JP2000024801A - 貴金属の加工方法 - Google Patents
貴金属の加工方法Info
- Publication number
- JP2000024801A JP2000024801A JP10192978A JP19297898A JP2000024801A JP 2000024801 A JP2000024801 A JP 2000024801A JP 10192978 A JP10192978 A JP 10192978A JP 19297898 A JP19297898 A JP 19297898A JP 2000024801 A JP2000024801 A JP 2000024801A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- noble metal
- cutting
- oil mist
- processing
- inert gas
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 229910000510 noble metal Inorganic materials 0.000 title claims abstract description 34
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 19
- 238000003754 machining Methods 0.000 title description 3
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 claims abstract description 69
- 229910003460 diamond Inorganic materials 0.000 claims abstract description 31
- 239000010432 diamond Substances 0.000 claims abstract description 31
- 239000003595 mist Substances 0.000 claims abstract description 22
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims abstract description 18
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 claims abstract description 15
- 239000010409 thin film Substances 0.000 claims abstract description 15
- 239000011521 glass Substances 0.000 claims abstract description 10
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 9
- 239000000463 material Substances 0.000 claims abstract description 7
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 claims abstract description 6
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 claims abstract description 4
- 238000012545 processing Methods 0.000 claims description 21
- 239000010970 precious metal Substances 0.000 claims description 9
- 238000003672 processing method Methods 0.000 claims description 3
- 238000000465 moulding Methods 0.000 abstract description 7
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 4
- 238000003763 carbonization Methods 0.000 abstract description 4
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 abstract description 4
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 abstract description 4
- 238000005299 abrasion Methods 0.000 abstract description 3
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 abstract description 2
- 239000001307 helium Substances 0.000 abstract description 2
- 229910052734 helium Inorganic materials 0.000 abstract description 2
- SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N helium atom Chemical compound [He] SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 2
- 229910052754 neon Inorganic materials 0.000 abstract description 2
- GKAOGPIIYCISHV-UHFFFAOYSA-N neon atom Chemical compound [Ne] GKAOGPIIYCISHV-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 2
- UEHKTJFOLYEULK-UHFFFAOYSA-N ent-kelsoene Natural products CC(=C)C1C2CCC2(C)C2CCC(C)C21 UEHKTJFOLYEULK-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract 1
- 239000010408 film Substances 0.000 description 10
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 4
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 4
- 238000012937 correction Methods 0.000 description 3
- 230000003746 surface roughness Effects 0.000 description 3
- UONOETXJSWQNOL-UHFFFAOYSA-N tungsten carbide Chemical compound [W+]#[C-] UONOETXJSWQNOL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 2
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 2
- 229910052741 iridium Inorganic materials 0.000 description 2
- GKOZUEZYRPOHIO-UHFFFAOYSA-N iridium atom Chemical compound [Ir] GKOZUEZYRPOHIO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000001000 micrograph Methods 0.000 description 2
- OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N Phosphorus Chemical compound [P] OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000010000 carbonizing Methods 0.000 description 1
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 1
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 1
- 229910001873 dinitrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- -1 for example Substances 0.000 description 1
- 238000000227 grinding Methods 0.000 description 1
- 239000003350 kerosene Substances 0.000 description 1
- 229910052743 krypton Inorganic materials 0.000 description 1
- DNNSSWSSYDEUBZ-UHFFFAOYSA-N krypton atom Chemical compound [Kr] DNNSSWSSYDEUBZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 238000003801 milling Methods 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000001590 oxidative effect Effects 0.000 description 1
- 239000003208 petroleum Substances 0.000 description 1
- 229910052698 phosphorus Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011574 phosphorus Substances 0.000 description 1
- 229920000515 polycarbonate Polymers 0.000 description 1
- 239000004417 polycarbonate Substances 0.000 description 1
- 230000002035 prolonged effect Effects 0.000 description 1
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 1
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 1
Landscapes
- Diffracting Gratings Or Hologram Optical Elements (AREA)
- Turning (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】ダイヤモンドバイトの刃先の摩耗を防止してバ
イトを高寿命化させ、高密度な切削加工が可能な貴金属
の加工方法を提供すること。 【解決手段】成形型１に成膜した貴金属薄膜２に対し
て、ダイヤモンドバイト４を用いて成膜面に溝３を切削
加工する際に、不活性ガスを圧力媒体としたオイルミス
ト６を成膜面に供給しながら加工する。
イトを高寿命化させ、高密度な切削加工が可能な貴金属
の加工方法を提供すること。 【解決手段】成形型１に成膜した貴金属薄膜２に対し
て、ダイヤモンドバイト４を用いて成膜面に溝３を切削
加工する際に、不活性ガスを圧力媒体としたオイルミス
ト６を成膜面に供給しながら加工する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、貴金属の加工方
法、例えばホログラムレンズ形成用のガラスリヒートプ
レス成形型に成膜した貴金属薄膜面に回折光学パターン
を形成する加工方法に関するものである。
法、例えばホログラムレンズ形成用のガラスリヒートプ
レス成形型に成膜した貴金属薄膜面に回折光学パターン
を形成する加工方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】近年、光ディスクの急速な普及により光
ディスク再生装置等の量産化と共に、これの高性能化及
び低コスト化の研究が盛んに行われている。
ディスク再生装置等の量産化と共に、これの高性能化及
び低コスト化の研究が盛んに行われている。
【０００３】光ディスク再生装置内の光ピックアップ
は、内蔵されているレーザダイオードから出射光を光デ
ィスクに照射し、この光ディスクからの反射光をフォト
ダイオードで受光し、その光量の変化をモニタすること
により光ディスク内の情報を読み取る。
は、内蔵されているレーザダイオードから出射光を光デ
ィスクに照射し、この光ディスクからの反射光をフォト
ダイオードで受光し、その光量の変化をモニタすること
により光ディスク内の情報を読み取る。
【０００４】このような光学系は多数のレンズやハーフ
ミラー等を用いて構成されていたが、図６に示すような
回折格子１８を形成するパターンの溝１７を加工したホ
ログラムレンズ１６や、フレネルレンズなどを用いるこ
とにより、ピックアップ内の部品を削減できるため、こ
のような光学素子が用いられるようになってきている。
ミラー等を用いて構成されていたが、図６に示すような
回折格子１８を形成するパターンの溝１７を加工したホ
ログラムレンズ１６や、フレネルレンズなどを用いるこ
とにより、ピックアップ内の部品を削減できるため、こ
のような光学素子が用いられるようになってきている。
【０００５】そして、近年、幾何光学を用いた非球面レ
ンズのみならず、回折光学を用いた光学素子が開発さ
れ、光ディスク再生装置等に用いるホログラムレンズの
微細溝の形状は、必ずしも図６に示すような同心円状で
はなく複雑な曲線状の溝を形成したものも存在するが、
このような曲線状の溝はエッチングによっては設計通り
の断面形状や形状精度を得ることが難しく、施盤により
加工せざるを得ないのが実情である。
ンズのみならず、回折光学を用いた光学素子が開発さ
れ、光ディスク再生装置等に用いるホログラムレンズの
微細溝の形状は、必ずしも図６に示すような同心円状で
はなく複雑な曲線状の溝を形成したものも存在するが、
このような曲線状の溝はエッチングによっては設計通り
の断面形状や形状精度を得ることが難しく、施盤により
加工せざるを得ないのが実情である。
【０００６】しかし、このような加工は普通の施盤では
行うことができず、例えば図７に示すように、制御され
てＸ、Ｙ、Ｚ方向に駆動し、凸面又は凹面に対しても複
雑な形状の溝加工及び同心円状の溝加工が可能な施盤が
開発され公知となっているが、このような機能を有する
施盤でなければ加工することができない。
行うことができず、例えば図７に示すように、制御され
てＸ、Ｙ、Ｚ方向に駆動し、凸面又は凹面に対しても複
雑な形状の溝加工及び同心円状の溝加工が可能な施盤が
開発され公知となっているが、このような機能を有する
施盤でなければ加工することができない。
【０００７】図７に示した施盤は、ベース２１上に、Ｙ
方向に駆動するＹテーブル２２のフランジ２２ａにＹ方
向と直交するＸ方向に駆動するＸテーブル２３が設けら
れ、このＸテーブル２３に固設された保持部２４にバイ
ト２５が取付けられ、これらの対向位置には、Ｘ、Ｙ方
向に直交するＺ方向に駆動するＺテーブル２６が配さ
れ、このＺテーブル２６上にはＺ方向を軸とする回動台
２７が設けられている。
方向に駆動するＹテーブル２２のフランジ２２ａにＹ方
向と直交するＸ方向に駆動するＸテーブル２３が設けら
れ、このＸテーブル２３に固設された保持部２４にバイ
ト２５が取付けられ、これらの対向位置には、Ｘ、Ｙ方
向に直交するＺ方向に駆動するＺテーブル２６が配さ
れ、このＺテーブル２６上にはＺ方向を軸とする回動台
２７が設けられている。
【０００８】非加工物２９は回動台２７の先端に固着さ
れ、上記したＸ、Ｙ、Ｚの各テーブルのそれぞれが綿密
な制御の下で所定の動作を行うことによって、バイト２
５で非加工物２９の面に複雑なパターンの切削加工を行
うことができるようになっている。
れ、上記したＸ、Ｙ、Ｚの各テーブルのそれぞれが綿密
な制御の下で所定の動作を行うことによって、バイト２
５で非加工物２９の面に複雑なパターンの切削加工を行
うことができるようになっている。
【０００９】このような回折光学パターンを有するレン
ズは複製により量産が容易であるため、上記の如き施盤
を用いて成形型を作製しておけば量産が可能であり、例
えばガラスリヒートプレス成形により作製される。
ズは複製により量産が容易であるため、上記の如き施盤
を用いて成形型を作製しておけば量産が可能であり、例
えばガラスリヒートプレス成形により作製される。
【００１０】このガラスリヒートプレスによる成形時に
はこのプレス型が高温化するため、プレス型の成形面に
は高耐熱性の貴金属のような超硬金属をスパッタリング
により成膜し、施盤にダイヤモンドバイトを取付け、圧
縮空気を用いたオイルミストを切削面に供給しながら、
成膜面に微細な矩形、三角形及び曲面等からなる回折光
学パターンを形成する（図１参照）。
はこのプレス型が高温化するため、プレス型の成形面に
は高耐熱性の貴金属のような超硬金属をスパッタリング
により成膜し、施盤にダイヤモンドバイトを取付け、圧
縮空気を用いたオイルミストを切削面に供給しながら、
成膜面に微細な矩形、三角形及び曲面等からなる回折光
学パターンを形成する（図１参照）。
【００１１】この成膜材料としては主に貴金属が用いら
れるが、貴金属はバルク状態では硬度は高くないもの
の、スパッタリングなどで成膜した貴金属薄膜は硬度が
高いため、ガラスリヒートプレス成形の成形型によく使
用されている。
れるが、貴金属はバルク状態では硬度は高くないもの
の、スパッタリングなどで成膜した貴金属薄膜は硬度が
高いため、ガラスリヒートプレス成形の成形型によく使
用されている。
【００１２】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら上記した
如く、従来は成形型に成膜した貴金属薄膜面に、図７の
如き装置を用いて所定の回折光学パターンが形成されて
いるが、オイルミストの圧力媒体として圧縮空気が用い
られているため、ダイヤモンドバイトが酸化し炭化され
易く、刃先が摩耗し易い。従って、貴金属薄膜の切削精
度が所定通りに得られないことがある。
如く、従来は成形型に成膜した貴金属薄膜面に、図７の
如き装置を用いて所定の回折光学パターンが形成されて
いるが、オイルミストの圧力媒体として圧縮空気が用い
られているため、ダイヤモンドバイトが酸化し炭化され
易く、刃先が摩耗し易い。従って、貴金属薄膜の切削精
度が所定通りに得られないことがある。
【００１３】図８（ａ）は、このような従来の切削加工
方による切削加工後のダイヤモンドバイト１１の刃先１
１ａの顕微鏡写真（図８（ｂ）のＢ部）であり、刃先１
１ａが摩耗した状態を示している。
方による切削加工後のダイヤモンドバイト１１の刃先１
１ａの顕微鏡写真（図８（ｂ）のＢ部）であり、刃先１
１ａが摩耗した状態を示している。
【００１４】また、図９は、このように摩耗したダイヤ
モンドバイト１１で切削加工された貴金属薄膜の被加工
面の顕微鏡写真であり、ダイヤモンドバイト１１の切れ
が悪いために刃先１１ａの摩耗による引き目が加工面に
観察される。
モンドバイト１１で切削加工された貴金属薄膜の被加工
面の顕微鏡写真であり、ダイヤモンドバイト１１の切れ
が悪いために刃先１１ａの摩耗による引き目が加工面に
観察される。
【００１５】従って、従来の加工方法では、ダイヤモン
ドバイトの寿命が短いばかりでなく、高精度な切削加工
が困難であると共に、作製した成形型の寿命も短いた
め、製品の低コスト化を防げる要因となっている。
ドバイトの寿命が短いばかりでなく、高精度な切削加工
が困難であると共に、作製した成形型の寿命も短いた
め、製品の低コスト化を防げる要因となっている。
【００１６】そこで本発明の目的は、ダイヤモンドバイ
トの如き切削工具の摩耗を防止して工具を高寿命化させ
ると共に、高精度な加工を容易にして生産製を高め、低
コストで良質な製品が得られる貴金属の加工方法を提供
することにある。
トの如き切削工具の摩耗を防止して工具を高寿命化させ
ると共に、高精度な加工を容易にして生産製を高め、低
コストで良質な製品が得られる貴金属の加工方法を提供
することにある。
【００１７】
【課題を解決するための手段】即ち、本発明は被加工物
である貴金属の所定部分を除去して所定形状に加工を行
うに際し、不活性ガスを圧力媒体として前記貴金属の被
加工面にオイルミストを供給することを特徴とする貴金
属の加工方法に係るものである。
である貴金属の所定部分を除去して所定形状に加工を行
うに際し、不活性ガスを圧力媒体として前記貴金属の被
加工面にオイルミストを供給することを特徴とする貴金
属の加工方法に係るものである。
【００１８】本発明によれば、貴金属を加工する際に、
不活性ガスを圧力媒体として貴金属の加工面にオイルミ
ストを供給するので、ダイヤモンドバイトの如き加工具
の酸化や炭化を防止することができる。その結果、加工
具が摩耗し難く、加工具の寿命を延ばすことができると
共に、摩耗のない加工具によって被加工物が高精度に加
工されることにより、生産製を高めてコストが低減した
良質な製品が得られる優れた貴金属の加工方法を提供す
ることができる。
不活性ガスを圧力媒体として貴金属の加工面にオイルミ
ストを供給するので、ダイヤモンドバイトの如き加工具
の酸化や炭化を防止することができる。その結果、加工
具が摩耗し難く、加工具の寿命を延ばすことができると
共に、摩耗のない加工具によって被加工物が高精度に加
工されることにより、生産製を高めてコストが低減した
良質な製品が得られる優れた貴金属の加工方法を提供す
ることができる。
【００１９】
【発明の実施の形態】以下、本発明を好ましい実施の形
態に従い説明する。
態に従い説明する。
【００２０】図１に、本発明の実施の形態による成形型
の切削加工の状態を示す要部の概略図を示す。
の切削加工の状態を示す要部の概略図を示す。
【００２１】ホログラムレンズ状に形成されたガラスリ
ヒートプレスの成形型（雌型）１の中央の凹部に、スパ
ッタリングにより成膜した貴金属薄膜２の面をバイト
（例えばダイヤモンドバイト）により、所定の回折光学
パターンの溝３をノズル５からオイルミスト６を供給し
ながら切削している状態であるが、、図示の如く被加工
物と切削工具及びオイルミスト供給部とが相対的に移動
又は変位しながら、前記貴金属の被加工面に切削加工を
行うことが望ましい。そして、成形型１は耐熱性が高
く、貴金属薄膜２の密着の良い超硬合金（例えばコバル
トレスのタングステンカーバイト）を用いることが好ま
しい。
ヒートプレスの成形型（雌型）１の中央の凹部に、スパ
ッタリングにより成膜した貴金属薄膜２の面をバイト
（例えばダイヤモンドバイト）により、所定の回折光学
パターンの溝３をノズル５からオイルミスト６を供給し
ながら切削している状態であるが、、図示の如く被加工
物と切削工具及びオイルミスト供給部とが相対的に移動
又は変位しながら、前記貴金属の被加工面に切削加工を
行うことが望ましい。そして、成形型１は耐熱性が高
く、貴金属薄膜２の密着の良い超硬合金（例えばコバル
トレスのタングステンカーバイト）を用いることが好ま
しい。
【００２２】そしてこの場合、オイルミストの圧力媒体
となる不活性ガスとして窒素を用いることが望ましい
が、不活性ガスであれば、例えばアルゴン、ヘリウム、
ネオン、クリプトン等も用いることができる。このよう
に不活性ガスを用いることによりバイト４の酸化及び炭
化を防止することができる。
となる不活性ガスとして窒素を用いることが望ましい
が、不活性ガスであれば、例えばアルゴン、ヘリウム、
ネオン、クリプトン等も用いることができる。このよう
に不活性ガスを用いることによりバイト４の酸化及び炭
化を防止することができる。
【００２３】また、前記オイルミストの材料としては、
高粘性のオイルでは良好なミストが形成されないため、
例えば灯油系オイル程度の粘度を有する第３石油類から
なる群より選ばれた少なくとも一種を用いることが望ま
しい。
高粘性のオイルでは良好なミストが形成されないため、
例えば灯油系オイル程度の粘度を有する第３石油類から
なる群より選ばれた少なくとも一種を用いることが望ま
しい。
【００２４】このような加工方法は、スパッタリングに
より形成した貴金属（単元素及び複合元素の両方を含
む）薄膜の切削を行うのに好適であるが、蒸着膜の切削
にも適用することができる。又、加工の対象は薄膜に限
らず貴金属製品であってもよく、これらの研削にも適用
することができる。
より形成した貴金属（単元素及び複合元素の両方を含
む）薄膜の切削を行うのに好適であるが、蒸着膜の切削
にも適用することができる。又、加工の対象は薄膜に限
らず貴金属製品であってもよく、これらの研削にも適用
することができる。
【００２５】また、貴金属の切削加工を行う場合、切削
工具としてダイヤモンドバイトを用いることが好適であ
り、このダイヤモンドバイトも不活性ガスを圧力媒体と
するオイルミストの供給により酸化や炭化が防止され、
寿命を延ばすことができる。
工具としてダイヤモンドバイトを用いることが好適であ
り、このダイヤモンドバイトも不活性ガスを圧力媒体と
するオイルミストの供給により酸化や炭化が防止され、
寿命を延ばすことができる。
【００２６】上記した如く、ガラスリヒートプレス成形
型の回折光学パターンの切削を行うのに好適であるが、
これ以外にも、例えば図５に示すように、フレネルレン
ズ及びホログラムレンズ等の切削加工にも適用するこが
できる。図５は、樹脂系の材料（例えばポリカーボネー
ト）からなるホログラムレンズ１４の凸面に回折光学パ
ターン１５を本実施の形態により切削加工している状態
を示している。
型の回折光学パターンの切削を行うのに好適であるが、
これ以外にも、例えば図５に示すように、フレネルレン
ズ及びホログラムレンズ等の切削加工にも適用するこが
できる。図５は、樹脂系の材料（例えばポリカーボネー
ト）からなるホログラムレンズ１４の凸面に回折光学パ
ターン１５を本実施の形態により切削加工している状態
を示している。
【００２７】
【実施例】以下、本発明の実施例を説明する。
【００２８】前記した実施の形態に従い、図１に示した
装置を用いて、ブレーズホログラムをコバルトレスのタ
ングステンカーバイトからなる超硬合金製の成形型１上
にスパッタ法により、約２〜３／ｍｍ厚さに成膜したＩ
ｒ（イリジウム）膜２面に所定パターンの溝３を切削加
工した。
装置を用いて、ブレーズホログラムをコバルトレスのタ
ングステンカーバイトからなる超硬合金製の成形型１上
にスパッタ法により、約２〜３／ｍｍ厚さに成膜したＩ
ｒ（イリジウム）膜２面に所定パターンの溝３を切削加
工した。
【００２９】切削加工に用いたバイト４は天然の単結晶
ダイヤモンド製で、先端角３５度で極めてシャープエッ
ジ（使用限界は刃先の先端Ｒ≦０．５μｍ）なものであ
る。
ダイヤモンド製で、先端角３５度で極めてシャープエッ
ジ（使用限界は刃先の先端Ｒ≦０．５μｍ）なものであ
る。
【００３０】切削加工の１パスは約１０００ｍで、切り
込み深さは最大で０．７μｍであり、仕上げ加工として
は１パスで行った。
込み深さは最大で０．７μｍであり、仕上げ加工として
は１パスで行った。
【００３１】オイルミストの構成は不活性ガスとして窒
素ガスを用いた。そしてオイルは第３石油類のパレス
（ＰＳ−ＦＭ−Ａ）：（商品名、パレス化学株式会社
製）を使用した。
素ガスを用いた。そしてオイルは第３石油類のパレス
（ＰＳ−ＦＭ−Ａ）：（商品名、パレス化学株式会社
製）を使用した。
【００３２】図２（ａ）は本実施例による使用後のダイ
ヤモンドバイト４の刃先４ａの顕微鏡写真であり、図２
（ｂ）におけるＡ部を示している。そして、この図は、
ダイヤモンドバイト４の刃先４ａが摩耗していないこと
を示している。
ヤモンドバイト４の刃先４ａの顕微鏡写真であり、図２
（ｂ）におけるＡ部を示している。そして、この図は、
ダイヤモンドバイト４の刃先４ａが摩耗していないこと
を示している。
【００３３】また、図３は、切削加工後のＩｒ膜２面を
示す顕微鏡写真であり、図９により既述した従来法に比
べ、良好な面粗度で溝３が高精度に形成されたことが観
察できる。
示す顕微鏡写真であり、図９により既述した従来法に比
べ、良好な面粗度で溝３が高精度に形成されたことが観
察できる。
【００３４】切削性を向上させるための公知例として、
ニッケルにリンを配合させた材料を用いて切削性を向上
させているものもあるが、硬度的には低く、ガラスリヒ
ートプレス成形において、面精度、面粗度の経時的悪化
が見られる。
ニッケルにリンを配合させた材料を用いて切削性を向上
させているものもあるが、硬度的には低く、ガラスリヒ
ートプレス成形において、面精度、面粗度の経時的悪化
が見られる。
【００３５】図４は、本実施例によるダイヤモンドバイ
トと従来法によるダイヤモンドバイトとの寿命の傾向を
示すグラフである。
トと従来法によるダイヤモンドバイトとの寿命の傾向を
示すグラフである。
【００３６】即ち、図１に示した如き、同一規格の成形
型１にＩｒ膜２を同じ膜厚で成膜し、上記した本実施例
による切削条件と従来法による切削条件とにおける、所
定の切削溝加工後のそれぞれのダイヤモンドバイト刃先
の摩耗度合及び耐用溝加工本数を示すものである。
型１にＩｒ膜２を同じ膜厚で成膜し、上記した本実施例
による切削条件と従来法による切削条件とにおける、所
定の切削溝加工後のそれぞれのダイヤモンドバイト刃先
の摩耗度合及び耐用溝加工本数を示すものである。
【００３７】これによれば、従来法によるダイヤモンド
バイト刃先は、ほぼ１本の溝加工で使用限界である０．
５μｍを超える摩耗が見られる。これに対して本実施例
の場合は非常に摩耗が少なく、７０本の溝加工に使用後
も使用限界に達していないことから、本実施例の有効性
を顕著に示している。
バイト刃先は、ほぼ１本の溝加工で使用限界である０．
５μｍを超える摩耗が見られる。これに対して本実施例
の場合は非常に摩耗が少なく、７０本の溝加工に使用後
も使用限界に達していないことから、本実施例の有効性
を顕著に示している。
【００３８】本実施例によれば、貴金属薄膜の切削加工
時に、窒素等の不活性ガスを圧力媒体とするオイルミス
トを切削面に供給しながら切削加工することにより、ダ
イヤモンドバイト刃先の酸化や炭化を防止して刃先の摩
耗を防止することができる。従って、磨耗のない刃先で
超精密に高精度な切削加工が実現され、加工面の面密度
および面粗度を向上させることができる。
時に、窒素等の不活性ガスを圧力媒体とするオイルミス
トを切削面に供給しながら切削加工することにより、ダ
イヤモンドバイト刃先の酸化や炭化を防止して刃先の摩
耗を防止することができる。従って、磨耗のない刃先で
超精密に高精度な切削加工が実現され、加工面の面密度
および面粗度を向上させることができる。
【００３９】また、上記した実施例は本発明の技術的思
想に基づいて種々に変形することができる。例えば、本
実施例における凹面への切削加工以外に、図５に示した
如き凸状面への切削加工や平面又は凹凸が混在する面の
切削加工にも適用することができる。また、被加工物は
貴金属薄膜に限らず、バルク状又は塊状の貴金属であっ
てもよい。
想に基づいて種々に変形することができる。例えば、本
実施例における凹面への切削加工以外に、図５に示した
如き凸状面への切削加工や平面又は凹凸が混在する面の
切削加工にも適用することができる。また、被加工物は
貴金属薄膜に限らず、バルク状又は塊状の貴金属であっ
てもよい。
【００４０】また、上記した如く、被加工物、切削工具
及びオイルミスト供給部とが相対的に移動又は変位する
ものではなく、例えば、被加工物、切削工具及びオイル
ミスト供給部のうちいずれかが固定又は移動するフライ
ス施盤の如き切削加工にも適用することができる。これ
により将来的には全ての成膜のエッチングに代る除去方
法として期待できる。
及びオイルミスト供給部とが相対的に移動又は変位する
ものではなく、例えば、被加工物、切削工具及びオイル
ミスト供給部のうちいずれかが固定又は移動するフライ
ス施盤の如き切削加工にも適用することができる。これ
により将来的には全ての成膜のエッチングに代る除去方
法として期待できる。
【００４１】
【発明の作用効果】上述した如く、本発明は被加工物で
ある貴金属の所定部分を除去して所定形状に加工を行う
に際し、不活性ガスを圧力媒体として前記貴金属の被加
工面にオイルミストを供給することを特徴とする貴金属
の加工方法であるので、ダイヤモンドバイトの如き加工
具の酸化や炭化を防止することができる。その結果、加
工具が摩耗し難く、高寿命化させることができると共
に、摩耗のない加工具によって被加工物が高精度に加工
され、生産性の向上とともにコスト低減を可能にし、信
頼性の高い良質の製品を作製することができる。
ある貴金属の所定部分を除去して所定形状に加工を行う
に際し、不活性ガスを圧力媒体として前記貴金属の被加
工面にオイルミストを供給することを特徴とする貴金属
の加工方法であるので、ダイヤモンドバイトの如き加工
具の酸化や炭化を防止することができる。その結果、加
工具が摩耗し難く、高寿命化させることができると共
に、摩耗のない加工具によって被加工物が高精度に加工
され、生産性の向上とともにコスト低減を可能にし、信
頼性の高い良質の製品を作製することができる。
【図１】本発明の実施例によるガラスリヒートプレス成
形型の切削加工状態を示す要部の概略図である。
形型の切削加工状態を示す要部の概略図である。
【図２】同、実施例による使用後のダイヤモンドバイト
を示し、（ａ）は刃先の顕微鏡写真、（ｂ）はダイヤモ
ンドバイトの概略図である。
を示し、（ａ）は刃先の顕微鏡写真、（ｂ）はダイヤモ
ンドバイトの概略図である。
【図３】同、実施例による切削加工後のＩｒ膜面を示す
顕微鏡写真である。
顕微鏡写真である。
【図４】同、実施例及び従来例によるダイヤモンドバイ
トの摩耗量と耐用切削本数を示すグラフである。
トの摩耗量と耐用切削本数を示すグラフである。
【図５】同、変形例による切削加工状態を示す概略図で
ある。
ある。
【図６】フレネルレンズの一例を示し、（ａ）は側面
図、（ｂ）は正面図である。
図、（ｂ）は正面図である。
【図７】公知の施盤の一例を示す斜視図である。
【図８】従来例による使用後のダイヤモンドバイトを示
し、（ａ）は刃先の顕微鏡写真（ｂ）ばダイヤモンドバ
イトの概略図である。
し、（ａ）は刃先の顕微鏡写真（ｂ）ばダイヤモンドバ
イトの概略図である。
【図９】同、切削加工後の貴金属薄膜面をしめす顕微鏡
写真である。
写真である。
１…ガラスリヒートプレス型、２…貴金属薄膜、３、１
５…溝、４…ダイヤモンドバイト、４ａ…刃先、５…ノ
ズル、６…オイルミスト、７…加工面、９…従来例の摩
耗傾向線、１０…実施例の摩耗傾向線、１４…ホログラ
ムレンズ
５…溝、４…ダイヤモンドバイト、４ａ…刃先、５…ノ
ズル、６…オイルミスト、７…加工面、９…従来例の摩
耗傾向線、１０…実施例の摩耗傾向線、１４…ホログラ
ムレンズ
─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成１０年８月３１日（１９９８．８．３
１）
１）
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２８
【補正方法】変更
【補正内容】
【００２８】前記した実施の形態に従い、図１に示した
装置を用いて、ブレーズホログラムをコバルトレスのタ
ングステンカーバイトからなる超硬合金製の成形型１上
にスパッタ法により、約２〜３μｍ厚さに成膜したＩｒ
（イリジウム）膜２面に所定パターンの溝３を切削加工
した。
装置を用いて、ブレーズホログラムをコバルトレスのタ
ングステンカーバイトからなる超硬合金製の成形型１上
にスパッタ法により、約２〜３μｍ厚さに成膜したＩｒ
（イリジウム）膜２面に所定パターンの溝３を切削加工
した。
Claims (8)
- 【請求項１】 被加工物である貴金属の所定部分を除去
して所定形状に加工を行うに際し、不活性ガスを圧力媒
体として前記貴金属の被加工面にオイルミストを供給す
ることを特徴とする貴金属の加工方法。 - 【請求項２】 前記被加工物と切削工具及びオイルミス
ト供給部とが相対的に移動又は変位しながら、前記貴金
属の被加工面に切削加工を行う、請求項１に記載した貴
金属の加工方法。 - 【請求項３】 前記不活性ガスとして窒素を用いる、請
求項１に記載した貴金属の加工方法。 - 【請求項４】前記オイルミストの材料として、第３石油
類からなる群より選ばれた少なくとも一種を用いる、請
求項１に記載した貴金属の加工方法。 - 【請求項５】スパッタリングにより形成した貴金属薄膜
の切削を行う、請求項１に記載した貴金属の加工方法。 - 【請求項６】前記切削工具としてダイヤモンドバイトを
用いる、請求項１に記載した貴金属の加工方法。 - 【請求項７】ガラスリヒートプレス成形型の回折光学パ
ターンの切削を行う、請求項１に記載した貴金属の加工
方法。 - 【請求項８】フレネルレンズ及びホログラムレンズの切
削加工を行う、請求項１に記載した貴金属の加工方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10192978A JP2000024801A (ja) | 1998-07-08 | 1998-07-08 | 貴金属の加工方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10192978A JP2000024801A (ja) | 1998-07-08 | 1998-07-08 | 貴金属の加工方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000024801A true JP2000024801A (ja) | 2000-01-25 |
Family
ID=16300212
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10192978A Pending JP2000024801A (ja) | 1998-07-08 | 1998-07-08 | 貴金属の加工方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000024801A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US8220370B2 (en) * | 2002-02-04 | 2012-07-17 | Air Products & Chemicals, Inc. | Apparatus and method for machining of hard metals with reduced detrimental white layer effect |
| CN112171208A (zh) * | 2020-09-30 | 2021-01-05 | 临沂华庚新材料科技有限公司 | 一种陶瓷内衬管管道切割工艺 |
-
1998
- 1998-07-08 JP JP10192978A patent/JP2000024801A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US8220370B2 (en) * | 2002-02-04 | 2012-07-17 | Air Products & Chemicals, Inc. | Apparatus and method for machining of hard metals with reduced detrimental white layer effect |
| CN112171208A (zh) * | 2020-09-30 | 2021-01-05 | 临沂华庚新材料科技有限公司 | 一种陶瓷内衬管管道切割工艺 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US8656815B2 (en) | Transfer optical surface machining method, optical device producing mold and optical device | |
| JP3406774B2 (ja) | ダイヤモンド被覆した差込み工具及びその製造方法 | |
| Neo et al. | Performance evaluation of pure CBN tools for machining of steel | |
| US7686988B2 (en) | Method of forming a die surface to produce an optical element | |
| JPH03131407A (ja) | ダイヤモンドバイト | |
| JPS58132462A (ja) | 超硬質材料で被覆された工具の精密輪郭形成方法および装置 | |
| US5074721A (en) | Metal cutting blade and process for manufacture thereof | |
| CN103785885A (zh) | 立铣刀及其制造方法 | |
| CN102294507A (zh) | 立铣刀及其制造方法 | |
| JP2003025118A (ja) | 切削用ダイヤモンド工具 | |
| JP4339573B2 (ja) | 単結晶ダイヤモンドを用いたエンドミル | |
| JP2003011014A (ja) | カッターヘッド、曲面加工方法、ｖ溝加工方法、光学部品及び光学部品用金型 | |
| JP2000024801A (ja) | 貴金属の加工方法 | |
| JP3544601B2 (ja) | 結晶材料の超精密切削加工方法 | |
| CN100566896C (zh) | 切削工具镶件及制造方法 | |
| JP2007181882A (ja) | 転写光学面の加工方法、光学素子用成形金型及び光学素子 | |
| JPS59134603A (ja) | 差し込み工具 | |
| JP2002239802A (ja) | フレネルレンズ用金型の加工方法、その加工方法に使用する工具、並びにその加工方法により加工された金型及びフレネルレンズ | |
| JP4566329B2 (ja) | バイト | |
| JP2004306153A (ja) | 単結晶ダイヤモンド切削工具 | |
| JP4746339B2 (ja) | 切削工具の製造方法 | |
| TRCKA et al. | ANALYZING THE PERFORMANCE OF CIRCLE SEGMENT END MILL WITH PCD INSERTS WITH LASERMACHINED INTEGRAL CHIPBREAKER WHEN DRY MILLING OF ADDITIVE MANUFACTURED TI-6AL-4V TITANIUM ALLOY. | |
| JP2004216483A (ja) | 超精密加工用工具 | |
| JP2006035362A (ja) | 研削加工用砥石、およびそれを用いた研削加工方法 | |
| CN110976992A (zh) | 切削刀具 |