JP2002043219A - レーザ装置管理システム - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 遠隔地において、レーザ装置の状態を示す情
報を、予め設定されるイベント毎にデータ収集すること
により、消耗部品の寿命の予測やレーザ装置のトラブル
の事前予測を行うことのできるレーザ装置管理システム
を提供すること。 【解決手段】 レーザ装置２を制御しているレーザ制御
装置１０は、例えば一定の放電パルス数発生など予め設
定された特定のイベントが発生する毎に、当該レーザ装
置２の状態を示す状態情報をレーザ装置２から取得し
て、監視端末２０へ送信する。監視端末２０は、受信し
た状態情報を通信回線５０を介してサーバ装置３０へ転
送する。サーバ装置３０では、転送された状態情報を基
に、自己内のデータベースを変更すると共に出力情報を
生成する。この出力情報は、通信回線５０を介して表示
端末４０に入力され、ここで表示される。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、稼働時に部品の消
耗等により運転状況が変化する半導体製造装置あるいは
露光用のレーザ装置を遠隔で管理するレーザ装置管理シ
ステムに関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、工場に配置される半導体製造装置
に用いられる露光用のエキシマレーザ装置などのレーザ
装置では、例えば放電電極などの部品の消耗等に起因し
て運転状況が変化することにより、レーザ出力特性が所
望の特性にならない。このため、上記工場に対して遠隔
地に存在する保守要員は、定期的に上記工場に出張し、
消耗した部品の交換や、ショット数（レーザ発振数）に
応じた動作電圧の設定変更などの保守作業を実施してい
る。

【０００３】また、上記レーザ装置においては突発的な
不具合が発生することもあり、このような場合にも、上
記工場に出張して保守作業を実施している。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
た従来のレーザ装置においては、次のような問題点があ
った。

【０００５】（１）突発的な不具合発生時に、交換部
品、保守要員等の人員などのリソースを迅速に調達する
ことができないため、半導体製造装置を長時間停止させ
てしまう。同様に、工場の現地において得られる限られ
た情報だけでは適切な不具合解析を行うことができず、
半導体製造装置の長時間停止が発生する場合があった。

【０００６】（２）レーザ装置の例えば放電電極やウイ
ンドウなどの個体差などにより、設計時に予め設定され
た定期メンテナンスの間隔では、的確な保守が行えない
場合がある。例えば、消耗部品は、レーザ装置の稼働状
況によっては、設定寿命と同程度の寿命となる場合もあ
れば、設定寿命よりも早く寿命に達してしまう場合もあ
る。このため、従来では、レーザ出力特性に影響を与え
ないように、メンテナンス間隔を実際の設定寿命よりも
短く設定しなければならず、消耗部品が設定寿命と同程
度の寿命となる場合においては、性能上十分使用できる
にも係わらず、当該消耗部品を新規な部品と交換しなけ
ればならず、部品（資源）を有効に利用することができ
なかった。

【０００７】（３）レーザ装置では、上述したように放
電電極の消耗などにより運転状況が変わるため、この運
転状況に応じて、レーザ発振させるためのパラメータを
再設定する必要があるが、メンテナンス間隔が長いた
め、ベストチューニングが行えない場合がある。

【０００８】また、上述した（１）の問題点を解決すべ
く、オペレータが遠隔地において、レーザ装置を操作お
よび管理できるようにした装置（システム）が実現され
ている。

【０００９】このような装置（システム）としては、特
開平７−１４２８０１号公報に記載されたレーザ装置が
知られている。

【００１０】このレーザ装置では、インタフェース変換
器を介して通信網に接続されたエキシマレーザ発振器
が、オペレータが把握すべき情報を前記通信網に接続さ
れた遠隔操作管理用の端末機器へ送信すると、該端末機
器は、受信した情報を画面表示する。そして、オペレー
タは、画面表示された受信情報（オペレータが把握すべ
き情報）を参照して、エキシマレーザ発振器の内部情報
（チャンバ内圧力値等の制御変数）を収集、分析を行
う。

【００１１】また、上記エキシマレーザ発振器近傍に位
置する操作管理用のコンピュータ機器、およびコンピュ
ータ機器としての上記端末機器それぞれにおいて、操作
管理用ソフトウェアをインストールして、該ソフトウェ
アを実行することにより、ソフトウェアの機能をコント
ローラとしての機能として使用している。これにより、
エキシマレーザ発振器におけるＲＯＭ内のプログラムを
書き換えることなく、ソフトウェアの内容を変えること
で、コントローラとしての機能を変更している。

【００１２】しかしながら、上記公報に記載された装置
では、次のような問題点がある。

【００１３】（１）オペレータ自身によって、画面表示
された受信情報を基に、エキシマレーザ発振器の内部情
報を分析しなければならず、その作業が面倒である。ま
た、場合によっては誤った分析をしてしまう可能性もあ
り、エキシマレーザ発振器の正確な保守および管理を行
うことができない。

【００１４】（２）コンピュータ機器または端末機器に
よって実行される操作管理用ソフトウェアを変更する場
合には、バージョンアップ毎に、当該ソフトウェアをイ
ンストールし直さなければならない。特に、複数のコン
ピュータ機器または端末機器が存在する場合には、全て
の機器に対して、バージョンアップ後のソフトウェアを
インストールし直さなければならない。

【００１５】本発明は、こうした実状に鑑みてなされた
ものであり、遠隔地において、レーザ装置の状態を示す
情報を、予め設定されるイベント毎にデータ収集するこ
とにより、消耗部品の寿命の予測やレーザ装置のトラブ
ルの事前予測を行うことのできるレーザ装置管理システ
ムを提供することを解決課題とする。

【００１６】

【課題を解決するための手段、作用および効果】上記解
決課題を達成するため、請求項１に係る発明では、レー
ザ発振する露光用のレーザ装置の状態を監視する監視端
末と、データベースを有するサーバ装置と、前記データ
ベースの内容に基づく出力情報を出力する出力手段を有
する出力端末とが通信回線を介して接続され、前記通信
回線を介して、少なくとも、前記監視端末及び表示端末
と前記サーバ装置との間でデータ通信を実施するレーザ
装置管理システムであって、前記監視端末は、前記レー
ザ装置に関係する予め設定されたイベントが発生したと
きに、当該レーザ装置の状態を示す状態情報を、当該レ
ーザ装置から取得して前記サーバ装置へ送信する処理手
段を具備し、前記サーバ装置は、前記処理手段から送信
された前記状態情報を前記データベースに保存する保存
手段と、前記データベースの内容に基づく出力情報を生
成して前記出力端末へ送信する生成手段とを具備するこ
とを特徴とする。

【００１７】この請求項１に係る発明を図１２を参照し
て説明する。

【００１８】レーザ制御装置１０、１０Ａは、例えば、
下記に示す特定のイベントが発生する毎に、レーザ装置
の状態を示す情報（ここでは保守情報とする）をレーザ
装置から取得する。

【００１９】つまり、特定のイベントには、 （１）一定時間経過、一定運転時間経過、一定放電パル
ス数の発振 （２）エラーまたはワーニングの発生 （３）メイテナンス作業の完了（操作記録）、ガス交換
などのレーザ装置固有の定期作業の完了 が含まれている。

【００２０】レーザ制御装置１０、１０Ａは、上述した
特定のイベントが発生する毎に、装置ＩＤと保守データ
を含む保守情報をＬＡＮ８０を介して監視端末２０へ送
信する（処理Ｐ８１）。

【００２１】監視端末２０は、受信した保守情報をネッ
トワーク５０を介してサーバ装置３０へ送信する（処理
Ｐ３、Ｐ４）。

【００２２】サーバ装置３０では、データベース更新処
理機能２１２によって、受信した受信データ（つまり保
守情報）に基づいてデータベース３３を更新する（処理
Ｐ５）。このとき、装置ＩＤ毎に、保守データを更新す
ることになる。

【００２３】また、サーバ装置３０は、データベースを
更新した場合には、表示データ作成＆通信機能２１３に
よって、更新後のデータベースに基づいて、表示端末４
０へ出力する表示データを作成し処理Ｐ６）、該作成し
た表示データを、表示データ作成＆通信機能２１３によ
って、ネットワーク５０を介して表示端末４０へ送信す
る（処理Ｐ７、Ｐ８）。

【００２４】表示端末４０では、受信した表示データを
表示装置４５に表示する（処理Ｐ９） 以上説明したように、請求項１に係る発明によれば、例
えば、一定時間経過、一定放電パルス数の発振などの特
定のイベント発生毎に、保守情報が、サーバ装置３０へ
送信され、ここで蓄積され、さらに表示端末４０に表示
される。従って、遠隔地においても、定期的にレーザ装
置の状態を示す情報をデータ収集することができること
となり、レーザ装置の状態を定期的にかつ正確に把握す
ることができる。

【００２５】また、請求項２に係る発明では、送信元装
置から送信されたレーザ装置の状態を示す状態情報を記
憶するデータベースと、該データベースの内容に基づく
出力情報を生成して送信先装置へ送信する生成手段とを
有するサーバ装置が接続されている通信回線と接続さ
れ、この通信回線を介して前記サーバ装置との間でデー
タ通信を実施する監視端末および表示端末を具備し、前
記監視端末は、レーザ発振する露光用のレーザ装置に関
係する予め設定されたイベントが発生したときに、当該
レーザ装置の状態を示す状態情報を、当該レーザ装置か
ら取得して前記通信回線へ送信する処理手段を備え、前
記表示端末は、前記通信回線を介して受信した前記サー
バ装置からのデータベースの内容に基づく出力情報を出
力する出力手段を具備することを特徴とする。

【００２６】この請求項２に係る発明は、請求項１に係
る発明を別の視点から捉えた発明であるので、上記請求
項１に係る発明と同様の処理が行われる。したがって、
請求項２に係る発明においても、上記請求項１に係る発
明と同様の作用効果を得ることができる。

【００２７】また、請求項３に係る発明では、請求項１
又は２に係る発明において、前記サーバ装置の生成手段
は、前記データベースに保存されている状態情報のう
ち、過去一定時間の状態情報に基づいて、前記レーザ装
置の状態を診断し、該診断結果を示す出力情報を生成し
て前記出力端末へ送信することを特徴とする。

【００２８】また、請求項４に係る発明では、請求項１
又は２発明において、前記サーバ装置の生成手段は、前
記データベースに保存されている最新の状態情報と予め
設定された診断基準とに基づいて、前記レーザ装置の状
態を診断し、該診断結果を示す出力情報を生成して前記
出力端末へ送信することを特徴とする。

【００２９】また、請求項５に係る発明では、請求項１
又は２に係る発明において、前記監視端末の処理手段
は、前記レーザ装置がガスレーザ装置であった場合に、
当該ガスレーザ装置における放電パルスの回数を示す情
報を状態情報として取得して、前記サーバ装置へ送信
し、前記サーバ装置の前記生成手段は、前記データベー
スに記憶されている最新の放電パルスの回数を示す情報
に基づいて、前記ガスレーザ装置の状態の異常を予測
し、該予測結果を示す出力情報を生成して前記出力端末
へ送信することを特徴とする。

【００３０】また、第６発明では、第１又は第２発明に
おいて、前記監視端末の処理手段は、前記レーザ装置が
ガスレーザをレーザ発振するガスレーザ装置であった場
合に、当該ガスレーザ装置に使用されている部品の寿命
に影響を与える当該ガスレーザ装置の放電パルスの回数
を含む稼働状況を示す情報を、前記状態情報として取得
して前記サーバ装置へ送信し、前記サーバ装置の生成手
段は、前記データベースに記憶されている状態情報に基
づいて、前記部品の寿命を予測し、該予測結果を示す出
力情報を生成して前記出力端末へ送信することを特徴と
する。

【００３１】これら請求項３乃至６に係る発明を図１４
を参照して説明する。

【００３２】図示しないレーザ制御装置は、イベントが
発生すると、レーザ装置に関する保守情報を取得して、
ＬＡＮ８０を介して監視＆表示端末９０へ転送する。

【００３３】監視＆表示端末９０は、レーザ制御装置か
ら送信された装置ＩＤと保守データを含む保守情報を受
信すると、この保守情報を、ネットワーク５０を介して
サーバ装置３０へ転送する（処理Ｐ３０１、Ｐ３０２）
サーバ装置３０では、ネットワーク５０を介して転送さ
れてきた保守情報を受信すると、データベース更新処理
機能２１２によって、当該保守情報を基にデータベース
３３を更新すると共に（処理Ｐ３０３）、装置状況判定
機能２２３によって、データベース３３に蓄積された保
守情報を基にレーザ装置の状態を診断する（処理Ｐ３０
４）。

【００３４】次に、サーバ装置３０は、警告通知機能２
２４によって、装置状況判定機能２２３により判定され
た判定結果に基づくレーザ装置の状況を警告情報とし
て、ネットワーク５０を介して監視＆表示端末９０へ通
知する（処理Ｐ３０５、Ｐ３０６）。

【００３５】ところで、監視＆表示端末９０では、ネッ
トワーク５０を介して転送されてきたサーバ装置３０か
らの警告情報を受信すると、表示端末通信＆表示プログ
ラム２２２を実行することにより、当該受信した警告情
報に基づく警告内容を表示装置に表示する。

【００３６】これによって、監視＆表示端末９０の表示
装置を参照している利用者、たとえば保守要員者は、表
示された警告内容を基に、レーザ装置のトラブルを早期
に発見して、所定の保守作業を行うことができる。

【００３７】ところで、装置状況判定機能２２３による
レーザ装置の状態の判定には、各種の方法があるので、
これらの判定方法について説明する。

【００３８】（１）保守データと予め設定された判定基
準とを比較し、この比較結果に応じて、レーザ装置の状
況を判定する。たとえば、保守データに含まれる例えば
「放電（あるいは発振）パルス数」と判定基準となるパ
ルス数とを比較し、放電（あるいは発振）パルス数が判
定基準値を超えていた場合には、その旨を、一方、放電
（あるいは発振）パルス数が判定基準値の例えば７０％
や８０％に達していた場合は、その旨を、判定結果とす
る。

【００３９】ここで、具体的な判定例を下記に示す。

【００４０】（Ａ）「消耗部品の稼働時間や放電（ある
いは発振）パルス数が規定の値を超えた又は近づいた」
という旨の判定。

【００４１】この判定は、消耗部品の寿命を予測してい
ることを意味し、実際の値が規定の値を超えた場合には
消耗部品は寿命に達して部品交換が必要であることを意
味し、一方、実際の値が規定の値に近接している場合
は、消耗部品は近い将来寿命に達することを意味してい
る。しかし、定期的に保守情報を収集しているので、実
際の値が規定の値を超える以前に、消耗部品が近い将来
寿命に達するということを把握することができるので、
早急に対処することが可能となる。

【００４２】（Ｂ）「装置稼働時間、放電（あるいは発
振）パルス数が規定の定期メンテナンス間隔を超えた又
は近づいた」という旨の判定。

【００４３】（２）過去一定期間中に発生したイベント
に応じて記憶されている保守データに含まれる「放電
（あるいは発振）パルス数」に基づいて、時系列的な変
化つまり、時間（期間）に対する放電パルス数の特性を
示すグラフを求め、この特性グラフの傾斜の割合を基
に、レーザ装置の状態を判定するようにする。この特性
グラフの傾斜の割合率が、予め設定された傾斜の割合を
超えた場合には、異常である旨を、一方、予め設定され
た傾斜の割合よりも小さい場合は、その旨を、判定結果
とする。

【００４４】ここで、具体的な判定例を下記に示す。

【００４５】（Ａ）「レーザ光の波長や放電電圧などの
光品質に関連する値のバラツキが規定の値を超えた又は
近づいた」という旨の判定。

【００４６】なお、この場合、判定せずに、上記特性グ
ラフを長期トレンド情報として出力するようにしても良
い。

【００４７】以上説明したように、請求項３及び４に係
る発明によれば、イベント毎に発生したレーザ装置の状
態を示す情報に基づいて、当該レーザ装置の状態を診断
することができる。また、請求項５に係る発明によれ
ば、レーザ装置の状態の異常を予測することができる。
さらに、請求項６に係る発明によれば、部品の寿命を予
測することができる。

【００４８】また、請求項７に係る発明では、請求項１
又は２に係る発明において、前記サーバ装置は、前記監
視端末が実行すべき所定の処理を遂行させる第１のプロ
グラムを記憶すると共に、前記表示端末が実行すべき所
定の処理を遂行させる第２のプログラムを記憶する記憶
手段と、前記監視端末または表示端末からの送信要求に
応答して、前記第１のプログラムを前記監視端末へ送信
するか、または前記第２のプログラムを前記出力端末へ
送信するプログラム送信手段とを、更に具備し、前記監
視端末は、前記プログラム送信手段により送信された第
１のプログラムを実行する第１の実行手段を更に具備
し、前記出力端末は、前記プログラム送信手段により送
信された第２のプログラムを実行する第２の実行手段を
更に具備することを特徴とする。

【００４９】次に、請求項７に係る発明を図２０を参照
して説明する。

【００５０】サーバ装置の管理者は、サーバ装置３０に
おいて、例えば、レーザ制御装置により実行されるプロ
グラムがバージョンアップされた場合は、その変更内容
に応じて、自己が記憶しているデータのプロパティ（フ
ォーマット、項目数）および解析手法を示すデータを変
更すると共に、監視端末プログラム２５２Ａおよび表示
端末プログラム２５２Ｂを変更する。

【００５１】そして、サーバ装置３０は、プログラムが
バージョンアップされた旨を表示端末あるいは監視端末
へ送信する。

【００５２】例えば、表示端末４０は、表示装置に画面
表示された「表示端末プログラムがバージョンアップさ
れた旨」に基づき、ユーザＩＤおよびパスワードなどユ
ーザ認証に必要な情報と共に当該プログラムをダウンロ
ードする旨を入力する。

【００５３】これらのデータは、ネットワーク５０を介
してサーバ装置３０に送信されるので、サーバ装置３０
は、受信したユーザＩＤおよびパスワードに対応する表
示端末へバージョンアップされた表示端末プログラム２
５２Ｂを送信する。

【００５４】表示端末４０では、受信したバージョンア
ップされた表示端末プログラム２５２Ｂを、外部記憶装
置４３にダウンロードすると共に、配布プログラム実行
機能２５３によって、ダウンロードされた表示端末プロ
グラム２５２Ｂを実行することにより、バージョンアッ
プされた表示端末プログラム２５２Ｂの実行に基づいた
表示データの表示を行うことができる。

【００５５】以上説明したように、請求項７に係る発明
によれば、レーザ装置の制御ソフトウェアが変更された
場合であっても、サーバ装置において、表示端末用また
は監視端末用のプログラムの該当する箇所を修正し、当
該各端末によって、バーションアップされた当該プログ
ラムをダウンロートすれば良いので、各端末側でのプロ
グラムの修正は不要になる。

【００５６】また、請求項８に係る発明では、請求項１
又は２に係る発明において、前記出力端末は、前記レー
ザ装置の出力特性に影響を与えるパラメータの値を前記
サーバ装置へ送信する第１の送信手段を更に具備し、前
記サーバ装置は、前記第１の送信手段からのパラメータ
を前記監視端末へ送信する第２の送信手段を更に具備
し、前記監視端末は、前記第２の送信手段からのパラメ
ータをレーザ装置へ転送する転送手段を更に具備するこ
とを特徴とする。

【００５７】次に、請求項８に係る発明を図２１を参照
して説明する。

【００５８】例えば、保守要員が、表示端末４０に表示
された表示内容を監視することにより、レーザ装置の運
転状況に変化があったと認識して、一定の放電エネルギ
ーを得るために、入力装置４６を操作して、当該レーザ
装置の装置ＩＤの入力と共に、当該レーザ装置のパラメ
ータの値を変更して、パラメータの変更要求を指示した
とする。このとき変更されたパラメータを装置パラメー
タ２６４Ｂとする。

【００５９】この装置パラメータ２６４Ｂおよび装置Ｉ
Ｄは、ネットワーク５０を介してサーバ装置３０に入力
される。

【００６０】すると、サーバ装置３０では、装置パラメ
ータ２６４Ｂを配布するために、プログラム＆パラメー
タ配布機能２６４を実行することにより、受信した装置
パラメータ２６４Ｂおよび装置ＩＤを、当当該装置ＩＤ
で示されるレーザ装置を制御しているレーザ制御装置を
管理している監視端末（例えば監視端末２０）へ送信す
る。

【００６１】監視端末２０は、受信した装置パラメータ
２６４Ｂを、受信した装置ＩＤで示されるレーザ装置を
制御しているレーザ制御装置（例えばレーザ制御装置１
０）へ転送する。

【００６２】このレーザ制御装置１０は、外部記憶装置
１７Ｂからメモリ１７Ａへ、プログラム＆パラメータダ
ウンロード機能２６１を遂行させるためのプログラムを
ロードし、実行することにより、転送されてきた装置パ
ラメータ２６４Ｂをダウンロードする。

【００６３】以上説明したように、請求項８に係る発明
によれば、レーザ装置を制御するためのプログラムやパ
ラメータの保守作業も遠隔地から実施することが可能と
なり、よってレーザ装置の保守作業の効率を向上させる
ことが可能となる。

【００６４】また、請求項９に係る発明では、請求項１
又は２に係る発明において、イベントは一定時間経過で
あることを特徴とする。

【００６５】また、請求項１０に係る発明では、請求項
１又は２に係る発明において、イベントは一定時間運転
であることを特徴とする。

【００６６】また、請求項１１に係る発明では、請求項
１又は２に係る発明において、イベントは一定の放電パ
ルス数であることを特徴とする。

【００６７】また、請求項１２に係る発明では、請求項
１又は２に係る発明において、イベントはエラー発生で
あることを特徴とする。

【００６８】また、請求項１３に係る発明では、請求項
１又は２に係る発明において、イベントは警告であるこ
とを特徴とする。

【００６９】また、請求項１４に係る発明では、請求項
１又は２に係る発明において、イベントはメンテナンス
作業実施後の操作記録であることを特徴とする。

【００７０】また、請求項１５に係る発明では、請求項
１又は２に係る発明において、イベントはレーザ装置固
有の定期作業終了であることを特徴とする。

【００７１】また、請求項１６に係る発明では、請求項
１又は２に係る発明において、イベントはマニュアルロ
グ取得指令であることを特徴とする。

【００７２】さらに、請求項１７に係る発明では、請求
項１又は２に係る発明において、イベントは通信による
リモートログ取得指令であることを特徴とする。

【００７３】これら請求項９乃１７に係る発明では、上
述した予め設定されたイベント毎にレーザ装置の状態を
示す情報がデータ収集される。このため、これらのイベ
ント毎に定期的にレーザ装置の状態を示す情報がデータ
収集されるので、当該レーザ装置の状態を早急に把握す
ることが可能となる。

【００７４】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て説明する。

【００７５】図１は、本発明に係るレーザ装置管理シス
テムの構成図を示している。

【００７６】このレーザ装置管理システムは、露光機１
の露光光源であるレーザ装置２を制御すると共に、イベ
ント毎にレーザ装置２の状態を示す情報を当該レーザ装
置から取得するレーザ制御装置１０と、レーザ制御装置
１０が取得したレーザ装置２の状態を示す情報をサーバ
装置３０へ転送する監視端末２０と、受信した情報をデ
ータベースに蓄積すると共に加工して出力するサーバ装
置３０と、装置の状態を表示する表示端末４０とが、そ
れぞれネットワーク５０を介して接続されている。ここ
では、露光機１とレーザ制御装置１０とで半導体製造装
置６０が構成されている。

【００７７】なお、図１においては、１台の監視端末２
０のみが示されているが、複数の監視端末がネットワー
ク５０に接続されていても良い。また、監視端末２０
は、１台の半導体製造装置（あるいはレーザ装置）を監
視するようになっているが、複数の半導体製造装置を監
視するようにしても良い。この場合、複数の半導体製造
装置は、同一の工場に配置されている場合や、複数の工
場に分散して配置されている場合がある。

【００７８】表示端末４０においては、遠隔保守管理用
の端末を想定しているので、保守要員が配置されてい
る。従って、表示端末４０は、半導体製造装置６０の近
傍に存在している必要はないものの、一定期間内（一定
時間内）に保守点検できる地点に存在していることが好
ましい。

【００７９】ここで、監視端末２０、サーバ装置３０、
表示端末４０および半導体製造装置６０は同一地域（同
一国）に存在している必要はない。

【００８０】例えば、サーバ装置３０はＡ国に存在し、
監視端末２０、表示端末４０および半導体製造装置６０
はＢ国に存在していても良い。また、上記各構成要素は
各々異なる州に存在していても良い。

【００８１】ネットワーク５０は、電話回線やＩＳＤＮ
（サービス統合ディジタル網）などの公衆回線を想定し
ている。勿論、専用回線であっても良い。このようなネ
ットワーク５０の利用形態としてはインターネットやイ
ントラネットやファクシミリ（ＦＡＸ）が考えられる。
ネットワーク５０をインターネットとして利用する場合
のデータ通信は、ＯＳＩ参照モデルに準拠した通信プロ
トコル、例えばＴＣＰ／ＩＰ通信プロトコルに従って行
われる。

【００８２】図２はレーザ制御装置１０の詳細な構成図
を示している。

【００８３】レーザ制御装置１０においては、ユーティ
リティ制御部１１、波長制御部１２、エネルギー制御部
１３および主制御部１４は、ローカルエリアネットワー
ク（以下、ＬＡＮという。）１５Ａに接続されている。
ＬＡＮ１５Ａは、例えば、１０ＢＡＳＥケーブルや１０
０ＢＡＳＥケーブルを使用したイーサネット（登録商
標）で構成されている。

【００８４】また、エネルギー制御部１３は、シリアル
入出力（以下、ＳＩＯという。）ポートあるいはパラレ
ル入出力（以下、ＰＩＯという。）ポート１６Ａを介し
て露光機１と接続されている。

【００８５】また、主制御部１４、メモリ１７Ａ、外部
記憶装置１７Ｂ、ＳＩＯあるいはＰＩＯポート（以下、
ＳＩＯ／ＰＩＯポートという。）１６Ｂおよびシリアル
通信ポートあるいはパラレル通信ポート（以下、シリア
ル／パラレル通信ポートという）１８は、バス１５Ｂに
接続されている。

【００８６】さらに、主制御部１４とハンディターミナ
ル１９とは例えば無線通信回線で接続されている。

【００８７】ユーティリティ制御部１１は、放電ガス圧
の制御、冷却水の管理、換気用ファンの管理を行うもの
であり、以下の監視項目を監視する。

【００８８】すなわち、監視項目としては、例えば、放
電ガス圧、供給ガス圧、ガスのリークチェック、冷却水
の温度、冷却水の流量、換気用ファンの流量がある。な
お、前記供給ガス圧としては、例えば、フッ素（Ｆ２）
ガス、クリプトン（Ｋｒ）とネオン（Ｎｅ）の混合ガ
ス、ヘリウム（Ｈｅ）ガス、窒素（Ｎ２）ガス、アルゴ
ン（Ａｒ）ガスなどの各ガス圧がある。

【００８９】波長制御部１２は、レーザ光の波長および
線幅の計測および制御を行う。具体的には、レーザ光の
波長及び線幅を計測するモニタモジュールによるモニタ
結果を取得すると共に、このモニタ結果に応じてレーザ
光の波長および線幅が所定値になるように制御する。

【００９０】エネルギー制御部１３は、ＳＩＯ／ＰＩＯ
ポート１６Ａを介して入力される露光機１からの出力高
電圧を示すデータに基づいて、放電エネルギー制御、放
電タイミング（トリガ）制御、高電圧電源の起動、停
止、指令値の設定などの高電圧管理を行うものであり、
以下の監視項目を監視する。

【００９１】すなわち、上記監視項目としては、例え
ば、放電エネルギーの検出、不正な放電（発振）の検
出、放電（発振）パルス数のカウント、高電圧、エネル
ギーばらつき（平均、σ）、高電圧電源の状態である。

【００９２】上述したユーティリティ制御部１１、波長
制御部１２およびエネルギー制御部１２は、半導体製造
装置６０あるいはレーザ装置２について予め設定された
イベントが発生した場合に、自己の制御部による監視結
果を示す情報を取得する。

【００９３】この情報は、半導体製造装置６０あるいは
レーザ装置２の状態を示す情報（以下、状態情報とい
う。）であり、これらの装置を保守するための情報（以
下、保守情報という）でもある。

【００９４】そこで、以下の説明においては、「状態情
報」を「保守情報」ということにする。この保守情報の
詳細については後述する。

【００９５】ハンディターミナル１９は、入力インタフ
ェースの機能を果たすものであり、例えば、保守情報取
得命令などのコマンドの発行、パラメータの設定、レー
ザ状態の参照の指示を行う。前記保守情報取得命令は、
詳細については後述するが、レーザ装置２に関係するイ
ベントを発生させる場合に用いられる命令であり、マニ
ュアルログ取得命令である。

【００９６】外部記憶装置１７Ｂには、主制御部１４が
データ処理するのに必要な処理手順を示すプログラム、
主制御部１４がレーザ装置１０に関係する保守情報を取
得するために必要なデータが格納されている。外部記憶
装置１７Ｂは、磁気ディスク、光ディスク、フレキシブ
ルディスクなどの記憶手段を有している。

【００９７】メモリ１７Ａには、外部記憶装置１７Ｂか
らロードされたプログラムを記憶する領域、主制御部１
４がデータ処理するのに必要な領域（例えばワークエリ
ア）が含まれている。

【００９８】シリアル／パラレル通信ポート１８は、監
視端末２０との間でシリアルあるいはパラレルの伝送方
式でデータ通信を行うためのポートである。このデータ
通信を行うための伝送媒体としては、例えば、１０ＢＡ
ＳＥケーブルや１００ＢＡＳＥケーブルを使用したイー
サネット（登録商標）がある。

【００９９】主制御部１４は、ＳＩＯポートとＰＩＯポ
ートとを有するＳＩＯ／ＰＩＯポート１６Ｂを介して、
露光機１（レーザ装置）との間でデータ通信を行うこと
により、当該露光機１の状態を監視している。すなわ
ち、主制御部１４は、レーザ操作、メンテナンス管理、
ログ処理およびエラー処理を実行する。また、主制御部
１４は、プログラム管理、パラメータ管理も行う。

【０１００】さらに、主制御部１４は、上記各制御部か
らの保守情報の取得および監視端末２０へのイベント情
報の送信を行うものであり、具体的には、次の処理を実
行する。

【０１０１】（１）ハンディターミナル１９からの保守
情報取得命令に基づいて該当する制御部にイベント情報
の取得を依頼する。

【０１０２】（２）ＬＡＮ１５Ａを介して入力されるユ
ーティリティ制御部１１、波長制御部１２およびエネル
ギー制御部１２から送信された保守情報を、監視対象と
しているレーザ装置を示す装置識別情報（以下、装置Ｉ
Ｄという。）に対応付けてメモリ１７Ａに格納するとと
もに、必要に応じて外部記憶装置１７Ｂに格納する。

【０１０３】（３）上記保守情報および装置ＩＤを、シ
リアル／パラレル通信ポート１８を介して監視端末２０
へ送信する。

【０１０４】ここで、上述した保守情報について詳細に
説明する。

【０１０５】この保守情報としては、稼働状況を示す情
報、品質情報、保守部品稼働状況を示す情報、エラー履
歴を示す情報などがある。

【０１０６】稼働状況を示す情報には、放電（あるいは
発振）パルス数、レーザ装置の稼働時間および運転時間
をそれぞれ示す情報が含まれる。品質情報には、光品
位、放電電圧およびレーザ光の波長をそれぞれ示す情報
が含まれる保守部品稼働状況を示す情報には、保守部品
の交換後の放電（あるいは発振）パルス数やレーザ装置
の稼働時間をそれぞれ示す情報が含まれる。

【０１０７】このような保守情報は、オペレータによる
上記保守情報取得命令や特定のイベントなどの予め設定
されたイベントが発生する毎にレーザ制御装置１０によ
って取得される。

【０１０８】ここで、特定のイベントには、以下の内容
が含まれている。

【０１０９】（１）一定時間経過、一定運転時間経過、
一定放電パルス数の発振。

【０１１０】（２）エラーまたはワーニングの発生。

【０１１１】（３）メイテナンス作業の完了（操作記
録）、ガス交換などのレーザ装置固有の定期作業の完
了。

【０１１２】一方、上記保守情報取得命令には、「ＢＥ
ＡＭ」、「ＷＤＩＡ」、「ＰＯＷＥＲ」および「ＷＬ
Ｃ」をそれぞれ示す命令が含まれている。

【０１１３】「ＢＥＡＭ」を示す命令は、高電圧、放電
エネルギー、ビーム状態（レーザの波長、レーザの線
幅）をそれぞれ示す情報を上記保守情報としてレーザ制
御装置１０に取得させる場合に用いられる。

【０１１４】「ＷＤＩＡ」を示す命令は、波長制御情報
およびモニタモジュールの出力であるモニタ情報を上記
保守情報としてレーザ制御装置１０に取得させる場合に
用いられる。

【０１１５】「ＰＯＷＥＲ」を示す命令は、ｎバースト
分の電源のモニタ状態（放電電圧、放電エネルギー）を
示す情報を上記保守情報としてレーザ制御装置１０に取
得させる場合に用いられる。

【０１１６】「ＷＬＣ」を示す命令は、ｎバースト分の
ビーム状態（レーザ光の波長、レーザ光の線幅）を示す
情報を上記保守情報としてレーザ制御装置１０に取得さ
せる場合に用いられる。

【０１１７】ここで、レーザ制御装置１０によって取得
されてメモリ１７Ａに記憶される、イベントに応じた保
守情報の一例を図３に示す。

【０１１８】図３において、符号７１で示される項目は
イベントを示し、符号７１Ａはイベントの名称を示し、
符号７１Ｂで示される項目はイベントの内容を示してい
る。

【０１１９】符号７２で示される項目はイベント毎の保
守情報を示している。

【０１２０】この実施形態では、符号Ｅ１〜Ｅ１１で示
すように１１通りのイベントに応じて保守情報がメモリ
１７Ａに記憶される。

【０１２１】ここで、符号Ｅ１〜５の行におけるビーム
状態を示すデータは、ガス圧、レーザ光の波長およびレ
ーザ光の線幅を示している。

【０１２２】符号Ｅ３の行におけるエラーコード（＊
１）は、エラー内容に応じたデータを示している。

【０１２３】符号Ｅ４の行におけるエラーコード（＊
２）は、光品位の異常内容に応じたデータを示してい
る。

【０１２４】符号Ｅ６の行における各モジュールの保守
情報は、消耗品交換後の時間、パルス数を示している。

【０１２５】符号Ｅ７の行におけるレーザの制御状態を
示すデータは、交換したものが手動であるか、あるいは
露光機と連動しているかを示している。

【０１２６】符号Ｅ８の行におけるＷＬはレーザ光の波
長を示し、ＢＷはレーザ光の線幅を示している。

【０１２７】符号Ｅ９の行における波長制御情報は、レ
ーザ光の波長が一定となるように制御するためのパラメ
ータを示し、モニタデータはレーザ光の波長を計測する
モニタモジュールによるモニタ結果（モニタデータ）を
示している。

【０１２８】符号Ｅ１０の行における電源のモニタ情報
は、要求発行後のｎバースト分の放電電圧、および放電
エネルギーを示している。

【０１２９】符号Ｅ１１の行におけるビーム状態を示す
データ（＊３）は要求発行後のｎバースト分のレーザ光
の波長、およびレーザ光の線幅を示している。

【０１３０】符号Ｅ８〜１１におけるＬｏｇ取得要求操
作端末操作とは、ハンディターミナル１９による保守情
報取得命令の入力操作のことである。

【０１３１】なお、上述した保守情報は装置ＩＤと組み
になって（対になって）、メモリへの記憶やデータ通信
などのデータ処理が行われる。そこで、以降の説明にお
いては、上述した「保守情報」を「保守データ」とし、
「この保守データと装置ＩＤとが組みになったもの」を
新たな「保守情報」とする。従って、保守情報は装置Ｉ
Ｄを含むものとし、必要に応じて装置ＩＤが含んでいる
旨を併記する。

【０１３２】ここで定義した内容において、保守データ
はレーザ制御装置１０と監視端末２０との間のみでデー
タ通信され、一方、保守情報は、監視端末２０とサーバ
装置３０との間、および後述するようにサーバ装置３０
と表示端末４０との間でそれぞれデータ通信されるの
で、用語が混乱することはない。

【０１３３】図４は、監視端末２０の詳細な構成図を示
している。

【０１３４】監視装置２０は、パーソナルコンピュータ
等のコンピュータから構成され、図４に示すように、中
央処理装置（以下、ＣＰＵという。）２１と、外部記憶
装置２２と、メインメモリ２３と、入力装置２４と、表
示装置２５と、シリアル／パラレル通信ポート２６と、
ネットワークインタフェース（以下、ネットワークＩＦ
という。）２７とがバス２８を介してそれぞれ接続され
ている。

【０１３５】外部記憶装置２２は、磁気ディスク、光デ
ィスク、フレキシブルディスクなどの記憶手段から構成
され、ＣＰＵ２１が保守情報を取得するための処理手順
を示すプログラムを含む各種のプログラム、必要に応じ
て保守情報を格納する。

【０１３６】メインメモリ２３は、ＲＡＭ等の記憶手段
から構成され、外部記憶装置２２からロードされたプロ
グラム、ＣＰＵ２１によって取得された保守情報等の各
種のデータを記憶する。

【０１３７】入力装置２４は、キーボードやマウスなど
の入力手段で構成され、所定のプログラムの起動を含む
各種の命令を与えるためのものである。

【０１３８】表示装置２５は、ディスプレイ等の表示手
段で構成され、所定の表示情報を表示する。勿論、保守
情報が表示される場合もある。

【０１３９】シリアル／パラレル通信ポート２６は、レ
ーザ制御装置１０との間で、シリアルあるいはパラレル
の伝送方式によりデータの送受信を行う。因みに、レー
ザ制御装置１０との間のデータ通信は、例えば、１０Ｂ
ＡＳＥケーブルや１００ＢＡＳＥケーブルを使用したイ
ーサネット（登録商標）を介して行われる。

【０１４０】ネットワークＩＦ２７は、所定の通信プロ
トコルに従って、ネットワーク５０を介してサーバ装置
３０との間でデータの送受信を行う。

【０１４１】ＣＰＵ２１は、バス２８を介して上記各構
成要素２２〜２７を制御する。例えば、ＣＰＵ２１は、
イベントが発生する毎に、シリアル／パラレル通信ポー
ト２６を介して入力されたレーザ制御装置１０からの保
守情報（装置ＩＤを含む）を、メインメモリ２３に格納
すると共にネットワークＩＦ２７を介してサーバ装置３
０へ送信する。

【０１４２】図５は、サーバ装置３０の詳細な構成図を
示している。

【０１４３】サーバ装置３０は、コンピュータから構成
され、図５に示すように、ＣＰＵ３１と、ネットワーク
ＩＦ３２と、データベース３３と、外部記憶装置３４
と、メインメモリ３５とがバス３６を介してそれぞれ接
続されている。

【０１４４】ネットワークＩＦ３２は、所定の通信プロ
トコルに従って、監視端末２０および表示端末４０との
間でデータの送受信を行う。

【０１４５】データベース３３は、ネットワークＩＦ３
２を経て入力された保守情報を蓄積する。このデータベ
ース３３の内容は後述する。

【０１４６】外部記憶装置３４は、例えばデータベース
３３の内容を更新するための処理手順、データベース３
３の内容に基づく出力情報を生成するための処理手順を
含む各種のデータ処理の処理手順を示すプログラムを格
納する。

【０１４７】メインメモリ３５は、ＲＡＭ等の記憶手段
から構成され、外部記憶装置３４からロードされたプロ
グラムを記憶する記憶領域、ＣＰＵ３１による出力デー
タの生成などデータ加工する際に必要な記憶領域を備え
ている。

【０１４８】ＣＰＵ３１は、バス３６を介して上記各構
成要素３２〜３５を制御する。例えば、ＣＰＵ３１は、
ネットワークＩＦ３２を介して入力された監視端末２０
からの保守情報のうちの保守データを、当該装置ＩＤに
対応付けてデータベース３３に蓄積すると共に、当該保
守情報をネットワークＩＦ３２を介して表示端末４０へ
送信する。また、ＣＰＵ３１は、データベース３３の内
容を基に、データを加工して出力データを生成し、該生
成された出力データをネットワークＩＦ３２を介して表
示端末４０へ送信する。

【０１４９】ここで、データベース３３の内容の一例を
図６に示す。

【０１５０】データベース３３には、図６に示すよう
に、複数の装置ＩＤ＃１〜＃ｎの各装置ＩＤ毎に保守デ
ータが蓄積される。

【０１５１】同図６において、符号１１０で示される項
目はイベントを示し、上述した図３のイベント項目７１
に対応し、符号１２０で示される項目はイベント毎の保
守データ（レーザ装置の状態を示す情報）を示し、上述
した図３の項目７２の記憶内容に対応している。そし
て、上述した図３の項目７２の記憶内容と図６の項目１
２０の記憶内容とは整合性が保たれるようになってい
る。

【０１５２】図７は、表示端末４０の詳細な構成図を示
している。

【０１５３】表示端末２０は、パーソナルコンピュータ
などのコンピュータから構成され、図７に示すように、
ＣＰＵ４１と、ネットワークＩＦ４２と、外部記憶装置
４３と、メインメモリ４４と、表示装置４５と、入力装
置４６とがバス４７を介してそれぞれ接続されている。

【０１５４】ネットワークＩＦ４２は、所定の通信プロ
トコルに従って、ネットワーク５０を介してサーバ装置
３０との間でデータの送受信を行う。

【０１５５】外部記憶装置４３は、保守情報を表示装置
４５に表示させるための処理手順を示すプログラムを含
む各種のプログラムを格納する。

【０１５６】メインメモリ４４は、ＲＡＭ等の記憶手段
から構成され、ネットワークＩＦ４２を介して入力され
たサーバ装置３０からの出力データ（保守情報）、入力
装置４６から入力された指令等のデータ、外部記憶装置
４３からロードされたプログラムを記憶する。

【０１５７】表示装置４５は、ディスプレイ等の表示手
段で構成され、サーバ装置３０から送信された出力デー
タを表示する。なお、ここでは、サーバ装置３０からの
出力データを表示装置４５に表示する場合を考えるの
で、以降の説明においては、出力データは、表示データ
とする。

【０１５８】入力装置４６は、キーボードやマウスなど
の入力手段で構成され、所定のプログラムの起動を含む
各種の命令を与えるためのものである。

【０１５９】ＣＰＵ４１は、バス４７を介して上記各構
成要素４２〜４６を制御する。例えば、ＣＰＵ４１は、
ネットワークＩＦ４２を介して入力されたサーバ装置３
０からの表示データを、メインメモリ２３に格納すると
共に表示装置４５に表示させる。

【０１６０】ところで、ネットワーク５０を介してのデ
ータ通信はＯＳＩ参照モデルに準拠した通信プロトコ
ル、例えばＴＣＰ／ＩＰ通信プロトコルに従って行われ
るようになっているので、上述した監視端末２０のネッ
トワークＩＦ２７、サーバ装置３０のネットワークＩＦ
３２、表示端末４０のネットワークＩＦ４２は、ＴＣＰ
／ＩＰ通信プロトコルに従ってデータ通信ができるよう
になっている。

【０１６１】なお、ネットワーク５０が電話回線の場合
には、上記各ネットワークＩＦには、通信制御装置（Ｃ
ＣＵ）および網制御装置（ＮＣＵ）から成るモデムが必
要となる。

【０１６２】次に、上述したレーザ装置管理システムに
おける保守情報の表示について図８および図９を参照し
て説明する。

【０１６３】なお、図８はレーザ装置管理システムを機
能的に表現した図を示し、図９はレーザ装置管理システ
ムの処理動作を示すシーケンス図を示している。

【０１６４】ここでは、以下の条件で処理する場合を想
定している。

【０１６５】レーザ制御装置１０と監視端末２０とはＬ
ＡＮなどの通信回線で接続されていないものとする。

【０１６６】監視端末２０は、外部記憶装置２２から通
信プログラム２１１をメインメモリ２３にロードして実
行する。

【０１６７】サーバ装置３０は、外部記憶装置３４から
データベース更新処理機能２１２と表示データ作成及び
通信処理機能２１３とをそれぞれ実施するためのプログ
ラムをメインメモリ３５にロードして実行する。

【０１６８】表示端末４０は、外部記憶装置４３から通
信及び表示プログラム２１４をメインメモリ４４にロー
ドして実行する。

【０１６９】表示端末４０を利用する利用者は、レーザ
制御装置１０の保守情報を必要としている者、例えば保
守要員であるとする。

【０１７０】今、予め決められたイベントとしての例え
ばガス交換、あるいは半導体製造装置６０がアラームを
発生して異常停止するなど、予め設定されたイベントが
発生した場合（図９のＳ１参照）、レーザ制御装置１０
においては、ユーティリティ制御部１１、波長制御部１
２およびエネルギー制御部１２は、自己の制御部による
監視結果を示す情報を保守データとして取得して、ＬＡ
Ｎ１５Ａを介して主制御部１４へ送信する。

【０１７１】主制御部１４は、受信した保守データと監
視しているレーザ装置の装置ＩＤを対応付けて保守情報
としてメモリ１７Ａに記憶する（図９のＳ２参照）。

【０１７２】オペレータは、予め決められたイベント毎
（例えばガス交換毎）、あるいは半導体製造装置６０の
異常停止した際に、レーザ制御装置１０に対してハンデ
ィターミナル１９を操作して保守情報取得命令を与え
る。具体的には、上述した図３に示した符号Ｅ１〜符号
Ｅ１１で示される全てのイベントまたは任意の所望のイ
ベントについての保守情報を取得させるべく命令を入力
する。

【０１７３】レーザ制御装置１０は、図８に示すよう
に、与えられた指令に基づいて、メモリ１７Ａに記憶さ
れている保守情報をフレキシブルディスク（ＦＤ）等の
外部記憶媒体に書き込みを行う（処理Ｐ１）次に、オペ
レータは、上記処理Ｐ１で保守情報が書き込まれた外部
記憶媒体を監視端末１０上の外部記憶装２２置に挿入し
（処理Ｐ２）（図９のＳ３参照）、その後、監視端末１
０の入力装置２４を操作してデータ収集用プログラムを
起動させる。

【０１７４】ＣＰＵ２１は、データ収集用プログラムを
実行することにより、外部記憶装置２２に挿入された外
部記憶媒体から保守情報をメインメモリ２３に読み込む
と共に、通信プログラム２１１を実行することにより、
読み込んだ保守情報をネットワークＩＦ２７を介してネ
ットワーク５０へ送信する（処理Ｐ３）（図９のＳ４参
照）。ネットワークＩＦ２７から送信される送信データ
はネットワーク５０を介してサーバ装置３０へ送信され
る（処理Ｐ４）。

【０１７５】なお、図８においては、監視端末２０は、
１つのレーザ制御装置１０からの保守情報のみをデータ
処理するようになっているが、複数のレーザ制御装置か
らの保守情報をデータ処理することもできる。

【０１７６】サーバ装置３０では、データベース更新処
理機能２１２によって、ネットワークＩＦ３２を介して
受信した受信データ（つまり保守情報）をデータベース
３３に保存する（処理Ｐ５）（図９のＳ５参照）。

【０１７７】保守情報のデータベース３３への保存に際
しては、装置ＩＤ毎に保存データが保存されるようにな
っているので、複数の監視端末から同時に保守情報が送
信されてきた場合には、受信した保守情報に含まれてい
る装置ＩＤを基に、どのレーザ装置からの保守データで
あるかを認識して、当該装置ＩＤ毎に、対応する保守デ
ータの該当する内容を更新する。

【０１７８】サーバ装置３０は、データベースを更新し
た場合には、表示データ作成＆通信機能２１３によっ
て、更新後のデータベースに基づいて、表示端末４０へ
出力する表示データを作成する（処理Ｐ６）（図９のＳ
６参照）。この表示データには装置ＩＤも含まれてい
る。

【０１７９】このような表示データは、監視端末２０か
ら送信された保守情報に基づいてデータベースが更新さ
れる毎のタイミングで作成され、しかも、当該更新され
たデータベースの内容に基づいて予め設定されたフォー
マットに従って作成される。

【０１８０】そして、サーバ装置３０は、作成した表示
データを、表示データ作成＆通信機能２１３によって、
ネットワークＩＦ３２を介して表示端末４０へ送信する
（図９のＳ７参照）。この送信された表示データは、ネ
ットワーク５０を介して表示端末４０に入力される（処
理Ｐ７、Ｐ８）。

【０１８１】表示端末４０では、ネットワークＩＦ４２
を介して表示データを受信すると、この表示データをメ
インメモリ４４に記憶すると共に、外部記憶装置からメ
インメモリ４４に表示プログラムをロードして実行す
る。

【０１８２】次に、表示端末４０は、表示プログラムを
実行することにより、メインメモリ４４に記憶されてい
る表示データを解釈して表示装置４５に表示する（処理
Ｐ９）（図９のＳ８参照）。

【０１８３】ここで、表示内容の一例を以下に示す。

【０１８４】（１）保守部品の交換後の使用時間、放電
パルス数をトレンド表示する。

【０１８５】（２）レーザ光の波長や放電電圧などの光
品質に関連する値のバラツキをトレンド表示する。

【０１８６】（３）放電パルス数やレーザ装置の稼働時
間などの生産に関連する情報をトレンド表示する。

【０１８７】上述した処理を終了した時点では、表示端
末４０の表示装置４５に表示されているのは、サーバ装
置３０によって作成されたデフォルトの表示データに基
づく表示内容である。

【０１８８】そこで、表示端末４０を利用している利用
者は、デフォルトの表示データには含まれないデータ例
えば過去の履歴情報を要求する場合には、入力装置４６
を操作して、表示すべくレーザ装置（レーザ制御装置）
の装置ＩＤと共に、何れのイベントについての履歴情報
を要求するかということを入力する。

【０１８９】この要求指示は、ネットワークＩＦ４２、
ネットワーク５０を介してサーバ装置３０に送信される
（処理Ｐ１０、Ｐ１１）。

【０１９０】サーバ装置３０では、表示端末４０からの
要求に応じて、データベース３３から該当するイベント
についての保守データの履歴を読み出して、表示データ
を作成する。この表示データは、上述した処理Ｐ７、Ｐ
８と同様に、ネットワークＩＦ３２、ネットワーク５０
を介して表示端末４０に送信される。

【０１９１】表示端末４０では、上記処理Ｐ９と同様
に、履歴が表現されている表示データを表示する。

【０１９２】この場合の履歴の表示内容の一例を以下に
示す。

【０１９３】（１）放電（あるいは発振）パルス数を折
れ線グラフ形式で表示する。

【０１９４】（２）エラー履歴を表形式で表示する。

【０１９５】これによって、長期的な保守データの傾向
を知ることができる。

【０１９６】上述したように、レーザ装置に関係するイ
ベントが発生する毎に、当該イベントに応じた保守情報
に基づいてデータベースが更新されると共に、該更新後
のデータベースに基づいて表示データが作成され、さら
に例えば保守要員が利用している表示端末に表示される
ので、当該保守要員は、表示された内容を参照して、部
品の交換やエラー箇所の修理等の保守作業を実施するこ
とが可能となる。

【０１９７】次に、このような保守情報に基づいた保守
作業の実施について図１０を参照して説明する。

【０１９８】ここでは、レーザ装置としてのガスレーザ
装置において、放電回数つまりパルス数が要因となって
劣化（消耗）する部品（例えば放電電極）の保守作業を
例にして説明する。

【０１９９】図１０において、基準となる時点をｔ０と
し、一定期間経過した時点を時点ｔ１、時点ｔ２、時点
ｔ３、時点ｔ４とする。また、時点ｔ３は従来における
例えば定期保守点検の時期であるとする。

【０２００】さて、時点ｔ０から新たな部品を用いて継
続的にレーザ発振されている場合には、表示端末４０に
よって、上述したように、保守部品の交換後の使用時間
や、放電パルス数のトレンド表示、あるいはレーザ光の
波長や放電電圧などの光品質に関連する値のバラツキの
トレンド表示を行うことができる。

【０２０１】このため、保守要員は、このようなトレン
ド表示を参照することにより、例えば時点ｔ２の近傍に
おいて、時点ｔ２を経過した時点ｔ５で部品交換時期で
あると予測（ケース１）したり、あるいは例えば時点ｔ
３の近傍において、時点ｔ３を経過した時点ｔ６で部品
交換時期であると予測（ケース２）することができる。

【０２０２】このようにして部品交換時期であると予測
した時点ｔ５あるいは時点ｔ６において、保守要員は、
レーザ装置が設置されている現場で部品交換などの保守
作業を実施することができる。

【０２０３】これに対し、従来においては、定期的に保
守作業を実施するようにしているので、例えば時点ｔ３
でレーザ装置が設置されている現場に出向いて、部品交
換をしていた。しかし、上記ケース１のように時点ｔ５
で部品交換しなければならない場合であっても、時点ｔ
３でしか部品交換されないこととなり、このため、時点
ｔ５〜時点ｔ３の期間中においては、レーザ出力特性が
低下し、最終的な製品の品質も保証されないことにな
る。

【０２０４】一方、上記ケース２のように時点ｔ６で部
品交換をしても良い場合であっても、時点ｔ３で部品交
換しなけらばならないこととなり、このため、この時点
ｔ３において品質上何ら問題なく、時点ｔ５まで使用す
ることができる部品を交換しなければならず、資源（部
品）を有効に利用することができない。

【０２０５】なお、上記実施形態では、サーバ装置３０
は、データベースの更新毎のタイミングで、更新後のデ
ータベースに基づいて表示データを作成するようになっ
ているが、これに限定されることなく、次のようにして
も良い。

【０２０６】すなわち、データベースが更新されなくと
も、一定時間経過（つまり一定時間毎）などのイベント
に基づいて表示データが作成されるようにしても良い。

【０２０７】また、上記実施形態では、サーバ装置３０
は、更新後のデータベースに基づいて表示データを作成
して、表示端末４０へ自動送信するようにしているが、
これに限定されることなく、次のようにしても良い。

【０２０８】すなわち、サーバ装置３０は、表示端末４
０から送信されたレーザ装置の装置ＩＤおよび表示デー
タ更新要求を受信し、この更新要求に応答して、表示デ
ータを作成して表示端末４０へ送信する。この場合は、
表示端末４０からの表示データ更新要求の受信毎のタイ
ミングで表示データが作成され、しかも要求内容に応じ
た表示データが作成される。

【０２０９】また、上記実施形態では、監視端末２０と
表示端末４０とがそれぞれ独立した構成になっている
が、これに限定されることなく、監視端末２０の機能と
表示端末４０の機能とを１つの端末で実現するようにし
ても良い。

【０２１０】さらに、上記実施形態では、監視端末２
０、サーバ装置３０および表示端末４０は、１つのネッ
トワーク５０に接続されているが、これに限定されるこ
となく、これらはネットワーク接続が可能で有れば、グ
ローバル的に接続されていても良い。

【０２１１】例えば、第１のネットワークに監視端末２
０およびサーバ装置３０が接続され、第２のネットワー
クに表示端末４０が接続され、さらに第１のネットワー
クと第２のネットワークとが通信回線で接続されて、結
果的に、サーバ装置３０と表示端末４０とがデータ通信
を実施することができれば良い。

【０２１２】このように表示端末４０は、ネットワーク
接続が可能で有れば、監視端末２０の近傍以外やの場
所、サーバ装置の近傍以外の場所であっても構わない。

【０２１３】以上説明したように、本実施形態によれ
ば、以下の作用効果を得ることができる。

【０２１４】（１）レーザ装置の状態を示す情報につい
ての緻密なデータ収集が可能になるため、従来において
突発的に発生していた不具合のうちの幾つかは事前に予
測可能になる。

【０２１５】（２）緻密なデータ収集が可能になるた
め、消耗部品の寿命についての正確な予測が可能にな
る。このため、従来において定期的に部品交換していた
消耗部品であっても、性能上使用可能な場合は部品交換
をする必要がないこととなり、資源（部品）を有効に利
用することができる。

【０２１６】（３）レーザ装置の状態についての詳細な
情報を緻密な間隔（定期的）で収集することができるの
で、レーザの状態をより緻密にチューニングすることが
可能になる。よって、レーザ出力特性などの性能を長期
的に維持することができると共に、部品の長寿命化を図
ることができる。

【０２１７】［第２の実施の形態］図１１は、第２の実
施形態に係るレーザ装置管理システムの構成図を示して
いる。

【０２１８】このレーザ装置管理システムは、図１に示
した第１の実施形態のレーザ装置管理システムの構成に
おいて、半導体製造装置６０Ａを追加し、複数の半導体
製造装置６０、６０Ａ（つまりレーザ制御装置１０、１
０Ａ）と監視端末２０とがＬＡＮ８０を介して接続され
た構成になっている。なお、同図において、図１に示し
た構成要素と同様の機能を果たす部分には同一符号を付
している。

【０２１９】この第２の実施形態においては、基本的に
は、第１の実施形態と同様の処理が行われるものの、多
少異なっている処理もある。

【０２２０】次に、この異なっている処理について、レ
ーザ装置管理システムを機能的に表現した様子を示して
いる図１２を参照して説明する。

【０２２１】なお、レーザ制御装置１０、１０Ａは、外
部記憶装置１７Ｂから通信プログラム２１５、２１６を
メインメモリ２３にロードして実行する（図２参照）。

【０２２２】上述した第１の実施形態では、レーザ制御
装置１０から監視端末２０への上記保守情報の転送に外
部記憶媒体（フレキシブルディスク）を用いているのに
対し、第２の実施形態では、レーザ制御装置１０、１０
Ａは、上記保守情報をＬＡＮ８０を介して監視端末２０
へ送信する（処理Ｐ８１）。この処理Ｐ８１が終了した
後は、図８を参照して説明した第１の実施形態と同様の
処理が行われる（処理Ｐ３〜Ｐ１１）。

【０２２３】このようなレーザ装置管理システムにおい
ては、上述したように一定時間経過、一定放電パルス数
の発振などの特定のイベント発生時に、レーザ制御装置
１０がレーザ装置から保守情報を取得して、ＬＡＮ８０
を介して監視端末２０へ送信することにより、その後、
第１の実施形態と同様の処理が実施される。従って、当
該特定のイベント発生毎に定期的に保守情報がサーバ装
置３０へ送信され、さらに表示端末４０に表示されるこ
とになる。

【０２２４】勿論、第１の実施形態と同様に、レーザ制
御装置におけるオペレータによるハンディターミナル１
９の保守情報取得命令の入力指示に基づいて、保守情報
を取得することもできる。

【０２２５】なお、第２の実施形態では、上記特定のイ
ベント以外に、ネットワーク５０に接続されている端
末、例えば表示端末４０の入力装置４６による所望の装
置ＩＤとともに保守情報取得命令の入力指示が行われ場
合に、保守情報を取得するようにしても良い。この場合
の装置ＩＤおよび保守情報取得命令は、ネットワーク５
０を介して監視端末２０に入力され、さらに監視端末２
０からＬＡＮ８０を介して、当該所望の装置ＩＤで示さ
れるレーザ装置を制御しているレーザ制御装置１０へ転
送される。

【０２２６】勿論、監視端末２０を利用している利用者
が、監視端末２０の入力装置４６を操作して、所望の装
置ＩＤとともに保守情報取得命令を入力して、保守情報
を要求しても良い。

【０２２７】以上説明したように、第２の実施形態によ
れば、上記第１の実施形態と同様の作用効果を得ること
ができる。

【０２２８】さらに第２の実施形態では、例えば一定の
放電パルス数発振などの特定のイベントが発生する毎
に、レーザ装置の状態を示す情報（つまり保守情報）
が、データベース化されかつ表示端末４０に表示される
ので、上記第１の実施形態と比較して、表示端末４０を
利用している保守要員は、定期的に表示される表示内容
によって、レーザ装置の状態を定期的にかつ正確に把握
することができる。

【０２２９】このとこは、保守要員は、表示内容を基に
レーザ装置の不具合や部品の寿命を早めに把握すること
ができることを意味している。

【０２３０】［第３の実施の形態］図１３は、第３の実
施形態に係るレーザ装置管理システムの構成図を示して
いる。

【０２３１】第３の実施形態では、サーバ装置３０によ
って、データベース内の保守情報に基づいて半導体製造
装置あるいはレーザ装置の状況を判定し、必要に応じて
警告を保守要員に対して通知するようにしたシステムを
想定している。

【０２３２】このレーザ装置管理システムは、図１１に
示した第２の実施形態のレーザ装置管理システムの構成
において、監視端末２０および表示端末４０を削除し、
監視＆表示端末９０を追加した構成になっている。な
お、同図において、図１に示した構成要素と同様の機能
を果たす部分には同一符号を付している。

【０２３３】監視＆表示端末９０は、図４に示した監視
装置２０と同様のハードウェア構成になっており、監視
端末２０の機能および表示端末４０の機能を有してい
る。

【０２３４】係る構成のレーザ装置管理システムを機能
的に表現した様子を図１４に示す。この図１４において
は、半導体製造装置については省略している。

【０２３５】同図１４において、監視＆表示端末９０
は、外部記憶装置２２からメインメモリ２３に、監視端
末通信プログラム２２１および表示端末通信＆表示プロ
グラム２２２をロードし、プログラム２２１を実行する
ことにより、上記監視端末２０と同様の機能を果たし、
一方、プログラム２２２を実行することにより、表示端
末４０と同様の機能を果たす。

【０２３６】サーバ装置３０は、外部記憶装置３４から
メインメモリ３５に、データベース更新処理機能２１
２、装置状況判定機能２２３および警告通知機能２２４
をそれぞれ示すプログラムをロードし、これらのプログ
ラムを実行することにより、該当する機能を遂行する。

【０２３７】装置状況判定機能２２３は、データベース
３３に蓄積された保守情報を基に、レーザ装置にトラブ
ルが発生しているか、または近い将来トラブルが発生し
そうであるかを判定する機能である。

【０２３８】警告通知機能２２４は、装置状況判定機能
２２３の判定を受けて、レーザ装置の状況を警告情報と
してネットワーク５０を介して監視＆表示端末９０に通
知する機能である。

【０２３９】監視＆表示端末９０は、ＬＡＮ８０を介し
て転送されてきたレーザ制御装置からの保守情報を受信
すると、監視端末通信プログラム２２１を実行すること
により、当該保守情報をネットワーク５０を介してサー
バ装置３０へ転送する。

【０２４０】次に、第３の実施形態でのレーザ装置管理
システムの処理について上記図１４および図１５を参照
して説明する。なお、図１５は、処理動作を示すシーケ
ンス図を示している。

【０２４１】図示しないレーザ制御装置は、イベントが
発生すると（図１５のＳ１１参照）、レーザ装置に関す
る保守情報を取得して（図１５のＳ１２参照）、ＬＡＮ
８０を介して監視＆表示端末９０へ転送する（図１５の
Ｓ１３参照）。

【０２４２】監視＆表示端末９０は、監視端末通信プロ
グラム２２１を実行することにより、受信した保守情報
をネットワーク５０を介してサーバ装置３０へ転送する
（処理Ｐ３０１、Ｐ３０２）（図１５のＳ１４参照）。

【０２４３】サーバ装置３０では、ネットワーク５０を
介して転送されてきた保守情報を受信すると、データベ
ース更新処理機能２１２によって、当該保守情報を基に
データベース３３を更新する（処理Ｐ３０３）（図１５
のＳ１５参照）。

【０２４４】次に、サーバ装置３０は、装置状況判定機
能２２３によって、データベース３３に蓄積された保守
情報を基にレーザ装置の状況を判定（つまり、レーザ装
置の状態を診断）すると共に（処理Ｐ３０４）（図１５
のＳ１６参照）、警告通知機能２２４によって、当該判
定結果に基づくレーザ装置の状況を警告情報として、ネ
ットワーク５０を介して監視＆表示端末９０へ通知する
（処理Ｐ３０５、Ｐ３０６）（図１５のＳ１７参照）。

【０２４５】ところで、監視＆表示端末９０では、ネッ
トワーク５０を介して転送されてきたサーバ装置３０か
らの警告情報を受信すると、表示端末通信＆表示プログ
ラム２２２を実行することにより、当該受信した警告情
報に基づく警告内容を表示装置に表示する。

【０２４６】これによって、監視＆表示端末９０の表示
装置を参照している利用者、たとえば保守要員者は、表
示された警告内容を基に、レーザ装置のトラブルを早期
に発見して、所定の保守作業を行うことができる。

【０２４７】ところで、装置状況判定機能２２３による
レーザ装置の状態の判定には、各種の方法があるので、
これらの判定方法について説明する。

【０２４８】（１）保守データと予め設定された判定基
準とを比較し、この比較結果に応じて、レーザ装置の状
況を判定する。たとえば、保守データに含まれる例えば
「放電（あるいは発振）パルス数」と判定基準となるパ
ルス数とを比較し、放電（あるいは発振）パルス数が判
定基準値を超えていた場合には、その旨を、一方、放電
（あるいは発振）パルス数が判定基準値の例えば７０％
や８０％に達していた場合は、その旨を、判定結果とす
る。

【０２４９】ここで、具体的な判定例を下記に示す。

【０２５０】（Ａ）「消耗部品の稼働時間や放電（ある
いは発振）パルス数が規定の値を超えた又は近づいた」
という旨の判定。

【０２５１】この判定は、消耗部品の寿命を予測してい
ることを意味し、実際の値が規定の値を超えた場合には
消耗部品は寿命に達して部品交換が必要であることを意
味し、一方、実際の値が規定の値に近接している場合
は、消耗部品は近い将来寿命に達することを意味してい
る。しかし、定期的に保守情報を収集しているので、実
際の値が規定の値を超える以前に、消耗部品が近い将来
寿命に達するということを把握することができるので、
早急に対処することが可能となる。

【０２５２】（Ｂ）「装置稼働時間、放電（あるいは発
振）パルス数が規定の定期メンテナンス間隔を超えた又
は近づいた」という旨の判定。

【０２５３】（２）過去一定期間中に発生したイベント
に応じて記憶されている保守データに含まれる「放電
（あるいは発振）パルス数」に基づいて、時系列的な変
化つまり、時間（期間）に対する放電パルス数の特性を
示すグラフを求め、この特性グラフの傾斜の割合を基
に、レーザ装置の状態を判定するようにする。この特性
グラフの傾斜の割合率が、予め設定された傾斜の割合を
超えた場合には、異常である旨を、一方、予め設定され
た傾斜の割合よりも小さい場合は、その旨を、判定結果
とする。

【０２５４】具体的な判定例を下記に示す。

【０２５５】（Ａ）「レーザ光の波長や放電電圧などの
光品質に関連する値のバラツキが規定の値を超えた又は
近づいた」という旨の判定。

【０２５６】なお、この場合、判定せずに、上記特性グ
ラフを長期トレンド情報として出力するようにしても良
い。

【０２５７】上記第３の実施形態では、サーバ装置３０
は、監視＆表示端末９０へ警告情報を送信するようにな
っているが、これに限定されることなく、次のようにし
ても良い。

【０２５８】すなわち、ファクシミリ（ＦＡＸ）や電子
メール（Ｅ−ｍａｉｌ）によって、上記監視＆表示端末
９０または予め設定された端末へ警告情報を送信する。

【０２５９】この場合、上記予め設定された端末は、監
視＆表示端末９０が設置されている構内においてネット
ワーク５０と接続された端末でも良いし、ネットワーク
５０と単独で接続されている端末でも良い。

【０２６０】また、サーバ装置３０は、装置ＩＤに対応
して、ＦＡＸ番号や電子メールアドレスなどの通知先を
記憶している必要がある。これによって、サーバ装置３
０は、データベース内の保守情報を基に判定した判定結
果（つまりレーザ装置の状況）を警告通知する場合に、
当該保守情報に含まれている装置ＩＤに対応して記憶さ
れているＦＡＸ番号や電子メールアドレスを取得して、
この通知先へ警告情報を送信することができる。

【０２６１】以上説明したように、第３の実施形態によ
れば、上記第２の実施形態と同様の作用効果を得ること
ができる。

【０２６２】さらに第３の実施形態では、サーバ装置４
０の判定処理による判定結果が警告情報として表示装置
４０に表示されるので、レーザ装置の不具合や部品の寿
命を保守要員自身が把握するようにした上記第２の実施
形態と比較して、保守要員は、表示装置４０に表示され
た表示内容を監視することにより、レーザ装置の不具合
や部品の寿命を早期に発見することができる。また、レ
ーザ装置の不具合や部品の寿命の警告内容によっては、
保守作業を実施するなどして、トラブルに迅速に対応す
ることができる。

【０２６３】［第４の実施の形態］第４の実施形態に係
るレーザ装置管理システムは、図１１に示した第２の実
施形態と同様の構成になっている。

【０２６４】この第４の実施形態では、ネットワーク５
０はインターネットであるものとし、保守情報などの各
種の情報の漏洩を防止するために通信データを暗号化し
てデータ通信するようにしたシステムを想定している。

【０２６５】図１６は、第４の実施形態に係るレーザ装
置管理システムを機能的に表現した図を示している。な
お、図１６においては、半導体製造装置については省略
している。

【０２６６】このレーザ装置管理システムは、図１２に
示した第２の実施形態のレーザ装置管理システムの機能
構成において、次の機能を追加した構成になっている。

【０２６７】監視端末２０は暗号化処理機能２３１を有
している。サーバ装置３０は復号化処理機能２３２およ
び暗号化＆復号化処理機能２３３を有している。表示端
末４０は暗号化＆復号化処理機能２３４を有している。
これら各機能を実施するための処理手順を示すプログラ
ムは、該当する構成要素の外部記憶装置に格納され、必
要に応じて、メインメモリにロードされ実行される。

【０２６８】この第４の実施形態においては、基本的に
は、図１２に示した第２の実施形態と同様の処理が実施
されるものの、データを送受信するに際し、暗号化また
は復号化を実施する点で第２の実施形態と異なってい
る。

【０２６９】次に、第２の実施形態と異なる処理につい
て図１６を参照して説明する。

【０２７０】すなわち、監視端末２０は、レーザ制御装
置からの保守情報を受信すると、外部記憶装置２２から
メインメモリ２３に、暗号化処理機能２３１を実施する
ための処理手順を示すプログラムをロードして実行する
ことにより、受信した保守情報について暗号化処理を施
した後、サーバ装置３０へ転送する。

【０２７１】サーバ装置３０は、暗号化された保守情報
を受信すると、復号化処理機能２３２によって、この暗
号化された保守情報について復号化処理を施す。この復
号化された保守情報を基にデータベース３３は更新され
る。

【０２７２】そして、サーバ装置３０は、データベース
内の保守情報に基づいて作成した表示データを、暗号化
＆復号化処理機能２３３によって暗号化する。この暗号
化された表示データは、ネットワーク５０を介して表示
端末４０へ転送される。

【０２７３】表示端末４０では、転送されてきた暗号化
された表示データを、暗号化＆復号化処理機能２３４に
よって復号化した後、表示装置４５に表示する。

【０２７４】なお、表示端末４０は、サーバ装置３０に
保守情報取得を要求する場合は、装置ＩＤおよび保守情
報取要求を得暗号化＆復号化処理機能２３４によって暗
号化した後、データ転送する。一方、サーバ装置３０で
は、暗号化された装置ＩＤおよび保守情報取要求を、暗
号化＆復号化処理機能２３３によって復号化して、表示
データの作成を実施することになる。

【０２７５】なお、第４の実施形態においては、監視端
末２０および表示端末４０とサーバ装置３０のそれぞれ
に対となる圧縮／伸長処理機能を追加し、この圧縮／伸
長処理機能を用いることによって、送信時に、送信デー
タに対して圧縮処理を施し、一方、圧縮されたデータに
対して、受信時に伸長処理を施すことができる。

【０２７６】以上説明したように、第４の実施形態によ
れば、上記第２の実施形態と同様の作用効果を得ること
ができる。

【０２７７】さらに第４の実施形態では、レーザ装置に
ついての保守情報は、データ圧縮および暗号化の処理が
施されて、監視端末２０からサーバ装置３０へ、またサ
ーバ装置３０から表示端末４０へ送信されるので、サー
バ装置３０と監視端末２０および表示端末４０との間に
使用されるネットワーク５０は、専用回線を使用する必
要はなく、インターネットなどの安価な公衆回線を使用
することができる。

【０２７８】また、保守情報がデータ圧縮されてデータ
通信されるので、通信データ量を削減し、通信時間を短
縮することができる。

【０２７９】［第５の実施の形態］図１７は、第５の実
施形態に係るレーザ装置管理システムの構成図を示して
いる。

【０２８０】このレーザ装置管理システムは、図１１に
示した第２の実施形態のレーザ装置管理システムの構成
において、監視端末２０と同様の機能を果たす監視端末
２０Ｎと、表示端末４０と同様の機能を果たす表示端末
４０Ｎとを追加した構成になっている。なお、同図にお
いて、図１１に示した構成要素と同様の機能を果たす部
分には同一符号を付している。

【０２８１】この第５の実施形態では、複数の監視端末
および複数の表示端末がネットワーク５０に接続され、
監視端末を利用するユーザも表示端末を利用するユーザ
も、いわゆる複数のクライアントが保守情報に基づく表
示データを参照するために、サーバ装置にアクセスする
ようにしたシステムを想定している。

【０２８２】図１８は、レーザ装置管理システムを機能
的に表現した図を示している。この図１８においては、
半導体製造装置については省略している。

【０２８３】このレーザ装置管理システムは、図１６に
示した第４の実施形態のレーザ装置管理システムの機能
構成において、サーバ装置３０にアクセス制御機能２４
１、２４２を追加した構成になっている。これら各機能
を遂行させるためのプログラムは、それぞれ該当する構
成要素の外部記憶装置に格納され、必要に応じてメイン
メモリにロードされ実行される。

【０２８４】アクセス制御機能２４１は、複数の監視端
末からのアクセスを制御するものであり、アクセス制御
機能２４２は、複数の表示端末からのアクセスを制御す
るものである。勿論、２つのアクセス制御機能に分ける
ことなく、１つのアクセス制御機能によって、複数の監
視端末及び表示端末からのアクセスを制御するようにし
ても良い。

【０２８５】この第５の実施形態においては、基本的に
は、図１６に示した第４の実施形態と同様の処理が実施
されるものの、サーバ装置３０に対するアクセスを制御
する点で第４の実施形態と異なっている。

【０２８６】次に、第４の実施形態と異なる処理につい
て図１９を参照して説明する。なお、図１９はサーバ装
置にけるアクセス制御の処理動作を示すフローチャート
を示している。

【０２８７】最初に、複数の監視端末２０、２０Ｎや複
数の表示端末４０、４０などの複数のユーザは、サーバ
装置３０に対してアクセス許可を要求する場合は、ユー
ザＩＤおよびパスワードを入力してサーバ装置３０へ送
信する。

【０２８８】ここでは、表示端末４０がアクセス許可要
求を発行するものとし、この表示端末４０においては、
監視端末２０の管理下にある半導体製造装置あるいはレ
ーザ装置のうちの、装置ＩＤ＝＃１で示される装置につ
いての表示データを要求することができるものとする。
また、ユーザＩＤ＝ＸＸ４０、パスワード＝ＹＹ４０を
有するユーザＡは、サーバ装置３０に対するアクセス権
を有する正当なユーザであるものとする。

【０２８９】また、サーバ装置３０においては、ユーザ
ＩＤ＝ＸＸ４０とパスワード＝ＹＹ４０と装置ＩＤ＝＃
１とが対応付けられて記憶されているものとする。

【０２９０】サーバ装置３０は、ユーザＡからのユーザ
ＩＤ（ＸＸ４０）及びパスワード（ＹＹ４０）を受信し
た場合（ステップＳ２１）、自己に記憶されているユー
ザＩＤとパスワードの組み合わせのデータに基づいて、
受信したユーザＩＤとパスワードは正当な組み合わせか
否かを判断し（ステップＳ２２）、正当であると判断し
た場合は、当該ユーザに対して装置ＩＤを要求する。

【０２９１】これに応答した前記ユーザは、半導体製造
装置あるいはレーザ装置を示す所望の装置ＩＤを入力し
てサーバ装置３０へ送信する。なお、ステップＳ２２に
おいて正当な組み合わせであると判断された場合は、当
該ユーザＡは、サーバ装置３０に対するアクセス権を有
する正当なユーザであることになる。

【０２９２】サーバ装置３０は、ユーザＡの入力による
所望の装置ＩＤを受信した場合（ステップＳ２３）、自
己に記憶されている装置ＩＤとユーザＩＤの組み合わせ
のデータに基づいて、前記受信した装置ＩＤと既に受信
しているユーザＩＤ（ＸＸ４０）は正当な組み合わせか
否かを判断する（ステップＳ２４）。

【０２９３】ステップＳ２４において、装置ＩＤ「＃
１」とユーザＩＤ「ＸＸ４０」の組み合わせが正当であ
ると判断したサーバ装置３０は、当該ユーザＡに対して
アクセス許可を通知する（ステップＳ２５）。

【０２９４】一方、ステップＳ２２においてユーザＡか
らのユーザＩＤ及びパスワードの組み合わせが不当な場
合、ステップＳ２４において、ユーザＩＤ「ＸＸ４０」
と他のレーザ装置を示す装置ＩＤ（＃２）の組み合わせ
が不当な場合、サーバ装置３０は、当該ユーザＡに対し
てアクセス禁止を通知する（ステップＳ２６）。

【０２９５】アクセス許可を受信したユーザＡは、イベ
ントに応じた保守情報に基づく、デフォルトの表示デー
タ、あるいは過去の履歴情報の表示データなどの保守情
報に関する表示データの要求をサーバ装置３０に送信す
ることができる。

【０２９６】なお、上記第５の実施形態では、アクセス
許可が与えられた後、保守情報に関する表示データの要
求を行うようにしているが、これに限定されることな
く、当該表示データの要求と共に装置ＩＤをサーバ装置
３０へ送信するようにしても良い。

【０２９７】この場合、アクセス許可と判断された場合
には該当する装置ＩＤに対応する表示データが作成され
て、ユーザに対して送信され、一方、アクセス禁止と判
定された場合はその旨がユーザに通知される。

【０２９８】以上説明したように、第５の実施形態によ
れば、上記第４の実施形態と同様の作用効果を得ること
ができる。

【０２９９】また、第５の実施形態では、サーバ装置３
０は、装置ＩＤ、ユーザＩＤ、パスワードを基にユーザ
を認証した上で、表示データ（つまり保守情報）を要求
元に送信するようにしているので、複数のユーザからの
表示データの送信要求がサーバ装置３０に送信された場
合であっても、異なるユーザ間でのデータ漏洩を防止す
ることができる。例えば、ユーザＡの表示端末に、ユー
ザＢが保守および管理すべきレーザ装置についての表示
データが表示されるという事態を防止することができ
る。この場合は、ユーザＡの表示端末には、当該ユーザ
Ａが保守および管理すべきレーザ装置についての表示デ
ータが表示される。

【０３００】さらに第５の実施形態によれば、サーバ装
置３０にアクセスする表示端末４０は、装置ＩＤ、ユー
ザＩＤ、パスワードを基に認証された上で、データ圧縮
および暗号化された表示データを受信するようになって
いるので、データの機密性が確保される。このことは、
表示端末４０としては汎用コンピュータを使用すること
ができ、またネットワーク５０としては汎用の通信回
線、例えば公衆回線を使用することができることを意味
している。

【０３０１】［第６の実施の形態］第６の実施形態に係
るレーザ装置管理システムは、図１１に示した第２の実
施形態と同様の構成になっている。

【０３０２】この第６の実施形態では、監視端末２０お
よび表示端末４０によって、各端末の機能を遂行するた
めのプログラムをサーバ装置３０からダウンロードし、
このダウンロードしたプログラムを実行するようにした
システムを想定している。

【０３０３】図２０は、第６の実施形態に係るレーザ装
置管理システムを機能的に表現した図を示している。

【０３０４】この遠隔保守システムは、図１２に示した
第２の実施形態のレーザ装置管理システムの機能構成に
おいて、監視端末２０に配布プログラム実行機能２５１
を追加し、サーバ装置３０にプログラム配布機能２５２
を追加し、表示端末４０に配布プログラム実行機能２４
３を追加した機能構成になっている。これら各機能を遂
行させるためのプログラムは、それぞれ該当する構成要
素の外部記憶装置に格納され、必要に応じてメインメモ
リにロードされ実行される。

【０３０５】なお、同図において、図１２に示した構成
要素と同様の機能を果たす部分には同一符号を付してい
る。また、半導体製造装置については省略している。

【０３０６】プログラム配布機能２５２は、監視端末２
０に対して監視端末プログラム２５２Ａを配布し、表示
端末２０に対しては表示端末プログラム２５２Ｂを配布
する機能である。配布プログラム実行機能２５１、２５
３は配布されたプログラムを実行する機能である。監視
端末プログラム２５２Ａ、表示端末プログラム２５２Ｂ
は、バージョン毎に予め外部記憶装置３４に格納され
る。

【０３０７】また、この場合のサーバ装置３０には、上
述した保守情報に加えて、データのプロパティ（フォー
マット、項目数）および解析手法（例えば、部品の寿命
の予測や、不具合の事前予測を実施するたに保守情報を
解析する処理機能）そのものも保存されている。

【０３０８】この第６の実施形態は、基本的には、第２
の実施形態と同様の処理が行われるものの、プログラム
配布処理が行われる点で第２の実施形態と異なってい
る。

【０３０９】次に、サーバ装置３０によるプログラム配
布処理について説明する。

【０３１０】レーザ制御装置が実行するプログラム、例
えば保守情報を取得して外部へ出力するための処理手順
を示すプログラムがバージョンアップされて、データの
プロパティ（フォーマット、項目数）が変更されたとす
る。

【０３１１】この場合は、監視端末２０、サーバ装置３
０および表示端末４０においても、上記バージョンアッ
プされたプログラムの実行により有効となるデータのプ
ロパティ（フォーマット、項目数）の整合性が取れてい
ないとデータの解析をすることができないことになる。

【０３１２】そこで、第６の実施形態では、サーバ装置
３０において、例えば、サーバ装置の管理者によって、
上記レーザ制御装置が実行するプログラムの変更内容に
応じて、上記データのプロパティおよび解析手法を変更
すると共に、監視端末プログラム２５２Ａおよび表示端
末プログラム２５２Ｂを変更する。

【０３１３】そして、サーバ装置３０は、プログラムが
バージョンアップされた旨を表示端末あるいは監視端末
へ送信する。

【０３１４】例えば、表示端末４０は、表示装置に画面
表示された「表示端末プログラムがバージョンアップさ
れた旨」に基づき、ユーザＩＤおよびパスワードなどユ
ーザ認証に必要な情報と共に当該プログラムをダウンロ
ードする旨を入力する。

【０３１５】これらのデータは、ネットワーク５０を介
してサーバ装置３０に送信されるので、サーバ装置３０
は、受信したユーザＩＤおよびパスワードに対応する表
示端末へバージョンアップされた表示端末プログラム２
５２Ｂを送信する。

【０３１６】表示端末４０では、受信したバージョンア
ップされた表示端末プログラム２５２Ｂを、外部記憶装
置４３に格納する。つまり、この表示端末プログラム２
５２Ｂは、ネットワーク５０を介して外部記憶装置４３
にダウンロードされる。

【０３１７】表示端末４０では、配布プログラム実行機
能２５３によって、ダウンロードされた表示端末プログ
ラム２５２Ｂを実行することにより、新規の表示端末プ
ログラム２５２Ｂ又はバージョンアップされた表示端末
プログラム２５２Ｂの実行に基づいた表示データの表示
を行うことができる。

【０３１８】同様にして、監視端末２０においても、変
更後のデータのプロパティを実行可能なバージョンアッ
プされた監視端末プログラム２５２Ａが、サーバ装置３
０からネットワーク５０を介してダウンロードされる。

【０３１９】なお、従来においては、監視端末プログラ
ム２５２Ａや表示端末プログラム２５２Ｂを利用するた
めに、監視端末２０および表示端末４０が設置されてい
る場所で、当該プログラムのインストール作業を実施し
ていた。また、これらの端末は複数の場所に分散されて
いる可能性が高いため、端末の機能を変更したり、端末
プログラムの保守を実施する場合には、端末が設置され
ている場所で該当するプログラム（例えばバージョンア
ップされたプログラム）のインストール作業なを実施す
る必要があり、面倒であった。

【０３２０】以上説明したように、第６の実施形態によ
れば、第２の実施形態と同様の作用効果が得られる。

【０３２１】また、第６の実施形態では、表示端末４０
は、サーバ装置３０から表示端末プログラムをダウンロ
ードして、実行することができるので、表示端末プログ
ラムがバージョンアップされた場合であっても、バージ
ョンアップが行われる毎に、その表示端末プログラムを
サーバ装置からダウンロードすることにより、常に最新
の表示端末プログラムを実行することができる。

【０３２２】このため、例えば、サーバ装置３０に表示
端末用の表示プログラムを複数用意することによって、
様々な保守情報の解析手段（例えば、部品の寿命の予測
や、不具合の事前予測を実施するたに保守情報を解析す
る処理機能）を容易に提供することが可能となる。この
ことは、端末プログラムの変更および保守を容易にでき
ることを意味している。

【０３２３】さらに、第６の実施形態では、サーバ装置
３０は、複数の工場に配置されている半導体製造装置、
あるいはレーザ装置の状態情報を保存しているのみでな
く、データのプロパティ（フォーマット、項目数）およ
び上記解析手法そのものも保持しているので、サーバ装
置３０は、これらデータのプロパティおよび解析手法の
内容に応じた表示データを、表示データ送信を要求した
表示端末へ送信することができる。

【０３２４】このため、レーザ装置の制御ソフトウェア
（つまりレーザ制御装置が実行するソフトウェア）が変
更されて、データのプロパティが変更されたとしても、
サーバ装置３０において、表示端末プログラムの当該デ
ータのプロパティに対応する箇所を修正し、この修正済
の表示端末プログラムを表示端末へ配布すれば良いこと
となり、よって表示端末側での表示端末プログラムの修
正は不要になる。

【０３２５】［第７の実施の形態］第７の実施形態に係
るレーザ装置管理システムは、図１１に示した第２の実
施形態と同様の構成になっている。

【０３２６】この第７の実施形態では、サーバ端末４０
によって、半導体製造装置あるいはレーザ装置を制御す
るためのプログラムやパラメータを変更するようにした
システムを想定している。

【０３２７】図２１は、第７の実施形態に係るレーザ装
置管理システムを機能的に表現した図を示している。

【０３２８】このレーザ装置管理システムは、図１２に
示した第２の実施形態のレーザ装置管理システムの機能
構成において、レーザ制御装置１０、１０Ａにプログラ
ム＆パラメータダウンロード機能２６１、２６２を追加
し、監視端末２０にプログラム＆パラメータ転送機能２
６３を追加し、サーバ装置３０にプログラム＆パラメー
タ配布機能２６４を追加した構成になっている。これら
各機能を遂行させるためのプログラムは、それぞれ該当
する構成要素の外部記憶装置に格納され、必要に応じて
メインメモリにロードされ実行される。

【０３２９】なお、同図において、図１２に示した構成
要素と同様の機能を果たす部分には同一符号を付してい
る。また、表示端末４０については省略している。

【０３３０】プログラム＆パラメータ配布機能２６４
は、レーザ制御装置１０、１０Ａに対して、レーザ制御
装置において実行されるプログラムを示す装置プログラ
ム２６４Ａやレーザ制御装置において設定されるパラメ
ータを示す装置パラメータ２６４Ｂを配布する機能であ
る。

【０３３１】プログラム＆パラメータ転送機能２６３
は、レーザ制御装置１０、１０Ａへ装置プログラム２６
４Ａあるいは装置パラメータ２６４Ｂを転送するための
機能である。

【０３３２】プログラム＆パラメータダウンロード機能
２６１、２６２は、転送されてきた装置プログラム２６
４Ａあるいは装置パラメータ２６４Ｂをダウンロードす
るための機能である。

【０３３３】装置プログラム２６４Ａや装置パラメータ
２６４Ｂは、予め外部記憶装置３４に格納される。

【０３３４】この第６の実施形態は、基本的には、第２
の実施形態と同様の処理が行われるものの、プログラム
＆パラメータ配布処理が行われる点で第２の実施形態と
異なっている。

【０３３５】次に、サーバ装置３０によるプログラム＆
パラメータ配布処理について説明する。

【０３３６】例えば、保守要員が、表示端末４０に表示
された表示内容を監視することにより、レーザ装置の運
転状況に変化があったと認識して、一定の放電エネルギ
ーを得るために、入力装置４６を操作して、当該レーザ
装置の装置ＩＤの入力と共に、当該レーザ装置のパラメ
ータの値を変更して、パラメータの変更要求を指示した
とする。このとき変更されたパラメータを装置パラメー
タ２６４Ｂとする。

【０３３７】この装置パラメータ２６４Ｂおよび装置Ｉ
Ｄは、ネットワーク５０を介してサーバ装置３０に入力
される、メインメモリ３５に記憶される。

【０３３８】すると、サーバ装置３０では、装置パラメ
ータ２６４Ｂを配布するために、外部記憶装置３４から
メインメモリ３５へ、プログラム＆パラメータ配布機能
２６４をロードして、実行する。

【０３３９】これによって、メインメモリ３５に既に記
憶されている装置パラメータ２６４Ｂおよび装置ＩＤ
が、当当該装置ＩＤで示されるレーザ装置を制御してい
るレーザ制御装置を管理している監視端末（例えば監視
端末２０）へ送信される。

【０３４０】この装置パラメータ２６４Ｂ及び装置ＩＤ
はネットワーク５０を介して監視端末２０に入力され
る。監視端末２０は、受信した装置パラメータ２６４Ｂ
を、受信した装置ＩＤで示されるレーザ装置を制御して
いるレーザ制御装置（例えばレーザ制御装置１０）へ転
送する。

【０３４１】このレーザ制御装置１０は、外部記憶装置
１７Ｂからメモリ１７Ａへ、プログラム＆パラメータダ
ウンロード機能２６１を遂行させるためのプログラムを
ロードし、実行することにより、転送されてきた装置パ
ラメータ２６４Ｂをダウンロードする。

【０３４２】上記同様にして、装置プログラム２６４Ａ
についても、サーバ装置３０からレーザ制御装置１０に
ダウンロードすることができる。

【０３４３】なお、上述したようにレーザ装置の運転状
況に応じてパラメータの値を変更する理由は下記の通り
である。

【０３４４】すなわち、レーザ装置の求められている一
定の放電エネルギーを出力するためには、電圧とガス圧
を調整すれば良い。しかし、電圧とガス圧とはトレード
オフの関係にある。また、長期トレンドの動作ガス圧の
上昇が、レーザチャンバの寿命を決定している。

【０３４５】そこで、導入初期は、動作電圧を低めに設
定し、一方、動作ガス圧は高めに設定する。劣化等によ
り動作ガス圧が上昇したことが検出された場合、動作電
圧を高めに設定すれば、再び動作ガス圧は低くなる。こ
のように動作電圧をレーザ装置の状態（動作ガス圧）に
応じて変化させて使用した方が、動作電圧を固定して使
用した場合よりも、レーザチャンバの寿命を伸ばすこと
ができる。

【０３４６】このため、第７の実施形態では、上述した
ように遠隔地に位置する表示端末４０において、レーザ
装置の状態を示す情報（保守データ）について、たとえ
ば一定の放電パルス数発振毎に発生するイベントに応じ
てデータ収集が可能となる。

【０３４７】この結果、保守要員は、定期的にデータ収
集された保守データを基に、動作電圧、動作ガス圧およ
び発振負荷を把握することにより、放電電極やウインド
ウなどの機差（固体差）の影響などを考慮した当該レー
ザ装置に最適な動作電圧のパラメータ値を設定すること
ができることとなり、よってレーザ装置の寿命を伸ばす
ことができる。

【０３４８】ところで、従来においては、劣化等により
動作ガス圧が上昇したことが検出された場合、ショット
数に応じて動作電圧を再設定する方法が採用されている
が、この場合、機差、レーザ装置の運転状況によって
は、最適な効果を得られない場合があった。

【０３４９】以上説明したように、第７の実施形態によ
れば、第２の実施形態と同様の作用効果を得ることがで
きる。

【０３５０】さらに第７の実施形態では、レーザ装置を
制御するためのプログラムやパラメータの保守作業も遠
隔地から実施することが可能となり、よってレーザ装置
の保守作業の効率を向上させることが可能となる。

【０３５１】［第８の実施の形態］図２２は、第８の実
施形態に係るレーザ装置管理システムの構成図を示して
いる。

【０３５２】このレーザ管理システムは、基本的には、
図１１に示した第２の実施形態のレーザ装置管理システ
ムの構成と同様であるものの、監視端末にサーバ装置の
機能を持たせている点で第２の実施形態と異なってい
る。

【０３５３】すなわち、このレーザ装置管理システム
は、１つの工場３１０に、複数の半導体製造装置３１１
−１、３１１−２、・・・、３１１−ｎと、監視端末３
１２とがＬＡＮ３１３を介して接続されている。また、
監視端末３１２はローカル的にサーバ装置３１４との間
でデータ通信を行う。ここでは、監視端末３１２は擬似
的にサーバ装置３１４の機能を有していることになる。

【０３５４】サーバ装置３１４と複数の表示端末３１
５、３１６とがネットワーク３１７を介して接続されて
いる。また、サーバ３１４と表示端末３１８とがネット
ワーク３１９を介して接続されている。

【０３５５】さらに、表示端末３１８と、工場３１０
Ａ、３１０Ｂ内のサーバ装置とがネットワーク３１９を
介して接続されている。

【０３５６】上述した各構成要素の機能は、図１１に示
した第２の実施形態のレーザ装置管理システムと同様の
機能を有している。したがって、ここでは、その説明を
省略する。

【０３５７】この第８の実施形態によれば、サーバ装置
を監視端末に持たせたので、工場内でデータをクローズ
することができる。

【０３５８】［第９の実施の形態］図２３は、第９の実
施形態に係るレーザ装置管理システムの構成図を示して
いる。

【０３５９】このレーザ管理システムは、基本的には、
図１１に示した第２の実施形態のレーザ装置管理システ
ムの構成と同様であるものの、露光機がＬＡＮに接続さ
れる点で第２の実施形態と異なっている。

【０３６０】すなわち、このレーザ装置管理システム
は、１つの工場４１０に、複数の半導体製造装置４１
１、４１２、４１３と、監視端末４１４とがＬＡＮ４１
５を介して接続されている。また、監視端末４１４は、
ネットワーク４１６を介してサーバ装置４１７と接続さ
れている。

【０３６１】複数の半導体製造装置４１１、４１２、４
１３においては、露光機４１１Ａ、４１２Ａ、４１３Ａ
がＬＡＮ４１５に接続されている。これら各露光機を経
由してレーザ制御装置により取得された保守情報を監視
端末４１４へ送信する。このとき、各露光機の状態も合
わせて監視端末４１４へ送信することができる。

【０３６２】また、サーバ装置４１７には、複数の表示
端末４１８Ａ、４１８Ｂ、４１８Ｃがネットワーク４１
６を介して接続されていると共に、工場４１０Ａ、４１
０Ｂの監視装置がネットワーク４１６を介して接続され
ている。

【０３６３】工場４１０Ａ、４１０Ｂ内にも、工場４１
０内の構成要素と同様の構成になっている。

【０３６４】上述したした半導体製造装置、監視端末、
サーバ装置は、図１１に示した第２の実施形態のレーザ
装置管理システムと同様の機能を有しているので、ここ
では、その説明を省略する。

【０３６５】この第９の実施形態によれば、露光機経由
でデータを収集する場合、既存のコンピュータ統合生産
システム（ＣＩＭ）回線を使用できる。また、レーザ装
置に加えて、露光機の情報も合わせて管理することがで
きる。

【０３６６】［第１０の実施の形態］この第１０の実施
形態では、異なるバージョンの複数のプログラム間で上
位互換性が維持されない場合のレーザ装置管理システム
を想定している。

【０３６７】すなわち、装置プログラムのバージョン
が、エンドユーザやレーザ装置（あるいは、このレーザ
装置を制御するレーザ制御装置）の種類により複数存在
した場合に、常に最新のバージョンに対応する監視端末
プログラムあるいは表示端末プログラムを全ての監視端
末あるいは表示端末に対して適用すると不都合な場合が
ある。すなわち、異なるバージョンの複数の監視端末プ
ログラム間あるいは複数の表示端末プログラム間におい
て上位互換性が保たれないような場合である。

【０３６８】そこで、第１０の実施形態では、例えば上
位互換性が保たれないような場合であっても、各レーザ
装置毎に、正確に保守情報を収集し、表示することがで
きるレーザ装置管理システムを想定している。

【０３６９】この第１０の実施形態に係るレーザ装置管
理システムは、第６の実施形態と同様に、図１１に示し
た第２の実施形態のレーザ装置管理システムと同様の構
成になっている。

【０３７０】図２４は、第１０の実施形態に係るレーザ
装置管理システムを機能的に表現した図を示している。

【０３７１】図２４に示したレーザ装置管理システム
は、図２０に示した第６の実施形態のレーザ装置管理シ
ステムの機能構成において、図１２に示した第２の実施
形態におけるレーザ制御装置１０を追加し、また、サー
バ装置３０の機能を変更した構成になっている。なお、
同図において、図２０に示した構成要素と同様の機能を
果たす部分には同一符号を付している。

【０３７２】サーバ装置３０の機能構成において、装置
ＩＤ／装置プログラムバージョンＩＤ対応表（以下、Ｉ
Ｄ対応表という。）５１０と、プログラム選択機能５２
０と、機能選択機能５３０とを追加し、また、表示デー
タ作成＆通信機能２２３を複数（Ｎ個）の表示データ作
成＆通信機能５４０−１〜５４０−Ｎに変更し、さら
に、監視プログラム２５２Ａを複数（Ｎ個）の監視プロ
グラム５５０−１〜５５０−Ｎに変更した構成になって
いる。

【０３７３】ＩＤ対応表５１０は、図２５に示すよう
に、装置ＩＤを記憶する領域６１０と、該領域６１０に
記憶されている装置ＩＤで示されるレーザ制御装置によ
って実行される装置プログラムのバージョンを示す識別
情報（以下、装置プログラムバージョンＩＤという。）
を記憶する領域６２０とから構成されている。

【０３７４】なお、図２５において、装置プログラムバ
ージョンＩＤの「Ｖｅｒ．Ｎｏ」の値が大きいものほ
ど、装置プログラムのバージョンが新しいものとする。

【０３７５】プログラム選択機能５２０は、ＩＤ対応表
５１０の内容を参照して、監視端末２０から指定された
装置ＩＤに対応する装置プログラムバージョンＩＤを特
定すると共に、Ｎ個の監視端末プログラム５５０−１〜
５５０−Ｎの中から、前記特定した装置プログラムバー
ジョンＩＤに対応する監視端末プログラムを選択する。

【０３７６】機能選択機能５３０は、ＩＤ対応表５１０
の内容を参照して、表示端末４０から指定された装置Ｉ
Ｄに対応する装置プログラムバージョンＩＤを特定する
と共に、Ｎ個の表示データ作成＆通信機能５４０−１〜
５４０−Ｎの中から、前記特定した装置プログラムバー
ジョンＩＤに対応する表示データ作成＆通信機能を選択
する。

【０３７７】Ｎ個の表示データ作成＆通信機能５４０−
１〜５４０−Ｎは、複数の装置プログラムバージョンＩ
Ｄに対応して設けられ、表示データを作成するための表
示データ作成機能および作成した表示データを送信する
ための通信機能である。装置プログラムバージョンＩＤ
が例えば１０通り存在すれば、１０個（Ｎ＝１０）の表
示データ作成＆通信機能が存在する。

【０３７８】なお、この第１０の実施形態では、装置プ
ログラムバージョンＩＤに対応する装置プログラムによ
る処理の違いを表示データ作成機能で吸収する一方、表
示端末プログラムは、表示データ作成機能で作成された
表示データを表示する機能を有し、装置プログラムバー
ジョンＩＤに対応する装置プログラムによる表示端末プ
ログラム自身のプログラム内容の違いはないものとして
いる。

【０３７９】したがって上述した例では、装置プログラ
ムバージョンＩＤが例えば１０通り存在している場合に
おいては、１つの表示端末プログラムのみが存在してい
る。

【０３８０】勿論、サーバ装置３０に、複数の装置プロ
グラムバージョンＩＤに対応する複数の表示端末プログ
ラムを設けるようにしても良い。この場合は、図２５に
示したＩＤ対応表５１０と表示端末４０によって指定さ
れる装置ＩＤとに基づいて、表示端末プログラムが選択
されることになる。

【０３８１】Ｎ個の監視端末プログラム５５０−１〜５
５０−Ｎは、複数の装置プログラムバージョンＩＤに対
応して設けられ、監視端末２０が実行すべき処理の処理
手順を示すプログラムである。装置プログラムバージョ
ンＩＤが例えば１０通り存在すれば、１０個（Ｎ＝１
０）の監視端末プログラムが存在する。

【０３８２】なお、上述したＩＤ対応表５１０、プログ
ラム選択機能５２０、機能選択機能５３０、Ｎ個の表示
データ作成＆通信機能５４０−１〜５４０−Ｎ、および
Ｎ個の監視プログラム５５０−１〜５５０−Ｎは、外部
記憶装置３４に格納され、必要に応じてメインメモリ３
５にロードされ実行される（図５参照）。

【０３８３】この第１０の実施形態では、装置プログラ
ムバージョンＩＤ＝「Ｖｅｒ．１」〜「Ｖｅｒ．５」に
それぞれ対応して、表示データ作成＆通信機能５４０−
１〜５４０−５、および監視端末プログラム５５０−１
〜５５０−５が選択されるものとする。例えば、装置プ
ログラムバージョンＩＤ＝「Ｖｅｒ．４」の場合は、表
示データ作成＆通信機能５４０−４、および監視端末プ
ログラム５５０−４がそれぞれ選択されるものとする。

【０３８４】レーザ制御装置１０では、制御対象である
レーザ装置を制御するための処理手順を示すプログラム
（つまり装置プログラム）、当該装置プログラムのバー
ジョンに対応する装置プログラムバージョンＩＤおよび
当該レーザ装置の装置ＩＤを外部記憶装置１７Ｂに格納
し、必要に応じてメモリ１７Ａにロードする（図２参
照）。

【０３８５】かかる構成のレーザ装置管理システムの処
理について、図２６および図２７を参照して説明する。

【０３８６】なお、図２６は、監視端末２０による保守
情報の転送を説明するための図を示し、図２７は、表示
端末４０による保守情報の表示を説明するための図を示
している。

【０３８７】最初に、監視端末２０による保守情報の転
送について説明する。

【０３８８】最初に、図２６に示すように、レーザ制御
装置１０は、たとえば自己装置が実行する装置プログラ
ムがバージョンアップされた場合に、当該装置プログラ
ムの装置プログラムバージョンＩＤと、制御対象のレー
ザ装置に対応する装置ＩＤを監視端末２０へ送信する
（処理Ｐ４０１）。

【０３８９】ここでは、装置ＩＤ＝＃１で示されるレー
ザ装置を制御するレーザ制御装置１０の装置プログラム
のバージョンが「Ｖｅｒ．３」から「Ｖｅｒ．４」に更
新されたものとする。従って、処理Ｐ４０１では、装置
ＩＤ＝＃１および装置プログラムバージョンＩＤ＝Ｖｅ
ｒ．４が、レーザ制御装置１０から監視端末２０へ送信
されたことになる。

【０３９０】監視端末２０はでは、レーザ制御装置１０
から取得した装置ＩＤ＝＃１および装置プログラムバー
ジョンＩＤ＝Ｖｅｒ．４をサーバ装置３０へ転送する。
これら各データは、ネットワーク５０を経てサーバ装置
３０によって受信される（処理Ｐ４０２、Ｐ４０３）。

【０３９１】サーバ装置３０においては、プログラム選
択機能５２０によって、複数の監視端末プログラム５５
０−１〜５５０−Ｎの中から、受信した装置プログラム
バージョンＩＤ＝Ｖｅｒ．４に対応する監視端末プログ
ラムを選択すると共に、既に受信している装置ＩＤ＝＃
１および装置プログラムバージョンＩＤ＝Ｖｅｒ．４に
基づいて、ＩＤ対応表５１０を更新する（処理Ｐ４０
４）。

【０３９２】この処理Ｐ４０４では、例えば装置プログ
ラムバージョンＩＤ＝Ｖｅｒ．４に基づいて監視端末プ
ログラム５５０−４が選択されるとともに、ＩＤ対応表
５１０における装置ＩＤ＝＃１に対応する領域６２０の
欄は、「Ｖｅｒ．３」から「Ｖｅｒ．４」に更新され
る。

【０３９３】次に、サーバ装置３０では、プログラム配
布機能２５０によって、プログラム選択機能５２０によ
り選択された監視端末プログラム５５０−４を、外部記
憶装置３４からメインメモリ３５へロードして監視端末
２０へ送信する（処理Ｐ４０５）。この監視端末プログ
ラム５５０−４は、ネットワーク５０を経て監視端末２
０の外部記憶装置２２にダウンロードされる。

【０３９４】監視端末２０は、ダウンロードされた監視
端末プログラム５５０−４を外部記憶装置２２からメイ
ンメモリ２３にロードして実行し、さらにレーザ制御装
置１０から保守情報（保守データおよび装置ＩＤ）を取
得すると共に（処理Ｐ４０６）、該取得した保守情報を
サーバ装置３０へ転送する。この保守情報は、ネットワ
ーク５０を経てサーバ装置３０によって受信される（処
理Ｐ４０７、Ｐ４０８）。

【０３９５】このようにして保守情報を受信したサーバ
装置３０では、データベース更新処理機能２１２によっ
て、受信した保守情報に基づいてデータベース３３を更
新する（処理Ｐ４０９）。

【０３９６】次に、表示端末４０による保守情報の表示
について説明する。

【０３９７】ここでは、表示端末４０には、予め表示端
末プログラム２５２Ｂがダウンロードされているものと
する。また、表示端末４０は装置ＩＤ＝＃１で示される
レーザ装置の状態を監視するものとする。

【０３９８】表示端末４０は、監視したいレーザ装置の
保守情報を表示させるべく、表示要求を当該レーザ装置
の装置ＩＤ（この例では、＃１）と共にサーバ装置３０
へ送信する（処理Ｐ４１１、Ｐ４１２）。これら各デー
タは、ネットワーク５０を経てサーバ装置３０によって
受信される。

【０３９９】サーバ装置３０においては、機能選択機能
５３０が、ＩＤ対応表５１０を参照して、受信した装置
ＩＤ＝＃１を基に装置プログラムバージョンＩＤを特定
すると共に、該特定した装置プログラムバージョンＩＤ
に対応する表示データ作成＆通信機能を選択する（処理
Ｐ４１３）。

【０４００】この処理Ｐ４１３では、ＩＤ対応表５１０
を基に装置ＩＤ＝＃１に対応する装置プログラムバージ
ョンＩＤ＝Ｖｅｒ．４が特定されると共に、この装置プ
ログラムバージョンＩＤ＝Ｖｅｒ．４を基に、複数の表
示データ作成＆通信機能の中から表示データ作成＆通信
機能５４０−４が選択される。

【０４０１】次に、サーバ装置３０では、機能選択機能
５３０によって選択された表示データ作成＆通信機能５
４０−４と、データベース３３に保存されているデータ
とに基づいて表示データを作成して（処理Ｐ４１４）、
表示端末４０へ送信する（処理Ｐ４１５、Ｐ４１６）。
この表示データは、ネットワーク５０を経て表示端末４
０によって受信される。

【０４０２】表示端末４０では、既にダウンロードされ
ている表示端末プログラム２５２Ｂを配布プログラム実
行機能２５３によって実行することにより、サーバ装置
３０からの表示データを表示装置４５に表示する。

【０４０３】以上説明したように、第１０の実施形態に
よれば、装置プログラムバージョンを取得して、そのバ
ージョンに対応する表示データ作成＆通信機能あるいは
監視端末プログラムを選択することにより、各レーザ装
置それぞれが実行する装置プログラムのバージョンが異
なる場合であっても、正確に保守情報の収集と表示を実
施することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】図１は本発明の第１の実施形態に係るレーザ装
置管理システムの構成を示す構成図である。

【図２】図２は第１の実施形態におけるレーザ制御装置
１０の構成を示す構成図である。

【図３】図３はレーザ装置のイベントを説明するための
図である。

【図４】図４は第１の実施形態における監視端末２０の
構成を示す構成図である。

【図５】図５は第１の実施形態におけるサーバ装置３０
の構成を示す構成図である。

【図６】図６はサーバ装置３０に蓄積されるデータベー
スの一例を示す図である。

【図７】図７は第１の実施形態における表示端末４０の
構成を示す構成図である。

【図８】図８は第１の実施形態に係るレーザ装置管理シ
ステムを機能的に示した図である。

【図９】図９は第１の実施形態に係るレーザ装置管理シ
ステムにおけるデータ通信処理動作を示すシーケンス図
である。

【図１０】図１０は第１の実施形態に係るレーザ装置管
理システムにおける保守作業の実施を説明するための図
である。

【図１１】図１１は本発明の第２の実施形態に係るレー
ザ装置管理システムの構成を示す構成図である。

【図１２】図１２は第２の実施形態に係るレーザ装置管
理システムを機能的に示した図である。

【図１３】図１３は本発明の第３の実施形態に係るレー
ザ装置管理システムの構成を示す構成図である。

【図１４】図１４は第３の実施形態に係るレーザ装置管
理システムを機能的に示した図である。

【図１５】図１５は第３の実施形態に係るレーザ装置管
理システムにおけるデータ通信処理動作を示すシーケン
ス図である。

【図１６】図１６は第４の実施形態に係るレーザ装置管
理システムを機能的に示した図である。

【図１７】図１７は本発明の第５の実施形態に係るレー
ザ装置管理システムの構成を示す構成図である。

【図１８】図１８は第５の実施形態に係るレーザ装置管
理システムを機能的に示した図である。

【図１９】図１９は第５の実施形態に係るレーザ装置管
理システムにおけるアクセス制御処理操作を示すフロー
チャートである。

【図２０】図２０は第６の実施形態に係るレーザ装置管
理システムを機能的に示した図である。

【図２１】図２１は第７の実施形態に係るレーザ装置管
理システムを機能的に示した図である。

【図２２】図２２は第８の実施形態に係るレーザ装置管
理システムの構成を示す構成図である。

【図２３】図２３は第９の実施形態に係るレーザ装置管
理システムの構成を示す構成図である。

【図２４】図２４は第１０の実施形態に係るレーザ装置
管理システムを機能的に表現した図である。

【図２５】図２５は装置ＩＤ／装置プログラムバージョ
ンＩＤ対応表５１０の一例を示す図である。

【図２６】図２６は監視端末２０による保守情報の転送
を説明するための図である。

【図２７】図２７は表示端末４０による保守情報の表示
を説明するための図である。

【符号の説明】

２ レーザ装置 １０ レーザ制御装置 ２０ 監視端末 ３０ サーバ装置 ４０ 表示端末 ５０ ネットワーク ８０ ＬＡＮ（ローカルエリアネットワーク） ９０ 監視及び表示端末 ２１１、２１５、２１６ 通信プログラム ２１２ データベース更新処理機能 ２１３ 表示データ作成及び通信機能 ２１４ 通信及び表示プログラム ２２１ 監視端末通信プログラム ２２２ 表示端末通信及び表示プログラム ２２３ 装置状況判定機能 ２２４ 警告通知機能 ２３１ 暗号化処理機能 ２３２ 復号化処理機能 ２３３、２３４ 暗号化及び復号化処理機能 ２４１、２４２ アクセス制御機能 ２５０ プログラム配布機能 ２５１ 配布プログラム実行機能 ２５２Ａ 監視端末プログラム ２５２Ｂ 表示端末プログラム ２５３ 配布プログラム実行機能 ２６１、２６２ プログラム及びパラメータダウンロー
ド機能 ２６３ プログラム及びパラメータ転送機能 ２６４Ａ プログラム及びパラメータ配布機能 ５１０ 装置ＩＤ／装置プログラムバージョンＩＤ対応
表 ５２０ プログラム選択機能 ５３０ 機能選択機能 ５４０−１〜５４０−Ｎ 表示データ作成及び通信機能 ５５０−１〜５５０−Ｎ 監視端末プログラム

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁷ 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） Ｈ０４Ｑ 9/00 ３１１ Ｈ０４Ｑ 9/00 ３２１Ｅ ３２１ Ｈ０１Ｌ 21/30 ５０２Ｇ ５１５Ｂ Ｆターム(参考） 2H097 CA13 LA10 5F046 CA04 DA01 DD01 DD06 5F072 AA06 HH01 HH05 HH07 SS06 YY09 5K048 BA21 BA23 DC07 EA16 EB06 EB08 EB12 FB08 FC01 GB03 GB08

Claims (17)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】レーザ発振する露光用のレーザ装置の状態
   を監視する監視端末と、データベースを有するサーバ装
   置と、前記データベースの内容に基づく出力情報を出力
   する出力手段を有する出力端末とが通信回線を介して接
   続され、 前記通信回線を介して、少なくとも、前記監視端末及び
   表示端末と前記サーバ装置との間でデータ通信を実施す
   るレーザ装置管理システムであって、 前記監視端末は、 前記レーザ装置に関係する予め設定されたイベントが発
   生したときに、当該レーザ装置の状態を示す状態情報
   を、当該レーザ装置から取得して前記サーバ装置へ送信
   する処理手段を具備し、 前記サーバ装置は、 前記処理手段から送信された前記状態情報を前記データ
   ベースに保存する保存手段と、 前記データベースの内容に基づく出力情報を生成して前
   記出力端末へ送信する生成手段とを具備したことを特徴
   とするレーザ装置管理システム。
2. 【請求項２】送信元装置から送信されたレーザ装置の状
   態を示す状態情報を記憶するデータベースと、該データ
   ベースの内容に基づく出力情報を生成して送信先装置へ
   送信する生成手段とを有するサーバ装置が接続されてい
   る通信回線と接続され、この通信回線を介して前記サー
   バ装置との間でデータ通信を実施する監視端末および表
   示端末を具備し、 前記監視端末は、 レーザ発振する露光用のレーザ装置に関係する予め設定
   されたイベントが発生したときに、当該レーザ装置の状
   態を示す状態情報を、当該レーザ装置から取得して前記
   通信回線へ送信する処理手段を具備し、 前記表示端末は、 前記通信回線を介して受信した前記サーバ装置からのデ
   ータベースの内容に基づく出力情報を出力する出力手段
   を具備したことを特徴とするレーザ装置管理システム。
3. 【請求項３】前記サーバ装置の生成手段は、 前記データベースに保存されている状態情報のうち、過
   去一定時間の状態情報に基づいて、前記レーザ装置の状
   態を診断し、該診断結果を示す出力情報を生成して前記
   出力端末へ送信することを特徴とする請求項１又は２記
   載のレーザ装置管理システム。
4. 【請求項４】前記サーバ装置の生成手段は、 前記データベースに保存されている最新の状態情報と予
   め設定された診断基準とに基づいて、前記レーザ装置の
   状態を診断し、該診断結果を示す出力情報を生成して前
   記出力端末へ送信することを特徴とする請求項１又は２
   記載のレーザ装置管理システム。
5. 【請求項５】前記監視端末の処理手段は、 前記レーザ装置がガスレーザ装置であった場合に、当該
   ガスレーザ装置における放電パルスの回数を示す情報を
   状態情報として取得して、前記サーバ装置へ送信し、 前記サーバ装置の前記生成手段は、 前記データベースに記憶されている最新の放電パルスの
   回数を示す情報に基づいて、前記ガスレーザ装置の状態
   の異常を予測し、該予測結果を示す出力情報を生成して
   前記出力端末へ送信することを特徴とする請求項１又は
   ２記載のレーザ装置管理システム。
6. 【請求項６】前記監視端末の処理手段は、 前記レーザ装置がガスレーザをレーザ発振するガスレー
   ザ装置であった場合に、当該ガスレーザ装置に使用され
   ている部品の寿命に影響を与える当該ガスレーザ装置の
   放電パルスの回数を含む稼働状況を示す情報を、前記状
   態情報として取得して前記サーバ装置へ送信し、 前記サーバ装置の生成手段は、 前記データベースに記憶されている状態情報に基づい
   て、前記部品の寿命を予測し、該予測結果を示す出力情
   報を生成して前記出力端末へ送信することを特徴とする
   請求項１又は２記載のレーザ装置管理システム。
7. 【請求項７】前記サーバ装置は、 前記監視端末が実行すべき所定の処理を遂行させる第１
   のプログラムを記憶すると共に、前記表示端末が実行す
   べき所定の処理を遂行させる第２のプログラムを記憶す
   る記憶手段と、 前記監視端末または表示端末からの送信要求に応答し
   て、前記第１のプログラムを前記監視端末へ送信する
   か、または前記第２のプログラムを前記出力端末へ送信
   するプログラム送信手段とを、更に具備し、 前記監視端末は、 前記プログラム送信手段により送信された第１のプログ
   ラムを実行する第１の実行手段を、更に具備し、 前記出力端末は、 前記プログラム送信手段により送信された第２のプログ
   ラムを実行する第２の実行手段を、更に具備したことを
   特徴とする請求項１又は２記載のレーザ装置管理システ
   ム。
8. 【請求項８】前記出力端末は、 前記レーザ装置の出力特性に影響を与えるパラメータの
   値を前記サーバ装置へ送信する第１の送信手段を、更に
   具備し、 前記サーバ装置は、 前記第１の送信手段からのパラメータを前記監視端末へ
   送信する第２の送信手段を、更に具備し、 前記監視端末は、 前記第２の送信手段からのパラメータをレーザ装置へ転
   送する転送手段を、更に具備したことを特徴とする請求
   項１又は２記載のレーザ装置管理システム。
9. 【請求項９】イベントは一定時間経過であることを特徴
   とする請求項１又は２記載のレーザ装置管理システム。
10. 【請求項１０】イベントは一定時間運転であることを特
    徴とする請求項１又は２記載のレーザ装置管理システ
    ム。
11. 【請求項１１】イベントは一定の放電パルス数であるこ
    とを特徴とする請求項１又は２記載のレーザ装置管理シ
    ステム。
12. 【請求項１２】イベントはエラー発生であることを特徴
    とする請求項１又は２記載のレーザ装置管理システム。
13. 【請求項１３】イベントは警告であることを特徴とする
    請求項１又は２記載のレーザ装置管理システム。
14. 【請求項１４】イベントはメンテナンス作業実施後の操
    作記録であることを特徴とする請求項１又は２記載のレ
    ーザ装置管理システム。
15. 【請求項１５】イベントはレーザ装置固有の定期作業終
    了であることを特徴とする請求項１又は２記載のレーザ
    装置管理システム。
16. 【請求項１６】イベントはマニュアルログ取得指令であ
    ることを特徴とする請求項１又は２記載のレーザ装置管
    理システム。
17. 【請求項１７】イベントは通信によるリモートログ取得
    指令であることを特徴とする請求項１又は２記載のレー
    ザ装置管理システム。