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JP2002039881A - トルク検出器 - Google Patents

トルク検出器

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Publication number
JP2002039881A
JP2002039881A JP2000229667A JP2000229667A JP2002039881A JP 2002039881 A JP2002039881 A JP 2002039881A JP 2000229667 A JP2000229667 A JP 2000229667A JP 2000229667 A JP2000229667 A JP 2000229667A JP 2002039881 A JP2002039881 A JP 2002039881A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
shaft
torque
magnetic field
case
housing
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2000229667A
Other languages
English (en)
Inventor
Kenjiro Soejima
健次郎 副島
Hitoshi Manda
仁 萬田
Masaharu Baba
正春 馬場
Toshiaki Yatani
俊晃 矢谷
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Koyo Electronics Industries Co Ltd
Original Assignee
Koyo Electronics Industries Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Koyo Electronics Industries Co Ltd filed Critical Koyo Electronics Industries Co Ltd
Priority to JP2000229667A priority Critical patent/JP2002039881A/ja
Publication of JP2002039881A publication Critical patent/JP2002039881A/ja
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  • Power Steering Mechanism (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 高温あるいは水や油が存在する環境下におい
ても確実にトルクを測定することができ、その上構造が
簡単で安価で信頼性の高いトルク検出器を得ること。 【解決手段】 加えられたトルクの強さに対応した磁界
が発生するように着磁された着磁部を有する軸1と、こ
の軸1の近傍に配設され、軸1に加えられたトルクによ
って発生した磁界の強さを検出する磁界検出手段とを備
え、軸1と磁界検出手段とを分離すると共に、磁界検出
手段を軸1が収容されたハウジング30等に対して着脱
可能に構成した。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、軸に加わるトルク
を非接触で検出するトルク検出器に関すものである。
【0002】
【従来の技術】従来のこの種トルク検出器には、例え
ば、特公平7−117464号公報や特許第28119
80号公報に記載されているように、磁歪合金軸に直接
±45°の溝を設けたものや、エッチング処理により±
45°のリスット加工を施したアモルファス合金箔を軸
に接着した検出部を備えたトルク検出軸を、軸受により
回転自在かつ軸方向に位置規制して支持すると共に、ト
ルク検出軸の外周に検出部と対向し、かつ所定の間隙を
隔てて検出コイルを配設して一体に構成したものがあ
る。そして、トルク検出軸にトルクが加わると、磁歪合
金軸又はアモルファス合金箔の応力変化に伴う透磁率の
変化を検出コイルのインピーダンスの変化として検出す
るようにしたものである(従来技術1)。
【0003】また、特許第2797021号公報には、
トルクが加わるシャフトを予め捻れ易く細めに形成した
トーションバーにより、磁気結合体の位相変位を外周に
配設された検出コイルによりインピーダンスの変化量と
して検出するトルク測定装置が記載されている(従来技
術2)。さらに、トルクが加わるシャフトに直接ストレ
ーンゲージを接着固定し、トルクによる歪量をスリップ
リングで外部に取出すようにした歪検出方式のものもあ
る(従来技術3)。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】従来技術1において、
磁歪合金軸に直接±45°の溝を加工するものは、トル
ク特性に影響を及ぼすパラメータが多く、また部品点数
が多いばかりでなく各部品の精度が要求されるため製造
が面倒で、高価になるという問題がある。また、アモル
ファス合金箔を用いたものは、トルク検出軸にアモルフ
ァス合金箔を接着するのが面倒であると共に、接着した
アモルファス合金箔とトルク検出軸の熱膨張係数の違い
により、温度特性が悪いという問題がある。
【0005】さらに、従来技術2のトルク測定装置は、
捻れ易くするためにトーションバーの軸径を細めに形成
しているため機械的強度が不足しており、これを補うた
めのメカニカルストッパ等を測定装置に内蔵しているた
め外形寸法が大きくなり、その上部品点数も多いため高
価である。また、従来技術3の歪検出方式は、歪量を信
号として外部に取出す手段としてスリップリングを用い
ているため、定期的なスリップリングの交換が必要であ
るばかりでなく、スリップリングを内蔵しているため外
形寸法が大きくなり、高価な商品でメンテナンス費用も
かかるため、検査機器など特定の装置に使用範囲が限定
されている。
【0006】さらに、従来技術1〜3のトルク検出器に
おいては、構造上、トルク検出軸と検出コイルや電気部
品とが容器内に一体に組込まれているため、水や油等の
多い環境内では使用することができず、防水、防油対策
を施すことである程度の使用は可能となるが、コスト高
になることは避けられない。また、高温環境化で使用す
る場合は、すべての部品が同じ温度になるため、電気部
品や樹脂部品の仕様が制約されて使用温度範囲が限定さ
れるという問題もある。
【0007】さらに、トルク検出器を組込む装置内に、
容器を組込むための大きなスペースが必要であるため使
用場所が制約されており、また、電気的出力を装置から
外部に取出すためのリード線の取出し口の防水手段が必
要で、その上密集装置内での配線処理が面倒であった。
【0008】本発明は、上記の課題を解決するためにな
されたもので、高温あるいは水や油が存在する環境下に
おいても確実にトルクを測定することができ、その上構
造が簡単で小形化することのできる安価で信頼性の高い
トルク検出器を提供することを目的としたものである。
【0009】
【課題を解決するための手段】本発明に係るトルク検出
器は、加えられたトルクの強さに対応した磁界が発生す
るように着磁された着磁部を有する軸と、該軸の近傍に
配設され、該軸に加えられたトルクによって発生した磁
界の強さを検出する磁界検出手段とを備え、前記軸と磁
界検出手段とを分離すると共に、該磁界検出手段を前記
軸が収容されたハウジング等に対して着脱可能に構成し
たものである。
【0010】上記の磁界検出手段を、磁界検出センサを
有するプリント基板と、非磁性材料からなり前記プリン
ト基板が収容されるケース等とによって構成した。ま
た、上記のケース内に合成樹脂を充填した。さらに、上
記のケースに磁気シールドを施した。
【0011】
【発明の実施の形態】図10は本発明に係るトルク検出
器の原理的説明図である。図において、1は磁性材料か
らなり、回転可能に支持されて加えられたトルクを検出
するトルク検出軸(以下、単に軸という)で、この軸1
には軸線と直交し、かつ所定の間隔を隔てて互いに反対
方向に全周にわたって着磁された着磁部2a,2bが設
けられており、常時は両着磁部2a,2bはバランス状
態にあり、磁界は発生していない。軸1に矢印で示すよ
うなトルクが加えられると、着磁部2a,2bのバラン
スが崩れてトルクの強さに対応した磁界Mが発生する。
【0012】3a,3bは例えば磁気抵抗素子やホール
素子等からなり、発生した磁界を検出する磁界検出セン
サ(以下、単に検出センサという)で、軸1の着磁部2
a,2bに対向して配設されており、軸1にトルクが加
えられて着磁部2a,2bから磁界が発生すると、磁界
の強さに対応した電気信号(電圧又は電流)あるいは位
相などの変化を出力する。4は上記の電気信号を増幅す
る増幅器で、検出センサ3a,3bの出力による電気信
号の変化を変換器5によりトルク値に変換することによ
り、図11に示すように直線的なトルク値を得ることが
できる。なお、検出センサ3a,3bによる電気信号の
変化の処理手段は上記に限定するものではなく、適宜の
手段を採用することができる。
【0013】[実施の形態1]図1は本発明の実施の形
態1に係るトルク検出器の縦断面図、図2はその要部の
外観斜視図、図3は図1の分解斜視図である。なお、図
10で説明したトルク検出器と同じ部分にはこれと同じ
符号を付し、説明を省略する。図おいて、30は例えば
自動車のトランスミッションのハウジングで、開口部3
1が設けられており、開口部31の周囲にはねじ穴32
が設けられている。1はハウジング30内に回転可能か
つ軸方向の移動が規制されて設置されたトルク検出用の
軸で、図10で説明したように、ハウジング30の開口
部31内に位置するように着磁部2a,2bが設けられ
ており、トランスミッションのギア(図示せず)により
駆動される。
【0014】10は上部に開口部13を有し下部が閉塞
されたほぼ門型で中空のケースで、例えば、合成樹脂、
アルミニウムの如き非磁性材料によって形成されてい
る。このケース10は一対の脚部11a,11bと、上
部外周に設けたフランジ部12とからなり、開口部13
の内壁の両側には、それぞれ対向して脚部11a,11
bの下端部に達する各一対のガイド溝14a,14bが
設けられている。15はハウジング30のねじ穴32に
対応してフランジ部12に設けたねじ挿通穴である。1
6は非磁性材料からなり、ケース10の開口部13を閉
塞する閉塞板で、コネクタ17を備えており、四隅には
ケース10のねじ挿通穴15に対応してねじ挿通穴18
が設けられている。19はコネクタ17に接続されたケ
ーブルである。
【0015】20a,20bはプリント基板で、軸1の
着磁部2a,2bに対応した位置にはそれぞれ検出セン
サ3a,3bが搭載されており、また、図示してない
が、プリント配線が形成されて増幅器等を構成する多く
の電気部品が搭載されている。21はプリント基板20
a,20bとコネクタ17を接続するリード線である。
このプリント基板20a,20bは、検出センサ3a,
3bを内側に向けて、ケース10の開口部13側からそ
の両端部をガイド溝14a,14bに嵌合し、脚部11
a,11bの下端部に達するまで挿入され、実装され
る。
【0016】このように構成した本実施の形態において
は、プリント基板20a,20bが実装されたケース1
0を、その脚部11a,11bが軸1を跨ぐようにして
開口部31からハウジング30内に挿入し、フランジ部
12を直接又はパッキンを介してハウジング30上に載
置する。ついで、コネクタ17にリード線21が接続さ
れた閉塞板16をケース10上に載置し、各ねじ挿通穴
18,15にねじ40を挿通してハウジング30のねじ
穴32に螺入し、一体に固定すればケース10の取付け
を終了する。このとき、プリント基板20a,20bに
設けた検出センサ3a,3bは軸1の着磁部2a,2b
とそれぞれ対向する。なお、例えば一方のプリント基板
(例えば、20a)に、軸1の着磁部2a,2bにそれ
ぞれ対向する検出センサ3a,3bを設け、他方のプリ
ント基板20bを省略してもよい。
【0017】図4は本実施の形態に係るトルク検出器に
より、ハウジング30内に設置した各種外径(外径6m
mから25mmまでの6種類)の軸1に加えられたトル
クを測定した結果を示す線図で、軸1の径が小さいほど
トルクの変化に対する出力電圧が大きく、軸1の外径が
大きくなるとトルクの変化に対する出力電圧が小さいこ
とがわかる。
【0018】本実施の形態においては、トルクが加わる
軸1と、そのトルクを検出するセンサ3a,3bとを完
全に分離し、かつケース10の下部を二又に形成して軸
1の全周を覆わないように構成し、ケース10をハウジ
ング30の外部から着脱しうるようにしたので、ケース
10の着脱及びメンテナンスがきわめて容易である。ま
た、内部に油が収容された高温になる自動車のトランス
ミッション、エンジン部、工作機械等、あるいは水が存
在したり多湿の場所等の悪条件下においても、ケース1
0を外部から装着して検出センサ3a,3bを軸1の着
磁部2a,2bの近傍に位置させるようにしたので、こ
れらの悪条件の影響を受けることなく、軸1に加えられ
るトルクを精度よく測定することができる。
【0019】また、ケース10は構造が簡単で小形化さ
れるので、取付けにあたって広いスペースを必要とせ
ず、密集構造のハウジング30内での使用も容易であ
る。さらに、プリント基板20a,20bからのリード
線21をコネクタ17を介して外部に取出すようにした
ので、配線作業がきわめて容易であり、また、部品点数
が大幅に減ったため組立が簡単でコストを大幅に低減す
ることができ、これらにより、安価で信頼性の高いトル
ク検出器を得ることができる。
【0020】[実施の形態2]図5は本発明の実施の形
態2に係るトルク検出器の斜視図である。なお、実施の
形態1と同じ部分にはこれと同じ符号を付し、説明を省
略する。本実施の形態は、ハウジング30(図示せず)
内の壁面から離れた位置(奥の方)にトルクを検出する
軸1が設置されている場合の、トルク検出器に関するも
のである。
【0021】ケース10の上部開口部を閉塞する閉塞板
16上には、軸1の設置位置に対応した長さで円筒状の
連結部16aが立設されており、この連結部16aの上
端部には上面が開口されたフランジ部12aが設けられ
ている。そして、フランジ部12aの開口部は、コネク
タ17を有する閉塞板16bによって閉塞されている。
なお、ケース10内に設けた検出センサ3a,3bのリ
ード線21は、連結部16a内を通ってコネクタ17に
接続される。
【0022】上記のように構成したトルク検出器は、ケ
ースをハウジング20の開口部31から、その脚部11
a,11bが軸1を跨ぐようにしてハウジング30内に
挿入され、フランジ部12aをハウジング30の壁面に
固定することにより設置される。このとき、ケース10
の脚部11a,11b内に設けられた検出センサ3a,
3bは、軸1の両側から着磁部2a,2bと対向配置さ
れる。
【0023】図6は本実施の形態の他の例を示す斜視図
である。本例は、ケース10を横向きに形成すると共
に、ケース10の一方の脚部(例えば、11a)側を脚
部11a,11bと直交して上方に延設し、中空で断面
四角形の連結部16aを形成したもので、連結部16a
の長さは軸1の設置位置に対応しており、その上端部に
は図5の例の場合と同様にフランジ部12aが設けられ
ている。本例においては、ハウジング30の開口部31
から挿入されたケース10は、その脚部11a,11b
を軸1の横方向からその上下に跨いで挿入するようにし
たもので、ケース10に設けた検出センサ3a,3bの
リード線21は、連結部16a内を通ってコネクタ17
に接続され、また、検出センサ3a,3bは、軸1の着
磁部2a,2bの上下において対向する。
【0024】本実施の形態に係るトルク検出器におい
て、軸1に加わるトルクの検出手段は実施の形態1の場
合と同様であるが、本実施の形態は連結部16aを設け
たことにより、軸1がハウジング30の壁面から離れた
位置に設置されている場合でも、これに加えられたトル
クを容易かつ確実に測定することができる。なお、連結
部16aを、図5では断面円形に、図6では断面四角形
に形成した場合を示したが、連結部の断面形状は適宜選
択することができる。また、軸1の設置位置に対応して
ケース10とフランジ部12a間の長さを調節しうるよ
うに、連結部16aを継手方式とし、あるいはスペーサ
を設けるなどしてもよい。
【0025】[実施の形態3]図7は本実施の形態3に
係るトルク検出器の縦断面図、図8はその分解斜視図で
ある。なお、実施の形態1と同じ部分にはこれと同じ符
号を付し、説明を省略する。本実施の形態は、ケース1
0を非磁性材料により、有底で上部に開口部13が設け
られた直方体状に形成したもので、上端部外周にはねじ
挿通穴15を有するフランジ部12が設けられている。
また、プリント基板20の下面には、軸1の着磁部2
a,2bに対応して検出センサ3a,3bが並設して搭
載されている。
【0026】本実施の形態においては、プリント基板2
0を検出センサ3a,3bを下方に向けてケース10内
に挿入し、所定の位置に保持する(保持手段は図示して
ない)。そして、このケース10をハウジング30の開
口部31内に挿入して、フランジ部12をハウジング3
0上に載置し、コネクタ17にリード線21が接続され
た閉塞板16と共に、ねじ40によりハウジング30に
一体に固定されたものである。このとき、プリント基板
20に設けた検出センサ3a,3bは、軸1の着磁部2
a,2bと対向する。
【0027】図9は本実施の形態の他の例を示すもので
ある。図9(a)の例は、ハウジング30に開口部31
を設けず、軸1をハウジング30の内壁面に近接して設
置すると共に、プリント基板20を検出センサ3a,3
bを下方に向けてケース10の開口部13側に配設し、
ケース10の開口部13を下向きにしてフランジ12を
ハウジング30にねじ40で固定したもので、検出セン
サ3a,3bはハウジング30の壁面を介して着磁部2
a,2bと対向する。また、図9(b)の例は、図4の
場合とほぼ同様であるが、ハウジング30に開口部31
を設けず、ケース10をハウジング30内に下向きに挿
入して、フランジ部12をハウジング30の内壁面にね
じ30により固定したものである。
【0028】本実施の形態の作用効果は、実施の形態1
の場合とほぼ同様であるが、ケース10をより簡単な構
造にすることができ、また、プリント基板20は1枚で
もよいので部品点数をさらに減らすことができるため、
コストをより低減することができる。
【0029】[実施の形態4]以上、本発明の実施の形
態について説明したが、さらに、次のような実施の形態
がある。 (1)実施の形態1〜3では、軸1に設けた着磁部2
a,2bに対してそれぞれ1個の検出センサ3a,3b
を設けた場合を示したが、各着磁部2a,2bに対応し
て配設される検出センサ3a,3bは上述のように1個
でもよく、さらにそれ以上の数の検出センサを設けても
よい。着磁部2a,2bにそれぞれ対応する検出センサ
の数を増加することにより、トルクの検出精度を向上す
ることができる。
【0030】(2)また、各実施の形態において、中空
のケース10内に検出センサ3a,3bを備えたプリン
ト基板20を配設し、そのリード線21をコネクタ17
を介して外部に取出した場合を示したが、プリント基板
20を配設したのちケース10の中空部内に合成樹脂を
充填してもよく、この場合、実施の形態2においては、
連結部16aの上部まで合成樹脂を充填してもよい。さ
らに、プリント基板20をインサートしてケース10を
合成樹脂により一体成形してもよい。これにより、プリ
ント基板20をケース10内の所定の位置に確実に保持
すると共に、ケース10内に水などが侵入するのを防止
することができる。
【0031】(3)また、外部磁界の影響を避けるた
め、ケース10の検出センサ3a,3bを除く部分に、
例えばパーマロイテープを接着し、あるいは磁気シール
ド塗料を塗布するなどしてケース10に磁気シールドを
施してもよく、さらに、ケース10の検出センサ3a,
3bを除く部分を磁気シールドケース内に収容してもよ
い。
【0032】
【発明の効果】本発明に係るトルク検出器は、加えられ
たトルクの強さに対応した磁界が発生するように着磁さ
れた着磁部を有する軸と、この軸の近傍に配設され軸に
加えられたトルクによって発生した磁界の強さを検出す
る磁界検出手段とを備え、軸と磁界検出手段とを分離す
ると共に、磁界検出手段を軸が収容されたハウジング等
に対して着脱可能に構成したので、高温あるいは水や油
が存在する環境下においても確実にトルクを検出するこ
とができ、その上構造が簡単で小形化することのできる
安価で信頼性の高いトルク検出器を得ることができる。
【0033】また、上記の磁界検出手段を、磁界検出セ
ンサを有するプリント基板と、非磁性材料からなりプリ
ント基板が収容されるケース等とによって構成したの
で、小形化しうると共にハウジング等への着脱がきわめ
て容易である。
【0034】また、上記のケース内に合成樹脂を充填し
たので、磁界検出センサを所定の位置に確実に保持でき
ると共に、ケース内への水等の侵入を防止することがで
きる。さらに、ケースに磁気シールドを施したので、外
部磁界の影響を受けることなく、磁界、したがってトル
クを高精度で測定することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施の形態1に係るトルク検出器の縦
断面図である。
【図2】図1の要部の外観斜視図である。
【図3】図1の分解斜視図である。
【図4】実施の形態1に係るトルク検出器により外径の
異なる軸に加えられたトルクと、検出センサによる出力
電圧との関係を示す線図である。
【図5】本発明の実施の形態2に係るトルク検出器の斜
視図である。
【図6】実施の形態2の他の例の斜視図である。
【図7】本発明の実施の形態3に係るトルク検出器の縦
断面図である。
【図8】図7の分解斜視図である。
【図9】実施の形態3の他の例の縦断面図である。
【図10】本発明に係るトルク検出器の原理的説明図で
ある。
【図11】図10のトルク検出器による出力電圧とトル
クとの関係を示す線図である。
【符号の説明】
1 軸 1a 主軸 2a,2b 着磁部 3a,3b 磁界検出センサ 10 ケース 16 閉塞板 16a 連結部 20,20a,20b プリント基板 30 ハウジング 35 ケーシング 31,36 開口部
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 馬場 正春 東京都小平市天神町1丁目171番地 光洋 電子工業株式会社内 (72)発明者 矢谷 俊晃 東京都小平市天神町1丁目171番地 光洋 電子工業株式会社内

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 加えられたトルクの強さに対応した磁界
    が発生するように着磁された着磁部を有する軸と、該軸
    の近傍に配設され、該軸に加えられたトルクによって発
    生した磁界の強さを検出する磁界検出手段とを備え、 前記軸と磁界検出手段とを分離すると共に、該磁界検出
    手段を前記軸が収容されたハウジング等に対して着脱可
    能に構成したことを特徴とするトルク検出器。
  2. 【請求項2】 磁界検出手段を、磁界検出センサを有す
    るプリント基板と、非磁性材料からなり前記プリント基
    板が収容されるケース等によって構成したことを特徴と
    する請求項1記載のトルク検出器。
  3. 【請求項3】 ケース内に合成樹脂を充填したことを特
    徴とする請求項2記載のトルク検出器。
  4. 【請求項4】 ケースに磁気シールドを施したことを特
    徴とする請求項2又は3記載のトルク検出器。
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Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005300267A (ja) * 2004-04-08 2005-10-27 Favess Co Ltd トルク検出装置及びこれの製造方法
JP2005538294A (ja) * 2002-09-12 2005-12-15 エンプレサ・ブラジレイラ・ディ・コンプレッソレス・ソシエダッド・アノニマ・エンブラコ 流体ポンプ、流体移送プレートと流体ポンプ用誘導センサー
JP2006064578A (ja) * 2004-08-27 2006-03-09 Favess Co Ltd トルク検出装置
JP2006071326A (ja) * 2004-08-31 2006-03-16 Favess Co Ltd トルク検出装置
US11226329B2 (en) 2018-08-27 2022-01-18 Hitachi, Ltd. Exhaled gas detector and exhaled gas detection method

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0299303U (ja) * 1989-01-24 1990-08-08
JP2000019034A (ja) * 1998-07-01 2000-01-21 Toyota Central Res & Dev Lab Inc 磁界検出センサ

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0299303U (ja) * 1989-01-24 1990-08-08
JP2000019034A (ja) * 1998-07-01 2000-01-21 Toyota Central Res & Dev Lab Inc 磁界検出センサ

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005538294A (ja) * 2002-09-12 2005-12-15 エンプレサ・ブラジレイラ・ディ・コンプレッソレス・ソシエダッド・アノニマ・エンブラコ 流体ポンプ、流体移送プレートと流体ポンプ用誘導センサー
JP2005300267A (ja) * 2004-04-08 2005-10-27 Favess Co Ltd トルク検出装置及びこれの製造方法
JP2006064578A (ja) * 2004-08-27 2006-03-09 Favess Co Ltd トルク検出装置
JP2006071326A (ja) * 2004-08-31 2006-03-16 Favess Co Ltd トルク検出装置
US11226329B2 (en) 2018-08-27 2022-01-18 Hitachi, Ltd. Exhaled gas detector and exhaled gas detection method

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