JP2000149599A - メモリテスト回路 - Google Patents
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- G11—INFORMATION STORAGE
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-
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- G11C29/04—Detection or location of defective memory elements, e.g. cell constructio details, timing of test signals
- G11C29/08—Functional testing, e.g. testing during refresh, power-on self testing [POST] or distributed testing
- G11C29/12—Built-in arrangements for testing, e.g. built-in self testing [BIST] or interconnection details
- G11C29/18—Address generation devices; Devices for accessing memories, e.g. details of addressing circuits
- G11C29/26—Accessing multiple arrays
Landscapes
- Dram (AREA)
- For Increasing The Reliability Of Semiconductor Memories (AREA)
- Tests Of Electronic Circuits (AREA)
Abstract
トを行い、テスト時間の短縮を図ったメモリテスト回路
を提供する。 【解決手段】本発明によるメモリテスト回路は、第1〜
第8マットMAT1〜MAT8と、ローカル入出力ライ
ン1及びグローバル入出力ライン2と、複数のマットス
イッチMSW1〜MSW9と、第1〜第4メインアンプ
MA1〜MA4と、比較部COMPと、を備えた従来の
メモリテスト回路において、第1〜第9マットスイッチ
MSW1〜MSW9を制御するマットスイッチ制御部1
0と、メインアンプで増幅されたデータをラッチして同
時に出力するラッチ部20と、各マットMAT1〜MA
T8の活性状態を制御するマット制御部30と、メイン
アンプMA1〜MA4の動作状態を制御するメインアン
プ制御部40と、を備えて構成される。
Description
に係るもので、詳しくは、高集積半導体メモリ装置をテ
ストするとき、各マットを偶数番目または奇数番目に分
離して同時にテストを行うことでメモリのテスト時間の
短縮を図ったメモリテスト回路に関するものである。
6Kビットの基本セルアレイ、ワードラインを駆動する
ワードライン駆動回路およびセンスアンプからなるマッ
ト(mat)が8個備えられて1つの単位が構成され、そ
の単位構成がさらに8個集積されて構成される。このよ
うな構成の16MビットDRAMで使用されるメインア
ンプの数は、一般に16個〜64個であるが、ここでは
例えば32個のメインアンプを使用する場合について説
明する。
うに、256Kビットの基本セルアレイ、ワードライン
を駆動するワードライン駆動回路およびセンスアンプか
らなる第1〜第8マットMAT1〜MAT8と、それら
第1〜第8マットMAT1〜MAT8に情報を伝送し、
または、それら第1〜第8マットMAT1〜MAT8に
貯蔵された情報を伝送するローカル入出力ライン(Loca
l IO Line)1およびグローバル入出力ライン(Global
IO Line)2と、それらローカル入出力ライン1および
グローバル入出力ライン2を選択的に接続または遮断す
る第1〜第9マットスイッチMSW1〜MSW9と、グ
ローバル入出力ライン2により伝送されるデータを増幅
する第1〜第4メインアンプMA1〜MA4と、それら
第1〜第4メインアンプMA1〜MA4の出力を比較す
る比較部COMPと、を備えて構成されていた。
回路の動作について説明すると、まず、正常モードでリ
ード動作を行うときには、選択されたマットのメモリセ
ルに貯蔵されたデータが、ビットラインを介してローカ
ル入出力ライン1に出力され、各マットスイッチMSW
1〜MSW9のスイッチ動作に応じてグローバル入出力
ライン2に出力されて、第1〜第4メインアンプMA1
〜MA4に伝達される。そして、それら第1〜第4メイ
ンアンプMA1〜MA4で増幅されたデータは、図示さ
れていない出力バッファに出力される。
タを圧縮するときには、テスト時に発生するアドレス数
を減らしてテスト時間を短縮させるため、第1〜第4メ
インアンプMA1〜MA4を全部動作させ、それらの各
出力が論理素子によって圧縮されることで、まるで16
MビットDRAMが1MビットDRAMのように動作す
る構成となっていた。すなわち、正常モードのときのよ
うにグローバル入出力ライン2により伝送されるデータ
がアドレスによって区別されず、全てが第1〜第4メイ
ンアンプMA1〜MA4に入力されて増幅された後、そ
れら増幅されたデータが比較部COMPで比較されて、
該比較データが出力バッファに出力されていた。
うな従来のメモリテスト回路においては、テストすべき
メモリの高集積化に伴って、極めて多数のアドレスの比
較が必要となるため、テスト量が増加して多数のテスト
モード用のメインアンプが必要となり、ひいてはチップ
の面積が大きくなって、処理速度が低下するという不都
合な点があった。
データ障害の保障範囲(DATA faultcoverage)が狭くな
って、故障が発生しても修復(repair)ができなかった
り、または、故障位置を把握するためにフルアドレス
(Full Address)によるテストを再度行わねばならない
という不都合な点があった。
なされたもので、メインアンプを追加しないで高集積メ
モリのテストを円滑に行い、かつ、テスト時間を短縮で
きるメモリテスト回路を提供することを目的とする。
るため、本発明に係るメモリテスト回路は、256Kビ
ットの基本セルアレイ、ワードラインを駆動するワード
ライン駆動回路およびセンスアンプを有する第1〜第8
マットと、該各第1〜第8マットに情報を伝送し、また
は、前記各第1〜第8マットに貯蔵された情報を伝送す
るローカル入出力ラインおよびグローバル入出力ライン
と、該ローカル入出力ラインおよびグローバル入出力ラ
インを選択的に接続または遮断する第1〜第9マットス
イッチと、前記グローバル入出力ラインにより伝送され
るデータを増幅する第1〜第4メインアンプと、該第1
〜第4メインアンプの各出力信号を比較する比較部と、
を備えて構成されたメモリテスト回路において、前記第
1〜第9マットスイッチの各スイッチ動作を制御するマ
ットスイッチ制御部と、前記第1〜第4メインアンプに
よって増幅されたデータを同時に出力するようにラッチ
するラッチ部と、正常モードのときには、マット選択ア
ドレス信号に応じて選択された前記マットを活性化さ
せ、テストモードのときには、同一のグローバル入出力
ラインに接続された前記第1〜第8マットを偶数番目お
よび奇数番目のいずれかに分離し、該分離された偶数番
目または奇数番目のマットだけを同時に活性化させるよ
うに、前記各第1〜第8マットを制御するマット制御部
と、を含んで構成されるものである。また、第1〜第4
メインアンプのうちの1つを選択して順次動作させるよ
うに制御するメインアンプ制御部を含んで構成されるよ
うにしてもよい。
トモードのとき、マット制御部による制御の下で、偶数
番目または奇数番目のマットが1つのクループとして同
時に活性化(イネーブル)されて、マットスイッチ制御
部およびラッチ部の動作に応じてデータのリード動作ま
たはライト動作が行われるようになる。これにより、高
集積メモリのテスト時間を短縮することができると共
に、メモリの高集積化に伴ってテスト量が増加してもメ
インアンプを増加させる必要がないため、チップ面積を
縮小できるようになる。
成については、以降の実施形態において詳しく説明する
ものとする。
て図面を用いて説明する。図1は、本発明の実施形態に
かかるメモリテスト回路の構成を示すブロック図であ
る。
56Kビットの基本セルアレイ、ワードラインを駆動す
るワードライン駆動回路およびセンスアンプを有する第
1〜第8マットMAT1〜MAT8と、それらの各第1
〜第8マットMAT1〜MAT8に情報を伝送するか、
または、各第1〜第8マットに貯蔵された情報を伝送す
るローカル入出力ライン(Local IO Line)1およびグ
ローバル入出力ライン(Global IO Line)2と、該ロー
カル入出力ライン1およびグローバル入出力ライン2を
選択的に接続または遮断する第1〜第9マットスイッチ
MSW1〜MSW9と、グローバル入出力ライン2によ
り伝送されるデータを増幅する第1〜第4メインアンプ
MA1〜MA4と、該第1〜第4メインアンプMA1〜
MA4の各出力信号を比較する比較部COMPと、第1
〜第9マットスイッチMSW1〜MSW9を制御するマ
ットスイッチ制御部10と、第1〜第4メインアンプM
A1〜MA4によって増幅されたデータを同時に出力す
るようにラッチするラッチ部20と、正常モードのとき
には、特定のマットを選択して活性化させ、また、テス
トモードのときには、同一のグローバル入出力ライン2
に接続された複数のマットを偶数番目または奇数番目の
グループに分離し、それら分離された偶数番目または奇
数番目のマットだけを同時に活性化させるように、各マ
ットを制御するマット制御部30と、第1〜第4メイン
アンプMA1〜MA4のうちの1つを選択して順次動作
させるように制御するメインアンプ制御部40と、を含
んで構成される。
すように、偶数番目のマットを制御する制御信号MAT
CONe(e=2,4,6,8)と奇数番目のマットを
制御する制御信号MATCONo(o=1,3,5,
7)とを否定論理和するNORゲートNOR31と、テ
ストモードイネーブル信号TMEを反転させる第1イン
バータINV31と、NORゲートNOR31の出力信
号と第1インバータINV31の出力信号とを否定論理
積する第1NANDゲートND31と、テストモードイ
ネーブル信号TMEと第1マットスイッチ制御信号MS
WON1とを否定論理積する第2NANDゲートND3
2と、第1NANDゲートND31の出力信号と第2N
ANDゲートND32の出力信号とを否定論理積する第
3NANDゲートND33と、該第3NANDゲートN
D33の出力信号を反転させる第2インバータINV3
2と、選択されたローカル入出力ライン1をプリチャー
ジするプリチャージ部PCと、該プリチャージ部PCに
よってプリチャージされたローカル入出力ライン1をグ
ローバル入出力ライン2に選択的に接続または遮断する
第1、第2伝送ゲートTG31,TG32と、を有す
る。
他のマットスイッチMSW2〜MSW9についても、第
1マットスイッチMSW1と同様に構成される。マット
スイッチ制御部10は、図3に示すように、内部パルス
信号IPおよびテストモードイネーブル信号TMEを受
けてシフト制御信号SCONを出力するシフト制御部1
1と、該シフト制御部11のシフト制御信号SCONを
受けてシフトするシフトレジスタ12と、該シフトレジ
スタ12から出力される第1〜第4データ出力信号Qi
(i=1〜4)とマット選択アドレス(図1に示したA
x,Ay,Az)中の最下位ビットAxとを用いて第1
〜第9マットスイッチ制御信号MSWONm(m=1〜
9)を出力するマットスイッチ制御信号発生部13と、
を有する。
テストモードイネーブル信号TMEと内部パルス信号I
Pとを否定論理積する第1NANDゲートND51と、
該第1NANDゲートND51の出力信号を順次反転さ
せる第1、第2インバータINV51,INV52と、
第1インバータINV51の出力信号を遅延させる遅延
部DEと、該遅延部DEの出力信号と第2インバータI
NV52の出力信号とを否定論理積する第2NANDゲ
ートND52と、該第2NANDゲートND52の出力
信号を反転させてシフト制御信号SCONを出力する第
3インバータINV53と、を有する。
に、クロック信号CLKまたは内部制御信号ICONに
より同期され、シフト制御信号SCONがデータ入力と
して入力される第1フリップフロップDFF61と、該
第1フリップフロップDFF61のデータ出力信号Q1
を遅延させる第1遅延部DE61と、から第1ブロック
BL1が構成され、該第1ブロックBL1と同様にし
て、その他の第2〜第4ブロックBL2〜BL4がそれ
ぞれ構成されて、それら第1〜第4ブロックBL1〜B
L4が直列に接続される。ここで、前段のブロックの遅
延部のデータ出力は次のブロックのフリップフロップの
データ入力端子Dに入力され、各フリップフロップのク
ロック入力端子にはクロック信号CLKまたは内部制御
信号ICONが入力されて、各フリップフロップが同期
するようになっている。
6に示すように、マット選択アドレス中の最下位ビット
Axを反転させる第1インバータINV71と、シフト
レジスタ12の第1フリップフロップDFF61のデー
タ出力信号Q1と第1インバータINV71の出力信号
とを否定論理積する第1NANDゲートND71と、第
1NANDゲートND71の出力信号を反転させて第1
マットスイッチ制御信号MSWON1を出力する第2イ
ンバータINV72と、シフトレジスタ12の第1フリ
ップフロップDFF61のデータ出力信号Q1を順次反
転させて第2マットスイッチ制御信号MSWON2を出
力する第3、第4インバータINV73,INV74
と、第1インバータINV71の出力信号とシフトレジ
スタ12の第2フリップフロップDFF62のデータ出
力信号Q2とを否定論理積する第2NANDゲートND
72と、マット選択アドレス中の最下位ビットAxとシ
フトレジスタ12の第1フリップフロップDFF61の
データ出力信号Q1とを否定論理積する第3NANDゲ
ートND73と、第2NANDゲートND72の出力信
号と第3NANDゲートND73の出力信号とを否定論
理積して第3マットスイッチ制御信号MSWON3を出
力する第4NANDゲートND74と、シフトレジスタ
12の第2フリップフロップDFF62のデータ出力Q
2信号を順次反転して第4マットスイッチ制御信号MS
WON4を出力する第5、第6インバータINV75,
INV76と、第1インバータINV71の出力信号と
シフトレジスタ12の第3フリップフロップDFF63
のデータ出力信号Q3とを否定論理積する第5NAND
ゲートND75と、マット選択アドレス中の最下位ビッ
トAxとシフトレジスタ12の第2フリップフロップD
FF62のデータ出力信号Q2とを否定論理積する第6
NANDゲートND76と、第5NANDゲートND7
5の出力信号と第6NANDゲートND76の出力信号
とを否定論理積して第5マットスイッチ制御信号MSW
ON5を出力する第7NANDゲートND77と、シフ
トレジスタ12の第3フリップフロップDFF63のデ
ータ出力信号Q3を順次反転して第6マットスイッチ制
御信号MSWON6を出力する第7、第8インバータI
NV77,INV78と、第1インバータINV71の
出力とシフトレジスタ12の第4フリップフロップDF
F64のデータ出力信号Q4とを否定論理積する第8N
ANDゲートND78と、シフトレジスタ12の第3フ
リップフロップDFF63のデータ出力信号Q3とマッ
ト選択アドレス中の最下位ビットAxとを否定論理積す
る第9NANDゲートND79と、第8NANDゲート
ND78の出力信号と第9NANDゲートND79の出
力信号とを否定論理積して第7マットスイッチ制御信号
MSWON7を出力する第10NANDゲートND71
0と、シフトレジスタ12の第4フリップフロップDF
F64のデータ出力信号Q4を順次反転して第8マット
スイッチ制御信号MSWON78を出力する第9、第1
0インバータINV79,INV710と、マット選択
アドレス中の最下位ビットAxとシフトレジスタ12の
第4フリップフロップDFF64のデータ出力信号Q4
とを否定論理積する第11NANDゲートND711
と、第11NANDゲートND711の出力信号を反転
させて第9マットスイッチ制御信号MSWON9を出力
する第11インバータINV711と、を有する。
トスイッチ制御部10のシフトレジスタ12の各第1〜
第4遅延部DE61〜DE64から出力される遅延出力
信号QiD(i=1〜4)を遅延する第1遅延部DE8
1と、マットスイッチ制御部10のシフトレジスタ12
の第1〜第4遅延部DE61〜DE64の遅延出力信号
QiDを反転させる第1インバータINV81と、第1
インバータINV81の出力信号と第1遅延部DE81
の出力信号とを否定論理積する第1NANDゲートND
81と、第1NANDゲートND81の出力信号を反転
させる第2インバータINV82と、第1〜第4メイン
アンプMA1〜MA4の出力信号MAOiがゲート端子
に入力される第1PMOSトランジスタPM81および
第2NMOSトランジスタNM82と、第1NANDゲ
ートND81の出力信号およびその反転された信号がゲ
ート端子にそれぞれ入力される第2PMOSトランジス
タPM82および第1NMOSトランジスタNM81
と、それら第2PMOSトランジスタPM82および第
1NMOSトランジスタNM81の共通に接続されたド
レイン端子からの出力信号を順次反転させてラッチする
第3、第4インバータINV83,INV84と、を有
する。なお、ここでは、各トランジスタPM81,PM
82,NM81,NM82が、外部電源電圧端子VCC
と接地電源電圧端子VSSの間に直列に接続されてい
る。
第1〜第3マット選択アドレス信号Ax、Ay、Azを
それぞれ反転させる第1〜第3インバータINV91〜
INV93と、第1マット選択アドレス信号Axとテス
トモードイネーブル信号TMEとを否定論理積する第1
NANDゲートND91と、テストモードイネーブル信
号TMEを反転させる第4インバータINV94と、第
1インバータINV91の出力信号とテストモードイネ
ーブル信号TMEとを否定論理積する第2NANDゲー
トND92と、第1〜第3インバータINV91〜IN
V93の各出力信号を否定論理積する第3NANDゲー
トND93と、第2、第3インバータINV92,IN
V93の出力信号と第1マット選択アドレス信号Axと
を否定論理積する第4NANDゲートND94と、第
1、第3インバータINV91,INV93の出力信号
と第2マット選択アドレス信号Ayとを否定論理積する
第5NANDゲートND95と、第3インバータINV
93の出力信号と第1、第2マット選択アドレス信号A
x,Ayとを否定論理積する第6NANDゲートND9
6と、第1、第2インバータINV91,INV92の
出力信号と第3マット選択アドレス信号Azとを否定論
理積する第7NANDゲートND97と、第1、第3マ
ット選択アドレス信号Ax,Azと第2インバータIN
V92の出力信号とを否定論理積する第8NANDゲー
トND98と、第2、第3アドレス信号Ay,Azと第
1インバータINV91の出力信号とを否定論理積する
第9NANDゲートND99と、第1〜第3アドレス信
号Ax,Ay,Azを否定論理積する第10NANDゲ
ートND910と、第1入力端子に第3〜第10NAN
DゲートND93〜ND910の出力信号がそれぞれ入
力され、第2入力端子に第4インバータINV94の出
力信号が入力されて否定論理積する第11〜第18NA
NDゲートND911〜ND918と、第1入力端子に
第11、第13、第15、第17NANDゲートND9
11,ND913,ND915,ND917の出力信号
がそれぞれ入力され、第2入力端子に第1NANDゲー
トND91の出力信号が入力されてそれぞれ否定論理積
する第19、第21、第23、第25NANDゲートN
D919,ND921,ND923,ND925と、第
1入力端子に第12、第14、第16、第18NAND
ゲートND912,ND914,ND916,ND91
8の出力信号がそれぞれ入力され、第2入力端子に第2
NANDゲートND92の出力信号が入力されてそれぞ
れ否定論理積する第20、第22、第24、第26NA
NDゲートND920,ND922,ND924,ND
926と、第19〜第26NANDゲートND919〜
ND926の出力信号をそれぞれ反転させて第1〜第8
マット制御信号MATCON1〜MATCON8を出力
する第5〜第12インバータINV95〜INV912
と、を有する。
にかかるメモリテスト回路の動作について説明する。ま
ず、正常モードでリード動作を行うときは、同一のグロ
ーバル入出力ライン2を共有するマット中、例えば、第
1マットMAT1が選択されたと仮定すると、ビットラ
インにデータを載せてセンスアンプに出力し、該センス
アンプによりデータを増幅する。
力ライン1に伝達し、選択された第1、第2マットスイ
ッチMSW1,MSW2によりローカル入出力ライン1
とグローバル入出力ライン2とを接続して、第1〜第4
メインアンプMA1〜MA4にデータを伝達する。第1
〜第4メインアンプMA1〜MA4は、データを更に増
幅した後にデータラインを介して図示しない出力バッフ
ァに伝達する。なお、このとき、第1、第2マットスイ
ッチMSW1,MSW2は第1マット選択アドレス信号
Axに応じて接続状態が予め決定されている。
MA4の出力ラインであるデータラインは一般に共通化
されているので、2つ以上のデータを同時に出力するこ
とができない。したがって、マットから出力された4対
のデータから1つのデータのみを選択し、各第1〜第4
メインアンプMA1〜MA4から選択された1個のメイ
ンアンプが選択されたデータを増幅して、データライン
を介して図示しない出力バッファに伝達するようになっ
ている。
は、上述したリード動作を行うときの逆動作が行われ
る。すなわち、入力バッファに入力されたデータはグロ
ーバル入出力ライン2およびローカル入出力ライン1を
介して選択されたマットに伝達されて書き込まれる。
きは、マット制御部30によりマットを偶数番目または
奇数番目に分離し、区分された偶数番目または奇数番目
のマット同士を同時にイネーブル(活性化)させる。こ
のような動作は、マット選択アドレス中の最下位ビット
(Least significant Bit;LSB)に該当する第1マ
ット選択アドレス信号Axに応じて制御される。
W1〜MSW9は、正常モードのときとは異なって予め
選択されず、マットスイッチ制御部10の制御下におい
て、同時動作中の第1〜第4マットMA1〜MA4に対
し、グローバル入出力ラインに載せられた16対のデー
タを順次センシングできるようにする。すなわち、4個
のデータが同時に第1〜第4メインアンプMA1〜MA
4で増幅され、このとき、同時にイネーブルされたマッ
トによるデータの衝突を防止するために、マットスイッ
チ制御部10が第1〜第9マットスイッチMSW1〜M
SW9を制御して、データを第1〜第4メインアンプM
A1〜MA4に順次伝送する。
せた場合、第1マットMAT1の4個のデータを各第1
〜第4メインアンプMA1〜MA4により増幅し、ラッ
チ部20でラッチした後に比較部30で比較して、図示
しない出力バッファに出力する。次に、第3マットMA
T3の4個のデータを各第1〜第4メインアンプMA1
〜MA4により増幅し、ラッチ部20でラッチした後に
比較部30で比較して出力バッファに出力する。このよ
うな動作が奇数番目のマットについて順次行われる。こ
れは、並列および直列データ伝送方式を結合させた方式
である。
きは、入力バッファに入力されたデータはグローバル入
出力ライン2、ローカル入出力ライン1およびビットラ
インを介して、マットスイッチのイネーブル順に従い、
予めイネーブルされた奇数番目または偶数番目のマット
にライト動作を順次行う。ここで、グローバル入出力ラ
イン2の4本には同じデータがアドレス信号に拘わらず
載せられている。
のマットが奇数番目または偶数番目に分離されて同時に
イネーブル(活性化)された状態で、リード動作および
ライト動作が行われるようになっている。
リテスト回路においては、マット制御部、マットスイッ
チ制御部およびラッチ部を設けて、テストモードのと
き、偶数番目または奇数番目を単位としてマットを活性
化させてリード動作またはライト動作を行うようにした
ため、高集積メモリのテスト時間を短縮することができ
る。また、メモリの高集積化に伴ってテスト量が増加し
ても、メインアンプを増加させる必要がなく、チップ面
積を縮小できるという効果がある。
成を示したブロック図である。
ある。
路図である。
る。
ある。
示した回路図である。
る。
ク図である。
Claims (9)
- 【請求項1】256Kビットの基本セルアレイ、ワード
ラインを駆動するワードライン駆動回路およびセンスア
ンプを有する第1〜第8マットと、 該各第1〜第8マットに情報を伝送し、または、前記各
第1〜第8マットに貯蔵された情報を伝送するローカル
入出力ラインおよびグローバル入出力ラインと、 該ローカル入出力ラインおよびグローバル入出力ライン
を選択的に接続または遮断する第1〜第9マットスイッ
チと、 前記グローバル入出力ラインにより伝送されるデータを
増幅する第1〜第4メインアンプと、 該第1〜第4メインアンプの各出力信号を比較する比較
部と、を備えて構成されたメモリテスト回路において、 前記第1〜第9マットスイッチの各スイッチ動作を制御
するマットスイッチ制御部と、 前記第1〜第4メインアンプによって増幅されたデータ
を同時に出力するようにラッチするラッチ部と、 正常モードのときには、マット選択アドレス信号に応じ
て選択された前記マットを活性化させ、テストモードの
ときには、同一のグローバル入出力ラインに接続された
前記第1〜第8マットを偶数番目および奇数番目のいず
れかに分離し、該分離された偶数番目または奇数番目の
マットだけを同時に活性化させるように、前記各第1〜
第8マットを制御するマット制御部と、を含んで構成さ
れたことを特徴とするメモリテスト回路。 - 【請求項2】前記第1〜第9マットスイッチは、それぞ
れ、 偶数番目のマットを制御する制御信号と奇数番目のマッ
トを制御する制御信号とを否定論理和するNORゲート
と、 テストモードイネーブル信号を反転させる第1インバー
タと、 前記NORゲートの出力信号と前記第1インバータの出
力信号とを否定論理積する第1NANDゲートと、 前記テストモードイネーブル信号と前記マットスイッチ
制御部から送られるマットスイッチ制御信号とを否定論
理積する第2NANDゲートと、 前記第1NANDゲートの出力信号と前記第2NAND
ゲートの出力信号とを否定論理積する第3NANDゲー
トと、 該第3NANDゲートの出力信号を反転させる第2イン
バータと、 前記第1〜第9マットのうちの対応するマットから出力
されたデータを伝送する前記ローカル入出力ラインをプ
リチャージするプリチャージ部と、 前記第3NANDゲートの出力信号およびその反転され
た信号に応じてそれぞれ制御され、前記プリチャージ部
によってプリチャージされたローカル入出力ラインを前
記グローバル入出力ラインに選択的に接続または遮断す
る第1伝送ゲートおよび第2伝送ゲートと、を備えたこ
とを特徴とする請求項1記載のメモリテスト回路。 - 【請求項3】前記マットスイッチ制御部は、 内部パルス信号およびテストモードイネーブル信号を受
けてシフト制御信号を出力するシフト制御部と、 該シフト制御部からのシフト制御信号を受けてシフト動
作し、第1〜第4データ出力信号および第1〜第4遅延
出力信号を発生するシフトレジスタと、 該シフトレジスタからの第1〜第4データ出力信号とマ
ット選択アドレス中の最下位ビットとを用いて、前記第
1〜第9マットに対応したマットスイッチ制御信号を出
力するマットスイッチ制御信号発生部と、備えたことを
特徴とする請求項1または2記載のメモリテスト回路。 - 【請求項4】前記シフト制御部は、 前記内部パルス信号と前記テストモードイネーブル信号
とを否定論理積する第1NANDゲートと、 該第1NANDゲートの出力信号を順次反転させる第
1、第2インバータと、 該第1インバータの出力信号を遅延させる遅延部と、 該遅延部の出力信号と前記第2インバータの出力信号と
を否定論理積する第2NANDゲートと、 該第2NANDゲートの出力信号を反転させて前記シフ
ト制御信号を出力する第3インバータと、を備えたこと
を特徴とする請求項3記載のメモリテスト回路。 - 【請求項5】前記シフトレジスタは、 クロック信号または内部制御信号がクロック入力端子に
入力されて同期され、前記スイッチ制御信号がデータ入
力となるフリップフロップと、該フリップフロップのデ
ータ出力信号を遅延する遅延部と、からなる複数のブロ
ックが直列に接続されて構成され、 前段のブロックの前記遅延部からの出力信号が、次段の
ブロックの前記フリップフロップのデータ入力端子に入
力されることを特徴とする請求項3または4記載のメモ
リテスト回路。 - 【請求項6】前記マットスイッチ制御信号発生部は、 マット選択アドレス中の最下位ビットを反転させる第1
インバータと、 前記シフトレジスタからの第1データ出力信号と前記第
1インバータの出力信号とを否定論理積する第1NAN
Dゲートと、 該第1NANDゲートの出力を反転させて第1マットス
イッチ制御信号を出力する第2インバータと、 前記シフトレジスタからの第1データ出力信号を順次反
転させて第2マットスイッチ制御信号を出力する第3、
第4インバータと、 前記第1インバータの出力信号と前記シフトレジスタか
らの第2データ出力信号とを否定論理積する第2NAN
Dゲートと、 前記マット選択アドレス中の最下位ビットと前記シフト
レジスタからの第1データ出力信号とを否定論理積する
第3NANDゲートと、 前記第2NANDゲートの出力信号と第3NANDゲー
トの出力信号とを否定論理積して第3マットスイッチ制
御信号を出力する第4NANDゲートと、 前記シフトレジスタからの第2データ出力信号を順次反
転して第4マットスイッチ制御信号を出力する第5、第
6インバータと、 前記第1インバータの出力信号と前記シフトレジスタか
らの第3データ出力信号とを否定論理積する第5NAN
Dゲートと、 前記マット選択アドレス中の最下位ビットと前記シフト
レジスタからの第2データ出力信号とを否定論理積する
第6NANDゲートと、 前記第5NANDゲートの出力信号と第6NANDゲー
トの出力信号とを否定論理積して第5マットスイッチ制
御信号を出力する第7NANDゲートと、 前記シフトレジスタからの第3データ出力信号を順次反
転して第6マットスイッチ制御信号を出力する第7、第
8インバータと、 前記第1インバータの出力信号と前記シフトレジスタか
らの第4データ出力信号とを否定論理積する第8NAN
Dゲートと、 前記シフトレジスタからの第3データ出力信号と前記マ
ット選択アドレス中の最下位ビットとを否定論理積する
第9NANDゲートと、 前記第8NANDゲートの出力信号と第9NANDゲー
トの出力信号とを否定論理積して第7マットスイッチ制
御信号を出力する第10NANDゲートと、 前記シフトレジスタからの第4データ出力信号を順次反
転して第8マットスイッチ制御信号を出力する第9、第
10インバータと、 前記マット選択アドレス中の最下位ビットと前記シフト
レジスタからの第4データ出力信号とを否定論理積する
第11NANDゲートと、 該第11NANDゲートの出力信号を反転させて第9マ
ットスイッチ制御信号を出力する第11インバータと、
を備えたことを特徴とする請求項3〜5のいずれか1つ
に記載のメモリテスト回路。 - 【請求項7】前記ラッチ部は、 前記マットスイッチ制御部のシフトレジスタからの第1
〜第4遅延出力信号を反転させる第1インバータと、 前記マットスイッチ制御部のシフトレジスタからの第1
〜第4遅延出力信号を遅延する遅延部と、 前記第1インバータの出力信号および前記遅延部の出力
信号を否定論理積する第1NANDゲートと、 該第1NANDゲートの出力信号を反転させる第2イン
バータと、 外部電源電圧端子と接地電源電圧端子の間に直列に接続
され、前記第1〜第4メインアンプの各出力信号がゲー
ト端子に入力される第1PMOSトランジスタおよび第
2NMOSトランジスタと、 前記第1NANDゲートからの出力信号がゲート端子に
入力される第2PMOSトランジスタと、 前記第2インバータからの出力信号がゲート端子に入力
される第1NMOSトランジスタと、 前記第2PMOSトランジスタおよび前記第1NMOS
トランジスタの共通に接続されたドレイン端子からの出
力信号をラッチする第3、第4インバータと、を有する
ことを特徴とする請求項3〜6のいずれか1つに記載の
メモリテスト回路。 - 【請求項8】前記マット制御部は、 第1〜第3マット選択アドレス信号をそれぞれ反転させ
る第1〜第3インバータと、 前記第1マット選択アドレス信号とテストモードイネー
ブル信号とを否定論理積する第1NANDゲートと、 前記テストモードイネーブル信号を反転させる第4イン
バータと、 前記第1インバータの出力信号と前記テストモードイネ
ーブル信号とを否定論理積する第2NANDゲートと、 前記第1〜第3インバータの各出力信号を否定論理積す
る第3NANDゲートと、 前記第2、第3インバータの各出力信号と前記第1マッ
ト選択アドレス信号とを否定論理積する第4NANDゲ
ートと、 前記第1、第3インバータの各出力信号と前記第2マッ
ト選択アドレス信号とを否定論理積する第5NANDゲ
ートと、 前記第3インバータの出力信号と前記第1、第2マット
選択アドレス信号とを否定論理積する第6NANDゲー
トと、 前記第1、第2インバータの各出力信号と前記第3マッ
ト選択アドレス信号とを否定論理積する第7NANDゲ
ートと、 前記第1、第3マット選択アドレス信号と前記第2イン
バータの出力信号とを否定論理積する第8NANDゲー
トと、 前記第2、第3マット選択アドレス信号と前記第1イン
バータの出力信号とを否定論理積する第9NANDゲー
トと、 前記第1〜第3マット選択アドレス信号を否定論理積す
る第10NANDゲートと、 第1入力端子に前記第3〜第10NANDゲートの各出
力信号がそれぞれ入力され、第2入力端子に前記第4イ
ンバータの出力信号が入力されて、それぞれ否定論理積
する第11〜第18NANDゲートと、 第1入力端子に前記第11、第13、第15および第1
7NANDゲートの各出力信号がそれぞれ入力され、第
2入力端子に前記第1NANDゲートの出力信号が入力
されて、それぞれ否定論理積する第19、第21、第2
3および第25NANDゲートと、 第1入力端子に前記第12、第14、第16および第1
8NANDゲートの各出力信号がそれぞれ入力され、第
2入力端子に前記第2NANDゲートの出力が入力され
て、それぞれ否定論理積する第20、第22、第24お
よび第26NANDゲートと、 前記第19〜第26NANDゲートの各出力信号をそれ
ぞれ反転させて第1〜第8マット制御信号を出力する第
5〜第12インバータと、を備えたことを特徴とする請
求項1〜7のいずれか1つに記載のメモリテスト回路。 - 【請求項9】前記第1〜第4メインアンプのうちの1つ
を選択して順次動作させるように制御するメインアンプ
制御部を含んで構成されたことを特徴とする請求項1〜
8のいずれか1つに記載のメモリテスト回路。
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