JP2001106938A - ブラックマトリックス形成用レジスト用カーボンブラック分散液 - Google Patents
ブラックマトリックス形成用レジスト用カーボンブラック分散液Info
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- 239000006229 carbon black Substances 0.000 title claims abstract description 94
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 title claims abstract description 46
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 title claims abstract description 32
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 title description 2
- 229920005989 resin Polymers 0.000 claims abstract description 50
- 239000011347 resin Substances 0.000 claims abstract description 50
- 239000002270 dispersing agent Substances 0.000 claims abstract description 23
- 239000002612 dispersion medium Substances 0.000 claims abstract description 13
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 12
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 claims description 9
- 125000003277 amino group Chemical group 0.000 claims description 3
- 239000002002 slurry Substances 0.000 claims description 3
- 235000019241 carbon black Nutrition 0.000 description 82
- -1 imidazole compound Chemical class 0.000 description 15
- 238000001723 curing Methods 0.000 description 12
- 239000003822 epoxy resin Substances 0.000 description 12
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 description 12
- 239000000839 emulsion Substances 0.000 description 11
- 238000000034 method Methods 0.000 description 11
- LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N Ethanol Chemical compound CCO LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 9
- YXFVVABEGXRONW-UHFFFAOYSA-N Toluene Chemical compound CC1=CC=CC=C1 YXFVVABEGXRONW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 9
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 9
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 9
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 9
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 8
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 8
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 7
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 7
- 239000000178 monomer Substances 0.000 description 7
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 7
- 229920001577 copolymer Polymers 0.000 description 6
- 239000010408 film Substances 0.000 description 6
- 229920003986 novolac Polymers 0.000 description 6
- KCTAWXVAICEBSD-UHFFFAOYSA-N prop-2-enoyloxy prop-2-eneperoxoate Chemical compound C=CC(=O)OOOC(=O)C=C KCTAWXVAICEBSD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 239000004094 surface-active agent Substances 0.000 description 6
- 239000002253 acid Substances 0.000 description 5
- 239000003086 colorant Substances 0.000 description 5
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 5
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 5
- 229920000058 polyacrylate Polymers 0.000 description 5
- NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-M Acrylate Chemical compound [O-]C(=O)C=C NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 4
- MHAJPDPJQMAIIY-UHFFFAOYSA-N Hydrogen peroxide Chemical compound OO MHAJPDPJQMAIIY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- CBENFWSGALASAD-UHFFFAOYSA-N Ozone Chemical compound [O-][O+]=O CBENFWSGALASAD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229920003171 Poly (ethylene oxide) Polymers 0.000 description 4
- IISBACLAFKSPIT-UHFFFAOYSA-N bisphenol A Chemical compound C=1C=C(O)C=CC=1C(C)(C)C1=CC=C(O)C=C1 IISBACLAFKSPIT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 238000004040 coloring Methods 0.000 description 4
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 4
- RAXXELZNTBOGNW-UHFFFAOYSA-N imidazole Natural products C1=CNC=N1 RAXXELZNTBOGNW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 4
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 4
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 4
- 230000000704 physical effect Effects 0.000 description 4
- 229920005596 polymer binder Polymers 0.000 description 4
- 239000002491 polymer binding agent Substances 0.000 description 4
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 4
- LLHKCFNBLRBOGN-UHFFFAOYSA-N propylene glycol methyl ether acetate Chemical compound COCC(C)OC(C)=O LLHKCFNBLRBOGN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 4
- MUBZPKHOEPUJKR-UHFFFAOYSA-N Oxalic acid Chemical compound OC(=O)C(O)=O MUBZPKHOEPUJKR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910019142 PO4 Inorganic materials 0.000 description 3
- ISWSIDIOOBJBQZ-UHFFFAOYSA-N Phenol Chemical compound OC1=CC=CC=C1 ISWSIDIOOBJBQZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- KWYUFKZDYYNOTN-UHFFFAOYSA-M Potassium hydroxide Chemical compound [OH-].[K+] KWYUFKZDYYNOTN-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 3
- HEMHJVSKTPXQMS-UHFFFAOYSA-M Sodium hydroxide Chemical compound [OH-].[Na+] HEMHJVSKTPXQMS-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 3
- 125000000217 alkyl group Chemical group 0.000 description 3
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 3
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 3
- 239000003999 initiator Substances 0.000 description 3
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 3
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 3
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 3
- 235000021317 phosphate Nutrition 0.000 description 3
- 229910052708 sodium Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000011734 sodium Substances 0.000 description 3
- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 description 3
- SVONRAPFKPVNKG-UHFFFAOYSA-N 2-ethoxyethyl acetate Chemical compound CCOCCOC(C)=O SVONRAPFKPVNKG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- OMIGHNLMNHATMP-UHFFFAOYSA-N 2-hydroxyethyl prop-2-enoate Chemical compound OCCOC(=O)C=C OMIGHNLMNHATMP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- QTWJRLJHJPIABL-UHFFFAOYSA-N 2-methylphenol;3-methylphenol;4-methylphenol Chemical compound CC1=CC=C(O)C=C1.CC1=CC=CC(O)=C1.CC1=CC=CC=C1O QTWJRLJHJPIABL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- POYODSZSSBWJPD-UHFFFAOYSA-N 2-methylprop-2-enoyloxy 2-methylprop-2-eneperoxoate Chemical compound CC(=C)C(=O)OOOC(=O)C(C)=C POYODSZSSBWJPD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- ULKLGIFJWFIQFF-UHFFFAOYSA-N 5K8XI641G3 Chemical compound CCC1=NC=C(C)N1 ULKLGIFJWFIQFF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910001369 Brass Inorganic materials 0.000 description 2
- CERQOIWHTDAKMF-UHFFFAOYSA-N Methacrylic acid Chemical compound CC(=C)C(O)=O CERQOIWHTDAKMF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- BAPJBEWLBFYGME-UHFFFAOYSA-N Methyl acrylate Chemical compound COC(=O)C=C BAPJBEWLBFYGME-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- VVQNEPGJFQJSBK-UHFFFAOYSA-N Methyl methacrylate Chemical compound COC(=O)C(C)=C VVQNEPGJFQJSBK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- FFDGPVCHZBVARC-UHFFFAOYSA-N N,N-dimethylglycine Chemical compound CN(C)CC(O)=O FFDGPVCHZBVARC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- GRYLNZFGIOXLOG-UHFFFAOYSA-N Nitric acid Chemical compound O[N+]([O-])=O GRYLNZFGIOXLOG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- CDBYLPFSWZWCQE-UHFFFAOYSA-L Sodium Carbonate Chemical compound [Na+].[Na+].[O-]C([O-])=O CDBYLPFSWZWCQE-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 2
- DBMJMQXJHONAFJ-UHFFFAOYSA-M Sodium laurylsulphate Chemical compound [Na+].CCCCCCCCCCCCOS([O-])(=O)=O DBMJMQXJHONAFJ-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 2
- PPBRXRYQALVLMV-UHFFFAOYSA-N Styrene Chemical compound C=CC1=CC=CC=C1 PPBRXRYQALVLMV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000004809 Teflon Substances 0.000 description 2
- 229920006362 Teflon® Polymers 0.000 description 2
- MCMNRKCIXSYSNV-UHFFFAOYSA-N Zirconium dioxide Chemical compound O=[Zr]=O MCMNRKCIXSYSNV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N acrylic acid group Chemical group C(C=C)(=O)O NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000003513 alkali Substances 0.000 description 2
- 229910052783 alkali metal Inorganic materials 0.000 description 2
- 150000001340 alkali metals Chemical class 0.000 description 2
- 229910052784 alkaline earth metal Inorganic materials 0.000 description 2
- 150000001342 alkaline earth metals Chemical class 0.000 description 2
- 150000001408 amides Chemical class 0.000 description 2
- 150000001412 amines Chemical class 0.000 description 2
- 239000002280 amphoteric surfactant Substances 0.000 description 2
- 239000003945 anionic surfactant Substances 0.000 description 2
- 239000010951 brass Substances 0.000 description 2
- 229910052791 calcium Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000011247 coating layer Substances 0.000 description 2
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 2
- 229930003836 cresol Natural products 0.000 description 2
- 238000010790 dilution Methods 0.000 description 2
- 239000012895 dilution Substances 0.000 description 2
- 150000002148 esters Chemical class 0.000 description 2
- 238000001914 filtration Methods 0.000 description 2
- KWIUHFFTVRNATP-UHFFFAOYSA-N glycine betaine Chemical compound C[N+](C)(C)CC([O-])=O KWIUHFFTVRNATP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- JVTAAEKCZFNVCJ-UHFFFAOYSA-N lactic acid Chemical compound CC(O)C(O)=O JVTAAEKCZFNVCJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 2
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 2
- 229910017604 nitric acid Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000002736 nonionic surfactant Substances 0.000 description 2
- QWVGKYWNOKOFNN-UHFFFAOYSA-N o-cresol Chemical compound CC1=CC=CC=C1O QWVGKYWNOKOFNN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000007800 oxidant agent Substances 0.000 description 2
- 229920000728 polyester Polymers 0.000 description 2
- 229920002635 polyurethane Polymers 0.000 description 2
- 239000004814 polyurethane Substances 0.000 description 2
- BWHMMNNQKKPAPP-UHFFFAOYSA-L potassium carbonate Chemical compound [K+].[K+].[O-]C([O-])=O BWHMMNNQKKPAPP-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 2
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 2
- 239000004576 sand Substances 0.000 description 2
- 235000019333 sodium laurylsulphate Nutrition 0.000 description 2
- RYYKJJJTJZKILX-UHFFFAOYSA-M sodium octadecanoate Chemical compound [Na+].CCCCCCCCCCCCCCCCCC([O-])=O RYYKJJJTJZKILX-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 2
- 238000003756 stirring Methods 0.000 description 2
- FFJCNSLCJOQHKM-CLFAGFIQSA-N (z)-1-[(z)-octadec-9-enoxy]octadec-9-ene Chemical compound CCCCCCCC\C=C/CCCCCCCCOCCCCCCCC\C=C/CCCCCCCC FFJCNSLCJOQHKM-CLFAGFIQSA-N 0.000 description 1
- NWUYHJFMYQTDRP-UHFFFAOYSA-N 1,2-bis(ethenyl)benzene;1-ethenyl-2-ethylbenzene;styrene Chemical compound C=CC1=CC=CC=C1.CCC1=CC=CC=C1C=C.C=CC1=CC=CC=C1C=C NWUYHJFMYQTDRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FBHPRUXJQNWTEW-UHFFFAOYSA-N 1-benzyl-2-methylimidazole Chemical compound CC1=NC=CN1CC1=CC=CC=C1 FBHPRUXJQNWTEW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- DOVZUKKPYKRVIK-UHFFFAOYSA-N 1-methoxypropan-2-yl propanoate Chemical compound CCC(=O)OC(C)COC DOVZUKKPYKRVIK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SMZOUWXMTYCWNB-UHFFFAOYSA-N 2-(2-methoxy-5-methylphenyl)ethanamine Chemical compound COC1=CC=C(C)C=C1CCN SMZOUWXMTYCWNB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XOSCOJBBKOVIOM-UHFFFAOYSA-N 2-aminoethanol;octadecanoic acid Chemical compound NCCO.CCCCCCCCCCCCCCCCCC(O)=O XOSCOJBBKOVIOM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CDAWCLOXVUBKRW-UHFFFAOYSA-N 2-aminophenol Chemical compound NC1=CC=CC=C1O CDAWCLOXVUBKRW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YTWBFUCJVWKCCK-UHFFFAOYSA-N 2-heptadecyl-1h-imidazole Chemical compound CCCCCCCCCCCCCCCCCC1=NC=CN1 YTWBFUCJVWKCCK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VHSHLMUCYSAUQU-UHFFFAOYSA-N 2-hydroxypropyl methacrylate Chemical compound CC(O)COC(=O)C(C)=C VHSHLMUCYSAUQU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LXBGSDVWAMZHDD-UHFFFAOYSA-N 2-methyl-1h-imidazole Chemical compound CC1=NC=CN1 LXBGSDVWAMZHDD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VSHMCEJCHYPYDU-UHFFFAOYSA-N 2-morpholin-4-ylpropanal Chemical compound O=CC(C)N1CCOCC1 VSHMCEJCHYPYDU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZCUJYXPAKHMBAZ-UHFFFAOYSA-N 2-phenyl-1h-imidazole Chemical compound C1=CNC(C=2C=CC=CC=2)=N1 ZCUJYXPAKHMBAZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LLEASVZEQBICSN-UHFFFAOYSA-N 2-undecyl-1h-imidazole Chemical compound CCCCCCCCCCCC1=NC=CN1 LLEASVZEQBICSN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SESYNEDUKZDRJL-UHFFFAOYSA-N 3-(2-methylimidazol-1-yl)propanenitrile Chemical compound CC1=NC=CN1CCC#N SESYNEDUKZDRJL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HNNQYHFROJDYHQ-UHFFFAOYSA-N 3-(4-ethylcyclohexyl)propanoic acid 3-(3-ethylcyclopentyl)propanoic acid Chemical compound CCC1CCC(CCC(O)=O)C1.CCC1CCC(CCC(O)=O)CC1 HNNQYHFROJDYHQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QMYGFTJCQFEDST-UHFFFAOYSA-N 3-methoxybutyl acetate Chemical compound COC(C)CCOC(C)=O QMYGFTJCQFEDST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CCTFMNIEFHGTDU-UHFFFAOYSA-N 3-methoxypropyl acetate Chemical compound COCCCOC(C)=O CCTFMNIEFHGTDU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JIGUICYYOYEXFS-UHFFFAOYSA-N 3-tert-butylbenzene-1,2-diol Chemical compound CC(C)(C)C1=CC=CC(O)=C1O JIGUICYYOYEXFS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VPWNQTHUCYMVMZ-UHFFFAOYSA-N 4,4'-sulfonyldiphenol Chemical compound C1=CC(O)=CC=C1S(=O)(=O)C1=CC=C(O)C=C1 VPWNQTHUCYMVMZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LIFHMKCDDVTICL-UHFFFAOYSA-N 6-(chloromethyl)phenanthridine Chemical compound C1=CC=C2C(CCl)=NC3=CC=CC=C3C2=C1 LIFHMKCDDVTICL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HRPVXLWXLXDGHG-UHFFFAOYSA-N Acrylamide Chemical compound NC(=O)C=C HRPVXLWXLXDGHG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NLHHRLWOUZZQLW-UHFFFAOYSA-N Acrylonitrile Chemical compound C=CC#N NLHHRLWOUZZQLW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 235000017060 Arachis glabrata Nutrition 0.000 description 1
- 241001553178 Arachis glabrata Species 0.000 description 1
- 235000010777 Arachis hypogaea Nutrition 0.000 description 1
- 235000018262 Arachis monticola Nutrition 0.000 description 1
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000005749 Copper compound Substances 0.000 description 1
- 239000004593 Epoxy Substances 0.000 description 1
- JIGUQPWFLRLWPJ-UHFFFAOYSA-N Ethyl acrylate Chemical compound CCOC(=O)C=C JIGUQPWFLRLWPJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N Fluorine atom Chemical compound [F] YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OAKJQQAXSVQMHS-UHFFFAOYSA-N Hydrazine Chemical compound NN OAKJQQAXSVQMHS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N Hydrogen Chemical compound [H][H] UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WOBHKFSMXKNTIM-UHFFFAOYSA-N Hydroxyethyl methacrylate Chemical compound CC(=C)C(=O)OCCO WOBHKFSMXKNTIM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- DGAQECJNVWCQMB-PUAWFVPOSA-M Ilexoside XXIX Chemical compound C[C@@H]1CC[C@@]2(CC[C@@]3(C(=CC[C@H]4[C@]3(CC[C@@H]5[C@@]4(CC[C@@H](C5(C)C)OS(=O)(=O)[O-])C)C)[C@@H]2[C@]1(C)O)C)C(=O)O[C@H]6[C@@H]([C@H]([C@@H]([C@H](O6)CO)O)O)O.[Na+] DGAQECJNVWCQMB-PUAWFVPOSA-M 0.000 description 1
- 239000004952 Polyamide Substances 0.000 description 1
- 239000002202 Polyethylene glycol Substances 0.000 description 1
- 239000004721 Polyphenylene oxide Substances 0.000 description 1
- 239000004372 Polyvinyl alcohol Substances 0.000 description 1
- 239000004111 Potassium silicate Substances 0.000 description 1
- 241000872198 Serjania polyphylla Species 0.000 description 1
- 239000004115 Sodium Silicate Substances 0.000 description 1
- PMZURENOXWZQFD-UHFFFAOYSA-L Sodium Sulfate Chemical compound [Na+].[Na+].[O-]S([O-])(=O)=O PMZURENOXWZQFD-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 150000008065 acid anhydrides Chemical class 0.000 description 1
- 150000001252 acrylic acid derivatives Chemical class 0.000 description 1
- 239000000654 additive Substances 0.000 description 1
- 230000000996 additive effect Effects 0.000 description 1
- 150000001447 alkali salts Chemical class 0.000 description 1
- 229920000180 alkyd Polymers 0.000 description 1
- 150000003973 alkyl amines Chemical class 0.000 description 1
- 150000005215 alkyl ethers Chemical class 0.000 description 1
- 235000019270 ammonium chloride Nutrition 0.000 description 1
- BTBJBAZGXNKLQC-UHFFFAOYSA-N ammonium lauryl sulfate Chemical compound [NH4+].CCCCCCCCCCCCOS([O-])(=O)=O BTBJBAZGXNKLQC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229940063953 ammonium lauryl sulfate Drugs 0.000 description 1
- 150000003863 ammonium salts Chemical class 0.000 description 1
- 125000003118 aryl group Chemical group 0.000 description 1
- 125000000751 azo group Chemical group [*]N=N[*] 0.000 description 1
- 239000011324 bead Substances 0.000 description 1
- GCTPMLUUWLLESL-UHFFFAOYSA-N benzyl prop-2-enoate Chemical compound C=CC(=O)OCC1=CC=CC=C1 GCTPMLUUWLLESL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KXHPPCXNWTUNSB-UHFFFAOYSA-M benzyl(trimethyl)azanium;chloride Chemical compound [Cl-].C[N+](C)(C)CC1=CC=CC=C1 KXHPPCXNWTUNSB-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 229960003237 betaine Drugs 0.000 description 1
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 description 1
- 150000001728 carbonyl compounds Chemical class 0.000 description 1
- 125000003178 carboxy group Chemical group [H]OC(*)=O 0.000 description 1
- 125000002843 carboxylic acid group Chemical group 0.000 description 1
- 235000019219 chocolate Nutrition 0.000 description 1
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 238000007334 copolymerization reaction Methods 0.000 description 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 1
- 150000001880 copper compounds Chemical class 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- FVCOIAYSJZGECG-UHFFFAOYSA-N diethylhydroxylamine Chemical compound CCN(O)CC FVCOIAYSJZGECG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000007865 diluting Methods 0.000 description 1
- CZZYITDELCSZES-UHFFFAOYSA-N diphenylmethane Chemical compound C=1C=CC=CC=1CC1=CC=CC=C1 CZZYITDELCSZES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QVBODZPPYSSMEL-UHFFFAOYSA-N dodecyl sulfate;2-hydroxyethylazanium Chemical compound NCCO.CCCCCCCCCCCCOS(O)(=O)=O QVBODZPPYSSMEL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 1
- BXKDSDJJOVIHMX-UHFFFAOYSA-N edrophonium chloride Chemical compound [Cl-].CC[N+](C)(C)C1=CC=CC(O)=C1 BXKDSDJJOVIHMX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000004945 emulsification Methods 0.000 description 1
- RTZKZFJDLAIYFH-UHFFFAOYSA-N ether Substances CCOCC RTZKZFJDLAIYFH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SUPCQIBBMFXVTL-UHFFFAOYSA-N ethyl 2-methylprop-2-enoate Chemical compound CCOC(=O)C(C)=C SUPCQIBBMFXVTL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 description 1
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 description 1
- 239000011737 fluorine Substances 0.000 description 1
- 229910052731 fluorine Inorganic materials 0.000 description 1
- VOZRXNHHFUQHIL-UHFFFAOYSA-N glycidyl methacrylate Chemical compound CC(=C)C(=O)OCC1CO1 VOZRXNHHFUQHIL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BEBCJVAWIBVWNZ-UHFFFAOYSA-N glycinamide Chemical compound NCC(N)=O BEBCJVAWIBVWNZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000013007 heat curing Methods 0.000 description 1
- 150000002430 hydrocarbons Chemical class 0.000 description 1
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 description 1
- 125000002887 hydroxy group Chemical group [H]O* 0.000 description 1
- 150000002460 imidazoles Chemical class 0.000 description 1
- 239000003456 ion exchange resin Substances 0.000 description 1
- 229920003303 ion-exchange polymer Polymers 0.000 description 1
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 1
- 239000004310 lactic acid Substances 0.000 description 1
- 235000014655 lactic acid Nutrition 0.000 description 1
- PBOSTUDLECTMNL-UHFFFAOYSA-N lauryl acrylate Chemical compound CCCCCCCCCCCCOC(=O)C=C PBOSTUDLECTMNL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 1
- VNWKTOKETHGBQD-UHFFFAOYSA-N methane Chemical compound C VNWKTOKETHGBQD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000005217 methyl ethers Chemical class 0.000 description 1
- 229940069822 monoethanolamine lauryl sulfate Drugs 0.000 description 1
- 150000007524 organic acids Chemical class 0.000 description 1
- 235000005985 organic acids Nutrition 0.000 description 1
- 150000001451 organic peroxides Chemical class 0.000 description 1
- 239000003960 organic solvent Substances 0.000 description 1
- 235000006408 oxalic acid Nutrition 0.000 description 1
- 230000001590 oxidative effect Effects 0.000 description 1
- 239000003973 paint Substances 0.000 description 1
- 238000000059 patterning Methods 0.000 description 1
- 235000020232 peanut Nutrition 0.000 description 1
- PNJWIWWMYCMZRO-UHFFFAOYSA-N pent‐4‐en‐2‐one Natural products CC(=O)CC=C PNJWIWWMYCMZRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000010452 phosphate Substances 0.000 description 1
- 150000003003 phosphines Chemical class 0.000 description 1
- AQSJGOWTSHOLKH-UHFFFAOYSA-N phosphite(3-) Chemical class [O-]P([O-])[O-] AQSJGOWTSHOLKH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000003013 phosphoric acid derivatives Chemical class 0.000 description 1
- 238000005554 pickling Methods 0.000 description 1
- 239000004033 plastic Substances 0.000 description 1
- 229920003023 plastic Polymers 0.000 description 1
- 229920003229 poly(methyl methacrylate) Polymers 0.000 description 1
- 229920002647 polyamide Polymers 0.000 description 1
- 239000004417 polycarbonate Substances 0.000 description 1
- 229920000515 polycarbonate Polymers 0.000 description 1
- 229920000570 polyether Polymers 0.000 description 1
- 229920001223 polyethylene glycol Polymers 0.000 description 1
- 239000004926 polymethyl methacrylate Substances 0.000 description 1
- 229920005862 polyol Polymers 0.000 description 1
- 229920000259 polyoxyethylene lauryl ether Polymers 0.000 description 1
- 239000001818 polyoxyethylene sorbitan monostearate Substances 0.000 description 1
- 235000010989 polyoxyethylene sorbitan monostearate Nutrition 0.000 description 1
- 229920001296 polysiloxane Polymers 0.000 description 1
- 229920002451 polyvinyl alcohol Polymers 0.000 description 1
- 229920000036 polyvinylpyrrolidone Polymers 0.000 description 1
- 239000001267 polyvinylpyrrolidone Substances 0.000 description 1
- 235000013855 polyvinylpyrrolidone Nutrition 0.000 description 1
- 229910052700 potassium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910000027 potassium carbonate Inorganic materials 0.000 description 1
- NNHHDJVEYQHLHG-UHFFFAOYSA-N potassium silicate Chemical compound [K+].[K+].[O-][Si]([O-])=O NNHHDJVEYQHLHG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052913 potassium silicate Inorganic materials 0.000 description 1
- 235000019353 potassium silicate Nutrition 0.000 description 1
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 1
- 125000001453 quaternary ammonium group Chemical group 0.000 description 1
- 239000013557 residual solvent Substances 0.000 description 1
- 150000003839 salts Chemical class 0.000 description 1
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 1
- 229910000029 sodium carbonate Inorganic materials 0.000 description 1
- 229940080264 sodium dodecylbenzenesulfonate Drugs 0.000 description 1
- NTHWMYGWWRZVTN-UHFFFAOYSA-N sodium silicate Chemical compound [Na+].[Na+].[O-][Si]([O-])=O NTHWMYGWWRZVTN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052911 sodium silicate Inorganic materials 0.000 description 1
- HIEHAIZHJZLEPQ-UHFFFAOYSA-M sodium;naphthalene-1-sulfonate Chemical compound [Na+].C1=CC=C2C(S(=O)(=O)[O-])=CC=CC2=C1 HIEHAIZHJZLEPQ-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 238000000638 solvent extraction Methods 0.000 description 1
- 239000007921 spray Substances 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 125000001424 substituent group Chemical group 0.000 description 1
- 229910052717 sulfur Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000003464 sulfur compounds Chemical class 0.000 description 1
- 238000010301 surface-oxidation reaction Methods 0.000 description 1
- 238000005406 washing Methods 0.000 description 1
- 229920003169 water-soluble polymer Polymers 0.000 description 1
- 230000004580 weight loss Effects 0.000 description 1
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- Optical Filters (AREA)
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- Cathode-Ray Tubes And Fluorescent Screens For Display (AREA)
Abstract
ブラックマトリックスを提供し得る、ブラックマトリッ
クス形成用レジスト用カーボンブラック分散液を提供す
る。 【解決手段】表面が樹脂で被覆されて成り且つ体積固有
抵抗値が100Ω・cm以上である高抵抗性カーボンブラ
ック(a)と、電子供与性基を有する分散剤(b)と、
分散媒体(c)とを含有するブラックマトリックス形成
用レジスト用カーボンブラック分散液。
Description
クス形成用レジスト用カーボンブラック分散液に関し、
詳しくは、例えば、カラーテレビ・液晶カラーテレビ・
カメラ等に使用される、光学的カラーフイルターの絶縁
性ブラックマトリックスの形成に使用されるカーボンブ
ラック分散液であって、着色力、隠蔽力、絶縁性に優れ
る上記のカーボンブラック分散液に関する。
ガラス等の透明な基板で形成される1〜10μm程度の
間隙に液晶物質を封入し、電極間に印加した電圧により
一定の方向に液晶を配向させ、透明部分と不透明部分を
形成して画像を表示する。カラー液晶表示装置は、何れ
かの透明基板上に光の三原色に対応する赤(R)、緑
(G)、青(B)の三色のカラーフイルターを設けてお
り、透明電極への印加電圧の調整によって液晶の光の透
過を制御し、R、G、Bの三色のフイルターを透過する
光量を制御し、三原色の加色による発色によってカラー
表示を行う。
予め各色の間を区画するブラックマトリックスの膜を設
けた基板上に形成する方法や、R、G、Bを形成した
後、ブラックマトリックス膜を設ける方法など種々ある
が、ブラックマトリックスの役割は、何れも、R、G、
Bの三原色を区画すると共にカラーフイルターに対向す
る基板上に設けた液晶駆動用の電極またはTFT(薄膜
トランジスタ)等のトランジスタを遮光する点にある。
ターのブラックマトリックスの一つとして、黒色材料と
してカーボンブラックが分散されたレジスト膜をパター
ンニングしたものがある。ところで、カーボンブラック
は本来的に導電性素材であり、これを分散したレジスト
膜も導電性ないしは半導電性を示す問題がある。そこ
で、従来より、その遮光性を維持しつつ抵抗性(絶縁
性)の高められたレジスト膜より成るブラックマトリッ
クスが切望されている。
鑑みなされたものであり、その目的は、高遮光率で表面
反射率が低く、しかも、薄膜のブラックマトリックスを
提供し得る、ブラックマトリックス形成用レジスト用カ
ーボンブラック分散液を提供することにある。
は、表面が樹脂で被覆されて成り且つ体積固有抵抗値が
100Ω・cm以上である高抵抗性カーボンブラック
(a)と、電子供与性基を有する分散剤(b)と、分散
媒体(c)とを含有することを特徴とするブラックマト
リックス形成用レジスト用カーボンブラック分散液に存
する。
カーボンブラック(a)について説明する。本発明では
表面が樹脂で被覆されて成り且つ体積固有抵抗値が10
0Ω・cm以上である高抵抗性カーボンブラック(a)を
使用する。樹脂被覆に使用するカーボンブラックとして
は、特に制限されないが、揮発分を比表面積で除した値
(単位比表面積当たりの揮発分量)が0.01(%・g
/m2)以上のものが好ましい。単位比表面積当たりの
揮発分量は、好ましくは0.02(%・g/m2)以
上、更に好ましくは0.03(%・g/m2)以上であ
る。。ここで、単位比表面積当たりの揮発分量と言う属
性で示したのは、比表面積が大きいカーボンブラック程
揮発分が多く付与されるが、後述の体積固有抵抗は揮発
分の絶対量でなく単位表面に付与している揮発分量と相
関するためである。
/又は過酸化水素によるカーボンブラックの酸化処理に
より上昇させることが出来る。一般にカーボンブラック
の酸化剤としては、上記以外にも硝酸やNOガス、NO
2ガス、空気、SO3ガス、フッ素ガス等があるが、単位
比表面積当たりの揮発分量が比較的少ない量で体積固有
抵抗が向上するのは、オゾン及び/又は過酸化水素を必
須酸化剤として上記の硝酸やNO2ガス等の酸化剤を組
み合わせて使用した場合である。
拠し、カーボンブラックを950℃で7分間加熱した時
の減量%として算出する方法により求められる。比表面
積は、BETの式を使用した窒素吸着法により求められ
る。すなわち、低温窒素吸着装置(イタリヤ、カルロ・
エルバ社製「ソウプトマチック1800」)を使用し低
温窒素吸着法によりカーボンブラックの窒素吸着量を測
定し、これからBETの式を使用し多点法により算出す
ることが出来る。
1.0重量%以下、特に0.5重量%以下のものが好ま
しい。灰分の主成分は、Na、K、Ca等のアルカリ金
属やアルカリ土類金属などであり、これらの含有量が高
いカーボンブラックは体積固有抵抗を向上させるのが困
難である。斯かるイオン性導電物質の低減は、カーボン
ブラックの製造に使用する原料油、ガス、添加物を選択
することにより達成される。また、製造炉から製出した
カーボンブラックの水洗や酸洗処理によっても達成され
る。灰分含量は、750℃において空気中で5〜6時間
カーボンブラックを焼成した際に残る灰化量から算出す
ることが出来る。
は、分散体中の分散径が可能な限り小さいものが好まし
い。分散径が大きなカーボンブラックは、レジスト作成
時に所望の絶縁性や分散性が得られ難い。分散径は、好
ましくは20ミクロン以下、更に好ましくは5ミクロン
以下、特に好ましくは1ミクロン以下である。カーボン
ブラック分散体の調製に使用する分散媒体としては水や
エタノール水溶液が好適である。分散処理は、公知の分
散機を使用し、また、各種界面活性剤や分散助剤を適宜
使用して行われる。界面活性剤や分散助剤はアルカリ金
属やアルカリ土類金属を含有しないものが好適であり、
分散助剤としては揮発性の親水性溶剤(エタノール等)
が好適である。
しては、特に制限されないが、エポキシ系樹脂、特に多
官能型エポキシ樹脂が好ましい。多官能エポキシ樹脂の
具体例としては、カーボンブラックグリシルアミン系エ
ポキシ樹脂、トリフェニルグリシジメタン系エポキシ樹
脂、テトラフェニルグリシジメタン系エポキシ樹脂、ア
ミノフェノール型エポキシ樹脂、ジアミドジフェニルメ
タン型エポキシ樹脂、フェノールノボラック型エポキシ
樹脂、オルソクレゾール型エポキシ樹脂ビスフェノール
Aノボラック型エポキシ樹脂などが挙げられる。
被覆カーボンブラックの体積固有抵抗値や表面性状をコ
ントロールする手段として硬化剤や硬化促進剤を使用す
ることも可能である。これらの使用により、被覆された
樹脂に対して絶縁性・耐熱性などの優れた特性を付与す
ることが可能である。
縁性に特色を持たせる観点から、酸無水物、イミダゾー
ル化合物またはBF3錯体が好ましい。更に、反応過程
での効率を考えると、比較的低温で硬化時間が短いイミ
ダゾール化合物が好ましい。
2−メチルイミダゾール、2−エチル−4−メチルイミ
ダゾール、2−ウンデシルイミダゾール、2−ヘプタデ
シルイミダゾール、2−フェニルイミダゾール、1−ベ
ンジル−2−メチルイミダゾール、1−シアノエチル−
2−メチルイミダゾール、2,4ジアミノ−6−[2−
メチルイミダゾリル−(1)]−エチルS−トリアジン
等が挙げられる。硬化剤の使用量は、樹脂と硬化剤の合
計量に対する割合として、通常1〜30重量%、好まし
くは5〜25重量%、更に好ましくは10〜20重量%
とされる。硬化促進剤の種類および使用量は、常法に従
い、使用する硬化剤の種類にあわせて選択することが出
来る。
ブラック分散体に樹脂エマルジョン添加する方法で行う
のが好ましい。樹脂エマルジョンの代りに樹脂溶液を使
用することも出来る。
活性剤やアルコール等を使用することが出来る。界面活
性剤としては、樹脂エマルジョンの形成が可能な限り、
特に制限されないが、非イオン又は両生であって金属を
含有しない界面活性剤が好ましい。また、O/Wエマル
ジョンに適したHLB8〜18の界面活性剤が好まし
い。樹脂エマルジョンの直径は10ミクロン以下、特に
5ミクロン以下にするのが好ましい。樹脂エマルジョン
の使用により、カーボンブラック凝集体に被覆する樹脂
の均一性が安定し、表面被覆状態が均一となる。
ン添加した後、加温処理を施すことで分散体中での樹脂
の硬化を行う。この場合の加温処理条件は、目的とする
樹脂被覆カーボンブラックの体積固有抵抗値、樹脂の種
類、硬化促進剤の使用の有無などで異なるが、硬化剤を
使用して3000Ω・cm以上の高抵抗のカーボンブラ
ックを調製するためには、溶媒の蒸発後、70℃で4時
間以上の加温処理が必要である。
は、カーボンブラックと樹脂の合計量に対して5〜40
重量%、特に7〜20重量%の範囲が好ましい。被覆量
が5重量%未満の場合は、未処理のカーボンブラックと
同様の分散性、分散安定性、体積固有抵抗値しか得られ
ないおそれがある。一方、被覆量が40重量%を超える
場合は、凝集塊同士を融着させる樹脂が過剰となり、分
散性が低下するおそれがある。
体)の体積固有抵抗は、下部に真鍮製電極を取り付けた
内径2cmのテフロン製容器に約2gの試料を入れ、先
端に真鍮製電極の付いたテフロン製棒で蓋をした後、テ
ンシロンにより0.2mm/minの速度で荷重を掛け
ていき、50kg/cm2時の抵抗を高感度テスターで
測定する。そして、この荷重下における粉体の嵩高さと
抵抗値から、下式により体積固有抵抗を算出する。
ック粉体の断面積(cm2)×抵抗値(Ω)/カーボン
ブラック粉体の嵩高さ(cm)
は、水スラリーの状態で測定したpHが5以上、特に7
以上であることが好ましい。そして、pHの上限は通常
10である。これらのpH値は、100mlの水に、樹
脂で被覆されたカーボンブラック10gを添加し、5分
間十分に撹拌した後の水スラリーについての値を意味す
る。
ち、電子供与性基を有する分散剤(b)について説明す
る。ここに、電子供与性基とは、分子内で水素を標準と
したときに他に電子を与える傾向のある置換基であり、
例えば、−NH2、−OH、−OCH3、−OCOC
H3、−N(CH3)2、−NHCOCH3、CH3等のア
ルキル基、−C6H5等のアリール基がこれに属する。分
散剤は、油性と水性とに大別され、その代表例は次の通
りである。
は、ポリウレタン、ポリアクリレート等のポリカルボン
酸エステル、不飽和ポリアミド、ポリカルボン酸(部
分)アミン塩、ポリカルボン酸アンモニウム塩、ポリカ
ルボン酸アルキルアミン塩、ポリシロキサン、長鎖ポリ
アミノアマイドリン酸塩、水酸基含有ポリカルボン酸エ
ステル、これらの変性物、ポリ(低級アルキレンイミ
ン)と遊離のカルボン酸基を有するポリエステルとの反
応により形成されたアミド及びその塩などが挙げられ
る。
は、(メタ)アクリル酸−スチレン共重合体、(メタ)
アクリル酸−(メタ)アクリル酸エステル共重合体、ス
チレン−マレイン酸共重合体、ポリビニルアルコール、
ポリビニルピロリドン等の水溶性樹脂(水溶性高分子化
合物)、各種のアニオン性界面活性剤、ノニオン性界面
活性剤、両性界面活性剤が挙げられる。
ては、ラウリル硫酸ソーダ、ポリオキシエチレンアルキ
ルエーテル硫酸塩、ドデシルベンゼンスルホン酸ソー
ダ、スチレン−アクリル酸共重合体のアルカリ塩、ステ
アリン酸ナトリウム、アルキルナフタリンスルホン酸ナ
トリウム、アルキルジフェニルエーテルジスルホン酸ナ
トリウム、ラウリル硫酸モノエタノールアミン、ラウリ
ル硫酸トリエタノールアミン、ラウリル硫酸アンモニウ
ム、ステアリン酸モノエタノールアミン、ステアリン酸
ナトリウム、ラウリル硫酸ナトリウム、スチレン−アク
リル酸共重合体のモノエタノールアミン、ポリオキシエ
チレンアルキルエーテルリン酸エステル等が挙げられ
る。
ては、ポリオキシエチレンオレイルエーテル、ポリオキ
シエチレンラウリルエーテル、ポリオキシエチレンノニ
ルフェニルエーテル、ポリオキシエチレンアルキルエー
テルリン酸エステル、ポリオキシエチレンソルビタンモ
ノステアレート、ポリエチレングリコールモノラウレー
ト等が挙げられる。上記の両性界面活性剤の具体例とし
ては、アルキルジメチルアミノ酢酸ベタイン等のアルキ
ルベタイン、アルキルイミダゾリン等が挙げられる。
剤が特に好ましく、斯かる分散剤としては、例えば、
「Disperbyk−130、−101、−161、
−162、−163、−164、−165、−166、
−170」(以上、ビックケミー・ジャパン(株)
製)、「EFKA−47、−47EA、−48、−4
9、−100、−400、−450」(以上、EFKA
社製)、「ソルスパース 13240、13940、1
7000、24000GR、28000、20000、
12000、27000」(以上、アビシア(株)製)
等が挙げられる。
抵抗性カーボンブラック(a)に対して優れた分散力を
発揮し、本発明のカーボンブラック分散液の粘度を低下
させ、高抵抗性カーボンブラック(a)の有する優れた
特徴(絶縁性、着色力、隠蔽力)を最大限に引き出す。
その結果、高遮光率で表面反射率が低く、しかも、薄膜
のブラックマトリックスを提供し得る、ブラックマトリ
ックス形成用レジスト用カーボンブラック分散液が提供
される。電子供与性基を有する分散剤(b)のポリマー
構造としては特に櫛型が好ましい。ここに、櫛型構造の
ポリマーとは、特に線状ポリマーを幹とし、多数の線状
ポリマーが枝状に分岐している構造のポリマーをいう。
斯かる型構造のポリマーはカーボンブラックの表面付着
性に優れている。
ついて説明する。本発明では分散媒体の種類は特に制限
されない。例えば、セロソルブアセテート、プロピレン
グリコールモノメチルエーテルアセテート、3−メトキ
シブチルアセテート、メトキシプロピルアセテート、2
−メトキシエチルアセテート等のセロソルブアセテート
系溶媒、3−エトキシエチルプロピオネート、プロピレ
ングリコールモノメチルエーテルプロピオネート等のエ
ーテル結合およびエステル結合を有する炭化水素化合物
などの有機溶媒や水が好適に使用される。
の様な高抵抗性カーボンブラック(a)と、電子供与性
基を有する分散剤(b)と、分散媒体(c)とを含有す
る。そして、電子供与性基を有する分散剤(b)は使用
する分散媒体(c)に溶解する分散剤が選択して使用さ
れる。
使用割合は、分散媒体(c)に対し、通常10〜80重
量%、好ましくは20〜60重量%である。高抵抗性カ
ーボンブラック(a)の使用割合が10重量%未満の場
合は十分な着色力や隠蔽力が得られない。一方、高抵抗
性カーボンブラック(a)の使用割合が80重量%を超
える場合は、粘度が高くなり過ぎて取り扱い性に劣り、
また、形成されるブラックマトリックス薄膜の機械的強
度や基材に対する密着性が低下する。
の使用割合は、分散媒体(c)に対し、通常0.2〜2
0重量%、好ましくは1〜15重量%である。分散剤
(b)の使用割合が0.2重量%未満の場合は高抵抗性
カーボンブラック(a)の分散性が低下し、20重量%
を超える場合はブラックマトリックス形成時の現像性が
低下する。
成されるブラックマトリックス薄膜に平滑性を付与する
ため、高分子バインダーを配合することが好ましい。斯
かる高分子バインダーとしては、例えば、アクリル酸、
メタクリル酸などのカルボキシル基含有モノマーと他の
モノマーとの共重合体が挙げられ、共重合成分として使
用される他のモノマーとしては、アクリル酸メチル、メ
タクリル酸メチル、アクリル酸エチル、メタクリル酸エ
チル、2−ヒドロキシエチルアクリレート、2−ヒドロ
キシエチルメタクリレート、2−ヒドロキシプロピルメ
タクリレート、ベンジルアクリレート、グリシジルメタ
クリレート、スチレン、アクリルアミド、アクリルニト
リル等が挙げられる。また、高分子バインダーとして、
フェノールノボラック型エポキシアクリレート重合体、
フェノールノボラック型エポキシメタクリレート重合
体、クレゾールノボラック型エポキシアクリレート重合
体、クレゾールノボラック型エポキシメタクリレート重
合体、ビスフェノールA型エポキシアクリレート重合
体、ビスフェノールS型エポキシアクリレート重合体な
ども使用し得る。高分子バインダーの使用割合は、分散
媒体(c)に対し、通常3〜50重量%、好ましくは5
〜30重量%である
の必要な成分を適宜の手段で混合することにより調製さ
れる。混合手段としては、例えば、ペイントシェーカ
ー、サンドミル、ボールミル、ロールミル等が使用さ
れ、通常、5〜70℃程度で1〜50時間程度混合処理
することにより、均一組成の分散液が得られる。
粒子径は、分散安定性および流動性を考慮すると、0.
005μm程度以上、特に0.01μm程度以上である
ことが好ましく、また、着色力、黒色度および分散安定
性を考慮すると、2.5μm程度以下、特に1.5μm
程度以下であることが好ましい。
ックマトリックス形成用レジストの調製に使用される。
ブラックマトリックス形成用レジストは、本発明のカー
ボンブラック分散液に、光重合性モノマー、プレポリマ
ー、光重合開始剤、アミン系増感剤、その他の成分を配
合して調製される。
能または多官能の(メタ)アクリレート系モノマー等が
挙げられ、プレポリマーとしては、ポリエステルアクリ
レート、ポリウレタンアクリレート、エポキシアクリレ
ート、ポリエーテルアクリレート、オリゴアクリレー
ト、アルキドアクリレート、ポリオールアクリレート等
が挙げられ、光重合開始剤としては、カルボニル化合
物、イオウ化合物、アゾ化合物、有機過酸化物などが挙
げられる。その他の成分としては、ベンジルトリメチル
アンモニウムクロライド、ジエチルヒドロキシアミン等
の4級アンモニウムクロライド、乳酸、シュウ酸などの
有機酸およびそのメチルエーテル、t−ブチルピロカテ
コール、有機ホスフィン、亜リン酸塩、ナフテン酸銅な
どの銅化合物が挙げられる。これらの各成分は、本発明
のカーボンブラック分散液の調製の際に配合することが
出来る。
度は、特に制限されないが、例えば液晶パネルのTFT
側にブラックマトリックスを形成する際の取扱い性、形
成される薄膜の膜厚を均一に制御すること等を考慮する
と、25℃で10〜2000mPa・s程度、特に20
〜1000mPa・s程度であることが好ましい。
を透明基板上に塗布した後、加熱乾燥、画像露光、現像
および熱硬化の各処理を行って形成することが出来る。
透明基板としては、例えば、ガラス基板、ポリカーボネ
ート、ポリメチルメタクリレート等のプラスチック基板
が挙げられる。塗布装置としては、スピナー、ワイヤー
バー、フローコーター、ダイコーター、ロールコータ
ー、スプレー等が使用される。画像露光は、塗布層上に
ネガのマトリクスパターンマスクを導き、当該パターン
マスクを介し、紫外または可視の光源を照射して行われ
る。アルカリ現像液としては、例えば、炭酸ナトリウ
ム、炭酸カリウム、珪酸ナトリウム、珪酸カリウム、水
酸化ナトリウム、水酸化カリウム等の無機アルカリ剤が
使用される。
するが、本発明は、その要旨を超えない限り、以下の実
施例に限定されるものではない。
使用し、反応停止水にイオン交換樹脂で処理した水を使
用した以外は、通常のオイルファーネス法にって製造し
た。そして、得られたカーボンブラック100gを、内
径10cm、長さ10cmの円筒形キルンに入れ、9r
pmで回転させつつ空気とオゾンの混合ガス(オゾン6
000ppm)に0.5〜4時間の範囲の一定時間接触
させた。実施例に示すカーボンブラックは、接触時間を
変更することにより表面酸化処理度を変更している。表
1にカーボンブラックの物性を示す。
純水1300ccに分散させた。分散径の確認は容易で
はないため、強分散したカーボンブラック水分散液を濾
過して選別した。実施例において、20ミクロンの分散
液は、分散機にホモジナイザーを使用し、そして、20
ミクロン以下のカーボンブラックを濾過で選別した。5
ミクロンの分散液は、分散剤にエタノールを使用し、分
散機として直径1mmのジルコニアビーズを入れたサン
ドミルを使用し、5ミクロン以下のカーボンブラックを
濾過で選別した。
(樹脂:6.7g、トルエン:60cc)に硬化剤1.
3gを加えて十分に溶解した後、水600ccとエタノ
ール120ccを加え、ホモジナイザーにより9000
回転で30分攪拌して樹脂エマルジョンを調製した。こ
こで使用した硬化剤は、2−エチル−4−メチルイミダ
ゾール(油化シェルエポキシ製「EMI24」)であ
る。得られた樹脂エマルジョンの直径は5ミクロンであ
った。エマルジョン化しなかった例においては樹脂溶液
を使用した。
ラック分散液に上記の樹脂エマルジョン又は樹脂溶液を
徐々に加え、カーボンブラック表面を樹脂で被覆処理し
た。そして、攪拌を維持したまま加温し、トルエンが蒸
発してから4時間70℃で硬化処理を行った。
燥機に入れ、62℃で10時間乾燥させ、水分と溶媒を
除去し、樹脂で被覆カーボンブラックを得た。得られた
樹脂被覆カーボンブラックの残存溶媒量は約50pp
m、残存水分量は約500ppmであった。
測定の結果を示す。実施例と比較例とでは体積固有抵抗
が著しく異なる。高分解能電子顕微鏡により実施例の樹
脂被覆カーボンブラックを確認したところ、ピーナッツ
チョコボール状またはイガグリ状の外観が観察され、カ
ーボンブラック粒子表面が樹脂層で高緻密に被覆されて
いることが確認された。すなわち、実施例の樹脂被覆カ
ーボンブラックの場合、高緻密な樹脂被覆層の介在によ
り電子のジャンプが抑制され、体積固有抵抗が著しく高
くなっていると推定される。一方、比較例の被覆方法で
は、団子状の樹脂塊がカーボンブラック粒子表面に付着
しており、カーボンブラックの未被覆面から電子がスパ
ークするため、体積固有抵抗が低くなっていると推定さ
れる。
を使用し、次の様な方法により、ブラックマトリックス
形成用レジスト用カーボンブラック分散液を調製した。
0重量部および電子供与性基としてアミノ基および櫛型
構造を有する分散剤(アビシア(株)製「ソルスパース
24000」)6重量部を分散媒(プロピレングリコー
ルモノメチルエーテルアセテート)74重量部に添加
し、ダイノミルを使用し25℃で撹拌混合し、分散状態
が良好で組成が均一なカーボンブラック分散液を得た。
性を調べるため、以下の方法に従ってブラックマトリッ
クス形成用レジストを調製した。
クリレート3重量部、メチルメタクリレート3重量部、
2−ヒドロキシエチルアクリレート3重量部およびメタ
クリル酸1重量部)及びプロピレングリコールモノメチ
ルエーテルアセテート65重量部でプレポリマー(エポ
キシアクリレート)25重量部を希釈した後、光重合開
始剤(2−メチル−(4−(メチルチオノフェニル)−
2−モルフォリノ−1−プロパノン)2重量部を添加
し、希釈用樹脂液を調製した。
部、希釈用樹脂液40重量部およびプロピレングリコー
ルモノメチルエーテルアセテート20重量部を混合、撹
拌し、ブラックマトリックス形成用レジストを得た。そ
して、スピンコーターでガラス板と金属板の上にそれぞ
れ上記のブラックマトリックス形成用レジストを塗布
し、80℃で10分間乾燥させ、その後、220℃で3
0分間加熱処理し、厚さ約1μmの薄膜を形成させた。
形成された薄膜の物性として、光学密度(以下、OD値
という)及び体積固有抵抗値を以下の方法に従って調べ
た。その結果を表3に示す。
度を表わす値であり、光路長が一定のとき、OD値が大
きいほど色材の濃度が高いことを示す。マクベス(登録
商標)濃度計(TR−927 オルソマチックタイプ)
を使用し、ガラス板の上に形成した薄膜のOD値を求め
た。
子(株)製「ハイレスタMCP−HT210」)を使用
し、金属板の上に形成した薄膜の厚み方向の体積固有抵
抗値を測定した。
で表面反射率が低く、しかも、薄膜のブラックマトリッ
クスを提供し得る、ブラックマトリックス形成用レジス
ト用カーボンブラック分散液が提供され、本発明の工業
的価値は顕著である。
Claims (5)
- 【請求項1】 表面が樹脂で被覆されて成り且つ体積固
有抵抗値が100Ω・cm以上である高抵抗性カーボンブ
ラック(a)と、電子供与性基を有する分散剤(b)
と、分散媒体(c)とを含有することを特徴とするブラ
ックマトリックス形成用レジスト用カーボンブラック分
散液。 - 【請求項2】 樹脂で被覆されたカーボンブラックの水
スラリーの状態で測定したpHが5以上である請求項1
に記載のカーボンブラック分散液。 - 【請求項3】 分散剤の有する電子供与性基がアミノ基
である請求項1又は2に記載のカーボンブラック分散
液。 - 【請求項4】 分散剤が櫛型構造のポリマーである請求
項1〜3の何れかに記載のカーボンブラック分散液。 - 【請求項5】 高抵抗性カーボンブラック(a)の使用
割合が分散媒体(c)に対し10〜80重量%である請
求項1〜4の何れかに記載のカーボンブラック分散液。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP28507599A JP2001106938A (ja) | 1999-10-06 | 1999-10-06 | ブラックマトリックス形成用レジスト用カーボンブラック分散液 |
US09/644,727 US6372349B1 (en) | 1999-08-27 | 2000-08-23 | High-resistivity carbon black |
TW089117106A TWI283699B (en) | 1999-08-27 | 2000-08-24 | High-resistivity carbon black |
KR1020000049162A KR100795420B1 (ko) | 1999-08-27 | 2000-08-24 | 고저항성 카본 블랙 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP28507599A JP2001106938A (ja) | 1999-10-06 | 1999-10-06 | ブラックマトリックス形成用レジスト用カーボンブラック分散液 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2001106938A true JP2001106938A (ja) | 2001-04-17 |
Family
ID=17686833
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP28507599A Pending JP2001106938A (ja) | 1999-08-27 | 1999-10-06 | ブラックマトリックス形成用レジスト用カーボンブラック分散液 |
Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JP2001106938A (ja) |
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|
A521 | Written amendment |
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|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20061207 |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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A02 | Decision of refusal |
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