JPH03117547A - チャック装置 - Google Patents
チャック装置Info
- Publication number
- JPH03117547A JPH03117547A JP25472889A JP25472889A JPH03117547A JP H03117547 A JPH03117547 A JP H03117547A JP 25472889 A JP25472889 A JP 25472889A JP 25472889 A JP25472889 A JP 25472889A JP H03117547 A JPH03117547 A JP H03117547A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- workpiece
- suction
- contact
- positioning ring
- actuator
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Jigs For Machine Tools (AREA)
- Grinding And Polishing Of Tertiary Curved Surfaces And Surfaces With Complex Shapes (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、工作物を把持して工作物の一端面または外周
面を加工する加工機のチャック装置に関する。
面を加工する加工機のチャック装置に関する。
この種のチャック装置の従来技術の一例として、実開昭
59−173546号公報記載のレンズ保゛持チャック
を第5図とともに以下に説明する。
59−173546号公報記載のレンズ保゛持チャック
を第5図とともに以下に説明する。
まず、レンズ保持軸lの先端部にはコレットチャック2
とそれを絞る締付はリング3が設けられている。コレッ
トチャック2の内側には軸心に空気孔4が穿設された吸
盤取付は軸5が軸方向に摺動自在に設けられており、そ
のコレットチャンク2の先端側には吸盤ゴム6が固着さ
れ、反対側の端には空気吸引升ユーブ7が取付けられて
いる。
とそれを絞る締付はリング3が設けられている。コレッ
トチャック2の内側には軸心に空気孔4が穿設された吸
盤取付は軸5が軸方向に摺動自在に設けられており、そ
のコレットチャンク2の先端側には吸盤ゴム6が固着さ
れ、反対側の端には空気吸引升ユーブ7が取付けられて
いる。
吸盤取付は軸5には軸線に直角方向に空気式弁8が螺合
している。吸盤取付は軸5の空気吸引チェーブ7取付は
側の端面とコレットチャツク2内空間の対向する面との
間には圧縮バネ9が挿入されている。空気式弁8はコレ
ットチャック2の側壁に設けられた軸方向に長い切欠き
lo内を貫通しており、その頭部を持って切欠きlo内
を摺動させることにより吸盤取付は軸5をバネ9に抗し
て引き込むことができる。吸盤ゴム6に吸着されたレン
ズ11のレンズ面が、コレットチャック2の先端よりや
や入った位置に設けられたレンズ保持基準面12に全面
的に当接する位置に吸盤取付は軸5を保持しうる如く空
気入弁8を掛止する止め爪13がコレットチャック2の
側面に植設されたピン14に軸支されている。
している。吸盤取付は軸5の空気吸引チェーブ7取付は
側の端面とコレットチャツク2内空間の対向する面との
間には圧縮バネ9が挿入されている。空気式弁8はコレ
ットチャック2の側壁に設けられた軸方向に長い切欠き
lo内を貫通しており、その頭部を持って切欠きlo内
を摺動させることにより吸盤取付は軸5をバネ9に抗し
て引き込むことができる。吸盤ゴム6に吸着されたレン
ズ11のレンズ面が、コレットチャック2の先端よりや
や入った位置に設けられたレンズ保持基準面12に全面
的に当接する位置に吸盤取付は軸5を保持しうる如く空
気入弁8を掛止する止め爪13がコレットチャック2の
側面に植設されたピン14に軸支されている。
このレンズ保持チャックによるレンズ保持の操作手順は
レンズ11の研磨済み面を吸盤ゴム6に押圧し、空気吸
引チューブ7から図示せぬ真空ポンプにて吸引し、レン
ズ11を吸盤ゴム6に保持し、次に空気入弁8を持って
バネ9の力に抗して吸盤取付は軸5を引き込み、レンズ
11の吸盤ゴム6に吸着するレンズ面の周辺部がレンズ
保持基準面12に密着した位置で止め爪13を空気入弁
8に掛止してレンズをその位置に保持した後、コレット
チャック2の締付はリング3を締付けることによりレン
ズをチャック2のレンズ保持基準位置に保持するもので
ある。
レンズ11の研磨済み面を吸盤ゴム6に押圧し、空気吸
引チューブ7から図示せぬ真空ポンプにて吸引し、レン
ズ11を吸盤ゴム6に保持し、次に空気入弁8を持って
バネ9の力に抗して吸盤取付は軸5を引き込み、レンズ
11の吸盤ゴム6に吸着するレンズ面の周辺部がレンズ
保持基準面12に密着した位置で止め爪13を空気入弁
8に掛止してレンズをその位置に保持した後、コレット
チャック2の締付はリング3を締付けることによりレン
ズをチャック2のレンズ保持基準位置に保持するもので
ある。
〔発明が解決しようとする!!!11)しかるに上記実
開昭59−173546号公報に記載されるレンズ保持
チャックにおいては、吸盤ゴムに吸着されたレンズをコ
レットチャックの先端よりやや入った位置に設けられた
レンズ保持基準面に当接させ、同時にコレットチャック
を締付けてレンズを保持し加工を行い、レンズの歪みや
肉厚のバラツキを回避しようとしているのであるが当該
構成では、レンズ保持基準面(コレットチャック側)、
あるいはレンズ吸着面に異物が付着している場合におい
ても、そのままレンズを保持基準面に当接させチャッキ
ングし、加工をしてしまうため、レンズの歪みや肉厚の
バラツキを回避した高精度な加工をすることは難しいと
いった問題がある。
開昭59−173546号公報に記載されるレンズ保持
チャックにおいては、吸盤ゴムに吸着されたレンズをコ
レットチャックの先端よりやや入った位置に設けられた
レンズ保持基準面に当接させ、同時にコレットチャック
を締付けてレンズを保持し加工を行い、レンズの歪みや
肉厚のバラツキを回避しようとしているのであるが当該
構成では、レンズ保持基準面(コレットチャック側)、
あるいはレンズ吸着面に異物が付着している場合におい
ても、そのままレンズを保持基準面に当接させチャッキ
ングし、加工をしてしまうため、レンズの歪みや肉厚の
バラツキを回避した高精度な加工をすることは難しいと
いった問題がある。
本発明は、前述のような従来技術における問題点を解消
すべくなされたものであり、工作物が保持基準面に正確
に(工作物と保持基準面との間に異物が介在することな
く)当接されているかを判断し、正確に当接されている
場合のみ加工を行うことにより、工作物の歪みや肉厚の
バラツキを回避し、高精度な加工を可能としたチャック
装置を提供することを目的とする。
すべくなされたものであり、工作物が保持基準面に正確
に(工作物と保持基準面との間に異物が介在することな
く)当接されているかを判断し、正確に当接されている
場合のみ加工を行うことにより、工作物の歪みや肉厚の
バラツキを回避し、高精度な加工を可能としたチャック
装置を提供することを目的とする。
(課題を解決するための手段および作用)以下、本発明
の概念図を第1図に示し、それに基づいて説明する。
の概念図を第1図に示し、それに基づいて説明する。
本発明は、工作物4を把持する開閉自在な把持爪2を有
するアクチュエータ1とそのアクチュエータ1の内側に
同軸的に設けられ、工作物4を吸着し、上記軸方向に移
動可能な先端部に弾性体3aを有する吸着筒3と、その
吸着筒3の外側(内側でもよい)に上記アクチュエータ
1と同軸的に設けられ、工作物4の厚さ方向に位置決め
し、流体の流れる流路6(空気吸引通路1)をもったリ
ング5と、上記吸着筒3に吸着された工作物4が上記位
置決めリング5に当接した状態に上記アクチュエータ1
の軸線上に移動可能な手段とから成る。
するアクチュエータ1とそのアクチュエータ1の内側に
同軸的に設けられ、工作物4を吸着し、上記軸方向に移
動可能な先端部に弾性体3aを有する吸着筒3と、その
吸着筒3の外側(内側でもよい)に上記アクチュエータ
1と同軸的に設けられ、工作物4の厚さ方向に位置決め
し、流体の流れる流路6(空気吸引通路1)をもったリ
ング5と、上記吸着筒3に吸着された工作物4が上記位
置決めリング5に当接した状態に上記アクチュエータ1
の軸線上に移動可能な手段とから成る。
吸着筒3は、はじめ第1図(C)に示すようにチャック
装置本体から突出した位置にあり、その位置で工作物4
を真空吸着する。その状態からさらに真空を引くことに
より、工作物4を保持した吸着筒3は、アクチュエータ
1の軸線上に沿って引き込まれ、工作物4が位置決めリ
ング5に当接するまで移動し、第1図(a)のような状
態になる。このとき、位置決めリング5の基準面(工作
物4と当接する面)と工作物4の間に異物8のようなも
のが介在し、工作物4が吸着筒3に正確に当接していな
い場合には、第1図(a)に示すように工作物4と位置
決めリング5の基準面との間にわずかな、すき間ができ
、そのすき間から位置決めリング5に設けられた6の空
気吸引通路Iに大気が流れ込む、このような大気の流れ
込む流路が形成されることにより、7の空気吸引通路■
に流れる空気の真空圧が下がることになる。この真空圧
の減少を図示せぬ真空ゲージによって、通常吸引時の真
空圧と比較することによって、工作物4が位置決めリン
グ5に正確に当接しているかを判断する。
装置本体から突出した位置にあり、その位置で工作物4
を真空吸着する。その状態からさらに真空を引くことに
より、工作物4を保持した吸着筒3は、アクチュエータ
1の軸線上に沿って引き込まれ、工作物4が位置決めリ
ング5に当接するまで移動し、第1図(a)のような状
態になる。このとき、位置決めリング5の基準面(工作
物4と当接する面)と工作物4の間に異物8のようなも
のが介在し、工作物4が吸着筒3に正確に当接していな
い場合には、第1図(a)に示すように工作物4と位置
決めリング5の基準面との間にわずかな、すき間ができ
、そのすき間から位置決めリング5に設けられた6の空
気吸引通路Iに大気が流れ込む、このような大気の流れ
込む流路が形成されることにより、7の空気吸引通路■
に流れる空気の真空圧が下がることになる。この真空圧
の減少を図示せぬ真空ゲージによって、通常吸引時の真
空圧と比較することによって、工作物4が位置決めリン
グ5に正確に当接しているかを判断する。
以上の手段を用い、工作物4と位置決めリング5が正確
に当接している場合のみアクチュエータ1の把持爪2を
閉じて工作物4を保持し加工を行うことによって、工作
物の歪みや肉厚のバラツキを回避した高精度な加工を行
うことができる。
に当接している場合のみアクチュエータ1の把持爪2を
閉じて工作物4を保持し加工を行うことによって、工作
物の歪みや肉厚のバラツキを回避した高精度な加工を行
うことができる。
以下に本発明の実施例を図面を用いて説明する。
(第1実施例)
第2図は本発明のチャック装置の第1実施例を示す断面
図である。
図である。
工はスクロールチャック、2はスクロールチャック1に
取り付けられた把持爪、3は工作物を吸着するための先
端部にゴム製の弾性体3aを有し、吸引孔3bを有する
吸着筒、4は工作物、5は工作物4の厚さ方向に位置決
めするための位置決めリング、6は位置決めリング5に
設けられた空気吸引通路I、7は図示せぬ真空ポンプか
ら吸着筒3内部に空気を引くための空気吸引通路H18
は異物、9は位置決めリング5内に介装したバネである
。
取り付けられた把持爪、3は工作物を吸着するための先
端部にゴム製の弾性体3aを有し、吸引孔3bを有する
吸着筒、4は工作物、5は工作物4の厚さ方向に位置決
めするための位置決めリング、6は位置決めリング5に
設けられた空気吸引通路I、7は図示せぬ真空ポンプか
ら吸着筒3内部に空気を引くための空気吸引通路H18
は異物、9は位置決めリング5内に介装したバネである
。
しかして、図示せぬ搬送装置によって搬送されてきた工
作物4は、まず、把持爪2の外部に突出している吸着筒
3の先端に当接し、7の空気吸引通路Uから図示せぬ真
空ポンプにて吸引することにより、工作物4を吸着筒3
に吸引しつつ保持する。
作物4は、まず、把持爪2の外部に突出している吸着筒
3の先端に当接し、7の空気吸引通路Uから図示せぬ真
空ポンプにて吸引することにより、工作物4を吸着筒3
に吸引しつつ保持する。
次に、さらに真空ポンプにて吸引を行い、工作物4を吸
着した吸着筒3を圧縮バネ9の力に抗してスクロールチ
ャック1の軸線上に沿って引き込み、工作物4が位置決
めリング5に当接するまで移動させ、工作物4をその位
置に保持する。さらに吸着筒を上昇させた時に6の空気
吸引通路■と、7の空気吸引通路■とがつながり当接確
認の吸引系が形成される。この時、工作物4は吸着筒3
の先端部が弾性体3aであるために当接保持された状態
でいる。ここで、位置決めリング5の基準面と工作物4
の間に異物8のようなものが介在し、工作物4が吸着筒
3に正確に当接していない場合には、図に示すように位
置決めリング5に設けられた6の空気吸引通路Iに大気
が流れ込む流路が形成され、7の空気吸引通路Hに流れ
る空気の真空圧が下がる。この真空圧の減少を図示せぬ
真空ゲージによって、通常吸引時との真空圧と比較する
ことにより、工作物4が位置決めリング5に正確に当接
しているかを判断し、正確に当接していない場合には、
図示せぬ清掃具により当接面を洗浄後、当接動作をもう
一度繰り返す、正確に当接されている場合にはスクロー
ルチャック1の把持爪2を第2図矢印イ方向に閉じて工
作物4を保持し加工を行う、加工後は上記手順と逆の手
順をとり、工作物4を搬送装置に戻すのである。
着した吸着筒3を圧縮バネ9の力に抗してスクロールチ
ャック1の軸線上に沿って引き込み、工作物4が位置決
めリング5に当接するまで移動させ、工作物4をその位
置に保持する。さらに吸着筒を上昇させた時に6の空気
吸引通路■と、7の空気吸引通路■とがつながり当接確
認の吸引系が形成される。この時、工作物4は吸着筒3
の先端部が弾性体3aであるために当接保持された状態
でいる。ここで、位置決めリング5の基準面と工作物4
の間に異物8のようなものが介在し、工作物4が吸着筒
3に正確に当接していない場合には、図に示すように位
置決めリング5に設けられた6の空気吸引通路Iに大気
が流れ込む流路が形成され、7の空気吸引通路Hに流れ
る空気の真空圧が下がる。この真空圧の減少を図示せぬ
真空ゲージによって、通常吸引時との真空圧と比較する
ことにより、工作物4が位置決めリング5に正確に当接
しているかを判断し、正確に当接していない場合には、
図示せぬ清掃具により当接面を洗浄後、当接動作をもう
一度繰り返す、正確に当接されている場合にはスクロー
ルチャック1の把持爪2を第2図矢印イ方向に閉じて工
作物4を保持し加工を行う、加工後は上記手順と逆の手
順をとり、工作物4を搬送装置に戻すのである。
以下同様の方法により、上記工作物4のチャックおよび
加工を連続して自動的に遂行することができる。
加工を連続して自動的に遂行することができる。
本実施例によると、工作物が基準面に正確に当接してい
るか判断することができ、工作物の歪みや肉厚のバラツ
キを回避した高精度な加工を行うことができる。
るか判断することができ、工作物の歪みや肉厚のバラツ
キを回避した高精度な加工を行うことができる。
尚、本実施例ではスクロールチャックを使用しているが
、これはコレットチャックのようなものでも同様な効果
が得られる。
、これはコレットチャックのようなものでも同様な効果
が得られる。
(第2実施例)
第3図(a)、 (b)は本発明チャック装置の第2実
施例を示す断面図および平面図である。
施例を示す断面図および平面図である。
各構成要素は第1実施例とほとんど同じであるがスクロ
ールチャックのかわりにコレットチャック10が使われ
ており、また、6の空気吸引通路■が7の空気吸引通路
■から独立し、真空源も別の構成になっている。従って
各構成要素中第1実施例と同様の構成要素には同一番号
を付してその説明を省略する。
ールチャックのかわりにコレットチャック10が使われ
ており、また、6の空気吸引通路■が7の空気吸引通路
■から独立し、真空源も別の構成になっている。従って
各構成要素中第1実施例と同様の構成要素には同一番号
を付してその説明を省略する。
しかして図示せぬ搬送装置によって搬送されてきた工作
物4は、まず、把持爪2の外部に突出している吸着筒3
の先端弾性体3aに当接し、7の空気吸引通路■から図
示せぬ真空ポンプにて吸引することにより、工作物4を
吸着筒3に保持する。
物4は、まず、把持爪2の外部に突出している吸着筒3
の先端弾性体3aに当接し、7の空気吸引通路■から図
示せぬ真空ポンプにて吸引することにより、工作物4を
吸着筒3に保持する。
次に、さらに真空ポンプにて吸引を行い、工作物4を吸
着した吸着筒3を圧縮バネ9の力に抗してコレットチャ
ック1の軸線上に沿って引き込み、工作物4が位置決め
リング5に当接するまで移動させ、工作物4をその位置
に保持する、この時、6の空気吸引通路Iにつながる別
の図示しない真空源から吸引を行い、真空圧の変化を図
示せぬ真空ゲージにより観察することにより、工作物4
が位置決めリング5に正確に当接しているかを判断する
。正確に当接していない場合には真空ゲージ圧が下がっ
てしまっているので図示せぬ清掃具により当接面を洗浄
後、当接動作をもう一度繰り返す。正確に当接されてい
る場合にはコレットチャック1の把持爪2を第3図矢印
イ方向に閉じて工作物4を保持し、加工を行う。加工後
は上記手順と逆の手順をとり工作物4を搬送装置に戻す
。
着した吸着筒3を圧縮バネ9の力に抗してコレットチャ
ック1の軸線上に沿って引き込み、工作物4が位置決め
リング5に当接するまで移動させ、工作物4をその位置
に保持する、この時、6の空気吸引通路Iにつながる別
の図示しない真空源から吸引を行い、真空圧の変化を図
示せぬ真空ゲージにより観察することにより、工作物4
が位置決めリング5に正確に当接しているかを判断する
。正確に当接していない場合には真空ゲージ圧が下がっ
てしまっているので図示せぬ清掃具により当接面を洗浄
後、当接動作をもう一度繰り返す。正確に当接されてい
る場合にはコレットチャック1の把持爪2を第3図矢印
イ方向に閉じて工作物4を保持し、加工を行う。加工後
は上記手順と逆の手順をとり工作物4を搬送装置に戻す
。
本実施例によると、第1実施例と同様に工作物が基準面
に正確に当接しているか判断することができ、工作物の
歪みや肉厚のバラツキを回避した高精度な加工を行うこ
とができる。また、本実施例では、工作物の吸引系と当
接61認の吸引系とが独立しているために第1実施例に
比べ空圧の制御が節単になり、より確実な吸引系を構成
することができる。
に正確に当接しているか判断することができ、工作物の
歪みや肉厚のバラツキを回避した高精度な加工を行うこ
とができる。また、本実施例では、工作物の吸引系と当
接61認の吸引系とが独立しているために第1実施例に
比べ空圧の制御が節単になり、より確実な吸引系を構成
することができる。
(第3実施例)
第4図(a)、 (b)は本発明チャック装置の第3実
施例を示す断面図および平面図である。
施例を示す断面図および平面図である。
各構成要素は第1実施例とほとんど同じであるが、6の
空気吸引通路■が7の空気吸引通路■から独立し、外部
に通じる構成となっている。従って、同様の構成要素に
は同一番号を付してその説明を省略する。
空気吸引通路■が7の空気吸引通路■から独立し、外部
に通じる構成となっている。従って、同様の構成要素に
は同一番号を付してその説明を省略する。
また、先端に吸着パッド20aを有する真空検査管20
が、6の空気吸引通路Iの位置に、スクロールチャツク
1外部から移動してきて当接できるような構造となって
いる。また、バネ9の代わりに、スクロールチャック1
の外部にエアシリンダ11が設けられ、ロッドllaを
吸着筒3より突設した連結片3cと連結することによっ
て吸着筒3と一体となった構造をとり、吸着筒3を上下
移動できるようになっている。
が、6の空気吸引通路Iの位置に、スクロールチャツク
1外部から移動してきて当接できるような構造となって
いる。また、バネ9の代わりに、スクロールチャック1
の外部にエアシリンダ11が設けられ、ロッドllaを
吸着筒3より突設した連結片3cと連結することによっ
て吸着筒3と一体となった構造をとり、吸着筒3を上下
移動できるようになっている。
因って、図示せぬ搬送装置によって搬送されてきた工作
物4は、まず、把持爪2の外部に突出している吸着筒3
の先端弾性体3aに当接し、7の空気吸引通路■から図
示せぬ真空ポンプにて吸引することにより工作物4を吸
着筒3に保持する。
物4は、まず、把持爪2の外部に突出している吸着筒3
の先端弾性体3aに当接し、7の空気吸引通路■から図
示せぬ真空ポンプにて吸引することにより工作物4を吸
着筒3に保持する。
次に、エアシリンダ11のロッドllaを上方に動作さ
せることにより、工作物4を吸着した吸着筒3をスクロ
ールチャック1の軸線上に沿って引き込み、工作物4が
位置決めリング5に当接するまで移動させ、工作物4を
その位置に保持する。
せることにより、工作物4を吸着した吸着筒3をスクロ
ールチャック1の軸線上に沿って引き込み、工作物4が
位置決めリング5に当接するまで移動させ、工作物4を
その位置に保持する。
それまでスクロールチャックlの外部に位置していた真
空検査管20が、この時、位置決めリング5における6
の空気吸引通路Iの位置に移動し、当接する。
空検査管20が、この時、位置決めリング5における6
の空気吸引通路Iの位置に移動し、当接する。
次に上記真空検査管20につながる別の真空源から吸引
を行い、真空圧の変化を図示せぬ真空ゲージにより観察
することにより工作物4が位置決めリング5に正確に当
接しているかを判断する。
を行い、真空圧の変化を図示せぬ真空ゲージにより観察
することにより工作物4が位置決めリング5に正確に当
接しているかを判断する。
正確に当接していない場合には真空ゲージ圧が下がって
しまっているので、図示せぬ清掃具により当接面を洗浄
後、当接動作をもう一度繰り返す。
しまっているので、図示せぬ清掃具により当接面を洗浄
後、当接動作をもう一度繰り返す。
正確に当接されている場合にはアクチュエータ1の把持
爪2を閉じて工作物4を保持し加工行う。
爪2を閉じて工作物4を保持し加工行う。
加工後は上記手順と逆の手順をとり工作物4を搬送位置
に戻す。
に戻す。
本実施例によると第1実施例と同様に工作物が基準面に
正確に当接しているか判断することができ、工作物の歪
みや肉厚のバラツキを回避した高精度な加工を行うこと
ができる。また、本実施例では当接確認の吸引系が全く
独立した構成となっており、空気吸引通路Iも簡単な通
し穴でよいことなど、チャック装置本体の構造を簡単に
することができる。また吸着筒の上下移動を吸着手段と
は別の手段で行うことにより、工作物の吸着と吸着筒の
移動のタイミングを自在に調節することができる。
正確に当接しているか判断することができ、工作物の歪
みや肉厚のバラツキを回避した高精度な加工を行うこと
ができる。また、本実施例では当接確認の吸引系が全く
独立した構成となっており、空気吸引通路Iも簡単な通
し穴でよいことなど、チャック装置本体の構造を簡単に
することができる。また吸着筒の上下移動を吸着手段と
は別の手段で行うことにより、工作物の吸着と吸着筒の
移動のタイミングを自在に調節することができる。
本発明によると、工作物が基準面に正確に当接している
か否かを判断することができ、工作物の歪みやバラツキ
を回避した高精度な加工を行うことができる。
か否かを判断することができ、工作物の歪みやバラツキ
を回避した高精度な加工を行うことができる。
第1図は本発明の概念図を示し、第1図(a)は断面図
、第1図(b)は同平面図、第1図(C)は工作物の保
持工程を示す説明図、第2図は本発明チャック装置の第
1実施例を示す断面図、第3図(a)および0))は同
第2実施例を示す断面図および平面図、第4図(a)お
よび(b)は同第3実施例を示す断面図および平面図、
第5図(a)および(b)は従来のチャック装置を示す
断面図および部分平面図である。 1・・・把持爪開閉用アクチュエータ 2・・・把持爪 3・・・吸着筒 4・・・工作物 5・・・位置決めリング 6・・・空気吸引通路I 7・・・空気吸引通路■ 8・・・異物 9・・・バネ 10・・・コレットチャック 11・・・エアシリンダ 20・・・真空検査管 (0) (c) 第 図 第 図 (0) 第 図 (CI) 第 図 (b) (a) 第 図
、第1図(b)は同平面図、第1図(C)は工作物の保
持工程を示す説明図、第2図は本発明チャック装置の第
1実施例を示す断面図、第3図(a)および0))は同
第2実施例を示す断面図および平面図、第4図(a)お
よび(b)は同第3実施例を示す断面図および平面図、
第5図(a)および(b)は従来のチャック装置を示す
断面図および部分平面図である。 1・・・把持爪開閉用アクチュエータ 2・・・把持爪 3・・・吸着筒 4・・・工作物 5・・・位置決めリング 6・・・空気吸引通路I 7・・・空気吸引通路■ 8・・・異物 9・・・バネ 10・・・コレットチャック 11・・・エアシリンダ 20・・・真空検査管 (0) (c) 第 図 第 図 (0) 第 図 (CI) 第 図 (b) (a) 第 図
Claims (1)
- (1)工作物を把持するチャック装置において、工作物
を把持する開閉自在な把持爪を有するアクチュエータと
、上記アクチュエータの内側に同軸的に設けられ、工作
物を吸着し、上記軸方向に移動可能な先端部に弾性体を
有する吸着筒と、その吸着筒の内側または外側に上記ア
クチュエータと同軸的に設けられ、工作物の厚さ方向に
位置決めし、流体の流れる流路を持ったリングと、上記
吸着筒に吸着された工作物が上記位置決めするリングに
当接するように上記アクチュエータの軸方向に移動可能
な手段とを有することを特徴とするチャック装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP25472889A JPH03117547A (ja) | 1989-09-29 | 1989-09-29 | チャック装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP25472889A JPH03117547A (ja) | 1989-09-29 | 1989-09-29 | チャック装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH03117547A true JPH03117547A (ja) | 1991-05-20 |
Family
ID=17269029
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP25472889A Pending JPH03117547A (ja) | 1989-09-29 | 1989-09-29 | チャック装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH03117547A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008136839A (ja) * | 2006-11-08 | 2008-06-19 | Lion Office Products Corp | キー保管用バインダー |
JP2008279584A (ja) * | 2007-05-14 | 2008-11-20 | Olympus Corp | 保持具、研磨装置、研磨方法 |
JP2010247308A (ja) * | 2009-04-20 | 2010-11-04 | Olympus Corp | ワーク保持装置 |
-
1989
- 1989-09-29 JP JP25472889A patent/JPH03117547A/ja active Pending
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008136839A (ja) * | 2006-11-08 | 2008-06-19 | Lion Office Products Corp | キー保管用バインダー |
JP2008279584A (ja) * | 2007-05-14 | 2008-11-20 | Olympus Corp | 保持具、研磨装置、研磨方法 |
JP2010247308A (ja) * | 2009-04-20 | 2010-11-04 | Olympus Corp | ワーク保持装置 |
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