JP2001326382A - 反射型光センサとその製造方法 - Google Patents
反射型光センサとその製造方法Info
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Landscapes
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 従来の反射型光センサは発光する光の一部し
か受光素子に届かなかったり、受光領域の一部しか受光
しなかったりして、光の利用効率が低く、性能も不十分
なものであった。本発明はこれらの問題の解決を図る。 【解決手段】 基板21に大型の受光素子23を実装
し、小型の発光素子22を受光素子の上面中央部に積み
重ねて実装して、金属線24で基板にワイヤボンディン
グする。透光性の封止樹脂は二つの部分からなり、封止
樹脂A(26)は受光素子の上面中央部で発光素子を封
止しており、底面に遮光膜A(25)を設け、外周側面
に遮光膜B(27)を設けて遮光してある。封止樹脂A
の周囲に封止樹脂B(28)を充填して受光素子23を
封止している。これにより発光素子を受光領域が取り巻
く構造となって、発光素子から出る光の大部分が受光領
域で受光され、光の利用効率が大幅に向上する。
か受光素子に届かなかったり、受光領域の一部しか受光
しなかったりして、光の利用効率が低く、性能も不十分
なものであった。本発明はこれらの問題の解決を図る。 【解決手段】 基板21に大型の受光素子23を実装
し、小型の発光素子22を受光素子の上面中央部に積み
重ねて実装して、金属線24で基板にワイヤボンディン
グする。透光性の封止樹脂は二つの部分からなり、封止
樹脂A(26)は受光素子の上面中央部で発光素子を封
止しており、底面に遮光膜A(25)を設け、外周側面
に遮光膜B(27)を設けて遮光してある。封止樹脂A
の周囲に封止樹脂B(28)を充填して受光素子23を
封止している。これにより発光素子を受光領域が取り巻
く構造となって、発光素子から出る光の大部分が受光領
域で受光され、光の利用効率が大幅に向上する。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は被検出物の表面から
の反射光を検出する反射型光センサに関する。
の反射光を検出する反射型光センサに関する。
【0002】
【従来の技術】反射型光センサは非接触で物体の有無を
検出するセンサであり、モータ等の回転体の制御や、
紙、フィルム等の位置、端部の検出などに使用される。
図6は反射型光センサの原理的な構成を示すもので、パ
ッケージ1に、発光素子2(例えば赤外LED)と受光
素子3(例えばフォト・トランジスタ)を収容してあ
り、発光素子2から光が矢印のように出て検出対象の物
体4で反射するのを、受光素子3で検知する。これによ
って、反射型光センサの近傍における物体4の有無や位
置に応じて受光素子3からの出力が変化し、これを検出
信号として用いる。
検出するセンサであり、モータ等の回転体の制御や、
紙、フィルム等の位置、端部の検出などに使用される。
図6は反射型光センサの原理的な構成を示すもので、パ
ッケージ1に、発光素子2(例えば赤外LED)と受光
素子3(例えばフォト・トランジスタ)を収容してあ
り、発光素子2から光が矢印のように出て検出対象の物
体4で反射するのを、受光素子3で検知する。これによ
って、反射型光センサの近傍における物体4の有無や位
置に応じて受光素子3からの出力が変化し、これを検出
信号として用いる。
【0003】図7と図8に、発明者らがこれまでに提案
した反射型光センサの例を示す。図7のものは(A)が
斜視図、(B)が(A)のB−B断面図で、ガラス繊維
入りエポキシ樹脂等で作った基板9上の導電パターンに
発光素子2と受光素子3をダイボンドし、金属線13で
ワイヤボンドして、これを透光性の封止樹脂11で封止
してある。封止樹脂11は台形で、側面に金属のメッキ
層などの遮光膜14を被覆してある。封止樹脂11の上
面は遮光膜がなく、光が出入りする窓であり、この窓の
面積を小さくすることにより検出精度を上げることがで
きる。基板9の側面の導電部12はスルーホール技術に
より円弧状の窪みに導電層を形成したもので、これによ
り基板9上面の導電パターンを基板下面の端子電極に接
続している。
した反射型光センサの例を示す。図7のものは(A)が
斜視図、(B)が(A)のB−B断面図で、ガラス繊維
入りエポキシ樹脂等で作った基板9上の導電パターンに
発光素子2と受光素子3をダイボンドし、金属線13で
ワイヤボンドして、これを透光性の封止樹脂11で封止
してある。封止樹脂11は台形で、側面に金属のメッキ
層などの遮光膜14を被覆してある。封止樹脂11の上
面は遮光膜がなく、光が出入りする窓であり、この窓の
面積を小さくすることにより検出精度を上げることがで
きる。基板9の側面の導電部12はスルーホール技術に
より円弧状の窪みに導電層を形成したもので、これによ
り基板9上面の導電パターンを基板下面の端子電極に接
続している。
【0004】図8のものは(A)が斜視図、(B)が
(A)のB−B断面図である。基板9に、遮光性樹脂の
遮光枠10を接合してあり、遮光枠10には貫通した窓
8が二つある。それぞれの窓8の内側で発光素子2と受
光素子3を基板9上の導電パターンにダイボンドし、金
属線13でワイヤボンドして、窓8に透光性の封止樹脂
11を充填し両素子を封止してある。ワイヤボンドは、
通常、金属線13の先端にボールを形成してこれを発光
素子2や受光素子3の表面に接合するが、図8では逆に
ボールを基板側に接合する逆ボンディングを行い、金属
線13がループを生じて部品高さを増すのを押さえてい
る。
(A)のB−B断面図である。基板9に、遮光性樹脂の
遮光枠10を接合してあり、遮光枠10には貫通した窓
8が二つある。それぞれの窓8の内側で発光素子2と受
光素子3を基板9上の導電パターンにダイボンドし、金
属線13でワイヤボンドして、窓8に透光性の封止樹脂
11を充填し両素子を封止してある。ワイヤボンドは、
通常、金属線13の先端にボールを形成してこれを発光
素子2や受光素子3の表面に接合するが、図8では逆に
ボールを基板側に接合する逆ボンディングを行い、金属
線13がループを生じて部品高さを増すのを押さえてい
る。
【0005】発光素子2と受光素子3は、図8(B)に
見るように遮光枠10の中央の仕切り壁に接触させて設
けてある。素子を壁から離してそれぞれ窓8の中央部で
基板9にボンディングすることもできるが、その場合は
素子間の距離がばらつきやすく、従って光路長、ひいて
は光センサの性能がばらつきやすい。その点、素子を壁
に接触させれば位置決めが容易である。基板9の側面の
導電部12により、基板上面の導電パターンを下面の端
子電極に接続してある。発光素子2から出た光は発光素
子側の窓8から出て被検出物体を照射し、反射光が受光
素子側の窓8から戻って受光素子3に達して検出され
る。
見るように遮光枠10の中央の仕切り壁に接触させて設
けてある。素子を壁から離してそれぞれ窓8の中央部で
基板9にボンディングすることもできるが、その場合は
素子間の距離がばらつきやすく、従って光路長、ひいて
は光センサの性能がばらつきやすい。その点、素子を壁
に接触させれば位置決めが容易である。基板9の側面の
導電部12により、基板上面の導電パターンを下面の端
子電極に接続してある。発光素子2から出た光は発光素
子側の窓8から出て被検出物体を照射し、反射光が受光
素子側の窓8から戻って受光素子3に達して検出され
る。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】上記した従来の反射型
光センサには次のような問題がある。図7のものは上面
の窓を狭くしてあるので、発光素子2から出る光の一部
だけが発光側の窓から出て被検出物体に当たって反射
し、さらに反射光の一部だけが受光側の窓に入るのであ
って、光の利用効率が低い。また図8のものは窓8は広
いが、発光素子2と受光素子3が遮光枠10の中央の仕
切り壁に寄り添っているので、発光素子2の発光領域の
うち仕切り壁から離れた部分から出る光だけが、受光素
子3の受光領域のうちの仕切り壁から離れた部分に達し
て検出されるのであって、これも光の利用効率がよくな
い。本発明はこれらの問題を解決して、簡単な構造で高
性能、低価格の反射型光センサを実現するものである。
光センサには次のような問題がある。図7のものは上面
の窓を狭くしてあるので、発光素子2から出る光の一部
だけが発光側の窓から出て被検出物体に当たって反射
し、さらに反射光の一部だけが受光側の窓に入るのであ
って、光の利用効率が低い。また図8のものは窓8は広
いが、発光素子2と受光素子3が遮光枠10の中央の仕
切り壁に寄り添っているので、発光素子2の発光領域の
うち仕切り壁から離れた部分から出る光だけが、受光素
子3の受光領域のうちの仕切り壁から離れた部分に達し
て検出されるのであって、これも光の利用効率がよくな
い。本発明はこれらの問題を解決して、簡単な構造で高
性能、低価格の反射型光センサを実現するものである。
【0007】
【課題を解決するための手段】本発明の反射型光センサ
は、前記の各従来例のように発光素子と受光素子を基板
面上に並べて実装することをせず、面積の大きな受光素
子を基板に実装し、その上面の中央部に受光素子より小
さな発光素子を積み重ねて実装して、ワイヤボンディン
グで基板に接続してある。これら二つの素子を透光性の
樹脂で封止するが、封止樹脂は二つの部分からなってい
る。すなわち、まず、受光素子の中央部の小領域で発光
素子だけを樹脂封止する。そして、この封止樹脂の底面
と、外周側面には金属薄膜の遮光膜を設けてある。さら
にその周囲に第2の封止樹脂を充填して、受光素子23
を封止してある。このように、発光素子を中心に置いて
これを受光領域で取り巻く構成が、本発明の最も特徴的
な点である。
は、前記の各従来例のように発光素子と受光素子を基板
面上に並べて実装することをせず、面積の大きな受光素
子を基板に実装し、その上面の中央部に受光素子より小
さな発光素子を積み重ねて実装して、ワイヤボンディン
グで基板に接続してある。これら二つの素子を透光性の
樹脂で封止するが、封止樹脂は二つの部分からなってい
る。すなわち、まず、受光素子の中央部の小領域で発光
素子だけを樹脂封止する。そして、この封止樹脂の底面
と、外周側面には金属薄膜の遮光膜を設けてある。さら
にその周囲に第2の封止樹脂を充填して、受光素子23
を封止してある。このように、発光素子を中心に置いて
これを受光領域で取り巻く構成が、本発明の最も特徴的
な点である。
【0008】発光素子を封止している封止樹脂と、その
周囲を取り巻く受光素子の封止樹脂の境界面は、金属薄
膜で遮光されているので、発光素子から出る光は封止樹
脂の上面だけから外に出て行く。これにより発光素子か
ら出た光が、直接、受光素子に入射することが防がれ
る。光は被検出物体に当たって反射し、発光素子の周囲
の受光素子封止樹脂の上面から入って、受光素子により
検出される。この構造によれば発光素子からでた光の大
部分が物体を照射し、反射して受光素子に戻ってくるの
で、従来例が構造上の制約のため光の一部しか利用でき
ないのに対し、光の利用効率が大幅に上がる。
周囲を取り巻く受光素子の封止樹脂の境界面は、金属薄
膜で遮光されているので、発光素子から出る光は封止樹
脂の上面だけから外に出て行く。これにより発光素子か
ら出た光が、直接、受光素子に入射することが防がれ
る。光は被検出物体に当たって反射し、発光素子の周囲
の受光素子封止樹脂の上面から入って、受光素子により
検出される。この構造によれば発光素子からでた光の大
部分が物体を照射し、反射して受光素子に戻ってくるの
で、従来例が構造上の制約のため光の一部しか利用でき
ないのに対し、光の利用効率が大幅に上がる。
【0009】また、細部の構造については種々の変形が
可能である。まず、発光素子を積層する受光素子の上面
を平らにせず、中央部に凹部または穴を設けて、その中
に発光素子を配置するのである。こうすれば発光素子上
面と受光素子上面の段差を減らしたり無くしたりでき、
反射光の光路を短くして光の拡散やエネルギー損失を減
らすことができる。
可能である。まず、発光素子を積層する受光素子の上面
を平らにせず、中央部に凹部または穴を設けて、その中
に発光素子を配置するのである。こうすれば発光素子上
面と受光素子上面の段差を減らしたり無くしたりでき、
反射光の光路を短くして光の拡散やエネルギー損失を減
らすことができる。
【0010】あるいは受光素子の中央部に発光素子のチ
ップを実装するのでなく、発光素子を小型の発光素子基
板に実装し、この基板の輪郭内に樹脂を充填し、樹脂の
外周に遮光膜を形成して発光素子ブロックとしたものを
作り、これを受光素子の中央部に実装する。封止樹脂の
下面側はこの小基板で遮光される。
ップを実装するのでなく、発光素子を小型の発光素子基
板に実装し、この基板の輪郭内に樹脂を充填し、樹脂の
外周に遮光膜を形成して発光素子ブロックとしたものを
作り、これを受光素子の中央部に実装する。封止樹脂の
下面側はこの小基板で遮光される。
【0011】また、受光素子は面積が大きいので、表面
を単一の受光面とせず、複数の受光領域に分割すること
ができる。これによって同時に複数の検出データが得ら
れるので、これを差動増幅して、可動の被検出物に対し
検出の感度と周波数特性を改善したりできる。
を単一の受光面とせず、複数の受光領域に分割すること
ができる。これによって同時に複数の検出データが得ら
れるので、これを差動増幅して、可動の被検出物に対し
検出の感度と周波数特性を改善したりできる。
【0012】このような反射型光センサの製造は、個々
の光センサとなる多数の領域を縦横に格子状に含む大型
の集合基板を用いて行うのが便利である。集合基板の多
数の光センサ領域にそれぞれ受光素子を実装し、その上
に発光素子を実装し、各発光素子を樹脂封止し、封止樹
脂表面に遮光膜を形成し、さらに集合基板の全面に樹脂
を充填して多数の受光素子群を同時に封止する。これで
1枚の集合基板上に多くの光センサ部を形成した集合体
が得られ、この集合体を縦横の境界線に沿ってダイシン
グして分割することにより、一度に多くの反射型光セン
サを製作する。
の光センサとなる多数の領域を縦横に格子状に含む大型
の集合基板を用いて行うのが便利である。集合基板の多
数の光センサ領域にそれぞれ受光素子を実装し、その上
に発光素子を実装し、各発光素子を樹脂封止し、封止樹
脂表面に遮光膜を形成し、さらに集合基板の全面に樹脂
を充填して多数の受光素子群を同時に封止する。これで
1枚の集合基板上に多くの光センサ部を形成した集合体
が得られ、この集合体を縦横の境界線に沿ってダイシン
グして分割することにより、一度に多くの反射型光セン
サを製作する。
【0013】
【発明の実施の形態】以下、図面に基づいて本発明の実
施形態を説明する。図1は本発明の反射型光センサの第
1の実施形態で、同図(A)は斜視図、(B)は(A)
のB−B断面図である。基板21上に大型の受光素子2
3をダイボンドし、素子の接続パッド23aと基板の導
電パターンを金属線24でワイヤボンドしてある。図示
は省いたが、基板21には、図7と図8の従来例の基板
9の側面の導電部12と同様の導電部を設けて、上面の
導電パターンを下面の端子電極に接続することができ
る。
施形態を説明する。図1は本発明の反射型光センサの第
1の実施形態で、同図(A)は斜視図、(B)は(A)
のB−B断面図である。基板21上に大型の受光素子2
3をダイボンドし、素子の接続パッド23aと基板の導
電パターンを金属線24でワイヤボンドしてある。図示
は省いたが、基板21には、図7と図8の従来例の基板
9の側面の導電部12と同様の導電部を設けて、上面の
導電パターンを下面の端子電極に接続することができ
る。
【0014】受光素子23の上面中央部に、受光素子2
3よりはるかに小型の発光素子22を積層して実装して
ある。受光素子23の上面にはダイボンド用のパッド2
3bや接続パッド23cが予め形成してあり、発光素子
22はパッド23bにダイボンドしてから接続パッド2
3cに金属線24でワイヤボンドし、これらのパッド2
3b、23cからさらに基板21の導電パターンに金属
線24でワイヤボンドしてある。
3よりはるかに小型の発光素子22を積層して実装して
ある。受光素子23の上面にはダイボンド用のパッド2
3bや接続パッド23cが予め形成してあり、発光素子
22はパッド23bにダイボンドしてから接続パッド2
3cに金属線24でワイヤボンドし、これらのパッド2
3b、23cからさらに基板21の導電パターンに金属
線24でワイヤボンドしてある。
【0015】基板21に実装された発光素子22と受光
素子23は樹脂で封止するが、封止樹脂は二つの部分に
分かれている。すなわち図1に見るように、受光素子2
3の上面中央部で、エポキシ樹脂など透光性の封止樹脂
A(26)により発光素子22を封止してある。そして
その周囲に同じく透光性の封止樹脂B(28)を充填し
て、受光素子23を基板21上に封止してある。発光素
子22を封止している封止樹脂A(26)の下面に金属
薄膜などの遮光膜A(25)を設け、側面には遮光膜B
(27)を被覆してあって、発光素子22の発する光は
遮光膜のない上面だけから放射される。
素子23は樹脂で封止するが、封止樹脂は二つの部分に
分かれている。すなわち図1に見るように、受光素子2
3の上面中央部で、エポキシ樹脂など透光性の封止樹脂
A(26)により発光素子22を封止してある。そして
その周囲に同じく透光性の封止樹脂B(28)を充填し
て、受光素子23を基板21上に封止してある。発光素
子22を封止している封止樹脂A(26)の下面に金属
薄膜などの遮光膜A(25)を設け、側面には遮光膜B
(27)を被覆してあって、発光素子22の発する光は
遮光膜のない上面だけから放射される。
【0016】本発明の反射型光センサを被検出物である
物体4に近づけると、図1(B)の矢印のように、発光
素子22から放射された光が物体4の表面で反射して、
発光素子22の周囲の受光素子23の上面に入射して検
出される。発光素子22を封止している封止樹脂A(2
6)は、底面と外周側面を遮光膜A(25)と遮光膜B
(27)で覆われているから、受光素子23は物体4か
らの反射光だけを受光し、発光素子22の放射する光が
受光素子23に直接入射して測定誤差となることはな
い。受光領域が発光素子22を包囲しているのであるか
ら、図1(B)の矢印のような発光、反射、受光は発光
素子22のほぼ全周で行われ、図7、図8等の従来例に
比して光の利用効率が極めてよいことが理解される。
物体4に近づけると、図1(B)の矢印のように、発光
素子22から放射された光が物体4の表面で反射して、
発光素子22の周囲の受光素子23の上面に入射して検
出される。発光素子22を封止している封止樹脂A(2
6)は、底面と外周側面を遮光膜A(25)と遮光膜B
(27)で覆われているから、受光素子23は物体4か
らの反射光だけを受光し、発光素子22の放射する光が
受光素子23に直接入射して測定誤差となることはな
い。受光領域が発光素子22を包囲しているのであるか
ら、図1(B)の矢印のような発光、反射、受光は発光
素子22のほぼ全周で行われ、図7、図8等の従来例に
比して光の利用効率が極めてよいことが理解される。
【0017】図2は、図1の反射型光センサを分解して
構造を示すとともに、製造工程の概要をも示している。
まず同図(A)のように、基板21に受光素子23をダ
イボンドする。受光素子23には接続パッド23aのほ
か、発光素子を積層するためのダイボンドパッド23b
や、発光素子の電極を基板21に接続するための中継用
の接続パッド23c等が設けてある。また、受光素子2
3の中央部には金属薄膜層などの遮光膜A(25)を設
けてある。遮光膜A(25)とパッド23b、23c等
は、然るべく絶縁して形成する。
構造を示すとともに、製造工程の概要をも示している。
まず同図(A)のように、基板21に受光素子23をダ
イボンドする。受光素子23には接続パッド23aのほ
か、発光素子を積層するためのダイボンドパッド23b
や、発光素子の電極を基板21に接続するための中継用
の接続パッド23c等が設けてある。また、受光素子2
3の中央部には金属薄膜層などの遮光膜A(25)を設
けてある。遮光膜A(25)とパッド23b、23c等
は、然るべく絶縁して形成する。
【0018】次に、同図(B)のように、受光素子23
の上面の中央部に発光素子22をダイボンドし、金属線
24で接続パッド23cにワイヤボンドする。
の上面の中央部に発光素子22をダイボンドし、金属線
24で接続パッド23cにワイヤボンドする。
【0019】次に、樹脂の注入枠などを用いて、受光素
子23の上面中央部に透光性のエポキシ樹脂等を注入、
固化し、同図(C)のように発光素子22を封止樹脂A
(26)中に封止する。封止樹脂A(26)を形成する
のは、同図(A)の遮光膜A(25)の領域である。こ
れにより封止樹脂A(26)の下面は遮光膜A(25)
で遮光される。
子23の上面中央部に透光性のエポキシ樹脂等を注入、
固化し、同図(C)のように発光素子22を封止樹脂A
(26)中に封止する。封止樹脂A(26)を形成する
のは、同図(A)の遮光膜A(25)の領域である。こ
れにより封止樹脂A(26)の下面は遮光膜A(25)
で遮光される。
【0020】次に、フォトレジストやマスク等で基板2
1の上面側を適宜覆って、無電解メッキや真空蒸着等に
より、同図(D)のように封止樹脂A(26)の全側面
に金属薄膜の遮光膜B(27)を被覆する。封止樹脂A
(26)の上面は光の通路であって遮光膜を設けない
が、遮光膜B(27)の形成時に上面にも遮光膜を被覆
し、後工程で上面だけ遮光膜を除去してもよい。これに
より封止樹脂A(26)は全側面と底面が遮光面とな
る。そして受光素子23の接続パッドを金属線24で基
板21にワイヤボンドする。
1の上面側を適宜覆って、無電解メッキや真空蒸着等に
より、同図(D)のように封止樹脂A(26)の全側面
に金属薄膜の遮光膜B(27)を被覆する。封止樹脂A
(26)の上面は光の通路であって遮光膜を設けない
が、遮光膜B(27)の形成時に上面にも遮光膜を被覆
し、後工程で上面だけ遮光膜を除去してもよい。これに
より封止樹脂A(26)は全側面と底面が遮光面とな
る。そして受光素子23の接続パッドを金属線24で基
板21にワイヤボンドする。
【0021】この後、封止樹脂A(26)の周囲に、こ
れと同じ高さに透光性の樹脂を充填して受光素子23を
封止する。すると図1のように封止樹脂B(28)が形
成された状態となって、反射型光センサが完成する。
れと同じ高さに透光性の樹脂を充填して受光素子23を
封止する。すると図1のように封止樹脂B(28)が形
成された状態となって、反射型光センサが完成する。
【0022】図3は本発明の第2の実施形態で、(A)
は斜視図、(B)は(A)のB−B断面図である。基本
構造は先の図1の実施形態と同様で、基板1に大型の受
光素子23を実装し、その上に小型の発光素子22を実
装して封止樹脂A(26)で封止し、封止樹脂A(2
6)の底部と外周側面を遮光膜A(25)と遮光膜B
(27)で覆い、その周囲に封止樹脂B(28)を充填
して受光素子23を封止したものである。発光素子22
から出る光は、同図(B)に矢印で示すように物体4に
当たって反射し、受光素子23で検出される。
は斜視図、(B)は(A)のB−B断面図である。基本
構造は先の図1の実施形態と同様で、基板1に大型の受
光素子23を実装し、その上に小型の発光素子22を実
装して封止樹脂A(26)で封止し、封止樹脂A(2
6)の底部と外周側面を遮光膜A(25)と遮光膜B
(27)で覆い、その周囲に封止樹脂B(28)を充填
して受光素子23を封止したものである。発光素子22
から出る光は、同図(B)に矢印で示すように物体4に
当たって反射し、受光素子23で検出される。
【0023】図3の実施形態が図1と異なるのは、同図
(B)に見るように受光素子23の中央部に凹部を設
け、発光素子22をこの凹部に配置してあることであ
る。従って、図1で受光素子の中央部上面に設けた遮光
膜A(25)は、図3ではこの凹部の斜面や底面に施
す。このように発光素子22を受光素子23の凹部に実
装することにより、発光素子22と受光素子23の上面
の段差を減らすか無くすことができて光路が短縮され、
同図(B)の矢印で示される光線の拡散を小さくして検
出の解像度を上げ、光エネルギーの損失を減らすことが
できる。もちろん部品の薄型化にもなる。
(B)に見るように受光素子23の中央部に凹部を設
け、発光素子22をこの凹部に配置してあることであ
る。従って、図1で受光素子の中央部上面に設けた遮光
膜A(25)は、図3ではこの凹部の斜面や底面に施
す。このように発光素子22を受光素子23の凹部に実
装することにより、発光素子22と受光素子23の上面
の段差を減らすか無くすことができて光路が短縮され、
同図(B)の矢印で示される光線の拡散を小さくして検
出の解像度を上げ、光エネルギーの損失を減らすことが
できる。もちろん部品の薄型化にもなる。
【0024】受光素子23に凹部でなく貫通穴を設ける
こともできる。貫通穴の場合は発光素子22は受光素子
23上でなく、基板21に実装することになる。また、
この実施形態では、図3(A)のように、受光素子23
上面の受光領域を境界線23dで四つに分割して、各領
域から光の検出信号を得るようにしてある。受光領域の
面積が大きいと接合容量が増えて、高速で動く物体や振
動する物体の検出の際に周波数特性が劣化する傾向を生
じるが、受光領域を分割することでこの問題が改善さ
れ、また、これによって同時に4組の検出データが得ら
れるので、これらを差動増幅したりすることによって検
出精度を上げることができる。
こともできる。貫通穴の場合は発光素子22は受光素子
23上でなく、基板21に実装することになる。また、
この実施形態では、図3(A)のように、受光素子23
上面の受光領域を境界線23dで四つに分割して、各領
域から光の検出信号を得るようにしてある。受光領域の
面積が大きいと接合容量が増えて、高速で動く物体や振
動する物体の検出の際に周波数特性が劣化する傾向を生
じるが、受光領域を分割することでこの問題が改善さ
れ、また、これによって同時に4組の検出データが得ら
れるので、これらを差動増幅したりすることによって検
出精度を上げることができる。
【0025】図3の実施形態の分解図は省略するが、受
光素子23の上面に凹部があること、上面が複数領域に
分割されて接続パッド23aの数が増えること、を除い
て図2の分解図とほぼ同様である。なお、受光素子23
の上面を複数の受光領域に分割する構造は、もちろん図
1、図2の第1の実施形態にも適用できる。
光素子23の上面に凹部があること、上面が複数領域に
分割されて接続パッド23aの数が増えること、を除い
て図2の分解図とほぼ同様である。なお、受光素子23
の上面を複数の受光領域に分割する構造は、もちろん図
1、図2の第1の実施形態にも適用できる。
【0026】図4は本発明の第3の実施形態で、(A)
は斜視図、(B)は(A)のB−B断面図である。これ
も基本的には図1の実施形態と同様で、基板1に大型の
受光素子23を実装し、その上に小型の発光素子22を
実装して、発光素子22を封止樹脂A(26)で封止し
て樹脂の外周側面に遮光膜B(27)を施し、周囲に封
止樹脂B(28)を充填して受光素子23を封止した構
造であるが、図1のものと異なるのは、発光素子22を
受光素子23上に直接に実装するのでなく、小型の発光
素子基板29を介している点である。
は斜視図、(B)は(A)のB−B断面図である。これ
も基本的には図1の実施形態と同様で、基板1に大型の
受光素子23を実装し、その上に小型の発光素子22を
実装して、発光素子22を封止樹脂A(26)で封止し
て樹脂の外周側面に遮光膜B(27)を施し、周囲に封
止樹脂B(28)を充填して受光素子23を封止した構
造であるが、図1のものと異なるのは、発光素子22を
受光素子23上に直接に実装するのでなく、小型の発光
素子基板29を介している点である。
【0027】発光素子22を小型の発光素子基板29に
実装し、封止樹脂A(26)を発光素子基板29の輪郭
内に充填して発光素子22を封止し、封止樹脂A(2
6)の外周側面に遮光膜B(27)を形成したものが発
光素子ブロックをなしている。封止樹脂A(26)の下
面は発光素子基板29で遮光されるから、図1や図3の
実施形態のように、受光素子23の上面中央部に遮光膜
A(25)を形成しておくことが不要である。動作時の
光の経路は図4(B)の矢印のようになる。この実施形
態においても、図3の実施形態と同様に受光素子23の
受光領域を複数に分割して構成することができる。
実装し、封止樹脂A(26)を発光素子基板29の輪郭
内に充填して発光素子22を封止し、封止樹脂A(2
6)の外周側面に遮光膜B(27)を形成したものが発
光素子ブロックをなしている。封止樹脂A(26)の下
面は発光素子基板29で遮光されるから、図1や図3の
実施形態のように、受光素子23の上面中央部に遮光膜
A(25)を形成しておくことが不要である。動作時の
光の経路は図4(B)の矢印のようになる。この実施形
態においても、図3の実施形態と同様に受光素子23の
受光領域を複数に分割して構成することができる。
【0028】図5は図4の実施形態の分解図であって、
概略の製造工程をも示している。まず、同図(A)は発
光素子ブロックであって、発光素子基板29は、図では
見えないが、発光素子22のダイボンド用パッドや接続
パッドを備えており、これに発光素子22をダイボンド
し、金属線24でワイヤボンドしてある。発光素子基板
29上面のパッド類はスルーホール、あるいは図7、図
8の従来例の基板9の側面の導電部12と同様の導電部
などによって下面の接続端子に接続されている。そして
発光素子基板29上に封止樹脂A(26)を充填して、
発光素子22を封止し、封止樹脂A(26)の外周側面
にメッキ、蒸着等により、遮光膜B(27)を形成して
ある。
概略の製造工程をも示している。まず、同図(A)は発
光素子ブロックであって、発光素子基板29は、図では
見えないが、発光素子22のダイボンド用パッドや接続
パッドを備えており、これに発光素子22をダイボンド
し、金属線24でワイヤボンドしてある。発光素子基板
29上面のパッド類はスルーホール、あるいは図7、図
8の従来例の基板9の側面の導電部12と同様の導電部
などによって下面の接続端子に接続されている。そして
発光素子基板29上に封止樹脂A(26)を充填して、
発光素子22を封止し、封止樹脂A(26)の外周側面
にメッキ、蒸着等により、遮光膜B(27)を形成して
ある。
【0029】一方、図5(B)に見るように、基板21
に大型の受光素子23をダイボンドする。受光素子23
の上面には接続パッド23aや、発光素子ブロックの実
装用の接続パッド23e、23f等が設けてあり、これ
に図(A)の発光素子ブロックを同図(C)のように実
装して、金属線24で所要のワイヤボンドを行う。そし
て、発光素子ブロックの周囲に透光性の封止樹脂を、図
4の封止樹脂B(28)のように充填すれば完成する。
に大型の受光素子23をダイボンドする。受光素子23
の上面には接続パッド23aや、発光素子ブロックの実
装用の接続パッド23e、23f等が設けてあり、これ
に図(A)の発光素子ブロックを同図(C)のように実
装して、金属線24で所要のワイヤボンドを行う。そし
て、発光素子ブロックの周囲に透光性の封止樹脂を、図
4の封止樹脂B(28)のように充填すれば完成する。
【0030】本発明の反射型光センサを大量生産するに
は、光センサの基板となる領域を数百個以上、縦横にマ
トリクス状に配置した大型の集合基板を用いて行うのが
便利である。すなわち前記図1ないし図3の実施形態に
ついては、次のような製造工程となる。 1.集合基板の各光センサ領域に、それぞれ受光素子2
3をダイボンドする。 2.各受光素子23の上面中央部の遮光膜A(25)形
成部に、発光素子22をダイボンドし、ワイヤボンドす
る。 3.適宜の注入枠を用い、透光性の封止樹脂A(26)
を注入して、発光素子22を封止する。封止樹脂A(2
6)が集合基板上に島状に多数できる。 4.集合基板の上面を適宜マスクして、無電解メッキ、
真空蒸着等により各封止樹脂A(26)の外周側面に金
属薄膜の遮光膜B(28)を被覆する。 5.各受光素子23の接続パッド23aを集合基板にワ
イヤボンドする。 6.集合基板上の多数の島状の封止樹脂A(26)の間
に、透光性の封止樹脂B(28)を充填して受光素子
(23)群を封止する。 7.集合基板上に封止樹脂B(28)を充填した集合体
を、各光センサ領域を区分する縦横の境界線に沿って、
カッターでダイシングする。こうして分割された各小片
が個々の反射型光センサの完成品となる。 以上、必要に応じて入れ換え可能な手順もあるが、概
略、このような工程である。
は、光センサの基板となる領域を数百個以上、縦横にマ
トリクス状に配置した大型の集合基板を用いて行うのが
便利である。すなわち前記図1ないし図3の実施形態に
ついては、次のような製造工程となる。 1.集合基板の各光センサ領域に、それぞれ受光素子2
3をダイボンドする。 2.各受光素子23の上面中央部の遮光膜A(25)形
成部に、発光素子22をダイボンドし、ワイヤボンドす
る。 3.適宜の注入枠を用い、透光性の封止樹脂A(26)
を注入して、発光素子22を封止する。封止樹脂A(2
6)が集合基板上に島状に多数できる。 4.集合基板の上面を適宜マスクして、無電解メッキ、
真空蒸着等により各封止樹脂A(26)の外周側面に金
属薄膜の遮光膜B(28)を被覆する。 5.各受光素子23の接続パッド23aを集合基板にワ
イヤボンドする。 6.集合基板上の多数の島状の封止樹脂A(26)の間
に、透光性の封止樹脂B(28)を充填して受光素子
(23)群を封止する。 7.集合基板上に封止樹脂B(28)を充填した集合体
を、各光センサ領域を区分する縦横の境界線に沿って、
カッターでダイシングする。こうして分割された各小片
が個々の反射型光センサの完成品となる。 以上、必要に応じて入れ換え可能な手順もあるが、概
略、このような工程である。
【0031】手順7以降を次のようにするのも有用であ
る。 7.境界線に沿って、集合基板表面に達するまで封止樹
脂B(28)をハーフダイシングし、封止樹脂B(2
8)に縦横の溝を作る。 8.メッキや蒸着により、封止樹脂B(28)の縦横の
溝中に遮光膜を被覆する。溝の中だけを被覆するには、
封止樹脂B(28)の上面をマスクするなり、あるいは
上面も一緒に被覆した後、上面の被覆を除去するなりす
る。 9.縦横の溝に沿って集合基板をダイシングする。分割
された各小片は個々の反射型光センサであるが、封止樹
脂B(28)の外周側面にも遮光膜が被覆されたものと
なる。 このようにして封止樹脂B(28)の外周側面にも遮光
膜を被覆すれば、光が封止樹脂内に閉じ込められて一層
利用率が上がるとともに、光が漏れて付近の他の素子と
干渉したりしないものが得られる。
る。 7.境界線に沿って、集合基板表面に達するまで封止樹
脂B(28)をハーフダイシングし、封止樹脂B(2
8)に縦横の溝を作る。 8.メッキや蒸着により、封止樹脂B(28)の縦横の
溝中に遮光膜を被覆する。溝の中だけを被覆するには、
封止樹脂B(28)の上面をマスクするなり、あるいは
上面も一緒に被覆した後、上面の被覆を除去するなりす
る。 9.縦横の溝に沿って集合基板をダイシングする。分割
された各小片は個々の反射型光センサであるが、封止樹
脂B(28)の外周側面にも遮光膜が被覆されたものと
なる。 このようにして封止樹脂B(28)の外周側面にも遮光
膜を被覆すれば、光が封止樹脂内に閉じ込められて一層
利用率が上がるとともに、光が漏れて付近の他の素子と
干渉したりしないものが得られる。
【0032】図4の実施形態についても、集合基板を用
いて製造するのが便利なことは容易に理解される。ただ
し、図1〜図3の実施形態の場合は、受光素子23上に
発光素子22のチップを実装して樹脂封止するが、図4
の実施形態の場合は発光素子22のチップでなく、図5
(A)に示すような発光素子ブロックを予め製作して、
これを受光素子23上に搭載する。
いて製造するのが便利なことは容易に理解される。ただ
し、図1〜図3の実施形態の場合は、受光素子23上に
発光素子22のチップを実装して樹脂封止するが、図4
の実施形態の場合は発光素子22のチップでなく、図5
(A)に示すような発光素子ブロックを予め製作して、
これを受光素子23上に搭載する。
【0033】この発光素子ブロックの製作も集合基板を
用いて行うのが便利である。すなわち多数の発光素子基
板29となる領域を縦横に格子状に含む集合基板を用意
して、各領域にそれぞれ発光素子22をダイボンドし、
金属線24でワイヤボンドする。次いで透光性の封止樹
脂を注入して、各発光素子22を封止する。これには仕
切りのある注入枠を用いて発光素子22毎にブロック状
の封止樹脂A(26)を形成するか、あるいは集合基板
の全面に封止樹脂を充填して全発光素子を同時に封止し
た後、カッターで封止樹脂だけを縦横にハーフダイシン
グして溝を作る。いずれにしても集合基板上に多数の封
止樹脂A(26)群が溝で分離されて乗っているものと
なる。
用いて行うのが便利である。すなわち多数の発光素子基
板29となる領域を縦横に格子状に含む集合基板を用意
して、各領域にそれぞれ発光素子22をダイボンドし、
金属線24でワイヤボンドする。次いで透光性の封止樹
脂を注入して、各発光素子22を封止する。これには仕
切りのある注入枠を用いて発光素子22毎にブロック状
の封止樹脂A(26)を形成するか、あるいは集合基板
の全面に封止樹脂を充填して全発光素子を同時に封止し
た後、カッターで封止樹脂だけを縦横にハーフダイシン
グして溝を作る。いずれにしても集合基板上に多数の封
止樹脂A(26)群が溝で分離されて乗っているものと
なる。
【0034】次いで、適宜のマスクを用い、メッキある
いは蒸着等によって、上記の溝の内面に金属薄膜を被覆
する。これで遮光膜B(27)が形成されたのであり、
この後、溝に沿って集合基板をカッターで縦横にダイシ
ングすれば、分割された個々の小片が図5(A)の発光
素子ブロックとなる。これを、別の集合基板上に実装し
た多くの受光素子23上に実装するのである。
いは蒸着等によって、上記の溝の内面に金属薄膜を被覆
する。これで遮光膜B(27)が形成されたのであり、
この後、溝に沿って集合基板をカッターで縦横にダイシ
ングすれば、分割された個々の小片が図5(A)の発光
素子ブロックとなる。これを、別の集合基板上に実装し
た多くの受光素子23上に実装するのである。
【0035】図5(A)の発光素子ブロックにて、遮光
膜B(27)を、封止樹脂A(26)の側面だけでなく
発光素子基板29の輪郭側面にも被覆すれば、発光素子
22と受光素子23間の遮光がさらに確実になる。それ
には発光素子ブロック製作用の集合基板上に充填した封
止樹脂だけをハーフダイシングするのでなく、集合基板
をも縦横にフルダイシングして個別の発光素子基板29
に分割する。前記の各場合も含め、フルダイシングは集
合基板を粘着シートに貼り付けておいて行うから、各部
分がばらばらになることはなく、遮光膜B(27)のな
い発光素子ブロックが粘着シート上に溝で区分されて並
んだ状態になる。そこで溝中に遮光膜を被覆すれば、封
止樹脂A(26)の側面と発光素子基板29の側面に共
通に遮光膜B(27)を施した発光素子ブロックとな
る。
膜B(27)を、封止樹脂A(26)の側面だけでなく
発光素子基板29の輪郭側面にも被覆すれば、発光素子
22と受光素子23間の遮光がさらに確実になる。それ
には発光素子ブロック製作用の集合基板上に充填した封
止樹脂だけをハーフダイシングするのでなく、集合基板
をも縦横にフルダイシングして個別の発光素子基板29
に分割する。前記の各場合も含め、フルダイシングは集
合基板を粘着シートに貼り付けておいて行うから、各部
分がばらばらになることはなく、遮光膜B(27)のな
い発光素子ブロックが粘着シート上に溝で区分されて並
んだ状態になる。そこで溝中に遮光膜を被覆すれば、封
止樹脂A(26)の側面と発光素子基板29の側面に共
通に遮光膜B(27)を施した発光素子ブロックとな
る。
【0036】
【発明の効果】本発明の反射型光センサは、次のような
効果を有する。 1.受光領域が発光素子を包囲しているので、発光素子
の放射光がほぼ全部受光領域に到達し、光の利用効率や
S/N比が上がる。 2.受光素子に凹部を設けたり穴を開けたりして発光素
子を配置することにより、製品の薄型化や、光路長、解
像度の調節が可能になる。 3.発光素子を包囲している受光領域を分割することに
より、差動増幅を行って検出の周波数特性を改善した
り、検出精度を上げたりできる。 4.集合基板を用いて製作することにより、特性にばら
つきのない製品を高能率で生産できる。 このように本発明によれば、小型、高性能で信頼性の高
い反射型光センサを廉価に提供できる。
効果を有する。 1.受光領域が発光素子を包囲しているので、発光素子
の放射光がほぼ全部受光領域に到達し、光の利用効率や
S/N比が上がる。 2.受光素子に凹部を設けたり穴を開けたりして発光素
子を配置することにより、製品の薄型化や、光路長、解
像度の調節が可能になる。 3.発光素子を包囲している受光領域を分割することに
より、差動増幅を行って検出の周波数特性を改善した
り、検出精度を上げたりできる。 4.集合基板を用いて製作することにより、特性にばら
つきのない製品を高能率で生産できる。 このように本発明によれば、小型、高性能で信頼性の高
い反射型光センサを廉価に提供できる。
【図1】本発明の実施形態で、(A)は斜視図、(B)
は(A)のB−B断面図である。
は(A)のB−B断面図である。
【図2】図1の実施形態の分解斜視図である。
【図3】本発明の別の実施形態で、(A)は斜視図、
(B)は(A)のB−B断面図である。
(B)は(A)のB−B断面図である。
【図4】本発明のさらに別の実施形態で、(A)は斜視
図、(B)は(A)のB−B断面図である。
図、(B)は(A)のB−B断面図である。
【図5】図4の実施形態の分解斜視図である。
【図6】反射型光センサの原理的構成図である。
【図7】反射型光センサの従来例で、(A)が斜視図、
(B)が(A)のB−B断面図である。
(B)が(A)のB−B断面図である。
【図8】反射型光センサの別の従来例で、(A)が斜視
図、(B)が(A)のB−B断面図である。
図、(B)が(A)のB−B断面図である。
2、22 発光素子 3、23 受光素子 8 窓 9、21 基板 10 遮光枠 11 封止樹脂 14 遮光膜 25 遮光膜A 26 封止樹脂A 27 遮光膜B 28 封止樹脂B 29 発光素子基板
Claims (7)
- 【請求項1】 発光素子と受光素子を備えた反射型光セ
ンサであって、 大型の受光素子を基板に実装し、該受光素子は上面が平
らであるか、あるいは上面中央部に凹部を設けてある
か、あるいは中央部に貫通穴を設けたものであり、 小型の発光素子を受光素子の上面、あるいは上面の凹
部、あるいは中央部の貫通穴の内側に位置する基板のい
ずれかに実装し、 受光素子の中央部で、周辺に余裕を残して発光素子を透
光性樹脂中に封止し、 発光素子を受光素子の上面または上面の凹部に実装する
ものにおいては、発光素子を封止した樹脂の底面および
外周側面に遮光膜を設け、 発光素子を受光素子の貫通穴の内側で基板に実装するも
のにおいては、発光素子を封止した樹脂の外周側面に遮
光膜を設けてあり、 受光素子の封止樹脂の周囲に透光性樹脂を充填して受光
素子を封止することにより、発光素子を受光素子の受光
領域で包囲したことを特徴とする反射型光センサ。 - 【請求項2】 請求項1に記載の反射型光センサにおい
て、 発光素子とその封止樹脂と該封止樹脂の外周側面の遮光
膜は、発光素子を小型の発光素子基板に実装して該発光
素子基板上に透光性の樹脂で封止し、少なくとも該封止
樹脂の外周側面に遮光膜を設けた発光素子ブロックの形
でまとまっており、これを前記いずれかの実装箇所に配
置し、その周囲に受光素子の封止樹脂を充填してあるこ
とを特徴とする反射型光センサ。 - 【請求項3】 請求項1に記載の反射型光センサにおい
て、 発光素子、受光素子と基板の接続は、ワイヤボンディン
グによることを特徴とする反射型光センサ。 - 【請求項4】 請求項1に記載の反射型光センサにおい
て、 発光素子を取り囲む受光素子の受光領域を複数の領域に
分割してあることを特徴とする反射型光センサ。 - 【請求項5】 請求項1または請求項2に記載の反射型
光センサの製造方法であって、 個々の反射型光センサの基板に相当する領域を、多数
個、縦横に格子状に含む集合基板を用い、 該集合基板上の各光センサ領域に発光素子、受光素子、
発光素子の封止樹脂、発光素子の封止樹脂表面の遮光
膜、受光素子の封止樹脂等からなる光センサ部を形成
し、 これを領域の境界線に沿ってダイシングすることによ
り、分割された各小片を反射型光センサの完成品として
得ることを特徴とする反射型光センサの製造方法。 - 【請求項6】 請求項2に記載の反射型光センサの製造
方法であって、 前記発光素子ブロックを製造するのに、個々の発光素子
基板に相当する領域を、多数個、縦横に格子状に含む集
合基板を用い、 上記の各領域にそれぞれ発光素子を実装し、各領域毎に
独立に封止樹脂を注入するか、あるいは集合基板全面に
封止樹脂を充填した後、封止樹脂のみをハーフダイシン
グすることによって各封止樹脂が縦横の溝で区分された
形状とし、メッキまたは真空蒸着等によって該溝内に遮
光膜を形成し、これを該溝に沿ってダイシングすること
により、分割された各小片を発光素子ブロックとして得
ることを特徴とする反射型光センサの製造方法。 - 【請求項7】 請求項2に記載の反射型光センサの製造
方法であって、 前記発光素子ブロックを製造するのに、個々の発光素子
基板に相当する領域を、多数個、縦横に格子状に含む集
合基板を用い、 上記の各領域にそれぞれ発光素子を実装して集合基板全
面に封止樹脂を充填し、集合基板を貼り付けた粘着シー
トを残して封止樹脂と集合基板をフルダイシングするこ
とによって、遮光膜形成前の発光素子ブロックが縦横の
溝で区分されて粘着シート上に乗っている状態とし、メ
ッキまたは真空蒸着等によって該溝内に遮光膜を形成す
ることにより、粘着シートから剥離した各小片が発光素
子基板の輪郭側面にも遮光膜を施した発光素子ブロック
となることを特徴とする反射型光センサの製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2000142530A JP2001326382A (ja) | 2000-05-15 | 2000-05-15 | 反射型光センサとその製造方法 |
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2000142530A JP2001326382A (ja) | 2000-05-15 | 2000-05-15 | 反射型光センサとその製造方法 |
Publications (1)
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---|---|
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ID=18649471
Family Applications (1)
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JP2000142530A Pending JP2001326382A (ja) | 2000-05-15 | 2000-05-15 | 反射型光センサとその製造方法 |
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Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2001326382A (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPWO2008117800A1 (ja) * | 2007-03-26 | 2010-07-15 | 仁科 ▲りん▼太郎 | 反射型光センサ |
WO2011143638A3 (en) * | 2010-05-14 | 2012-03-01 | The Regents Of The University Of California | Vacuum photosensor device with electron lensing |
JP2013201919A (ja) * | 2012-03-27 | 2013-10-07 | Kubota Corp | 粒体供給装置 |
WO2014199792A1 (ja) | 2013-06-11 | 2014-12-18 | Necソリューションイノベータ株式会社 | 光学ユニット及び光学分析装置 |
-
2000
- 2000-05-15 JP JP2000142530A patent/JP2001326382A/ja active Pending
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