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JP2002184853A - ウェハー把持装置 - Google Patents

ウェハー把持装置

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JP2002184853A
JP2002184853A JP2000382718A JP2000382718A JP2002184853A JP 2002184853 A JP2002184853 A JP 2002184853A JP 2000382718 A JP2000382718 A JP 2000382718A JP 2000382718 A JP2000382718 A JP 2000382718A JP 2002184853 A JP2002184853 A JP 2002184853A
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JP
Japan
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wafer
pressing element
gripping device
base material
base
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JP2000382718A
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Inventor
Hiroshi Asano
浩 浅野
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Yaskawa Electric Corp
Original Assignee
Yaskawa Electric Corp
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】 【目的】単一の検出手段で、ウェハーの把持と有無の確
認ができるウェハー把持装置を提供する。 【解決手段】ウェハー把持装置に長さ方向に進退自在な
押圧子８を有する駆動手段２と、押圧子８の進退を検出
する検出手段９を備えて、押圧子８が所定の位置まで進
んで停止したことを検出手段９が検出したときにウェハ
ーが正常に把持されたと判断し、押圧子８が前記所定の
位置を越えて進んだことを検出手段９が検出した時はウ
ェハー把持装置上にウェハーが存在しないと判断する。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体製造装置
内、あるいは半導体製造装置間でウェハーの搬送を行う
ロボットのアーム先端部に取り付けられるウェハー把持
装置に関し、特に、ウェハーの周縁部を把持してウェハ
ーを支持するウェハー把持装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】ウェハー搬送ロボットのアームの先端部
に取り付けられて、ウェハーの把持を行う装置として、
ウェハーの周縁部を把持してウェハーを支持するように
したものが従来から知られている。このようなウェハー
把持装置の従来例を図３に示す。図において、１はウェ
ハー把持装置の基材である。基材１は先端が二股になっ
た薄板である。２は、基材１の根元側に固定されたエア
シリンダであり、その先端に取付けられた押圧子３を前
後に進退させる駆動手段である。押圧子３はウェハーＷ
の周縁を押圧する部材であり、ウェハーＷに当接する面
は平坦である。４は動作確認センサであり、エアシリン
ダ２の動作を確認する検出手段である。５はウェハー有
無センサであり、ウェハー把持装置上のウェハーＷの有
無を確認するセンサである。６は止めピンであり、基材
１の二股部の先端に固定された円柱状の固定子であり、
前記押圧子３で押圧されたウェハーＷを受け止めるもの
である。つまり、ウェハーＷは押圧子３と止めピン６に
挟まれて固定される。７は支持ピンであり、基材１の押
圧子３と止めピン６の間の平面に４個が固定されてい
る。支持ピン７は頂面が平坦な円柱であり、前記頂面に
ウェハーＷを載置して、ウェハーＷの重量を支持する支
持子である。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】ところが、上記のよう
な従来のウェハー把持装置は、動作確認用センサ４とウ
ェハー有無センサ５の２種のセンサが必要なので、コス
トの上昇、重量の増加、構成の複雑化に起因する信頼性
の低下などの問題があった。また、押圧子３の当接面が
平坦なので、ウェハーＷを押圧すると、ウェハーＷが止
めピン６を支点に跳ね上がることがあり、安定した把持
ができないという問題があった。また、支持ピン７の頂
面が平坦なので、支持ピン７とウェハーＷの接触面積が
大きくパーティクルの付着が多いという問題もあった。
そこで、本発明は単一の検出手段で、ウェハーの把持と
有無の確認ができるウェハー把持装置を提供することを
目的とする。また、ウェハーの跳ね上がりを防止して、
安定した把持ができるウェハー把持装置を提供すること
を目的とする。また、ウェハーと支持子の接触面積が小
さく、パーティクルの付着が少ないウェハー把持装置を
提供することを目的とする。
【０００４】
【課題を解決するための手段】上記の課題を解決するた
めに、請求項１に記載の発明は平板状の基材と、前記基
材の根元部側に取り付けられ、前記基材の長さ方向に進
退自在な押圧子を有する駆動手段と、前記押圧子の進退
を検出する検出手段と、前記基材の先端部に固定された
固定子と、前記基材上であって前記押圧子と前記固定子
の間に配置された支持子を備え、前記支持子の上にウェ
ハーを載置して、前記押圧子と前記固定子で前記ウェハ
ーの周縁部を挟んで固定するウェハー把持装置におい
て、前記押圧子が所定の位置まで進んで停止したことを
前記検出手段が検出したときに前記ウェハーが正常に把
持されたと判断し、前記押圧子が前記所定の位置を越え
て進んだことを前記検出手段が検出した時はウェハー把
持装置上に前記ウェハーが存在しないと判断するもので
ある。また、請求項２に記載の発明は前記押圧子の前記
ウェハーと当接する面に、前記ウェハーの跳ね上がりを
防止する庇状の張出部を設けるものである。また、請求
項３に記載の発明は前記支持子を基部から先端にかけて
横断面積が減少し、前記ウェハーと点または線で接触す
る形状とするものである。
【０００５】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施例を図に従っ
て説明する。なお、従来技術と共通するものについては
同一の符号を付しているので説明を省略する。図１は、
本発明の実施例を示すウェハー把持装置の平面図であ
る。図において、８は、エアシリンダ２に取り付けられ
て前後に進退する押圧子である。９は押圧子８の位置を
検出して、ウェハーＷの把持の確認とウェハーＷの有無
を確認する検出手段として使用する動作確認センサであ
る。１０はウェハーＷを載置するために設けられた支持
ピンである。図２は、本発明の実施例を示すウェハー把
持装置の機能を示す説明図であり、（ａ）はウェハーＷ
を把持する前の状態を示し、（ｂ）はウェハーＷを把持
した状態を示し、（ｃ）はウェハーＷが存在しない状態
を示す。図において、８ａは押圧子８のウェハーと当接
する面に設けた庇（ひさし）状の張出部であり、８ｂは
押圧子の位置を動作確認センサ９に指示するためのドグ
である。９ａは動作確認センサ９の検出用の窓であり、
窓９ａから射出した光線が窓９ａと向かい合った受光部
（図示せず）で検出される。動作確認センサ９はドグ８
ｂが前記光線を遮ぎるか否かを検出して押圧子８の位置
を検出するのである。図２（ａ）のように、押圧子８が
後ろ（図では左側）に退いた状態では、ドグ８ｂは窓９
ａの左側にあるので、動作確認センサ９はドグ８ｂを検
出しない。この状態にあるとき、ウェハー把持装置はウ
ェハーＷを把持する前の状態にあると判断できる。ウェ
ハー把持装置がウェハーＷを把持すると、図２（ｂ）に
示すように、押圧子８は前（図では右側）に進んで、ウ
ェハーＷに当接して停止する。この時、ドグ８ｂは窓９
ａの正面で停止するので、動作確認センサ９はドグ８ｂ
を検出する。この状態にあるとき、ウェハー把持装置は
ウェハーＷを正常に把持していると判断できる。何らか
の不具合によって、ウェハー把持装置の上にウェハーＷ
が存在しなかった場合は、図２（ｃ）に示すように、押
圧子８は図２（ｂ）に示す位置から更には前（図では右
側）に進んで、エアシリンダ２の最大ストロークまで移
動する。この時、ドグ８ｂは一旦窓９ａの正面を通っ
て、窓９ａの右側に移動するので、動作確認センサ９は
ドグ８ｂを一旦検出したあと、検出しなくなる。この状
態にあるとき、ウェハー把持装置の上にウェハーが存在
しないと判断できる。
【０００６】押圧子８のウェハーＷと当接する面には庇
（ひさし）上の張出部８ａがあるので、図２（ｂ）のよ
うにウェハーＷに押圧するときは、張出部８ａがウェハ
ーＷの縁を上から押さえ込むので、ウェハーＷの跳ね上
がりを防止して安定した把持状態を維持することができ
る。
【０００７】図２に示すように、支持子１０は、上端
（ウェハーＷが載る部分）が鋭くとがったナイフ形の側
面形をしているので、ウェハーＷは前記ナイフ形のエッ
ジの線上で支持ピン１０と接触する。したがって、ウェ
ハーＷと支持子１０の接触面積は非常に小さくなるの
で、ウェハーＷへのパーティクルの付着は非常に少なく
なる。なお、支持ピン１０の形状はナイフ形に代えて、
円錐形にして、ウェハーＷを点で支持するようにしても
良い。
【０００８】
【発明の効果】以上述べたように、本発明には次のよう
な効果がある。請求項１に記載の発明によれば、把持確
認用とウェハー有無の確認を単一の検出手段で行うの
で、ウェハー把持装置のコストダウン、軽量化、信頼性
向上に効果がある。請求項２に記載の発明によれば、押
圧子に設けた張出部でウェハーの跳ね上がりを抑制する
ので、安定した把持ができるという効果がある。請求項
３に記載の発明によれば、ウェハーと支持子の接触面積
を非常に小さくしたので、ウェハーへのパーティクルの
付着を非常に小さくできるという効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施例を示すウェハー把持装置の平面
図である。
【図２】本発明の実施例を示すウェハー把持装置の機能
を示す説明図であり、（ａ）はウェハーＷを把持する前
の状態を示し、（ｂ）はウェハーＷを把持した状態を示
し、（ｃ）はウェハーＷが存在しない状態を示す。
【図３】従来例を示すウェハー把持装置の平面図であ
る。
【符号の説明】
１：基材 ２：エアシリンダ ３：押圧子 ４：動作確
認センサ ５：ウェハー有無センサ ６：止めピン ７：支持ピン ８：押圧子 ８ａ：張出部 ８ｂ：ドグ ９：動作確認センサ ９ａ：窓 １０：支持ピン

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 平板状の基材と、前記基材の根元部側に
    取り付けられ、前記基材の長さ方向に進退自在な押圧子
    を有する駆動手段と、前記押圧子の進退を検出する検出
    手段と、前記基材の先端部に固定された固定子と、前記
    基材上であって前記押圧子と前記固定子の間に配置され
    た支持子を備え、前記支持子の上にウェハーを載置し
    て、前記押圧子と前記固定子で前記ウェハーの周縁部を
    挟んで固定するウェハー把持装置において、 前記押圧子が所定の位置まで進んで停止したことを前記
    検出手段が検出したときに前記ウェハーが正常に把持さ
    れたと判断し、前記押圧子が前記所定の位置を越えて進
    んだことを前記検出手段が検出した時はウェハー把持装
    置上に前記ウェハーが存在しないと判断することを特徴
    とするウェハー把持装置。
  2. 【請求項２】前記押圧子の前記ウェハーと当接する面
    に、前記ウェハーの跳ね上がりを防止する庇状の張出部
    を設けたことを特徴とする請求項１に記載のウェハー把
    持装置。
  3. 【請求項３】前記支持子は、基部から先端にかけて横断
    面積が減少し、前記ウェハーと点または線で接触する形
    状であることを特徴とする請求項１または請求項２に記
    載のウェハー把持装置。
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