JP2001060681A

JP2001060681A - 固体撮像装置およびその駆動方法

Info

Publication number: JP2001060681A
Application number: JP2000178907A
Authority: JP
Inventors: Yasutaka Nakashiba; 康隆中柴
Original assignee: NEC Corp
Current assignee: NEC Corp
Priority date: 1999-06-14
Filing date: 2000-06-14
Publication date: 2001-03-06

Abstract

(57)【要約】【課題】セルを縮小した場合でも感度や転送効率等の
特性を低下させることがない固体撮像装置およびその駆
動方法を提供する。【解決手段】光電変換部１１と垂直電荷転送部１２か
らなるセルを有する固体撮像装置において、セル１０
を、垂直電荷転送部１２の両側にそれぞれ光電変換部１
１を配置して形成し、１つの垂直電荷転送部１２を兼用
して２つの光電変換部１１に対応させた。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、固体撮像装置お
よびその駆動方法に関し、特に、電子スティルカメラや
パーソナルコンピュータ等に用いられる固体撮像装置お
よびその駆動方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、電子スティルカメラやパーソナル
コンピュータ等に用いられる固体撮像装置として、例え
ば、ＣＣＤ（ｃｈａｒｇｅｃｏｕｐｌｅｄｄｅｖｉ
ｃｅ）イメージセンサが知られている。このＣＣＤイメ
ージセンサは、光電変換部と垂直電荷転送部からなるセ
ルから構成され、光電変換部の信号電荷を垂直電荷転送
部が読み出す。

【０００３】垂直電荷転送部により信号電荷を読み出す
際の走査方法として、走査線順に画像を走査するプログ
レッシブ走査と、走査線を飛び越して画像を走査するイ
ンタレース走査がある。プログレッシブ走査は、例え
ば、パーソナルコンピュータのディスプレイの表示に用
いられ、インタレース走査は、例えば、テレビジョン受
像機の標準的な表示に用いられる。

【０００４】図１０は、従来のセル構造を示し、（ａ）
はプログレッシブ走査用の構造説明図、（ｂ）はインタ
レース走査用の構造説明図である。図１１は、プログレ
ッシブ走査を示し、（ａ）は蓄積状態、（ｂ）は読み出
し状態、（ｃ）はシフト状態の各説明図である。図１２
は、インタレース走査を示し、（ａ）蓄積状態、（ｂ）
は読み出し状態、（ｃ）はシフト状態の各説明図であ
る。

【０００５】図１０（ａ）に示すように、プログレッシ
ブ走査用のセル１は、光電変換部２と、幅がＷで長さが
Ｌの４つの電極３からなる垂直電荷転送部４を有してい
る。

【０００６】光電変換部２で蓄積された電荷（図１１
（ａ）参照）は、同一時刻に全てが垂直電荷転送部４に
読み出される（図１１（ｂ）参照）。読み出された全電
荷パターンは一斉に１行分ずつシフトされ、水平電荷転
送部５を介して出力回路部６から出力される（図１１
（ｃ）参照）。

【０００７】図１０（ｂ）に示すように、インタレース
走査用のセル７は、光電変換部２と、幅がＷで長さが２
Ｌの２つの電極８からなる垂直電荷転送部４を有してい
る。

【０００８】光電変換部２で蓄積された電荷（図１２
（ａ）参照）は、先ず、第１の時刻に、奇数行の電荷が
垂直電荷転送部４に読み出され（図１２（ｂ）参照）、
読み出された全電荷パターンは一斉に１行分ずつシフト
され、水平電荷転送部５を介して出力回路部６から出力
される（図１２（ｃ）参照）。続いて、第２の時刻に、
偶数行の電荷が、奇数行の電荷と同様に読み出されてシ
フトされ、出力される。

【０００９】つまり、インタレース走査用のセル７の場
合、光が入力する光電変換部２に対し垂直電荷転送部４
の電極８は２つであるが、方向の決定には少なくとも３
つ以上の電極を必要とすることから、上下何れかに位置
する他のセルの２つの電極８を共用していた。

【００１０】ここで、パーソナルコンピュータやデジタ
ルカメラにおいては、全画素を同時間露光するために、
全ての画素を光電変換部２から垂直電荷転送部４に一度
に読み出す必要がある。この為、共用していた２つの電
極８を１つのセルの中に入れて４つの電極とするプログ
レッシブ方式が、一般的に用いられていた。

【００１１】しかし、ＣＣＤイメージセンサとメカニカ
ルシャッタを組み合わせることにより、メカニカルシャ
ッタで全画素を同時間露光すれば、光電変換部２から垂
直電荷転送部４に一度に読み出す必要が無くなり、光遮
断後インターレース用のセル７を用いて順次信号電荷を
読み出すインターレース方式も用いられている。

【００１２】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、パーソ
ナルコンピュータやデジタルカメラの小型軽量化の要請
に応じて、１つのセルに４つの電極という形で小型化す
る場合、光の入力部分である光電変換部２や転送する領
域である垂直電荷転送部４も、当然小さく狭くなってし
まう。この転送容量の大きさについては、４つの電極の
内の２つが対応しその面積が容量を決定する。

【００１３】従って、単純にセルを縮小し小型化して行
くと、光電変換手段であるフォトダイオードが小さくな
って当然感度が悪くなり、電荷を転送する部分が小さく
なってダイナミックレンジが狭くなり、そのまま特性が
劣化してしまうことになる。

【００１４】即ち、セルの縮小化に伴い、プログレッシ
ブ走査の場合、光電変換部２及び垂直電荷転送部４共に
取り扱い電荷量が低下することになる。

【００１５】インタレース方式のセルの場合も同様に、
セルの縮小化に伴い、光電変換部２及び垂直電荷転送部
４の取り扱い電荷量が低下する。この問題に加えて、イ
ンターレース方式のセルの場合は、電極幅Ｗに対する電
極長Ｌの割合が大きくなり転送効率が低下するという問
題も有する。よって、インタレース走査において、垂直
電荷転送部４の電極幅Ｗを確保するためには、光電変換
部２の取り扱い電荷量の低下との間でバランス設計にな
らざるを得ない。

【００１６】この発明の目的は、セルを縮小した場合で
も感度や転送効率等の特性を低下させることがない固体
撮像装置およびその駆動方法を提供することである。

【００１７】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、この発明に係る固体撮像装置は、光電変換部と垂直
電荷転送部からなるセルを有する固体撮像装置におい
て、前記セルを、前記垂直電荷転送部の両側にそれぞれ
前記光電変換部を配置して形成し、１つの垂直電荷転送
部を兼用して２つの光電変換部に対応させたことを特徴
としている。

【００１８】上記構成を有することにより、光電変換部
と垂直電荷転送部からなるセルを有する固体撮像装置に
おいて、前記セルは、前記垂直電荷転送部の両側にそれ
ぞれ前記光電変換部を配置して形成され、１つの垂直電
荷転送部が兼用されて２つの光電変換部に対応するた
め、セル使用効率が上がる。これにより、セルを縮小し
た場合でも感度や転送効率等の特性を低下させることが
ない。

【００１９】また、この発明に係る固体撮像装置の駆動
方法により、上記固体撮像装置を駆動することができ
る。

【００２０】

【発明の実施の形態】以下、この発明の実施の形態につ
いて図面を参照して説明する。

【００２１】図１は、この発明の第１の実施の形態に係
る固体撮像装置のセル構造を示す説明図である。このセ
ル構造はＣＣＤイメージセンサとメカニカルシャッタを
組み合わせ、全画素を同時間露光するようにメカニカル
シャッタを使用することにより、パーソナルコンピュー
ターやデジタルカメラに適用することが出来る。

【００２２】図１に示すように、固体撮像装置のセル１
０は、２つの光電変換部１１と、その間に配置された垂
直電荷転送部１２からなり、垂直電荷転送部１２は２つ
の電極１３を有している。

【００２３】即ち、２つの電極１３に沿って、垂直電荷
転送部１２の両側に、それぞれ光電変換部１１が配置さ
れている。

【００２４】そして、セル１０の上下何れかに位置する
他のセル１０の２つの電極１３を共用することにより、
４つの電極１３を確保している。これにより、方向の決
定に必要な少なくとも３つ以上の電極を備えることがで
きる。

【００２５】このような固体撮像装置としては、電子ス
ティルカメラやパーソナルコンピュータ等に用いられ
る、例えば、ＣＣＤイメージセンサがある。

【００２６】図２は、図１のセルの走査方法（その１）
を示し、（ａ）は蓄積状態、（ｂ）は第１の読み出し状
態、（ｃ）は第１のシフト状態の各説明図である。図３
は、図１のセルの走査方法（その２）を示し、（ｄ）は
第２の読み出し状態、（ｅ）は第３の読み出し状態、
（ｆ）は第４の読み出し状態の各説明図である。なお、
図２及び図３において、転送クロックパルスが入力する
配線の図示は省略してある。

【００２７】図２及び図３に示すように、光電変換部１
１に入力した光は、光電変換部１１において信号電荷に
変換・蓄積され（図２（ａ）参照）、光電変換部１１に
蓄積された電荷は、以下の手順を経て順次、垂直電荷転
送部１２に読み出される。

【００２８】図２及び図３において、例えば、信号電荷
「ａ」と「Ａ」、信号電荷「ｂ」と「Ｂ」が蓄積される
２組の光電変換部１１は、上下に隣接する垂直電荷転送
部１２の２つの電極を共用することにより、４つの電極
を確保している。即ち、垂直電荷転送部１２は、４つの
電荷転送電極を繰り返し単位としている。

【００２９】先ず、第１の時刻に、垂直電荷転送部１２
の左側に位置する奇数行の光電変換部１１の電荷（図
中、ａ，ｃ，…、あ，う，…）が読み出される（図２
（ｂ）参照）。垂直電荷転送部１２に読み出された全て
の電荷パターンは、一斉に１行分ずつシフトされ、水平
電荷転送部１４を介して出力回路部１５から出力される
（図２（ｃ）参照）。

【００３０】次に、第２の時刻に、垂直電荷転送部１２
の右側に位置する奇数行の光電変換部１１の電荷（図
中、Ａ，Ｃ，…、α，γ，…）が読み出される（図３
（ｄ）参照）。垂直電荷転送部１２に読み出された全て
の電荷パターンは、一斉に１行分ずつシフトされ、水平
電荷転送部１４を介して出力回路部１５から出力され
る。

【００３１】次に、第３の時刻に、垂直電荷転送部１２
の左側に位置する偶数行の光電変換部１１の電荷（図
中、ｂ，ｄ，…、い，え，…）が読み出される（図３
（ｅ）参照）。垂直電荷転送部１２に読み出された全て
の電荷パターンは、一斉に１行分ずつシフトされ、水平
電荷転送部１４を介して出力回路部１５から出力され
る。

【００３２】更に、第４の時刻に、垂直電荷転送部１２
の右側に位置する偶数行の光電変換部１１の電荷（図
中、Ｂ，Ｄ，…、β，δ，…）が読み出される（図３
（ｆ）参照）。垂直電荷転送部１２に読み出された全て
の電荷パターンは、一斉に１行分ずつシフトされ、水平
電荷転送部１４を介して出力回路部１５から出力され
る。

【００３３】図４（ａ）は、図１のセルにより構成され
たセル部の構造を概略的に説明する平面図であり、図４
（ｂ）は図４（ａ）のＩ−Ｉ’断面図である。図５は、
図１の電荷転送部の各電極に印加される転送クロックパ
ルスの一例を示す波形図である。なお、図４（ａ）は、
セル部の一部について示しており、一例として、信号電
荷「ａ」，「Ａ」，「あ」，「ｂ」，「Ｂ」，「い」の
みを示す。

【００３４】図４に示すように、複数のセルからなるセ
ル部は、転送クロックパルスΦ１が入力する電極１３
ａ、転送クロックパルスΦ２が入力する電極１３ｂ、転
送クロックパルスΦ３が入力する電極１３ｃ、及び転送
クロックパルスΦ４が入力する電極１３ｄを有してい
る。

【００３５】電極１３ａは、垂直電荷転送部１２の左側
に配置されて、例えば、信号電荷「ａ」が蓄積される光
電変換部１１に、信号電荷読み出し領域１６を介して接
続されている。

【００３６】同様に、電極１３ｂは、垂直電荷転送部１
２の右側で、例えば、信号電荷「Ａ」が蓄積される光電
変換部１１に、電極１３ｃは、垂直電荷転送部１２の左
側で、例えば、信号電荷「ｂ」が蓄積される光電変換部
１１に、電極１３ｄは、垂直電荷転送部１２の右側で、
例えば、信号電荷「Ｂ」が蓄積される光電変換部１１
に、それぞれ信号電荷読み出し領域１６を介して接続さ
れている。

【００３７】なお、この信号電荷読み出し領域１６は、
例えば、信号電荷「ａ」が蓄積される光電変換部１１と
電極１３ｂを接続しても良く、読み出したい位置に読み
出したい光電変換部１１があるように、必要に応じ任意
に設けることができる。

【００３８】図４（ｂ）に示すように、ｎ型半導体基板
３１上のｐ型半導体領域３２に、ｎ型半導体層３３を有
する光電変換部１１が設けられている。ｐ型半導体領域
３２には、更に、ｎ型半導体層３４、ゲート酸化膜３
５、及び垂直電荷転送電極１３からなる垂直電荷転送部
１２、及び、ｐ⁺型拡散層３６が設けられている。これ
らの上層の光電変換部１１以外の領域上には遮光膜３７
が設けられている。

【００３９】図５（ａ）に示すように、先ず、読み出し
パルスＶ_Tが乗っている転送クロックパルスΦ１が入力
すると（（ａ）参照）、時刻ｔ₁のとき、読み出しパル
スＶ_Tによって、光電変換部１１から垂直電荷転送部１
２へ、信号電荷「ａ」と「あ」が読み出される。読み出
された信号電荷は、読み出しパルスＶ_Tが印加されてい
る電荷転送電極１３ａの下に蓄積される。続いてこの信
号電荷は、時刻ｔ₂で、図５（ａ）に示す転送クロック
パルスの印加電圧変動による電位ポテンシャル変動に従
い、ハイ電圧Ｖ_Hが印加されている電極１３ａと電極１
３ｂとの下に蓄積される。以下同様にして、信号電荷は
転送されていき、時刻ｔ₄で信号電荷は電極１３ｃと電
極１３ｄとの下に蓄積される。

【００４０】上述のように、転送クロックパルスΦ２〜
Φ４が続いて、信号電荷が垂直電荷転送部１２をシフト
され、水平電荷転送部１４を介して、出力回路部１５か
ら出力される。この様に、読み出された信号電荷が水平
電荷転送部までシフトされた後、即ち転送クロックパル
スの１周期後、読み出しパルスＶ_Tが乗っている転送ク
ロックパルスΦ２が入力すると（（ｂ）参照）、時刻ｔ
₁のとき、読み出しパルスＶ_Tによって、光電変換部１１
から垂直電荷転送部１２へ、信号電荷「Ａ」が読み出さ
れる。

【００４１】以後、これが繰り返されて、読み出しパル
スＶ_Tが乗っている転送クロックパルスΦ３が入力する
と、光電変換部１１から垂直電荷転送部１２へ、信号電
荷「ｂ」と「い」が読み出され、読み出しパルスＶ_Tが
乗っている転送クロックパルスΦ４が入力すると、光電
変換部１１から垂直電荷転送部１２へ、信号電荷「Ｂ」
が読み出される。

【００４２】従って、全ての光電変換部１１の信号電荷
は、それぞれ混合されることなく出力され、垂直電荷転
送部１２の繰り返し単位を共有する光電変換部１１の信
号電荷ａ，Ａ，ｂ，Ｂ（図２（ａ）参照）は、同一時期
に読み出されることがない。

【００４３】このように、固体撮像装置のセル１０（図
１参照）は、垂直電荷転送部１２の左右両側に光電変換
部１１を配置しており、２つの光電変換部１１が１つの
垂直電荷転送部１２を兼用している。このため、垂直電
荷転送部１２の各段は、フォトダイオード１個に電極は
２つしかないので、上下に位置するセル１０の電極を共
有化することになり、信号電荷の読み出しを４回行うこ
とによって１つの画面ができる。

【００４４】一般的に、信号電荷の転送スピードは、電
極長が長くなると遅くなり、電極幅が大きくなると早く
なるが、電極の面積が変化することによって電極幅と電
極長の比が変わり、転送スピードの低下を抑制すること
ができる。

【００４５】上述したセル１０においては、フォトダイ
オードの大きさを図１０に示す従来例のセル１，７と同
じとした場合、電極１３の幅は２Ｗ＋ｗとなり、電極１
３の長さは２Ｌとなる（図１参照）。ここで、ＷとＬ
は、従来のセル１（図１０（ａ）参照）及びセル７（図
１０（ｂ）参照）の電極幅と電極長の基本単位であり、
ｗは、従来のセル１及びセル７を２つ合わせた（Ｗ＋
Ｗ、中央部縦線参照）ことにより不要となった、それぞ
れ設けられていた電荷の流出を防止するためのチャネル
ストップとしての離間部相当分である。

【００４６】また、電極１３の幅をより拡大することが
可能になったことから、その拡大分を両側の光電変換部
１１に振り分けることにより、各光電変換部１１の面積
を増加拡大させて、固体撮像装置の感度を高めることが
可能になる。これにより、将来の画素増加にも対応する
ことができ、そのような設計変更にも十分対応すること
が可能になる。

【００４７】図６は、図１のセルの他の配置例を示す説
明図である。図６に示すように、セル２０は、２つの電
極１３を備えた１つの垂直電荷転送部１２と、その左右
両側に配置した２つの光電変換部１１を有しており、１
つのセル内に４つの電極１３を確保している（（ａ）参
照）。このセル２０の電極１３に印加する転送クロック
パルスの一例を図７に示す。この場合、光電変換部１１
に対応する電極が、セル１０の２個に対して４個になる
ため、転送量がセル１０のほぼ半分になる。

【００４８】セル２１は、１つの電極１３を備えた１つ
の垂直電荷転送部１２と、その左右両側に配置した２つ
の光電変換部１１を、３組有しており、１つのセル内に
３つの電極１３を確保している（（ｂ）参照）。このセ
ル２１の電極１３に印加する転送クロックパルスの一例
を図８に示す。この場合、縦に３つの垂直電荷転送部１
２を共用している。転送量は、セル１０の約１倍とな
る。

【００４９】セル２２は、２つの電極１３を備えた１つ
の垂直電荷転送部１２と、その左右両側に配置した２つ
の光電変換部１１を、３組有しており、１つのセル内に
６つの電極１３を確保している（（ｃ）参照）。このセ
ル２２の電極１３に印加する転送クロックパルスの一例
を図９に示す。この場合、縦に３つの垂直電荷転送部１
２は、６つの電極１３を共用し、各垂直電荷転送部１２
の電極１３が２つとなって、転送される電荷の量を多く
することができる。転送量はセル１０の約２倍となる。

【００５０】セル２１とセル２２は、光電変換部１１の
フォトダイオードが一緒でも電極１３の数が異なってお
り、セル２２の信号電荷を蓄積し転送するための容量
は、セル２１に対しほぼ２倍になっている。ここで、共
用する垂直電荷転送部１２の数は、縦に３つに限らず、
縦に４つでもそれ以上でもよい。

【００５１】このように、上記実施の形態に係る固体撮
像装置のセルは、１つの垂直電荷転送部１２の左右両側
に２ｎ（ｎは整数）個の光電変換部１１を配置して、垂
直電荷転送部１２を兼用しており、例えば、上下何れか
の垂直電荷転送部１２の電極を共有化することにより、
少なくとも３つの電極を確保している。

【００５２】つまり、最近は、メモリの低価格化やＣＰ
Ｕの高速化が進み、ＣＣＤイメージセンサもメモリ等を
用いてシステム的に使われ、必ずしも全部の画素を同時
に読み出さなくてもよいので、ＣＣＤイメージセンサに
全ての動作を負わせず、機能を分散させることが可能で
ある。また、転送面積は大きい方がよいが、フォトダイ
オードの面積にしわ寄せがこない方がよいので、共有が
可能な部分はできる限り共有させている。

【００５３】従って、２つの光電変換部１１とその間に
形成された１つの垂直電荷転送部１２を有し、全ての光
電変換部１１の信号電荷が混合されることなく出力さ
れ、また、垂直電荷転送部１２の繰り返し単位を共有す
る光電変換部１１の信号電荷は同一時期に読み出されな
い、という構成を有することにより、セル使用効率が上
がり、セルを縮小化した場合に生じる感度や転送効率等
の特性低下をもたらさず、パフォーマンスを向上させる
ことができる。

【００５４】

【発明の効果】以上説明したように、この発明によれ
ば、光電変換部と垂直電荷転送部からなるセルを有する
固体撮像装置において、前記セルは、前記垂直電荷転送
部の両側にそれぞれ前記光電変換部を配置して形成さ
れ、１つの垂直電荷転送部が兼用されて２つの光電変換
部に対応するため、セル使用効率が上がるので、セルを
縮小した場合でも感度や転送効率等の特性を低下させる
ことがない。

【００５５】また、この発明に係る固体撮像装置の駆動
方法により、上記固体撮像装置を駆動することができ
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明の実施の形態に係る固体撮像装置のセ
ル構造を示す説明図である。

【図２】図１のセルの走査方法（その１）を示し、
（ａ）は蓄積状態、（ｂ）は第１の読み出し状態、
（ｃ）は第１のシフト状態の各説明図である。

【図３】図１のセルの走査方法（その２）を示し、
（ｄ）は第２の読み出し状態、（ｅ）は第３の読み出し
状態、（ｆ）は第４の読み出し状態の各説明図である。

【図４】（ａ）は、図１のセルにより構成されたセル部
の構造を概略的に説明する平面図である。（ｂ）は、図
４（ａ）のＩ−Ｉ’断面図である。

【図５】図１の電荷転送部の各電極に印加される転送ク
ロックパルスの一例を示す波形図である。

【図６】図１のセルの他の配置例を示す説明図である。

【図７】図６（ａ）の電荷転送部の各電極に印加される
転送クロックパルスの一例を示す波形図である。

【図８】図６（ｂ）の電荷転送部の各電極に印加される
転送クロックパルスの一例を示す波形図である。

【図９】図６（ｃ）の電荷転送部の各電極に印加される
転送クロックパルスの一例を示す波形図である。

【図１０】従来のセル構造を示し、（ａ）はプログレッ
シブ走査用の構造説明図、（ｂ）はインタレース走査用
の構造説明図である。

【図１１】プログレッシブ走査を示し、（ａ）は蓄積状
態、（ｂ）は読み出し状態、（ｃ）はシフト状態の各説
明図である。

【図１２】インタレース走査を示し、（ａ）蓄積状態、
（ｂ）は読み出し状態、（ｃ）はシフト状態の各説明図
である。

【符号の説明】

１０，２０，２１，２２セル１１光電変換部１２垂直電荷転送部１３，１３ａ，１３ｂ，１３ｃ，１３ｄ電極１４水平電荷転送部１５出力回路部１６信号電荷読み出し領域ＶＴ読み出しパルス Φ１，Φ２，Φ３，Φ４転送クロックパルス

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】光電変換部と垂直電荷転送部からなるセル
を有する固体撮像装置において、前記セルを、前記垂直
電荷転送部の両側にそれぞれ前記光電変換部を配置して
形成し、１つの垂直電荷転送部を兼用して２つの光電変
換部に対応させたことを特徴とする固体撮像装置。
【請求項２】前記垂直電荷転送部は、上下に位置するｎ
＋１（ｎは１以上の整数）個以上のセルの電極を共用す
ることを特徴とする請求項１に記載の固体撮像装置。
【請求項３】前記垂直電荷転送部は、１繰り返し単位と
なる少なくとも３個の電極を有することを特徴とする請
求項１または２に記載の固体撮像装置。
【請求項４】前記光電変換部の信号電荷が全て混合する
ことなく出力されることを特徴とする請求項１から３の
いずれかに記載の固体撮像装置。
【請求項５】前記垂直電荷転送部の繰り返し単位を共有
する前記光電変換部の信号電荷は、同一時期に読み出さ
れないことを特徴とする請求項１から４のいずれかに記
載の固体撮像装置。
【請求項６】前記電極と前記光電変換部を接続する信号
電荷読み出し領域は、読み出したい位置に読み出したい
光電変換部があるように任意に設けられていることを特
徴とする請求項２から５のいずれかに記載の固体撮像装
置。
【請求項７】請求項１から６のいずれかに記載の固体撮
像装置の駆動方法であって、兼用する前記垂直電荷転送
部に、前記垂直電荷転送部の両側に配置された前記光電
変換部毎に信号電荷を順次読み出し、少なくとも２個の
電荷パターンを得ることを特徴とする固体撮像装置の駆
動方法。
【請求項８】前記垂直電荷転送部に読み出された全ての
電荷パターンは、一斉に１行分ずつシフトされ、水平電
荷転送部を介して出力回路部から出力されることを特徴
とする請求項７に記載の固体撮像装置の駆動方法。
【請求項９】前記信号電荷は、読み出しパルスが乗って
いる転送クロックパルスが入力することにより読み出さ
れることを特徴とする請求項７または８に記載の固体撮
像装置の駆動方法。
【請求項１０】前記垂直電荷転送部の１繰り返し単位毎
に、２ｎ（ｎは１以上の整数）個の前記光電変換部の各
々から読み出すことを特徴とする請求項７から９のいず
れかに記載の固体撮像装置の駆動方法。
【請求項１１】前記光電変換部の各々に蓄積された信号
電荷は、異なったタイミングで順次読み出されることを
特徴とする請求項１０に記載の固体撮像装置の駆動方
法。