JP2000199780A

JP2000199780A - プリント基板の検査装置

Info

Publication number: JP2000199780A
Application number: JP10377535A
Authority: JP
Inventors: Osamu Obata; 修小幡; Masatoshi Kato; 正敏加藤
Original assignee: I C T KK
Current assignee: I C T KK
Priority date: 1998-12-29
Filing date: 1998-12-29
Publication date: 2000-07-18
Also published as: TW436632B; US6429673B1

Abstract

(57)【要約】【課題】上部ユニット３０と下部ユニット４０とを単一
の駆動手段で上下動させることにより、小型・軽量で、
簡潔な構造であり、且つプローブ３５，４５を有する上
部ユニット３０の上部部材３１および下部ユニット４０
の上部部材４１の交換が容易なプリント基板の検査装置
を提供することを目的とする。【解決手段】空気圧シリンダー５１が、上部ユニット３
０の下部部材３２と下部ユニット４０の下部部材４２と
の間に設けられている。空気圧シリンダー５１のシャフ
ト５２が延びると、最初に上部ユニット３０が自重によ
り下降し始める。次に、上部ユニット３０がストッパー
３４で制限される位置まで下降すると、下部ユニット４
０が上昇を始め、上記シャフト５２が延びきる位置で下
部ユニットは停止する。この状態で、プローブ３５，４
５が所定の圧力でプリント基板２５に接触して、プリン
ト基板２５の検査を行われる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、プローブを用いて
プリント基板の不良を検査する検査装置に関するもので
ある。なお、検査の対象となるプリント基板は、部品が
実装されたプリント基板、部品が実装される前のプリン
ト基板のいずれでもよい。

【０００２】

【従来の技術】プリント基板を上面および下面から検査
する従来の装置が、特開平１０−２８２１７８号公報に
示されている。前記出願に示されている装置を簡略化し
たものを図５に示す。図を参照して従来の装置５００を
説明する。支持体５０１にはガイドレール５０２が設け
られ、ガイドレール５０２上にはプリント基板支持板５
１０が載置されている。プリント基板支持板５１０上の
所定の位置にプリント基板５１１が載置されている。プ
リント基板５１１の上部には、支持体５０１に固定され
たアクチュエータ５２３を介して上部検査ユニット５２
１が設けられている。プリント基板５１１の下部には、
支持体５０１に固定されたアクチュエータ５３３を介し
て下部検査ユニット５３１が設けられている。

【０００３】プリント基板５１１を検査する際には、プ
リント基板５１１をプリント基板支持板５１０上に載置
し、ガイドレール５０２に沿って、支持体５０１に搬入
する。次に、アクチュエータ５２３により上部検査ユニ
ット５２１が下降し、プローブ５２２がプリント基板５
１１の上面に接触し、上面を押圧する。次に、アクチュ
エータ５３３により下部検査ユニット５３１が上昇し、
プローブ５３２がプリント基板５１１の下面に接触し、
下面を押圧する。各プローブ５２２，５３２は、不図示
の配線を介して不図示のテスターに接続されている。こ
の状態で、テスターはプローブ５２２，５３２を介して
プリント基板５１１に信号を与え、同時にプリント基板
５１１からの信号をプローブ５２２，５３２を介して受
ける。前記信号を解析することにより、プリント基板５
１１の短絡不良や断線不良を検査する。検査が終了した
後、下部検査ユニット５３１が下降し、次いで上部検査
ユニット５２１が上昇し、その後にプリント基板５１１
が搬出される。

【０００４】また、上部検査ユニット５２１と下部検査
ユニット５３１とは、検査されるプリント基板に固有の
ものである。したがって、別の種類のプリント基板を検
査する際には、上部検査ユニット５２１と下部検査ユニ
ット５３１とを交換しなければならない。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前記従
来の技術では以下の問題がある。第１に、上部検査ユニ
ットと下部検査ユニットとを上下動させるための駆動手
段であるアクチュエータを各ユニット毎に必要とする。
したがって、装置が大型化し、重くなる。また、部品点
数が多くなるので、装置の組み立て工数の増加や部品コ
ストの増加といった問題もある。

【０００６】第２に、装置の上部には、上部検査ユニッ
トを上下動させるためのアクチュエータがあるため、装
置の上部の構造が複雑になる。この結果、上部検査ユニ
ットと下部検査ユニットを交換する際に、アクチュエー
タ等の装置の上部構造が交換作業の邪魔になるという問
題がある。

【０００７】本発明は、上部検査ユニットと下部検査ユ
ニットとを単一の駆動手段で上下動作せることにより、
小型・軽量であり、簡潔な構造であり、且つ上部検査ユ
ニットおよび下部検査ユニットの交換が容易なプリント
基板の検査装置を提供することを目的とする。

【０００８】

【課題を解決するための手段】本発明においては、所定
の位置に配置されたプリント基板を前記プリント基板の
上面および下面からプローブを接触させることにより前
記プリント基板を検査するプリント基板の検査装置は、
前記プリント基板を所定の位置に保持するプリント基板
保持部を有する支持体と、前記プリント基板の上面を検
査するためのプローブを備えた上部ユニットと、前記プ
リント基板の下面を検査するためのプローブを備えた下
部ユニットと、前記上部ユニットと前記下部ユニットと
を上下動させるための単一の駆動手段を具備し、前記上
部ユニットと前記下部ユニットとは上下動可能に前記支
持体に保持されるとともに、前記駆動手段は上部ユニッ
トと前記下部ユニットとを前記支持体に対し相対的に上
下動させるように構成されている。

【０００９】そして上部ユニットと下部ユニットとを駆
動する駆動手段が、支持体に対して相対的に上下動する
ように構成されているので、単一の駆動手段で上部ユニ
ットと下部ユニットとを上下動させることができる。し
たがって、検査装置を小型・軽量化することができる。

【００１０】また、本発明のプリント基板の検査装置に
おいて、前記上部ユニットは前記プローブを備えた上部
部材と、前記駆動手段に結合される下部部材と、両者を
連結する連結部材とからなり、前記下部ユニットは前記
プローブを備えた上部部材と、前記駆動手段に結合され
る下部部材と、両者を連結する連結部材とからなること
を特徴としている。

【００１１】したがって、連結部材が支持体に上下動可
能に保持されるので、上部ユニットおよび下部ユニット
が支持体に対し、つまりプリント基板に対して上下動
し、上部ユニットおよび下部ユニットのプローブがプリ
ント基板に接触し、プリント基板を検査できる。それゆ
え、別の種類のプリント基板を検査する際には、上部ユ
ニットの上部部材および下部ユニットの上部部材のみを
交換すればよい。また、上部ユニットの下部部材と下部
ユニットの下部部材とを装置の下部に設けた駆動手段に
より上下動させているので、検査装置の上部構造が簡潔
になる。

【００１２】さらに、本発明のプリント基板の検査装置
において、前記上部ユニットの下部部材と前記下部ユニ
ットの下部部材との間隔と、前記上部ユニットの上部部
材と前記下部ユニットの上部部材との間隔との和は、前
記上部ユニットと前記下部ユニットとが上下動する過程
において一定の値となるように構成されていることを特
徴としている。

【００１３】したがって、駆動手段により、上部ユニッ
トの下部部材と下部ユニットの下部部材との間隔を広く
すると、上部ユニットの上部部材と下部ユニットの上部
部材との間隔は狭くなる。つまり、上部ユニットは自重
により下降し、下部ユニットは駆動手段からの力により
持ち上げられ、プローブがプリント基板に接触し、検査
を行うことができる状態になる。

【００１４】また、検査の終了後に上部ユニットの下部
部材と下部ユニットの下部部材との間隔を狭くすると、
上部ユニットの上部部材と下部ユニットの上部部材との
間隔は広くなる。つまり、下部ユニットは自重により下
降し、上部ユニットは駆動手段からの力により持ち上げ
られ、プローブがプリント基板から離れ、検査を開始す
る前の状態に戻る。

【００１５】また、本発明のプリント基板の検査装置に
おいて、前記駆動手段は前記上部ユニットの下部部材と
前記下部ユニットの下部部材との間に配置され、前記駆
動手段が前記上部ユニットの下部部材と前記下部ユニッ
トの下部部材との間隔を変えることにより前記上部ユニ
ットと前記下部ユニットとを上下動させるべく構成され
ていることを特徴としている。

【００１６】したがって、駆動手段により、上部ユニッ
トの下部部材と下部ユニットの下部部材との間隔を広く
すると、上部ユニットは自重により下降し、下部ユニッ
トは駆動手段からの力により持ち上げられ、プローブが
プリント基板に接触し、検査を行うことができる状態に
なる。また、検査の終了後に上部ユニットの下部部材と
下部ユニットの下部部材との間隔を狭くすると、下部ユ
ニットは自重により下降し、上部ユニットは駆動手段か
らの力により持ち上げられ、プローブがプリント基板か
ら離れ、検査を開始する前の状態に戻る。

【００１７】すなわち、本発明ではプロービングの際に
上部ユニットを駆動するための専用の駆動手段が不要と
なるので、検査装置の上部構造が簡潔になり、上部ユニ
ットのプローブを備えた上部部材および下部ユニットの
プローブを備えた上部部材の交換が容易になる。

【００１８】

【発明の実施の形態】以下、本発明のプリント基板の検
査装置の実施の形態について、図面を参照しつつ詳細に
説明する。図１は、本発明のプリント基板の検査装置１
０を正面から見た図であって、プリント基板２５が検査
装置に搬入された時点での状態を示す図である。本装置
の主要な構成要素は、装置のベースとなる支持体２０、
上部ユニット３０と下部ユニット４０、および駆動手段
である空気圧シリンダー５１である。

【００１９】支持体２０の上部にはアルミニウム製のベ
ース板２１が設けられている。プリント基板支持板２５
を載置・固定するためのプリント基板支持板用支持台２
３が、ベース板２１の上面に固定されている。プリント
基板支持板２４上の所定の位置にはプリント基板２５が
載置されている。図には示されていないが、プリント基
板支持板用支持台２３の上部は、プリント基板支持板２
４をスライドさせて搬入できるように、ガイド付きのレ
ール構造となっている。プリント基板支持板２４とプリ
ント基板支持板用支持台２３とが、本装置のプリント基
板保持部を構成する。

【００２０】上部ユニット３０は、プリント基板２５の
上面を検査するためのプローブ３５を有する上部部材３
１と、空気圧シリンダー５１が固定されている下部部材
３２と、上部部材と下部部材とを連結するための４本
（図に示されているのは、手前側の２本である）の棒状
の連結部材３３とから構成される。上部部材３１と下部
部材３２とは、それぞれネジ等により連結部材３３に固
定されている。

【００２１】下部ユニット４０は、プリント基板の下面
を検査するためのプローブ４５を有する上部部材４１
と、空気圧シリンダー５１のシャフト５２が固定されて
いる下部部材４２と、上部部材４１と下部部材４２とを
連結するための４本（図に示されているのは、手前側の
２本である）の棒状の連結部材４３とから構成される。
上部部材４１と下部部材４２とは、それぞれネジ等によ
り連結部材４３に固定されている。

【００２２】上部ユニット３０の連結部材３３と下部ユ
ニット４０の連結部材４３とは、ベース板２１に設けら
れた貫通穴２６を通り、ベース板２１に対して上下動可
能なように保持されている。つまり、上部ユニット３０
と下部ユニット４０とは、支持体２０に対して上下動可
能なように保持されている。また、下部ユニット４０
は、図１の状態では自重により下部ユニット支持台２２
の上に載っている。

【００２３】駆動手段である空気圧シリンダー５１は、
上部ユニット３０の下部部材３２に固定されている。ま
た、空気圧シリンダー５１のシャフト５２は、下部ユニ
ット４０の下部部材４２に固定されている。空気圧シリ
ンダー５１には２つの圧縮空気導入口５３，５４があ
り、配管５５，５６および開閉バルブ５７，５８を介し
て不図示の圧縮空気源に接続されている。下側の圧縮空
気導入口５４から圧縮空気を導入すると、空気圧シリン
ダー５１のシャフト５２は空気圧シリンダー５２から突
き出る方向に動く。また、上側の圧縮空気導入口５５か
ら圧縮空気を導入すると、空気圧シリンダー５１のシャ
フト５２は空気圧シリンダー５１に入り込む方向に動
く。したがって、開閉バルブ５７，５８を制御すること
により、上部ユニット３０の下部部材３２と下部ユニッ
ト４０の下部部材４２との間隔を変えることができる。
圧縮空気の供給系統に故障があった場合でも、上部ユニ
ット３０が下降するのを防止するために、上部ユニット
３０の下部部材３２と下部ユニット４０の下部部材４２
とは、バネ６０によって連結されている。

【００２４】次に、プリント基板２５を検査するときの
手順および動作について説明する。まず、プリント基板
２５をプリント基板支持板２４の所定の位置に載置す
る。次にプリント基板支持板２４が、プリント基板支持
板用支持台２３に設けられた不図示のガイド付きのレー
ルに沿って手前から搬入される。プリント基板２５を検
査するためには、上部ユニット３０および下部ユニット
４０のプローブ３５，４５をプリント基板２５に接触さ
せる必要がある。そこで、空気圧シリンダー５１のシャ
フト５２が空気圧シリンダー５１から突き出る方向に動
くように開閉バルブ５７，５８を制御する。この結果、
上部ユニット３０の下部部材３２と下部ユニット４０の
下部部材４２との間隔を広げようとする力が発生する。
この力は、上部ユニット３０を下降させるか、または下
部ユニット４０を上昇させる力となる。下部ユニット４
０を上昇させるためには、上部ユニット３０および下部
ユニット４０の自重に抗して上昇させる力を加える必要
がある。それに対し、上部ユニット３０には自重により
下降する力が働く。力学の法則にしたがって、下部ユニ
ット４０は動かずに、上部ユニット３０のみが下降を始
める。

【００２５】さらに時間が経過すると、上部ユニット３
０のプローブ３５がプリント基板２５に接触する位置ま
で下降する。更に下降すると、ストッパー３４により上
部ユニット３０の下降が制限されるので、図２に示す状
態となる。図２の状態では、プローブ３５とプリント基
板２５との間で接触不良が発生しないように、図４
（Ａ）に示すプローブ４２０の可動針４２３がプローブ
ケース４２２内に押し込まれており、プローブ内のバネ
４２１は、図４（Ａ）に示すよりも短くなっている。上
部ユニット３０には、上方に向かってプローブ４２０内
のバネ４２１による圧力がかかっている。プローブ３５
が最初にプリント基板２５に接触してから図２の状態に
なるまでの期間においては、プローブ３５内のバネの圧
力が上部ユニット３０にかかる。したがって、下部ユニ
ット４０を上昇させることなく上部ユニット３０を下降
させるためには、下記の式（１）を満たさなければなら
ない。（上部ユニットの重量＋下部ユニットの重量＋空気圧シリンダーの重量）＞全プローブの圧力 −−−− （１）全プローブの圧力とは、上部ユニット３０に設けられて
いるプローブ３５の本数とプローブ１本当たりのプロー
ブの可動ピンの圧力との積である。例えば、上部ユニッ
ト３０に４００本のプローブ３５が設けられており、図
２の状態でのプローブ１本当たりの圧力が１５０ｇ重の
場合、全プローブの圧力は６０ｋｇ重となる。

【００２６】また、空気圧シリンダー５１の重量が比較
的小さいこと、および設計許容値を考慮して、下記の式
（２）を満たすように検査装置は設計される。（上部ユニットの重量＋下部ユニットの重量）＞全プローブの圧力 −−−− （２）また、本発明の検査装置を用いて複数種類のプリント基
板が検査されるので、最大のプローブ本数で検査をする
場合を考慮して、式（２）が満たされるように設計され
る。

【００２７】図２の状態からさらに空気圧シリンダー５
１のシャフト５２が延びる場合について説明する。図２
の時点で、上部ユニット３０の下降は制限されるので、
下部ユニット４０が上昇し始める。そして、シャフト５
１が延びきった状態、つまり図３に示す状態で下部ユニ
ット４０が停止する。なお、図３の状態では、下部ユニ
ット４０のプローブ４５は所定の圧力でプリント基板２
５に接触している。空気圧シリンダー５１に代えてスッ
テピングモータを駆動手段として用いた場合には、スッ
テッピングモータに与える駆動信号を制御することによ
り下部ユニット４０の停止位置を制御できる。

【００２８】図３の状態で、不図示のテスターはプロー
ブ３５，４５を介してプリント基板２５に信号を与え、
同時にプリント基板２５からの信号をプローブ３５，４
５を介して受け取る。そして信号を解析することによ
り、プリント基板２５の短絡不良や断線不良を検査す
る。なお、各プローブ３５，４５は、不図示の配線を介
して不図示のテスターに接続されている。

【００２９】プリント基板２５の検査が終了すると、空
気圧シリンダー５１のシャフト５２が空気圧シリンダー
５１に入り込むように、つまり上部ユニット３０の下部
部材３２と下部ユニット４０の下部部材４２との間隔を
短くする動作をさせるように開閉バルブ５７，５８を制
御する。この結果、上部ユニット３０を上昇させるか、
または下部ユニット４０を下降させる力が発生する。下
部ユニット４０には下方に自重がかかっているので、下
部ユニット４０が下降を始め、下部ユニット支持台２２
により下部ユニット４０の下降が制限される位置まで来
ると、図２の状態となり、下部ユニット４０の下降が停
止する。しかし、上部ユニット３０の下部部材３２と下
部ユニット４０の下部部材４２の間隔を短くする力が加
えられているので、次に上部ユニット３０が上昇し始
め、シャフト５２が空気圧シリンダー５１に入りきった
位置、つまり図１に示す状態で上部ユニット３０は停止
する。その後、プリント基板２５は検査装置１０から搬
出され、次に検査すべきプリント基板が搬入される。

【００３０】以上の説明を踏まえて、本発明の特徴につ
いて述べる。図１と図２とを較べてみると、駆動手段で
ある空気圧シリンダー５１が支持体２０に対して相対的
に上下動していることが判る。この特徴を利用すること
により、１つの駆動手段で上部ユニット３０と下部ユニ
ット４０とを駆動できる。また、上部ユニット３０と下
部ユニット４０との重力を利用することにより、空気圧
シリンダー５１のシャフト５２を突き出すという１種類
の動作で、上部ユニット３０の下降および下部ユニット
４０の上昇という逆方向の動作を実現できる。更に、上
部ユニット３０の下部部材３２と下部ユニット４０の下
部部材４２との間隔と、上部ユニット３０の上部部材３
１と下部ユニット４０の上部部材４１との間隔との和
は、上部ユニット３０と下部ユニット４０とが上下動す
る過程において一定の値となるように構成されているの
で、空気圧シリンダー５１のシャフト５２が突き出した
長さは、上部ユニット３０の下降量と下部ユニット４０
の上昇量との和になる。したがって、所定の位置で上部
ユニット３０の下降動作に制限がかかるようにしておけ
ば、空気圧シリンダー５１のシャフト５２のストローク
量を上部ユニット３０の下降量と下部ユニット４０の上
昇量とに分配できる。

【００３１】なお、本実施の形態では、ストローク量が
８０ｍｍの空気圧シリンダーを使用しており、図１の状
態から図３の状態に変わるとき、上部ユニット３０は５
０ｍｍ下降し、下部ユニット４０は３０ｍｍ上昇するよ
うになっている。前記のストローク量、上部ユニットの
下降量、および下部ユニット上昇量は、前記の値に限定
されるものではなく、適宜変えて本発明を実施できる。

【００３２】以上の説明では、上部ユニット３０の上部
部材３１および下部ユニット４０の上部部材４１の構造
の詳細については示されていない。そこで図４（Ａ）を
用いて上部ユニット３０の上部部材３１の構造を説明す
る。なお、下部ユニット４０の上部部材４１も、上下が
逆になる以外は図４と同様の構成である。図４（Ａ）に
示すように、上部ユニットの上部部材３１は、プローブ
板４１２と取り付け板４１１とから構成される。取り付
け板４１１は、ネジ等によって上部ユニットの連結部材
３３に固定されている。また、プローブ４１２板は、支
柱４１３を介してネジ等により取り付け板４１１に固定
されている。プローブ板４１１にはソケット４３０が圧
入されている。ソケット４３０にはプローブ４２０が挿
入されている。ソケット４３０と第１コネクタ４４１と
の間は、不図示のプリント配線またはラッピング配線等
により電気的に接続されている。第１コネクタ４４１に
接続されている第２コネクタ４４２を介して、電気信号
が不図示のテスターとの間で送受される。なお、別の種
類のプリント基板を検査する場合には、プローブ板４１
２が交換される。図４（Ｂ）は取り付け板４１１の形状
を、図４（Ｃ）はプローブ板４１２の形状を示す。

【００３３】図４（Ａ）は、上部ユニットの上部部材３
１の一例を示すものであり、本発明は図４の構成の場合
に限定されるものではない。例えば、取り付け板４１１
を介さずにプローブ板４１２を直接連結部材３３に固定
する構成としてもよい。

【００３４】以上、プリント基板の検査装置１０につい
ての実施の形態を説明したが、本発明は上記の実施の形
態に限定されるものではなく、本実施の形態の空気圧シ
リンダーに代えて、バネ内臓タイプの空気圧シリンダや
油圧シリンダーやスッテピングモータ等の他の駆動手段
を用いてもよい。

【００３５】また、プリント基板の上面および下面を検
査する場合について説明したが、片面のみを検査する際
にも本発明の検査装置を使用することができる。例え
ば、プリント基板の下面のみを検査する場合には、上部
ユニット３０のプローブ３５の代えて、支柱が取り付け
られる。前記支柱によりプリント基板２５は上面から支
持されるので、下部ユニット４０のプローブ４５によっ
てプリント基板２５に下面から力が加わってもプリント
基板２５が浮き上がることはなく、プリント基板２５の
下面を検査することができる。

【００３６】また、下部ユニットを上部部材と下部部材
と連結部材とで構成する例について示したが、下部部材
と連結部材とを省略し、空気圧シリンダのシャフトを直
接上部部材に接続するようにしてもよい。この場合、シ
ャフトは、シャフトの径と同じ大きさの下部部材と連結
部材とを兼ねていると考えることができる。

【００３７】さらに、図１に示す装置の上下を逆にした
装置（以下、逆タイプ装置という）でも、図１の装置と
類似の動作をする。例えば、図１の装置の上部ユニット
は、逆タイプ装置の下部ユニットに相当し、図１の装置
の下部ユニットの上部部材は、逆タイプ装置の上部ユニ
ットの下部部材に相当する。

【００３８】

【発明の効果】本発明のプリント基板の検査装置では、
プリント基板の上面を検査するための上部ユニットとプ
リント基板の下面を検査するための下部ユニットとを単
一の駆動手段で上下動作せることができる。この結果、
プリント基板の検査装置が小型・軽量化できる。また、
プロービングの際に上部ユニットを駆動するための専用
の駆動手段が不要となるので、検査装置の上部構造が簡
潔になり、上部ユニットのプローブを備えた上部部材お
よび下部ユニットのプローブを備えた上部部材の交換が
容易になる。

【図面の簡単な説明】

【図１】プリント基板の検査を開始する前の検査装置の
状態を示す概略図である。

【図２】上部ユニットが下降したときの検査装置の状態
を示す概略図である。

【図３】プリント基板の検査を行っているときの検査装
置の状態を示す概略図である。

【図４】（Ａ）は上部ユニットの上部部材の構造を示す
概略図、（Ｂ）は上部ユニットの上部部材の取り付け板
の形状を示す斜視図、（Ｃ）は上部ユニットの上部部材
のプローブ板の形状を示す斜視図である。

【図５】従来のプリント基板の検査装置を示す概略図で
ある。

【符号の説明】

１０プリント基板の検査装置２０支持体２１ベース板２４プリント基板支持板２５プリント基板３０上部ユニット３１上部ユニットの上部部材３２上部ユニットの下部部材３３上部ユニットの連結部材４０下部ユニット４１下部ユニットの上部部材４２下部ユニットの下部部材４３下部ユニットの連結部材５１空気圧シリンダー５２空気圧シリンダーシャフト

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続きＦターム(参考） 2G011 AA02 AA16 AB01 AC06 AC21 AE01 AF06 2G014 AA02 AA03 AB59 AC10 2G032 AA00 AD08 AF02 AF04 AK03 AL00 9A001 JJ45 KZ54

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】所定の位置に配置されたプリント基板を
前記プリント基板の上面および下面からプローブを接触
させることにより前記プリント基板を検査するプリント
基板の検査装置であって、前記プリント基板を所定の位
置に保持するプリント基板保持部を有する支持体と、前
記プリント基板の上面を検査するためのプローブを備え
た上部ユニットと、前記プリント基板の下面を検査する
ためのプローブを備えた下部ユニットと、前記上部ユニ
ットと前記下部ユニットとを上下動させるための単一の
駆動手段を具備し、前記上部ユニットと前記下部ユニッ
トとは上下動可能に前記支持体に保持されるとともに、
前記駆動手段は上部ユニットと前記下部ユニットとを、
前記支持体に対し相対的に上下動させることを特徴とす
るプリント基板の検査装置。
【請求項２】前記上部ユニットは前記プローブを備え
た上部部材と、前記駆動手段に結合される下部部材と、
両者を連結する連結部材とからなり、前記下部ユニット
は前記プローブを備えた上部部材と、前記駆動手段に結
合される下部部材と、両者を連結する連結部材とからな
ることを特徴とする請求項１に記載のプリント基板の検
査装置。
【請求項３】前記上部ユニットの下部部材と前記下部
ユニットの下部部材との間隔と、前記上部ユニットの上
部部材と前記下部ユニットの上部部材との間隔との和
は、前記上部ユニットと前記下部ユニットとが上下動す
る過程において一定の値となるように構成されているこ
とを特徴とする請求項２に記載のプリント基板の検査装
置。
【請求項４】前記駆動手段は前記上部ユニットの下部
部材と前記下部ユニットの下部部材との間に配置され、
前記駆動手段が前記上部ユニットの下部部材と前記下部
ユニットの下部部材との間隔を変えることにより前記上
部ユニットと前記下部ユニットとを上下動させるべく構
成されていることを特徴とする請求項２に記載のプリン
ト基板の検査装置。
【請求項５】前記上部ユニットの下部部材と前記下部
ユニットの下部部材との間隔を大きくした場合には、前
記上部ユニットが下降した後に前記下部ユニットが上昇
すべく構成されていることを特徴とする請求項４に記載
のプリント基板の検査装置。
【請求項６】前記上部ユニットの下降が制限された結
果、前記下部ユニットが上昇すべく構成されていること
を特徴とする請求項５に記載のプリント基板の検査装
置。
【請求項７】前記上部ユニットの下部部材と前記下部
ユニットの下部部材との間隔を小さくした場合には、前
記下部ユニットが下降した後に前記上部ユニットが上昇
すべく構成されていることを特徴とする請求項４に記載
のプリント基板の検査装置。
【請求項８】前記下部ユニットの下降が制限された結
果、前記上部ユニットが上昇すべく構成されていること
を特徴とする請求項７に記載のプリント基板の検査装
置。
【請求項９】前記上部ユニットの重量と前記下部ユニ
ットの重量との和が、前記プリント基板を検査するとき
に前記上部ユニットに設けられた全ての前記プローブに
かかる圧力の和よりも大きいことを特徴とする請求項１
に記載のプリント基板の検査装置。