inc. Drug delivery neural stimulation device for treatment of cardiovascular disorders
US6923784B2 (en) * 1999-04-30 2005-08-02 Medtronic, Inc. Therapeutic treatment of disorders based on timing information
US6096656A (en) 1999-06-24 2000-08-01 Sandia Corporation Formation of microchannels from low-temperature plasma-deposited silicon oxynitride
US6587719B1 (en) * 1999-07-01 2003-07-01 Cyberonics, Inc. Treatment of obesity by bilateral vagus nerve stimulation
US6804558B2 (en) * 1999-07-07 2004-10-12 Medtronic, Inc. System and method of communicating between an implantable medical device and a remote computer system or health care provider
US6334859B1 (en) * 1999-07-26 2002-01-01 Zuli Holdings Ltd. Subcutaneous apparatus and subcutaneous method for treating bodily tissues with electricity or medicaments
US6596296B1 (en) 1999-08-06 2003-07-22 Board Of Regents, The University Of Texas System Drug releasing biodegradable fiber implant
WO2001012157A1 (en) * 1999-08-18 2001-02-22 Microchips, Inc. Thermally-activated microchip chemical delivery devices
US6287628B1 (en) 1999-09-03 2001-09-11 Advanced Cardiovascular Systems, Inc. Porous prosthesis and a method of depositing substances into the pores
US6361522B1 (en) * 1999-10-21 2002-03-26 Cardiac Pacemakers, Inc. Drug delivery system for implantable cardiac device
US6491666B1 (en) * 1999-11-17 2002-12-10 Microchips, Inc. Microfabricated devices for the delivery of molecules into a carrier fluid
GB9928270D0 (en) * 1999-12-01 2000-01-26 Eastman Kodak Co Colour filter array film
CA2393603C (en) 1999-12-10 2010-09-21 Massachusetts Institute Of Technology Microchip devices for delivery of molecules and methods of fabrication thereof
US6401666B1 (en) * 1999-12-27 2002-06-11 Paul J. Kircher Adjustable leash controlled strain reducing animal harness
US6328699B1 (en) * 2000-01-11 2001-12-11 Cedars-Sinai Medical Center Permanently implantable system and method for detecting, diagnosing and treating congestive heart failure
US6384353B1 (en) * 2000-02-01 2002-05-07 Motorola, Inc. Micro-electromechanical system device
AU2001234996A1 (en) * 2000-02-11 2001-08-20 Yale University Planar patch clamp electrodes
AU5289001A (en) * 2000-03-02 2001-09-12 Microchips Inc Microfabricated devices for the storage and selective exposure of chemicals and devices
US6379382B1 (en) * 2000-03-13 2002-04-30 Jun Yang Stent having cover with drug delivery capability
US20020007215A1 (en) * 2000-05-19 2002-01-17 Robert Falotico Drug/drug delivery systems for the prevention and treatment of vascular disease
AU2001265128A1 (en) * 2000-05-30 2001-12-11 Massachusetts Institute Of Technology Methods and devices for sealing microchip reservoir devices
US6395326B1 (en) * 2000-05-31 2002-05-28 Advanced Cardiovascular Systems, Inc. Apparatus and method for depositing a coating onto a surface of a prosthesis
US6367121B1 (en) * 2000-06-19 2002-04-09 Macmillan Donald M. Adjustable length handle for flat finishers
WO2002013785A2 (en) * 2000-08-14 2002-02-21 Pharmacia Corporation Drug delivery system with burst electrode
US7226442B2 (en) * 2000-10-10 2007-06-05 Microchips, Inc. Microchip reservoir devices using wireless transmission of power and data
US6773429B2 (en) * 2000-10-11 2004-08-10 Microchips, Inc. Microchip reservoir devices and facilitated corrosion of electrodes
EP1328213B1 (en) 2000-10-16 2005-07-27 Conor Medsystems, Inc. Expandable medical device for delivery of beneficial agent
EP1331965B1 (en) * 2000-10-26 2008-07-16 Medtronic, Inc. Apparatus for electrically stimulating the nervous system to improve ventricular dysfunction, heart failure, and other cardiac conditions
DE60140072D1 (de) * 2000-10-26 2009-11-12 Meditronic Inc Vorrichtung zur minimierung der wirkungen eines herzinsults
JP2004512104A (ja) * 2000-10-26 2004-04-22 メドトロニック・インコーポレーテッド 心臓組織を発作から保護する方法および装置
DE10061057A1 (de) * 2000-12-08 2002-06-13 Pharmed Holding Gmbh Chip-Systeme zur kontrollierten Emission chemosensorisch wirkender Stoffe
DE10063612C2 (de) 2000-12-20 2002-11-07 Fraunhofer Ges Forschung Mikrosystem zur Kontrolle der Wirkstoffabgabe aus einem Wirkstoffreservoir sowie Implantat mit Mikrosystem
US6666821B2 (en) 2001-01-08 2003-12-23 Medtronic, Inc. Sensor system
AU2002241834B2 (en) * 2001-01-09 2006-11-09 Microchips, Inc. Flexible microchip devices for opthalmic and other applications
AU2002245291A1 (en) 2001-01-22 2002-07-30 Integrated Sensing Systems, Inc. Sensing catheter system and method of fabrication
DE10102817B4 (de) 2001-01-23 2006-01-12 Lts Lohmann Therapie-Systeme Ag Vorrichtung und Verfahren zur Hitzepulsgestützten transdermalen Applikation von Wirkstoffen
US6571125B2 (en) * 2001-02-12 2003-05-27 Medtronic, Inc. Drug delivery device
US7181287B2 (en) 2001-02-13 2007-02-20 Second Sight Medical Products, Inc. Implantable drug delivery device
US7338522B2 (en) * 2001-02-13 2008-03-04 Second Sight Medical Products, Inc. Implantable retinal electrode array configuration for minimal retinal damage and method of reducing retinal stress
US20020144548A1 (en) * 2001-04-06 2002-10-10 Cohn Michael B. High precision accelerometer
US7563255B2 (en) * 2001-05-03 2009-07-21 Massachusetts Eye And Ear Infirmary Implantable drug delivery device and use thereof
US6733485B1 (en) * 2001-05-25 2004-05-11 Advanced Bionics Corporation Microstimulator-based electrochemotherapy methods and systems
WO2002096512A1 (en) 2001-05-29 2002-12-05 Medtronic, Inc. Closed-loop neuromodulation for prevention and treatment of cardiac conditions
WO2002096389A1 (en) 2001-05-30 2002-12-05 Microchips, Inc. Conformal coated microchip reservoir devices
AU2002326304A1 (en) 2001-05-31 2002-12-16 Massachusetts Institute Of Technology Microchip devices with improved reservoir opening
US6527938B2 (en) * 2001-06-21 2003-03-04 Syntheon, Llc Method for microporous surface modification of implantable metallic medical articles
CA2451953A1 (en) 2001-06-28 2003-04-24 Microchips, Inc. Methods for hermetically sealing microchip reservoir devices
AU2002345965B2 (en) * 2001-06-29 2006-09-14 The Board Of Trustees Of The Leland Stanford Junior University Artificial synapse chip interface for electronic prosthetic retina
US6663615B1 (en) 2001-09-04 2003-12-16 The Ohio State University Dual stage microvalve and method of use
US7025760B2 (en) * 2001-09-07 2006-04-11 Medtronic Minimed, Inc. Method and system for non-vascular sensor implantation
US7261713B2 (en) * 2001-10-09 2007-08-28 Synthes (Usa) Adjustable fixator
AU2002353013A1 (en) * 2001-12-03 2003-06-17 Massachusetts Institute Of Technology Microscale lyophilization and drying methods for the stabilization of molecules
US6893885B2 (en) * 2002-01-18 2005-05-17 The Regents Of The University Of Michigan Method for electrically and mechanically connecting microstructures using solder
ES2540247T3 (es) * 2002-03-11 2015-07-09 Novartis Ag Dispositivo implantable de administración de medicamentos para el ojo
DE60235610D1 (de) * 2002-04-30 2010-04-22 Nestle Sa Verwendung einer Soja Zelllinie mit hohem Isoflavon Gehalt
JP4436258B2 (ja) * 2002-08-16 2010-03-24 マイクロチップス・インコーポレーテッド 制御された放出デバイスおよび方法
AU2003278766A1 (en) * 2002-09-04 2004-03-29 Microchips, Inc. Method and device for the controlled delivery of parathyroid hormone
US6878271B2 (en) * 2002-09-09 2005-04-12 Cytonome, Inc. Implementation of microfluidic components in a microfluidic system
AU2003278881A1 (en) * 2002-09-23 2004-04-08 Microchips, Inc. Micro-reservoir osmotic release systems and microtube array device
AU2003279842A1 (en) * 2002-10-04 2004-05-04 Microchips, Inc. Medical device for controlled drug delivery and cardiac monitoring and/or stimulation
US7599737B2 (en) * 2002-10-04 2009-10-06 Microchips, Inc. Medical device for neural stimulation and controlled drug delivery
AU2004233869B2 (en) 2003-04-25 2010-08-12 Boston Scientific Scimed, Inc. Solid drug formulation and device for storage and controlled delivery thereof
US7270679B2 (en) 2003-05-30 2007-09-18 Warsaw Orthopedic, Inc. Implants based on engineered metal matrix composite materials having enhanced imaging and wear resistance
WO2005010240A2 (en) 2003-07-17 2005-02-03 Microchips, Inc. Low temperature methods for hermetically sealing reservoir devices
US20050055014A1 (en) * 2003-08-04 2005-03-10 Coppeta Jonathan R. Methods for accelerated release of material from a reservoir device
US7632234B2 (en) * 2003-08-29 2009-12-15 Medtronic, Inc. Implantable biosensor devices for monitoring cardiac marker molecules
US20050055080A1 (en) * 2003-09-05 2005-03-10 Naim Istephanous Modulated stents and methods of making the stents
KR101761235B1 (ko) * 2003-09-11 2017-07-25 테라노스, 인코포레이티드 피분석물의 모니터링 및 약물 전달을 위한 의료 기기
US6977434B2 (en) * 2003-10-20 2005-12-20 Hewlett-Packard Development Company, L.P. Semiconductor assembly and spring member therefor
JP4865195B2 (ja) * 2004-04-27 2012-02-01 キヤノン株式会社 流体素子

Cited By (17)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006526155A (ja) * 2003-06-03 2006-11-16 ナノプロプリエタリー，インコーポレイテッド 水素ガスを感知するための方法および装置
US9131884B2 (en) 2003-09-11 2015-09-15 Theranos, Inc. Medical device for analyte monitoring and drug delivery
JP2010221042A (ja) * 2003-09-11 2010-10-07 Theranos Inc 検体の監視および薬物送達のための医療デバイス
JP2013046759A (ja) * 2003-09-11 2013-03-07 Theranos Inc 検体の監視および薬物送達のための医療デバイス
US10130283B2 (en) 2003-09-11 2018-11-20 Theranos, IP Company, LLC Medical device for analyte monitoring and drug delivery
US8414489B2 (en) 2003-11-13 2013-04-09 Medtronic Minimed, Inc. Fabrication of multi-sensor arrays
JP2008526434A (ja) * 2005-01-12 2008-07-24 メドトロニック ミニメド インコーポレイテッド マルチセンサアレイの製作
JP2009511153A (ja) * 2005-10-11 2009-03-19 コーニンクレッカ フィリップス エレクトロニクス エヌ ヴィ 埋設可能センサのための被個別稼動センサ
JP2013520422A (ja) * 2010-02-18 2013-06-06 アンパック バイオ−メディカル サイエンス カンパニー リミテッド マイクロデバイスの製造方法
JP2014525589A (ja) * 2011-09-06 2014-09-29 フェーズ２ マイクロテクノロジーズ， エルエルシー センサアレイを有する測定デバイス
WO2014045762A1 (ja) * 2012-09-21 2014-03-27 テルモ株式会社 蛍光センサ及びセンサシステム
JP2016147814A (ja) * 2015-02-10 2016-08-18 国立大学法人 筑波大学 脱ミエリン化剤、電極及び接続構造体
JP2020051933A (ja) * 2018-09-27 2020-04-02 横河電機株式会社 測定装置
WO2020066518A1 (ja) * 2018-09-27 2020-04-02 横河電機株式会社 測定装置
CN112771373A (zh) * 2018-09-27 2021-05-07 横河电机株式会社 测定装置
CN112771373B (zh) * 2018-09-27 2023-09-01 横河电机株式会社 测定装置
US11921082B2 (en) 2018-09-27 2024-03-05 Yokogawa Electric Corporation Measuring device

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