JPH0737960A - ウエハハンドリングロボット用ハンド - Google Patents
ウエハハンドリングロボット用ハンドInfo
- Publication number
- JPH0737960A JPH0737960A JP17648093A JP17648093A JPH0737960A JP H0737960 A JPH0737960 A JP H0737960A JP 17648093 A JP17648093 A JP 17648093A JP 17648093 A JP17648093 A JP 17648093A JP H0737960 A JPH0737960 A JP H0737960A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- hand
- wafer
- finger
- handling robot
- attached
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 title 1
- 210000000078 claw Anatomy 0.000 claims abstract description 23
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims description 8
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 4
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 3
- 238000005336 cracking Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Manipulator (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 ウエハをカセットから治具へ、または治具か
らカセットに移し変えるウエハハンドリングロボット用
ハンドにおいて、ウエハの外周面を３点で支持し、大気
中でも、真空中でも高速に動かすことができるようにす
るものである。 【構成】 一端に左クランプ用爪８を設け、軸７で回動
可能に装着した左フィンガ６と、一端に中央クランプ用
爪１６を設け、移動可能に装着した中央フィンガ１４
と、一端に右クランプ用爪１２を設け、軸１１で回動可
能に装着した右フィンガ１０とから構成したものであ
る。
らカセットに移し変えるウエハハンドリングロボット用
ハンドにおいて、ウエハの外周面を３点で支持し、大気
中でも、真空中でも高速に動かすことができるようにす
るものである。 【構成】 一端に左クランプ用爪８を設け、軸７で回動
可能に装着した左フィンガ６と、一端に中央クランプ用
爪１６を設け、移動可能に装着した中央フィンガ１４
と、一端に右クランプ用爪１２を設け、軸１１で回動可
能に装着した右フィンガ１０とから構成したものであ
る。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、ウエハをカセットから
治具へ、あるいは、治具からカセットに移し変えるウエ
ハハンドリングロボット用ハンドに関するものである。
治具へ、あるいは、治具からカセットに移し変えるウエ
ハハンドリングロボット用ハンドに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】図３は従来のウエハハンドリングロボッ
ト用ハンドを示す概略斜視図であり、特に真空吸着ハン
ド１を示す。この真空吸着ハンド１は、そのバキューム
穴１ａおよび１ｂで図示せぬウエハを吸着して搬送する
ものである。
ト用ハンドを示す概略斜視図であり、特に真空吸着ハン
ド１を示す。この真空吸着ハンド１は、そのバキューム
穴１ａおよび１ｂで図示せぬウエハを吸着して搬送する
ものである。
【０００３】図４は従来の他のウエハハンドリングロボ
ット用ハンドを示す概略斜視図であり、特に、真空搬送
ハンド２を示す。この真空搬送ハンド２は保持用突起２
ａ〜２ｄを設け、この保持用突起２ａ〜２ｄによって図
示せぬウエハの外周面をガイドして搬送するものであ
る。
ット用ハンドを示す概略斜視図であり、特に、真空搬送
ハンド２を示す。この真空搬送ハンド２は保持用突起２
ａ〜２ｄを設け、この保持用突起２ａ〜２ｄによって図
示せぬウエハの外周面をガイドして搬送するものであ
る。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記構
成のウエハハンドリングロボット用ハンドでは、特に、
真空吸引ハンドは、（Ａ）真空中では使用できないこ
と、（Ｂ）真空吸引のための真空度の変動により、搬送
トラブルが発生すること、（Ｃ）ウエハ裏面のハンド接
触部が、バキューム穴からのパーティクル逆流により汚
染される可能性があること、（Ｄ）図示せぬウエハのセ
ンタ出し機能がないこと。
成のウエハハンドリングロボット用ハンドでは、特に、
真空吸引ハンドは、（Ａ）真空中では使用できないこ
と、（Ｂ）真空吸引のための真空度の変動により、搬送
トラブルが発生すること、（Ｃ）ウエハ裏面のハンド接
触部が、バキューム穴からのパーティクル逆流により汚
染される可能性があること、（Ｄ）図示せぬウエハのセ
ンタ出し機能がないこと。
【０００５】一方、真空搬送ハンドは、（Ｅ）図示せぬ
ウエハの外周面をガイドしているだけであるため、搬送
スピードを上げることができず、現状では、最高速度が
約１６０ｍｍ／ｓｅｃである、などという問題点があっ
た。
ウエハの外周面をガイドしているだけであるため、搬送
スピードを上げることができず、現状では、最高速度が
約１６０ｍｍ／ｓｅｃである、などという問題点があっ
た。
【０００６】本発明は、以上述べた、真空中で使用でき
ないこと、真空度の変動により搬送トラブルが発生する
こと、ウエハ裏面が汚染される可能性があること、ウエ
ハのセンタ出し機能がないこと、搬送スピードを上げる
ことができないこと、などという問題点を除去するた
め、ウエハの外周面を３点のクランプ用爪で同時にチャ
ックまたは開放できるようにした優れたハンドを提供す
ることを目的とする。
ないこと、真空度の変動により搬送トラブルが発生する
こと、ウエハ裏面が汚染される可能性があること、ウエ
ハのセンタ出し機能がないこと、搬送スピードを上げる
ことができないこと、などという問題点を除去するた
め、ウエハの外周面を３点のクランプ用爪で同時にチャ
ックまたは開放できるようにした優れたハンドを提供す
ることを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明に係るウエハハン
ドリングロボット用ハンドは、一端に左クランプ用爪を
設け、回動可能に装着した左フィンガと、一端に中央ク
ランプ爪を設け、移動可能に装着した中央フィンガと、
一端に右クランプ爪を設け、回動可能に装着した右フィ
ンガとから構成し、駆動手段によって中央フィンガを移
動したとき、左フィンガおよび右フィンガが共に回動
し、左クランプ用爪、中央クランプ用爪および右クラン
プ用爪によって、ウエハの外周面をクランプするもので
ある。
ドリングロボット用ハンドは、一端に左クランプ用爪を
設け、回動可能に装着した左フィンガと、一端に中央ク
ランプ爪を設け、移動可能に装着した中央フィンガと、
一端に右クランプ爪を設け、回動可能に装着した右フィ
ンガとから構成し、駆動手段によって中央フィンガを移
動したとき、左フィンガおよび右フィンガが共に回動
し、左クランプ用爪、中央クランプ用爪および右クラン
プ用爪によって、ウエハの外周面をクランプするもので
ある。
【０００８】
【作用】本発明は、ウエハの外周面を３点で支持し、ハ
ンドを大気中でも、真空中でも高速に動かすことができ
る。
ンドを大気中でも、真空中でも高速に動かすことができ
る。
【０００９】
【実施例】図１は本発明に係るウエハハンドリングロボ
ット用ハンドの一実施例を示す平面図であり、ハンド開
時を示す。図２は図１の側面図である。図において、３
はハンドベース、４はエアーシリンダあるいはソレノイ
ドアクチュエータなどの駆動部であり、この駆動部４は
図２に示すように、取付金具５によってハンドベース３
に固定する。６は左フィンガであり、この左フィンガ６
はハンドベース３に固定した軸７によって回動自在に支
持され、一端には左クランプ用爪８が装着し、他端には
左カムフォロア９が装着している。１０は右フィンガで
あり、この右フィンガ１０はハンドベース３に固定した
軸１１によって回動自在に支持され、一端には右クラン
プ用爪１２が装着し、他端には右カムフォロア１３が装
着している。１４は中央フィンガであり、この中央フィ
ンガ１４は、連結用ブラケット１５を介して駆動部４の
駆動軸４ａに固着する。そして、この中央フィンガ１４
の一端には、中央クランプ用爪１６が装着し、他端に
は、左カムフォロア用凹部１７、右カムフォロア用凹部
１８が設けられている。そして、この左カムフォロア用
凹部１７に左カムフォロア９を挿入し、この右カムフォ
ロア用凹部１８に右カムフォロア１３を挿入する。１９
はストッパ用突起であり、このストッパ用突起１９は中
央フィンガ１４の他端に固着する。２０はクランプ時の
位置決めストッパであり、この位置決めストッパ２０
は、クランプ動作時に、ストッパ用突起１９が当たるよ
うに調整可能にハンドベース３に固定する。２１はハン
ドクローズ検出センサであり、このハンドクローズ検出
センサ２１はハンドベース３に固着する。２２はバネか
けであり、このバネかけ２２は中央フィンガ１４の他端
に固着する。２３はバネかけであり、このバネかけ２３
はハンドベース３に固着する。２４はこのバネかけ２２
とバネかけ２３の間に設けたバネである。
ット用ハンドの一実施例を示す平面図であり、ハンド開
時を示す。図２は図１の側面図である。図において、３
はハンドベース、４はエアーシリンダあるいはソレノイ
ドアクチュエータなどの駆動部であり、この駆動部４は
図２に示すように、取付金具５によってハンドベース３
に固定する。６は左フィンガであり、この左フィンガ６
はハンドベース３に固定した軸７によって回動自在に支
持され、一端には左クランプ用爪８が装着し、他端には
左カムフォロア９が装着している。１０は右フィンガで
あり、この右フィンガ１０はハンドベース３に固定した
軸１１によって回動自在に支持され、一端には右クラン
プ用爪１２が装着し、他端には右カムフォロア１３が装
着している。１４は中央フィンガであり、この中央フィ
ンガ１４は、連結用ブラケット１５を介して駆動部４の
駆動軸４ａに固着する。そして、この中央フィンガ１４
の一端には、中央クランプ用爪１６が装着し、他端に
は、左カムフォロア用凹部１７、右カムフォロア用凹部
１８が設けられている。そして、この左カムフォロア用
凹部１７に左カムフォロア９を挿入し、この右カムフォ
ロア用凹部１８に右カムフォロア１３を挿入する。１９
はストッパ用突起であり、このストッパ用突起１９は中
央フィンガ１４の他端に固着する。２０はクランプ時の
位置決めストッパであり、この位置決めストッパ２０
は、クランプ動作時に、ストッパ用突起１９が当たるよ
うに調整可能にハンドベース３に固定する。２１はハン
ドクローズ検出センサであり、このハンドクローズ検出
センサ２１はハンドベース３に固着する。２２はバネか
けであり、このバネかけ２２は中央フィンガ１４の他端
に固着する。２３はバネかけであり、このバネかけ２３
はハンドベース３に固着する。２４はこのバネかけ２２
とバネかけ２３の間に設けたバネである。
【００１０】また、図２において、２５はガイド板であ
り、このガイド板２５はガイド溝（図示せず）を備え、
ハンドベース３に固着する。２６はガイドレールであ
り、このガイドレール２６は、中央フィンガ１４に固着
し、上記ガイド板２５の溝（図示せず）内を摺動し、中
央フィンガ１４のクランプ動作をガイドする。２７はこ
のウエハ用ハンドリングロボットハンドを、ハンドリン
グロボットに装着するための取付部であり、この取付部
２７はハンドベースに固着する。
り、このガイド板２５はガイド溝（図示せず）を備え、
ハンドベース３に固着する。２６はガイドレールであ
り、このガイドレール２６は、中央フィンガ１４に固着
し、上記ガイド板２５の溝（図示せず）内を摺動し、中
央フィンガ１４のクランプ動作をガイドする。２７はこ
のウエハ用ハンドリングロボットハンドを、ハンドリン
グロボットに装着するための取付部であり、この取付部
２７はハンドベースに固着する。
【００１１】なお、２８はウエハである。
【００１２】次に、上記構成によるウエハハンドリング
ロボット用ハンドの動作、特にウエハのクランプ動作に
ついて説明する。まず、駆動部４を駆動すると、その駆
動軸４ａは矢印２９の方向に動作する。この駆動軸４ａ
の矢印２９の方向への動作により、連結用ブラケット１
５を介して中央フィンガ１４も矢印２９の方向に移動す
る。そこで、左フィンガ６の他端に装着した左カムフォ
ロア９は中央フィンガ１４の左カムフォロア用凹部１７
に係合し、右フィンガ１０の他端に装着した右カムフォ
ロア１３は中央フィンガ１４の右カムフォロア用凹部１
８に係合するため、この中央フィンガ１４の矢印２９の
方向の移動により、左フィンガ６は軸７を中心にして反
時計方向に回動し、右フィンガ１０は軸１１を中心にし
て時計方向に回動する。この結果、左フィンガ６の一端
に装着した左クランプ用爪８、中央フィンガ１４の一端
に装着した中央クランプ用爪１６および右フィンガ１０
の一端に装着した右クランプ用爪１２によって、ウエハ
２８の外周面は３点でクランプすることができる。この
とき、ストッパ用突起１９は、位置決めストッパ２０に
当たり、中央フィンガ１４の矢印２９の方向への移動は
停止し、中央フィンガ１４を位置決めすることができ
る。また、ハンドクローズ検出センサ２１により、クラ
ンプ動作の終了を検出することができ、しかも、ウエハ
２８の搬送中に、何らかの理由で、ハンドが開かないか
を常時監視することができる。
ロボット用ハンドの動作、特にウエハのクランプ動作に
ついて説明する。まず、駆動部４を駆動すると、その駆
動軸４ａは矢印２９の方向に動作する。この駆動軸４ａ
の矢印２９の方向への動作により、連結用ブラケット１
５を介して中央フィンガ１４も矢印２９の方向に移動す
る。そこで、左フィンガ６の他端に装着した左カムフォ
ロア９は中央フィンガ１４の左カムフォロア用凹部１７
に係合し、右フィンガ１０の他端に装着した右カムフォ
ロア１３は中央フィンガ１４の右カムフォロア用凹部１
８に係合するため、この中央フィンガ１４の矢印２９の
方向の移動により、左フィンガ６は軸７を中心にして反
時計方向に回動し、右フィンガ１０は軸１１を中心にし
て時計方向に回動する。この結果、左フィンガ６の一端
に装着した左クランプ用爪８、中央フィンガ１４の一端
に装着した中央クランプ用爪１６および右フィンガ１０
の一端に装着した右クランプ用爪１２によって、ウエハ
２８の外周面は３点でクランプすることができる。この
とき、ストッパ用突起１９は、位置決めストッパ２０に
当たり、中央フィンガ１４の矢印２９の方向への移動は
停止し、中央フィンガ１４を位置決めすることができ
る。また、ハンドクローズ検出センサ２１により、クラ
ンプ動作の終了を検出することができ、しかも、ウエハ
２８の搬送中に、何らかの理由で、ハンドが開かないか
を常時監視することができる。
【００１３】なお、ハンドの閉動作については、上記の
開動作を逆にすることによって、ウエハ２８をリリース
することができることは、もちろんである。
開動作を逆にすることによって、ウエハ２８をリリース
することができることは、もちろんである。
【００１４】また、ハンドを真空中で使用する場合に
は、駆動部には、ソレノイドアクチュエータを用い、大
気中で使用する場合には、駆動部にエアーシリンダを用
いる。また、ウエハのクランプ時、各クランプ用爪によ
って、カケ傷をつけないように、あるいはウエハに応力
をかけないように、位置決めストッパを調整することが
できる。
は、駆動部には、ソレノイドアクチュエータを用い、大
気中で使用する場合には、駆動部にエアーシリンダを用
いる。また、ウエハのクランプ時、各クランプ用爪によ
って、カケ傷をつけないように、あるいはウエハに応力
をかけないように、位置決めストッパを調整することが
できる。
【００１５】また、上記構成のハンドは、約８００ｍｍ
／ｓｅｃの搬送速度に上げることができる。
／ｓｅｃの搬送速度に上げることができる。
【００１６】
【発明の効果】以上、詳細に説明したように、本発明に
係るウエハハンドリングロボット用ハンドによれば、左
クランプ用爪、中央クランプ用爪および右クランプ用爪
は、ハンド開時およびハンド閉時とも常に同じ位置にあ
るため、ハンド閉時のウエハの中心出し機能を持つこと
ができる。しかも、ウエハの外周面を３点でクランプす
ることにより、ウエハの位置決めを行なうことができ、
ハンドを大気中でも、真空中でも、高速に動かすことが
できる。また、ウエハは、ハンド内で動いたり、ずれた
りすることがない。また、ウエハのクランプ時、ウエハ
に応力がかからないため、カケ、割れ、パーティクルの
付着をなくすことができるなどの効果がある。
係るウエハハンドリングロボット用ハンドによれば、左
クランプ用爪、中央クランプ用爪および右クランプ用爪
は、ハンド開時およびハンド閉時とも常に同じ位置にあ
るため、ハンド閉時のウエハの中心出し機能を持つこと
ができる。しかも、ウエハの外周面を３点でクランプす
ることにより、ウエハの位置決めを行なうことができ、
ハンドを大気中でも、真空中でも、高速に動かすことが
できる。また、ウエハは、ハンド内で動いたり、ずれた
りすることがない。また、ウエハのクランプ時、ウエハ
に応力がかからないため、カケ、割れ、パーティクルの
付着をなくすことができるなどの効果がある。
【図１】本発明に係るウエハハンドリングロボット用ハ
ンドの一実施例を示す平面図である。
ンドの一実施例を示す平面図である。
【図２】図１の側面図である。
【図３】従来のハンドを示す概略斜視図である。
【図４】従来の他のハンドを示す概略斜視図である。
６ 左フィンガ ８ 左クランプ用爪 １０ 右フィンガ １２ 右クランプ用爪 １４ 中央フィンガ １６ 中央クランプ爪 １９ ストッパ用突起 ２０ 位置決めストッパ ２１ ハンドクローズ検出センサ ２８ ウエハ
Claims (1)
- 【請求項１】 ウエハをカセットから治具へ、または治
具からカセットに移し変えるウエハハンドリングロボッ
ト用ハンドにおいて、 一端に左クランプ用爪を設け、回動可能に装着した左フ
ィンガと、一端に中央クランプ用爪を設け、移動可能に
装着した中央フィンガと、一端に右クランプ用爪を設
け、回動可能に装着した右フィンガとから構成し、駆動
手段によって中央フィンガを移動したとき、左フィンガ
および右フィンガが共に回動し、左クランプ用爪、中央
クランプ用爪および右クランプ用爪によって、ウエハの
外周面をクランプすることを特徴とするウエハハンドリ
ングロボット用ハンド。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17648093A JPH0737960A (ja) | 1993-07-16 | 1993-07-16 | ウエハハンドリングロボット用ハンド |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17648093A JPH0737960A (ja) | 1993-07-16 | 1993-07-16 | ウエハハンドリングロボット用ハンド |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0737960A true JPH0737960A (ja) | 1995-02-07 |
Family
ID=16014410
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17648093A Pending JPH0737960A (ja) | 1993-07-16 | 1993-07-16 | ウエハハンドリングロボット用ハンド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0737960A (ja) |
Cited By (14)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2000343475A (ja) * | 1999-04-01 | 2000-12-12 | Applied Materials Inc | ウェーハハンドリングロボット用の空気圧作動式撓みグリッパ |
| US6216883B1 (en) | 1998-07-24 | 2001-04-17 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Wafer holding hand |
| JP2002170862A (ja) * | 2000-12-01 | 2002-06-14 | Yaskawa Electric Corp | ウェハー把持装置 |
| WO2002049097A1 (fr) * | 2000-12-15 | 2002-06-20 | Kabushiki Kaisha Yaskawa Denki | Porte-plaquette |
| JP2002264065A (ja) * | 2001-03-13 | 2002-09-18 | Yaskawa Electric Corp | ウエハ搬送ロボット |
| WO2003092068A1 (fr) * | 2002-04-24 | 2003-11-06 | Tokyo Electron Limited | Procede et mecanisme de convoyage de substrat |
| JP2004524709A (ja) * | 2001-04-28 | 2004-08-12 | ライカ マイクロシステムス イェーナ ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング | ウェーハ用保持装置 |
| JP2004535681A (ja) * | 2001-07-14 | 2004-11-25 | ブルックス オートメーション インコーポレイテッド | 統合マッピングセンサを備えた中心位置決め用両側エッジグリップ・エンドエフェクタ |
| US6898487B2 (en) | 1998-12-02 | 2005-05-24 | Newport Corporation | Specimen sensing and edge gripping end effector |
| JP2009078311A (ja) * | 2007-09-25 | 2009-04-16 | Seiko Epson Corp | 多関節ロボット用ハンドおよびこれを備えた多関節ロボット |
| JP2010129674A (ja) * | 2008-11-26 | 2010-06-10 | Shin Etsu Polymer Co Ltd | 基板収納容器、クランプハンド、及び基板の取り出し方法 |
| JP2011061237A (ja) * | 1999-06-18 | 2011-03-24 | Applied Materials Inc | ケミカルメカニカルポリッシャ用のウェーハ搬送ステーション |
| CN102310410A (zh) * | 2010-07-02 | 2012-01-11 | 芝浦机械电子株式会社 | 夹持装置、输送装置、处理装置和电子设备的制造方法 |
| CN111128842A (zh) * | 2019-11-29 | 2020-05-08 | 东台镭创光电技术有限公司 | 一种晶圆夹具 |
-
1993
- 1993-07-16 JP JP17648093A patent/JPH0737960A/ja active Pending
Cited By (17)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6216883B1 (en) | 1998-07-24 | 2001-04-17 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Wafer holding hand |
| US6898487B2 (en) | 1998-12-02 | 2005-05-24 | Newport Corporation | Specimen sensing and edge gripping end effector |
| JP4688999B2 (ja) * | 1999-04-01 | 2011-05-25 | アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド | クランプリスト、クランプ機構、ロボットアームアセンブリ |
| JP2000343475A (ja) * | 1999-04-01 | 2000-12-12 | Applied Materials Inc | ウェーハハンドリングロボット用の空気圧作動式撓みグリッパ |
| JP2011061237A (ja) * | 1999-06-18 | 2011-03-24 | Applied Materials Inc | ケミカルメカニカルポリッシャ用のウェーハ搬送ステーション |
| JP2002170862A (ja) * | 2000-12-01 | 2002-06-14 | Yaskawa Electric Corp | ウェハー把持装置 |
| US7186297B2 (en) | 2000-12-15 | 2007-03-06 | Kabushiki Kaisha Yaskawa Denki | Wafer holding apparatus |
| WO2002049097A1 (fr) * | 2000-12-15 | 2002-06-20 | Kabushiki Kaisha Yaskawa Denki | Porte-plaquette |
| JP2002264065A (ja) * | 2001-03-13 | 2002-09-18 | Yaskawa Electric Corp | ウエハ搬送ロボット |
| JP2004524709A (ja) * | 2001-04-28 | 2004-08-12 | ライカ マイクロシステムス イェーナ ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング | ウェーハ用保持装置 |
| JP2004535681A (ja) * | 2001-07-14 | 2004-11-25 | ブルックス オートメーション インコーポレイテッド | 統合マッピングセンサを備えた中心位置決め用両側エッジグリップ・エンドエフェクタ |
| WO2003092068A1 (fr) * | 2002-04-24 | 2003-11-06 | Tokyo Electron Limited | Procede et mecanisme de convoyage de substrat |
| JP2009078311A (ja) * | 2007-09-25 | 2009-04-16 | Seiko Epson Corp | 多関節ロボット用ハンドおよびこれを備えた多関節ロボット |
| JP2010129674A (ja) * | 2008-11-26 | 2010-06-10 | Shin Etsu Polymer Co Ltd | 基板収納容器、クランプハンド、及び基板の取り出し方法 |
| CN102310410A (zh) * | 2010-07-02 | 2012-01-11 | 芝浦机械电子株式会社 | 夹持装置、输送装置、处理装置和电子设备的制造方法 |
| KR101284483B1 (ko) * | 2010-07-02 | 2013-07-16 | 시바우라 메카트로닉스 가부시끼가이샤 | 파지 장치, 반송 장치, 처리 장치 및 전자 디바이스의 제조 방법 |
| CN111128842A (zh) * | 2019-11-29 | 2020-05-08 | 东台镭创光电技术有限公司 | 一种晶圆夹具 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPH0737960A (ja) | ウエハハンドリングロボット用ハンド | |
| JP4060185B2 (ja) | 縁接触を減じたウェーハ・ハンドリング・システムおよび改造方法およびその使用 | |
| US6213708B1 (en) | System for sorting multiple semiconductor wafers | |
| US20070128015A1 (en) | Work transfer device and method of transferring work | |
| KR20010049569A (ko) | 화학-기계적 연마기용 웨이퍼 전달 스테이션 | |
| US20050004701A1 (en) | Alignment of semiconductor wafers and other articles | |
| JP2838957B2 (ja) | 産業用ロボットのハンド装置及びワーク搬送方法 | |
| JP2002264065A (ja) | ウエハ搬送ロボット | |
| JPH05293784A (ja) | ロボットハンド | |
| JPS62166517A (ja) | 半導体製造装置のスピンヘツド | |
| US4248508A (en) | Projection mask storage and carrier system | |
| JPH0536814A (ja) | ウエハ移載装置 | |
| JPH05318375A (ja) | ロボットハンド | |
| JPH08127117A (ja) | エアシャッタ装置 | |
| JPS61156749A (ja) | ウエハ−ス平板型裏面真空チヤツク | |
| JP3994934B2 (ja) | 磁気転写装置 | |
| JPH07201947A (ja) | ウェハー搬送用のロボットハンドおよびこのロボットハンドによるウェハーの保持方法 | |
| JPH0357438Y2 (ja) | ||
| JPH08229869A (ja) | アクチュエータレスロボットハンド | |
| JPH0698586B2 (ja) | ロボットハンド | |
| JPH03117547A (ja) | チャック装置 | |
| JPH0637906Y2 (ja) | 板状物体搬送装置 | |
| JPH039950Y2 (ja) | ||
| JP2004292065A (ja) | 部品反転装置 | |
| JPH04289031A (ja) | フランジ付シャフトの把持装置 |