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JP2003506701A - 金属シートの厚み測定用のｘ線蛍光センサー - Google Patents

金属シートの厚み測定用のｘ線蛍光センサー

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Publication number
JP2003506701A
JP2003506701A JP2001515926A JP2001515926A JP2003506701A JP 2003506701 A JP2003506701 A JP 2003506701A JP 2001515926 A JP2001515926 A JP 2001515926A JP 2001515926 A JP2001515926 A JP 2001515926A JP 2003506701 A JP2003506701 A JP 2003506701A
Authority
JP
Japan
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rays
fluorescent
primary
thickness
metal sheet
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2001515926A
Other languages
English (en)
Inventor
ハツラー，アルフレート・ヨハン・ペーター
ガジアリー，ホーモズ
Original Assignee
コラス・アルミニウム・バルツプロドウクテ・ゲーエムベーハー
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by コラス・アルミニウム・バルツプロドウクテ・ゲーエムベーハー filed Critical コラス・アルミニウム・バルツプロドウクテ・ゲーエムベーハー
Publication of JP2003506701A publication Critical patent/JP2003506701A/ja
Pending legal-status Critical Current

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    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B15/00—Measuring arrangements characterised by the use of electromagnetic waves or particle radiation, e.g. by the use of microwaves, X-rays, gamma rays or electrons
    • G01B15/02—Measuring arrangements characterised by the use of electromagnetic waves or particle radiation, e.g. by the use of microwaves, X-rays, gamma rays or electrons for measuring thickness
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N23/00—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00
    • G01N23/22—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by measuring secondary emission from the material
    • G01N23/223—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by measuring secondary emission from the material by irradiating the sample with X-rays or gamma-rays and by measuring X-ray fluorescence
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    • G01N2223/07—Investigating materials by wave or particle radiation secondary emission
    • G01N2223/076—X-ray fluorescence

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Abstract

(57)【要約】 本発明は、化学元素により一次Ｘ線を吸収させ蛍光Ｘ線を再放出させることにより一次Ｘ線を化学元素固有の蛍光Ｘ線に変換させるため、第一および第二層に浸透しうる多色一次Ｘ線ビームを発生させ導くための装置を含み、さらに元素固有の蛍光Ｘ線を検知しその強度を測定する装置を含む、金属シートの第二層上の、一つ以上の副次層からなる第一層の厚さをＸ線蛍光分析により測定する装置に関する。検知のための装置はＸ線の一次ビームに対して、検知すべき蛍光Ｘ線を放出する化学元素に応じた、ある角度で置かれる。これにより検知効率の改良が達成され、したがって測定時間が短縮される。よって、いまやクラッディングの厚さを測定するための、蛍光元素の含有濃度が低い合金を分析する装置が提供される。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】 本発明は、金属シートを支持するための試料面設定装置を含み、さらに化学元
素により一次Ｘ線を吸収させ蛍光Ｘ線を再放出させることにより一次Ｘ線を化学
元素固有の蛍光Ｘ線に変換させるため第一および第二層に浸透しうる多色一次Ｘ
線ビームを発生させ導くための装置を含み、さらに元素固有の蛍光Ｘ線を検知し
その強度を測定する装置を含む、金属シートの第二層上の、一つ以上の副次層か
らなる第一層の厚さのＸ線蛍光分析による測定装置に関する。
【０００２】 このような装置はＵＳ第２、７１１，４８０号から公知である。この公知の装
置においては、一次Ｘ線のビームは任意の角度でシート物質に導かれ、一次Ｘ線
のビームに対して検知装置は任意の角度で配置されてシートから全方向に放散さ
れる蛍光放射を受ける。この公知の装置は、基底物質にもっとも多量に含まれる
元素の蛍光放射が層を通過する際の減衰を測定することにより、化学的に異なる
基底物質の上の物質層の厚さを測定する方法に適用可能である。
【０００３】 しかしながら、多くの場合、特に相互にきわめて類似した組成を持つ合金の層
を含む金属シートを扱う場合、もっとも多量に含まれる元素の蛍光を用いること
は可能ではない。本記述の範囲内では、用語「クラッディング」は第一層を意味
し、用語「クラッド層」は副次層を示すために用いる。
【０００４】 本発明の一つの目的は、厚さ測定のために層中に低濃度で存在する元素からの
蛍光シグナルを用いることが可能な、クラッディング厚さを測定するための装置
を提供することである。本発明のさらに他の目的は、クラッディング厚さおよび
全金属シートの厚さの両方を、改良された正確さおよびより短縮された測定時間
で測定することが可能であり、その結果クラッディング厚さを全金属シート厚さ
に対する分率で示すことが可能な装置を提供することである。本発明のさらに他
の目的は、クラッディング厚さおよび金属シート厚さを、改良されたより容易な
操作で、かつ操作者のミスがより低い確率で測定するための装置を提供すること
である。さらに他の目的は、製造環境における使用に適した装置を提供すること
である。
【０００５】 本発明によれば、これらの目的の一つ以上は、検知装置がＸ線の一次ビームに
対し、検知すべき蛍光Ｘ線を放散する化学元素に応じて、ある角度で置かれる、
前文による装置を提供することにより達成される。これにより検知効率の改良が
達成され、従って測定時間が短縮される。すなわち、クラッディングの厚さを測
定するために、いまや低濃度の蛍光元素を含む合金を分析することが可能な装置
が提供される。本記述の範囲においては、用語「検知チャンネル」は一つの化学
元素に固有の蛍光を選択的に受けるために置かれる検知用装置を意味するものと
して用いる。
【０００６】 本発明は、金属シートからの蛍光放射は、母体複合物質内部から放出される蛍
光Ｘ線の波長に特有の、ある出口角度で放散するという発見に基く。適切に励起
されたとき、化学元素は各蛍光元素に特有の波長のスペクトルを有する蛍光Ｘ線
を放出することができる。すなわち、金属シートの表面から特定の出口角度で放
散する蛍光Ｘ線を受けるための検知装置を配置することにより、金属シートから
放散するＸ線の元素選択的画分が検知される。こうして検出装置は、定量すべき
関連情報を含んだ蛍光Ｘ線を優先した、あらかじめ選択された蛍光Ｘ線を受ける
。
【０００７】 好ましい一つの態様においては装置は、異なる化学元素からの蛍光Ｘ線を受け
るために、ある角度で配置された少なくとも二つの異なった検知チャンネルを含
む。これにより、各種のタイプの金属シートを測定するための高度に弾力的な能
力を備えた装置が提供される。加えて、装置は異なった元素中で変換された複数
の蛍光Ｘ線のシグナルを考慮に入れる能力において弾力的である。すなわち装置
は、一定の厚さ測定の作業において、最も有利な測定値を与えるシグナルを選ぶ
ことができる。この態様による装置のさらに他の利点は、放散される蛍光を検知
する対象である各化学元素一種について、金属シート中の一（副次）層の厚さを
追加的に測定することが可能なことである。
【０００８】 一つの好ましい態様によれば、一次Ｘ線のビームを導くための装置は、一次Ｘ
線のビームが試料面に実質的に直角に向くよう配置される。これにより一次Ｘ線
は金属シート内に可能な限り深く浸透し、蛍光Ｘ線に変換される。この配置は試
料平面に沿って全方位角範囲にわたり追加的検知チャンネルのための最大の空間
を提供する。
【０００９】 本発明の一つの態様によれば、一次Ｘ線のビームを導く装置および元素固有の
蛍光Ｘ線を検知するための装置は一つの測定装置に一体化される。これにより例
えば、大きな金属シートの数ヶ所を測定するため、シートに沿って移動させるこ
とが可能な単一の測定装置が得られる。一体化装置の移動を導く他の方法のうち
とりわけ、この目的のために軌道材一式を備えるのは特に有利な方法である。
【００１０】 本発明の一つの態様においては、装置は測定装置を試料面の方向へ押付ける装
置を含む。これにより操作の間測定装置を測定中の金属シートの表面に押付ける
ことができる。これにより金属シートの表面に対するＸ線の入射および出口の角
度は確実に設定され、一定であることが確保される。さらに、金属シートと金属
シート支持体の間の密接な接触が達成される。その結果、押付け手段を持つ装置
は、押付け手段を持たない場合よりも正確に、測定を行うことができる。
【００１１】 好ましくは押付け装置は空気圧式押付け装置である。空気圧系を用いることに
より押付け力の高度の制御が得られる。他の利点は、装置を対象物に押しつけた
状態と解放した状態の間の速やかな切換えが可能となることである。これは測定
中のシートの異なった区域に関して順次速やかに測定を行うことを可能とする。
【００１２】 本発明の一つの態様において装置は、複数の標準金属シートについて識別ラベ
ルおよび対応する標準的結果を記憶する装置、および少なくとも一つの蛍光Ｘ線
強度の測定値を処理し標準と比較して測定値と最もよく適合する標準金属シート
の識別ラベルを見出す装置を含む。このような装置は金属シートの識別の実行を
可能とする。これにより、金属シートおよび／またはクラッディングの厚さにつ
いて正しい値を求めるために、層組成のような適切な物質パラメーターがいまや
利用可能となることが達成された。好ましくは、複数の検知器から得られた強度
値が対応する標準強度値と比較される。次いで装置は組合せた強度値を用いて、
最もよく適合した金属シート識別ラベルを見出しうる。多くの実務環境において
、その内部で蛍光Ｘ線が変換される各層の化学組成は、金属シートごとに異なる
。本発明により厚さの測定の過程で金属シートのタイプを判定する装置が提供さ
れる。さらにその蛍光元素が一層を越える層中に存在する場合、測定した蛍光Ｘ
線強度に補正が適用しうることが達成された。さらに他の利点は装置が、合金組
成のような、必要とする情報を記憶装置から選び出すので、操作者の最小限の介
在または無介在のもとに装置が使用できることである。他には、操作者のミスが
発見しうることが達成された。このような場合には情報装置に表示される情報が
操作者の意図と適合しない。典型的な操作者のミスは、金属シートの試料の取り
違え、または金属シートの反対の面を誘導・検知装置に向けることである。他の
態様においては装置は、最もよく適合する標準金属シート、または最もよく適合
する標準金属シートに加えて二番目によく適合する標準金属シートに対応する少
くとも他の一つの識別ラベルを示す情報装置を含む。
【００１３】 一つの好ましい態様においては、金属シートを支持する装置は、支持体により
一次Ｘ線を吸収し蛍光Ｘ線を再放出することによる、一次Ｘ線を支持体固有の蛍
光Ｘ線に変換する支持体を含み、ここで支持体は、金属シートが多色一次Ｘ線ビ
ームを発生し導く装置と支持体との間に配置しうるように位置する。これにより
、支持体からの蛍光Ｘ線の吸収の測定によって全金属シートの厚さを追加的に測
定しうる装置が提供される。ある用途においては、金属シート全体の厚さの分率
としてクラッディングの厚さを表示することが必要とされる。本発明による装置
は金属シート全体の厚さの分率としてクラッディング厚さを表示することが可 能である。
【００１４】 支持体を含む装置の一つの好ましい態様においては、装置は支持体に固有の蛍
光Ｘ線を受けるための独自の検知チャンネルを含む。これにより前の金属シート
とは異なる金属シートが挿入された際に再配置段階を行うことなくクラッディン
グの厚さと金属シートの全厚さの両方の測定を可能にする装置が提供される。工
業的環境においては、異なった金属シートを分析する毎に検知装置を配置するの
は実際的ではない。独自の検知チャンネルを含む装置のさらに他の利点は、それ
が支持体からおよび金属シートに含まれる一つ以上の化学元素から放散する蛍光
強度を同時に測定できることである。それゆえ装置は、金属シート全体およびク
ラッディングの両方の厚さを測定するためのデータを同時に収集するために好適
である。蛍光を検知する対象となる各化学元素ごとに、一つの（副次）層の厚さ
を追加して測定することが可能である。同時検知は測定に要する時間のさらなる
短縮さえ可能にする。
【００１５】 以下アルミニウムシートの厚さの測定に特に利点を提供する、本発明のいくつ
かの態様を記述する。本出願の目的のためには、アルミニウムシートはアルミニ
ウム合金シートを包含するものとする。現在、アルミニウム合金シート材料から
なる重要な製品はブレージングシートである。ブレージングシートは通常自動車
のラジエーター、エアコンの蒸発器、熱交換器などに用いられる。ブレージング
シートはアルミニウム合金のコアを含む複合物質であり、片面または両面が異な
った合金、最も多くの場合異なったアルミニウム合金、の一層以上のクラッド層
を含む。クラッド化の目的は、シート製品の外層に、可ブレージング性、耐食 性、耐摩食性、耐磨耗性のような特性を付与しながら、一方コア合金は強度のよ
うな他の必要特性を維持することである。
【００１６】 ブレージングシート複合材は、クラッディング材のスラブをコア材のインゴッ
トに載せる熱間圧延によって製造することができる。この組合せ材に対し次に熱
間圧延法を実施する。最終製品中ではコアおよびクラッディングは、異なった量
の合金元素を含有するが、主として同一金属からなるという事実のため強固に結
合する。通常コアおよびクラッディングはともに８０％を越えるアルミニウムか
らなる。最終シートの仕様が通常硬質であるため、この製法はきわめて微妙であ
り、厳密な運転操作を必要とする。満たさねばならない仕様のうちには、ブレー
ジングシートの全厚さならびにクラッディング厚さがある。
【００１７】 現在、これらのシートの仕様は、金属シートのサンプル採取、金属組織学用検
鏡板の調製、数段階の研磨と表面処理、かつ光学顕微鏡を用いるクラッディング
および全体厚さの測定を伴う金属組織学的および光学的方法を用いて測定され確
認される。この分析法は相当労働集約的であり、少なくとも数時間もの受け入れ
難い長い所要時間を伴う。
【００１８】 この観点から、一つの好ましい態様においては、支持体はモリブデン元素を含
む。より好ましくは、支持体は本質的にモリブデンからなる。これによりすぐれ
た蛍光Ｘ線源が供給される。Ｍｏ−Ｋα放射線の減衰は、検知の正確度に関連し
ていえば、大部分のアルミニウム合金中のアルミニウム合金組成にはほとんど無
関係であり、このことは測定値の解釈上有利である。この放射線が本質的にアル
ミニウム合金である金属シート全体を通過する際の減衰は十分低いので、十分高
い比率で検知装置に到達し実用的時間内に強度が測定できると同時に、一方減衰
は正確に測定するために十分な大きさである。本態様において測定しうるアル ミニウム合金シート、例えばブレージングシート、の厚さの典型的な範囲は０．
０７〜６．３５ｍｍである。さらに、モリブデンは十分耐磨耗性であり、比較的
安価である。これに劣らず重要なのは、モリブデンは合金元素としても、偶然入
り込む元素としても、通常アルミニウム合金中には存在しないという事実である
。さらに他の好ましい態様においては、支持体は永続的に測定卓の試験面に設置
され、試料面を形成する。
【００１９】 一つの好ましい態様においては装置は、主としてＡｌからなる金属層中の、Ｃ
ｕ，Ｍｎ，Ｚｎ，Ｆｅを含むグループの化学元素に固有の蛍光Ｘ線を受けるため
の少くとも一つの検知チャンネルを含む。これによりアルミニウムコア合金中に
しばしば用いられる合金元素の蛍光Ｘ線の強度の測定が可能となることが達成さ
れる。すなわち装置は、コア層からの合金元素の蛍光Ｘ線の、ある金属またはア
ルミニウム合金からなるクラッディング中における減衰を測定するために用いる
ことができる。これは一方クラッディングの厚さを測定するために必要とされる
情報を提供する。本発明による検知装置の配置により、蛍光元素の含有量が低 い合金についての蛍光Ｘ線を用いてさえ、いまや各層の厚さが測定可能である。
さらに、主としてアルミニウムからなる他の層の上の、主としてアルミニウム元
素からなるクラッディングの厚さを測定することが可能な装置が提供される。蛍
光Ｘ線が伝播する角度は合金元素の化学種ならびに母体金属内のその直接の周囲
環境に依存する。
【００２０】 一つの好ましい態様においては、装置は少くとも、Ｃｕ，Ｍｎ，Ｚｎ，Ｆｅを
含むグループの各化学元素からの蛍光Ｘ線を受けることを意図した、異なった検
知チャンネル（複数）を含む。これによりコア合金中に最もしばしば用いられる
合金元素の一つまたはそれ以上の、蛍光Ｘ線の強度の同時測定が可能となること
が達成される。すなわち装置は、コアとＸ線の誘導・検知装置との間に位置する
クラッディング中におけるこれらの蛍光Ｘ線の減衰を測定するために用いること
ができる。これは一方クラッディングの厚さを測定するために必要とされる情報
を提供する。検知チャンネルが別々である利点は装置が、合金元素が製品毎に異
なるような、多くのブレージングシート製品または他の被覆アルミニウム製品に
関して、クラッドおよびクラッディング層の厚さを測定する上で、非常に用途が
広いことである。検知チャンネルが別々であるさらに他の利点は、操作の間にそ
の分析に用いるにはどの検知器がもっとも適切であるかの選択を行うことが可能
なことである。装置は分析に利用するために最も適切な検知器を選択するための
装置を含むことができる。
【００２１】 本発明のさらに他の様相においては、本発明は蛍光元素が２０％以下の濃度で
存在する金属層から放散する元素固有の蛍光Ｘ線の強度を測定するための本発明
による装置の使用に関する。本発明による装置は、主として同一金属種からなる
さらに他の層の上の、主としてある一定の金属種（複数）からなる層または副次
層の厚さの測定のために特に好適であり、また異種金属の層の厚さを測定するこ
とも可能である。
【００２２】 特に、本発明はさらに、主としてアルミニウム合金からなる第二層上の、一つ
以上の副次層からなる金属層の厚さの測定のための、本発明による装置の使用に
関する。本発明は更に、主としてアルミニウム合金からなる第二層上の、一つ以
上の副次層からなるアルミニウム合金層の厚さの測定のための、本発明による装
置の使用に関する。上述の装置は、とりわけ、ブレージングシートのような、ア
ルミニウムシートの特性把握のために好適である。この装置は頑丈であり、製造
環境においての使用に好適である。
【００２３】 本発明は次にアルミニウムブレージングシート製造設備における使用のために
最適化された装置の実施例を用い、図を参照しながら説明する。
【００２４】 図１は本発明による装置の断面図を概略的に示す。装置は、支持体（１）、一
次Ｘ線（３）の一次ビームを発生させ、金属シート（４）に導く装置（２）、お
よび当分野においてＸＲＦ、またはＸ線誘導蛍光としても知られる、元素固有の
蛍光Ｘ線（６１，６２）を検知し強度の測定を行うための装置（５１，５２）を
示す。金属シートは断面として示され、シート内の層のいくつかを可視化するた
めに、その厚さは図中では非常に誇張されている。一次Ｘ線ビームを導くための
装置は、従来当分野において公知のＸ線源からなってよい。例えば、タングステ
ンターゲットを含む３０ｋＶ Ｘ線管は、アルミニウム中の大部分の合金元素 中で蛍光Ｘ線を励起するのに適した、すぐれた多色Ｘ線の発生源を提供すること
が見出された。ＸＲＦ放射は蛍光を放出する元素に応じたスペクトル的特長を有
し、ピークを持つとがった分布として送出される。このことは図１に示され、こ
こで支持体（１）に含まれる元素は蛍光Ｘ線をα1付近をピークとするある角度
で特長的に放出し、一方金属シートの層中に含まれる元素は異なった角度α2付
近をピークとする角度で特長的に放出するであろう。現在これはブラッグ則およ
び、フェルミの黄金則に登場する（合金複合体中の）状態の局所密度の発現とし
て理解されている。検知装置はあらかじめ選ばれた元素に特長的な蛍光を選択 的に受けるように、すなわち一次ビームに対しあらかじめ選ばれた角度で放散さ
れる蛍光を選択的に受けるように、配置される。元素のＫα水準の、元素固有の
蛍光は通常この目的に非常に好適である。Ｍｎ，Ｆｅ，Ｃｕ，ＺｎおよびＭｏの
Ｋα型の蛍光Ｘ線の特性を含む表を図２に示す。この表から最適検知が達成され
る検知装置の配置角度を推定することができる。
【００２５】 蛍光Ｘ線を検知し、その強度を測定するための装置は、当分野において一般的
に公知のものから選択することができる。それらはコリメーター、（ＬｉＦのよ
うな）分光結晶、および比例計数装置を含んでよい。密閉した比例計数管を含む
検知チャンネルが非常に好適であることが見出された。Ｘ線を導きかつ検知する
装置は、Ｘ線窓（８）を備えた（移動可能な）一体型設備（１１）に包含させる
ことができる。
【００２６】 当分野において、ＸＲＦ放射を用いてシート物質の厚さまたは物質の第二層上
の第一層の厚さを測定するためには一般に二法がある：（ａ）それ自体が分析対
象である層の蛍光強度はその層の厚さにほぼ比例するというＵＳ第２，９２６，
２５７号に開示された方法、および（ｂ）下層または支持体の蛍光の、測定対象
の層またはシート中における減衰は厚さの尺度となるというＵＳ第２，７１１，
４８０号に開示された方法である。本発明は、測定された強度が処理および解釈
される数学的手法に応じて両方法に従うことが原理的に可能な装置を提供する。
【００２７】 さらに説明を進めるために、この装置を適用して方法（ｂ）を実施すると仮定
する。図１において、金属シート（４）の厚さはすなわち、支持体（１）に含ま
れる蛍光元素のＸＲＦ放射（６１）の、シートに含まれる金属内における減衰か
ら求められる。もし金属シートが異種の層、たとえば両側がクラッド層（４１，
４３）に囲まれたコア（４２）を含むなら、コアと誘導・検知装置の間にはさま
れたクラッディング（４１）の厚さはコア（４２）に含まれる元素、例えば合金
元素の蛍光（６２）を用いて同様に測定することができる。
【００２８】 物質中のＸ線の減衰は、特定の物質およびＸ線波長について公表されている減
衰および吸収係数によって数値化される。一般に、一定距離を伝播するＸ線の減
衰は、ランベルト−ベールの法則により示される。層を通って伝播する以前およ
び以後のＸＲＦ放射の強度比から層厚さについての正確な値を求めるためには、
金属シートの正確な化学分析、および／または金属シートの吸収係数および密度
の正確な値が必要である。それ故、実地面では装置は較正データを記憶する装置
を含む。
【００２９】 図３はＸ線窓（８）の周囲に放射状に配置された五つの検知チャンネル（５１
，５２，５３，５４，５５）を備えた一体化された測定装置の内部配置の上面概
要図を示す。実際には、より少ないかまたはより多い検知チャンネルが用いられ
てもよい。各検知チャンネルは、金属シートを特有の角度で通って伝播する、あ
らかじめ選ばれた一つの元素に特有の、たとえばＫα型の蛍光を選択的に受ける
ように、一次Ｘ線のビームに対して配置される。アルミニウムブレージングシー
トの測定のために設計される装置においては、検知チャンネルはＭｏ（５１），
Ｍｎ（５２），Ｃｕ（５３），Ｚｎ（５４），Ｆｅ（５５）、あるいは層の一 つのための合金元素または主要成分として用いることが想定される他の元素の各
々に独自のチャンネルを含んでよい。
【００３０】 図４は装置に記憶され得る較正データの例を示す。Ｍｏ−Ｋα蛍光の強度比Ｉ
Ｆの実験室測定を、一連のアルミニウムシートについて実施し、それらはＭｏ支
持体上に乗せ、本発明による装置を用いて測定した。試験シートの厚さは上述の
金属組織学的／光学的方法により別途測定し、０．２４〜１．３４ｍｍの範囲で
あった。次に強度比を測定した。各試験シートについて強度比に対する厚さを、
図４に示すグラフにプロットした。図からわかるように、試験した厚さの範囲に
対し強度比は１．７から４０．５まで滑らかで単調な関数として変動した。Ｍｏ
−Ｋα放射の波長は大部分のＡｌ合金、特に大部分のブレージングシート内で吸
収共鳴から十分遠いと信じられているため、Ｍｏ−Ｋα放射についての減衰係数
は測定精度内で合金組成とは無関係であると信じられていることに注意すべきで
ある。
【００３１】 図４中に描かれた線は 厚さ＝ａ＋ｂ・ＩＦ＋ｃ・ｌｎ（ＩＦ）＋ｄ・ｅｘｐ（−ＩＦ） の形の式への適合化の結果であり、式中ａ，ｂ，ｃ，およびｄは実験的に定めた
パラメーターである。図からわかるように、線は実験データを正確に記述してい
る。
【００３２】 図５は、本発明による装置を用いて、一連のアルミニウムブレージングシート
について測定したクラッディング（４１）の厚さについての較正データの一例を
示す。この場合、Ｍｎ含有合金からなるコア（４２）を有するブレージングシー
トを用い，そしてＭｎ−Ｋα蛍光の強度比をクラッディング（４１）の厚さの関
数として測定した。０．０２２ｍｍのクラッディング厚さが４．０のＩＦに対応
し、一方０．０５７ｍｍの厚さは１７５のＩＦに対応し、この間では単調に変化
する挙動が観察された。図からわかるように、Ａｌ合金中におけるＭｎ−Ｋα蛍
光の減衰は、Ｍｏ−Ｋα蛍光の減衰よりもはるかに大きい。
【００３３】 図６は、Ｍｎ検知チャンネルの代りにＣｕ検知チャンネルを用いて、図５と同
じ方法で測定したクラッディング厚さについての較正データの一例を示す。図か
らわかるように、０．０４０ｍｍのクラッディング厚さは、３．８のＩＦに対応
し、一方０．１３０ｍｍのクラッディング厚さは２７のＩＦに対応した。
【００３４】 図５および６中に描かれた線は 厚さ＝ａ・ｅｘｐ（ｂ／ＩＦ） の形の式による最適線であり、式中ａおよびｂは実験的に求めたパラメーターで
ある。この形は、図５および６からわかるように、実測データを十分よく記述す
る。にもかかわらず、他の形の式が厚さとＩＦの間のこの関係を記述するのに有
用である可能性も除外はできない。
【００３５】 装置がＩＦについての値を得るためには、基準強度が知られていなければなら
ない。金属シート中のクラッディング厚さ測定のための基準強度は、たとえば、
クラッドを除去した試料において測定することができる。しかしながら、基準強
度についての値はシート全体の測定から得ることが、シートの他の部分から一層
を除去する作業を伴わないので、好ましい。この観点から、装置は好ましくは金
属シート（例えばコアおよびクラッディング）内部の蛍光元素の濃度および一次
Ｘ線の強度に加えて金属シート内に放出される支持体関連の蛍光放射の強度を考
慮に入れて基準強度を算出するための装置を装備する、何故ならば一次Ｘ線およ
び支持体関連の蛍光Ｘ線の両者とも金属シート内部の蛍光元素によって吸収され
てこれらの元素に特有の蛍光Ｘ線に変換され得るからである。装置が上述の方法
（ａ）中で応用される場合は、このような効果もまた考慮に入れなければならな
い。さらに、背景となるノイズおよび他層中の同一蛍光元素の影響を含む、他の
いくつかの補正要素も考慮に入れることができる。
【００３６】 この目的のために、装置は複数の標準金属シートについての識別ラベルおよび
対応する標準結果を記憶するための装置を含むことができる。図７は、例えばコ
ンピューターを用いてアクセスできる、記憶装置に含むことができるいくつかの
記録を示す。図は記録内の各種の領域、すなわち、名称、コアのタイプ、ならび
にＭｎ，Ｃｕ，Ｚｎ，およびＦｅ関連の蛍光Ｘ線についての標準検知計数率を示
す。標準計数率は、本発明による装置を用い、別の特性把握手段と組合せて、実
験的に求めることができる。本発明による装置の一つの態様においては装置は、
例えば図３に示す各種の検知チャンネルを用いて、試験中の金属シート中に存 在するいくつかの蛍光元素についての計数率を測定する。次に装置は求めた計数
率を、例えば最小二乗法またはその他の基準を用いることにより、メモリー中の
標準値と比較する。得られたメモリー中の最適合タイプの金属シートは、図８に
例示したように、情報装置のディスプレイに表示することができる。
【００３７】 図５および６からわかるように、アルミニウム合金クラッディング中のＣｕ−
Ｋα蛍光の減衰は、Ｍｎ−Ｋαの減衰より弱い。例えばコア合金およびクラッド
合金中にどんな元素が存在するかに応じて、かつ例えばそれらの各々の濃度に応
じて、かつ例えば諸層の厚さに応じて、どの検知チャンネルを用いるかについて
決定することができる。ある場合にはこの決定は明白であるが、非常に多種の製
品仕様を扱う場合にはより困難になる。たとえば、コア合金中のＭｎの量が０．
５重量％を越える時は、最大０．０４ｍｍまでのクラッディング厚さ測定のため
にはＭｎは好適な蛍光元素であることが見出されている。しかしながら、Ｍｎは
クラッド層にもしばしば存在する元素であり、もしクラッド層中のＭｎの量があ
まり多ければ、クラッディング中のＭｎの蛍光が、Ｍｎ蛍光検知チャンネル中で
測定される信号を左右するであろう。厚さ測定結果は不正確または誤ったものに
さえなるであろうが、このことは操作者には認識しがたい。それゆえ装置は操作
者の介入なしに、層の厚さを求めるためにはどの蛍光合金元素を用いるべきかを
決定するための計算装置を含むことが好ましい。
【００３８】 検知チャンネル中で利用可能な全ダイナミックレンジを利用するためには、そ
の出力は実験的に定められる伝達関数、または感度曲線を用いて正規化すること
ができる。この感度曲線は、蛍光Ｘ線検知感度と問題とする蛍光元素の重量分率
、またはその元素の重量％あたりの計数率との間の関係に適用される。これは、
検知器の反応が直線型である時のみならず、それが直線型でないとき、特に合金
中の蛍光元素の含有量、またはそれらの蛍光効率、が低い時、あるいは諸層が強
い吸収性をもつかまたは厚い時でさえ、測定系が機能することを可能にする。感
度曲線の例は、図９および１０に、それぞれＣｕおよびＭｎについて示す。図中
のデータは実験的に求めたものである。図９からわかるようにアルミニウム合金
中のＣｕ％あたりの計数率は、Ｃｕの濃度がほぼ０．２％を越えるとほぼ一定と
なる。しかしながら、非直線型の範囲はＣｕ濃度がほぼ０．２％未満である時点
から始まる。％Ｃｕあたりの計数率は０．２％未満で急激に増加することが観察
される。このことは、コア中のＣｕの蛍光強度に加わるクラッディング内のきわ
めて低含有量のＣｕの蛍光について異なった重量係数で補償する際に特に重要で
ある。Ａｌ中のＭｎの感度係数についても定性的に類似した挙動がみられる（図
１０）。しかしながら、その濃度未満で非直線型反応が始まるＭｎの濃度は約０
．５％である。図９および１０中に描かれた線は 感度＝ａ＋ｂ／％ の形の式への最適線であり、式中ａおよびｂは適合化パラメーターであり、％は
蛍光放出元素の濃度を意味する。
【００３９】 本発明による装置は数種のクラッド層厚さの測定に用いることができる。この
ために装置は、例えばすべての層中の蛍光元素の相対的含有量に応じ、上述の方
法論を用いて、クラッディング中の各クラッド層について適切な蛍光元素を選定
することになるであろう。次に各層からの蛍光の強度を測定した後、その層の上
の層の厚さを較正曲線を用いて求めることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】 本発明による装置の操作中の断面概要図を示す。
【図２】 いくつかの化学元素に固有の蛍光Ｘ線の特性の表を示す。
【図３】 一次Ｘ線のビームを発生させ導くための装置、および蛍光Ｘ線を検知するため
の装置を含む一体化された測定装置の内部の上面概要図を示す。
【図４】 Ｍｏ−Ｋα蛍光Ｘ線の強度因子とブレージングシートの厚さとの間の実験的関
係を示す。
【図５】 Ｍｎ−Ｋα蛍光Ｘ線の強度因子とブレージングシート中のクラッディング層の
厚さとの間の実験的関係を示す。
【図６】 Ｃｕ−Ｋα蛍光Ｘ線の強度因子とブレージングシート中のクラッディング層の
厚さとの間の実験的関係を示す。
【図７】 シート識別メモリー内容の例を示す。
【図８】 ビジュアルユーザーインターフェイスの例を示す。
【図９】 アルミニウム中のＣｕについて実験的に求めた感度曲線の例を示す。
【図１０】 アルミニウム中のＭｎについて実験的に求めた感度曲線の例を示す。
【手続補正書】特許協力条約第３４条補正の翻訳文提出書
【提出日】平成１３年５月１４日（２００１．５．１４）
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (81)指定国 ＥＰ(ＡＴ，ＢＥ，ＣＨ，ＣＹ， ＤＥ，ＤＫ，ＥＳ，ＦＩ，ＦＲ，ＧＢ，ＧＲ，ＩＥ，Ｉ Ｔ，ＬＵ，ＭＣ，ＮＬ，ＰＴ，ＳＥ)，ＯＡ(ＢＦ，ＢＪ ，ＣＦ，ＣＧ，ＣＩ，ＣＭ，ＧＡ，ＧＮ，ＧＷ，ＭＬ， ＭＲ，ＮＥ，ＳＮ，ＴＤ，ＴＧ)，ＡＰ(ＧＨ，ＧＭ，Ｋ Ｅ，ＬＳ，ＭＷ，ＭＺ，ＳＤ，ＳＬ，ＳＺ，ＴＺ，ＵＧ ，ＺＷ)，ＥＡ(ＡＭ，ＡＺ，ＢＹ，ＫＧ，ＫＺ，ＭＤ， ＲＵ，ＴＪ，ＴＭ)，ＡＥ，ＡＬ，ＡＭ，ＡＴ，ＡＵ， ＡＺ，ＢＡ，ＢＢ，ＢＧ，ＢＲ，ＢＹ，ＣＡ，ＣＨ，Ｃ Ｎ，ＣＲ，ＣＵ，ＣＺ，ＤＥ，ＤＫ，ＤＭ，ＥＥ，ＥＳ ，ＦＩ，ＧＢ，ＧＤ，ＧＥ，ＧＨ，ＧＭ，ＨＲ，ＨＵ， ＩＤ，ＩＬ，ＩＮ，ＩＳ，ＪＰ，ＫＥ，ＫＧ，ＫＰ，Ｋ Ｒ，ＫＺ，ＬＣ，ＬＫ，ＬＲ，ＬＳ，ＬＴ，ＬＵ，ＬＶ ，ＭＡ，ＭＤ，ＭＧ，ＭＫ，ＭＮ，ＭＷ，ＭＸ，ＮＯ， ＮＺ，ＰＬ，ＰＴ，ＲＯ，ＲＵ，ＳＤ，ＳＥ，ＳＧ，Ｓ Ｉ，ＳＫ，ＳＬ，ＴＪ，ＴＭ，ＴＲ，ＴＴ，ＴＺ，ＵＡ ，ＵＧ，ＵＳ，ＵＺ，ＶＮ，ＹＵ，ＺＡ，ＺＷ Ｆターム(参考） 2F067 AA27 BB01 HH04 JJ03 KK01 KK06 KK08 LL02 MM00 2G001 AA01 BA04 CA01 DA06 FA02 FA06 GA01 KA01 KA11 LA02 MA05 NA10 NA13 NA17

Claims (14)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 検知のための装置がＸ線の一次ビームに対して、検知すべき
    蛍光Ｘ線を放出する化学元素に応じた、ある角度で置かれることを特徴とする、
    金属シートを支持するための試料面設定装置を含み、さらに化学元素により一次
    Ｘ線を吸収させ蛍光Ｘ線を再放出させることにより一次Ｘ線を化学元素固有の蛍
    光Ｘ線に変換させるため第一および第二層に浸透しうる多色一次Ｘ線ビームを発
    生させ導くための装置を含み、さらに元素固有の蛍光Ｘ線を検知しその強度を測
    定する装置を含む、金属シートの第二層上の、一つ以上の副次層からなる第一層
    の厚さをＸ線蛍光分析により測定する装置。
  2. 【請求項２】 装置が、異なった化学元素からの蛍光Ｘ線を受けるため、あ
    る角度で設置される少くとも二つの異なった検知チャンネルを含むことを特徴と
    する、請求項１記載の装置。
  3. 【請求項３】 一次Ｘ線のビームを導くための装置が、一次Ｘ線のビームが
    試料面に実質的に直角に向くよう配置されることを特徴とする、請求項１または
    ２記載の装置。
  4. 【請求項４】 一次Ｘ線のビームを導く装置および元素固有の蛍光Ｘ線を検
    知するための装置が一つの測定装置に一体化されていることを特徴とする、先行
    請求項の任意の一項に記載の装置。
  5. 【請求項５】 装置が、測定装置を試料面の方向へ押付ける装置を含むこと
    を特徴とする、請求項４記載の装置。
  6. 【請求項６】 装置が、複数の標準金属シートについて識別ラベルおよび対
    応する標準的結果を記憶する装置、および少なくとも一つの蛍光Ｘ線強度の測定
    値を処理し標準と比較して測定値と最もよく適合する標準金属シートの識別ラベ
    ルを見出す装置を含むことを特徴とする、先行請求項のいずれか一項に記載の装
    置。
  7. 【請求項７】 金属シートを支持する装置が、支持体によって一次Ｘ線を吸
    収し蛍光Ｘ線を再放出する手段により、一次Ｘ線を支持体固有の蛍光Ｘ線に変換
    するための支持体を含み、その支持体が、金属シートが多色一次Ｘ線ビームを発
    生し導く装置と支持体との間に配置しうるように位置することを特徴とする、先
    行請求項のいずれか一項に記載の装置。
  8. 【請求項８】 装置が支持体に固有の蛍光Ｘ線を受けるための独自の検知チ
    ャンネルを含むことを特徴とする、請求項７記載の装置。
  9. 【請求項９】 支持体がモリブデン元素を含むことを特徴とする、請求項７
    または８記載の装置。
  10. 【請求項１０】 装置が、主としてＡｌからなる金属層中の、Ｃｕ，Ｍｎ，
    Ｚｎ，Ｆｅを含むグループの化学元素に固有の蛍光Ｘ線を受けるための少くとも
    一つの検知チャンネルを含むことを特徴とする、先行請求項のいずれか一項に記
    載の装置。
  11. 【請求項１１】 装置が少くとも、Ｃｕ，Ｍｎ，Ｚｎ，Ｆｅを含むグループ
    の各化学元素からの蛍光Ｘ線を受けることを意図した、異なった検知チャンネル
    （複数）を含むことを特徴とする、請求項１０記載の装置。
  12. 【請求項１２】 蛍光元素が２０％以下の濃度で存在する金属層から放散す
    る元素固有の蛍光Ｘ線の強度を測定するための、請求項１〜１１の任意の一項に
    記載の装置の使用。
  13. 【請求項１３】 主としてアルミニウム合金からなる第二層上の、一つ以上
    の副次層を含む金属層の厚さの測定のための、請求項１〜１１のいずれか一項に
    記載の装置の使用。
  14. 【請求項１４】 主としてアルミニウム合金からなる第二層上の、一つ以上
    の副次層を含むアルミニウム合金層の厚さの測定のための、請求項１〜１１のい
    ずれか一項に記載の装置の使用。
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2008267927A (ja) * 2007-04-19 2008-11-06 Yokogawa Electric Corp シート物理量測定装置

Families Citing this family (23)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP1076222A1 (en) * 1999-08-10 2001-02-14 Corus Aluminium Walzprodukte GmbH X-ray fluorescence measurement of aluminium sheet thickness
JP3811089B2 (ja) * 2002-04-15 2006-08-16 株式会社東芝 摩耗量測定方法
DE10307356A1 (de) 2003-02-21 2004-09-16 Sikora Ag Verfahren und Vorrichtung zur Bestimmung der Dicke der Isolation eines Flachkabels in Bereichen der metallischen Leiterbahnen
WO2004089056A2 (en) * 2003-04-01 2004-10-21 Keymaster Technologies, Inc. Exempt source for an x-ray fluorescence device
CA2513990C (en) 2004-08-27 2010-09-14 Paul Jacob Arsenault X-ray scatter image reconstruction by balancing of discrepancies between detector responses, and apparatus therefor
DE102005048644A1 (de) * 2005-05-03 2006-11-16 Mahlo Gmbh & Co. Kg Verfahren zur Bestimmung eines Flächengewichtes und/oder einer chemischen Zusammensetzung einer geförderten Materialprobe
JP2008210783A (ja) * 2007-02-01 2008-09-11 Matsushita Electric Ind Co Ltd 電池とその負極の製造方法、負極の製造装置
JP2008210784A (ja) * 2007-02-01 2008-09-11 Matsushita Electric Ind Co Ltd 非水電解質二次電池とその負極の検査方法、製造方法、負極の検査装置、製造装置
EP3333280A1 (en) * 2007-09-12 2018-06-13 Flisom AG Method for manufacturing a compound film with compositional grading
CN101226921B (zh) * 2008-02-15 2010-12-01 日月光半导体制造股份有限公司 可检测接点厚度的基板及其检测方法
US20100080351A1 (en) * 2008-09-26 2010-04-01 i-Nalysis LLC Handheld spectrometer
DE102009057119A1 (de) 2009-12-08 2011-06-09 Titech Gmbh Vorrichtung und Verfahren zur Abtrennung von schweren, mit unerwünschten Zusammensetzungen anfallenden Brocken
CN103884727B (zh) * 2012-12-20 2016-06-22 上海华虹宏力半导体制造有限公司 一种检测掺磷二氧化硅中磷浓度的方法
US10203202B2 (en) * 2014-04-07 2019-02-12 John Weber Schultz Non-contact determination of coating thickness
CN106574904B (zh) 2014-06-24 2020-07-07 诺威量测设备公司 使用xps和xrf技术的多层和多过程信息的前馈
US10012603B2 (en) * 2014-06-25 2018-07-03 Sciaps, Inc. Combined handheld XRF and OES systems and methods
US9851313B2 (en) * 2015-03-03 2017-12-26 Panalytical B.V. Quantitative X-ray analysis—ratio correction
US11169100B2 (en) 2018-04-02 2021-11-09 Sciaps, Inc. Portable, hand held aluminum alloy XRF analyzer and method
WO2019218051A1 (en) * 2018-05-18 2019-11-21 Enersoft Inc. Systems, devices, and methods for analysis of geological samples
US12092594B2 (en) * 2019-12-13 2024-09-17 Schlumberger Technology Corporation Measurement of metal or alloy coating
WO2021118966A1 (en) * 2019-12-13 2021-06-17 Schlumberger Technology Corporation Measurement of thickness of scale or corrosion
CN111024009B (zh) * 2019-12-31 2022-06-07 北京君融创新科技有限公司 一种测量云母片厚度的系统及方法
DE102022106207A1 (de) 2022-03-16 2023-09-21 Zap Systemkomponenten Gmbh & Co. Kg Anordnung zur Flächenmassenbestimmung

Citations (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS52140354A (en) * 1976-05-18 1977-11-22 Seiko Instr & Electronics Ltd Radiant ray thickness measuring device
JPS59105547A (ja) * 1982-12-08 1984-06-18 Kawasaki Steel Corp 螢光ｘ線分光装置
JPS60236052A (ja) * 1984-05-10 1985-11-22 Rigaku Denki Kogyo Kk 被膜の厚みと組成の同時分析法
JPS61250509A (ja) * 1985-04-30 1986-11-07 Seiko Instr & Electronics Ltd 高分子膜上の磁性体膜厚測定方法
JPS6453144A (en) * 1987-08-24 1989-03-01 Oki Electric Ind Co Ltd Method for evaluating thin film by fluorescent x-ray analysis
JPH03285153A (ja) * 1990-03-31 1991-12-16 Shimadzu Corp Ｘ線による定性分析装置
JPH04118510A (ja) * 1990-09-07 1992-04-20 Seiko Instr Inc ケイ光ｘ線膜厚計
JPH04223210A (ja) * 1990-12-25 1992-08-13 Fujitsu Ltd 多層膜の膜厚測定方法
JPH06511313A (ja) * 1991-06-28 1994-12-15 ラディオメトリー　コーポレイション Ｘ線を使用して層の厚みを測定する装置の較正装置および較正方法
JPH10221047A (ja) * 1997-02-03 1998-08-21 Jeol Ltd 蛍光ｘ線膜厚分析装置及び方法
JP2003506700A (ja) * 1999-08-10 2003-02-18 コラス・アルミニウム・バルツプロドウクテ・ゲーエムベーハー 複層試料のｘ線蛍光分析

Family Cites Families (18)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2711480A (en) * 1948-06-29 1955-06-21 Friedman Herbert Method of measuring thickness of thin layers
US2926257A (en) * 1955-05-16 1960-02-23 Friedman Herbert Method of measuring the thickness of thin coatings
US3919548A (en) * 1974-07-24 1975-11-11 David E Porter X-Ray energy spectrometer system
FI68321C (fi) * 1982-12-01 1985-08-12 Valtion Teknillinen Foerfarande foer att medelst straolning utsaend av ett roentgenroer utan att foerstoera provet maeta foerdelningen av fyll- och/eller belaeggningsmedel i tjockleksriktningen av papper kartong eller liknande och halten av dessa medel anordningar foer tillaempande av foerfarandet samt anvaendningar av foerfarandet och anordningarna
WO1986002164A1 (en) * 1984-10-05 1986-04-10 Kawasaki Steel Corporation Method of determining thickness and composition of alloy film
JPS61195335A (ja) * 1985-02-25 1986-08-29 Shimadzu Corp 薄層の定量分析方法
JPS62137552A (ja) * 1985-12-11 1987-06-20 Seiko Instr & Electronics Ltd 合金メツキ付着量計
GB8811459D0 (en) * 1988-05-13 1988-06-15 Dmc Boyle Ltd Method & apparatus for measuring thickness of coating on substrate
US5081658A (en) * 1989-03-30 1992-01-14 Nkk Corporation Method of measuring plating amount and plating film composition of plated steel plate and apparatus therefor
GB2260403B (en) * 1991-09-19 1995-10-11 Rigaku Ind Corp Method of and apparatus for the quantitative measurement of paint coating
JP2706601B2 (ja) * 1991-10-18 1998-01-28 理学電機工業株式会社 蛍光ｘ線分析方法および装置
JPH05240808A (ja) * 1992-02-29 1993-09-21 Horiba Ltd 蛍光ｘ線定量方法
GB9223592D0 (en) * 1992-11-11 1992-12-23 Fisons Plc X-ray analysis apparatus
US5325416A (en) * 1993-10-25 1994-06-28 Nisshin Steel Co., Ltd. Method for measuring Fe coating weight of Fe-coated stainless steel sheet
DE19710420C2 (de) * 1997-03-13 2001-07-12 Helmut Fischer Gmbh & Co Verfahren und Vorrichtung zum Messen der Dicken dünner Schichten mittels Röntgenfluoreszenz
JPH1114336A (ja) * 1997-06-18 1999-01-22 Futec Inc 厚さ及び厚さ換算単重測定方法
JP3820049B2 (ja) * 1998-07-16 2006-09-13 パナリティカル ビー ヴィ 薄膜の蛍光ｘ線分析方法及び装置
US6381303B1 (en) * 1999-09-29 2002-04-30 Jordan Valley Applied Radiation Ltd. X-ray microanalyzer for thin films

Patent Citations (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS52140354A (en) * 1976-05-18 1977-11-22 Seiko Instr & Electronics Ltd Radiant ray thickness measuring device
JPS59105547A (ja) * 1982-12-08 1984-06-18 Kawasaki Steel Corp 螢光ｘ線分光装置
JPS60236052A (ja) * 1984-05-10 1985-11-22 Rigaku Denki Kogyo Kk 被膜の厚みと組成の同時分析法
JPS61250509A (ja) * 1985-04-30 1986-11-07 Seiko Instr & Electronics Ltd 高分子膜上の磁性体膜厚測定方法
JPS6453144A (en) * 1987-08-24 1989-03-01 Oki Electric Ind Co Ltd Method for evaluating thin film by fluorescent x-ray analysis
JPH03285153A (ja) * 1990-03-31 1991-12-16 Shimadzu Corp Ｘ線による定性分析装置
JPH04118510A (ja) * 1990-09-07 1992-04-20 Seiko Instr Inc ケイ光ｘ線膜厚計
JPH04223210A (ja) * 1990-12-25 1992-08-13 Fujitsu Ltd 多層膜の膜厚測定方法
JPH06511313A (ja) * 1991-06-28 1994-12-15 ラディオメトリー　コーポレイション Ｘ線を使用して層の厚みを測定する装置の較正装置および較正方法
JPH10221047A (ja) * 1997-02-03 1998-08-21 Jeol Ltd 蛍光ｘ線膜厚分析装置及び方法
JP2003506700A (ja) * 1999-08-10 2003-02-18 コラス・アルミニウム・バルツプロドウクテ・ゲーエムベーハー 複層試料のｘ線蛍光分析

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2008267927A (ja) * 2007-04-19 2008-11-06 Yokogawa Electric Corp シート物理量測定装置

Also Published As

Publication number Publication date
ES2200907T3 (es) 2004-03-16
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