JPS61133681A - 気体レ−ザ光出力制御装置のモニタ−装置 - Google Patents
気体レ−ザ光出力制御装置のモニタ−装置Info
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- JPS61133681A JPS61133681A JP25514084A JP25514084A JPS61133681A JP S61133681 A JPS61133681 A JP S61133681A JP 25514084 A JP25514084 A JP 25514084A JP 25514084 A JP25514084 A JP 25514084A JP S61133681 A JPS61133681 A JP S61133681A
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- 238000012806 monitoring device Methods 0.000 claims description 6
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 abstract description 5
- 239000000463 material Substances 0.000 abstract description 4
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Landscapes
- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
ａ産業上の利用分野
この発明は、気体レーザ発振器の光出力の制御装置のモ
ニター装置に関するものである。
ニター装置に関するものである。
ｂ従来の技術
従来の気体レーザ発振器は、例えば、放電容器内に一定
圧の気体レーザ材料を充満させ、陽極及び陰極間に定電
流電源を接続し、両極間にグロー放電を発生させて気体
を励起し、左右のミラーによって共振させ、発振して放
出されたレーザ光を、出力ミラーから外部に取出すよう
にしたものである。
圧の気体レーザ材料を充満させ、陽極及び陰極間に定電
流電源を接続し、両極間にグロー放電を発生させて気体
を励起し、左右のミラーによって共振させ、発振して放
出されたレーザ光を、出力ミラーから外部に取出すよう
にしたものである。
レーザ発振器には、一般に出力を一定にするために、例
えば、半透過性のリア・ミラーを通して光出力の一部を
取り出し、これを光パワーメータを用いて光強度を検出
し、基準値と比較して光強度が一定になるように、定電
流電源を制御するフィードバック制御装置が設けられて
いる。
えば、半透過性のリア・ミラーを通して光出力の一部を
取り出し、これを光パワーメータを用いて光強度を検出
し、基準値と比較して光強度が一定になるように、定電
流電源を制御するフィードバック制御装置が設けられて
いる。
Ｃ発明が解決しようとする問題点
前記のように、光出力を検出してフィードバックをかけ
る方式では、レーザ発振器の光学系の劣化や調整不良が
軽度の場合には、フィードバック効果により、光出力の
低下は少なく、光学系の劣化や調整不良は感知され難い
。しかし、不良程麿が進行して、フィードバック制御の
補償能力の限度になると、光出力は低下し、この段階で
は手遅れとなり、光出力を一定する手段が無い。
る方式では、レーザ発振器の光学系の劣化や調整不良が
軽度の場合には、フィードバック効果により、光出力の
低下は少なく、光学系の劣化や調整不良は感知され難い
。しかし、不良程麿が進行して、フィードバック制御の
補償能力の限度になると、光出力は低下し、この段階で
は手遅れとなり、光出力を一定する手段が無い。
この発明は、光学系の劣化や調整不良又は気体レーザ材
料の不良等が、フィードバック制御装置の制御能力範囲
に収まっているうちに、これらの不良を検知するモニタ
ー装置を提供することを目的とするものである。
料の不良等が、フィードバック制御装置の制御能力範囲
に収まっているうちに、これらの不良を検知するモニタ
ー装置を提供することを目的とするものである。
ｄ問題を解決するための手段
前記の目的を達成するために、この発明は、光出力検出
器の出力信号と、注入電力検出器の出力信号を、演算回
路において演算し、レーザ効率を求め、これを表示する
と共に、該レーザ効率を、別に設定された基準値と比゛
較器において比較し、レーザ効率が基、半値より低い場
合に、警報を表示する警報表示器を設けたことを構成の
要旨とするものである。
器の出力信号と、注入電力検出器の出力信号を、演算回
路において演算し、レーザ効率を求め、これを表示する
と共に、該レーザ効率を、別に設定された基準値と比゛
較器において比較し、レーザ効率が基、半値より低い場
合に、警報を表示する警報表示器を設けたことを構成の
要旨とするものである。
８作用
前記のように構成されているので、レーザ効率がレーザ
発振器の稼動中は、常時効率表示器に表示される。また
、表示されたレーザ効率が、別に設定された基準値より
低い場合には、比較器によってその信号が警報表示器に
出力され警報が表示されるので、レーザ発振器の不調を
、時期を失せず検知することができる。
発振器の稼動中は、常時効率表示器に表示される。また
、表示されたレーザ効率が、別に設定された基準値より
低い場合には、比較器によってその信号が警報表示器に
出力され警報が表示されるので、レーザ発振器の不調を
、時期を失せず検知することができる。
ｆ実施例
次に、この発明の実施例について図面に基づいて説明す
る。第１図は、気体レーザ発振器１、光出力制御装置３
及びモニター装置５をブロック図で示したものである。
る。第１図は、気体レーザ発振器１、光出力制御装置３
及びモニター装置５をブロック図で示したものである。
気体レーザ発振器１は、前記のように放電容器７の内部
に一定の気体レーザ材料を充満させ、陽極Ａ及び陰極Ｋ
に定電流電源９、を接続し、両電極間にグロー放電を発
生させて気体を励起し、半透明なリア・ミラー１１及び
出力ミラー１３によって共振させ、発振させるものであ
る。発振によって放出されたレーザ光は、前記半透明な
出力ミラー１３から外部に取り出される。
に一定の気体レーザ材料を充満させ、陽極Ａ及び陰極Ｋ
に定電流電源９、を接続し、両電極間にグロー放電を発
生させて気体を励起し、半透明なリア・ミラー１１及び
出力ミラー１３によって共振させ、発振させるものであ
る。発振によって放出されたレーザ光は、前記半透明な
出力ミラー１３から外部に取り出される。
光出力制御装置３は前記のように、レーザ光の出力を一
定にするために、半透明なリア・ミラー１１から光出力
の一部を取り出し、これを光パワーメータ１５によって
光強度を検出し、制御装置１７において基準値と比較し
、光強度がこの基準値になるように、定電流電源９をフ
ィードバック制御するものである。
定にするために、半透明なリア・ミラー１１から光出力
の一部を取り出し、これを光パワーメータ１５によって
光強度を検出し、制御装置１７において基準値と比較し
、光強度がこの基準値になるように、定電流電源９をフ
ィードバック制御するものである。
この発明のモニター装置５は、レーザ発振器の電極間に
注入した電力を検出する注入電力検出器１９を備え、こ
の注入電力と、前記光出力制御装置３の光パワーメータ
１５の出力とから、演算回路２１においてレーザ効率（
光パワーメータ１５の出力／注入電力検出器の出力）を
演算する。この値は、効率表示器２３において表示され
ると共に、比較器２５において効率基準設定器２７の基
準値と比較され、基準値より低、い場合には、比較器２
５は警報表示器２９に信号を出力し、警報を表示させる
。前記注入電力検出器１９は、定電流電源９の電圧を検
出する電圧センサ３１と、放電電流を検出する電流セン
サ３３と、これらから注入電力を算出する演算回路３５
から構成されている。
注入した電力を検出する注入電力検出器１９を備え、こ
の注入電力と、前記光出力制御装置３の光パワーメータ
１５の出力とから、演算回路２１においてレーザ効率（
光パワーメータ１５の出力／注入電力検出器の出力）を
演算する。この値は、効率表示器２３において表示され
ると共に、比較器２５において効率基準設定器２７の基
準値と比較され、基準値より低、い場合には、比較器２
５は警報表示器２９に信号を出力し、警報を表示させる
。前記注入電力検出器１９は、定電流電源９の電圧を検
出する電圧センサ３１と、放電電流を検出する電流セン
サ３３と、これらから注入電力を算出する演算回路３５
から構成されている。
このように構成されているので、レーザ発振器の効率は
常時効率表示器２３に表示され、また、この表示値が効
率基準設定器２７の基準値より低くなると、直ちに、比
較器２５により警報表示器２９に信号を出力し、警報が
表示される。
常時効率表示器２３に表示され、また、この表示値が効
率基準設定器２７の基準値より低くなると、直ちに、比
較器２５により警報表示器２９に信号を出力し、警報が
表示される。
レーザ効率は、気体の温度や成分比、出力レベル等の条
件により異なるので、発振器の種々な稼動条件下の正常
時の効率データを記憶した記憶装置３７を設け、このデ
ータを稼動条件に応じて選択し、前記の効率基準設定器
２７の基準値の設定に利用すれば、この装置の精度をよ
り向上させることができる。
件により異なるので、発振器の種々な稼動条件下の正常
時の効率データを記憶した記憶装置３７を設け、このデ
ータを稼動条件に応じて選択し、前記の効率基準設定器
２７の基準値の設定に利用すれば、この装置の精度をよ
り向上させることができる。
ｇ発明の効果
以上の説明から理解されるようにこの発明は、特許請求
の範囲に記載の構成を備えているので、気体レーザ発振
器の劣化、調整不良等を、適時に感知可能なモニター装
置を提供することができる。
の範囲に記載の構成を備えているので、気体レーザ発振
器の劣化、調整不良等を、適時に感知可能なモニター装
置を提供することができる。
第１図は気体レーザ発振器、光出力制御装置及びこの発
明のモニター装置を示すブロック図である。
明のモニター装置を示すブロック図である。
Claims (2)
- （１）光出力検出器の出力信号と、注入電力検出器の出
力信号を、演算回路において演算し、レーザ効率を求め
、これを効率表示器に表示すると共に、該レーザ効率を
、別に設定された基準値と比較器において比較し、レー
ザ効率が基準値より低い場合に、警報を表示する警報表
示器を設けたことを特徴とする気体レーザ光出力制御装
置のモニター装置。 - （２）正常時のレーザ発振器の稼動条件に対応したレー
ザ効率を記憶装置に記憶させ、稼動条件により記憶装置
から、前記基準値を選択設定することを特徴とする特許
請求の範囲第１項記載の気体レーザ光出力制御装置のモ
ニター装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25514084A JPS61133681A (ja) | 1984-12-04 | 1984-12-04 | 気体レ−ザ光出力制御装置のモニタ−装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25514084A JPS61133681A (ja) | 1984-12-04 | 1984-12-04 | 気体レ−ザ光出力制御装置のモニタ−装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61133681A true JPS61133681A (ja) | 1986-06-20 |
Family
ID=17274641
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP25514084A Pending JPS61133681A (ja) | 1984-12-04 | 1984-12-04 | 気体レ−ザ光出力制御装置のモニタ−装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61133681A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1988002939A1 (en) * | 1986-10-14 | 1988-04-21 | Fanuc Ltd | Laser device |
| WO1990010962A1 (en) * | 1989-03-15 | 1990-09-20 | Fanuc Ltd | Nc laser |
| EP1150401A2 (en) * | 2000-04-25 | 2001-10-31 | Gigaphoton Inc. | Laser device management system |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS55146993A (en) * | 1979-05-02 | 1980-11-15 | Mitsubishi Electric Corp | Laser device |
-
1984
- 1984-12-04 JP JP25514084A patent/JPS61133681A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS55146993A (en) * | 1979-05-02 | 1980-11-15 | Mitsubishi Electric Corp | Laser device |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1988002939A1 (en) * | 1986-10-14 | 1988-04-21 | Fanuc Ltd | Laser device |
| WO1990010962A1 (en) * | 1989-03-15 | 1990-09-20 | Fanuc Ltd | Nc laser |
| EP1150401A2 (en) * | 2000-04-25 | 2001-10-31 | Gigaphoton Inc. | Laser device management system |
| EP1150401A3 (en) * | 2000-04-25 | 2005-07-13 | Gigaphoton Inc. | Laser device management system |
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