JP2001031213A - 自動倉庫とそれを用いた搬送システム - Google Patents
自動倉庫とそれを用いた搬送システムInfo
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- 238000009434 installation Methods 0.000 abstract description 5
- 238000000034 method Methods 0.000 description 4
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 1
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 1
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
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- H01L21/67769—Storage means
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
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- B65G1/04—Storage devices mechanical
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Abstract
(57)【要約】
【構成】 自動倉庫６のマスト１８をクリーンルームの
床２を貫通して床下まで延長し、ターンテーブル１６を
床下に設置する。また床上のステーション２６と床下の
ステーション３０の２種のステーションを設け、棚１４
は床上スペースにのみ設ける。床上のステーション２６
を無人搬送車３４に接続し、床下のステーション３０を
有軌道台車３６に接続する。 【効果】 設置が容易で、床下スペースを物品の搬送に
用いることができる。
床２を貫通して床下まで延長し、ターンテーブル１６を
床下に設置する。また床上のステーション２６と床下の
ステーション３０の２種のステーションを設け、棚１４
は床上スペースにのみ設ける。床上のステーション２６
を無人搬送車３４に接続し、床下のステーション３０を
有軌道台車３６に接続する。 【効果】 設置が容易で、床下スペースを物品の搬送に
用いることができる。
Description
【０００１】
【発明の利用分野】この発明は、クリーンルーム用の自
動倉庫とそれを用いた搬送システムとに関する。
動倉庫とそれを用いた搬送システムとに関する。
【０００２】
【従来技術】クリーンルームでは仕掛品等を保管するた
めに自動倉庫を用い、自動倉庫と処理装置等の間を無人
搬送車や有軌道台車で接続する。しかしながら無人搬送
車や有軌道台車はかなりの走行スペースを必要とするた
め、走行経路に制限があり、搬送能力にも制限が生じ
る。このため自動倉庫と処理装置等の間の搬送能力が不
足しやすい。
めに自動倉庫を用い、自動倉庫と処理装置等の間を無人
搬送車や有軌道台車で接続する。しかしながら無人搬送
車や有軌道台車はかなりの走行スペースを必要とするた
め、走行経路に制限があり、搬送能力にも制限が生じ
る。このため自動倉庫と処理装置等の間の搬送能力が不
足しやすい。
【０００３】
【発明の課題】この発明の課題は、床下や天井裏のスペ
ースを物品の搬送に用いることができ、かつ自動倉庫の
移載ステーションを床下や天井裏に容易に設置し得るよ
うにすることにある（請求項１〜３）。
ースを物品の搬送に用いることができ、かつ自動倉庫の
移載ステーションを床下や天井裏に容易に設置し得るよ
うにすることにある（請求項１〜３）。
【０００４】
【発明の構成】この発明は、クリーンルームの床上スペ
ースに、棚とマストと、マストに沿って昇降し棚との間
で物品を移載するための昇降移載手段、とを設けた自動
倉庫において、該マストをクリーンルームの床下スペー
スまたは天井裏スペースの少なくとも一方まで延長した
延長部を設けるとともに、物品の移載ステーションを、
該マストの延長部に、前記昇降移載手段との間で物品を
移載可能に、設けたことを特徴とする。
ースに、棚とマストと、マストに沿って昇降し棚との間
で物品を移載するための昇降移載手段、とを設けた自動
倉庫において、該マストをクリーンルームの床下スペー
スまたは天井裏スペースの少なくとも一方まで延長した
延長部を設けるとともに、物品の移載ステーションを、
該マストの延長部に、前記昇降移載手段との間で物品を
移載可能に、設けたことを特徴とする。
【０００５】請求項２の発明は、前記棚を、クリーンル
ームの床上スペースのみに、ほぼ円筒状に配置したこと
を特徴とする。
ームの床上スペースのみに、ほぼ円筒状に配置したこと
を特徴とする。
【０００６】また請求項３の発明は、クリーンルームの
床上スペースのみにほぼ円筒状に棚を設けると共に、マ
ストに沿って昇降自在に、前記棚との間で物品を移載す
るための昇降移載手段を設け、かつ該マストをクリーン
ルームの床下スペースまたは天井裏スペースへ延長した
延長部を設けて、該マストの延長部に、前記昇降移載手
段との間で移載可能に、物品の移載ステーションを設け
た自動倉庫と、前記移載ステーションまで物品を搬送す
るための搬送手段を、床下スペースまたは天井裏スペー
スに設けたことを特徴とする、搬送システムにある。
床上スペースのみにほぼ円筒状に棚を設けると共に、マ
ストに沿って昇降自在に、前記棚との間で物品を移載す
るための昇降移載手段を設け、かつ該マストをクリーン
ルームの床下スペースまたは天井裏スペースへ延長した
延長部を設けて、該マストの延長部に、前記昇降移載手
段との間で移載可能に、物品の移載ステーションを設け
た自動倉庫と、前記移載ステーションまで物品を搬送す
るための搬送手段を、床下スペースまたは天井裏スペー
スに設けたことを特徴とする、搬送システムにある。
【０００７】
【発明の作用と効果】この発明では、マストを床下や天
井裏へ延長して、そこに移載ステーションを設けるの
で、自動倉庫全体を床下や天井裏まで貫通させる場合と
異なり、床や天井の梁などの加工をほとんどせずに、ス
テーションを床下や天井裏に設けることができる（請求
項１〜３）。このため床下や天井裏のスペースに設けた
搬送手段と、容易に接続できる。
井裏へ延長して、そこに移載ステーションを設けるの
で、自動倉庫全体を床下や天井裏まで貫通させる場合と
異なり、床や天井の梁などの加工をほとんどせずに、ス
テーションを床下や天井裏に設けることができる（請求
項１〜３）。このため床下や天井裏のスペースに設けた
搬送手段と、容易に接続できる。
【０００８】ここで棚をほぼ円筒状に配置し、昇降移載
手段がこの円内を昇降するようにすれば、自動倉庫内で
のマストの走行部や走行レールが不要になり、これに伴
って昇降移載手段を延長部に沿って床下や天井裏スペー
スまで昇降させるのが簡単になる。また棚を床上スペー
スにのみ設ければ、容易にマストを床下や天井裏へ延長
でき、床や天井の梁を加工する必要がなくなる（請求項
２，３）。
手段がこの円内を昇降するようにすれば、自動倉庫内で
のマストの走行部や走行レールが不要になり、これに伴
って昇降移載手段を延長部に沿って床下や天井裏スペー
スまで昇降させるのが簡単になる。また棚を床上スペー
スにのみ設ければ、容易にマストを床下や天井裏へ延長
でき、床や天井の梁を加工する必要がなくなる（請求項
２，３）。
【０００９】ここで床下スペースや天井裏スペースに搬
送手段、好ましくは有軌道の搬送手段、を設けると、床
上搬送以外に、床下や天井裏搬送などの物品のバイパス
搬送経路が得られる（請求項３）。
送手段、好ましくは有軌道の搬送手段、を設けると、床
上搬送以外に、床下や天井裏搬送などの物品のバイパス
搬送経路が得られる（請求項３）。
【００１０】
【実施例】図１〜図３に実施例を示す。図１に搬送シス
テムの全体構成を示すと、２はクリーンルームの床で、
グレーティングが施され、３は床２を支えるための梁
で、図示しない柱に適宜の間隔で固定してある。４は天
井で、図示しないフィルターファンユニットを設けて、
床上スペース６へ上から下向きにクリーンエアーを流す
ようにしている。そして天井４からのクリーンエアー
は、床２のグレーティングを通過して、床下スペース８
に流れ込み、ここで再処理されて、例えば天井裏へ循環
する。
テムの全体構成を示すと、２はクリーンルームの床で、
グレーティングが施され、３は床２を支えるための梁
で、図示しない柱に適宜の間隔で固定してある。４は天
井で、図示しないフィルターファンユニットを設けて、
床上スペース６へ上から下向きにクリーンエアーを流す
ようにしている。そして天井４からのクリーンエアー
は、床２のグレーティングを通過して、床下スペース８
に流れ込み、ここで再処理されて、例えば天井裏へ循環
する。
【００１１】１０は自動倉庫で、１２は通気性のある床
上カバーで、１４はほぼ円筒状の棚で、個々の棚をほぼ
円形状に複数層配置したもので、１６は床下スペース８
に設けたターンテーブルで、１８はマストである。マス
ト１８はターンテーブル１６から自動倉庫１０の頂部ま
で延び、支持部２０で回転自在に支持されている。２２
は、マスト１８に沿って床上スペース６と床下スペース
８の双方を昇降できる昇降台で、移載用のスカラーアー
ム２４を備えている。２６は床上ステーションで、２８
は通気性の床下カバーで、３０は床下ステーションであ
る。３２は物品で、カセットなどに収納して、天井裏ス
ペースや床下スペース８を経由して搬送しても、カセッ
ト等の内部に塵芥が侵入しないようにしてある。なおス
カラーアーム２４に代えて、スライドフォーク等を用い
ても良い。
上カバーで、１４はほぼ円筒状の棚で、個々の棚をほぼ
円形状に複数層配置したもので、１６は床下スペース８
に設けたターンテーブルで、１８はマストである。マス
ト１８はターンテーブル１６から自動倉庫１０の頂部ま
で延び、支持部２０で回転自在に支持されている。２２
は、マスト１８に沿って床上スペース６と床下スペース
８の双方を昇降できる昇降台で、移載用のスカラーアー
ム２４を備えている。２６は床上ステーションで、２８
は通気性の床下カバーで、３０は床下ステーションであ
る。３２は物品で、カセットなどに収納して、天井裏ス
ペースや床下スペース８を経由して搬送しても、カセッ
ト等の内部に塵芥が侵入しないようにしてある。なおス
カラーアーム２４に代えて、スライドフォーク等を用い
ても良い。
【００１２】３４は床上スペース６を走行する無人搬送
車で、床上ステーション２６との間で物品３２の移載が
可能な搬送手段であれば任意である。３６はデッドスペ
ースである床下スペース８を走行する吊り下げ式の有軌
道台車で、床下ステーション３０まで走行して物品を移
載できるものであれば良く、有軌道台車に限らず無人搬
送車等でも良いが、床下スペース８は高さが低いため、
有軌道台車３６が特に好ましい。有軌道台車３６は、天
井から吊り下げた走行レール３７に沿って走行するもの
が特に好ましく、これは床下スペース８は床下の面がフ
ラットでなく、また配管等が設置されている場合がある
ためである。３８は半導体や液晶基板等の処理装置で、
無人搬送車３４により搬送された物品を処理する。
車で、床上ステーション２６との間で物品３２の移載が
可能な搬送手段であれば任意である。３６はデッドスペ
ースである床下スペース８を走行する吊り下げ式の有軌
道台車で、床下ステーション３０まで走行して物品を移
載できるものであれば良く、有軌道台車に限らず無人搬
送車等でも良いが、床下スペース８は高さが低いため、
有軌道台車３６が特に好ましい。有軌道台車３６は、天
井から吊り下げた走行レール３７に沿って走行するもの
が特に好ましく、これは床下スペース８は床下の面がフ
ラットでなく、また配管等が設置されている場合がある
ためである。３８は半導体や液晶基板等の処理装置で、
無人搬送車３４により搬送された物品を処理する。
【００１３】図２に自動倉庫１０の床上スペース６での
断面を示すと、棚１４はほぼ円筒状に配置され、４０は
物品３２を載置するための台で、中央のマスト１８に沿
って昇降する昇降台２２からスカラーアーム２４を伸縮
させて、物品３２を移載する。スカラーアーム２４に代
えてスライドフォーク等を用いても良く、また昇降台２
２がほぼ円筒状の棚１４の中央の空きスペースにあれば
良く、マスト１８自体は棚１４が構成する円筒の一部を
切り欠いた位置や、円筒の外部などに配置しても良い。
床上ステーション２６には一対のチェーンコンベヤ４
２，４２等を設け、無人搬送車３４との間の物品の移載
を容易にする。
断面を示すと、棚１４はほぼ円筒状に配置され、４０は
物品３２を載置するための台で、中央のマスト１８に沿
って昇降する昇降台２２からスカラーアーム２４を伸縮
させて、物品３２を移載する。スカラーアーム２４に代
えてスライドフォーク等を用いても良く、また昇降台２
２がほぼ円筒状の棚１４の中央の空きスペースにあれば
良く、マスト１８自体は棚１４が構成する円筒の一部を
切り欠いた位置や、円筒の外部などに配置しても良い。
床上ステーション２６には一対のチェーンコンベヤ４
２，４２等を設け、無人搬送車３４との間の物品の移載
を容易にする。
【００１４】図３に自動倉庫１０の床下スペース８での
配置を示すと、床下部での自動倉庫の設置面積は、ター
ンテーブル１６と、床下ステーション３０、及びスカラ
ーアーム２４を伸縮させて床下ステーション３０との間
で物品を移載するためのスペースで定まる。なお床下部
で昇降台２２を回動させる必要はなく、昇降台２２の回
動スペースは設けなくても良い。このため実施例の自動
倉庫１０では、床下部の断面積を小さくでき、梁３，３
に触れずに床２を貫通させることができる。従って、ク
リーンルームへの設置が容易で、例えば床板のみを外し
て設置でき、梁を移したりする必要がない。図３では、
床下部で昇降台２２が３６０゜回転可能に示したが、床
下部で昇降台２２を３６０゜回転させる必要はなく、タ
ーンテーブル１６と床下ステーション３０と、スカラー
アーム２４と床下ステーション３０との間での移載用の
面積があればよい。このように、自動倉庫１０の床下ス
ペース８での断面積を梁３，３の隙間に収まるようにす
ると、梁３，３を移動させずに、搬送システムのレイア
ウトを変更できる。有軌道台車３６は床下スペース８の
みでなく、天井裏スペースと床下スペース８の双方に走
行レールを設置して走行させても良く、また自動倉庫１
０を床下スペース８と天井裏スペースの双方へ延長し
て、各々に移載用のステーションを設けても良い。
配置を示すと、床下部での自動倉庫の設置面積は、ター
ンテーブル１６と、床下ステーション３０、及びスカラ
ーアーム２４を伸縮させて床下ステーション３０との間
で物品を移載するためのスペースで定まる。なお床下部
で昇降台２２を回動させる必要はなく、昇降台２２の回
動スペースは設けなくても良い。このため実施例の自動
倉庫１０では、床下部の断面積を小さくでき、梁３，３
に触れずに床２を貫通させることができる。従って、ク
リーンルームへの設置が容易で、例えば床板のみを外し
て設置でき、梁を移したりする必要がない。図３では、
床下部で昇降台２２が３６０゜回転可能に示したが、床
下部で昇降台２２を３６０゜回転させる必要はなく、タ
ーンテーブル１６と床下ステーション３０と、スカラー
アーム２４と床下ステーション３０との間での移載用の
面積があればよい。このように、自動倉庫１０の床下ス
ペース８での断面積を梁３，３の隙間に収まるようにす
ると、梁３，３を移動させずに、搬送システムのレイア
ウトを変更できる。有軌道台車３６は床下スペース８の
みでなく、天井裏スペースと床下スペース８の双方に走
行レールを設置して走行させても良く、また自動倉庫１
０を床下スペース８と天井裏スペースの双方へ延長し
て、各々に移載用のステーションを設けても良い。
【００１５】実施例の作用を示す。マスト１８はターン
テーブル１６により回転し、ターンテーブル１６と支持
部２０とでマスト１８の両端を支持して、転倒を防止す
る。マスト１８を回転させ、昇降台２２をマスト１８に
沿って昇降させ、スカラーアーム２４を伸縮させること
により、任意の棚とステーション２６，３０との間で物
品を移載できる。棚１４は床上スペース６にのみ設けた
ので、自動倉庫１０の床下スペース８での断面積は小さ
く、梁３，３の隙間を貫通して設けることができ、設置
が容易になる。
テーブル１６により回転し、ターンテーブル１６と支持
部２０とでマスト１８の両端を支持して、転倒を防止す
る。マスト１８を回転させ、昇降台２２をマスト１８に
沿って昇降させ、スカラーアーム２４を伸縮させること
により、任意の棚とステーション２６，３０との間で物
品を移載できる。棚１４は床上スペース６にのみ設けた
ので、自動倉庫１０の床下スペース８での断面積は小さ
く、梁３，３の隙間を貫通して設けることができ、設置
が容易になる。
【００１６】天井４からのクリーンエアーは、各図の白
抜き矢印のように流れ、例えば床上カバー１２の頂部や
側面から自動倉庫１０内に入って、マスト１８の周囲の
空きスペースを下側へと流れて、床下カバー２８や床下
ステーション３０から床下スペース８内へと排出され
る。このため棚１４や床下ステーション３０へのクリー
ンエアーの流れを確保でき、物品３２の汚染を防止でき
る。
抜き矢印のように流れ、例えば床上カバー１２の頂部や
側面から自動倉庫１０内に入って、マスト１８の周囲の
空きスペースを下側へと流れて、床下カバー２８や床下
ステーション３０から床下スペース８内へと排出され
る。このため棚１４や床下ステーション３０へのクリー
ンエアーの流れを確保でき、物品３２の汚染を防止でき
る。
【００１７】自動倉庫１０には、床上ステーション２６
と床下ステーション３０の２種のステーションを設け、
無人搬送車３４と有軌道台車３６とに接続したので、物
品の搬送ルートを２種類設けることができる。そこで例
えば、床上走行の無人搬送車３４を処理装置３８と自動
倉庫１０間の短距離搬送に用い、有軌道台車３６を前工
程や後工程等との例えば長距離の工程間搬送に用いる。
このようにすれば、短距離間搬送と工程間搬送とを区別
して搬送できるので搬送能力が増し、自動倉庫１０をこ
れらの２種類の搬送の双方に対応させたバッファとして
用いることができる。実施例ではマスト１８を床下スペ
ース８へ延長する例を示したが、天井裏スペースへ延長
し、床下ステーション３０や走行レール３７を天井裏に
設置しても、全く同様である。その場合、ターンテーブ
ル１６は床上に設置する。
と床下ステーション３０の２種のステーションを設け、
無人搬送車３４と有軌道台車３６とに接続したので、物
品の搬送ルートを２種類設けることができる。そこで例
えば、床上走行の無人搬送車３４を処理装置３８と自動
倉庫１０間の短距離搬送に用い、有軌道台車３６を前工
程や後工程等との例えば長距離の工程間搬送に用いる。
このようにすれば、短距離間搬送と工程間搬送とを区別
して搬送できるので搬送能力が増し、自動倉庫１０をこ
れらの２種類の搬送の双方に対応させたバッファとして
用いることができる。実施例ではマスト１８を床下スペ
ース８へ延長する例を示したが、天井裏スペースへ延長
し、床下ステーション３０や走行レール３７を天井裏に
設置しても、全く同様である。その場合、ターンテーブ
ル１６は床上に設置する。
【図１】 実施例の搬送システムの端面図
【図２】 図１のII−II方向断面図
【図３】 自動倉庫の床下部分の断面図
２ 床 ３ 梁 ４ 天井 ６ 床上スペース ８ 床下スペース １０ 自動倉庫 １２ 床上カバー １４ 棚 １６ ターンテーブル １８ マスト ２０ 支持部 ２２ 昇降台 ２４ スカラーアーム ２６ 床上ステーション ２８ 床下カバー ３０ 床下ステーション ３２ 物品 ３４ 無人搬送車 ３６ 有軌道台車 ３７ 走行レール ３８ 処理装置 ４０ 台 ４２ チェーンコンベヤ
Claims (3)
- 【請求項１】 クリーンルームの床上スペースに、棚と
マストと、マストに沿って昇降し棚との間で物品を移載
するための昇降移載手段、とを設けた自動倉庫におい
て、該マストをクリーンルームの床下スペースまたは天
井裏スペースの少なくとも一方まで延長した延長部を設
けるとともに、物品の移載ステーションを、該マストの
延長部に、前記昇降移載手段との間で物品を移載可能
に、設けたことを特徴とする自動倉庫。 - 【請求項２】 前記棚を、クリーンルームの床上スペー
スのみに、ほぼ円筒状に配置したことを特徴とする、請
求項１の自動倉庫。 - 【請求項３】 クリーンルームの床上スペースのみにほ
ぼ円筒状に棚を設けると共に、マストに沿って昇降自在
に、前記棚との間で物品を移載するための昇降移載手段
を設け、かつ該マストをクリーンルームの床下スペース
または天井裏スペースへ延長した延長部を設けて、該マ
ストの延長部に、前記昇降移載手段との間で移載可能
に、物品の移載ステーションを設けた自動倉庫と、 前記移載ステーションまで物品を搬送するための搬送手
段を、床下スペースまたは天井裏スペースに設けたこと
を特徴とする、搬送システム。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11210301A JP2001031213A (ja) | 1999-07-26 | 1999-07-26 | 自動倉庫とそれを用いた搬送システム |
| TW089100909A TW498046B (en) | 1999-07-26 | 2000-01-20 | Automatic warehouse and transfer system using the same |
| US09/546,180 US6332744B1 (en) | 1999-07-26 | 2000-04-10 | Automatic warehouse and transfer system using the same |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11210301A JP2001031213A (ja) | 1999-07-26 | 1999-07-26 | 自動倉庫とそれを用いた搬送システム |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001031213A true JP2001031213A (ja) | 2001-02-06 |
Family
ID=16587146
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11210301A Pending JP2001031213A (ja) | 1999-07-26 | 1999-07-26 | 自動倉庫とそれを用いた搬送システム |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US6332744B1 (ja) |
| JP (1) | JP2001031213A (ja) |
| TW (1) | TW498046B (ja) |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2015141916A (ja) * | 2014-01-27 | 2015-08-03 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板熱処理装置、基板熱処理装置の設置方法 |
| JP2015141915A (ja) * | 2014-01-27 | 2015-08-03 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板熱処理装置、基板熱処理装置の設置方法 |
| JP2016118225A (ja) * | 2014-12-19 | 2016-06-30 | 株式会社Ihi | 磁気軸受及び回転機械 |
| CN106564755A (zh) * | 2016-10-28 | 2017-04-19 | 宁翰 | 一种机械手、机械手操作控制方法及装置 |
| JP2018052658A (ja) * | 2016-09-27 | 2018-04-05 | 株式会社ダイフク | 物品搬送設備 |
| WO2020095571A1 (ja) * | 2018-11-06 | 2020-05-14 | 村田機械株式会社 | 天井吊下棚 |
| KR20210092269A (ko) * | 2018-12-26 | 2021-07-23 | 무라다기카이가부시끼가이샤 | 보관 시스템 |
Families Citing this family (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3832294B2 (ja) * | 2001-08-31 | 2006-10-11 | 株式会社ダイフク | 荷保管設備 |
| US6881020B2 (en) * | 2002-04-26 | 2005-04-19 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd | Pod transfer system having retractable mast and rotatable and vertically movable hoist |
| US7375493B2 (en) * | 2003-12-12 | 2008-05-20 | Microsoft Corporation | Inductive battery charger |
| US7896602B2 (en) * | 2006-06-09 | 2011-03-01 | Lutz Rebstock | Workpiece stocker with circular configuration |
| US20080112787A1 (en) | 2006-11-15 | 2008-05-15 | Dynamic Micro Systems | Removable compartments for workpiece stocker |
| JP6358143B2 (ja) * | 2015-03-26 | 2018-07-18 | 株式会社ダイフク | 半導体容器保管設備 |
| JP6631446B2 (ja) * | 2016-09-09 | 2020-01-15 | 株式会社ダイフク | 物品収納設備 |
| CN111804600B (zh) * | 2020-05-28 | 2022-05-27 | 北京蒙泰华奥国际贸易有限公司 | 智能快递系统 |
Family Cites Families (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2905857B2 (ja) * | 1989-08-11 | 1999-06-14 | 東京エレクトロン株式会社 | 縦型処理装置 |
| KR0179405B1 (ko) * | 1993-04-12 | 1999-04-15 | 마스다 쇼오이치로오 | 크린장치가 부착된 하물보관설비 |
| JP3246642B2 (ja) * | 1994-05-16 | 2002-01-15 | 特種製紙株式会社 | 段積みしたシート状包装体の自動ピッキング方法及び装置 |
| KR100310249B1 (ko) * | 1995-08-05 | 2001-12-17 | 엔도 마코토 | 기판처리장치 |
| JP3932575B2 (ja) | 1996-09-20 | 2007-06-20 | アシスト シンコー株式会社 | 保管棚装置 |
| JPH11191582A (ja) | 1997-12-26 | 1999-07-13 | Mitsubishi Electric Corp | カセット搬送システム |
-
1999
- 1999-07-26 JP JP11210301A patent/JP2001031213A/ja active Pending
-
2000
- 2000-01-20 TW TW089100909A patent/TW498046B/zh active
- 2000-04-10 US US09/546,180 patent/US6332744B1/en not_active Expired - Fee Related
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2015141916A (ja) * | 2014-01-27 | 2015-08-03 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板熱処理装置、基板熱処理装置の設置方法 |
| JP2015141915A (ja) * | 2014-01-27 | 2015-08-03 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板熱処理装置、基板熱処理装置の設置方法 |
| JP2016118225A (ja) * | 2014-12-19 | 2016-06-30 | 株式会社Ihi | 磁気軸受及び回転機械 |
| JP2018052658A (ja) * | 2016-09-27 | 2018-04-05 | 株式会社ダイフク | 物品搬送設備 |
| CN106564755A (zh) * | 2016-10-28 | 2017-04-19 | 宁翰 | 一种机械手、机械手操作控制方法及装置 |
| WO2020095571A1 (ja) * | 2018-11-06 | 2020-05-14 | 村田機械株式会社 | 天井吊下棚 |
| JPWO2020095571A1 (ja) * | 2018-11-06 | 2021-09-24 | 村田機械株式会社 | 天井吊下棚 |
| KR20210092269A (ko) * | 2018-12-26 | 2021-07-23 | 무라다기카이가부시끼가이샤 | 보관 시스템 |
| KR102530860B1 (ko) * | 2018-12-26 | 2023-05-10 | 무라다기카이가부시끼가이샤 | 보관 시스템 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US6332744B1 (en) | 2001-12-25 |
| TW498046B (en) | 2002-08-11 |
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