JP2001076953A - 積層型コイル部品及びその製造方法 - Google Patents
積層型コイル部品及びその製造方法Info
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 各磁性体グリーンシートに形成されたコイル
パターンを、ビアホールを介して確実に接続することが
可能で、コイルの直流抵抗値が低く、その安定性に優れ
た信頼性の高い積層型コイル部品の製造方法を提供す
る。 【解決手段】 ビアホール５を含む領域にコイル形成用
の電極材料を付与して、ビアホール５内にも電極材料２
ｂが充填されたコイルパターン２ａを形成するととも
に、コイルパターン２ａの周囲に、厚みＴ２がコイルパ
ターン２ａの厚みＴ１より小さい磁性材料層６を配設
し、このコイルパターン２ａと磁性材料層６が形成され
た磁性体グリーンシート４を含む複数の磁性体グリーン
シートを積層、圧着することにより、ビアホール５が形
成されている領域の電極材料（２ａ，２ｂ）の厚み（Ｔ
１＋Ｔ３＝Ｔａ）が、その周辺部の磁性材料層の厚みＴ
２と磁性体グリーンシート４の厚みＴ４の合計値Ｔｂよ
りも大きい積層体を形成し、圧着する。
パターンを、ビアホールを介して確実に接続することが
可能で、コイルの直流抵抗値が低く、その安定性に優れ
た信頼性の高い積層型コイル部品の製造方法を提供す
る。 【解決手段】 ビアホール５を含む領域にコイル形成用
の電極材料を付与して、ビアホール５内にも電極材料２
ｂが充填されたコイルパターン２ａを形成するととも
に、コイルパターン２ａの周囲に、厚みＴ２がコイルパ
ターン２ａの厚みＴ１より小さい磁性材料層６を配設
し、このコイルパターン２ａと磁性材料層６が形成され
た磁性体グリーンシート４を含む複数の磁性体グリーン
シートを積層、圧着することにより、ビアホール５が形
成されている領域の電極材料（２ａ，２ｂ）の厚み（Ｔ
１＋Ｔ３＝Ｔａ）が、その周辺部の磁性材料層の厚みＴ
２と磁性体グリーンシート４の厚みＴ４の合計値Ｔｂよ
りも大きい積層体を形成し、圧着する。
Description
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本願発明は、インダクタなど
のコイル部品及びその製造方法に関し、詳しくは、素子
中に積層型のコイルを配設してなる積層型インダクタな
どの積層型コイル部品及びその製造方法に関する。
のコイル部品及びその製造方法に関し、詳しくは、素子
中に積層型のコイルを配設してなる積層型インダクタな
どの積層型コイル部品及びその製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術及び発明が解決しようとする課題】代表的
な積層型コイル部品の一つに積層型インダクタがある。
この積層型インダクタは、例えば、図６(ａ)，(ｂ)に示
すように、素子（チップ状素子）５１中に、複数の内部
導体（コイルパターン）５２ａ（図６(ｂ)）を接続する
ことにより形成された積層型のコイル５２（図６(ｂ)）
が配設されているとともに、コイル５２の両端部と接続
するように外部電極５３ａ，５３ｂ（図６(ａ)）が配設
された構造を有している。
な積層型コイル部品の一つに積層型インダクタがある。
この積層型インダクタは、例えば、図６(ａ)，(ｂ)に示
すように、素子（チップ状素子）５１中に、複数の内部
導体（コイルパターン）５２ａ（図６(ｂ)）を接続する
ことにより形成された積層型のコイル５２（図６(ｂ)）
が配設されているとともに、コイル５２の両端部と接続
するように外部電極５３ａ，５３ｂ（図６(ａ)）が配設
された構造を有している。
【０００３】ところで、このような積層型インダクタ
は、例えば、印刷工法により、図６(ｂ)に示すように、
コイルパターン５２ａが表面に形成された磁性体グリー
ンシート５４を複数枚積層するとともに、その上下両面
側にコイルパターンの形成されていない磁性体グリーン
シート（外層用シート）５４ａを積層した後、圧着し、
各コイルパターン５２ａをビアホール５５により接続し
てコイル５２を形成し、積層体（未焼成の素子）を焼成
した後、素子５１の両端部に導電ペーストを塗布、焼付
けして、外部電極５３ａ，５３ｂ（図６(ａ)）を形成す
る工程を経て製造されている。
は、例えば、印刷工法により、図６(ｂ)に示すように、
コイルパターン５２ａが表面に形成された磁性体グリー
ンシート５４を複数枚積層するとともに、その上下両面
側にコイルパターンの形成されていない磁性体グリーン
シート（外層用シート）５４ａを積層した後、圧着し、
各コイルパターン５２ａをビアホール５５により接続し
てコイル５２を形成し、積層体（未焼成の素子）を焼成
した後、素子５１の両端部に導電ペーストを塗布、焼付
けして、外部電極５３ａ，５３ｂ（図６(ａ)）を形成す
る工程を経て製造されている。
【０００４】ところで、従来の積層型インダクタにおい
ては、図７に示すように、製造に用いられる磁性体グリ
ーンシート５４は、表面にコイルパターン５２ａが印刷
（付与）されており、その周囲とは段差がある（すなわ
ち、コイルパターン５２ａが印刷されている部分の厚み
が大きく、印刷されていない部分の厚みが小さい）た
め、この磁性体グリーンシート５４を複数枚積層し、圧
着したときに、全体を均一に圧着することができず、電
気特性にばらつきが生じたり、層間剥離を生じたりする
という問題点がある。また、層間に空気層が形成され、
各層のコイルパターン５２ａ間には空気層を介した分布
容量が発生することになり、初期の電気特性と、繰返し
使用後の電気特性が異なり、電気特性が安定しないとい
う問題点がある。
ては、図７に示すように、製造に用いられる磁性体グリ
ーンシート５４は、表面にコイルパターン５２ａが印刷
（付与）されており、その周囲とは段差がある（すなわ
ち、コイルパターン５２ａが印刷されている部分の厚み
が大きく、印刷されていない部分の厚みが小さい）た
め、この磁性体グリーンシート５４を複数枚積層し、圧
着したときに、全体を均一に圧着することができず、電
気特性にばらつきが生じたり、層間剥離を生じたりする
という問題点がある。また、層間に空気層が形成され、
各層のコイルパターン５２ａ間には空気層を介した分布
容量が発生することになり、初期の電気特性と、繰返し
使用後の電気特性が異なり、電気特性が安定しないとい
う問題点がある。
【０００５】そこで、このような問題点を解決するため
に、図８，９に示すように、磁性体グリーンシート５４
の表面に印刷されたコイルパターン５２ａの周囲に、焼
成後において、その厚みが、コイルパターン５２ａの厚
みよりも大きくなるように補助磁性体層５６を配設する
ようにした積層型インダクタの製造方法が提案されてい
る（特公平７−１２３０９１号）。
に、図８，９に示すように、磁性体グリーンシート５４
の表面に印刷されたコイルパターン５２ａの周囲に、焼
成後において、その厚みが、コイルパターン５２ａの厚
みよりも大きくなるように補助磁性体層５６を配設する
ようにした積層型インダクタの製造方法が提案されてい
る（特公平７−１２３０９１号）。
【０００６】この方法により製造された積層型インダク
タの場合、コイルパターン５２ａと、厚み方向に隣接す
る磁性体層（磁性体グリーンシートの焼結体層）５４と
の間には空隙５７が介在することになり、この空隙５７
が磁性体層５４よりも比誘電率が小さいため、分布容量
を少なくして高周波における損失を小さくすることが可
能になるとともに、電気特性の繰返し使用による変動を
抑制することができるとされている。
タの場合、コイルパターン５２ａと、厚み方向に隣接す
る磁性体層（磁性体グリーンシートの焼結体層）５４と
の間には空隙５７が介在することになり、この空隙５７
が磁性体層５４よりも比誘電率が小さいため、分布容量
を少なくして高周波における損失を小さくすることが可
能になるとともに、電気特性の繰返し使用による変動を
抑制することができるとされている。
【０００７】しかし、この積層型インダクタのように、
補助磁性体層の厚みを、コイルパターンの厚みよりも大
きくした場合、各磁性体グリーンシートに形成されたコ
イルパターンの、ビアホールを介しての接続状態が不安
定になり、直流抵抗の安定性が不十分になり、信頼性が
低下するという問題点がある。
補助磁性体層の厚みを、コイルパターンの厚みよりも大
きくした場合、各磁性体グリーンシートに形成されたコ
イルパターンの、ビアホールを介しての接続状態が不安
定になり、直流抵抗の安定性が不十分になり、信頼性が
低下するという問題点がある。
【０００８】本願発明は、上記問題点を解決するもので
あり、各磁性体グリーンシートに形成されたコイルパタ
ーンを、ビアホールを介して確実に接続してコイルパタ
ーンを形成することが可能で、直流抵抗値が低く、その
安定性に優れた信頼性の高い積層型コイル部品の製造方
法を提供することを目的とする。
あり、各磁性体グリーンシートに形成されたコイルパタ
ーンを、ビアホールを介して確実に接続してコイルパタ
ーンを形成することが可能で、直流抵抗値が低く、その
安定性に優れた信頼性の高い積層型コイル部品の製造方
法を提供することを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本願発明（請求項１）の積層型コイル部品の製造方
法は、ビアホールが形成された磁性体グリーンシート
の、ビアホールを含む領域に所定のパターンでコイル形
成用の電極材料を付与して、ビアホール内にも電極材料
が充填されたコイルパターンを形成するコイルパターン
形成工程と、コイルパターンの周囲に、厚みがコイルパ
ターンの厚みより小さい磁性材料層を形成する磁性材料
層形成工程と、コイルパターン及び磁性材料層が形成さ
れた磁性体グリーンシートを含む複数の磁性体グリーン
シートを積層することにより内部にコイルが形成された
積層体を形成する積層工程と、積層体を圧着する圧着工
程と、圧着された積層体を熱処理して焼結させる熱処理
工程とを具備することを特徴としている。
に、本願発明（請求項１）の積層型コイル部品の製造方
法は、ビアホールが形成された磁性体グリーンシート
の、ビアホールを含む領域に所定のパターンでコイル形
成用の電極材料を付与して、ビアホール内にも電極材料
が充填されたコイルパターンを形成するコイルパターン
形成工程と、コイルパターンの周囲に、厚みがコイルパ
ターンの厚みより小さい磁性材料層を形成する磁性材料
層形成工程と、コイルパターン及び磁性材料層が形成さ
れた磁性体グリーンシートを含む複数の磁性体グリーン
シートを積層することにより内部にコイルが形成された
積層体を形成する積層工程と、積層体を圧着する圧着工
程と、圧着された積層体を熱処理して焼結させる熱処理
工程とを具備することを特徴としている。
【００１０】ビアホールを含む領域に所定のパターンで
コイル形成用の電極材料を付与して、ビアホール内にも
電極材料が充填されたコイルパターンを形成するととも
に、コイルパターンの周囲に、厚みがコイルパターンの
厚みより小さい磁性材料層を配設し、このコイルパター
ンと磁性材料層の形成された磁性体グリーンシートを含
む複数の磁性体グリーンシートを積層し、圧着すること
により、平面的にみた場合のビアホールが形成されてい
る領域の電極材料の厚みが、その周辺部の磁性材料層よ
りも大きくなり、圧着工程で、コイルパターンを構成す
る電極材料とビアホール内の電極材料に十分な圧力が加
わることになるため、各磁性体グリーンシートに形成さ
れたコイルパターンを、ビアホールを介して確実に接続
することが可能になり、直流抵抗値が低く、その安定性
に優れた信頼性の高い積層型コイル部品を製造すること
が可能になる。
コイル形成用の電極材料を付与して、ビアホール内にも
電極材料が充填されたコイルパターンを形成するととも
に、コイルパターンの周囲に、厚みがコイルパターンの
厚みより小さい磁性材料層を配設し、このコイルパター
ンと磁性材料層の形成された磁性体グリーンシートを含
む複数の磁性体グリーンシートを積層し、圧着すること
により、平面的にみた場合のビアホールが形成されてい
る領域の電極材料の厚みが、その周辺部の磁性材料層よ
りも大きくなり、圧着工程で、コイルパターンを構成す
る電極材料とビアホール内の電極材料に十分な圧力が加
わることになるため、各磁性体グリーンシートに形成さ
れたコイルパターンを、ビアホールを介して確実に接続
することが可能になり、直流抵抗値が低く、その安定性
に優れた信頼性の高い積層型コイル部品を製造すること
が可能になる。
【００１１】なお、本願発明において、「コイルパター
ンの周囲に、厚みがコイルパターンの厚みより小さい磁
性材料層を形成する」とは、ビアホール内の電極材料の
厚みとコイルパターンを構成する電極材料の厚みの合計
値が、その周辺部の磁性体グリーンシートの厚みと磁性
材料層の厚みの合計値よりも大きくなるように、磁性材
料層を形成することを意味するものである。したがっ
て、本願発明の積層型コイル部品の製造方法において
は、ビアホール内の電極材料の厚みとコイルパターンを
構成する電極材料の厚みの合計値が、その周辺部の磁性
体グリーンシートの厚みと磁性材料層の厚みの合計値よ
りも大きくなり、圧着工程で、コイルパターンを構成す
る電極材料とビアホール内の電極材料を十分に加圧する
ことが可能になり、各磁性体グリーンシートに形成され
たコイルパターンを、ビアホールを介して確実に接続す
ることが可能になる。
ンの周囲に、厚みがコイルパターンの厚みより小さい磁
性材料層を形成する」とは、ビアホール内の電極材料の
厚みとコイルパターンを構成する電極材料の厚みの合計
値が、その周辺部の磁性体グリーンシートの厚みと磁性
材料層の厚みの合計値よりも大きくなるように、磁性材
料層を形成することを意味するものである。したがっ
て、本願発明の積層型コイル部品の製造方法において
は、ビアホール内の電極材料の厚みとコイルパターンを
構成する電極材料の厚みの合計値が、その周辺部の磁性
体グリーンシートの厚みと磁性材料層の厚みの合計値よ
りも大きくなり、圧着工程で、コイルパターンを構成す
る電極材料とビアホール内の電極材料を十分に加圧する
ことが可能になり、各磁性体グリーンシートに形成され
たコイルパターンを、ビアホールを介して確実に接続す
ることが可能になる。
【００１２】なお、コイルパターン及び磁性材料層は、
種々の方法で形成することが可能であり、その具体的な
方法に特別の制約はないが、一例としては、スクリーン
印刷法やめっき法、さらにはフォトリソグラフィーなど
の方法を挙げることができる。
種々の方法で形成することが可能であり、その具体的な
方法に特別の制約はないが、一例としては、スクリーン
印刷法やめっき法、さらにはフォトリソグラフィーなど
の方法を挙げることができる。
【００１３】また、請求項２の積層型コイル部品の製造
方法は、磁性体グリーンシートに形成されたコイルパタ
ーン及び磁性材料層の厚み、圧着工程におけるコイルパ
ターン及び磁性材料層の圧化率の少なくとも１つを調整
することにより、圧着後のビアホール内の電極材料の厚
みとコイルパターンの厚みの合計値が、磁性体グリーン
シートの厚みと磁性材料層の厚みの合計値よりも大きく
なるようにしたことを特徴としている。
方法は、磁性体グリーンシートに形成されたコイルパタ
ーン及び磁性材料層の厚み、圧着工程におけるコイルパ
ターン及び磁性材料層の圧化率の少なくとも１つを調整
することにより、圧着後のビアホール内の電極材料の厚
みとコイルパターンの厚みの合計値が、磁性体グリーン
シートの厚みと磁性材料層の厚みの合計値よりも大きく
なるようにしたことを特徴としている。
【００１４】磁性体グリーンシートに形成されたコイル
パターン及び磁性材料層の厚みと、圧着工程におけるコ
イルパターン（ビアホール内に充填された電極材料を含
む）及び磁性材料層の圧化率の少なくとも１つを調整す
ることにより、圧着後のビアホール内の電極材料の厚み
とコイルパターンの厚みの合計値を、磁性体グリーンシ
ートの厚みと磁性材料層の厚みの合計値よりも大きくす
ることが可能になり、各コイルパターンを、ビアホール
を介して確実に接続して、直流抵抗値が低く、その安定
性に優れた信頼性の高い積層型コイル部品を製造するこ
とが可能になる。
パターン及び磁性材料層の厚みと、圧着工程におけるコ
イルパターン（ビアホール内に充填された電極材料を含
む）及び磁性材料層の圧化率の少なくとも１つを調整す
ることにより、圧着後のビアホール内の電極材料の厚み
とコイルパターンの厚みの合計値を、磁性体グリーンシ
ートの厚みと磁性材料層の厚みの合計値よりも大きくす
ることが可能になり、各コイルパターンを、ビアホール
を介して確実に接続して、直流抵抗値が低く、その安定
性に優れた信頼性の高い積層型コイル部品を製造するこ
とが可能になる。
【００１５】また、請求項３の積層型コイル部品の製造
方法は、磁性体グリーンシートに形成されたコイルパタ
ーンの熱処理工程における収縮率と、コイルパターンの
周囲に配設された磁性材料層の熱処理工程における収縮
率の少なくとも１つを調整することにより、焼結後のビ
アホール内の電極材料の厚みとコイルパターンの厚みの
合計値が、磁性体グリーンシートの厚みと磁性材料層の
厚みの合計値よりも大きくなるようにしたことを特徴と
している。
方法は、磁性体グリーンシートに形成されたコイルパタ
ーンの熱処理工程における収縮率と、コイルパターンの
周囲に配設された磁性材料層の熱処理工程における収縮
率の少なくとも１つを調整することにより、焼結後のビ
アホール内の電極材料の厚みとコイルパターンの厚みの
合計値が、磁性体グリーンシートの厚みと磁性材料層の
厚みの合計値よりも大きくなるようにしたことを特徴と
している。
【００１６】磁性体グリーンシートに形成されたコイル
パターンを構成する電極材料（ビアホール内に充填され
た電極材料を含む）の熱処理工程（焼結工程）における
収縮率と、コイルパターン（電極材料）の周囲に配設さ
れた磁性材料層の熱処理工程（焼結工程）における収縮
率の少なくとも１つを調整することにより、焼結後のビ
アホール内の電極材料の厚みとコイルパターンの厚みの
合計値を、焼結後の、磁性体グリーンシート及び磁性材
料層に由来する磁性体の厚みよりも大きくすることが可
能になり、各コイルパターンを、ビアホールを介して確
実に接続して、直流抵抗値が低く、その安定性に優れた
信頼性の高い積層型コイル部品を製造することが可能に
なる。
パターンを構成する電極材料（ビアホール内に充填され
た電極材料を含む）の熱処理工程（焼結工程）における
収縮率と、コイルパターン（電極材料）の周囲に配設さ
れた磁性材料層の熱処理工程（焼結工程）における収縮
率の少なくとも１つを調整することにより、焼結後のビ
アホール内の電極材料の厚みとコイルパターンの厚みの
合計値を、焼結後の、磁性体グリーンシート及び磁性材
料層に由来する磁性体の厚みよりも大きくすることが可
能になり、各コイルパターンを、ビアホールを介して確
実に接続して、直流抵抗値が低く、その安定性に優れた
信頼性の高い積層型コイル部品を製造することが可能に
なる。
【００１７】請求項４の積層型コイル部品の製造方法
は、前記積層型コイル部品がインダクタであることを特
徴としている。
は、前記積層型コイル部品がインダクタであることを特
徴としている。
【００１８】本願発明は、種々の積層型のコイルを備え
た部品の製造方法に適用することが可能であるが、通常
は、インダクタの製造方法として利用することにより、
信頼性の高い積層型インダクタを効率よく製造すること
が可能になる。
た部品の製造方法に適用することが可能であるが、通常
は、インダクタの製造方法として利用することにより、
信頼性の高い積層型インダクタを効率よく製造すること
が可能になる。
【００１９】また、本願発明（請求項５）の積層型コイ
ル部品は、焼結磁性体層の表面にコイル導体が配設さ
れ、かつ、コイル導体の周囲に磁性材料焼結層が配設さ
れた導体配設磁性体層が積層され、コイル導体がビアホ
ール内の電極材料を介して接続されることにより、焼結
磁性体中に積層型のコイルが配設された構造を有する積
層型コイル部品において、ビアホール内の電極材料の厚
みとコイル導体の厚みの合計値が、焼結磁性体層の厚み
と磁性材料焼結層の厚みの合計値よりも大きいことを特
徴としている。
ル部品は、焼結磁性体層の表面にコイル導体が配設さ
れ、かつ、コイル導体の周囲に磁性材料焼結層が配設さ
れた導体配設磁性体層が積層され、コイル導体がビアホ
ール内の電極材料を介して接続されることにより、焼結
磁性体中に積層型のコイルが配設された構造を有する積
層型コイル部品において、ビアホール内の電極材料の厚
みとコイル導体の厚みの合計値が、焼結磁性体層の厚み
と磁性材料焼結層の厚みの合計値よりも大きいことを特
徴としている。
【００２０】ビアホール内の電極材料の厚みとコイル導
体の厚みの合計値を、焼結磁性体層の厚みと磁性材料焼
結層の厚みの合計値よりも大きくすることにより、各コ
イル導体をより確実に接続することが可能になり、信頼
性の高い積層型コイル部品を得ることが可能になる。な
お、この積層型コイル部品は、上述の請求項１〜４の積
層型コイル部品の製造方法により、効率よく製造するこ
とが可能である。
体の厚みの合計値を、焼結磁性体層の厚みと磁性材料焼
結層の厚みの合計値よりも大きくすることにより、各コ
イル導体をより確実に接続することが可能になり、信頼
性の高い積層型コイル部品を得ることが可能になる。な
お、この積層型コイル部品は、上述の請求項１〜４の積
層型コイル部品の製造方法により、効率よく製造するこ
とが可能である。
【００２１】また、請求項６の積層型コイル部品は、積
層型コイル部品がインダクタであることを特徴としてい
る。
層型コイル部品がインダクタであることを特徴としてい
る。
【００２２】本願発明は、種々の積層型のコイルを備え
た部品に適用することが可能であるが、インダクタに適
用することにより、信頼性の高い積層型インダクタを得
ることができて有意義である。
た部品に適用することが可能であるが、インダクタに適
用することにより、信頼性の高い積層型インダクタを得
ることができて有意義である。
【００２３】
【発明の実施の形態】以下、本願発明の実施の形態を示
して、その特徴とするところをさらに詳しく説明する。
なお、以下の実施の形態においては、磁性体セラミック
中にコイルを配設してなる積層型インダクタを製造する
場合を例にとって説明する。
して、その特徴とするところをさらに詳しく説明する。
なお、以下の実施の形態においては、磁性体セラミック
中にコイルを配設してなる積層型インダクタを製造する
場合を例にとって説明する。
【００２４】［実施形態１］ (1)まず、Ｆｅ２Ｏ３：４８mol％、ＺｎＯ：２８mol
％、ＮｉＯ：１６mol％、ＣｕＯ：８mol％の比率で秤量
した各材料を混合し、得られた粉末を７５０℃で１時間
仮焼する。
％、ＮｉＯ：１６mol％、ＣｕＯ：８mol％の比率で秤量
した各材料を混合し、得られた粉末を７５０℃で１時間
仮焼する。
【００２５】(2)得られた仮焼粉末をアトライタなどで
３０分間湿式粉砕し、その後、バインダー樹脂を加え、
１時間混合する。
３０分間湿式粉砕し、その後、バインダー樹脂を加え、
１時間混合する。
【００２６】(3)そして、このようにして得られたスラ
リーを用い、ドクターブレード法により膜厚８０μm以
下のグリーンシートを作成し、これを所定の寸法に切断
する。
リーを用い、ドクターブレード法により膜厚８０μm以
下のグリーンシートを作成し、これを所定の寸法に切断
する。
【００２７】(4)それから、この磁性体グリーンシート
の所定の位置にビアホール用の貫通孔を形成する。
の所定の位置にビアホール用の貫通孔を形成する。
【００２８】(5)次に、図１(ａ)に示すように、磁性体
グリーンシート４の表面に、例えば、印刷工法により、
ビアホール５（図２，図４）を含む領域に所定のパター
ンとなるようにＡｇを主成分とする電極材料を２４μm
の厚さで付与してコイルパターン２ａを形成する。この
とき、ビアホール５内にも電極材料２ｂ（図４）が充填
される。
グリーンシート４の表面に、例えば、印刷工法により、
ビアホール５（図２，図４）を含む領域に所定のパター
ンとなるようにＡｇを主成分とする電極材料を２４μm
の厚さで付与してコイルパターン２ａを形成する。この
とき、ビアホール５内にも電極材料２ｂ（図４）が充填
される。
【００２９】(6)それから、コイルパターン２ａの周囲
に、図１(ｂ)，(ｃ)及び図２に示すように、磁性材料層
６を１８μmの厚さで形成する。なお、このとき、図１
(ｃ)に示すように、磁性材料層６の厚みＴ２を、コイル
パターン２ａの厚みＴ１より小さくする。その結果、図
４に示すように、ビアホール５が形成された領域におい
ては、ビアホール５内の電極材料２ｂの厚みＴ３とコイ
ルパターン２ａの厚みＴ１の合計値Ｔａが、磁性体グリ
ーンシート４の厚みＴ４（＝Ｔ３）と磁性材料層６の厚
みＴ２の合計値Ｔｂよりも大きくなっている。上記コイ
ルパターン２ａ及び磁性材料層６を形成するにあたって
は、例えば、電極材料を複数回印刷した後、磁性材料を
複数回付与することにより所定の厚みのコイルパターン
と磁性材料層を得る方法や、あるいは電極材料を一回印
刷した後、磁性材料を一回付与し、再び、電極材料の印
刷と磁性材料の付与を繰り返し、所定の厚みのコイルパ
ターンと磁性材料層を得る方法など、種々の方法でコイ
ルパターンと磁性材料層を形成することが可能である。
に、図１(ｂ)，(ｃ)及び図２に示すように、磁性材料層
６を１８μmの厚さで形成する。なお、このとき、図１
(ｃ)に示すように、磁性材料層６の厚みＴ２を、コイル
パターン２ａの厚みＴ１より小さくする。その結果、図
４に示すように、ビアホール５が形成された領域におい
ては、ビアホール５内の電極材料２ｂの厚みＴ３とコイ
ルパターン２ａの厚みＴ１の合計値Ｔａが、磁性体グリ
ーンシート４の厚みＴ４（＝Ｔ３）と磁性材料層６の厚
みＴ２の合計値Ｔｂよりも大きくなっている。上記コイ
ルパターン２ａ及び磁性材料層６を形成するにあたって
は、例えば、電極材料を複数回印刷した後、磁性材料を
複数回付与することにより所定の厚みのコイルパターン
と磁性材料層を得る方法や、あるいは電極材料を一回印
刷した後、磁性材料を一回付与し、再び、電極材料の印
刷と磁性材料の付与を繰り返し、所定の厚みのコイルパ
ターンと磁性材料層を得る方法など、種々の方法でコイ
ルパターンと磁性材料層を形成することが可能である。
【００３０】(7)それから、図２及び図３に示すよう
に、コイルパターン２ａ及び磁性材料層６が形成された
磁性体グリーンシート４（電極配設シート１４（図１
(ａ)，(b)，図２））を積層し、図４に示すように、ビ
アホール５により、コイルパターン２ａを接続してコイ
ル２（図５(ａ)など）を形成するとともに、上下両面側
にコイルパターンの配設されていない磁性体グリーンシ
ート（外層用シート）４ａを積層することにより積層体
（グリーン積層体）１ａ（図３）を形成する。
に、コイルパターン２ａ及び磁性材料層６が形成された
磁性体グリーンシート４（電極配設シート１４（図１
(ａ)，(b)，図２））を積層し、図４に示すように、ビ
アホール５により、コイルパターン２ａを接続してコイ
ル２（図５(ａ)など）を形成するとともに、上下両面側
にコイルパターンの配設されていない磁性体グリーンシ
ート（外層用シート）４ａを積層することにより積層体
（グリーン積層体）１ａ（図３）を形成する。
【００３１】(8)それから、この積層体（グリーン積層
体）１ａを、温度：４０℃、圧力：１．２ｔ／cm２で圧
着して、積層圧着体（グリーン積層圧着体）を形成す
る。グリーン積層体１ａにおいては、図３に示すよう
に、コイルパターン２ａの厚みＴ１が磁性材料層６の厚
みＴ２より大きく、また、図４に示すように、ビアホー
ル５が形成された領域においては、ビアホール５内の電
極材料２ｂの厚みＴ３とコイルパターン２ａの厚みＴ１
の合計値Ｔａが、磁性体グリーンシート４の厚みＴ４と
磁性材料層６の厚みＴ２の合計値Ｔｂよりも大きくなっ
ているので、圧着工程において、コイルパターン２ａと
ビアホール５内の電極材料２ｂが確実に加圧され、各コ
イルパターン２ａがビアホール５内の電極材料２ｂを介
して確実に接続されることになる。なお、マザー磁性体
グリーンシートを用いて、多数個の素子を同時に製造す
る場合においては、通常、このグリーン積層圧着体の段
階で、個々の素子に分割されることになる。
体）１ａを、温度：４０℃、圧力：１．２ｔ／cm２で圧
着して、積層圧着体（グリーン積層圧着体）を形成す
る。グリーン積層体１ａにおいては、図３に示すよう
に、コイルパターン２ａの厚みＴ１が磁性材料層６の厚
みＴ２より大きく、また、図４に示すように、ビアホー
ル５が形成された領域においては、ビアホール５内の電
極材料２ｂの厚みＴ３とコイルパターン２ａの厚みＴ１
の合計値Ｔａが、磁性体グリーンシート４の厚みＴ４と
磁性材料層６の厚みＴ２の合計値Ｔｂよりも大きくなっ
ているので、圧着工程において、コイルパターン２ａと
ビアホール５内の電極材料２ｂが確実に加圧され、各コ
イルパターン２ａがビアホール５内の電極材料２ｂを介
して確実に接続されることになる。なお、マザー磁性体
グリーンシートを用いて、多数個の素子を同時に製造す
る場合においては、通常、このグリーン積層圧着体の段
階で、個々の素子に分割されることになる。
【００３２】(9)そして、グリーン積層圧着体を５００
℃で１時間加熱して脱バインダーを行った後、さらに温
度を上げて焼結させることにより、素子（焼結体）を得
る。
℃で１時間加熱して脱バインダーを行った後、さらに温
度を上げて焼結させることにより、素子（焼結体）を得
る。
【００３３】(10)次に、素子の両端部に、コイルパター
ンの引出部と導通するように電極ペーストを塗布し、１
５０℃で１５分間乾燥した後、焼き付けることにより、
一対の外部電極を形成する。これにより、図５(ａ)，
(ｂ)に示すように、素子１中にコイル２が配設され、か
つ、素子１の両端部に、コイル２と導通するように一対
の外部電極３ａ，３ｂが配設された構造を有する積層型
インダクタが得られる。
ンの引出部と導通するように電極ペーストを塗布し、１
５０℃で１５分間乾燥した後、焼き付けることにより、
一対の外部電極を形成する。これにより、図５(ａ)，
(ｂ)に示すように、素子１中にコイル２が配設され、か
つ、素子１の両端部に、コイル２と導通するように一対
の外部電極３ａ，３ｂが配設された構造を有する積層型
インダクタが得られる。
【００３４】この実施形態の積層型インダクタの製造方
法においては、ビアホール５内にも電極材料２ｂが充填
されたコイルパターン２ａを磁性体グリーンシート４に
形成するとともに、コイルパターン２ａの周囲に、厚み
Ｔ２がコイルパターン２ａの厚みＴ１より小さい磁性材
料層６を配設し、この磁性体グリーンシートを含む複数
の磁性体グリーンシートを積層し、圧着するようにして
いるので、平面的にみた場合のビアホール５が形成され
ている領域の電極材料（コイルパターンを構成する電極
材料２ａの厚みＴ１とビアホール５内の電極材料２ｂの
厚みＴ３の合計値Ｔａ）が、その周辺部の磁性材料層６
の厚みＴ２と磁性体グリーンシート４の厚みＴ４の合計
値Ｔｂよりも大きく、該領域においては、圧着時に電極
材料２ａ，２ｂに十分な圧力が加わることになるため、
各磁性体グリーンシート４に形成されたコイルパターン
２ａを、ビアホール５を介して確実に接続することが可
能になり、直流抵抗値が低く、その安定性に優れた信頼
性の高い積層型コイル部品を製造することができる。
法においては、ビアホール５内にも電極材料２ｂが充填
されたコイルパターン２ａを磁性体グリーンシート４に
形成するとともに、コイルパターン２ａの周囲に、厚み
Ｔ２がコイルパターン２ａの厚みＴ１より小さい磁性材
料層６を配設し、この磁性体グリーンシートを含む複数
の磁性体グリーンシートを積層し、圧着するようにして
いるので、平面的にみた場合のビアホール５が形成され
ている領域の電極材料（コイルパターンを構成する電極
材料２ａの厚みＴ１とビアホール５内の電極材料２ｂの
厚みＴ３の合計値Ｔａ）が、その周辺部の磁性材料層６
の厚みＴ２と磁性体グリーンシート４の厚みＴ４の合計
値Ｔｂよりも大きく、該領域においては、圧着時に電極
材料２ａ，２ｂに十分な圧力が加わることになるため、
各磁性体グリーンシート４に形成されたコイルパターン
２ａを、ビアホール５を介して確実に接続することが可
能になり、直流抵抗値が低く、その安定性に優れた信頼
性の高い積層型コイル部品を製造することができる。
【００３５】すなわち、上記実施形態の方法により製造
された積層型コイル部品においては、焼結磁性体層（焼
結後の磁性体グリーンシート４）と、その表面に配設さ
れたコイル導体（焼結後のコイルパターン２ａ）と、コ
イル導体の周囲に配設された磁性材料焼結層（焼結後の
磁性材料層６）からなる導体配設磁性体層（焼結後の電
極配設シート１４）が積層されており、ビアホール５内
の電極材料２ｂの厚みとコイル導体（焼結後のコイルパ
ターン２ａ）の厚みの合計値が、焼結磁性体層（焼結後
の磁性体グリーンシート４）の厚みと磁性材料焼結層
（焼結後の磁性材料層６）の厚みの合計値よりも大きく
なっているため、各コイル導体が確実に接続され、信頼
性の高い積層型コイル部品が得られる。
された積層型コイル部品においては、焼結磁性体層（焼
結後の磁性体グリーンシート４）と、その表面に配設さ
れたコイル導体（焼結後のコイルパターン２ａ）と、コ
イル導体の周囲に配設された磁性材料焼結層（焼結後の
磁性材料層６）からなる導体配設磁性体層（焼結後の電
極配設シート１４）が積層されており、ビアホール５内
の電極材料２ｂの厚みとコイル導体（焼結後のコイルパ
ターン２ａ）の厚みの合計値が、焼結磁性体層（焼結後
の磁性体グリーンシート４）の厚みと磁性材料焼結層
（焼結後の磁性材料層６）の厚みの合計値よりも大きく
なっているため、各コイル導体が確実に接続され、信頼
性の高い積層型コイル部品が得られる。
【００３６】［実施形態２］この実施形態２では、コイ
ルパターンを構成するとともにビアホール内にも充填さ
れる電極材料との厚みと圧化率、磁性材料層を構成する
磁性材料の厚み（乾燥後の厚み）と圧化率を計算するこ
とにより、平面的にみた場合のビアホール５が形成され
ている領域の電極材料（コイルパターンを構成する電極
材料２ａの厚みＴ１とビアホール５内の電極材料２ｂの
厚みＴ３の合計値Ｔａ）が、その周辺部の磁性材料層６
の厚みＴ２と磁性体グリーンシート４の厚みＴ４の合計
値Ｔｂよりも大きくなるようにして、積層体を形成す
る。その他の構成は、上記実施形態１の場合と同様とす
る。
ルパターンを構成するとともにビアホール内にも充填さ
れる電極材料との厚みと圧化率、磁性材料層を構成する
磁性材料の厚み（乾燥後の厚み）と圧化率を計算するこ
とにより、平面的にみた場合のビアホール５が形成され
ている領域の電極材料（コイルパターンを構成する電極
材料２ａの厚みＴ１とビアホール５内の電極材料２ｂの
厚みＴ３の合計値Ｔａ）が、その周辺部の磁性材料層６
の厚みＴ２と磁性体グリーンシート４の厚みＴ４の合計
値Ｔｂよりも大きくなるようにして、積層体を形成す
る。その他の構成は、上記実施形態１の場合と同様とす
る。
【００３７】この実施形態２の方法の場合、電極材料と
磁性材料の厚み、及び圧化率を調整するようにしている
ので、平面的にみた場合のビアホールが形成されている
領域の電極材料の厚み（コイルパターンを構成する電極
材料とビアホール内の電極材料の厚みの合計値）を、そ
の周辺部の磁性材料層の厚みと磁性体グリーンシートの
厚みの合計値よりも大きくすることが可能になり、各コ
イルパターンを、ビアホールを介して確実に接続して、
直流抵抗値が低く、その安定性に優れた信頼性の高い積
層型コイル部品を製造することができる。
磁性材料の厚み、及び圧化率を調整するようにしている
ので、平面的にみた場合のビアホールが形成されている
領域の電極材料の厚み（コイルパターンを構成する電極
材料とビアホール内の電極材料の厚みの合計値）を、そ
の周辺部の磁性材料層の厚みと磁性体グリーンシートの
厚みの合計値よりも大きくすることが可能になり、各コ
イルパターンを、ビアホールを介して確実に接続して、
直流抵抗値が低く、その安定性に優れた信頼性の高い積
層型コイル部品を製造することができる。
【００３８】［実施形態３］この実施形態３では、ビア
ホール内に充填されるとともに、コイルパターンを構成
する電極材料と、磁性材料層を構成する磁性材料の厚み
（乾燥後の厚み）、圧化率、及び焼結の際の収縮率を計
算することにより、焼結後のビアホール内の電極材料の
厚みとコイルパターンの厚みの合計値を、焼結後の、磁
性体グリーンシート及び磁性材料層に由来する磁性体の
厚みよりも大きくなるようにして、積層体を形成する。
その他の構成は、上記実施形態１の場合と同様とする。
ホール内に充填されるとともに、コイルパターンを構成
する電極材料と、磁性材料層を構成する磁性材料の厚み
（乾燥後の厚み）、圧化率、及び焼結の際の収縮率を計
算することにより、焼結後のビアホール内の電極材料の
厚みとコイルパターンの厚みの合計値を、焼結後の、磁
性体グリーンシート及び磁性材料層に由来する磁性体の
厚みよりも大きくなるようにして、積層体を形成する。
その他の構成は、上記実施形態１の場合と同様とする。
【００３９】この実施形態３の方法の場合、電極材料と
磁性材料の厚み、圧化率、及び焼結の際の収縮率を調整
するようにしているので、平面的にみた場合のビアホー
ルが形成されている領域の、焼結後の電極材料の厚みと
コイルパターンの厚みの合計値を、同じく焼結後の磁性
体グリーンシート及び磁性材料層に由来する磁性体の厚
みよりも確実に大きくすることが可能になり、各コイル
パターンを、ビアホールを介して確実に接続することが
可能になり、直流抵抗値が低く、その安定性に優れた信
頼性の高い積層型コイル部品を製造することができる。
磁性材料の厚み、圧化率、及び焼結の際の収縮率を調整
するようにしているので、平面的にみた場合のビアホー
ルが形成されている領域の、焼結後の電極材料の厚みと
コイルパターンの厚みの合計値を、同じく焼結後の磁性
体グリーンシート及び磁性材料層に由来する磁性体の厚
みよりも確実に大きくすることが可能になり、各コイル
パターンを、ビアホールを介して確実に接続することが
可能になり、直流抵抗値が低く、その安定性に優れた信
頼性の高い積層型コイル部品を製造することができる。
【００４０】なお、上記実施形態においては、積層型イ
ンダクタを例にとって説明したが、本願発明は、積層型
インダクタに限らず、素子中に積層型のコイルを配設し
てなる積層型ＬＣ複合部品その他の種々の積層型コイル
部品に適用することが可能である。
ンダクタを例にとって説明したが、本願発明は、積層型
インダクタに限らず、素子中に積層型のコイルを配設し
てなる積層型ＬＣ複合部品その他の種々の積層型コイル
部品に適用することが可能である。
【００４１】なお、本願発明は、さらにその他の点にお
いても上記実施形態に限定されるものではなく、コイル
パターンの具体的な形状やコイルのターン数などに関
し、発明の要旨の範囲内において、種々の応用、変形を
加えることが可能である。
いても上記実施形態に限定されるものではなく、コイル
パターンの具体的な形状やコイルのターン数などに関
し、発明の要旨の範囲内において、種々の応用、変形を
加えることが可能である。
【００４２】
【発明の効果】上述のように、本願発明（請求項１）の
積層型コイル部品の製造方法は、ビアホールを含む領域
に所定のパターンでコイル形成用の電極材料を付与し
て、ビアホール内にも電極材料が充填されたコイルパタ
ーンを形成するとともに、コイルパターンの周囲に、厚
みがコイルパターンの厚みより小さい磁性材料層を配設
し、このコイルパターンと磁性材料層の形成された磁性
体グリーンシートを含む複数の磁性体グリーンシートを
積層し、圧着するようにしているので、平面的にみた場
合のビアホールが形成されている領域の電極材料の厚み
が、その周辺部の磁性材料層よりも大きくなり、圧着工
程で、コイルパターンを構成する電極材料とビアホール
内の電極材料に十分な圧力を加えることが可能になり、
各磁性体グリーンシートに形成されたコイルパターン
を、ビアホールを介して確実に接続して、直流抵抗値が
低く、安定性に優れた信頼性の高い積層型コイル部品を
製造することが可能になる。
積層型コイル部品の製造方法は、ビアホールを含む領域
に所定のパターンでコイル形成用の電極材料を付与し
て、ビアホール内にも電極材料が充填されたコイルパタ
ーンを形成するとともに、コイルパターンの周囲に、厚
みがコイルパターンの厚みより小さい磁性材料層を配設
し、このコイルパターンと磁性材料層の形成された磁性
体グリーンシートを含む複数の磁性体グリーンシートを
積層し、圧着するようにしているので、平面的にみた場
合のビアホールが形成されている領域の電極材料の厚み
が、その周辺部の磁性材料層よりも大きくなり、圧着工
程で、コイルパターンを構成する電極材料とビアホール
内の電極材料に十分な圧力を加えることが可能になり、
各磁性体グリーンシートに形成されたコイルパターン
を、ビアホールを介して確実に接続して、直流抵抗値が
低く、安定性に優れた信頼性の高い積層型コイル部品を
製造することが可能になる。
【００４３】また、請求項２の積層型コイル部品の製造
方法のように、磁性体グリーンシートに形成されたコイ
ルパターン及び磁性材料層の厚みと、圧着工程における
コイルパターン（ビアホール内に充填された電極材料を
含む）及び磁性材料層の圧化率の少なくとも１つを調整
するようにした場合、確実に、圧着後のビアホール内の
電極材料の厚みとコイルパターンの厚みの合計値を、磁
性体グリーンシートの厚みと磁性材料層の厚みの合計値
よりも大きくすることが可能になり、各コイルパターン
を、ビアホールを介して確実に接続して、直流抵抗値が
低く、その安定性に優れた信頼性の高い積層型コイル部
品を製造することが可能になる。
方法のように、磁性体グリーンシートに形成されたコイ
ルパターン及び磁性材料層の厚みと、圧着工程における
コイルパターン（ビアホール内に充填された電極材料を
含む）及び磁性材料層の圧化率の少なくとも１つを調整
するようにした場合、確実に、圧着後のビアホール内の
電極材料の厚みとコイルパターンの厚みの合計値を、磁
性体グリーンシートの厚みと磁性材料層の厚みの合計値
よりも大きくすることが可能になり、各コイルパターン
を、ビアホールを介して確実に接続して、直流抵抗値が
低く、その安定性に優れた信頼性の高い積層型コイル部
品を製造することが可能になる。
【００４４】また、請求項３の積層型コイル部品の製造
方法のように、磁性体グリーンシートに形成されたコイ
ルパターンを構成する電極材料（ビアホール内に充填さ
れた電極材料を含む）の熱処理工程（焼結工程）におけ
る収縮率と、コイルパターン（電極材料）の周囲に配設
された磁性材料層の熱処理工程（焼結工程）における収
縮率の少なくとも１つを調整するようにした場合、焼結
後のビアホール内の電極材料の厚みとコイルパターンの
厚みの合計値を、焼結後の、磁性体グリーンシート及び
磁性材料層に由来する磁性体の厚みよりも大きくするこ
とが可能になり、各コイルパターンを、ビアホールを介
して確実に接続して、直流抵抗値が低く、その安定性に
優れた信頼性の高い積層型コイル部品を製造することが
可能になる。
方法のように、磁性体グリーンシートに形成されたコイ
ルパターンを構成する電極材料（ビアホール内に充填さ
れた電極材料を含む）の熱処理工程（焼結工程）におけ
る収縮率と、コイルパターン（電極材料）の周囲に配設
された磁性材料層の熱処理工程（焼結工程）における収
縮率の少なくとも１つを調整するようにした場合、焼結
後のビアホール内の電極材料の厚みとコイルパターンの
厚みの合計値を、焼結後の、磁性体グリーンシート及び
磁性材料層に由来する磁性体の厚みよりも大きくするこ
とが可能になり、各コイルパターンを、ビアホールを介
して確実に接続して、直流抵抗値が低く、その安定性に
優れた信頼性の高い積層型コイル部品を製造することが
可能になる。
【００４５】また、本願発明は、種々の積層型のコイル
を備えた部品の製造方法に適用することが可能である
が、請求項４のように、インダクタの製造方法として利
用することにより、信頼性の高い積層型インダクタを効
率よく製造することが可能になる。
を備えた部品の製造方法に適用することが可能である
が、請求項４のように、インダクタの製造方法として利
用することにより、信頼性の高い積層型インダクタを効
率よく製造することが可能になる。
【００４６】また、本願発明（請求項５）の積層型コイ
ル部品は、ビアホール内の電極材料の厚みとコイル導体
の厚みの合計値が、焼結磁性体層の厚みと磁性材料焼結
層の厚みの合計値よりも大きくなるようにしているの
で、各コイル導体をより確実に接続して、信頼性の高い
積層型コイル部品を得ることができる。なお、この積層
型コイル部品は、上述の請求項１〜４の積層型コイル部
品の製造方法により効率よく製造することが可能であ
る。
ル部品は、ビアホール内の電極材料の厚みとコイル導体
の厚みの合計値が、焼結磁性体層の厚みと磁性材料焼結
層の厚みの合計値よりも大きくなるようにしているの
で、各コイル導体をより確実に接続して、信頼性の高い
積層型コイル部品を得ることができる。なお、この積層
型コイル部品は、上述の請求項１〜４の積層型コイル部
品の製造方法により効率よく製造することが可能であ
る。
【００４７】また、本願発明は、種々の積層型のコイル
を備えた部品に適用することが可能であるが、請求項６
のように、インダクタに適用することにより、信頼性の
高い積層型インダクタを得ることができて有意義であ
る。なお、この積層型インダクタは、上述の本願発明の
積層型コイル部品の製造方法により効率よく製造するこ
とができる。
を備えた部品に適用することが可能であるが、請求項６
のように、インダクタに適用することにより、信頼性の
高い積層型インダクタを得ることができて有意義であ
る。なお、この積層型インダクタは、上述の本願発明の
積層型コイル部品の製造方法により効率よく製造するこ
とができる。
【図１】本願発明の一実施形態にかかる積層型コイル部
品（積層型インダクタ）の製造方法の一工程を示す図で
あり、(ａ)は磁性体グリーンシートにコイルパターンを
形成した状態を示す斜視図、(ｂ)はコイルパターンの周
囲に磁性材料層を形成した状態を示す斜視図、(ｃ)は磁
性体グリーンシートの要部断面図である。
品（積層型インダクタ）の製造方法の一工程を示す図で
あり、(ａ)は磁性体グリーンシートにコイルパターンを
形成した状態を示す斜視図、(ｂ)はコイルパターンの周
囲に磁性材料層を形成した状態を示す斜視図、(ｃ)は磁
性体グリーンシートの要部断面図である。
【図２】本願発明の一実施形態にかかる積層型コイル部
品の製造方法の一工程を示す図である。
品の製造方法の一工程を示す図である。
【図３】本願発明の一実施形態にかかる積層型コイル部
品の製造方法の一工程において形成した積層体（グリー
ン積層体）を示す断面図である。
品の製造方法の一工程において形成した積層体（グリー
ン積層体）を示す断面図である。
【図４】本願発明の一実施形態にかかる積層型コイル部
品の製造方法の一工程において形成した積層体（グリー
ン積層体）のビアホール近傍の構成を示す断面図であ
る。
品の製造方法の一工程において形成した積層体（グリー
ン積層体）のビアホール近傍の構成を示す断面図であ
る。
【図５】本願発明の一実施形態にかかる方法により製造
した積層型インダクタを示す図であり、(ａ)は斜視図、
(ｂ)は断面図である。
した積層型インダクタを示す図であり、(ａ)は斜視図、
(ｂ)は断面図である。
【図６】従来の積層型インダクタを示す図であり、(ａ)
は斜視図、(ｂ)は内部構造を示す分解斜視図である。
は斜視図、(ｂ)は内部構造を示す分解斜視図である。
【図７】従来の積層型インダクタの要部断面図である。
【図８】従来の他の積層型インダクタを示す分解斜視図
である。
である。
【図９】従来の他の積層型インダクタの要部断面図であ
る。
る。
【符号の説明】 １ 積層体 １ａ グリーン積層体 ２ コイル ２ａ コイルパターン（コイルパターンを構成
する電極材料） ２ｂ ビアホール内に充填された電極材料 ３ａ，３ｂ 外部電極 ４ 磁性体グリーンシート ４ａ コイルパターンが配設されていない磁性
体グリーンシート ５ ビアホール ６ 磁性材料層 １４ 電極配設シート Ｔ１ コイルパターンの厚み Ｔ２ 磁性材料層の厚み Ｔａ Ｔ１＋Ｔ３ Ｔ３ ビアホール内の電極材料の厚み Ｔ４ 磁性体グリーンシートの厚み Ｔｂ Ｔ２＋Ｔ４
する電極材料） ２ｂ ビアホール内に充填された電極材料 ３ａ，３ｂ 外部電極 ４ 磁性体グリーンシート ４ａ コイルパターンが配設されていない磁性
体グリーンシート ５ ビアホール ６ 磁性材料層 １４ 電極配設シート Ｔ１ コイルパターンの厚み Ｔ２ 磁性材料層の厚み Ｔａ Ｔ１＋Ｔ３ Ｔ３ ビアホール内の電極材料の厚み Ｔ４ 磁性体グリーンシートの厚み Ｔｂ Ｔ２＋Ｔ４
Claims (6)
- 【請求項１】ビアホールが形成された磁性体グリーンシ
ートの、ビアホールを含む領域に所定のパターンでコイ
ル形成用の電極材料を付与して、ビアホール内にも電極
材料が充填されたコイルパターンを形成するコイルパタ
ーン形成工程と、 コイルパターンの周囲に、厚みがコイルパターンの厚み
より小さい磁性材料層を形成する磁性材料層形成工程
と、 コイルパターン及び磁性材料層が形成された磁性体グリ
ーンシートを含む複数の磁性体グリーンシートを積層す
ることにより内部にコイルが形成された積層体を形成す
る積層工程と、 積層体を圧着する圧着工程と、 圧着された積層体を熱処理して焼結させる熱処理工程と
を具備することを特徴とする積層型コイル部品の製造方
法。 - 【請求項２】磁性体グリーンシートに形成されたコイル
パターン及び磁性材料層の厚み、圧着工程におけるコイ
ルパターン及び磁性材料層の圧化率の少なくとも１つを
調整することにより、圧着後のビアホール内の電極材料
の厚みとコイルパターンの厚みの合計値が、磁性体グリ
ーンシートの厚みと磁性材料層の厚みの合計値よりも大
きくなるようにしたことを特徴とする請求項１記載の積
層型コイル部品の製造方法。 - 【請求項３】磁性体グリーンシートに形成されたコイル
パターンの熱処理工程における収縮率と、コイルパター
ンの周囲に配設された磁性材料層の熱処理工程における
収縮率の少なくとも１つを調整することにより、焼結後
のビアホール内の電極材料の厚みとコイルパターンの厚
みの合計値が、磁性体グリーンシートの厚みと磁性材料
層の厚みの合計値よりも大きくなるようにしたことを特
徴とする請求項１又は２記載の積層型コイル部品の製造
方法。 - 【請求項４】積層型コイル部品がインダクタであること
を特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の積層型コ
イル部品の製造方法。 - 【請求項５】焼結磁性体層の表面にコイル導体が配設さ
れ、かつ、コイル導体の周囲に磁性材料焼結層が配設さ
れた導体配設磁性体層が積層され、コイル導体がビアホ
ール内の電極材料を介して接続されることにより、焼結
磁性体中に積層型のコイルが配設された構造を有する積
層型コイル部品において、 ビアホール内の電極材料の厚みとコイル導体の厚みの合
計値が、焼結磁性体層の厚みと磁性材料焼結層の厚みの
合計値よりも大きいことを特徴とする積層型コイル部
品。 - 【請求項６】積層型コイル部品がインダクタであること
を特徴とする請求項５記載の積層型コイル部品。
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