JP2002039580A - 高度清浄施設における室圧制御方法 - Google Patents
高度清浄施設における室圧制御方法Info
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Abstract
ることで、施設の室圧を安定させると共に、施設間の空
気の流れが常に一方向になるように室圧を維持している
高度清浄施設における室圧制御方法を提供する。 【解決手段】 本発明は、施設20に給気する給気ファ
ン25と施設から排気する排気ファン26とを相互に制
御することで前室22と作業室21とを外気に対して所
定の室圧に維持している高度清浄施設における室圧制御
方法において、給気量が排気量に対して所定の量差を維
持するように給気ファン25と排気ファン26とをスタ
ート時間を異にすると共に、前室22と作業室21とに
も所定の室圧差を維持することを特徴としており、BH
施設を起動させる際にも室圧の過剰な低下を発生させる
ことなく安定させた差圧を保持すると共に、前室と作業
室との空気の流れを常に一方向にしている。
Description
ける室圧制御方法に関し、特に、給気量が排気量に対し
て所定の量差を維持することで施設の室圧を安定させる
と共に、施設間の空気の流れが一方向になるように室圧
を維持する高度清浄施設における室圧制御方法に関す
る。
や、汚染物質を取り扱う産業施設では、当該室と他室も
しくは外部との間に発生する空気の相互汚染が問題とな
る。この問題を避けるためには、室間の空気の流れを一
方向とするように室圧制御が行われている。
製造工場、食品工場、半導体製造工場のような建物で
は、外部からの粉じんや雑菌の侵入を防がなければなら
ないことから、室圧を外気または周囲室に対して陽圧に
なるように制御している。
施設(以下、BH施設と呼称する)では、室内の空気が
外部に漏洩するのを防がなければならないために、室圧
を外気に対して陰圧に保つように室圧制御を行ってい
る。
よって実施されており、上記の過程におけるファンの起
動・停止時においては、当該室と他室との間に要求室圧
を保つために、以下の運転制御を採用していた。
ら構成されており、その間はドア23によって接続され
ている。又、飼育室21には、安全キャビネット24等
が配置されており、所定の作業を実施できるように構成
されている。
25と排気ファン26とによって空調空気の供給と室内
からの排気が行われている。給気ファン25と各室との
間には、それぞれに、定風量装置27と高性能フィルタ
28とが配置されており、各室と排気ファン26との間
には、高性能フィルタ28と変風量装置29とがそれぞ
れに配置されている。尚、安全キャビネット24と排気
ファン26との間にも、汚染空気が外部に排出されない
ように、高性能フィルタ28が配置されている。
風量装置27によって給気風量を一定に保つと共に、飼
育室21と前室22との間に配置された差圧計30から
の差圧信号によって、飼育室21が前室22に対して陰
圧を常に保つように、変風量装置29の流量を互いに調
整している。これによって、飼育室21と前室22との
間は、例えば30(Pa)の差圧が常に保持されるよう
に制御されており、前室22から飼育室21への空気の
流れを形成している。
に際して空調の停止を行なう必要があり、変更後には早
急にファンを再起動させて、当該室の空気が外部に漏洩
しないように、室圧を外気に対して陰圧に戻すための室
圧制御を行う必要があった。
排気ファン25、26にインバータ31を採用すること
で、給排気ファンの定格回転数が変えられると共に、ス
タートさせてから定格回転に至るまでの立上り時間も制
御できるようにしており、起動時における給排気ファン
の起動特性をそれぞれに異なる設定にすることによっ
て、BH施設20の再起同時における正常な稼働状態を
指向している。
制御盤32において調整することで行われているもので
あり、図5は、従来行われていた制御形態例、図6は、
これによって制御された前室における絶対圧の推移状態
である。
フローチャートに従って行われるものであり、調整のス
タートから定常運転の持続までは、以下の順序で展開さ
れる。
気ファン25の定格回転数(Rs)と排気ファン26の
定格回転数(Re)をRe>Rsに設定する。
での起動時間の設定。給気ファン25の起動時間(T
s)と排気ファン26の起動時間(Te)をTs>Te
に設定する。
給排気ファンの回転数の上昇速度が異なるために、室内
は次第に陰圧が強くなる。
転。Te時間後の陰圧は最も大きくなる
転。給排気ファンの回転数の差による所望の陰圧に収斂
する。 定常運転の持続。
排気ファンによって、形成される前室における絶対圧の
推移状態は、図6に示されている。
(110秒)後には定格運転に到達するのに対して、給
気ファン25はそれより長いTs時間(230秒)後に
定格運転に到達することから、その間の給気ファン25
と排気ファン26の回転数の差が時間と共に大きくな
る。
で、前室22では、給気ファン25が正常運転に至るま
でに室圧が最大350(Pa)も過剰に下がるという問
題が生じている。
の剥がれという事故を招く恐れがあることから、BH施
設における稼働形態としては極めて重大な問題である。
鑑みて検討されたものであり、給気量が排気量に対して
所定の量差を維持することで、施設の室圧を安定させる
と共に、施設間の空気の流れが常に一方向になるように
室圧を維持している高度清浄施設における室圧制御方法
を提供している。
る発明である高度清浄施設における室圧制御方法は、施
設に給気する給気ファンと施設から排気する排気ファン
とを相互に制御することで所定の室圧を維持している高
度清浄施設における室圧制御方法において、給気量が排
気量に対して所定の量差を維持するように給気ファンと
排気ファンとを相互に制御することを特徴としており、
BH施設を起動させる際にも室圧の過剰な低下を発生さ
せることなく安定させた差圧を保持している。
清浄施設における室圧制御方法は、施設に給気する給気
ファンと施設から排気する排気ファンとを相互に制御す
ることで、扉を介して連絡する前室と作業室とを所定の
室圧に維持している高度清浄施設における室圧制御方法
であって、各室における給気量が排気量に対して所定の
量差を維持すると共に、前室の量差が作業室の量差に対
して所定の室圧差を維持するようにしながら給気ファン
と排気ファンとを相互に制御することを特徴としてお
り、BH施設を起動させる際にも室圧の過剰な低下を発
生させることなく安定させた差圧を保持すると共に、前
室と作業室との空気の流れを常に一方向にしている。
清浄施設における室圧制御方法は、請求項1又は2に記
載の室圧制御方法において、給気量の排気量に対する量
差を起動特性が同一の給気ファンと排気ファンとを用い
て、始動に時間差を設けることで維持することを特徴と
しており、上記機能に加えて、給排気ファンの起動の時
間設定を変えることで容易に調整することが出来る。
清浄施設における室圧制御方法は、請求項1乃至3のい
ずれかに記載の室圧制御方法において、給気量の排気量
に対する量差を給気ファンと排気ファンとの回転数の差
で維持することを特徴としており、上記機能に加えて、
給排気ファンの各インバータにおける回転数の設定を変
えることで容易に調整することが出来る。
る室圧制御方法は、施設に給気する給気ファンと施設か
ら排気する排気ファンとを相互に制御することで前室と
作業室とを所定の室圧に維持している高度清浄施設にお
ける室圧制御方法において、給気量が排気量に対して所
定の量差を維持するように給気ファンと排気ファンとを
相互に制御すると共に、前室と作業室とにも所定の室圧
差を維持している。
も室圧の過剰な低下を発生させることなく安定させた差
圧を保持すると共に、前室と作業室との空気の流れを常
に一方向に維持できる。
いて説明するが、理解を容易にするために、従来と同様
の装置等については同符号を付している。
ている。BH施設20は、従来例と同様に飼育室21と
前室22及びその間のドア23から構成されている。そ
して、飼育室21に安全キャビネット24等を配置する
ことも同様である。
と排気ファン26とが配置されて外気の供給と室内から
の排気を行っており、給気ファン25と各室間に配置さ
れている定風量装置27、高性能フィルタ28及び各室
と排気ファン26との間に配置されている高性能フィル
タ28と変風量装置29も、安全キャビネット24と排
気ファン26間に配置されている高性能フィルタ28と
共々に従来例と同様に稼働して、汚染空気が外部に排出
されないように運転制御されている。
の定風量装置27によって給気風量を一定に保つと共
に、飼育室21が前室22に対して陰圧を保つように変
風量装置29の流量は差圧計30の差圧信号で互いに調
整されており、常に所定の差圧が保持されるように制御
されることで、前室22から飼育室21への空気の流れ
を形成している。
インバータ31による給排気ファン25、26の定格回
転数の変更とスタートから定格回転に至るまでの立上り
時間の制御が可能であるばかりでなく、これに加えて、
給排気ファン25、26の起動回路にタイマー33を接
続している。
を互いに異ならせることで、給排気ファン25、26を
同時に電源入れしても、給排気ファン25、26をそれ
ぞれ別々にスタートさせるように構成することが出来
る。
盤32においてインバータ31とタイマー33の設定を
調整することで行われ、これによってBH施設20の起
動時における理想的な稼働を以下のように達成してい
る。
の形態を示すフローチャート図であり、調整のスタート
から定常運転の持続までは、以下の順序で展開される図
示のフローチャートにおいては、スタートとして給排気
ファンを起動させる以前の設定が行われる。
設定。給気ファン25の定格回転数(Rs)と排気ファ
ン26の定格回転数(Re)をRe>Rsに設定する。
達するまでの起動時間の設定。給気ファン25の起動時
間(Ts)と排気ファン26の起動時間(Te)をTs
=Teに設定する。
定。給気ファン25の作動時間=Tと排気ファン26の
作動時間=0を設定する。 (104) 給排気ファンのスイッチオン。
ファン26が作動時間=0で直ちに起動し、室内に陰圧
が発生する。
ファン25が作動時間=Tを経た後に起動し、陰圧は極
端に低下しないで最大になる。
の定格運転。給気ファンの回転数の増加で陰圧が低減さ
れる。
25の定格運転。給排気ファンの回転数の差による所望
の陰圧に収斂する。 (109) 定常運転の持続。
給排気ファンは、前室において図3に示されるような絶
対圧の推移状態を形成する。
オンと同時に起動するので室内には外気に対して陰圧が
発生する。陰圧は、T時間後に給気ファン25が起動す
るまで増加を続けるが、給気ファン25が起動すると陰
圧の増加は停止し、給気ファン25の回転数の増加に連
れて陰圧は低減される。
間後に起動するまで、排気ファン26の運転によって排
気が続けられ、陰圧の増加が継続される。そして、この
間に排気ファンと給気ファン25との間に形成される圧
力差は、零から給気ファン25が起動する約120(P
a)近くまで増加し、その後は、給排気ファンの起動特
性を同一(Ts=Te)にしていることで、排気ファン
26が定格運転に至るまで、その圧力差が保持されるこ
とになる。
するが、給気ファン25の運転で圧力差の増加が停止さ
れた後に一定値に保持されることから、低下する絶対圧
の最大値は従来のように極端な値にまで低下されること
なく停止して、図示のように穏やかな曲線を描いて陰圧
を低減して行き、給気ファン25の定格運転に至って所
定の陰圧に収斂している。
性の同一な排気ファンと給気ファンとをスタート時間に
差を持たせて起動することで、給気量と排気量との間に
所定の量差を保持するようにして、BH施設を起動させ
る際にも室圧の過剰な低下を発生させることなく安定さ
せた差圧を保持している。
同様に実施されている。このために、飼育室21と前室
22とは、それぞれに変風量装置29による排気流量を
調整しながら、流量差による陰圧を保つように構成され
ているが、各室は起動時においても極めて安定した状態
に維持されている。
置されている、差圧計30の差圧信号で互いに調整され
る各室間の差圧も、各室の室圧が安定されていることか
ら安定された状態で保持されることになり、制御系に相
互干渉を発生させることもなく、前室22から飼育室2
1への空気の流れも、殆ど乱されることなく形成するこ
とができる。
間に所定の量差を保持するための手段として、起動特性
の同一な排気ファンと給気ファンとをスタート時間に差
を持たせて起動させているが、本発明による高度清浄施
設における室圧制御方法では、他の手段においても同様
の機能を確立することができる。
ファンの回転数に差を持たせることで、BH施設に所定
の量差を形成する手段である。
ァン回転数で明らかにしているように、インバータの設
定によって、排気ファンの回転数を給気ファンの回転数
よりも所定値だけ大きくなるように制御しており、回転
数の差による供給風量の差を所定値に保持することによ
って、BH施設に外気に対して所定の陰圧を形成してい
る。
性(起動から定格回転数に達するまでの時間の設定)は
同一であるが、排気ファンを先にスタートさせること
は、BH施設に外気に対して陰圧を前以て形成して置く
ことになるから、そのスタートを同じに設定するか時間
差を持たせたものにするかは、BH施設に当初段階で外
気に対して如何なる陰圧を形成するかによって定められ
る。
に対して給気ファンの給気量を減量することで、BH施
設に所定の量差を形成する手段である。
るインバータの間に負荷回路を接続して、給気ファンが
排気ファンよりも常に小さい出力値になるように設定し
ているので、給排気ファンは起動特性を同じにしてその
給排気風量の減量差を一定に維持している。
気ファンがスタートするように回路を構成することで、
排気ファンの作動によってBH施設に外気に対して陰圧
が形成された後に、給気ファンが排気ファンに追随しな
がら減量状態で作動することになって、外気に対して所
望の陰圧が保持されるように制御される。
における室圧制御方法は、高度清浄施設において、給気
量が排気量に対して所定の量差を維持するように給気フ
ァンと排気ファンとを相互に制御すると共に、前室と作
業室との間に所定の室圧差を維持しているので、BH施
設を起動させる際にも室圧の過剰な低下を発生させるこ
となく施設の室圧を安定させると共に、施設間の空気の
流れが常に一方向になるように室圧を維持している。
に説明してきたが、本発明は上記実施の形態に何ら限定
されるものでなく、発明の趣旨に反しない範囲におい
て、各種の変更が可能であることは当然である。
度清浄施設における室圧制御方法は、施設に給気する給
気ファンと施設から排気する排気ファンとを相互に制御
することで所定の室圧を維持している高度清浄施設にお
ける室圧制御方法において、給気量が排気量に対して所
定の量差を維持するように給気ファンと排気ファンとを
相互に制御することを特徴としているので、BH施設を
起動させる際にも室圧の過剰な低下を発生させることな
く安定させた差圧を保持する効果を奏している。
清浄施設における室圧制御方法は、施設に給気する給気
ファンと施設から排気する排気ファンとを相互に制御す
ることで、扉を介して連絡する前室と作業室とを所定の
室圧に維持している高度清浄施設における室圧制御方法
であって、各室における給気量が排気量に対して所定の
量差を維持すると共に、前室の量差が作業室の量差に対
して所定の室圧差を維持するようにしながら給気ファン
と排気ファンとを相互に制御することを特徴としている
ので、BH施設を起動させる際にも室圧の過剰な低下を
発生させることなく安定させた差圧を保持すると共に、
前室と作業室との空気の流れを常に一方向にする効果を
奏している。
清浄施設における室圧制御方法は、請求項1又は2に記
載の室圧制御方法において、給気量の排気量に対する量
差を起動特性が同一の給気ファンと排気ファンとを用い
て、始動に時間差を設けることで維持することを特徴と
しているので、上記効果に加えて、給排気ファンの起動
の時間設定を変えることで容易に調整出来る効果を奏し
ている。
清浄施設における室圧制御方法は、請求項1乃至3のい
ずれかに記載の室圧制御方法において、給気量の排気量
に対する量差を給気ファンと排気ファンとの回転数の差
で維持することを特徴としているので、上記効果に加え
て、給排気ファンの各インバータにおける回転数の設定
を変えることで容易に調整出来る効果を奏している。
おける制御回路図
におけるフローチャート図
よる室圧状態
制御回路図
フローチャート図
圧状態
3 ドア、24 安全キャビネット、 25 給気ファ
ン、 26 排気ファン、27 定風量装置、 28
高性能フィルタ、 29 変風量装置、30 差圧計、
31 インバータ、 32 制御盤、 33 タイマ
ー、
Claims (4)
- 【請求項1】 施設に給気する給気ファンと施設から排
気する排気ファンとを相互に制御することで所定の室圧
を維持している高度清浄施設における室圧制御方法であ
って、給気量が排気量に対して所定の量差を維持するよ
うに給気ファンと排気ファンとを相互に制御することを
特徴とする高度清浄施設における室圧制御方法。 - 【請求項2】 施設に給気する給気ファンと施設から排
気する排気ファンとを相互に制御することで、扉を介し
て連絡する前室と作業室とを所定の室圧に維持している
高度清浄施設における室圧制御方法であって、各室にお
ける給気量が排気量に対して所定の量差を維持すると共
に、前室の量差が作業室の量差に対して所定の室圧差を
維持するようにしながら給気ファンと排気ファンとを相
互に制御することを特徴とする高度清浄施設における室
圧制御方法。 - 【請求項3】 給気量の排気量に対する量差が、起動特
性が同一の給気ファンと排気ファンとを用いて、始動に
時間差を設けることで維持されることを特徴とする請求
項1又は2に記載の高度清浄施設における室圧制御方
法。 - 【請求項4】 給気量の排気量に対する量差が、給気フ
ァンと排気ファンとの回転数の差で維持されることを特
徴とする請求項1乃至3のいずれかに記載の高度清浄施
設における室圧制御方法。
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