JP1782543S - プラズマ処理装置用サセプタリング - Google Patents
プラズマ処理装置用サセプタリングInfo
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- JP1782543S JP1782543S JP2023020294F JP2023020294F JP1782543S JP 1782543 S JP1782543 S JP 1782543S JP 2023020294 F JP2023020294 F JP 2023020294F JP 2023020294 F JP2023020294 F JP 2023020294F JP 1782543 S JP1782543 S JP 1782543S
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Abstract
本物品は、半導体製造で使われるプラズマ処理装置に用いられるサセプタリングであり、主にステージをプラズマから保護するためのものである。本物品は二つの部分に分離可能であり、通常は、該二つの部分を組み合わせた状態で使用される。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2023020294F JP1782543S (ja) | 2023-09-29 | 2023-09-29 | プラズマ処理装置用サセプタリング |
| TW113301477F TWD234041S (zh) | 2023-09-29 | 2024-03-28 | 電漿處理裝置用保護環 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2023020294F JP1782543S (ja) | 2023-09-29 | 2023-09-29 | プラズマ処理装置用サセプタリング |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP1782543S true JP1782543S (ja) | 2024-10-17 |
Family
ID=93058167
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2023020294F Active JP1782543S (ja) | 2023-09-29 | 2023-09-29 | プラズマ処理装置用サセプタリング |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP1782543S (ja) |
| TW (1) | TWD234041S (ja) |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP1584241S (ja) | 2017-01-31 | 2017-08-21 |
-
2023
- 2023-09-29 JP JP2023020294F patent/JP1782543S/ja active Active
-
2024
- 2024-03-28 TW TW113301477F patent/TWD234041S/zh unknown
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| TWD234041S (zh) | 2024-10-01 |
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